JP2003266738A - 吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 - Google Patents
吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット方式の吐出装置で用いるヘッ
ドユニットであって、吐出装置のメインキャリッジに保
持されるサブキャリッジ４１に液滴吐出ヘッド７を搭載
して成るものにおいて、液滴吐出ヘッド７に対する給液
用の配管経路の配管作業を容易にすると共に、配管取り
外し時の液垂れで液滴吐出ヘッド７の配線コネクタが汚
損されることを防止する。 【解決手段】 サブキャリッジ４１に、液滴吐出ヘッド
７の搭載箇所から離れた場所に位置させて、液滴吐出ヘ
ッド７に配管アダプタ４８を介して接続されているヘッ
ド側配管部材に吐出装置の給液タンクに連なる装置側配
管部材を着脱自在に接続する配管ジョイント４９を設け
る。
ドユニットであって、吐出装置のメインキャリッジに保
持されるサブキャリッジ４１に液滴吐出ヘッド７を搭載
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用の配管経路の配管作業を容易にすると共に、配管取り
外し時の液垂れで液滴吐出ヘッド７の配線コネクタが汚
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ド側配管部材に吐出装置の給液タンクに連なる装置側配
管部材を着脱自在に接続する配管ジョイント４９を設け
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークに対し相対
移動するメインキャリッジを備える吐出装置で使用する
ヘッドユニットに関し、更に詳細には、吐出装置のメイ
ンキャリッジに着脱自在に保持されるサブキャリッジに
インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッド
を搭載して成る吐出装置用のヘッドユニットおよびこれ
を備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有
機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤ
Ｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラ
ーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ
形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジス
ト形成方法および光拡散体形成方法に関するものであ
る。
移動するメインキャリッジを備える吐出装置で使用する
ヘッドユニットに関し、更に詳細には、吐出装置のメイ
ンキャリッジに着脱自在に保持されるサブキャリッジに
インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッド
を搭載して成る吐出装置用のヘッドユニットおよびこれ
を備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有
機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤ
Ｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラ
ーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ
形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジス
ト形成方法および光拡散体形成方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットプリンタのインクジェッ
トヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴
（液滴）をドット状に精度良く吐出することができるこ
とから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等
の機能液を用いることにより、各種製品の製造分野への
応用が期待されている。
トヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴
（液滴）をドット状に精度良く吐出することができるこ
とから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等
の機能液を用いることにより、各種製品の製造分野への
応用が期待されている。
【０００３】例えば、カラーフィルタの基板といったワ
ークに対し相対移動するメインキャリッジを備える吐出
装置を用い、吐出装置のメインキャリッジに着脱自在に
保持されるサブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッド
を搭載して成るヘッドユニットを吐出装置に投入し、ヘ
ッドユニットをメインキャリッジの動きでワークに対し
相対移動させつつ各機能液滴吐出ヘッドから液晶材料や
有機発光材料を吐出させて、液晶表示装置や有機ＥＬ表
示装置等を製造することが考えられている。
ークに対し相対移動するメインキャリッジを備える吐出
装置を用い、吐出装置のメインキャリッジに着脱自在に
保持されるサブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッド
を搭載して成るヘッドユニットを吐出装置に投入し、ヘ
ッドユニットをメインキャリッジの動きでワークに対し
相対移動させつつ各機能液滴吐出ヘッドから液晶材料や
有機発光材料を吐出させて、液晶表示装置や有機ＥＬ表
示装置等を製造することが考えられている。
【０００４】この場合、液晶材料や有機発光材料といっ
た吐出すべき液体を機能液滴吐出ヘッドに供給するた
め、吐出装置に設けた給液タンクに連なる配管部材を機
能液滴吐出ヘッドの液体導入口に着脱自在に接続し、液
体導入口から配管部材を取り外してヘッドユニットの交
換を行い得られるようにしている。
た吐出すべき液体を機能液滴吐出ヘッドに供給するた
め、吐出装置に設けた給液タンクに連なる配管部材を機
能液滴吐出ヘッドの液体導入口に着脱自在に接続し、液
体導入口から配管部材を取り外してヘッドユニットの交
換を行い得られるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、機能液滴吐
出ヘッドには、これに形成した各吐出ノズルに液体を圧
送するポンプ部とポンプ部用の配線コネクタ部とが設け
られており、上記の如く機能液滴吐出ヘッドの液体導入
口に配管部材を着脱自在に接続すると、配管部材を取り
外したときに、配管部材からの液垂れで配線コネクタ部
に液体が付着し、故障の原因になることがある。
出ヘッドには、これに形成した各吐出ノズルに液体を圧
送するポンプ部とポンプ部用の配線コネクタ部とが設け
られており、上記の如く機能液滴吐出ヘッドの液体導入
口に配管部材を着脱自在に接続すると、配管部材を取り
外したときに、配管部材からの液垂れで配線コネクタ部
に液体が付着し、故障の原因になることがある。
【０００６】本発明は、以上の点に鑑み、機能液滴吐出
ヘッドの配線コネクタ部への液垂れを防止できるように
した吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出
装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の
製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造
方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの
製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金
属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法お
よび光拡散体形成方法を提供することをその課題として
いる。
ヘッドの配線コネクタ部への液垂れを防止できるように
した吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出
装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の
製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造
方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの
製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金
属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法お
よび光拡散体形成方法を提供することをその課題として
いる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の吐出装置用ヘッ
ドユニットは、ワークに対し相対移動するメインキャリ
ッジを備える吐出装置で使用するヘッドユニットであっ
て、メインキャリッジに着脱自在に保持されるサブキャ
リッジに機能液滴吐出ヘッドを搭載して成るものにおい
て、サブキャリッジの機能液滴吐出ヘッドから離間した
位置に、吐出装置に設けた給液タンクに連なる装置側配
管部材と機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側配管部材
とを接続する配管ジョイントを設けたことを特徴とす
る。
ドユニットは、ワークに対し相対移動するメインキャリ
ッジを備える吐出装置で使用するヘッドユニットであっ
て、メインキャリッジに着脱自在に保持されるサブキャ
リッジに機能液滴吐出ヘッドを搭載して成るものにおい
て、サブキャリッジの機能液滴吐出ヘッドから離間した
位置に、吐出装置に設けた給液タンクに連なる装置側配
管部材と機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側配管部材
とを接続する配管ジョイントを設けたことを特徴とす
る。
【０００８】上記の構成によれば、配管ジョイントにお
いて装置側配管部材を取り外すことによりヘッドユニッ
トを交換できる。そして、配管ジョイントは機能液滴吐
出ヘッドから離間しているため、配管部材からの液垂れ
を生じても機能液滴吐出ヘッドの配線コネクタ部に液体
が付着することはない。
いて装置側配管部材を取り外すことによりヘッドユニッ
トを交換できる。そして、配管ジョイントは機能液滴吐
出ヘッドから離間しているため、配管部材からの液垂れ
を生じても機能液滴吐出ヘッドの配線コネクタ部に液体
が付着することはない。
【０００９】また、配管ジョイントを機能液滴吐出ヘッ
ドが存在しないヘッドユニットのオープンスペース部分
に配置することで配管作業が行い易くなる。特に、配管
ジョイントを、一端部に管継手を介してヘッド側配管部
材を接続した、サブキャリッジに固定のソケットと、該
ソケットの他端部に形成したプラグ穴に抜差し自在に嵌
合する、装置側配管部材を接続したプラグとを備えるも
のに構成すれば、配管ジョイントに対する装置側配管部
材の着脱が容易になり、配管作業性が一層向上する。
ドが存在しないヘッドユニットのオープンスペース部分
に配置することで配管作業が行い易くなる。特に、配管
ジョイントを、一端部に管継手を介してヘッド側配管部
材を接続した、サブキャリッジに固定のソケットと、該
ソケットの他端部に形成したプラグ穴に抜差し自在に嵌
合する、装置側配管部材を接続したプラグとを備えるも
のに構成すれば、配管ジョイントに対する装置側配管部
材の着脱が容易になり、配管作業性が一層向上する。
【００１０】ここで、ソケットとプラグとを備える配管
ジョイントでは、プラグの先端にテーパを付けて、ソケ
ットにプラグを挿入し易くするが、このままではプラグ
穴の穴底面とプラグの先端との間に空隙が形成され、稼
働中に空隙からの気泡が機能液滴吐出ヘッドに流入し
て、吐出不良を生ずる可能性がある。この場合、プラグ
穴の穴底面を、プラグの先端のテーパに合わせたテーパ
面に形成しておけば、プラグ穴の穴底面とプラグの先端
との間に空隙が形成されず、また、プラグ穴の深さとプ
ラグの長さとの寸法公差でプラグ穴の穴底面とプラグの
先端との間に空隙が空いても、この空隙はプラグから流
出する液体の流線に向けてテーパ状に指向するため、吐
出装置の稼働前に行う機能液滴吐出ヘッドへの液体充填
工程で空隙から効率良く気泡が吸い出され、稼働中に空
隙からの気泡が機能液滴吐出ヘッドに流入することはな
い。
ジョイントでは、プラグの先端にテーパを付けて、ソケ
ットにプラグを挿入し易くするが、このままではプラグ
穴の穴底面とプラグの先端との間に空隙が形成され、稼
働中に空隙からの気泡が機能液滴吐出ヘッドに流入し
て、吐出不良を生ずる可能性がある。この場合、プラグ
穴の穴底面を、プラグの先端のテーパに合わせたテーパ
面に形成しておけば、プラグ穴の穴底面とプラグの先端
との間に空隙が形成されず、また、プラグ穴の深さとプ
ラグの長さとの寸法公差でプラグ穴の穴底面とプラグの
先端との間に空隙が空いても、この空隙はプラグから流
出する液体の流線に向けてテーパ状に指向するため、吐
出装置の稼働前に行う機能液滴吐出ヘッドへの液体充填
工程で空隙から効率良く気泡が吸い出され、稼働中に空
隙からの気泡が機能液滴吐出ヘッドに流入することはな
い。
【００１１】また、ソケットとプラグとの間のシール性
を向上させるため、プラグの外周に、プラグ穴に対する
シール用のＯリングを軸方向の間隔を存して複数装着す
ることが望ましい。
を向上させるため、プラグの外周に、プラグ穴に対する
シール用のＯリングを軸方向の間隔を存して複数装着す
ることが望ましい。
【００１２】本発明の吐出装置は、上記した吐出装置用
ヘッドユニットを備え、ワークである基板に対し、機能
液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査しなが
ら機能液滴を選択的に吐出することを特徴とする。
ヘッドユニットを備え、ワークである基板に対し、機能
液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査しなが
ら機能液滴を選択的に吐出することを特徴とする。
【００１３】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドへ
の配管材の繋ぎ込み等において、機能液滴吐出ヘッドの
配線コネクタ部への液垂れを防止でき、信頼性ある吐出
装置を提供することができる。
の配管材の繋ぎ込み等において、機能液滴吐出ヘッドの
配線コネクタ部への液垂れを防止でき、信頼性ある吐出
装置を提供することができる。
【００１４】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
した吐出装置を用い、カラーフィルタの基板上にフィル
タエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であっ
て、機能液滴吐出ヘッドにフィルタ材料を導入し、吐出
装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基
板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出
してフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
した吐出装置を用い、カラーフィルタの基板上にフィル
タエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であっ
て、機能液滴吐出ヘッドにフィルタ材料を導入し、吐出
装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基
板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出
してフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
【００１５】本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
した吐出装置を用い、基板上の絵素ピクセルにＥＬ発光
層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、機能液
滴吐出ヘッドに発光材料を導入し、吐出装置用ヘッドユ
ニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的
に走査し、発光材料を選択的に吐出してＥＬ発光層を形
成することを特徴とする。
した吐出装置を用い、基板上の絵素ピクセルにＥＬ発光
層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、機能液
滴吐出ヘッドに発光材料を導入し、吐出装置用ヘッドユ
ニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的
に走査し、発光材料を選択的に吐出してＥＬ発光層を形
成することを特徴とする。
【００１６】本発明の電子放出装置の製造方法は、上記
した吐出装置を用い、電極上に蛍光体を形成する電子放
出装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに蛍光
材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能
液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、蛍光材料
を選択的に吐出して蛍光体を形成することを特徴とす
る。
した吐出装置を用い、電極上に蛍光体を形成する電子放
出装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに蛍光
材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能
液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、蛍光材料
を選択的に吐出して蛍光体を形成することを特徴とす
る。
【００１７】本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記し
た吐出装置を用い、背面基板上の多数の凹部に蛍光体を
形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、機能液滴吐出
ヘッドに蛍光材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニット
を介して機能液滴吐出ヘッドを背面基板に対し相対的に
走査し、蛍光材料を選択的に吐出して蛍光体を形成する
ことを特徴とする。
た吐出装置を用い、背面基板上の多数の凹部に蛍光体を
形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、機能液滴吐出
ヘッドに蛍光材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニット
を介して機能液滴吐出ヘッドを背面基板に対し相対的に
走査し、蛍光材料を選択的に吐出して蛍光体を形成する
ことを特徴とする。
【００１８】本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、
上記した吐出装置を用い、電極上の凹部に泳動体を形成
する電気泳動表示装置の製造方法であって、機能液滴吐
出ヘッドに泳動体材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニ
ットを介して機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に
走査し、泳動体材料を選択的に吐出して泳動体を形成す
ることを特徴とする。
上記した吐出装置を用い、電極上の凹部に泳動体を形成
する電気泳動表示装置の製造方法であって、機能液滴吐
出ヘッドに泳動体材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニ
ットを介して機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に
走査し、泳動体材料を選択的に吐出して泳動体を形成す
ることを特徴とする。
【００１９】このように、上記の吐出装置を、液晶表示
装置の製造方法、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装
置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ（Plas
ma Display Panel）装置の製造方法および電気泳動表示
装置の製造方法に適用することにより、各製造方法にお
ける信頼性を向上させることができる。なお、液滴吐出
ヘッドの走査は、一般的には主走査および副走査となる
が、いわゆる１ラインを単一の液滴吐出ヘッドで構成す
る場合には、副走査のみとなる。また、電子放出装置
は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を
含む概念である。
装置の製造方法、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装
置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ（Plas
ma Display Panel）装置の製造方法および電気泳動表示
装置の製造方法に適用することにより、各製造方法にお
ける信頼性を向上させることができる。なお、液滴吐出
ヘッドの走査は、一般的には主走査および副走査となる
が、いわゆる１ラインを単一の液滴吐出ヘッドで構成す
る場合には、副走査のみとなる。また、電子放出装置
は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を
含む概念である。
【００２０】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記した吐出装置を用い、基板上にフィルタエレメントを
配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタ
の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドにフィルタ材
料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液
滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材
料を選択的に吐出してフィルタエレメントを形成するこ
とを特徴とする。この場合、フィルタエレメントを被覆
するオーバーコート膜が形成されており、フィルタエレ
メントを形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに透光性の
コーティング材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニット
を介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、コーティング材料を選択的に吐出してオーバーコー
ト膜を形成することが、好ましい。
記した吐出装置を用い、基板上にフィルタエレメントを
配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタ
の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドにフィルタ材
料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液
滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材
料を選択的に吐出してフィルタエレメントを形成するこ
とを特徴とする。この場合、フィルタエレメントを被覆
するオーバーコート膜が形成されており、フィルタエレ
メントを形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに透光性の
コーティング材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニット
を介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、コーティング材料を選択的に吐出してオーバーコー
ト膜を形成することが、好ましい。
【００２１】本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した
吐出装置を用い、ＥＬ発光層を含む絵素ピクセルを基板
上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、機能液
滴吐出ヘッドに発光材料を導入し、吐出装置用ヘッドユ
ニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的
に走査し、発光材料を選択的に吐出してＥＬ発光層を形
成することを特徴とする。この場合、ＥＬ発光層と基板
との間には、ＥＬ発光層に対応して画素電極が形成され
ており、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に
吐出して画素電極を形成することが、好ましい。この場
合、ＥＬ発光層を覆うように対向電極が形成されてお
り、ＥＬ発光層を形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに
液状電極材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介
して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
液状電極材料を選択的に吐出して対向電極を形成するこ
とが、好ましい。
吐出装置を用い、ＥＬ発光層を含む絵素ピクセルを基板
上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、機能液
滴吐出ヘッドに発光材料を導入し、吐出装置用ヘッドユ
ニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的
に走査し、発光材料を選択的に吐出してＥＬ発光層を形
成することを特徴とする。この場合、ＥＬ発光層と基板
との間には、ＥＬ発光層に対応して画素電極が形成され
ており、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に
吐出して画素電極を形成することが、好ましい。この場
合、ＥＬ発光層を覆うように対向電極が形成されてお
り、ＥＬ発光層を形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに
液状電極材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介
して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
液状電極材料を選択的に吐出して対向電極を形成するこ
とが、好ましい。
【００２２】本発明のスペーサ形成方法は、上記した吐
出装置を用い、２枚の基板間にセルギャップを構成すべ
く粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であっ
て、機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料
を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴
吐出ヘッドを少なくとも一方の基板に対し相対的に走査
し、粒子材料を選択的に吐出して基板上にスペーサを形
成することを特徴とする。
出装置を用い、２枚の基板間にセルギャップを構成すべ
く粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であっ
て、機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料
を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴
吐出ヘッドを少なくとも一方の基板に対し相対的に走査
し、粒子材料を選択的に吐出して基板上にスペーサを形
成することを特徴とする。
【００２３】本発明の金属配線形成方法は、上記した吐
出装置を用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形
成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を
導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐
出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料を
選択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とす
る。
出装置を用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形
成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を
導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐
出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料を
選択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とす
る。
【００２４】本発明のレンズ形成方法は、上記した吐出
装置を用い、基板上にマイクロレンズを形成するレンズ
形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を
導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐
出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ材料を選
択的に吐出してマイクロレンズを形成することを特徴と
する。
装置を用い、基板上にマイクロレンズを形成するレンズ
形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を
導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐
出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ材料を選
択的に吐出してマイクロレンズを形成することを特徴と
する。
【００２５】本発明のレジスト形成方法は、上記した吐
出装置を用い、基板上に任意形状のレジストを形成する
レジスト形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにレジ
スト材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して
機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レジ
スト材料を選択的に吐出してレジストを形成することを
特徴とする。
出装置を用い、基板上に任意形状のレジストを形成する
レジスト形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにレジ
スト材料を導入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して
機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レジ
スト材料を選択的に吐出してレジストを形成することを
特徴とする。
【００２６】本発明の光拡散体形成方法は、上記した吐
出装置を用い、基板上に光拡散体を形成する光拡散体形
成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導
入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐出
ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を選択
的に吐出して光拡散体を形成することを特徴とする。
出装置を用い、基板上に光拡散体を形成する光拡散体形
成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導
入し、吐出装置用ヘッドユニットを介して機能液滴吐出
ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を選択
的に吐出して光拡散体を形成することを特徴とする。
【００２７】このように、上記の吐出装置を、カラーフ
ィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成
方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形
成方法および光拡散体形成方法に適用することにより、
各製造方法における信頼性を向上させることができる。
ィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成
方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形
成方法および光拡散体形成方法に適用することにより、
各製造方法における信頼性を向上させることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施形態について説明する。本実施形態の吐出装
置は、いわゆるフラットディスプレイの一種である有機
ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、複数
の機能液滴吐出ヘッドを用い、その吐出ノズルから発光
材料等の機能液を吐出して（インクジェット方式）、有
機ＥＬ装置の発光機能を為す各画素のＥＬ発光層および
正孔注入層を形成するものである。
発明の実施形態について説明する。本実施形態の吐出装
置は、いわゆるフラットディスプレイの一種である有機
ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、複数
の機能液滴吐出ヘッドを用い、その吐出ノズルから発光
材料等の機能液を吐出して（インクジェット方式）、有
機ＥＬ装置の発光機能を為す各画素のＥＬ発光層および
正孔注入層を形成するものである。
【００２９】そこで、先ず有機ＥＬ装置の構造について
説明すると共にその製造方法（製造プロセス）について
説明する。そして次に、搭載した機能液滴吐出ヘッドを
走査する吐出装置とその周辺設備とから成る有機ＥＬ装
置の製造装置を、その製造方法と共に説明する。
説明すると共にその製造方法（製造プロセス）について
説明する。そして次に、搭載した機能液滴吐出ヘッドを
走査する吐出装置とその周辺設備とから成る有機ＥＬ装
置の製造装置を、その製造方法と共に説明する。
【００３０】図１ないし図１３は、有機ＥＬ素子を含む
有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表してい
る。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラズ
マ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層形
成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工程
と、封止工程とを具備して構成されている。
有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表してい
る。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラズ
マ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層形
成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工程
と、封止工程とを具備して構成されている。
【００３１】バンク部形成工程では、基板５０１に予め
形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極
ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａ
と有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口
部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このよ
うに、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無
機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク
層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含ま
れる。
形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極
ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａ
と有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口
部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このよ
うに、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無
機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク
層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含ま
れる。
【００３２】まず無機物バンク層５１２ａを形成する工
程では、回路素子部５０２の第２層間絶縁膜５４４ｂ上
及び画素電極５１１上に、その全面に亘って無機物バン
ク層５１２ａとなるＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜をＣ
ＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等によって形成
する。次にこの無機物膜をエッチング等によりパターニ
ングして、図１に示すように、電極５１１の電極面５１
１ａの形成位置に対応する下部開口部５１２ｃを設け
る。このとき、無機物バンク層５１２ａを電極５１１の
周縁部と重なるように形成しておく必要がある。このよ
うに、電極５１１の周縁部（一部）と無機物バンク層５
１２ａとが重なるように無機物バンク層５１２ａを形成
することにより、発光層５１０ｂ（図１０〜図１３参
照）の発光領域を制御することができる。
程では、回路素子部５０２の第２層間絶縁膜５４４ｂ上
及び画素電極５１１上に、その全面に亘って無機物バン
ク層５１２ａとなるＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜をＣ
ＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等によって形成
する。次にこの無機物膜をエッチング等によりパターニ
ングして、図１に示すように、電極５１１の電極面５１
１ａの形成位置に対応する下部開口部５１２ｃを設け
る。このとき、無機物バンク層５１２ａを電極５１１の
周縁部と重なるように形成しておく必要がある。このよ
うに、電極５１１の周縁部（一部）と無機物バンク層５
１２ａとが重なるように無機物バンク層５１２ａを形成
することにより、発光層５１０ｂ（図１０〜図１３参
照）の発光領域を制御することができる。
【００３３】次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工
程では、図２に示すように、無機物バンク層５１２ａ上
に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク層
５１２ｂをフォトリソグラフィー技術等によりエッチン
グして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄ
を形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及
び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
程では、図２に示すように、無機物バンク層５１２ａ上
に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク層
５１２ｂをフォトリソグラフィー技術等によりエッチン
グして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄ
を形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及
び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
【００３４】上部開口部５１２ｄは、図２に示すよう
に、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより
狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バン
ク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５
１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の
中央側に延出された形になる。このようにして、上部開
口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることに
より、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１
２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
に、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより
狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バン
ク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５
１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の
中央側に延出された形になる。このようにして、上部開
口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることに
より、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１
２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
【００３５】次に、プラズマ処理工程では、バンク部５
１２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親液性を示す
領域と、撥液性を示す領域を形成する。このプラズマ処
理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上面（５
１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電極５１
１の電極面５１１ａを親液性を有するように加工する親
液化工程と、有機物バンク層５１２ｂの上面５１２ｆ及
び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥液性を有するように
加工する撥液化工程と、冷却工程とに大別される。
１２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親液性を示す
領域と、撥液性を示す領域を形成する。このプラズマ処
理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上面（５
１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電極５１
１の電極面５１１ａを親液性を有するように加工する親
液化工程と、有機物バンク層５１２ｂの上面５１２ｆ及
び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥液性を有するように
加工する撥液化工程と、冷却工程とに大別される。
【００３６】まず、予備加熱工程では、バンク部５１２
を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、
例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付
け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱す
ることにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱
温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好まし
い。
を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、
例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付
け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱す
ることにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱
温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好まし
い。
【００３７】次に、親液化工程では、大気雰囲気中で酸
素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ処理）
を行う。このＯ2プラズマ処理により、図３に示すよう
に、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物バンク層
５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バンク層５１
２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面５１２ｆ
が親液処理される。この親液処理により、これらの各面
に水酸基が導入されて親液性が付与される。図３では、
親液処理された部分を一点鎖線で示している。
素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ処理）
を行う。このＯ2プラズマ処理により、図３に示すよう
に、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物バンク層
５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バンク層５１
２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面５１２ｆ
が親液処理される。この親液処理により、これらの各面
に水酸基が導入されて親液性が付与される。図３では、
親液処理された部分を一点鎖線で示している。
【００３８】次に、撥液化工程では、大気雰囲気中で４
フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（ＣＦ4プ
ラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、図４
に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機物バン
ク層の上面５１２ｆが撥液処理される。この撥液処理に
より、これらの各面にフッ素基が導入されて撥液性が付
与される。図４では、撥液性を示す領域を二点鎖線で示
している。
フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（ＣＦ4プ
ラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、図４
に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機物バン
ク層の上面５１２ｆが撥液処理される。この撥液処理に
より、これらの各面にフッ素基が導入されて撥液性が付
与される。図４では、撥液性を示す領域を二点鎖線で示
している。
【００３９】次に、冷却工程では、プラズマ処理のため
に加熱された基板５０１を室温、または液滴吐出工程の
管理温度まで冷却する。プラズマ処理後の基板５０１を
室温、または所定の温度（例えば液滴吐出工程を行う管
理温度）まで冷却することにより、次の正孔注入／輸送
層形成工程を一定の温度で行うことができる。
に加熱された基板５０１を室温、または液滴吐出工程の
管理温度まで冷却する。プラズマ処理後の基板５０１を
室温、または所定の温度（例えば液滴吐出工程を行う管
理温度）まで冷却することにより、次の正孔注入／輸送
層形成工程を一定の温度で行うことができる。
【００４０】次に、発光素子形成工程では、画素電極５
１１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することに
より発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つ
の工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成する
ための第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液
滴吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて
前記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入
／輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成
物を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出
工程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正
孔注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程と
が含まれる。
１１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することに
より発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つ
の工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成する
ための第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液
滴吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて
前記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入
／輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成
物を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出
工程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正
孔注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程と
が含まれる。
【００４１】まず、第１液滴吐出工程では、液滴吐出法
により、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を
電極面５１１ａ上に吐出する。なお、この第１液滴吐出
工程以降は、水、酸素の無い窒素雰囲気、アルゴン雰囲
気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。（な
お、画素電極上にのみ正孔注入／輸送層を形成する場合
は、有機物バンク層に隣接して形成される正孔注入／輸
送層は形成されない）
により、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を
電極面５１１ａ上に吐出する。なお、この第１液滴吐出
工程以降は、水、酸素の無い窒素雰囲気、アルゴン雰囲
気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。（な
お、画素電極上にのみ正孔注入／輸送層を形成する場合
は、有機物バンク層に隣接して形成される正孔注入／輸
送層は形成されない）
【００４２】図５に示すように、機能液滴吐出ヘッドＨ
に正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を充填
し、機能液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを下部開口部５
１２ｃ内に位置する電極面５１１ａに対向させ、機能液
滴吐出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、
吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第１組成
物滴５１０ｃを電極面５１１ａ上に吐出する。
に正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を充填
し、機能液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを下部開口部５
１２ｃ内に位置する電極面５１１ａに対向させ、機能液
滴吐出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、
吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第１組成
物滴５１０ｃを電極面５１１ａ上に吐出する。
【００４３】ここで用いる第１組成物としては、例え
ば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリ
チオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の
混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることが
できる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアル
コール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクト
ン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−
２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト
−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグ
リコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正
孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１
０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変え
ても良い。
ば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリ
チオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の
混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることが
できる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアル
コール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクト
ン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−
２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト
−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグ
リコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正
孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１
０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変え
ても良い。
【００４４】図５に示すように、吐出された第１組成物
滴５１０ｃは、親液処理された電極面５１１ａ及び第１
積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５１２
ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に吐出
する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、５１
２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層の厚
さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃度等
により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは１回
のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上に吐
出しても良い。
滴５１０ｃは、親液処理された電極面５１１ａ及び第１
積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５１２
ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に吐出
する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、５１
２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層の厚
さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃度等
により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは１回
のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上に吐
出しても良い。
【００４５】次に正孔注入／輸送層形成工程では、図６
に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱処
理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させること
により、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０ａ
を形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０ｃ
に含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５１
２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起き、
極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料が濃
縮されて析出する。そして、電極面５１１ａ上でも極性
溶媒の蒸発が起き、これにより電極面５１１ａ上に正孔
注入／輸送層形成材料からなる平坦部５１０ａが形成さ
れる。電極面５１１ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ
均一であるため、正孔注入／輸送層の形成材料が電極面
５１１ａ上で均一に濃縮され、これにより均一な厚さの
平坦部５１０ａが形成される。
に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱処
理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させること
により、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０ａ
を形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０ｃ
に含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５１
２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起き、
極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料が濃
縮されて析出する。そして、電極面５１１ａ上でも極性
溶媒の蒸発が起き、これにより電極面５１１ａ上に正孔
注入／輸送層形成材料からなる平坦部５１０ａが形成さ
れる。電極面５１１ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ
均一であるため、正孔注入／輸送層の形成材料が電極面
５１１ａ上で均一に濃縮され、これにより均一な厚さの
平坦部５１０ａが形成される。
【００４６】次に第２液滴吐出工程では、液滴吐出法に
より、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸
送層５１０ａ上に吐出する。この第２液滴吐出工程で
は、正孔注入／輸送層５１０ａの再溶解を防止するため
に、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、
正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶な非極性溶媒を
用いる。
より、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸
送層５１０ａ上に吐出する。この第２液滴吐出工程で
は、正孔注入／輸送層５１０ａの再溶解を防止するため
に、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、
正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶な非極性溶媒を
用いる。
【００４７】しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０
ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶
媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐
出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂ
とを密着させることができなくなるか、あるいは発光層
５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、
非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／
輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層
を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶
媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐
出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂ
とを密着させることができなくなるか、あるいは発光層
５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、
非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／
輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層
を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
【００４８】そこでまず、表面改質工程について説明す
る。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第２組成
物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒であ
る表面改質用溶媒を、液滴吐出法、スピンコート法また
はディップ法により正孔注入／輸送層５１０ａ上に塗布
した後に乾燥することにより行う。
る。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第２組成
物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒であ
る表面改質用溶媒を、液滴吐出法、スピンコート法また
はディップ法により正孔注入／輸送層５１０ａ上に塗布
した後に乾燥することにより行う。
【００４９】例えば、液滴吐出法による塗布は、図７に
示すように、機能液滴吐出ヘッドＨに、表面改質用溶媒
を充填し、機能液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを基板
（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形成された基
板）に対向させ、機能液滴吐出ヘッドＨと基板５０１と
を相対移動させながら、吐出ノズルＨから表面改質用溶
媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出するこ
とにより行う。そして、図８に示すように、表面改質用
溶媒５１０ｄを乾燥させる。
示すように、機能液滴吐出ヘッドＨに、表面改質用溶媒
を充填し、機能液滴吐出ヘッドＨの吐出ノズルを基板
（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形成された基
板）に対向させ、機能液滴吐出ヘッドＨと基板５０１と
を相対移動させながら、吐出ノズルＨから表面改質用溶
媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出するこ
とにより行う。そして、図８に示すように、表面改質用
溶媒５１０ｄを乾燥させる。
【００５０】次に、第２液滴吐出工程では、液滴吐出法
により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／
輸送層５１０ａ上に吐出する。図９に示すように、機能
液滴吐出ヘッドＨに、青色（Ｂ）発光層形成材料を含有
する第２組成物を充填し、機能液滴吐出ヘッドＨの吐出
ノズルを下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置
する正孔注入／輸送層５１０ａに対向させ、機能液滴吐
出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出
ノズルから１滴当たりの液量が制御された第２組成物滴
５１０ｅとして吐出し、この第２組成物滴５１０ｅを正
孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。
により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／
輸送層５１０ａ上に吐出する。図９に示すように、機能
液滴吐出ヘッドＨに、青色（Ｂ）発光層形成材料を含有
する第２組成物を充填し、機能液滴吐出ヘッドＨの吐出
ノズルを下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置
する正孔注入／輸送層５１０ａに対向させ、機能液滴吐
出ヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出
ノズルから１滴当たりの液量が制御された第２組成物滴
５１０ｅとして吐出し、この第２組成物滴５１０ｅを正
孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。
【００５１】発光層形成材料としては、ポリフルオレン
系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン
系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機
ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブ
レン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、
テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン
６、キナクリドン等をドープすることにより用いること
ができる。
系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン
系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機
ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブ
レン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、
テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン
６、キナクリドン等をドープすることにより用いること
ができる。
【００５２】非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５
１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロ
へキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチ
ルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることがで
きる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組
成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを
再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロ
へキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチ
ルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることがで
きる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組
成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを
再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【００５３】図９に示すように、吐出された第２組成物
５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって下
部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。第
２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同一
の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。この
場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、各
回毎に第２組成物量を変えても良い。
５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって下
部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。第
２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同一
の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。この
場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、各
回毎に第２組成物量を変えても良い。
【００５４】次に発光層形成工程では、第２組成物を吐
出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸
送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理
は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２
組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図１０に示す
ような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸
送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理
は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２
組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図１０に示す
ような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
【００５５】続けて、図１１に示すように、青色（Ｂ）
発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層
５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを
形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の
順序に限られるものではなく、どのような順番で形成し
ても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順
番を決める事も可能である。
発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層
５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを
形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の
順序に限られるものではなく、どのような順番で形成し
ても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順
番を決める事も可能である。
【００５６】次に対向電極形成工程では、図１２に示す
ように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの
全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極
５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例え
ば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成す
ることが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが
可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く
形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）
には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これ
らの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ
法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法
で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防
止できる点で好ましい。
ように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの
全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極
５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例え
ば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成す
ることが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが
可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く
形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）
には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これ
らの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ
法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法
で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防
止できる点で好ましい。
【００５７】また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ
上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０
ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）
発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、
ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとな
る。また陰極５０３の上部には、蒸着法、スパッタ法、
ＣＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いるこ
とが好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のため
にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０
ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）
発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、
ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとな
る。また陰極５０３の上部には、蒸着法、スパッタ法、
ＣＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いるこ
とが好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のため
にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
【００５８】最後に、図１３に示す封止工程では、窒
素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有
機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封
止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰
囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０
３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部
分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が
酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後
に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続すると
ともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続する
ことにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られ
る。
素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有
機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封
止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰
囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０
３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部
分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が
酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後
に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続すると
ともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続する
ことにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られ
る。
【００５９】なお、上記の撥液膜、陰極５０３、画素電
極５１１等においても、それぞれ液体材料を用い、液滴
吐出法で形成するようにしてもよい。
極５１１等においても、それぞれ液体材料を用い、液滴
吐出法で形成するようにしてもよい。
【００６０】次に、有機ＥＬ装置の製造装置について説
明する。上述したように有機ＥＬ装置の製造プロセスに
おいて、正孔注入／輸送層（正孔注入層）を形成する正
孔注入／輸送層形成工程（第１液滴吐出工程＋乾燥工
程）と、表面改質工程と、発光層を形成する発光層形成
工程（第２液滴吐出工程＋乾燥工程）とは、機能液滴吐
出ヘッドを用いた液滴吐出法で行われる。これに対応
し、本実施形態の有機ＥＬ装置の製造装置では、機能液
滴吐出ヘッドを、発光機能材料を吐出させながら走査す
る吐出装置が用いられている。
明する。上述したように有機ＥＬ装置の製造プロセスに
おいて、正孔注入／輸送層（正孔注入層）を形成する正
孔注入／輸送層形成工程（第１液滴吐出工程＋乾燥工
程）と、表面改質工程と、発光層を形成する発光層形成
工程（第２液滴吐出工程＋乾燥工程）とは、機能液滴吐
出ヘッドを用いた液滴吐出法で行われる。これに対応
し、本実施形態の有機ＥＬ装置の製造装置では、機能液
滴吐出ヘッドを、発光機能材料を吐出させながら走査す
る吐出装置が用いられている。
【００６１】より具体的には、図１４に示すように、正
孔注入／輸送層形成工程（必要な場合には表面改質工程
を含む）を行う正孔注入層形成設備Ａは、第１液滴（発
光機能材料：正孔注入層材料）を導入する機能液滴吐出
ヘッドを搭載した上記の吐出装置１ａと、乾燥装置２ａ
と、基板搬送装置３ａとを備えており、且つこれらを収
容するチャンバ装置４ａを備えている。上述したよう
に、正孔注入／輸送層形成工程は不活性ガスの雰囲気中
で行うことが好ましく、その手段としてチャンバ装置４
ａが設けられている。
孔注入／輸送層形成工程（必要な場合には表面改質工程
を含む）を行う正孔注入層形成設備Ａは、第１液滴（発
光機能材料：正孔注入層材料）を導入する機能液滴吐出
ヘッドを搭載した上記の吐出装置１ａと、乾燥装置２ａ
と、基板搬送装置３ａとを備えており、且つこれらを収
容するチャンバ装置４ａを備えている。上述したよう
に、正孔注入／輸送層形成工程は不活性ガスの雰囲気中
で行うことが好ましく、その手段としてチャンバ装置４
ａが設けられている。
【００６２】チャンバ装置４ａは、吐出装置１ａを収容
する主チャンバ４ａａと、乾燥装置２ａおよび基板搬送
装置３ａを収容すると共にこれらの連結部分（搬送路）
をトンネル状に収容する副チャンバ４ａｂとで構成され
ている。主チャンバ４ａａは、不活性ガスを連続的に流
して良好な雰囲気を構成する方式を採用しており（詳細
は後述する）、副チャンバ４ａｂは、不活性ガスを循環
させて良好な雰囲気を構成する方式を採用している。な
お、図中の符号５は、基板移載装置である。
する主チャンバ４ａａと、乾燥装置２ａおよび基板搬送
装置３ａを収容すると共にこれらの連結部分（搬送路）
をトンネル状に収容する副チャンバ４ａｂとで構成され
ている。主チャンバ４ａａは、不活性ガスを連続的に流
して良好な雰囲気を構成する方式を採用しており（詳細
は後述する）、副チャンバ４ａｂは、不活性ガスを循環
させて良好な雰囲気を構成する方式を採用している。な
お、図中の符号５は、基板移載装置である。
【００６３】同様に、図１５に示すように、発光層形成
工程を行う発光層形成設備Ｂは、第２液滴（発光機能材
料：Ｒ・Ｇ・Ｂ発光層材料）を導入する機能液滴吐出ヘ
ッドを搭載した上記の吐出装置１ｂと、乾燥装置２ｂ
と、基板搬送装置３ｂとを色別に３組備えており、且つ
これらを収容するチャンバ装置４ｂを３組備えている。
上記と同様に、発光層形成工程は不活性ガスの雰囲気中
で行うことが好ましく、その手段としてチャンバ装置４
ｂが設けられている。そして、この場合のチャンバ装置
４ｂも、各吐出装置１ｂを収容する３つの主チャンバ４
ｂａと、各乾燥装置２ｂおよび各基板搬送装置３ｂを収
容すると共にこれらの連結部分（搬送路）をトンネル状
に収容する３つの副チャンバ４ｂｂとで構成されてい
る。
工程を行う発光層形成設備Ｂは、第２液滴（発光機能材
料：Ｒ・Ｇ・Ｂ発光層材料）を導入する機能液滴吐出ヘ
ッドを搭載した上記の吐出装置１ｂと、乾燥装置２ｂ
と、基板搬送装置３ｂとを色別に３組備えており、且つ
これらを収容するチャンバ装置４ｂを３組備えている。
上記と同様に、発光層形成工程は不活性ガスの雰囲気中
で行うことが好ましく、その手段としてチャンバ装置４
ｂが設けられている。そして、この場合のチャンバ装置
４ｂも、各吐出装置１ｂを収容する３つの主チャンバ４
ｂａと、各乾燥装置２ｂおよび各基板搬送装置３ｂを収
容すると共にこれらの連結部分（搬送路）をトンネル状
に収容する３つの副チャンバ４ｂｂとで構成されてい
る。
【００６４】正孔注入層形成設備Ａの吐出装置１ａおよ
び発光層形成設備Ｂの各吐出装置１ｂは、それぞれの機
能液滴吐出ヘッドに導入する液体材料が異なるだけで、
同一の構造を有している。また、各乾燥装置２ａ，２
ｂ、各基板搬送装置３ａ，３ｂおよび各チャンバ装置４
ａ，４ｂも、同一もしくは同様の構造を有している。し
たがって、機能液滴吐出ヘッドの交換や、発光機能材料
の供給系の交換における手間を無視すれば、任意の１組
の設備（吐出装置１、乾燥装置２、基板搬送装３および
チャンバ装置４）で、有機ＥＬ装置の製造は可能であ
る。
び発光層形成設備Ｂの各吐出装置１ｂは、それぞれの機
能液滴吐出ヘッドに導入する液体材料が異なるだけで、
同一の構造を有している。また、各乾燥装置２ａ，２
ｂ、各基板搬送装置３ａ，３ｂおよび各チャンバ装置４
ａ，４ｂも、同一もしくは同様の構造を有している。し
たがって、機能液滴吐出ヘッドの交換や、発光機能材料
の供給系の交換における手間を無視すれば、任意の１組
の設備（吐出装置１、乾燥装置２、基板搬送装３および
チャンバ装置４）で、有機ＥＬ装置の製造は可能であ
る。
【００６５】そこで、本実施形態では、図１５における
左端の１組の設備、すなわちＢ色の発光層を形成する吐
出装置１ｂ、乾燥装置２ｂ、基板搬送装３ｂおよびチャ
ンバ装置４ｂを例に、各構成装置を説明し、他の設備の
説明は省略する。
左端の１組の設備、すなわちＢ色の発光層を形成する吐
出装置１ｂ、乾燥装置２ｂ、基板搬送装３ｂおよびチャ
ンバ装置４ｂを例に、各構成装置を説明し、他の設備の
説明は省略する。
【００６６】図外の装置により、上記のバンク部形成工
程およびプラズマ処理工程を経た基板は、図１５の左端
に位置する基板移載装置５から基板搬送装置３（３ｂ）
に搬送され、ここで方向および姿勢転換されて吐出装置
１（１ｂ）に搬送される。基板搬送装置３（３ｂ）から
吐出装置１（１ｂ）に受け渡され基板は、吐出装置１
（１ｂ）にセットされる。吐出装置１（１ｂ）では、そ
の機能液滴吐出ヘッドにより、基板の多数の画素領域
（開口部５１２ｇ）にＢ色の発光材料（液滴）が吐出さ
れる（第２液滴吐出工程）。
程およびプラズマ処理工程を経た基板は、図１５の左端
に位置する基板移載装置５から基板搬送装置３（３ｂ）
に搬送され、ここで方向および姿勢転換されて吐出装置
１（１ｂ）に搬送される。基板搬送装置３（３ｂ）から
吐出装置１（１ｂ）に受け渡され基板は、吐出装置１
（１ｂ）にセットされる。吐出装置１（１ｂ）では、そ
の機能液滴吐出ヘッドにより、基板の多数の画素領域
（開口部５１２ｇ）にＢ色の発光材料（液滴）が吐出さ
れる（第２液滴吐出工程）。
【００６７】次に、発光材料が塗着した基板は、吐出装
置１（１ｂ）から基板搬送装置３（３ｂ）に受け渡さ
れ、基板搬送装置３（３ｂ）により乾燥装置２（２ｂ）
に導入される。乾燥装置２（２ｂ）では、基板を所定時
間、高温の不活性ガスの雰囲気に曝して、発光材料中の
溶剤を気化させる（乾燥工程）。ここで再度、基板を吐
出装置１（１ｂ）に導入し第２液滴吐出工程が行われ
る。すなわち、この第２液滴吐出工程と乾燥工程とが複
数回繰り返され、発光層が所望の膜厚になったところ
で、基板は基板搬送装置３（３ｂ）を経て、Ｒ色の発光
層を形成すべく中間の吐出装置１（１ｂ）に搬送され、
最後に、Ｇ色の発光層を形成すべく右端の吐出装置１
（１ｂ）に搬送される。そして、これらの作業は、上記
のチャンバ装置４（４ｂ）内の不活性ガスの雰囲気中で
行われる。なお、Ｂ・Ｒ・Ｇの各色発光層の形成のため
の作業順は、任意である。
置１（１ｂ）から基板搬送装置３（３ｂ）に受け渡さ
れ、基板搬送装置３（３ｂ）により乾燥装置２（２ｂ）
に導入される。乾燥装置２（２ｂ）では、基板を所定時
間、高温の不活性ガスの雰囲気に曝して、発光材料中の
溶剤を気化させる（乾燥工程）。ここで再度、基板を吐
出装置１（１ｂ）に導入し第２液滴吐出工程が行われ
る。すなわち、この第２液滴吐出工程と乾燥工程とが複
数回繰り返され、発光層が所望の膜厚になったところ
で、基板は基板搬送装置３（３ｂ）を経て、Ｒ色の発光
層を形成すべく中間の吐出装置１（１ｂ）に搬送され、
最後に、Ｇ色の発光層を形成すべく右端の吐出装置１
（１ｂ）に搬送される。そして、これらの作業は、上記
のチャンバ装置４（４ｂ）内の不活性ガスの雰囲気中で
行われる。なお、Ｂ・Ｒ・Ｇの各色発光層の形成のため
の作業順は、任意である。
【００６８】なお、乾燥装置２および基板搬送装置３の
詳細な説明は省略するが、例えば乾燥装置２であれば、
不活性ガスを吹き付けるブロー乾燥や真空乾燥の他、ホ
ットプレートを用いるもの或いはランプ（赤外線ラン
プ）を用いるもの等が、好ましい。そして、乾燥温度
は、４０℃±２℃〜２００℃±２℃とすることが、好ま
しい。
詳細な説明は省略するが、例えば乾燥装置２であれば、
不活性ガスを吹き付けるブロー乾燥や真空乾燥の他、ホ
ットプレートを用いるもの或いはランプ（赤外線ラン
プ）を用いるもの等が、好ましい。そして、乾燥温度
は、４０℃±２℃〜２００℃±２℃とすることが、好ま
しい。
【００６９】次に、吐出装置１について詳細に説明す
る。吐出装置１は、図１６ないし図１９に示すように、
液滴吐出装置（液滴吐出手段）１０と、その付帯装置１
１とを備えている。付帯装置１１は、液滴吐出装置１０
に液体材料を供給すると共に不要となった液体を回収す
る液体供給回収装置１３、各構成部品への駆動・制御用
等の圧縮エアーを供給するエアー供給装置１４、エアー
を吸引する真空吸引装置１５および機能液滴吐出ヘッド
７のメンテナンスに供するメンテナンス装置１６等を備
えている。
る。吐出装置１は、図１６ないし図１９に示すように、
液滴吐出装置（液滴吐出手段）１０と、その付帯装置１
１とを備えている。付帯装置１１は、液滴吐出装置１０
に液体材料を供給すると共に不要となった液体を回収す
る液体供給回収装置１３、各構成部品への駆動・制御用
等の圧縮エアーを供給するエアー供給装置１４、エアー
を吸引する真空吸引装置１５および機能液滴吐出ヘッド
７のメンテナンスに供するメンテナンス装置１６等を備
えている。
【００７０】液滴吐出装置１０は、床上に設置した架台
２１と、架台２１上に設置した石定盤２２と、石定盤２
２上に設置したＸ軸テーブル２３およびこれに直交する
Ｙ軸テーブル２４と、Ｙ軸テーブル２４に吊設するよう
に設けたメインキャリッジ２５と、このメインキャリッ
ジ２５に保持されたヘッドユニット２６とを有してい
る。詳細は後述するが、ヘッドユニット２６には複数の
機能液滴吐出ヘッド７が設けられている。また、この複
数の機能液滴吐出ヘッド７に対応して、Ｘ軸テーブル２
３の吸着テーブル８１上に基板（ワーク）Ｗがセットさ
れるようになっている。
２１と、架台２１上に設置した石定盤２２と、石定盤２
２上に設置したＸ軸テーブル２３およびこれに直交する
Ｙ軸テーブル２４と、Ｙ軸テーブル２４に吊設するよう
に設けたメインキャリッジ２５と、このメインキャリッ
ジ２５に保持されたヘッドユニット２６とを有してい
る。詳細は後述するが、ヘッドユニット２６には複数の
機能液滴吐出ヘッド７が設けられている。また、この複
数の機能液滴吐出ヘッド７に対応して、Ｘ軸テーブル２
３の吸着テーブル８１上に基板（ワーク）Ｗがセットさ
れるようになっている。
【００７１】本実施形態の液滴吐出装置１０では、機能
液滴吐出ヘッド７の駆動（液滴の選択的吐出）に同期し
て基板Ｗが移動する構成であり、機能液滴吐出ヘッド７
のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２３のＸ軸方向への
往復の両動作により行われる。また、これに対応して、
いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２４により機能液滴吐
出ヘッド７のＹ軸方向への往動動作により行われる。な
お、上記の主走査をＸ軸方向への往動（または復動）動
作のみで行うようにしてもよい。
液滴吐出ヘッド７の駆動（液滴の選択的吐出）に同期し
て基板Ｗが移動する構成であり、機能液滴吐出ヘッド７
のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２３のＸ軸方向への
往復の両動作により行われる。また、これに対応して、
いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２４により機能液滴吐
出ヘッド７のＹ軸方向への往動動作により行われる。な
お、上記の主走査をＸ軸方向への往動（または復動）動
作のみで行うようにしてもよい。
【００７２】一方、ヘッドユニット２６のホーム位置
は、図１７および図１９における図示左端位置となって
おり、且つ、この液滴吐出装置１０の左方からヘッドユ
ニット２６の運び込み或いは交換が行われる（詳細は後
述する）。また、図示の手前側には、上記の基板搬送装
置３が臨んでおり、基板Ｗはこの手前側から搬入・搬出
される。そして、この液滴吐出装置１０の図示右側に
は、上記付帯装置１１の主な構成装置が、一体的に添設
されている。
は、図１７および図１９における図示左端位置となって
おり、且つ、この液滴吐出装置１０の左方からヘッドユ
ニット２６の運び込み或いは交換が行われる（詳細は後
述する）。また、図示の手前側には、上記の基板搬送装
置３が臨んでおり、基板Ｗはこの手前側から搬入・搬出
される。そして、この液滴吐出装置１０の図示右側に
は、上記付帯装置１１の主な構成装置が、一体的に添設
されている。
【００７３】付帯装置１１は、キャビネット形式の共通
機台３１と、共通機台３１内の一方の半部に収容した上
記のエアー供給装置１４および真空吸引装置１５と、共
通機台３１内の一方の半部に主要装置を収容した上記の
液体供給回収装置１３と、共通機台３１上に主要装置を
収容した上記メンテナンス装置１６とを備えている。
機台３１と、共通機台３１内の一方の半部に収容した上
記のエアー供給装置１４および真空吸引装置１５と、共
通機台３１内の一方の半部に主要装置を収容した上記の
液体供給回収装置１３と、共通機台３１上に主要装置を
収容した上記メンテナンス装置１６とを備えている。
【００７４】メンテナンス装置１６は、機能液滴吐出ヘ
ッド７の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの液
体の捨て吐出）を受けるフラッシングユニット３３と、
機能液滴吐出ヘッド７の吸引および保管を行うクリーニ
ングユニット３４と、機能液滴吐出ヘッド７のノズル形
成面をワイピングするワイピングユニット３５とを有し
ている。そして、クリーニングユニット３４およびワイ
ピングユニット３５は、上記の共通機台３１上に配設さ
れている。
ッド７の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの液
体の捨て吐出）を受けるフラッシングユニット３３と、
機能液滴吐出ヘッド７の吸引および保管を行うクリーニ
ングユニット３４と、機能液滴吐出ヘッド７のノズル形
成面をワイピングするワイピングユニット３５とを有し
ている。そして、クリーニングユニット３４およびワイ
ピングユニット３５は、上記の共通機台３１上に配設さ
れている。
【００７５】一方、主チャンバ４は、図１４および図１
５に示すように、チャンバルーム３７に、電気室３８お
よび機械室３９を併設した、いわゆるクリーンルームの
形態を有している。チャンバルーム３７には、不活性ガ
スである窒素ガスが導入され、これに収容した上記の液
滴吐出装置１０および付帯装置１１は、全体として窒素
ガスの雰囲気に曝され、窒素ガスの雰囲気中で稼動す
る。
５に示すように、チャンバルーム３７に、電気室３８お
よび機械室３９を併設した、いわゆるクリーンルームの
形態を有している。チャンバルーム３７には、不活性ガ
スである窒素ガスが導入され、これに収容した上記の液
滴吐出装置１０および付帯装置１１は、全体として窒素
ガスの雰囲気に曝され、窒素ガスの雰囲気中で稼動す
る。
【００７６】ここで、図２０の模式図を参照して、窒素
ガスの雰囲気中で稼動する吐出装置１の一連の動作を簡
単に説明する。先ず、準備段階として、ヘッドユニット
２６が液滴吐出装置１０に運び込まれ、これがメインキ
ャリッジ２５にセットされる。ヘッドユニット２６がメ
インキャリッジ２５にセットされると、Ｙ軸テーブル２
４がヘッドユニット２６を、図外のヘッド認識カメラの
位置に移動させ、ヘッド認識カメラによりヘッドユニッ
ト２６が位置認識される。ここで、この認識結果に基づ
いて、ヘッドユニット２６がθ補正され、且つ、ヘッド
ユニット２６のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデ
ータ上で行われる。位置補正後、ヘッドユニット（メイ
ンキャリッジ２５）２６はホーム位置に戻る。
ガスの雰囲気中で稼動する吐出装置１の一連の動作を簡
単に説明する。先ず、準備段階として、ヘッドユニット
２６が液滴吐出装置１０に運び込まれ、これがメインキ
ャリッジ２５にセットされる。ヘッドユニット２６がメ
インキャリッジ２５にセットされると、Ｙ軸テーブル２
４がヘッドユニット２６を、図外のヘッド認識カメラの
位置に移動させ、ヘッド認識カメラによりヘッドユニッ
ト２６が位置認識される。ここで、この認識結果に基づ
いて、ヘッドユニット２６がθ補正され、且つ、ヘッド
ユニット２６のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデ
ータ上で行われる。位置補正後、ヘッドユニット（メイ
ンキャリッジ２５）２６はホーム位置に戻る。
【００７７】一方、Ｘ軸テーブル２３の吸着テーブル８
１上に基板（この場合は、導入される基板毎）Ｗが導入
されると、この位置（受渡し位置）で後述する主基板認
識カメラ９０が基板を位置認識する。ここで、この認識
結果に基づいて、基板Ｗがθ補正され、且つ、基板Ｗの
Ｘ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われ
る。位置補正後、基板（吸着テーブル８１）Ｗはホーム
位置に戻る。なお、Ｘ軸およびＹ軸テーブル２３，２４
の初期調整時（いわゆる通り出し）には、吸着テーブル
８１上にアライメントマスクを導入し、後述する副基板
認識カメラ１０８により初期調整を行う。
１上に基板（この場合は、導入される基板毎）Ｗが導入
されると、この位置（受渡し位置）で後述する主基板認
識カメラ９０が基板を位置認識する。ここで、この認識
結果に基づいて、基板Ｗがθ補正され、且つ、基板Ｗの
Ｘ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行われ
る。位置補正後、基板（吸着テーブル８１）Ｗはホーム
位置に戻る。なお、Ｘ軸およびＹ軸テーブル２３，２４
の初期調整時（いわゆる通り出し）には、吸着テーブル
８１上にアライメントマスクを導入し、後述する副基板
認識カメラ１０８により初期調整を行う。
【００７８】このようにして準備が完了すると、実際の
液滴吐出作業では、先ずＸ軸テーブル２３が駆動し、基
板Ｗを主走査方向に往復動させると共に複数の機能液滴
吐出ヘッド７を駆動して、機能液滴の基板Ｗへの選択的
な吐出動作が行われる。基板Ｗが復動した後、こんどは
Ｙ軸テーブル２４が駆動し、ヘッドユニット２６を１ピ
ッチ分、副走査方向に移動させ、再度基板Ｗの主走査方
向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド７の駆動が行われ
る。そしてこれを、数回繰り返すことで、基板Ｗの端か
ら端まで（全領域）液滴吐出が行われる。
液滴吐出作業では、先ずＸ軸テーブル２３が駆動し、基
板Ｗを主走査方向に往復動させると共に複数の機能液滴
吐出ヘッド７を駆動して、機能液滴の基板Ｗへの選択的
な吐出動作が行われる。基板Ｗが復動した後、こんどは
Ｙ軸テーブル２４が駆動し、ヘッドユニット２６を１ピ
ッチ分、副走査方向に移動させ、再度基板Ｗの主走査方
向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド７の駆動が行われ
る。そしてこれを、数回繰り返すことで、基板Ｗの端か
ら端まで（全領域）液滴吐出が行われる。
【００７９】なお、本実施形態では、ヘッドユニット２
６に対し、その吐出対象ワークである基板Ｗを主走査方
向（Ｘ軸方向）に移動させるようにしているが、ヘッド
ユニット２６を主走査方向に移動させる構成であっても
よい。また、ヘッドユニット２６を固定とし、基板Ｗを
主走査方向および副走査方向に移動させる構成であって
もよい。
６に対し、その吐出対象ワークである基板Ｗを主走査方
向（Ｘ軸方向）に移動させるようにしているが、ヘッド
ユニット２６を主走査方向に移動させる構成であっても
よい。また、ヘッドユニット２６を固定とし、基板Ｗを
主走査方向および副走査方向に移動させる構成であって
もよい。
【００８０】次に、上記した液滴吐出装置１０および付
帯装置１１について、順を追って説明するが、その前
に、理解を容易にすべく、液滴吐出装置１０の主要部と
なるヘッドユニット２６について詳細に説明する。
帯装置１１について、順を追って説明するが、その前
に、理解を容易にすべく、液滴吐出装置１０の主要部と
なるヘッドユニット２６について詳細に説明する。
【００８１】図２１ないし図２３は、ヘッドユニットの
構造図である。これらの図に示すように、ヘッドユニッ
ト２６は、サブキャリッジ４１と、サブキャリッジ４１
に搭載した複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド７
と、各機能液滴吐出ヘッド７をサブキャリッジ４１に個
々に取り付けるための複数個（１２個）のヘッド保持部
材４２とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド７
は、６個づつ左右に二分され、主走査方向に対し所定の
角度傾けて配設されている。
構造図である。これらの図に示すように、ヘッドユニッ
ト２６は、サブキャリッジ４１と、サブキャリッジ４１
に搭載した複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド７
と、各機能液滴吐出ヘッド７をサブキャリッジ４１に個
々に取り付けるための複数個（１２個）のヘッド保持部
材４２とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド７
は、６個づつ左右に二分され、主走査方向に対し所定の
角度傾けて配設されている。
【００８２】また、各６個の機能液滴吐出ヘッド７は、
副走査方向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個
の機能液滴吐出ヘッド７の全吐出ノズル６８（後述す
る）が副走査方向において連続する（一部重複）ように
なっている。すなわち、実施形態のヘッド配列は、サブ
キャリッジ４１上において、同一方向に傾けて配置した
６個の機能液滴吐出ヘッド７を２列としたものであり、
且つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド７が相互
に１８０°回転した配置となっている。
副走査方向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個
の機能液滴吐出ヘッド７の全吐出ノズル６８（後述す
る）が副走査方向において連続する（一部重複）ように
なっている。すなわち、実施形態のヘッド配列は、サブ
キャリッジ４１上において、同一方向に傾けて配置した
６個の機能液滴吐出ヘッド７を２列としたものであり、
且つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド７が相互
に１８０°回転した配置となっている。
【００８３】もっとも、この配列パターンは一例であ
り、例えば、各ヘッド列における隣接する機能液滴吐出
ヘッド７同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド
同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における機能
液滴吐出ヘッド７を９０°の角度を持って配置（列間ヘ
ッド同士が「ハ」字状）したりすることは可能である。
いずれにしても、１２個の機能液滴吐出ヘッド７の全吐
出ノズル６８によるドットが副走査方向において連続し
ていればよい。
り、例えば、各ヘッド列における隣接する機能液滴吐出
ヘッド７同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド
同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における機能
液滴吐出ヘッド７を９０°の角度を持って配置（列間ヘ
ッド同士が「ハ」字状）したりすることは可能である。
いずれにしても、１２個の機能液滴吐出ヘッド７の全吐
出ノズル６８によるドットが副走査方向において連続し
ていればよい。
【００８４】また、各種の基板Ｗに対し機能液滴吐出ヘ
ッド７を専用部品とすれば、機能液滴吐出ヘッド７をあ
えて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に配
設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列
（ドット列）を構成できる限り、これを単一の機能液滴
吐出ヘッド７で構成してもよいし複数の機能液滴吐出ヘ
ッド７で構成してもよい。すなわち、機能液滴吐出ヘッ
ド７の個数や列数、さらに配列パターンは任意である。
ッド７を専用部品とすれば、機能液滴吐出ヘッド７をあ
えて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に配
設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列
（ドット列）を構成できる限り、これを単一の機能液滴
吐出ヘッド７で構成してもよいし複数の機能液滴吐出ヘ
ッド７で構成してもよい。すなわち、機能液滴吐出ヘッ
ド７の個数や列数、さらに配列パターンは任意である。
【００８５】サブキャリッジ４１は、一部が切り欠かれ
た略方形の本体プレート４４と、本体プレート４４の長
辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン４５，４
５と、本体プレート４４の両長辺部分に取り付けた左右
一対の支持部材４６，４６と、各支持部材４６の端部に
設けた左右一対のハンドル４７，４７とを有している。
左右のハンドル４７，４７は、例えば組み立てたヘッド
ユニット２６を上記の液滴吐出装置１０に載せ込む場合
に、ヘッドユニット２６を手持ちするための部位とな
る。また、左右の支持部材４６，４６は、サブキャリッ
ジ４１を液滴吐出装置１０のセット部に固定するときの
部位となる（いずれも詳細は後述する）。更に、一対の
基準ピン４５，４５は、画像認識を前提として、サブキ
ャリッジ（ヘッドユニット２６）４１をＸ軸、Ｙ軸およ
びθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準とな
るものである。
た略方形の本体プレート４４と、本体プレート４４の長
辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン４５，４
５と、本体プレート４４の両長辺部分に取り付けた左右
一対の支持部材４６，４６と、各支持部材４６の端部に
設けた左右一対のハンドル４７，４７とを有している。
左右のハンドル４７，４７は、例えば組み立てたヘッド
ユニット２６を上記の液滴吐出装置１０に載せ込む場合
に、ヘッドユニット２６を手持ちするための部位とな
る。また、左右の支持部材４６，４６は、サブキャリッ
ジ４１を液滴吐出装置１０のセット部に固定するときの
部位となる（いずれも詳細は後述する）。更に、一対の
基準ピン４５，４５は、画像認識を前提として、サブキ
ャリッジ（ヘッドユニット２６）４１をＸ軸、Ｙ軸およ
びθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準とな
るものである。
【００８６】さらに、サブキャリッジ４１には、各機能
液滴吐出ヘッド７から離れた場所、例えばサブキャリッ
ジ４１のハンドル４７側の端部に位置させて、各機能液
滴吐出ヘッド７に配管アダプタ４８を介して接続される
ヘッド側配管部材４８ａと液体供給回収装置１３の後記
詳述する給液タンク１２６に連なる装置側配管部材とを
着脱自在に接続する配管ジョイント４９が設けられてい
る。
液滴吐出ヘッド７から離れた場所、例えばサブキャリッ
ジ４１のハンドル４７側の端部に位置させて、各機能液
滴吐出ヘッド７に配管アダプタ４８を介して接続される
ヘッド側配管部材４８ａと液体供給回収装置１３の後記
詳述する給液タンク１２６に連なる装置側配管部材とを
着脱自在に接続する配管ジョイント４９が設けられてい
る。
【００８７】図２４（ａ）（ｂ）に明示されているよう
に、配管ジョイント４９は、サブキャリッジ４１のハン
ドル４７側の端部にブラケット４９０を介して固定され
る横長のプレート４９１を備えており、このプレート４
９１に、上下２列で計１２個のソケット４９２を嵌合固
定し、各ソケット４９２の一端部に、各ヘッド側配管部
材４８ａを管継手４９３を介して接続するように構成さ
れている。各ソケット４９２の他端部にはプラグ穴４９
２ａが形成されており、このプラグ穴４９２ａにプラグ
４９４が抜き差し自在に嵌合している。
に、配管ジョイント４９は、サブキャリッジ４１のハン
ドル４７側の端部にブラケット４９０を介して固定され
る横長のプレート４９１を備えており、このプレート４
９１に、上下２列で計１２個のソケット４９２を嵌合固
定し、各ソケット４９２の一端部に、各ヘッド側配管部
材４８ａを管継手４９３を介して接続するように構成さ
れている。各ソケット４９２の他端部にはプラグ穴４９
２ａが形成されており、このプラグ穴４９２ａにプラグ
４９４が抜き差し自在に嵌合している。
【００８８】プラグ４９４には、装置側配管部材がエル
ボ管４９５を介して接続されており、かくて、各ソケッ
ト４９２に各プラグ４９４を抜き差しするだけで、ヘッ
ド側配管部材４８ａに装置側配管部材を接続、分離でき
る。そして、配管分離時に液垂れを生じても、配管ジョ
イント４９は機能液滴吐出ヘッド７から離間しているた
め、後記する機能液滴吐出ヘッド７のコネクタ６６に液
垂れした液体が付着することはなく、液垂れによる故障
を防止できる。尚、上記プラグ４９４は、プレート４９
１に両端のねじ４９６で着脱自在に取り付けられる押え
バー４９７により抜け止めされている。
ボ管４９５を介して接続されており、かくて、各ソケッ
ト４９２に各プラグ４９４を抜き差しするだけで、ヘッ
ド側配管部材４８ａに装置側配管部材を接続、分離でき
る。そして、配管分離時に液垂れを生じても、配管ジョ
イント４９は機能液滴吐出ヘッド７から離間しているた
め、後記する機能液滴吐出ヘッド７のコネクタ６６に液
垂れした液体が付着することはなく、液垂れによる故障
を防止できる。尚、上記プラグ４９４は、プレート４９
１に両端のねじ４９６で着脱自在に取り付けられる押え
バー４９７により抜け止めされている。
【００８９】ところで、プラグ穴４９２ａ内にプラグ４
９４との間の空隙を生ずると、空隙からの気泡が機能液
滴吐出ヘッド７に流入して、液滴の吐出不良を生ずる。
そこで、本実施形態では、プラグ穴４９２ａの穴底面４
９２ｂをプラグ４９４の先端のテーパに合わせたテーパ
面に形成し、空隙が生じないようにしている。尚、プラ
グ穴４９２ａの深さとプラグ４９４の長さとの寸法公差
で穴底面４９２ｂとプラグ４９４の先端との間に若干の
空隙を生ずる可能性もあるが、この空隙はプラグ４９４
から流出する液体の流線方向にテーパ状に指向するた
め、吐出装置１にヘッドユニット２６を投入したときに
行う機能液滴吐出ヘッド７への液体充填工程で空隙から
容易に気泡を吸引排除でき、吐出装置１の稼働中に空隙
から機能液滴吐出ヘッド７に気泡が流入することはな
い。
９４との間の空隙を生ずると、空隙からの気泡が機能液
滴吐出ヘッド７に流入して、液滴の吐出不良を生ずる。
そこで、本実施形態では、プラグ穴４９２ａの穴底面４
９２ｂをプラグ４９４の先端のテーパに合わせたテーパ
面に形成し、空隙が生じないようにしている。尚、プラ
グ穴４９２ａの深さとプラグ４９４の長さとの寸法公差
で穴底面４９２ｂとプラグ４９４の先端との間に若干の
空隙を生ずる可能性もあるが、この空隙はプラグ４９４
から流出する液体の流線方向にテーパ状に指向するた
め、吐出装置１にヘッドユニット２６を投入したときに
行う機能液滴吐出ヘッド７への液体充填工程で空隙から
容易に気泡を吸引排除でき、吐出装置１の稼働中に空隙
から機能液滴吐出ヘッド７に気泡が流入することはな
い。
【００９０】また、本実施形態では、プラグ４９４の外
周に、プラグ穴４９２ａに対するシール用のＯリング４
９８を軸方向の間隔を存して複数、例えば２個装着し、
プラグ４９４とソケット４９２との間のシール性を向上
させている。
周に、プラグ穴４９２ａに対するシール用のＯリング４
９８を軸方向の間隔を存して複数、例えば２個装着し、
プラグ４９４とソケット４９２との間のシール性を向上
させている。
【００９１】さらに、サブキャリッジ４１には、図示し
ないが、左右２列の機能液滴吐出ヘッド群の上側に位置
して、これら機能液滴吐出ヘッド７に接続される左右一
対の配線接続アッセンブリが設けられている。そして、
各配線接続アッセンブリは、吐出装置１の制御装置（ヘ
ッドドライバ：図示省略）に配線接続されるようになっ
ている。
ないが、左右２列の機能液滴吐出ヘッド群の上側に位置
して、これら機能液滴吐出ヘッド７に接続される左右一
対の配線接続アッセンブリが設けられている。そして、
各配線接続アッセンブリは、吐出装置１の制御装置（ヘ
ッドドライバ：図示省略）に配線接続されるようになっ
ている。
【００９２】図２５（ａ）（ｂ）に示すように、機能液
滴吐出ヘッド７は、いわゆる２連のものであり、２連の
接続針６２，６２を有する液体導入部６１と、液体導入
部６１の側方に連なる２連のヘッド基板６３と、液体導
入部６１の下方に連なる２連のポンプ部６４と、ポンプ
部６４に連なるノズル形成プレート６５とを備えてい
る。各接続針６２には、上記配管アダプタ４８が接続さ
れており、更に、各接続針６２の基部には、ポンプ部６
４への異物の侵入を防止するフィルタ６２ａが装着され
ている。ヘッド基板６３の２連のコネクタ６６，６６に
は、上記配線接続アッセンブリから導出されるフレキシ
ブルフラットケーブル（図示せず）が接続されている。
滴吐出ヘッド７は、いわゆる２連のものであり、２連の
接続針６２，６２を有する液体導入部６１と、液体導入
部６１の側方に連なる２連のヘッド基板６３と、液体導
入部６１の下方に連なる２連のポンプ部６４と、ポンプ
部６４に連なるノズル形成プレート６５とを備えてい
る。各接続針６２には、上記配管アダプタ４８が接続さ
れており、更に、各接続針６２の基部には、ポンプ部６
４への異物の侵入を防止するフィルタ６２ａが装着され
ている。ヘッド基板６３の２連のコネクタ６６，６６に
は、上記配線接続アッセンブリから導出されるフレキシ
ブルフラットケーブル（図示せず）が接続されている。
【００９３】また、ポンプ部６４とノズル形成プレート
６５とにより、サブキャリッジ４１裏面側に突出する方
形のヘッド本体６０が構成されている。また、ノズル形
成プレート６５のノズル形成面６７には、多数の吐出ノ
ズル６８が２列に形成されている。尚、配管アダプタ４
８は、２連の接続針６２，６２に対応させて各１個の機
能液滴吐出ヘッド７に対し２個宛設けられているため、
配管ジョイント４９の各ソケット４９２に接続されるヘ
ッド側配管部材４８ａをＹ字継ぎ手を介して２個の配管
アダプタ４８，４８に接続している。
６５とにより、サブキャリッジ４１裏面側に突出する方
形のヘッド本体６０が構成されている。また、ノズル形
成プレート６５のノズル形成面６７には、多数の吐出ノ
ズル６８が２列に形成されている。尚、配管アダプタ４
８は、２連の接続針６２，６２に対応させて各１個の機
能液滴吐出ヘッド７に対し２個宛設けられているため、
配管ジョイント４９の各ソケット４９２に接続されるヘ
ッド側配管部材４８ａをＹ字継ぎ手を介して２個の配管
アダプタ４８，４８に接続している。
【００９４】次に、液滴吐出装置１０の他の構成装置と
付帯装置１１の各構成装置について、順を追って説明す
る。
付帯装置１１の各構成装置について、順を追って説明す
る。
【００９５】図２６ないし図２９は、Ｘ軸テーブルを搭
載した液滴吐出装置の架台２１および石定盤２２を表し
ている。これら図に示すように、架台２１は、アングル
材等を方形に組んで構成され、下部に分散配置したアジ
ャストボルト付きの複数（９個）の支持脚７１を有して
いる。架台２１の上部には、各辺に対し２個の割合で、
運搬等の移動の際に石定盤２２を固定するための複数
（８個）の固定部材７２が、側方に張り出すように取り
付けられている。各固定部材７２は、ブラケット様に
「Ｌ」字状に形成され、基端側を架台２１の上部側面に
固定され、先端側を調整ボルト７３を介して、石定盤２
２の下部側面に当接するようになっている。石定盤２２
は、架台２１に対し非締結状態で載っており、石定盤２
２を運搬する際にこの固定部材７２により、架台２１に
対し石定盤２２がＸ軸方向およびＹ軸方向（前後左右）
に不動に固定される。
載した液滴吐出装置の架台２１および石定盤２２を表し
ている。これら図に示すように、架台２１は、アングル
材等を方形に組んで構成され、下部に分散配置したアジ
ャストボルト付きの複数（９個）の支持脚７１を有して
いる。架台２１の上部には、各辺に対し２個の割合で、
運搬等の移動の際に石定盤２２を固定するための複数
（８個）の固定部材７２が、側方に張り出すように取り
付けられている。各固定部材７２は、ブラケット様に
「Ｌ」字状に形成され、基端側を架台２１の上部側面に
固定され、先端側を調整ボルト７３を介して、石定盤２
２の下部側面に当接するようになっている。石定盤２２
は、架台２１に対し非締結状態で載っており、石定盤２
２を運搬する際にこの固定部材７２により、架台２１に
対し石定盤２２がＸ軸方向およびＹ軸方向（前後左右）
に不動に固定される。
【００９６】石定盤２２は、機能液滴吐出ヘッド７を精
度良く移動させるＸ軸テーブル２３およびＹ軸テーブル
２４が、周囲の環境条件や振動等により精度（特に平面
度）上の狂いが生じないように支持するものであり、平
面視長方形の無垢の石材で構成されている。石定盤２２
の下部には、これを架台２１上に支持するアジャストボ
ルト付きの３つの主支持脚７５および６つの補助脚７６
が設けられている。３つの主支持脚７５は、石定盤２２
を３点で支持し、その表面の平行度（水平度を含む）を
出すためのものであり、６つの補助脚７６は、石定盤２
２の３つの主支持脚７５から外れた部分を支持しその撓
みを抑制するものである。
度良く移動させるＸ軸テーブル２３およびＹ軸テーブル
２４が、周囲の環境条件や振動等により精度（特に平面
度）上の狂いが生じないように支持するものであり、平
面視長方形の無垢の石材で構成されている。石定盤２２
の下部には、これを架台２１上に支持するアジャストボ
ルト付きの３つの主支持脚７５および６つの補助脚７６
が設けられている。３つの主支持脚７５は、石定盤２２
を３点で支持し、その表面の平行度（水平度を含む）を
出すためのものであり、６つの補助脚７６は、石定盤２
２の３つの主支持脚７５から外れた部分を支持しその撓
みを抑制するものである。
【００９７】このため、図２９に模式的に示すように、
３つの主支持脚７５，７５，７５は二等辺三角形をなす
ように配置され、その底辺を為す２つの主支持脚７５
が、石定盤２２の基板搬入側（同図では左側、図１６で
は手前側）に位置するように配設されている。また、６
つの補助脚７６，７６，７６，７６，７６，７６は、上
記３つの主支持脚７５，７５，７５を含んで縦横に３×
３となるように、均一且つ分散して配設されている。
３つの主支持脚７５，７５，７５は二等辺三角形をなす
ように配置され、その底辺を為す２つの主支持脚７５
が、石定盤２２の基板搬入側（同図では左側、図１６で
は手前側）に位置するように配設されている。また、６
つの補助脚７６，７６，７６，７６，７６，７６は、上
記３つの主支持脚７５，７５，７５を含んで縦横に３×
３となるように、均一且つ分散して配設されている。
【００９８】この場合、石定盤２２上には、その長辺に
沿う中心線に軸線を合致させてＸ軸テーブル２３が設置
され、短辺に沿う中心軸に軸線を合致させてＹ軸テーブ
ル２４が設置されている。このため、Ｘ軸テーブル２３
は、石定盤２２上に直接固定され、Ｙ軸テーブル２４
は、その４本の支柱７８がそれぞれスペーサブロック７
９を介して石定盤２２上に固定されている。これによ
り、Ｙ軸テーブル２４は、Ｘ軸テーブル２３を跨いでそ
の上側に直交するように配設されている。なお、図２７
中の符号８０は、後述する主基板認識カメラを固定ため
の４つの小ブロックであり、主基板認識カメラも石定盤
２２上に固定されている。
沿う中心線に軸線を合致させてＸ軸テーブル２３が設置
され、短辺に沿う中心軸に軸線を合致させてＹ軸テーブ
ル２４が設置されている。このため、Ｘ軸テーブル２３
は、石定盤２２上に直接固定され、Ｙ軸テーブル２４
は、その４本の支柱７８がそれぞれスペーサブロック７
９を介して石定盤２２上に固定されている。これによ
り、Ｙ軸テーブル２４は、Ｘ軸テーブル２３を跨いでそ
の上側に直交するように配設されている。なお、図２７
中の符号８０は、後述する主基板認識カメラを固定ため
の４つの小ブロックであり、主基板認識カメラも石定盤
２２上に固定されている。
【００９９】図２６ないし図２８のＸ軸移動系と図３０
ないし図３２のθ移動系に示すように、Ｘ軸テーブル２
３は、石定盤２２の長辺方向に延在しており、基板Ｗを
エアー吸引により吸着セットする吸着テーブル８１と、
吸着テーブル８１を支持するθテーブル８２と（図３０
ないし図３２参照）、θテーブル８２をＸ軸方向にスラ
イド自在に支持するＸ軸エアースライダ８３と、θテー
ブル８２を介して吸着テーブル８１上の基板ＷをＸ軸方
向に移動させるＸ軸リニアモータ８４と、Ｘ軸エアース
ライダ８３に併設したＸ軸リニアスケール８５と（図２
６ないし図２９参照）で構成されている。
ないし図３２のθ移動系に示すように、Ｘ軸テーブル２
３は、石定盤２２の長辺方向に延在しており、基板Ｗを
エアー吸引により吸着セットする吸着テーブル８１と、
吸着テーブル８１を支持するθテーブル８２と（図３０
ないし図３２参照）、θテーブル８２をＸ軸方向にスラ
イド自在に支持するＸ軸エアースライダ８３と、θテー
ブル８２を介して吸着テーブル８１上の基板ＷをＸ軸方
向に移動させるＸ軸リニアモータ８４と、Ｘ軸エアース
ライダ８３に併設したＸ軸リニアスケール８５と（図２
６ないし図２９参照）で構成されている。
【０１００】Ｘ軸リニアモータ８４は、Ｘ軸エアースラ
イダ８３のヘッドユニット２６搬入側に位置し、Ｘ軸リ
ニアスケール８５は、Ｘ軸エアースライダ８３の付帯装
置１１側に位置しており、これらは、相互に平行に配設
されている。Ｘ軸リニアモータ８４、Ｘ軸エアースライ
ダ８３およびＸ軸リニアスケール８５は、石定盤２２上
に直接支持されている。吸着テーブル８１には、上記の
真空吸引装置１５に連なる真空チューブが接続されてお
り（図示省略）、そのエアー吸引によりセットされた基
板Ｗが平坦度を維持するようにこれを吸着する。
イダ８３のヘッドユニット２６搬入側に位置し、Ｘ軸リ
ニアスケール８５は、Ｘ軸エアースライダ８３の付帯装
置１１側に位置しており、これらは、相互に平行に配設
されている。Ｘ軸リニアモータ８４、Ｘ軸エアースライ
ダ８３およびＸ軸リニアスケール８５は、石定盤２２上
に直接支持されている。吸着テーブル８１には、上記の
真空吸引装置１５に連なる真空チューブが接続されてお
り（図示省略）、そのエアー吸引によりセットされた基
板Ｗが平坦度を維持するようにこれを吸着する。
【０１０１】また、Ｘ軸リニアスケール８５の付帯装置
１１側には、これに平行に位置して、石定盤２２上にボ
ックス８８に収容された状態で、Ｘ軸ケーブルベア（登
録商標）８７が配設されている。Ｘ軸ケーブルベア８７
には、吸着テーブル８１の真空チューブやθテーブル８
２用のケーブル等が、吸着テーブル８１およびθテーブ
ル８２の移動に追従するように、収容されている（図２
７および図２８参照）。
１１側には、これに平行に位置して、石定盤２２上にボ
ックス８８に収容された状態で、Ｘ軸ケーブルベア（登
録商標）８７が配設されている。Ｘ軸ケーブルベア８７
には、吸着テーブル８１の真空チューブやθテーブル８
２用のケーブル等が、吸着テーブル８１およびθテーブ
ル８２の移動に追従するように、収容されている（図２
７および図２８参照）。
【０１０２】このように構成されたＸ軸テーブル２３
は、Ｘ軸リニアモータ８４の駆動により、基板Ｗを吸着
した吸着テーブル８１およびθテーブル８２が、Ｘ軸エ
アースライダ８３を案内にしてＸ軸方向に移動する。こ
のＸ軸方向の往復移動において、基板搬入側から奥側に
向かう往動動作により、機能液滴吐出ヘッド７の相対的
な主走査が行われる。また、後述する主基板認識カメラ
９０の認識結果に基づいて、θテーブル８２による基板
Ｗのθ補正（水平面内における角度補正）が行われる。
は、Ｘ軸リニアモータ８４の駆動により、基板Ｗを吸着
した吸着テーブル８１およびθテーブル８２が、Ｘ軸エ
アースライダ８３を案内にしてＸ軸方向に移動する。こ
のＸ軸方向の往復移動において、基板搬入側から奥側に
向かう往動動作により、機能液滴吐出ヘッド７の相対的
な主走査が行われる。また、後述する主基板認識カメラ
９０の認識結果に基づいて、θテーブル８２による基板
Ｗのθ補正（水平面内における角度補正）が行われる。
【０１０３】図３３は、主基板認識カメラを表してい
る。同図に示すように、吸着テーブル８１の直上部に
は、基板の搬入位置（受渡し位置）に臨むように、一対
の主基板基板認識カメラ９０，９０が配設されている。
一対の主基板基板認識カメラ９０，９０は、基板の２つ
の基準位置（図示省略）を同時に画像認識するようにな
っている。
る。同図に示すように、吸着テーブル８１の直上部に
は、基板の搬入位置（受渡し位置）に臨むように、一対
の主基板基板認識カメラ９０，９０が配設されている。
一対の主基板基板認識カメラ９０，９０は、基板の２つ
の基準位置（図示省略）を同時に画像認識するようにな
っている。
【０１０４】図３４、図３５および図３６に示すよう
に、Ｙ軸テーブル２４は、石定盤２２の短辺方向に延在
しており、上記のメインキャリッジ２５を吊設するブリ
ッジプレート９１と、ブリッジプレート９１を両持ちで
且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スラ
イダ９２，９２と、Ｙ軸スライダ９２に併設したＹ軸リ
ニアスケール９３と、一対のＹ軸スライダ９２，９２を
案内にしてブリッジプレート９１をＹ軸方向に移動させ
るＹ軸ボールねじ９４と、Ｙ軸ボールねじ９４を正逆回
転させるＹ軸モータ９５とを備えている。また、一対の
Ｙ軸スライダ９２，９２の両側に位置して、一対のＹ軸
ケーブルベア９６，９６がそれぞれボックス９７，９７
に収容した状態で、配設されている。
に、Ｙ軸テーブル２４は、石定盤２２の短辺方向に延在
しており、上記のメインキャリッジ２５を吊設するブリ
ッジプレート９１と、ブリッジプレート９１を両持ちで
且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スラ
イダ９２，９２と、Ｙ軸スライダ９２に併設したＹ軸リ
ニアスケール９３と、一対のＹ軸スライダ９２，９２を
案内にしてブリッジプレート９１をＹ軸方向に移動させ
るＹ軸ボールねじ９４と、Ｙ軸ボールねじ９４を正逆回
転させるＹ軸モータ９５とを備えている。また、一対の
Ｙ軸スライダ９２，９２の両側に位置して、一対のＹ軸
ケーブルベア９６，９６がそれぞれボックス９７，９７
に収容した状態で、配設されている。
【０１０５】Ｙ軸モータ９５はサーボモータで構成され
ており、Ｙ軸モータ９５が正逆回転すると、Ｙ軸ボール
ねじ９４を介してこれに螺合しているブリッジプレート
９１が、一対のＹ軸スライダ９２，９２を案内にしてＹ
軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート９１の
Ｙ軸方向への移動に伴って、メインキャリッジ２５がＹ
軸方向に移動する。このメインキャリッジ（ヘッドユニ
ット２６）２５のＹ軸方向の往復移動において、ホーム
位置側から付帯装置１１側に向かう往動動作により、機
能液滴吐出ヘッド７の副走査が行われる。
ており、Ｙ軸モータ９５が正逆回転すると、Ｙ軸ボール
ねじ９４を介してこれに螺合しているブリッジプレート
９１が、一対のＹ軸スライダ９２，９２を案内にしてＹ
軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート９１の
Ｙ軸方向への移動に伴って、メインキャリッジ２５がＹ
軸方向に移動する。このメインキャリッジ（ヘッドユニ
ット２６）２５のＹ軸方向の往復移動において、ホーム
位置側から付帯装置１１側に向かう往動動作により、機
能液滴吐出ヘッド７の副走査が行われる。
【０１０６】一方、上記の４本の支柱７８上には、メイ
ンキャリッジ２５の移動経路の部分を長方形開口９８ａ
とした載置台プレート９８が支持されており、載置台プ
レート９８上には、長方形開口９８ａを逃げて一対のＹ
軸スライダ９２，９２およびＹ軸ボールねじ９４が、相
互に平行に配設されている。また、載置台プレート９８
から外側に張り出した一対の支持板９９，９９上には、
上記の一対のＹ軸ケーブルベア９６，９６が、そのボッ
クス９７，９７と共に載置されている。
ンキャリッジ２５の移動経路の部分を長方形開口９８ａ
とした載置台プレート９８が支持されており、載置台プ
レート９８上には、長方形開口９８ａを逃げて一対のＹ
軸スライダ９２，９２およびＹ軸ボールねじ９４が、相
互に平行に配設されている。また、載置台プレート９８
から外側に張り出した一対の支持板９９，９９上には、
上記の一対のＹ軸ケーブルベア９６，９６が、そのボッ
クス９７，９７と共に載置されている。
【０１０７】基板搬入側のＹ軸ケーブルベア９６には、
主にヘッドユニット２６に接続されるケーブルが収容さ
れ、逆側のＹ軸ケーブルベアには、主にヘッドユニット
２６に接続される装置側配管部材が収容されている（い
ずれも図示省略）。そして、これらケーブルおよび配管
部材は、上記のブリッジプレート９１を介してヘッドユ
ニット２６の複数の機能液滴吐出ヘッド７に接続されて
いる。
主にヘッドユニット２６に接続されるケーブルが収容さ
れ、逆側のＹ軸ケーブルベアには、主にヘッドユニット
２６に接続される装置側配管部材が収容されている（い
ずれも図示省略）。そして、これらケーブルおよび配管
部材は、上記のブリッジプレート９１を介してヘッドユ
ニット２６の複数の機能液滴吐出ヘッド７に接続されて
いる。
【０１０８】図３７および図３８に示すように、メイン
キャリッジ２５は、上記のブリッジプレート９１に下側
から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材１０１と、吊設
部材１０１の下面に取り付けたθテーブル１０２と、θ
テーブル１０２の下面に吊設するように取り付けたキャ
リッジ本体１０３とで構成されている。そして、この吊
設部材１０１が、上記の載置台プレート９８の長方形開
口９８ａに臨んでいる。
キャリッジ２５は、上記のブリッジプレート９１に下側
から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材１０１と、吊設
部材１０１の下面に取り付けたθテーブル１０２と、θ
テーブル１０２の下面に吊設するように取り付けたキャ
リッジ本体１０３とで構成されている。そして、この吊
設部材１０１が、上記の載置台プレート９８の長方形開
口９８ａに臨んでいる。
【０１０９】キャリッジ本体１０３は、ヘッドユニット
２６が着座するベースプレート１０４と、ベースプレー
ト１０４を垂設するように支持するアーチ部材１０５
と、ベースプレート１０４の一方の端部に突出するよう
に設けた一対の仮置きアングル１０６，１０６と、ペー
スプレート１０４の他方の端部に設けたストッパプレー
ト１０７とを備えている。また、ストッパプレート１０
７の外側には、基板Ｗを認識する上記の一対の副基板認
識カメラ１０８が、配設されている。
２６が着座するベースプレート１０４と、ベースプレー
ト１０４を垂設するように支持するアーチ部材１０５
と、ベースプレート１０４の一方の端部に突出するよう
に設けた一対の仮置きアングル１０６，１０６と、ペー
スプレート１０４の他方の端部に設けたストッパプレー
ト１０７とを備えている。また、ストッパプレート１０
７の外側には、基板Ｗを認識する上記の一対の副基板認
識カメラ１０８が、配設されている。
【０１１０】ベースプレート１０４には、ヘッドユニッ
ト２６の本体プレート４４が遊嵌する方形開口１１１が
形成され、またこの方形開口１１１を構成するベースプ
レート１０４の左右の各開口縁部１１２には、ヘッドユ
ニット２６を位置決め固定するためのボルト孔１１３，
１１３、２つの貫通孔１１４，１１４および位置決めピ
ン１１５とが設けられている。
ト２６の本体プレート４４が遊嵌する方形開口１１１が
形成され、またこの方形開口１１１を構成するベースプ
レート１０４の左右の各開口縁部１１２には、ヘッドユ
ニット２６を位置決め固定するためのボルト孔１１３，
１１３、２つの貫通孔１１４，１１４および位置決めピ
ン１１５とが設けられている。
【０１１１】このように構成されたメインキャリッジ２
５には、ヘッドユニット２６が、その両ハンドル４７，
４７により手持ちされて運び込まれ、セットされるよう
になっている。すなわち、運び込まれたヘッドユニット
２６は、いったん両仮置きアングル１０６，１０６上に
載置される（仮置き）。ここで、ブリッジプレート９１
上に配設した装置側配管部材を、ヘッドユニット２６の
配管ジョイント４９に接続すると共に、制御系のケーブ
ルを配線接続アッセンブリに配線接続する。そして、再
度ハンドル４７，４７を把持し、両仮置きアングル１０
６，１０６をガイドにしてヘッドユニット２６を先方に
押し入れ、これをベースプレート１０４の左右の開口縁
部１１２，１１２にセットするようになっている。
５には、ヘッドユニット２６が、その両ハンドル４７，
４７により手持ちされて運び込まれ、セットされるよう
になっている。すなわち、運び込まれたヘッドユニット
２６は、いったん両仮置きアングル１０６，１０６上に
載置される（仮置き）。ここで、ブリッジプレート９１
上に配設した装置側配管部材を、ヘッドユニット２６の
配管ジョイント４９に接続すると共に、制御系のケーブ
ルを配線接続アッセンブリに配線接続する。そして、再
度ハンドル４７，４７を把持し、両仮置きアングル１０
６，１０６をガイドにしてヘッドユニット２６を先方に
押し入れ、これをベースプレート１０４の左右の開口縁
部１１２，１１２にセットするようになっている。
【０１１２】次に、付帯装置１１の共通機台３１につい
て説明する。図３９ないし図４２に示すように、共通機
台３１は、隔壁を介して大小の２つの収容室１２２ａ，
１２２ｂを形成したキャビネット形式の機台本体１２１
と、機台本体１２１上に設けた移動テーブル１２３と、
移動テーブル１２３上に固定した共通ベース１２４と、
機台本体１２１上の移動テーブル１２３から外れた端位
置に設けたタンクベース１２５とを備えている。共通ベ
ース１２４には、クリーニングユニット３４およびワイ
ピングユニット３５が載置され、タンクベース１２５に
は、後述する液体供給回収装置１３の給液タンク１２６
が載置されている。
て説明する。図３９ないし図４２に示すように、共通機
台３１は、隔壁を介して大小の２つの収容室１２２ａ，
１２２ｂを形成したキャビネット形式の機台本体１２１
と、機台本体１２１上に設けた移動テーブル１２３と、
移動テーブル１２３上に固定した共通ベース１２４と、
機台本体１２１上の移動テーブル１２３から外れた端位
置に設けたタンクベース１２５とを備えている。共通ベ
ース１２４には、クリーニングユニット３４およびワイ
ピングユニット３５が載置され、タンクベース１２５に
は、後述する液体供給回収装置１３の給液タンク１２６
が載置されている。
【０１１３】機台本体１２１の下面には、アジャストボ
ルト付きの６つの支持脚１２８と、４つのキャスタ１２
９が設けられており、また液滴吐出装置１０側には、液
滴吐出装置１０の架台２１と連結するための一対の連結
ブラケット１３０，１３０が設けられている。これによ
り、液滴吐出装置１０と付帯装置（共通機台３１）１１
と一体化され、且つ必要に応じて付帯装置１１を分離
し、移動できるようになっている。
ルト付きの６つの支持脚１２８と、４つのキャスタ１２
９が設けられており、また液滴吐出装置１０側には、液
滴吐出装置１０の架台２１と連結するための一対の連結
ブラケット１３０，１３０が設けられている。これによ
り、液滴吐出装置１０と付帯装置（共通機台３１）１１
と一体化され、且つ必要に応じて付帯装置１１を分離
し、移動できるようになっている。
【０１１４】機台本体１２１の小さい方の収容室１２２
ｂには、エアー供給装置１４および真空吸引装置１５の
主要部分が収容され、大きい方の収容室１２２ａには、
機能液供給回収装置１３のタンク類が収容されている。
そして、このタンク類に接続するための継手群１３１
が、機台本体１２１の端部上面に形成した矩形開口１２
１ａに臨んでいる（図示左端図）。また、この矩形開口
１２１ａの近傍に位置して、後述する廃液ポンプ１５２
が設けられている（図１６参照）。
ｂには、エアー供給装置１４および真空吸引装置１５の
主要部分が収容され、大きい方の収容室１２２ａには、
機能液供給回収装置１３のタンク類が収容されている。
そして、このタンク類に接続するための継手群１３１
が、機台本体１２１の端部上面に形成した矩形開口１２
１ａに臨んでいる（図示左端図）。また、この矩形開口
１２１ａの近傍に位置して、後述する廃液ポンプ１５２
が設けられている（図１６参照）。
【０１１５】移動テーブル１２３は、機台本体１２１の
長手方向に延在しており、共通ベース１２４を支持する
方形テーブル１３３と、方形テーブル１３３をスライド
自在に支持する一対の移動スライダ１３４，１３４と、
一対の移動スライダ１３４，１３４間に配設されたボー
ルねじ１３５と、ボールねじ１３５を正逆回転させる移
動モータ１３６とを備えている。移動モータ１３６は、
カップリング１３７を介してボールねじ１３５の端に接
続され、方形テーブル１３３は、雌ねじこま１３８を介
してボールねじ１３５に螺合している。これにより、移
動モータ１３６が正逆回転すると、ボールねじ１３５を
介して方形テーブル１３３および共通ベース１２４が、
Ｘ軸方向に進退する。
長手方向に延在しており、共通ベース１２４を支持する
方形テーブル１３３と、方形テーブル１３３をスライド
自在に支持する一対の移動スライダ１３４，１３４と、
一対の移動スライダ１３４，１３４間に配設されたボー
ルねじ１３５と、ボールねじ１３５を正逆回転させる移
動モータ１３６とを備えている。移動モータ１３６は、
カップリング１３７を介してボールねじ１３５の端に接
続され、方形テーブル１３３は、雌ねじこま１３８を介
してボールねじ１３５に螺合している。これにより、移
動モータ１３６が正逆回転すると、ボールねじ１３５を
介して方形テーブル１３３および共通ベース１２４が、
Ｘ軸方向に進退する。
【０１１６】移動テーブル１２３は、共通ベース１２４
上に載置したクリーニングユニット３４とワイピングユ
ニット３５とを移動させるが、移動テーブル１２３が駆
動するときには、上記のＹ軸テーブル２４により、ヘッ
ドユニット２６がクリーニングユニット３４の直上部に
臨んでいる。クリーニングユニット３４が、ヘッドユニ
ット２６の複数の機能液滴吐出ヘッド７に密着して液体
を吸引すると、各機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面
６７が汚れるため、続いて移動テーブル１２３により、
複数の機能液滴吐出ヘッド７にワイピングユニット３５
が接近して、ノズル形成面６７が汚れを拭き取るように
動作する（詳細は後述する）。
上に載置したクリーニングユニット３４とワイピングユ
ニット３５とを移動させるが、移動テーブル１２３が駆
動するときには、上記のＹ軸テーブル２４により、ヘッ
ドユニット２６がクリーニングユニット３４の直上部に
臨んでいる。クリーニングユニット３４が、ヘッドユニ
ット２６の複数の機能液滴吐出ヘッド７に密着して液体
を吸引すると、各機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面
６７が汚れるため、続いて移動テーブル１２３により、
複数の機能液滴吐出ヘッド７にワイピングユニット３５
が接近して、ノズル形成面６７が汚れを拭き取るように
動作する（詳細は後述する）。
【０１１７】また、移動テーブル１２３の脇には、これ
に平行にケーブルベア１３９が配設されている。ケーブ
ルベア１３９は、共通機台３１上に固定されると共に先
端部が共通ベース１２４に固定されていて、両ユニット
３４，３５用のケーブルやエアーチューブ、或いは後述
する洗浄用のチューブや廃液（再利用）用のチューブ等
が、収容されている（図示省略）。
に平行にケーブルベア１３９が配設されている。ケーブ
ルベア１３９は、共通機台３１上に固定されると共に先
端部が共通ベース１２４に固定されていて、両ユニット
３４，３５用のケーブルやエアーチューブ、或いは後述
する洗浄用のチューブや廃液（再利用）用のチューブ等
が、収容されている（図示省略）。
【０１１８】次に、図４３ないし図４６を参照して、液
体供給回収装置１３について説明する。図４３の配管系
統図に示すように、液体供給回収装置１３は、ヘッドユ
ニット２６の各機能液滴吐出ヘッド７に液体材料を供給
する液体供給系１４１と、クリーニングユニット３４で
吸引した液体材料を回収する液体回収系１４２と、ワイ
ピングユニット３５に、液体材料の溶剤を洗浄用として
供給する洗浄液供給系１４３と、フラッシングユニット
３３からの廃液を回収する廃液回収系１４４とで構成さ
れている。
体供給回収装置１３について説明する。図４３の配管系
統図に示すように、液体供給回収装置１３は、ヘッドユ
ニット２６の各機能液滴吐出ヘッド７に液体材料を供給
する液体供給系１４１と、クリーニングユニット３４で
吸引した液体材料を回収する液体回収系１４２と、ワイ
ピングユニット３５に、液体材料の溶剤を洗浄用として
供給する洗浄液供給系１４３と、フラッシングユニット
３３からの廃液を回収する廃液回収系１４４とで構成さ
れている。
【０１１９】図４４および図４５は、上記の共通機台３
１の大きい方の収容室１２２ａに収容したタンク群であ
り、引出し形式の防液パン１４６上に、複数のタンクが
載置されている。防液パン１４６上には、タンク群を構
成する、図示左側から洗浄液供給系１４３の洗浄タンク
１４７、液体回収系１４２の再利用タンク１４８および
液体供給系１４１の加圧タンク１４９が横並びに配設さ
れると共に、洗浄タンク１４７および再利用タンク１４
８の近傍に、小型に形成した廃液回収系１４４の廃液タ
ンク１５０が配設されている。
１の大きい方の収容室１２２ａに収容したタンク群であ
り、引出し形式の防液パン１４６上に、複数のタンクが
載置されている。防液パン１４６上には、タンク群を構
成する、図示左側から洗浄液供給系１４３の洗浄タンク
１４７、液体回収系１４２の再利用タンク１４８および
液体供給系１４１の加圧タンク１４９が横並びに配設さ
れると共に、洗浄タンク１４７および再利用タンク１４
８の近傍に、小型に形成した廃液回収系１４４の廃液タ
ンク１５０が配設されている。
【０１２０】図４３に示すように、廃液タンク１５０
は、廃液ポンプ１５２を介してフラッシングユニット３
３に接続され、各機能液滴吐出ヘッド７によりフラッシ
ングユニット３３に吐出した液体材料を、廃液タンク１
５０に回収する。再利用タンク１４８は、クリーニング
ユニット３４の吸引ポンプ１５３に接続されており、吸
引ポンプ１５３により各機能液滴吐出ヘッド７から吸引
した液体材料を回収する。なお、図４６に示すように、
廃液ポンプ１５２と後述する給液タンク１２６上流側の
開閉弁１５４とは、支持プレート１５５に固定されてお
り、上述のように、機台本体１２１の端部上面に取り付
けられている（図１６参照）。
は、廃液ポンプ１５２を介してフラッシングユニット３
３に接続され、各機能液滴吐出ヘッド７によりフラッシ
ングユニット３３に吐出した液体材料を、廃液タンク１
５０に回収する。再利用タンク１４８は、クリーニング
ユニット３４の吸引ポンプ１５３に接続されており、吸
引ポンプ１５３により各機能液滴吐出ヘッド７から吸引
した液体材料を回収する。なお、図４６に示すように、
廃液ポンプ１５２と後述する給液タンク１２６上流側の
開閉弁１５４とは、支持プレート１５５に固定されてお
り、上述のように、機台本体１２１の端部上面に取り付
けられている（図１６参照）。
【０１２１】図４３に示すように、洗浄タンク１４７に
は、エアー供給装置１４に連なるタンク加圧用のチュー
ブ１５６が接続され、流出側がワイピングユニット３５
の洗浄液噴霧ヘッド噴霧ノズル（後述する）１９５に接
続されている。すなわち、洗浄タンク１４７は、エアー
供給装置１４から導入される圧縮エアーにより、内部の
洗浄液を洗浄液噴霧ヘッド１９５に圧力供給する。詳細
は後述するが、洗浄液噴霧ヘッド１９５が吐出した洗浄
液は、機能液滴吐出ヘッド７を拭き取るワイピンクング
シート１８２に含浸される。
は、エアー供給装置１４に連なるタンク加圧用のチュー
ブ１５６が接続され、流出側がワイピングユニット３５
の洗浄液噴霧ヘッド噴霧ノズル（後述する）１９５に接
続されている。すなわち、洗浄タンク１４７は、エアー
供給装置１４から導入される圧縮エアーにより、内部の
洗浄液を洗浄液噴霧ヘッド１９５に圧力供給する。詳細
は後述するが、洗浄液噴霧ヘッド１９５が吐出した洗浄
液は、機能液滴吐出ヘッド７を拭き取るワイピンクング
シート１８２に含浸される。
【０１２２】加圧タンク１４９には、エアー供給装置１
４に連なるタンク加圧用のチューブ１５７が接続され、
流出側が液体供給系１４１の給液タンク１２６に接続さ
れている。すなわち、加圧タンク１４９は、液体材料の
メインタンクであり、エアー供給装置１４から導入され
る圧縮エアーにより、内部の液体材料を給液タンク１２
６に圧送する。
４に連なるタンク加圧用のチューブ１５７が接続され、
流出側が液体供給系１４１の給液タンク１２６に接続さ
れている。すなわち、加圧タンク１４９は、液体材料の
メインタンクであり、エアー供給装置１４から導入され
る圧縮エアーにより、内部の液体材料を給液タンク１２
６に圧送する。
【０１２３】図４７ないし図４９は、給液タンク１２６
を表している。給液タンク１２６は、上記のタンクベー
ス１２５上に固定されており、両側に液位窓１６２，１
６２を有すると共にフランジ形式で閉蓋された矩形のタ
ンク本体１６１と、両液位窓１６２，１６２に臨んで機
能液の液位（水位）を検出する液位検出器１６３と、タ
ンク本体１６１が載置されるパン１６４と、パン１６４
を介してタンク本体１６１を支持するタンクスタンド１
６５とを備えている。
を表している。給液タンク１２６は、上記のタンクベー
ス１２５上に固定されており、両側に液位窓１６２，１
６２を有すると共にフランジ形式で閉蓋された矩形のタ
ンク本体１６１と、両液位窓１６２，１６２に臨んで機
能液の液位（水位）を検出する液位検出器１６３と、タ
ンク本体１６１が載置されるパン１６４と、パン１６４
を介してタンク本体１６１を支持するタンクスタンド１
６５とを備えている。
【０１２４】タンクスタンド１６５は、取付けプレート
１６７と、取付けプレート１６７上に立設した２本の支
柱状部材１６８，１６８とから成り、この２本の支柱状
部材１６８により、タンク本体１６１の高さおよび水平
が微調節できるようになっている。タンク本体（の蓋
体）１６１の上面には、加圧タンク１４９に連なる供給
チューブ１６９が繋ぎこまれており、またヘッドユニッ
ト２６側にのびる給液通路（図４３の符号１５８）用の
６つのコネクタ１７０ａおよび大気開放用の１つのコネ
クタ１７０ｂが、設けられている。
１６７と、取付けプレート１６７上に立設した２本の支
柱状部材１６８，１６８とから成り、この２本の支柱状
部材１６８により、タンク本体１６１の高さおよび水平
が微調節できるようになっている。タンク本体（の蓋
体）１６１の上面には、加圧タンク１４９に連なる供給
チューブ１６９が繋ぎこまれており、またヘッドユニッ
ト２６側にのびる給液通路（図４３の符号１５８）用の
６つのコネクタ１７０ａおよび大気開放用の１つのコネ
クタ１７０ｂが、設けられている。
【０１２５】液位検出器１６３は、上下に僅かに離間し
て配設した上限レベル検出器１６３ａおよび下限レベル
検出器１６３ｂから成り、この上限レベル検出器１６３
ａと下限レベル検出器１６３ｂとは、タンクスタンド１
６５に対し、基部側で個々に高さ調節自在に取り付けら
れている。上限レベル検出器１６３ａおよび下限レベル
検出器１６３ｂは、いずれもタンク本体１６１の両液位
窓１６２，１６２に向かっての延びる一対の板状アーム
１６３ｃ，１６３ｃを有しており、一対の板状アーム１
６３ｃ，１６３ｃの一方には、一方の液位窓１６２に臨
む発光素子１６３ｄが、他方には他方の液位窓１６２に
臨む受光素子１６３ｅが取り付けられている。すなわ
ち、この発光素子１６３ｄおよび受光素子１６３ｅによ
り、透過型の液位センサが構成されている。
て配設した上限レベル検出器１６３ａおよび下限レベル
検出器１６３ｂから成り、この上限レベル検出器１６３
ａと下限レベル検出器１６３ｂとは、タンクスタンド１
６５に対し、基部側で個々に高さ調節自在に取り付けら
れている。上限レベル検出器１６３ａおよび下限レベル
検出器１６３ｂは、いずれもタンク本体１６１の両液位
窓１６２，１６２に向かっての延びる一対の板状アーム
１６３ｃ，１６３ｃを有しており、一対の板状アーム１
６３ｃ，１６３ｃの一方には、一方の液位窓１６２に臨
む発光素子１６３ｄが、他方には他方の液位窓１６２に
臨む受光素子１６３ｅが取り付けられている。すなわ
ち、この発光素子１６３ｄおよび受光素子１６３ｅによ
り、透過型の液位センサが構成されている。
【０１２６】給液タンク１２６に接続される上記の供給
チューブ１６９の上流側には、開閉弁１５４が介設され
ている（図４３および図４６参照）。開閉弁１５４は、
上限レベル検出器１６３ａおよび下限レベル検出器１６
３ｂにより開閉制御され、給液タンク１２６の液位が常
に上限レベルと下限レベルの間にあるように調整され
る。ここで、液体材料は、所定圧で加圧タンク１４９か
ら給液タンク１２６に圧送されるが、給液タンク１２６
では、この加圧タンク１４９側の圧力が大気開放で縁切
りされ、上記液位の調整によって管理される僅かな水頭
圧（例えば２５ｍｍ±０．５ｍｍ）で機能液滴吐出ヘッ
ド７に液体材料が供給される。これにより、機能液滴吐
出ヘッド７のポンピング動作、すなわちポンプ部６４内
の圧電素子のポンプ駆動で精度良く液滴が吐出され、機
能液滴吐出ヘッド７の吐出ノズル６８からの液垂れが防
止される。
チューブ１６９の上流側には、開閉弁１５４が介設され
ている（図４３および図４６参照）。開閉弁１５４は、
上限レベル検出器１６３ａおよび下限レベル検出器１６
３ｂにより開閉制御され、給液タンク１２６の液位が常
に上限レベルと下限レベルの間にあるように調整され
る。ここで、液体材料は、所定圧で加圧タンク１４９か
ら給液タンク１２６に圧送されるが、給液タンク１２６
では、この加圧タンク１４９側の圧力が大気開放で縁切
りされ、上記液位の調整によって管理される僅かな水頭
圧（例えば２５ｍｍ±０．５ｍｍ）で機能液滴吐出ヘッ
ド７に液体材料が供給される。これにより、機能液滴吐
出ヘッド７のポンピング動作、すなわちポンプ部６４内
の圧電素子のポンプ駆動で精度良く液滴が吐出され、機
能液滴吐出ヘッド７の吐出ノズル６８からの液垂れが防
止される。
【０１２７】なお、図４３に示すように、給液タンク１
２６からの６本の給液通路１５８は、それぞれＴ字継ぎ
手１５８ａを介して２本宛計１２本の分岐通路１５８ｂ
に分岐され、ヘッドユニット２６に設けた配管ジョイン
ト４９の１２個の各ソケット４９２にこれら各分岐通路
１５８ｂを装置側配管部材として接続している。また、
各分岐通路１５８ｂには開閉弁１６６が介設されてお
り、機能液滴吐出ヘッド７への液体充填工程で後記詳述
するように開閉弁１６６を一時的に閉弁するようにし
た。
２６からの６本の給液通路１５８は、それぞれＴ字継ぎ
手１５８ａを介して２本宛計１２本の分岐通路１５８ｂ
に分岐され、ヘッドユニット２６に設けた配管ジョイン
ト４９の１２個の各ソケット４９２にこれら各分岐通路
１５８ｂを装置側配管部材として接続している。また、
各分岐通路１５８ｂには開閉弁１６６が介設されてお
り、機能液滴吐出ヘッド７への液体充填工程で後記詳述
するように開閉弁１６６を一時的に閉弁するようにし
た。
【０１２８】次に、メンテナンス装置１６について、ワ
イピングユニット３５、クリーニングユニット３４、フ
ラッシングユニット３３の順で説明する。
イピングユニット３５、クリーニングユニット３４、フ
ラッシングユニット３３の順で説明する。
【０１２９】図５０ないし図５５に示すように、ワイピ
ングユニット３５は、別個独立に構成された巻取りユニ
ット（図５０ないし図５２）１７１と拭取りユニット
（図５３ないし図５５）１７２とから成り、上記の共通
ベース１２４上に、突き合わせた状態で配設されてい
る。巻取りユニット１７１は共通ベース１２４の手前側
に、拭取りユニット１７２は共通ベース１２４の奥側、
すなわちクリーニングユニット３４側に配設されてい
る。
ングユニット３５は、別個独立に構成された巻取りユニ
ット（図５０ないし図５２）１７１と拭取りユニット
（図５３ないし図５５）１７２とから成り、上記の共通
ベース１２４上に、突き合わせた状態で配設されてい
る。巻取りユニット１７１は共通ベース１２４の手前側
に、拭取りユニット１７２は共通ベース１２４の奥側、
すなわちクリーニングユニット３４側に配設されてい
る。
【０１３０】実施形態のワイピングユニット３５は、ク
リーニングユニット３４の直上部、すなわちクリーング
位置に停止しているヘッドユニット２６に対し、後述す
るワイピングシート１８２を走行させながら、上記の移
動テーブル１２３により全体としてＸ軸方向に移動し、
複数の機能液滴吐出ヘッド７を拭き取るものである。こ
のため、ワイピングユニット３５は、巻取りユニット１
７１から繰り出され、拭取り動作のために拭取りユニッ
ト１７２を周回して巻取りユニット１７１に巻き取られ
るようになっている。
リーニングユニット３４の直上部、すなわちクリーング
位置に停止しているヘッドユニット２６に対し、後述す
るワイピングシート１８２を走行させながら、上記の移
動テーブル１２３により全体としてＸ軸方向に移動し、
複数の機能液滴吐出ヘッド７を拭き取るものである。こ
のため、ワイピングユニット３５は、巻取りユニット１
７１から繰り出され、拭取り動作のために拭取りユニッ
ト１７２を周回して巻取りユニット１７１に巻き取られ
るようになっている。
【０１３１】図５０、図５１および図５２に示すよう
に、巻取りユニット１７１は、片持ち形式のフレーム１
７４と、フレーム１７４に回転自在に支持した上側の繰
出しリール１７５および下側の巻取りリール１７６と、
巻取りリール１７６を巻取り回転させる巻取りモータ１
７７とを備えている。また、フレーム１７４の上側部は
サブフレーム１７８が固定されており、このサブフレー
ム１７８には、繰出しリール１７５の先方に位置するよ
うに速度検出ローラ１７９および中間ローラ１８０が、
両持ちで支持されている。さらに、これら構成部品の下
側には、洗浄液を受ける洗浄液パン１８１が配設されて
いる。
に、巻取りユニット１７１は、片持ち形式のフレーム１
７４と、フレーム１７４に回転自在に支持した上側の繰
出しリール１７５および下側の巻取りリール１７６と、
巻取りリール１７６を巻取り回転させる巻取りモータ１
７７とを備えている。また、フレーム１７４の上側部は
サブフレーム１７８が固定されており、このサブフレー
ム１７８には、繰出しリール１７５の先方に位置するよ
うに速度検出ローラ１７９および中間ローラ１８０が、
両持ちで支持されている。さらに、これら構成部品の下
側には、洗浄液を受ける洗浄液パン１８１が配設されて
いる。
【０１３２】繰出しリール１７５には、ロール状のワイ
ピングシート１８２が挿填され、繰出しリール１７５か
ら繰り出されたワイピングシート１８２は、速度検出ロ
ーラ１７９および中間ローラ１８０を介して拭取りユニ
ット１７２に送り込まれる。巻取りリール１７６と巻取
りモータ１７７との間にはタイミングベルト１８３が掛
け渡され、巻取りリール１７６は巻取りモータ１７７に
より回転してワイピングシート１８２を巻き取る。
ピングシート１８２が挿填され、繰出しリール１７５か
ら繰り出されたワイピングシート１８２は、速度検出ロ
ーラ１７９および中間ローラ１８０を介して拭取りユニ
ット１７２に送り込まれる。巻取りリール１７６と巻取
りモータ１７７との間にはタイミングベルト１８３が掛
け渡され、巻取りリール１７６は巻取りモータ１７７に
より回転してワイピングシート１８２を巻き取る。
【０１３３】詳細は後述するが、拭取りユニット１７２
にもワイピングシート１８２を送るモータ（拭取りモー
タ１９４）が設けられており、繰出しリール１７５は、
これに設けたトルクリミッタ１８４により、拭取りモー
タ１９４に抗するように制動回転する。速度検出ローラ
１７９は、自由回転する上下２つのローラ１７９ａ，１
７９ｂから成るグリップローラであり、これに設けた速
度検出器１８５により、巻取りモータ１７７を制御す
る。すなわち、繰出しリール１７５は、ワイピングシー
ト１８２を張った状態で送り出し、巻取りリール１７６
は、ワイピングシート１８２を弛みが生じないように巻
き取る。
にもワイピングシート１８２を送るモータ（拭取りモー
タ１９４）が設けられており、繰出しリール１７５は、
これに設けたトルクリミッタ１８４により、拭取りモー
タ１９４に抗するように制動回転する。速度検出ローラ
１７９は、自由回転する上下２つのローラ１７９ａ，１
７９ｂから成るグリップローラであり、これに設けた速
度検出器１８５により、巻取りモータ１７７を制御す
る。すなわち、繰出しリール１７５は、ワイピングシー
ト１８２を張った状態で送り出し、巻取りリール１７６
は、ワイピングシート１８２を弛みが生じないように巻
き取る。
【０１３４】図５３、図５４および図５５に示すよう
に、拭取りユニット１７２は、左右一対のスタンド１９
１，１９１と、一対のスタンド１９１，１９１に支持さ
れた断面略「Ｕ」字状のベースフレーム１９２と、ベー
スフレーム１９２に両持ちで回転自在に支持された拭取
りローラ１９３と、拭取りローラ１９３を回転させる拭
取りモータ１９４と、拭取りローラ１９３に平行に対峙
する洗浄液噴霧ヘッド１９５と、ベースフレーム１９２
を昇降させる複動形式の一対のエアーシリンダ１９６，
１９６とを備えている。
に、拭取りユニット１７２は、左右一対のスタンド１９
１，１９１と、一対のスタンド１９１，１９１に支持さ
れた断面略「Ｕ」字状のベースフレーム１９２と、ベー
スフレーム１９２に両持ちで回転自在に支持された拭取
りローラ１９３と、拭取りローラ１９３を回転させる拭
取りモータ１９４と、拭取りローラ１９３に平行に対峙
する洗浄液噴霧ヘッド１９５と、ベースフレーム１９２
を昇降させる複動形式の一対のエアーシリンダ１９６，
１９６とを備えている。
【０１３５】一対のスタンド１９１，１９１は、それぞ
れ外側に位置する固定スタント１９８と、固定スタント
１９８の内側に、上下方向にスライド自在に取り付けた
可動スタンド１９９とから成り、各固定スタンド１９８
のベース部に上記のエアーシリンダ１９６が立設されて
いる。各エアーシリンダ１９６のプランジャ１９６ａ
は、可動スタンド１９９に固定されており、同時に駆動
する一対のエアーシリンダ１９６，１９６により、ベー
スフレーム１９２およびこれに支持された拭取りローラ
１９３や拭取りモータ１９４等が昇降する。
れ外側に位置する固定スタント１９８と、固定スタント
１９８の内側に、上下方向にスライド自在に取り付けた
可動スタンド１９９とから成り、各固定スタンド１９８
のベース部に上記のエアーシリンダ１９６が立設されて
いる。各エアーシリンダ１９６のプランジャ１９６ａ
は、可動スタンド１９９に固定されており、同時に駆動
する一対のエアーシリンダ１９６，１９６により、ベー
スフレーム１９２およびこれに支持された拭取りローラ
１９３や拭取りモータ１９４等が昇降する。
【０１３６】拭取りローラ１９３は、タイミングベルト
２０１を介して拭取りモータ１９４に連結した駆動ロー
ラ２０２と、ワイピングシート１８２を挟んで駆動ロー
ラ２０２に接触する従動ローラ２０３とから成る、グリ
ップローラで構成されている。駆動ローラ２０２は、例
えばコア部分に弾力性或いは柔軟性を有するゴムを巻回
したゴムローラで構成され、これに周回するワイピング
シート１８２を、走行させながら機能液滴吐出ヘッド７
のノズル形成面６７に押し付けるようになっている。
２０１を介して拭取りモータ１９４に連結した駆動ロー
ラ２０２と、ワイピングシート１８２を挟んで駆動ロー
ラ２０２に接触する従動ローラ２０３とから成る、グリ
ップローラで構成されている。駆動ローラ２０２は、例
えばコア部分に弾力性或いは柔軟性を有するゴムを巻回
したゴムローラで構成され、これに周回するワイピング
シート１８２を、走行させながら機能液滴吐出ヘッド７
のノズル形成面６７に押し付けるようになっている。
【０１３７】洗浄液噴霧ヘッド１９５は、拭取りローラ
（駆動ローラ２０２）１９３の近傍にあって、上記の中
間ローラ１８０から送られてくるワイピングシート１８
２に洗浄液を吹き付ける。このため、洗浄液噴霧ヘッド
１９５の前面、すなわち拭取りローラ１９３側には、複
数の噴霧ノズル２０４がワイピングシート１８２の幅に
合わせて横並びに設けられ、後面には、上記の洗浄タン
ク１４７に連なるチューブ接続用の複数のコネクタ２０
５が設けられている。
（駆動ローラ２０２）１９３の近傍にあって、上記の中
間ローラ１８０から送られてくるワイピングシート１８
２に洗浄液を吹き付ける。このため、洗浄液噴霧ヘッド
１９５の前面、すなわち拭取りローラ１９３側には、複
数の噴霧ノズル２０４がワイピングシート１８２の幅に
合わせて横並びに設けられ、後面には、上記の洗浄タン
ク１４７に連なるチューブ接続用の複数のコネクタ２０
５が設けられている。
【０１３８】洗浄液を吹き付けられたワイピングシート
１８２は、洗浄液を含浸し、機能液滴吐出ヘッド７に臨
んでこれを拭き取るようになっている。なお、拭取りロ
ーラ１９３の下方に位置して、ベースフレーム１９２に
も洗浄液パンが設けられており、巻取りユニット１７１
の洗浄液パン１８１と共に、ワイピングシート１８２か
ら滴る洗浄液を受け得るようになっている。
１８２は、洗浄液を含浸し、機能液滴吐出ヘッド７に臨
んでこれを拭き取るようになっている。なお、拭取りロ
ーラ１９３の下方に位置して、ベースフレーム１９２に
も洗浄液パンが設けられており、巻取りユニット１７１
の洗浄液パン１８１と共に、ワイピングシート１８２か
ら滴る洗浄液を受け得るようになっている。
【０１３９】ここで、図５６の模式図を参照して、一連
の拭取り動作を簡単に説明する。ヘッドユニット２６の
クリーニングが完了すると、移動テーブル１２３が駆動
し、ワイピングユニット３５を前進させてヘッドユニッ
ト２６に十分に接近させる。拭取りローラ１９３が機能
液滴吐出ヘッド７の近傍まで移動したら、移動テーブル
１２３を停止し、両エアーシリンダ１９６，１９６を駆
動して、機能液滴吐出ヘッド７に接触（押し付ける）す
るように拭取りローラ１９３を上昇させる。
の拭取り動作を簡単に説明する。ヘッドユニット２６の
クリーニングが完了すると、移動テーブル１２３が駆動
し、ワイピングユニット３５を前進させてヘッドユニッ
ト２６に十分に接近させる。拭取りローラ１９３が機能
液滴吐出ヘッド７の近傍まで移動したら、移動テーブル
１２３を停止し、両エアーシリンダ１９６，１９６を駆
動して、機能液滴吐出ヘッド７に接触（押し付ける）す
るように拭取りローラ１９３を上昇させる。
【０１４０】ここで、巻取りモータ１７７および拭取り
モータ１９４を駆動して、ワイピングシート１８２を拭
取り送りすると共に、洗浄液の噴霧を開始する。また、
これと同時に、再度移動テーブル１２３を駆動し、ワイ
ピングシート１８２の送りを行いながら、拭取りローラ
１９３を、複数の機能液滴吐出ヘッド７の下面を拭き取
るように前進させる。拭取り動作が完了したら、ワイピ
ングシート１８２の送りを停止し且つ拭取りローラ１９
３を下降させ、さらに移動テーブル１２３によりワイピ
ングユニット３５を、元の位置に後退させる。
モータ１９４を駆動して、ワイピングシート１８２を拭
取り送りすると共に、洗浄液の噴霧を開始する。また、
これと同時に、再度移動テーブル１２３を駆動し、ワイ
ピングシート１８２の送りを行いながら、拭取りローラ
１９３を、複数の機能液滴吐出ヘッド７の下面を拭き取
るように前進させる。拭取り動作が完了したら、ワイピ
ングシート１８２の送りを停止し且つ拭取りローラ１９
３を下降させ、さらに移動テーブル１２３によりワイピ
ングユニット３５を、元の位置に後退させる。
【０１４１】次に、図５７ないし図６０を参照して、ク
リーニングユニット３４について説明する。クリーニン
グユニット３４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド７に対
応して１２個のキャップ２１２を、キャップベース２１
３に配置したキャップユニット２１１と、キャップユニ
ット２１１を支持する支持部材２１４と、支持部材２１
４を介してキャップユニット２１１を昇降させる昇降機
構２１５とを備えている。また、図４３に示すように、
吸引ポンプ１５３を介設した再利用タンク１４８に連な
る吸引通路２１６をヘッダパイプ２１６ａを介して１２
本の分岐通路２１６ｂに分岐し、これら各分岐通路２１
６ｂを各キャップ２１２に接続している。各分岐通路２
１６ｂには、キャップ２１２側から順に液体センサ２１
７と圧力センサ２１８と開閉弁２１９とが設けられてい
る。
リーニングユニット３４について説明する。クリーニン
グユニット３４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド７に対
応して１２個のキャップ２１２を、キャップベース２１
３に配置したキャップユニット２１１と、キャップユニ
ット２１１を支持する支持部材２１４と、支持部材２１
４を介してキャップユニット２１１を昇降させる昇降機
構２１５とを備えている。また、図４３に示すように、
吸引ポンプ１５３を介設した再利用タンク１４８に連な
る吸引通路２１６をヘッダパイプ２１６ａを介して１２
本の分岐通路２１６ｂに分岐し、これら各分岐通路２１
６ｂを各キャップ２１２に接続している。各分岐通路２
１６ｂには、キャップ２１２側から順に液体センサ２１
７と圧力センサ２１８と開閉弁２１９とが設けられてい
る。
【０１４２】１２個のキャップ２１２は、ヘッドユニッ
ト２６の１２個の機能液滴吐出ヘッド７と同じ並びで且
つ同じ傾き姿勢で、キャップベース２１３に固定されて
いる。各キャップ２１２は、図６１に示すように、キャ
ップ本体２２０とキャップホルダ２２１とから成り、キ
ャップ本体２２０は、２つのばね２２２，２２２で上方
に付勢され且つ僅かに上下動可能な状態でキャップホル
ダ２２１に保持されている。キャップベース２１３に
は、１２個のキャップ２１２に対応して１２個の取付け
開口２２４が形成されると共に、この取付け開口２２４
を含むように１２個の浅溝２２５が形成されている。各
キャップ２１２は、下部を取付け開口２２４に挿入し、
そのキャップホルダ２２１を浅溝２２５に位置決めされ
た状態で、浅溝２２５の部分にねじ止めされている（図
６０参照）。
ト２６の１２個の機能液滴吐出ヘッド７と同じ並びで且
つ同じ傾き姿勢で、キャップベース２１３に固定されて
いる。各キャップ２１２は、図６１に示すように、キャ
ップ本体２２０とキャップホルダ２２１とから成り、キ
ャップ本体２２０は、２つのばね２２２，２２２で上方
に付勢され且つ僅かに上下動可能な状態でキャップホル
ダ２２１に保持されている。キャップベース２１３に
は、１２個のキャップ２１２に対応して１２個の取付け
開口２２４が形成されると共に、この取付け開口２２４
を含むように１２個の浅溝２２５が形成されている。各
キャップ２１２は、下部を取付け開口２２４に挿入し、
そのキャップホルダ２２１を浅溝２２５に位置決めされ
た状態で、浅溝２２５の部分にねじ止めされている（図
６０参照）。
【０１４３】各キャップ本体２２０の上面には、機能液
滴吐出ヘッド７の２列の吐出ノズル群を包含する凹部２
２０ａが形成され、凹部２２０ａの周縁部にはシールパ
ッキン２２７が取り付けられ、また底部位には吸収材２
２８が押え枠２２８ａにより押えつけた状態で敷設され
ている。そして、凹部２２０ａの底部位には小孔２２９
が形成され、この小孔２２９が、吸引用の各分岐通路２
１６ｂが接続されるＬ字継手２３０に連通している。液
体材料を吸引する場合には、機能液滴吐出ヘッド７のノ
ズル形成面６７にシールパッキン２２７を押し付けて、
２列の吐出ノズル群を包含するようノズル形成面６７を
封止する。
滴吐出ヘッド７の２列の吐出ノズル群を包含する凹部２
２０ａが形成され、凹部２２０ａの周縁部にはシールパ
ッキン２２７が取り付けられ、また底部位には吸収材２
２８が押え枠２２８ａにより押えつけた状態で敷設され
ている。そして、凹部２２０ａの底部位には小孔２２９
が形成され、この小孔２２９が、吸引用の各分岐通路２
１６ｂが接続されるＬ字継手２３０に連通している。液
体材料を吸引する場合には、機能液滴吐出ヘッド７のノ
ズル形成面６７にシールパッキン２２７を押し付けて、
２列の吐出ノズル群を包含するようノズル形成面６７を
封止する。
【０１４４】各キャップ２１２には、更に、凹部２２０
ａをその底面側で大気開放する大気開放弁２３１が設け
られている。大気開放弁２３１は、ばね２３１ａで上方
の閉じ側に付勢されており、液体材料の吸引動作の最終
段階で、大気開放弁２３１を引き下げて開弁することに
より、吸収材２２８に含浸されている液体材料も吸引で
きるようにしている。図中２３１ｂは大気開放弁２３１
の操作部である。
ａをその底面側で大気開放する大気開放弁２３１が設け
られている。大気開放弁２３１は、ばね２３１ａで上方
の閉じ側に付勢されており、液体材料の吸引動作の最終
段階で、大気開放弁２３１を引き下げて開弁することに
より、吸収材２２８に含浸されている液体材料も吸引で
きるようにしている。図中２３１ｂは大気開放弁２３１
の操作部である。
【０１４５】支持部材２１４は、上端にキャップユニッ
ト２１１を支持する支持プレート２４１を有する支持部
材本体２４２と、支持部材本体２４２を上下方向にスラ
イド自在に支持するスタンド２４３とを備えている。支
持プレート２４１の長手方向の両側下面には、一対のエ
アーシリンダ２４４，２４４が固定されており、この一
対のエアーシリンダ２４４，２４４で昇降される操作プ
レート２４５を設けて、操作プレート２４５上に各キャ
ップ２１２の大気開放弁２３１の操作部２３１ｂに係合
するフック２４５ａを取り付けている。かくて、一対の
エアーシリンダ２４４，２４４により操作プレート２４
５を介して大気開放弁２３１が開閉される。
ト２１１を支持する支持プレート２４１を有する支持部
材本体２４２と、支持部材本体２４２を上下方向にスラ
イド自在に支持するスタンド２４３とを備えている。支
持プレート２４１の長手方向の両側下面には、一対のエ
アーシリンダ２４４，２４４が固定されており、この一
対のエアーシリンダ２４４，２４４で昇降される操作プ
レート２４５を設けて、操作プレート２４５上に各キャ
ップ２１２の大気開放弁２３１の操作部２３１ｂに係合
するフック２４５ａを取り付けている。かくて、一対の
エアーシリンダ２４４，２４４により操作プレート２４
５を介して大気開放弁２３１が開閉される。
【０１４６】昇降機構２１５は、スタンド２４３のベー
ス部２４３ａに立設したエアーシリンダから成る下段の
昇降シリンダ２４６と、このシリンダ２４６で昇降され
るプレート２４８上に立設したエアーシリンダから成る
上段の昇降シリンダ２４７とを備えており、前記支持プ
レート２４１に上段の昇降シリンダ２４７のピストンロ
ッドが連結されている。両昇降シリンダ２４６，２４７
のストロークは互い異なっており、両昇降シリンダ２４
６，２４７の選択作動でキャップユニット２１１の上昇
位置を比較的高い第１位置と比較的低い第２位置とに切
り換え自在としている。
ス部２４３ａに立設したエアーシリンダから成る下段の
昇降シリンダ２４６と、このシリンダ２４６で昇降され
るプレート２４８上に立設したエアーシリンダから成る
上段の昇降シリンダ２４７とを備えており、前記支持プ
レート２４１に上段の昇降シリンダ２４７のピストンロ
ッドが連結されている。両昇降シリンダ２４６，２４７
のストロークは互い異なっており、両昇降シリンダ２４
６，２４７の選択作動でキャップユニット２１１の上昇
位置を比較的高い第１位置と比較的低い第２位置とに切
り換え自在としている。
【０１４７】ここで、キャップユニット２１１は、ヘッ
ドユニット２６をキャップユニット２１１の直上部に臨
むクリーニング位置に移動する際に機能液滴吐出ヘッド
７がキャップ２１２に当接しないように、常時は、キャ
ップ２１２のシールパッキン２２７と機能液滴吐出ヘッ
ド７のノズル形成面６７との間に数ｍｍの隙間が空くよ
うに設定した下降端位置に待機している。そして、第１
位置への上昇でキャップ２１２のシールパッキン２２７
を機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面６７に密着さ
せ、第２位置では、キャップ２１２のシールパッキン２
２７と機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面６７との間
に僅かな隙間（例えば０．５ｍｍ程度）が空くようにし
ている。なお、本実施形態では、キャップユニット２１
１を下段の昇降シリンダ２４６で第１位置に上昇させ、
上段の昇降シリンダ２４７で第２位置に上昇させるよう
にしているが、第１位置と第２位置とへの上昇を上下逆
の昇降シリンダで行うように構成しても勿論良い。
ドユニット２６をキャップユニット２１１の直上部に臨
むクリーニング位置に移動する際に機能液滴吐出ヘッド
７がキャップ２１２に当接しないように、常時は、キャ
ップ２１２のシールパッキン２２７と機能液滴吐出ヘッ
ド７のノズル形成面６７との間に数ｍｍの隙間が空くよ
うに設定した下降端位置に待機している。そして、第１
位置への上昇でキャップ２１２のシールパッキン２２７
を機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面６７に密着さ
せ、第２位置では、キャップ２１２のシールパッキン２
２７と機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面６７との間
に僅かな隙間（例えば０．５ｍｍ程度）が空くようにし
ている。なお、本実施形態では、キャップユニット２１
１を下段の昇降シリンダ２４６で第１位置に上昇させ、
上段の昇降シリンダ２４７で第２位置に上昇させるよう
にしているが、第１位置と第２位置とへの上昇を上下逆
の昇降シリンダで行うように構成しても勿論良い。
【０１４８】このように構成されたクリーニングユニッ
ト３４は、移動テーブル１２３によりヘッドユニット２
６のＹ軸方向移動軌跡に交差する位置に移動しており、
これに対しヘッドユニット２６がクリーニングユニット
３４（キャップユニット２１１）の直上部に臨むクリー
ニング位置にＹ軸テーブル２４により移動する。ここ
で、昇降機構２１５の下段の昇降シリンダ２４６の作動
によりキャップユニット２１１が第１位置に上昇し、ヘ
ッドユニット２６の１２個の機能液滴吐出ヘッド７に、
下側から１２個のキャップ２１２を押し付ける。各機能
液滴吐出ヘッド７に押し付けられた各キャップ２１２
は、自身の２つのばね２２２，２２２に抗してそのキャ
ップ本体２２０が幾分沈み込み、そのシールパッキン２
２７が機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面６７に均一
に密着する。
ト３４は、移動テーブル１２３によりヘッドユニット２
６のＹ軸方向移動軌跡に交差する位置に移動しており、
これに対しヘッドユニット２６がクリーニングユニット
３４（キャップユニット２１１）の直上部に臨むクリー
ニング位置にＹ軸テーブル２４により移動する。ここ
で、昇降機構２１５の下段の昇降シリンダ２４６の作動
によりキャップユニット２１１が第１位置に上昇し、ヘ
ッドユニット２６の１２個の機能液滴吐出ヘッド７に、
下側から１２個のキャップ２１２を押し付ける。各機能
液滴吐出ヘッド７に押し付けられた各キャップ２１２
は、自身の２つのばね２２２，２２２に抗してそのキャ
ップ本体２２０が幾分沈み込み、そのシールパッキン２
２７が機能液滴吐出ヘッド７のノズル形成面６７に均一
に密着する。
【０１４９】続いて、吸引ポンプ１５３を駆動すると共
に、吸引用の各分岐通路２１６ｂに介設した開閉弁２１
９を開弁し、各機能液滴吐出ヘッド７の全吐出ノズル６
８から各キャップ２１２を介して液体材料を吸引する。
そして、吸引完了の直前に大気開放弁２３１を開弁し、
その後開閉弁２１９を閉弁して吸引を完了する。吸引動
作が完了したら、キャップユニット２１１を下降端位置
に下降させる。なお、吸引中は、吸引用の各分岐通路２
１６ｂに設けた圧力センサ２１８からの信号に基づいて
各キャップ２１２の吸引不良を生じたか否かを監視す
る。また、装置の稼動を停止しているとき等のヘッド保
管時には、キャップユニット２１１を第１位置に上昇さ
せ、各機能液滴吐出ヘッド７を各キャップ２１２で封止
して、保管状態とする。
に、吸引用の各分岐通路２１６ｂに介設した開閉弁２１
９を開弁し、各機能液滴吐出ヘッド７の全吐出ノズル６
８から各キャップ２１２を介して液体材料を吸引する。
そして、吸引完了の直前に大気開放弁２３１を開弁し、
その後開閉弁２１９を閉弁して吸引を完了する。吸引動
作が完了したら、キャップユニット２１１を下降端位置
に下降させる。なお、吸引中は、吸引用の各分岐通路２
１６ｂに設けた圧力センサ２１８からの信号に基づいて
各キャップ２１２の吸引不良を生じたか否かを監視す
る。また、装置の稼動を停止しているとき等のヘッド保
管時には、キャップユニット２１１を第１位置に上昇さ
せ、各機能液滴吐出ヘッド７を各キャップ２１２で封止
して、保管状態とする。
【０１５０】次に図６２および図６３を参照して、フラ
ッシングユニット３３について説明する。フラッシング
ユニット３３は、上記したＸ軸ケーブルベア８７のボッ
クス８８上に配設されている（図３０参照）。フラッシ
ングユニット３３は、Ｘ軸ケーブルベア８７上に固定し
たスライドベース２５１と、スライドベース２５１上に
進退自在に設けた長板状のスライダ２５２と、スライダ
２５２の両端部に固定した一対のフラッシングボックス
２５３，２５３と、各フラッシングボックス２５３内に
敷設した一対の液体吸収材２５４，２５４とで構成され
ている。
ッシングユニット３３について説明する。フラッシング
ユニット３３は、上記したＸ軸ケーブルベア８７のボッ
クス８８上に配設されている（図３０参照）。フラッシ
ングユニット３３は、Ｘ軸ケーブルベア８７上に固定し
たスライドベース２５１と、スライドベース２５１上に
進退自在に設けた長板状のスライダ２５２と、スライダ
２５２の両端部に固定した一対のフラッシングボックス
２５３，２５３と、各フラッシングボックス２５３内に
敷設した一対の液体吸収材２５４，２５４とで構成され
ている。
【０１５１】一対のフラッシングボックス２５３，２５
３は、ヘッドユニット２６の左右２列の各機能液滴吐出
ヘッド群に対応する幅を有すると共に、各機能液滴吐出
ヘッド群の副走査方向の移動範囲に対応する長さを有し
て、細長形状に形成されている。そして、この一対のフ
ラッシングボックス２５３，２５３は、スライダ２５２
からＸ軸テーブル２３の上側に直角に延在し、且つ吸着
テーブル８１を挟むように配設されている。また、各フ
ラッシングボックス２５３，２５３の中央部底面には、
ドレン口を構成する排液継手２５６が取り付けられてい
る。この排液継手２５６に接続した排液チューブ（図示
省略）は、Ｘ軸ケーブルベア８７内を通って上記の廃液
タンク１５０に接続されている。
３は、ヘッドユニット２６の左右２列の各機能液滴吐出
ヘッド群に対応する幅を有すると共に、各機能液滴吐出
ヘッド群の副走査方向の移動範囲に対応する長さを有し
て、細長形状に形成されている。そして、この一対のフ
ラッシングボックス２５３，２５３は、スライダ２５２
からＸ軸テーブル２３の上側に直角に延在し、且つ吸着
テーブル８１を挟むように配設されている。また、各フ
ラッシングボックス２５３，２５３の中央部底面には、
ドレン口を構成する排液継手２５６が取り付けられてい
る。この排液継手２５６に接続した排液チューブ（図示
省略）は、Ｘ軸ケーブルベア８７内を通って上記の廃液
タンク１５０に接続されている。
【０１５２】スライダ２５２には、一対のフラッシング
ボックス２５３，２５３間に位置して、Ｘ軸テーブル２
３のθテーブル８２に向かって延びる一対の取付け片２
５７，２５７が固定されており、この一対の取付け片２
５７，２５７の先端部が、θテーブル８２のベース部に
固定されている。すなわち、スライダ２５２を介して、
一対のフラッシングボックス２５３，２５３が、スライ
ドベース２５１に案内されてθテーブル８２と共に移動
するようになっている。
ボックス２５３，２５３間に位置して、Ｘ軸テーブル２
３のθテーブル８２に向かって延びる一対の取付け片２
５７，２５７が固定されており、この一対の取付け片２
５７，２５７の先端部が、θテーブル８２のベース部に
固定されている。すなわち、スライダ２５２を介して、
一対のフラッシングボックス２５３，２５３が、スライ
ドベース２５１に案内されてθテーブル８２と共に移動
するようになっている。
【０１５３】このように構成されたフラッシングユニッ
ト３３では、図３０に示すように、θテーブル８２と共
にフラッシングユニット３３が往道して行くと、最初に
同図示の右側のフラッシングボックス２５３がヘッドユ
ニット２６の直下を通過する。このとき、複数（１２
個）の機能液滴吐出ヘッド７が順にフラッシング動作を
行い、ヘッドユニット２６は、そのまま通常の液滴吐出
動作に移行する。同様に、フラッシングユニット３３が
復道して行くと、最初に左側のフラッシングボックス２
５３がヘッドユニット２６の直下を通過する。このと
き、複数の機能液滴吐出ヘッド７が順にフラッシング動
作を行い、ヘッドユニット２６は、そのまま通常の液滴
吐出動作に移行する。このようにして、主走査のための
往復動中に適宜フラッシングが行われる。したがって、
フラッシング動作のためにのみヘッドユニット２６等が
移動することはなく、フラッシングがタクトタイムに影
響することがない。
ト３３では、図３０に示すように、θテーブル８２と共
にフラッシングユニット３３が往道して行くと、最初に
同図示の右側のフラッシングボックス２５３がヘッドユ
ニット２６の直下を通過する。このとき、複数（１２
個）の機能液滴吐出ヘッド７が順にフラッシング動作を
行い、ヘッドユニット２６は、そのまま通常の液滴吐出
動作に移行する。同様に、フラッシングユニット３３が
復道して行くと、最初に左側のフラッシングボックス２
５３がヘッドユニット２６の直下を通過する。このと
き、複数の機能液滴吐出ヘッド７が順にフラッシング動
作を行い、ヘッドユニット２６は、そのまま通常の液滴
吐出動作に移行する。このようにして、主走査のための
往復動中に適宜フラッシングが行われる。したがって、
フラッシング動作のためにのみヘッドユニット２６等が
移動することはなく、フラッシングがタクトタイムに影
響することがない。
【０１５４】フラッシングは、液滴の吐出が或る程度の
時間休止されるとき、例えば吐出装置１に対する基板Ｗ
の出し入れ時にも行う必要がある。そこで、液滴の吐出
が或る程度の時間休止されるとき、ヘッドユニット２６
をキャップユニット２１１の直上部に臨むクリーニング
位置に移動し、各機能液滴吐出ヘッド７から各キャップ
２１２に向けてフラッシングを行う。この場合、キャッ
プユニット２１１が下降端位置に存すると、機能液滴吐
出ヘッド７からの吐出液体の一部が機能液滴吐出ヘッド
７とキャップ２１２との間の隙間から霧状になって外部
に飛散してしまう。そのため、キャップユニット２１１
を昇降機構２１５の上段の昇降シリンダ２４７により上
記第２位置に上昇させ、この状態でフラッシングを行う
ようにした。
時間休止されるとき、例えば吐出装置１に対する基板Ｗ
の出し入れ時にも行う必要がある。そこで、液滴の吐出
が或る程度の時間休止されるとき、ヘッドユニット２６
をキャップユニット２１１の直上部に臨むクリーニング
位置に移動し、各機能液滴吐出ヘッド７から各キャップ
２１２に向けてフラッシングを行う。この場合、キャッ
プユニット２１１が下降端位置に存すると、機能液滴吐
出ヘッド７からの吐出液体の一部が機能液滴吐出ヘッド
７とキャップ２１２との間の隙間から霧状になって外部
に飛散してしまう。そのため、キャップユニット２１１
を昇降機構２１５の上段の昇降シリンダ２４７により上
記第２位置に上昇させ、この状態でフラッシングを行う
ようにした。
【０１５５】これによれば、機能液滴吐出ヘッド７とキ
ャップ２１２との間の隙間が僅かになり、機能液滴吐出
ヘッド７からの吐出液体の外部への飛散が防止される。
この場合、キャップ２１２に吸引ポンプ１５３からの吸
引力を作用させておけば、吐出液体の外部への飛散をよ
り効果的に防止できる。なお、機能液滴吐出ヘッド７の
ノズル形成面６７にキャップ２１２を密着させた状態で
フラッシングを行うことも考えられるが、ノズル形成面
６７にキャップ２１２を密着させるとノズル形成面６７
が汚れるため、フラッシング後のノズル形成面６のワイ
ピングが必要になり、実用的ではない。
ャップ２１２との間の隙間が僅かになり、機能液滴吐出
ヘッド７からの吐出液体の外部への飛散が防止される。
この場合、キャップ２１２に吸引ポンプ１５３からの吸
引力を作用させておけば、吐出液体の外部への飛散をよ
り効果的に防止できる。なお、機能液滴吐出ヘッド７の
ノズル形成面６７にキャップ２１２を密着させた状態で
フラッシングを行うことも考えられるが、ノズル形成面
６７にキャップ２１２を密着させるとノズル形成面６７
が汚れるため、フラッシング後のノズル形成面６のワイ
ピングが必要になり、実用的ではない。
【０１５６】ところで、吐出装置１に新たなヘッドユニ
ット２６を投入したときは、機能液滴吐出ヘッド７のヘ
ッド内流路が空になっているため、液滴吐出作業を開始
する前に、ヘッド内流路に液体材料を充填することが必
要になる。この場合、給液タンク１２６からの液体材料
の供給は僅かな水頭圧でしか行われないため、ヘッド内
流路に液体材料を充填するには吸引が必要になる。そこ
で、液体充填作業に際しては、ヘッドユニット２６をク
リーニング位置に移動し、キャップユニット２１１を上
記第１位置に上昇させて、各機能液滴吐出ヘッド７のノ
ズル形成面６７に各キャップ２１２を密着させ、給液タ
ンク１２６内の液体材料を各キャップ２１２を介して作
用される吸引ポンプ１５３からの吸引力で各機能液滴吐
出ヘッド７のヘッド内流路に充填する。然し、キャップ
２１２による吸引を行っても、ヘッド内流路で液体材料
の流速が低下して、ヘッド内流路から気泡をうまく排除
できず、残留気泡の影響で液滴の吐出不良を生ずる。特
に、機能液滴吐出ヘッド７の接続針６２の基部に設けた
フィルタ６２ａ上に気泡が残り易くなる。
ット２６を投入したときは、機能液滴吐出ヘッド７のヘ
ッド内流路が空になっているため、液滴吐出作業を開始
する前に、ヘッド内流路に液体材料を充填することが必
要になる。この場合、給液タンク１２６からの液体材料
の供給は僅かな水頭圧でしか行われないため、ヘッド内
流路に液体材料を充填するには吸引が必要になる。そこ
で、液体充填作業に際しては、ヘッドユニット２６をク
リーニング位置に移動し、キャップユニット２１１を上
記第１位置に上昇させて、各機能液滴吐出ヘッド７のノ
ズル形成面６７に各キャップ２１２を密着させ、給液タ
ンク１２６内の液体材料を各キャップ２１２を介して作
用される吸引ポンプ１５３からの吸引力で各機能液滴吐
出ヘッド７のヘッド内流路に充填する。然し、キャップ
２１２による吸引を行っても、ヘッド内流路で液体材料
の流速が低下して、ヘッド内流路から気泡をうまく排除
できず、残留気泡の影響で液滴の吐出不良を生ずる。特
に、機能液滴吐出ヘッド７の接続針６２の基部に設けた
フィルタ６２ａ上に気泡が残り易くなる。
【０１５７】そこで、本実施形態では、給液用の各分岐
通路１５８ｂに上記の如く開閉弁１６６を介設すると共
に、吸引用の各分岐通路２１６ｂに上記の如く液体セン
サ２１７を設け、液体充填開始後キャップ２１２まで液
体材料が吸引されて、これを液体センサ２１７が検知し
たとき、キャップ２１２による吸引を継続したまま対応
する開閉弁１６６を一時的に閉弁するようにした。これ
によれば、開閉弁１６６の閉弁中にヘッド内通路が減圧
され、その後の開閉弁１６６の開弁で液体材料が急激に
流れて、ヘッド内流路における液体材料の流速が高速化
し、ヘッド内流路から気泡が効率良く排除される。実験
によれば、開閉弁１６６の閉弁前の流速が１００ｍｍ／
ｓ程度であったのに対し、開閉弁１６６を一時的に閉弁
してから開弁すると流速が２００〜２０００ｍｍ／ｓと
大幅に増加することが確認された。
通路１５８ｂに上記の如く開閉弁１６６を介設すると共
に、吸引用の各分岐通路２１６ｂに上記の如く液体セン
サ２１７を設け、液体充填開始後キャップ２１２まで液
体材料が吸引されて、これを液体センサ２１７が検知し
たとき、キャップ２１２による吸引を継続したまま対応
する開閉弁１６６を一時的に閉弁するようにした。これ
によれば、開閉弁１６６の閉弁中にヘッド内通路が減圧
され、その後の開閉弁１６６の開弁で液体材料が急激に
流れて、ヘッド内流路における液体材料の流速が高速化
し、ヘッド内流路から気泡が効率良く排除される。実験
によれば、開閉弁１６６の閉弁前の流速が１００ｍｍ／
ｓ程度であったのに対し、開閉弁１６６を一時的に閉弁
してから開弁すると流速が２００〜２０００ｍｍ／ｓと
大幅に増加することが確認された。
【０１５８】ここで、開閉弁１６６の閉弁前におけるヘ
ッド内流路の液体充填率が高い程閉弁後にヘッド内流路
が効率良く減圧される。上記液体センサ２１７に液体材
料が到達したときはヘッド内流路が液体材料でほぼ満た
されており、液体センサ２１７を用いることで、閉弁タ
イミングを適切に自動制御できる。また、給液用と吸引
用の各分岐通路１５８ｂ，２１６ｂにそれぞれ開閉弁１
６６と液体センサ２１７を設けることにより、個々の機
能液滴吐出ヘッド７で初期の液体充填率にばらつきを生
じても、各機能液滴吐出ヘッド７毎に適切なタイミング
で個別に開閉弁１６６を閉弁できる。
ッド内流路の液体充填率が高い程閉弁後にヘッド内流路
が効率良く減圧される。上記液体センサ２１７に液体材
料が到達したときはヘッド内流路が液体材料でほぼ満た
されており、液体センサ２１７を用いることで、閉弁タ
イミングを適切に自動制御できる。また、給液用と吸引
用の各分岐通路１５８ｂ，２１６ｂにそれぞれ開閉弁１
６６と液体センサ２１７を設けることにより、個々の機
能液滴吐出ヘッド７で初期の液体充填率にばらつきを生
じても、各機能液滴吐出ヘッド７毎に適切なタイミング
で個別に開閉弁１６６を閉弁できる。
【０１５９】また、開閉弁１６６と機能液滴吐出ヘッド
７との間の通路長さが短い程閉弁後の減圧効率が向上す
ると共に、充填時の液体消費量が減少する。ここで、メ
インキャリッジ２５と一体に動く部分に開閉弁１６６を
搭載しておけば、メインキャリッジ２５に保持されるヘ
ッドユニット２６の動きに追従させるための弛みを開閉
弁１６６と機能液滴吐出ヘッド７との間の通路部分に付
ける必要がなく、通路長さを短縮できる。そこで、本実
施形態では、メインキャリッジ２５を吊設するブリッジ
プレート９１に開閉弁１６６を搭載している。その詳細
は図６４および図６５に示す通りであり、ブリッジプレ
ート９１に固定されるスタンド２６１上に、１２個の開
閉弁１６６を６個宛上下２段に搭載している。
７との間の通路長さが短い程閉弁後の減圧効率が向上す
ると共に、充填時の液体消費量が減少する。ここで、メ
インキャリッジ２５と一体に動く部分に開閉弁１６６を
搭載しておけば、メインキャリッジ２５に保持されるヘ
ッドユニット２６の動きに追従させるための弛みを開閉
弁１６６と機能液滴吐出ヘッド７との間の通路部分に付
ける必要がなく、通路長さを短縮できる。そこで、本実
施形態では、メインキャリッジ２５を吊設するブリッジ
プレート９１に開閉弁１６６を搭載している。その詳細
は図６４および図６５に示す通りであり、ブリッジプレ
ート９１に固定されるスタンド２６１上に、１２個の開
閉弁１６６を６個宛上下２段に搭載している。
【０１６０】また、開閉弁１６６の搭載箇所を覆うスタ
ンド２６１の上プレート２６２に、６個のＴ字継ぎ手１
５８ｂと、６個のアース継ぎ手１５８ｃとを配置し、給
液タンク１２６に連なる６本の給液通路１５８（チュー
ブ）をそれぞれアース継ぎ手１５８ｃを介してＴ字継ぎ
手１５８ｂの内向き接続口に接続している。そして、こ
れら６個のＴ字継ぎ手１５８ｂの下向き接続口に接続さ
れる６本の分岐通路１５８ｂの上流部分１５８ｂ1を上
段の６個の開閉弁１６６の流入口１６６ａに接続すると
共に、これらＴ字継ぎ手１５８ｂの外向き接続口に接続
される残りの６本の分岐通路１５８ｂの上流部分１５８
ｂ1を下段の６個の開閉弁１６６の流入口１６６ａに接
続している。
ンド２６１の上プレート２６２に、６個のＴ字継ぎ手１
５８ｂと、６個のアース継ぎ手１５８ｃとを配置し、給
液タンク１２６に連なる６本の給液通路１５８（チュー
ブ）をそれぞれアース継ぎ手１５８ｃを介してＴ字継ぎ
手１５８ｂの内向き接続口に接続している。そして、こ
れら６個のＴ字継ぎ手１５８ｂの下向き接続口に接続さ
れる６本の分岐通路１５８ｂの上流部分１５８ｂ1を上
段の６個の開閉弁１６６の流入口１６６ａに接続すると
共に、これらＴ字継ぎ手１５８ｂの外向き接続口に接続
される残りの６本の分岐通路１５８ｂの上流部分１５８
ｂ1を下段の６個の開閉弁１６６の流入口１６６ａに接
続している。
【０１６１】また、スタンド２６１の下プレート２６３
には、ブラケット２６４を介して１２個の管継手１５８
ｄが配置されており、上下２段の計１２個の開閉弁１６
６の流出口に接続される１２本の分岐通路１５８ｂの中
間部分１５８ｂ2をそれぞれ管継手１５８ｄの一端に接
続し、これら管継手１５８ｄの他端に、ヘッドユニット
２６の配管ジョイント４９のソケット４９２に接続され
る装置側配管部材たる分岐通路１５８ｂの下流部分１５
８ｂ3を接続している。なお、スタンド２６１には、ヘ
ッドユニット２６に開閉弁１６６を介さずに給液するた
めのマニホルド２６５も設けられている。
には、ブラケット２６４を介して１２個の管継手１５８
ｄが配置されており、上下２段の計１２個の開閉弁１６
６の流出口に接続される１２本の分岐通路１５８ｂの中
間部分１５８ｂ2をそれぞれ管継手１５８ｄの一端に接
続し、これら管継手１５８ｄの他端に、ヘッドユニット
２６の配管ジョイント４９のソケット４９２に接続され
る装置側配管部材たる分岐通路１５８ｂの下流部分１５
８ｂ3を接続している。なお、スタンド２６１には、ヘ
ッドユニット２６に開閉弁１６６を介さずに給液するた
めのマニホルド２６５も設けられている。
【０１６２】以上、有機ＥＬ装置の製造装置について説
明したが、液晶表示装置のカラーフィルタといった他の
製品をインクジェット方式で製造する吐出装置において
も同様に本発明を適用できる。
明したが、液晶表示装置のカラーフィルタといった他の
製品をインクジェット方式で製造する吐出装置において
も同様に本発明を適用できる。
【０１６３】例えば、液晶表示装置におけるカラーフィ
ルタの製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド７に
Ｒ、Ｇ、Ｂ各色のフィルタ材料を導入し、複数の機能液
滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、フィルタ材料
を選択的に吐出して、基板上に多数のフィルタエレメン
トを形成する。加えて、上記と同様の方法で、多数のフ
ィルタエレメントを被覆するオーバーコート膜を形成し
てもよい。
ルタの製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド７に
Ｒ、Ｇ、Ｂ各色のフィルタ材料を導入し、複数の機能液
滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、フィルタ材料
を選択的に吐出して、基板上に多数のフィルタエレメン
トを形成する。加えて、上記と同様の方法で、多数のフ
ィルタエレメントを被覆するオーバーコート膜を形成し
てもよい。
【０１６４】同様に、本実施形態の機能液滴吐出装置１
０は、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法
および電気泳動表示装置の製造方法等に、適用すること
ができる。
０は、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法
および電気泳動表示装置の製造方法等に、適用すること
ができる。
【０１６５】電子放出装置の製造方法では、複数の機能
液滴吐出ヘッド７にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入
し、複数の機能液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査
し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光
体を形成する。なお、電子放出装置は、ＦＥＤ（電界放
出ディスプレイ）を含む上位の概念である。
液滴吐出ヘッド７にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入
し、複数の機能液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査
し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光
体を形成する。なお、電子放出装置は、ＦＥＤ（電界放
出ディスプレイ）を含む上位の概念である。
【０１６６】ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液
滴吐出ヘッド７にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、
複数の機能液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、
蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部
にそれぞれ蛍光体を形成する。
滴吐出ヘッド７にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、
複数の機能液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、
蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部
にそれぞれ蛍光体を形成する。
【０１６７】電気泳動表示装置の製造方法では、複数の
機能液滴吐出ヘッド７に各色の泳動体材料を導入し、複
数の機能液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、イ
ンク材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそ
れぞれ泳動体を形成する。なお、帯電粒子と染料とから
成る泳動体は、マイクロカプセルに封入されていること
が、好ましい。
機能液滴吐出ヘッド７に各色の泳動体材料を導入し、複
数の機能液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、イ
ンク材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそ
れぞれ泳動体を形成する。なお、帯電粒子と染料とから
成る泳動体は、マイクロカプセルに封入されていること
が、好ましい。
【０１６８】一方、本実施形態の機能液滴吐出装置１０
は、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成
方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法等に
も、適用可能である。
は、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成
方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法等に
も、適用可能である。
【０１６９】スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、スペーサを構成する粒子材料を液
中に分散させ液状に調整した材料を、複数の機能液滴吐
出ヘッド７に導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド７を主
走査および副走査し、粒子材料を選択的に吐出して少な
くとも一方の基板上にスペーサを形成する。例えば、上
記の液晶表示装置や電気泳動表示装置における２枚の基
板間のセルギャップを構成する場合に有用であり、その
他この種の微小なギャップを必要とする半導体製造技術
に適用できることはいうまでもない。
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、スペーサを構成する粒子材料を液
中に分散させ液状に調整した材料を、複数の機能液滴吐
出ヘッド７に導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド７を主
走査および副走査し、粒子材料を選択的に吐出して少な
くとも一方の基板上にスペーサを形成する。例えば、上
記の液晶表示装置や電気泳動表示装置における２枚の基
板間のセルギャップを構成する場合に有用であり、その
他この種の微小なギャップを必要とする半導体製造技術
に適用できることはいうまでもない。
【０１７０】金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド７に液状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐
出ヘッド７を主走査および副走査し、液状金属材料を選
択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例え
ば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを
接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置におけるＴＦ
Ｔ等と各電極とを接続する金属配線に適用することがで
きる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般
的な半導体製造技術に適用できることはいうまでもな
い。
出ヘッド７に液状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐
出ヘッド７を主走査および副走査し、液状金属材料を選
択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例え
ば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを
接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置におけるＴＦ
Ｔ等と各電極とを接続する金属配線に適用することがで
きる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般
的な半導体製造技術に適用できることはいうまでもな
い。
【０１７１】レンズ形成方法では、複数の機能液滴吐出
ヘッド７にレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘ
ッド７を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に
吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成す
る。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビーム収束用の
デバイスとして適用可能である。また、各種の光デバイ
スに適用可能であることはいうまでもない。
ヘッド７にレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘ
ッド７を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に
吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成す
る。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビーム収束用の
デバイスとして適用可能である。また、各種の光デバイ
スに適用可能であることはいうまでもない。
【０１７２】レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド７にレジスト材料を導入し複数の機能液滴吐出
ヘッド７を主走査および副走査し、レジスト材料を選択
的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形
成する。例えば、上記の各種表示装置おけるバンクの形
成は元より、半導体製造技術の主体を為すフォトリソグ
ラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用
可能である。
出ヘッド７にレジスト材料を導入し複数の機能液滴吐出
ヘッド７を主走査および副走査し、レジスト材料を選択
的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形
成する。例えば、上記の各種表示装置おけるバンクの形
成は元より、半導体製造技術の主体を為すフォトリソグ
ラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用
可能である。
【０１７３】光拡散体形成方法では、基板上に多数の光
拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、複数の機
能液滴吐出ヘッド７に光拡散材料を導入し、複数の機能
液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、光拡散材料
を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成する。この場
合も、各種の光デバイスに適用可能であることはいうま
でもない。
拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、複数の機
能液滴吐出ヘッド７に光拡散材料を導入し、複数の機能
液滴吐出ヘッド７を主走査および副走査し、光拡散材料
を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成する。この場
合も、各種の光デバイスに適用可能であることはいうま
でもない。
【０１７４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の吐出装置用ヘッドユニットおよび吐出装置によれば、
配管取り外し時に配管部材からの液垂れを生じても、機
能液滴吐出ヘッドのコネクタ部に液体が付着することは
なく、かつ、ヘッドユニットのオープンスペース部分で
ヘッドユニットに対する配管作業を行うことができ、作
業性が向上する。
の吐出装置用ヘッドユニットおよび吐出装置によれば、
配管取り外し時に配管部材からの液垂れを生じても、機
能液滴吐出ヘッドのコネクタ部に液体が付着することは
なく、かつ、ヘッドユニットのオープンスペース部分で
ヘッドユニットに対する配管作業を行うことができ、作
業性が向上する。
【０１７５】一方、本発明の液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法等の各種製造方法によれば、吐
出装置を介して製造方法の信頼性を高めることができ
る。
有機ＥＬ装置の製造方法等の各種製造方法によれば、吐
出装置を介して製造方法の信頼性を高めることができ
る。
【図１】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
けるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図であ
る。
けるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図であ
る。
【図２】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
けるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図であ
る。
けるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図であ
る。
【図３】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
けるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図である。
けるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図である。
【図４】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
けるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図である。
けるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図である。
【図５】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
ける正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
ける正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図６】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
ける正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
ける正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図７】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
ける表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
ける表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
【図８】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
ける表面改質工程（乾燥）の断面図である。
ける表面改質工程（乾燥）の断面図である。
【図９】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法にお
けるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
けるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図１０】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
おけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図１１】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
おけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
【図１２】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける対向電極形成工程の断面図である。
おける対向電極形成工程の断面図である。
【図１３】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける封止工程の断面図である。
おける封止工程の断面図である。
【図１４】 実施形態に係る正孔注入層形成設備の概念
図である。
図である。
【図１５】 実施形態に係る発光層形成設備の概念図で
ある。
ある。
【図１６】 実施形態に係る吐出装置の外観斜視図であ
る。
る。
【図１７】 実施形態に係る吐出装置の外観正面図であ
る。
る。
【図１８】 実施形態に係る吐出装置の外観側面図であ
る。
る。
【図１９】 実施形態に係る吐出装置の外観平面図であ
る。
る。
【図２０】 実施形態に係る吐出装置の吐出装置の模式
図である。
図である。
【図２１】 実施形態に係るヘッドユニットの平面図で
ある。
ある。
【図２２】 実施形態に係るヘッドユニットの側面図で
ある。
ある。
【図２３】 実施形態に係るヘッドユニットの正面図で
ある。
ある。
【図２４】 （ａ）実施形態に係るヘッドユニットの配
管ジョイントの外観斜視図、（ｂ）配管ジョイントの断
面図である。
管ジョイントの外観斜視図、（ｂ）配管ジョイントの断
面図である。
【図２５】 （ａ）実施形態に係る機能液滴吐出ヘッド
の外観斜視図、（ｂ）機能液滴吐出ヘッドの断面図であ
る。
の外観斜視図、（ｂ）機能液滴吐出ヘッドの断面図であ
る。
【図２６】 実施形態に係る吐出装置の石定盤廻りの側
面図である。
面図である。
【図２７】 実施形態に係る吐出装置の石定盤廻りの平
面図である。
面図である。
【図２８】 実施形態に係る吐出装置の石定盤廻りの正
面図である。
面図である。
【図２９】 実施形態に係る吐出装置の石定盤の支持形
態を示す模式図である。
態を示す模式図である。
【図３０】 実施形態に係る吐出装置のＸ軸テーブルの
平面図である。
平面図である。
【図３１】 実施形態に係る吐出装置のＸテーブルの側
面図である。
面図である。
【図３２】 実施形態に係る吐出装置のＸテーブルの正
面図である。
面図である。
【図３３】 実施形態に係る吐出装置の主基板認識カメ
ラ廻りの斜視図である。
ラ廻りの斜視図である。
【図３４】 実施形態に係る吐出装置のＹ軸テーブルの
平面図である。
平面図である。
【図３５】 実施形態に係る吐出装置のＹ軸テーブルの
側面図である。
側面図である。
【図３６】 実施形態に係る吐出装置のＹ軸テーブルの
正面図である。
正面図である。
【図３７】 実施形態に係るＹ軸テーブルのメインキャ
リッジの斜視図である。
リッジの斜視図である。
【図３８】 実施形態に係るＹ軸テーブルのメインキャ
リッジの平面図である。
リッジの平面図である。
【図３９】 実施形態に係る吐出装置の共通機台の斜視
図である。
図である。
【図４０】 実施形態に係る吐出装置の共通ベースを取
り去った共通機台の斜視図である。
り去った共通機台の斜視図である。
【図４１】 実施形態に係る吐出装置の共通機台の側面
図である。
図である。
【図４２】 実施形態に係る吐出装置の共通機台の平面
図である。
図である。
【図４３】 実施形態に係る吐出装置の液体供給回収装
置の配管系統図である。
置の配管系統図である。
【図４４】 実施形態に係る液体供給回収装置のポンプ
群廻りの斜視図である。
群廻りの斜視図である。
【図４５】 実施形態に係る液体供給回収装置のポンプ
群廻りの平面図である。
群廻りの平面図である。
【図４６】 実施形態に係る液体供給回収装置の廃液ポ
ンプ廻りの斜視図である。
ンプ廻りの斜視図である。
【図４７】 実施形態に係る液体供給回収装置おける給
液タンクの斜視図である。
液タンクの斜視図である。
【図４８】 実施形態に係る液体供給回収装置おける給
液タンクの側面図である。
液タンクの側面図である。
【図４９】 実施形態に係る液体供給回収装置おける給
液タンクの正面図である。
液タンクの正面図である。
【図５０】 実施形態に係るワイピングユニットにおけ
る巻取りユニットの斜視図である。
る巻取りユニットの斜視図である。
【図５１】 実施形態に係るワイピングユニットにおけ
る巻取りユニットの平面図である。
る巻取りユニットの平面図である。
【図５２】 実施形態に係るワイピングユニットにおけ
る巻取りユニットの正面図である。
る巻取りユニットの正面図である。
【図５３】 実施形態に係るワイピングユニットにおけ
る拭取りユニットの斜視図である。
る拭取りユニットの斜視図である。
【図５４】 実施形態に係るワイピングユニットにおけ
る拭取りユニットの平面図である。
る拭取りユニットの平面図である。
【図５５】 実施形態に係るワイピングユニットにおけ
る拭取りユニットの正面図である。
る拭取りユニットの正面図である。
【図５６】 ワイピングユニットの動作を示す模式図で
ある。
ある。
【図５７】 実施形態に係るクリーニングユニットの外
観斜視図である。
観斜視図である。
【図５８】 実施形態に係るクリーニングユニットの正
面図である。
面図である。
【図５９】 実施形態に係るクリーニングユニットの側
面図である。
面図である。
【図６０】 実施形態に係るクリーニングユニットの平
面図である。
面図である。
【図６１】 クリーニングユニットのキャップの拡大断
面図である。
面図である。
【図６２】 実施形態に係るフラッシングユニットの斜
視図である。
視図である。
【図６３】 実施形態に係るフラッシングユニットの平
面図である。
面図である。
【図６４】 実施形態に係る給液通路中の開閉弁の配置
部の斜視図である。
部の斜視図である。
【図６５】 実施形態に係る給液通路中の開閉弁の配置
部の側面図である。
部の側面図である。
Ｗ 基板（ワーク） １ 吐出装置
７ 機能液滴吐出ヘッド ２５ メインキ
ャリッジ ２６ ヘッドユニット ４１ サブキ
ャリッジ ４９ 配管ジョイント ４９２ ソケッ
ト ４９２ａ プラグ穴 ４９２ｂ 穴
底面 ４９４ プラグ ４９８ Ｏリ
ング ４８ｂ ヘッド側配管部材 １２６ 給液
タンク １５８ｂ 装置側配管部材
ャリッジ ２６ ヘッドユニット ４１ サブキ
ャリッジ ４９ 配管ジョイント ４９２ ソケッ
ト ４９２ａ プラグ穴 ４９２ｂ 穴
底面 ４９４ プラグ ４９８ Ｏリ
ング ４８ｂ ヘッド側配管部材 １２６ 給液
タンク １５８ｂ 装置側配管部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ ４Ｆ０４１
Ｈ０５Ｂ 33/10 33/26 Ｚ
33/14 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０２Ｚ
33/26 １０１Ｚ
Ｆターム(参考） 2C056 EA20 EA22 FA15 FB01 FB05
KC02 KC05
2H048 BA02 BA64 BB02 BB42
2H091 FA02X FA02Z FA29X FA29Y
FA29Z FA31X FA31Y FA31Z
FC29 LA12 LA30
3K007 AB18 DB03 FA01
4D075 AC07 AC09 CA47 DA06 DB13
DB14 DB31 DC21 DC24
4F041 AA02 AA05 AB02 BA13
(54)【発明の名称】 吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機
ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製
造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方
法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法
Claims (20)
- 【請求項１】 ワークに対し相対移動するメインキャリ
ッジを備える吐出装置で使用するヘッドユニットであっ
て、前記メインキャリッジに着脱自在に保持されるサブ
キャリッジに機能液滴吐出ヘッドを搭載して成るものに
おいて、 前記サブキャリッジの前記機能液滴吐出ヘッドから離間
した位置に、吐出装置に設けた給液タンクに連なる装置
側配管部材と前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側
配管部材とを接続する配管ジョイントを設けたことを特
徴とする吐出装置用ヘッドユニット。 - 【請求項２】 前記配管ジョイントは、一端部に管継手
を介して前記ヘッド側配管部材を接続した、前記サブキ
ャリッジに固定のソケットと、該ソケットの他端部に形
成したプラグ穴に抜差し自在に嵌合する、前記装置側配
管部材を接続したプラグとを備えることを特徴とする請
求項１に記載の吐出装置用ヘッドユニット。 - 【請求項３】 前記プラグ穴の穴底面を、前記プラグの
先端のテーパに合わせたテーパ面に形成することを特徴
とする請求項２に記載の吐出装置用ヘッドユニット。 - 【請求項４】 前記プラグの外周に、前記プラグ穴に対
するシール用のＯリングを軸方向の間隔を存して複数装
着することを特徴とする請求項２または３に記載の吐出
装置用ヘッドユニット。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の吐
出装置用ヘッドユニットを備え、 ワークである基板に対し、機能液を導入した前記機能液
滴吐出ヘッドを相対的に走査しながら機能液滴を選択的
に吐出することを特徴とする吐出装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の吐出装置を用い、カラ
ーフィルタの基板上にフィルタエレメントを形成する液
晶表示装置の製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドにフィルタ材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィル
タ材料を選択的に吐出して前記フィルタエレメントを形
成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項７】 請求項５に記載の吐出装置を用い、基板
上の絵素ピクセルにＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置
の製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに発光材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材
料を選択的に吐出して前記ＥＬ発光層を形成することを
特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。 - 【請求項８】 請求項５に記載の吐出装置を用い、電極
上に蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であっ
て、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材
料を選択的に吐出して前記蛍光体を形成することを特徴
とする電子放出装置の製造方法。 - 【請求項９】 請求項５に記載の吐出装置を用い、背面
基板上の凹部に蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法
であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに蛍光材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍
光材料を選択的に吐出して前記蛍光体を形成することを
特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。 - 【請求項１０】 請求項５に記載の吐出装置を用い、電
極上の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造
方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体
材料を選択的に吐出して前記泳動体を形成することを特
徴とする電気泳動表示装置の製造方法。 - 【請求項１１】 請求項５に記載の吐出装置を用い、基
板上にフィルタエレメントを配列して成るカラーフィル
タを製造するカラーフィルタの製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドにフィルタ材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィル
タ材料を選択的に吐出して前記フィルタエレメントを形
成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項１２】 前記フィルタエレメントを被覆するオ
ーバーコート膜が形成されており、 前記フィルタエレメントを形成した後に、 前記機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を
導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーテ
ィング材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を
形成することを特徴とする請求項１１に記載のカラーフ
ィルタの製造方法。 - 【請求項１３】 請求項５に記載の吐出装置を用い、Ｅ
Ｌ発光層を含む絵素ピクセルを基板上に配列して成る有
機ＥＬの製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに発光材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材
料を選択的に吐出して前記ＥＬ発光層を形成することを
特徴とする有機ＥＬの製造方法。 - 【請求項１４】 前記ＥＬ発光層と前記基板との間に
は、前記ＥＬ発光層に対応して画素電極が形成されてお
り、 前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電
極材料を選択的に吐出して前記画素電極を形成すること
を特徴とする請求項１３に記載の有機ＥＬの製造方法。 - 【請求項１５】 前記ＥＬ発光層を覆うように対向電極
が形成されており、 前記ＥＬ発光層を形成した後に、 前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電
極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成すること
を特徴とする請求項１４に記載の有機ＥＬの製造方法。 - 【請求項１６】 請求項５に記載の吐出装置を用い、２
枚の基板間にセルギャップを構成すべく粒子状のスペー
サを形成するスペーサ形成方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料
を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを少なくとも一方の前記基板に対し相対的に走
査し、前記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上に前
記スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方
法。 - 【請求項１７】 請求項５に記載の吐出装置を用い、基
板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金
属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成すること
を特徴とする金属配線形成方法。 - 【請求項１８】 請求項５に記載の吐出装置を用い、基
板上にマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であっ
て、 前記機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ
材料を選択的に吐出して前記マイクロレンズを形成する
ことを特徴とするレンズ形成方法。 - 【請求項１９】 請求項５に記載の吐出装置を用い、基
板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法
であって、 前記機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジス
ト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成すること
を特徴とするレジスト形成方法。 - 【請求項２０】 請求項５に記載の吐出装置を用い、基
板上に光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、 前記吐出装置用ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐
出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散
材料を選択的に吐出して前記光拡散体を形成することを
特徴とする光拡散体形成方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002076740A JP2003266738A (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
| KR10-2002-0079218A KR100453602B1 (ko) | 2002-03-19 | 2002-12-12 | 토출 장치용 헤드 유닛과 이것을 구비한 토출 장치, 액정표시 장치의 제조 방법, 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법,전자 방출 장치의 제조 방법, ｐｄｐ 장치의 제조 방법,전기 영동 표시 장치의 제조 방법, 컬러 필터의 제조방법, 유기 ｅｌ의 제조 방법, 스페이서 형성 방법, 금속배선 형성 방법, 렌즈 형성 방법, 레지스트 형성 방법 및광확산체 형성 방법 |
| TW091137522A TW565508B (en) | 2002-03-19 | 2002-12-26 | Head unit for ejection apparatus and ejection apparatus equipped therewith; method of manufacturing LCD device, organic EL device, electron emission device, PDP device, electrophoretic display device, color filter, and organic EL method of forming spacer |
| US10/383,566 US6910762B2 (en) | 2002-03-19 | 2003-03-10 | Head unit for ejection apparatus and ejection apparatus equipped therewith; method of manufacturing lcd device, organic el device, electron emission device, pdp device, electrophoretic display device, color filter, and organic el; method of forming spacer, metallic wiring, lens, resist, and light diffusion member |
| CNB031072542A CN1210153C (zh) | 2002-03-19 | 2003-03-19 | 液滴喷头的液体填充方法和喷出装置、光电器件制造方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002076740A JP2003266738A (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
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| JP2002076740A Pending JP2003266738A (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 吐出装置用ヘッドユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
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| CN (1) | CN1210153C (ja) |
| TW (1) | TW565508B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2005230801A (ja) * | 2004-01-22 | 2005-09-02 | Seiko Epson Corp | ワイピング方法、ワイピング装置、これを備えた描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
| JP2005254798A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
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