JP4385682B2

JP4385682B2 - 機能液滴吐出ヘッドの保管装置におけるセット治具、これを備えた機能液滴吐出ヘッドの保管装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法

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Publication number: JP4385682B2
Application number: JP2003293429A
Authority: JP
Inventors: 賢治坂本
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-08-14
Filing date: 2003-08-14
Publication date: 2009-12-16
Anticipated expiration: 2023-08-14
Also published as: JP2005058925A

Description

本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドの保管装置におけるセット治具、これを備えた機能液滴吐出ヘッドの保管装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法に関するものである。

従来、機能液滴吐出ヘッドを導入した液滴吐出装置において機能液滴吐出ヘッドの供給、交換に備えて機能液滴吐出ヘッドを保管する際、ヘッド内部の酸化やヘッド内への異物の進入を確実に防止するため、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に保管液を充填して保管する機能液滴吐出ヘッドの保管装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００３−１８２１１０号公報

ところで、このような液滴吐出装置では、１台の装置を用いて、吐出する機能液が相互に異なる複数種の製品を製造したり、試験用途と実生産用途とに使い分けたりする場合があることから、相互に異なる個数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数種のヘッドユニットが供給、交換される場合がある。しかしながら、従来の機能液滴吐出ヘッドの保管装置では、所定の個数の機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットに対して保管液を充填できるように構成されているため、相互に異なる個数の機能液滴吐出ヘッドを搭載したそれぞれのヘッドユニットに対して、ヘッド内流路に保管液を適切に充填することが困難であった。

本発明は、相互に異なる個数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数種のヘッドユニットに対し、ヘッド内流路に保管液を適切に充填することができる機能液滴吐出ヘッドの保管装置におけるセット治具、これを備えた機能液滴吐出ヘッドの保管装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の機能液滴吐出ヘッドの保管装置におけるセット治具は、第１サブキャリッジに複数個の機能液滴吐出ヘッドを所定の配置パターンで搭載した第１ヘッドユニットを、第１サブキャリッジを介してセットするヘッドセット部と、セットされた第１ヘッドユニットの複数個の機能液滴吐出ヘッドの各機能液導入口に接続される複数の接続部を有する導入口接続アタッチメントと、セットされた第１ヘッドユニットの複数個の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面に密着する複数の接続部を有するノズル接続アタッチメントと、導入口接続アタッチメントおよびノズル接続アタッチメントを介して、各機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口からノズルに至るヘッド内流路に保管液を充填する保管液充填手段と、を備えた機能液滴吐出ヘッドの保管装置にあって、第１ヘッドユニットに代えて、配置パターンが同一であって機能液滴吐出ヘッドの個数が少ない第２ヘッドユニットの各機能液滴吐出ヘッドを、第２サブキャリッジを介してセットする保管装置のセット治具において、ヘッドセット部への第１サブキャリッジの取付け形態と同一形態の直接セット部を有すると共に、各機能液滴吐出ヘッドが対応するノズル接続アタッチメントの各接続部に対応するように第２ヘッドユニットをセットするための間接セット部を有していることを特徴とする。

この構成によれば、直接セット部によりヘッドセット部へ取り付けられたセット治具が、間接セット部により、第２ヘッドユニットの各機能液滴吐出ヘッドのノズル面を、ノズル接続アタッチメントの各接続部対して、間接的に位置決めさせることができる。したがって、第１ヘッドユニットに比して少ない個数の機能液滴吐出ヘッドが搭載されている第２ヘッドユニットに対しても、そのノズル面をノズル接続アタッチメントの各接続部に密着させることができる。

この場合、導入口接続アタッチメント、ノズル接続アタッチメントおよび保管液充填手段を結ぶ保管液流路は、系統分けされかつ相互に独立しており、間接セット部は、第２ヘッドユニットの前記複数の機能液滴吐出ヘッドがノズル接続アタッチメントの前記複数の接続部を介して隣接する系統の保管液流路間に跨るように、前記第２ヘッドユニットをセットすることが好ましい。

この構成によれば、第２ヘッドユニットに対し、隣接する機能液滴吐出ヘッドに対して互いに異なる機能液を導入するためにそれぞれの機能液に適した保管液を充填する必要がある場合であっても、各機能液滴吐出ヘッドを系統分けされた保管液流路に接続することで、ヘッド内流路に互いに異なる保管液を同時に充填することができる。

本発明の機能液滴吐出ヘッドの保管装置は、上記の保管装置のセット治具を、備えたことを特徴とする。

この構成によれば、第２ヘッドユニットに対しても、そのノズル面をノズル接続アタッチメントの各接続部に密着させることができる保管装置のセット治具を備えていることで、第１ヘッドユニットおよび第２ヘッドユニットのいずれもヘッドセット部にセットすることができる。したがって、相互に異なる個数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数種のヘッドユニットに対し、ヘッド内流路に保管液を適切に充填することができる。

この場合、各保管液充填手段は、保管液流路を構成する流入パイプを介して導入口接続アタッチメントに接続された保管液タンクと、保管液流路を構成する流出パイプを介してノズル接続アタッチメントに接続された吸引ポンプと、吸引ポンプを制御する制御手段と、を有し、制御手段は、吸引ポンプを駆動してヘッド内流路に保管液を通液した後、この通液を停止させヘッド内流路に保管液を充填することが好ましい。

この構成によれば、保管液タンク内の保管液を、流入パイプと導入口接続アタッチメントと機能液滴吐出ヘッドとノズル接続アタッチメントと流出パイプとを介して吸引ポンプで吸引し、ヘッド内流路に保管液を通液し、充填することができる。

この場合、各保管液流路は、保管液を循環使用する閉回路で構成され、制御手段は、ヘッド内流路に保管液を充填した後、吸引ポンプを定期的に駆動して保管液を定期的に循環させることが好ましい。

この構成によれば、ヘッド内流路に気泡が混入した場合に、これが一箇所に停留するのを防止することができ、気泡がヘッド内流路に与える酸化等の影響を極力少なくすることができる。

これらの場合、各保管液流路には、流入パイプと流出パイプとを接続するバイパス管路が介設されていることが好ましい。

この構成によれば、導入口接続アタッチメントから機能液滴吐出ヘッドを介してノズル接続アタッチメントに至る流路に加えて、バイパス管路に保管液を通液させることで、流入パイプ内および流出パイプ内において保管液が適切に流れるのに必要な液量を確保することができる。したがって、保管液を充填する機能液滴吐出ヘッドの個数が少ないために、導入口接続アタッチメントから機能液滴吐出ヘッドを介してノズル接続アタッチメントに至る流路に流れる保管液の液量が少ない場合であっても、流入パイプ内および流出パイプ内に保管液を適切に流すことができる。これにより、通液時にノズル等の細経となる流路部に極端に高い液圧が作用するのを防止することができる。

この場合、各バイパス管路には、バイパス管路を流れる保管液の液量を調整するバイパス管路開閉弁が介設されていることが好ましい。

この構成によれば、各保管液流路において、流入パイプおよび流出パイプに接続する機能液滴吐出ヘッドの個数に応じて、バイパス管路開閉弁を選択的に開閉調整することで、バイパス管路に適切な液量の保管液を流すことができる。すなわち、第１ヘッドユニットよりも少ない個数の機能液滴吐出ヘッドが搭載された第２ヘッドユニットに対して保管液を充填する場合には、バイパス管路開閉弁を開いてバイパス管路に流れる液量を多くする。なお、バイパス管路開閉弁を流量調整弁としてもよい。

これらの場合、各保管液流路には、導入口接続アタッチメントの複数の接続部に個別に接続する複数本の個別流入パイプが介設され、かつ複数本の個別流入パイプには流入側マニホールドを介して、流入パイプが接続されると共に、ノズル接続アタッチメントの複数の接続部に個別に接続する複数本の個別流出パイプが介設され、かつ複数本の個別流出パイプには流出側マニホールドを介して、流出パイプが接続されており、複数の個別流入パイプおよび／または複数の個別流出パイプの各個別パイプには、それぞれ当該個別パイプを流れる保管液の液量を調整する個別パイプ開閉弁が介設されていることが好ましい。

この構成によれば、各保管液流路において、保管液タンクから複数の機能液滴吐出ヘッドを介して流出パイプに至る配管構造を簡略化することができる。また、液滴吐出ヘッドの個数に応じて、個別流入パイプおよび個別流出パイプを選択的に開閉することができる。さらに、各個別管路に開閉弁が介設されていることで、各個別管路に流れる保管液の液量を均一化することができる。なお、個別管路開閉弁を流量調整弁としてもよい。

本発明の液滴吐出装置は、ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドは、上記した機能液滴吐出ヘッドの保管装置で保管されたことを特徴とする。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの保管装置で保管された機能液滴吐出ヘッドを用いているため、安定な機能液吐出と高い描画精度を維持することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

これらの構成によれば、ノズルから機能液を確実に精度良く吐出できる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter
Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の機能液滴吐出ヘッドの保管装置におけるセット治具およびこれを備えた機能液滴吐出ヘッドの保管装置によれば、相互に異なる個数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した複数種のヘッドユニットに対し、ヘッド内流路に保管液を適切に充填して保管することができる。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの保管装置について説明する。本実施形態の保管装置（保管庫）は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用いてカラーフィルタなどの電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）の製造に供される液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドの供給、交換に備えて機能液滴吐出ヘッドを保管する際、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に保管液を充填して保管するためのものである。なお、この保管液は、機能液滴吐出ヘッドを保管する際にヘッド内流路に充填されてヘッド内部の酸化やヘッド内への異物の進入を防止する液体であって、機能液滴吐出ヘッドに導入する機能液の溶媒などが用いられる。

そこで、機能液滴吐出ヘッドの保管装置の説明に先立ち、本実施形態の保管装置により保管された機能液滴吐出ヘッドを投入した液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。

はじめに、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置Ａは、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。

図４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。発光層形成材料としては、公知の材料を用いることができる。
また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図７〜図１５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置Ａのセットテーブル（図示省略）に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。

図１０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図１２に示すように、各色のうちの何れか（図１２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図１４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図１５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ_２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図１６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置Ａを用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６を液滴吐出装置Ａのセットテーブルに載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図１７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置Ａを用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置Ａを用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図１８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図１８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置Ａによるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置Ａによるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置Ａを各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

次に、本実施形態の液滴吐出装置について説明する。図１９に示すように、この液滴吐出装置Ａは、上述した特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド３に導入して、基板等のワークＷに機能液滴による成膜部を形成するものである。

液滴吐出装置Ａは、単一のサブキャリッジ２に複数の機能液滴吐出ヘッド３を搭載したヘッドユニット１をメインキャリッジ４にセットし、これをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させるヘッド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対峙し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるワーク移動部１０２と、ヘッドユニット１の機能液滴吐出ヘッド３を保全するメンテナンス部１０３とを備えている。

ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッドユニット１を、ワーク移動部１０２を挟んでユニット投入部１０４とメンテナンス部１０３との間で移動させる。ヘッドユニット１を投入セットする場合には、ヘッド移動部１０１がユニット投入部１０４側に移動し、メインキャリッジ４から側方に突出するように設けた仮置き部材５がユニット投入部１０４に臨んでいる。ヘッドユニット１は、この仮置き部材５上に仮置きされ配管および配線を繋ぎ込んだ後、メインキャリッジ４に送り込むようにしてセットされる。そして、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う準備工程では、メインキャリッジ４のθ回転機構（図示省略）によりヘッドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補正）が行われるが、機能液を吐出する描画工程では、ワークＷがＸ軸方向にかつヘッドユニット１がＹ軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査および副走査が行われる。なお、メンテナンス部１０３には吸引キャップ１０６が配置され、描画工程開始前に機能液滴吐出ヘッド３に残留する液体を吸引キャップ１０６により吸引除去するクリーニングを行う。

ヘッドユニット１には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３を備えた第１ヘッドユニット１ａと、２個の機能液滴吐出ヘッド３を備えた第２ヘッドユニット１ｂとが用いられ、これらヘッド移動部１０１に対し交換セット可能に構成されている。第１ヘッドユニット１ａは、比較的多量の機能液をワークＷに吐出する場合などに用いられ、例えば、上記のカラーフィルタ５００の着色層５０８を形成する場合に使用される。一方、第２ヘッドユニット１ａは、比較的少量の機能液をワークＷに吐出する場合や、新規の機能液をテスト描画する場合などに用いられる。

図２０に示すように、第１ヘッドユニット１ａは、第１サブキャリッジ２ａと、第１サブキャリッジ２ａに搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド３と、各機能液滴吐出ヘッド３を第１サブキャリッジ２ａに個々に取り付けるための１２個のヘッド保持部材１２（図２２参照）とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、６個ずつ左右に二分され、Ｙ軸方向に対し所定の角度傾けて配設されている。また、各６個の機能液滴吐出ヘッド３は、Ｙ軸方向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル６８（後述する）が、外端部の一部のノズル６８を重複させているもののＹ軸方向において連続（描画ライン）するようになっている。すなわち、実施形態のヘッド配列は、第１サブキャリッジ２ａ上において、同一方向に傾けて配置した６個の機能液滴吐出ヘッド３を２列としたものであり、且つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド３が相互に１８０°回転した配置となっている。

第１サブキャリッジ２ａは、一部が切り欠かれた略方形の第１ヘッドプレート１１ａと、第１ヘッドプレート１１ａの両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材１５，１５と、両支持部材１５の端部に設けた左右一対のハンドル１６，１６とを有している。左右のハンドル１６，１６は、例えば組み立てた第１ヘッドユニット１ａを上記のヘッド移動部１０１（のユニットホルダ（図示省略））に載せ込む場合に、第１ヘッドユニット１ａを手持ちするための部位となる。また、各支持部材１５には、ユニットホルダにねじ止め固定するため一対の固定孔１７，１７と、一対の固定孔１７，１７の間に位置して位置決め用の位置決め孔１８が形成されている。なお、後述するヘッドセット部２０５に第１ヘッドユニット１ａをセットする場合も、この固定孔１７および位置決め孔１８を利用する。さらに、第１サブキャリッジ２ａには、ハンドル１６側の端部に位置させて、各機能液滴吐出ヘッド３に配管アダプタ１９（図２２参照）を介して接続されるヘッド側配管部材２０と、液滴吐出装置Ａの機能液供給系に連なる装置側配管部材（図示省略）とを着脱自在に接続する第１導入口接続アタッチメント２１ａが設けられている。

第１導入口接続アタッチメント２１ａは、第１サブキャリッジ２ａのハンドル１６側の端部に固定される横長の第１ジョイントプレート２３ａを備えており、この第１ジョイントプレート２３ａに、上下２列で計１２個のソケット２４を２個のヘッド側管継手２５を介して固定し、各ソケット２４の一端部に、各ヘッド側配管部材２０をヘッド側管継手２５を介して接続すると共に、各ソケット２４の他端部には装置側流入パイプが接続されるように構成されている。もっとも、装置側流入パイプをプラグに接続し、そのプラグをソケット２４の他端部に抜き差し自在に接続する構成とすることがより好ましい。
なお、詳細は後述するが、第１導入口接続アタッチメント２１ａは、第１ヘッドユニット１ａを保管装置Ｂａに投入した際、ヘッド側配管部材２０と、保管装置Ｂａの保管液タンク２６２に連なる個別流入パイプ２６５とを接続する部材でもあり、ソケット２４が機能液滴吐出ヘッド３に対する接続部となる。

さらに、第１サブキャリッジ２ａには、左右２列の機能液滴吐出ヘッド群の上側に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド３に接続される左右一対の配線接続アッセンブリ（図示省略）が設けられている。そして、各配線接続アッセンブリは、液滴吐出装置Ａの制御系に配線接続されるようになっている。

第１ヘッドユニット１ａに搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、カラーフィルタ５００の着色層５０８のＲ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）に対応するように、４個ずつ３系統３Ｒ・３Ｇ・３Ｂに分割されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル６８で構成される描画ラインを、４個のヘッド単位で、連続するＲ系描画ライン、Ｇ系描画ライン、Ｂ系描画ラインの３系統に分断し、各系統に対応する機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇ・３ＢにＲ・Ｇ・Ｂの３色の機能液が１種類ずつ導入されるようになっている。そして、上記の１２個のソケット２４は、第１ヘッドユニットの機能液滴吐出ヘッド３の３系統３Ｒ・３Ｇ・３Ｂに対応して、４個ずつ３系統に分けられている。

一方、第２ヘッドユニット１ｂは、図２１に示すように、第２サブキャリッジ２ｂと、第２サブキャリッジに搭載した２個の機能液滴吐出ヘッド３と、各機能液滴吐出ヘッド３を第２サブキャリッジに個々に取り付けるための２個のヘッド保持部材１２（図２２参照）とを備えている。２個の機能液滴吐出ヘッド３は、上記と同様にＹ軸方向に対し所定の角度傾けて配設されていると共に、Ｙ軸方向に対し相互に位置ずれして配設され、２個の機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル６８がＹ軸方向において連続（描画ライン）するようになっている。すなわち、第２ヘッドユニットでは、第１ヘッドユニットにおける１２個の機能液滴吐出ヘッド３の配置パターンにより、２個の機能液滴吐出ヘッド３が配置されている。

第２サブキャリッジ２ｂは、方形の第２ヘッドプレート１１ｂと、第２ヘッドプレート１１ｂを吊設支持するヘッドホルダ４２と、ヘッドホルダ４２の上側に配設した支持プレート４３を有している。支持プレート４３は、液滴吐出装置Ａに投入する場合に、メインキャリッジ４により支持されるための部位となる。支持プレート４３には、第１あおり調整機構４４および第２あおり調整機構４７が設けられており、２個の機能液滴吐出ヘッド３のノズル面６６の平行度を調整できるようになっている。第１あおり調整機構４４は、Ｘ軸方向に配設された第１あおり調整ねじ４５および第１ホルダ支持部材４６とを有しており、Ｘ軸方向のあおりを調整する。同様に、第２あおり調整機構４７は、Ｙ軸方向に配設された第２調整ねじ４８および第２ホルダ支持部材４９とを有しており、Ｙ軸方向のあおりを調整する。さらに、第２サブキャリッジ２ｂには、支持プレート４３の第２ホルダ支持部材４９側の端部に位置させて、各機能液滴吐出ヘッド３に配管アダプタ１９（図２２参照）を介して接続されるヘッド側配管部材２０（図２１では図示せず）と、液滴吐出装置Ａの機能液供給系に連なる装置側配管部材とを着脱自在に接続する第２導入口接続アタッチメント２１ｂが設けられている。

第２導入口接続アタッチメント２１ｂは、第１導入口接続アタッチメント２１ａと略同様の構成となっており、第２ジョイントプレート２３ｂに２個のソケット２４を２個のヘッド側管継手２５を介して固定し、各ソケット２４の一端部に、各ヘッド側配管部材２０をヘッド側管継手２５を介して接続すると共に、各ソケット２４の他端部には装置側流入パイプが接続されるように構成されている。また、第２導入口接続アタッチメント２１ｂは、第１導入口接続アタッチメント２１ａと同様に、第２ヘッドユニット１ｂを保管装置Ｂａに投入した際、ヘッド側配管部材２０と、保管装置Ｂａの保管液タンク２６２に連なる個別流入パイプ２６５とを着脱自在に接続する部材ともなる。

また、第２サブキャリッジ２ｂには、第１サブキャリッジ２ａと同様に、液滴吐出装置Ａの制御系に配線接続される配線接続アッセンブリが設けられている。さらに、詳細は後述するが、第２サブキャリッジには、支持プレート４３の第１あおり調整機構４４の両側端部に位置させて、第２ヘッドユニット１ｂメインキャリッジ４のθ回転機構（図示省略）に取り付けるための一対のセット部材５０，５０が設けられている。また、この一対のセット部材５０，５０は、第２ヘッドユニット１ｂを後述するセット治具を介して保管装置Ｂａにセットするためにも用いられる。このため、第１サブキャリッジ２ａと同様に、各セット部材には、一対の固定孔５７，５７と、一対の固定孔５７，５７の間に位置して位置決め用の位置決め孔５８が形成されている。

なお、図示では省略したが、第１サブキャリッジ２ａには、第１ヘッドユニット１ａを保持するユニットホルダが設けられており、ユニットホルダにも上記のセット部材５０と同一形態のセット部材が設けられている。すなわち、第１サブキャリッジ２ａと第２サブキャリッジ２ｂはヘッド移動部１０１のθ回転機構の下側において、交換セット可能に構成されている。

第２ヘッドユニット１ｂに搭載された２個の機能液滴吐出ヘッド３は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液のうち２色（例えばＲ・Ｇ）に対応するように、１個ずつ２系統３Ｒ・３Ｇに分割されている。すなわち、２個の機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル６８で構成される描画ラインを、ヘッド単位で、連続するＲ系描画ライン、Ｇ系描画ラインの２系統に分断し、各系統に対応する機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３ＧにＲ・Ｇの２色の機能液が１種類ずつ導入されるようになっている。そして、上記の２個のソケット２４は、第２ヘッドユニットの機能液滴吐出ヘッド３の２系統３Ｒ・３Ｇに対応して、１個ずつ２系統に分けられている。

なお、第１ヘッドユニット１ａにおける機能液滴吐出ヘッド３の個数や列数、さらに配置パターンは任意であり、第２ヘッドユニット１ｂにおいても、第１ヘッドユニット１ａの機能液滴吐出ヘッド３の個数よりも少ない個数の機能液滴吐出ヘッド３が同一の配置パターンで搭載されていれば、他の構成であってもよい。また、各系統の機能液滴吐出ヘッド３に単一の機能液を導入するのであれば他の機能液を導入してもよく、さらに、ワークＷに対して１種類のみの機能液を吐出する場合はヘッドユニット１に搭載されたすべての機能液滴吐出ヘッド３に同じ機能液を導入してもよい。

機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、図２２に示すように、２連の針状の機能液導入口６２を有する液体導入部６１と、液体導入部６１の側方に連なる２連のヘッド基板６３と、液体導入部６１の下方（図２２（ａ）では上方）に連なる２連のポンプ部６４（圧電素子）と、ノズル面６６を有するノズル形成プレート６５とを備えている。また、ヘッド基板６３には、図示しないが、上記配線接続アッセンブリのヘッド中継基板から導出されるフレキシブルフラットケーブルが接続されている。一方、ポンプ部６４とノズル形成プレート６５とにより、第１・第２各ヘッドプレート１１ａ，１１ｂに形成したヘッド装着開口１４を通してその裏面側に突出する方形のヘッド本体６７が構成されている。また、ノズル形成プレート６５には、多数のノズル６８からなる２列のノズル列６９が形成されている。

続いて、上記のヘッドユニット１に搭載された機能液滴吐出ヘッド３の保管に用いられる保管庫Ｂについて詳細に説明する。図２３に示すように、保管庫Ｂは、同一の２台の保管装置Ｂａ，Ｂａと、この２台の保管装置Ｂａ，Ｂａを収容するドラフトチャンバＣと、２台の保管装置Ｂａ，Ｂａの各構成装置を統括制御する保管制御装置（図示省略）およびドラフトチャンバＣを制御するチャンバ制御装置（図示省略）と、で構成されている。ドラフトチャンバＣの正面には、２台の保管装置Ｂａ，Ｂａに面してエアーカーテン付きの２つの作業開口Ｃａ，Ｃａが形成されており、この各作業開口Ｃａを開放して、各保管装置Ｂａに第１・第２両ヘッドユニット１をセットできるようになっている。すなわち、気化した有機溶媒が外部に漏れ出さないようにした上で、各保管装置Ｂａに対する作業が行えるようになっている。

なお、第１・第２ヘッドユニット１ａ，１ｂは、図外の洗浄装置で洗浄された後、この保管庫Ｂに運び込まれる。したがって、保管庫Ｂは、洗浄装置と共に上記の液滴吐出装置Ａの近傍に配置しておくことが、好ましい。

各保管装置Ｂａは、背の低い前部収容部２０２と背の高い後部収容部２０３とから成るキャビネット２０１を備えている。前部収容部２０２の上面には、その全域を覆うように開閉蓋２１１が設けられており、その左側内部には後述する３個の保管液タンク２６２等を収容するタンク収容部２１２が設けられ、右部内部には後述するヘッドセット部２０５を収容する作業用収容部２１３が設けられている。また、後部収容部２０３の上部には、前方へ引き出し可能なスライドテーブル２１４が組み込まれており、このスライドテーブル２１４に後述する吸引ポンプ２７０、ポンプ駆動弁２８４や再生フィルタ２７３などが収容されている。そのため、吸引ポンプ２７０や再生フィルタ２７３の補修、交換を行う場合や、ポンプ駆動弁２８４の開閉を行う場合には、スライドテーブル２１４を介して各構成部品を引き出すことによって、容易に作業することができるようになっている。なお、スライドテーブル２１４の前面に引き出し棒２１５の一端を引っ掛け、引き出し棒２１５を手前に引くことにより、スライドテーブル２１４を容易に引き出すことができる。

そして、保管装置Ｂａは、上記の作業用収容部２１３にセットしたヘッドユニット１に対し、その機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口６２からノズル６８に至るヘッド内流路（図２２参照）に、保管液タンク２６２からの保管液を充填する。そのために、保管装置Ｂａには、機能液導入口６２に接続される先に説明した導入口接続アタッチメント２１およびノズル面６６に接続するノズル接続アタッチメント２０６を介して、ヘッド内流路に保管液を充填する保管液充填手段２０４と、第１・第２各ヘッドユニット１ａ，１ｂをノズル接続アタッチメント２０６に対応させて保管装置Ｂａにセットするためのヘッドセット部２０５とが設けられている（図２６および図２７参照）。

ノズル接続アタッチメント２０６は、図２４に示すように、支持板２２１に、機能液滴吐出ヘッド３に対する接続部となるキャップ２２２を装着してなるもので、機能液滴吐出ヘッド３が第１ヘッドユニットに６個ずつ２列に配設されているのに合わせて、キャップ２２２を支持板２２１に６個ずつ２列に配設している。支持板２２１の前後には、それぞれ左右一対の取付穴２２３が形成されており、ノズル接続アタッチメント２０６はこの計４つの取付穴２２３を介して、後述するアタッチメント支持部材２４２に固定される。

各キャップ２２２は、図２５に示すように、支持板２２１に対する取付けベース２３１と、取付けベース２３１にばね２３４で上方に付勢して支持させたキャップ本体２３２と、キャップ本体２３２の上面の窪み２３５の開口部周縁に装着したパッキン２３３とを備えており、機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成プレート６５の周辺部にパッキン２３３が密着する。キャップ本体２３２には、窪み２３５に連通するエルボ管２３６が連結されており、ノズル形成プレート６５に形成した多数のノズル６８がキャップ本体２３２を介してエルボ管２３６に接続される。さらに、１２個のキャップ２２２は、第１ヘッドユニットの機能液滴吐出ヘッド３の３系統３Ｒ・３Ｇ・３Ｂに対応して、３系統２２２ｒ・２２２ｇ・２２２ｂに分けられている（図２４参照）。なお、本実施形態では，キャップ２２２を、液滴吐出装置Ａに設ける吸引キャップ１０６の流用品で構成しているため、窪み２３５に多孔質の吸収板２３７が装着されているが、これは必要不可欠ではない。

図２６に示すように、ヘッドセット部２０５は、前部収容部２０２の作業用収容部２１３を上げ底とするオイルパン２４１（防液パン）を有すると共に、このオイルパン２４１上に立設された断面Ｉ字状のアタッチメント支持部材２４２と、アタッチメント支持部材２４２の左右に離間して立設された一対のヘッド支持部材２４４，２４４とを有している。アタッチメント支持部材２４２の上面には、上記したノズル接続アタッチメント２０６の取付穴２２３に対応する計４つのねじ孔２４３が形成されており、ノズル接続アタッチメント２０６は、アタッチメント支持部材２４２の上面に載置した状態で、上側から各取付穴２２３を貫通して各ねじ孔２４３に螺合するユリアねじ等により、アタッチメント支持部材２４２に位置決め固定されるようになっている。

一方、第１ヘッドユニット１ａは、第１サブキャリッジ２ａの左右の各支持部材１５に形成した２つの固定孔１７と１つの位置決め孔１８とを、ヘッド支持部材２４４の上面に形成した２つのねじ孔２４５と１つの位置決めピン２４６とに位置合わせした後、上側から各固定孔１７を貫通して各ねじ孔２４５に螺合したユリアねじ等により、両ヘッド支持部材２４４，２４４に位置決め固定される。この状態では、ノズル接続アタッチメント２０６の上に第１ヘッドユニット１ａが重なり、上記キャップ本体２３２がばね２３４の付勢力に抗して押し下げられ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面６６にキャップ本体２３２がパッキン２３３を介して密着する。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３が対応する１２個のキャップ２２２に接続する。

なお、機能液滴吐出ヘッド３とキャップ２２２との接続を案内すべく、各ヘッド支持部材２４４の上端後側には、ガイドアングル材２４７が取り付けられており、このガイドアングル材２４７に、第１サブキャリッジ２ａの左右の各支持部材１５の外側縁に当接するサイドガイド２４８と、各支持部材１５の後端縁に当接するエンドガイド２４９とを固定している。そして、これらガイド２４８，２４９によりヘッド支持部材２４４に対する第１ヘッドユニット１ａのセットを容易に行い得られるようにしている。

一方、図２７に示すように、第２ヘッドユニットをヘッドセット部にセットする場合には、ノズル接続アタッチメント２０６に対して第２ヘッドユニット１ｂを間接的に位置決めする固定するためのセット治具２５１が用いられる。セット治具２５１は、第２ヘッドユニット１ｂの方形の第２ヘッドプレート１１ｂと同一形状のセット開口部２５４を有する略方形のセットプレート２５２と、セット開口部２５４の左右両側に位置して、セットプレート２５２上に立設された一対のセットアングル材２５３，２５３とを有している。

各セットアングル材２５３には、第２ヘッドプレート１１ｂにおける各セット部材５０の２つの固定孔５７および１つの位置決めピン５８に対応する、２つのねじ孔２５７と１つの位置決め孔２５８とが形成されている。同様に、セットプレート２５２には、各ヘッド支持部材２４４の２つのねじ孔２４５および１つの位置決めピン２４６に対応する、２つの固定孔２５５と１つの位置決め孔２５６とが形成されている。すなわち、上記の前者の構成により請求項に言うセット治具の間接セット部が構成され、上記後者の構成により請求項に言うセット治具の直接セット部が構成されている。また、セットプレート２５２の後端の左右隅部は切り欠かれており、この両切り欠き部２５９，２５９において、ヘッド支持部材のガイド２４８，２４９によりヘッド支持部材２４４に対する第１ヘッドユニット１ａの位置決めセットが容易に行い得られるようにしている。

この場合、第２ヘッドユニット１ｂの各セット部材５０に形成した２つの固定孔５７と１つの位置決め孔５８とを、各セットアングル材２５３の上面に形成した２つのねじ孔２５７と１つの位置決めピン２５８とに位置合わせした後、上側から各固定孔５７を貫通して各ねじ孔２５７に螺合したユリアねじ等により、第２ヘッドユニット１ｂが両セットアングル材２５３，２５３に位置決め固定される。この状態では、第２ヘッドユニット１ｂのヘッドホルダ４２（機能液滴吐出ヘッド３）が、セット治具２５１のセット開口部２５４を介して下方に突出する。

また、第２ヘッドユニットを搭載したセット治具は、その２つの固定孔２５５と１つの位置決め孔２５６とを、各ヘッド支持部材２４４の上面に形成した２つのねじ孔２４５と１つの位置決めピン２４６とに位置合わせした後、上側から各固定孔２５５を貫通して各ねじ孔２５６に螺合したユリアねじ等により、両ヘッド支持部材２４４，２４４に位置決め固定される。この場合も、ノズル接続アタッチメント２０６の上に第２ヘッドユニット１ｂが部分的に重なり、該当する上記キャップ本体２３２がばね２３４の付勢力に抗して押し下げられ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面６６にキャップ本体２３２がパッキン２３３を介して密着する。この場合には、第２ヘッドユニット１ｂの系統分けされた２個の機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇは、ノズル接続アタッチメント２０６の２個のキャップ２２２（例えば、２２２ｒ・２２２ｇ）を介して、隣接する２つの系統の保管液流路間（例えば、２６１ｒ・２６１ｇ）に跨るようにセットされる。

これによれば、セット治具２５１に取り付けられた第２ヘッドユニット１ｂを、セットプレート２５２の位置決め孔２５６および切り欠き部２５９により、第１ヘッドユニット１ａのヘッド支持部材２４４への取付け形態と同一形態で取り付け得ると共に、セットアングル材２５３の位置決め孔２５８およびセットプレート２５２のセット開口部２５４により、第２ヘッドユニット１ｂの機能液滴吐出ヘッド３がノズル接続アタッチメント２０６のキャップ２２２に合致するようにセットできる。しかも、セットプレート２５２から立設するセットアングル材２５３の高さにより、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面６６がキャップ２２２に適切に密着する。

保管液充填手段２０４の回路構成は図２８に示す通りであり、上記の導入口接続アタッチメント２１、ノズル接続アタッチメント２０６および３個の保管液タンク２６２を結ぶ保管液流路２６１は、第１ヘッドユニット１ａの機能液滴吐出ヘッド３の３系統３Ｒ・３Ｇ・３Ｂに対応した３系統２６１ｒ・２６１ｇ・２６１ｂで構成されている。各保管液流路２６１は相互に独立しており、例えば、３色の機能液Ｒ・Ｇ・Ｂを導入する第１ヘッドユニット１ａに対して保管液を充填する場合、各保管液タンク２６２には、機能液Ｒ・Ｇ・Ｂに対応した相互に異なる保管液がそれぞれ貯留されており、上述したように、系統分けされた導入口接続アタッチメント２１のソケット２４およびノズル接続アタッチメント２０６のキャップ２２２ｒ・２２２ｇ・２２２ｂを介して、系統分けされた機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇ・３Ｂに各保管液が１種類ずつ充填される。

各保管液流路２６１では、保管液タンク２６２に連通する流入パイプ２６３を介して導入口接続アタッチメント２１に保管液を供給するように構成されている。流入パイプ２６３には、保管液タンク２６２の近傍に位置させて、大気開放弁２６４が介設されている。この大気開放弁２６４は、流入パイプ２６３を開通する状態と、流入パイプ２６３を遮断する状態と、流入パイプ２６３を大気開放する状態とに切替え自在な多方切替弁で構成されている。

導入口接続アタッチメント２１には、４個（３系統で計１２個）のソケット２４に個別に連通する４本（計１２本）の個別流入パイプ２６５が接続されており、これら４本の個別流入パイプ２６５に２個（計６個）の流入側マニホールド２６７を介して１本（計３本）の流入パイプ２６３が接続されている。また、各個別流入パイプ２６５には、パイプ内を流れる保管液の流量を調整可能な個別パイプ開閉弁２６６が介設されている。なお、計１２個のソケット２４は上下２列に設けられているため、各系統毎に２個（計６個）の流入側マニホールドも１個ずつ（計３個ずつ）左右一対に設け、流入パイプ２６３（計３本）をその下流側の中継マニホールド２６８（計３個）で２つのパイプ２６９，２６９に分岐して、一方のパイプ２６９を一方の流入側マニホールド２６７、他方のパイプ２６９を他方の流入側マニホールド２６７に接続している。そして、各個別流入パイプ２６５を配管アダプタ１９を介して液体導入部６１に接続する。なお、各中継マニホールド２６８には、後述するバイパス管路２７６が接続している。すなわち、各中継マニホールド２６８は、流入パイプ２６３を２つのパイプ２６９およびバイパス管路２７６に３分岐している。

保管液充填手段２０４には、さらに、吸引ポンプ２７０が設けられており、この吸引ポンプ２７０をノズル接続アタッチメント２０６に流出パイプ２７１を介して接続している。各保管液流路２６１において、吸引ポンプ２７０は単一であって、その吐出側には、保管液タンク２６２に連通する回収パイプ２７２が接続されている。そして、回収パイプ２７２には、再生フィルタ２７３が介設されている。

ノズル接続アタッチメント２０６には、その複数のキャップ２２２に個別に連通する３系統の保管液流路２６１毎に４本（計１２本）の個別流出パイプ２７４が接続されており、これら４本の個別流出パイプ２７４に１個（計３個）の流出側マニホールド２７５を介して流出パイプ（計３本）が接続されている。なお、各流出側マニホールド２７５には、後述するバイパス管路２７６も合流して接続されている。

さらに、各保管液流路２６１には、中継マニホールド２６８と流出側マニホールド２７５とを直接接続するバイパス管路２７６が設けられており、各バイパス管路２７６には、管路内を流れる保管液の流量を調整可能なバイパス管路開閉弁２７７が介設されている。バイパス管路開閉弁２７７の基本的な開閉操作は、この保管装置Ｂａに第１ヘッドユニット１ａをセットしたときには「閉」とし、第２ヘッドユニット１ｂをセットしたときには「開」とする。

また、流出パイプ２７１には、流出側マニホールド２７５を介してドレン抜き管路２７８およびそのドレン抜き管路２７８に介設したドレンバルブ２７９が接続されている。そして、エア源２８１より、各ドレンバルブ２７９に連なるドレン駆動弁２８０を介してそれぞれ供給されるパイロットエアにより、相互に独立に開閉制御されるようになっている。

吸引ポンプ２７０は、空気圧で駆動されるダイヤフラム式ポンプで構成されている。そして、エア源２８１から、保管制御装置に接続する残圧開放用の３ポート弁２８２を介して、保管装置Ｂに供給されるエアを、減圧弁２８３と、各吸引ポンプ２７０毎に設けられた開閉式のポンプ駆動弁２８４とを介して、パイロットエアとして各吸引ポンプ２７０に供給することにより、各吸引ポンプ２７０が相互に独立して駆動されるようにしている。なお、吸引ポンプ２７０からのパイロットエアは図外の排気クリーナーを介して排出される。

このように構成された各保管液流路２６１は、保管液タンク２６２を密閉タンクとすることにより、閉回路を構成している。すなわち、保管液は、保管液タンク２６２から供給されると共に保管液タンク２６２に回収され、循環使用される。なお、図中の符号３０４は、残圧開放パイプであり、３０５は、これに介設したエア抜き弁である。保管液タンク２６２内に所定量以上のエアが溜まって圧力が高まると、エア抜き弁３０５が自動的に開弁してエアを排気する。

図２９および図３０を参照して、保管液タンク２６２は、前部収容部２０２のタンク収容部２１２（図２３参照）に設けた防液パン３０１上に載置されている。一方、３個の中継マニホールド２６８は、アタッチメント支持部材２４２および左右のヘッド支持部材２４４の後方にそれぞれ配設され、６個の流入側マニホールド２６７は、ヘッド支持部材２４４の左右両側に設けられ、前後一対の支柱を有する操作板２９１，２９１に３個ずつ配置されている。また、３個の流出側マニホールド２７５は、３個の中継マニホールド２６８の下方にそれぞれ配設されている（図２６および図２７参照）。さらに、３個の大気開放弁２６４は、タンク収容部２１２の左側面の高い位置に配設され、３個のバイパス管路開閉弁２７７は、左右の操作板２９１にそれぞれ１個と２個に分けて配設されている。またさらに、６個の個別パイプ開閉弁２６６は、左右の操作板２９１に３個ずつ配設されている。そして、これら弁を手動で開閉操作するようにしている。

各保管液タンク２６２の上面には、中継マニホールド２６８に延びる流入パイプ２６３用の流入用コネクタ３０２と、吸引ポンプ２７０に連なる回収パイプ２７２が繋ぎ込まれる回収用コネクタ３０３が設けられている。さらに、各保管液タンク２６２の上面には、タンク内の残圧を抜くため残圧開放パイプ３０４と、上記の再生フィルタ２７３を交換する場合など、再生フィルタ２７３のドレン抜きを行う際に再生フィルタ２７３と接続される再生フィルタ接続パイプ３０６とが差し込まれている。

また、図示は省略するが、タンク収容部２１２には、防液パン３０１の四隅に位置して、ヘッドユニット１用の仮置き台を載置する４本の支柱が立設しており、この仮置き台にヘッドユニット１を載置した状態でもソケット２４に対する個別流入パイプ２６５の接続作業を行えるようにしている。なお、上記のオイルパン２４１および防液パン３０１には、漏液センサを設けることが好ましい。

保管装置Ｂａによる第１ヘッドユニット１ａの保管に際しては、まず、保管液流路２６１ｒ・２６１ｇ・２６１ｂに介設された各保管液タンクに、機能液Ｒ・Ｇ・Ｂに対応した保管液を１種類ずつ導入する（機能液を充填した保管液タンクを搬入セットする）。そして、第１ヘッドユニット１ａを、ヘッド支持部材２４４に支持されるように保管装置Ｂにセットし、その第１サブキャリッジ２ａの部分でヘッド支持部材２４４上に固定する。これにより、アタッチメント支持部材２４２で支持されているノズル接続アタッチメント２０６の各キャップ２２２に各機能液滴吐出ヘッド３のノズル６８が接続される。次に、導入口接続アタッチメント２１の各ソケット２４に各個別流入パイプ２６５を接続する。これにより、第１ヘッドユニット１ａの保管装置Ｂへのセットが完了する。

次に、各保管液流路２６１において、すべての個別パイプ開閉弁２６６を開弁する。なお、必要であれば、個別パイプ開閉弁の流量調整を予め行っておいてもよい。次に、大気開放弁２６４を流入パイプの開通位置に切り換え、この状態で制御装置により３ポート弁２８２を制御してポンプ駆動弁２８４を開弁させ、吸引ポンプ２７０を駆動する。このようにして、各保管液流路２６１毎に、保管液タンク２６２内の保管液が流入パイプ２６３から各機能液滴吐出ヘッド３を介して流出パイプ２７１に至る経路を経由して吸引ポンプ２７０に吸引され、吸引ポンプ２７０から再生フィルタ２７３を介して保管液タンク２６２に戻される。

すなわち、保管液を循環使用しつつ、各保管液流路２６１毎に、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口６２からノズル６８に至るヘッド内流路に保管液が通液される。これによれば、系統分けされた機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇ・３Ｂに対して、保管液流路２６１ｒ・２６１ｇ・２６１ｂに介設された各保管液タンク２６２内の相互に異なる保管液を、相互に独立して同時に通液することができる。なお、保管液流路への通液により、押し出されたエアは、保管液タンク２６２の上部に溜まり、エア抜き弁３０５を介して適宜排気される。

この際、各個別パイプ開閉弁２６６の絞りを調整することで、各個別パイプ２６５，２７４に流れる保管液の液量を均一化することができる、また、各保管液流路２６１において、導入口接続アタッチメント２１からノズル接続アタッチメント２０６に至る流路に流れる保管液の液量が少ないために流入パイプ２６３内および流出パイプ２７１内において保管液が充分に流れない場合には、バイパス管路開閉弁２７７を開弁してもよい。これによれば、バイパス管路２７６に保管液を通液させることで、流入パイプ２６３内および流出パイプ２７１内において保管液が適切に流れるのに必要な液量を確保することができる。すなわち、通液時にノズル６８などの細径となる流路部に極端な液圧が作用するのを防止することができる。

そして、所定時間の通液後、制御手段によりポンプ駆動弁２８４を閉弁させて吸引ポンプ２７０を停止する。これによれば、保管液の通液が停止されて、各機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に保管液が充填された状態になる。すべての機能液滴吐出ヘッド３に保管液が充填された後、ヘッドユニット１を保管する。なお、保管中も、保管液流路２６１内に残存した気泡によるヘッド内流路の酸化を防ぐべく、定期的に（例えば、１日１回）保管液を循環させ、保管液流路２６１内の気泡を取り除くようにすることが望ましい。

一方、保管装置Ｂａによる第２ヘッドユニット１ｂの保管に際しては、まず、保管液流路２６１ｒ・２６１ｇに介設された各保管液タンクに、機能液Ｒ・Ｇに対応した保管液を１種類ずつ導入する。そして、第２ヘッドユニット１ｂを、上述したようにセット治具２５１を介してヘッド支持部材２４４に支持されるように保管装置Ｂにセットする。これによれば、第２ヘッドユニット１ｂに対しても、アタッチメント支持部材２４２で支持されているノズル接続アタッチメント２０６の各キャップ２２２に各機能液滴吐出ヘッド３のノズル６８が接続される。ここで、系統分けされた２個の機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇは、系統分けされたキャップ２２２ｒ・２２２ｇにそれぞれ対応している。

次に、２個の機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇが接続するキャップ２２２ｒ・２２２ｇに対応する保管液流路２６１ｒ・２６１ｇのみについて、第２ヘッドユニット１ｂの２個の機能液滴吐出ヘッド３が接続する個別パイプ開閉弁２６６のみを開弁すると共に、大気開放弁２６４を流入パイプ２６３の開通位置に切り換え、この状態で吸引ポンプ２７０を駆動する。ここで、保管液流路２６１ｂについては、予めポンプ駆動弁２８４を閉弁しておき、制御装置により３ポート弁２８２を開弁させても、吸引ポンプ２７０にはパイロットエアが送られないように、すなわち、吸引ポンプ２７０が駆動しないようにしておく。

これによれば、保管液流路２６１ｒ・２６１ｇのみにおいて、保管液タンク２６２内の保管液が流入パイプ２６３から各機能液滴吐出ヘッド３を介して流出パイプ２７１に至る経路を経由して吸引ポンプ２７０に吸引され、吸引ポンプ２７０から再生フィルタ２７３を介して保管液タンク２６２に戻される。このようにして、第１ヘッドユニット１ａとは異なる個数の機能液滴吐出ヘッド３を搭載した第２ヘッドユニット１ｂに対しても、２個の機能液滴吐出ヘッド３Ｒ・３Ｇの機能液導入口６２からノズル６８に至るヘッド内流路に保管液が通液充填される。また、機能液滴吐出ヘッド３が接続していない保管液流路２６１については、吸引ポンプ２７０の駆動および大気開放弁２６４の切り換えは行わず、機能液滴吐出ヘッド３が接続された保管液流路２６１のみについて、吸引ポンプ２７０の駆動および大気開放弁２６４の切り換えを行って保管液を充填することができ、効率よく充填作業を行うことができる。

この際、各保管液流路２６１に４個の機能液滴吐出ヘッド３が接続された第１ヘッドユニット１ａに充填する場合に比して、バイパス管路開閉弁２７７の絞りをさらに開放し、バイパス管路２７６に流れる保管液の液量を多くすることで、流入パイプ２６３内および流出パイプ２７１内において保管液が適切に流れるのに必要な液量を確保することができる。すなわち、各保管液流路２６１に接続された機能液滴吐出ヘッド３の個数に応じて、バイパス管路開閉弁２７７の絞りを調整することで、バイパス管路２７６に適切な液量の保管液を流すことができる。

ヘッドユニット１を液滴吐出装置Ａで使用するために保管装置Ｂａから取り出す際は、すべての個別パイプ開閉弁２６６が開弁されると共に、大気開放弁２６４が流入パイプ２６３の大気開放位置となった状態で、吸引ポンプ２７０を駆動する。これによれば、流入パイプ２６３から各機能液滴吐出ヘッド３を介して流出パイプ２７１に至る全経路内の保管液が流入パイプ２６３からの空気の流入で保管液タンク２６２に回収される。したがって、保管液を効率よく循環使用することができる。そして、保管液タンク２６２に回収されずに保管液流路２６１に保管液が残った場合でも、保管液が残った保管液流路２６１に対応するドレン駆動弁２８０のみを開弁してドレンバルブ２７９を開弁し、ドレン抜き管路２７８から抜き取ることができるため、使い勝手がよく、回収後に、フィルタ材料とは異なる機能液を導入する機能液滴吐出ヘッドに対して異なる保管液を導入する場合にも、保管液の混合を極力少なくすることができる。

なお、上記実施形態では、単一の３ポート弁２８２を自動制御式のものとし、各保管液流路２６１のポンプ駆動弁２８４を手動操作により開閉することで各吸引ポンプ２７０を相互に独立に駆動する構成としたが、各ポンプ駆動弁２８４にそれぞれ自動制御式の３ポート弁２８２を設けたり、各ポンプ駆動弁２８４それ自体を自動制御式のものとしたりして、各吸引ポンプ２７０を相互に独立に駆動することも可能である。また、上記実施形態では、大気開放弁２６４、個別パイプ開閉弁２６６およびバイパス管路開閉弁２７７を手動操作式のものとしたが、これらを自動制御式のものとしてもよい。さらに、個別パイプ開閉弁２６６を個別流入パイプ２６５に介設したが、個別流出パイプ２７４に介設してもよい。

カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。ヘッドユニットを用いてカラーフィルタ等の製品を製造する液滴吐出装置の模式図である。第１ヘッドユニットの斜視図である。（ａ）第２ヘッドユニットの支持プレート側から見た斜視図、（ｂ）第２ヘッドユニットの第２ヘッドプレート側から見た斜視図である。（ａ）機能液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）機能液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。機能液滴吐出ヘッドの保管装置をユニット化してドラフトチャンバ内に収容した状態を示す斜視図である。ノズル接続アタッチメントを示す斜視図である。ノズル接続アタッチメントに装着するキャップの断面図である。第１ヘッドユニットをヘッドセット部にセットする状態を示す分解斜視図である。第２ヘッドユニットをヘッドセット部にセットする状態を示す分解斜視図である。保管液充填手段の構成を示す回路図である。保管液充填手段の平面図である。保管液充填手段の正面図である。

符号の説明

１ａ第１ヘッドユニット１ｂ第２ヘッドユニット
２ａ第１サブキャリッジ２ｂ第２サブキャリッジ
３機能液滴吐出ヘッド２１導入口接続アタッチメント
２４ソケット６２機能液導入口
６６ノズル面６８ノズル
２０４保管液充填手段２０５ヘッドセット部
２０６ノズル接続アタッチメント２２２キャップ
２５１セット治具２５２セットプレート
２５３セットアングル材２６１保管液流路
２６２保管液タンク２６３流入パイプ
２６４大気開放弁２６５個別流入パイプ
２６６個別パイプ開放弁２６７流入側マニホールド
２７０吸引ポンプ２７１流出パイプ
２７４個別流出パイプ２７５流出側マニホールド
２７６バイパス管路２７７バイパス管路開閉弁
２７８ドレン抜き管路２７９ドレンバルブ
７０１有機ＥＬ装置７５２正孔注入／輸送層
７５３発光層Ａ液滴吐出装置
Ｂａ保管装置Ｗワーク

Claims

第１サブキャリッジに複数個の機能液滴吐出ヘッドを所定の配置パターンで搭載した第１ヘッドユニットを、前記第１サブキャリッジを介してセットするヘッドセット部と、セットされた前記第１ヘッドユニットの前記複数個の機能液滴吐出ヘッドの各機能液導入口に接続される複数の接続部を有する導入口接続アタッチメントと、セットされた前記第１ヘッドユニットの前記複数個の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面に密着する複数の接続部を有するノズル接続アタッチメントと、前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続アタッチメントを介して、前記各機能液滴吐出ヘッドの前記機能液導入口からノズルに至るヘッド内流路に保管液を充填する保管液充填手段と、を備えた機能液滴吐出ヘッドの保管装置にあって、
前記第１ヘッドユニットに代えて、前記配置パターンが同一であって前記機能液滴吐出ヘッドの個数が少ない第２ヘッドユニットの各機能液滴吐出ヘッドを、第２サブキャリッジを介してセットする保管装置のセット治具において、
前記ヘッドセット部への前記第１サブキャリッジの取付け形態と同一形態の直接セット部を有すると共に、
前記各機能液滴吐出ヘッドが対応する前記ノズル接続アタッチメントの各接続部に対応するように前記第２ヘッドユニットをセットするための間接セット部を有していることを特徴とする保管装置のセット治具。
前記導入口接続アタッチメント、前記ノズル接続アタッチメントおよび前記保管液充填手段を結ぶ保管液流路は、系統分けされかつ相互に独立しており、
前記間接セット部は、前記第２ヘッドユニットの前記複数の機能液滴吐出ヘッドが前記ノズル接続アタッチメントの前記複数の接続部を介して隣接する系統の保管液流路間に跨るように、前記第２ヘッドユニットをセットすることを特徴とする請求項１に記載の保管装置のセット治具。
請求項１または２に記載の保管装置のセット治具を、備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの保管装置。
前記各保管液充填手段は、
前記保管液流路を構成する流入パイプを介して前記導入口接続アタッチメントに接続された保管液タンクと、
前記保管液流路を構成する流出パイプを介して前記ノズル接続アタッチメントに接続された吸引ポンプと、
前記吸引ポンプを制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記吸引ポンプを駆動して前記ヘッド内流路に保管液を通液した後、この通液を停止させ前記ヘッド内流路に保管液を充填することを特徴とする請求項３に記載の機能液滴吐出ヘッドの保管装置。
前記各保管液流路は、保管液を循環使用する閉回路で構成され、
前記制御手段は、前記ヘッド内流路に保管液を充填した後、前記吸引ポンプを定期的に駆動して保管液を定期的に循環させることを特徴とする請求項４に記載の機能液滴吐出ヘッドの保管装置。
前記各保管液流路には、前記流入パイプと前記流出パイプとを接続するバイパス管路が介設されていることを特徴とする請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドの保管装置。
前記各バイパス管路には、当該バイパス管路を流れる保管液の液量を調整するバイパス管路開閉弁が介設されていることを特徴とする請求項６に記載の機能液滴吐出ヘッドの保管装置。
前記各保管液流路には、前記導入口接続アタッチメントの前記複数の接続部に個別に接続する複数本の個別流入パイプが介設され、かつ前記複数本の個別流入パイプには流入側マニホールドを介して、前記流入パイプが接続されると共に、前記ノズル接続アタッチメントの前記複数の接続部に個別に接続する複数本の個別流出パイプが介設され、かつ前記複数本の個別流出パイプには流出側マニホールドを介して、前記流出パイプが接続されており、
前記複数の個別流入パイプおよび／または前記複数の個別流出パイプの各個別パイプには、それぞれ当該個別パイプを流れる保管液の液量を調整する個別パイプ開閉弁が介設されていることを特徴とする請求項４ないし７のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保管装置。
ワークに対して、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に機能液を吐出する液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドは、請求項３ないし８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保管装置で保管されたことを特徴とする液滴吐出装置。
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。