TW565508B - Head unit for ejection apparatus and ejection apparatus equipped therewith; method of manufacturing LCD device, organic EL device, electron emission device, PDP device, electrophoretic display device, color filter, and organic EL method of forming spacer - Google Patents

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565508 Α7 Β7 五、發明説明（ο 〔本發明所屬的技術領域〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是有關於具備有針對工件進行相對移動的主托 架的吐出裝置所使用的噴頭單元，更詳細是有關於在裝脫 自如地保持在吐出裝置的托架的副托架搭載代表噴頭的機 •能液滴吐出噴頭所形成成的吐出裝置用之噴頭單元及具備 此之吐出裝置，以及液晶顯示裝置之製造方法，有機電激 發光裝置之製造方法，電子放出裝置之製造方法，電漿顯 示裝置之製造方法，電泳顯示裝置之製造方法，彩色濾色 片之製造方法，有機電激發光元件之製造方法，間隔物形 成方法，金屬配線形成方法，透鏡形成方法，光阻劑形成 方法及光擴散體形成方法。 〔習知技術〕 噴墨印表機的噴頭（機能液滴吐出噴頭）能夠點狀精度良 好的吐出微小的墨滴（液滴），例如吐出液使用特殊的墨水、 感光性樹脂等機能液，藉此期待應用於各種製品的製造領 域。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如使用具備有針對彩色濾色片之基板的工件進行相 對移動的主托架的吐出裝置，將在裝脫自如地保持在吐出 裝置的主托架的副托架搭載複數個機能液滴吐出噴頭所形 成的噴頭單元投入吐出裝置，欲使噴頭單元一邊利用主托 架的移動針對工件進行相對移動一邊從各機能液滴吐出噴 頭吐出液晶材料、有機發光材料，來製造液晶顯示裝置、 有機電激發光顯示裝置等。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公羡） -5- 565508 A7 B7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此時，爲了將可吐出液晶材料、有機發光材料的液體 供給到機能液滴吐出噴頭，故將連接於設在吐出裝置的給 液槽的配管構件裝脫自如地連接在機能液滴吐出噴頭的液 體導入口，且從液體導入口拆下配管構件，進行噴頭單元 的更換。 〔本發明欲解決的課題〕 . 可是在機能液滴吐出噴頭係於形成在此的各吐出噴嘴 設有壓送液體的幫浦部和幫浦部用的配線連接部，如上所 述在機能液滴吐出噴頭的液體導入口裝脫自如地連接配管 構件的話，當拆下配管構件時，後配管構件滴落下的液體 會附著在配線連接器部，造成引發故障的原因。 本發明乃有鑑以上之點’欲提供一防止機能液滴吐出 噴頭的配線連接部滴落下的液體之吐出裝置用噴頭單元及 具備此之吐出裝置，以及液晶顯示裝置之製造方法，有機 電激發光裝置之製造方法，電子放出裝置之製造方法，電 漿顯示裝置之製造方法，電泳顯示裝置之製造方法，彩色 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •濾色片之製造方法，有機電激發光元件之製造方法，間隔 物形成方法，金屬配線形成方法，透鏡形成方法，光阻劑 形成方法及光擴散體形成方法爲其課題。 〔用以解決課題的手段〕 本發明的吐出裝置用噴頭單元乃屬於具備有針對工件 進行相對移動的主托架的吐出裝置所使用的噴頭單元，於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4驗（210X297公羡) ' 一 -6- 565508 經濟部智M財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（3) 裝脫自如地保持在主托架的副托架搭載機能液滴吐出噴頭 而構成者中，其特徵爲：在於由副托架的機能液滴吐出噴 頭離開的位置，設有用來連接：連接於設在吐出裝置的給 液槽的裝置側配管構件和連接於機能液滴吐出噴頭的噴頭 側配管構件的配管接頭。 按照上述構成就能在配管接頭拆下裝置側配管構件藉 此更換噴頭單元。然後配管接頭自機能液滴吐出噴頭離開 的緣故，就算發生由配管構件滴落下的液體，液體也不會 附著在機能液滴吐出噴頭的配線連接部。 而將配管接頭配置於不存在機能液滴吐出噴頭的噴頭 單元的開放空間部分，配管作業很容易施行。特別是將配 管接頭在一端部介著管接頭連接噴頭側配管構件，構成在 副托架具備有固定插座、和拔插自如地嵌合於形成在該插 座之另一端部的插頭孔用來連接裝置側配管構件的插頭， *針對配管接頭的裝置側配管構件就很容裝脫，進一步提高 配管作業性。 在此，具備插座和插頭的配管接頭，在插頭的前端具 有錐度，插頭很容易插入插座，但目前爲止插頭孔的孔底 面和插頭的前端之間會形成空隙，於作動中由空隙進入的 氣泡會流入機能液滴吐出噴頭，而有發生吐出不良的可能 性。此時，將插頭孔的孔底面形成配合插頭前端的錐度的 錐形面，就不會在插頭孔的孔底面和插頭的前端之間形成 空隙，而且就算利用插頭孔深度和插頭長度的尺寸公差在 本·紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -7- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4) 插頭孔的孔底面和插頭的前端之間形空出空隙，該空隙係 向著自插頭流出的液體的流線而指向錐狀的緣故，在吐出 裝置運作前往施行的機能液滴吐出噴頭的液體塡充工程， 自空隙効率良好的吸出氣泡，運作中來自空隙的氣泡就不 會流入機能液滴吐出噴頭。 而爲了提昇插座和插頭之間的密封性，希望在插頭的 外周，希望具有軸向間隔的安裝複數個針對插頭孔的密封 用〇形環。 本發明的吐出裝置係具備有上述的吐出裝置用噴頭單 元，針對屬於工件的基板一邊相對性掃描導入機能液的機 能液滴吐出噴頭一邊選擇性吐出機能液滴爲特徵。 • 按照該構成就能針對機能液滴吐出噴頭的配管材的連 接等，提供一可防止機能液滴吐出噴頭之配線連接器部形 成垂液之具可靠性的吐出裝置。 本發明的液晶顯示裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置，在彩色濾色片的基板上形成濾色片元件的液晶顯 示裝置之製造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入 濾色片材料，介著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴 頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出濾色片材料，形成 濾色片元件。 本發明的有機電激發光裝置之製造方法乃屬於使用上 述吐出裝置’在基板上的畫素點素形成電激發光層的有機 電激發光裝置之製造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴 頭導入發光材料’介著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐 本紙張尺度適财關家標準（CNS ) A4規格（21GX297公楚) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -8- 565508 A7 ____B7 五、發明説明（5) 出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出發光材料，形 成電激發光層。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明的電子放出裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置，在電極上形成螢光體的電子放出裝置之製造方法 ’其特徵爲：於機能液滴吐出噴頭導入螢光材料，介著吐 出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對電極做相對性 掃描，選擇性吐出螢光材料，形成螢光體。 本發明的電漿顯示裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 出裝置，在背面基板上的多數凹部形成螢光體的電漿顯示 裝置之製造方法，其特徵爲··在機能液滴吐出噴頭導入螢 光材料，介著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針 對背面基板做相對性掃描，選擇性吐出螢光材料，形成螢 光體。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 本發明的電泳顯示裝置之製造方法乃屬於使用上述吐 .出裝置，在電極上的凹部形成泳動體的電泳顯示裝置之製 造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入泳動體材料 ’介著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對電極 做相對性掃描，選擇性吐出泳動體材料，形成泳動體。 像這樣將上述吐出裝置適用於液晶顯示裝置之製造方 法，有機電激發光（Electro-Luminescence)裝置之製造方法， 電子放出裝置之製造方法、PDP(Plasma Display Panel)裝置 之製造方法及電泳顯示裝置之製造方法，藉此提昇各製造 方法的可靠性。再者，液滴吐出噴頭的掃描一般是指主掃 描及副掃描，但在所謂一製造線以單一液滴吐出噴頭所構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — -9 - 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ______B7_五、發明説明（6) 成的情形下就只能做副掃描。而電子放出裝置爲包括所謂 FED(Field Emission Display)裝置的槪念。 本發明的彩色濾色片之製造方法乃屬於使用上述吐出 裝置，製造在基板上配列濾色片元件所形成的彩色濾色片 的彩色濾色片之製造方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴 頭導入濾色片材料，介著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴 吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出濾色片材料 ，形成濾色片元件。 此時，形成被覆濾色片元件的保護膜，於形成濾色片 元件後，在機能液滴吐出噴頭導入透光性的塗佈材料，介 著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對基板做相 對性掃描，選擇性吐出塗佈材料，形成保護膜爲佳。 本發明的有機電激發光元件之製造方法乃屬於使用上 •述吐出裝置，將包括電激發光層的畫素點素配列在基板上 所形成的有機電激發光元件之製造方法，其特徵爲：在機 能液滴吐出噴頭導入發光材料，介著吐出裝置用噴頭單元 將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出 發光材料，形成電激發光層。 此時在與電激發光層和基板之間，配合電激發光層形 成畫素電極，在機能液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，介 著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對基板做相 對性掃描，選擇性吐出液狀電極材料，形成畫素電極爲佳 〇 ' 此時覆蓋電激發光層地形成對向電極，於形成電激發 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -10- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 五、發明説明（7) 光層後，在機能液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，介著吐 出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性 掃描，選擇性吐出液狀電極材料，形成對向電極爲佳。 本發明之間隔物形成方法乃屬於使用上述吐出裝置， 形成可在兩枚基板間構成胞間隔的粒子狀間隔物的間隔物 形成方法，其特徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入構成間隔 物的粒子材料，介著吐出裝置用噴頭單元將機能液滴吐出 、噴頭至少針對一方的基板做相對性掃描，選擇性吐出粒子 材料，在基板上形成間隔物。 本發明之金屬配線形成方法乃屬於使用上述吐出裝置 ，在基板上形成金屬配線的金屬配線形成方法，其特徵爲 :在機能液滴吐出噴頭導入液狀金屬材料，且介著吐出裝 置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描 ，選擇性吐出液狀金屬材料，形成金屬配線。 本發明之透鏡形成方法乃屬於使用上述吐出裝置，在 基板上形成微透鏡的透鏡形成方法，其特徵爲：在機能液 滴吐出噴頭導入透鏡材料，介著吐出裝置用噴頭單元將機 能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描，選擇性吐出透鏡 材料，形成微透鏡。 本發明之光阻劑形成方法乃屬於使用上述吐出裝置， 在基板上形成任意形狀的光阻劑之光阻劑形成方法，其特 徵爲：在機能液滴吐出噴頭導入光阻劑材料，介著吐出裝 置用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描 ，選擇性吐出光阻劑材料，形成光阻劑。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 565508 A7 B7 五、發明説明（8) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之光擴散體形成方法乃屬於使用上述吐出裝置 ，在基板上形成光擴散體的光擴散體形成方法，其特徵爲 :在機能液滴吐出噴頭導入光擴散材料，且介著吐出裝置 用噴頭單元將機能液滴吐出噴頭針對基板做相對性掃描， *選擇性吐出光擴散材料，形成光擴散體。 像這樣將上述吐出裝置適用於彩色濾色片之製造方法 、有機電激發光元件之製造方法、間隔物形成方法、金屬 配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散 體形成方法，藉此提高各製造方法的可靠性。 〔發明的實施形態〕 以下參照所附圖面針對本發明的實施形態做說明。本 實施形態的吐出裝置是指組裝在所謂平面顯示器之其中一 種的有機電激發光裝置的製造線，使用複數個機能液滴吐 出噴頭，從其吐出噴嘴吐出發光材料等的機能液（噴墨方式） ，形成作爲有機電激發光裝置之發光機能的各畫素的電激 發光層及正孔注入層。 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 於是，先針對有機電激發光裝置的構造做說明，同時 針對其製造方法（製造製程）做說明。然後接著與其製造方法 一起說明由掃描所搭載的機能液滴吐出噴頭的吐出裝置及 其周邊設備所形成的有機電激發光裝置之製造裝置。 第1圖至第13圖是與包括有機電激發光元件的有機電激 發光裝置之製造製程一起表示其構造。該製造製程係具備 .有儲料部形成工程、和電漿處理工程、和由正孔注入/輸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — -12- 565508 A7 B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9) 送層形成工程及發光層形成工程所形成的發光元件形成工 程、和對向電極形成工程、和密封工程所構成。 儲料部形成工程乃於事先形成在基板50 1的電路元件部 502上及電極511(亦稱晝素電極）上的所定位置，積層無機物 儲料層512a和有機物儲料層512b，藉此形成具有開口部 5 12g的儲料部512。像這樣在儲料部形成工程包括：在電極 511的一部分形成無機物儲料層51 2a的工程、和在無機物儲 料層上形成有機物儲料層5 1 2b的工程。 首先，形成無機物儲料層512a的工程是在電路元件部 502的第二層間絕緣膜544b上及畫素電極511上，將在其整 面成爲無機物儲料層512a的SiO 2、TiCh等的無機物膜利用 CVD法、塗佈法、濺鍍法、蒸鍍法等形成。其次將在無機 物膜利用蝕刻等加以圖案化，如第1圖所示，設有對應電極 511之電極面511a的形成位置的下部開口部512c。此時需要 將無機物儲料層5 1 2a與電極5 11的周緣部重疊地加以形成。 像這重疊電極5 1 1的周緣部（一部分）和無機物儲料層5 12a地 形成無機物儲料層512a，就能藉此控制發光層510b(參照第 10圖〜第13圖）的發光區域。 • 其次，形成有機物儲料層512b的工程，乃如第2圖所示 ，在無機物儲料層5 12a上形成有機物儲料層512b。將有機 物儲料層512b利用微縮技術等加以蝕刻，形成有機物儲料 層5 12b的上部開口部512d。上部開口部512d是設於對應電 極面5 11 a及下部開口部5 12c的位置。 上部開口部512d乃如第2圖所示，比下部開口部512c寬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -13 - 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____B7_______五、發明説明（id ’以比電極面5 1 la窄地加以形成爲佳。藉此，包圍無機物 儲料層512a的下部開口部512c的第一積層部512e較有機物 儲料層512b更延伸出電極511的中央側的造形。如此一來， 使上部開口部5 1 2d、下部開口部5 1 2c連通，藉此形成貫通 無機物儲料層512a及有機物儲料層512b的開口部5129。 其次，電漿處理工程是在儲料部512的表面和畫素電極 的表面5 11 a形成顯示親液性的區域、和顯示排液性的區域 。該電漿處理工程大致區分爲：預備加熱工程、和將儲料 部51 2的上面（51 2f)及開口部51 29的壁面及畫素電極511的電 極面5 1 la具有親液性地加以加工的親液化工程、和將有機 物儲料層5 1 2b的上面5 1 2f及上部開口部5 1 2d的壁面具有排 液性地加以加工的排液化工程、和冷却工程。 . 首先，預備加熱工程是將包括儲料部512的基板501以 所定溫度進行加熱。加熱是在例如載置基板501的台面安裝 加熱器，利用該加熱器在每個台面加熱基板501藉此施行。 具體是將基板501的預備加熱溫度設定爲例如70〜8(TC的範 圍爲佳。 其次，親液化工程是在大氣環境中施行以氧爲處理氣 體的電漿處理（〇2電漿處理）。藉由該〇2電漿處理，如第3圖 所示，畫素電極511的電極面511a、無機物儲料層51 2a的第 一積層部512e及有機物儲料層512b的上部開口部512d的壁 面以及上面5 1 2f做親液處理。藉由該親液處理，對該些的 '各面導入羥基獲得親液性。第3圖是以中心線表示新處理的 部分。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ' -14- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 565508 A7 B7 五、發明説明（Ο ' 其次，排液化工程是在大氣環境中施行以四氟化甲院 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲處理氣體的電漿處理（CF 4電漿處理）。藉由CF4電漿處理 ，如第4圖所示，上部開口部512d壁面及有機物儲料層的上 面5 12f就會進行排液處理。藉由該排液處理，在該些的各 面導入氟基獲得排液性。第4圖是以假想線來表示顯示排液 性的區域。 其次，冷却工程是將欲電漿處理被加熱的基板501冷卻 到室溫或液滴吐出工程的管理溫度。將電漿處理後的基板 501冷卻到室溫或所定溫度（例如施行液滴吐出工程的管理溫 度），藉此以一定的溫度進行下一個正孔注入/輸送層形成 工程。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，發光元件形成工程是在畫素電極511上形成正孔 注入/輸送層及發光層藉此形成發光元件。在發光元件形 成工程包括四個工程。亦即，將欲形成正孔注入/輸送層 的第一組成物吐出到各前述畫素電極上的第一夜滴吐出工 程、和令吐出的前述第一組成物乾燥並在前述畫素電極上 形成正孔注入/輸送層的正孔注入/輸送層形成工程、和 將欲形成發光層的第二組成物吐出到前述正孔注入/輸送 層上的第二夜滴吐出工程、和令吐出的前述第二組成物乾 •燥並在前述正孔注入/輸送層上形成發光層的發光層形成 工程。 首先，第一夜滴吐出工程是利用液滴吐出法將包括正 孔注入/輸送層形成材料的第一組成物吐出到電極面51 la 上。再者，在第一液滴吐出工程以後，在沒有水、氧的氮 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 565508 A7 B7 經濟部智慈財產局8工消費合作社印製 五、發明説明（ 氣氛、氬氣氛等非活性氣體氣氛中進行爲佳。（再者，只在 畫素電極上形成正孔注入/輸送層時，就不會形成鄰接並 形成在有機物儲料層的正孔注入/輸送層） .如第5圖所示，在機能液滴吐出噴頭Η塡充包括正孔注 入/輸送層形成材料的第二組成物，且將機能液滴吐出噴 頭Η的吐出噴嘴面對位於下部開口部512c內的電極面511a ，一邊令機能液滴吐出噴頭Η和基板501相對移動一邊從吐 出噴嘴將控制在相當於一滴液量的第一組成物滴510c吐出 到電極面5 11 a上。 在此所用的第一組成物例如可使用將亞乙基二氧硫代 酚（PEDOT)等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸（PSS)等混合物 溶解於極性溶媒的組成物。極性溶媒舉例有異丙醇（IPA)、 正丁醇、r — 丁內酯、N —甲基吡咯烷酮（NMP)、1，3 -二 •甲基-2 -乙撑硫 （DMI)及其衍生物、乙酸卡必醇酯、丁 基卡必醇酯等乙二醇酯類等。再者，正孔注入/輸送層形 成材料也可針對R、G、B各發光層5 1 Ob使用相同材料，也 可對每個發光層也改變。 如第5圖所示，被吐出的第一組成物滴510c會擴散到被 親液處理的電極面51 la及第一積層部51 2e上，充滿上部開 口部512c、51 2d內。吐出到電極面51 la上的第一組成物量 是根據下部、上部開口部5 1 2c、5 1 2d的大小、欲形成的正 孔注入/輸送層的厚度、第一組成物中的正孔注入/輸送 層形成材料濃度等所決定。而第一組成物滴5 10c可以不只 一次，可分數次吐出到同一電極面511a上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 565508 A7 」__B7_ 五、發明説明（θ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次’正孔注入/輸送層形成工程，乃如第6圖所示， 乾燥處理及熱處理吐出後的第一組成物，並蒸發包含在第 一組成物的極性溶媒，藉此在電極面51 la上形成正孔注入 /輸送層510a。進行乾燥處理時，包含在第一組成物滴51〇c 的極性溶媒的蒸發主要是在靠近無機物儲料層51 2a及有機 物儲料層512b處引起，與極性溶媒的蒸發一倂濃縮析出正 孔注入/輸送層形成材料。然後在電極面511a上也會引起 極性溶媒蒸發，藉此在電極面5 1 1 a上形成由正孔注入/輸 送層形成材料所形成的平坦部510a。在電極面511a上，極 性溶媒的蒸發速度大致上是很均勻的緣故，正孔注入/輸 送層的形成材料就會均勻地濃縮在電極面5 1 la，藉此形成 均勻厚度的平坦部510a。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，第二液滴吐出工程是利用液滴吐出法將包含發 光層形成材料的第二組成物吐出到正孔注入/輸送層5 1 〇a 上。在該第二夜滴吐出工程爲了防止正孔注入/輸送層 5 1 0a的再溶解，用於發光層形成之際的第二組成物的溶媒 是使用對正孔注入/輸送層5 1 0a而言不會溶解的非極性溶 .媒。 且在其一方，正孔注入/輸送層5 1 0a相對於非極性溶 媒的親和性低的緣故，就算將包含非極性溶媒的第二組成 物吐出到正孔注入/輸送層5 1 0 a上，還是有無法令正孔注 入/輸送層510a和發光層510b密著，或是無法均勻地塗佈 發光層510b之虞。於是爲了提高非極性溶媒及相對於發光 層形成材料的正孔注入/輸送層5 10a之表面的親和性，故 i紙張尺度適财國@家標準（CMS ) A4規格（21GX297公釐)~" 一~' -17- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 於形成發光層之前施行表面改質工程爲佳。 於是先針對表面改質工程做說明。表面改質工程是將 屬於與用於發光層形成之際的第二組成物的非極性溶媒相 同溶媒或類似於此的溶媒的表面改質用溶媒利用液滴吐出 法、旋塗法或浸塗法塗佈在正孔注入/輸送層510a上之後 加以乾燥藉此施行。 例如利用液滴吐出法的塗佈，乃如第7圖所示，在機能 液滴吐出噴頭Η塡充表面改質用溶媒，且將機能液滴吐出 噴頭Η的吐出噴嘴面對基板（亦即形成正孔注入/輸送層 510a的基板），一邊相對移動機能液滴吐出噴頭Η和基板 501—邊從吐出噴嘴Η將表面改質用溶媒510d吐出到正孔注 入/輸送層510a上藉此施行。然後如第8圖所示，令表面改 質用溶媒510d乾燥。 其次，在第二夜滴吐出工程利用液滴吐出法將包含發 光層形成材料的第二組成物吐出到正孔注入/輸送層5 1 0a 上。如第9圖所示，在機能液滴吐出噴頭Η塡充含有藍色 (Β)發光層形成材料的第二組成物，且令機能液滴吐出噴頭 .Η的吐出噴嘴面對位於下部、上部開口部5 1 2c、5 1 2d內的 正孔注入/輸送層5 1 0a，一邊相對移動機能液滴吐出噴頭Η 和基板501 —邊從吐出噴嘴將控制在相當於一滴液量的第二 組成物滴5 10e，且將該第二組成物滴5 10e吐出到正孔注入 /輸送層510a上。 發光層形成材料可用聚芴系高分子衍生物、（聚）對亞苯 乙烯撑衍生物、聚亞苯撐衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻吩 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 565508 A7 B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 衍生物、紫蘇烯系染料、香豆素系染料、鹼性蕊香紅系染 料，或在上述高分子摻雜有機電激發光材料。例如可藉由 使用摻雜紅熒烯、紫蘇、9’ 10 —二苯基蒽、四苯基丁二嫌 、耐綸紅、香豆素6、哇吖酮等。 非極性溶媒乃相對於正孔注入/輸送層5 10a爲非溶解 的爲佳，例如可使用環己基苯、二羥基苯并呋喃、三甲基 苯、四甲基苯等。將此種非極性溶媒用於發光層51 Ob的第 二組成物，藉此不會再溶解正孔注入/輸送層5 1 0a，就能 塗佈第二組成物。 如第9圖所示，被吐出的第二組成物5 10e會擴散到正孔 注入/輸送層510a上，並滴到下部、上部開口部512c、 51 2d內。第二組成物51 0e可以不只一次，還可分數次吐出 到同一正孔注入/輸送層5 1 0a上。此時各次的第二組成物 的量可爲相同，也可以每次改變第二組成物的量。 其次，在發光層形成工程是於吐出第二組成物後，施 行乾燥處理及熱處理，於正孔注入/輸送層510a上形成發 .光層5 1 Ob。乾燥處理是藉由乾燥處理吐出後的第二組成物 ，令包含於第二組成物的非極性溶媒蒸發，形成如第10圖 所示的藍色（B)發光層510b。 接著，如第11圖所示，與藍色（B)發光層5 10b情形相同 的形成紅色（R)發光層510b，最後形成綠色（G)發光層510b。 再者，發光層5 1 0b的形成順序並不限於前述順序，可以任 何順序形成。例如也可配合發光層形成材料決定形成的順 序。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -19 ~ 565508 A7 _B7_ 五、發明説明（ιέ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，在對向電極形成工程，乃如第1 2圖所示，在發 光層510b及有機物儲料層512b的全面形成陰極503(對向電 *極）。再者，陰極503也可爲積層複數材料而形成。例如，在 靠近發光層之側形成功函數小的材料爲佳，例如可使用Ca 、：Ba等，而也有利用材料在下層形成薄LiF等爲佳的情形 。而上部側（密封側）功函數高於下部側爲佳。該些陰極（陰 極層）503則利用例如蒸鍍法、濺鍍法、CVD法等而形成爲 佳，特別是利用蒸鍍法所形成，但能防止因發光層5 1 Ob的 熱引起損傷之點爲佳。 而氟化鋰也可以只形成在發光層51 Ob上，進而也可以 只形成在藍色（B)發光層5 10b上。此時，在其他的紅色（R)發 光層及綠色（G)發光層510b、510b連接由LiF製成的上部陰 極層503b。並在陰極503的上部使用藉由蒸鍍法、濺鍍法、 CVD法等形成的A1膜、Ag膜等爲佳。並且也可在陰極5 03 上設置用來防止氧化的Si〇2、SiN等保護層。 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 最後，在第1 3圖所示的密封工程是在氮、氬、氦等非 活性氣體氣氛中，於有機電激發光元件504上積層密封用基 板505。密封工程是在氮、氬、氨等非活性氣體氣氛施行爲 佳。在大氣中施行的話，在陰極503產生小孔等缺陷的情形 下，會有水、氧等自該缺陷部分侵入陰極503而陰極503被 氧化之虞很不理想。並於最後，在可撓性基板的配線連接 .陰極503，同時在驅動1C連接電路元件部502的配線，藉此 獲得本實施形態的有機電激發光裝置500。 再者，在上述的排液膜、陰極503、畫素電極511等也 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -20- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（1) 分別使用液體材料，也液滴吐出法形成亦可。 其次，針對有機電激發光裝置之製造裝置做說明。如 上所述，於有機電激發光裝置之製造製程中，形成正孔注 入/輸送層（正孔注入層）的正孔注入/輸送層形成工程（第 .一液滴吐出工程+乾燥工程）、和表面改質工程、和形成發 光層的發光層形成工程（第二夜滴吐出工程+乾燥工程）是利 用使用機能液滴吐出噴頭的液滴吐出法所施行。對應於此 ，本實施形態的有機電激發光裝置之製造裝置是使用令機 能液滴吐出噴頭一邊吐出發光機能材料一邊掃描的吐出裝 置。 更具體乃如第14圖所示，進行正孔注入/輸送層形成 工程（必要的情形包括表面改質工程）的正孔注入層形成設備 A係具備有：搭載導入第一液滴（發光機能材料：正孔注入 層材料）的機能液滴吐出噴頭的上述吐出裝置la、和乾燥裝 ’置2a、和基板搬送裝置3a，且具備有收容該些的收容室裝置 4a。如上所述，正孔注入/輸送層形成工程在非活性氣體 的氣氛中施行爲佳，其手段設有收容室裝置4a。 收容室裝置4a是由收容吐出裝置la的主處理室4aa、和 收容乾燥裝置2a及基板搬送裝置3a同時隧道狀收容該些連 結部分（搬送路）的副處理室4ab所構成。主處理室4aa是採 用連續流入非活性氣體，構成良好氣氛的方式（詳細於後述) ，副處理室4ab是採用令非活性氣體循環，構成良好氣氛的 方式。再者，圖中的符號5是指基板移載裝置。 同樣地，如第1 5圖所示，施行發光層形成工程的發光 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -21 - 565508 A7 B7 五、發明説明（d (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 層形成設備B係具備三組色彩有別之搭載導入第二液滴（發 光機能材料：R、G、B發光層材料）的機能液滴吐出噴頭的 上述吐出裝置lb、和乾燥裝置2b、和基板搬送裝置3b，且 具備三組收容該些的收容室裝置4b。與上述同樣地，發光 層形成工程在非活性氣體的氣氛中施行爲佳，其手段設有 收容室裝置4b。而且該時的收容室裝置4b也是由收容各吐 出裝置lb的三個主處理室4ba、和收容各乾燥裝置2b及各基 板搬送裝置3b同時隧道狀收容該些連結部分（搬送路）的三 個副處理室4bb所構成。 正孔注入層形成設備A的吐出裝置la及發光層形成設 備B的各吐出裝置ib只有導入各個機能液滴吐出噴頭的液 體材料不同，而具有同一的構造。而各乾燥裝置2a、2b、 各基板搬送裝置3a、3b及各收容室裝置4a、4b也具有相同 或同樣的構造。因而無視於更換機能液滴吐出噴頭、更換 發光機能材料的供給系統的麻煩，可在任意一組設備（吐出 裝置1、乾燥裝置2、基板搬送裝置3及收容室裝置4)製造有 機電激發光裝置。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 於是，本實施形態是以第1 5圖左端的一組設備亦即形 成B色發光層的吐出裝置lb、乾燥裝置2b、基板搬送裝置 • 3b及收容室裝置4b爲例，說明各構成裝置，且其他設備說 明予以省略。 藉由圖外的裝置，經過上述之儲料部形成工程及電漿 處理工程的基板，會從位於第15圖左端的基板移載裝置5被 搬送到基板搬送裝置3(3b)，在此被轉換方向及姿勢並被搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 565508 A7 B7 五、發明説明（id (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 送到吐出裝置1 (lb)。從基板搬送裝置3(3b)轉送到吐出裝置 l(lb)的基板則被設置在吐出裝置l(ib)。吐出裝置l(lb)是利 用其機能液滴吐出噴頭對基板的多數畫素區域（開口部5 1 2g) 吐出（第二液滴吐出工程）B色發光材料（液滴）。 其次，塗上發光材料的基板則從吐出裝置l(lb)被轉送 到基板搬送裝置3(3b)，利用基板搬送裝置3(3b)被導入到乾 燥裝置2(2b)。乾燥裝置2(2b)是將基板曝露在所定時間、高 溫的非活性氣體的氣氛，令發光材料中的溶劑氣化（乾燥工 程）。在此再度將基板導入吐出裝置1( lb)且施行第二夜滴吐 出工程。亦即，重複複數次該第二液滴吐出工程和乾燥工 程’在發光層成爲所希望的膜厚時，基板經過基板搬送裝 置3(3b)，而形成R色發光層，被搬送到中間的吐出裝置 1 (1 b)，最後形成G色發光層，被搬送到右端的吐出裝置 • 1( lb)。然後，該些作業在上述的收容室裝置4(4b)內的非活 性氣體的氣氛中施行。再者，欲形成B、R、G之各色發光 層的作業順序是任意的。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 再者，乾燥裝置2及基板搬送裝置3的詳細說明省略， 但例如只要是乾燥裝置2即可，使用噴出非活性氣體的吹風 乾燥、真空乾燥之其他使用加熱面板或使用燈具（紅外線燈 具）等爲佳。而乾燥溫度以40°C ± 2°C〜200°C ± 2°C爲佳。 其次，針對吐出裝置1做詳細說明。吐出裝置1乃如第 16圖至第19圖所不，具備有液滴吐出裝置（液滴吐出手段）ι〇 、和其附帶裝置11。附帶裝置11係具備有：對液滴吐出裝 置10供給液體材料同時回收不要的液體的液體供給回收裝 本紙張尺度適财關家縣（CNS ) A4規格（21GX297公釐) ~ -23- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（20 置1 3、對各構成零件供給驅動、控制用等壓縮空氣的空氣 供給裝置14、吸引空氣的真空吸引裝置15及供機能液滴吐 出噴頭7維修的維修裝置16等。 液滴吐出裝置10係具有設置在基台上的架台21、和設 置在架台21上的石定盤22、和設置在石定盤22上的X軸台 23及正交於此的Υ軸台24、和吊設在Υ軸台24地加以設置 的主托架25、和保持在該主托架25的噴頭單元26。詳細於 後述，但在噴頭單元26設有複數個機能液滴吐出噴頭7。並 對應該複數個機能液滴吐出噴頭7，在X軸台23的吸附台8 1 上設定基板（工件）W。 本實施形態的液滴吐出裝置10是爲與機能液滴吐出噴 •頭7的驅動（選擇性吐出液滴）同步來移動基板W的構成，機 能液滴吐出噴頭7的所謂主掃描是藉由往X軸台23的X軸方 向之往復的兩動作施行。並配合於此，所謂的前掃描是藉 由Y軸台24利用往機能液滴吐出噴頭7的Y軸方向的律動動 作施行。再者，上述的主掃描也可以只往X軸方向的往動（ 或復動）動作所施行。 一方面，噴頭單元26的終點位置係爲第17圖及第19圖 中之圖示左端位置，且從該液滴吐出裝置10的左方進行噴 頭單元26的搬入或更換（詳細於後述）。而圖示的前側是臨近 於上述的基板搬送裝置3，基板W是從該前側被搬入、搬出 。並且在該液滴吐出裝置10的圖示右側一體添設上述附帶 裝置11的主要構成裝置。 附帶裝置11係具備有：排水型的共同機台3 1、和收容 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 565508 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 ____ B7_五、發明説明（2) 在共同機台31內一方之半部的上述空氣供給裝置14及真空 吸引裝置15、和在共同機台31內的一方半部收容主要裝置 的上述液體供給回收裝置13、和在共同機台31上收容主要 裝置的上述維修裝置16。 維修裝置16係具有··機能液滴吐出噴頭7接受定期噴灑（ 丟棄吐出所有來自吐出噴嘴的液體）的噴灑單元33、和進行 機能液滴吐出噴頭7的吸引及保管的淸洗單元34、和擦拭機 能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面的擦拭單元35。而且淸洗單 _元34及擦拭單元35是配設在上述的共同機台31上。 一方面，處理室4乃如第14圖及第15圖所示，在處理室 空間37倂設電氣室38及機械室39，具有所謂淸洗空間的形 態。在處理室空間37導入屬於非活性氣體的氮氣，收容在 此的上述液滴吐出裝置10及附帶裝置11，全體會曝光在氮 氣的氣氛中，在氮氣的氣氛中進行作用。 在此參照第20圖的模式圖，簡單地說明在氮氣氣氛中 進行作業的吐出裝置1的一連串動作。首先，準備階段是將 噴頭單元26搬運到液滴吐出裝置10，噴頭單元26被設定在 主托架25。噴頭單元26被設定在主托架25的話，Y軸台24是 * 令噴頭單元26在圖外的噴頭辨識相機的位置移動，藉由噴 頭辨識相機辨識噴頭單元26的位置。在此根據該辨識結果 ，噴頭單元26的Θ補正，且在資料上施行噴頭單元26的X 軸方向及Y軸方向的位置補正。位置補正後，噴頭單元（主 托架25)26會回到終點位置。 一方面，在X軸台23的吸附台81上導入基板（此時爲每 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ _B7五、發明説明（2i 個被導入的基板）W的話，在該位置（交接位置）以後述的主 基板辨識相機90來辨識基板位置。在此根據該辨識結果，Θ 補正基板W，且基板W的X軸方向及Y軸方向的位置補正 是在資料上施行。位置補正後，基板（吸附台81)W會回到終 點位置。再者，在X軸及Y軸台23、24的初期調整時（所謂 的通過進出）是在吸附台8 1上導入調整罩，且利用後述的副 基板辨識相機108施行初期調整。 如此一來準備完成的話，實際的液滴吐出作業，首先 •驅動X軸台23，令基板W在主掃描方向往復動作同時驅動 複數個機能液滴吐出噴頭7，並對機能液滴的基板W進行選 擇性的吐出動作。基板W復動之後，此次驅動Y軸台24， 使噴頭單元26以一間距量在副掃描方向移動，再度往基板 W的主掃描方向施行往復移動和機能液滴吐出噴頭7的驅動 。然後將此重複數次，從基板W的一端到另一端（所有區域 )施行液滴吐出。 再者，本實施形態乃針對噴頭單元26將屬於其吐出對 象工件的基板W在主掃描方向（X軸方向）移動，但也可爲 令噴頭單元26在主掃描方向移動的構成。而且也可爲固定 噴頭單元26,使基板W在主掃描方向及前掃描方向移動的 構成。 其次，針對上述的液滴吐出裝置10及附帶裝置11按順 序說明，但說明前爲了容易理解，針對液滴吐出裝置1 〇的 主要部分的噴頭單元26做詳細說明。 第21圖至第23圖乃爲噴頭單元的構造圖。如該些圖所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -26· 565508 A7 B7 五、發明説明（2：^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 示’噴頭單元26係具備有··副托架41、和搭載在副托架41 的複數個（十二個）機能液滴吐出噴頭7、和欲將各機能液滴 吐出噴頭7—個個安裝在副托架41的複數個（十二個）噴頭保 持構件42。十二個機能液滴吐出噴頭7是平均六個左右一半 ’針對主掃描方向以所定角度傾斜而配設^ 而各六個機能液滴吐出噴頭7是針對副掃描方向互互偏 位而配設，十二個機能液滴吐出噴頭7的所有吐出噴嘴68(於 •後述）是連接（一部分重複）前掃描方向。亦即，實施形態的 噴頭配列是在副托架41上於同一方向傾斜而配置兩列六個 機能液滴吐出噴頭7，且於各噴頭列間，機能液滴吐出噴頭 7是互相呈180°旋轉的配置。 不過該配列圖形爲一例，例如各噴頭列所鄰接的機能 液滴吐出噴頭7彼此可爲具有90°的角度而配置（鄰接噴頭彼 此爲「八」字狀），或者各噴頭列間的機能液滴吐出噴頭7 可爲具有90°的角度而配置（列間噴頭彼此爲「八」字狀）。 無論那一個，只要十二個機能液滴吐出噴頭7之利用所有吐 出噴嘴6 8的點可連續在前掃描方向進行即可。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而針對各種基板W，只要機能液滴吐出噴頭7爲專用零 件即可，不需要傾斜設定機能液滴吐出噴頭7，只要不規則 狀、階段狀地配設就很夠用。更可說是極盡所能的構成所 定長度的噴嘴列（點列），可將此以單一的機能液滴吐出噴頭 7所構成，亦可以複數個機能液滴吐出噴頭7所構成。亦即 ，機能液滴吐出噴頭7的個數、列數甚至是配列圖形都是任 意。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2i〇x297公羡） -27- 565508 A7 B7 五、發明説明（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 副托架41係具有：一部分被缺口的略方形本體面板44 、和設在本體面板44的長邊方向的中間位置的左右一對基 準插銷45、45、和安裝在本體面板44之面長邊部分的左右 一對支撐構件46、46、和設在各支撐構件46之端部的左右 .一對把手47、47。左右的把手47、47例如將組裝的噴頭單元 26載入上述的液滴吐出裝置1〇時，即爲以手把持噴頭單元 26的部位。而左右的支撐構件46、46即爲將副托架41固定在 液滴吐出裝置1 0之設定部時的部位（均於後詳細述之）。更且 ，一對基準插銷45、45是畫像辨識爲前提，屬於將副托架（ 噴頭單元26)41定位於X軸、Y軸及Θ方向（位置辨識）的基 準。 更在副托架41設有裝脫自如地連接自各機能液滴吐出 噴頭7離開的場所例如位於副托架41的把手47側的端部，並 介著配管配接器48連接在各機能液滴吐出噴頭7的噴頭側配 *管構件48a和液體供給回收裝置13之連接在於後詳述的給液 槽126的裝置側配管構件的配管接頭49。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 如第24圖（a)(b)即可明確表示，配管接頭49係具備有介 著支架490被固定在副托架41的把手47側的端部的橫長面板 491，在該面板491嵌合固定以上下兩列共計十二個的插座 492，在各插座492的一端部介著管接頭493連接各噴頭側配 管構件48a地被構成。在各插座492的另一端部形成插頭孔 492a。在該插頭孔492a插拔自如地嵌合插頭494。 在插頭494介著彎管495連接裝置側配管構件，並且只 在各插座492插拔各插頭494，可在噴頭側配管構件48a連接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~~一 -28- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（ 、分開裝置側配管構件。而且就算在配管分離時產生滴落 下的液體，配管接頭49自機能液滴吐出噴頭7離開的緣故， 滴落下的液體並不會附著在後記的機能液滴吐出噴頭7的連 接器66(參照第25圖（a))，就能防止因滴落下的液體引起的故 障。尙且，上述插頭494可藉由利用兩端的螺絲釘496裝脫 自如地安裝在面板491的壓桿497防止脫落。 可是在插頭孔492a內，與插頭494之間產生空隙的話， 來自空隙的氣泡會流入到機能液滴吐出噴頭7，產生液滴吐 出不良。於是，本實施形態將插頭孔492a的孔底面492b形 •成配合插頭494之前端錐度的錐形面，就不會產生空隙。尙 且，插頭孔492a的深度和插頭494的長度的尺寸公差，而在 孔底面492b和插頭494的前端之間，會有稍微產生空隙的可 能性，但該空隙是錐形狀地指向自插頭494流出的液體的流 線方向的緣故，當於吐出裝置1投入噴頭單元26時，在往所 施行的機能液滴吐出噴頭7之液體塡充工程，很容易自空隙 吸引排除氣泡，在吐出裝置1的作業中，氣泡不會自空隙流 入機能液滴吐出噴頭7。 而本實施形態是在插頭494的外周，具有軸向間隔的安 裝複數個例如兩個針對插頭孔492a的密封用0形環498，提 昇插頭494和插座492之間的密封性。 更在副托架4 1設有圖未示但位於左右兩列的機能液滴 吐出噴頭群的上側，連接在該些機能液滴吐出噴頭7的左右 一對配線接 裝配。而且各配線連接裝配是配線連接在吐 出裝置1的制裝置（噴頭驅動器：圖示省略）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -29 - 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（2合 如第25圖（a)(b)所示，機能液滴吐出噴頭7是所謂兩連者 ，具備有：具有兩連的連接針62、62的液體導入部61、和 連至液體導入部61之側方的兩連噴頭基板63、和連至液體 導入部61之下方的2連幫浦部64、和連至幫浦部64的噴嘴形 成面板65。在各連接針62連接上述配管配接器48，更在各 連接針62的基部裝固防止侵入幫浦部64的異物的過濾器62a 。在噴頭基板63的2連連接器66、66連接自上述配線連接裝 ’配被導出的可撓性扁形電纜（圖未示）。 並藉由幫浦部64和噴嘴形成面板65構成突出於副托架 4 1背面側的方形噴頭本體60。而在噴嘴形成面板65的噴嘴 形成面67形成兩列多數個吐出噴嘴68。尙且，配管配接器 48是配合兩連的連接針62、62，針對各一個機能液滴吐出 噴頭7平均設置兩個的緣故，就能將連接在配管接頭49的各 插座492的噴頭側配管構件48a介著T字接頭連接在兩個配 管配接器48、48。 其次，針對液滴吐出裝置10的其他構成裝置和附帶裝 置11的各構成裝置按順序說明。 第26圖至第29圖是表示搭載X軸台的液滴吐出裝置的 架台21及石定盤22。如該些圖所示，架台21是將角鋼材等 組成方形所構成，具有分散配置在下部之附調整螺栓的複 數個（九個）支撐腳71。在架台21的上部以各邊兩個的比例， 以向側方延長地安裝在運搬等移動之際用以固定石定盤22 的複數個（八個）固定構件72。各固定構件72是「L」字狀地 形成支架狀，將基端側固定在架台21的上部側面，將前端 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -30 - 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7五、發明説明（2i 側介著調整螺栓73抵接在石定盤22的下部側面。石定盤22 是針對架台21以非鎖固狀態而載置，於搬運石定盤22之際 ，藉此該固定構件72針對架台21使石定盤22不動地固定在X 軸方向及Y軸方向（前後左右）。 石定盤22是令機能液滴吐出噴頭7精度良好的移動的X 軸台23及Y軸台24不會因周圍的環境條件、振動等產生精 度（特別是平面度）上失常地加以支撐，平面視之爲長方形無 垢的石材所構成。在石定盤22的下部設有將此支撐在架台 21上之附調整螺栓的三個主支撐腳75及六個補助腳76。三 個主支撐腳75是以三點支撐石定盤22，且出現其表面的平 行度（包括水平度），六個補助腳76是支撐自石定盤22的三個 主支撐腳75偏移的部分，且抑制其彎曲。 因此，第29圖乃如模式性所示，三個主支撐腳75、75 、75是呈兩等邊三角形地被配置，爲其底邊的兩個主支撐 腳75是位於石定盤22的基板搬入側（同圖爲左側，第16圖爲 .前側）地被配設。而六個補助腳76、76、76、76、76、76是 包括上述三個主支撐腳75、75、75，成爲縱橫3x 3地均勻且 分散的被配設。 此時在石定盤22上乃沿著其長邊的中心線與軸線一致 的設置X軸台23，沿著短邊的中心軸與軸線一致的設置Y 軸台24。因此，X軸台23是直接固定在石定盤22上，Y軸台 24是介著各個間塊79將該四根支柱78固定在石定盤22上。藉 此，Y軸台24係跨過X軸台23正交於其上側地被配設。再 者，第27圖中的符號80是指欲固定後述的主基板辨識相機 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 565508 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（2合 的四個小塊體，主基板辨識相機亦被固定在石定盤22上。 如第26圖至第28圖的X軸移動系統和第30圖至第32圖Θ 移動系統所示，X軸台23是延設在石定盤22的長邊方向，由 藉由空氣吸引加以吸附設定基板W的吸附台8 1、和支撐吸 附台81的Θ台82(參照第30圖至第32圖）、和將Θ台82滑動自 如地支撐在X軸方向的X軸空氣滑動器83、和介著Θ台82 令吸附台8 1上的基板W在X軸方向移動的X軸線性馬達84 •、和倂設在X軸空氣滑動器83的X軸線性刻度85(參照第26 圖至第29圖）所構成。 X軸線性馬達84是位於X軸空氣滑動器83的噴頭單元 26搬入側，X軸線性刻度85是位於X軸空氣滑動器83的附 帶裝置11側，該些是相互平行地被配設。X軸線性馬達84、 X軸空氣滑動器83及X軸線性刻度85是直接支撐在石定盤 22上。在吸附台81連接有連繫在上述真空吸引裝置15的真 空管（圖示省略），藉由其空氣吸引被設定的基板W是維持 平坦度地吸附基板。 而在X軸線性刻度85的附帶裝置11側乃平行地位於此 ' ，並在石定盤22上以收容在箱體88的狀態配設X軸電纜支 架87。在X軸電纜支架87乃隨著吸附台81及Θ台82的移動 地收容吸附台81的真空管、Θ台82用的電纜等（參照第27圖 及第28圖）。 像這樣構成的X軸台23是藉由X軸線性馬達84的驅動 ，以X軸空氣滑動器83來引導吸附基板W的吸附台81及Θ 台8 2在X軸方向移動。在該X軸方向的往復移動中，藉由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " -32- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（2$ 從基板搬入側向著內側的往動動作，進行機能液滴吐出噴 頭7的相對性主掃描。並根據後述的主基板辨識相機90的辨 識結果，藉由Θ台82施行基板W的Θ補正（水平面內的角度 補正）。 第33圖是表示主基板辨識相機。如同圖所示，在吸附 台 81的正上部是臨近於基板的搬入位置（交接的位置）地配 設一對主基板基板辨識相機90、90。一對主基板基板辨識 相機90、90是同時畫像辨識基板的兩個基準位置（圖示省略） 〇 如第34圖、第35圖及第36圖所示，具備有：Y軸台24是 延設在石定盤22的短邊方向，吊設上述主托架25的架橋面 板9 1、和以兩持架橋面板9 1且滑動自如地支撐在Y軸方向 的一對Y軸滑動器92、92、和倂設在Y軸滑動器92的Y軸 線性刻度93、和以一對Y軸滑動器92、92引導架橋面板91 在Y軸方向移動的Y軸滾珠螺桿94、和令Y軸滾珠螺桿94 正反旋轉的Y軸馬達95。並位於一對Y軸滑動器92、92的 兩側，以分別收容在箱體97、97的狀態而配設一對Y軸電 纜支架96、96。 . Y軸馬達95是由伺服馬達構成，Y軸馬達95進行正反旋 轉的話，介著Y軸滾珠螺桿94而螺合於此的架橋面板91是 以一對Y軸滑動器92、92進行引導在Y軸方向移動。亦即 ，隨著往架橋面板91的Y軸方向的移動，主托架25會在Y 軸方向移動。該該主托架（噴頭單元26)25的Y軸方向的往復 移動中，藉由從終點位置側向著附帶裝置11側的往動動作 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -33- 565508 A7 B7 五、發明説明（30 ，進行機能液滴吐出噴頭7的副掃描。 ^ 一方面，在上述四根支柱78上支撐以主托架25的移動 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 路徑部分爲長方形開口 98a的載置台面板98，在載置台面板 98上係避開長方形開口 98a而相互平行地配設一對Y軸滑動 器92、92及Y軸滾珠螺桿94。並在從載置台面板98拉出到 外側的一對支撐板99、99上，與其箱體97、97—同載置上述 一對Y軸電纜支架96、96。 在基板搬入側的Y軸電纜支架96主要是收容連接在噴 頭單元26的電纜，在反側的Y軸電纜支架主要是收容連接 在噴頭單元26的裝置側配管構件（圖示均省略）。而該些電纜 及配管構件是介著上述架橋面板91連接在噴頭單元26的複 數個機能液滴吐出噴頭7。 如第37圖及第38圖所示，主托架25是由自下側固定在 上述架橋面板91之外觀「I」形的吊設構件101、和安裝在吊 設構件101下面的Θ台102、和吊設在Θ台102下面地被安裝 的托架本體103所構成。而該吊設構件101是臨近於上述載 置台面板98的長方形開口 98a。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 托架本體103係具備有，承載噴頭單元26的底座面板104 、和垂設底座面板104地加以支撐的弓形構件105、和突出 於底座面板104—方的端部地設有一對暫置角鋼106、106、 •和設在底座面板104另一方的端部的制動面板107。而在制 動面板107的外側配設辨識基板W的上述一對副基板辨識相 機 108。 在底座面板104形成遊動嵌合噴頭單元26的本體面板44 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3) 的方形開口 111，並在構成該方形開口 111的底座面板104的 左右各開口緣部112設有：欲定位固定噴頭單元26的螺栓孔 113、113、兩個貫通孔114、114及定位銷115。 在像這樣構成的主托架25係利用其兩把手47、47以手 動搬入噴頭單元26的設定。亦即搬入的噴頭單元26會暫時 被載置在兩暫置角鋼106、106上（暫時置放）。在此將配設在 架橋面板9 1上的裝置側配管構件連接在噴頭單元2 6的配管 接頭49，同時將控制用的電纜配線連接在配線連接裝配。 然後再度握持把手47、47，引導兩暫置角鋼106、106，而將 噴頭單元26推入前方，將此設定在底座面板104的左右開口 緣部 11 2、11 2。 、其次，針對附帶裝置11的共同機台31做說明。如第39 圖至第42圖所示，共同機台31係具備有：介著隔壁形成大 小兩個收容室122a、122b的排水形式的機台本體121、和設 在機台本體121上的移動台123、和固定在移動台123上的共 同底座124、和設在自機台本體121上的移動台123偏移端位 置的液槽底座125。在共同底座124載置淸洗單元34及擦拭單 元35 ’在液槽底座125載置後述的液體供給回收裝置13的給 液槽1 2 6。 在機台本體121的下面設有附調整螺栓的六個支撐腳 128、和四個腳輪129，而在液滴吐出裝置1〇側設有欲與液滴 吐出裝置10的架台21連結的一對連結支架130、130。藉此與 液滴吐出裝置10和附’帶裝置（共同機台31)11—體化，且配合 需要而分開附帶裝置11，就能移動。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -35- 565508 A7 B7 五、發明説明（ 4 在機台本體121小的一方的收容室122b收容空氣供給裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 置14及真空吸引裝置15的主要部分，在大的一方的收容室 122a收容機能液供給回收裝置13的液槽類。而欲連接在該 液槽類的接頭群131是緊臨於形成在機台本體121之端部上 面的矩形開口 121a(圖示左端圖）。並位於該矩形開口 121a的 近傍，設有後述的廢液幫浦152(參照第16圖）。 移動台123係具備有：延長至機台本體121的長邊方向 ，加以支撐共同底座124的方形台133、和滑動自如地支撐 方形台133的一對移動滑動器134、134、和配設在一對移動 滑動器134、134間的滾珠螺桿135、和令滾珠螺桿135共同旋 轉的移動馬達136。移動馬達136是介著結合器137被連接在 滾珠螺桿135之端，方形台133是介著內螺紋138螺合在滾珠 螺桿135。藉此移動馬達136正轉的話，方形台133及共同底 座124即介著滾珠螺桿135在X軸方向做進退。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 移動台123是令載置在共同底座124上的淸洗單元 34和 擦拭單元35移動，但當移動台123驅動時，藉由上述的Y軸 台24使用噴頭單元26臨近於淸洗單元34的正上部。淸洗單 元34密貼在噴頭單元26的複數個機能液滴吐出噴頭7並吸引 液體時，各機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67會被污染的 •關係，故繼續藉由移動台123使擦拭單元35接近複數個機能 液滴吐出噴頭7，以擦拭噴嘴形成面67受污染地加以動作（詳 細於後述）。 並在移動台123的旁邊平行於此地配設電纜支架139。 電纜支架139是被固定在共同機台31上，同時前端部被固定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -36- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3含 在共同底座124，收容兩單元34、35用的電纜、空氣管或是 後述洗淨用的管、廢液（再利用）用的管等（圖示省略）。 其次，參照第43圖至第46圖，並針對液體供給回收裝 置13做說明。如第43圖的配管系統圖所示，液體供給回收 裝置1 3是以對噴頭單元26的各機能液滴吐出噴頭7供給液體 材料的液體供給系統141、和在淸洗單元34回收吸引的液體 材料的液體回收系統142、和對擦拭單元35供給洗淨用的液 體材料溶劑的洗淨液供給系統143、和回收來自沖水單元33 的廢液的廢液回收系統144所構成。 •第44圖及第45圖是指收容在上述共同機台31之屬於大 者的收容室122a的液槽群，在拉出式的防液盤146上載置複 數個液槽。在防液盤146上構成液槽群，自圖示左側橫排地 配設洗淨液供給系統143的洗淨液槽147、液體回收系統142 的再利用液槽148及液體供給系統141的加壓液槽149，同時 在洗淨液槽147及再利用液槽148的近傍配設形成小型的廢 液回收系統144的廢液槽150。 如第43圖所示，廢液槽150是介著廢液幫浦152被連接在 沖水單元33，利用各機能液滴吐出噴頭7將吐至沖水單元33 的液體材料回收到廢液槽150。再利用液槽148是連接在淸 洗單元34的吸引幫浦153，藉由吸引幫浦153從各機能液滴吐 出噴頭7回收吸引的液體材料。再者，如第46圖所示，廢液 幫浦152和後述的給液槽126上流側的開關閥154是被固定在 支撐面板155，如上所述，安裝在機台本體121的端部上面（ 參照第16圖）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -37- 565508 A7 B7 五、發明説明（34 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第43圖所示，在洗淨液槽147連接連繫空氣供給裝置 14的液槽加壓用管156，流出側被連接在擦拭單元35的洗淨 液噴霧頭（於後述）195。亦即洗淨液槽147是利用從空氣供給 裝置14被導入的壓縮空氣，將內部的洗淨液加壓供給到洗 淨液噴霧頭195。詳細於後述，但洗淨液噴霧頭195所吐出 的洗淨液會含浸在擦拭機能液滴吐出噴頭7的擦拭片182。 在加壓液槽149連接連繫空氣供給裝置14的液槽加壓用 管157，流出側被連接在液體供給系統141的給液槽126。亦 '即加壓液槽149是指液體材料的主液槽，利用從空氣供給裝 置14被導入的壓縮空氣，將內部的液體材料壓送到給液槽 126 ° 第47圖至第49圖係表示給液槽126。給液槽126是被固定 在上述的液槽底座125上，於兩側具有液位窗162、162，同 時具備有：以凸緣形式緊閉蓋合的矩形液槽本體161、和臨 近兩液位窗162、162用來檢測機能液之液位（水位）的液位檢 測器163、和載置液槽本體161的盤164、和介著盤164來支撐 液槽本體161的液槽架165。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 液槽架165是由安裝面板167、和立設在安裝面板167上 的兩根支柱狀構件^68、168所形成，利用該兩根支柱狀構 件168就能微調節液槽本體161的高度及水平。在液槽本體（ 的蓋體）1 61的上面接合著連接在加壓液槽149的供給管1 69， 並在噴頭單元26側設有延長的給液通路（第43圖的符號158) 用的六個連接器170a及大氣開放用的一個連接器1 70b。 液位檢測器163是由上下稍微分離而配設的上限位準檢 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38- 565508 A7 _____B7_ 五、發明説明（3合 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 測器163a及下限位準檢測器163b所形成，該上限位準檢測 器163a和下限位準檢測器163b是針對液槽架165在基部側一 個個高度調節自如地被安裝。上限位準檢測器1 63a及下限 位準檢測器163b均設有向著液槽本體161的兩液位窗162、 162而延伸的一對板狀臂163c、163c，在一對板狀臂163c、 .163c的一方安裝臨近其中一方的液位窗162的發光元件163d ，但在另一方安裝臨近另一方的液位窗162的受光元件163e 。亦即利用該發光元件163d及受光元件163e構成透過型的 液位感知器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於連接在給液槽126的上述供給管169的上流側分段開 關閥154(參照第43圖及第46圖）。開關閥154是利用上限位準 檢測器163a及下限位準檢測器163b被開閉控制，給液槽126 的液位經常調整位在上限位準和下限位準之間。在此，液 體材料是以所定壓從加壓液槽149被壓送到給液槽126，但 在給液槽126該加壓液槽149側的壓力會因大氣開放被切邊 * ，經由上述液位調整而管理的些許水頭壓（例如25mm 土 0.5mm)對機能液滴吐出噴頭7供給液體材料。藉此，利用機 能液滴吐出噴頭7的幫浦動作，亦即幫浦部64內的壓電元件 的幫浦驅動吐出精度良好的液滴，防止垂液從機能液滴吐 出噴頭7的吐出噴嘴68滴下。 再者，如第43圖所示，自給液槽126的六根給液通路158 是分別介著T字接頭158a被分歧在兩根合計十二根分歧通 路158b，在設於噴頭單元26的配管接頭49的十二個各插座 492連接該些各分歧通路158b作爲裝置側配管構件。並在各 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 -39- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3$ 分歧通路158b分段開關閥166，在往機能液滴吐出噴頭7的 液體塡充工程，如後記詳述地暫時將開關閥166閉閥。 其次，針對維修裝置16以擦拭單元35、淸洗單元34、 沖水單元33的順序做說明。 .如第50圖至第55圖所示，擦拭單元35是由別個獨立構 成的捲取單元（第50圖至第52圖）171和拭取單元（第5 3圖至第 55圖）172所形成，在上述共同底座124上以突合狀態被配設 。捲取單元171是配設在共同底座124的前側，拭取單元172 是配設在共同底座124的深側亦即淸洗單元34側。 實施形態的擦拭單元35是針對停止在淸洗單元34正上 部亦即淸洗位置的噴頭單元26，一邊移行後述的擦拭片1 82 一邊利用上述的移動台123令整體在X軸方向移動，擦拭複 數個機能液滴吐出噴頭7。因此擦拭單元35是從捲取單元 171被放出，爲了拭取動作令拭取單元172旋轉而捲繞於捲 • 取單元171。 如第50圖、第51圖及第52圖所示，捲取單元171係具備 有：懸臂式的支撐架1 74、和旋轉自如地支撐在支撐架1 74 的上側放出捲軸175及下側捲取捲軸176、和捲取旋轉捲取 捲軸176的捲取馬達177。而支撐架174的上側部係固定副支 撐架178，在該副支撐架17 8以位在放出捲軸175前方地以兩 支持來支撐速度檢測滾輪179及中間滾輪180。更在該些構 成零件的下側配設接受洗淨液的洗淨液盤181。 在放出捲軸175插塡滾筒狀的擦拭片182，自放出捲軸 175被放出的擦拭片182是介著速度檢測滾輪179及中間滾輪 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_i、發明説明（3分 180被送入拭取單元172。在捲取捲軸176和捲取馬達177之間 套掛定時皮帶183，捲取捲軸176是利用捲取馬達177進行旋 轉並捲取擦拭片182。 詳細於後述，但在拭取單元172也設有饋送擦拭片182 的馬達（拭取馬達194)，放出捲軸175是利用設在這的轉矩限 制器184，頂抗拭取馬達194地加以制動旋轉。速度檢測滾 輪179是由自由旋轉的上下兩個滾輪179a、179b所形成的夾 緊滾輪，利用設在這的速度檢測器185來控制捲取馬達177 .。亦即放出捲軸175是以張開擦拭片182的狀態而送出，捲 取捲軸176是以不產生鬆弛地捲繞著擦拭片182。 如第53圖、第54圖及第55圖所示，拭取單元172係具備 有：左右一對架台191、191、和支撐在一對架台191、191之 斷面略「U」字狀的底座支撐架192、和以單邊支撐並旋轉 自如地支撐在底座支撐架192的拭取滾輪193、和令拭取滾 輪193旋轉的拭取馬達194、和平行對峙於拭取滾輪193的洗 淨液噴霧頭195、和令底座支撐架192昇降的一對複動式空 氣汽缸196、196。 一對架台191、191是分別由位在外側的固定架台198、 '和在上下方向滑動自如地安裝在固定架台198的內側的可動 架台199所形成，在各固定架台198的底座部立設上述的空 氣汽缸196。各空氣h缸196的柱塞196a被固定在可動架台 199，藉由同時驅動的一對空氣汽缸196、196，昇降底座支 撐架192及支撐在這的拭取滾輪193、拭取馬達194等。 拭取滾輪193是由介著定時皮帶201連結在拭取馬達194 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3合 的驅動滾輪202、和夾著擦拭片182並接觸驅動滾輪202的從 動滾輪203所形成，以夾緊滾輪所構成。驅動滾輪202是以 例如在核心部分捲繞具有彈性或柔軟性的橡膠的橡膠滾輪 所構成，將環繞在這的擦拭片182—邊移行一邊推壓在機會g 液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67。 洗淨液噴霧頭195是在拭取滾輪（驅動滾輪202) 193的近 傍，對著自上述中間滾輪180被送出的擦拭片182噴灑洗淨 液。因此在洗淨液噴霧頭1 95的前面亦即拭取滾輪1 93側係 配合擦拭片182的寬度而橫並地設有複數個噴霧噴嘴204， 在後面設有連接上述洗淨液槽147之連接管所用的複數個連 接器205。 噴上洗淨液的擦拭片1 82係浸含著洗淨液，臨近於機能 •液滴吐出噴頭7而擦拭這裡。再者，位於拭取滾輪1 93的下 方，並在底座支撐架192也設有洗淨液盤，與捲取單元171 的洗淨液盤181—同獲得自擦拭片182滴下的洗淨液。 在此，參照第56圖的模式圖，簡單地說明一連串的拭 取動作。噴頭單元26淸洗完時，即驅動移動台123，令擦拭 單元35前進並充分接近噴頭單元26。拭取滾輪193移動到機 能液滴吐出噴頭7近傍的話，移動台123即停止，且驅動兩 空氣汽缸196、196，並接觸機能液滴吐出噴頭7(推壓）地令 拭取滾輪193上昇。 在此，驅動捲取馬達177及拭取馬達194，拭取送出擦 拭片1 82的同時，開始洗淨液的噴霧。並與此同時再度驅動 移動台123，一邊進行擦拭片182的饋送一邊擦拭複數個機 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3$ 能液滴吐出噴頭7下面地令拭取滾輪193前進。拭取動作完 成時，即停止擦拭片182的饋送，且令拭取滾輪193下降， 更利用移動台123使擦拭單元35後退到原來的位置。 其次，參照第57圖至第60圖，針對淸洗單元34做說明 。淸洗單元34係具備有對應十二個機能液滴吐出噴頭7將十 二個蓋體212配置在蓋體底座213的蓋體單元211、和支撐蓋 體單元211的支撐構件214、和介著支撐構件214令蓋體單元 * 211昇降的昇降機構215。 並如第43圖所示，將連接在分段吸引幫浦153的再利用 液槽148的吸引通路216介著集管216a分歧爲十二條分歧通 路21 6b，將該些分歧通路21 6b連接在各蓋體212。在各分歧 通路216b由蓋體212側依順設有液體感知器217、壓力感知 器218和開關閥219。 十二個蓋體21 2是以與噴頭單元26的十二個機能液滴吐 出噴頭7—同並列且一同傾斜的姿勢被固定在蓋體底座213 。各蓋體212乃如第61圖所示，由蓋體本體220和蓋體保持具 .221所形成，蓋體本體220是以兩個彈簧222、222推拍上方且 稍微可上下動的狀態保持在蓋體保持具221。在蓋體底座 213配合十二個蓋體212形成十二個安裝開口 224，同時包括 該安裝開口 224地形成十二個淺溝225。各蓋體212係將下部 插入安裝開口 224，且將其蓋體保持具221定位於淺溝225的 狀態，螺固在淺溝225的部分（參照第60圖）。 在各蓋體本體220的上面形成包括機能液滴吐出噴頭7 兩列吐出噴嘴群的凹部220a，在凹部220a的周緣部安裝密 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-43 - 565508 A7 B7 五、發明説明（40 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 封墊227，並在底部位以利用押框228a推壓的狀態來敷設吸 收材228。並在凹部220a的底部位形成小孔229，該小孔229 則連通至連接吸引用的各分歧通路21 6b的L字接頭230。吸 收液體材料的時候，於機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67 •推壓密封墊227，欲包含兩列吐出噴嘴群地密封噴嘴形成面 67 〇 在各蓋體212更設有將凹部220a在其底面側做大氣開放 的大氣開放閥231。大氣開放閥231是用彈簧231a推迫上方 閉合側，在液體材料吸引動作的最後階段，拉下大氣開放 閥231加以開閥，藉此也可以吸引浸含在吸收材228的液體 材料。圖中23 lb是指大氣開放閥231的操作部。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 支撐構件214係具備有：在上端具有支撐蓋體單元211 的的支撐面板241的支撐構件本體242、和在上下方向滑動 自如地支撐著支撐構件本體242的架台243。在支撐面板241 *的長邊方向的兩側下面固定一對空氣汽缸244、244，設有 利用該一對空氣汽缸244、244而昇降的操作面板245，在操 作面板245上安裝卡合於各蓋體2 1 2的大氣開放閥23 1的操作 部231b的鉤245a。於是利用一對空氣汽缸244、244介著操 作面板245來開閉大氣開放閥231。 昇降機構215係具備有：由立設在架台243的底座部243a 的空氣汽缸所形成的下段昇降汽缸246、和由設在利用該昇 降汽缸246而昇降的面板248上的空氣汽缸所形成的上段昇 降汽缸247，在前述支撐面板241連結上段昇降汽缸247的活 I塞桿。兩昇降汽缸246、247的動程爲互異，利用兩昇降汽 $紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "" -44- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4) 缸246、247的選擇作動將蓋體單元211的上昇位置自如地切 換到比較高的第一位置和比較低的第二位置。 在此，蓋體單元211是在將噴頭單元26移動到臨近蓋體 單元211之正上部的淸洗位置之際，令機能液滴吐出噴頭7 抵接在蓋體2 1 2地經常待機於在蓋體2 1 2的密封墊227和機能 液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67之間空出數mm間隙地加以 設定的下降端位置。並利用往第一位置的上昇將蓋體21 2的 密封墊227密貼在機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67，在 第二位置於蓋體2 1 2的密封墊227和機能液滴吐出噴頭7的噴 嘴形成面67之間稍微空出間隙（例如〇.5mm左右）。再者，本 實施形態乃將蓋體單元211利用下段昇降汽缸246上昇到第 一位置，利用上段昇降汽缸247上昇到第二位置，但當然也 可以構成將往第一位置和第二位置的上昇利用上下相反的 昇降汽缸進行。 此種構成的淸洗單元34是利用移動台1 23移動交叉於噴 .頭單元26的Y軸方向移動軌跡的位置，對此噴頭單元26則 藉由Y軸台24移動到臨近淸洗單元34(蓋體單元211)之正上 部的淸洗位置。在此，藉由昇降機構215的下段昇降汽缸 246的作動令蓋體單元211上昇到第一位置，且在噴頭單元26 的十二個機能液滴吐出噴頭7自下側推壓十二個蓋體212。 推壓在各機能液滴吐出噴頭7的各蓋體2 1 2係頂抗本身的兩 個彈簧222、222，而令該蓋體本體220沈入幾分，其密封墊 227即均勻地密貼在機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面67。 接著，驅動吸引幫浦153的同時，將分段在吸引用的各 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' " -45- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 565508 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（θ 分歧通路21 6b的開關閥21 9加以開閥，自各機能液滴吐出噴 頭7的所有吐出噴嘴68介著各蓋體212吸引液體材料。並在 吸引完之前將大氣開放閥231加以開閥，然後將開關閥219 加以閉閥完成吸引。吸引動作完成時，令蓋體單元211下降 到下降端位置。再者，吸引中根據來自設在吸引用各分歧 通路216b的壓力感知器218的訊號來監視各蓋體212是否發 生吸引不良。而且當裝置運作停止時等保管頭部時，令蓋 體單元2 11上昇到第一位置，將各機能液滴吐出噴頭7利用 各蓋體212密封，成爲保管狀態。 • « 其次，參照第62圖及第63圖，針對沖水單元33做說明 。沖水單元33是配設在上述X軸電纜支架87的箱體88上（參 照第30圖）。沖水單元33是由固定在X軸電纜支架87上的滑 動底座25 1、和進退自如地設在滑動底座25 1上的長板狀滑 動器252、和固定在滑動器25 2兩端部的一對沖水箱253、253 、和敷設在各沖水箱253內的一對液體吸收材254、254所構 成。 一對沖水箱253、253係具備對應噴頭單元26的左右兩列 的各機能液滴吐出噴頭群的寬度，同時具有對應各機能液 滴吐出噴頭群的副掃描方向的移動範圍的長度而形成細長 形狀。而且該一對沖水箱253、253是從滑動器252直角地延 長至X軸台23的上側，且夾著吸附台81地被配設。並在各 沖水箱253、253的中央部底面安裝構成排液口的排液接頭 256。連接在該排液接頭256的排液管（圖示省略）是通過X軸 電纜支架87內被連接在上述廢液槽150。 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -46- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7__五、發明説明（4含 在滑動器252係固定位於一對沖水箱253、253間，並向 著X軸台23的Θ台82而延伸的一對安裝片257、257，該一 對安裝片257、257的前端部是固定在㊀台82的底座部。亦 即，介著滑動器252，一對沖水箱253、253被滑動底座251引 導與Θ台82—同移動。 此種構成的沖水單元33乃如第30圖所示，沖水單元33 與Θ台82—同施行往道的話，最初同圖式右側的沖水箱25 3 會通過噴頭單元26的正下方。此時，複數個（十二個）機能液 滴吐出噴頭7會依序進行噴灑動作，噴頭單元26仍會移行到 通常的液滴吐出動作。同樣地，沖水單元33施行復道的話 ，最初左側的沖水箱253會通過噴頭單元26的正下方。此時 ，複數個機能液滴吐出噴頭7會依序進行噴灑動作，噴頭單 元26仍會移行到通常的液滴吐出動作。像這樣於供主掃描 的往復運動中施行適當噴灑。因而只提供噴灑動作，噴頭 單元26等不會移動，就不會影響噴灑的間歇時間。 當噴灑液滴的吐出爲某種程度的時間休止時，例如針 .對吐出裝置1出入基板W時也有進行的必要。於是，當液滴 的吐出爲某種程度的時間休止時，將噴頭單元26移動到臨 近蓋體單元211之正上部的淸洗位置，自各機能液滴吐出噴 頭7向著各蓋體21 2進行噴灑。此時，蓋體單元211保存在下 降端位置的話，來自機能液滴吐出噴頭7的吐出液體的一部 會自機能液滴吐出噴頭7和蓋體212之間的間隙成爲霧狀飛 散到外部。因此將蓋體單元211利用昇降機構21 5的上段昇 降汽缸247上昇到上述第二位置，在此狀態進行噴灑。 1紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 -47- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局B工消費合作社印製 五、發明説明（4 按照這樣，機能液滴吐出噴頭7和蓋體21 2之間就會稍 ^微形成間隙，防止來自機能液滴吐出噴頭7的吐出液體向外 部飛散。此時，一旦對蓋體21 2作用來自吸引幫浦153的吸 引力，就能更有效的防止吐出液體向外部飛散。再者，也 考慮以蓋體21 2密貼在機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形成面6 7 的狀態進行噴灑，但蓋體212密貼在噴嘴形成面67的話，噴 嘴形成面67被污染的關係，噴灑後需要擦拭噴嘴形成面6， 很不實用。 可是對吐出裝置1投入新的噴頭單元26時，機能液滴吐 出噴頭7的頭內流路變空的關係，在開始液滴吐出作業前， 頭內流路需要塡充液體材料。此時，來自給液槽1 26的液體 材料的供給要稍微用水頭壓進行的緣故，於頭內流路塡充 液體材料需要吸引。於是在液體塡充作業之際，將噴頭單 元26移動到淸洗位置，且令蓋體單元211上昇到上述第一位 置，並使各蓋體212密貼在各機能液滴吐出噴頭7的噴嘴形 成面67，將給液槽126內的液體材料利用介著各蓋體21 2所作 用之來自吸引幫浦153的吸引力塡充到各機能液滴吐出噴頭 7的頭內流路。然而就算利用蓋體21 2進行吸引，在頭內流 路液體材料的流速會降低，無法自頭內流路排除氣泡，在 殘留氣泡的影響下會產生液滴吐出不良。特別是氣泡易殘 •留於設在機能液滴吐出噴頭7的連接針62的基部的過濾器62a 上。 於是，本實施形態在給液用的各分歧通路158b外設如 上所述的開關閥166，同時在吸引用的各分歧通路216b設有 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -48- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____B7_五、發明説明（d 如上述的液體感知器217，液體塡充開始後液體材料被吸引 到蓋體212，當這被液體感知器217檢知到時，依然對應繼 續因蓋體212引起的吸引，暫時將開關閥166閉閥。藉此就 在開關閥166的閉閥中令頭內通路減壓，然後因開關閥166 的開閥，而令液體材料急遽地流動，頭內流路中的液體材 料的流速成爲高速化，氣泡就能自頭內流路效率良好的被 排除。根據實驗，相對於開關閥1 66之閉閥前的流速爲 100mm/s左右，且暫時將開關閥166閉閥後再開閥的話， 流速爲200〜2000mm/s，確認會大幅地增加。 在此，開關閥166之閉閥前的頭內流路的液體塡充率很 高的程度下，閉閥後頭內流路會效率良好的被減壓。當液 體材料達到上述液體感知器217時，液體材料會略爲充滿頭 ，內流路，就能利用液體感知器217適當地自動控制閉閥定時 。而在給液用和吸引用的各分歧通路158b、216b分別設有 開關閥166和液體感知器217，藉此就算在各個機能液滴吐 出噴頭7產生初期的液體塡充率誤差，還是能對每個機能液 滴吐出噴頭7以適當的定時個別的將開關閥166加以閉閥。 而開關閥1 66和機能液滴吐出噴頭7之間的通路長度很 短的程度下，閉閥後的減壓效率提高，同時塡充時的液體 消耗量減少。在此，在與主托架25—體動作的部分搭載開 關閥166的話，不需要將追蹤保持在主托架25的噴頭單元26 的動作的鬆弛附加在開關閥166和機能液滴吐出噴頭7之間 '的通路部分，就能縮短通路長度。於是本實施形態是在吊 設主托架25的架橋面板91搭載開關閥166。其詳細乃如第64 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X297公董1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -49- 565508 A7 _ _ B7__ 五、發明説明（ 圖及第65圖所示，於固定在架橋面板91的架台261上，平均 六個上下兩段搭載十二個開關閥166。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 並於覆蓋開關閥166之搭載處的架台261的上面板262配 .置六個T字接頭158a、和六個接地接頭158c，且將連繫給液 槽126的六條給液通路158(管）分別介著接地接頭158c連接 到T字接頭158a的內向連接口。然後將連接在該些六個T 字接頭158b的下向連接口的六條分歧通路158b的上流部分 158b !連接到上段的六個開關閥166的流入口 166a，同時將 連接在該些T字接頭158a的外向連接口之剩下的六條分歧 通路158b的上流部分158b i連接在下段的六個開關閥166的 流入口 166a。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 並在架台261的下面板263介著支架264配置十二個管接 頭158d，將連接在上下兩段合計十二個開關閥166的流出口 •的十二條分歧通路158b的中間部分158b 2分別連接在管接 頭158d的一端，在該些管接頭158d的另一端連接著被連接 在噴頭單元26的配管接頭49的插座492的裝置側配管構件的 分歧通路158b的下流部分158b 3。再者，在架台261也設有 不介著開關閥1 66給液到噴頭單元26的歧管265。 以上針對有機電激發光裝置之製造裝置做說明，但液 晶顯示裝置之彩色濾色片的其他製品以噴墨方式製造的吐 出裝置也同樣適用本發明。 例如液晶顯示裝置方面的彩色濾色片之製造方法係於 複數個機能液滴吐出噴頭7導入R、G、B各色的濾色片材料 ，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前掃描，選擇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50- 565508 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4》 性吐出濾色片材料，在基板上形成多數濾色片元件。加上 利用與上述同樣的方法也可形成被覆多數濾色片元件的保 護膜。 同樣地，本實施形態的機能液滴吐出裝置10可適用於 *電子放出裝置之製造方法、電漿顯示裝置之製造方法及電 泳顯示裝置之製造方法等。 電子放出裝置之製造方法是對複數個機能液滴吐出噴 頭7入R、G、B各色的螢光材料，且複數個機能液滴吐出噴 頭7進行主掃描及副掃描，選擇性吐出螢光材料，在電極上 形成多數螢光體。再者，電子放出裝置是包括FED(電場放 出顯示器）的上位槪念。 電漿顯示裝置之製造方法是在複數個機能液滴吐出噴 頭7導入R、G、B各色的螢光材料，且複數個機能液滴吐出 噴頭7進行主掃描及副掃描，選擇性吐出螢光材料，在背面 基板上的多數凹部分別形成螢光體。 電泳顯示裝置之製造方法是在複數個機能液滴吐出噴 頭7導入各色的泳動體材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7 進行主掃描及副掃描，選擇性吐出油墨材料，在電極上的 多數凹部分別形成泳動體。再者，由帶電粒子和顏料所形 成的泳動體會微密封地被封入爲佳。 一方，本實施形態的機能液滴吐出裝置10也適用於間 隔物形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻 劑形成方法及光擴散體形成方法等。 . 間隔物形成方法是在兩枚基板間構成微小的單元空隙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -51 - 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____B7_五、發明説明（4 ，形成多數粒子狀的間隔物，使構成間隔物的粒子材料分 散在液中，將調整爲液狀的材料導入到複數個機能液滴吐 出噴頭7，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及副掃 描，選擇性吐出粒子材料，至少在一方的基板上形成間隔 物。例如對於構成上述液晶顯示裝置、電泳顯示裝置中的 兩枚基板間的單元空隙時就很有用，當然也適用於其他需 要此種微小間隙的半導體製造技術。 金屬配線形成方法是在複數個機能液滴吐出噴頭7導入 液狀金屬材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及 副掃描，選擇性吐出液狀金屬材料，在基板上形成金屬配 線。例如適用於連接上述液晶顯示裝置方面的驅動器和各 .電極的金屬配線、連接上述有機電激發光裝置方面的TFT 等和各電極的金屬配線。而除了此種平面顯示器之外，當 然也適用於一般的半導體製造技術。 透鏡形成方法是在複數個機能液滴吐出噴頭7導入透鏡 材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前掃描， 選擇性吐出透鏡材料，在透明基板上形成多數微透鏡。例 如可適用作爲上述FED裝置方面的光束收束用的裝置。而 且當然也適用於各種光裝置。 光阻劑形成方法是在複數個機能液滴吐出噴頭7導入光 阻劑材料，且複數偃機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前掃 *描，選擇性吐出光阻劑材料，在基板上形成任意形狀的光 阻劑。例如上述各種顯示裝置方面的儲料形成，能由原來 針對半導體製造技術爲主體的微縮法擴大適用到光阻劑的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -52- 565508 A7 B7 五、發明説明（β 塗佈。 光擴散體形成方法是指在基板上形成多數光擴散體的 光擴散體形成方法，對複數個機能液滴吐出噴頭7導入光擴 散材料，且複數個機能液滴吐出噴頭7進行主掃描及前掃描 * ’選擇性吐出光擴散材料，形成多數光擴散體。此情形當 然也適用於各種光裝置。 〔發明效果〕 由以上說明即可明白，按照本發明之吐出裝置用噴頭 單元及吐出裝置，就算在取下配管時自配管構件產生垂液 ，液體也不會附著在機能液滴吐出噴頭的連接部，且能夠 在噴頭單元的開放空間部分針對噴頭單元進行配管作業， 提高作業性。 一方面，按照本發明的液晶顯示裝置之製造方法、有 '機電激發光裝置之製造方法等各種製造方法，就能介著口土 出裝置提高製造方法的可靠性。 〔圖面簡單說明〕 第1圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的儲料部形成工程（無機物儲料）的斷面圖。 第2圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的儲料部形成工程（有機物儲料）的斷面圖。 第3圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方& 的電漿處理工程（親水化處理）的斷面圖。 本纸張Hk用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 一 -53 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) B裝· 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 565508 Α7 Β7 五、發明説明（50 第4圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 ' 的電漿處理工程（撥水化處理）的斷面圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第5圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的正孔注入層形成工程（液滴吐出）的斷面圖。 第6圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的正孔注入層形成工程（乾燥）的斷面圖。 第7圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的表面改質工程（液滴吐出）的斷面圖。 第8圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的表面改質工程（乾燥）的斷面圖。 第9圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方法 的Β發光層形成工程（液滴吐出）的斷面圖。 第10圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的Β發光層形成工程（乾燥）的斷面圖。 第11圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的R、G、Β發光層形成工程的斷面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第12圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的對向電極形成工程的斷面圖。 第13圖是有關實施形態的有機電激發光裝置之製造方 法的密封工程的斷面圖。 • 第14圖是有關實施形態的正孔注入層形成設備的槪念 圖。 第15圖是有關實施形態的發光層形成設備的槪念圖。 第16圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀立體圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -54- A7 B7 i '發明説明（5彳 、第17圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀正面圖。 第18圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀側面圖。 第19圖是有關實施形態的吐出裝置的外觀平面圖。 第20圖是有關實施形態的吐出裝置的模式圖。 第21圖是有關實施形態的噴頭單元的平面圖。 第22圖是有關實施形態的噴頭單元的側面圖。 第23圖是有關實施形態的噴頭單元的正面圖。 第24圖（a)是有關實施形態的噴頭單元的配管接頭的外 觀立體圖、（b)配管接頭的斷面圖。 第25圖U)是有關實施形態的機能液滴吐出噴頭的外觀 *立體圖、（b)機能液滴吐出噴頭的斷面圖。 第26圖是有關實施形態的吐出裝置的石定盤旋轉的側 面圖。 第27圖是有關實施形態的吐出裝置的石定盤旋轉的平 面圖。 第28圖是有關實施形態的吐出裝置的石定盤旋轉的正 面圖。 第29圖是表示有關實施形態的吐出裝置的石定盤的支 撐形態的模式圖。 第30圖是有關實施形態的吐出裝置的X軸台的zp面圖 〇 第31圖是有關實施形態的吐出裝置的X軸台的側面圖 〇 第32圖是有關實施形態的吐出裝置的X軸台的正面圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

、1T 經濟部智惡財產局8工消費合作社印製 -55- 565508 A 7 B7 五、發明説明（5$ 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第33圖是有關實施形態的吐出裝置的主基板辨識相機 旋轉的立體圖。 第34圖是有關實施形態的吐出裝置的Y軸台的平面圖 〇 第35圖是有關實施形態的吐出裝置的Y軸台的側面圖 〇 第36圖是有關實施形態的吐出裝置的Y軸台的正面圖 〇 第37圖是有關實施形態的Y軸台的主托架的立體圖。 ' 第38圖是有關實施形態的Y軸台的主托架的平面圖。 第39圖是有關實施形態的吐出裝置的共同機台的立體 圖。 第40圖是有關取出實施形態的吐出裝置的共同底座的 共同機台的立體圖。 第4 1圖是有關實施形態的吐出裝置的共同機台的側面 圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第42圖是有關實施形態的吐出裝置的共同機台的平面 圖。 第43圖是有關實施形態的吐出裝置之液體供給回收裝 置的配管系統圖。 第44圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的幫浦群 旋轉的立體圖。 第45圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的幫浦群 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -56- 565508 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（5含 旋轉的平面圖。 '第46圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的廢液幫 浦旋轉的立體圖。 第47圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的給液槽 的立體圖。 第48圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的給液槽 的側面圖。 第49圖是有關實施形態的液體供給回收裝置的給液槽 的正面圖。 第50圖是有關實施形態的擦拭單元的捲取單元的立體 圖。 第5 1圖是有關實施形態的擦拭單元的捲取單元的平面 圖。 第52圖是有關實施形態的擦拭單元的捲取單元的正面 圖。 第53圖是有關實施形態的擦拭單元的拭取單元的立體 圖。 第54圖是有關實施形態的擦拭單元的拭取單元的平面 圖。 第55圖是有關實施形態的擦拭單元的拭取單元的正面 ， 圖。 第56圖是表示擦拭單元動作的模式圖。 第57圖是有關實施形態的淸洗單元的外觀立體圖。 第58圖是有關實施形態的淸洗單元的正面圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -57- 565508 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5] 第59圖是有關實施形態的淸洗單元的側面圖。 ' 第60圖是有關實施形態的淸洗單元的平面圖。 第61圖是淸洗單元蓋體的放大斷面圖。 第62圖是有關實施形態的噴灑單元的立體圖。 第63圖是有關實施形態的噴灑單元的平面圖。 第64圖是有關實施形態的給液通路中的開關閥的配置 部的立體圖。 第65圖是有關實施形態的給液通路中的開關閥的配置 部的側面圖。 .〔符號說明〕 W 基板（工件） 1 吐出裝置 7 機能液滴吐出噴頭 25 主托架 26 噴頭單元 41 副托架 49 配管接頭 492 插座 492a 插頭孔 * 492b 孔底面 494 插頭 498 0形環 48b 噴頭側配管構件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-58- 565508 A7 B7五、發明説明（5今126 給液槽158b 裝置側配管構件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -59-

Claims (1)

1. 565508 A8 B8 C8 ______ D8 六、申請專利範圍1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1·一種吐出裝置用噴頭單元，乃屬於具備有針對工件進 行相對移動的主托架的吐出裝置所使用的噴頭單元，於裝 脫自如地保持在前述主托架的副托架搭載機能液滴吐出噴 頭而構成者中，其特徵爲： 在於由前述副托架的前述機能液滴吐出噴頭離開的位 置’設有用來連接··連接於設在吐出裝置的給液槽的裝置 側配管構件和連接於機能液滴吐出噴頭的噴頭側配管構件 的配管接頭。 2·如申請專利範圍第1項所記載的吐出裝置用噴頭單元 ，其中，前述配管接頭係具備有：在一端部介著管接頭連 接前述噴頭側配管構件，固定在前述副托架的插座、和插 拔自如地嵌合於形成在該插座的另一端部的插頭孔，連接 著前述裝置側配管構件的插頭。 3. 如申請專利範圍第2項所記載的吐出裝置用噴頭單元· ，其中，前述插頭孔的孔底面是形成配合前述插頭前端錐 度的錐面。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 如申請專利範圍第2項所記載的吐出裝置用噴頭單元 ，其中，在前述插頭的外周，以軸向保持間隔的安裝複數 個針對前述插頭孔之密封用的0形環。 5. —種吐出裝置，其特徵爲： 具備申請專利範圍第1項所記載的吐出裝置用噴頭單元 ， 針對屬於工件的基板一邊相對性掃描導入機能液的前 述機能液滴吐出噴頭一邊選擇性吐出機能液滴。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " " •60- 565508 A8 B8 C8 D8 2 申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 6· —種液晶顯示裝置之製造方法，乃屬於使用如申請專 利範圍第5項所記載的吐出裝置，在彩色濾色片的基板上形 成濾色片元件的液晶顯示裝置之製造方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入濾色片材料，介著前述 吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述基 板做相對性掃描，選擇性吐出前述濾色片材料，形成前述 濾色片元件。 7·—種有機電激發光裝置之製造方法，乃屬於使用如申 請專利範圍第5項所記載的吐出裝置，在基板上的畫素點素 形成電激發光層的有機電激發光裝置之製造方法，其特徵 爲· 在前述機能液滴吐出噴頭導入發光材料，介著前述吐 出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述基板 做相對性掃描，選擇性吐出前述發光材料，形成前述電激· 發光層。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8. —種電子放出裝置之製造方法，乃屬於使用申請專利 範圍第5項所記載的吐出裝置，在電極上形成營光體的電子 放出裝置之製造方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入各色營光材料，介著前 述吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述 電極做相對性掃描，選擇性吐出前述螢光材料，形成前述 螢光體。 9. 一種電漿顯示裝置之製造方法，乃屬於使用申請專利 範圍第5項所記載的吐出裝置，在背面基板上的凹部形成營 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 61 - 565508 A8 B8 C8 D8 3 申請專利範圍 光體的電紫顯示裝置之製造方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入螢光材料，介著前述吐 出裝置用噴頭單兀將前述機能液滴吐出噴頭針對前述背面 基板做相對性掃描，選擇性吐出前述螢光材料，形成前述 螢光體。 10· —種電泳藏不裝置之製造方法，乃屬於使用申請專 利範圍第5項所記載的吐出裝置，在電極上的凹部形成泳動 體的電泳顯示裝.置之製造方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入各色泳動體材料，介著 前述吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前 述電極做相對性掃描，選擇性吐出前述泳動體材料，形成 前述泳動體。 11· 一種彩色濾色片之製造方法，乃屬於使用如申請專 利範圍第5項所記載的吐出裝置，製造在基板上配列爐色片. 元件而成的彩色濾色片的彩色濾色片之製造方法，其特徵 爲· 在前述機能液滴吐出噴頭導入濾色片材料，介著前述 吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述基 板做相對性掃描，選擇性吐出前述濾色片材料，形成前述 濾色片元件。 1 2·如申請專利範圍第1 1項所記載的彩色濾色片之製造 方法，其中，形成被覆前述濾色片元件的被覆膜，於形成 前述濾色片元件之後，在前述機能液滴吐出噴頭導入透光 性的塗佈材料，介著前述吐出裝置用噴頭單元將前述機能 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -62- 565508 A8 B8 C8 _______ D8 六、申請專利範圍4 液滴吐出噴頭針對前述基板做相對性掃描，選擇性吐出前 述塗佈材料，形成前述被覆膜。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 13. —種有機電激發光元件之製造方法，乃屬於使用申 請專利範圍第5項所記載的吐出裝置，將包括電激發光層的 畫素點素配列在基板上而成的有機電激發光元件之製造方 法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入發光材料，介著前述吐 出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述基板 做相對性掃描，選擇性吐出前述發光材料，形成前述電激 發光層。 14. 如申請專利範圍第π項所記載的有機電激發光元件 之製造方法，其中，在前述電激發光層和前述基板之間， 對應前述電激發光層而形成畫素電極，在前述機能液滴吐 出噴頭導入液狀電極材料，介著前述吐出裝置用噴頭單元 將述機能液滴吐出噴頭針對前述基板做相對性掃描，選擇 性吐出前述液狀電極材料，形成前述畫素電極。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 15·如申請專利範圍第14項所記載的有機電激發光元件 之製造方法，其中，被覆前述電激發光層地形成對向電極 ，於形成前述電激發光層之後，在前述機能液滴吐出噴頭 導入液狀電極材料，介著前述吐出裝置用噴頭單元將前述 機能液滴吐出噴頭針對前述基板做相對性掃描，選擇性吐 出前述液狀電極材料，形成前述對向電極。 16.—種間隔物形成方法，乃屬於使用申請專利範圍第5 項所記載的吐出裝置，在兩枚基板間構成單元空隙，形成 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -63- 565508 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍5 粒子狀間隔物的間隔物形成方法，其特徵爲： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在前述機能液滴吐出噴頭導入構成間隔物的粒子材料 ，介著前述吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭 至少針對一方的前述基板做相對性掃描，選擇性吐出前述 粒子材料，在前述基板上形成前述間隔物。 1 7. —種金屬配線形成方法，乃屬於使用申請專利範圍 第5項所記載的吐出裝置，在基板上形成金屬配線的金屬配 線形成方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入液狀金屬材料，介著前 述吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述 基板做相對性掃描，選擇性吐出前述液狀金屬材料，形成 前述金屬配線。 18·—種透鏡形成方法，乃屬於使用申請專利範圍第5項 所記載的吐出裝置，在基板上形成微透鏡的透鏡形成方法 ，其特徵爲： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在前述機能液滴吐出噴頭導入透鏡材料，介著前述吐 出裝置用噴頭單兀將即述機能液滴吐出噴頭針對前述基板 做相對性掃描，選擇性吐出前述透鏡材料，形成前述微透 鏡。 1 9 · 一種光阻劑形成方法，乃屬於使用申請專利範圍第5 項所記載的吐出裝置，在基板上形成任意形狀的光阻劑的 光阻劑形成方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入光阻劑材料，介著前述 吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） -64 - 565508 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 々、申請專利範圍6 板做相對性掃描，選擇性吐出前述光阻劑材料，形成前述 光阻劑。 20·—種光擴散體形成方法，乃屬於使用申請專利範圍 第5項所記載的吐出裝置，在基板上形成光擴散體的光擴散 體形成方法，其特徵爲： 在前述機能液滴吐出噴頭導入光擴散材料，介著:前述 吐出裝置用噴頭單元將前述機能液滴吐出噴頭針對前述基 板做相對性掃描，選擇性吐出前述光擴散材料，形成前述 光擴散體。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） HI — ϋϋ ί —ϋ ί —ϋ —ϋ —Ju— H — I I-1 - ϋ— —^1 ϋϋ m、-?τ^· ϋϋ I I— I - ϋ^— I I Bn — ϋϋ ϋϋ ϋϋ ϋϋ ,· ,^—>· Β^ϋ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -65-