JP2003246072A - ヘッドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリ
ッジに安定に且つ精度良く組み付けることができるヘッ
ドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決め
装置等を提供することをその課題とする。 【解決手段】 サブプレート４を介して機能液滴吐出ヘ
ッド３をサブキャリッジ２に位置決めする位置決め装置
であって、サブプレート４に形成した２つの係合孔７６
に係合する一対の係合アーム６３１と、サブキャリッジ
２に対し一対の係合アーム６３１をＸ・Ｙ・θ軸方向に
相対的に微少移動させるＸ・Ｙ・θ軸テーブル３０２，
３０３とを備え、各係合アーム６３１は、先端部が各係
合孔７６に挿入される係合ピン６４３と、係合ピン６４
３を軸方向にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能に保
持するピンホルダ６４４とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに代表される機能液滴吐出ヘッドを、サブキャリッ
ジに組み付けるヘッドユニットの組立方法、機能液滴吐
出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装
置、並びに上記ヘッドユニットを用いた液晶表示装置の
製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製
造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製
造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方
法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成
方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のプリンタ等では、複数の機能液滴
吐出ヘッドを必要とする場合、各機能液滴吐出ヘッドを
個々にサブプレートに保持し、更にこれを単一のサブキ
ャリッジに搭載して、複数の機能液滴吐出ヘッドを、サ
ブプレートおよびサブキャリッジと共にヘッドユニット
として扱うようにしている。そして、機能液滴吐出ヘッ
ドをサブプレートに組み込む場合には、顕微鏡等を用い
て人的に位置決めおよびねじ止め固定が行われる。ま
た、ヘッド付きのサブプレートをサブキャリッジに組み
込む場合には、サブキャリッジにサブプレートを位置決
めするピン等を設けておいて、これにサブプレートをセ
ットし且つ固定するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の機
能液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精
度良く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表
示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造に
応用可能であると共に、各種の電子デバイスや光デバイ
ス等の製造装置への応用も期待されている。このような
応用技術を考慮すると、機能液滴吐出ヘッド自体の性能
に加え、平面内におけるノズル（ノズル列）の位置精度
（組付け精度）やその前提となるサブキャリッジの位置
精度に、高い精度が要求される。また、吐出対象となる
液体等によっては、機能液滴吐出ヘッドの寿命が短くな
り、機能液滴吐出ヘッドの頻繁な交換も考慮する必要が
ある。これらの点において、プリンタに搭載される従来
の機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット）では、各部の
精度の累積が全体の精度を決定してしまうため、高い位
置決め精度を安定に維持することには、おのずと限界が
生ずる。また、手作業での組立では、作業が煩雑であり
且つ信頼性が劣るものとなるおそれがある。

【０００４】本発明は、機能液滴吐出ヘッドをサブキャ
リッジに安定に且つ精度良く組み付けることができるヘ
ッドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決
め装置およびヘッドユニットの組立装置、並びに上記ヘ
ッドユニットを用いた液晶表示装置の製造方法、有機Ｅ
Ｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装
置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフ
ィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成
方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形
成方法および光拡散体形成方法を提供することをその課
題としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のヘッドユニット
の組立方法は、サブプレートに保持された機能液滴吐出
ヘッドを、サブプレートを介してサブキャリッジに仮装
着したヘッドユニットに対し、機能液滴吐出ヘッドをサ
ブキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニ
ットの組立方法であって、機能液滴吐出ヘッドの位置を
画像認識するヘッド認識工程と、ヘッド認識工程におけ
る認識結果に基づいて、サブキャリッジに対しサブプレ
ートを介して機能液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド
位置決め工程と、ヘッド位置決め工程の後、サブプレー
トをサブキャリッジに仮固定する仮固定工程と、仮固定
工程の後、機能液滴吐出ヘッドを画像認識する仮固定後
確認工程と、を備えたことを特徴とする。

【０００６】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを
位置認識し、その認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘ
ッドを、サブプレートを介してサブキャリッジに位置決
めするため、結果的には、機能液滴吐出ヘッドをサブキ
ャリッジに直接位置決めすることができる。このため、
機能液滴吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を、精度良
く且つ迅速に行うことができる。また、この状態で機能
液滴吐出ヘッド（サブプレート）を仮固定し、且つこれ
を画像認識するようにしているため、機能液滴吐出ヘッ
ドのサブキャリッジへの仮固定を精度良く行うことがで
きると共に、仮固定の信頼性を格段に高めることができ
る。

【０００７】この場合、ヘッド認識工程に先立ち、サブ
キャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工程
と、キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、
サブキャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程
と、を更に備えることが好ましい。

【０００８】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが
取り付けられるサブキャリッジを精度良く位置決めして
おくことで、機能液滴吐出ヘッドの組付精度を、より一
層高めることができる。

【０００９】これらの場合、仮固定後確認工程における
認識結果に基づいて、本固定を行うか否かを決定する判
別工程と、判別工程により本固定を行うことを決定され
た場合に、サブプレートをサブキャリッジに本固定する
本固定工程と、を更に備えることが好ましい。

【００１０】この構成によれば、仮固定後確認工程にお
ける認識結果が本固定を行うことを「否」とした場合
に、本固定を取りやめることで、無駄な作業を省略する
ことができる。

【００１１】これらの場合、本固定工程の後、機能液滴
吐出ヘッドを画像認識する本固定後確認工程、を更に備
えることが、好ましい。

【００１２】この構成によれば、最終的にヘッドユニッ
トが所定の精度をもって、組み立てられているか否かを
判断することができる。

【００１３】これらの場合、ヘッド位置決め工程は、機
能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、機能液滴吐出ヘッ
ドを画像認識する仮固定前確認工程を有していること
が、好ましい。

【００１４】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが
目標位置に位置決めされているか否かを確認することが
できる。これにより、仮固定工程に移行するか否かの対
応を迅速に行うことができる。

【００１５】この場合、ヘッド位置決め工程は、仮固定
前確認工程の認識結果において、機能液滴吐出ヘッドの
目標位置とアライメント位置とが異なる場合に、機能液
滴吐出ヘッドの位置を補正する位置補正工程を、更に有
していることが、好ましい。

【００１６】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの
目標位置とアライメント位置とが異なる場合に、機能液
滴吐出ヘッドの位置を補正するようにしているため、装
置の機械的精度が低くても、機能液滴吐出ヘッドをサブ
キャリッジに対し精度良く位置決めすることができる。
なお、この場合の、目標位置とアライメント位置とが異
なる場合とは、アライメントにおける許容範囲を越えて
異なる場合をいう。

【００１７】これらの場合、仮固定工程は、接着剤によ
りサブプレートをサブキャリッジに接着することで行わ
れることが、好ましい。

【００１８】この構成によれば、仮固定の作業を簡単に
行うことができると共に、仮固定および本固定におい
て、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド）の位置ずれを
有効に防止することができる。

【００１９】これらの場合、サブキャリッジの位置およ
びサブキャリッジに搭載された機能液滴吐出ヘッドの位
置をパターン形成したアライメントマスクが用意されて
おり、サブキャリッジの位置決めおよび機能液滴吐出ヘ
ッドに位置決めは、アライメントマスクからそれぞれ取
得したサブキャリッジの位置および機能液滴吐出ヘッド
の位置を目標位置として、為されることが好ましい。

【００２０】この構成によれば、アライメントマスクを
位置決めの原型とし、その複製という形で機能液滴吐出
ヘッドをサブキャリッジに位置決めすることができるた
め、常に安定した位置決め精度をもって、機能液滴吐出
ヘッドを位置決めすることができる。したがって、装置
の信頼性を高めることができる。

【００２１】本発明の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装
置は、サブプレートに保持された機能液滴吐出ヘッドの
これが搭載されるサブキャリッジへの固定に先立ち、サ
ブプレートを介してサブキャリッジに仮装着した機能液
滴吐出ヘッドをサブキャリッジに位置決めする機能液滴
吐出ヘッドの位置決め装置であって、サブプレートに相
互に離間して形成した２つの係合孔に係合する一対の係
合アームと、サブキャリッジに対し一対の係合アームを
Ｘ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させるＸ・Ｙ・θ
軸テーブルとを備え、各係合アームは、先端部が各係合
孔に挿入される係合ピンと、係合ピンを軸方向にスライ
ド自在に且つ軸廻りに回転不能に保持するピンホルダと
を有することを特徴とする。

【００２２】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッド
は、サブプレートを介して、予め所定の位置にセットさ
れたサブキャリッジに仮装着されており、この状態か
ら、Ｘ・Ｙ・θ軸テーブルにより、サブプレートに係合
した一対の係合アームをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微
少移動させ、サブプレートを介して機能液滴吐出ヘッド
を位置決めする。この場合、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブル
を用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの位置補正
を、一連の移動動作で確実に行うことができる。また、
一対の係合アームを、サブプレートの２つの係合孔に係
合させて、位置補正を行うようにしているため、位置補
正を安定に且つ精度良く行うことができる。さらに、ピ
ンホルダに対し係合ピンが、軸方向にスライド自在に且
つ軸廻りに回転不能に保持されているため、例えば係合
ピンが僅かに偏心している場合であっても、位置決め時
の係合ピンの回転が阻止され、サブプレート（機能液滴
吐出ヘッド）の位置決めが不安定になるのを、有効に防
止することができる。なお、サブキャリッジの固定は、
仮固定を含む広義の固定である。また、位置決めのため
の移動は、サブキャリッジ側を移動させる構成としても
よい。

【００２３】この場合、サブプレートの２つの係合孔
は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されて
いることが、好ましい。

【００２４】この構成によれば、一対の係合アーム（係
合ピン）の離間寸法に製造上の誤差があっても、各係合
ピンの各係合孔への係合を、確実且つ円滑に行うことが
できる。すなわち、係合アームにおける係合ミスを確実
に防止することができる。

【００２５】これらの場合、ピンホルダには、係合ピン
との間にボールスプラインが介設されていることが、好
ましい。

【００２６】この構成によれば、係合ピンの軸方向への
スライドを、がたつきを生ずることなく円滑に行うこと
ができ、且つ回転止めを、がたつきを生ずることなく確
実に行うことができる。

【００２７】この場合、ピンホルダに対し係合ピンは、
軸方向に離間して２個所で保持されており、ボールスプ
ラインは、２個所に介設されていることが好ましい。

【００２８】この構成によれば、円滑なスライドと回転
止めとを維持しつつ、係合ピンの軸方向の直進性（鉛直
性）を維持することができる。

【００２９】これらの場合、係合ピンの先端部は、先端
側を係合孔より細径とし基端側を係合孔より太径とする
テーパー形状に形成されていることが、好ましい。

【００３０】この構成によれば、サブプレートの各係合
孔と各係合アームの係合ピンとを、高精度に係合させる
ことができる。すなわち、係合孔と係合ピンとの間のク
リアランスが、位置補正の際の精度に影響を及ぼすのを
防止することができる。

【００３１】この場合、係合ピンの先端部は、鋭角とな
るテーパー形状に形成されていることが、好ましい。

【００３２】この構成によれば、両係合アームの係合ピ
ンにより、サブプレートを適度に押えつつ、これをサブ
プレート上で確実に微小移動させることができる。な
お、鋭角となるテーパーの角度は、１０°以上９０°未
満が好ましい。

【００３３】これらの場合、係合ピンを突出方向に付勢
する付勢手段を、更に備えることが好ましい。

【００３４】この構成によれば、係合孔に係合した係合
ピンが、係合孔を介してサブプレートを押圧することに
なり、係合が適切に行われる。このため、位置補正のた
めの微小移動および位置補正後のサブプレートの位置を
安定させることができる。また、位置補正後にサブプレ
ートをサブキャリッジに固定（仮固定）する場合には、
位置的に安定した状態でこれを固定（仮固定）すること
ができる。

【００３５】これらの場合、サブプレートを介して機能
液滴吐出ヘッドを位置決めした後、係合ピンを介してサ
ブプレートをサブキャリッジに押圧する押圧手段を、更
に備えることが好ましい。

【００３６】この構成によれば、位置補正後のサブプレ
ートをサブキャリッジに押圧しておくことができ、続く
仮固定等の作業を、位置ずれを生ずることなく安定に行
うことができる。

【００３７】これらの場合、サブキャリッジに形成した
複数の小穴を介して、サブプレートをエアー浮上させる
圧縮エアー供給手段を、更に備えることが好ましい。

【００３８】この構成によれば、位置決めのためのサブ
プレートの微小移動を、極めて円滑に且つ小さな力で行
うことができ、サブキャリッジとの間の摩擦による位置
決め不良を解消することができる。

【００３９】本発明のヘッドユニットの組立装置は、上
記した機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備え、サブ
プレート、機能液滴吐出ヘッドおよびサブキャリッジか
ら成るヘッドユニットを組み立てることを特徴とする。

【００４０】この構成によれば、サブプレートを介して
機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに精度良く位置決
めしすることができる。このため、サブキャリッジに機
能液滴吐出ヘッドを精度良く組み込んだヘッドユニット
を、安定に得ることができる。

【００４１】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上
に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の
製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色のフィル
タ材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出
ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選
択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成するこ
とを特徴とする。

【００４２】本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピク
セルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製
造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料
を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出
して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。

【００４３】本発明の電子放出装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を
形成する電子放出装置の製造方法であって、機能液滴吐
出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニットを
介して機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査
し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成す
ることを特徴とする。

【００４４】本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記し
た本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てら
れたヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部に
それぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
て、機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘ
ッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを背面基板に
対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数
の蛍光体を形成することを特徴とする。

【００４５】本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、
上記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み
立てられたヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部
に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であっ
て、機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、
ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを電極に対
し相対的に走査し、泳動体材料を選択的に吐出して多数
の泳動体を形成することを特徴とする。

【００４６】このように、上記のヘッドユニットを、液
晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ（Electronic Lumines
cence）装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ（Plasma Display Panel）装置の製造方法および電
気泳動表示装置の製造方法に適用することにより、各装
置に求められるフィルタ材料や発光材料等を、適切な位
置に適切な量を選択的に供給することができる。また、
ヘッドユニットを介して専用の機能液滴吐出ヘッドを迅
速に供給することができる。なお、機能液滴吐出ヘッド
の走査は、一般的には主走査および副走査となるが、い
わゆる１ラインを単一の機能液滴吐出ヘッドで構成する
場合には、副走査のみとなる。また、電子放出装置は、
いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む
概念である。

【００４７】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立
てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィル
タエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造する
カラーフィルタの製造方法であって、機能液滴吐出ヘッ
ドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介
して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメ
ントを形成することを特徴とする。この場合、多数のフ
ィルタエレメントを被覆するオーバーコート膜が形成さ
れており、フィルタエレメントを形成した後に、機能液
滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、ヘ
ッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し
相対的に走査し、コーティング材料を選択的に吐出して
オーバーコート膜を形成することが、好ましい。

【００４８】本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した
本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられ
たヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の絵素
ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法で
あって、機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入
し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板
に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多
数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。この場
合、多数のＥＬ発光層と基板との間には、ＥＬ発光層に
対応して多数の画素電極が形成されており、機能液滴吐
出ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介
して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成
することが、好ましい。さらにこの場合、多数のＥＬ発
光層を覆うように対向電極が形成されており、ＥＬ発光
層を形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料
を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に
吐出して対向電極を形成することが、好ましい。

【００４９】本発明のスペーサ形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャ
ップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するス
ペーサ形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにスペー
サを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介し
て機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、粒
子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にス
ペーサを形成することを特徴とする。

【００５０】本発明の金属配線形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金
属配線形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに液状金
属材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出
ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料を選
択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とする。

【００５１】本発明のレンズ形成方法は、上記した本発
明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘ
ッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを
形成するレンズ形成方法であって、機能液滴吐出ヘッド
にレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液
滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ材料
を選択的に吐出して多数のマイクロレンズを形成するこ
とを特徴とする。

【００５２】本発明のレジスト形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを
形成するレジスト形成方法であって、機能液滴吐出ヘッ
ドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して機
能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レジス
ト材料を選択的に吐出してレジストを形成することを特
徴とする。

【００５３】本発明の光拡散体形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成
する光拡散体形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに
光拡散材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を
選択的に吐出して多数の光拡散体を形成することを特徴
とする。

【００５４】このように、上記のヘッドユニットを、カ
ラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペー
サ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジ
スト形成方法および光拡散体形成方法に適用することに
より、各電子デバイスや各光デバイスに求められるフィ
ルタ材料や発光材料等を、適切な位置に適切な量を選択
的に供給することができる。また、ヘッドユニットを介
して専用の機能液滴吐出ヘッドを迅速に供給することが
できる。

【００５５】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施形態について説明する。インクジェットプリ
ンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）
は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出
することができることから、吐出対象液として、例えば
特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることに
より、各種部品の製造分野への応用が期待されている。
また、係る応用技術では、導入する機能液によっては、
機能液滴吐出ヘッドの耐久性に大きな影響を与えるもの
も想定され、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッ
ジに精度良く組み込んだヘッドユニットを、随時供給可
能とすることが必要となる。

【００５６】本発明の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装
置を適用した本実施形態のヘッドユニットの組立方法お
よび組立装置は、例えばカラーフィルタ（液晶表示装置
等）や有機ＥＬ装置等の、いわゆるフラットディスプレ
イの製造装置（以下、「描画装置」という）に併設さ
れ、これに随時ヘッドユニットを供給可能とするもので
ある。この描画装置では、例えばカラーフィルタのフィ
ルタエレメントに、Ｒ．Ｇ．Ｂのフィルタ材料を液滴と
して吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドを備えており
（詳細は後述する）、ヘッドユニットの組立装置は、こ
の複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに精度良
く組み込んでヘッドユニットを組み立て、これを描画装
置に適宜供給できるようにしている。

【００５７】この場合のヘッドユニットの組立手順は、
先ず各機能液滴吐出ヘッドをサブプレートに位置決め状
態で個々に組み付け、これを単一のサブキャリッジに仮
装着し、次いでサブキャリッジに対し各機能液滴吐出ヘ
ッドを位置決めした後、仮固定し、最後に本固定するも
のである。そして、機能液滴吐出ヘッドのサブプレート
への組付けおよびサブキャリッジへの仮装着は、外工程
として手作業により行われる一方、サブキャリッジに複
数の機能液滴吐出ヘッドを位置決めし且つ仮固定する作
業は、実施形態の組立装置で行われる。さらに、機能液
滴吐出ヘッドの本固定は、ヘッドユニットを組立装置に
セットしたまま、手作業で行われる。

【００５８】そこで、本実施形態では、先ずこの組立装
置で扱うヘッドユニットと、その構成要素である機能液
滴吐出ヘッド、サブプレートおよびサブキャリッジにつ
いて説明する。また、この説明に相前後して、ヘッドユ
ニットと上記の描画装置との関係、治具を用いた機能液
滴吐出ヘッドのサブプレートへの組付方法、およびヘッ
ドユニットの位置決め基準となるアライメントマスクに
ついて説明する。その後、ヘッドユニットの組立装置に
ついて詳細に説明することとする。そして、最後に、こ
のヘッドユニットを、いわゆるフラットディスプレイの
製造方法に適用した例について説明する。

【００５９】図１、図２および図３は、ヘッドユニット
の構造図である。同図に示すように、ヘッドユニット１
は、サブキャリッジ２と、サブキャリッジ２に搭載した
複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３と、各機能液
滴吐出ヘッド３をサブキャリッジ２に個々に取り付ける
ための複数個（１２個）のサブプレート４とを備えてい
る。１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、６個づつに二分
され、主走査方向に対し所定の角度傾けて配設されてい
る。また、各６個の機能液滴吐出ヘッド３は、副走査方
向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個の機能液
滴吐出ヘッド３の全吐出ノズル５７（後述する）が副走
査方向において連続する（一部重複）ようになってい
る。

【００６０】すなわち、実施形態のヘッド配列は、サブ
キャリッジ２上において、同一方向に傾けて配置した６
個の機能液滴吐出ヘッド３を２列としてものであり、且
つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド３が相互に
１８０°回転した配置となっている。もっとも、この配
列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における
隣接する滴吐出ヘッド３同士を９０°の角度を持って配
置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列
間における滴吐出ヘッド３を９０°の角度を持って配置
（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりすることは可能
である。

【００６１】いずれにしても、１２個の機能液滴吐出ヘ
ッド３の全吐出ノズル５７によるドットが副走査方向に
おいて連続していればよい。また、各種の基板に対し機
能液滴吐出ヘッド３を専用部品とすれば、機能液滴吐出
ヘッド３をあえて傾けてセットする必要は無く、千鳥状
や階段状に配設すれば足りる。さらにいえば、所定長さ
のノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一
の機能液滴吐出ヘッド３で構成してもよいし複数の機能
液滴吐出ヘッド３で構成してもよい。すなわち、機能液
滴吐出ヘッド３の個数や列数、さらに配列パターンは任
意である。

【００６２】サブキャリッジ２は、一部が切り欠かれた
略方形の本体プレート１１と、本体プレート１１の長辺
方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン１２，１２
と、本体プレート１１の両長辺部分に取り付けた左右一
対の支持部材１３，１３と、各支持部材１３の端部に設
けた左右一対のハンドル１４，１４とを有している。左
右のハンドル１４，１４は、例えば組み立てたヘッドユ
ニット１を上記の描画装置Ｂに載せ込む場合に、ヘッド
ユニット１を手持ちするための部位となる。また、左右
の支持部材１３，１３は、サブキャリッジ２を組立装置
Ａや描画装置Ｂのセット部に固定するときの部位とな
る。

【００６３】さらに、サブキャリッジ２には、二分され
た機能液滴吐出ヘッド群３Ｓの上側に位置して、これら
機能液滴吐出ヘッド３に接続される左右一対の配管接続
アッセンブリ１５，１５および左右一対の配線接続アッ
センブリ１６，１６が設けられている。各配管接続アッ
センブリ１５は、描画装置Ｂのフィルタ材料供給系に配
管接続され、同様に各配線接続アッセンブリ１６は、描
画装置Ｂの制御系に配線接続されるようになっている。
なお、図１は、一方（図示手前側）の配管接続アッセン
ブリ１５を省略して、描かれている。

【００６４】本体プレート１１は、ステンレス等の厚板
で構成され、左右に各６個の機能液滴吐出ヘッド３を取
り付けるための一対の装着開口１８，１８が形成される
と共に、適宜位置に重量を軽減するための複数の抜き開
口１９が形成されている。各装着開口１８は、６個の機
能液滴吐出ヘッド３を取り付ける開口部位１８ａが連続
したものであり、６個の機能液滴吐出ヘッド（機能液滴
吐出ヘッド群３Ｓ）３の並びに倣って、その軸線が本体
プレート１１の軸線に対しわずかに傾いている。

【００６５】各支持部材１３は、厚手のステンレス板等
で構成され、これを固定するための２つの固定孔（ばか
孔）２１，２１および２つのボルト孔２２，２２が形成
されると共に、これら固定孔２１，２１およびボルト孔
２２，２２間に位置決め用のピンが挿入されるピン孔２
３が形成されている。詳細は後述するが、組立装置Ａや
描画装置Ｂにヘッドユニット１をセットするときには、
ピン孔２３を用いて位置決めされると共に２つの固定孔
２１，２１を用いてねじ止め固定される。

【００６６】左右一対の基準ピン１２，１２は、画像認
識を前提として、サブキャリッジ２をＸ軸、Ｙ軸および
θ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となる
ものであり、本体プレート１１の裏面に突出するように
取り付けられている。各基準ピン１２の先端面は鏡面加
工されており、この先端面の中心位置に基準マーク２６
となる小孔（直径０．３ｍｍ程度）が穿孔されている。

【００６７】詳細は後述するが、組立装置Ａや描画装置
Ｂに搭載した認識カメラ３５３は、基準マーク２６を形
成した基準ピン１２の先端面２９ａを、視野内に捕らえ
て画像認識（パターン認識）を行う。このため、認識カ
メラ３５３によるパターン認識では、鏡面仕上げの先端
面が明色で、その先端面２９ａの略中央部に形成された
凹形状の基準マーク２６が暗色で認識され、十分なコン
トラストを持って基準マーク２６が画像認識される。

【００６８】各配管接続アッセンブリ１５は、各機能液
滴吐出ヘッド群３Ｓの上側に配設されており、本体プレ
ート１１の長辺方向の両端部に立設した一対のスペーサ
３６，３６と、一対のスペーサ３６，３６間に渡した押
さえプレート３７と、押さえプレート３７に搭載した６
組の配管アダプタ３８とで構成されている。６組の配管
アダプタ３８は、その下端のヘッド側接続部分をわずか
に突出するようにして、それぞれ押さえプレート３７に
固着されている。

【００６９】詳細は後述するが、機能液滴吐出ヘッド３
はいわゆる２連のものであり、６組の配管アダプタ３８
は、それぞれ２連の配管接続部材１７を介して機能液滴
吐出ヘッド３に接続される。すなわち、各機能液滴吐出
ヘッド３に配管接続部材１７を嵌合接続する一方、６組
の配管アダプタ３８を搭載した押さえプレート３７を両
スペーサ３６，３６にねじ止めすることで、６組の配管
アダプタ３８が、それぞれ配管接続部材１７を介して機
能液滴吐出ヘッド３に接続される。

【００７０】同様に、各配線接続アッセンブリ１６は、
サブキャリッジ２の左右の端部に立設した３個の屈曲支
持部材４０，４０，４０と、屈曲支持部材４０の上端に
固定したコネクタベース４１と、コネクタベース４１上
に取り付けた配線コネクタ４３付きの４つのヘッド中継
基板４２とで構成されている。４つのヘッド中継基板４
２は、それぞれフレキシブルフラットケーブル（図示省
略）を介して、後述する各機能液滴吐出ヘッド３の２連
のヘッド基板４７に接続されている。そして、各ヘッド
中継基板４２には、描画装置Ｂにセットする際にその制
御系ケーブルの配線プラグにより配線接続される（詳細
は後述する）。

【００７１】なお、図２にのみ示すように、このヘッド
ユニット１には更に、両配線接続アッセンブリ１６を覆
う中継基板カバー２４が設けられている。中継基板カバ
ー２４は、各配線接続アッセンブリ１６の側面から直上
部を覆う一対の側面カバー２４ａと、一対の側面カバー
２４ａ間に渡した上面カバー２４ｂとで構成されてお
り、このうち上面カバー２４ｂは、ヘッドユニット１を
描画装置Ｂにセットした後に取り付けるようになってい
る。また、詳細は後述するが、ヘッドユニット１を組立
装置Ａにセットする段階では、描画装置Ｂにセットする
場合と異なり、中継基板カバー２４は元より両アッセン
ブリ１５，１６も組み付けておかないものとする。

【００７２】次に、図４ないし図６を用いて機能液滴吐
出ヘッド３について説明する。この機能液滴吐出ヘッド
３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４６を
有する液体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連な
る２連のヘッド基板４７と、液体導入部４５に下方に連
なる２連のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズ
ル形成プレート４９とを備えている。液体導入部４５に
は、上記の配管接続部材１７が接続され、ヘッド基板４
７には、上記のフレキシブルフラットケーブルが接続さ
れている。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレー
ト４９とにより、サブキャリッジ２の裏面側に突出する
方形のヘッド本体５０が構成されている。また、ノズル
形成プレート４９のノズル形成面５２には、２列のノズ
ル列５３，５３が形成されている（図５参照）。

【００７３】図５に示すように、ポンプ部４８の基部
側、すなわちヘッド本体５０の基部側は、液体導入部４
５を受けるべく方形フランジ状に形成され、このフラン
ジ部５８には、機能液滴吐出ヘッド３をサブプレート４
に固定する小ねじ用の一対のねじ孔（雌ねじ）５９，５
９が形成されている。この一対のねじ孔５９，５９は、
両長辺部分に位置し、且つノズル形成面５２の中心に対
し点対称となるように配設されている。詳細は後述する
が、サブプレート４を貫通してフランジ部５８に螺合し
た２本の小ねじ７３，７３により、機能液滴吐出ヘッド
３がサブプレート４に固定される（図８参照）。

【００７４】一方、ノズル形成プレート４９には、２本
のノズル列５３，５３が相互に平行に列設されており、
各ノズル列５３は、等ピッチで並べた１８０個（図示で
は模式的に表している）の吐出ノズル５７で構成されて
いる。すなわち、ヘッド本体５０のノズル形成面５２に
は、その中心線を挟んで２本のノズル列５３，５３が左
右対称に配設されている。

【００７５】このように構成された機能液滴吐出ヘッド
３は、そのヘッド本体５０を、サブキャリッジ２に形成
した装着開口１８からサブキャリッジ２の裏面側に突出
させ、装着開口１８の縁部にあてがったサブプレート４
に上記のフランジ部５８の部分でねじ止め固定される。
また、サブプレート４は、サブキャリッジ２に接着によ
り仮固定され、その後、ねじにより本固定される。

【００７６】次に、図７および図８を参照して、サブプ
レート４について説明する。サブプレート４は、機能液
滴吐出ヘッド３をサブキャリッジ２に安定に取り付ける
ための媒介金具であり、ステンレス等で構成された略長
方形の平板状に形成されている。サブプレート４には、
その中央に機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０が挿
通する方形の挿通開口７１が形成されている。この場
合、サブプレート４は、その長辺方向の両端部で装着開
口（開口部位１８ａ）１８を跨ぐようにしてサブキャリ
ッジ２の裏面側にセットされ、これに対し機能液滴吐出
ヘッド３は、そのヘッド本体５０を挿通開口７１に挿通
すようにしてサブキャリッジ２の表側にセットされる
（図４参照）。

【００７７】サブプレート４の挿通開口７１の周囲に
は、上記フランジ部５８の２つのねじ孔５９，５９に対
応する２つの貫通孔７２，７２および２本の小ねじ７
３，７３と、２つの突出位置規制ピン７４，７４が配設
されている。２つの貫通孔７２，７２は、それぞれ装着
開口１８側に突出する２つのボス部７５，７５に形成さ
れている。この場合、各ボス部７５は、サブプレート４
に圧入した筒状のカラーで構成されている。この２つの
ボス部７５，７５と２つの突出位置規制ピン７４，７４
とは、いずれも挿通開口７１の中心に対し点対称位置に
配設されており、これらボス部７５，７５と突出位置規
制ピン７４，７４がヘッド本体５０のフランジ部５８に
当接することにより、機能液滴吐出ヘッド３のサブキャ
リッジ２からの吐出寸法が規制されるようになってい
る。

【００７８】また、挿通開口７１の中心線上において、
挿通開口７１の外側には２つの係合孔７６，７６が形成
されている。この２つの係合孔７６，７６は、後述する
機能液滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃが装着される部位で
あると同時に、組立装置Ａにおける位置補正用の係合ピ
ン６４３，６４３が係合される部位でもある。この場
合、組付治具Ｃの装着や係合ピン６４３の係合が無理な
く為されるように、２つの係合孔７６，７６は、一方が
円形に、他方が上記中心線方向に長い長円形に形成され
ている。

【００７９】さらに、挿通開口７１の中心線上におい
て、サブプレート４の両端部には、それぞれ２つの接着
剤注入孔７７，７７が、挿通開口７１を挟んで対称位置
に形成されている。各接着剤注入孔７７はサブプレート
４の横断方向に延びる長孔となっており、この長孔のサ
ブキャリッジ２側の端部は、面取りされている（図７参
照）。各２つの接着剤注入孔７７，７７が形成されたサ
ブプレート４の両端部は、サブプレート４をサブキャリ
ッジ２に接着するための接着部位７８，７８となってお
り、各接着剤注入孔７７から注入された接着剤は、毛細
管現象によりサブキャリッジ２と接着部位７８，７８と
の界面部分に広がって、塗着される。

【００８０】この場合、一方の端部の外側（内側）に形
成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と他方の端部の内
側（外側）に形成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と
は、それぞれ対となっている。詳細は後述するが、組立
装置Ａは２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を有し
ており、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７は、対
となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａに同時
に挿入されて接着剤を注入すると共に、上記中心線方向
に移動した後、他方の２つの接着剤注入孔７７ｂ，７７
ｂに同時に挿入されて接着剤を注入する。

【００８１】なお、図中の符号７９，７９は、サブプレ
ート４をサブキャリッジ２に仮装着および本固定すると
きに使用する（詳細は後述する）一対の締結孔であり、
この一対の締結孔７９，７９は、それぞれ接着剤注入孔
７７，７７の近傍であって、挿通開口７１の中心に対し
点対称位置に形成されている。また、サブキャリッジ２
の開口部位１８ａには、この一対の締結孔７９，７９に
対応する一対の本締め用ねじ孔２０，２０が形成されて
いる（図１０参照）。

【００８２】ところで、一対の基準ピン１２，１２を介
して位置決めされるサブキャリッジ２に対し、各機能液
滴吐出ヘッド３は、その出力端であるノズル列（吐出ノ
ズル５７）５３を基準に、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に
位置決め（位置認識）される。より具体的には、２つの
ノズル列５３，５３は、製造段階で相互の位置精度が保
証されているため、いずれか一方のノズル列５３の最外
端に位置する２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置決
め基準とし、これを認識するようにしている。また、機
能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０における先端部の
四辺（厳密には、ポンプ部４８の数ミリ幅に亘る先端部
の四辺）も、製造段階で相互の位置精度が保証されてい
る。

【００８３】一方、機能液滴吐出ヘッド３は、サブプレ
ート４を介してサブキャリッジ２に固定する形態であ
る。そこで、本実施形態では、組付治具Ｃを用い、上記
ヘッド本体５０の先端部四辺を基準にして、機能液滴吐
出ヘッド３をサブプレート４に位置決めし、ねじ止め固
定の後、上記２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを基準に
して、サブプレート４付き機能液滴吐出ヘッド３を位置
決めし、仮固定するようにしている。すなわち、機能液
滴吐出ヘッド３は、組付治具Ｃを用いた手作業により、
いったんサブプレート４に仮位置決めされ、続く組立装
置Ａでの画像認識（吐出ノズル５７ａ，５７ａを認識）
を経て、本位置決めされる。

【００８４】実施形態の組立装置Ａでは、位置認識のス
ピードアップを図るため、上記２つの吐出ノズル５７
ａ，５７ａを、固定的に設けた２つの認識カメラ３５
３，３５３で同時に認識する、すなわち２つの認識カメ
ラ３５３，３５３が同時に視野内に捕らえるようにして
いる。このため、組付治具Ｃを用いた機能液滴吐出ヘッ
ド３の仮位置決めは、本位置決めの段階で、設定した位
置データに基づいて、２つの認識カメラ３５３，３５３
を上記の２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａに臨ませたと
きに、いずれも視野から外れることのないようにするも
のである。

【００８５】ここで、図８および図９を参照して、機能
液滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃについて説明すると共
に、この組付治具Ｃを用いて機能液滴吐出ヘッド３をサ
ブプレート４に組み付ける組付方法について説明する。
図９に示すように、組付治具Ｃは、機能液滴吐出ヘッド
３のヘッド本体５０を位置決めする治具本体８１と、治
具本体８１をサブプレート４に位置決め状態で装着する
一対の装着ピン８２，８２とで構成されている。

【００８６】治具本体８１は、縦辺部８４と、縦辺部８
４の両端から直角に延びる一対の横辺部８５，８５と
で、略「Ｃ」字状に一体に形成されている。一方、一対
の装着ピン８２，８２は、それぞれ横辺部８５，８５の
裏面側から突出しており、この一対の装着ピン８２，８
２をサブプレート４の係合孔７６，７６に嵌合させるこ
とで、治具本体８１がサブプレート４に装着される。

【００８７】縦辺部８４の内側から一方の横辺部８５の
内側に亘る部位には、略「Ｌ」字状の位置決め部８６が
形成され、この位置決め部８６にヘッド本体５０の一方
の長辺および短辺を当接させることで、機能液滴吐出ヘ
ッド３がサブプレート４に位置決めされるようになって
いる。位置決め部８６は、表側を他の部分と面一として
薄肉に形成され、且つコーナー部分８６ａが半円状に窪
入形成されている。また、治具本体８１は、これをサブ
プレート４に装着した状態で、その表面と機能液滴吐出
ヘッド３のノズル形成面５２とが、ほぼ面一（同レベ
ル）とになるように、その厚みが設計されている。

【００８８】これにより、ヘッド本体５０はその突出方
向の先端部が、組付治具Ｃの位置決め部８６に当接して
位置決めされるようになっている。すなわち、製造段階
で、ノズル列５３に対し位置精度が保証されたヘッド本
体５０における先端部の四辺のうち隣接する２つの辺
を、組付治具Ｃの位置決め部８６に突き当てることで、
機能液滴吐出ヘッド３がサブプレート４に位置決めされ
るようになっている。

【００８９】一方、一対の装着ピン８２，８２は、位置
決め部８６に突き当てたヘッド本体５０の中心線に合致
するように配設されている。より具体的には、位置決め
部８６の長辺部位８６ｂは、一対の装着ピン８２，８２
を結ぶ直線と平行に形成され、且つその離間寸法は、ヘ
ッド本体５０の長辺位置に合わせて管理されると共に、
ヘッド本体５０の短辺の１／２の寸法に形成されてい
る。また、位置決め部８６の短辺部位８６ｃは、長辺部
位８６ｂに直角に形成され、且つ短辺部位８６ｃ側に位
置する装着ピン８２との離間寸法は、ヘッド本体５０の
短辺位置に合わせて管理されている。

【００９０】これにより、組付治具Ｃは、図８の状態か
ら１８０°回転した状態で、サブプレート４に装着して
も、特段の支障を生ずることなく、機能液滴吐出ヘッド
３を位置決めすることができる。すなわち、実施形態の
組付治具Ｃは、その平面形状が左右対称ではないが、い
わゆる右勝手・左勝手のない構造となっている。

【００９１】次に、図８、図１０および図１１を参照し
て、上記の組付治具Ｃを用いた、機能液滴吐出ヘッド３
のサブプレート４への組付方法について説明する。この
組付作業は、組立装置Ａの外工程として手作業で行われ
る。先ず、サブキャリッジ（厳密には本体プレート１
１）２の表側の周縁部に４本の支持脚８８，８８，８
８，８８をねじ止めする。次いで、サブキャリッジ２を
上下反転させ、サブキャリッジ２を支持脚８８により浮
いた状態にセットする。なお、図示では省略したが、こ
の状態でサブキャリッジ２に、上記一対の支持部材１
３，１３および一対の基準ピン１２，１２を取り付けて
おくことが、好ましい。

【００９２】次に、ヘッド本体５０を上向きにした機能
液滴吐出ヘッド３を、サブキャリッジ２の下側から装着
開口１８に挿入する。ここで、サブキャリッジ２の上側
からサブプレート４の挿通開口７１をヘッド本体５０に
位置合わせし嵌め入れるようにして、サブプレート４を
サブキャリッジ２上にセットする。サブプレート４をセ
ットしたら、上側からサブプレート４に組付治具Ｃを装
着すると共に、サブプレート４の位置決め部８６に、こ
れに対峙するヘッド本体５０の２辺を押し付ける。な
お、組付治具Ｃを複数個用意しておいて、これを予めサ
ブプレート４に装着しておいてから、作業を開始しても
よい。

【００９３】続いて、上記の押付け状態を維持しつつ、
上側から２本の小ねじ７３，７３を、サブプレート４を
貫通して機能液滴吐出ヘッド３のフランジ部５８にそれ
ぞれ螺合し、機能液滴吐出ヘッド３をサブプレート４に
固定する。次に、２つの認識カメラ３５３，３５３の視
野が、２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａから外れないよ
うにする手段として、上記一対の締結孔７９，７９から
サブキャリッジ２の本締め用ねじ孔２０，２０に、それ
ぞれ固定ねじ８９，８９を仮締め状態で螺合しておく
（図８参照）。

【００９４】これにより、固定ねじ８９と締結孔７９の
寸法交差の範囲において、サブキャリッジ２に対する機
能液滴吐出ヘッド３の位置合わせが可能となると共に、
２つの認識カメラ３５３，３５３の視野が、２つの吐出
ノズル５７ａ，５７ａから外れることがなくなる。この
ようにして、機能液滴吐出ヘッド３のサブプレート４へ
の位置決めおよび固定を順に繰り返すことで、１２個の
機能液滴吐出ヘッド３が個々にヘッド保持部４に組み付
けられる。最後に、サブプレート４から組付治具Ｃを引
き抜くと共に４本の支持脚８８を取り外して、作業を完
了する。

【００９５】以上のようにして、サブキャリッジ２を挟
んで、１２個の機能液滴吐出ヘッド３が１２個のヘッド
保持部４に組み付けられるが、この状態では、１２個の
機能液滴吐出ヘッド３はサブキャリッジ２に固定されて
おらず、吊り下げられた状態となっている。すなわち、
ヘッド保持部４付きの１２個の機能液滴吐出ヘッド３
は、サブキャリッジ２に対し、固定ねじ８９と締結孔７
９の寸法交差範囲内で微小移動可能に、仮装着されてい
る。

【００９６】そして、サブキャリッジ２に、サブプレー
ト４付きの１２個の機能液滴吐出ヘッド３が仮装着され
たヘッドユニット１は、組立装置Ａに導入され、上下反
転姿勢のままこれにセットされる。なお、組立装置Ａに
導入されるヘッドユニット１は、上記の主構成部品に一
対の支持部材１３，１３および基準ピン１２，１２を組
み込んだものとなり、描画装置Ｂに導入されるヘッドユ
ニット１は、これに更にハンドル１４を始め、両アッセ
ンブリ１５，１６等を組み込んだものとなる。

【００９７】ここで、描画装置Ｂについて簡単に説明す
る。図１２は描画装置Ｂを模式的に表した概念図であ
り、同図に示すように、描画装置Ｂは、ヘッドユニット
１を搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させる
ヘッド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対峙しカ
ラーフィルタ等の基板１０２をＸ軸方向に移動させる基
板移動部１０３と、ヘッドユニット１の機能液滴吐出ヘ
ッド３を保全するメンテナンス部１０４とを備えてい
る。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッドユニ
ット１を、基板移動部１０３を挟んでユニット導入部１
０５とメンテナンス部１０４との間で移動させる。

【００９８】ヘッドユニット１を導入セットする場合に
は、ヘッド移動部１０１がユニット導入部１０５側に移
動し、その仮置き台１０６がユニット導入部１０５に臨
んでいる。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０６上
に仮置きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移
動部１０１に送り込むようにしてセットされる。そし
て、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う準備工程で
は、ヘッドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補
正）が行われるが、フィルタ材料を吐出する製造工程で
は、基板１０２がＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ
軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査およ
び副走査が行われる。

【００９９】ヘッド移動部１０１は、ヘッドユニット１
を垂設するようにして支持するメインキャリッジ１１１
と、メインキャリッジ１１１をθ軸方向に移動させるθ
テーブル１１２と、θテーブル１１２を介してヘッドユ
ニット１をＹ軸方向に移動させるＹテーブル１１３とを
有している。また、基板移動部１０３は、基板１０２を
吸着するようにしてセットする基板セットテーブル１１
５と、基板セットテーブル１１５を介して基板をＸ軸方
向に移動させるＸテーブル１１６とを有している。

【０１００】この場合、Ｘテーブル１１６は、エアース
ライダとリニアモータとの組み合わせで駆動し、Ｙテー
ブル１１３は、ボールねじとサーボモータの組み合わせ
で駆動する（いずれも図示省略）。また、基板認識カメ
ラ１１７はメインキャリッジ１１１に（図１２参照）、
ヘッド認識カメラ１１８は基板セットテーブル１１５
に、それぞれ搭載されている。したがって、ヘッドユニ
ット１のキャリッジ２に設けた一対の基準ピン１２，１
２は、ヘッド認識カメラ１１８とこれをＸ軸方向に移動
させるＸテーブル１１６との協働により、画像認識され
る。

【０１０１】次に、図１３ないし図１５を参照して、ア
ライメントマスクＤについて説明する。実施形態の組立
装置Ａでは、ヘッドユニット１の組立個数に係わらず、
常に一定レベルの組立精度を有するヘッドユニット１を
供給する必要がある。そこで、サブキャリッジ２および
１２個の機能液滴吐出ヘッド３の基準位置をマークした
アライメントマスクＤを用意している。すなわち、アラ
イメントマスクＤを部品位置の原型（原版）とし、複製
としてのヘッドユニット１を、この組立装置Ａで組み立
てるようにしている。これにより、ヘッドユニット１に
対する各組立装置Ａが持つ癖や経時変化等の精度的影響
を排除するようにしている。

【０１０２】アライメントマスクＤは、サブキャリッジ
２の基準位置および各機能液滴吐出ヘッド３の基準位置
をマスクパターン形成したマスタプレート１６１と、マ
スタプレート１６１を下側から保持するプレートホルダ
１６２とで構成されている。上述したように、各機能液
滴吐出ヘッド３は、主走査方向に対し所定の角度（角度
４０°〜６０°）傾けて配設されている。そこで、マス
タプレート１６１およびプレートホルダ１６２は、この
傾き角度に合わせて形成されている。

【０１０３】より具体的には、マスタプレート１６１
は、傾けて搭載される機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本
体５０に対応し、その長辺に平行な２辺と短辺に平行な
２辺とで方形に形成され、無駄な部分が生じないように
している。また、マスタプレート１６１は、原型として
狂いが生じないように厚手の透明な石英ガラスで構成さ
れている。

【０１０４】マスタプレート１６１の表面には、各機能
液滴吐出ヘッド３の基準位置を表す各５つのヘッド基準
マーク１６４，１６４，１６４，１６４，１６４を１組
として、これが両側に６組ずつ計１２組形成されてい
る。また、この１２組のヘッド基準マーク１６４の外側
には、サブキャリッジ２の基準位置を表す一対のサブキ
ャリッジ基準マーク１６５，１６５が形成されている。
さらに、端部に位置するヘッド基準マーク１６４の近傍
には、認識カメラ３５３の画素分解能を調整するための
被写体画像１６６が形成されている。

【０１０５】各５つのヘッド基準マーク１６４は、機能
液滴吐出ヘッド３におけるノズル形成面５２の中心位置
と、２列のノズル列５３，５３のそれぞれ最外端部に位
置する計４つの吐出ノズル５７，５７，５７，５７の位
置を表示している。図１３（ａ）に示すように、各ヘッ
ド基準マーク１６４は、円形ラインの内部に中抜きの十
字を描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成
されている。したがって、これを認識カメラ３５３で画
像認識（撮像）すると、暗色の円形部分の内部に、明色
の十字部分が認識される。

【０１０６】上記と同様に、各サブキャリッジ基準マー
ク１６５も、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと
共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されてい
る。また、被写体画像１６６は、格子状に精度良く描い
た縦横の多数のラインで形成されている。なお、ノズル
形成面５２の中心位置を表すヘッド基準マーク１６４
は、４つの吐出ノズル５７の位置を表す４つのヘッド基
準マーク１６４から演算可能であるため、省略してもよ
い。

【０１０７】このように構成されたアライメントマスク
Ｄは、後述する組立装置Ａのセットテーブル２３１に固
定される。このため、マスタ支持プレート１６８の左右
の各縁部には、２つの固定孔１７３，１７３と、２つの
固定孔１７３，１７３間に配設したピン孔１７４とが形
成されている。そして、アライメントマスクＤとヘッド
ユニット１とは、組立装置Ａのセットテーブル２３１に
交換セットされる。

【０１０８】次に、機能液滴吐出ヘッド３の組立装置Ａ
および組立方法について説明する。組立装置Ａは、サブ
キャリッジ２に１２個の機能液滴吐出ヘッド３を仮装着
した上記のヘッドユニット１を組立対象物とし、ヘッド
ユニット１のサブキャリッジ２に各機能液滴吐出ヘッド
３を精度良く位置決めして接着（仮固定）するものであ
る。なお、この組立装置Ａで、機能液滴吐出ヘッド３を
仮固定したヘッドユニット１は、洗浄工程および上記の
ハンドル１４等の部品組込み工程を経て、描画装置Ｂに
セットされる。

【０１０９】図１６ないし図２０の外観図に示すよう
に、組立装置Ａは、架台２０１上に透明な安全カバー２
０２を有し、架台２０１にエアー供給機器２０３等を組
み込むと共に、安全カバー２０２内に機台２０４に載置
するようにして主構成装置２０５を収容して、構成され
ている。架台２０１には、４個のキャスタ２０６と６個
のアジャストボルト付き支持脚２０７とが設けられてい
る。安全カバー２０２の正面には、ヘッドユニット１を
導入するための開閉扉２０８が設けられ、またその上面
には、警告灯２０９が立設されている。

【０１１０】主構成装置２０５は、ヘッドユニット１を
搭載しこれを水平面内においてＸ・Ｙ・θ方向に移動さ
せるユニット移動装置２１１と、サブキャリッジ２に仮
装着されている各機能液滴吐出ヘッド３の位置補正を行
うヘッド補正装置２１２と、サブキャリッジ２に各機能
液滴吐出ヘッド３を接着する仮固定装置２１３と、機能
液滴吐出ヘッド３の位置補正に先立ってサブキャリッジ
２および各機能液滴吐出ヘッド３を位置認識する認識装
置２１４と、これらユニット移動装置２１１、ヘッド補
正装置２１２、仮固定装置２１３および認識装置２１４
を統括制御する制御装置（図４７参照）２１５とを備え
ている。

【０１１１】この組立装置Ａでは、予めユニット移動装
置２１１に上記のアライメントマスクＤを導入し、認識
装置２１４によりアライメントマスクＤの各基準マーク
１６４，１６５を画像認識して、サブキャリッジ２およ
び各機能液滴吐出ヘッド３の基準位置データを記憶し、
この基準位置データ（マスタデータ）に基づいてサブキ
ャリッジ２および各機能液滴吐出ヘッド３の位置補正が
行われる。なお、アライメントマスクＤは、新規のヘッ
ドユニット１の導入組立時は元より、同一のヘッドユニ
ット１であっても、その組立個数や稼動時間に基づい
て、定期的に導入される。もちろん、その際に基準位置
データはリセットされる。

【０１１２】一方、ヘッドユニット１は、各機能液滴吐
出ヘッド３のヘッド本体５０を上向きにしてユニット移
動装置２１１の上面にセットされ、ヘッドユニット１の
組立ては、先ず認識装置２１４によるサブキャリッジ２
の位置認識からスタートする。サブキャリッジ２が位置
認識されると、この認識データと基準位置データとが比
較され、その比較結果に基づいて、ユニット移動装置２
１１によりサブキャリッジ２の位置補正が行われる。次
に、認識装置２１４により機能液滴吐出ヘッド３が位置
認識され、この認識結果（比較結果）に基づいてヘッド
補正装置２１２により、機能液滴吐出ヘッド３の位置決
めが行われる。なお、この位置決めでは、機能液滴吐出
ヘッド３の位置が目標位置（アライメントマスクＤから
取得した基準位置）に合致するまで、画像認識と位置補
正が繰り返される。

【０１１３】機能液滴吐出ヘッド３の位置が目標位置に
合致したことが確認（画像認識）されると、続いて、こ
の位置補正状態を維持しつつ、仮固定装置２１３によ
り、サブプレート４を介して機能液滴吐出ヘッド３がサ
ブキャリッジ２に接着される。またその際、接着剤が硬
化するまで、ヘッド補正装置２１２は、機能液滴吐出ヘ
ッド（サブプレート４）３を動かないように押さえてい
る。そして、この機能液滴吐出ヘッド３の位置認識から
接着までの工程を、機能液滴吐出ヘッド３の個数分繰り
返えすようにし、全機能液滴吐出ヘッド３の仮固定が完
了する。その後、手作業による本固定（上記の固定ねじ
を本締結）に移行する。

【０１１４】図１６および図２１に示すように、ユニッ
ト移動装置２１１は、３個所のアジャストボルト２１７
により水平に支持した板状の機台２０４に、広い占有面
積をもって載置されている。ユニット移動装置２１１
は、ヘッドユニット１を反転状態でセットするセットテ
ーブル２３１と、セットテーブル２３１を下側から支持
するθテーブル２３２と、θテーブル２３２を下側から
支持するＸ・Ｙテーブル２３３とを、備えている。ヘッ
ドユニット１は、セットテーブル２３１と共に搭載した
機能液滴吐出ヘッド３の傾きに合わせ、傾けてセットさ
れている。このため、機能液滴吐出ヘッド３の主走査方
向に相当する方向がＸ軸方向となり、副走査方向がＹ軸
方向となる。

【０１１５】図２２に示すように、セットテーブル２３
１は、複数の円形抜き孔２３６を形成した方形のベース
プレート２３５と、ベースプレート２３５の両側に固定
した一対の帯状ブロック２３７，２３７とを有してい
る。各帯状ブロック２３７の上面には、位置決めピン２
３８が立設される共に２つのねじ孔２３９，２３９が形
成されている。すなわち、ヘッドユニット１はセットテ
ーブル２３１に対し、左右の２個所で位置決めされ、計
４個所でねじ止め固定されるようになっている。また、
ベースプレート２３５の中央部分には、セットテーブル
２３１をθテーブル２３２に固定するための４つの貫通
孔２４０等が形成されている。

【０１１６】このように、ヘッドユニット１は、セット
テーブル２３１を介してθテーブル２３２に固定され、
同様にアライメントマスクＤも、セットテーブル２３１
を介してθテーブル２３２に固定されるようになってい
る。この場合、ヘッドユニット１とアライメントマスク
Ｄとは、θテーブル２３２に固定したヘッドユニット１
の各機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成面５２と、θテ
ーブル２３２に固定したアライメントマスクＤのマーク
形成面（マスタプレートの表面）１６１ａとが、同一水
平面内に位置するように設計されている。

【０１１７】次に、図２３、図２４および図２５を参照
して、θテーブル２３２について説明する。θテーブル
２３２は、セットテーブル２３１を介してヘッドユニッ
ト１を微小回転（微小回動）させる回転作動部２４２
と、回転作動部２４２を駆動する進退駆動部２４３とで
構成されている。回転作動部２４２は、セットテーブル
２３１が固定されるテーブル本体２４５と、テーブル本
体２４５から進退駆動部２４３側に延びる連結アーム２
４６と、テープル本体２４５を回転自在に支持するロー
ラリング２４７と、ローラリング２４７を支持する支持
台２４８とを有している。この場合、セットテーブル２
３１は、テーブル本体２４５に設けた２個所の位置決め
ピン２５０，２５０と、４個所のねじ孔２５１を介し
て、テーブル本体２４５の上面に位置決め状態でねじ止
めされている。

【０１１８】進退駆動部２４３は、動力源を構成するθ
テーブルモータ（サーボモータ）２５３と、θテーブル
モータ２５３の主軸２５４にカップリング２５５を介し
て連結されボールねじ２５６と、ボールねじ２５６が螺
合する雌ねじブロック２５７と、雌ねじブロック２５７
をボールねじ２５６の軸方向（Ｘ軸方向に）にスライド
自在に支持する主スライダ２５８とを有しており、また
上記の連結アーム２４６の先端部が連結されアーム受け
２６０と、ベアリング２６１を介してアーム受け２６０
を回動自在に軸支する鉛直軸部材２６２と、雌ねじブロ
ック２５７に対し鉛直軸部材２６２をＹ軸方向にスライ
ド自在に支持する副スライダ２６３とを有している。

【０１１９】θテーブルモータ２５３は正逆回転可能に
構成され、θテーブルモータ２５３が正逆回転すると、
ボールねじ２５６により、雌ねじブロック２５７が主ス
ライダ２５８に案内されてＸ軸方向に進退する。雌ねじ
ブロック２５７が進退すると、これに支持されている副
スライダ２６３おび鉛直軸部材２６２もＸ軸方向に進退
する。さらに、鉛直軸部材２６２が進退すると、これに
軸着されているアーム受け２６０を介して、連結アーム
２４６およびテーブル本体２４５がテーブル本体２４５
の軸心を中心に回動する。すなわち、テーブル本体２４
５が水平面内において、正逆微小回転する（θ方向に正
逆移動）。

【０１２０】また、この回動に伴って、テーブル本体２
４５と鉛直軸部材２６２との中心間距離が変化するが、
この距離の変化は、副スライダ２６３を介して鉛直軸部
材２６２がＹ軸方向に適宜、微小移動することにより吸
収される。なお、雌ねじブロック２５７から突出する遮
光板２６５と、雌ねじブロック２５７の進退に伴って遮
光板２６５が臨む３個のフォトインタラプタ２６６によ
り、雌ねじブロック２５７の移動端位置、すなわちテー
ブル本体２４５の回動範囲（角度）が規制されるように
なっている（オーバーランの防止）。

【０１２１】進退駆動部２４３は、主スライダ２５８の
下側に設けた支持プレート２６７に支持されており、こ
の支持プレート２６７が回転作動部２４２の支持台２４
８に固定されている。そして、この支持台２４８がＸ・
Ｙテーブル２３３に載置されている。

【０１２２】次に、図２１、図２６および図２７を参照
して、Ｘ・Ｙテーブル２３３について説明する。Ｘ・Ｙ
テーブル２３３は、θテーブル２３２を下側から支持す
る支持ブロック２７０と、支持ブロック２７０をＸ軸方
向にスライド自在に支持するＸ軸テーブル２７１と、Ｘ
軸テーブル２７１をＹ軸方向にスライド自在に支持する
Ｙ軸テーブル２７２とを有している。支持ブロック２７
０には、４箇所にねじ孔２７４を有しており、この４箇
所にねじ孔２７４を介して支持ブロック２７０にθテー
ブル２３２が固定されている。

【０１２３】Ｘ軸テーブル２７１は、Ｘ軸エアースライ
ダ２７６と、Ｘ軸リニアモータ２７７と、Ｘ軸エアース
ライダ２７６に併設したＸ軸リニアスケール２７８とで
構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２７２は、Ｙ軸
エアースライダ２７９と、Ｙ軸リニアモータ２８０と、
Ｙ軸エアースライダ２７９に併設したＹ軸リニアスケー
ル２８１とで構成されている。なお、図中の符号、２８
２，２８３は、それぞれＸ軸ケーブルベア（登録商標）
およびＹ軸ケーブルベアである。また、符号２８４，２
８４は、両リニアモータ２７７，２８０のアンプであ
る。

【０１２４】Ｘ軸リニアモータ２７７およびＹ軸リニア
モータ２８０は、適宜制御駆動され、θテーブル２３２
をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。すなわち、セ
ットテーブル２３１にセットされたヘッドユニット（或
いはアライメントマスクＤ）１は、水平面内において、
θテーブル２３１によりθ軸方向に移動すると共に、Ｘ
・Ｙテーブル２３３によりＸ軸方向およびＹ軸方向に移
動する。

【０１２５】次に、ヘッド補正装置２１２について説明
する。ヘッド補正装置２１２は、認識装置２１４による
機能液滴吐出ヘッド３の位置認識に基づき、サブプレー
ト４を介して機能液滴吐出ヘッド３をＸ軸、Ｙ軸および
θ軸方向に微小移動させて、機能液滴吐出ヘッド３の位
置決め（位置補正）を行うものである。また同時に、ヘ
ッド補正装置２１２は仮固定装置２１３と協働し、接着
剤が凝固するまでサブプレート４をサブキャリッジ２に
押し付けるよう機能する。

【０１２６】図１８および図２８に示すように、ヘッド
補正装置２１２は、上記の機台２０４の奥側に取り付け
た補正装置用スタンド３０１と、これに載置された補正
用Ｘ・Ｙテーブル３０２と、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０
２に支持された補正用θテーブル３０３と、補正用θテ
ーブル３０３に支持されたアームユニット３０４とで構
成されている。この場合、補正用θテーブル３０３は、
ユニット移動装置２１１のθテーブル２３２と全く同一
の構造を有しているため、ここでは説明を省略する。な
お、θテーブル２３２ではその進退駆動部２４３が左側
に位置するように配設されているが、この補正用θテー
ブル３０３では右側に位置するように配設されている
（図１８参照）。

【０１２７】補正装置用スタンド３０１は、図２８に示
すように、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２が載置されるベ
ースプレート３０７と、ベースプレート３０７を支持す
る３組の脚ユニット３０８，３０８，３０８とを有して
いる。３組の脚ユニット３０８は、左部、右部および中
央後部の３個所に配設されており、それぞれ一対の支柱
３０９，３０９と、一対の支柱３０９，３０９の上下に
固定した上板３１０および下板３１１とで構成されてい
る。

【０１２８】この場合、補正装置用スタンド３０１の下
側空間には、ユニット移動装置２１１により移動するヘ
ッドユニット１が臨み、補正装置用スタンド３０１から
張り出したアームユニット３０４がこのヘッドユニット
１に上側から臨む（サブプレート４に係合）ようになっ
ている。そして、ヘッドユニット１の移動およびサブキ
ャリッジ２の位置補正は、ユニット移動装置２１１によ
り行われ、各液滴ヘッド３の位置補正は、このヘッド補
正装置２１２により行われる。したがって、任意の１の
機能液滴吐出ヘッド３が仮固定された後、ユニット移動
装置２１１がヘッドユニット１を移動させて、次の機能
液滴吐出ヘッド３をヘッド補正装置２１２に臨ませる。

【０１２９】図２８ないし図３１に示すように、補正用
Ｘ・Ｙテーブル３０２は、補正装置用スタンド３０１の
中央に載置されており、補正用θテーブル３０２を支持
する支持ブロック３１４と、支持ブロック３１４をＸ軸
方向にスライド自在に支持する補正用Ｘ軸テーブル３１
５と、補正用Ｘ軸テーブル３１５をＹ軸方向にスライド
自在に支持する補正用Ｙ軸テーブル３１６とを有してい
る。支持ブロック３１４には、４箇所にねじ孔３１８を
有しており、この４箇所にねじ孔３１８を介して支持ブ
ロック３１４に補正用θテーブル３０３が固定されてい
る。

【０１３０】補正用Ｘ軸テーブル３１５は、Ｘ軸エアー
スライダ３２０と、Ｘ軸リニアモータ３２１と、Ｘ軸エ
アースライダ３２０に併設したＸ軸リニアスケール３２
２とで構成されている。同様に、補正用Ｙ軸テーブル３
１６は、Ｙ軸エアースライダ３２３と、Ｙ軸リニアモー
タ３２４と、Ｙ軸エアースライダ３２３に併設したＹ軸
リニアスケール３２５とで構成されている。なお、図中
の符号、３２６，３２７は、それぞれＸ軸ケーブルベア
およびＹ軸ケーブルベアであり、また、符号３２８，３
２８は、両リニアモータ３２１，３２４のアンプであ
る。

【０１３１】図３２、図３３および図３４に示すよう
に、アームユニット３０４は、サブプレート４の一対の
係合孔７６，７６に係合する一対の係合アーム６３１，
６３１と、一対の係合アーム６３１，６３１をそれぞれ
支持する左右一対ブラケット６３２，６３２と、一対の
ブラケット６３２，６３２を昇降させるアーム昇降機構
６３３と、アーム昇降機構６３３を支持する支持台６３
４とで構成されている。支持台６３４は、補正用θテー
ブル３０３に固定される固定板６３６と、固定板６３６
から前方に延びるＬ字支持部材６３７と、Ｌ字支持部材
６３７の前端に固定した鉛直板６３８とで構成され、前
方に向かって逆「Ｌ」字状に延在している。

【０１３２】アーム昇降機構６３３は、両ブラケット６
３２，６３２を昇降自在に支持する左右一対の昇降スラ
イダ６４０，３４０と、鉛直板６３８の下部中央に固定
され昇降スライダ６４０，６４０を、それぞれ昇降させ
る左右一対のエアーシリンダ６４１，６４１とで構成さ
れている。各エアーシリンダ６４１は、上記のエアー供
給機器２０３に接続されており、エアーバルブ等の切り
替えにより昇降スライダ６４０を案内にして各ブラケッ
ト６３２を昇降させる。各ブラケット６３２は「Ｌ」字
状に形成され、その先端部には係合アーム６３１が下向
きに取り付けられている。

【０１３３】各係合アーム６３１は、サブプレート４の
係合孔７６に挿入される係合ピン６４３と、係合ピン６
４３を上下動自在に保持するピンホルダ６４４と、ピン
ホルダ６４４に内蔵され係合ピン６４３を下方に付勢す
るコイルばね（付勢手段）６４５とを有している。各コ
イルばね６４５には、ピンホルダ６４４の後端から逆
「Ｌ」字状に起立したばね押え６４７の先端部が上側か
ら臨み、係合ピン６４３の上部に固定したばね受けブロ
ック６４８が下側から臨んでいる。ばね押え６４７の先
端部には、アジャストねじ６４９が螺合しており、アジ
ャストねじ６４９の下端部が、コイルばね６４５を位置
決めした状態で上側から当接している。また、係合ピン
６４３の上端部は、ばね受けブロック６４８から僅かに
突出しており、この突出部分がコイルばね６４５に挿入
されてコイルばね６４５が位置決め状態となると共に、
ばね受けブロック６４８の上面がコイルばね６４５に下
側から当接している。

【０１３４】すなわち、各コイルばね６４５は、ばね押
え６４７のアジャストねじ６４９とばね受けブロック６
４８との間に挟持されており、ばね押え（アジャストね
じ６４９）６４７を受けとして、係合ピン６４３を下方
（軸方向）に付勢している。また、アジャストねじ６４
９により、コイルばね６４５のばね力、すなわち係合ピ
ン６４３によるサブプレート４への押圧力を微調整でき
るようになっている。

【０１３５】また、各ピンホルダ６４４の内部には、上
下に離間して２つのボールスプライン６５１，６５１が
挟持するようにして固定されており、この２つのボール
スプライン６５１，６５１に、係合ピン６４３が上下方
向（軸方向に）にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能
に保持されている。すなわち、係合ピン６４３は、上下
２つのボールスプライン６５１，６５１を介してピンホ
ルダ６４４に、スライド自在に且つ廻止め状態で保持さ
れている。このように、ボールスプライン６５１を用い
て、スライド自在に保持される係合ピン６４３を回転不
能とすることで、例えば係合ピン６４３の偏心（特に先
端部の偏心）に伴う係合ピン６４３の回転が阻止され
る。これにより、位置決め精度を向上させることができ
る。なおこの場合、図３５に示すように、２つのボール
スプライン６５１，６５１は予め係合ピン６４３に組み
付けられており、この状態でピンホルダ６４４に下側か
ら挿入され、挟持固定される。

【０１３６】一方、図３５に示すように、係合ピン６４
３の先端部は、テーパー形状に形成されており、このテ
ーパー部６５２は、サブプレート４の係合孔７６に対し
基端側が太径に先端側が細径に形成されている。これに
より、係合ピン６４３は係合孔７６にがたつきなく、係
合するようになっている。また、テーパー部６５２の角
度αは、３０°に形成されている。この場合、係合ピン
６４３の先端部は、サブプレート４を押し付けながら移
動させる機能を有するため、例えば角度αが１０°以上
９０°未満の鋭角に形成されていることが、好ましい。

【０１３７】初期状態において、両係合アーム６３１，
６３１は両エアーシリンダ６４１，６４１により上昇端
位置に移動しており、ユニット移動装置２１１によりヘ
ッドユニット１を移動させた後、エアーシリンダ６４
１，６４１により係合アーム６３１，６３１を下降させ
ると、その一対の係合ピン６４３，６４３が、所望のサ
ブプレート４の係合孔７６，７６に係合する。また、各
エアーシリンダ６４１は、上記の制御装置２１５により
タイマー制御されており、仮固定装置２１３により塗布
された接着剤が凝固するまで、位置補正後のサブプレー
ト４をそのままサブキャリッジ２に押圧している。

【０１３８】すなわち、係合アーム６３１，６３１を下
降させたエアーシリンダ６４１，６４１は、サブプレー
ト４の位置補正および接着剤の塗布（詳細後述する）が
行われた後、接着剤の凝固時間（所定の接着強度に達す
る時間）が経過した時に両係合アーム６３１，６３１を
元の位置に上昇させる。なお、上記の実施形態では、係
合ピン６４３の廻止めをボールスプライン６５１で行う
ようにしているが、これを多角形断面の係合ピンとこれ
を相補形断面で受けるピンホルダとで、構成してもよ
い。

【０１３９】以上の構成では、アームユニット３０４の
両係合アーム６３１，６３１が下降して、サブプレート
４に係合すると、補正用θテーブル３０３および補正用
Ｘ・Ｙテーブル３０２が駆動して、サブプレート４を介
して機能液滴吐出ヘッド３を位置決めする。そして、接
着剤が凝固するまで、この位置決め状態が維持される。
すなわち、アームユニット３０４の両係合アーム６３
１，６３１が、位置決め状態でサブプレート４をサブキ
ャリッジ２に向かって押さえており、このサブプレート
４に仮固定装置（接着）２１３が臨むことになる。

【０１４０】次に、アームユニット３０４廻りの第２実
施形態について説明する。図３６の模式図に示すよう
に、この実施形態では、サブキャリッジ２のサブプレー
ト４に対応する部分に、圧縮エアーを供給する複数のエ
アー穴（小穴）６６１が形成されており、図示しないが
このエアー穴６６１には、上記のエアー供給機器（エア
ー供給手段）２０３に接続されている。これにより、サ
ブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４を僅かに浮上さ
せた状態で、その位置決めが行えるようになっている。
また、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４が位置
決めが完了したら、圧縮エアーの供給を停止し仮固定
（接着剤の注入）に移行する。

【０１４１】この場合、図３７に示すように、上記のコ
イルばね６４５に代えて、押圧用（付勢用）の小型シリ
ンダ（押圧手段）６６２を設けるようにしてもよい。こ
の場合には、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４
の位置決め時には、各小型シリンダ６６２に上記のエア
ー供給機器２０３から低圧エアーを供給し（同図
（ａ））、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４が
位置決めが完了したら、エアー穴６６１側の圧縮エアー
を停止すると共に、各小型シリンダ６６２に高圧エアー
を供給して、仮固定に備えてサブプレート４をサブキャ
リッジ２に強く押し付けるようにする（同図（ｂ））。

【０１４２】次に、認識装置２１４について説明する。
図２０および図３８に示すように、認識装置２１４は、
補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２の前部を跨ぐように補正装
置用スタンド３０１上に固定したカメラスタンド３５１
と、カメラスタンド３５１の前面に固定したカメラ位置
調節ユニット３５２と、カメラ位置調節ユニット３５２
に取り付けた一対の認識カメラ（ＣＣＤカメラ）３５
３，３５３とで構成されている。この場合、一対の認識
カメラ３５３，３５３は、認識対象となるヘッドユニッ
ト（アライメントマスクＤ）１に対し、固定的に設けら
れている。

【０１４３】カメラスタンド３５１は、逆「Ｌ」字状に
前方に延びる左右一対の脚片部材３５５，３５５と、一
対の脚片部材３５５，３５５間に渡した横長の前面プレ
ート３５６とを有している。カメラ位置調節ユニット３
５２を介して前面プレート３５６に固定された一対の認
識カメラ３５３，３５３は、ヘッド補正装置２１２の一
対の係合アーム６３１，６３１より幾分高い位置に、且
つ幾分前方に張り出した位置に配設され（図２０参
照）、係合アーム６３１との干渉が防止されるようにな
っている。

【０１４４】図３８ないし図４１に示すように、カメラ
位置調節ユニット３５２は、前面プレート３５６に添設
したＺ軸調整プレート３５８と、Ｚ軸調整プレート３５
８の下端部に取り付けたマイクロステージ３５９と、左
側の認識カメラ３５３ａを保持する左カメラホルダ３６
０と、右側の認識カメラ３５３ｂを保持する右カメラホ
ルダ３６１とを有している。Ｚ軸調整プレート３５８
は、前面プレート３５６との間に鉛直方向に延びる一対
のガイドレール３６２，３６２を有すると共に、前面プ
レート３５６の上端に突き当てたアジャストボルト３６
３を有している。このアジャストボルト３６３の正逆回
転により、Ｚ軸調整プレート３５８を介して、両認識カ
メラ３５３，３５３の上下方向の位置が調節できるよう
になっている。

【０１４５】マイクロステージ３５９は、右カメラホル
ダ３６１を介して右側の認識カメラ３５３ｂを支持する
Ｘ軸ステージ３６５と、Ｘ軸ステージ３６５を支持する
と共にＺ軸調整プレート３５８の下端部に固定したＹ軸
ステージ３６６とで構成されている。Ｘ軸ステージ３６
５は、右側の認識カメラ３５３ｂをＸ軸方向に微小移動
可能に構成され、右側の認識カメラ３５３ｂにおける前
後方向の位置を調節可能に構成されている。同様に、Ｙ
軸ステージ３６６は、右側の認識カメラ３５３ｂにおけ
る左右方向の位置を調節可能に構成されている。

【０１４６】一方、左カメラホルダ３６０は、Ｚ軸調整
プレート３５８の下端部に固定されている。このため、
左カメラホルダ３６０を介して固定的に設けた左側の認
識カメラ３５３ａに対し、右側の認識カメラ３５３ｂを
マイクロステージ３５９で位置調節するようになってい
る。上述したように、左右の認識カメラ３５３ａ，３５
３ｂにより、２つの吐出ヘッド５７ａ，５７ａを同時に
位置認識するため、特に新規の機能液滴吐出ヘッド３を
扱うときには、予めマイクロステージ３５９により、左
右の認識カメラ３５３ａ，３５３ｂの離間距離、すなわ
ち視野間距離を調節するようにしている。なお、図中の
符号３６７は、カメラ位置調節ユニット３５２および両
認識カメラ３５３，３５３を一体に覆うカメラカバーで
ある。

【０１４７】このように構成された認識装置２１４で
は、一方の認識カメラ３５３とユニット移動機構２１１
のＸ軸テーブル２７１との協働により、サブキャリッジ
２の２つの基準マーク（基準ピン１２，１２）２６，２
６が位置認識される。すなわち、一方の認識カメラ３５
３により一方の基準ピン１２の画像認識が行われ、続い
てサブキャリッジ２がＸ軸方向に移動して他方の基準ピ
ン１２の画像認識が行われる。そして、この認識結果に
基づいて、ユニット移動装置２１１によりサブキャリッ
ジ（ヘッドユニット１）２の位置補正が行われ、さらに
確認のため再度の位置認識が行われる。

【０１４８】また、一対の認識カメラ３５３，３５３に
より、各機能液滴吐出ヘッド３の基準となる２つの吐出
ノズル５７ａ，５７ａが、同時に位置認識される。すな
わち、該当する機能液滴吐出ヘッド３が一対の認識カメ
ラ３５３，３５３の直下に移動して、２つの吐出ヘッド
５７ａ，５７ａが同時に画像認識される。また、この状
態で、サブプレート４にヘッド補正装置２１２が臨ん
で、機能液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる、且つ
仮固定装置２１３による接着が行われる。なお、アライ
メントマスクＤにおける各マーク１６４，１６５の認識
も、上記と同様に為される。

【０１４９】次に、仮固定装置２１３について説明す
る。図１７および図４２に示すように、上記の機台２０
４の右部には、補正装置用スタンド３０１を跨ぐように
して前後方向に延びる共有スタンド２１９が設けられて
おり、仮固定装置２１３は、この共有スタンド２１９の
前部に配設されている。仮固定装置２１３は、４本のス
テー３７１で共有スタンド２１９に支持した方形支持プ
レート３７２と、方形支持プレート３７２の下面に固定
したエアーテーブル３７３と、エアーテーブル３７３の
先端部に固定した接着剤塗布装置３７４と、ホーム位置
に移動した接着剤塗布装置３７４に下側から臨む接着剤
トレイ３７５とを備えている。接着剤トレイ３７５は、
共有スタンド２１９に固定されており、接着剤塗布装置
３７４から垂れた接着剤を受けるようになっている。

【０１５０】図４２ないし図４６に示すように、エアー
テーブル３７３は、方形支持プレート３７２に取り付け
たＹ軸エアーテーブル３７７と、Ｙ軸エアーテーブル３
７７の先端部に取り付けたサブＹ軸エアーテーブル３７
８と、サブＹ軸エアーテーブル３７８の先端部に取り付
けたＸ軸エアーテーブル３７９と、Ｘ軸エアーテーブル
３７９の先端部に取り付けたＺ軸エアーテーブル３８０
とで構成されている。そして、これらＹ軸エアーテーブ
ル３７７、サブＹ軸エアーテーブル３７８、Ｘ軸エアー
テーブル３７９およびＺ軸エアーテーブル３８０は、い
ずれも上記のエアー供給機器２０３に接続されたエアー
シリンダ３７７ａ，３７８ａ，３７９ａ，３８０ａと、
スライダ３７７ｂ，３７８ｂ，３７９ｂ，３８０ｂとで
構成されている。

【０１５１】接着剤塗布装置３７４は、上記のＺ軸エア
ーテーブル３８０に固定した鉛直支持板３８２と、鉛直
支持板３８２の下部から先方に突出する左右一対の水平
支持ブロック３８３，３８３と、各水平支持ブロック３
８３に取り付けた一対のディスペンサユニット３８４，
３８４と、上記の共有スタンド２１９に支持したディス
ペンサコントローラ３８５とで構成されている。一対の
ディスペンサユニット３８４，３８４は、上記一対の係
合アーム６３１，６３１や一対の認識カメラ３５３，３
５３に対し、前方から対峙するように配設されている。

【０１５２】各ディスペンサユニット３８４は、先端に
接着剤注入ノズル３８７を装着したディスペンサ３８８
と、ディスペンサ３８８に接着剤を供給するカートリッ
ジ形式のシリンジ３８９と、ディスペンサ３８８および
シリンジ３８９を保持するディスペンサホルダ３９０と
を備えている。ディスペンサホルダ３９０は、水平支持
ブロック３８３の先端部に角度調節自在に取り付けられ
ており、本実施形態では、接着剤注入ノズル３８７が水
平に対し４５度程度、傾くように調節されている。な
お、各水平支持ブロック３８３は、鉛直支持板３８２に
対し、前後および左右方向に位置調節可能に固定されて
いる。

【０１５３】上述したように、接着剤は、上記の２本の
接着剤注入ノズル３８７，３８７を用い、サブプレート
４の対となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａ
に同時に注入（塗布）されると共に、両接着剤注入ノズ
ル３８７，３８７のＹ軸方向への移動を経た後、対とな
る他方の２つの接着剤注入孔７７ｂ，７７ｂに同時に注
入（塗布）される。したがって、両接着剤注入ノズル３
８７，３８７の離間寸法は、サブプレート４における対
を為す接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ），７７ａ（７７
ｂ）の離間寸法に対応している。また、所定の傾き角度
を有する各接着剤注入ノズル３８７は、長孔である接着
剤注入孔７７に差し込まれ、その内周面に吹き付けるよ
うにして接着剤を注入する。

【０１５４】ところで、ヘッド補正装置２１２は、位置
決め動作を完了した状態で、そのままサブプレート４を
サブキャリッジ２に押し付けるようにして、これを不動
に保持している。これに対し、Ｘ軸エアーテーブル３７
９およびＹ軸エアーテーブル３７７が駆動して、２本の
接着剤注入ノズル３８７，３８７をサブプレート４の２
つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａの直上部に移動させ
る。ここで、Ｚ軸エアーテーブル３８０が駆動して、２
本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を２つの接着剤注
入孔７７ａ，７７ａに同時に挿入する。

【０１５５】つぎに、シリンジ３８９により、２本の接
着剤注入ノズル３８７，３８７から所定量（ディスペン
サコントローラ３８５で調整）の接着剤が注入される。
続いて、Ｚ軸エアーテーブル３８０により、２本の接着
剤注入ノズル３８７，３８７を上昇させると共に、サブ
Ｙ軸エアーテーブル３７８を駆動して、２本の接着剤注
入ノズル３８７，３８７を、他方の２つの接着剤注入孔
７７ｂ，７７ｂの直上部に移動させる。この場合、サブ
プレート４における対となる２組の接着剤注入孔７７ａ
（７７ｂ），７７ａ（７７ｂ）間の距離は、一定してい
るため、ここでは、Ｙ軸エアーテーブル３７７を停止さ
せ、サブＹ軸エアーテーブル３７８のみを駆動させるよ
うにしている。

【０１５６】次に、再度、接着剤注入ノズル３８７，３
８７を上昇させてから、仮固定装置２１３を休止させて
接着剤の凝固時間を待つ。凝固時間が経過すると、ヘッ
ド補正装置２１２がサブプレート４に対する係合を解
き、任意の１つの機能液滴吐出ヘッド３の仮固定（位置
決めおよび接着）作業が完了する。そして、このヘッド
補正装置２１２と仮固定装置２１３との協働による機能
液滴吐出ヘッド３の位置決めおよび接着作業が、１２回
繰り返されることにより、機能液滴吐出ヘッド３の仮固
定が完了し、それぞれヘッド補正装置２１２と仮固定装
置２１３はホーム位置に戻る。

【０１５７】ここで、図４７を参照して、制御装置２１
５について説明すると共に、この制御装置２１５に基づ
くヘッドユニット１の一連の組立手順について説明す
る。同図のブロック図に示すように、制御装置２１５に
おける制御系は、サブキャリッジ２や機能液滴吐出ヘッ
ド３の設計上の位置データ等を操作パネル６０１により
入力する入力部６０２と、ユニット移動装置２１１等の
構成装置を駆動する各種のドライバ等を有する駆動部６
０３と、認識カメラ３５３により位置認識を行う検出部
６０４と、組立装置Ａの各構成装置を統括制御する制御
部６０５とを備えている。

【０１５８】駆動部６０３は、ユニット移動装置２１１
の各モータを駆動制御する移動用ドライバ６０７と、ヘ
ッド補正装置２１２の各モータを駆動制御する補正用ド
ライバ６０８と、仮固定装置２１３におけるエアーテー
ブル３７３の各エアーシリンダを駆動制御するエアー用
ドライバ６０９と、仮固定装置２１３におけるディスペ
ンサユニット３８４を制御するディスペンサコントロー
ラ３８５とを有している。

【０１５９】制御部６０５は、ＣＰＵ６１１、ＲＯＭ６
１２、ＲＡＭ６１３およびＰ−ＣＯＮ６１４を有してお
り、これらは互いにバス６１５を介して接続されてい
る。ＲＯＭ６１２には、ＣＰＵ６１１で処理する制御プ
ログラムを記憶する制御プログラムの他、各種の制御デ
ータを記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ６
１３は、外部から入力した位置データや、認識カメラ３
５３がアライメントマスクＤから得たマスタ位置データ
等を記憶する位置データ領域の他、各種レジスタ群を有
し、制御処理のための作業領域として使用される。

【０１６０】Ｐ−ＣＯＮ６１４は、ＣＰＵ６１１の機能
を補うと共に、周辺回路とのインターフェース信号を取
り扱うための論理回路やタイマー６１６が組み込まれて
いる。このため、Ｐ−ＣＯＮ６１４は、操作パネル６０
１と接続され入力部６０２からの各種指令などを、その
まま或いは加工してバス６１５に取り込む。また、Ｐ−
ＣＯＮ６１４はＣＰＵ６１１と連動して、ＣＰＵ６１１
等からバス６１５に出力されたデータや制御信号を、そ
のまま或いは加工して駆動部に出力する。

【０１６１】そして、ＣＰＵ６１１は、上記の構成によ
り、ＲＯＭ６１２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ
−ＣＯＮ６１４を介して各種検出信号、各種指令、各種
データ等を入力し、ＲＡＭ６１３内の各種データを処理
し、Ｐ−ＣＯＮ６１４を介して駆動部６０３に制御信号
を出力する。これにより、ユニット移動装置２１１、ヘ
ッド補正装置２１２、仮固定装置２１３等の組立装置Ａ
全体が制御される。

【０１６２】例えば、認識カメラ３５３から得たアライ
メントマスクＤのマスタ位置データ、および認識カメラ
３５３から得たヘッドユニット１のユニット位置データ
は、ＲＡＭ６１３内に格納され、ＲＯＭ６１２内の制御
プログラムに従って、マスタ位置データとユニット位置
データとが比較され、その比較結果に基づいて、ユニッ
ト移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２等が制御され
る。

【０１６３】ここで、実施形態の組立装置Ａによるヘッ
ドユニット１の組立方法について、順を追って説明す
る。この組立装置Ａでは、ヘッドユニット１の導入に先
立って、先ずアライメントマスクＤが導入される。アラ
イメントマスクＤがセットテーブル２３１にセットされ
ると、ユニット移動装置２１１が駆動し、アライメント
マスクＤの一方のサブキャリッジ基準マーク１６５を一
方の認識カメラ３５３に臨ませ、一方のサブキャリッジ
基準マーク１６５を位置認識する。次に、ユニット移動
装置２１１のＸ軸テーブル２７１が駆動し、他方のサブ
キャリッジ基準マーク１６５を認識カメラ３５３に臨ま
せ、他方のサブキャリッジ基準マーク１６５を位置認識
する。

【０１６４】次に、ユニット移動装置２１１が駆動し、
アライメントマスクＤの端部に位置するヘッド基準マー
ク１６４を一対の認識カメラ３５３，３５３に同時に臨
ませ、２個所のヘッド基準マーク１６４，１６４を同時
に位置認識する。これを、順に繰り返して、１２個の機
能液滴吐出ヘッド３に対応する１２組のヘッド基準マー
ク１６４を位置認識する。このようにして、アライメン
トマスクＤの位置認識が完了したら、アライメントマス
クＤをホーム位置に戻し、セットテーブル２３１にヘッ
ドユニット１を載せかえる。

【０１６５】ここで、ヘッドユニット１を上記と全く同
様の手順で移動させ、先ずサブキャリッジ２の一対の基
準ピン１２，１２を位置認識し、この認識結果に基づい
て、ユニット移動装置２１１によりサブキャリッジ（ヘ
ッドユニット１）２を位置補正する。次に、上記と同様
の手順で、第１番目の機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本
体（サブプレート４）５０をヘッド補正装置２１２の一
対の係合アーム６３１に臨ませ、サブプレート４に係合
アーム６３１を係合させる。ここで、一対の認識カメラ
３５３，３５３によりヘッド本体５０の位置基準となる
２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置認識する。

【０１６６】次に、ヘッド補正装置２１２を駆動し、上
記の認識結果に基づきサブプレート４を介して機能液滴
吐出ヘッド３を位置決めする。この場合、位置決めされ
た機能液滴吐出ヘッド３に対し、確認のためにこれを上
記と同様に認識カメラ３５３で位置認識し、これが目標
位置(許容範囲を含む)に合致しているか否かを確認す
る。合致していなければ、上記の動作を繰り返す。そし
て、確認後の位置決め状態のまま、仮固定装置２１３を
駆動し、一対の接着剤注入ノズル３８７，３８７をサブ
プレート４に臨ませて、接着剤の注入を行う。接着剤の
注入は、仮固定装置２１３のサブＹ軸エアーシリンダ３
７８により、接着剤注入ノズル３８７の移動を伴って２
回行われる。接着剤の注入が完了したら、タイマー制御
により接着剤の硬化を待って、ヘッド補正装置２１２の
サブプレート４への係合を解く。

【０１６７】このようにして、第１番目の機能液滴吐出
ヘッド３の位置決めおよび仮固定が完了するが、この作
業を第２番目から第１２番目の機能液滴吐出ヘッド３ま
で繰り返す。仮固定が完了したら、再度認識カメラ３５
３により全機能液滴吐出ヘッド３を位置認識し、各機能
液滴吐出ヘッド３が適切な位置に仮固定されていること
を確認する。なお、仮固定が不適切である場合には作業
を中止し、最初から作業をやり直す。そして、最後に、
ユニット移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２および
仮固定装置２１３を、それぞれホーム位置に戻した後、
手作業による各機能液滴吐出ヘッド３の本固定を行う。
この場合も、認識カメラ３５３により全機能液滴吐出ヘ
ッド３を位置認識し、各機能液滴吐出ヘッド３が適切な
位置に本固定されていることを確認する。ここで、組み
立てられたヘッドユニット１をセットテーブル２３１か
ら外す。その後、ヘッドユニット１は、機能液滴吐出ヘ
ッド３の洗浄を経ると共に、これに、ハンドル１４や両
アッセンブリ１５，１６等の構成部品を組み込んで、描
画装置Ｂに運び込まれる。

【０１６８】なお、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッ
ド３を、サブプレート４を介してサブキャリッジ２に接
着し、接着部分が金属−金属の接着となるようにしてい
るが、機能液滴吐出ヘッド３を直接、サブキャリッジ２
に接着する構造にしてもよい。

【０１６９】ところで、本発明のヘッドユニットの組立
装置およびこれによって組み立てられるヘッドユニット
１は、上記の描画装置Ｂのみならず、各種フラットディ
スプレイの製造方法や、各種の電子デバイスおよび光デ
バイスの製造方法等にも適用可能である。そこで、この
ヘッドユニット１を用いた製造方法を、液晶表示装置の
製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、説明す
る。

【０１７０】図４８は、液晶表示装置のカラーフィルタ
の部分拡大図である。図４８（ａ）は平面図であり、図
４８（ｂ）は図４８（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。

【０１７１】図４８（ａ）に示されるように、カラーフ
ィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタ
エレメント）４１２を備え、画素と画素の境目は、仕切
り４１３によって区切られている。画素４１２の１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンク（フィルタ材料）が導入されている。この例では
赤、緑、青の配置をいわゆるデルタ配列としたが、モザ
イク配列、ストライプ配列など、その他の配置でも構わ
ない。

【０１７２】図４８（ｂ）に示されるように、カラーフ
ィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切
り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されてい
ない（除去された）部分は、上記画素４１２を構成す
る。この画素４１２に導入された各色のインクは着色層
４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上
面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形
成されている。

【０１７３】図４９は、本発明の実施形態によるカラー
フィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。

【０１７４】膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃ
ｍの無アルカリガラスからなる透明基板４１１の表面
を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液
で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄
表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を
平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層４１４´を得る
（図４９：Ｓ１）。

【０１７５】この基板をホットプレート上で、８０℃で
５分間乾燥させた後、金属層４１４´の表面に、スピン
コートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成す
る。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を
描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をお
こなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割
合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフ
ォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングす
る。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエ
ッチング液でエッチング除去する。このようにして所定
のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリ
クス）４１４を得ることができる（図４９：Ｓ２）。遮
光層４１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、
遮光層４１４の幅は、およそ２２μｍである。

【０１７６】この基板上に、さらにネガ型の透明アクリ
ル系の感光性樹脂組成物４１５´をやはりスピンコート
法で塗布する（図４９：Ｓ３）。これを１００℃で２０
分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状
を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行な
う。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で
現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させることにより、バンク層４１５が形
成され、遮光層４１４及びバンク層４１５からなる仕切
り４１３が形成される（図４９：Ｓ４）。このバンク層
４１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バン
ク層４１５の幅は、およそ１４μｍである。

【０１７７】得られた遮光層４１４およびバンク層４１
５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板４１１
の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッ
チング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基
板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチン
グする。

【０１７８】次に、描画装置Ａに投入した洗浄済みのヘ
ッドユニット１を用い、仕切り４１３で区切られて形成
された画素４１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の各インクをインクジェット方式により導入する
（図４９：Ｓ５）。この際、機能液滴吐出ヘッド３から
微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛
ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各イン
ク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとタ
ーゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよ
りターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行
曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止の
ためには、インクの物性はもとよりヘッドの圧電素子を
駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、あ
らかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク
滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パタ
ーンにインクを塗布する。

【０１７９】インク（フィルタ材料）としては、例えば
ポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた
後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチ
ルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテート
を加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を
分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたも
のを用いる。

【０１８０】次に、塗布したインクを乾燥させる。ま
ず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層４１６のセ
ッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４
０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間
加熱してインク層４１６の硬化処理を行って、着色層４
２１が得られる（図４９：Ｓ６）。

【０１８１】上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピ
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層４２２を
形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）からなる電極層４２３を所要パターンで形成して、
カラーフィルタ４００とする（図４９：Ｓ７）。なお、
オーバーコート層４２２及び電極層４２３を、それぞれ
液体材料を用いてインクジェット法で形成するようにし
てもよい。

【０１８２】図５０は、上記の如く製造されるカラーフ
ィルタ４００を使用した電気光学装置（フラットディス
プレイ）の一例であるカラー液晶表示装置の断面図であ
る。断面図各部のハッチングは一部省略している。

【０１８３】このカラー液晶表示装置４５０は、カラー
フィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物４６５を封入することにより製造され
る。液晶表示装置４５０の一方の基板４６６の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。ま
た、もう一方の基板として、画素電極４６３に対向する
位置に赤、緑、青の着色層４２１が配列するようにカラ
ーフィルタ４００が設置されている。

【０１８４】基板４６６とカラーフィルタ４００の対向
するそれぞれの面には、配向膜４６１、４６４が形成さ
れている。これらの配向膜４６１、４６４はラビング処
理されており、液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、基板４６６およびカラーフィルタ４００
の外側の面には、偏光板４６２、４６７がそれぞれ接着
されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示
せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、
液晶組成物４６５をバックライト光の透過率を変化させ
る光シャッターとして機能させることにより表示を行
う。

【０１８５】なお、電気光学装置は、本発明では上記の
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いることができる。

【０１８６】次に、図５１ないし図６３を参照して、有
機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説
明する。

【０１８７】図５１ないし図６３は、有機ＥＬ素子を含
む有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表して
いる。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラ
ズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層
形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工
程と、封止工程とを具備して構成されている。

【０１８８】バンク部形成工程では、基板５０１に予め
形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極
ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａ
と有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口
部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このよ
うに、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無
機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク
層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含ま
れる。

【０１８９】まず無機物バンク層５１２ａを形成する工
程では、図５１に示すように、回路素子部５０２の第２
層間絶縁膜５４４ｂ上及び画素電極５１１上に、無機物
バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａ
を、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等
によって層間絶縁層５１４及び画素電極５１１の全面に
ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機物膜を形成する。

【０１９０】次にこの無機物膜をエッチング等によりパ
ターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位
置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、
無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なる
ように形成しておく必要がある。このように、電極５１
１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重な
るように無機物バンク層５１２ａを形成することによ
り、発光層５１０の発光領域を制御することができる。

【０１９１】次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工
程では、図５２に示すように、無機物バンク層５１２ａ
上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク
層５１２ｂをフォトリソグラフィ技術等によりエッチン
グして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄ
を形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及
び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。

【０１９２】上部開口部５１２ｄは、図５２に示すよう
に、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより
狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バン
ク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５
１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の
中央側に延出された形になる。このようにして、上部開
口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることに
より、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１
２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。

【０１９３】次にプラズマ処理工程では、バンク部５１
２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親インク性を示
す領域と、撥インク性を示す領域を形成する。このプラ
ズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上
面（５１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電
極５１１の電極面５１１ａを親インク性を有するように
加工する親インク化工程と、有機物バンク層５１２ｂの
上面５１２ｆ及び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥イン
ク性を有するように加工する撥インク化工程と、冷却工
程とに大別される。

【０１９４】まず、予備加熱工程では、バンク部５１２
を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、
例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付
け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱す
ることにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱
温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好まし
い。

【０１９５】つぎに、親インク化工程では、大気雰囲気
中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ₂プラズマ
処理）を行う。このＯ₂プラズマ処理により、図５３に
示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物
バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バン
ク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面
５１２ｆが親インク処理される。この親インク処理によ
り、これらの各面に水酸基が導入されて親インク性が付
与される。図５３では、親インク処理された部分を一点
鎖線で示している。

【０１９６】つぎに、撥インク化工程では、大気雰囲気
中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（Ｃ
Ｆ₄プラズマ処理）を行う。ＣＦ₄プラズマ処理により、
図５４に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機
物バンク層の上面５１２ｆが撥インク処理される。この
撥インク処理により、これらの各面にフッ素基が導入さ
れて撥インク性が付与される。図５４では、撥インク性
を示す領域を二点鎖線で示している。

【０１９７】次に、冷却工程では、プラズマ処理のため
に加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット
工程（液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズ
マ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例え
ばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却するこ
とにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度
で行うことができる。

【０１９８】次に発光素子形成工程では、画素電極５１
１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することによ
り発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの
工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するた
めの第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液滴
吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて前
記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／
輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物
を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出工
程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正孔
注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが
含まれる。

【０１９９】まず、第１液滴吐出工程では、インクジェ
ット法（液滴吐出法）により、正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。な
お、この第１液滴吐出工程以降は、水、酸素の無い窒素
雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うこ
とが好ましい。（なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸
送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成
される正孔注入／輸送層は形成されない）

【０２００】図５５に示すように、インクジェットヘッ
ド（機能液滴吐出ヘッド）Ｈに正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を充填し、インクジェットヘッドＨ
の吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面
５１１ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５
０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当た
りの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５
１１ａ上に吐出する。

【０２０１】ここで用いる第１組成物としては、例え
ば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリ
チオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の
混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることが
できる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアル
コール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクト
ン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−
２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト
−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグ
リコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正
孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１
０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変え
ても良い。

【０２０２】図５５に示すように、吐出された第１組成
物滴５１０ｃは、親インク処理された電極面５１１ａ及
び第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５
１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に
吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、
５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層
の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃
度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは
１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上
に吐出しても良い。

【０２０３】次に正孔注入／輸送層形成工程では、図５
６に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱
処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させるこ
とにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０
ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０
ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５
１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起
き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料
が濃縮されて析出する。

【０２０４】これにより図５６に示すように、乾燥処理
によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、
これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材
料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１
ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正
孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に
濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形
成される。

【０２０５】次に第２液滴吐出工程では、インクジェッ
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。この
第２液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再
溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組
成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して
不溶な非極性溶媒を用いる。

【０２０６】しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０
ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶
媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐
出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂ
とを密着させることができなくなるか、あるいは発光層
５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、
非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／
輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層
を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。

【０２０７】そこでまず、表面改質工程について説明す
る。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第１組成
物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒であ
る表面改質用溶媒を、インクジェット法（液滴吐出
法）、スピンコート法またはディップ法により正孔注入
／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより
行う。

【０２０８】例えば、インクジェット法による塗布は、
図５７に示すように、インクジェットヘッドＨに、表面
改質用溶媒を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノ
ズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形
成された基板）に対向させ、インクジェットヘッドＨと
基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルＨから
表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上
に吐出することにより行う。そして、図５８に示すよう
に、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。

【０２０９】次に第２液滴吐出工程では、インクジェッ
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。図５
９に示すように、インクジェットヘッドＨに、青色
（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、
インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口
部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５
１０ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０
１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たり
の液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出
し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１
０ａ上に吐出する。

【０２１０】発光層形成材料としては、ポリフルオレン
系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン
系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機
ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブ
レン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、
テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン
６、キナクリドン等をドープすることにより用いること
ができる。

【０２１１】非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５
１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロ
へキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチ
ルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることがで
きる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組
成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを
再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。

【０２１２】図５９に示すように、吐出された第２組成
物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって
下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。
第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同
一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。こ
の場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、
各回毎に第２組成物量を変えても良い。

【０２１３】次に発光層形成工程では、第２組成物を吐
出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸
送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理
は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２
組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図６０に示す
ような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。

【０２１４】続けて、図６１に示すように、青色（Ｂ）
発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層
５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを
形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の
順序に限られるものではなく、どのような順番で形成し
ても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順
番を決める事も可能である。

【０２１５】次に対向電極形成工程では、図６２に示す
ように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの
全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極
５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例え
ば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成す
ることが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが
可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く
形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）
には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これ
らの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ
法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法
で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防
止できる点で好ましい。

【０２１６】また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ
上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０
ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）
発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、
ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとな
る。また陰極１２の上部には、蒸着法、スパッタ法、Ｃ
ＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いること
が好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のために
ＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。

【０２１７】最後に、図６３に示す封止工程では、窒
素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有
機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封
止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰
囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０
３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部
分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が
酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後
に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続すると
ともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続する
ことにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られ
る。

【０２１８】なお、上記の撥インク膜、陰極５０３、画
素電極５１１等においても、それぞれ液体材料を用い、
インクジェット法で形成するようにしてもよい。

【０２１９】同様に、本実施形態のヘッドユニットは、
電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および
電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができ
る。

【０２２０】電子放出装置の製造方法では、複数の機能
液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入
し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッ
ド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出
して、電極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放
出装置は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位
の概念である。

【０２２１】ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液
滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、
ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３
を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出し
て、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成す
る。

【０２２２】電気泳動表示装置の製造方法では、複数の
機能液滴吐出ヘッド３に各色の泳動体材料を導入し、ヘ
ッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を
主走査および副走査し、インク材料を選択的に吐出し
て、電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。
尚、帯電粒子と染料とから成る泳動体は、マイクロカプ
セルに封入されていることが、好ましい。

【０２２３】また、洗浄済みのヘッドユニット１は、ス
ペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、
レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用
可能である。

【０２２４】スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３にス
ペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の
基板上にスペーサを形成する。例えば、上記の液晶表示
装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間のセルギ
ャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微
小なギャップを必要とする半導体製造技術に適用できる
ことはいうまでもない。

【０２２５】金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド３に液状金属材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金
属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけ
るドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記の有
機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属
配線に適用することができる。また、この種のフラット
ディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用でき
ることはいうまでもない。

【０２２６】レンズ形成方法では、複数の機能液滴吐出
ヘッド３にレンズ材料を導入し、ヘッドユニット１を介
して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査
し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数
のマイクロレンズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装
置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能であ
る。また、各種の光デバイスに適用可能であることはい
うまでもない。

【０２２７】レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド３にレジスト材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任
意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各
種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技
術の主体を為すフォトリソグラフィ法において、フォト
レジストの塗布に広く適用可能である。

【０２２８】光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド３に光拡散材料を導入し、ヘッドユニット１を
介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走
査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を
形成する。この場合も、各種の光デバイスに適用可能で
あることはいうまでもない。

【０２２９】

【発明の効果】以上のように、本発明のヘッドユニット
の組立方法によれば、機能液滴吐出ヘッドの位置決め
（位置補正）を、精度良く且つ迅速に行うことができ
る。また、仮固定の後に、再度画像認識するようにして
いるため、機能液滴吐出ヘッドのサブキャリッジへの仮
固定を精度良く且つ適切に行うことができる。したがっ
て、ヘッドユニットの量産性および信頼性を高めること
ができる。

【０２３０】また、本発明の機能液滴吐出ヘッドの位置
決め装置およびヘッドユニットの組立装置によれば、一
対の係合アームを、サブプレートの２つの係合孔に係合
させて、位置補正を行うようにしているため、位置補正
を安定に且つ精度良く行うことができる。係合ピンの偏
心等の影響を排除して位置決めを行うことができ、機能
液滴吐出ヘッドの安定した位置決めが可能になる。した
がって、ヘッドユニットの量産性および信頼性を高める
ことができる。

【０２３１】一方、本発明の液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法
によれば、各装置におけるフィルタ材料や発光材料等に
適した機能液滴吐出ヘッドを用いることができため、製
造効率を向上させることができる。

【０２３２】また、本発明のカラーフィルタの製造方
法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線
形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光
拡散体形成方法によれば、各電子デバイスや各光デバイ
スにおけるフィルタ材料や発光材料等に適した機能液滴
吐出ヘッドを用いることができため、製造効率を向上さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施形態に係るヘッドユニットの平面図であ
る。

【図２】 実施形態に係るヘッドユニットの正面図であ
る。

【図３】 実施形態に係るヘッドユニットの側面図であ
る。

【図４】 実施形態の機能液滴吐出ヘッド廻りの断面図
である。

【図５】 実施形態の機能液滴吐出ヘッドを模式的に表
した斜視図である。

【図６】 実施形態の機能液滴吐出ヘッドの拡大断面図
である。

【図７】 実施形態のサブプレートの構造図である。

【図８】 実施形態の組付治具を用いたヘッドユニット
の組付方法を示す拡大斜視図である。

【図９】 実施形態の組付治具の構造図である。

【図１０】 実施形態の組付治具を用いたヘッドユニッ
トの組付方法を示す平面図である。

【図１１】 実施形態の組付治具を用いたヘッドユニッ
トの組付方法を示す正面図である。

【図１２】 実施形態の描画装置の模式図である。

【図１３】 実施形態のアライメントマスクにおけるマ
スタプレートの構造図である。

【図１４】 実施形態のアライメントマスクの平面図で
ある。

【図１５】 実施形態のアライメントマスクの正面図で
ある。

【図１６】 実施形態の組立装置の正面側から見た全体
斜視図である。

【図１７】 実施形態の組立装置の背面側から見た全体
斜視図である。

【図１８】 実施形態の組立装置の全体平面図である。

【図１９】 実施形態の組立装置の全体正面図である。

【図２０】 実施形態の組立装置の左側から見た全体側
面図である。

【図２１】 実施形態のユニット移動装置におけるＸ・
Ｙテーブル廻りの斜視図である。

【図２２】 実施形態のユニット移動装置におけるセッ
トテーブルの構造図である。

【図２３】 実施形態のユニット移動装置におけるθテ
ーブルの平面図である。

【図２４】 実施形態のユニット移動装置におけるθテ
ーブルの裁断側面図である。

【図２５】 実施形態のユニット移動装置におけるθテ
ーブルの正面図である。

【図２６】 実施形態のユニット移動装置におけるＸ・
Ｙテーブル廻りの平面図である。

【図２７】 実施形態のユニット移動装置におけるＸ・
Ｙテーブル廻りの正面図である。

【図２８】 実施形態のヘッド補正装置における補正用
Ｘ・Ｙテーブル廻りの斜視図である。

【図２９】 実施形態のヘッド補正装置における補正用
Ｘ・Ｙテーブル廻りの平面図である。

【図３０】 実施形態のヘッド補正装置における補正用
Ｘ・Ｙテーブル廻りの正面図である。

【図３１】 実施形態のヘッド補正装置における補正用
Ｘ・Ｙテーブル廻りの側面図である。

【図３２】 実施形態のヘッド補正装置におけるアーム
ユニットの斜視図である。

【図３３】 実施形態のヘッド補正装置におけるアーム
ユニットの正面図である。

【図３４】 実施形態のヘッド補正装置におけるアーム
ユニットの側面図である。

【図３５】 アームユニットの係合アームおよびボール
スプラインの外観図である。

【図３６】 第２実施形態に係るアームユニット廻りの
模式図である。

【図３７】 第２実施形態の変形例に係るアームユニッ
ト廻りの模式図である。

【図３８】 実施形態の認識装置の斜視図である。

【図３９】 実施形態の認識装置の平面図である。

【図４０】 実施形態の認識装置の正面図である。

【図４１】 実施形態の認識装置の側面図である。

【図４２】 実施形態の仮固定装置の全体斜視図であ
る。

【図４３】 実施形態の仮固定装置の平面図である。

【図４４】 実施形態の仮固定装置の正面図である。

【図４５】 実施形態の仮固定装置の側面図である。

【図４６】 接着剤塗布装置の斜視図である。

【図４７】 実施形態に係る制御装置のブロック図であ
る。

【図４８】 実施形態のカラーフィルタの製造方法によ
り製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。

【図４９】 実施形態のカラーフィルタの製造方法を模
式的に示す製造工程断面図である。

【図５０】 実施形態のカラーフィルタの製造方法によ
り製造される液晶表示装置の断面図である。

【図５１】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図であ
る。

【図５２】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図であ
る。

【図５３】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図であ
る。

【図５４】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図であ
る。

【図５５】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図であ
る。

【図５６】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。

【図５７】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。

【図５８】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける表面改質工程（乾燥）の断面図である。

【図５９】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。

【図６０】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。

【図６１】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。

【図６２】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける対向電極形成工程の断面図である。

【図６３】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける封止工程の断面図である。

【符号の説明】

Ａ 組立装置 Ｂ 描画装置 Ｃ 組付治具 Ｄ アライメン
トマスク １ ヘッドユニット ２ サブキャリ
ッジ ３ 機能液滴吐出ヘッド ４ サブプ
レート １１ 本体プレート １２ 基準ピン ５０ ヘッド本体 ５２ ノズル形
成面 ５３ ノズル列 ５７ 吐出ノズ
ル ５７ａ 吐出ノズル（最外端） ６５ ノズル
基準マーク ７６ 係合孔 ７７ 接着剤注
入孔 ７８ 接着部位 ８１ 治具本体 １０１ ヘッド移動部 １０５ ユニッ
ト導入部 １６１ マスタプレート １６１ａ マーク
形成面 １６４ ヘッド基準マーク １６５ サブキ
ャリッジ基準マーク １７１ 支持ピン ２１１ ユニッ
ト移動装置 ２１２ ヘッド補正装置 ２１３ 仮固定
装置 ２１４ 認識装置 ２１５ 制御装
置 ２３１ セットテーブル ２３２ θテー
ブル ２３３ Ｘ・Ｙテーブル ２７１ Ｘ軸テ
ーブル ２７２ Ｙ軸テーブル ３０２ 補正用
Ｘ・Ｙテーブル ３０３ 補正用θテーブル ３０４ アーム
ユニット ３５２ カメラ位置調節ユニット ３５３ 認識カ
メラ ３５９ マイクロステージ ３７３ エアー
テーブル ３７４ 接着剤塗布装置 ３７７ Ｙエア
ーテーブル ３７８ サブＹエアーテーブル ３８０ Ｚ軸エ
アーテーブル ３８７ 接着剤注入ノズル ４００ カラー
フィルタ ４１１ 基板 ４１２ 画素
（フィルタエレメント） ４１３ 仕切り ４１４ 遮光層 ４１５ バンク層 ４１６ インク
層 ４２１ 着色層 ４２２ オーバ
ーコート層 ４２３ 電極層 ５００ 有機Ｅ
Ｌ装置 ５０１ 基板 ５０２ 回路素
子部 ５０４ 有機ＥＬ素子 ５１０ａ 正孔注
入／輸送層 ５１０ｂ 発光層 ６３１ 係合
アーム ６３３ アーム昇降装置 ６４３ 係合
ピン ６４４ ピンホルダ ６４５ コイ
ルばね ６５１ ボールスプライン ６５２ テー
パー部 ６６１ エアー穴 ６６２ 小型
シリンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/167 ４Ｆ０３３ 1/1335 ５０５ Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｅ ４Ｆ０４１ 1/167 Ｚ ４Ｆ０４２ Ｈ０１Ｊ 9/227 11/02 Ｂ ５Ｃ０２８ Ｈ０５Ｂ 33/10 ５Ｃ０４０ 11/02 33/14 Ａ Ｈ０５Ｂ 33/10 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ｈ 33/14 １０１Ｚ Ｆターム(参考） 2C056 FB01 HA16 HA22 2C057 AF93 AJ01 AP25 AP71 AP77 2H088 FA18 FA30 HA12 MA20 2H091 FA02Y FC01 FC29 FD04 GA01 GA03 LA12 3K007 AB18 BB01 BB04 DB03 FA01 4F033 AA01 AA14 BA03 CA01 DA05 EA05 LA13 4F041 AA02 AA05 AA06 AA16 AB01 BA13 BA22 BA38 4F042 AA02 AA07 AA10 AB00 BA08 DD44 DF01 5C028 FF16 HH04 HH14 5C040 FA10 GG09 JA13 MA26 (54)【発明の名称】 ヘッドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装 置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤ Ｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造 方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散 体形成方法

Claims (33)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サブプレートに保持された機能液滴吐出
   ヘッドを、前記サブプレートを介してサブキャリッジに
   仮装着したヘッドユニットに対し、前記機能液滴吐出ヘ
   ッドを前記サブキャリッジに位置決めした状態で固定す
   るヘッドユニットの組立方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認
   識工程と、 前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記
   サブキャリッジに対し前記サブプレートを介して前記機
   能液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程
   と、 前記ヘッド位置決め工程の後、前記サブプレートを前記
   サブキャリッジに仮固定する仮固定工程と、 前記仮固定工程の後、前記機能液滴吐出ヘッドを画像認
   識する仮固定後確認工程と、を備えたことを特徴とする
   ヘッドユニットの組立方法。
2. 【請求項２】 前記ヘッド認識工程に先立ち、 前記サブキャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認
   識工程と、 前記キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、
   前記サブキャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め
   工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載
   のヘッドユニットの組立方法。
3. 【請求項３】 前記仮固定後確認工程における認識結果
   に基づいて、本固定を行うか否かを決定する判別工程
   と、 前記判別工程により本固定を行うことを決定された場合
   に、前記サブプレートを前記サブキャリッジに本固定す
   る本固定工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項
   １または２に記載のヘッドユニットの組立方法。
4. 【請求項４】 前記本固定工程の後、前記機能液滴吐出
   ヘッドを画像認識する本固定後確認工程、を更に備えた
   ことを特徴とする請求項１、２または３に記載のヘッド
   ユニットの組立方法。
5. 【請求項５】 前記ヘッド位置決め工程は、 前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、前記機能液
   滴吐出ヘッドを画像認識する仮固定前確認工程を有して
   いることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記
   載のヘッドユニットの組立方法。
6. 【請求項６】 前記ヘッド位置決め工程は、 前記仮固定前確認工程の認識結果において、前記機能液
   滴吐出ヘッドの目標位置とアライメント位置とが異なる
   場合に、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を補正する位置
   補正工程を、更に有していることを特徴とする請求項５
   に記載のヘッドユニットの組立方法。
7. 【請求項７】 前記仮固定工程は、接着剤により前記サ
   ブプレートを前記サブキャリッジに接着することで行わ
   れることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記
   載のヘッドユニットの組立方法。
8. 【請求項８】 前記サブキャリッジの位置および前記サ
   ブキャリッジに搭載された前記機能液滴吐出ヘッドの位
   置をパターン形成したアライメントマスクが用意されて
   おり、 前記サブキャリッジの位置決めおよび前記機能液滴吐出
   ヘッドの位置決めは、前記アライメントマスクからそれ
   ぞれ取得した前記サブキャリッジの位置および前記機能
   液滴吐出ヘッドの位置を目標位置として、為されること
   を特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載のヘッ
   ドユニットの組立方法。
9. 【請求項９】 サブプレートに保持された機能液滴吐出
   ヘッドのこれが搭載されるサブキャリッジへの固定に先
   立ち、前記サブプレートを介して前記サブキャリッジに
   仮装着した前記機能液滴吐出ヘッドを前記サブキャリッ
   ジに位置決めする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置で
   あって、 前記サブプレートに相互に離間して形成した２つの係合
   孔に係合する一対の係合アームと、前記サブキャリッジ
   に対し前記一対の係合アームをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対
   的に微少移動させるＸ・Ｙ・θ軸テーブルとを備え、 前記各係合アームは、先端部が前記各係合孔に挿入され
   る係合ピンと、前記係合ピンを軸方向にスライド自在に
   且つ軸廻りに回転不能に保持するピンホルダとを有する
   ことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
10. 【請求項１０】 前記サブプレートの２つの係合孔は、
    一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されている
    ことを特徴とする請求項９に記載の機能液滴吐出ヘッド
    の位置決め装置。
11. 【請求項１１】 前記ピンホルダには、前記係合ピンと
    の間にボールスプラインが介設されていることを特徴と
    する請求項９または１０に記載の機能液滴吐出ヘッドの
    位置決め装置。
12. 【請求項１２】 前記ピンホルダに対し前記係合ピン
    は、軸方向に離間して２個所で保持されており、 前記ボールスプラインは、前記２個所に介設されている
    ことを特徴とする請求項１１に記載の機能液滴吐出ヘッ
    ドの位置決め装置。
13. 【請求項１３】 前記係合ピンの先端部は、先端側を前
    記係合孔より細径とし基端側を前記係合孔より太径とす
    るテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求
    項９ないし１２のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッド
    の位置決め装置。
14. 【請求項１４】 前記係合ピンの先端部は、鋭角となる
    テーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項
    １３に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
15. 【請求項１５】 前記係合ピンを突出方向に付勢する付
    勢手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし
    １４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め
    装置。
16. 【請求項１６】 前記サブプレートを介して前記機能液
    滴吐出ヘッドを位置決めした後、前記係合ピンを介して
    前記サブプレートを前記サブキャリッジに押圧する押圧
    手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１
    ５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装
    置。
17. 【請求項１７】 前記サブキャリッジに形成した複数の
    小穴を介して、前記サブプレートをエアー浮上させる圧
    縮エアー供給手段を、更に備えたことを特徴とする請求
    項９ないし１６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッド
    の位置決め装置。
18. 【請求項１８】 請求項９ないし１７のいずれかに記載
    の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備え、 前記サブプレート、前記機能液滴吐出ヘッドおよび前記
    サブキャリッジから成るヘッドユニットを組み立てるこ
    とを特徴とするヘッドユニットの組立装置。
19. 【請求項１９】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを
    形成する液晶表示装置の製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選
    択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成す
    ることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
20. 【請求項２０】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形
    成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的
    に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴
    とする有機ＥＬ装置の製造方法。
21. 【請求項２１】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方
    法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的
    に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とす
    る電子放出装置の製造方法。
22. 【請求項２２】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰ
    ＤＰ装置の製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選
    択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴
    とするＰＤＰ装置の製造方法。
23. 【請求項２３】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装
    置の製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選択
    的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴と
    する電気泳動表示装置の製造方法。
24. 【請求項２４】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラ
    ーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であっ
    て、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選
    択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成す
    ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
25. 【請求項２５】 前記多数のフィルタエレメントおよび
    前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されてお
    り、 前記フィルタエレメントを形成した後に、 前記機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を
    導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材料
    を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成するこ
    とを特徴とする請求項２４に記載のカラーフィルタの製
    造方法。
26. 【請求項２６】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に
    配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的
    に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴
    とする有機ＥＬの製造方法。
27. 【請求項２７】 前記多数のＥＬ発光層と前記基板との
    間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
    成されており、 前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選
    択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを特
    徴とする請求項２６に記載の有機ＥＬの製造方法。
28. 【請求項２８】 前記多数のＥＬ発光層および前記バン
    クを覆うように対向電極が形成されており、 前記ＥＬ発光層を形成した後に、 前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選
    択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴とす
    る請求項２７に記載の有機ＥＬの製造方法。
29. 【請求項２９】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    ２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の
    粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であっ
    て、 前記機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料
    を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的
    に吐出して少なくとも一方の前記基板上に前記スペーサ
    を形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
30. 【請求項３０】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であっ
    て、 前記機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を選
    択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴とす
    る金属配線形成方法。
31. 【請求項３１】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方
    法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選択
    的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成すること
    を特徴とするレンズ形成方法。
32. 【請求項３２】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方
    法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を選
    択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴とす
    るレジスト形成方法。
33. 【請求項３３】 請求項１８に記載のヘッドユニットの
    組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
    基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法で
    あって、 前記機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを
    前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選択
    的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特徴
    とする光拡散体形成方法。