JP2005058946A

JP2005058946A - 機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置、洗浄方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器

Info

Publication number: JP2005058946A
Application number: JP2003294497A
Authority: JP
Inventors: Kenji Sakamoto; 賢治坂本
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-08-18
Filing date: 2003-08-18
Publication date: 2005-03-10

Abstract

【課題】通液による洗浄液の汚染を防止でき、汚染の少ない洗浄液を回収可能な機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置、洗浄方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】ヘッド内流路に洗浄液を通液することにより、これを洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、洗浄液タンクと、ヘッド内流路を通液した洗浄液を回収する洗浄液回収部と、洗浄液タンクから導入部接続ジョイントおよびキャップを経て、洗浄液を洗浄液回収部に導く洗浄液流路と、洗浄液流路に洗浄液を通液させる通液手段と、洗浄液流路にエアーを導入しながら強制的に通気させる強制通気手段と、洗浄液の通液が終了させた後、強制通気手段を駆動して洗浄液流路にエアーを強制的に通気させる制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図１２

Description

本発明は、液滴吐出装置に適用される機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置、洗浄方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。

液滴吐出装置に搭載される機能液滴吐出ヘッドは、機能液を導入する機能液導入口と、多数の吐出ノズルを有し、導入した機能液をドット状に吐出するヘッド本体と、を有している。吐出ノズルは微小であるため、時間の経過に伴い、導入した機能液により、吐出ノズルに目詰まりを生じる惧れがある。また、機能液滴吐出ヘッドは、ヘッド内に保存液を充填して保存されるが、時間が経過すると、保存液中の不純物が析出して、目詰まりの原因となる。

そこで、機能液滴吐出ヘッドの目詰まりを防止するために、機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置が考えられている。この洗浄装置は、機能液導入口に接続する導入口接続アタッチメント（導入部接続ジョイント）と、異なる複数種類の洗浄液を貯留し、供給パイプが接続された複数の洗浄液タンクと、供給パイプを介して、導入口接続アタッチメントおよび各洗浄液タンクを接続する流入パイプと、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着する複数のキャップを有するノズル接続アタッチメントと、流出パイプを介してノズル接続アタッチメントに接続され、流入パイプ、導入口接続アタッチメント、およびノズル接続アタッチメントを吸引する吸引ポンプと、を備えており、吸引ポンプを駆動して、機能液導入部から吐出ノズルに至る機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、複数種類の洗浄液を１種類ずつ通液することにより機能液滴吐出ヘッドの洗浄を行う。

流出パイプの下流端は、各タンクに連通する複数の回収パイプに接続されており、ヘッド内流路を通液した各洗浄液は再び各タンクに回収され、循環利用される構成となっている。また、洗浄液の通液終了後は、流入パイプから流出パイプに至る洗浄液経路が大気開放され、洗浄液経路内の洗浄液もタンクに回収されるようになっている。
特開２００３−１８２０９５号公報

しかしながら、洗浄液の通液終了後、上記のような大気置換により洗浄液経路の洗浄液を回収しても、洗浄経路内に洗浄液滴が部分的に残留するため、複数種類の洗浄液を順次通液すると、回収される洗浄液は、先の通液により残留した別種類の洗浄液によって汚染され洗浄液に再利用が困難になる。特に、洗浄液を循環使用する場合には、洗浄液の通液を繰り返すうちに洗浄液が次第に汚れてしまうため、洗浄液タンク内の洗浄液を頻繁に交換する必要が生じ、洗浄装置のメンテナンス性を悪化させていた。

本発明は、通液による洗浄液の汚染を防止できると共に、汚染の少ない洗浄液を回収可能な機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置、洗浄方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的としている。

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部に接続する導入部接続ジョイントおよび機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを介して、機能液導入部から吐出ノズルに至る機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液することにより、ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、通液する洗浄液を供給する洗浄液タンクと、ヘッド内流路を通液した前記洗浄液を回収する洗浄液回収部と、洗浄液タンクから導入部接続ジョイントおよびキャップを経て、洗浄液を洗浄液回収部に導く洗浄液流路と、洗浄液流路に洗浄液を通液させる通液手段と、洗浄液流路にエアーを導入しながら強制的に通気させる強制通気手段と、洗浄液の通液が終了させた後、強制通気手段を駆動して洗浄液流路にエアーを強制的に通気させる制御手段と、を備えたことを特徴とする。

また本発明は、洗浄液流路の上流側から洗浄液を連続的に導入することにより、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部から吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法において、ヘッド内流路に洗浄液を通液させる洗浄液通液工程と、洗浄液通液工程の後、洗浄液流路に圧縮エアーを導入して強制的に通気することにより、洗浄液流路から洗浄液を回収する洗浄液回収工程と、を備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、洗浄液の通液終了後、強制通気手段を駆動して洗浄液流路にエアーが強制的に通気されるので、洗浄液流路に部分的に残留する洗浄液（例えば、洗浄液流路の壁面に付着した洗浄液等）にエアーが吹き付けられることとなり、洗浄液を効率的に排液させることができる。したがって、洗浄液流路に異なる洗浄液を順次通液させる場合には、先に通液した洗浄液により、後に通液した洗浄液が汚染（混ざり込む）されることを防止することができ、純粋な洗浄液を回収することが可能である。

この場合、洗浄液タンクは、洗浄液回収部を兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、洗浄液タンクが洗浄液回収部を兼ねているので、通液した洗浄液を循環させて繰り返し使用することができる。したがって、洗浄液の供給回数を削減することができ、メンテナンス性を向上させることができると共に、洗浄液の消費量を削減することが可能である。

この場合、通液手段は、キャップと前洗浄液回収部の間の前洗浄液流路に介設した、空気圧制御のポンプで構成されていることが好ましい。

この構成によれば、洗浄液に引火性のあるアルコール等が用いられても、安全性（防爆仕様）を確保することができる。

この場合、洗浄液流路には、エアーを導入するためのエアー導入孔が通液方向に複数個分散して形成されており、強制通気手段は、各エアー導入孔に連通する複数のエアー個別供給流路と、各エアー個別供給流路に介設された複数のエアー流路開閉バルブと、エアー個別供給流路を介して、複数のエアー導入孔に連なる単一の圧縮エアー供給源と、を有していることが好ましい。

この構成によれば、通液方向に離間した複数箇所から洗浄液流路にエアーを導入することができるため、通気エアーの圧力損失が抑制され、より効率的に洗浄液を洗浄液流路から排液させることができる。

この場合、制御手段は、洗浄液の通液終了後、複数のエアー流路開閉バルブを一斉に開弁させることが好ましい。

この構成によれば、エアー流路開閉バルブが一斉に開弁されるので、洗浄液流路に形成されたエアー導入孔を介して、エアーや洗浄液流路に残留した洗浄液がエアー個別供給流路に逆流することがない。

本発明は、異なる複数種類の洗浄液を貯留する複数の洗浄液タンクと、複数の洗浄液回収部と、を備え、ヘッド内流路に１種類ずつ洗浄液を通液すると共に、通液した洗浄液を個別に各洗浄液回収部に回収する上記のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、洗浄液流路は、各洗浄液タンクに接続された複数の洗浄液個別供給流路と、複数の洗浄液個別供給流路を合流して形成され、導入部接続ジョイントに接続された単一の洗浄液共通供給流路と、キャップに接続された単一の洗浄液共通回収流路と、洗浄液共通回収流路から複数に分岐して形成され、各洗浄液回収部に接続された複数の洗浄液個別回収流路と、を有しており、各洗浄液個別供給流路に介設された複数の供給流路開閉バルブと、各洗浄液個別回収流路に介設された複数の回収流路開閉バルブと、複数種類の洗浄液から通液する洗浄液を選択する洗浄液選択手段と、洗浄液選択手段に基づいて、複数の供給流路開閉バルブおよび複数の回収流路開閉バルブを制御する第２制御手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、洗浄液選択手段を備えているので、セットした機能液滴吐出ヘッドが吐出する機能液に応じて、複数種類の洗浄液の中から適切な洗浄液を選択することができ、機能液滴吐出ヘッドを確実に洗浄することが可能である。

この場合、エアー導入孔は、共通供給流路および／または共通回収流路に形成されていることが好ましい。

この構成によれば、洗浄液の通液後において、異なる複数種類の洗浄液の共通の流路である共通供給流路および／または共通回収流路に、通液した洗浄液が残留することを防止することができ、後に通液した洗浄液に先に通液した洗浄液が混合することを有効に防止することができる。

この場合、洗浄液流路は、洗浄液タンクと導入部接続ジョイントとの間に位置する第１ポイントから、キャップと洗浄液回収部との間に位置する第２ポイントまで、下り勾配で配置されており、複数の洗浄液個別供給流路は、第１ポイントで合流することが好ましい。

この構成によれば、第１ポイントから第２ポイントまで、洗浄液流路が下り勾配で設置されているため、第１ポイントから機能液滴吐出ヘッドを介して第２ポイントに至る洗浄液流路内に洗浄液が自然流下し易く、残留することを有効に防止することができる。

この場合、エアー導入孔は、第２ポイントに形成されていることが好ましい。

この構成によれば、下り勾配に設置された洗浄液流路の最も低い位置、すなわち洗浄液が残留し易い第２ポイントにエアー導入孔が形成されているので、第２ポイントに洗浄液が残留をエアーにより効率的に排液させることができる。

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部に接続する導入部接続ジョイントおよび機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを介して、機能液導入部から吐出ノズルに至る機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、複数種類の洗浄液を１種類ずつ通液することにより、ヘッド内流路を洗浄すると共に、通液した洗浄液を個別に回収する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、異なる複数種類の洗浄液を貯留する複数の洗浄液タンクと、再利用タンクおよび廃液タンクを有する複数の洗浄液回収部と、各洗浄液タンクに接続された複数の洗浄液個別供給流路と、複数の洗浄液個別供給流路を合流して形成し、導入部接続ジョイントに接続された単一の洗浄液共通供給流路と、キャップに接続された単一の洗浄液共通回収流路と、洗浄液共通回収流路から複数に分岐して形成され、各洗浄液回収部に接続された複数の洗浄液個別回収流路と、を有し、各洗浄液タンクから導入部接続ジョイントおよびキャップを経て、各洗浄液回収部に至る洗浄液流路と、各洗浄液個別回収流路に介設され、各洗浄液個別回収流路を２つの流路に分岐する三方弁と、洗浄液流路に洗浄液を通液させる洗浄液通液手段と、洗浄液通液手段および各三方弁を制御する制御手段と、を備えており、各再利用タンクおよび各廃液タンクは、各三方弁を介して、洗浄液個別回収流路に接続され、制御手段は、初期に回収される洗浄液は廃液タンクに回収し、以降の洗浄液は再利用タンクに回収されるよう、回収する洗浄液毎に前記各三方弁を制御することを特徴とする。

また本発明は、洗浄液流路の上流側から複数種類の洗浄液を順次連続的に導入し、当該洗浄液流路の下流側で連続的に回収することにより、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部から吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法において、各洗浄液について、通液初期の洗浄液を廃液タンクに回収し、以降の洗浄液を再利用タンクに回収することを特徴とする。

これらの構成によれば、三方弁で洗浄液個別回収流路の流路を切り替えることにより、通液初期に回収される洗浄液を廃液タンクに回収すると共に、以降の洗浄液を再利用タンクに回収することができる。すなわち、前に通液した洗浄液により汚染の多い通液初期の洗浄液は廃液タンクに排液され、汚染の少ない洗浄液は再利用タンクに回収されるため、再利用タンクに貯留する洗浄液を容易に再利用することができる。なお、流路の切替えタイミングは、タイマー制御によることが好ましい。

この場合、洗浄液タンクは、再利用タンクを兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、純度の高い洗浄液が洗浄液タンクに戻されるので、洗浄液タンク内の洗浄液を長期に亘り循環使用することができる。これにより、洗浄液交換等のメンテナンス頻度を低減させることが可能である。

本発明は、ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部に接続する導入部接続ジョイントおよび機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを介して、機能液導入部から吐出ノズルに至る機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に洗浄液を通液することにより、ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、通液する前記洗浄液を供給する洗浄液タンクと、ヘッド内流路を通液した洗浄液を回収する洗浄液回収部と、洗浄液タンクから導入部接続ジョイントおよびキャップを経て、洗浄液を洗浄液回収部に導く洗浄液流路と、洗浄液流路に洗浄液を通液させる通液手段と、を備え、洗浄液流路は、少なくとも洗浄液タンクと導入部接続ジョイントとの間に位置する第１ポイントから、キャップと洗浄液回収部との間に位置する第２ポイントまで、下り勾配で配置されていることを特徴とする。

この構成によれば、第１ポイントから第２ポイントまで洗浄液流路が下り勾配で設置されているため、第１ポイントから機能液滴吐出ヘッドを介して第２ポイントに至る洗浄液流路内に洗浄液が自然流下し易く、残留することを有効に防止することができる。

この場合、洗浄液流路は、第２ポイントで分岐して、ドレーン流路を形成しており、ドレーン流路には、ドレーン開閉バルブが介設されていることが好ましい。

この構成によれば、下り勾配に設置された洗浄液流路の最も低い位置、すなわち洗浄液が残留し易い第２ポイントにエアー導入孔が形成されているので、洗浄液の通液後にドレーン開閉バルブを開閉することにより、最終的に第２ポイントに残留した洗浄液を外部に排液することができる。

本発明は、異なる複数種類の洗浄液を貯留する複数の洗浄液タンクと、複数の洗浄液回収部と、を備え、ヘッド内流路に１種類ずつ洗浄液を通液すると共に、通液した洗浄液を個別に各洗浄液回収部に回収する上記に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、洗浄液流路は、各洗浄液タンクに接続された複数の洗浄液個別供給流路と、複数の洗浄液個別供給流路を合流して形成され、導入部接続ジョイントに接続された単一の洗浄液共通供給流路と、を有しており、複数の洗浄液個別供給流路は、第１ポイントで合流していることを特徴とする。

この構成によれば、洗浄液が残留し易い、複数の洗浄液個別供給流路の合流部に第１ポイントが形成されているため、合流部に洗浄液が残留することを有効に防止することができる。

この場合、複数の洗浄液個別供給流路は、供給マニホールドを介して合流しており、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された第１支持部を有する第１支持部材をさらに備え、供給マニホールドは第１支持部に支持されていることが好ましい。

この構成によれば、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設した第１支持部を介して、容易に供給マニホールドを下り勾配に設置することができる。

この場合、洗浄液流路は、キャップに接続された単一の洗浄液共通回収流路と、相互に連結させた複数のバルブを有し、洗浄液共通回収流路を複数本に分岐する分岐バルブユニットと、を有しており、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された２支持部を有する第２支持部材をさらに備え、分岐バルブユニットは、第２支持部に支持されていることが好ましい。

この構成によれば、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設した第２支持部を介して、容易に分岐バルブユニットを下り勾配に設置することができる。

本発明は、複数の前記導入部接続ジョイントおよび複数のキャップを備え、複数の前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットに適用される上記のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、洗前記洗浄液タンクに接続する洗浄液流路は、ヘッド側マニホールドを介して複数本に分岐され、複数の導入部接続ジョイントに接続されており、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された第３支持部を有する第３支持部材をさらに備え、ヘッド側マニホールドは、前記第３支持部に支持されていることを特徴とする。

この構成によれば、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設した第３支持部を介して、容易にヘッド側マニホールドを下り勾配に設置することができる。

この場合、ヘッド側マニホールドを介して、複数本に分岐した洗浄液流路は、キャップ側マニホールドを介して１本に合流されており、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された４支持部を有する第４支持部材をさらに備え、キャップ側マニホールドは、第４支持部に支持されていることが好ましい。

この構成によれば、洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設した第４支持部を介して、容易にキャップ側マニホールドを下り勾配に設置することができる。

本発明は、ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドは、上記のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄されたものであることを特徴とする。

この構成によれば、洗浄液の通液後、洗浄液流路から洗浄液を効率よく回収して、効率よく機能液滴吐出ヘッドを洗浄可能な洗浄装置を用いて洗浄を行った機能液滴吐出ヘッドが搭載されているため、機能液滴吐出ヘッドに要するコストを削減することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

この構成によれば、低コストな機能液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置を用いているため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field
Emission Display）やＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

上述のように、本発明の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置は、洗浄液通液後に、洗浄液流路に残留する洗浄液を効率的に回収することができる。したがって、複数種類の洗浄液を洗浄液流路に通液させる場合において、先に通液させた洗浄液により後の洗浄液が汚れることがなく、回収した洗浄液を容易に再利用可能である。また、本発明の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置は、通液初期の洗浄液を排液タンクに回収すると共に、以降の洗浄液を再利用タンクに回収しているため、再利用タンクには純度の高い洗浄液を回収することができる。このため、再利用タンクの洗浄液を繰り返し使用することができ、洗浄液のコストを削減することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の洗浄装置を用いて洗浄した機能液滴吐出ヘッドを搭載しているため、低コストである。また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いているため、効率よくこれらを製造することが可能となる。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明を適用した機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置について説明する。本実施形態の洗浄装置は、ヘッドユニットを介して液滴吐出装置に搭載された機能液滴吐出ヘッドを洗浄するものであるため、ここでは、先ず液滴吐出装置について説明した後、機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置について説明する。

液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。図１は、液滴吐出装置の平面模式図である。同図に示すように、液滴吐出装置Ａは、機台１と、機能液滴吐出ヘッド３１を有し、機台１上の全域に広く載置された描画手段２と、描画手段２に添設するように機台１上に載置したヘッド機能回復手段３と、を備えており、描画手段２を用いてワークＷ上に機能液滴による描画を行うと共に、ヘッド機能回復手段３により適宜、描画手段２（機能液滴吐出ヘッド３１）の機能回復処理（メンテナンス）を行うようにしている。

図１に示すように、描画手段２は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１１およびＸ軸テーブル１１に直交するＹ軸テーブル１２から成るＸ・Ｙ移動機構４と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ５と、メインキャリッジ５に垂設され、機能液滴吐出ヘッド３１を搭載したヘッドユニット６と、を有している。

Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ１３を有し、これに吸着テーブル１４およびθテーブル１５等から成るセットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ１７を有し、これにθ回転機構２２を介してヘッドユニット６を支持する上記のメインキャリッジ５を移動自在に搭載して構成されている。

なお、Ｘ軸テーブル１１は、ヘッド機能回復手段３とＸ軸方向に相互に平行に配設されており、機台１上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル１２は、機台１上に立設した左右の支柱２１に支持されており、Ｘ軸テーブル１１およびヘッド機能回復手段３を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１参照）。液滴吐出装置Ａでは、Ｙ軸テーブル１２とＸ軸テーブル１１とが交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリアＤ、Ｙ軸テーブル１２とヘッド機能回復手段３とが交わるエリアが機能回復処理を行う機能回復エリアＭとなっており、Ｙ軸テーブル１２は、ワークＷに描画を行う場合には描画エリアＤに、回復処理を行う場合には機能回復エリアＭに、ヘッドユニット６を臨ませるようになっている。

ヘッドユニット６は、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド３１を搭載したヘッドプレート３２と、メインキャリッジ５に着脱可能に構成されたヘッド支持部材３３と、を備えている。なお、メインキャリッジ５には、ヘッドユニット６を微少にθ方向に回転させるθ回転機構２２が取り付けられており、ヘッドユニット６は、θ回転機構２２に支持させたヘッドプレート３２を介してメインキャリッジ５に支持されている。ヘッドプレート３２には、配管ジョイント５１を有するジョイントユニット５１が配設されている。配管ジョイント５１の一端は、機能液滴吐出ヘッド３１（配管アダプタ５３）からのヘッド側配管部材（図示省略）が接続され、もう一端は機能液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給する機能液供給機構（図示省略）からの装置側配管部材（図示省略）が接続される。

図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド３１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４３と、を備えている。各接続針４２は、配管アダプタ５３を介して、ヘッド側配管部材に接続されており、機能液滴吐出ヘッド３１は、各接続針４２から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体４３は、キャビティ４５（ピエゾ圧電素子）と、ノズル面４７を有するノズルプレート４６と、で構成されている。ノズル面４７の下面には、多数（１８０個）の吐出ノズル４８からなるノズル列が２列形成されている。機能液滴吐出ヘッド３１では、キャビティ４５のポンプ作用により吐出ノズル４８から機能液を吐出する。

描画手段２は、Ｘ軸テーブル１１による主走査（ワークＷの往復移動）と、機能液滴吐出ヘッド３１を吐出駆動（機能液滴の選択的吐出）と、を同期して行うと共に、Ｙ軸テーブル１２による副走査（ヘッドユニット６のＹ軸方向への移動）を適宜行うことにより、ワークＷに対する描画を行っている。

ヘッド機能回復手段３は、機台１上に載置した移動テーブル６１と、移動テーブル６１上に載置した吸引ユニット６２およびワイピングユニット６３とを備えている。吸引ユニット６２は、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７（後述する）に密着する吸引キャップ６４を有し、ノズル面４７に密着させた吸引キャップ６４を介して、機能液滴吐出ヘッド３１から機能液を強制的に吸引することにより、吐出ノズル４８の目詰まりを防止する。なお、吸引キャップ６４は、機能液滴吐出ヘッド３１の全吐出ノズル４８からの機能液の捨て吐出（予備吐出）を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット６３は、主に、機能液吸引を行った後に用いられ、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７をワイピング（拭き取り）することにより、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７に付着した機能液が取り除き、機能液吐出時の飛行曲がり等を防止する。

なお、ヘッド機能回復手段３として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド３１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド３１から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、搭載することが好ましい。さらに、同図示では省略したが、この液滴吐出装置Ａには、各機能液滴吐出ヘッド３１に機能液が供給する機能液供給機構や、上記の描画手段２、ヘッド機能回復手段３等の各構成手段を統括制御する制御手段（図示省略）などが組み込まれている。

ところで、ヘッドユニット６は、複数種類のものが用意されており、用途に合わせて適宜ヘッドユニット６を選択できるようになっている。具体的には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１を所定の配置パターンで搭載した第１ヘッドユニット７１と、第１ヘッドユニット７１と同一の配置パターンで２個の機能液滴吐出ヘッド３１を搭載した、第１ヘッドユニット７１よりも小型の第２ヘッドユニットが用意されている。

第１ヘッドユニット７１は、図３に示すように、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１を６個ずつに二分し、これを所定角度θ傾けて配設した第１ヘッドプレート７２を有しており、第１ヘッドプレート７２のＸ軸方向両側部には、第１ヘッドユニット７１をメインキャリッジ５（θ回転機構２２）にセットするための左右一対の第１ヘッド支持部材７３がねじ止めされている。また、第１ヘッドプレート７２には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１に対応して、１２個の配管ジョイント５１が上下に二分して配設したジョイントユニット５１が設けられている。なお、一対の第１ヘッド支持部材７３の端部には、それぞれハンドル７４が立設されており、この一対のハンドル７４を手持ち部位として、第１ヘッドユニット７１の運込みおよび着脱を行えるようになっている。

第２ヘッドユニット８１は、図４に示すように、２個の機能液滴吐出ヘッド３１を第１ヘッドユニット７１と同一の角度θ傾けて配設すると共に、２個の配管ジョイント５１が固定された第２ヘッドプレート８２と、これを支持するヘッドホルダ８３と、で構成されている。第２ヘッドプレート８２は、搭載する機能液滴吐出ヘッド３１の数に合わせて、第１ヘッドプレート７２よりも小型に形成されている。ヘッドホルダ８３は、ヘッドプレート３２を保持するホルダ本体８６と、第２ヘッドプレート８２の支持姿勢（あおり：ローリングおよびピッチング）を調整するためのあおり調整機構８４を介してホルダ本体８６を吊設するホルダプレート８２と、を有している。ホルダプレート８２には、Ｌ字に折り曲げたジョイント支持プレート８８を介して、機能液滴吐出ヘッド３１に接続させる２個の配管ジョイント５１が固定されている。ホルダプレート８２のＸ軸方向両側部には、第２ヘッドユニット８１をメインキャリッジ５（θ回転機構２２）に着脱するための左右一対の第２ヘッド支持部材８７がねじ止めされている。あおり調整機構８４は、第２ヘッドユニット８１に必ず配設しなければならないものではなく、第２ヘッドプレート８２に対する機能液滴吐出ヘッド３１の組み付け精度等を考慮し、実情に合わせて設ければよい。

第１ヘッドユニット７１および第２ヘッドユニット８１は、同一の取り付け形態でもってθ回転機構２２に着脱可能に支持されており、第１ヘッド支持部材７３および第２ヘッド支持部材８７には、同一形態の取り付け部が形成されている。
すなわち、第１ヘッドユニット７１と第２ヘッドユニット８１はθ回転機構２２の下側において、交換セット可能に構成されている。

なお、第１ヘッドユニット７１に搭載する機能液滴吐出ヘッド３１の数は、１２個に限られるものではなく、任意に設定可能であり、第２ヘッドユニット８１に搭載する機能液滴吐出ヘッド３１の数も、第１ヘッドユニット７１よりも少数であれば任意に設定可能である。また、第２ヘッドユニット８１における機能液滴吐出ヘッド３１の配置パターンも上記のものに限定されるものではなく、第１ヘッドユニット７１における機能液滴吐出ヘッド３１の配置位置に対応させたものであればよい。さらに、目的に応じて、複数種類の第２ヘッドユニット８１を用意するようにしてもよい。

次に、本発明の洗浄装置について説明する。図５は、洗浄装置の外観斜視図であり、図６は、洗浄装置の平面図である。両図に示すように、洗浄装置Ｂは、正面視左側のタンク部キャビネット１０１と、右側の洗浄部キャビネット１０２とを備えており、これら両キャビネット１０１，１０２は一体としてドラフトチャンバ１０３に収容されている。タンク部キャビネット１０１は、背の低い前部収容部１１１と背の高い後部収容部１１２とから成り、詳細は後述するが前部収容部１１１にはタンク類が収容され、後部収容部１１２にはポンプ類が収容されている（図７および図８参照）。

洗浄部キャビネット１０２は、内部の架台１２１上に上げ底となるように防液パン１２２を有しており、この防液パン１２２上には、上記のヘッドユニット６をセットするヘッドセット部１２３（後述する）が配設されていると共に、複数のキャップ１６４を搭載したキャップユニット１６１（後述する）が設置されている。（図５および図６等参照）。洗浄部キャビネット１０２の上面には、前後方向にスライドするスライド形式の開閉蓋１１３が設けられており、開閉蓋１１３を開くと、ヘッドセット部１２３が現れるようになっている。また、防液パン１２２には、ヘッドセット部１２３の三方を囲むように、左右一対の支持スタンド１２６と、２本の支柱１２７、１２８と、が立設されている。

この洗浄装置Ｂは、ヘッドセット部１２３にセットされたヘッドユニット６に搭載された機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７にキャップ１６４を密着させ、上記した配管ジョイント５１およびキャップ１６４を介して、機能液滴吐出ヘッド３１の機能液導入部４１（接続針４２）から吐出ノズル４８に至るヘッド内流路に洗浄液タンク２３１からの洗浄液を通液して、ヘッド内流路の洗浄を行うものである。また、洗浄装置Ｂは、各種設定を行うためのデータ設定手段１３１が備えられている他、制御手段１３２が設けられており、洗浄装置Ｂ全体が統括制御されるようになっている。

図９に示すように、ヘッドセット部１２３は、左右に離間して配設され、ヘッドユニット６をセットする一対のセットスタンド１４１と、各セットスタンド１４１に固定された一対のセットガイド部材１５１と、を有している。各セットスタンド１４１の上面には、セットするヘッドユニット６を位置決めするヘッド位置決め凸部１４２とヘッド位置決め凸部１４２を挟むようにして形成したねじ穴１４３が形成されている。各セットガイド部材１５１は、Ｌ字状に折り曲げたガイドプレート１５２をセットスタンド１４１の脚部に固定し、このガイドプレート１５２上に、ヘッドユニット６のＸ軸方向における位置（幅）を規制すＸ軸規制部材１５３と、ヘッドユニット６のＹ軸方向における位置（奥行き）を規制するＹ軸規制部材１５４と、を配置したものである。

ヘッドセット部１２３は、上記した第１ヘッドユニット７１に対応しており、第１ヘッドユニット７１を位置決めセットできるようになっている。第１ヘッドユニット７１の各第１ヘッド支持部材７３には、１個のヘッド位置決め孔７５が形成されていると共に、ヘッド位置決め孔７５の前後に形成した一対の貫通孔７６が形成されている。洗浄装置Ｂに第１ヘッドユニット７１をセットする場合には、Ｘ軸規制部材１５３およびＹ軸規制部材１５４に第１ヘッドユニット７１（第１ヘッド支持部材７３）Ｘ軸方向およびＹ軸方向の端を度当たりさせながらおおよその位置決めをし、一対のヘッド位置決め孔７５を一対のヘッド位置決め凸部１４２にそれぞれ嵌合させた後、貫通孔７６とねじ穴１４３をねじ（ユリアネジ）止めし、第１ヘッドユニット７１を各セットスタンド１４１セットするようになっている。

図９および図１０に示すように、キャップユニット１６１は、一対のセットスタンド１４１の間に配設されたキャップスタンド１６２に上向きに取り付けられており、キャップスタンド１６２に固定されたキャップベース１６３に、１２個のキャップ１６４を搭載させたものである。同図に示すように、１２個のキャップ１６４は、上記の第１ヘッドユニット７１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド３１と同様の配置パターンでキャップベース１６３に配置されている。すなわち、１２個のキャップ１６４は、６個ずつに二分され、所定角度θ傾けた状態でキャップベース１６３に配置されている。また、キャップベース１６３には、キャップスタンド１６２に位置決めするための前後一対のキャップ位置決め孔１７１と、キャップ位置決め孔１７１に対抗したねじ止め用の前後一対の固定穴１７２が形成されている。

各キャップ１６４は、キャップ本体１８１とキャップホルダ１８２とから成り、キャップ本体は、２つのばね（図示省略）で上方に付勢され、且つわずかに上下動可能な状態でキャップホルダ１８２に保持されている。キャップ本体１８１の上面には、機能液滴吐出ヘッド３１の２列の吐出ノズル群を包含する凹部１８４が形成され、凹部１８４の周縁部にはシールパッキン１８５が取り付けられている。また、キャップ本体１８１の下端部には、凹部１８４の底部に形成した小孔１８６に連通するＬ字継ぎ手（エルボ管：図示省略）が固定されている。なお、本実施形態のキャップ１６４は、液滴吐出装置Ａの吸引キャップ１６４を流用したものであるが、専用のものを用いてもよい。

キャップスタンド１６２は、一対のセットスタンド１４１よりも所定の高さ分低く形成されていると共に、一対のセットスタンド１４１に対して位置決めされて防液パン１２２上に立設されている。また、キャップスタンド１６２には、一対のキャップ位置決め孔１７１に嵌合する、前後一対のキャップ位置決めピン１９１が突出していると共に、前後一対のキャップ位置決めピン１９１と対向する位置に前後一対のねじ穴１９２が形成されている。そして、キャップベース１６３に形成された右側の前後一対のキャップ位置決め孔１７１にキャップ位置決めピン１９１を嵌合させると共に、キャップベース１６３の固定穴１７２と一対のねじ穴１９２を一致させ、ねじ止めすることにより、キャップベース１６３をキャップスタンド１６２に位置決めする。したがって、第１ヘッドユニット７１はヘッドセット部１２３を介して、キャップユニット１６１に位置決めされるため、第１ヘッドユニット７１をヘッドセット部１２３にセットすると、第１ヘッドユニット７１がキャップユニット１６１に重なって、各機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７に各キャップ１６４のシールパッキン１８５が押し付けられ、ノズル面４７は、２列の吐出ノズル列を包含されるようにキャップ１６４により封止される。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１は、１２個のキャップ１６４に密着する。

上述したように、ヘッドセット部１２３およびキャップユニット１６１は、第１ヘッドユニット７１に対応したものであるが、この洗浄装置Ｂには、第２ヘッドユニット８１をセットするためのセット治具２０１が備えられている。したがって、セット治具２０１を介して、第２ヘッドユニット８１をセットすることにより、第１ヘッドユニット７１よりも小型の第２ヘッドユニット８１でも、容易かつ適切にヘッドセット部１２３にセット可能となっている。

図１１に示すように、セット治具２０１は、ヘッドセット部１２３にセットするセットプレート２０２と、セットプレート２０２に立設した一対のヘッド固定部材２０３と、を有している。セットプレート２０２は、方形の厚板の左右一対の奥側隅部を切り欠いて、平面視略「凸」型に形成したものである。

セットプレート２０２には、その中央右寄りの部分に方形の開口２０４が形成されており、一対のヘッド固定部材２０３は開口２０４を挟むように左右に立設されている。一対のヘッド固定部材２０３の上端面には、位置決め凸部２０５が形成されていると共に、上記した一対の第２ヘッド支持部材８７（間接セット部）には、一対の治具ヘッド位置決め孔８９が形成されており、これらを嵌合させることにより、第２ヘッドユニット８１はセットプレート２０２に対して位置決めされる。そして、この状態で一対のヘッド固定部材２０３の上端部に第２ヘッドユニット８１をねじ止め（ユリアネジ）すると、開口２０４（セットプレート２０２の下面）から第２ヘッドユニット８１の機能液滴吐出ヘッド３１（のノズル面４７）が下方に向かい僅かに突出した状態となる。

この場合、一対のヘッド固定部材２０３は、開口２０４からの機能液滴吐出ヘッド３１の突出量が、第１ヘッドユニット７１に搭載した機能液滴吐出ヘッド３１のノズル面４７から、上記した第１ヘッド支持部材７３の下面までの距離ｌに等しくなるよう高さ調整されている。すなわち、第１ヘッド支持部材７３によって第２ヘッドユニット８１の高さ調整が為されているため、本実施形態の第１ヘッドユニット７１と第２ヘッドユニット８１のように第１ヘッドユニット７１と第２ヘッドユニット８１の厚み（高さ）が異なっている場合でも、セットプレート２０２をヘッドセット部１２３にセットしたときには、第２ヘッドユニット８１の機能液滴吐出ヘッド３１は、第１ヘッドユニット７１の機能液滴吐出ヘッド３１と同様の押圧力でキャップ１６４に密着する。

また、セットプレート２０２は、ヘッド固定部材２０３を介して固定した第２ヘッドユニット８１の各機能液滴吐出ヘッド３１にキャップユニット１６１の各キャップ１６４が密着するよう、当該セットプレート２０２をヘッドセット部１２３に位置決め支持させる一対のセット部２１１（直接セット部）を有している。すなわち、一対のセット部２１１および一対のヘッド固定部材２０３は相互に位置決めされており、セット部２１１をヘッドセット部１２３に位置決めすると、一対のヘッド固定部材２０３を介して、第２ヘッドユニット８１もヘッドセット部１２３に位置決めされて、第２ヘッドユニット８１の各機能液滴吐出ヘッド３１にキャップ１６４が密着するようになっている。この場合、本実施形態では、キャップユニット１６１の図示右側、手前側２個のキャップ１６４が第２ヘッドユニット８１の２個の機能液滴吐出ヘッド３１に密着する。

一対のセット部２１１は、第１ヘッドユニット７１と全く同一の取り付け形態でヘッドセット部１２３に取り付けるものであり、第１ヘッドユニットと全く同じ方法で位置決め固定するようになっている。各セット部２１１には、治具位置決め孔２１２およびこれを挟んで前後に形成した２対の貫通孔２１３が形成されており、これらは、各第１ヘッド支持部材７３に形成されたヘッド位置決め孔７５および一対の貫通孔７６と同一の形状を有していると共に、その配置を一致させている（図３、図９、および図１１参照）。したがって、治具位置決め孔２１２をセットスタンド１４１のヘッド位置決め凸部１４２に嵌合させると、セットスタンド１４１の４個のねじ穴１４３とセット部２１１の４個の貫通孔２１３が一致してねじ止めできるようになっている。なお、上記したＸ軸規制部材１５３は、セット治具２０１をヘッドセット部１２３にセットためのガイドとなっており、セット治具２０１をセットするときには、セットプレート２０２の切り欠き部２１５をＸ軸規制部材１５３の前端面１５３ａに度当たりさせることにより、セット治具２０１をおおまかに位置決めできる。

このように、洗浄装置Ｂには、第２ヘッドユニット８１をセットするためのセット治具２０１が備えられているので、第１ヘッドユニット７１に対応したヘッドセット部１２３に対して、第１ヘッドユニット７１と異なる形状の第２ヘッドユニット８１を適切かつ迅速にセットすることができるようになっている。なお、複数種類の第２ヘッドユニット８１が用意されている場合は、それぞれに対応させた複数種類のセット治具２０１を備えることが好ましい。

次に、図１２ないし図１５を参照しながら、洗浄液供給回収系２２１について説明する。同図に示すように、洗浄液供給回収系２２１は、上記した配管ジョイント５１を介して、機能液滴吐出ヘッド３１（の機能液導入部４１）に洗浄液を供給する洗浄液供給ユニット２２２と、キャップ１６４を介して、ヘッド内流路に通液した洗浄液を回収する洗浄液回収ユニット２２３と、洗浄液供給ユニット２２２および洗浄液回収ユニット２２３を機能液滴吐出ヘッド３１に接続することにより形成される洗浄液流路に洗浄液を通液させる洗浄液通液手段２２４と、圧縮エアー（不活性ガスまたはドライエアー）を供給するエアー供給手段２２５と、を備えている。

洗浄液供給ユニット２２２は、洗浄液を貯留する５つの洗浄液タンク２３１と、洗浄液タンク２３１および配管ジョイント５１を接続する供給チューブユニット２４０と、を備えている。図７および図８に示すように、５つの洗浄液タンク２３１は、タンク部キャビネット１０１の前部収容部１１１に設置されたオイルパン２３２上に配設されており、図示右側から純水を貯留する純水タンク２３１ａ、エタノール等のアルコールを貯留するアルコールタンク２３１ｂ、機能液滴吐出ヘッド３１から吐出させる機能液の溶剤を貯留する３つの溶剤タンク２３１ｃ、２３１ｄ、２３１ｅ、の順に配置されている。なお、オイルパン２３２には、５つの洗浄液タンク２３１の他に、洗浄液回収ユニット２２３の５つの廃液タンク２６２（後述する）が配設されていると共に、液体検出センサ２３３も配設されており、洗浄液漏れや廃液漏れを検出できるようになっている。

３つの溶剤タンク２３１ｃ、２３１ｄ、および２３１ｅには、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１に導入する機能液に応じて、様々な溶剤を貯留する可能性があるため、本実施形態の洗浄装置Ｂ全体は、エアーカーテンを装備したドラフトチャンバ１０３内に収容されている。ドラフトチャンバ１０３内は、僅かに負圧に保たれており、これによって洗浄装置Ｂ内のエアー（溶剤の気化した溶媒を含む）が外部に漏出することを防止している（図５等参照）。そして、ヘッドセット部１２３に対するヘッドユニット６のセット作業や、洗浄液タンク２３１の交換作業等、ほとんどの作業をドラフトチャンバ１０３内で行うようになっている。

図１２に示すように、供給チューブユニット２４０は、各洗浄液タンク２３１に接続された５本の個別供給チューブ２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄ、２４１ｅと、５本の個別供給チューブ２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄ、２４１ｅを合流させる供給マニホールド２４２と、供給マニホールド２４２に接続した１本の共通供給チューブ２４３と、を有している。５本の個別供給チューブ２４１ａ、２４１ｂ、２４１ｃ、２４１ｄ、２４１ｅには、それぞれ個別供給バルブ２４４ａ、２４４ｂ、２４４ｃ、２４４ｄ、２４４ｅが配設されており、これらの開閉を制御することにより、５つの洗浄液タンク２３１から選択的に１種類ずつ洗浄液を供給できるようになっている。個別供給バルブ２４４ａ、２４４ｂ、２４４ｃ、２４４ｄ、２４４ｅおよび供給マニホールド２４２は、上記した支柱１２７に支持されている（図１３ないし図１５参照）。

共通供給チューブ２４３は、分岐マニホールド２４５を介して左右に二分岐して、上記した左右一対の支持スタンド１２６にそれぞれ支持された、左右一対のヘッド側マニホールド２５１に接続されている。なお、供給マニホールド２４２の上流端には、第１大気開放弁２４６が介設されていると共に、共通供給チューブ２４３の供給マニホールド２４２と分岐マニホールド２４５の間には、圧力センサ２４７と第２大気開放弁２４８が介設されている。

また、供給チューブユニット２４０は、第１ヘッドユニット７１に搭載された１２個の配管ジョイント５１に対応して、各配管ジョイント５１に接続可能な１２本のヘッド接続チューブ２５１を有している。１２本のヘッド接続チューブ２５１は、６本ずつ左右に二分されており、右側に分けられた６本のヘッド接続チューブ２５１は、右側のヘッド側マニホールド２５１Ｒにそれぞれ接続され、左側に分けられた６本のヘッド接続チューブ２５１は、左側のヘッド側マニホールド２５１Ｌにそれぞれ接続されている。なお、各ヘッド接続チューブ２５１には、ヘッド側開閉バルブ２５３が介設されている。洗浄液の通液時にヘッド側開閉バルブ２５３の開閉させること（クランピング）により、洗浄液の流速を緩急させることができ、ヘッド内流路を効率的に洗浄可能となっている。

図１２ないし図１５に示すように、洗浄液回収ユニット２２３は、廃棄する洗浄液を貯留する５つの廃液タンク２６２と、廃液タンク２６２およびキャップ１６４を接続する回収チューブユニット２６３と、洗浄液流路内に強制的にエアーを通気させることにより、通液終了後の洗浄液流路から洗浄液を回収する強制通気手段２６４と、を備えている。５つの廃液タンク２６２は、純水を回収する純水廃液タンク２６２ａ、アルコールを回収するアルコール廃液タンク２６２ｂ、３つの溶剤タンク２３１ｃ、２３１ｄ、および２３１ｅの溶剤をそれぞれ回収する溶剤廃液タンク２６２ｃ、２６２ｄ、および２６２ｅとなっており、上記した前部収容部１１１内のオイルパン２３２上に設置されている。

回収チューブユニット２６３は、キャップユニット１６１の１２個のキャップ１６４（Ｌ字継ぎ手）にそれぞれ接続する１２本のキャップ接続チューブ２７１を有している。１２本のキャップ接続チューブ２７１には、それぞれキャップ側開閉バルブ２７２が介設されている。一対の支持スタンド１２６には、ヘッド側マニホールド２５１の下側に位置させて、それぞれキャップ側マニホールド２７３が支持されており、１２本のキャップ接続チューブ２７１は、ヘッド側接続チューブ２５１と同様左右に二分され、６本ずつ各キャップ側マニホールド２７３Ｒ，Ｌに接続される。各キャップ側マニホールド２７３には、上記した支柱１２７に支持させた合流マニホールド２７５を介して１本に合流する共通回収チューブ２７４が接続されている。なお、詳細が後述するが、右側の支持スタンド１２６に支持されたヘッド側マニホールド２５１およびキャップ側マニホールド２７３には、これらを直接連通させるバイパスチューブ２８１が設けられている。そして、バイパスチューブ２８１には、バイパス開閉バルブ２８２とバイパス絞り弁２８３が介設されている（図１２参照）。

合流した共通回収チューブ２７４は、三方弁２９２を連結して接続させた流路切り替えのためのバルブユニット２９１を介して、５本の個別回収チューブ２９３ａ、２９３ｂ、２９３ｃ、２９３ｄ、２９３ｅに接続される。各個別回収チューブ２９３ａ、２９３ｂ、２９３ｃ、２９３ｄ、２９３ｅには流路切替バルブ２９４（三方弁）が介設されており、各個別回収チューブ２９３は、二分岐して各廃液タンク２６２および各洗浄液タンク２３１に接続される。流路切替バルブ２９４を切り替えることにより、通液された洗浄液の回収先を廃液タンク２６２または洗浄液タンク２３１に選択できるようになっている。また、流路切替バルブ２９４および洗浄液タンク２３１の間には、上流側から再生フィルタ２９５が介設されている。バルブユニット２９１、流路切替バルブ２９４および再生フィルタ２９５は、上記した後部収容部１１２内のスライドテーブル３０１に支持されており、これら構成部品は、スライドテーブル３０１により前方に引き出せるようになっている。なお、バルブユニット２９１は、スライドテーブル３０１の奥側に配設したバルブ支持部材３０２に固定されている（図７参照）。

この洗浄装置Ｂの洗浄液流路は、ヘッド内流路に効率的に洗浄液を供給すると共に、効率的に供給した洗浄液を回収するために、上流側（洗浄液タンク側）から下り勾配に配設されている。図１３ないし図１５に示すように、具体的には、配管ジョイント５２およびキャップ１６４を含む、供給マニホールド２４２から合流マニホールド２７５までの洗浄液流路を下り勾配としている。すなわち、供給マニホールド２４２から合流マニホールド２７５までの洗浄液流路において、供給マニホールド２４２は最も高い位置に配設されており、供給マニホールド２４２、分岐マニホールド２４５、ヘッド側マニホールド２５１、配管ジョイント５１、キャップ側マニホールド２７３、合流マニホールド２７５の順に低い位置に配設される。

そして、供給マニホールド２４２と、左右一対のヘッド側マニホールド２５１およびキャップ側マニホールド２７３と、は洗浄液流路が下り勾配となるよう（スロープ状に）傾斜して配設されている。この場合、供給マニホールド２４２は、一対の支柱１２７に取り付けた配管支持部材３０３を介し、下流側に傾斜して支柱１２７に支持されている。供給マニホールド２４２は、配管支持部材３０３に対して予め傾斜して取り付けられており、配管支持部材３０３を支柱１２７に取り付けると、配管支持部材３０３を介して供給マニホールド２４２が傾斜した状態で支柱１２７に支持される。

ヘッド側マニホールド２５１は、当該ヘッド側マニホールド２５１が下流側に傾斜するよう各支持スタンド１２６に予め傾斜して取り付けた第１支持プレート３０４上に載置されており、第１支持プレート３０４を介して各支持スタンド１２６に傾斜支持されている。同様に、各キャップ側マニホールド２７３も、予め支持スタンド１２６に傾斜させて取り付けた、第１支持プレート３０４より下側の第２支持プレート３０５に載置され、傾斜した状態で支持スタンド１２６に支持されている。なお、これらマニホールドの傾斜角度（勾配）は、１°から３°程度とすることが好ましい。また、最も低い位置に配設され、洗浄液が残留し易い合流マニホールド２７５には、ドレーン開閉バルブ３０８を介設したドレーンチューブ３０７が接続されており、合流マニホールド２７５内の残留する洗浄液を排液できるようになっている。

また、図７に示すように、バルブユニット２９１も、タンク部キャビネット１０１のスライドテーブル３０１上に予め傾斜して配設したバルブ支持部材３０２を介して、下流側に対して下り勾配に設置されており、三方弁２９２内に洗浄液が極力残留しないよう構成されている。

強制通気手段２６４は、洗浄液流路に形成された複数のエアー導入孔（実際には、洗浄液流路に介設したＴ字継手の分岐ポート）３１２と、各エアー導入孔に連通するエアーチューブユニット３１３と、で構成されており、上記したエアー供給手段２２５の圧縮エアーを洗浄液流路に導入して、洗浄液流路に強制的にエアーを通気させている。複数のエアー導入孔３１２は、供給マニホールド２４２の最上流部（最も高い位置）と、供給マニホールド２４２と分岐マニホールド２４５の間の共通供給チューブ２４３と、合流マニホールド２７５と、の３箇所に形成されている。エアーチューブユニット３１３は、継手を介して各エアー導入孔３１２に接続する３本の個別エアーチューブ３１４と、３本の個別エアーチューブ３１４を合流させ、エアー供給手段２２５に接続する１本の共通エアーチューブ３１５と、を有している。各個別エアーチューブ３１４には、エアー開閉バルブ３１６が介設されている。

洗浄液通液手段２２４は、空気圧で駆動されるダイヤフラム式ポンプで構成され、タンク部キャビネット１０１の後部収容部１１２に収容されていると共に、合流マニホールド２７５とバルブユニット２９１との間の共通回収チューブ２７４に介設されている（図１２参照）。すなわち、洗浄液通液手段２２４は、キャップ１６４の下流側に配設されており、キャップ１６４を介して機能液滴吐出ヘッド３１を吸引することにより、ヘッド内流路に洗浄液を通液させている。なお、洗浄液の防爆性を考慮して、上記した個別供給バルブ２４４、ヘッド側開閉バルブ２５３、キャップ側開閉バルブ２７２、バイパス開閉バルブ２８２、バルブユニット２９１（三方弁２９２）、流路切替バルブ２９４、ドレーン開閉バルブ３０８、エアー開閉バルブ３１６は、制御手段１３２により空気圧で開閉制御される構成となっている。

エアー供給手段２２５は、図示省略したが、エアーポンプ（コンプレッサー）、エアーポンプからの圧縮エアーを供給先に応じて一定圧力に保つレギュレータ等で構成されており、洗浄液通液手段２２４や空気圧制御のバルブに制御エアーを供給している。また、この洗浄装置Ｂは、ヘッド内流路の壁面近傍に生成する滞留層を抑制するために、エアー供給手段２２５を用いて、ヘッド内流路に通液する洗浄液に気泡（圧縮エアー）を混入させることができるようになっている。

具体的には、エアー供給手段２２５は、一対のヘッド側マニホールド２５１を介して、上記した１２本のヘッド接続チューブ２５１に接続する１２本のヘッド側エアーチューブ３２１に接続されており、各ヘッド側エアーチューブ３２１を介して圧縮エアーの供給を行っている。各ヘッド側エアーチューブ３２１には、手動でエアーの流量を調整する絞り弁３２２と、空気圧制御の気泡混入バルブ３２３が介設されている。なお、１２本のヘッド側エアーチューブ３２１も左右に二分され、上記した一対の支持スタンド１２６に支持されたエアーマニホールド３２４に接続されている。なお、ヘッド側マニホールド２５１内で気泡を均一に分散させるため、各ヘッド側エアーチューブ３２１は、ヘッド側マニホールド２５１の下側に繋ぎ込まれ、下方からヘッド側マニホールド２５１に圧縮エアーを吹き込む構成となっている。

データ設定手段１３１は、図示省略したが、各種入力キーやモニタ等を備え、洗浄するヘッドユニット６の種類を設定するようになっている。また、データ設定手段１３１では、セットするヘッドユニット６に複数の機能液滴吐出ヘッド３１が搭載されている場合に、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１を個別に選択設定できると共に、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１（吐出する機能液等）に合わせて、複数の洗浄モードから１つの洗浄モードを選択できるようになっている。洗浄モードには、純水、アルコールの順で通液した後、１ないし３種類の洗浄液を順次通液させる通常洗浄モードと、５つの洗浄液から、通液する洗浄液を任意に選択すると共に、洗浄液の通液順序を任意に設定する選択洗浄モードと、が設けられている。なお、上述したように、洗浄装置Ｂでは、洗浄液の通液時に気泡を混入させたり、クランピングを行うことができるようになっており、選択設定モードでこれらを行うか否かの設定を行う。また、選択設定モードでは、通液する洗浄液毎に通液時間（または通液量）を任意に設定できるようになっている。

制御手段１３２は、パソコン等で構成されており、図示省略したが、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭと、各種記憶領域を有し、制御プログラムや各種データを記憶するハードディスクと、ハードディスクに記憶されたプログラム等に基づいて、各種データを演算処理するＣＰＵと、を備えており、これらはバスで互いに接続されている。

ここで、第１ヘッドユニット７１の機能液滴吐出ヘッド３１を洗浄する場合を例として、洗浄時における一連の動作について説明する。まず、第１ヘッドユニット７１に搭載された１２個の配管ジョイント５１に、１２本のヘッド接続チューブ２５１を接続し、続いてヘッドセット部１２３に第１ヘッドユニット７１をセットする。次に、データ設定手段１３１を用い、ヘッドユニット６の種類（第１ヘッドユニットが選択される）、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１、洗浄モードの設定を行う。ここでは、通常洗浄モードが選択されると共に、第１ヘッドユニット７１の全機能液滴吐出ヘッド３１を洗浄する場合について説明する。

なお、制御手段１３２は、データ設定手段１３１による設定に基づいて、上記した各バルブの開閉制御を行い、洗浄液流路の選択や切り替えを適宜行っている。例えば、ヘッドユニット６の種類が設定されると、これに基づいてヘッド側開閉バルブ２５３の開閉を行う。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３１に非接続のヘッド接続チューブ２５１のヘッド側開閉バルブ２５３を閉弁させ、キャップ１６４と連通するヘッド接続チューブ２５１のヘッド側開閉バルブ２５３のみを開弁させるようにする。さらに、機能液滴吐出ヘッド３１と密着するキャップ１６４に接続されたキャップ接続チューブ２７１のキャップ側開閉バルブ２７２のみを開弁させるようにして、洗浄液の通液時に機能液滴吐出ヘッド３１と密着しないキャップ１６４の吸引を行わないようにしている。

また、これと略同様に、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１が選択設定されて、セットされたヘッドユニット６の全機能液滴吐出ヘッド３１の洗浄を行わない場合にもヘッド側開閉バルブ２５３およびキャップ側開閉バルブ２７２の開閉制御がなされる。この場合、制御手段１３２は、洗浄処理をすべく選択設定された機能液滴吐出ヘッド３１に接続するヘッド接続チューブ２５１のヘッド側開閉バルブ２５３のみを開弁させると共に、選択された機能液滴吐出ヘッド３１に密着するキャップ１６４に接続するキャップ接続チューブ２７１のキャップ側開閉バルブ２７２のみを開弁させる。

設定が終了すると、選択した通常洗浄モードに沿って純水の通液が開始される。まず、純水用の個別供給バルブ２４４aを開弁して、洗浄液通液手段２２４を駆動する。このとき、制御手段１３２は、共通供給チューブ２４３の圧力センサ２４７を検出して、キャップ１６４と機能液滴吐出ヘッド３１との接続の良否を確認する。そして、異常がないと判断すると、さらに洗浄液通液手段２２４の駆動を続け、配管ジョイント５１を介して、純水タンク２３１ａからの純水を１２個の機能液滴吐出ヘッド３１のヘッド内流路に連続的に供給（通液）すると共に、バルブユニット２９１の三方弁２９２を切替えながら、キャップ１６４を介して通液した洗浄液を回収するようにしている。

このとき、流路切替バルブ２９４ａは、当初、廃液タンク２６２側に開弁されており、純水の通液を開始してから所定時間が経過した後（または、所定量の洗浄液が通液した後）に、洗浄液タンク２３１側に切り替えられるようになっている。したがって、通液開始直後に回収される一定量の洗浄液は、廃液タンク２６２ａに回収される一方、以降の洗浄液は、再生フィルタ２９５を介して純水タンク２３１ａに回収され、循環使用される。このように、洗浄液流路内に付着する汚れ等に起因して純度の低下した、通液直後の洗浄液（純水）を廃液タンク２６２ａに排水することにより、純水タンク２３１ａには純度の高い洗浄液のみを戻すことができるようになっている。

そして、純水の通液を終了させるときには、流路切替バルブ２９４ａを洗浄液タンク２３１側に開弁させたまま、純水用の個別供給バルブ２４４ａを閉弁すると共に、上記した第１大気開放弁２４６を開弁し、洗浄液流路内の洗浄液を排出させる。また、第１大気開放弁２４６の開弁と略同時に、３つのエアー開閉バルブ３１６が同時に開弁され、洗浄液流路内に圧縮エアー（０．０３ＭＰａ）が導入される。これにより、洗浄液流路の大気置換に要する時間を短縮することができると共に、圧縮エアーが洗浄液流路に付着する水滴を吹き払うので、洗浄液流路内に残留する洗浄液を速やかに排出させることができる。さらに、上述したように、この洗浄装置Ｂでは、供給マニホールド２４２から合流マニホールド２７５に至る洗浄液流路を下り勾配に設置しているので、通液終了後に洗浄液流路内に残留する洗浄液を極めて微少に抑えることが可能である。

次に、洗浄液流路にアルコールを通液させる。第１大気開放弁２４６および３つのエアー開閉バルブ３１６を閉弁した後、バルブユニット２９１の三方弁２９２を切り替え、アルコールタンク２３１ｂの個別回収チューブ２９３ｂを洗浄液流路（共通回収チューブ２７４）に連通させる。そして、アルコール用の個別供給バルブ２４４aを開弁して洗浄液流路にアルコールを通液させ、ヘッド内流路をアルコールで洗浄する。この場合、純水を通液させたときと同様、流路切替バルブ２９４ｂによる流路切替えがなされ、通液開始直後の洗浄液は廃液タンク２６２ｂに回収され、それ以降の洗浄液は再生フィルタ２９５を介してアルコールタンク２３１ｂに回収される。そして、個別供給バルブ２４４ｂを閉弁すると共に、第１大気開放弁２４６を開弁してアルコールの通液を終了させ、さらに３つのエアー開閉バルブ３１６が同時に開弁することにより、洗浄液流路内のアルコールを排液させる。以下、アルコールの通液と同様の手順で溶剤の通液および排液が（１種類ずつ）為され、機能液滴吐出ヘッド３１の洗浄が終了する。純水の通液から溶剤の通液に至るまで、洗浄液通液手段２２４は駆動を続けており、一連の洗浄動作が終了したときに駆動を停止する。

なお、洗浄液に気泡を混入させる場合には、ヘッド側エアーチューブ３２１の気泡混入バルブ３２３を開弁して、エアーマニホールドに圧縮エアー（気泡）を導入する。これにより、各ヘッド接続チューブ２５１を介して、ヘッド内流路に気泡を混入させた洗浄液が通液される。また、クランピングを行う場合には、各ヘッド接続チューブ２５１のキャップ側開閉バルブ２７２を一旦閉弁した後、再度開弁することにより、各ヘッド接続チューブ２５１を通液する洗浄液に圧力変動を生じさせる。

ところで、上述したように、本実施形態の洗浄装置Ｂは、第１ヘッドユニット７１と、これよりも少数の機能液滴吐出ヘッド３１を搭載した第２ヘッドユニット８１と、の双方をセット可能となっており、これらに搭載する機能液滴吐出ヘッド３１を洗浄できるようになっている。また、セットしたヘッドユニットに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッド３１から、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１を選択できるようになっているため、状況に応じて、洗浄処理する機能液滴吐出ヘッド３１の数が変動する。そして、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１の数が少数である場合、ヘッド側開閉バルブ２５３により閉塞されたヘッド側接続チューブが増加するため、洗浄液流路が狭まって洗浄液通液手段２２４に過剰な負荷がかかると共に、十分な通液を行うことができないといった惧れが生じる。そこで、この洗浄装置Ｂでは、上記のバイパスチューブ２８１を設け、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１数が少数の場合でも十分な通液流量を確保しうるようにした（図１２参照）。

具体的には、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１数が７個以下の場合には、バイパスチューブ２８１に介設したバイパス開閉バルブ２８２を開弁して、ヘッド側マニホールド２５１とキャップ側マニホールド２７３とを連通させることにより、洗浄液通液手段２２４に過負荷がかからない程度の洗浄液を通液させるようにしている。なお、本実施形態では、バイパスチューブ２８１を通液する洗浄液の流量は、手動のバイパス絞り弁２８３により調整可能となっているが、バイパス開閉バルブ２８２を自動の流量調整バルブで構成して調整することも可能である。この場合、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１数に応じて、適宜流量を調整することが好ましい。すなわち、全体としての洗浄液の通液量が略一定となるように、洗浄する機能液滴吐出ヘッド３１数が少ないほど、バイパスチューブ２８１を通液する洗浄液の流量を増加させるようにする。これにより、流路面積の小さい機能液滴吐出ヘッド３１のヘッド内流路が極端に高圧となることがなく、機能液滴吐出ヘッドの無用な損傷を防止することができる。

次に、本実施形態の洗浄装置Ｂで洗浄した機能液滴吐出ヘッド３１を搭載した液滴吐出装置Ａを用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１７（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置Ａは、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。

図１９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図２０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレーン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図２１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０２から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレーン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレーン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレーン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２２〜図３０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置Ａのセットテーブル１６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。

図２５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド３１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２６に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２７に示すように、各色のうちの何れか（図２７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド３１を用い、図２９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層１２０ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図３０に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、酸化防止のためのＳｉＯ_２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図３１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置Ａを用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置Ａのセットテーブル１６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図３２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよびアノード電極８０９を、液滴吐出装置Ａを用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置Ａを用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置Ａによるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置Ａによるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置Ａを各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明は、機能液滴吐出ヘッドの洗浄液を効率的かつ適切に回収することができ、機能液滴吐出ヘッドを搭載する液滴吐出装置、これを用いた電気光学装置の製造、および電子機器に適用可能である。

液滴吐出装置の平面模式図である。機能液滴吐出ヘッドの説明図であり、（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は、機能液滴吐出ヘッドをヘッドプレートに取り付けたときの断面図である。第１ヘッドユニットの外観斜視図である。第２ヘッドユニットの説明図であり、（ａ）は第２ヘッドユニットを上方から見たときの外観斜視図、（ｂ）は、第２ヘッドユニットを下方から見たときの外観斜視図である。本実施形態の洗浄装置の外観斜視図である。本実施形態の洗浄装置の平面図である。タンク部キャビネットの正面図である。タンク部キャビネットの平面図である。ヘッドセット部廻りの説明図である。キャップユニットの平面図である。セット治具の説明図であり、（ａ）は、セット治具と第２ヘッドユニットとの関係を示した図であり、（ｂ）は、セット治具をヘッドセット部にセットしたときの平面図である。洗浄液供給回収系の回路構成を示した図である。防液パン廻りの外観斜視図であり、洗浄液供給回収系の説明図である。防液パン廻りの正面図であり、洗浄液供給回収系の説明図である。防液パン廻りの右側面図であり、洗浄液供給回収系の説明図である。カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

３１機能液滴吐出ヘッド４１機能液導入部
４７ノズル面４８吐出ノズル
５１ジョイントユニット５２配管ジョイント
５３配管アダプタ７１第１ヘッドユニット
７２第１ヘッドプレート７３第１ヘッド支持部材
８１第２ヘッドユニット８２第２ヘッドプレート
８７第２ヘッド支持部材Ａ液滴吐出装置
１２３ヘッドセット部１３１データ設定手段
１３２制御手段１６１キャップユニット
１６４キャップ２０１セット治具
２０３ヘッド固定部材２１１セット部
２２４洗浄液通液手段２２５エアー供給手段
２３１洗浄液タンク２４１個別供給チューブ
２４２供給マニホールド２４３共通供給チューブ
２４４個別供給バルブ２５１ヘッド接続チューブ
２５２ヘッド側マニホールド２５３ヘッド側開閉バルブ
２６２廃液タンク２６４強制通気手段
２７１キャップ接続チューブ２７２キャップ側開閉バルブ
２７３キャップ側マニホールド２７４共通回収チューブ
２８１バイパスチューブ２８２バイパス開閉バルブ
２８３バイパス絞り弁２９１バルブユニット
２９３個別回収チューブ２９４流路切替バルブ
３０２バルブ支持部材３０３配管支持部材
３０４第１支持プレート３０５第２支持プレート
３１２エアー導入孔３１３エアーチューブユニット
３１６エアー開閉バルブ

Claims

機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部に接続する導入部接続ジョイントおよび前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを介して、前記機能液導入部から吐出ノズルに至る前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記洗浄液を通液することにより、前記ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、
通液する前記洗浄液を供給する洗浄液タンクと、
前記ヘッド内流路を通液した前記洗浄液を回収する洗浄液回収部と、
前記洗浄液タンクから前記導入部接続ジョイントおよび前記キャップを経て、前記洗浄液を前記洗浄液回収部に導く洗浄液流路と、
前記洗浄液流路に前記洗浄液を通液させる通液手段と、
前記洗浄液流路にエアーを導入しながら強制的に通気させる強制通気手段と、
前記洗浄液の通液が終了させた後、前期強制通気手段を駆動して前記洗浄液流路に前記エアーを強制的に通気させる制御手段と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記洗浄液タンクは、前記洗浄液回収部を兼ねていることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記通液手段は、前記キャップと前記洗浄液回収部の間の前記洗浄液流路に介設した、空気圧制御のポンプで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記洗浄液流路には、エアーを導入するためのエアー導入孔が通液方向に複数個分散して形成されており、
前記強制通気手段は、各エアー導入孔に連通する複数のエアー個別供給流路と、
各エアー個別供給流路に介設された複数のエアー流路開閉バルブと、
前記エアー個別供給流路を介して、前記複数のエアー導入孔に連なる単一の圧縮エアー供給源と、を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記制御手段は、前記洗浄液の通液終了後、前記複数のエアー流路開閉バルブを一斉に開弁させることを特徴とする請求項４に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
異なる複数種類の洗浄液を貯留する複数の前記洗浄液タンクと、複数の前記洗浄液回収部と、を備え、前記ヘッド内流路に１種類ずつ前記洗浄液を通液すると共に、通液した前記洗浄液を個別に各洗浄液回収部に回収する請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、
前記洗浄液流路は、各洗浄液タンクに接続された複数の洗浄液個別供給流路と、前記複数の洗浄液個別供給流路を合流して形成され、前記導入部接続ジョイントに接続された単一の洗浄液共通供給流路と、前記キャップに接続された単一の洗浄液共通回収流路と、前記洗浄液共通回収流路から複数に分岐して形成され、各洗浄液回収部に接続された複数の洗浄液個別回収流路と、を有しており、
各洗浄液個別供給流路に介設された複数の供給流路開閉バルブと、
各洗浄液個別回収流路に介設された複数の回収流路開閉バルブと、
複数種類の前記洗浄液から通液する洗浄液を選択する洗浄液選択手段と、
前記洗浄液選択手段に基づいて、前記複数の供給流路開閉バルブおよび前記複数の回収流路開閉バルブを制御する第２制御手段と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記エアー導入孔は、前記共通供給流路および／または前記共通回収流路に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記洗浄液流路は、前記洗浄液タンクと前記導入部接続ジョイントとの間に位置する第１ポイントから、前記キャップと前記洗浄液回収部との間に位置する第２ポイントまで、下り勾配で配置されており、
前記複数の洗浄液個別供給流路は、前記第１ポイントで合流することを特徴とする請求項６または７に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記エアー導入孔は、前記第２ポイントに形成されていることを特徴とする請求項８に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部に接続する導入部接続ジョイントおよび前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを介して、前記機能液導入部から吐出ノズルに至る前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に、複数種類の洗浄液を１種類ずつ通液することにより、前記ヘッド内流路を洗浄すると共に通液した前記洗浄液を個別に回収する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、
異なる複数種類の洗浄液を貯留する複数の前記洗浄液タンクと、
再利用タンクおよび廃液タンクを有する複数の前記洗浄液回収部と、
各洗浄液タンクに接続された複数の洗浄液個別供給流路と、前記複数の洗浄液個別供給流路を合流して形成し、前記導入部接続ジョイントに接続された単一の洗浄液共通供給流路と、前記キャップに接続された単一の洗浄液共通回収流路と、前記洗浄液共通回収流路から複数に分岐して形成され、各洗浄液回収部に接続された複数の洗浄液個別回収流路と、を有し、前記各洗浄液タンクから前記導入部接続ジョイントおよび前記キャップを経て、前記各洗浄液回収部に至る洗浄液流路と、
各洗浄液個別回収流路に介設され、前記各洗浄液個別回収流路を２つの流路に分岐する三方弁と、
前記洗浄液流路に洗浄液を通液させる洗浄液通液手段と、
前記洗浄液通液手段および各三方弁を制御する制御手段と、を備えており、
各再利用タンクおよび各廃液タンクは、前記各三方弁を介して、前記洗浄液個別回収流路に接続され、
前記制御手段は、初期に回収される洗浄液は前記廃液タンクに回収し、以降の洗浄液は前記再利用タンクに回収されるよう、回収する洗浄液毎に前記各三方弁を制御することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記洗浄液タンクは、再利用タンクを兼ねていることを特徴とする請求項１０に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部に接続する導入部接続ジョイントおよび前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着するキャップを介して、前記機能液導入部から吐出ノズルに至る前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に前記洗浄液を通液することにより、前記ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、
通液する前記洗浄液を供給する洗浄液タンクと、
前記ヘッド内流路を通液した前記洗浄液を回収する洗浄液回収部と、
前記洗浄液タンクから前記導入部接続ジョイントおよび前記キャップを経て、前記洗浄液を前記洗浄液回収部に導く洗浄液流路と、
前記洗浄液流路に前記洗浄液を通液させる通液手段と、を備え、
前記洗浄液流路は、少なくとも前記洗浄液タンクと前記導入部接続ジョイントとの間に位置する第１ポイントから、前記キャップと前記洗浄液回収部との間に位置する第２ポイントまで、下り勾配で配置されていることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記洗浄液流路は、前記第２ポイントで分岐して、ドレーン流路を形成しており、
前記ドレーン流路には、ドレーン開閉バルブが介設されていることを特徴とする請求項１２に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
異なる複数種類の洗浄液を貯留する複数の前記洗浄液タンクと、複数の前記洗浄液回収部と、を備え、前記ヘッド内流路に１種類ずつ前記洗浄液を通液すると共に、通液した前記洗浄液を個別に各洗浄液回収部に回収する請求項１２または１３に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、
前記洗浄液流路は、各洗浄液タンクに接続された複数の洗浄液個別供給流路と、前記複数の洗浄液個別供給流路を合流して形成され、前記導入部接続ジョイントに接続された単一の洗浄液共通供給流路と、を有しており、
前記複数の洗浄液個別供給流路は、前記第１ポイントで合流していることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記複数の洗浄液個別供給流路は、供給マニホールドを介して合流しており、
前記洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された第１支持部を有する第１支持部材をさらに備え、
前記供給マニホールドは、前記第１支持部に支持されていることを特徴とする請求項１４に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記洗浄液流路は、前記キャップに接続された単一の洗浄液共通回収流路と、相互に連結させた複数のバルブを有し、前記洗浄液共通回収流路を複数本に分岐する分岐バルブユニットと、を有しており、
前記洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された２支持部を有する第２支持部材をさらに備え、
前記分岐バルブユニットは、前記第２支持部に支持されていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
複数の前記導入部接続ジョイントおよび複数の前記キャップを備え、複数の前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットに適用される請求項１２ないし１６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、
前記洗浄液タンクに接続する前記洗浄液流路は、ヘッド側マニホールドを介して複数本に分岐され、前記複数の導入部接続ジョイントに接続されており、
前記洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された第３支持部を有する第３支持部材をさらに備え、
前記ヘッド側マニホールドは、前記第３支持部に支持されていることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
前記ヘッド側マニホールドを介して、複数本に分岐した前記洗浄液流路は、キャップ側マニホールドを介して１本に合流されており、
前記洗浄液流路の上流から下流に向かい下り勾配に配設された第４支持部を有する第４支持部材をさらに備え、
前記キャップ側マニホールドは、前記第４支持部に支持されていることを特徴とする請求項１７に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
洗浄液流路の上流側から洗浄液を連続的に導入することにより、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部から吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法において、
前記ヘッド内流路に前記洗浄液を通液させる洗浄液通液工程と、
前記洗浄液通液工程の後、前記洗浄液流路に圧縮エアーを導入して強制的に通気することにより、前記洗浄液流路から前記洗浄液を回収する洗浄液回収工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
洗浄液流路の上流側から複数種類の洗浄液を順次連続的に導入し、当該洗浄液流路の下流側で連続的に回収することにより、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入部から吐出ノズルに至るヘッド内流路に洗浄液を通液して洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法において、
各洗浄液について、通液初期の前記洗浄液を廃液タンクに回収し、以降の前記洗浄液を再利用タンクに回収することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドは、請求項１ないし１８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄されたものであることを特徴とする液滴吐出装置。
請求項２１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項２１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項２３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。