JP2003182095A - 機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 - Google Patents
機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機能液滴吐出ヘッドを確実に洗浄して、機能
液を吐出する際の機能液の分離やノズルの目詰まりを生
じないようにする。 【解決手段】 ヘッドユニット１に搭載した機能液滴吐
出ヘッドの機能液導入口に接続される導入口接続アタッ
チメント５に、純水タンク２０２とアルコールタンク２
０３と溶剤タンク２０４とを流入パイプ２０８を介して
接続すると共に、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルに接
続されるノズル接続アタッチメント７に、吸引ポンプ２
２５を流出パイプ２２６を介して接続し、機能液滴吐出
ヘッドに洗浄液たる純水とアルコールと溶剤とを順に通
液する。また、流入側に介設した洗浄促進弁２１９の開
閉で洗浄液の流速を緩急させ、更に、気泡混入弁２２１
の開閉で洗浄液に気泡を混入させる。また、アルコール
と溶剤は循環使用する。
液を吐出する際の機能液の分離やノズルの目詰まりを生
じないようにする。 【解決手段】 ヘッドユニット１に搭載した機能液滴吐
出ヘッドの機能液導入口に接続される導入口接続アタッ
チメント５に、純水タンク２０２とアルコールタンク２
０３と溶剤タンク２０４とを流入パイプ２０８を介して
接続すると共に、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルに接
続されるノズル接続アタッチメント７に、吸引ポンプ２
２５を流出パイプ２２６を介して接続し、機能液滴吐出
ヘッドに洗浄液たる純水とアルコールと溶剤とを順に通
液する。また、流入側に介設した洗浄促進弁２１９の開
閉で洗浄液の流速を緩急させ、更に、気泡混入弁２２１
の開閉で洗浄液に気泡を混入させる。また、アルコール
と溶剤は循環使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットに
代表される機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装
置、並びにこの洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能
液滴吐出ヘッドを用いて行う液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カ
ラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペー
サ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジ
スト形成方法および光拡散体形成方法に関するものであ
る。
代表される機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装
置、並びにこの洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能
液滴吐出ヘッドを用いて行う液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カ
ラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペー
サ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジ
スト形成方法および光拡散体形成方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットプリンタのインクジェッ
トヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴
（液滴）をドット状に精度良く吐出することができるこ
とから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等
の機能液を用いることにより、各種部品の製造分野への
応用が期待されている。
トヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴
（液滴）をドット状に精度良く吐出することができるこ
とから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等
の機能液を用いることにより、各種部品の製造分野への
応用が期待されている。
【０００３】例えば、図１ないし図３に示す如く、単一
のキャリッジ２に複数の機能液滴吐出ヘッド３を搭載し
て成るヘッドユニット１を用い、このヘッドユニット１
を図４に示す描画装置Ａに投入して、液晶表示装置や有
機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタを製造することが考
えられている。この描画装置Ａは、ヘッドユニット１を
搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させるヘッ
ド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対峙し、カラ
ーフィルタの基板といったワークＷをＸ軸方向に移動さ
せるワーク移動部１０２と、ヘッドユニット１の機能液
滴吐出ヘッド３を保全するメンテナンス部１０３とを備
えている。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッ
ドユニット１を、ワーク移動部１０２を挟んでユニット
投入部１０４とメンテナンス部１０３との間で移動させ
る。ヘッドユニット１を投入セットする場合には、ヘッ
ド移動部１０１がユニット投入部１０４側に移動し、そ
の仮置き台１０５がユニット投入部１０４に臨んでい
る。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０５上に仮置
きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移動部１
０１に送り込むようにしてセットされる。そして、ヘッ
ドユニット１の初期位置決めを行う準備工程では、ヘッ
ドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補正）が行
われるが、フィルタ材料（機能液）を吐出する描画工程
では、ワークＷがＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ
軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査およ
び副走査が行われる。尚、メンテナンス部１０３には吸
引キャップ１０６が配置され、描画工程開始前に機能液
滴吐出ヘッド３に残留する液体を吸引キャップ１０６に
より吸引除去するクリーニングを行う。
のキャリッジ２に複数の機能液滴吐出ヘッド３を搭載し
て成るヘッドユニット１を用い、このヘッドユニット１
を図４に示す描画装置Ａに投入して、液晶表示装置や有
機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタを製造することが考
えられている。この描画装置Ａは、ヘッドユニット１を
搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させるヘッ
ド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対峙し、カラ
ーフィルタの基板といったワークＷをＸ軸方向に移動さ
せるワーク移動部１０２と、ヘッドユニット１の機能液
滴吐出ヘッド３を保全するメンテナンス部１０３とを備
えている。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッ
ドユニット１を、ワーク移動部１０２を挟んでユニット
投入部１０４とメンテナンス部１０３との間で移動させ
る。ヘッドユニット１を投入セットする場合には、ヘッ
ド移動部１０１がユニット投入部１０４側に移動し、そ
の仮置き台１０５がユニット投入部１０４に臨んでい
る。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０５上に仮置
きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移動部１
０１に送り込むようにしてセットされる。そして、ヘッ
ドユニット１の初期位置決めを行う準備工程では、ヘッ
ドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補正）が行
われるが、フィルタ材料（機能液）を吐出する描画工程
では、ワークＷがＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ
軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査およ
び副走査が行われる。尚、メンテナンス部１０３には吸
引キャップ１０６が配置され、描画工程開始前に機能液
滴吐出ヘッド３に残留する液体を吸引キャップ１０６に
より吸引除去するクリーニングを行う。
【０００４】上記ヘッドユニット１は、Ｘ軸方向に二分
して６個宛計１２個の機能液滴吐出ヘッド３を備えてお
り、各機能液滴吐出ヘッド３は各ヘッド保持部材４を介
してキャリッジ２に固定されている。キャリッジ２は、
Ｘ軸方向両側の長辺部分に取り付けた一対の支持部材２
ａ，２ａと、両支持部材２ａ，２ａの端部に立設した一
対のハンドル２ｂ，２ｂとを備えており、ハンドル２
ｂ，２ｂを手持ち部位としてヘッドユニット１を描画装
置Ａ等に投入できるようにしている。また、キャリッジ
２には、二分された機能液滴吐出ヘッド群の上側に位置
させて、これら機能液滴吐出ヘッド３に接続される一対
の導入口接続アタッチメント５，５および一対の配線接
続アタッチメント６，６が搭載されている。各導入口接
続アタッチメント５は、描画装置Ａのフィルタ材料供給
系に配管接続され、同様に各配線接続アッセンブリ６
は、描画装置Ａの制御系に配線接続されるようになって
いる。各導入口接続アタッチメント５は、キャリッジ２
上にスペーサ５ａを介して架設したプレート５ｂと、こ
のプレート５ｂに搭載した６組の配管アダプタ５ｃとで
構成されている。各配管アダプタ５ｃは、上端の配管接
続部５ｄと下端のヘッド接続部５ｅとを備えており、ヘ
ッド接続部５ｅをプレート５ｂの下方に突出させた状態
でプレート５ｂに固定されている。また、各配線接続ア
ッセンブリ６は、キャリッジ２の長辺部分の上方に屈曲
支持部材６ａを介して架設したコネクタベース６ｂと、
コネクタベース６ｂ上に取り付けた配線コネクタ６ｃ付
きのヘッド中継基板６ｄとで構成されている。そして、
配線接続アッセンブリ６はカバー６ｅ（図２にのみ図
示）で上方から覆われている。尚、図１は、一方の導入
口接続アタッチメント５を省略して、描かれている。
して６個宛計１２個の機能液滴吐出ヘッド３を備えてお
り、各機能液滴吐出ヘッド３は各ヘッド保持部材４を介
してキャリッジ２に固定されている。キャリッジ２は、
Ｘ軸方向両側の長辺部分に取り付けた一対の支持部材２
ａ，２ａと、両支持部材２ａ，２ａの端部に立設した一
対のハンドル２ｂ，２ｂとを備えており、ハンドル２
ｂ，２ｂを手持ち部位としてヘッドユニット１を描画装
置Ａ等に投入できるようにしている。また、キャリッジ
２には、二分された機能液滴吐出ヘッド群の上側に位置
させて、これら機能液滴吐出ヘッド３に接続される一対
の導入口接続アタッチメント５，５および一対の配線接
続アタッチメント６，６が搭載されている。各導入口接
続アタッチメント５は、描画装置Ａのフィルタ材料供給
系に配管接続され、同様に各配線接続アッセンブリ６
は、描画装置Ａの制御系に配線接続されるようになって
いる。各導入口接続アタッチメント５は、キャリッジ２
上にスペーサ５ａを介して架設したプレート５ｂと、こ
のプレート５ｂに搭載した６組の配管アダプタ５ｃとで
構成されている。各配管アダプタ５ｃは、上端の配管接
続部５ｄと下端のヘッド接続部５ｅとを備えており、ヘ
ッド接続部５ｅをプレート５ｂの下方に突出させた状態
でプレート５ｂに固定されている。また、各配線接続ア
ッセンブリ６は、キャリッジ２の長辺部分の上方に屈曲
支持部材６ａを介して架設したコネクタベース６ｂと、
コネクタベース６ｂ上に取り付けた配線コネクタ６ｃ付
きのヘッド中継基板６ｄとで構成されている。そして、
配線接続アッセンブリ６はカバー６ｅ（図２にのみ図
示）で上方から覆われている。尚、図１は、一方の導入
口接続アタッチメント５を省略して、描かれている。
【０００５】上記機能液滴吐出ヘッド３はいわゆる２連
のものであり、図５ないし図７に示す如く、２連の針状
の機能液導入口３ａを有する液体導入部３ｂと、液体導
入部３ｂの側方に連なる２連のヘッド基板３ｃと、液体
導入部３ｂの下方に連なる２連のポンプ部３ｄと、ポン
プ部３ｄに連なるノズル形成プレート３ｅとを備えてい
る。上記導入口接続アタッチメント５のプレート５ｂを
スペーサ５ａ上にねじ５ｆ止めすると、導入口接続アタ
ッチメント５の２連の配管アダプタ５ｃのヘッド接続部
５ｅが機能液導入口３ａに嵌合接続される。また、ヘッ
ド基板３ｃには、上記配線接続アタッチメント６のヘッ
ド中継基板６ｄから導出されるフレキシブルフラットケ
ーブル（図示せず）が接続されている。一方、上記ポン
プ部３ｄとノズル形成プレート３ｅとにより、キャリッ
ジ２に形成したヘッド装着開口２ｃを通してその裏面側
に突出する方形のヘッド本体が構成されている。また、
ノズル形成プレート３ｅには、多数の吐出ノズル３ｆが
２列に形成されている。ポンプ部３ｄは、シリコンゴム
等の弾性体３ｇに形成したノズル数に対応する圧力室３
ｈと圧電素子３ｉとを有し、各圧力室３ｈは対応する吐
出ノズル３ｆに連通している。そして、圧電素子３ｉへ
の通電による圧電素子３ｉを介しての圧力室３ｈの伸縮
で吐出ノズル３ｆから液滴が吐出される。また、ポンプ
部３ｄの基部側は、液体導入部３ｂを受けるべく方形フ
ランジ状に形成され、このフランジ部３ｊには、機能液
滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定する小ねじ用
の一対のねじ孔３ｋが形成されている。
のものであり、図５ないし図７に示す如く、２連の針状
の機能液導入口３ａを有する液体導入部３ｂと、液体導
入部３ｂの側方に連なる２連のヘッド基板３ｃと、液体
導入部３ｂの下方に連なる２連のポンプ部３ｄと、ポン
プ部３ｄに連なるノズル形成プレート３ｅとを備えてい
る。上記導入口接続アタッチメント５のプレート５ｂを
スペーサ５ａ上にねじ５ｆ止めすると、導入口接続アタ
ッチメント５の２連の配管アダプタ５ｃのヘッド接続部
５ｅが機能液導入口３ａに嵌合接続される。また、ヘッ
ド基板３ｃには、上記配線接続アタッチメント６のヘッ
ド中継基板６ｄから導出されるフレキシブルフラットケ
ーブル（図示せず）が接続されている。一方、上記ポン
プ部３ｄとノズル形成プレート３ｅとにより、キャリッ
ジ２に形成したヘッド装着開口２ｃを通してその裏面側
に突出する方形のヘッド本体が構成されている。また、
ノズル形成プレート３ｅには、多数の吐出ノズル３ｆが
２列に形成されている。ポンプ部３ｄは、シリコンゴム
等の弾性体３ｇに形成したノズル数に対応する圧力室３
ｈと圧電素子３ｉとを有し、各圧力室３ｈは対応する吐
出ノズル３ｆに連通している。そして、圧電素子３ｉへ
の通電による圧電素子３ｉを介しての圧力室３ｈの伸縮
で吐出ノズル３ｆから液滴が吐出される。また、ポンプ
部３ｄの基部側は、液体導入部３ｂを受けるべく方形フ
ランジ状に形成され、このフランジ部３ｊには、機能液
滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定する小ねじ用
の一対のねじ孔３ｋが形成されている。
【０００６】ところで、上記吐出ノズル３ｆは微小であ
って目詰まりを生じやすく、機能液滴吐出ヘッド３の製
造後、ヘッド内に保存液を充填して、ヘッド内に空気中
の塵埃等の異物が混入しないようにしている。そして、
従来は、機能液滴吐出ヘッド３をキャリッジ２に搭載し
てヘッドユニット１を組立てた後、描画装置Ａにヘッド
ユニット１を投入して上記吸引キャップ１０６により機
能液滴吐出ヘッド３内の保存液を吸引除去し、その後で
フィルタ材料を供給して描画作業を行うようにしてい
る。
って目詰まりを生じやすく、機能液滴吐出ヘッド３の製
造後、ヘッド内に保存液を充填して、ヘッド内に空気中
の塵埃等の異物が混入しないようにしている。そして、
従来は、機能液滴吐出ヘッド３をキャリッジ２に搭載し
てヘッドユニット１を組立てた後、描画装置Ａにヘッド
ユニット１を投入して上記吸引キャップ１０６により機
能液滴吐出ヘッド３内の保存液を吸引除去し、その後で
フィルタ材料を供給して描画作業を行うようにしてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の如く機能液滴吐
出ヘッド３内に保存液を充填しておいても、時間が経つ
と保存液中の不純物が析出して、目詰まりの原因になる
ことがある。ここで、機能液滴吐出ヘッド３内の保存液
を吸引キャップ１０６により単純に吸引するだけでは、
圧力室３ｈのコーナ部等に保存液が残留し易く、吐出ノ
ズル３ｆの目詰まりを確実に防止することはできない。
また、保存液は一般に水溶性であり、機能液の吐出時に
残留保存液により機能液が分離して、吐出不良を生ずる
こともある。本発明は、以上の点に鑑み、機能液滴吐出
ヘッドを確実に洗浄して、その後の目詰まりや機能液の
分離といった不具合を防止できるようにした洗浄方法お
よび洗浄装置、並びにこの洗浄方法や洗浄装置で洗浄し
た機能液滴吐出ヘッドを用いた液晶表示装置の製造方
法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方
法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方
法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、
スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方
法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供す
ることをその課題としている。
出ヘッド３内に保存液を充填しておいても、時間が経つ
と保存液中の不純物が析出して、目詰まりの原因になる
ことがある。ここで、機能液滴吐出ヘッド３内の保存液
を吸引キャップ１０６により単純に吸引するだけでは、
圧力室３ｈのコーナ部等に保存液が残留し易く、吐出ノ
ズル３ｆの目詰まりを確実に防止することはできない。
また、保存液は一般に水溶性であり、機能液の吐出時に
残留保存液により機能液が分離して、吐出不良を生ずる
こともある。本発明は、以上の点に鑑み、機能液滴吐出
ヘッドを確実に洗浄して、その後の目詰まりや機能液の
分離といった不具合を防止できるようにした洗浄方法お
よび洗浄装置、並びにこの洗浄方法や洗浄装置で洗浄し
た機能液滴吐出ヘッドを用いた液晶表示装置の製造方
法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方
法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方
法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、
スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方
法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供す
ることをその課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄方法は、機
能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から吐出ノズルに至る
ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法
であって、純水をヘッド内流路に通水してこれを洗浄す
る純水洗浄工程と、純水洗浄工程の後、アルコールをヘ
ッド内流路に通液してこれを洗浄するアルコール洗浄工
程と、アルコール洗浄工程の後、機能液の溶剤をヘッド
内流路に通液してこれを洗浄する溶剤洗浄工程とを備え
たことを特徴とする。
能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から吐出ノズルに至る
ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法
であって、純水をヘッド内流路に通水してこれを洗浄す
る純水洗浄工程と、純水洗浄工程の後、アルコールをヘ
ッド内流路に通液してこれを洗浄するアルコール洗浄工
程と、アルコール洗浄工程の後、機能液の溶剤をヘッド
内流路に通液してこれを洗浄する溶剤洗浄工程とを備え
たことを特徴とする。
【０００９】この構成によれば、ヘッド内流路の保存液
等が純水洗浄工程でほぼ洗い落とされ、引き続くアルコ
ール洗浄工程と溶剤洗浄工程とでヘッド内流路を完全に
洗浄でき、更に、溶剤洗浄工程を最後に行うことによ
り、その後の機能液の供給吐出時にヘッド内流路で機能
液の顔料と溶剤が分離するといった不具合も生じない。
ここで、純水洗浄工程に続いて溶剤洗浄工程を実行する
と、ヘッド内流路に水が残留し易くなるが、本発明で
は、中間工程として水と溶剤との両方に対し親和性の高
いアルコールによる洗浄を行うため、ヘッド内流路に水
が残留することはなく、最後に残るのは溶剤だけにな
り、機能液の吐出不良を生ずることはない。
等が純水洗浄工程でほぼ洗い落とされ、引き続くアルコ
ール洗浄工程と溶剤洗浄工程とでヘッド内流路を完全に
洗浄でき、更に、溶剤洗浄工程を最後に行うことによ
り、その後の機能液の供給吐出時にヘッド内流路で機能
液の顔料と溶剤が分離するといった不具合も生じない。
ここで、純水洗浄工程に続いて溶剤洗浄工程を実行する
と、ヘッド内流路に水が残留し易くなるが、本発明で
は、中間工程として水と溶剤との両方に対し親和性の高
いアルコールによる洗浄を行うため、ヘッド内流路に水
が残留することはなく、最後に残るのは溶剤だけにな
り、機能液の吐出不良を生ずることはない。
【００１０】尚、洗浄後のヘッド内流路への異物の混入
を防止するため、ヘッド内流路に溶剤を充填する溶剤充
填工程を実行することが望ましい。この場合、溶剤洗浄
工程の最後に溶剤の通液を停止することで溶剤の充填を
行うようにすれば、溶剤充填工程のための時間を別途確
保せずに済み、作業能率が向上する。
を防止するため、ヘッド内流路に溶剤を充填する溶剤充
填工程を実行することが望ましい。この場合、溶剤洗浄
工程の最後に溶剤の通液を停止することで溶剤の充填を
行うようにすれば、溶剤充填工程のための時間を別途確
保せずに済み、作業能率が向上する。
【００１１】ところで、純水、アルコール、溶剤といっ
た洗浄液を一定流速の定常流として流すと、ヘッド内流
路の壁面近傍に滞留層が生成され、洗浄効果が低下す
る。これに対し、通液する洗浄液の流速を緩急させれ
ば、上記滞留層の生成が抑制され、洗浄効果が向上す
る。通液する洗浄液に気泡を混入させることによって
も、滞留層の生成を抑制して洗浄効果を向上できる。
た洗浄液を一定流速の定常流として流すと、ヘッド内流
路の壁面近傍に滞留層が生成され、洗浄効果が低下す
る。これに対し、通液する洗浄液の流速を緩急させれ
ば、上記滞留層の生成が抑制され、洗浄効果が向上す
る。通液する洗浄液に気泡を混入させることによって
も、滞留層の生成を抑制して洗浄効果を向上できる。
【００１２】また、ランニングコストの低減を図るに
は、洗浄液の流路を閉回路とし、洗浄液を循環使用する
ことが望ましい。但し、洗浄初期工程では洗浄液が汚れ
易く、洗浄液を循環使用すると、ヘッド内流路の壁面に
汚れが再付着する。そこで、洗浄初期工程たる純水洗浄
工程では純水を循環使用せずに洗浄を行うが、純水は低
コストであって、このようにしてもランニングコストは
さほど増加しない。換言すれば、最初に純水洗浄工程を
行うことにより洗浄効果を向上させつつランニングコス
トの低減を図ることができる。
は、洗浄液の流路を閉回路とし、洗浄液を循環使用する
ことが望ましい。但し、洗浄初期工程では洗浄液が汚れ
易く、洗浄液を循環使用すると、ヘッド内流路の壁面に
汚れが再付着する。そこで、洗浄初期工程たる純水洗浄
工程では純水を循環使用せずに洗浄を行うが、純水は低
コストであって、このようにしてもランニングコストは
さほど増加しない。換言すれば、最初に純水洗浄工程を
行うことにより洗浄効果を向上させつつランニングコス
トの低減を図ることができる。
【００１３】上記本発明の洗浄方法の実施に用いる本発
明の洗浄装置は、機能液導入口に接続される導入口接続
アタッチメントと、吐出ノズルに接続されるノズル接続
アタッチメントと、導入口接続アタッチメントおよびノ
ズル接続アタッチメントを介して、ヘッド内流路に純
水、アルコールおよび機能液の溶剤を、個々に通液する
洗浄液供給手段と、洗浄液供給手段を制御する制御手段
とを備えたことを特徴とする。そして、制御手段により
洗浄液供給手段を制御して、純水、アルコールおよび溶
剤の順で通液し、純水洗浄工程、アルコール洗浄工程お
よび溶剤洗浄工程を順に実行する。尚、アルコール、溶
剤は引火性があり、安全性を確保するため、制御手段は
洗浄液供給手段を空気圧で制御するように構成すること
が望ましい。
明の洗浄装置は、機能液導入口に接続される導入口接続
アタッチメントと、吐出ノズルに接続されるノズル接続
アタッチメントと、導入口接続アタッチメントおよびノ
ズル接続アタッチメントを介して、ヘッド内流路に純
水、アルコールおよび機能液の溶剤を、個々に通液する
洗浄液供給手段と、洗浄液供給手段を制御する制御手段
とを備えたことを特徴とする。そして、制御手段により
洗浄液供給手段を制御して、純水、アルコールおよび溶
剤の順で通液し、純水洗浄工程、アルコール洗浄工程お
よび溶剤洗浄工程を順に実行する。尚、アルコール、溶
剤は引火性があり、安全性を確保するため、制御手段は
洗浄液供給手段を空気圧で制御するように構成すること
が望ましい。
【００１４】また、洗浄液供給手段は、流入パイプを介
して導入口接続アタッチメントに接続される純水タン
ク、アルコールタンクおよび溶剤タンクと、流出パイプ
を介してノズル接続アタッチメントに接続される吸引ポ
ンプとを有するものに構成すれば良い。これによれば、
各タンク内の純水やアルコールや溶剤を、流入パイプと
導入口接続アタッチメントと機能液滴吐出ヘッドとノズ
ル接続アタッチメントと流出パイプとを介して吸引ポン
プで吸引し、ヘッド内流路に純水やアルコールや溶剤を
通液できる。
して導入口接続アタッチメントに接続される純水タン
ク、アルコールタンクおよび溶剤タンクと、流出パイプ
を介してノズル接続アタッチメントに接続される吸引ポ
ンプとを有するものに構成すれば良い。これによれば、
各タンク内の純水やアルコールや溶剤を、流入パイプと
導入口接続アタッチメントと機能液滴吐出ヘッドとノズ
ル接続アタッチメントと流出パイプとを介して吸引ポン
プで吸引し、ヘッド内流路に純水やアルコールや溶剤を
通液できる。
【００１５】この場合、流入パイプの上流側で相互に合
流接続する、純水タンクに連通する純水供給パイプ、ア
ルコールタンクに連通するアルコール供給パイプおよび
溶剤タンクに連通する溶剤供給パイプを設け、これら純
水供給パイプ、アルコール供給パイプおよび溶媒供給パ
イプに、前記制御手段により選択制御される流入側開閉
弁をそれぞれ介設すれば、吸引ポンプが単一であって
も、流入側開閉弁を選択的に開弁することにより純水、
アルコールおよび溶剤を個々に通液することができ、構
造の簡素化を図れる。
流接続する、純水タンクに連通する純水供給パイプ、ア
ルコールタンクに連通するアルコール供給パイプおよび
溶剤タンクに連通する溶剤供給パイプを設け、これら純
水供給パイプ、アルコール供給パイプおよび溶媒供給パ
イプに、前記制御手段により選択制御される流入側開閉
弁をそれぞれ介設すれば、吸引ポンプが単一であって
も、流入側開閉弁を選択的に開弁することにより純水、
アルコールおよび溶剤を個々に通液することができ、構
造の簡素化を図れる。
【００１６】また、吸引ポンプの吐出側に、排水系に連
通する純水排水パイプ、アルコールタンクに連通するア
ルコール回収パイプおよび溶剤タンクに連通する溶剤回
収パイプを分岐接続し、これら純水排水パイプ、アルコ
ール回収パイプおよび溶媒回収パイプに、制御手段によ
り選択制御される流出側開閉弁をそれぞれ介設すれば、
これら流出側開閉弁を選択的に開弁することにより、吸
引ポンプで吸引された洗浄後の純水は排水し、洗浄後の
アルコールや溶剤は対応するタンクに回収できる。即
ち、アルコールや溶剤の流路を閉回路化してアルコール
や溶剤を循環使用することができる。尚、純水タンクに
は、純水の供給源に連通する補給水パイプを接続し、排
水で減少する純水を補給できるようにする。
通する純水排水パイプ、アルコールタンクに連通するア
ルコール回収パイプおよび溶剤タンクに連通する溶剤回
収パイプを分岐接続し、これら純水排水パイプ、アルコ
ール回収パイプおよび溶媒回収パイプに、制御手段によ
り選択制御される流出側開閉弁をそれぞれ介設すれば、
これら流出側開閉弁を選択的に開弁することにより、吸
引ポンプで吸引された洗浄後の純水は排水し、洗浄後の
アルコールや溶剤は対応するタンクに回収できる。即
ち、アルコールや溶剤の流路を閉回路化してアルコール
や溶剤を循環使用することができる。尚、純水タンクに
は、純水の供給源に連通する補給水パイプを接続し、排
水で減少する純水を補給できるようにする。
【００１７】更に、流入パイプまたは流出パイプには、
通液する純水、アルコールおよび溶剤の流速を緩急させ
る洗浄促進弁を介設することが望ましい。上記の如く吸
引ポンプを用いると、洗浄促進弁を単純な開閉式の弁で
構成しても、閉弁時に吸引ポンプの吸引力により発生す
る負圧の影響で開弁時に流速がピーク的に増加し、流速
に大きな緩急変化を付けられ、洗浄効果が向上する。ま
た、流入パイプにエアーパイプを接続することにより、
通液する純水、アルコールおよび溶剤に気泡を混入し
て、洗浄効果を向上することもできる。この場合、気泡
の混入を制御し得るよう、エアーパイプに気泡混入弁を
介設しておくことが望ましい。
通液する純水、アルコールおよび溶剤の流速を緩急させ
る洗浄促進弁を介設することが望ましい。上記の如く吸
引ポンプを用いると、洗浄促進弁を単純な開閉式の弁で
構成しても、閉弁時に吸引ポンプの吸引力により発生す
る負圧の影響で開弁時に流速がピーク的に増加し、流速
に大きな緩急変化を付けられ、洗浄効果が向上する。ま
た、流入パイプにエアーパイプを接続することにより、
通液する純水、アルコールおよび溶剤に気泡を混入し
て、洗浄効果を向上することもできる。この場合、気泡
の混入を制御し得るよう、エアーパイプに気泡混入弁を
介設しておくことが望ましい。
【００１８】ところで、キャリッジに複数の機能液滴吐
出ヘッドを搭載したヘッドユニットに適用される洗浄装
置では、導入口接続アタッチメントおよびノズル接続ア
タッチメントを、ヘッドユニットの複数の機能液滴吐出
ヘッドに対応する複数の接続部を備えるものに構成し、
複数の機能液滴吐出ヘッドに対する導入口接続アタッチ
メントやノズル接続アタッチメントの接続作業を纏めて
簡便に行うことができるようにする。この場合、導入口
接続アタッチメントには、該導入口接続アタッチメント
の複数の接続部に個別に連通する複数本の個別流入パイ
プを接続し、ノズル接続アタッチメントには、ノズル接
続アタッチメントの複数の接続部に個別に連通する複数
本の個別流出パイプを接続するが、配管構造をすっきり
させるには、複数本の個別流入パイプに流入側マニホー
ルドを介して流入パイプを接続すると共に、複数本の個
別流出パイプに流出側マニホールドを介して流出パイプ
を接続することが望ましい。
出ヘッドを搭載したヘッドユニットに適用される洗浄装
置では、導入口接続アタッチメントおよびノズル接続ア
タッチメントを、ヘッドユニットの複数の機能液滴吐出
ヘッドに対応する複数の接続部を備えるものに構成し、
複数の機能液滴吐出ヘッドに対する導入口接続アタッチ
メントやノズル接続アタッチメントの接続作業を纏めて
簡便に行うことができるようにする。この場合、導入口
接続アタッチメントには、該導入口接続アタッチメント
の複数の接続部に個別に連通する複数本の個別流入パイ
プを接続し、ノズル接続アタッチメントには、ノズル接
続アタッチメントの複数の接続部に個別に連通する複数
本の個別流出パイプを接続するが、配管構造をすっきり
させるには、複数本の個別流入パイプに流入側マニホー
ルドを介して流入パイプを接続すると共に、複数本の個
別流出パイプに流出側マニホールドを介して流出パイプ
を接続することが望ましい。
【００１９】また、ヘッドユニットに適用される洗浄装
置において、複数の機能液滴吐出ヘッドに共通の洗浄液
流路となる流入パイプや流出パイプに洗浄促進弁を介設
して、純水やアルコールや溶剤といった洗浄液の流速を
緩急させることも可能であるが、これでは機能液滴吐出
ヘッド毎に洗浄液の流速変化にばらつきを生じ易くな
る。そのため、各個別流入パイプまたは各個別流出パイ
プに洗浄促進弁を介設し、各機能液滴吐出ヘッドに通液
する洗浄液の流速を各洗浄促進弁で個別に緩急変化し得
るようにすることが望ましい。同様に、各個別流入パイ
プにエアーパイプを接続し、各エアーパイプに気泡混入
弁を介設することが望ましい。この場合、各個別流入パ
イプおよび／または各個別流出パイプが液流を外部から
視認可能な樹脂チューブで構成されていれば、気泡の混
入具合を目視確認でき、有利である。また、各個別流入
パイプを、流入側マニホールドに接続される上流側部分
と、導入口接続アタッチメントに接続される下流側部分
とに分離し、キャリッジに各個別流入パイプの上流側部
分を各個別流入パイプの下流側部分に接続するワンタッ
チジョイントを搭載しておけば、流入側マニホールドと
導入口接続アタッチメントとの間の配管作業が容易にな
ると共に、描画装置にヘッドユニットを投入したとき
に、描画装置の機能液用配管部材をこのワンタッチジョ
イントを介して導入口接続アタッチメントに接続できる
ため、描画装置にワンタッチジョイントを設ける必要が
なく、コストダウンを図る上で有利である。
置において、複数の機能液滴吐出ヘッドに共通の洗浄液
流路となる流入パイプや流出パイプに洗浄促進弁を介設
して、純水やアルコールや溶剤といった洗浄液の流速を
緩急させることも可能であるが、これでは機能液滴吐出
ヘッド毎に洗浄液の流速変化にばらつきを生じ易くな
る。そのため、各個別流入パイプまたは各個別流出パイ
プに洗浄促進弁を介設し、各機能液滴吐出ヘッドに通液
する洗浄液の流速を各洗浄促進弁で個別に緩急変化し得
るようにすることが望ましい。同様に、各個別流入パイ
プにエアーパイプを接続し、各エアーパイプに気泡混入
弁を介設することが望ましい。この場合、各個別流入パ
イプおよび／または各個別流出パイプが液流を外部から
視認可能な樹脂チューブで構成されていれば、気泡の混
入具合を目視確認でき、有利である。また、各個別流入
パイプを、流入側マニホールドに接続される上流側部分
と、導入口接続アタッチメントに接続される下流側部分
とに分離し、キャリッジに各個別流入パイプの上流側部
分を各個別流入パイプの下流側部分に接続するワンタッ
チジョイントを搭載しておけば、流入側マニホールドと
導入口接続アタッチメントとの間の配管作業が容易にな
ると共に、描画装置にヘッドユニットを投入したとき
に、描画装置の機能液用配管部材をこのワンタッチジョ
イントを介して導入口接続アタッチメントに接続できる
ため、描画装置にワンタッチジョイントを設ける必要が
なく、コストダウンを図る上で有利である。
【００２０】また、洗浄装置に、ノズル接続アタッチメ
ントを支持するアタッチメント支持部材と、機能液滴吐
出ヘッドを搭載したキャリッジをアタッチメント支持部
材で支持されるノズル接続アタッチメントの上に重ねる
ようにして支持するキャリッジ支持部材とを設け、キャ
リッジ支持部材にキャリッジを支持させることで機能液
滴吐出ヘッドの吐出ノズルがノズル接続アタッチメント
に接続されるようにしておけば、機能液滴吐出ヘッドに
対するノズル接続アタッチメントの接続作業を別途行わ
ずに済み、作業能率が向上する。
ントを支持するアタッチメント支持部材と、機能液滴吐
出ヘッドを搭載したキャリッジをアタッチメント支持部
材で支持されるノズル接続アタッチメントの上に重ねる
ようにして支持するキャリッジ支持部材とを設け、キャ
リッジ支持部材にキャリッジを支持させることで機能液
滴吐出ヘッドの吐出ノズルがノズル接続アタッチメント
に接続されるようにしておけば、機能液滴吐出ヘッドに
対するノズル接続アタッチメントの接続作業を別途行わ
ずに済み、作業能率が向上する。
【００２１】上記本発明の洗浄方法や洗浄装置によれ
ば、機能液滴吐出ヘッドを良好に洗浄でき、目詰まり等
による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズルから機能
液を確実に精度良く吐出できる。そのため、本発明の洗
浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを
用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子
放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々
の製品を精度良く製造でき、更に、スペーサ形成方法、
金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法
および光拡散体形成方法にも本発明の洗浄方法や洗浄装
置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いることがで
きる。
ば、機能液滴吐出ヘッドを良好に洗浄でき、目詰まり等
による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズルから機能
液を確実に精度良く吐出できる。そのため、本発明の洗
浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを
用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子
放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々
の製品を精度良く製造でき、更に、スペーサ形成方法、
金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法
および光拡散体形成方法にも本発明の洗浄方法や洗浄装
置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いることがで
きる。
【００２２】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の
機能液滴吐出ヘッドを用い、カラーフィルタの基板上に
多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製
造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフ
ィルタ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板
に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出し
て多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とす
る。
した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の
機能液滴吐出ヘッドを用い、カラーフィルタの基板上に
多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製
造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフ
ィルタ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板
に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出し
て多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とす
る。
【００２３】本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の
機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上の多数の画素ピクセ
ルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造
方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光
材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し
相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥ
Ｌ発光層を形成することを特徴とする。
した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の
機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上の多数の画素ピクセ
ルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造
方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光
材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し
相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥ
Ｌ発光層を形成することを特徴とする。
【００２４】本発明の電子放出装置の製造方法は、上記
した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の
機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上に多数の蛍光体を形
成する電子放出装置の製造方法であって、複数の機能液
滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液
滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、蛍光材料を
選択的に吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴と
する。
した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の
機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上に多数の蛍光体を形
成する電子放出装置の製造方法であって、複数の機能液
滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液
滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、蛍光材料を
選択的に吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴と
する。
【００２５】本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記し
た本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機
能液滴吐出ヘッドを用い、背面基板上の多数の凹部にそ
れぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
て、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
し、複数の機能液滴吐出ヘッドを背面基板に対し相対的
に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を
形成することを特徴とする。
た本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機
能液滴吐出ヘッドを用い、背面基板上の多数の凹部にそ
れぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
て、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
し、複数の機能液滴吐出ヘッドを背面基板に対し相対的
に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を
形成することを特徴とする。
【００２６】本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、
上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複
数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上の多数の凹部に
泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であっ
て、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導
入し、複数の液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査
し、泳動体材料を選択的に吐出して多数の泳動体を形成
することを特徴とする。
上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複
数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上の多数の凹部に
泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であっ
て、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導
入し、複数の液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査
し、泳動体材料を選択的に吐出して多数の泳動体を形成
することを特徴とする。
【００２７】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数
の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数のフィルタ
エレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカ
ラーフィルタの製造方法であって、複数の機能液滴吐出
ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、複数の機能液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料
を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成す
ることを特徴とする。
記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数
の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数のフィルタ
エレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカ
ラーフィルタの製造方法であって、複数の機能液滴吐出
ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、複数の機能液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料
を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成す
ることを特徴とする。
【００２８】またこの場合、多数のフィルタエレメント
およびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成されて
おり、フィルタエレメントを形成した後に、複数の液滴
吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、複数
の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、コ
ーティング材料を選択的に吐出してオーバーコート膜を
形成することが、好ましい。
およびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成されて
おり、フィルタエレメントを形成した後に、複数の液滴
吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、複数
の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、コ
ーティング材料を選択的に吐出してオーバーコート膜を
形成することが、好ましい。
【００２９】本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した
本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能
液滴吐出ヘッドを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の
絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方
法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材
料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相
対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ
発光層を形成することを特徴とする。
本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能
液滴吐出ヘッドを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の
絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方
法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材
料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相
対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ
発光層を形成することを特徴とする。
【００３０】またこの場合、多数のＥＬ発光層と基板と
の間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成
されており、バンクを形成する前に、複数の機能液滴吐
出ヘッドに液状電極材料を導入し、複数の機能液滴吐出
ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選
択的に吐出して多数の画素電極を形成することが、好ま
しい。
の間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成
されており、バンクを形成する前に、複数の機能液滴吐
出ヘッドに液状電極材料を導入し、複数の機能液滴吐出
ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選
択的に吐出して多数の画素電極を形成することが、好ま
しい。
【００３１】さらにこの場合、多数のＥＬ発光層および
バンクを覆うように対向電極が形成されており、ＥＬ発
光層を形成した後に、複数の機能液滴吐出ヘッドに液状
電極材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に
対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して
対向電極を形成することが、好ましい。
バンクを覆うように対向電極が形成されており、ＥＬ発
光層を形成した後に、複数の機能液滴吐出ヘッドに液状
電極材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に
対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して
対向電極を形成することが、好ましい。
【００３２】本発明のスペーサ形成方法は、上記した本
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、２枚の基板間に微小なセルギャッ
プを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペ
ーサ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドにス
ペーサを構成する粒子材料を導入し、複数の機能液滴吐
出ヘッドを少なくとも一方の基板に対し相対的に走査
し、粒子材料を選択的に吐出して基板上にスペーサを形
成することを特徴とする。
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、２枚の基板間に微小なセルギャッ
プを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペ
ーサ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドにス
ペーサを構成する粒子材料を導入し、複数の機能液滴吐
出ヘッドを少なくとも一方の基板に対し相対的に走査
し、粒子材料を選択的に吐出して基板上にスペーサを形
成することを特徴とする。
【００３３】本発明の金属配線形成方法は、上記した本
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、基板上に金属配線を形成する金属
配線形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに液
状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板
に対し相対的に走査し、液状金属材料を選択的に吐出し
て金属配線を形成することを特徴とする。
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、基板上に金属配線を形成する金属
配線形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに液
状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板
に対し相対的に走査し、液状金属材料を選択的に吐出し
て金属配線を形成することを特徴とする。
【００３４】本発明のレンズ形成方法は、上記した本発
明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴
吐出ヘッドを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形
成するレンズ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘ
ッドにレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、レンズ材料を選択的に吐
出して多数のマイクロレンズを形成することを特徴とす
る。
明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴
吐出ヘッドを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形
成するレンズ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘ
ッドにレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、レンズ材料を選択的に吐
出して多数のマイクロレンズを形成することを特徴とす
る。
【００３５】本発明のレジスト形成方法は、上記した本
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、基板上に任意形状のレジストを形
成するレジスト形成方法であって、複数の機能液滴吐出
ヘッドにレジスト材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘ
ッドを基板に対し相対的に走査し、レジスト材料を選択
的に吐出してレジストを形成することを特徴とする。
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、基板上に任意形状のレジストを形
成するレジスト形成方法であって、複数の機能液滴吐出
ヘッドにレジスト材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘ
ッドを基板に対し相対的に走査し、レジスト材料を選択
的に吐出してレジストを形成することを特徴とする。
【００３６】本発明の光拡散体形成方法は、上記した本
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数の光拡散体を形成す
る光拡散体形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッ
ドに光拡散材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを
基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を選択的に吐出
して多数の光拡散体を形成することを特徴とする。
発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液
滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数の光拡散体を形成す
る光拡散体形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッ
ドに光拡散材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを
基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を選択的に吐出
して多数の光拡散体を形成することを特徴とする。
【００３７】
【発明の実施の形態】以下、図１ないし図３に示したヘ
ッドユニット１のキャリッジ２に搭載されている複数の
機能液滴吐出ヘッド３の洗浄に本発明を適用した実施形
態について説明する。
ッドユニット１のキャリッジ２に搭載されている複数の
機能液滴吐出ヘッド３の洗浄に本発明を適用した実施形
態について説明する。
【００３８】図８および図９は、上記機能液滴吐出ヘッ
ド３の洗浄を行う洗浄装置Ｂの全体構造を示している。
この洗浄装置Ｂは、図４に示した描画装置Ａの近傍に配
置されるもので、架台２００とその上方のカバー２０１
とを備えている。架台２００内には、図１０および図１
１に示す如く、純水を入れる純水タンク２０２と、エタ
ノール等のアルコールを入れるアルコールタンク２０３
と、描画装置Ａで機能液滴吐出ヘッド３から吐出させる
機能液の溶剤を入れる溶剤タンク２０４とが設けられて
いる。そして、図５ないし図７に示した機能液滴吐出ヘ
ッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るヘ
ッド内流路に、洗浄液たる上記タンク２０２，２０３，
２０４からの純水、アルコール、溶剤を順に通液してヘ
ッド内流路の洗浄を行う。そのために、洗浄装置Ｂに
は、機能液導入口３ａに接続される先に説明した導入口
接続アタッチメント５および吐出ノズル３ｆに接続され
るノズル接続アタッチメント７（後述する）を介して、
ヘッド内流路に純水、アルコールおよび溶剤を個々に通
液する洗浄液供給手段と、洗浄液供給手段を制御する制
御手段とが設けられている。
ド３の洗浄を行う洗浄装置Ｂの全体構造を示している。
この洗浄装置Ｂは、図４に示した描画装置Ａの近傍に配
置されるもので、架台２００とその上方のカバー２０１
とを備えている。架台２００内には、図１０および図１
１に示す如く、純水を入れる純水タンク２０２と、エタ
ノール等のアルコールを入れるアルコールタンク２０３
と、描画装置Ａで機能液滴吐出ヘッド３から吐出させる
機能液の溶剤を入れる溶剤タンク２０４とが設けられて
いる。そして、図５ないし図７に示した機能液滴吐出ヘ
ッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るヘ
ッド内流路に、洗浄液たる上記タンク２０２，２０３，
２０４からの純水、アルコール、溶剤を順に通液してヘ
ッド内流路の洗浄を行う。そのために、洗浄装置Ｂに
は、機能液導入口３ａに接続される先に説明した導入口
接続アタッチメント５および吐出ノズル３ｆに接続され
るノズル接続アタッチメント７（後述する）を介して、
ヘッド内流路に純水、アルコールおよび溶剤を個々に通
液する洗浄液供給手段と、洗浄液供給手段を制御する制
御手段とが設けられている。
【００３９】ノズル接続アタッチメント７は、図１５に
示す如く、支持板７０に、機能液滴吐出ヘッド３に対す
る接続部となるキャップ７１を装着して成るもので、機
能液滴吐出ヘッド３がヘッドユニット１に６個宛２列に
配設されているのに合わせて、キャップ７１を支持板７
０に６個宛２列に配設している。各キャップ７１は、図
１６に示す如く、支持板７０に対する取付けベース７２
と、取付けベース７２にばね７３で上方に付勢して支持
させたキャップ本体７４と、キャップ本体７４の上面の
窪み７４ａの開口部周縁に装着したパッキン７５とを備
えており、機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成プレート
３ｅの周辺部にパッキン７５が密着する。キャップ本体
７４には、窪み７４ａに連通するエルボ管７６が連結さ
れており、ノズル形成プレート３ｅに形成した多数の吐
出ノズル３ｆがキャップ本体７４を介してエルボ管７６
に接続される。尚、本実施形態では、キャップ７１を、
描画装置Ａに設ける吸引キャップ１０６の流用品で構成
しているため、窪み７４ａに多孔質の吸液板７７が装着
され、また、窪み７４ａに連通する大気開放弁７８が設
けられているが、これらは必要不可欠ではない。
示す如く、支持板７０に、機能液滴吐出ヘッド３に対す
る接続部となるキャップ７１を装着して成るもので、機
能液滴吐出ヘッド３がヘッドユニット１に６個宛２列に
配設されているのに合わせて、キャップ７１を支持板７
０に６個宛２列に配設している。各キャップ７１は、図
１６に示す如く、支持板７０に対する取付けベース７２
と、取付けベース７２にばね７３で上方に付勢して支持
させたキャップ本体７４と、キャップ本体７４の上面の
窪み７４ａの開口部周縁に装着したパッキン７５とを備
えており、機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成プレート
３ｅの周辺部にパッキン７５が密着する。キャップ本体
７４には、窪み７４ａに連通するエルボ管７６が連結さ
れており、ノズル形成プレート３ｅに形成した多数の吐
出ノズル３ｆがキャップ本体７４を介してエルボ管７６
に接続される。尚、本実施形態では、キャップ７１を、
描画装置Ａに設ける吸引キャップ１０６の流用品で構成
しているため、窪み７４ａに多孔質の吸液板７７が装着
され、また、窪み７４ａに連通する大気開放弁７８が設
けられているが、これらは必要不可欠ではない。
【００４０】前記架台２００の上面に装着する天板２０
５には、図１０に示す如く、比較的短い柱状のアタッチ
メント支持部材２０６が前後（Ｙ軸方向）に離間して左
右（Ｘ軸方向）各一対に立設されると共に、比較的長い
柱状のキャリッジ支持部材２０７が左右に離間して前後
各３本立設されている。そして、ノズル接続アタッチメ
ント７の支持板７０の前後に左右各一対に形成した位置
決め孔７０ａをアタッチメント支持部材２０６の上端部
に嵌合させることにより、ノズル接続アタッチメント７
をアタッチメント支持部材２０６で位置決めして支持
し、また、ヘッドユニット１のキャリッジ２の左右の各
支持部材２ａ，２ａに前後３個形成した位置決め孔２ｄ
をキャリッジ支持部材２０７の上端部に嵌合させること
により、キャリッジ２、即ち、ヘッドユニット１をキャ
リッジ支持部材２０７で位置決めして支持し得るように
した。この状態では、ノズル接続アタッチメント７の上
にヘッドユニット１が重なり、上記キャップ本体７４が
ばね７３の付勢力に抗して押し下げられ、機能液滴吐出
ヘッド３のノズル形成プレート３ｅの周辺部にキャップ
本体７４がパッキン７５を介して密着する。尚、機能液
滴吐出ヘッド３とキャップ７１との接続をより確実にす
るため、キャリッジ２をキャリッジ支持部材２０７の上
端に螺合するねじ２０７ａで上方から押さえるようにし
ている。
５には、図１０に示す如く、比較的短い柱状のアタッチ
メント支持部材２０６が前後（Ｙ軸方向）に離間して左
右（Ｘ軸方向）各一対に立設されると共に、比較的長い
柱状のキャリッジ支持部材２０７が左右に離間して前後
各３本立設されている。そして、ノズル接続アタッチメ
ント７の支持板７０の前後に左右各一対に形成した位置
決め孔７０ａをアタッチメント支持部材２０６の上端部
に嵌合させることにより、ノズル接続アタッチメント７
をアタッチメント支持部材２０６で位置決めして支持
し、また、ヘッドユニット１のキャリッジ２の左右の各
支持部材２ａ，２ａに前後３個形成した位置決め孔２ｄ
をキャリッジ支持部材２０７の上端部に嵌合させること
により、キャリッジ２、即ち、ヘッドユニット１をキャ
リッジ支持部材２０７で位置決めして支持し得るように
した。この状態では、ノズル接続アタッチメント７の上
にヘッドユニット１が重なり、上記キャップ本体７４が
ばね７３の付勢力に抗して押し下げられ、機能液滴吐出
ヘッド３のノズル形成プレート３ｅの周辺部にキャップ
本体７４がパッキン７５を介して密着する。尚、機能液
滴吐出ヘッド３とキャップ７１との接続をより確実にす
るため、キャリッジ２をキャリッジ支持部材２０７の上
端に螺合するねじ２０７ａで上方から押さえるようにし
ている。
【００４１】洗浄液供給手段の回路構成は図１７に示す
通りであり、導入口接続アタッチメント５に接続される
流入パイプ２０８の上流側に、純水タンク２０２に連通
する純水供給パイプ２０２ａと、アルコールタンク２０
３に連通するアルコール供給パイプ２０３ａと、溶剤タ
ンク２０４に連通する溶剤供給パイプ２０４ａとがマニ
ホールド２０９を介して合流接続されている。そして、
純水供給パイプ２０２ａ、アルコール供給パイプ２０３
ａおよび溶剤供給パイプ２０４ａに、それぞれ流入側開
閉弁２１０，２１１，２１２を介設している。尚、流入
パイプ２０８には、液圧センサ２１３とその近傍の第１
大気開放弁２１４とが接続され、更に、マニホールド２
０９を介して第２大気開放弁２１５が接続されている。
通りであり、導入口接続アタッチメント５に接続される
流入パイプ２０８の上流側に、純水タンク２０２に連通
する純水供給パイプ２０２ａと、アルコールタンク２０
３に連通するアルコール供給パイプ２０３ａと、溶剤タ
ンク２０４に連通する溶剤供給パイプ２０４ａとがマニ
ホールド２０９を介して合流接続されている。そして、
純水供給パイプ２０２ａ、アルコール供給パイプ２０３
ａおよび溶剤供給パイプ２０４ａに、それぞれ流入側開
閉弁２１０，２１１，２１２を介設している。尚、流入
パイプ２０８には、液圧センサ２１３とその近傍の第１
大気開放弁２１４とが接続され、更に、マニホールド２
０９を介して第２大気開放弁２１５が接続されている。
【００４２】導入口接続アタッチメント５には、その複
数の配管アダプタ５ｃに個別に連通する複数本の個別流
入パイプ２１６が接続されており、これら複数本の個別
流入パイプ２１６に流入側マニホールド２１７を介して
前記流入パイプ２０８が接続されている。尚、導入口接
続アタッチメント５は左右一対に設けられているため、
流入側マニホールド２１７も左右一対に設け、流入パイ
プ２０８をその下流側のマニホールド２１８で２つのパ
イプ２０８ａ，２０８ｂに分岐して、一方のパイプ２０
８ａを一方の流入側マニホールド２１７、他方のパイプ
２０８ｂを他方の流入側マニホールド２１７に接続して
いる。また、各１個の機能液滴吐出ヘッド３に各２個の
配管アダプタ５ｃ，５ｃが接続されるため、各１本の個
別流入パイプ２１６をＹ字継ぎ手（図示せず）を介して
各２個の配管アダプタ５ｃ，５ｃに接続している。
数の配管アダプタ５ｃに個別に連通する複数本の個別流
入パイプ２１６が接続されており、これら複数本の個別
流入パイプ２１６に流入側マニホールド２１７を介して
前記流入パイプ２０８が接続されている。尚、導入口接
続アタッチメント５は左右一対に設けられているため、
流入側マニホールド２１７も左右一対に設け、流入パイ
プ２０８をその下流側のマニホールド２１８で２つのパ
イプ２０８ａ，２０８ｂに分岐して、一方のパイプ２０
８ａを一方の流入側マニホールド２１７、他方のパイプ
２０８ｂを他方の流入側マニホールド２１７に接続して
いる。また、各１個の機能液滴吐出ヘッド３に各２個の
配管アダプタ５ｃ，５ｃが接続されるため、各１本の個
別流入パイプ２１６をＹ字継ぎ手（図示せず）を介して
各２個の配管アダプタ５ｃ，５ｃに接続している。
【００４３】また、各個別流入パイプ２１６には、洗浄
液たる純水、アルコールおよび溶剤の流速を緩急させる
開閉式の洗浄促進弁２１９が介設されている。更に、各
個別流入パイプ２１６に流入側マニホールド２１７を介
してエアーパイプ２２０を接続し、純水、アルコールお
よび溶剤に気泡を混入し得るようにしている。各エアー
パイプ２２０には、開閉式の気泡混入弁２２１と、手動
で操作する流量調整弁２２２とが介設されている。尚、
エアーパイプ２２０は、エアー源２２３に接続される左
右一対のエアーマニホールド２２４，２２４から複数本
宛分岐されており、左方のエアーマニホールド２２４か
ら分岐したエアーパイプ２２０を左方の流入側マニホー
ルド２１７に接続し、右方のエアーマニホールド２２４
から分岐したエアーパイプ２２０を右方の流入側マニホ
ールド２１７に接続している。また、個別流入パイプ２
１６は、洗浄促進弁２１９を介設した上流側部分と、配
管アダプタ５ｃに接続される下流側部分とに分断されて
おり、下流側部分を上流側部分にワンタッチジョイント
２１６ａを介して着脱自在に接続している。そして、洗
浄後は下流側部分を配管アダプタ５ｃに接続したまま上
流側部分から切り離し、描画装置Ａにヘッドユニット１
を投入したとき、描画装置Ａの機能液供給用の配管部材
に下流側部分を同様のワンタッチジョイントを介して簡
便に接続できるようにしている。
液たる純水、アルコールおよび溶剤の流速を緩急させる
開閉式の洗浄促進弁２１９が介設されている。更に、各
個別流入パイプ２１６に流入側マニホールド２１７を介
してエアーパイプ２２０を接続し、純水、アルコールお
よび溶剤に気泡を混入し得るようにしている。各エアー
パイプ２２０には、開閉式の気泡混入弁２２１と、手動
で操作する流量調整弁２２２とが介設されている。尚、
エアーパイプ２２０は、エアー源２２３に接続される左
右一対のエアーマニホールド２２４，２２４から複数本
宛分岐されており、左方のエアーマニホールド２２４か
ら分岐したエアーパイプ２２０を左方の流入側マニホー
ルド２１７に接続し、右方のエアーマニホールド２２４
から分岐したエアーパイプ２２０を右方の流入側マニホ
ールド２１７に接続している。また、個別流入パイプ２
１６は、洗浄促進弁２１９を介設した上流側部分と、配
管アダプタ５ｃに接続される下流側部分とに分断されて
おり、下流側部分を上流側部分にワンタッチジョイント
２１６ａを介して着脱自在に接続している。そして、洗
浄後は下流側部分を配管アダプタ５ｃに接続したまま上
流側部分から切り離し、描画装置Ａにヘッドユニット１
を投入したとき、描画装置Ａの機能液供給用の配管部材
に下流側部分を同様のワンタッチジョイントを介して簡
便に接続できるようにしている。
【００４４】洗浄装置Ｂには、更に、吸引ポンプ２２５
が設けられており、この吸引ポンプ２２５をノズル接続
アタッチメント７に流出パイプ２２６を介して接続して
いる。吸引ポンプ２２５は単一であって、その吐出側に
は、排水系に連通する純水排水パイプ２２７、アルコー
ルタンク２０３に連通するアルコール回収パイプ２０３
ｂおよび溶剤タンク２０４に連通する溶剤回収パイプ２
０４ｂが分岐接続されている。そして、純水排水パイプ
２２７、アルコール回収パイプ２０３ｂおよび溶剤回収
パイプ２０４ｂに、それぞれ流出側開閉弁２２８，２２
９，２３０を介設し、更に、アルコール回収パイプ２０
３ｂと溶剤回収パイプ２０４ｂとに、それぞれ再生フィ
ルタ２３１，２３２を介設している。また、純水タンク
２０２には、純水の供給源２３３に連通する補給水パイ
プ２０２ｂが接続されており、この補給水パイプ２０２
ｂに介設した開閉弁２３４により純水タンク２０２に純
水を補給できるようにしている。尚、本実施形態では、
純水排水パイプ２２７の分岐部の下流側に純水とそれ以
外の洗浄液との切り換えのための開閉弁２３５を設け、
その下流側でアルコール回収パイプ２０３ｂと溶剤回収
パイプ２０４ｂとを分岐している。
が設けられており、この吸引ポンプ２２５をノズル接続
アタッチメント７に流出パイプ２２６を介して接続して
いる。吸引ポンプ２２５は単一であって、その吐出側に
は、排水系に連通する純水排水パイプ２２７、アルコー
ルタンク２０３に連通するアルコール回収パイプ２０３
ｂおよび溶剤タンク２０４に連通する溶剤回収パイプ２
０４ｂが分岐接続されている。そして、純水排水パイプ
２２７、アルコール回収パイプ２０３ｂおよび溶剤回収
パイプ２０４ｂに、それぞれ流出側開閉弁２２８，２２
９，２３０を介設し、更に、アルコール回収パイプ２０
３ｂと溶剤回収パイプ２０４ｂとに、それぞれ再生フィ
ルタ２３１，２３２を介設している。また、純水タンク
２０２には、純水の供給源２３３に連通する補給水パイ
プ２０２ｂが接続されており、この補給水パイプ２０２
ｂに介設した開閉弁２３４により純水タンク２０２に純
水を補給できるようにしている。尚、本実施形態では、
純水排水パイプ２２７の分岐部の下流側に純水とそれ以
外の洗浄液との切り換えのための開閉弁２３５を設け、
その下流側でアルコール回収パイプ２０３ｂと溶剤回収
パイプ２０４ｂとを分岐している。
【００４５】前記ノズル接続アタッチメント７には，そ
の複数のキャップ７１に個別に連通する複数本の個別流
出パイプ２３６が接続されており、これら複数本の個別
流出パイプ２３６に流出側マニホールド２３７を介して
前記流出パイプ２２６が接続されている。尚、ノズル接
続アタッチメント７の複数のキャップ７１は左右２列に
分設されているため、流出側マニホールド２３７も左右
一対に設けており、左右の流出側マニホールド２３７，
２３７からのパイプ２３７ａ，２３７ａを中継マニホー
ルド２３８を介して流出パイプ２２６に合流接続してい
る。また、個別流出パイプ２３６は、一端がノズル接続
アタッチメント７の各キャップ７１のエルボ管７６に接
続され、他端が流出側マニホールド２３７にワンタッチ
ジョイント２３６ａを介して着脱自在に接続されてい
る。
の複数のキャップ７１に個別に連通する複数本の個別流
出パイプ２３６が接続されており、これら複数本の個別
流出パイプ２３６に流出側マニホールド２３７を介して
前記流出パイプ２２６が接続されている。尚、ノズル接
続アタッチメント７の複数のキャップ７１は左右２列に
分設されているため、流出側マニホールド２３７も左右
一対に設けており、左右の流出側マニホールド２３７，
２３７からのパイプ２３７ａ，２３７ａを中継マニホー
ルド２３８を介して流出パイプ２２６に合流接続してい
る。また、個別流出パイプ２３６は、一端がノズル接続
アタッチメント７の各キャップ７１のエルボ管７６に接
続され、他端が流出側マニホールド２３７にワンタッチ
ジョイント２３６ａを介して着脱自在に接続されてい
る。
【００４６】上記吸引ポンプ２２５は、空気圧で駆動さ
れるダイヤフラム式ポンプで構成され、また、流量調整
弁２２２を除く上記各弁２１０，２１１，２１２，２１
４，２１５，２１９，２２１，２２８，２２９，２３
０，２３４，２３５は全て空気圧で開閉制御されるよう
になっている。制御手段は、図示しないが、これら吸引
ポンプ２２５と弁２１０，２１１，２１２，２１４，２
１５，２１９，２２１，２２８，２２９，２３０，２３
４，２３５とを空気圧で制御するように構成されてい
る。このような空気圧制御方式を採用したことにより、
洗浄液としてアルコールや溶剤といった引火性のあるも
のを用いても、安全性である。
れるダイヤフラム式ポンプで構成され、また、流量調整
弁２２２を除く上記各弁２１０，２１１，２１２，２１
４，２１５，２１９，２２１，２２８，２２９，２３
０，２３４，２３５は全て空気圧で開閉制御されるよう
になっている。制御手段は、図示しないが、これら吸引
ポンプ２２５と弁２１０，２１１，２１２，２１４，２
１５，２１９，２２１，２２８，２２９，２３０，２３
４，２３５とを空気圧で制御するように構成されてい
る。このような空気圧制御方式を採用したことにより、
洗浄液としてアルコールや溶剤といった引火性のあるも
のを用いても、安全性である。
【００４７】ここで、吸引ポンプ２２５、流出側開閉弁
２２８，２２９，２３０および洗浄液切換用の開閉弁２
３５は、図８、図１０および図１１に示す如く、架台２
００の上部の天板２０５で覆われる部分に配置されてい
る。架台２００の上部には、更に、左右一対のエアーマ
ニホールド２２４，２２４が天板２０５を通してその上
方に露出するように配置されている。
２２８，２２９，２３０および洗浄液切換用の開閉弁２
３５は、図８、図１０および図１１に示す如く、架台２
００の上部の天板２０５で覆われる部分に配置されてい
る。架台２００の上部には、更に、左右一対のエアーマ
ニホールド２２４，２２４が天板２０５を通してその上
方に露出するように配置されている。
【００４８】図１２ないし図１４を参照して、流入側開
閉弁２１０，２１１，２１２、第２大気開放弁２１５、
マニホールド２０９，２１８および中継マニホールド２
３８は、架台２００の天板２０５上に、ヘッドユニット
１のセット場所よりも後方に位置するように配置され、
また、流入側マニホールド２１７、洗浄促進弁２１９、
気泡混入弁２２１、流量調整弁２２２、流出側マニホー
ルド２３７およびワンタッチジョイント２１６ａ，２３
６ａは、天板２０５上のヘッドユニット１のセット場所
の左右両側に配置されている。更に、ヘッドユニット１
のセット場所の左右両側には、導入口接続アタッチメン
ト５を載置可能な支持板２３９が設けられている。ここ
で、ワンタッチジョイント２１６ａは比較的上方位置に
配置されており、ワンタッチジョイント２１６ａと導入
口接続アタッチメント５の配管アダプタ５ｃとの間の配
管に用いる個別流入パイプ２１６は他の物に邪魔されず
に目視できる。そこで、液流を外部から視認可能な樹脂
チューブで個別流入パイプ２１６を構成し、洗浄時に洗
浄液の通液具合を目視確認できるようにしている。尚、
個別流出パイプ２３６が見やすい場所に配置されている
場合には、個別流出パイプ２３６を上記樹脂チューブで
構成しても良い。また、本実施形態では、各個別流入パ
イプ２１６に洗浄促進弁２１９を介設したが、各個別流
出パイプ２３６に洗浄促進弁２１９を介設しても良い。
閉弁２１０，２１１，２１２、第２大気開放弁２１５、
マニホールド２０９，２１８および中継マニホールド２
３８は、架台２００の天板２０５上に、ヘッドユニット
１のセット場所よりも後方に位置するように配置され、
また、流入側マニホールド２１７、洗浄促進弁２１９、
気泡混入弁２２１、流量調整弁２２２、流出側マニホー
ルド２３７およびワンタッチジョイント２１６ａ，２３
６ａは、天板２０５上のヘッドユニット１のセット場所
の左右両側に配置されている。更に、ヘッドユニット１
のセット場所の左右両側には、導入口接続アタッチメン
ト５を載置可能な支持板２３９が設けられている。ここ
で、ワンタッチジョイント２１６ａは比較的上方位置に
配置されており、ワンタッチジョイント２１６ａと導入
口接続アタッチメント５の配管アダプタ５ｃとの間の配
管に用いる個別流入パイプ２１６は他の物に邪魔されず
に目視できる。そこで、液流を外部から視認可能な樹脂
チューブで個別流入パイプ２１６を構成し、洗浄時に洗
浄液の通液具合を目視確認できるようにしている。尚、
個別流出パイプ２３６が見やすい場所に配置されている
場合には、個別流出パイプ２３６を上記樹脂チューブで
構成しても良い。また、本実施形態では、各個別流入パ
イプ２１６に洗浄促進弁２１９を介設したが、各個別流
出パイプ２３６に洗浄促進弁２１９を介設しても良い。
【００４９】架台２００上には、図８に示す如く、アル
コールや溶剤の漏れによる引火性ガスの発生に備えてガ
ス検知器２４０が設けられている。また、液圧センサ２
１３と第１大気開放弁２１４はカバー２０１上に設けら
れている。カバー２０１上には、更に、排気ダクト取付
け口２４１と、排気圧確認用差圧ゲージ２４２と、排気
圧確認用差圧スイッチ２４３とが設けられている。
コールや溶剤の漏れによる引火性ガスの発生に備えてガ
ス検知器２４０が設けられている。また、液圧センサ２
１３と第１大気開放弁２１４はカバー２０１上に設けら
れている。カバー２０１上には、更に、排気ダクト取付
け口２４１と、排気圧確認用差圧ゲージ２４２と、排気
圧確認用差圧スイッチ２４３とが設けられている。
【００５０】上記洗浄装置Ｂによる洗浄に際しては、先
ず、支持板２３９に導入口接続アタッチメント５を載置
した状態で、予め導入口接続アタッチメント５の各配管
アダプタ５ｃに接続されている各個別流入パイプ２１６
の下流側部分をその上流側部分に各ワンタッチジョイン
ト２１６ａを介して接続する。次に、キャリッジ２に複
数の機能液滴吐出ヘッド３を装着して組み立てたヘッド
ユニット１を、キャリッジ支持部材２０７でキャリッジ
２が支持されるように洗浄装置Ｂにセットし、キャリッ
ジ２をねじ２０７ａでキャリッジ支持部材２０７上に固
定する。これによれば、アタッチメント支持部材２０６
で支持されているノズル接続アタッチメント７の各キャ
ップ７１に各機能液滴吐出ヘッド３の吐出ノズル３ｆが
接続される。その後、導入口接続アタッチメント５をキ
ャリッジ２に装着して、各配管アダプタ５ｃを各機能液
滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａに接続する。
ず、支持板２３９に導入口接続アタッチメント５を載置
した状態で、予め導入口接続アタッチメント５の各配管
アダプタ５ｃに接続されている各個別流入パイプ２１６
の下流側部分をその上流側部分に各ワンタッチジョイン
ト２１６ａを介して接続する。次に、キャリッジ２に複
数の機能液滴吐出ヘッド３を装着して組み立てたヘッド
ユニット１を、キャリッジ支持部材２０７でキャリッジ
２が支持されるように洗浄装置Ｂにセットし、キャリッ
ジ２をねじ２０７ａでキャリッジ支持部材２０７上に固
定する。これによれば、アタッチメント支持部材２０６
で支持されているノズル接続アタッチメント７の各キャ
ップ７１に各機能液滴吐出ヘッド３の吐出ノズル３ｆが
接続される。その後、導入口接続アタッチメント５をキ
ャリッジ２に装着して、各配管アダプタ５ｃを各機能液
滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａに接続する。
【００５１】次に、純水用の流入側開閉弁２１０を開弁
させた状態で吸引ポンプ２２５を駆動し、このときの流
入パイプ２０８の液圧変化を液圧センサ２１３で検出し
て、キャップ７１と機能液滴吐出ヘッドとの接続の良否
を確認する。確認後は、一旦純水用の流入側開閉弁２１
０を閉弁すると共に、第１大気開放弁２１４と純水用の
流出側開閉弁２２８とを開弁し、流入パイプ２０８から
各機能液滴吐出ヘッド３を介して流出パイプ２２６に至
る洗浄経路内の液体を純水排水パイプ２２７を介して排
出する。
させた状態で吸引ポンプ２２５を駆動し、このときの流
入パイプ２０８の液圧変化を液圧センサ２１３で検出し
て、キャップ７１と機能液滴吐出ヘッドとの接続の良否
を確認する。確認後は、一旦純水用の流入側開閉弁２１
０を閉弁すると共に、第１大気開放弁２１４と純水用の
流出側開閉弁２２８とを開弁し、流入パイプ２０８から
各機能液滴吐出ヘッド３を介して流出パイプ２２６に至
る洗浄経路内の液体を純水排水パイプ２２７を介して排
出する。
【００５２】次に、純水用の流出側開閉弁２２８を開弁
したまま、第１大気開放弁２１４を閉弁すると共に純水
用の流入側開閉弁２１０を再度開弁する。これによれ
ば、純水タンク２０２内の純水が洗浄経路を介して吸引
ポンプ２２５に吸引され、純水排水パイプ２２７を介し
て排水系に排出される。このようにして、各機能液滴吐
出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至
るノズル内流路を純水で洗浄する純水洗浄工程を行う。
尚、純水洗浄工程では、開閉弁２３４を適宜開弁して、
純水タンク２０２に純水を補給する。
したまま、第１大気開放弁２１４を閉弁すると共に純水
用の流入側開閉弁２１０を再度開弁する。これによれ
ば、純水タンク２０２内の純水が洗浄経路を介して吸引
ポンプ２２５に吸引され、純水排水パイプ２２７を介し
て排水系に排出される。このようにして、各機能液滴吐
出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至
るノズル内流路を純水で洗浄する純水洗浄工程を行う。
尚、純水洗浄工程では、開閉弁２３４を適宜開弁して、
純水タンク２０２に純水を補給する。
【００５３】純水洗浄工程の終了時は、純水用の流出側
開閉弁２２８を開弁したまま、純水用の流入側開閉弁２
１０を閉弁すると共に第２大気開放弁２１５を開弁し、
洗浄経路内の液体を純水排水パイプ２２７を介して排出
する。次に、純水用の流出側開閉弁２２８と第２大気開
放弁２１５とを閉弁した後、アルコール用の流入側およ
び流出側開閉弁２１１，２２９と洗浄液切換用の開閉弁
２３５とを開弁する。これによれば、アルコールタンク
２０３内のアルコールが洗浄経路を介して吸引ポンプ２
２５に吸引され、吸引ポンプ２２５から再生フィルタ２
３１を介してアルコールタンク２０３に戻される。この
ようにして、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３
ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路をアルコール
で洗浄するアルコール洗浄工程を行う。尚、アルコール
洗浄工程では、アルコールの流路がアルコールタンク２
０３から出てアルコールタンク２０３に戻る閉回路にな
り、アルコールが循環使用される。
開閉弁２２８を開弁したまま、純水用の流入側開閉弁２
１０を閉弁すると共に第２大気開放弁２１５を開弁し、
洗浄経路内の液体を純水排水パイプ２２７を介して排出
する。次に、純水用の流出側開閉弁２２８と第２大気開
放弁２１５とを閉弁した後、アルコール用の流入側およ
び流出側開閉弁２１１，２２９と洗浄液切換用の開閉弁
２３５とを開弁する。これによれば、アルコールタンク
２０３内のアルコールが洗浄経路を介して吸引ポンプ２
２５に吸引され、吸引ポンプ２２５から再生フィルタ２
３１を介してアルコールタンク２０３に戻される。この
ようにして、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３
ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路をアルコール
で洗浄するアルコール洗浄工程を行う。尚、アルコール
洗浄工程では、アルコールの流路がアルコールタンク２
０３から出てアルコールタンク２０３に戻る閉回路にな
り、アルコールが循環使用される。
【００５４】アルコール洗浄工程の終了時は、アルコー
ル用の流出側開閉弁２２９と洗浄液切換用の開閉弁２３
５とを開弁したまま、アルコール用の流入側開閉弁２１
１を閉弁すると共に第２大気開放弁２１５を開弁し、洗
浄経路内の液体をアルコールタンク２０３に戻す。次
に、アルコール用の流出側開閉弁２２８と第２大気開放
弁２１５とを閉弁した後、溶剤用の流入側および流出側
開閉弁２１２，２３０を開弁する。これによれば、溶剤
タンク２０４内の溶剤が洗浄経路を介して吸引ポンプ２
２５に吸引され、吸引ポンプ２２５から再生フィルタ２
３２を介して溶剤タンク２０４に戻される。このように
して、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから
吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路を溶剤で洗浄する溶
剤洗浄工程を行う。尚、溶剤洗浄工程では、溶剤の流路
が溶剤タンク２０４から出て溶剤タンク２０４に戻る閉
回路になり、溶剤が循環使用される。
ル用の流出側開閉弁２２９と洗浄液切換用の開閉弁２３
５とを開弁したまま、アルコール用の流入側開閉弁２１
１を閉弁すると共に第２大気開放弁２１５を開弁し、洗
浄経路内の液体をアルコールタンク２０３に戻す。次
に、アルコール用の流出側開閉弁２２８と第２大気開放
弁２１５とを閉弁した後、溶剤用の流入側および流出側
開閉弁２１２，２３０を開弁する。これによれば、溶剤
タンク２０４内の溶剤が洗浄経路を介して吸引ポンプ２
２５に吸引され、吸引ポンプ２２５から再生フィルタ２
３２を介して溶剤タンク２０４に戻される。このように
して、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから
吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路を溶剤で洗浄する溶
剤洗浄工程を行う。尚、溶剤洗浄工程では、溶剤の流路
が溶剤タンク２０４から出て溶剤タンク２０４に戻る閉
回路になり、溶剤が循環使用される。
【００５５】溶剤洗浄工程の終了時は、溶剤用の流入側
および流出側開閉弁２１２，２３０と洗浄液切換用の開
閉弁２３５とを閉弁し、且つ、吸引ポンプ２２５を停止
する。これによれば、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液
導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路に溶
剤が充填された状態で溶剤の通液が停止される。従っ
て、その後各個別流入パイプ２１６をワンタッチジョイ
ント２１６ａから離脱させて、ヘッドユニット１を洗浄
装置Ｂから取り出しても、ノズル内流路には溶剤が充填
されたままになり、ノズル内流路への異物の混入等によ
る吐出ノズル３ｆの目詰まりを確実に防止できる。尚、
ノズル内流路に充填した溶剤は、ヘッドユニット１を描
画装置Ａに投入した後、描画作業を開始する前に吸引キ
ャップ１０６で吸引除去する。
および流出側開閉弁２１２，２３０と洗浄液切換用の開
閉弁２３５とを閉弁し、且つ、吸引ポンプ２２５を停止
する。これによれば、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液
導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路に溶
剤が充填された状態で溶剤の通液が停止される。従っ
て、その後各個別流入パイプ２１６をワンタッチジョイ
ント２１６ａから離脱させて、ヘッドユニット１を洗浄
装置Ｂから取り出しても、ノズル内流路には溶剤が充填
されたままになり、ノズル内流路への異物の混入等によ
る吐出ノズル３ｆの目詰まりを確実に防止できる。尚、
ノズル内流路に充填した溶剤は、ヘッドユニット１を描
画装置Ａに投入した後、描画作業を開始する前に吸引キ
ャップ１０６で吸引除去する。
【００５６】ここで、ヘッドユニット１の組立工程でキ
ャリッジ２に搭載する新品の機能液滴吐出ヘッド３には
保存液が充填されているが、この保存液は一般に水に溶
けやすく、上記純水洗浄工程で保存液を効率良く洗い流
すことができる。そして、上記アルコール洗浄工程と溶
剤洗浄工程とにより機能液滴吐出ヘッド３内の微小な異
物も完全に洗い落とすことができる。また、最初に純水
洗浄工程を行うため、その後の洗浄工程では洗浄液があ
まり汚れず、アルコールと溶剤の循環使用によるランニ
ングコストの低減が可能になる。更に、中間工程として
水と溶剤との両方に対し親和性の高いアルコールによる
洗浄を行うため、ヘッド内流路に水が残留することはな
く、描画装置Ａで使用する際に、残留水により機能液の
分離を生ずるようなことはない。
ャリッジ２に搭載する新品の機能液滴吐出ヘッド３には
保存液が充填されているが、この保存液は一般に水に溶
けやすく、上記純水洗浄工程で保存液を効率良く洗い流
すことができる。そして、上記アルコール洗浄工程と溶
剤洗浄工程とにより機能液滴吐出ヘッド３内の微小な異
物も完全に洗い落とすことができる。また、最初に純水
洗浄工程を行うため、その後の洗浄工程では洗浄液があ
まり汚れず、アルコールと溶剤の循環使用によるランニ
ングコストの低減が可能になる。更に、中間工程として
水と溶剤との両方に対し親和性の高いアルコールによる
洗浄を行うため、ヘッド内流路に水が残留することはな
く、描画装置Ａで使用する際に、残留水により機能液の
分離を生ずるようなことはない。
【００５７】また、本実施形態では、純水、アルコー
ル、溶剤から成る各洗浄液による洗浄工程において、洗
浄液を一定の流速で所定時間（例えば６０秒）通液した
後、気泡混入弁２２１を開閉して洗浄液に気泡を混入さ
せ、次に、洗浄促進弁２１９を開閉して洗浄液の流速を
緩急させるようにした。気泡を混入させると、洗浄液が
断続的な流れになり、ノズル内流路の内壁面近傍に生じ
やすい滞留層の生成が抑制されて、内壁面の洗浄効果が
向上する。気泡混入弁２２１の開閉は、例えば、開弁時
間を１秒、閉弁時間を１５秒として５回行う。また、洗
浄促進弁２１９を開閉すると、閉弁時に吸引ポンプ２２
５の吸引力により発生する負圧の影響で開弁時に流速が
ピーク的に増加し、流速に大きな緩急変化を生ずる。そ
して、流速の緩急変化により滞留層の生成が抑制され、
洗浄効果が向上する。洗浄促進弁２１９の開閉は、例え
ば、開弁時間を１秒、閉弁時間を１秒として１５回行
う。好ましくは、一定流速での通液と気泡を混入させる
通液と流速を緩急させる通液とを１サイクルとして、こ
れを２サイクル以上行う。
ル、溶剤から成る各洗浄液による洗浄工程において、洗
浄液を一定の流速で所定時間（例えば６０秒）通液した
後、気泡混入弁２２１を開閉して洗浄液に気泡を混入さ
せ、次に、洗浄促進弁２１９を開閉して洗浄液の流速を
緩急させるようにした。気泡を混入させると、洗浄液が
断続的な流れになり、ノズル内流路の内壁面近傍に生じ
やすい滞留層の生成が抑制されて、内壁面の洗浄効果が
向上する。気泡混入弁２２１の開閉は、例えば、開弁時
間を１秒、閉弁時間を１５秒として５回行う。また、洗
浄促進弁２１９を開閉すると、閉弁時に吸引ポンプ２２
５の吸引力により発生する負圧の影響で開弁時に流速が
ピーク的に増加し、流速に大きな緩急変化を生ずる。そ
して、流速の緩急変化により滞留層の生成が抑制され、
洗浄効果が向上する。洗浄促進弁２１９の開閉は、例え
ば、開弁時間を１秒、閉弁時間を１秒として１５回行
う。好ましくは、一定流速での通液と気泡を混入させる
通液と流速を緩急させる通液とを１サイクルとして、こ
れを２サイクル以上行う。
【００５８】尚、上記実施形態では、個別流入パイプ２
１６の上流側部分と下流側部分とを接続するワンタッチ
ジョイント２１６ａを洗浄装置Ｂに設けたが、図１８
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す如く、ヘッドユニット１のキ
ャリッジ２に個別流入パイプ２１６用のワンタッチジョ
イント８を搭載しても良い。このワンタッチジョイント
８は、キャリッジ２のＹ軸方向一端部（ハンドル２ｂ側
の端部）にブラケット８０を介して取り付けられてい
る。図１９（ａ）（ｂ）に明示されているように、ワン
タッチジョイント８は、ブラケット８０にねじ止めされ
るＸ軸方向に長手のプレート８１を備えており、このプ
レート８１に、上下２列で計１２個のソケット８２を嵌
合固定し、各ソケット８２に、導入口接続アタッチメン
ト５の各配管アダプタ５ｃに接続される各個別流入パイ
プ２１６の下流側部分を管継手８３を介して接続するよ
うに構成されている。尚、配管アダプタ５ｃは各１個の
機能液滴吐出ヘッド３に対し２個宛設けられているた
め、各個別流入パイプ２１６をＹ字継ぎ手（図示せず）
を介して２個の配管アダプタ５ｃに接続する。各ソケッ
ト８２には、プラグ８４が着脱自在に嵌合しており、各
プラグ８４に上記各洗浄促進弁２１９に連通する各個別
流入パイプ２１６の上流側部分をエルボ管８５を介して
接続しておく。かくて、各ソケット８２に各プラグ８４
を着脱するだけで、各個別流入パイプ２１６の下流側部
分にその上流側部分を接続、分離できる。そして、描画
装置Ａの機能液用の配管部材に上記と同様のプラグを取
り付けておくことにより、機能液用の配管部材を上記ワ
ンタッチジョイント８を介して配管アダプタ５ｃに接続
することができる。そのため、描画装置Ａに別途ワンタ
ッチジョイントを設ける必要がなく、コストダウンを図
れる。尚、上記プラグ８４は、プレート８１に両端のね
じ８６で着脱自在に取り付けられる押えバー８７により
抜け止めされている。また、図１ないし図３に示すもの
では、プレート５ｂに複数の配管アダプタ５ｃを固定
し、プレート５ｂをキャリッジ２上のスペーサ５ａにね
じ５ｆ止めすることで、各配管アダプタ５ｃを各機能液
滴吐出ヘッド３に接続するようにしたが、図１８に示す
ものでは、プレート５ｂを省略して、各機能液滴吐出ヘ
ッド３に各配管アダプタ５ｃを個別に接続している。
１６の上流側部分と下流側部分とを接続するワンタッチ
ジョイント２１６ａを洗浄装置Ｂに設けたが、図１８
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す如く、ヘッドユニット１のキ
ャリッジ２に個別流入パイプ２１６用のワンタッチジョ
イント８を搭載しても良い。このワンタッチジョイント
８は、キャリッジ２のＹ軸方向一端部（ハンドル２ｂ側
の端部）にブラケット８０を介して取り付けられてい
る。図１９（ａ）（ｂ）に明示されているように、ワン
タッチジョイント８は、ブラケット８０にねじ止めされ
るＸ軸方向に長手のプレート８１を備えており、このプ
レート８１に、上下２列で計１２個のソケット８２を嵌
合固定し、各ソケット８２に、導入口接続アタッチメン
ト５の各配管アダプタ５ｃに接続される各個別流入パイ
プ２１６の下流側部分を管継手８３を介して接続するよ
うに構成されている。尚、配管アダプタ５ｃは各１個の
機能液滴吐出ヘッド３に対し２個宛設けられているた
め、各個別流入パイプ２１６をＹ字継ぎ手（図示せず）
を介して２個の配管アダプタ５ｃに接続する。各ソケッ
ト８２には、プラグ８４が着脱自在に嵌合しており、各
プラグ８４に上記各洗浄促進弁２１９に連通する各個別
流入パイプ２１６の上流側部分をエルボ管８５を介して
接続しておく。かくて、各ソケット８２に各プラグ８４
を着脱するだけで、各個別流入パイプ２１６の下流側部
分にその上流側部分を接続、分離できる。そして、描画
装置Ａの機能液用の配管部材に上記と同様のプラグを取
り付けておくことにより、機能液用の配管部材を上記ワ
ンタッチジョイント８を介して配管アダプタ５ｃに接続
することができる。そのため、描画装置Ａに別途ワンタ
ッチジョイントを設ける必要がなく、コストダウンを図
れる。尚、上記プラグ８４は、プレート８１に両端のね
じ８６で着脱自在に取り付けられる押えバー８７により
抜け止めされている。また、図１ないし図３に示すもの
では、プレート５ｂに複数の配管アダプタ５ｃを固定
し、プレート５ｂをキャリッジ２上のスペーサ５ａにね
じ５ｆ止めすることで、各配管アダプタ５ｃを各機能液
滴吐出ヘッド３に接続するようにしたが、図１８に示す
ものでは、プレート５ｂを省略して、各機能液滴吐出ヘ
ッド３に各配管アダプタ５ｃを個別に接続している。
【００５９】ところで、上記洗浄装置Ｂにより上記の如
く洗浄を行うと、機能液滴吐出ヘッド３は良好に洗浄さ
れ、目詰まり等による吐出不良を生ずることなく、吐出
ノズル３ｆから機能液を確実に精度良く吐出できる。そ
のため、上記の如く洗浄した機能液滴吐出ヘッド３を用
いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子放
出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々の
製品を精度良く製造できる。以下、上記の如く洗浄した
機能液滴吐出ヘッド３（ヘッドユニット１）を用いた製
造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置
の製造方法を例に、説明する。
く洗浄を行うと、機能液滴吐出ヘッド３は良好に洗浄さ
れ、目詰まり等による吐出不良を生ずることなく、吐出
ノズル３ｆから機能液を確実に精度良く吐出できる。そ
のため、上記の如く洗浄した機能液滴吐出ヘッド３を用
いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子放
出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々の
製品を精度良く製造できる。以下、上記の如く洗浄した
機能液滴吐出ヘッド３（ヘッドユニット１）を用いた製
造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置
の製造方法を例に、説明する。
【００６０】図２０は、液晶表示装置のカラーフィルタ
の部分拡大図である。図２０（ａ）は平面図であり、図
２０（ｂ）は図２０（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
の部分拡大図である。図２０（ａ）は平面図であり、図
２０（ｂ）は図２０（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００６１】図２０（ａ）に示されるように、カラーフ
ィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタ
エレメント）４１２を備え、画素と画素の境目は、仕切
り４１３によって区切られている。画素４１２の１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンク（フィルタ材料）が導入されている。この例では
赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ス
トライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わ
ない。
ィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタ
エレメント）４１２を備え、画素と画素の境目は、仕切
り４１３によって区切られている。画素４１２の１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンク（フィルタ材料）が導入されている。この例では
赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ス
トライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わ
ない。
【００６２】図２０（ｂ）に示されるように、カラーフ
ィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切
り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されてい
ない（除去された）部分は、上記画素４１２を構成す
る。この画素４１２に導入された各色のインクは着色層
４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上
面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形
成されている。
ィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切
り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されてい
ない（除去された）部分は、上記画素４１２を構成す
る。この画素４１２に導入された各色のインクは着色層
４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上
面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形
成されている。
【００６３】図２１は、本発明の実施形態によるカラー
フィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
フィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００６４】膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃ
ｍの無アルカリガラスからなる透明基板４１１の表面
を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液
で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄
表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を
平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層４１４´を得る
（図２１：Ｓ１）。
ｍの無アルカリガラスからなる透明基板４１１の表面
を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液
で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄
表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を
平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層４１４´を得る
（図２１：Ｓ１）。
【００６５】この基板をホットプレート上で、８０℃で
５分間乾燥させた後、金属層４１４´の表面に、スピン
コートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成す
る。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を
描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をお
こなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割
合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフ
ォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングす
る。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエ
ッチング液でエッチング除去する。このようにして所定
のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリ
クス）４１４を得ることができる（図２１：Ｓ２）。遮
光層４１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、
遮光層４１４の幅は、およそ２２μｍである。
５分間乾燥させた後、金属層４１４´の表面に、スピン
コートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成す
る。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を
描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をお
こなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割
合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフ
ォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングす
る。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエ
ッチング液でエッチング除去する。このようにして所定
のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリ
クス）４１４を得ることができる（図２１：Ｓ２）。遮
光層４１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、
遮光層４１４の幅は、およそ２２μｍである。
【００６６】この基板上に、さらにネガ型の透明アクリ
ル系の感光性樹脂組成物４１５´をやはりスピンコート
法で塗布する（図２１：Ｓ３）。これを１００℃で２０
分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状
を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行な
う。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で
現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させることにより、バンク層４１５が形
成され、遮光層４１４及びバンク層４１５からなる仕切
り４１３が形成される（図２１：Ｓ４）。このバンク層
４１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バン
ク層４１５の幅は、およそ１４μｍである。
ル系の感光性樹脂組成物４１５´をやはりスピンコート
法で塗布する（図２１：Ｓ３）。これを１００℃で２０
分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状
を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行な
う。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で
現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させることにより、バンク層４１５が形
成され、遮光層４１４及びバンク層４１５からなる仕切
り４１３が形成される（図２１：Ｓ４）。このバンク層
４１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バン
ク層４１５の幅は、およそ１４μｍである。
【００６７】得られた遮光層４１４およびバンク層４１
５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板４１１
の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッ
チング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基
板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチン
グする。
５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板４１１
の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッ
チング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基
板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチン
グする。
【００６８】次に、描画装置Ａに投入した洗浄済みのヘ
ッドユニット１を用い、仕切り４１３で区切られて形成
された画素４１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の各インクをインクジェット方式により導入する
（図２１：Ｓ５）。この際、機能液滴吐出ヘッド３から
微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛
ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各イン
ク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとタ
ーゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよ
りターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行
曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止の
ためには、インクの物性はもとよりヘッドの圧電素子を
駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、あ
らかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク
滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パタ
ーンにインクを塗布する。
ッドユニット１を用い、仕切り４１３で区切られて形成
された画素４１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の各インクをインクジェット方式により導入する
（図２１：Ｓ５）。この際、機能液滴吐出ヘッド３から
微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛
ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各イン
ク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとタ
ーゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよ
りターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行
曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止の
ためには、インクの物性はもとよりヘッドの圧電素子を
駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、あ
らかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク
滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パタ
ーンにインクを塗布する。
【００６９】インク（フィルタ材料）としては、例えば
ポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた
後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチ
ルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテート
を加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を
分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたも
のを用いる。
ポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた
後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチ
ルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテート
を加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を
分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたも
のを用いる。
【００７０】次に、塗布したインクを乾燥させる。ま
ず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層４１６のセ
ッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４
０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間
加熱してインク層４１６の硬化処理を行って、着色層４
２１が得られる（図２１：Ｓ６）。
ず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層４１６のセ
ッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４
０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間
加熱してインク層４１６の硬化処理を行って、着色層４
２１が得られる（図２１：Ｓ６）。
【００７１】上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピ
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層４２２を
形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）からなる電極層４２３を所要パターンで形成して、
カラーフィルタ４００とする（図２１：Ｓ７）。
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層４２２を
形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）からなる電極層４２３を所要パターンで形成して、
カラーフィルタ４００とする（図２１：Ｓ７）。
【００７２】図２２は、上記の如く製造されるカラーフ
ィルタ４００を使用した電気光学装置（フラットディス
プレイ）の一例であるカラー液晶表示装置の断面図であ
る。断面図各部のハッチングは一部省略している。
ィルタ４００を使用した電気光学装置（フラットディス
プレイ）の一例であるカラー液晶表示装置の断面図であ
る。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００７３】このカラー液晶表示装置４５０は、カラー
フィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物４６５を封入することにより製造され
る。液晶表示装置４５０の一方の基板４６６の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。ま
た、もう一方の基板として、画素電極４６３に対向する
位置に赤、緑、青の着色層４２１が配列するようにカラ
ーフィルタ４００が設置されている。
フィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物４６５を封入することにより製造され
る。液晶表示装置４５０の一方の基板４６６の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。ま
た、もう一方の基板として、画素電極４６３に対向する
位置に赤、緑、青の着色層４２１が配列するようにカラ
ーフィルタ４００が設置されている。
【００７４】基板４６６とカラーフィルタ４００の対向
するそれぞれの面には、配向膜４６１、４６４が形成さ
れている。これらの配向膜４６１、４６４はラビング処
理されており、液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、基板４６６およびカラーフィルタ４００
の外側の面には、偏光板４６２、４６７がそれぞれ接着
されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示
せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、
液晶組成物４６５をバックライト光の透過率を変化させ
る光シャッターとして機能させることにより表示を行
う。
するそれぞれの面には、配向膜４６１、４６４が形成さ
れている。これらの配向膜４６１、４６４はラビング処
理されており、液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、基板４６６およびカラーフィルタ４００
の外側の面には、偏光板４６２、４６７がそれぞれ接着
されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示
せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、
液晶組成物４６５をバックライト光の透過率を変化させ
る光シャッターとして機能させることにより表示を行
う。
【００７５】なお、電気光学装置は、本発明では上記の
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いることができる。
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いることができる。
【００７６】次に、図２３ないし図３５を参照して、有
機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説
明する。
機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説
明する。
【００７７】図２３ないし図３５は、有機ＥＬ素子を含
む有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表して
いる。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラ
ズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層
形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工
程と、封止工程とを具備して構成されている。
む有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表して
いる。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラ
ズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層
形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工
程と、封止工程とを具備して構成されている。
【００７８】バンク部形成工程では、基板５０１に予め
形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極
ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａ
と有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口
部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このよ
うに、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無
機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク
層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含ま
れる。
形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極
ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａ
と有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口
部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このよ
うに、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無
機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク
層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含ま
れる。
【００７９】まず無機物バンク層５１２ａを形成する工
程では、図２３に示すように、回路素子部５０２の第２
層間絶縁膜５４４ｂ上及び画素電極５１１上に、無機物
バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａ
を、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等
によって層間絶縁層５１４及び画素電極５１１の全面に
ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜を形成する。
程では、図２３に示すように、回路素子部５０２の第２
層間絶縁膜５４４ｂ上及び画素電極５１１上に、無機物
バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａ
を、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等
によって層間絶縁層５１４及び画素電極５１１の全面に
ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜を形成する。
【００８０】次にこの無機物膜をエッチング等によりパ
ターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位
置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、
無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なる
ように形成しておく必要がある。このように、電極５１
１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重な
るように無機物バンク層５１２ａを形成することによ
り、発光層５１０の発光領域を制御することができる。
ターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位
置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、
無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なる
ように形成しておく必要がある。このように、電極５１
１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重な
るように無機物バンク層５１２ａを形成することによ
り、発光層５１０の発光領域を制御することができる。
【００８１】次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工
程では、図２４に示すように、無機物バンク層５１２ａ
上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク
層５１２ｂをフォトリソグラフィ技術等によりエッチン
グして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄ
を形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及
び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
程では、図２４に示すように、無機物バンク層５１２ａ
上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク
層５１２ｂをフォトリソグラフィ技術等によりエッチン
グして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄ
を形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及
び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
【００８２】上部開口部５１２ｄは、図２４に示すよう
に、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより
狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バン
ク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５
１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の
中央側に延出された形になる。このようにして、上部開
口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることに
より、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１
２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
に、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより
狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バン
ク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５
１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の
中央側に延出された形になる。このようにして、上部開
口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることに
より、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１
２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
【００８３】次にプラズマ処理工程では、バンク部５１
２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親インク性を示
す領域と、撥インク性を示す領域を形成する。このプラ
ズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上
面（５１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電
極５１１の電極面５１１ａを親インク性を有するように
加工する親インク化工程と、有機物バンク層５１２ｂの
上面５１２ｆ及び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥イン
ク性を有するように加工する撥インク化工程と、冷却工
程とに大別される。
２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親インク性を示
す領域と、撥インク性を示す領域を形成する。このプラ
ズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上
面（５１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電
極５１１の電極面５１１ａを親インク性を有するように
加工する親インク化工程と、有機物バンク層５１２ｂの
上面５１２ｆ及び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥イン
ク性を有するように加工する撥インク化工程と、冷却工
程とに大別される。
【００８４】まず、予備加熱工程では、バンク部５１２
を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、
例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付
け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱す
ることにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱
温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好まし
い。
を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、
例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付
け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱す
ることにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱
温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好まし
い。
【００８５】つぎに、親インク化工程では、大気雰囲気
中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ
処理）を行う。このＯ2プラズマ処理により、図２５に
示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物
バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バン
ク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面
５１２ｆが親インク処理される。この親インク処理によ
り、これらの各面に水酸基が導入されて親インク性が付
与される。図２５では、親インク処理された部分を一点
鎖線で示している。
中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ
処理）を行う。このＯ2プラズマ処理により、図２５に
示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物
バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バン
ク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面
５１２ｆが親インク処理される。この親インク処理によ
り、これらの各面に水酸基が導入されて親インク性が付
与される。図２５では、親インク処理された部分を一点
鎖線で示している。
【００８６】つぎに、撥インク化工程では、大気雰囲気
中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（Ｃ
Ｆ4プラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、
図２６に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機
物バンク層の上面５１２ｆが撥インク処理される。この
撥インク処理により、これらの各面にフッ素基が導入さ
れて撥インク性が付与される。図２６では、撥インク性
を示す領域を二点鎖線で示している。
中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（Ｃ
Ｆ4プラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、
図２６に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機
物バンク層の上面５１２ｆが撥インク処理される。この
撥インク処理により、これらの各面にフッ素基が導入さ
れて撥インク性が付与される。図２６では、撥インク性
を示す領域を二点鎖線で示している。
【００８７】次に、冷却工程では、プラズマ処理のため
に加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット
工程（液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズ
マ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例え
ばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却するこ
とにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度
で行うことができる。
に加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット
工程（液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズ
マ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例え
ばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却するこ
とにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度
で行うことができる。
【００８８】次に発光素子形成工程では、画素電極５１
１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することによ
り発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの
工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するた
めの第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液滴
吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて前
記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／
輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物
を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出工
程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正孔
注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが
含まれる。
１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することによ
り発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの
工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するた
めの第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液滴
吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて前
記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／
輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物
を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出工
程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正孔
注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが
含まれる。
【００８９】まず、第１液滴吐出工程では、インクジェ
ット法（液滴吐出法）により、正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。な
お、この第１液滴吐出工程以降は、水、酸素の無い窒素
雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うこ
とが好ましい。（なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸
送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成
される正孔注入／輸送層は形成されない）
ット法（液滴吐出法）により、正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。な
お、この第１液滴吐出工程以降は、水、酸素の無い窒素
雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うこ
とが好ましい。（なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸
送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成
される正孔注入／輸送層は形成されない）
【００９０】図２７に示すように、インクジェットヘッ
ド（機能液滴吐出ヘッド）Ｈに正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を充填し、インクジェットヘッドＨ
の吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面
５１１ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５
０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当た
りの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５
１１ａ上に吐出する。
ド（機能液滴吐出ヘッド）Ｈに正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を充填し、インクジェットヘッドＨ
の吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面
５１１ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５
０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当た
りの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５
１１ａ上に吐出する。
【００９１】ここで用いる第１組成物としては、例え
ば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリ
チオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の
混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることが
できる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアル
コール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクト
ン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−
２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト
−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグ
リコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正
孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１
０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変え
ても良い。
ば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリ
チオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の
混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることが
できる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアル
コール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクト
ン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−
２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト
−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグ
リコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正
孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１
０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変え
ても良い。
【００９２】図２７に示すように、吐出された第１組成
物滴５１０ｃは、親インク処理された電極面５１１ａ及
び第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５
１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に
吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、
５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層
の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃
度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは
１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上
に吐出しても良い。
物滴５１０ｃは、親インク処理された電極面５１１ａ及
び第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５
１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に
吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、
５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層
の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃
度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは
１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上
に吐出しても良い。
【００９３】次に正孔注入／輸送層形成工程では、図２
８に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱
処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させるこ
とにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０
ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０
ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５
１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起
き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料
が濃縮されて析出する。
８に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱
処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させるこ
とにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０
ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０
ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５
１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起
き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料
が濃縮されて析出する。
【００９４】これにより図２８に示すように、乾燥処理
によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、
これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材
料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１
ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正
孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に
濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形
成される。
によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、
これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材
料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１
ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正
孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に
濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形
成される。
【００９５】次に第２液滴吐出工程では、インクジェッ
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。この
第２液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再
溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組
成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して
不溶な非極性溶媒を用いる。
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。この
第２液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再
溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組
成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して
不溶な非極性溶媒を用いる。
【００９６】しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０
ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶
媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐
出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂ
とを密着させることができなくなるか、あるいは発光層
５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、
非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／
輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層
を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶
媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐
出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂ
とを密着させることができなくなるか、あるいは発光層
５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、
非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／
輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層
を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
【００９７】そこでまず、表面改質工程について説明す
る。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第１組成
物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒であ
る表面改質用溶媒を、インクジェット法（液滴吐出
法）、スピンコート法またはディップ法により正孔注入
／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより
行う。
る。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第１組成
物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒であ
る表面改質用溶媒を、インクジェット法（液滴吐出
法）、スピンコート法またはディップ法により正孔注入
／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより
行う。
【００９８】例えば、インクジェット法による塗布は、
図２９に示すように、インクジェットヘッドＨに、表面
改質用溶媒を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノ
ズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形
成された基板）に対向させ、インクジェットヘッドＨと
基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルＨから
表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上
に吐出することにより行う。そして、図３０に示すよう
に、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。
図２９に示すように、インクジェットヘッドＨに、表面
改質用溶媒を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノ
ズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形
成された基板）に対向させ、インクジェットヘッドＨと
基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルＨから
表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上
に吐出することにより行う。そして、図３０に示すよう
に、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。
【００９９】次に第２液滴吐出工程では、インクジェッ
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。図３
１に示すように、インクジェットヘッドＨに、青色
（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、
インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口
部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５
１０ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０
１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たり
の液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出
し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１
０ａ上に吐出する。
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。図３
１に示すように、インクジェットヘッドＨに、青色
（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、
インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口
部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５
１０ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０
１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たり
の液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出
し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１
０ａ上に吐出する。
【０１００】発光層形成材料としては、ポリフルオレン
系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン
系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機
ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブ
レン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、
テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン
６、キナクリドン等をドープすることにより用いること
ができる。
系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン
系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機
ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブ
レン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、
テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン
６、キナクリドン等をドープすることにより用いること
ができる。
【０１０１】非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５
１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロ
へキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチ
ルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることがで
きる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組
成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを
再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロ
へキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチ
ルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることがで
きる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組
成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを
再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【０１０２】図３１に示すように、吐出された第２組成
物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって
下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。
第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同
一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。こ
の場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、
各回毎に第２組成物量を変えても良い。
物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって
下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。
第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同
一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。こ
の場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、
各回毎に第２組成物量を変えても良い。
【０１０３】次に発光層形成工程では、第２組成物を吐
出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸
送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理
は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２
組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図３２に示す
ような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸
送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理
は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２
組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図３２に示す
ような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
【０１０４】続けて、図３３に示すように、青色（Ｂ）
発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層
５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを
形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の
順序に限られるものではなく、どのような順番で形成し
ても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順
番を決める事も可能である。
発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層
５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを
形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の
順序に限られるものではなく、どのような順番で形成し
ても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順
番を決める事も可能である。
【０１０５】次に対向電極形成工程では、図３４に示す
ように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの
全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極
５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例え
ば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成す
ることが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが
可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く
形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）
には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これ
らの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ
法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法
で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防
止できる点で好ましい。
ように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの
全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極
５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例え
ば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成す
ることが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが
可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く
形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）
には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これ
らの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ
法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法
で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防
止できる点で好ましい。
【０１０６】また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ
上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０
ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）
発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、
ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとな
る。また陰極１２の上部には、蒸着法、スパッタ法、Ｃ
ＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いること
が好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のために
ＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０
ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）
発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、
ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとな
る。また陰極１２の上部には、蒸着法、スパッタ法、Ｃ
ＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いること
が好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のために
ＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
【０１０７】最後に、図３５に示す封止工程では、窒
素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有
機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封
止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰
囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０
３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部
分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が
酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後
に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続すると
ともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続する
ことにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られ
る。なお、上記の撥インク膜、陰極５０３、画素電極５
１１等においても、それぞれ液体材料を用い、インクジ
ェット法で形成するようにしてもよい。
素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有
機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封
止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰
囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０
３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部
分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が
酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後
に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続すると
ともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続する
ことにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られ
る。なお、上記の撥インク膜、陰極５０３、画素電極５
１１等においても、それぞれ液体材料を用い、インクジ
ェット法で形成するようにしてもよい。
【０１０８】同様に、本実施形態のヘッドユニットは、
電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および
電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができ
る。
電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および
電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができ
る。
【０１０９】電子放出装置の製造方法では、複数の機能
液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を
導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出
ヘッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に
吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電
子放出装置は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む
上位の概念である。
液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を
導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出
ヘッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に
吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電
子放出装置は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む
上位の概念である。
【０１１０】ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液
滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導
入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘ
ッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐
出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形
成する。
滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導
入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘ
ッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐
出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形
成する。
【０１１１】電気泳動表示装置の製造方法では、複数の
機能液滴吐出ヘッド３に各色の泳動体材料を導入し、ヘ
ッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を
主走査および副走査し、インク材料を選択的に吐出し
て、電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。
尚、帯電粒子と染料とから成る泳動体は、マイクロカプ
セルに封入されていることが、好ましい。
機能液滴吐出ヘッド３に各色の泳動体材料を導入し、ヘ
ッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を
主走査および副走査し、インク材料を選択的に吐出し
て、電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。
尚、帯電粒子と染料とから成る泳動体は、マイクロカプ
セルに封入されていることが、好ましい。
【０１１２】また、洗浄済みのヘッドユニット１は、ス
ペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、
レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用
可能である。
ペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、
レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用
可能である。
【０１１３】スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３にス
ペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の
基板上にスペーサを形成する。例えば、上記の液晶表示
装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間のセルギ
ャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微
小なギャップを必要とする半導体製造技術に適用できる
ことはいうまでもない。
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３にス
ペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の
基板上にスペーサを形成する。例えば、上記の液晶表示
装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間のセルギ
ャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微
小なギャップを必要とする半導体製造技術に適用できる
ことはいうまでもない。
【０１１４】金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド３に液状金属材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金
属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけ
るドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記の有
機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属
配線に適用することができる。また、この種のフラット
ディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用でき
ることはいうまでもない。
出ヘッド３に液状金属材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金
属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけ
るドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記の有
機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属
配線に適用することができる。また、この種のフラット
ディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用でき
ることはいうまでもない。
【０１１５】レンズ形成方法では、複数の機能液滴吐出
ヘッド３にレンズ材料を導入し、ヘッドユニット１を介
して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査
し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数
のマイクロレンズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装
置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能であ
る。また、各種の光デバイスに適用可能であることはい
うまでもない。
ヘッド３にレンズ材料を導入し、ヘッドユニット１を介
して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査
し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数
のマイクロレンズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装
置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能であ
る。また、各種の光デバイスに適用可能であることはい
うまでもない。
【０１１６】レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド３にレジスト材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任
意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各
種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技
術の主体を為すフォトリソグラフィー法において、フォ
トレジストの塗布に広く適用可能である。
出ヘッド３にレジスト材料を導入し、ヘッドユニット１
を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副
走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任
意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各
種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技
術の主体を為すフォトリソグラフィー法において、フォ
トレジストの塗布に広く適用可能である。
【０１１７】光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐
出ヘッド３に光拡散材料を導入し、ヘッドユニット１を
介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走
査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を
形成する。この場合も、各種の光デバイスに適用可能で
あることはいうまでもない。
出ヘッド３に光拡散材料を導入し、ヘッドユニット１を
介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走
査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を
形成する。この場合も、各種の光デバイスに適用可能で
あることはいうまでもない。
【０１１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の洗浄方法および洗浄装置によれば、保存液等が充填さ
れている機能液滴吐出ヘッドを良好に洗浄でき、目詰ま
り等による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズルから
機能液を確実に精度良く吐出できる。そのため、本発明
の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッ
ドを用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、
電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった
種々の製品を精度良く製造でき、更に、スペーサ、金属
配線、レンズ、レジストおよび光拡散体も精度良く形成
できる。
の洗浄方法および洗浄装置によれば、保存液等が充填さ
れている機能液滴吐出ヘッドを良好に洗浄でき、目詰ま
り等による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズルから
機能液を確実に精度良く吐出できる。そのため、本発明
の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッ
ドを用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、
電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった
種々の製品を精度良く製造でき、更に、スペーサ、金属
配線、レンズ、レジストおよび光拡散体も精度良く形成
できる。
【図１】 本発明の洗浄対象物となるヘッドユニットの
一例の平面図である。
一例の平面図である。
【図２】 図１のヘッドユニットの正面図である。
【図３】 図１のヘッドユニットの側面図である。
【図４】 ヘッドユニットを用いてカラーフィルタ等の
製品を製造する描画装置の模式図である。
製品を製造する描画装置の模式図である。
【図５】 ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッ
ド廻りの断面図である。
ド廻りの断面図である。
【図６】 機能液滴吐出ヘッドを模式的に表した斜視図
である。
である。
【図７】 機能液滴吐出ヘッドの拡大断面図である。
【図８】 本発明に係わる洗浄装置の一例を示す全体斜
視図である。
視図である。
【図９】 洗浄装置の正面図である。
【図１０】 天板を取り外した状態の洗浄装置の斜視図
である。
である。
【図１１】 天板を取り外した状態の洗浄装置の平面図
である。
である。
【図１２】 天板上に配置する洗浄液供給用の弁類のレ
イアウトを示す斜視図である。
イアウトを示す斜視図である。
【図１３】 図１２の上方から見た平面図である。
【図１４】 図１２の前方から見た正面図である。
【図１５】 ノズル接続アタッチメントを示す斜視図で
ある。
ある。
【図１６】 ノズル接続アタッチメントに装着するキャ
ップの断面図である。
ップの断面図である。
【図１７】 洗浄液供給手段の構成を示す回路図であ
る。
る。
【図１８】 （ａ）ヘッドユニットの他の例を示す平面
図、（ｂ）その正面図、（ｃ）その側面図である。
図、（ｂ）その正面図、（ｃ）その側面図である。
【図１９】 （ａ）図１８のヘッドユニットに搭載する
ワンタッチジョイントを示す斜視図、（ｂ）その断面図
である。
ワンタッチジョイントを示す斜視図、（ｂ）その断面図
である。
【図２０】 （ａ）実施形態のカラーフィルタの製造方
法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図、
（ｂ）その断面図である。
法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図、
（ｂ）その断面図である。
【図２１】 （Ｓ１）〜（Ｓ７）実施形態のカラーフィ
ルタの製造方法を模式的に示す製造工程断面図である。
ルタの製造方法を模式的に示す製造工程断面図である。
【図２２】 実施形態のカラーフィルタの製造方法によ
り製造される液晶表示装置の断面図である。
り製造される液晶表示装置の断面図である。
【図２３】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図であ
る。
おけるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図であ
る。
【図２４】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図であ
る。
おけるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図であ
る。
【図２５】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図であ
る。
おけるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図であ
る。
【図２６】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図であ
る。
おけるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図であ
る。
【図２７】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図であ
る。
おける正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図であ
る。
【図２８】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
おける正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図２９】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
おける表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
【図３０】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける表面改質工程（乾燥）の断面図である。
おける表面改質工程（乾燥）の断面図である。
【図３１】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
おけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図３２】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
おけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図３３】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
おけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
【図３４】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける対向電極形成工程の断面図である。
おける対向電極形成工程の断面図である。
【図３５】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法に
おける封止工程の断面図である。
おける封止工程の断面図である。
Ａ 描画装置 Ｂ 洗浄装置
１ ヘッドユニット ２ キャリッ
ジ ３ 機能液滴吐出ヘッド ３ａ 機能液導
入口 ３ｆ 吐出ノズル ５ 導入口
接続アタッチメント ５ｃ 配管アダプタ（接続部） ７ ノズル
接続アタッチメント ７１ キャップ（接続部） ８ ワンタ
ッチジョイント ２０２ 純水タンク ２０２ａ 純水
供給パイプ ２０２ｂ 補給水パイプ ２０３ ア
ルコールタンク ２０３ａ アルコール供給パイプ ２０３ｂ ア
ルコール回収パイプ ２０４ 溶剤タンク ２０４ａ 溶剤
供給パイプ ２０４ｂ 溶剤回収パイプ ２０６ ア
タッチメント支持部材 ２０７ キャリッジ支持部材 ２０８ 流入
パイプ ２１０ 純水用流入側開閉弁 ２１１ アル
コール用流入側開閉弁 ２１２ 溶剤用流入側開閉弁 ２１６ 個別
流入パイプ ２１７ 流入側マニホールド ２１９ 洗浄
促進弁 ２２０ エアーパイプ ２２１ 気泡
混入弁 ２２５ 吸引ポンプ ２２６ 流出
パイプ ２２７ 純水排水パイプ ２２８ 純水
用流出側開閉弁 ２２９ アルコール用流出側開閉弁 ２３０ 溶剤
用流出側開閉弁 ２３６ 個別流出パイプ ２３７ 流出
側マニホールド
ジ ３ 機能液滴吐出ヘッド ３ａ 機能液導
入口 ３ｆ 吐出ノズル ５ 導入口
接続アタッチメント ５ｃ 配管アダプタ（接続部） ７ ノズル
接続アタッチメント ７１ キャップ（接続部） ８ ワンタ
ッチジョイント ２０２ 純水タンク ２０２ａ 純水
供給パイプ ２０２ｂ 補給水パイプ ２０３ ア
ルコールタンク ２０３ａ アルコール供給パイプ ２０３ｂ ア
ルコール回収パイプ ２０４ 溶剤タンク ２０４ａ 溶剤
供給パイプ ２０４ｂ 溶剤回収パイプ ２０６ ア
タッチメント支持部材 ２０７ キャリッジ支持部材 ２０８ 流入
パイプ ２１０ 純水用流入側開閉弁 ２１１ アル
コール用流入側開閉弁 ２１２ 溶剤用流入側開閉弁 ２１６ 個別
流入パイプ ２１７ 流入側マニホールド ２１９ 洗浄
促進弁 ２２０ エアーパイプ ２２１ 気泡
混入弁 ２２５ 吸引ポンプ ２２６ 流出
パイプ ２２７ 純水排水パイプ ２２８ 純水
用流出側開閉弁 ２２９ アルコール用流出側開閉弁 ２３０ 溶剤
用流出側開閉弁 ２３６ 個別流出パイプ ２３７ 流出
側マニホールド
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｂ０８Ｂ 1/00 Ｂ０８Ｂ 3/08 Ｚ ４Ｄ０７３
3/08 Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ ４Ｄ０７５
Ｂ４１Ｊ 2/18 Ｈ０５Ｂ 33/10 ４Ｆ０４２
2/185 33/14 Ａ ５Ｅ３４３
Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ Ｈ０５Ｋ 3/10 Ｄ
Ｈ０５Ｂ 33/10 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０２Ｈ
33/14 １０２Ｒ
Ｈ０５Ｋ 3/10
Ｆターム(参考） 2C056 EA14 EC23 FB01 JA13 KB21
KD01
2H091 FA02Y FC29 GA08 LA09
3B116 AA01 BA06 BA11 BB02 CC01
CC03
3B201 AA01 BA06 BA11 BB02 BB95
CC01 CC13
3K007 AB18 DB03 FA01
4D073 AA01 BB03 CA20 CC03 CC17
DC05 DC06 DC22
4D075 AC06 AC09 AC73 AE03 BB65Y
BB69Y BB79Y BB95Y CA22
CA47 CB03 CB06 CB07 CB08
CB09 DA06 DB13 DC19 DC21
DC24 EA02 EA07 EA43 EA45
EB14 EB22 EB38 EC07 EC10
EC11 EC17
4F042 AA02 AA06 AA10 BA11 CB02
CB20 CC04 CC08 CC15 DA01
5E343 BB72 DD12 FF05
(54)【発明の名称】 機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置
の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、
カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レン
ズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法
Claims (45)
- 【請求項１】 機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から
吐出ノズルに至るヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出
ヘッドの洗浄方法であって、 純水を前記ヘッド内流路に通水してこれを洗浄する純水
洗浄工程と、 前記純水洗浄工程の後、アルコールを前記ヘッド内流路
に通液してこれを洗浄するアルコール洗浄工程と、 前記アルコール洗浄工程の後、前記機能液の溶剤を前記
ヘッド内流路に通液してこれを洗浄する溶剤洗浄工程と
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄方
法。 - 【請求項２】 前記溶剤洗浄工程の後、前記ヘッド内流
路に前記溶剤を充填する溶剤充填工程を、更に備えたこ
とを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの
洗浄方法。 - 【請求項３】 前記溶剤充填工程における前記溶剤の充
填は、前記溶剤の通液を停止することで行われることを
特徴とする請求項２に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄
方法。 - 【請求項４】 前記純水洗浄工程において、通水する前
記純水の流速を緩急させることを特徴とする請求項１、
２または３に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。 - 【請求項５】 前記純水洗浄工程において、通水する前
記純水に気泡を混入させることを特徴とする請求項１な
いし４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方
法。 - 【請求項６】 前記アルコール洗浄工程において、通液
する前記アルコールの流速を緩急させることを特徴とす
る請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘ
ッドの洗浄方法。 - 【請求項７】 前記アルコール洗浄工程において、通液
する前記アルコールに気泡を混入させることを特徴とす
る請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘ
ッドの洗浄方法。 - 【請求項８】 前記アルコール洗浄工程において、前記
アルコールの流路を閉回路とし、前記アルコールを循環
使用することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか
に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。 - 【請求項９】 前記溶剤洗浄工程において、通液する前
記溶剤の流速を緩急させることを特徴とする請求項１な
いし８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方
法。 - 【請求項１０】 前記溶剤洗浄工程において、通液する
前記溶剤に気泡を混入させることを特徴とする請求項１
ないし９のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄
方法。 - 【請求項１１】 前記溶剤洗浄工程において、前記溶剤
の流路を閉回路とし、前記溶剤を循環使用することを特
徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の機能液
滴吐出ヘッドの洗浄方法。 - 【請求項１２】 機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口か
ら吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して、
前記ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄
方法において、 通液する前記洗浄液の流速を緩急させることを特徴とす
る機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。 - 【請求項１３】 機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口か
ら吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して、
前記ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄
方法において、 通液する前記洗浄液に気泡を混入させることを特徴とす
る機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。 - 【請求項１４】 前記洗浄液の流路を閉回路とし、前記
洗浄液を循環使用することを特徴とする請求項１２また
は１３に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。 - 【請求項１５】 機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口か
ら吐出ノズルに至るヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐
出ヘッドの洗浄装置であって、 前記機能液導入口に接続される導入口接続アタッチメン
トと、 前記吐出ノズルに接続されるノズル接続アタッチメント
と、 前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続ア
タッチメントを介して、前記ヘッド内流路に純水、アル
コールおよび前記機能液の溶剤を、個々に通液する洗浄
液供給手段と、 前記洗浄液供給手段を制御する制御手段とを備えたこと
を特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項１６】 前記制御手段は、前記洗浄液供給手段
を空気圧で制御することを特徴とする請求項１５に記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項１７】 前記制御手段は前記洗浄液供給手段を
制御し、前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤の順
で通液することを特徴とする請求項１５または１６に記
載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項１８】 前記洗浄液供給手段は、 流入パイプを介して、前記導入口接続アタッチメントに
接続される純水タンク、アルコールタンクおよび溶剤タ
ンクと、 流出パイプを介して、前記ノズル接続アタッチメントに
接続される吸引ポンプとを有することを特徴とする請求
項１５、１６または１７に記載の機能液滴吐出ヘッドの
洗浄装置。 - 【請求項１９】 前記吸引ポンプは、単一のもので構成
され、 前記流入パイプの上流側で相互に合流接続する、前記純
水タンクに連通する純水供給パイプ、前記アルコールタ
ンクに連通するアルコール供給パイプおよび前記溶剤タ
ンクに連通する溶剤供給パイプを有し、 前記純水供給パイプ、前記アルコール供給パイプおよび
前記溶媒供給パイプには、前記制御手段により選択制御
される流入側開閉弁がそれぞれ介設されていることを特
徴とする請求項１８に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄
装置。 - 【請求項２０】 前記吸引ポンプの吐出側には、排水系
に連通する純水排水パイプ、前記アルコールタンクに連
通するアルコール回収パイプおよび前記溶剤タンクに連
通する溶剤回収パイプが分岐接続され、 前記純水排水パイプ、前記アルコール回収パイプおよび
前記溶媒回収パイプには、前記制御手段により選択制御
される流出側開閉弁がそれぞれ介設されていることを特
徴とする請求項１８または１９に記載の機能液滴吐出ヘ
ッドの洗浄装置。 - 【請求項２１】 前記純水タンクには、純水の供給源に
連通する補給水パイプが接続されていることを特徴とす
る請求項１８、１９または２０に記載の機能液滴吐出ヘ
ッドの洗浄装置。 - 【請求項２２】 前記流入パイプまたは前記流出パイプ
には、通液する前記純水、前記アルコールおよび前記溶
剤の流速を緩急させる洗浄促進弁が介設されていること
を特徴とする請求項１８ないし２１のいずれかに記載の
機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項２３】 前記流入パイプには、通液する前記純
水、前記アルコールおよび前記溶剤に気泡を混入させる
エアーパイプが接続され、 前記エアーパイプには、気泡混入弁が介設されているこ
とを特徴とする請求項１８ないし２２のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項２４】 キャリッジに前記機能液滴吐出ヘッド
を複数搭載したヘッドユニットに適用される請求項１８
ないし２１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗
浄装置であって、 前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続ア
タッチメントは、これら複数の機能液滴吐出ヘッドに対
応する複数の接続部を備えており、 前記導入口接続アタッチメントには、該導入口接続アタ
ッチメントの前記複数の接続部に個別に連通する複数本
の個別流入パイプが接続され、且つ前記複数本の個別流
入パイプには流入側マニホールドを介して前記流入パイ
プが接続され、 前記ノズル接続アタッチメントには，該ノズル接続アタ
ッチメントの前記複数の接続部に個別に連通する複数本
の個別流出パイプが接続され、且つ前記複数本の個別流
出パイプには流出側マニホールドを介して前記流出パイ
プが接続されていることを特徴とする機能液滴吐出ヘッ
ドの洗浄装置。 - 【請求項２５】 前記各個別流入パイプまたは前記各個
別流出パイプには、 通液する前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤の流
速を緩急させる洗浄促進弁が介設され、 前記前記各個別流入パイプには、通液する前記純水、前
記アルコールおよび前記溶剤に気泡を混入させるエアー
パイプが接続され、且つ前記各エアーパイプには、気泡
混入弁が介設されていることを特徴とする請求項２４に
記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項２６】 前記各個別流入パイプおよび／または
前記各個別流出パイプは、液流を外部から視認可能な樹
脂チューブで構成されていることを特徴とする請求項２
４または２５に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項２７】 前記各個別流入パイプを、前記流入側
マニホールドに接続される上流側部分と、前記導入口接
続アタッチメントに接続される下流側部分とに分離し、
前記キャリッジに前記各個別流入パイプの上流側部分を
前記各個別流入パイプの下流側部分に接続するワンタッ
チジョイントを搭載することを特徴とする請求項２４な
いし２６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄
装置。 - 【請求項２８】 前記ノズル接続アタッチメントを支持
するアタッチメント支持部材と、 前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジを前記ア
タッチメント支持部材で支持される前記ノズル接続アタ
ッチメントの上に重ねるようにして支持するキャリッジ
支持部材とを備え、 前記キャリッジ支持部材に前記キャリッジを支持させる
ことで前記機能液滴吐出ヘッドの前記吐出ノズルが前記
ノズル接続アタッチメントに接続されるようにしたこと
を特徴とする請求項１５ないし２７のいずれかに記載の
機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項２９】 機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口か
ら吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して、
前記ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄
装置において、 前記機能液導入口に接続される導入口接続アタッチメン
トと、 前記吐出ノズルに接続されるノズル接続アタッチメント
と、 前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続ア
タッチメントを介して前記ヘッド内流路に前記洗浄液を
通液する洗浄液供給手段とを備え、 前記洗浄液供給手段は、通液する前記洗浄液の流速を緩
急させる流速可変機構を有していることを特徴とする機
能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項３０】 機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口か
ら吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して、
前記ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄
装置において、 前記機能液導入口に接続される導入口接続アタッチメン
トと、 前記吐出ノズルに接続されるノズル接続アタッチメント
と、 前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続ア
タッチメントを介して前記ヘッド内流路に前記洗浄液を
通液する洗浄液供給手段とを備え、 前記洗浄液供給手段は、通液する前記洗浄液に気泡を混
入させる気泡混入機構を有していることを特徴とする機
能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。 - 【請求項３１】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、カラー
フィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成す
る液晶表示装置の製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を
導入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の
前記フィルタエレメントを形成することを特徴とする液
晶表示装置の製造方法。 - 【請求項３２】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上
の多数の画素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する
有機ＥＬ装置の製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記
ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の
製造方法。 - 【請求項３３】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上
に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であ
って、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的
に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記
蛍光体を形成することを特徴とする電子放出装置の製造
方法。 - 【請求項３４】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、背面基
板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装
置の製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記背面基板に対し相
対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の
前記蛍光体を形成することを特徴とするＰＤＰ装置の製
造方法。 - 【請求項３５】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上
の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製
造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導
入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的
に走査し、前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前
記泳動体を形成することを特徴とする電気泳動表示装置
の製造方法。 - 【請求項３６】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上
に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィ
ルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を
導入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の
前記フィルタエレメントを形成することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法。 - 【請求項３７】 前記多数のフィルタエレメントおよび
前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されてお
り、 前記フィルタエレメントを形成した後に、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング
材料を導入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記コーティング材料を選択的に吐出して前
記オーバーコート膜を形成することを特徴とする請求項
３６に記載のカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項３８】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、ＥＬ発
光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列し
て成る有機ＥＬの製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記
ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬの製造
方法。 - 【請求項３９】 前記多数のＥＬ発光層と前記基板との
間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
成されており、 前記バンクを形成する前に、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の
前記画素電極を形成することを特徴とする請求項３８に
記載の有機ＥＬの製造方法。 - 【請求項４０】 前記多数のＥＬ発光層および前記バン
クを覆うように対向電極が形成されており、 前記ＥＬ発光層を形成した後に、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対
向電極を形成することを特徴とする請求項３９に記載の
有機ＥＬの製造方法。 - 【請求項４１】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、２枚の
基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状
のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒
子材料を導入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の前記
基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的に吐
出して前記基板上に前記スペーサを形成することを特徴
とするスペーサ形成方法。 - 【請求項４２】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上
に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金
属配線を形成することを特徴とする金属配線形成方法。 - 【請求項４３】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上
に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であ
って、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前
記マイクロレンズを形成することを特徴とするレンズ形
成方法。 - 【請求項４４】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上
に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であ
って、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入
し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レ
ジストを形成することを特徴とするレジスト形成方法。 - 【請求項４５】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１５ない
し３０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装
置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上
に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であっ
て、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的
に走査し、前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前
記光拡散体を形成することを特徴とする光拡散体形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001388317A JP3937833B2 (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | 機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001388317A JP3937833B2 (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | 機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 |
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- 2001-12-20 JP JP2001388317A patent/JP3937833B2/ja not_active Expired - Lifetime
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