WO2003053698A1 - Unite tete et procede de fixation de celle-ci, dispositif de dessin, procedes de fabrication d'un dispositif d'affichage a cristaux liquides, dispositif electroluminescent organique, dispositif a decharge d'electrons, dispositif pdp, dispositif d'affichage a electrophorese, filtre couleur et dispositif ∨ - Google Patents

Description

明細書 ヘッドユニットとそのセット方法；描画装置；液晶表示装置、 有機 E L装置、 電 子放出装置、 P D P装置、 電気泳動表示装置、 カラ一フィルタ、 および有機 E L の製造方法；ならびにスぺーサ、 金属配線、 レンズ、 レジスト、 および光拡散体 形成方法 技術分野

本発明は、 インクジエツトへッドに代表される機能液滴吐出へッドの複数個を、 キヤリッジに搭載したへッドュニット、 そのセット方法および描画装置、 並びに 液晶表示装置の製造方法、 有機 E L装置の製造方法、 電子放出装置の製造方法、 P D P装置の製造方法、 電気泳動表示装置の製造方法、 カラーフィルタの製造方 法、 有機 E Lの製造方法、 スぺーサ形成方法、 金属配線形成方法、 レンズ形成方 法、 レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関するものである。 背景技術

従来、 大型のプリンタ等では、 インクジェットヘッド （機能液滴吐出ヘッド） の歩留まりを考慮し、 副走査方向の吐出ノズルの全並び （1ライン） を、 単一の 機能液滴吐出ヘッドではなく、 複数の機能液滴吐出ヘッドで構成している。 この 場合、 複数の機能液滴吐出ヘッドは、 単一のキャリッジに搭載され、 ヘッドュニ ットとしてプリンタの走査駆動系に取り付けられている。

ところで、 この種の機能液滴吐出ヘッドは、 そのノズル列から微小な液滴を精 度良く且つ選択的に吐出することができるため、 液晶表示装置や有機 E L表示装 置等のカラーフィル夕の製造に応用可能であると共に、 各種の電子デバイスや光 デバイス等の製造装置への応用も期待されている。

このような応用技術を考慮すると、 数多くの機能液滴吐出へッドを単一のキヤ リッジに精度良く搭載したへッドュニッ卜が必要となると同時に、 吐出対象とな る液体等によっては、 機能液滴吐出ヘッドの寿命が短くなり、 機能液滴吐出へッ ド （ヘッドユニット） の頻繁な交換も考慮する必要がある。

機能液滴吐出へッドの交換は、 これに装置側のケーブルやチューブが接続され ていることから、 これらケーブルおよびチューブの着脱作業が伴う。 特に、 数多 くの機能液滴吐出へッドを搭載したへッドュニットでは、 機能液滴吐出へッドの 個数分 （厳密にはノズル列数分） のケーブルおよびチューブの着脱作業が必要と なり、 この着脱作業が煩雑なものとなるだけでなく、 接続時にチューブから滴下 した機能液がへッド基板に付着しショートの原因になり、 或いは機能液によって は腐食の原因になることが想定される。 また、 装置自体にも、 この着脱作業のた めの作業スペースを確保する必要が生ずる。

本発明は、 複数の機能液滴吐出へッドに対するケーブルおよびチューブの着脱 作業を、 適切かつ効率良く行うことができるへッドュニット、 そのセット方法お よび描画装置、 並びに液晶表示装置の製造方法、 有機 E L装置の製造方法、 電子 放出装置の製造方法、 P D P装置の製造方法、 電気泳動表示装置の製造方法、 力 ラーフィル夕の製造方法、 有機 E Lの製造方法、 スぺーサ形成方法、 金属配線形 成方法、 レンズ形成方法、 レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供する 発明の開示

本発明のへッドュニットは、 導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐出す る複数の機能液滴吐出へッドと、 複数の機能液滴吐出へッドを搭載するキヤリツ ジとを備え、 各機能液滴吐出ヘッドに、 ヘッドドライバに連なる複数のメインケ 一ブルと機能液タンクに連なる複数のメインパイプとが接続されるへッドュニッ トにおいて、 キャリッジに搭載され、 メインケーブルが接続される複数の配線コ ネクタ、 および一端を各機能液滴吐出へッドのへッド基板に接続され他端を各配 線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを有する配線接続アッセンプリと、 キャリッジに搭載され、 メインパイプが接続される複数の配管ジョイント、 およ び一端を各機能液滴吐出へッドの機能液導入口に接続され他端を各配管ジョイン トに接続される複数の個別パイプを有する配管接続アッセンプリとを備えたこと を特徴とする。

この構成によれば、 ヘッドドライバに連なる各メインケーブルを、 配線接続ァ ッセンプリの各配線コネクタに接続することにより、 メインケーブルが、 配線接 続アッセンプリの個別ケ一ブルを介して、 各機能液滴吐出へッドのへッド基板に 接続される。 同様に、 機能液タンクに連なる各メインパイプを、 配管接続アツセ ンプリの各配管ジョイントに接続することにより、 メインパイプが、 配管接続ァ ッセンプリの個別パイプを介して、 各機能液滴吐出へッドの機能液導入口に接続 される。 したがって、 配線接続アッセンプリの配線コネクタおよび配管接続アツ センプリの配管ジョイントを、 着脱作業および機能液の漏れを考慮して配置する ことにより、 メインケーブルおよびメインパイプの着脱作業を、 支障を生ずるこ となく簡単且つ円滑に行うことができる。

この場合、 複数の配線コネクタが、 少なくとも 1箇所に集約配置されているこ とが、 好ましい。 同様に、 複数の配管ジョイントが、 少なくとも 1箇所に集約配 置されていることが、 好ましい。

この構成によれば、 メインケ一ブルおよびメインパイプの着脱作業を、 1箇所 で集中的に行うことができ、 メインケーブルおよびメインパイプの着脱作業を効 率良く行うことができる。

これらの場合、 配線接続アッセンプリは、 複数の個別ケーブルと複数の配線コ ネク夕とを接続する配線パターンが形成されると共に配線コネクタを取り付けた 中継基板を、 更に有することが、 好ましい。 また、 配線パターンは、 複数の個別 ケーブルのうちの複数を一括して各配線コネクタにそれぞれ接続していることが、 好ましい。

この構成によれば、 配線コネクタを接続し易い位置に安定に固定することがで きると共に、 配線コネクタの数 （ピン数は変わらず） を減らすことができる。 これらの場合、 中継基板は、 キャリッジに固定したスタンドを介して、 複数の 機能液滴吐出へッドの上方に配設されていることが、 好ましい。 この構成によれば、 中継基板と機能液滴吐出ヘッドとの間隙に、 配管接続アツ センプリを配設することができると共に、 中継基板と配管接続アッセンプリとの 干渉を防止することができ、 メインケーブルおよびメインパイプの着脱作業にお ける作業スペースを容易に確保することができる。

これらの場合、 各個別ケーブルは、 一端を、 ヘッド側コネクタを介してヘッド 基板に接続され、 他端を、 中継側コネクタを介して中継基板に接続されているこ とが、 好ましい。

この構成によれば、 個別ケーブルのへッド側コネクタおよび中継側コネクタに より、 へッド基板と中継基板とを簡単に接続することができる。

この場合、 各個別ケーブルは、 フラットフレキシブルケーブルで構成され、 へ ッド側コネクタと中継側コネクタとは、 相互に平行となる姿勢で配設されている ことが、 好ましい。

この構成によれば、 ヘッド基板に接続したヘッド側コネクタと、 中継基板に接 続した中継側コネクタとが、 平行となる姿勢で配設されているため、 フラットフ レキシブルケ一ブルにねじれが生ずることがなく、 相互のコネクタ部分に無用な 力が加わることがない。 したがって、 ホルダーレスのコネクタ （ノイズに強い） を用いても、 コネクタの脱落や接続不良を有効に防止することができる。

これらの場合、 中継側コネクタは、 中継基板の上面に上向きに取り付けられ、 各個別ケーブルは、 中継基板に形成した開口部を通って配線されていることが、 好ましい。

この構成によれば、 フラットフレキシブルケーブルを最短距離で配線すること ができ、 且つ開口部によりフラットフレキシブルケーブルの取り回しを安定させ ることができる。

これらの場合、 配管接続アッセンプリは、 各機能液導入口に接続される複数の 配管アダプタを介して、 複数の個別パイプに接続されていることが、 好ましい。

この構成によれば、 配管アダプタにより、 機能液導入口と個別パイプとを適切 に接続することができると共に、 着脱作業自体も簡単に行うことができる。 この場合、 複数の配管アダプタを一体に保持するアダプタ保持部材を、 更に有 し、 アダプタ保持部材は、 各配管アダプタを各機能液導入口に接続した状態でキ ャリッジに固定されていることが、 好ましい。

この構成によれば、 アダプタ保持部材により複数の配管アダプタを一体に保持 しておいて、 これを対応する複数の機能液導入口 （機能液滴吐出ヘッド） に一括 して接続することができ、 着脱作業を効率良く行うことができる。 また、 ァダプ 夕保持部材がキヤリッジに固定されているため、 配管アダプタを機能液滴吐出へ ッドに支持する必要がなく、 複数の配管アダプタを安定に設置することができる と共に機能液滴吐出へッドに無用な外力が作用することがない。

この場合、 アダプタ保持部材には、 各配管アダプタを各機能液導入口に向かつ て付勢するばねが組み込まれていることが、 好ましい。

この構成によれば、 各配管アダプタを各機能液導入口に押圧封止の形態で、 す なわちワンタッチで安定に接続することができる。

これらの場合、 複数の配管ジョイントを一体に保持するジョイント保持部材を、 更に有し、 ジョイント保持部材は、 キャリッジの端部に固定されていることが、 好ましい。

この構成によれば、 ジョイント保持部材を介して複数の配管ジョイントを安定 に支持することができると共に、 メインパイプの配管ジョイントへの着脱を安定 に行うことができる。

この場合、 ヘッドユニットは、 一方向にスライド移動させてセットされるよう になっており、 ジョイント保持部材は、 複数の配管ジョイントをスライド方向後 方に向けた状態で、 キャリッジにおけるスライド方向後端部に固定されているこ とが、 好ましい。

この構成によれば、 へッドュニットのスライド方向手前側から、 複数のメイン パイプを連続して接続 （或いは離脱） することができ、 着脱作業の効率化を図る ことができる。

これらの場合、 各個別パイプは、 配管ジョイントから配管アダプタに至る経路 において分岐していることが、 好ましい。

この構成によれば、 配管ジョイントの数を減することができると共に、 これに 伴って、 メインパイプの数および接続個所を少なくすることができる。

これらの場合、 キヤリッジに固定された手持ちするための一対のハンドルを、 更に備えたことが、 好ましい。 また、 配線接続アッセンプリおよび配管接続アツ センプリを覆うキヤリッジカバ一を、 更に備えることが好ましい。

この構成によれば、 一対のハンドルを把持してへッドュニットを移動させるこ とができ、 ヘッドユニットを簡単に持ち運びすることができる。 また、 持ち運び の際に、 構成部品の損傷等を有効に防止し且つ保護することができる。

本発明の他のへッドュニッ卜は、 導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐 出する複数の機能液滴吐出へッドと、 複数の機能液滴吐出へッドを搭載するキヤ リッジとを備え、 各機能液滴吐出ヘッドに、 ヘッドドライバに連なるメインケ一 ブルと機能液タンクに連なる複数のメインパイプとが接続されるへッドュニット において、 キャリッジに搭載され、 各メインケ一ブルが接続される複数の配線コ ネク夕、 および一端を各機能液滴吐出へッドのへッド基板に接続され他端を各配 線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを有する配線接続アッセンプリを備 えたことを特徴とする。

同様に、 本発明の他のヘッドユニットは、 導入した機能液を吐出ノズルから選 択的に吐出する複数の機能液滴吐出へッドと、 複数の機能液滴吐出へッドを搭載 するキャリッジとを備え、 各機能液滴吐出ヘッドに、 ヘッドドライバに連なるメ ィンケーブルと機能液タンクに連なる複数のメインパイプとが接続されるへッド ユニットにおいて、 キャリッジに搭載され、 各メインパイプが接続される複数の 配管ジョイント、 および一端を各機能液滴吐出へッドの機能液導入口に接続され 他端を各配管ジョイントに接続される複数の個別パイプを有する配管接続アツセ ンブリを備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、 各メインケ一ブルを、 配線接続アッセンプリの各配線 コネクタに接続することにより、 メインケーブルが、 配線接続アッセンプリの個 別ケーブルを介して、 各機能液滴吐出ヘッドのヘッド基板に接続される。 同様に、 各メインパイプを、 配管接続ァッセンブリの各配管ジョイントに接続することに より、 メインパイプが、 配管接続アッセンプリの個別パイプを介して、 各機能液 滴吐出ヘッドの機能液導入口に接続される。 したがって、 配線接続アッセンプリ の配線コネクタまたは配管接続ァッセンプリの配管ジョイントを、 着脱作業およ び機能液の漏れを考慮して配置することにより、 メインケ一ブル或いはメインパ イブの着脱作業を、 支障を生ずることなく簡単且つ円滑に行うことができる。

本発明のへッドュニットのセット方法は、 上記したへッドュニットを描画装 置にセットするヘッドユニットのセット方法であって、 ヘッドユニットを、 描画 装置のセット位置手前に仮セットする仮セット工程と、 仮セットの後、 各配線コ ネクタに各メインケーブルを接続すると共に各配管ジョイントに各メインパイプ を接続する配管 ·配線接続工程と、 配管 ·配線接続工程の後、 ヘッドユニットを 仮セット位置からセット位置に送り込んで本セッ卜する本セット工程とを備えた ことを特徴とする。

この構成によれば、 セット位置手前の仮セット位置において、 各メインケープ ルおよび各メインパイプの接続を行うようにしているため、 仮セット位置に十分 な作業空間を確保しておくことで、 メインケーブルおよびメインパイプの着脱作 業を円滑に行うことができ、 且つセット位置の周囲に着脱作業のための作業スぺ ースを必要としない。 したがって、 描画装置のセット位置に上記の作業スペース を必要とすることなく、 へッドュニッ卜の着脱を円滑に行うことができる。

本発明の描画装置は、 上記したへッドュニットを備えた描画装置であって、 へッドュニットをセットするセットテーブルの手前に、 へッドュニットを仮セッ トするための仮置き台を、 備えたことを特徴とする。

この構成によれば、 ヘッドユニットを仮置き台上に仮セットした状態で、 メイ ンケ一ブルおよびメインパイプの着脱作業を行うことができると共に、 へッドュ ニットを仮置き台からセットテ一ブルに載せ込む作業および引き出す作業を、 円 滑に行うことができる。 本発明の液晶表示装置の製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 カラー フィルタの基板上に多数のフィル夕エレメントを形成する液晶表示装置の製造方 法であって、 複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィル夕材料を導入し、 ヘッド ュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対し相対的に走査し、 フィ ル夕材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特 徴とする。

本発明の有機 E L装置の製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 基板上 の多数の絵素ピクセルにそれぞれ E L発光層を形成する有機 E L装置の製造方法 であって、 複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、 ヘッドュニッ トを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対し相対的に走査し、 発光材料を 選択的に吐出して多数の E L発光層を形成することを特徴とする。

本発明の電子放出装置の製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 電極上 に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、 複数の機能液滴吐 出へッドに各色の蛍光材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐 出へッドを電極に対し相対的に走査し、 蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光 体を形成することを特徴とする。

本発明の P D P装置の製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 背面基板 上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する P D P装置の製造方法であって、 複 数の機能液滴吐出へッドに各色の蛍光材料を導入し、 へッドュニットを介して複 数の機能液滴吐出へッドを背面基板に対し相対的に走査し、 蛍光材料を選択的に 吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴とする。

本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 電 極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、 複 数の機能液滴吐出へッドに各色の泳動体材料を導入し、 へッドュニットを介して 複数の機能液滴吐出へッドを電極に対し相対的に走査し、 泳動体材料を選択的に 吐出して多数の泳動体を形成することを特徴とする。

このように、 上記のヘッドユニットを、 液晶表示装置の製造方法、 有機 E L (Electroluminescent) 装置の製造方法、 電子放出装置の製造方法、 PDP (Plasma Display Panel) 装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法に 適用することにより、 各装置に求められるフィル夕材料や発光材料等を、 適切な 位置に適切な量を選択的に供給することができる。 また、 ヘッドユニットを介し て専用の液滴吐出ヘッドを迅速に供給することができる。 なお、 液滴吐出ヘッド の走査は、 一般的には主走査および副走査となるが、 いわゆる 1ラインを単一の 液滴吐出ヘッドで構成する場合には、 副走査のみとなる。 また、 電子放出装置は、 いわゆる FED (Field Emission Display) 装置を含む概念である。

本発明のカラ一フィルタの製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 基板 上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラー フィルタの製造方法であって、 複数の機能液滴吐出へッドに各色のフィルタ材料 を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対し相対 的に走査し、 フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成 することを特徴とする。

この場合、 多数のフィル夕エレメントを被覆するオーバ一コート膜が形成され ており、 フィルタエレメントを形成した後に、 複数の機能液滴吐出ヘッドに透光 性のコ一ティング材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へ ッドを基板に対し相対的に走査し、 コ一ティング材料を選択的に吐出してオーバ 一コート膜を形成することが、 好ましい。

本発明の有機 ELの製造方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 EL発光層 を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機 ELの製造方法で あって、 複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、 ヘッドユニット を介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対し相対的に走査し、 発光材料を選 択的に吐出して多数の EL発光層を形成することを特徴とする。

この場合、 多数の EL発光層と基板との間には、 EL発光層に対応して多数の 画素電極が形成されており、 複数の機能液滴吐出へッドに液状電極材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対し相対的に走査し、 液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成することが、 好ましい。 この場合、 多数の E L発光層を覆うように対向電極が形成されており、 E L発 光層を形成した後に、 複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 へッ ドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対し相対的に走査し、 液 状電極材料を選択的に吐出して対向電極を形成することが、 好ましい。

本発明のスぺーサ形成方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 2枚の基板間 に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスぺ一サを形成するスぺ一サ 形成方法であって、 複数の機能液滴吐出へッドにスぺーサを構成する粒子材料を 導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを少なくとも一方の 基板に対し相対的に走査し、 粒子材料を選択的に吐出して基板上にスぺーサを形 成することを特徴とする。

本発明の金属配線形成方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 基板上に金属 配線を形成する金属配線形成方法であって、 複数の機能液滴吐出へッドに液状金 属材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板に対 し相対的に走査し、 液状金属材料を選択的に吐出して金属配線を形成することを 特徴とする。

本発明のレンズ形成方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 基板上に多数の マイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、 複数の機能液滴吐出へッド にレンズ材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基 板に対し相対的に走査し、 レンズ材料を選択的に吐出して多数のマイクロレンズ を形成することを特徴とする。

本発明のレジスト形成方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 基板上に任意 形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、 複数の機能液滴吐出へッ ドにレジスト材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッド を基板に対し相対的に走査し、 レジスト材料を選択的に吐出してレジストを形成 することを特徴とする。

本発明の光拡散体形成方法は、 上記したヘッドユニットを用い、 基板上に多数 の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、 複数の機能液滴吐出へッドに 光拡散材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の機能液滴吐出へッドを基板 に対し相対的に走査し、 光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成す ることを特徴とする。

このように、 上記のヘッドユニットを、 カラ一フィル夕の製造方法、 有機 E L の製造方法、 スぺーサ形成方法、 金属配線形成方法、 レンズ形成方法、 レジス卜 形成方法および光拡散体形成方法に適用することにより、 各電子デバイスや各光 デバイスに求められるフィル夕材料や発光材料等を、 適切な位置に適切な量を選 択的に供給することができる。 また、 ヘッドユニットを介して専用の液滴吐出へ ッドを迅速に供給することができる。 図面の簡単な説明

図 1は本発明の一実施形態に係る描画装置の外観斜視図である。

図 2は描画装置の外観正面図である。

図 3は描画装置の外観側面図である。

図 4は描画装置の外観平面図である。

図 5は描画装置の液滴吐出装置の模式図である。

図 6は液滴吐出装置の中継基板カバーを取り外したヘッドユニットの全体斜視 図である。

図 7は液滴吐出装置のへッドュニットの平面図である。

図 8は液滴吐出装置のへッドュニッ卜の側面図である。

図 9は液滴吐出装置のへッドュエツトの正面図である。

図 1 0はへッドュニットの配管アダプタ廻りの断面図である。

図 1 1は本発明の実施形態の変形例に係るへッドュニットの全体斜視図である。 図 1 2は変形例に係るへッドュニットの配管アダプタ廻りの断面図である。 図 1 3は液滴吐出装置の機能液滴吐出へッドの外観斜視図である。

図 1 4は係る液滴吐出装置の石定盤廻りの側面図である。 図 1 5は液滴吐出装置の石定盤廻りの平面図である。

図 1 6は液滴吐出装置の石定盤廻りの正面図である。

図 1 7は液滴吐出装置の石定盤の支持形態を示す模式図である。

図 1 8は液滴吐出装置の X軸テーブルの平面図である。

図 1 9は液滴吐出装置の Xテーブルの側面図である。

図 2 0は液滴吐出装置の Xテーブルの正面図である。

図 2 1は液滴吐出装置の主基板認識力メラ廻りの斜視図である。

図 2 2は液滴吐出装置の Y軸テ一ブルの平面図である。

図 2 3は液滴吐出装置の Y軸テーブルの側面図である。

図 2 4は液滴吐出装置の Y軸テーブルの正面図である。

図 2 5は Y軸テーブルのメインキヤリッジの斜視図である。

図 2 6は Y軸テーブルのメインキヤリッジの平面図である。

図 2 7 A— 2 7 Cはへッドュニットのセット方法を示す説明図である。

図 2 8 A、 2 8 Bはカラ一フィルタの製造方法により製造されるカラーフィル 夕の部分拡大図であり、 図 2 8 Aは平面図であり、 図 2 8 Bは図 2 8 Aの B—

B '線断面図である。

図 2 9はカラーフィルタの製造方法を模式的に示す製造工程断面図である。 図 3 0はカラーフィルタの製造方法により製造される液晶表示装置の断面図で ある。

図 3 1は有機 E L装置の製造方法におけるバンク部形成工程 （無機物バンク） の断面図である。

図 3 2は有機 E L装置の製造方法におけるバンク部形成工程 （有機物バンク） の断面図である。

図 3 3は有機 E L装置の製造方法におけるプラズマ処理工程 （親水化処理） の 断面図である。

図 3 4は有機 E L装置の製造方法におけるプラズマ処理工程 （撥水化処理） の 断面図である。 図 3 5は有機 E L装置の製造方法における正孔注入層形成工程 （液滴吐出） の 断面図である。

図 3 6は有機 E L装置の製造方法における正孔注入層形成工程 （乾燥） の断面 図である。

図 3 7は有機 E L装置の製造方法における表面改質工程 （液滴吐出） の断面図 である。

図 3 8は有機 E L装置の製造方法における表面改質工程 （乾燥） の断面図であ る。

図 3 9は有機 E L装置の製造方法における B発光層形成工程 （液滴吐出） の断 面図である。

図 4 0は有機 E L装置の製造方法における B発光層形成工程 （乾燥） の断面図 である。

図 4 1は有機 E L装置の製造方法における R · G · B発光層形成工程の断面図 である。

図 4 2は有機 E L装置の製造方法における対向電極形成工程の断面図である。 図 4 3は有機 E L装置の製造方法における封止工程の断面図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 添付の図面を参照して、 本発明の実施形態について説明する。 インクジ エツトプリンタのィンクジェットへッド （機能液滴吐出へッド） は、 微小なィン ク滴 （液滴） をドット状に精度良く吐出することができることから、 例えば機能 液 （吐出対象液） に特殊なインクや感光性 ·発光性の樹脂等を用いることにより， 各種部品の製造分野への応用が期待されている。 また、 かかる応用技術では、 粘 性の高い機能液等の機能液滴吐出へッドの耐久性に大きな影響を与えるものも想 定され、 複数の機能液滴吐出へッドをキャリッジに精度良く組み込んだへッドュ ニットを、 装置に対し簡単に装着の或いは交換可能とすることが必要となる。 本実施形態のへッドュニットおよびこれを搭載した描画装置は、 例えば液晶表 示装置や有機 E L装置等の、 いわゆるフラットディスプレイの製造装置に適用さ れ、 その複数の機能液滴吐出へッドからフィルタ材料や発光材料等の機能液を吐 出して （インクジェット方式） 、 液晶表示装置における R . G . Bのフィルタエ レメントや、 有機 E L装置における各画素の E L発光層および正孔注入層を形成 するものである。

そこで、 本実施形態では、 有機 E L装置の製造装置に組み込まれる描画装置を 例に、 そのへッドュニットおよびへッドュニットのセット方法と共に説明する。 また、 このヘッドユニットを、 他のいわゆるフラットディスプレイの製造方法に 適用した例についても説明する。

図 1ないし図 4に示すように、 描画装置 1は、 液滴吐出装置 1 0とこれに併設 した付帯装置 1 1とを備えている。 付帯装置 1 1は、 液滴吐出装置 1 0に発光機 能材料 （発光材料：機能液） を供給すると共に不要となった機能液を回収する機 能液供給回収装置 1 3、 各構成部品への駆動 ·制御用等の圧縮エアーを供給する エアー供給装置 1 4、 エアーを吸引する真空吸引装置 1 5および機能液滴吐出へ ッド 7のメンテナンスに供するメンテナンス装置 1 6等を有している。

そして、 これら液滴吐出装置 1 0および付帯装置 1 1は、 図示しないが、 クリ ーンルーム形式のチャンバ （チャンバルーム） に収容されており、 複数の機能液 滴吐出ヘッド 7からの機能液の吐出動作を含む一連の製造工程が、 不活性ガス ( 窒素ガス） の雰囲気中で行われるようになつている。

液滴吐出装置 1 0は、 床上に設置した架台 2 1と、 架台 2 1上に設置した石定 盤 2 2と、 石定盤 2 2上に設置した X軸テーブル 2 3およびこれに直交する Y軸 テーブル 2 4と、 Y軸テーブル 2 4に吊設するように設けたメインキヤリッジ 2 5と、 メインキャリッジ 2 5に搭載したヘッドユニット 2 6とを有している。 詳 細は後述するが、 ヘッドユニット 2 6には、 サブキヤリッジ （キヤリッジ） 4 1 を介して、 複数の機能液滴吐出ヘッド 7が搭載されている。 また、 この複数の機 能液滴吐出へッド 7に対応して、 X軸テーブル 2 3の吸着テーブル 2 8 1上に基 板 （ワーク） Wがセットされるようになっている。 本実施形態の液滴吐出装置 1 0では、 機能液滴吐出ヘッド 7の駆動 （機能液滴 の選択的吐出） に同期して基板 Wが移動する構成であり、 機能液滴吐出ヘッド 7 のいわゆる主走査は、 X軸テ一ブル 2 3の X軸方向への往復の両動作により行わ れる。 また、 これに対応して、 いわゆる副走査は、 Y軸テーブル 2 4により機能 液滴吐出ヘッド 7の Y軸方向への往動動作により行われる。 なお、 上記の主走査 を X軸方向への往動 （または復動） 動作のみで行うようにしてもよい。

一方、 ヘッドユニット 2 6のホーム位置は、 図 2および図 4における図示左端 位置となっており、 且つこの液滴吐出装置 1 0の左方からへッドュニット 2 6の 運び込み或いは交換が行われる （詳細は後述する） 。 また、 図示の手前側には、 基板搬送装置が臨んでおり （図示省略） 、 基板 Wはこの手前側から搬入 ·搬出さ れる。 そして、 この液滴吐出装置 1 0の図示右側には、 上記付帯装置 1 1の主な 構成装置が、 一体的に添設されている。

付帯装置 1 1は、 上記の架台 2 1および石定盤 2 2に隣接するように配置した キャビネット形式の共通機台 3 1と、 共通機台 3 1内の一方の半部に収容した上 記のエアー供給装置 1 4および真空吸引装置 1 5と、 共通機台 3 1内の一方の半 部に主要装置を収容した上記の機能液供給回収装置 1 3と、 共通機台 3 1上に主 要装置を収容した上記メンテナンス装置 1 6とを備えている。 なお、 図中の符号 1 7は、 メインタンク （図示省略） とへッドュニット 2 6との間の機能液流路に 介設した、 機能液供給回収装置 1 3の中間タンクである。

メンテナンス装置 1 6は、 機能液滴吐出ヘッド 7の定期的なフラッシング （全 吐出ノズルからの機能液の捨て吐出) を受けるフラッシングュニッ卜 3 3と、 機 能液滴吐出へッド 7の機能液吸引および保管を行うクリーニングュニット 3 4と、 機能液滴吐出へッド 7のノズル形成面をワイピングするワイピングュニット 3 5 とを有している。 クリーニングュニット 3 4およびワイピングュニット 3 5は、 上記の共通機台 3 1上に配設され、 フラッシングユニット 3 3は、 基板 Wの近傍 において、 X軸テーブル 2 3上に搭載されている。

ここで、 図 5の模式図を参照して、 窒素ガスの雰囲気中で稼動する描画装置 1 の一連の動作を簡単に説明する。 先ず、 準備段階として、 作業に供する基板用の へッドュニット 2 6が液滴吐出装置 1 0に運び込まれ、 これがメインキヤリッジ

2 5にセットされる。 へッドュニット 2 6がメインキヤリッジ 2 5にセットされ ると、 Y軸テーブル 2 4がヘッドユニット 2 6を、 図外のヘッド認識カメラの位 置に移動させ、 へッド認識カメラによりへッドュニット 2 6が位置認識される。 ここで、 この認識結果に基づいて、 ヘッドユニット 2 6が 0補正され、 且つへッ ドュニット 2 6の X軸方向および Y軸方向の位置補正がデ一夕上で行われる。 位 置補正後、 ヘッドユニット （メインキャリッジ 2 5 ) 2 6はホーム位置に戻る。 一方、 X軸テーブル 2 3の吸着テーブル 2 8 1上に基板 （この場合は、 導入さ れる基板毎） Wが導入されると、 この位置 （受渡し位置） で後述する主基板認識 カメラ 2 9 0が基板を位置認識する。 ここで、 この認識結果に基づいて、 基板 W が Θ補正され、 且つ基板 Wの X軸方向および Y軸方向の位置補正がデータ上で行 われる。 位置補正後、 基板 （吸着テーブル 2 8 1 ) Wはホ一ム位置に戻る。 なお、 X軸および Y軸テーブル 2 3 , 2 4の初期調整時 （いわゆる通り出し） には、 吸 着テーブル 2 8 1上にァライメントマスクを導入し、 後述する副基板認識カメラ

3 0 8により初期調整 （位置認識） を行う。

このようにして準備が完了すると、 実際の液滴吐出作業では、 先ず X軸テープ ル 2 3が駆動し、 基板 Wを主走査方向に往復動させると共に複数の機能液滴吐出 ヘッド 7を駆動して、 機能液滴の基板 Wへの選択的な吐出動作が行われる。 基板 Wが復動した後、 こんどは Y軸テーブル 2 4が駆動し、 へッドュニット 2 6を 1 ピッチ分、 副走査方向に移動させ、 再度基板 Wの主走査方向への往復移動と機能 液滴吐出ヘッド 7の駆動が行われる。 そしてこれを、 数回繰り返すことで、 基板 Wの端から端まで (全領域） 液滴吐出が行われる。

一方、 上記の動作に並行し、 液滴吐出装置 1 0のヘッドユニット （機能液滴吐 出ヘッド 7 ) 2 6には、 エアー供給装置 1 4を圧力供給源として機能液供給回収 装置 1 3から機能液が連続的に供給され、 また吸着テーブル 2 8 1では、 基板 W を吸着すべく、 真空吸引装置 1 5によりエア一吸引が行われる。 また、 液滴吐出 作業の直前には、 へッドュニット 2 6がクリ一ニングュニット 3 4およびワイピ ングュニット 3 5に臨んで、 機能液滴吐出へッド 7の全吐出ノズル 1 3 8からの 機能液吸引と、 これに続くノズル形成面 1 3 9の拭取りが行われる。 液滴吐出作 業中には、 適宜ヘッドユニット 2 6がフラッシングユニット 3 3に臨んで、 フラ ッシングが行われる。

なお、 本実施形態では、 ヘッドユニット 2 6に対し、 その吐出対象物である基 板 Wを主走査方向 （X軸方向） に移動させるようにしているが、 ヘッドユニット 2 6を主走査方向に移動させる構成であってもよい。 また、 ヘッドユニット 2 6 を固定とし、 基板 Wを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であっても よい。

次に、 上記した液滴吐出装置 1 0の各構成装置について詳細に説明するが、 理 解を容易にすべく、 先にへッドュニット 2 6から詳細に説明する。

図 6ないし図 9は、 ヘッドユニット 2 6の構造図である。 これらの図に示すよ うに、 へッドュニット 2 6は、 サブキヤリッジ 4 1と、 サブキヤリッジ 4 1に搭 載した複数個 （1 2個） の機能液滴吐出ヘッド 7と、 各機能液滴吐出ヘッド 7を サブキャリッジ 4 1に個々に取り付けるための複数個 （1 2個） のヘッド保持部 材 4 2とを備えている。 1 2個の機能液滴吐出へッド Ίは、 6個づっ左右に二分 され、 主走査方向に対し所定の角度傾けて配設されている。

また、 各 6個の機能液滴吐出ヘッド 7は、 副走査方向に対し相互に位置ずれし て配設され、 1 2個の機能液滴吐出へッド 7の全吐出ノズル 1 3 8 (後述する） が副走査方向において連続する （一部重複） ようになつている。 すなわち、 実施 形態のヘッド配列は、 サブキャリッジ 4 1上において、 同一方向に傾けて配置し た 6個の機能液滴吐出へッド 7を 2列としたものであり、 且つ各へッド列間にお いて機能液滴吐出へッド 7が相互に 1 8 0 ° 回転した配置となっている。

もっとも、 この配列パターンは一例であり、 例えば、 各ヘッド列における隣接 する機能液滴吐出ヘッド 7， 7同士を 9 0 ° の角度を持って配置 （隣接ヘッド同 士が 「八」 字状） したり、 各ヘッド列間における機能液滴吐出ヘッド 7を 9 0 ° の角度を持って配置 （列間ヘッド同士が 「八」 字状） したりすることは可能であ る。 いずれにしても、 1 2個の機能液滴吐出ヘッド 7の全吐出ノズル 1 3 8によ るドッ卜が副走査方向において連続していればよい。

また、 各種の基板 Wに対し機能液滴吐出ヘッド 7を専用部品とすれば、 機能液 滴吐出へッド 7をあえて傾けてセットする必要は無く、 千鳥状や階段状に配設す れば足りる。 さらにいえば、 所定長さのノズル列 （ドット列） を構成できる限り、 これを単一の機能液滴吐出へッド 7で構成してもよいし複数の機能液滴吐出へッ ド 7で構成してもよい。 すなわち、 機能液滴吐出ヘッド 7の個数や列数、 さらに 配列パターンは任意である。

サブキヤリッジ 4 1は、 一部が切り欠かれた略方形の本体プレート 4 4と、 本 体プレート 4 4の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン 4 5 , 4 5と、 本体プレート 4 4の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材 4 6 , 4 6と、 各支持部材 4 6の端部に設けた左右一対のハンドル 4 7 , 4 7とを有している。 左右のハンドル 4 7， 4 7は、 ヘッドユニット 2 6を上記の液滴吐出装置 1 0に 載せ込む場合に、 へッドュニット 2 6を手持ちするための部位となる。 また、 左 右の支持部材 4 7 , 4 7は、 サブキャリッジ 4 1を液滴吐出装置 1 0のセット部 に固定するときの部位となる （いずれも詳細は後述する） 。

さらに、 サブキャリッジ 4 1には、 二分された機能液滴吐出ヘッド群 7 Sの上 側に位置して、 これら機能液滴吐出へッド 7に接続される配管接続アッセンプリ 5 1および配線接続アッセンプリ 5 3が設けられている。 配管接続アッセンプリ 5 1は、 左配管アッセンプリ 5 1 a、 右配管アッセンプリ 5 1 bおよびジョイン トュニット 5 2から成り、 上記の機能液供給回収装置 1 3に連なるメインチュー ブ （メインパイプ 5 4に配管接続されている。 同様に、 配線接続アッセンプリ 5 3は、 左配線アッセンプリ 5 3 aおよび右配線アッセンプリ 5 3 bから成り、 制 御系のメインケ一ブル 5 5に配線接続されている。 なお、 図 6ないし図 9では、 一方 （左側） の左配線アッセンプリ 5 3 aを省略して、 描かれている。

本体プレート 4 4は、 ステンレス等の厚板で構成され、 左右に各 6個の機能液 滴吐出へッド 7を取り付けるための一対の装着開口 6 1， 6 1が形成されると共 に、 適宜位置に重量を軽減するための複数の抜き開口 6 2が形成されている。 各 装着開口 6 1は、 6個の機能液滴吐出ヘッド 7を取り付ける開口部位 6 1 aが連 続したものであり、 6個の機能液滴吐出ヘッド （機能液滴吐出ヘッド群 7 S ) 7 の並びに倣って、 その軸線が本体プレート 4 4の軸線に対しわずかに傾いている。 各支持部材 4 6は、 厚手のステンレス板等で構成され、 これを固定するための 2つの固定孔 （ばか孔） 6 4， 6 4および 2つのポルト孔 6 5 , 6 5が形成され ると共に、 これら固定孔 6 4 , 6 4およびポルト孔 6 5， 6 5間に位置決め用の ピンが挿入されるピン孔 6 6が形成されている。 詳細は後述するが、 液滴吐出装 置 1 0にへッドュニット 2 6をセットするときには、 ピン孔 6 6を用いて位置決 めされると共に 2つのポルト孔 6 5 , 6 5を用いてねじ止め固定される。

左右一対の基準ピン 4 5， 4 5は、 画像認識を前提として、 サブキャリッジ 4 1を X軸、 Y軸および Θ軸方向に位置決め （位置認識） するための基準となるも のであり、 本体プレート 4 4の裏面に突出するように取り付けられている。 各基 準ピン 4 5は円柱状に形成され、 その先端面に基準マークが形成されている。 こ の場合、 各基準ピン 4 5の先端面 4 5 aは鏡面加工されており、 この先端面 4 5 aの中心位置に基準マークとなる直径 0 . 3 mm程度の小孔が穿孔されている。 このようにして形成された基準ピン 4 5は、 その先端面 4 5 aを下向きにして サブキャリッジ （本体プレート 4 4 ) 4 1に形成した取付用の孔部分に打ち込む ようにして圧入される。 サブキャリッジ 4 1に圧入された基準ピン 4 5は、 サブ キヤリッジ 4 1から突出した機能液滴吐出へッド 7と略同一高さとなるように、 本体プレート 4 4の裏面から突出している （図 9参照） 。

左右のハンドル 4 7 , 4 7は、 重量のある （7 k g程度） ヘッドユニット 2 6 を手持ちするためのものであり、 各ハンドル 4 7は、 握り部分となるハンドル本 体 6 8と、 ハンドル本体 6 8の下端から直角に延びるアーム部 6 9とで 「L」 字 状に形成されている。 ハンドル本体 6 8は、 その上端部が滑止め用の太径部 7 0 となっている。 また、 ハンドル本体 6 8の外周面には、 滑止め用の口一レット加 ェが施されている。

アーム部 6 9は水平に延在し、 その先端部でサブキャリッジ 4 1の支持部材 4 6に着座するようにしてねじ止めされている。 すなわち、 各ハンドル 4 7は、 サ ブキャリッジ 4 1に着脱自在に取り付けられている。 このように、 左右のハンド ル 4 7， 4 7は、 サブキャリッジ （本体プレート 4 4 ) 4 1の長辺方向の端部か らはみ出した位置、 すなわち機能液滴吐出ヘッド 7から離れた位置に、 立ち上が るようにして設けられている。

左右の各配管アッセンプリ 5 1 a , 5 1 bは、 6個の機能液滴吐出へッド 7に 上側から立設するように接続した 6組の配管アダプタ 8 1を備えると共に、 各配 管アダプタ 8 1と上記のジョイントュニット 5 2とを接続する複数本の個別チュ ーブ （個別パイプ） 8 2を備えている。 ジョイントユニット 5 2は、 一端に上記 のメインチューブ 5 4が接続されると共に、 他端に個別チューブ 8 2が接続され る 1 2個の配管ジョイント 8 3を有している。

各組の配管アダプタ 8 1は、 図 1 0に示すように、 背の高い高配管アダプタ 8 l aと、 背の低い低配管アダプタ 8 1 bとから成り、 後述する機能液滴吐出へッ ド 7の 2連の接続針 1 3 2 , 1 3 2に、 それぞれ上側から接続されている。 高配 管アダプタ 8 1 aおよび低配管アダプタ 8 1 bは、 いずれも上下 2本の 0リング 8 5， 8 5を介して接続針 1 3 2， 1 3 2に液密に接続されるアダプタ本体 8 6 と、 アダプタ本体 8 6の上部に液密且つ首振り可能に取り付けた接続具 8 7とで 構成されている。

高配管アダプタ 8 1 aのアダプタ本体 8 6は長く、 低配管アダプタ 8 1 bのァ ダプタ本体 8 6は短く形成され、 同一構造のそれぞれの接続具 8 7 , 8 7が上下 に位置して、 接続具 （の接続口） 8 7， 8 7同士が干渉しないように配設されて いる。 そして、 各接続具 8 7の接続口 8 7 aが、 ジョイントユニット 5 2に向か つて斜め内向きに配設され、 これにそれぞれ個別チューブ 8 2が接続されている。 なお、 ジョイントュニット 5 2の各配管ジョイント 8 3から延びる個別チューブ 8 2は、 途中で Y字継手 8 9により分岐し、 各組の高配管アダプタ 8 1 aおよび 低配管アダプタ 8 1 bに接続されている （1個所のみ図示） 。

ジョイントユニット 5 2は、 図 6ないし図 9に示すように、 上記の一対のハン ドル 4 7 , 4 7間に位置しており、 1 2個の配管ジョイント 8 3と、 これら配管 ジョイント 8 3を支持する支持プレート 9 1、 配管ジョイント 8 3の支持プレ一 卜 9 1からの離脱を阻止する抜止め部材 9 2と、 支持プレート 9 1をサブキヤリ ッジ 4 1の端部に固定するブラケット 9 3とを有している。 すなわち、 支持プレ ート 9 1、 抜止め部材 9 2およびブラケット 9 3により、 請求項に言うジョイン 卜支持部材が構成されている。

ブラケット 9 3は、 基端側をサブキャリッジ 4 1の端部上面に固定され、 支持 プレート 9 1に支持された配管ジョイント 8 3が両ハンドル 4 7 , 4 7間に位置 するように水平に延在している。 1 2個の配管ジョイント 8 3は、 横向き鉛直姿 勢の支持プレート 9 1に上下 2列で各 6個、 横並びに配設されている。

各配管ジョイント 8 3は、 ユニオン形式の継手であり、 段付きの胴部 9 5と、 胴部の前後に連なる流入側接続口 9 6および流出側接続口 9 7とで構成されてい る。 この場合、 配管ジョイント 8 3は、 支持プレート 9 1に形成した取付け孔 9 8にハンドル 4 7側からその段付きの胴部 9 5を嵌合し、 この状態で、 胴部 9 5 の端を抜止め部材 9 2により押さえられるようにして、 支持プレート 9 1に固定 されている。

抜止め部材 9 2は、 2列の配管ジョイント 8 3群の中間に配設した一対の脚部 1 0 1 aを有する抜止め片 1 0 1と、 各脚部 1 0 1 aを貫通して支持プレート 9 1のねじ止めされる一対の固定ねじ 1 0 2 , 1 0 2とで構成されており、 抜止め 片 1 0 1で上下各 6個の配管ジョイント 8 3を一括して押さえるようになつてい る。 なお、 各配管ジョイント 8 3の流入側接続口 9 6および流出側接続口 9 7の うち、 少なくともメインチューブ 5 4が接続される流入側接続口 9 6は、 ワン夕 ツチジョイントで構成することが好ましい。

このように構成した配管接続アッセンプリ 5 1では、 各機能液滴吐出ヘッド 7 に連なる複数の配管ジョイント 8 3が、 ハンドル 4 7側手前に集約して配置され ているため、 装置側の複数本のメインチューブ 5 4を効率良く且つ簡単に接続 （ 着脱） することができる。 また、 メインチューブ 5 4の着脱作業において、 機能 液が液漏れしても後述するへッド基板 1 3 3やサブキャリッジ 4 1に付着するこ とがなく、 へッド基板 1 3 3のショートやサブキャリッジ 4 1の腐食等を有効に 防止することができる。

なお、 1 2個の配管ジョイント 8 3を、 横並び 1列或いは千鳥に配設するよう にしてもよい。 また、 縦並びに配設するようにしてもよい。 さらに、 複数本のメ インチューブ 5 4をホルダで纏めておいて （ユニット化） 、 これをジョイントュ ニット 5 2に対し、 一括して接続する （ワンタッチジョイント） ようにしてもよ い。

一方、 左右各配線アッセンブリ 5 3 , 5 3 bは、 サブキャリッジ 4 1の左右 の各端部に立設した 3個の屈曲支持部材 1 1 1 , 1 1 1 , 1 1 1と （図 1 1参照 ) 、 屈曲支持部材 1 1 1の上端に固定した中継基板 1 1 2と、 中継基板 1 1 2上 に立設した 4つの配線コネクタ 1 1 3と、 中継基板 1 1 2と 6個の機能液滴吐出 ヘッド 7とを接続する各 2個ずつ計 6組のフレキシブルフラットケ一ブル （個別 ケ一ブル） 1 1 4とを備えている。 この場合、 中継基板 1 1 2は、 機能液滴吐出 へッド群 7 Sの上側、 すなわち上記の配管アダプタ 8 1の上側に位置し水平に配 設されている。

1組 2本のフレキシブルフラットケ一ブル 1 1 4は、 それぞれ両端にへッド側 コネクタ 1 1 6および中継側コネクタ 1 1 7を有しており、 各ヘッド側コネクタ 1 1 6は、 各機能液滴吐出へッド 7の 2連のへッド基板 1 3 3の一対の受けコネ クタ 1 1 8 , 1 1 8にそれぞれ接続されている。 また、 2本のフレキシブルフラ ットケーブル 1 1 4は、 中継基板 1 1 2に形成したスリット開口 1 1 9を貫通し て中継基板 1 1 2の上側に延び且つ折り返し、 その各中継側コネクタ 1 1 7が、 スリット開口 1 1 9の両側に位置する中継基板 1 1 2の受けコネクタ 1 2 0にそ れぞれ接続されている。 この場合、 へッド側コネクタ 1 1 6と中継側コネクタ 1 1 7は、 ヘッド基板 1 3 3の傾き同一の傾きを有して配設され、 フレキシブルフ ラッ卜ケーブル 1 1 4に捩れが生じないようになつている。

中継基板 1 1 2には、 短辺方向の内側半部に上記の複数の受けコネクタ 1 2 0 が配設され、 外側半部に上記の 4つの配線コネクタ 1 1 3が 2列に配設されてい る。 そして、 中継基板 1 1 2の表面には、 計 1 2個の受けコネクタ 1 2 0を 4つ の配線コネクタ 1 1 3に集約する配線パターン 1 2 2が形成されている。 すなわ ち、 1つの配線コネクタ 1 1 3は、 受けコネクタ 1 2 0の 3個分の接続ピンを有 している。 この場合、 各配線コネクタ 1 1 3は、 中継基板 1 1 2上に上向きに固 定され、 上記のメインケーブル 5 5が上側から接続 （着脱） されるようになって いる。

このように構成した配線接続アッセンプリ 5 3では、 各機能液滴吐出へッド 7 に連なる複数の配線コネクタ 1 1 3が、 左右の 2個所に集約配置されているため、 装置側の複数のメインケーブル 5 5を効率良く且つ簡単に接続 （着脱） すること ができる。 また、 配線パターン 1 2 2を形成した中継基板 1 1 2により、 配線コ ネクタ 1 1 3の数を少なくすることができる。

なお、 中継基板 1 1 2を上記のジョイントュニット 5 2の位置まで延在させ、 計 8つの配線コネクタ 1 1 3を、 ジョイントュニット 5 2の上側に並べて配置し てもよい。 このようにすれば、 メインケーブル 5 5の接続をより一層効率良く行 うことができる。 また、 後述する中継基板カバ一 1 2 5の高さを低く押さえるこ とができる。

一方、 図 1 1にのみ示すように、 このヘッドユニット 2 6には更に、 配線接続 アッセンプリ 5 3および配管接続アッセンプリ 5 1を覆うように中継基板カバ一 (キャリッジカバ一） 1 2 5が設けられている。 中継基板カバ一 1 2 5は、 配線 接続アッセンプリ 5 3の側面から直上部を覆う一対の側面カバー 1 2 6， 1 2 6 と、 一対の側面カバ一 1 2 6， 1 2 6間に渡した上面カバー 1 2 7とで構成され ており、 このうち上面カバー 1 2 7は、 ヘッドユニット 2 6を液滴吐出装置 1 0 にセットした後に取り付けるようになつている。

また、 図 1 1には、 上記実施形態の変形例となる配管接続アッセンプリ 5 1が n

設けられている。 この左右各配管アッセンプリ 5 1 a, 5 l bでは、 6組の配管 アダプタ 8 1が、 押さえプレート （アダプタ保持部材） 104に保持され、 この 押さえプレート 104が、 その両端部で一対のスぺ一サ 1 05, 105を介して サブキヤリッジ 41の長辺方向の両端部にねじ止めされている。

この場合、 配管アダプタ 81は、 図 12に示すように、 機能液滴吐出ヘッド 7 の 2連の接続針 132, 132に接続される一対の配管接続部材 106, 106 と、 各配管接続部材 106を押圧する一対のアダプタ本体 107， 107と、 各 アダプタ本体 1 07の上部に取り付けた一対の接続具 108, 1 08とで構成さ れている。 各アダプタ本体 107と押さえプレート 104との間には、 アダプタ 本体 1 07を下方に付勢するコイルばね 109が組み込まれており、 機能液滴吐 出へッド 7に配管接続部材 106を嵌合接続する一方、 各アダプタ本体 107を 保持した押さえプレート 1 04を両スぺーサ 105， 105にねじ止めすること で、 6組のアダプタ本体 107, 107が、 それぞれ配管接続部材 106, 1 0 6を介して機能液滴吐出へッド 7に押圧状態で接続される。

このような構成では、 押さえプレート 104により、 6組の配管アダプタ 8 1 を一括して機能液滴吐出へッド 7に接続するようにしているため、 配管アダプタ 8 1をヘッドユニット 26に簡単は組み込むことができる。 この場合には、 配管 アダプタ 8 1に予め個別チューブ 82を接続しておいてから、 機能液滴吐出へッ ド 7に接続することが、 好ましい。 なお、 実施形態のへッドュニット 26におい て、 配管接続アッセンプリ 51および配線接続アッセンプリ 53の一方のみ設け るようにしてもよい。

次に、 図 1 3を参照して、 機能液滴吐出ヘッド 7について説明する。 この機能 液滴吐出ヘッド 7は、 いわゆる 2連のものであり、 2連の接続針 132, 132 を有する液体導入部 131と、 液体導入部 1 31の側方に連なる 2連のへッド基 板 1 33と、 液体導入部 131に下方に連なる 2連のポンプ部 1 34と、 ポンプ 部 1 34に連なるノズル形成プレート 135とを備えている。 液体導入部 1 3 1 の各接続針 1 32には、 上記の配管接続部材 106が接続され、 へッド基板 1 3 3の各受けコネクタ 1 1 8には、 上記のフレキシブルフラットケーブル 1 1 4が 接続されている。 一方、 このポンプ部 1 3 4とノズル形成プレート 1 3 5とによ り、 サブキャリッジ 4 1の裏面側に突出する方形のへッド本体 1 3 0が構成され ている。

ノズル形成プレ一ト 1 3 5には、 2本のノズル列 1 3 7， 1 3 7が相互に平行 に列設されており、 各ノズル列 1 3 7は、 等ピッチで並べた 1 8 0個 （図示では 模式的に表している） の吐出ノズル 1 3 8で構成されている。 すなわち、 ヘッド 本体 1 3 0のノズル形成面 1 3 9には、 その中心線を挟んで 2本のノズル列 1 3 7 , 1 3 7が左右対称に配設されている。 そして、 このように構成された機能液 滴吐出ヘッド 7は、 そのヘッド本体 1 3 0を、 上記の装着開口 6 1からサブキヤ リッジ 4 1の裏面側に突出させてへッド保持部材 4 2にねじ止め固定され、 さら にこのへッド保持部材 4 2が、 サブキヤリッジ 4 1に固定されるようになってい る。

なお、 図 1 3中の符号 1 4 0 , 1 4 0は、 機能液滴吐出へッド 7 ¾位置認識す るための 2つのノズル基準マークである。 ノズル基準マーク 1 4 0は、 上記最外 端の 2つの吐出ノズル 1 3 8 , 1 3 8の近傍に、 レ一ザ一エッチングなどにより 形成されている。 2つの吐出ノズル 1 3 8， 1 3 8に対し 2つのノズル基準マ一 ク 1 4 0， 1 4 0は位置保証されており、 2つの吐出ノズル 1 3 8 , 1 3 8にお ける画像認識が不安定な場合には、 この 2つのノズル基準マーク 1 4 0， 1 4 0 を用いて画像認識を行うようにする。

次に、 液滴吐出装置 1 0の各構成装置について説明する。

図 1 4ないし 1 7は、 X軸テ一ブルを搭載した液滴吐出装置の架台 2 1および 石定盤 2 2を表している。 これら図に示すように、 架台 2 1は、 アングル材等を 方形に組んで構成され、 下部に分散配置したアジャストポルト付きの複数 （9個 ) の支持脚 2 7 1を有している。 架台 2 1の上部には、 各辺に対し 2個の割合で、 運搬等の移動の際に石定盤 2 2を固定するための複数 （8個） の固定部材 2 7 2 が、 側方に張り出すように取り付けられている。 各固定部材 2 7 2は、 ブラケット様に 「L」 字状に形成され、 基端側を架台 2 1の上部側面に固定され、 先端側を調整ボルト 2 7 3を介して、 石定盤 2 2の下 部側面に当接するようになつている。 石定盤 2 2は、 架台 2 1に対し非締結状態 で載っており、 石定盤 2 2を運搬する際にこの固定部材 2 7 2により、 架台 2 1 に対し石定盤 2 2が X軸方向および Y軸方向 （前後左右） に不動に固定される。 石定盤 2 2は、 機能液滴吐出へッド 7を精度良く移動させる X軸テ一ブル 2 3 および Y軸テーブル 2 4が、 周囲の環境条件や振動等により精度上の狂いが生じ ないように支持するものであり、 平面視長方形の無垢の石材で構成されている。 石定盤 2 2の下部には、 これを架台 2 1上に支持するアジヤストポル卜付きの 3 つの主支持脚 2 7 5および 6つの補助脚 2 7 6が設けられている。 3つの主支持 脚 2 7 5は、 石定盤 2 2を 3点で支持し、 その表面の平行度 （水平度を含む） を 出すためのものであり、 6つの補助脚 2 7 6は、 石定盤 2 2の 3つの主支持脚 2 7 5から外れた部分を支持しその撓みを抑制するものである。

このため、 図 1 7に模式的に示すように、 3つの主支持脚 2 7 5， 2 7 5 , 2 7 5は二等辺三角形をなすように配置され、 その底辺を為す 2つの主支持脚 2 7 5が、 石定盤 2 2の基板搬入側 （同図では左側、 図 1では手前側） に位置するよ うに配設されている。 また、 6つの補助脚 2 7 6 , 2 7 6 , 2 7 6 , 2 7 6 , 2 7 6， 2 7 6は、 上記 3つの主支持脚 2 7 5， 2 7 5 , 2 7 5を含んで縦横に 3 X 3となるように、 均一且つ分散して配設されている。

この場合、 石定盤 2 2上には、 その長辺に沿う中心線に軸線を合致させて X軸 テーブル 2 3が設置され、 短辺に沿う中心軸に軸線を合致させて Y軸テーブル 2 4が設置されている。 このため、 X軸テーブル 2 3は、 石定盤 2 2上に直接固定 され、 Y軸テーブル 2 4は、 その 4本の支柱 2 7 8がそれぞれスぺ一サブロック 2 7 9を介して石定盤 2 2上に固定されている。 これにより、 Y軸テ一ブル 2 4 は、 X軸テ一ブル 2 3を跨いでその上側に直交するように配設されている。 図 1 4ないし図 1 6 ( X軸移動系） と図 1 8ないし図 2 0 ( 0移動系） に示す ように、 X軸テーブル 2 3は、 石定盤 2 2の長辺方向に延在しており、 基板 Wを エアー吸引により吸着セットする吸着テーブル 2 8 1と、 吸着テーブル 2 8 1を 支持する 0テーブル 2 8 2と （図 1 8ないし図 2 0参照） 、 0テーブル 2 8 2を 保持するスライドべ一ス 2 8 6を有して 0テーブル 2 8 2を X軸方向にスライド 自在に支持する X軸エアースライダ 2 8 3と、 0テーブル 2 8 2を介して吸着テ 一ブル 2 8 1上の基板 Wを X軸方向に移動させる X軸リニアモータ 2 8 4と、 X 軸エア一スライダ 2 8 3に併設した X軸リニアスケール 2 8 5と （図 1 4ないし 図 1 6参照） で構成されている。

X軸リニアモ一タ 2 8 4は、 X軸エアースライダ 2 8 3のへッドュニット 2 6 搬入側に位置し、 X軸リニアスケール 2 8 5は、 X軸エアースライダ 2 8 3の付 帯装置 1 1側に位置しており、 これらは、 相互に平行に配設されている。 X軸リ ニァモータ 2 8 4、 X軸エア一スライダ 2 8 3および X軸リニアスケール 2 8 5 は、 石定盤 2 2上に直接支持されている。 吸着テーブル 2 8 1には、 上記の真空 吸引装置 1 5に連なる真空チューブが接続されており （図示省略） 、 そのエア一 吸引によりセットされた基板 Wが平坦度を維持するようにこれを吸着する。 また、 X軸リニアスケール 2 8 5の付帯装置 1 1側には、 これに平行に位置し て、 石定盤 2 2上にボックス 2 8 8に収容された状態で、 X軸ケーブルベア 2 8 7が配設されている。 X軸ケ一ブルベア 2 8 7には、 吸着テーブル 2 8 1の真空 チューブや テーブル 2 8 2用のケーブル等が、 吸着テ一ブル 2 8 1および 0テ 一ブル 2 8 2の移動に追従するように、 収容されている （図 1 5および図 1 6参 照） 。

このように構成された X軸テーブル 2 3は、 X軸リニアモータ 2 8 4の駆動に より、 基板 Wを吸着した吸着テーブル 2 8 1および 0テーブル 2 8 2が、 X軸ェ アースライダ 2 8 3を案内にして X軸方向に移動する。 この X軸方向の往復移動 において、 基板搬入側から奥側に向かう往動動作により、 機能液滴吐出ヘッド 7 の相対的な主走査が行われる。 また、 後述する主基板認識カメラ 2 9 0の認識結 果に基づいて、 0テ一ブル 2 8 2による基板 Wの 0補正 （水平面内における角度 補正） が行われる。 図 2 1は、 主基板認識カメラを表している。 同図に示すように、 吸着テーブル 2 8 1の直上部には、 基板 Wの搬入位置 （受渡し位置） に臨むように、 一対の主 基板認識カメラ 2 9 0 , 2 9 0が配設されている。 一対の主基板認識カメラ 2 9 0 , 2 9 0は、 基板 Wの 2つの基準位置 （図示省略） を同時に画像認識するよう になっている。

図 2 2、 図 2 3および図 2 4に示すように、 Y軸テーブル 2 4は、 石定盤 2 2 の短辺方向に延在しており、 上記のメインキャリッジ 2 5を吊設するブリッジプ レート 2 9 1と、 プリッジプレート 2 9 1を両持ちで且つ Y軸方向にスライド自 在に支持する一対の Y軸スライダ 2 9 2， 2 9 2と、 Y軸スライダ 2 9 2に併設 した Y軸リニ.ァスケール 2 9 3と、 一対の Y軸スライダ 2 9 2 , 2 9 2を案内に してプリッジプレ一卜 2 9 1を Y軸方向に移動させる Y軸ポールねじ 2 9 4と、 Y軸ポールねじ 2 9 4を正逆回転させる Y軸モー夕 2 9 5とを備えている。 また、 一対の Y軸スライダ 2 9 2 , 2 9 2の両側に位置して、 一対の Y軸ケーブルベア 2 9 6 , 2 9 6がそれぞれボックス 2 9 7， 2 9 7に収容した状態で、 配設され ている。

Y軸モータ 2 9 5はサ一ポモータで構成されており、 Y軸モータ 2 9 5が正逆 回転すると、 Y軸ポールねじ 2 9 4を介してこれに螺合しているプリッジプレ一 ト 2 9 1が、 一対の Y軸スライダ 2 9 2 , 2 9 2を案内にして Y軸方向に移動す る。 すなわち、 ブリッジプレート 2 9 1の Y軸方向への移動に伴って、 メインキ ャリッジ 2 5が Y軸方向に移動する。 このメインキャリッジ （ヘッドユニット 2 6 ) 2 5の Y軸方向の往復移動において、 ホーム位置側から付帯装置 1 1側に向 かう往動動作により、 機能液滴吐出へッド 7の副走査が行われる。

一方、 上記の 4本の支柱 2 7 8上には、 メインキャリッジ 2 5の移動経路の部 分を長方形開口 2 9 8 aとした載置台プレート 2 9 8が支持されており、 載置台 プレート 2 9 8上には、 長方形開口 2 9 8 aを逃げて一対の Y軸スライダ 2 9 2 , 2 9 2および Y軸ポールねじ 2 9 4が、 相互に平行に配設されている。 また、 載 置台プレート 2 9 8から外側に張り出した一対の支持板 2 9 9 , 2 9 9上には、 上記の一対の Y軸ケーブルベア 2 9 6 , 2 9 6が、 そのボックス 2 9 7 , 2 9 7 と共に載置されている。

基板搬入側の Υ軸ケーブルベア 2 9 6には、 主にへッドュニット 2 6に接続さ れるケーブルが収容され、 逆側の Υ軸ケーブルベア 2 9 6には、 主にへッドュニ ット 2 6に接続される機能液用のチューブが収容されている （いずれも図示省略 ) 。 そして、 これらケーブルおよびチューブは、 上記のブリッジプレート 2 9 1 を介してへッドュニット 2 6の複数の機能液滴吐出へッド 7に接続されている。 図 2 5および図 2 6に示すように、 メインキャリッジ 2 5は、 上記のブリッジ プレート 2 9 1に下側から固定される外観 「I」 形の吊設部材 3 0 1と、 吊設部 材 3 0 1の下面に取り付けた Θテーブル 3 0 2と、 0テーブル 3 0 2の下面に吊 設するように取り付けたキャリッジ本体 3 0 3とで構成されている。 そして、 こ の吊設部材 3 0 1が、 上記の載置台プレート 2 9 8の長方形開口 2 9 8 aに臨ん でいる。

キヤリッジ本体 3 0 3は、 へッドュニット 2 6が着座するべ一スプレート 3 0 4と、 ベースプレート 3 0 4を垂設するように支持するアーチ部材 3 0 5と、 ベ ースプレート 3 0 4の一方の端部に突出するように設けた一対の仮置きアングル 3 0 6， 3 0 6と、 ペースプレ一ト 3 0 4の他方の端部に設けたストッパプレー ト 3 0 7とを備えている。 また、 ストツパプレート 3 0 7の外側には、 基板 Wを 認識する上記の一対の副基板認識カメラ 3 0 8が、 配設されている。

ベ一スプレー卜 3 0 4には、 へッドュニット 2 6の本体プレート 4 4が遊嵌す る方形開口 3 1 1が形成され、 またこの方形開口 3 1 1を構成するベースプレー ト 3 0 4の左右の各開口縁部 3 1 2には、 へッドュニット 2 6の各支持部材 4 6 に形成した 2つのポルト孔 6 5 , 6 5およびピン孔 6 6に合致する 2つの貫通孔 3 1 3 , 3 1 3と位置決めピン 3 1 4とが設けられている。 この場合、 方形開口 3 1 1の幅と本体プレート 4 4の幅とがほぼ合致しており、 側方からセットされ るヘッドユニット 2 6は、 本体プレート 4 4の左右が方形開口 3 1 1の左右に案 内されるようにして、 挿入される。 各仮置きアングル 3 0 6は、 十分な厚み （高さ） を有し、 外側に 「L」 字状に 屈曲した基部で、 ベースプレート 3 0 4の端部に載置するようにして固定されて いる。 また、 両仮置きアングル 3 0 6 , 3 0 6の離間寸法は、 ヘッドユニット 2 6の両支持部材 4 6， 4 6の離間寸法に対応している。 したがって、 ヘッドュニ ット 2 6は、 その両支持部材 4 6， 4 6が両仮置きアングル 3 0 6， 3 0 6に着 座することで仮置きされ、 且つ両仮置きアングル 3 0 6， 3 0 6によりベースプ レー卜 3 0 4への送り込みが案内ざれる。 また、 この状態で、 各機能液滴吐出へ ッド 7のへッド本体 1 3 0がべ一スプレート 3 0 4から十分に浮いて、 ベースプ レー卜 3 0 4との接触 （干渉） が防止される。

図 2 7 A— 2 7 Cのイメージ図に示すように、 ヘッドユニット 2 6を、 メイン キヤリッジ 2 5のべ一スプレート 3 0 4にセッ卜する場合には、 先ず両ハンドル 4 7， 4 7で手持ちして運び込んだヘッドユニット 2 6を、 両仮置きアングル 3 0 6， 3 0 6上に載置する （仮置き） 。 ここで、 特に図示しないが、 アーチ部材 3 0 5上に配設した液滴吐出装置 1 0のメインチューブ 5 4をへッドュニット 2 6の配管接続アッセンプリ 5 1に配管接続すると共に、 メインケーブル 5 5を配 線接続アッセンプリ 5 3に配線接続する （図 2 7 A) 。

接続作業が完了したら、 再度ハンドル 4 7， 4 7を把持し、 両仮置きアングル

3 0 6 , 3 0 6をガイドにしてヘッドユニット 2 6を先方に押し入れ、 更にその 先端部を下げるように傾ける （図 2 7 B ) 。 ヘッドユニット 2 6を傾けてゆくと、 本体プレート 4 4の先端部が方形開口 3 1 1に挿入され、 且つ両支持部材 4 6，

4 6の先端が方形開口 3 1 1の両開口縁部 3 1 2 , 3 1 2に着地する。 両支持部 材 4 6 , 4 6が開口縁部 3 1 2， 3 1 2に着地したら、 両仮置きアングル 3 0 6，

3 0 6から両支持部材 4 6， 4 6を浮かせるようにし、 こんどは両支持部材 4 6 ,

4 6の先端を中心に、 ヘッドユニット 2 6を、 開口縁部 3 1 2上をスライドさせ ながら更に奥に向かって押し込んでゆく。

そして、 へッドュニット 2 6の先端がストツパプレ一ト 3 0 7に突き当たった ら、 ヘッドユニット 2 6の後部をゆっくり下げて、 両支持部材 4 6 , 4 6のピン 孔 6 6に両開口縁部 3 1 2， 3 1 2の位置決めピン 3 1 4を嵌合させるようにし て、 ヘッドユニット 2 6をべ一スプレート 3 0 4上に着座させる。 ここで、 ベー スプレート 3 0 4上に両支持部材 4 6 , 4 6をねじ止めして、 作業を完了する （ 図 2 7 C ) 。

このように、 へッドュニット 2 6をメインキャリッジ 2 5の仮置きアングル 3 0 6に仮置きし、 この状態で必要な配管 ·配線接続を行うようにしているため、 これら接続作業が行い易く、 且つ接続作業後のへッドュニット 2 6を狭いスぺー スに適切にセットすることができる。 また、 ヘッドユニット 2 6を、 仮置きアン ダル 3 0 6から一段低いベースプレート 3 0 4に、 スライドさせながらセッ卜す るようにしているため、 へッドュニット 2 6をメインキヤリッジ 2 5にソフトラ ンデイングさせるようにセットすることができ、 重いヘッドユニット 2 6を、 衝 撃なく円滑にセットすることができる。

ところで、 本発明のへッドュニッ卜の組立装置およびこれによって組み立てら れるヘッドユニット 1は、 上記の描画装置 Bのみならず、 各種フラットディスプ レイの製造方法や、 各種の電子デバイスおよび光デバイスの製造方法等にも適用 可能である。 そこで、 このヘッドユニット 1を用いた製造方法を、 液晶表示装置 の製造方法および有機 E L装置の製造方法を例に、 説明する。

図 2 8 Aおよび 2 8 Bは、 液晶表示装置のカラーフィルタの部分拡大図である 図 2 8 Aは平面図であり、 図 2 8 Bは図 2 8 Aの B— B '線断面図である。 断面 図各部のハッチングは一部省略している。

図 2 8 Aに示されるように、 カラーフィルタ 4 0 0は、 マトリクス状に並んだ 画素 (フィル夕エレメント) 4 1 2を備え、 画素と画素の境目は、 仕切り 4 1 3 によって区切られている。 画素 4 1 2の 1つ 1つには、 赤 （R ) 、 緑 （G) 、 青 ( B ) のいずれかのインク （フィル夕材料） が導入されている。 この例では赤、 緑、 青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、 ストライプ配列、 デル夕配列な ど、 その他の配置でも構わない。

図 2 8 Bに示されるように、 カラ一フィルタ 4 0 0は、 透光性の基板 4 1 1と、 遮光性の仕切り 41 3とを備えている。 仕切り 41 3が形成されていない （除去 された） 部分は、 上記画素 412を構成する。 この画素 412に導入された各色 のィンクは着色層 42 1を構成する。 仕切り 41 3及び着色層 421の上面には、 オーバ一コート層 422及び電極層 423が形成されている。

図 29は、 本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造 工程断面図である。 断面図各部のハッチングは一部省略している。

膜厚 0. 7mm、 たて 38 cm、 横 30 c mの無アルカリガラスからなる透明 基板 41 1の表面を、 熱濃硫酸に過酸化水素水を 1重量％添加した洗浄液で洗浄 し、 純水でリンスした後、 エア乾燥を行って清浄表面を得る。 この表面に、 スパ ッタ法によりクロム膜を平均 0. 2 の膜厚で形成し、 金属層 414 'を得る (図 29 ： S 1) 。

この基板をホットプレート上で、 80°Cで 5分間乾燥させた後、 金属層 414 'の表面に、 スピンコートによりフォトレジスト層 （図示せず） を形成する。 こ の基板表面に、 所要のマ卜リクスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着 させ、 紫外線で露光をおこなう。 次に、 これを、 水酸化カリウムを 8重量％の割 合で含むアル力リ現像液に浸潰して、 未露光の部分のフォトレジストを除去し、 レジスト層をパターニングする。 続いて、 露出した金属層を、 塩酸を主成分とす るエッチング液でエッチング除去する。 このようにして所定のマトリクスパター ンを有する遮光層 （ブラックマトリクス） 414を得ることができる （図 29 : S 2) 。 遮光層 414の膜厚は、 およそ 0. 2 mである。 また、 遮光層 414 の幅は、 およそ 22 zzmである。

この基板上に、 さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物 41 5 'を やはりスピンコ一ト法で塗布する （図 29 ： S 3) 。 これを 100°Cで 20分間 プレベ一クした後、 所定のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを 用いて紫外線露光を行なう。 未露光部分の樹脂を、 やはりアルカリ性の現像液で 現像し、 純水でリンスした後スピン乾燥する。 最終乾燥としてのアフターベーク を 200°Cで 30分間行い、 樹脂部を十分硬化させることにより、 バンク層 41 5が形成され、 遮光層 4 1 4及びバンク層 4 1 5からなる仕切り 4 1 3が形成さ れる （図 2 9 ： S 4 ) 。 このバンク層 4 1 5の膜厚は、 平均で 2 . 7 mである。 また、 バンク層 4 1 5の幅は、 およそ 1 4 である。

得られた遮光層 4 1 4およびバンク層 4 1 5で区画された着色層形成領域 （特 にガラス基板 4 1 1の露出面） のインク濡れ性を改善するため、 ドライエツチン グ、 すなわちプラズマ処理を行なう。 具体的には、 ヘリウムに酸素を 2 0 %加え た混合ガスに高電圧を印加し、 プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、 基板を、 このエッチングスポット下を通過させてエッチングする。

次に、 仕切り 4 1 3で区切られて形成された画素 4 1 2内に、 上記 R (赤） 、 G (緑） 、 B (青） の各インクをインクジェット方式により導入する （図 2 9 ： S 5 ) 。 機能液滴吐出ヘッド （インクジェットヘッド） には、 ピエゾ圧電効果を 応用した精密ヘッドを使用し、 微小インク滴を着色層形成領域毎に 1 0滴、 選択 的に飛ばす。 駆動周波数は 1 4 . 4 k H z , すなわち、 各インク滴の吐出間隔は 6 9 . 5 秒に設定する。 ヘッドとターゲットとの距離は、 0 . 3 mmに設定す る。 ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、 飛行曲がり、 サ テライトと称される分裂迷走滴の発生防止のためには、 ィンクの物性はもとより ヘッドのピエゾ素子を駆動する波形 （電圧を含む） が重要である。 従って、 あら かじめ条件設定された波形をプログラムして、 インク滴を赤、 緑、 青の 3色を同 時に塗布して所定の配色パターンにインクを塗布する。

インク （フィルタ材料） としては、 例えばポリウレタン樹脂オリゴマーに無機 顔料を分散させた後、 低沸点溶剤としてシクロへキサノンおよび酢酸ブチルを、 高沸点溶剤としてプチルカルビトールアセテートを加え、 さらに非イオン系界面 活性剤 0 . 0 1重量％を分散剤として添加し、 粘度 6〜8センチポアズとしたも のを用いる。

次に、 塗布したインクを乾燥させる。 まず、 自然雰囲気中で 3時間放置してィ ンク層 4 1 6のセッティングを行った後、 8 0 °Cのホットプレート上で 4 0分間 加熱し、 最後にオーブン中で 2 0 0 °Cで 3 0分間加熱してインク層 4 1 6の硬ィ匕 処理を行って、 着色層 421が得られる （図 29 ： S 6) 。

上記基板に、 透明ァクリル樹脂塗料をスピンコートして平滑面を有するオーバ

—コート層 422を形成する。 さらに、 この上面に I TO (Indium Tin Oxide) からなる電極層 423を所要パターンで形成して、 カラーフィルタ 400とする (図 29 ： S 7) 。 なお、 このオーバーコート層 422を、 機能液滴吐出へッド (インクジェットヘッド） によるインクジェット方式で、 形成するようにしても よい。

図 30は、 本発明の製造方法により製造される電気光学装置 （フラットデイス プレイ） の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。 断面図各部のハッチ ングは一部省略している。

このカラー液晶表示装置 450は、 カラーフィル夕 400と対向基板 466と を組み合わせ、 両者の間に液晶組成物 465を封入することにより製造される。 液晶表示装置 450の一方の基板 466の内側の面には、 TFT (薄膜トランジ スタ） 素子 （図示せず） と画素電極 463とがマトリクス状に形成されている。 また、 もう一方の基板として、 画素電極 463に対向する位置に赤、 緑、 青の着 色層 421が配列するようにカラーフィルタ 400が設置されている。

基板 466とカラーフィルタ 400の対向するそれぞれの面には、 配向膜 46 1、 464が形成されている。 これらの配向膜 461、 464はラビング処理さ れており、 液晶分子を一定方向に配列させることができる。 また、 基板 466お よびカラ一フィルタ 400の外側の面には、 偏光板 462, 467がそれぞれ接 着されている。 また、 バックライトとしては蛍光燈 （図示せず） と散乱板の組合 わせが一般的に用いられており、 液晶組成物 465をバックライト光の透過率を 変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。

なお、 電気光学装置は、 本発明では上記のカラ一液晶表示装置に限定されず、 例えば薄型のブラウン管、 あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、 EL 表示装置、 プラズマディスプレイ、 C R Tディスプレイ、 F ED (Field Emission Display) パネル等の種々の電気光学手段を用いることができる。 次に、 図 3 1ないし図 4 3を参照して、 有機 E L装置 （有機 E L表示装置） と その製造方法を説明する。

図 3 1ないし図 4 3は、 有機 E L素子を含む有機 E L装置の製造プロセスと共 にその構造を表している。 この製造プロセスは、 バンク部形成工程と、 プラズマ 処理工程と、 正孔注入/輸送層形成工程及び発光層形成工程からなる発光素子形 成工程と、 対向電極形成工程と、 封止工程とを具備して構成されている。

バンク部形成工程では、 基板 5 0 1に予め形成した回路素子部 5 0 2上及び電 極 5 1 1 (画素電極ともいう） 上の所定の位置に、 無機物バンク層 5 1 2 aと有 機物バンク層 5 1 2 bを積層することにより、 開口部 5 1 2 gを有するバンク部 5 1 2を形成する。 このように、 バンク部形成工程には、 電極 5 1 1の一部に、 無機物バンク層 5 1 2 aを形成する工程と、 無機物バンク層の上に有機物バンク 層 5 1 2 bを形成する工程が含まれる。

まず無機物バンク層 5 1 2 aを形成する工程では、 図 3 1に示すように、 回路 素子部 5 0 2の第 2層間絶縁膜 5 4 4 b上及び画素電極 5 1 1上に、 無機物バン ク層 5 1 2 aを形成する。 無機物バンク層 5 1 2 aを、 例えば C V D法、 コート 法、 スパッタ法、 蒸着法等によって層間絶縁層 5 1 4及び画素電極 5 1 1の全面 に S i〇₂、 T i 0₂等の無機物膜を形成する。

次にこの無機物膜をエッチング等によりパターニングして、 電極 5 1 1の電極 面 5 1 1 aの形成位置に対応する下部開口部 5 1 2 cを設ける。 このとき、 無機 物バンク層 5 1 2 aを電極 5 1 1の周縁部と重なるように形成しておく必要があ る。 このように、 電極 5 1 1の周縁部 （一部） と無機物バンク層 5 1 2 aとが重 なるように無機物バンク層 5 1 2 aを形成することにより、 発光層 5 1 0の発光 領域を制御することができる。

次に有機物バンク層 5 1 2 bを形成する工程では、 図 3 2に示すように、 無機 物バンク層 5 1 2 a上に有機物バンク層 5 1 2 bを形成する。 有機物バンク層 5 1 2 bをフォトリソグラフィ技術等によりエッチングして、 有機物バンク層 5 1 2 bの上部開口部 5 1 2 dを形成する。 上部開口部 5 1 2 dは、 電極面 5 1 1 a 及び下部開口部 5 1 2 cに対応する位置に設けられる。

上部開口部 5 1 2 dは、 図 3 2に示すように、 下部開口部 5 1 2 cより広く、 電極面 5 1 1 aより狭く形成することが好ましい。 これにより、 無機物バンク層 5 1 2 aの下部開口部 5 1 2 cを囲む第 1積層部 5 1 2 eが、 有機物バンク層 5 1 2 bよりも電極 5 1 1の中央側に延出された形になる。 このようにして、 上部 開口部 5 1 2 d、 下部開口部 5 1 2 cを連通させることにより、 無機物バンク層 5 1 2 a及び有機物バンク層 5 1 2 bを貫通する開口部 5 1 2 gが形成される。 次にプラズマ処理工程では、 バンク部 5 1 2の表面と画素電極の表面 5 1 1 a に、 親インク性を示す領域と、 撥インク性を示す領域を形成する。 このプラズマ 処理工程は、 予備加熱工程と、 バンク部 5 1 2の上面 （5 1 2 f ) 及び開口部 5 1 2 gの壁面並びに画素電極 5 1 1の電極面 5 1 1 aを親ィンク性を有するよう に加工する親インク化工程と、 有機物バンク層 5 1 2 bの上面 5 1 2 f及び上部 開口部 5 1 2 dの壁面を、 撥インク性を有するように加工する撥インク化工程と、 冷却工程とに大別される。

まず、 予備加熱工程では、 バンク部 5 1 2を含む基板 5 0 1を所定の温度まで 加熱する。 加熱は、 例えば基板 5 0 1を載せるステージにヒー夕を取り付け、 こ のヒータで当該ステージごと基板 5 0 1を加熱することにより行う。 具体的には、 基板 5 0 1の予備加熱温度を、 例えば 7 0 〜 8 0 °Cの範囲とすることが好ましい _c つぎに、 親インク化工程では、 大気雰囲気中で酸素を処理ガスとするプラズマ 処理 （0 ₂プラズマ処理） を行う。 この 0 ₂プラズマ処理により、 図 3 3に示す ように、 画素電極 5 1 1の電極面 5 1 1 a、 無機物バンク層 5 1 2 aの第 1積層 部 5 1 2 e及び有機物バンク層 5 1 2 bの上部開口部 5 1 2 dの壁面ならびに上 面 5 1 2 fが親インク処理される。 この親インク処理により、 これらの各面に水 酸基が導入されて親インク性が付与される。 図 3 3では、 親インク処理された部 分を一点鎖線で示している。

つぎに、 撥インク化工程では、 大気雰囲気中で 4フッ化メタンを処理ガスとす るプラズマ処理 （C F プラズマ処理） を行う。 C F ₄プラズマ処理により、 図 3 4に示すように、 上部開口部 5 1 2 d壁面及び有機物バンク層の上面 5 1 2 f が撥インク処理される。 この撥インク処理により、 これらの各面にフッ素基が導 入されて撥インク性が付与される。 図 3 4では、 撥インク性を示す領域を二点鎖 線で示している。

次に、 冷却工程では、 プラズマ処理のために加熱された基板 5 0 1を室温、 ま たはインクジェット工程 （液滴吐出工程） の管理温度まで冷却する。 プラズマ処 理後の基板 5 0 1を室温、 または所定の温度 （例えばインクジェット工程を行う 管理温度） まで冷却することにより、 次の正孔注入/輸送層形成工程を一定の温 度で行うことができる。

次に発光素子形成工程では、 画素電極 5 1 1上に正孔注入 Z輸送層及び発光層 を形成することにより発光素子を形成する。 発光素子形成工程には、 4つの工程 が含まれる。 即ち、 正孔注入 Z輸送層を形成するための第 1組成物を各前記画素 電極上に吐出する第 1液滴吐出工程と、 吐出された前記第 1組成物を乾燥させて 前記画素電極上に正孔注入/輸送層を形成する正孔注入 Z輸送層形成工程と、 発 光層を形成するための第 2組成物を前記正孔注入 Z輸送層の上に吐出する第 2液 滴吐出工程と、 吐出された前記第 2組成物を乾燥させて前記正孔注入 輸送層上 に発光層を形成する発光層形成工程とが含まれる。

まず、 第 1液滴吐出工程では、 インクジェット法 （液滴吐出法） により、 正孔 注入 Z輸送層形成材料を含む第 1組成物を電極面 5 1 1 a上に吐出する。 なお、 この第 1液滴吐出工程以降は、 水、酸素の無い窒素雰囲気、 アルゴン雰囲気等の 不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。 （なお、 画素電極上にのみ正孔注入 Z 輸送層を形成する場合は、 有機物バンク層に隣接して形成される正孔注入/輸送 層は形成されない）

図 3 5に示すように、 インクジェットヘッド （機能液滴吐出ヘッド） Hに正孔 注入/輸送層形成材料を含む第 1組成物を充填し、 インクジエツトへッド Hの吐 出ノズルを下部開口部 5 1 2 c内に位置する電極面 5 1 1 aに対向させ、 インク ジェットへッド Hと基板 5 0 1とを相対移動させながら、 吐出ノズルから 1滴当 たりの液量が制御された第 1組成物滴 5 1 0 cを電極面 5 1 1 a上に吐出する。 ここで用いる第 1組成物としては、 例えば、 ポリエチレンジォキシチォフェン (PED0T)等のポリチォフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸（PSS)等の混合物を、 極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。 極性溶媒としては、 例えば、 イソプロピルアルコール（IPA)、 ノルマルブ夕ノール、 ァ—プチロラクトン、 N 一メチルピロリドン（NMP)、 1， 3 —ジメチルー 2—イミダゾリジノン（DMI)及び その誘導体、 カルビトールアセテート、 プチルカルビトールアセテート等のダリ コールエーテル類等を挙げることができる。 なお、 正孔注入/輸送層形成材料は、 R · G · Bの各発光層 5 1 0 bに対して同じ材料を用いても良く、 発光層毎に変 えても良い。

図 3 5に示すように、 吐出された第 1組成物滴 5 1 0 cは、 親インク処理され た電極面 5 1 1 a及び第 1積層部 5 1 2 e上に広がり、 下部、 上部開口部 5 1 2 c、 5 1 2 d内に満たされる。 電極面 5 1 1 a上に吐出する第 1組成物量は、 下 部、 上部開口部 5 1 2 c、 5 1 2 dの大きさ、 形成しょうとする正孔注入 Z輸送 層の厚さ、 第 1組成物中の正孔注入 /輸送層形成材料の濃度等により決定される。 また、 第 1組成物滴 5 1 0 cは 1回のみならず、 数回に分けて同一の電極面 5 1 1 a上に吐出しても良い。

次に正孔注入 Z輸送層形成工程では、 図 3 6に示すように、 吐出後の第 1組成 物を乾燥処理及び熱処理して第 1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させることに より、 電極面 5 1 1 a上に正孔注入 Z輸送層 5 1 0 aを形成する。 乾燥処理を行 うと、 第 1組成物滴 5 1 0 cに含まれる極性溶媒の蒸発が、 主に無機物バンク層 5 1 2 a及び有機物バンク層 5 1 2 bに近いところで起き、 極性溶媒の蒸発に併 せて正孔注入 Z輸送層形成材料が濃縮されて析出する。

これにより図 3 6に示すように、 乾燥処理によって電極面 5 1 1 a上でも極性 溶媒の蒸発が起き、 これにより電極面 5 1 1 a上に正孔注入 輸送層形成材料か らなる平坦部 5 1 0 aが形成される。 電極面 5 1 1 a上では極性溶媒の蒸発速度 がほぼ均一であるため、 正孔注入/輸送層の形成材料が電極面 5 1 1 a上で均一 に濃縮され、 これにより均一な厚さの平坦部 5 1 0 aが形成される。

次に第 2液滴吐出工程では、 インクジェット法 （液滴吐出法） により、 発光層 形成材料を含む第 2組成物を正孔注入/輸送層 5 1 0 a上に吐出する。 この第 2 液滴吐出工程では、 正孔注入/輸送層 5 1 0 aの再溶解を防止するために、 発光 層形成の際に用いる第 2組成物の溶媒として、 正孔注入 Z輸送層 5 1 0 aに対し て不溶な非極性溶媒を用いる。

しかしその一方で正孔注入 輸送層 5 1 0 aは、 非極性溶媒に対する親和性が 低いため、 非極性溶媒を含む第 2組成物を正孔注入 Z輸送層 5 1 0 a上に吐出し ても、 正孔注入 Z輸送層 5 1 0 aと発光層 5 1 0 bとを密着させることができな くなるか、 あるいは発光層 5 1 0 bを均一に塗布できないおそれがある。 そこで、 非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層 5 1 0 aの表面の 親和性を高めるために、 発光層を形成する前に表面改質工程を行うことが好まし い。

そこでまず、 表面改質工程について説明する。 表面改質工程は、 発光層形成の 際に用いる第 1組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表 面改質用溶媒を、 インクジェット法 （液滴吐出法） 、 スピンコート法またはディ ップ法により正孔注入 Z輸送層 5 1 0 a上に塗布した後に乾燥することにより行 う。

例えば、 インクジェット法による塗布は、 図 3 7に示すように、 インクジエツ トヘッド Hに、 表面改質用溶媒を充填し、 インクジェットヘッド Hの吐出ノズル を基板 （すなわち、 正孔注入/輸送層 5 1 0 aが形成された基板） に対向させ、 インクジエツトへッド Hと基板 5 0 1とを相対移動させながら、 吐出ノズル Hか ら表面改質用溶媒 5 1 0 dを正孔注入/輸送層 5 1 0 a上に吐出することにより 行う。 そして、 図 3 8に示すように、 表面改質用溶媒 5 1 0 dを乾燥させる。 次に第 2液滴吐出工程では、 インクジェット法 （液滴吐出法） により、 発光層 形成材料を含む第 2組成物を正孔注入ノ輸送層 5 1 0 a上に吐出する。 図 3 9に 示すように、 インクジェットヘッド Hに、 青色 （B ) 発光層形成材料を含有する 第 2組成物を充填し、 インクジェットヘッド Hの吐出ノズルを下部、 上部開口部 5 1 2 c , 5 1 2 d内に位置する正孔注入 輸送層 5 1 0 aに対向させ、 インク ジエツトへッド Hと基板 5 0 1とを相対移動させながら、 吐出ノズルから 1滴当 たりの液量が制御された第 2組成物滴 5 1 0 eとして吐出し、 この第 2組成物滴 5 1 0 eを正孔注入/輸送層 5 1 0 a上に吐出する。

発光層形成材料としては、 ポリフルオレン系高分子誘導体や、 （ポリ） パラフ ェニレンビニレン誘導体、 ポリフエ二レン誘導体、 ポリビニルカルバゾ一ル、 ポ リチォフェン誘導体、 ペリレン系色素、 クマリン系色素、 ローダミン系色素、 あ るいは上記高分子に有機 E L材料をド一プして用いる事ができる。 例えば、 ルブ レン、 ペリレン、 9 , 1 0 -ジフエ二ルアントラセン、 テトラフエニルブ夕ジェ ン、 ナイルレッド、 クマリン 6、 キナクリドン等をドープすることにより用いる ことができる。

非極性溶媒としては、 正孔注入 輸送層 5 1 0 aに対して不溶なものが好まし く、 例えば、 シクロへキシルベンゼン、 ジハイド口べンゾフラン、 トリメチルベ ンゼン、 テトラメチルベンゼン等を用いることができる。 このような非極性溶媒 を発光層 5 1 0 bの第 2組成物に用いることにより、 正孔注入 Z輸送層 5 1 0 a を再溶解させることなく第 2組成物を塗布できる。

図 3 9に示すように、 吐出された第 2組成物 5 1 0 eは、 正孔注入 輸送層 5 1 0 a上に広がって下部、 上部開口部 5 1 2 c , 5 1 2 d内に満たされる。 第 2 組成物 5 1 0 eは 1回のみならず、 数回に分けて同一の正孔注入ノ輸送層 5 1 0 a上に吐出しても良い。 この場合、 各回における第 2組成物の量は同一でも良く、 各回毎に第 2組成物量を変えても良い。

次に発光層形成工程では、 第 2組成物を吐出した後に乾燥処理及び熱処理を施 して、 正孔注入/輸送層 5 1 0 a上に発光層 5 1 0 bを形成する。 乾燥処理は、 吐出後の第 2組成物を乾燥処理することにより第 2組成物に含まれる非極性溶媒 を蒸発して、 図 4 0に示すような青色 （B ) 発光層 5 1 0 bを形成する。

続けて、 図 4 1に示すように、 青色 （B ) 発光層 5 1 0 bの場合と同様にして、 赤色 （R) 発光層 510 bを形成し、 最後に緑色 （G) 発光層 5 10 bを形成す る。 なお、 発光層 510 bの形成順序は、 前述の順序に限られるものではなく、 どのような順番で形成しても良い。 例えば、 発光層形成材料に応じて形成する順 番を決める事も可能である。

次に対向電極形成工程では、 図 42に示すように、 発光層 51 0 b及び有機物 バンク層 512 bの全面に陰極 503 (対向電極） を形成する。 なお， 陰極 50 3は複数の材料を積層して形成しても良い。 例えば、 発光層に近い側には仕事関 数が小さい材料を形成することが好ましく、 例えば C a、 B a等を用いることが 可能であり、 また材料によっては下層に L i F等を薄く形成した方が良い場合も ある。 また、 上部側 （封止側） には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。 これらの陰極 （陰極層） 503は、 例えば蒸着法、 スパッ夕法、 CVD法等で形 成することが好ましく、 特に蒸着法で形成することが、 発光層 5 10 bの熱によ る損傷を防止できる点で好ましい。

また、 フッ化リチウムは、 発光層 510 b上のみに形成しても良く、 更に青色 (B) 発光層 5 10 b上のみに形成しても良い。 この場合、 他の赤色 （R) 発光 層及び緑色 （G) 発光層 510 b、 510 bには、 L i Fからなる上部陰極層 5 03 bが接することとなる。 また陰極 12の上部には、 蒸着法、 スパッ夕法、 C VD法等により形成した A 1膜、 Ag膜等を用いることが好ましい。 また、 陰極 503上に、 酸化防止のために S i 0₂、 S i N等の保護層を設けても良い。

最後に、 図 43に示す封止工程では、 窒素、 アルゴン、 ヘリウム等の不活性ガ ス雰囲気中で、 有機 EL素子 504上に封止用基板 505を積層する。 封止工程 は、 窒素、 アルゴン、 ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。 大 気中で行うと、 陰極 503にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部 分から水や酸素等が陰極 503に侵入して陰極 503が酸化されるおそれがある ので好ましくない。 そして最後に、 フレキシブル基板の配線に陰極 503を接続 するとともに、 駆動 I Cに回路素子部 502の配線を接続することにより、 本実 施形態の有機 EL装置 500が得られる。 なお、 画素電極 5 1 1および陰極 （対向電極） 5 0 3の形成において、 インク ジェットヘッド Hによるインクジェット方式を採用してもよい。 すなわち、 液体 の電極材料をィンクジエツトへッド Hにそれぞれ導入し、 これをィンクジエツト ヘッド Hから吐出して、 画素電極 5 1 1および陰極 5 0 3をそれぞれ形成する （ 乾燥工程を含む） 。

同様に、 本実施形態のヘッドユニットは、 電子放出装置の製造方法、 P D P装 置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法等に、 適用することができる。 電子放出装置の製造方法では、 複数の液滴吐出ヘッドに R、 G、 B各色の各色 の蛍光材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の液滴吐出へッドを主走査お よび副走査し、 蛍光材料を選択的に吐出して、 電極上に多数の蛍光体を形成する。 なお、 電子放出装置は、 F E D (電界放出ディスプレイ） を含む上位の概念であ る。

P D P装置の製造方法では、 複数の液滴吐出ヘッドに R、 G、 B各色の各色の 蛍光材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の液滴吐出へッドを主走査およ び副走査し、 蛍光材料を選択的に吐出して、 背面基板上の多数の凹部にそれぞれ 蛍光体を形成する。

電気泳動表示装置の製造方法では、 複数の液滴吐出へッドに各色の泳動体材料 を導入し、 へッドュニットを介して複数の液滴吐出へッドを主走査および副走査 し、 インク材料を選択的に吐出して、 電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形 成する。 なお、 帯電粒子と染料とから成る泳動体は、 マイクロカプセルに封入さ れていることが、 好ましい。

一方、 本実施形態のヘッドユニットは、 スぺーサ形成方法、 金属配線形成方法、 レンズ形成方法、 レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、 適用可能で ある。

スぺーサ形成方法は、 2枚の基板間に微小なセルギヤップを構成すべく多数の 粒子状のスぺーサを形成するものであり、 複数の液滴吐出へッドにスぺーサを構 成する粒子材料を導入し、 へッドュニットを介して複数の液滴吐出へッドを主走 查および副走査し、 粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスぺ —サを形成する。 例えば、 上記の液晶表示装置や電気泳動表示装置における 2枚 の基板間のセルギャップを構成する場合に有用であり、 その他この種の微小なギ ャップを必要とする半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。

金属配線形成方法では、 複数の液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、 へッ ドュニットを介して複数の液滴吐出へッドを主走查および副走査し、 液状金属材 料を選択的に吐出して、 基板上に金属配線を形成する。 例えば、 上記の液晶表示 装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、 上記の有機 E L装置に おける T F T等と各電極とを接続する金属配線に適用することができる。 また、 この種のフラットディスプレイの他、 一般的な半導体製造技術に適用できること はいうまでもない。

レンズ形成方法では、 複数の液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、 ヘッドュ ニッ卜を介して複数の液滴吐出へッドを主走査および副走査し、 レンズ材料を選 択的に吐出して、 透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。 例えば、 上記 の F E D装置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能である。 また、 各 種の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。

レジスト形成方法では、 複数の液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、 へッ ドュニットを介して複数の液滴吐出へッドを主走査および副走査し、 レジスト材 料を選択的に吐出して、 基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。 例えば、 上記の各種表示装置おけるバンクの形成は元より、 半導体製造技術の主体を為す フォトリソグラフィ一法において、 フォトレジストの塗布に広く適用可能である。 光拡散体形成方法では、 へッドュニットの組立装置により組み立てられたへッ ドュニットを用い、 基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であつ て、 複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、 ヘッドユニットを介して複数 の液滴吐出へッドを主走査および副走査し、 光拡散材料を選択的に吐出して多数 の光拡散体を形成する。 この場合も、 各種の光デバイスに適用可能であることは いうまでもない。 以上のように、 本発明のヘッドユニットによれば、 メインケーブルを、 配線接 続アッセンプリを介してヘッド基板に接続可能とし、 且つメインパイプを、 配管 接続アッセンプリを介して機能液導入口に接続可能としているため、 メインケ一 ブルおよびメインパイプの着脱作業を、 機能液滴吐出へッドに支障を生ずること なく簡単且つ円滑に行うことができる。 したがって、 ヘッドユニットの交換作業 を適切かつ効率良く行うことができる。

また、 本発明のヘッドユニットのセット方法および描画装置によれば、 セット 位置の手前の仮セット位置において、 各メインケーブルおよび各メインパイプの 接続を行うようにしているため、 描画装置にセット用の作業スペースを構成しな くても、 メインケーブルおよびメインパイプの着脱作業を円滑に行うことができ る。 したがって、 描画装置のスペース効率を向上させつつ、 ヘッドユニットの交 換作業を適切かつ効率良く行うことができる。

一方、 本発明の液晶表示装置の製造方法、 有機 E L装置の製造方法、 電子放出 装置の製造方法、 P D P装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法によ れば、 各装置におけるフィルタ材料や発光材料等に適したヘッドユニット （機能 液滴吐出ヘッド） を簡単に導入することができるため、 製造効率を向上させるこ とができる。

また、 本発明のカラーフィル夕の製造方法、 有機 E Lの製造方法、 スぺ一サ形 成方法、 金属配線形成方法、 レンズ形成方法、 レジスト形成方法および光拡散体 形成方法によれば、 各電子デバィスゃ各光デバイスにおけるフィルタ材料や発光 材料等に適したヘッドユニット （機能液滴吐出ヘッド） を簡単に導入することが できため、 製造効率を向上させることができる。 産業状の利用可能性

以上のように本発明のへッドュニットは、 複数の機能液滴吐出へッドに対する ケーブルおよびチューブの着脱作業を、 適切かつ効率良く行うことができるよう にしたので、 大型プリンタ等への使用に適している。

Claims

請求の範囲

1 . 導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐出する複数の機能液滴吐出へ ッドと、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジとを備え、 前記各 機能液滴吐出へッドに、 へッドドライバに連なる複数のメインケ一ブルと機能液 タンクに連なる複数のメインパイプとが接続されるへッドュニットにおいて、 前記キヤリッジに搭載され、 前記各メインケーブルが接続される複数の配線コ ネクタ、 および一端を前記各機能液滴吐出へッドのへッド基板に接続され他端を 前記各配線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを有する配線接続アッセン プリと、

前記キヤリッジに搭載され、 前記各メインパイプが接続される複数の配管ジョ イント、 および一端を前記各機能液滴吐出へッドの機能液導入口に接続され他端 を前記各配管ジョイントに接続される複数の個別パイプを有する配管接続アツセ ンプリとを備えたことを特徴とするへッドュニット。

2 . 前記複数の配線コネクタが、 少なくとも 1箇所に集約配置されていること を特徴とするクレーム 1に記載のへッドュニット。

3 . 前記複数の配管ジョイントが、 少なくとも 1箇所に集約配置されているこ とを特徴とする請求項 1に記載のへッドュニッ卜。

4 . 前記配線接続アッセンプリは、

前記複数の個別ケ一ブルと前記複数の配線コネクタとを接続する配線パターン が形成されると共に前記配線コネクタを取り付けた中継基板を、 更に有すること を特徴とするクレーム 2に記載のへッドュニット。

5 . 前記配線パターンは、 前記複数の個別ケ一ブルのうちの複数を一括して前 記各配線コネクタにそれぞれ接続していることを特徴とするクレーム 4に記載の へッドュニッ卜。

6 . 前記中継基板は、 前記キャリッジに固定したスタンドを介して、 前記複数 の機能液滴吐出へッドの上方に配設されていることを特徴とするクレーム 4に記 載のへッドュニット。

7 . 前記各個別ケーブルは、

一端を、 へッド側コネクタを介して前記へッド基板に接続され、

他端を、 中継側コネクタを介して前記中継基板に接続されていることを特徴と するクレーム 4に記載のへッドュニット。

8 . 前記各個別ケーブルは、 フラットフレキシブルケーブルで構成され、 前記へッド側コネクタと前記中継側コネクタとは、 相互に平行となる姿勢で配 設されていることを特徴とするクレーム 7に記載のへッドュニット。

9 . 前記中継側コネクタは、 前記中継基板の上面に上向きに取り付けられ、 前記各個別ケーブルは、 前記中継基板に形成した開口部を通って配線されてい ることを特徵とするクレーム 8に記載のへッドュニット。

1 0 . 前記接続配管アッセンプリは、

前記各機能液導入口に接続される複数の配管アダプタを介して、 前記複数の個 別パイプに接続されていることを特徴とするクレーム 1に記載のへッドュニット

1 1 . 前記複数の配管アダプタを一体に保持するアダプタ保持部材を、 更に有 し、

前記アダプタ保持部材は、 前記各配管アダプタを前記各機能液導入口に接続し た状態で前記キヤリッジに固定されていることを特徴とするクレーム 1 0に記載 のへッドュニット。

1 2 . 前記アダプタ保持部材には、 前記各配管アダプタを前記各機能液導入口 に向かって付勢するばねが組み込まれていることを特徴とするクレーム 1 1に記 載のへッドュニット。

1 3 . 前記複数の配管ジョイントを一体に保持するジョイント保持部材を、 更 に有し、

前記ジョイント保持部材は、 前記キヤリッジの端部に固定されていることを特 徵とするクレーム 1 0に記載のへッドュニット。

1 4 . 前記ヘッドユニットは、 一方向にスライド移動させてセットされるよう になっており、

前記ジョイント保持部材は、 前記複数の配管ジョイントを前記スライド方向後 方に向けた状態で、 前記キャリッジにおける前記スライド方向後端部に固定され ていることを特徴とするクレーム 1 3に記載のへッドュニット。

1 5 . 前記各個別パイプは、 前記配管ジョイントから前記配管アダプタに至る 経路において分岐していることを特徴とするクレーム 1 0に記載のへッドュニッ 卜。

1 6 . 前記キャリッジに固定された手持ちするための一対のハンドルを、 更に 備えたことを特徴とするクレーム 1に記載のへッドュニット。

1 7 . 前記配線接続アッセンプリおよび前記配管接続アッセンプリを覆うキヤ リッジカバーを、 更に備えたことを特徴とする請求項 1に記載のへッドュニット _c

1 8 . 導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐出する複数の機能液滴吐出 ヘッドと、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジとを備え、 前記 各機能液滴吐出へッドに、 へッドドライバに連なるメインケーブルと機能液タン クに連なる複数のメインパイプとが接続されるへッドュニットにおいて、

前記キヤリッジに搭載され、 前記各メインケーブルが接続される複数の配線コ ネクタ、 および一端を前記各機能液滴吐出へッドのへッド基板に接続され他端を 前記各配線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを有する配線接続アッセン プリを備えたことを特徴とするへッドュニット。

1 9 . 導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐出する複数の機能液滴吐出 ヘッドと、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジとを備え、 前記 各機能液滴吐出へッドに、 へッドドライバに連なるメインケーブルと機能液タン クに連なる複数のメインパイプとが接続されるへッドュニッ卜において、

前記キヤリッジに搭載され、 前記各メインパイプが接続される複数の配管ジョ イント、 および一端を前記各機能液滴吐出へッドの機能液導入口に接続され他端 を前記各配管ジョイントに接続される複数の個別パイプを有する配管接続ァッセ ンブリを備えたことを特徴とするへッドュニット。

2 0 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを描画装置 にセットするへッドュニットのセット方法であって、

前記へッドュニットを、 前記描画装置のセット位置手前に仮セッ卜する仮セッ ト工程と、

前記仮セットの後、 前記各配線コネクタに前記各メインケーブルを接続すると 共に前記各配管ジョイントに前記各メインパイプを接続する配管 ·配線接続工程 と、

前記配管 ·配線接続工程の後、 前記へッドュニットを仮セッ卜位置からセット 位置に送り込んで本セットする本セット工程とを備えたことを特徴とするへッド ュニットのセット方法。

2 1 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを備えた描 画装置であって、

前記へッドュニットをセットするセットテーブルの手前に、 前記へッドュニッ トを仮セットするための仮置き台を、 備えたことを特徴とする描画装置。

2 2 . 請求項 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 カラ —フィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造 方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに各色のフィルタ材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレ メン卜を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

2 3 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 基 板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれ E L発光層を形成する有機 E L装置の製造 方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに各色の発光材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記 E L発光層を形成 することを特徴とする有機 E L装置の製造方法。

2 4 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 電 極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに各色の蛍光材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記電極に対し 相対的に走査し、 前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成する ことを特徴とする電子放出装置の製造方法。

2 5 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 背 面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する P D P装置の製造方法であつ て、

前記複数の機能液滴吐出へッドに各色の蛍光材料を導入し、

前記へッドュニッ卜を介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記背面基板に 対し相対的に走査し、 前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成 することを特徴とする P D P装置の製造方法。

2 6 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 電 極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出へッドに各色の泳動体材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記電極に対し 相対的に走査し、 前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成す ることを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。

2 7 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 基 板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラ—フィル夕を製造するカラ 一フィルタの製造方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに各色のフィルタ材料を導入し、

前記へッドュニッ卜を介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレ メントを形成することを特徴とするカラ一フィル夕の製造方法。

2 8 . 前記多数のフィルタエレメントを被覆するオーバーコート膜が形成され ており、

前記フィルタエレメントを形成した後に、

前記複数の機能液滴吐出へッドに透光性のコ一ティング材料を導入し、 前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記コーティング材料を選択的に吐出して前記オーバ一コート 膜を形成することを特徴とするクレーム 2 7に記載のカラ一フィルタの製造方法。

2 9 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 E L発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機 E Lの製 造方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに各色の発光材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記 E L発光層を形成 することを特徴とする有機 E Lの製造方法。

3 0 . 前記多数の E L発光層と前記基板との間には、 前記 E L発光層に対応し て多数の画素電極が形成されており、

前記複数の機能液滴吐出へッドに液状電極材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形 成することを特徴とするクレーム 2 9に記載の有機 E Lの製造方法。

3 1 . 前記多数の E L発光層を覆うように対向電極が形成されており、 前記 E L発光層を形成した後に、

前記複数の機能液滴吐出へッドに液状電極材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成する ことを特徴とするクレーム 3 0に記載の有機 E Lの製造方法。

3 2 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 2 枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスぺ一サを形成す るスぺ一サ形成方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドにスぺーサを構成する粒子材料を導入し、 前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを少なくとも一方 の前記基板に対し相対的に走査し、 前記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上 に前記スぺーサを形成することを特徴とするスぺ一サ形成方法。

3 3 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 基 板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに液状金属材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成する ことを特徴とする金属配線形成方法。

3 4 . クェ一ム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 基 板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、

前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズ を形成することを特徴とするレンズ形成方法。

3 5 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 基 板上に任意形状のレジス卜を形成するレジスト形成方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドにレジスト材料を導入し、

前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成する ことを特徴とするレジスト形成方法。

3 6 . クレーム 1、 1 8、 1 9のいずれかに記載のヘッドユニットを用い、 基 板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、

前記複数の機能液滴吐出へッドに光拡散材料を導入し、 前記へッドュニットを介して前記複数の機能液滴吐出へッドを前記基板に対し 相対的に走査し、 前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成 することを特徴とする光拡散体形成方法。