JP2003127392A - ヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、液滴吐出ヘッドの固定装置および固定方法、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 - Google Patents

ヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、液滴吐出ヘッドの固定装置および固定方法、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリッジ
に安定に且つ精度良く組み付けることができるヘッドユ
ニットの組立装置および組立方法を提供することをその
課題とする。 【解決手段】 キャリッジ２および各液滴吐出ヘッド３
の位置を画像認識する認識手段２１４と、キャリッジ２
を移動させる移動手段２１１と、ヘッド保持部材４を微
少移動させる補正手段２１２と、各ヘッド保持部材４を
キャリッジに固定する固定手段２１３と、制御手段２１
５とを備え、制御手段２１５は、認識手段２１４の認識
結果に基づいて、キャリッジ２を位置決めした後、キャ
リッジ２に対し各液滴吐出ヘッド３を位置決めし、更に
各ヘッド保持部材４をキャリッジ２に固定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに代表される液滴吐出ヘッドの複数個を、単一のキ
ャリッジに組み付けるヘッドユニットの組立装置および
組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決
め方法、液滴吐出ヘッドの固定装置および固定方法、並
びに上記ヘッドユニットを用いた液晶表示装置の製造方
法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方
法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方
法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、
スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方
法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のプリンタ等では、複数（多数）の
液滴吐出ヘッドを必要とする場合、各液滴吐出ヘッドを
個々にヘッド保持部材に保持し、更にこれを単一のキャ
リッジに搭載して、複数の液滴吐出ヘッドを、ヘッド保
持部材およびキャリッジと共にヘッドユニットとして扱
うようにしている。そして、液滴吐出ヘッドをヘッド保
持部材に組み込む場合には、顕微鏡等を用いて人的に位
置決めおよびねじ止め固定が行われる。また、ヘッド付
きのヘッド保持部材をキャリッジに組み込む場合には、
キャリッジにヘッド保持部材を位置決めするピン等を設
けておいて、これにヘッド保持部材をセットし且つ固定
するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の液
滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精度良
く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表示装
置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造に応用
可能であると共に、各種の電子デバイスや光デバイス等
の製造装置への応用も期待されている。このような応用
技術を考慮すると、液滴吐出ヘッド自体の性能に加え、
平面内におけるノズル（ノズル列）の位置精度（組付け
精度）やその前提となるキャリッジの位置精度に、高い
精度が要求される。また、吐出対象となる液体等によっ
ては、液滴吐出ヘッドの寿命が短くなり、液滴吐出ヘッ
ドの頻繁な交換も考慮する必要がある。これらの点にお
いて、プリンタに搭載される従来の液滴吐出ヘッド（ヘ
ッドユニット）では、各部の精度の累積が全体の精度を
決定してしまうため、高い位置決め精度を安定に維持す
ることには、おのずと限界が生ずる。また、手作業での
組立では、作業が煩雑であり且つ信頼性が劣るものとな
るおそれがある。
【０００４】本発明は、複数の液滴吐出ヘッドを、単一
のキャリッジに安定に且つ精度良く組み付けることがで
きるヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐
出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、液滴吐出
ヘッドの固定装置および固定方法、並びに上記ヘッドユ
ニットを用いた液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置
の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製
造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタ
の製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、
金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法
および光拡散体形成方法を提供することをその課題とし
ている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のヘッドユニット
の組立装置は、それぞれがヘッド保持部材に保持された
複数の液滴吐出ヘッドを、ヘッド保持部材を介して単一
のキャリッジに仮装着したヘッドユニットに臨み、各液
滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決めした状態で固定す
るヘッドユニットの組立装置であって、キャリッジの位
置および各液滴吐出ヘッドの位置をそれぞれ画像認識す
る認識手段と、キャリッジを保持すると共にキャリッジ
をＸ・Ｙ・θ軸方向に移動させる移動手段と、ヘッド保
持部材に係合し、ヘッド保持部材をＸ・Ｙ・θ軸方向に
微少移動させる補正手段と、ヘッド保持部材をキャリッ
ジに固定する固定手段と、認識手段、移動手段、補正手
段および固定手段を制御する制御手段とを備え、制御手
段は、認識手段の認識結果に基づいて、移動手段を駆動
しキャリッジを位置決めした後、補正手段を駆動しキャ
リッジに対し各ヘッド保持部材を介して各液滴吐出ヘッ
ドを位置決めし、更に固定手段を駆動し各ヘッド保持部
材を介して液滴吐出ヘッドをキャリッジに固定すること
を特徴とする。
【０００６】この構成によれば、先ず、認識手段により
キャリッジの位置を画像認識し、その認識結果に基づい
て、移動手段を駆動してキャリッジを位置決めする。こ
れにより、キャリッジに仮装着した各液滴吐出ヘッドが
仮の位置決め状態となるため、続いて各液滴吐出ヘッド
に臨む認識手段および補正手段の無駄な移動を極力少な
くすることができる。ついで、認識手段により各ヘッド
保持部材に搭載した液滴吐出ヘッドが位置認識され、そ
の認識結果に基づいて、補正手段を駆動してキャリッジ
に対し各ヘッド保持部材を介して各液滴吐出ヘッドを位
置決めする。これにより、各液滴吐出ヘッドは正確に位
置決めされるため、ここで固定手段を駆動して各ヘッド
保持部材をキャリッジに固定する。このように、キャリ
ッジおよび各液滴吐出ヘッドの位置認識から、キャリッ
ジおよび各液滴吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を行
い、さらに各液滴吐出ヘッドのキャリッジへの固定まで
の一連の作業を、単一の装置で行うようにしているた
め、キャリッジに複数の液滴吐出ヘッドを高い位置決め
精度で組み込んだヘッドユニットを、安定に得ることが
できる。なお、液滴吐出ヘッドとしては、圧電素子に電
圧を印加しその変形を利用して液滴を吐出する方式や、
ヒーターにより液滴を瞬時に加熱しその蒸発（体積膨
張）を利用して液滴を吐出する方式等があるが、いずれ
であってもよい。
【０００７】この場合、キャリッジの位置およびキャリ
ッジに搭載された各液滴吐出ヘッドの位置をパターン形
成したアライメントマスクを備え、制御手段は、認識手
段を介して移動手段に保持したアライメントマスクおよ
びヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データ
およびユニット位置データに基づいて、移動手段、補正
手段および固定手段を制御することが、好ましい。
【０００８】この構成によれば、アライメントマスクを
原型とし、その複製としてヘッドユニットを得ることが
できる。このため、複製として組み立てられた複数（或
いは多数）のヘッドユニットは、相互間において同等の
精度を持つことになり、高い組付け精度を有するヘッド
ユニットを安定に量産することができる。
【０００９】これらの場合、キャリッジの位置認識は、
相互に離間してキャリッジに設けられた２つの基準マー
クを、認識手段がそれぞれ画像認識することで行われ、
認識手段は、キャリッジに対するＸ軸方向およびＹ軸方
向のいずれか一方向の相対的移動により、２つの基準マ
ークをそれぞれ視野内に取り込む認識カメラを有してい
ることが、好ましい。
【００１０】この構成によれば、認識手段の認識カメラ
は、キャリッジに対するＸ軸方向およびＹ軸方向のいず
れか一方向の相対的移動により、２つの基準マークをそ
れぞれ視野内に取り込むようにしているため、認識カメ
ラに移動に伴う精度誤差を極力排除することができる。
【００１１】これらの場合、各液滴吐出ヘッドの位置認
識は、液滴吐出ヘッドのノズル形成面に形成したノズル
列における離間した２つのノズルを、認識手段がそれぞ
れ画像認識することで行われ、認識手段は、２つのノズ
ルのそれぞれを同時に視野内に取り込む２つの認識カメ
ラを有していることが、好ましい。
【００１２】この構成によれば、認識手段の２つの認識
カメラにより、２つのノズルのそれぞれを同時に視野内
に取り込むようにしているため、認識カメラを移動させ
ることなく２つのノズルを同時に画像認識することがで
き、認識カメラの移動に伴う精度誤差を確実に排除する
ことができる。また、ノズル列における離間した２つの
ノズルを画像認識するようにしているため、液滴吐出ヘ
ッドのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置認識は元より、傾
き角度（θ軸方向）も正確に位置認識することができ
る。なお、ノズル列における離間した２つのノズルは、
ノズル列におれる最外端の２つのノズルとすることが、
好ましい。
【００１３】これらの場合、液滴吐出ヘッドはノズル形
成面を上向きにした状態で、ヘッド保持部材を介してキ
ャリッジに吊下するように仮装着されており、移動手段
は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テ
ーブルのθ軸移動テーブル上に固定され、液滴吐出ヘッ
ドを上向き状態でキャリッジを保持するセット部材とを
有していることが、好ましい。
【００１４】この構成によれば、キャリッジは、液滴吐
出ヘッドを上向きに仮装着した状態で、Ｘ・Ｙ・θ軸移
動テーブルにより適宜移動する。これにより、認識手段
を固定とした場合に、キャリッジおよび各液滴吐出ヘッ
ドを、認識手段に臨むように適切に移動させることがで
きる。また、認識手段の認識結果に基づいて、キャリッ
ジの位置補正も適切に行うことができる。さらに、セッ
ト部材により、ノズル形成面のレベル調整を行うことが
できる。
【００１５】これらの場合、ヘッド保持部材には、補正
手段が係合すると共に相互に離間して配設された２つの
係合孔が形成されており、補正手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移
動テーブルと、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テ
ーブルに取り付けたＺ軸移動テーブルと、Ｚ軸移動テー
ブルに取り付けられ、ヘッド保持部材の２つの係合孔に
係合する一対の係合アームとを有していることが、好ま
しい。
【００１６】この構成によれば、補正手段が、Ｘ・Ｙ・
θ軸移動テーブルを有しているため、この補正手段によ
り、位置認識に基づく各液滴吐出ヘッドの適切な位置補
正が可能になる。また、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのＺ
軸移動テーブルに取り付けた一対の係合アームを、ヘッ
ド保持部材の２つの係合孔に係合することにより、補正
のために各ヘッド保持部材（各液滴吐出ヘッド）を安定
且つ精度良く移動させることができる。
【００１７】これらの場合、固定手段は、ヘッド保持部
材とキャリッジとの間に接着剤を塗布する接着剤塗布機
構と、接着剤塗布機構をＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に移動させる
移動テーブルとを有していることが、好ましい。
【００１８】この構成によれば、固定手段が、ヘッド保
持部材とキャリッジとの間に接着剤を塗布する接着剤塗
布機構を有し、ヘッド保持部材のキャリッジへの固定が
接着により行われるため、ねじによる固定等と異なり、
固定作業（固定動作）においてヘッド保持部材が位置ず
れするのを有効に防止することができる。また、接着剤
塗布機構をＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に移動させる移動テーブル
を有しているため、接着剤を任意の位置に自在に塗布す
ることができる。なお、接着剤としては、いわゆる瞬間
接着剤を用いることが好ましい。また、ヘッド保持部材
を接着した後（仮固定）、これを更に機械的に固定する
（本固定）ことが、より好ましい。
【００１９】本発明の他のヘッドユニットの組立装置
は、複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリッジに仮装
着したヘッドユニットに臨み、各液滴吐出ヘッドをキャ
リッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの
組立装置であって、キャリッジの位置および各液滴吐出
ヘッドの位置をそれぞれ画像認識する認識手段と、キャ
リッジを保持すると共にこれをＸ・Ｙ・θ軸方向に移動
させる移動手段と、液滴吐出ヘッドに係合し、液滴吐出
ヘッドをＸ・Ｙ・θ軸方向に微少移動させる補正手段
と、液滴吐出ヘッドをキャリッジに固定する固定手段
と、認識手段、移動手段、補正手段および固定手段を制
御する制御手段とを備え、制御手段は、認識手段の認識
結果に基づいて、移動手段を駆動しキャリッジを位置決
めした後、補正手段を駆動しキャリッジに対し各液滴吐
出ヘッドを位置決めし、更に固定手段を駆動し位置決め
された各液滴吐出ヘッドをキャリッジに固定することを
特徴とする。
【００２０】この構成は、各液滴吐出ヘッドをキャリッ
ジに直接組み込むものであり、これによれば、先ず、認
識手段によりキャリッジの位置を画像認識し、その認識
結果に基づいて、移動手段を駆動してキャリッジを位置
決めする。次いで、認識手段により各液滴吐出ヘッドを
位置認識し、その認識結果に基づいて、補正手段を駆動
してキャリッジに対し各液滴吐出ヘッドを位置決めす
る。これにより、各液滴吐出ヘッドは正確に位置決めさ
れるため、ここで固定手段を駆動して各液滴吐出ヘッド
をキャリッジに固定する。このように、キャリッジおよ
び各液滴吐出ヘッドの位置認識から、キャリッジおよび
各液滴吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を行い、さら
に各液滴吐出ヘッドのキャリッジへの固定までの一連の
作業を、単一の装置で行うようにしているため、キャリ
ッジに複数の液滴吐出ヘッドを高い位置決め精度で組み
込んだヘッドユニットを、安定に得ることができる。
【００２１】本発明のヘッドユニットの組立方法は、そ
れぞれがヘッド保持部材に保持された複数の液滴吐出ヘ
ッドを、ヘッド保持部材を介して単一のキャリッジに仮
装着したヘッドユニットに臨み、各液滴吐出ヘッドをキ
ャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニット
の組立方法であって、キャリッジの位置を画像認識する
キャリッジ認識工程と、キャリッジ認識工程における認
識結果に基づいて、キャリッジを位置決めするキャリッ
ジ位置決め工程と、各液滴吐出ヘッドの位置を画像認識
するヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結
果に基づいて、キャリッジに対し各ヘッド保持部材を介
して各液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工
程と、位置決めされた各ヘッド保持部材をキャリッジに
固定する固定工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】この構成によれば、キャリッジおよび各液
滴吐出ヘッドの位置認識から、キャリッジおよび各液滴
吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を行い、さらに各液
滴吐出ヘッドのキャリッジへの固定までの一連の作業
を、単一の装置で行うようにしているため、キャリッジ
に複数の液滴吐出ヘッドを高い位置決め精度で組み込ん
だヘッドユニットを、安定に得ることができる。
【００２３】この場合、ヘッド認識工程、ヘッド位置決
め工程および固定工程を、この工程順に液滴吐出ヘッド
の数分繰り返すことが、好ましい。
【００２４】この構成によれば、各液滴吐出ヘッドにつ
いて、ヘッド認識工程、ヘッド位置決め工程および固定
工程が連続して行われるため、各液滴吐出ヘッドの移動
を最小限の距離にとどめることができると共に、固定工
程を効率良く行うことができる。
【００２５】これらの場合、固定工程は、接着剤により
ヘッド保持部材をキャリッジに接着することで行われ、
固定工程の後、ヘッド保持部材をキャリッジに機械的に
固定する本固定工程を、更に備えることが好ましい。
【００２６】この構成によれば、接着剤によりヘッド保
持部材をキャリッジに仮固定することになる。このた
め、この仮固定は元より本固定におけるヘッド保持部材
（液滴吐出ヘッド）の位置ずれを有効に防止することが
できる。また、仮固定から本固定までの間に、キャリッ
ジを装置外に移動するようなときも、振動等によるヘッ
ド保持部材の位置ずれを防止することができる。一方、
本固定されたヘッド保持部材は、たとえ接着剤が経時的
に劣化するようなことがあっても、キャリッジに対し位
置ずれや離脱することがない。
【００２７】これらの場合、キャリッジの位置およびキ
ャリッジに搭載された各液滴吐出ヘッドの位置をパター
ン形成したアライメントマスクが用意されており、キャ
リッジ位置決め工程およびヘッド位置決め工程は、同一
条件でアライメントマスクおよびヘッドユニットからそ
れぞれ得た、マスタ位置データおよびユニット位置デー
タに基づいて、それぞれ為されることが、好ましい。
【００２８】この構成によれば、アライメントマスクを
原型とし、その複製としてヘッドユニットを得ることが
できる。このため、複製として組み立てられた複数（或
いは多数）のヘッドユニットは、相互間において同等の
精度を持つことになり、高い組付け精度を有するヘッド
ユニットを安定に量産することができる。
【００２９】本発明の他のヘッドユニットの組立方法
は、複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリッジに仮装
着したヘッドユニットに臨み、各液滴吐出ヘッドをキャ
リッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの
組立方法であって、キャリッジの位置を画像認識するキ
ャリッジ認識工程と、キャリッジ認識工程における認識
結果に基づいて、キャリッジを位置決めするキャリッジ
位置決め工程と、各液滴吐出ヘッドの位置を画像認識す
るヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果
に基づいて、キャリッジに対し各液滴吐出ヘッドを位置
決めするヘッド位置決め工程と、位置決めされた各液滴
吐出ヘッドをキャリッジに固定する固定工程と、を備え
たことを特徴とする。
【００３０】この構成によれば、キャリッジおよび各液
滴吐出ヘッドの位置認識から、各液滴吐出ヘッドのキャ
リッジへの固定までの一連の作業を、単一の装置で行う
ようにしているため、キャリッジに複数の液滴吐出ヘッ
ドを高い位置決め精度で組み込んだヘッドユニットを、
安定に得ることができる。
【００３１】本発明の液滴吐出ヘッドの位置決め装置
は、ヘッド保持部材に保持された液滴吐出ヘッドのこれ
が搭載されるキャリッジへの固定に先立ち、ヘッド保持
部材を介してキャリッジに仮装着した液滴吐出ヘッドを
キャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決め装
置であって、液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する認識
手段と、ヘッド保持部材に係合し、ヘッド保持部材をＸ
・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させる補正手段と、
認識手段および補正手段を制御する制御手段とを備え、
制御手段は、認識手段の認識結果に基づいて、補正手段
を駆動し、キャリッジに対しヘッド保持部材を介して液
滴吐出ヘッドを位置決めすることを特徴とする。
【００３２】この構成によれば、液滴吐出ヘッドは、ヘ
ッド保持部材を介して、予め所定の位置にセットされた
キャリッジに仮装着されており、この状態から、認識手
段により液滴吐出ヘッドが位置認識され、その認識結果
に基づいて、補正手段が駆動し、キャリッジに対し液滴
吐出ヘッドを位置決めする。この場合、補正手段は、ヘ
ッド保持部材をＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動さ
せる構造となっているため、液滴吐出ヘッドの位置補正
を、精度良く且つ迅速に行うことができる。
【００３３】この場合、キャリッジに対する液滴吐出ヘ
ッドの位置をパターン形成したアライメントマスクを備
え、制御手段は、認識手段を介してアライメントマスク
から得たマスタ位置データと液滴吐出ヘッドから得たヘ
ッド位置データとに基づいて、補正手段を制御すること
が、好ましい。
【００３４】この構成によれば、アライメントマスクを
位置決めの原型とし、その複製という形で液滴吐出ヘッ
ドをキャリッジに位置決めすることができるため、常に
安定した位置決め精度をもって、液滴吐出ヘッドを位置
決めすることができる。したがって、装置の信頼性を高
めることができる。
【００３５】これらの場合、液滴吐出ヘッドの位置認識
は、液滴吐出ヘッドのノズル形成面に形成したノズル列
における離間した２つのノズルを、認識手段がそれぞれ
画像認識することで行われ、認識手段は、２つのノズル
のそれぞれを同時に視野内に取り込む２つの認識カメラ
を有していることが、好ましい。
【００３６】この構成によれば、液滴吐出ヘッドの位置
認識を、液滴吐出ヘッドのノズル列における離間した２
つのノズルの画像認識で行うようにしているため、ノズ
ル列のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置は元より、傾き角
度（θ軸方向）も精度良く位置認識することができる。
また、２つの認識カメラにより、２つのノズルのそれぞ
れを同時に視野内に取り込むようにしているため、認識
カメラを移動させることなく、２つのノズルを画像認識
することができ、認識カメラの移動に伴う精度誤差を排
除することができる。なお、ノズル列における離間した
２つのノズルは、ノズル列におれる最外端の２つのノズ
ルとすることが、好ましい。
【００３７】この場合、認識手段は、２つの認識カメラ
における相互の視野間寸法を調節可能な視野間調節機構
を有していることが、好ましい。
【００３８】この構成によれば、認識対象物となる液滴
吐出ヘッドにおいて、ノズル列の長さが異なる場合に、
この視野間調節機構により２つの認識カメラの視野間寸
法を調節することができる。これにより、２つの認識カ
メラは、常に２つのノズルを同時に視野内に取り込み得
ることとなる。
【００３９】これらの場合、ヘッド保持部材には、補正
手段が係合すると共に、相互に離間して配設された２つ
の係合孔が形成されており、補正手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸
移動テーブルと、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動
テーブルに取り付けたＺ軸移動テーブルと、Ｚ軸移動テ
ーブルに取り付けられ、ヘッド保持部材の２つの係合孔
に係合する一対の係合アームとを有していることが、好
ましい。
【００４０】この構成によれば、補正手段が、Ｘ・Ｙ・
θ軸移動テーブルを有しているため、ヘッド保持部材を
介して液滴吐出ヘッドの位置補正を、一連の移動動作で
確実に行うことができる。また、Ｚ軸移動テーブルの一
対の係合アームを、ヘッド保持部材の２つの係合孔に係
合させて、位置補正を行うようにしているため、位置補
正を安定に且つ精度良く行うことができる。
【００４１】この場合、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのＸ
軸移動テーブルおよびＹ軸移動テーブルは、それぞれ駆
動源を構成するリニアモータと、移動をガイドするエア
ースライダとを有していることが、好ましい。
【００４２】この構成によれば、移動系の主体をボール
ねじで行う場合に比して、高い移動精度を得ることがで
きるため、液滴吐出ヘッドの位置補正を、装置構成上精
度良く行うことができる。
【００４３】これらの場合、各係合アームは、先端部が
各係合孔に挿入される係合ピンを有し、係合ピンの先端
部は、先端側を係合孔より細径とし基端側を係合孔より
太径とするテーパー形状に形成されていることが、好ま
しい。
【００４４】この構成によれば、ヘッド保持部材の各係
合孔と、Ｚ軸移動ステージにおける各係合アームの係合
ピンとを、高精度に係合させることができる。すなわ
ち、係合孔と係合ピンとの間のクリアランスが、位置補
正の際の精度に影響を及ぼすのを防止することができ
る。
【００４５】この場合、各係合アームは、係合ピンをそ
の軸方向の進退自在に保持するピンホルダと、係合ピン
を突出方向に付勢するばねとを、更に有していることが
好ましい。
【００４６】この構成によれば、係合孔に係合した係合
ピンが、係合孔を介してヘッド保持部材を押圧すること
になり、位置補正時および位置補正後のヘッド保持部材
の位置を安定させることができる。また、位置補正後に
ヘッド保持部材をキャリッジに固定する場合には、位置
的に安定した状態でこれを固定することができる。
【００４７】これらの場合、ヘッド保持部材の２つの係
合孔は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成さ
れていることが、好ましい。
【００４８】この構成によれば、一対の係合アーム（係
合ピン）の離間寸法に製造上の誤差があっても、各係合
ピンの各係合孔への係合を、確実且つ円滑に行うことが
できる。すなわち、係合アームにおける係合ミスを確実
に防止することができる。
【００４９】本発明の他の液滴吐出ヘッドの位置決め装
置は、液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへ
の固定に先立ち、キャリッジに仮装着した液滴吐出ヘッ
ドをキャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決
め装置であって、液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する
認識手段と、液滴吐出ヘッドに係合し、液滴吐出ヘッド
をＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させる補正手段
と、認識手段および補正手段を制御する制御手段とを備
え、制御手段は、認識手段の認識結果に基づいて、補正
手段を駆動し、キャリッジに対し液滴吐出ヘッドを位置
決めすることを特徴とする。
【００５０】この構成は、液滴吐出ヘッドをキャリッジ
に直接位置決めするものであり、これによれば、認識手
段により液滴吐出ヘッドが位置認識され、その認識結果
に基づいて、補正手段が駆動し、キャリッジに対し液滴
吐出ヘッドを直接位置決めする。この場合、補正手段
は、液滴吐出ヘッドをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少
移動させる構造となっているため、液滴吐出ヘッドの位
置補正を、精度良く且つ迅速に行うことができる。
【００５１】本発明の他のヘッドユニットの組立装置
は、上記した本発明の液滴吐出ヘッドの位置決め装置を
備えたことを特徴とする。
【００５２】この構成によれば、ヘッド保持部材を介し
て液滴吐出ヘッドをキャリッジに精度良く位置決めしす
ることができる。このため、キャリッジに液滴吐出ヘッ
ドを精度良く組み込んだヘッドユニットを、安定に得る
ことができる。
【００５３】本発明の液滴吐出ヘッドの位置決め方法
は、ヘッド保持部材に搭載された液滴吐出ヘッドのこれ
が搭載されるキャリッジへの固定に先立ち、ヘッド保持
部材を介してキャリッジに仮装着した液滴吐出ヘッドを
キャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決め方
法であって、液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッ
ド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果に基づ
いて、キャリッジに対しヘッド保持部材を介して液滴吐
出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程とを備えた
ことを特徴とする。
【００５４】この構成によれば、液滴吐出ヘッドを位置
認識し、その認識結果に基づいて、液滴吐出ヘッドを、
ヘッド保持部材を介してキャリッジに位置決めするた
め、結果的には、液滴吐出ヘッドをキャリッジに直接位
置決めすることができる。このため、液滴吐出ヘッドの
位置決め（位置補正）を、精度良く且つ迅速に行うこと
ができる。
【００５５】この場合、キャリッジに搭載された液滴吐
出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスク
が用意されており、ヘッド位置決め工程は、同一条件で
アライメントマスクおよび液滴吐出ヘッドからそれぞれ
得た、マスタ位置データおよびヘッド位置データに基づ
いて為されることが、好ましい。
【００５６】この構成によれば、アライメントマスクを
位置決めの原型とし、その複製という形で液滴吐出ヘッ
ドをキャリッジに位置決めすることができるため、常に
安定した位置決め精度をもって、液滴吐出ヘッドを位置
決めすることができる。
【００５７】本発明の他の液滴吐出ヘッドの位置決め方
法は、液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへ
の固定に先立ち、キャリッジに仮装着した液滴吐出ヘッ
ドをキャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決
め方法であって、液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する
ヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果に
基づいて、キャリッジに対し液滴吐出ヘッドを位置決め
するヘッド位置決め工程とを備えたことを特徴とする。
【００５８】この構成によれば、液滴吐出ヘッドを位置
認識し、その認識結果に基づいて、液滴吐出ヘッドを、
キャリッジに位置決めするため、液滴吐出ヘッドをキャ
リッジに直接位置決めすることができる。したがって、
液滴吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を、精度良く且
つ迅速に行うことができる。
【００５９】本発明の液滴吐出ヘッドの固定装置は、ヘ
ッド保持部材に搭載された液滴吐出ヘッドを、これが搭
載されるキャリッジに位置決め状態で固定する液滴吐出
ヘッドの固定装置であって、キャリッジを保持するキャ
リッジ保持手段と、ヘッド保持部材を介して液滴吐出ヘ
ッドをキャリッジに対し位置決め状態に保持するヘッド
保持手段と、この状態でヘッド保持部材とキャリッジと
の間に接着剤を注入する接着剤注入手段とを備えたこと
を特徴とする。
【００６０】この構成によれば、キャリッジ保持手段に
保持されたキャリッジに対し、ヘッド保持手段が、ヘッ
ド保持部材を介して液滴吐出ヘッドを位置決め状態に保
持する。この状態で、接着剤注入手段が、ヘッド保持部
材とキャリッジとの間に接着剤を注入する。このように
すれば、接着剤が凝固することで、ヘッド保持部材がキ
ャリッジに位置決め状態のまま接着固定される。すなわ
ち、ねじ止め等と異なり、外力を作用させることなく、
ヘッド保持部材を介して液滴吐出ヘッドをキャリッジに
安定に固定することができる。なお、凝固時間の短縮を
考慮し、接着剤にいわゆる瞬間接着剤を用いることが、
好ましい。また、この接着固定の後、液滴吐出ヘッド
（ヘッド保持部材）をキャリッジに機械的に固定するこ
と（本固定）が、より好ましい。
【００６１】この場合、ヘッド保持手段は、ヘッド保持
部材を介して液滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決めす
る位置決め手段を兼ねていることが、好ましい。
【００６２】この構成によれば、キャリッジに対する液
滴吐出ヘッドの位置決め作業とその後の固定作業とを連
続して行うことができ、作業の効率を高め得ると共に、
液滴吐出ヘッドの高い組付け精度を確実に維持すること
ができる。
【００６３】これらの場合、ヘッド保持手段には、タイ
マーが組み込まれており、ヘッド保持手段は、接着剤を
注入した後接着剤が所定の接着強度に達する時間、液滴
吐出ヘッドを位置決め状態に保持することが、好まし
い。
【００６４】この構成によれば、ヘッド保持手段によ
り、完全な接着状態となるまで、液滴吐出ヘッドをキャ
リッジに対し位置決め状態に保持しているため、接着不
良や液滴吐出ヘッドの位置ずれを確実に防止することが
できる。
【００６５】これらの場合、接着剤注入手段は、ヘッド
保持部材とキャリッジとの間に接着剤を注入する接着剤
注入機構と、接着剤注入機構をＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に移動
させる移動テーブルとを有していることが、好ましい。
【００６６】この構成によれば、接着剤を注入する接着
剤注入機構を、移動テーブルを介してＸ・Ｙ・Ｚ軸方向
に適宜移動させることができるため、ヘッド保持手段に
より位置決め状態に保持された液滴吐出ヘッド廻りに、
接着剤注入機構を自在に臨ませることができる。
【００６７】この場合、移動テーブルのＸ軸移動テーブ
ル、Ｙ軸移動テーブルおよびＺ軸移動テーブルは、それ
ぞれ駆動源がエアーシリンダで構成されていることが、
好ましい。
【００６８】この構成によれば、移動テーブルを低コス
トで構成することができると共に、移動テーブルを介し
て接着剤注入機構を迅速に移動させることができる。ま
た、この空気圧系を利用して、接着剤注入機構を駆動す
ることも可能になる。
【００６９】これらの場合、液滴吐出ヘッドのノズル形
成面を挟んでヘッド保持部材のキャリッジとの接触部に
は、接触部を貫通して一対の接着剤注入孔が形成されて
おり、接着剤注入機構は、一対の接着剤注入孔に対応す
る一対の接着剤注入ノズルを有していることが、好まし
い。
【００７０】この構成によれば、ヘッド保持部材の一対
の接着剤注入孔に、接着剤注入機構の一対の接着剤注入
ノズルを挿入して接着剤を注入することにより、液滴吐
出ヘッドのノズル形成面を挟んだヘッド保持部材とキャ
リッジとの接触部の２個所に接着剤を行き渡らせること
ができる。これにより、接着剤を適切な位置に簡単且つ
迅速に注入することができる。
【００７１】この場合、ヘッド保持部材の一対の接着剤
注入孔は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向にわずかに離間して
２組形成されており、これに対応して移動テーブルのＸ
軸移動テーブルまたはＹ軸移動テーブルは、接着剤注入
機構を離間寸法分、往復移動させるサブテーブルを有し
ていることが、好ましい。
【００７２】この構成によれば、ヘッド保持部材の一対
の接着剤注入孔が、Ｘ軸方向またはＹ軸方向にわずかに
離間して２組形成されているため、上記の接触部が広く
ても接着剤を確実に行き渡らせることができる。また、
移動テーブルのＸ軸移動テーブルまたはＹ軸移動テーブ
ルが、接着剤注入機構を離間寸法分、往復移動させるサ
ブテーブルを有しているため、この専用のサブテーブル
により、２組の接着剤注入孔間における接着剤注入機構
の移動を、確実且つ迅速に行わせることができる。
【００７３】これらの場合、各接着剤注入孔のキャリッ
ジ側の端部が、面取りされていることが、好ましい。
【００７４】この構成によれば、接着剤注入孔の面取り
部分により、この接着剤が注入されるヘッド保持部材と
キャリッジとの接触部における毛細管現象が促進される
ため、接触部に接着剤を確実且つ円滑に行き渡らせるこ
とができる。
【００７５】これらの場合、各接着剤注入ノズルは、Ｚ
軸に対し傾いており、各接着剤注入孔は傾き方向に長い
長孔に形成されていることが、好ましい。
【００７６】この構成によれば、液滴吐出ヘッドを位置
決め状態で保持しているヘッド保持手段に対し、ヘッド
保持部材の接着剤注入孔に臨む接着剤注入ノズルが干渉
するのを、有効に防止することができる。また、接着剤
注入孔に接着剤注入ノズルを斜めに挿入するようにして
いるため、接着剤注入孔の周縁部分に向かって接着剤を
注入することができ、接触部に接着剤を確実に行き渡ら
せることができる。
【００７７】本発明の他の液滴吐出ヘッドの固定装置
は、液滴吐出ヘッドをこれが搭載されるキャリッジに位
置決め状態で固定する液滴吐出ヘッドの固定装置であっ
て、キャリッジを保持するキャリッジ保持手段と、液滴
吐出ヘッドをキャリッジに対し位置決め状態に保持する
ヘッド保持手段と、この状態で液滴吐出ヘッドとキャリ
ッジとの間に接着剤を注入する接着剤注入手段とを備え
たことを特徴とする。
【００７８】この構成は、液滴吐出ヘッドをキャリッジ
（キャリッジ）に直接固定するものであり、これによれ
ば、キャリッジ保持手段に保持されたキャリッジに対
し、ヘッド保持手段が、ヘッド保持部材を介して液滴吐
出ヘッドを位置決め状態に保持し、この状態で、接着剤
注入手段が、ヘッド保持部材とキャリッジとの間に接着
剤を注入する。このようにすれば、接着剤が凝固するこ
とで、液滴吐出ヘッドがキャリッジに位置決め状態のま
ま直接接着固定される。すなわち、ねじ止め等と異な
り、外力を作用させることなく、液滴吐出ヘッドをキャ
リッジに固定することができる。なおこの場合も、凝固
時間の短縮を考慮し、接着剤にいわゆる瞬間接着剤を用
いることが、好ましい。また、この接着固定の後、液滴
吐出ヘッド（ヘッド保持部材）をキャリッジに機械的に
固定すること（本固定）が、より好ましい。
【００７９】本発明の他のヘッドユニットの組立装置
は、上記した本発明の液滴吐出ヘッドの固定装置を備え
たことを特徴とする。
【００８０】この構成によれば、例えばキャリッジに複
数（多数）の液滴吐出ヘッドが搭載されている場合に、
位置決めされた液滴吐出ヘッドをキャリッジに効率よく
固定することができ、精度良く組み立てられたヘッドユ
ニットを安定に得ることができる。
【００８１】本発明の液滴吐出ヘッドの固定方法は、ヘ
ッド保持部材に搭載された液滴吐出ヘッドを、これが搭
載されるキャリッジに位置決め状態で固定する液滴吐出
ヘッドの固定方法であって、ヘッド保持部材を介して液
滴吐出ヘッドをキャリッジに対し位置決め状態に保持す
るヘッド保持工程と、この状態でヘッド保持部材とキャ
リッジとの間に接着剤を注入する接着剤注入工程とを備
えたことを特徴とする。
【００８２】この構成によれば、接着剤が凝固すること
で、ヘッド保持部材がキャリッジに位置決め状態のまま
接着固定される。すなわち、ねじ止め等と異なり、外力
を作用させることなく、ヘッド保持部材を介して液滴吐
出ヘッドをキャリッジに固定することができる。したが
って、固定作業における液滴吐出ヘッドの位置ずれを有
効に防止することができる。
【００８３】本発明の他の液滴吐出ヘッドの固定方法
は、液滴吐出ヘッドをこれが搭載されるキャリッジに位
置決め状態で固定する液滴吐出ヘッドの固定方法であっ
て、液滴吐出ヘッドをキャリッジに対し位置決め状態に
保持するヘッド保持工程と、この状態で液滴吐出ヘッド
とキャリッジとの間に接着剤を注入する接着剤注入工程
とを備えたことを特徴とする。
【００８４】この構成によれば、接着剤が凝固すること
で、液滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決め状態のまま
直接、接着固定することができ、固定作業における液滴
吐出ヘッドの位置ずれを有効に防止することができる。
【００８５】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上
に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の
製造方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィ
ルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料
を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成す
ることを特徴とする。
【００８６】本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピク
セルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製
造方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材
料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘ
ッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に
吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とす
る。
【００８７】本発明の電子放出装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を
形成する電子放出装置の製造方法であって、複数の液滴
吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニット
を介して複数の液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走
査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成
することを特徴とする。
【００８８】本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記し
た本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てら
れたヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部に
それぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
て、複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを背面基
板に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して
多数の蛍光体を形成することを特徴とする。
【００８９】本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、
上記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み
立てられたヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部
に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であっ
て、複数の液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを電
極に対し相対的に走査し、泳動体材料を選択的に吐出し
て多数の泳動体を形成することを特徴とする。
【００９０】このように、上記のヘッドユニットを、液
晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ（Electronic Lumines
cence）装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ（Plasma Display Panel）装置の製造方法および電
気泳動表示装置の製造方法に適用することにより、各装
置に求められるフィルタ材料や発光材料等を、適切な位
置に適切な量を選択的に供給することができる。また、
ヘッドユニットを介して専用の液滴吐出ヘッドを迅速に
供給することができる。なお、液滴吐出ヘッドの走査
は、一般的には主走査および副走査となるが、いわゆる
１ラインを単一の液滴吐出ヘッドで構成する場合には、
副走査のみとなる。また、電子放出装置は、いわゆるＦ
ＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念であ
る。
【００９１】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立
てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィル
タエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造する
カラーフィルタの製造方法であって、複数の液滴吐出ヘ
ッドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを
介して複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエ
レメントを形成することを特徴とする。この場合、多数
のフィルタエレメントは、基板上に設けられた凸状のバ
ンク（隔壁ともいう）により形成した凹部に収容されて
おり、フィルタエレメントを形成する前に、複数の液滴
吐出ヘッドにバンク材料を導入し、ヘッドユニットを介
して複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、バンク材料を選択的に吐出してバンクを形成するこ
とが、好ましい。またこの場合、多数のフィルタエレメ
ントおよびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成さ
れており、フィルタエレメントを形成した後に、複数の
液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを基板に
対し相対的に走査し、コーティング材料を選択的に吐出
してオーバーコート膜を形成することが、好ましい。
【００９２】本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した
本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられ
たヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数
の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造
方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料
を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッ
ドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐
出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
この場合、多数のＥＬ発光層は、基板上に設けられた凸
状のバンク（隔壁ともいう）により形成した凹部に収容
されており、ＥＬ発光層を形成する前に、複数の液滴吐
出ヘッドにバンク材料を導入し、ヘッドユニットを介し
て複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
バンク材料を選択的に吐出してバンクを形成すること
が、好ましい。またこの場合、多数のＥＬ発光層と基板
との間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
成されており、バンクを形成する前に、複数の液滴吐出
ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介し
て複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成
することが、好ましい。さらにこの場合、多数のＥＬ発
光層およびバンクを覆うように対向電極が形成されてお
り、ＥＬ発光層を形成した後に、複数の液滴吐出ヘッド
に液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電
極材料を選択的に吐出して対向電極を形成することが、
好ましい。
【００９３】本発明のスペーサ形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャ
ップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するス
ペーサ形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッドにスペ
ーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介
して複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板
上にスペーサを形成することを特徴とする。
【００９４】本発明の金属配線形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金
属配線形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに液状
金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料
を選択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とす
る。
【００９５】本発明のレンズ形成方法は、上記した本発
明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘ
ッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを
形成するレンズ形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッ
ドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ
材料を選択的に吐出して多数のマイクロレンズを形成す
ることを特徴とする。
【００９６】本発明のレジスト形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを
形成するレジスト形成方法であって、複数の液滴吐出ヘ
ッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レ
ジスト材料を選択的に吐出してレジストを形成すること
を特徴とする。
【００９７】本発明の光拡散体形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成
する光拡散体形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッド
に光拡散材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の
液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材
料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成することを
特徴とする。
【００９８】このように、上記のヘッドユニットを、カ
ラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペー
サ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジ
スト形成方法および光拡散体形成方法に適用することに
より、各電子デバイスや各光デバイスに求められるフィ
ルタ材料や発光材料等を、適切な位置に適切な量を選択
的に供給することができる。また、ヘッドユニットを介
して専用の液滴吐出ヘッドを迅速に供給することができ
る。なお、上記の「バンク」の語は、側面が傾斜面であ
るか垂直面であるか等を問わず、突出形状の側壁を有す
る隔壁およびリブ等を含む概念である。すなわち、「バ
ンク」は、基板から見て相対的に凸となる部分をいう。
【００９９】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施形態について説明する。インクジェットプリ
ンタのインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微
小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出するこ
とができることから、例えば液滴（吐出対象液）に特殊
なインクや感光性の樹脂等を用いることにより、各種部
品の製造分野への応用が期待されている。また、係る応
用技術では、粘性の高い吐出対象液等の液滴吐出ヘッド
の耐久性に大きな影響を与えるものも想定され、複数の
液滴吐出ヘッドをキャリッジに精度良く組み込んだヘッ
ドユニットを、随時供給可能とすることが必要となる。
【０１００】本実施形態のヘッドユニットの組立装置
は、例えば液晶表示装置等のフラットディスプレイに組
み込まれるカラーフィルタの製造装置（以下、「描画装
置」という）に併設され、これに随時ヘッドユニットを
供給可能とするものである。この描画装置では、カラー
フィルタのフィルタエレメントに、Ｒ．Ｇ．Ｂのフィル
タ材料を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備
えており、ヘッドユニットの組立装置は、この複数の液
滴吐出ヘッドをキャリッジに精度良く組み込んでヘッド
ユニットを組み立て、これを描画装置に適宜供給できる
ようにしている。
【０１０１】この場合のヘッドユニットの組立手順は、
先ず各液滴吐出ヘッドをヘッド保持部材に位置決め状態
で個々に組み付け、これを単一のキャリッジに仮装着
し、次いでキャリッジに対し各液滴吐出ヘッドを位置決
めした後、仮固定し、最後に本固定するものである。そ
して、液滴吐出ヘッドのヘッド保持部材への組付け、キ
ャリッジへの仮装着および本固定は、外工程として手作
業により行われる一方、キャリッジに複数の液滴吐出ヘ
ッドを位置決めし且つ仮固定する作業は、実施形態の組
立装置で行われる。
【０１０２】そこで、本実施形態では、先ずこの組立装
置で扱うヘッドユニットと、その構成要素である液滴吐
出ヘッド、ヘッド保持部材およびキャリッジについて説
明する。また、この説明に相前後して、ヘッドユニット
と上記の描画装置との関係、治具を用いた液滴吐出ヘッ
ドのヘッド保持部材への組付方法、およびヘッドユニッ
トの位置決め基準となるアライメントマスクについて説
明する。その後、ヘッドユニットの組立装置について詳
細に説明することとする。そして、最後に、このヘッド
ユニットを、いわゆるフラットディスプレイの製造方法
に適用した例について説明する。
【０１０３】図１、図２および図３は、ヘッドユニット
の構造図である。同図に示すように、ヘッドユニット１
は、キャリッジ２と、キャリッジ２に搭載した複数個
（１２個）の液滴吐出ヘッド３と、各液滴吐出ヘッド３
をキャリッジ２に個々に取り付けるための複数個（１２
個）のヘッド保持部材４とを備えている。１２個の液滴
吐出ヘッド３は、６個づつ左右に二分され、主走査方向
に対し所定の角度傾けて配設されている。また、各６個
の液滴吐出ヘッド３は、副走査方向に対し相互に位置ず
れして配設され、１２個の液滴吐出ヘッド３の全吐出ノ
ズル５７（後述する）が副走査方向において連続する
（一部重複）ようになっている。すなわち、実施形態の
ヘッド配列は、キャリッジ２上において、同一方向に傾
けて配置した６個の液滴吐出ヘッド３を２列としてもの
であり、且つ各ヘッド列間において液滴吐出ヘッド３が
相互に１８０°回転した配置となっている。もっとも、
この配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列に
おける隣接する滴吐出ヘッド３同士を９０°の角度を持
って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘ
ッド列間における滴吐出ヘッド３を９０°の角度を持っ
て配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりすること
は可能である。いずれにしても、１２個の液滴吐出ヘッ
ド３の全吐出ノズル５７によるドットが副走査方向にお
いて連続していればよい。また、各種の基板に対し液滴
吐出ヘッド３を専用部品とすれば、液滴吐出ヘッド３を
あえて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に
配設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列
（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出
ヘッド３で構成してもよいし複数の液滴吐出ヘッド３で
構成してもよい。すなわち、液滴吐出ヘッド３の個数や
列数、さらに配列パターンは任意である。
【０１０４】キャリッジ２は、一部が切り欠かれた略方
形の本体プレート１１と、本体プレート１１の長辺方向
の中間位置に設けた左右一対の基準ピン１２，１２と、
本体プレート１１の両長辺部分に取り付けた左右一対の
支持部材１３，１３と、各支持部材１３の端部に設けた
左右一対のハンドル１４，１４とを有している。左右の
ハンドル１４，１４は、例えば組み立てたヘッドユニッ
ト１を上記の描画装置Ｂに載せ込む場合に、ヘッドユニ
ット１を手持ちするための部位となる。また、左右の支
持部材１３，１３は、キャリッジ２を組立装置Ａや描画
装置Ｂのセット部に固定するときの部位となる（いずれ
も詳細は後述する）。
【０１０５】さらに、キャリッジ２には、二分された液
滴吐出ヘッド群３Ｓの上側に位置して、これら液滴吐出
ヘッド３に接続される左右一対の配管接続アッセンブリ
１５，１５および左右一対の配線接続アッセンブリ１
６，１６が設けられている。各配管接続アッセンブリ１
５は、描画装置Ｂのフィルタ材料供給系に配管接続さ
れ、同様に各配線接続アッセンブリ１６は、描画装置Ｂ
の制御系に配線接続されるようになっている。なお、図
１は、一方（左側）の配管接続アッセンブリ１５を省略
して、描かれている。
【０１０６】本体プレート１１は、ステンレス等の厚板
で構成され、左右に各６個の液滴吐出ヘッド３を取り付
けるための一対の装着開口１８，１８が形成されると共
に、適宜位置に重量を軽減するための複数の抜き開口１
９が形成されている。各装着開口１８は、６個の液滴吐
出ヘッド３を取り付ける開口部位１８ａが連続したもの
であり、６個の液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド群３
Ｓ）３の並びに倣って、その軸線が本体プレート１１の
軸線に対しわずかに傾いている。
【０１０７】各支持部材１３は、厚手のステンレス板等
で構成され、これを固定するための２つの固定孔（ばか
孔）２１，２１および２つのボルト孔２２，２２が形成
されると共に、これら固定孔２１，２１およびボルト孔
２２，２２間に位置決め用のピンが挿入されるピン孔２
３が形成されている。詳細は後述するが、組立装置Ａに
ヘッドユニット１をセットするときには、ピン孔２３を
用いて位置決めされると共に２つの固定孔２１，２１を
用いてねじ止め固定され、同様に描画装置Ｂにヘッドユ
ニット１をセットするときには、ピン孔２３を用いて位
置決めされると共に２つのボルト孔２２，２２を用いて
ねじ止め固定される。
【０１０８】左右一対の基準ピン１２，１２は、画像認
識を前提として、キャリッジ２をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸
方向に位置決め（位置認識）するための基準となるもの
であり、本体プレート１１の裏面に突出するように取り
付けられている。図４に示すように、各基準ピン１２
は、円柱状のピン本体２５と、ピン本体２５の先端面の
中央部に形成した凹状、具体的には孔状の基準マーク２
６とで構成されている。ピン本体２５は、キャリッジ２
に圧入するための基部圧入部２７と、基部圧入部２７に
連なる胴部２８と、胴部２８の先端に突出形成したマー
ク形成部２９とから成り、このマーク形成部２９の先端
面２９ａに基準マーク２６が形成されている。
【０１０９】マーク形成部２９の先端面２９ａは鏡面加
工されており、この先端面２９ａの中心位置に基準マー
ク２６となる小孔が穿孔されている。小孔（基準マー
ク）２６は、例えば直径０．３ｍｍ程度のものであり、
基部圧入部２７から胴部２８にかけてその軸心部分に形
成した軸心孔３０に連通している。この場合、基準ピン
１２は、小孔２６を穿孔した後、熱処理（イオン窒化）
し、マーク形成部２９の先端面２９ａを、鏡面仕上げし
て、形成される。鏡面仕上げの例としては、研磨工具と
先端面２９ａの間に微細な砥粒を介在させて磨くラップ
仕上げであるが、これに限定されるものではない。
【０１１０】このように、簡単なプロセスによって先端
面２９ａが白色で小孔の基準マーク２６が暗色に認識カ
メラで撮像することができるため、キャリッジ２のアラ
イメント精度を向上させることができる。なお、基準ピ
ン１２は、断面を円柱状として説明したが、楕円状で
も、多角形状でも構わない。さらに、小孔の基準マーク
２６も、小孔に限定されるものではなく、充分なコント
ラストが得られるような溝を持つ凹形状であればよく、
その凹の平面形状も円形に限定されるものではない。
【０１１１】詳細は後述するが、組立装置Ａおよび描画
装置Ｂに搭載した認識カメラ３５３は、基準マーク２６
を形成した基準ピン１２の先端面２９ａを、視野内に捕
らえて画像認識（パターン認識）を行う。このため、認
識カメラ３５３によるパターン認識では、鏡面仕上げの
先端面２９ａが明色で、その先端面２９ａの略中央部に
形成された凹形状の基準マーク２６が暗色で認識され、
十分なコントラストを持って基準マーク２６が画像認識
される。したがって、基準マーク２６を精度良く認識す
ることができ、認識ミスを確実に防止することができ
る。
【０１１２】このようにして形成された基準ピン１２
は、その先端面２９ａを下向きにしてキャリッジ（本体
プレート１１）２に形成した取付用の孔部分に打ち込む
ようにして圧入される。キャリッジ２に圧入された基準
ピン１２は、キャリッジ２から突出した液滴吐出ヘッド
３と略同一高さとなるように、本体プレート１１の裏面
から突出している。すなわち、基準ピン１２の画像認識
面となる先端面２９ａと、液滴吐出ヘッド３の画像認識
面となるノズル形成面（図３参照）５２とが、略同一平
面内に位置するようになっている。
【０１１３】これにより、認識カメラ３５３で、両基準
ピン１２，１２に続いて各液滴吐出ヘッド３の吐出ノズ
ル５７を検出する場合に、その焦点位置を変更（認識カ
メラ３５３の上下動）する必要が無く、且つ画像認識の
ための認識カメラ３５３の相対的移動に際し、認識カメ
ラ３５３が他の部品等に干渉するのを有効に防止するこ
とができる。なお、一対の基準ピン１２，１２は、本体
プレート１１の長辺方向の略中間位置に設けることが好
ましいが、相互に離間している限り他の位置に設けても
よい。
【０１１４】図１、図２および図３に示すように、左右
のハンドル１４，１４は、重量のある（７ｋｇ程度）ヘ
ッドユニット１を手持ちするためのものであり、各ハン
ドル１４は、握り部分となるハンドル本体３２と、ハン
ドル本体３２の下端から直角に延びるアーム部３３とで
「Ｌ」字状に形成されている。ハンドル本体３２は、そ
の上端部が滑止め用の太径部３４となっている。また、
ハンドル本体３２の外周面には、滑止め用のローレット
加工が施されている。なお、本実施形態では、アヤ目の
ローレット加工を採用している（図２および図３参照）
が、スジ目であってもよい。
【０１１５】アーム部３３は水平に延在し、その先端部
でキャリッジ２の支持部材１３に着座するようにしてね
じ止めされている。すなわち、各ハンドル１４は、キャ
リッジ２に着脱自在に取り付けられている。このよう
に、左右のハンドル１４，１４は、キャリッジ（本体プ
レート１１）２の長辺方向の端部からはみ出した位置、
すなわち液滴吐出ヘッド３から離れた位置に、立ち上が
るようにして設けられている。
【０１１６】このため、両ハンドル１４，１４を把持し
てキャリッジ（ヘッドユニット１）２を持ち上げると、
力のバランスにより、キャリッジ２は略水平姿勢を維持
したまま持ち上げられることになる。また、運搬作業な
どにおいて、ハンドル１４を握った手が液滴吐出ヘッド
３に触れるなどの支障を生ずることがない。なお、詳細
は後述するが、このハンドル１４は、ヘッドユニット１
の運搬は元より、ヘッドユニット１の描画装置Ｂへのセ
ット作業に特に有用となる（詳細は後述する）。
【０１１７】各配管接続アッセンブリ１５は、各液滴吐
出ヘッド群３Ｓの上側に配設されており、本体プレート
１１の長辺方向の両端部に立設した一対のスペーサ３
６，３６と、一対のスペーサ３６，３６間に渡した押さ
えプレート３７と、押さえプレート３７に搭載した６組
の配管アダプタ３８とで構成されている。６組の配管ア
ダプタ３８は、その下端のヘッド側接続部分をわずかに
突出するようにして、それぞれ押さえプレート３７に固
着されている。
【０１１８】詳細は後述するが、液滴吐出ヘッド３はい
わゆる２連のものであり、６組の配管アダプタ３８は、
それぞれ２連の配管接続部材１７を介して液滴吐出ヘッ
ド３に接続される。すなわち、各液滴吐出ヘッド３に配
管接続部材１７を嵌合接続する一方、６組の配管アダプ
タ３８を搭載した押さえプレート３７を両スペーサ３
６，３６にねじ止めすることで、６組の配管アダプタ３
８が、それぞれ配管接続部材１７を介して液滴吐出ヘッ
ド３に接続される。そして、各配管アダプタ３８の流入
側には、描画装置Ｂにセットする際にそのフィルタ材料
供給系にワンタッチで配管接続される（詳細は後述す
る）。
【０１１９】同様に、各配線接続アッセンブリ１６は、
キャリッジ２の左右の端部に立設した３個の屈曲支持部
材４０，４０，４０と、屈曲支持部材４０の上端に固定
したコネクタベース４１と、コネクタベース４１上に取
り付けた配線コネクタ４３付きの４つのヘッド中継基板
４２とで構成されている。４つのヘッド中継基板４２
は、それぞれフレキシブルフラットケーブル（図示省
略）を介して、後述する各液滴吐出ヘッド３の２連のヘ
ッド基板４７に接続されている。そして、各ヘッド中継
基板４２には、描画装置Ｂにセットする際にその制御系
ケーブルの配線プラグにより配線接続される（詳細は後
述する）。
【０１２０】なお、図２にのみ示すように、このヘッド
ユニット１には更に、両配線接続アッセンブリ１６を覆
う中継基板カバー２４が設けられている。中継基板カバ
ー２４は、各配線接続アッセンブリ１６の側面から直上
部を覆う一対の側面カバー２４ａと、一対の側面カバー
２４ａ間に渡した上面カバー２４ｂとで構成されてお
り、このうち上面カバー２４ｂは、ヘッドユニット１を
描画装置Ｂにセットした後に取り付けるようになってい
る。また、詳細は後述するが、ヘッドユニット１を組立
装置Ａにセットする段階では、描画装置Ｂにセットする
場合と異なり、中継基板カバー２４は元より両アッセン
ブリ１５，１６も組み付けておかないものとする。
【０１２１】次に、図５ないし図８を用いて液滴吐出ヘ
ッド３について説明する。この液滴吐出ヘッド３は、い
わゆる２連のものであり、２連の接続針４６を有する液
体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なる２連の
ヘッド基板４７と、液体導入部４５に下方に連なる２連
のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズル形成プ
レート４９とを備えている。液体導入部４５には、上記
の配管接続部材１７が接続され、ヘッド基板４７には、
上記のフレキシブルフラットケーブルが接続されてい
る。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレート４９
とにより、キャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッ
ド本体５０が構成されている。また、ノズル形成プレー
ト４９のノズル形成面５２には、２列のノズル列５３，
５３が形成されている（図６参照）。
【０１２２】図６および図７に示すように、ポンプ部４
８は、ノズル数に対応する圧力室５５と圧電素子５６と
を有し、各圧力室５５は、対応する吐出ノズル５７に連
通している。また、ポンプ部４８の基部側、すなわちヘ
ッド本体５０の基部側は、液体導入部４５を受けるべく
方形フランジ状に形成され、このフランジ部５８には、
液滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定する小ねじ
用の一対のねじ孔（雌ねじ）５９，５９が形成されてい
る。この一対のねじ孔５９，５９は、両長辺部分に位置
し、且つノズル形成面５２の中心に対し点対称となるよ
うに配設されている。詳細は後述するが、ヘッド保持部
材４を貫通してフランジ部５８に螺合した２本の小ねじ
７３，７３により、液滴吐出ヘッド３がヘッド保持部材
４に固定される（図９参照）。
【０１２３】ノズル形成プレート４９は、ステンレス板
等で形成され、ポンプ部４８の吐出側端面（液滴吐出
面）に接着されている。より具体的には、図６および図
７（ａ）に模式的に示すように、ポンプ部４８は、上記
の圧電素子５６を収容した機構部４８ａと、樹脂フィル
ム４８ｂを介して、ノズル形成プレート４９と共にこの
機構部４８ａに接合されるシリコンキャビティ４８ｃと
を有している。すなわち、ノズル形成プレート４９は、
シリコンキャビティ４８ｃに接着され、この状態で樹脂
フィルム４８ｂを介して、機構部４８ａの接合面４８ｄ
に接合され、上記の圧力室５５を構成している。したが
って、ヘッド本体５０において組立方法を勘案すると、
上記の樹脂フィルム４８ｂ、シリコンキャビティ４８ｃ
およびノズル形成プレート（後述するメッキ層４９ａを
含む）４９は、ポンプ部４８の機構部４８ａに対し、圧
力室組立体６０を構成している。そして、機構部４８ａ
の接合面４８ｄは、長方形に形成される一方、ノズル形
成プレート４９を含む圧力室組立体６０は、これより幾
分小さい相似形に形成されており、圧力室組立体６０
は、接合面４８ｄと略同心となるように重ねて接合され
ている。
【０１２４】このため、圧力室組立体６０の四周と機構
部４８ａの接合面４８ｄの四周縁部との間には、四周に
亘って接合のためのクリアランスとしての段部６１が構
成され、この段部６１には樹脂６２がモールドされてい
る。すなわち、接合面４８ｄの端縁（周縁部）と圧力室
組立体６０の端面（側面部）とで構成される段部６１
は、これを埋めるように樹脂６２でモールドされてい
る。したがって、ヘッド本体５０の下端は、この樹脂６
２により四周が面取りされた形態になっている。
【０１２５】詳細は後述するが、この樹脂６２によるモ
ールドにより、ワイピングの際にヘッド本体５０がワイ
ピングシート１３１につかえるのを防止している。この
場合、液滴吐出ヘッド３は水平面内において幾分傾いて
キャリッジ２に保持されているものの、ヘッド本体５０
に対しワイピングシート１３１は、Ｘ軸方向から拭取り
動作する（図１７参照）。したがって、上記の四周に亘
るモールドの樹脂６２は、最低限拭取りを開始する側の
長辺部分にのみ、或いは両長辺部分にのみに設けられて
いればよい。また、後述する面取り加工でも同様であ
る。なお、図７（ｂ）に示すように、樹脂６２をノズル
形成プレート４９から前方に幾分突出（図示のｔ寸法）
するようにモールドし、樹脂６２に、吐出ノズル５７を
保護するプロテクタの機能を持たせることも可能であ
る。また、図７（ｃ）に示すように、機構部４８ａの接
合面４８ｄと圧力室組立体６０とを同一形状とし、樹脂
６２のモールドに代えて、圧力室組立体６０の端縁を面
取り加工するようにしてもよい。
【０１２６】一方、ノズル形成プレート４９には、２本
のノズル列５３，５３が相互に平行に列設されており、
各ノズル列５３は、等ピッチで並べた１８０個（図示で
は模式的に表している）の吐出ノズル５７で構成されて
いる。すなわち、ヘッド本体５０のノズル形成面５２に
は、その中心線を挟んで２本のノズル列５３，５３が左
右対称に配設されている。そして、各吐出ノズル５７の
ノズル口６３は、撥水性（撥液性）のメッキ層４９ａを
形成した円形窪み部６４の奥に開口している。
【０１２７】なお、図６中の符号６５，６５は、液滴吐
出ヘッド３を位置認識するための２つのノズル基準マー
クである。後述するように、本実施形態では液滴吐出ヘ
ッド３の位置認識を、いずれか一方のノズル列５３にお
ける最外端の２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを画像認
識（パターン認識）することで行われる。ところが、吐
出対象液によっては、吐出ノズル（ノズル口６３）５７
に形成されるメニスカスの形態が一定しない場合があり
（図６（ｂ）中の仮想線参照）、パターン認識において
認識不能（ＮＧ）となるおそれがある。
【０１２８】そこで、本実施形態では、上記最外端の２
つの吐出ノズル５７ａ，５７ａの近傍に、２つのノズル
基準マーク６５，６５を形成するようにしている。すな
わち、ノズル形成面５２において、２つの吐出ノズル５
７ａ，５７ａを平行移動した位置、より厳密にはノズル
列５３を平行移動（必ずしもノズル列５３に直交する方
向でなくてもよい）したときの両吐出ノズル５７ａ，５
７ａに対応する位置に、レーザーエッチングなどにより
２つのノズル基準マーク６５，６５が形成されている。
２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａに対し２つのノズル基
準マーク６５，６５は位置保証されており、２つの吐出
ノズル５７ａ，５７ａにおける画像認識が不安定な場合
には、この２つのノズル基準マーク６５，６５を用いて
画像認識を行うようにする。なお、２つのノズル基準マ
ーク６５，６５は、２つの吐出ノズル(厳密には離間し
た任意の２つの吐出ノズル５７，５７で可)５７ａ，５
７ａに対し位置保証されている限り、且つ十分に離間し
ている限り、ノズル形成面５２のいずれの位置に設けて
もよい。
【０１２９】このように構成された液滴吐出ヘッド３
は、そのヘッド本体５０を、キャリッジ２に形成した装
着開口１８からキャリッジ２の裏面側に突出させ、装着
開口１８の縁部にあてがったヘッド保持部材４に上記の
フランジ部５８の部分でねじ止め固定される。また、ヘ
ッド保持部材４は、キャリッジ２に接着により仮固定さ
れ、その後、機械的な固定手段を使って本固定される。
【０１３０】次に、図８および図９を参照して、ヘッド
保持部材４について説明する。ヘッド保持部材４は、液
滴吐出ヘッド３をキャリッジ２に安定に取り付けるため
の媒介金具であり、ステンレス等で構成された略長方形
の平板状に形成されている。ヘッド保持部材４には、そ
の中央に液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０が挿通する
方形の挿通開口７１が形成されている。この場合、ヘッ
ド保持部材４は、その長辺方向の両端部で装着開口（開
口部位１８ａ）１８を跨ぐようにしてキャリッジ２の裏
面側にセットされ、これに対し液滴吐出ヘッド３は、そ
のヘッド本体５０を挿通開口７１に挿通すようにしてキ
ャリッジ２の表側にセットされる（図５参照）。
【０１３１】ヘッド保持部材４の挿通開口７１の周囲に
は、上記フランジ部５８の２つのねじ孔５９，５９に対
応する２つの貫通孔７２，７２および２本の小ねじ７
３，７３と、２つの突出位置規制ピン７４，７４が配設
されている。２つの貫通孔７２，７２は、それぞれ装着
開口１８側に突出する２つのボス部７５，７５に形成さ
れている。この場合、各ボス部７５は、ヘッド保持部材
４に圧入した筒状のカラーで構成されている。この２つ
のボス部７５，７５と２つの突出位置規制ピン７４，７
４とは、いずれも挿通開口７１の中心に対し点対称位置
に配設されており、これらボス部７５，７５と突出位置
規制ピン７４，７４がヘッド本体５０のフランジ部５８
に当接することにより、液滴吐出ヘッド３のキャリッジ
２からの吐出寸法が規制されるようになっている。
【０１３２】また、挿通開口７１の中心線上において、
挿通開口７１の外側には２つの係合孔７６，７６が形成
されている。この２つの係合孔７６，７６は、後述する
液滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃが装着される部位である
と同時に、組立装置Ａにおける位置補正用の係合ピン３
４３，３４３が係合される部位でもある。この場合、組
付治具Ｃの装着や係合ピン３４３の係合が無理なく為さ
れるように、２つの係合孔７６，７６は、一方が円形
に、他方が上記中心線方向に長い長円形に形成されてい
る。
【０１３３】さらに、挿通開口７１の中心線上におい
て、ヘッド保持部材４の両端部には、それぞれ２つの接
着剤注入孔７７，７７が、挿通開口７１を挟んで対称位
置に形成されている。各接着剤注入孔７７はヘッド保持
部材４の横断方向に延びる長孔となっており、この長孔
のキャリッジ２側の端部は、面取りされている（図８参
照）。各２つの接着剤注入孔７７，７７が形成されたヘ
ッド保持部材４の両端部は、ヘッド保持部材４をキャリ
ッジ２に接着するための接着部位７８，７８となってお
り、各接着剤注入孔７７から注入された接着剤は、毛細
管現象によりキャリッジ２と接着部位７８，７８との界
面部分に広がって、塗着される。
【０１３４】この場合、一方の端部の外側（内側）に形
成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と他方の端部の内
側（外側）に形成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と
は、それぞれ対となっている。詳細は後述するが、組立
装置Ａは２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を有し
ており、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７は、対
となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａに同時
に挿入されて接着剤を注入すると共に、上記中心線方向
に移動した後、他方の２つの不接着剤注入孔７７ｂ，７
７ｂに同時に挿入されて接着剤を注入する。
【０１３５】なお、図中の符号７９，７９は、ヘッド保
持部材４をキャリッジ２に仮装着するときに使用する
（詳細は後述する）一対の締結孔であり、この一対の締
結孔７９，７９は、それぞれ接着剤注入孔７７，７７の
近傍であって、挿通開口７１の中心に対し点対称位置に
形成されている。また、キャリッジ２の開口部位１８ａ
には、この一対の締結孔７９，７９に対応する一対の仮
締め用ねじ孔２０，２０が形成されている（図１１参
照）。
【０１３６】ところで、一対の基準ピン１２，１２を介
して位置決めされるキャリッジ２に対し、各液滴吐出ヘ
ッド３は、その出力端であるノズル列（吐出ノズル５
７）５３を基準に、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決
め（位置認識）される。より具体的には、２つのノズル
列５３，５３は、製造段階で相互の位置精度が保証され
ているため、いずれか一方のノズル列５３の最外端に位
置する２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置決め基準
とし、これを認識するようにしている。また、液滴吐出
ヘッド３のヘッド本体５０における先端部の四辺（厳密
には、ポンプ部４８の数ミリ幅に亘る先端部の四辺）
も、製造段階で相互の位置精度が保証されている。
【０１３７】一方、液滴吐出ヘッド３は、ヘッド保持部
材４を介してキャリッジ２に固定する形態である。そこ
で、本実施形態では、組付治具Ｃを用い、上記ヘッド本
体５０の先端部四辺を基準にして、液滴吐出ヘッド３を
ヘッド保持部材４に位置決めし、ねじ止め固定の後、上
記２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを基準にして、ヘッ
ド保持部材４付き液滴吐出ヘッド３を位置決めし、仮固
定するようにしている。すなわち、液滴吐出ヘッド３
は、組付治具Ｃを用いた手作業により、いったんヘッド
保持部材４に仮位置決めされ、続く組立装置Ａでの画像
認識（吐出ノズル５７ａ，５７ａを認識）を経て、本位
置決めされる。
【０１３８】実施形態の組立装置Ａでは、位置認識のス
ピードアップを図るため、上記２つの吐出ノズル５７
ａ，５７ａを、固定的に設けた２つの認識カメラ３５
３，３５３で同時に認識する、すなわち２つの認識カメ
ラ３５３，３５３が同時に視野内に捕らえるようにして
いる。このため、組付治具Ｃを用いた液滴吐出ヘッド３
の仮位置決めは、本位置決めの段階で、設定した位置デ
ータに基づいて、２つの認識カメラ３５３，３５３を上
記の２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａに臨ませたとき
に、いずれも視野から外れることのないようにするもの
である。
【０１３９】ここで、図９および図１０を参照して、液
滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃについて説明すると共に、
この組付治具Ｃを用いて液滴吐出ヘッド３をヘッド保持
部材４に組み付ける組付方法について説明する。図１０
に示すように、組付治具Ｃは、液滴吐出ヘッド３のヘッ
ド本体５０を位置決めする治具本体８１と、治具本体８
１をヘッド保持部材４に位置決め状態で装着する一対の
装着ピン８２，８２とで構成されている。
【０１４０】治具本体８１は、縦辺部８４と、縦辺部８
４の両端から直角に延びる一対の横辺部８５，８５と
で、略「Ｃ」字状に一体に形成されている。一方、一対
の装着ピン８２，８２は、それぞれ横辺部８５，８５の
裏面側から突出しており、この一対の装着ピン８２，８
２をヘッド保持部材４の係合孔７６，７６に嵌合させる
ことで、治具本体８１がヘッド保持部材４に装着され
る。
【０１４１】縦辺部８４の内側から一方の横辺部８５の
内側に亘る部位には、略「Ｌ」字状の位置決め部８６が
形成され、この位置決め部８６にヘッド本体５０の一方
の長辺および短辺を当接させることで、液滴吐出ヘッド
３がヘッド保持部材４に位置決めされるようになってい
る。位置決め部８６は、表側を他の部分と面一として薄
肉に形成され、且つコーナー部分８６ａが半円状に窪入
形成されている。また、治具本体８１は、これをヘッド
保持部材４に装着した状態で、その表面と液滴吐出ヘッ
ド３のノズル形成面５２とが、ほぼ面一（同レベル）と
になるように、その厚みが設計されている。
【０１４２】これにより、ヘッド本体５０はその突出方
向の先端部が、組付治具Ｃの位置決め部８６に当接して
位置決めされるようになっている。すなわち、製造段階
で、ノズル列５３に対し位置精度が保証されたヘッド本
体５０における先端部の四辺のうち隣接する２つの辺
を、組付治具Ｃの位置決め部８６に突き当てることで、
液滴吐出ヘッド３がヘッド保持部材４に位置決めされる
ようになっている。
【０１４３】一方、一対の装着ピン８２，８２は、位置
決め部８６に突き当てたヘッド本体５０の中心線に合致
するように配設されている。より具体的には、位置決め
部８６の長辺部位８６ｂは、一対の装着ピン８２，８２
を結ぶ直線と平行に形成され、且つその離間寸法は、ヘ
ッド本体５０の長辺位置に合わせて管理されると共に、
ヘッド本体５０の短辺の１／２の寸法に形成されてい
る。また、位置決め部８６の短辺部位８６ｃは、長辺部
位８６ｂに直角に形成され、且つ短辺部位８６ｃ側に位
置する装着ピン８２との離間寸法は、ヘッド本体５０の
短辺位置に合わせて管理されている。
【０１４４】これにより、組付治具Ｃは、図９の状態か
ら１８０°回転した状態で、ヘッド保持部材４に装着し
ても、特段の支障を生ずることなく、液滴吐出ヘッド３
を位置決めすることができる。すなわち、実施形態の組
付治具Ｃは、その平面形状が左右対称ではないが、いわ
ゆる右勝手・左勝手のない構造となっている。
【０１４５】次に、図９、図１１および図１２を参照し
て、上記の組付治具Ｃを用いた、液滴吐出ヘッド３のヘ
ッド保持部材４への組付方法について説明する。この組
付作業は、組立装置Ａの外工程として手作業で行われ
る。先ず、キャリッジ（厳密には本体プレート１１）２
の表側の周縁部に４本の支持脚８８，８８，８８，８８
をねじ止めする。次いで、キャリッジ２を上下反転さ
せ、キャリッジ２を支持脚８８により浮いて状態にセッ
トする。なお、図示では省略したが、この状態でキャリ
ッジ２に、上記一対の支持部材１３，１３および一対の
基準ピン１２，１２を取り付けておくことが、好まし
い。
【０１４６】次に、ヘッド本体５０を上向きにした液滴
吐出ヘッド３を、キャリッジ２の下側から装着開口１８
に挿入する。ここで、キャリッジ２の上側からヘッド保
持部材４の挿通開口７１をヘッド本体５０に位置合わせ
し嵌め入れるようにして、ヘッド保持部材４をキャリッ
ジ２上にセットする。ヘッド保持部材４をセットした
ら、上側からヘッド保持部材４に組付治具Ｃを装着する
と共に、ヘッド保持部材４の位置決め部８６に、これに
対峙するヘッド本体５０の２辺を押し付ける。なお、組
付治具Ｃを複数個用意しておいて、これを予めヘッド保
持部材４に装着しておいてから、作業を開始してもよ
い。
【０１４７】続いて、上記の押付け状態を維持しつつ、
上側から２本の小ねじ７３，７３を、ヘッド保持部材４
を貫通して液滴吐出ヘッド３のフランジ部５８にそれぞ
れ螺合し、液滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定
する。次に、２つの認識カメラ３５３，３５３の視野
が、２つの吐出ノズル７５ａ，７５ａから外れないよう
にする手段として、上記一対の締結孔７９，７９からキ
ャリッジ２の仮締め用ねじ孔２０，２０に、それぞれ固
定ねじ８９，８９を仮締め状態で螺合しておく（図９参
照）。
【０１４８】これにより、固定ねじ８９と締結孔７９の
寸法交差の範囲において、キャリッジ２に対する液滴吐
出ヘッド３の位置合わせが可能となると共に、２つの認
識カメラ３５３，３５３の視野が、２つの吐出ノズル７
５ａ，７５ａから外れることがなくなる。このようにし
て、液滴吐出ヘッド３のヘッド保持部材４への位置決め
および固定を順に繰り返すことで、１２個の液滴吐出ヘ
ッド３が個々にヘッド保持部４に組み付けられる。最後
に、ヘッド保持部材４から組付治具Ｃを引き抜くと共に
４本の支持脚８８を取り外して、作業を完了する。
【０１４９】以上のようにして、キャリッジ２を挟ん
で、１２個の液滴吐出ヘッド３が１２個のヘッド保持部
４に組み付けられるが、この状態では、１２個の液滴吐
出ヘッド３はキャリッジ２に固定されておらず、吊り下
げられた状態となっている。すなわち、ヘッド保持部４
付きの１２個の液滴吐出ヘッド３は、キャリッジ２に対
し、固定ねじ８９と締結孔７９の寸法交差範囲内で微小
移動可能に、仮装着されている。なお、この固定ねじ８
９は捨てねじであり、組立装置Ａにおいて、キャリッジ
２にヘッド保持部４が接着された（仮固定）後に、取り
外される。すなわち、実施形態では、ヘッド保持部４の
キャリッジ２へのねじによる直接的な本固定は行わない
（別部材による押圧固定とする）。
【０１５０】そして、キャリッジ２に、ヘッド保持部材
４付きの１２個の液滴吐出ヘッド３が仮装着されたヘッ
ドユニット１は、組立装置Ａに導入され、上下反転姿勢
のままこれにセットされる。なお、組立装置Ａに導入さ
れるヘッドユニット１は、上記の主構成部品に一対の支
持部材１３，１３および基準ピン１２，１２を組み込ん
だものとなり、描画装置Ｂに導入されるヘッドユニット
１は、これに更にハンドル１４を始め、両アッセンブリ
１５，１６等を組み込んだものとなる。
【０１５１】ここで、描画装置Ｂについて簡単に説明す
ると共に、一対のハンドル１４，１４を利用してヘッド
ユニット１を描画装置Ｂに載せ込むヘッドユニット１の
セット方法について説明する。また、液滴吐出ヘッド３
のヘッド本体５０の構造に関連して、描画装置Ｂのワイ
ピング装置についても簡単に説明する。
【０１５２】図１３は描画装置Ｂを模式的に表した概念
図であり、同図に示すように、描画装置Ｂは、ヘッドユ
ニット１を搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動
させるヘッド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対
峙しカラーフィルタ等の基板１０２をＸ軸方向に移動さ
せる基板移動部１０３と、ヘッドユニット１の液滴吐出
ヘッド３を保全するメンテナンス部１０４とを備えてい
る。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッドユニ
ット１を、基板移動部１０３を挟んでユニット導入部１
０５とメンテナンス部１０４との間で移動させる。
【０１５３】ヘッドユニット１を導入セットする場合に
は、ヘッド移動部１０１がユニット導入部１０５側に移
動し、その仮置き台１０６がユニット導入部１０５に臨
んでいる。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０６上
に仮置きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移
動部１０１に送り込むようにしてセットされる。そし
て、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う準備工程で
は、ヘッドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補
正）が行われるが、フィルタ材料を吐出する製造工程で
は、基板１０２がＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ
軸方向に移動して、液滴吐出ヘッド３の主走査および副
走査が行われる。
【０１５４】ヘッド移動部１０１は、ヘッドユニット１
を垂設するようにして支持するメインキャリッジ１１１
と、メインキャリッジ１１１をθ軸方向に移動させるθ
テーブル１１２と、θテーブル１１２を介してヘッドユ
ニット１をＹ軸方向に移動させるＹテーブル１１３とを
有している。また、基板移動部１０３は、基板１０２を
吸着するようにしてセットする基板セットテーブル１１
５と、基板セットテーブル１１５を介して基板をＸ軸方
向に移動させるＸテーブル１１６とを有している。
【０１５５】この場合、Ｘテーブル１１６は、エアース
ライダとリニアモータとの組み合わせで駆動し、Ｙテー
ブル１１３は、ボールねじとサーボモータの組み合わせ
で駆動する（いずれも図示省略）。また、基板認識カメ
ラ１１７はメインキャリッジ１１１に（図１５参照）、
ヘッド認識カメラ１１８は基板セットテーブル１１５
に、それぞれ搭載されている。したがって、ヘッドユニ
ット１のキャリッジ２に設けた一対の基準ピン１２，１
２は、ヘッド認識カメラ１１８とこれをＸ軸方向に移動
させるＸテーブル１１６との協働により、画像認識され
る。
【０１５６】ここで、図６７を参照して、ヘッド認識カ
メラ１１８による一対の基準ピン１２，１２の認識動作
について説明する。先ず、設計上のデータに基づいてＸ
テーブル１１６およびＹテーブル１１３が適宜駆動し
て、ヘッド認識カメラ１１８およびキャリッジ（ヘッド
ユニット１）を移動させ、一方の基準ピン１２をヘッド
認識カメラ１１８の視野内に取り込む。一方の基準ピン
１２をヘッド認識カメラ１１８で認識したら、次に、Ｘ
テーブル１１６を駆動し、ヘッド認識カメラ１１８をＸ
軸方向（主走査方向）に移動させ、他方の基準ピン１２
をヘッド認識カメラ１１８の視野内に取り込んでこれを
認識する。
【０１５７】そして、ヘッド認識カメラ１１８による一
対の基準ピン１２，１２の認識結果に基づいて、Ｘテー
ブル１１６、Ｙテーブル１１３およびθテーブル１１２
が適宜駆動して、キャリッジ（ヘッドユニット１）の位
置補正が行われる。なお、位置補正後に、確認のため再
度上記の認識動作が行われ、一連の認識動作が完了す
る。
【０１５８】その後、実際の液滴吐出作業では、先ずＸ
テーブル１１６が駆動し、基板１０２を主走査方向に往
復移動させると共に複数の液滴吐出ヘッド３を駆動し
て、液滴吐出ヘッド３の選択的な液滴吐出が行われる。
次に、Ｙテーブル１１３が駆動し、キャリッジ（ヘッド
ユニット１）２を１ピッチ分、副走査方向に移動させ、
再度基板１０２の主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘ
ッド３の駆動が行われる。そしてこれを、数回繰り返す
ことで、基板１０２の端から端まで（全領域）液滴吐出
が行われる。
【０１５９】このように、一対の基準ピン１２，１２の
画像認識におけるヘッド認識カメラ１１８の移動を、Ｘ
テーブル１１６で行うようにしているため、ボールねじ
を用いるＹテーブル１１３等と異なり、移動精度が認識
精度に影響するのを防止することができる。また、Ｘテ
ーブル１１６の移動方向であるＸ軸方向は、主走査方向
に合致しており、構造上、液滴吐出の精度（着弾点の精
度）を高めることができる。
【０１６０】なお、本実施形態では、ヘッドユニット
（キャリッジ２）１に対し、その吐出対象物である基板
１０２を主走査方向に移動させるようにしているが、キ
ャリッジ（ヘッドユニット１）２を主走査方向に移動さ
せる構成であってもよい。また、一対の基準ピン１２，
１２をキャリッジ２の長辺方向の両端部に設けられる場
合も考えられるが、かかる場合には、キャリッジ２のＹ
軸方向への相対的移動により、一対の基準ピン１２，１
２が認識されることとなる。
【０１６１】図１４および図１５は、メインキャリッジ
１１１の外観図である。メインキャリッジ１１１は、ヘ
ッドユニット１が着座するベースプレート１２１と、ベ
ースプレート１２１を垂設するように支持するアーチ部
材１２２と、ベースプレート１２１の一方の端部に突出
するように設けた仮置き台１０６である左右一対の仮置
きアングル１０６ａ，１０６ａと、ペースプレート１２
１の他方の端部に設けたストッパプレート１２３とを備
えている。なお、上記の基板認識カメラ１１７は、スト
ッパプレート１２１の外側に一対設けられている。
【０１６２】ベースプレート１２１には、ヘッドユニッ
ト１の本体プレート１１が遊嵌する方形開口１２４が形
成され、またこの方形開口１２４を構成するベースプレ
ート１２１の左右の各開口縁部１２５には、ヘッドユニ
ット１の各支持部材１３に形成した２つのボルト孔２
２，２２およびピン孔２３に合致する２つの貫通孔１２
６，１２６と位置決めピン１２７とが設けられている。
この場合、方形開口１２４の幅と本体プレート１１の幅
とがほぼ合致しており、側方からセットされるヘッドユ
ニット１は、本体プレート１１の左右が方形開口１２４
の左右に案内されるようにして、挿入される。
【０１６３】各仮置きアングル１０６ａは、十分な厚み
（高さ）を有し、外側に「Ｌ」字状に屈曲した基部で、
ベースプレート１２１の端部に載置するようにして固定
されている。また、両仮置きアングル１０６ａ，１０６
ａの離間寸法は、ヘッドユニット１の両支持部材１３，
１３の離間寸法に対応している。したがって、ヘッドユ
ニット１は、その両支持部材１３，１３が両仮置きアン
グル１０６ａ，１０６ａに着座することで仮置きされ、
且つ両仮置きアングル１０６ａ，１０６ａによりベース
プレート１２１への送り込みが案内される。また、この
状態で、各液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０がベース
プレート１２１から十分に浮いて、ベースプレート１２
１との接触（干渉）が防止される。
【０１６４】図１６のイメージ図に示すように、ヘッド
ユニット１を、メインキャリッジ１１１のベースプレー
ト１２１にセットする場合には、先ず両ハンドル１４，
１４で手持ちして運び込んだヘッドユニット１を、両仮
置きアングル１０６ａ，１０６ａ上に載置する（仮置
き）。ここで、特に図示しないが、アーチ部材１２２上
に配設した描画装置Ｂのフィルタ材料供給系のチューブ
をヘッドユニット１の配管接続アッセンブリ１５に配管
接続すると共に、制御系のケーブルを配線接続アッセン
ブリ１６に配線接続する（同図（ａ））。
【０１６５】接続作業が完了したら、再度ハンドル１
４，１４を把持し、両仮置きアングル１０６ａ，１０６
ａをガイドにしてヘッドユニット１を先方に押し入れ、
更にその先端部を下げるように傾ける（同図（ｂ））。
ヘッドユニット１を傾けてゆくと、本体プレート１１の
先端部が方形開口１２４に挿入され、且つ両支持部材１
３，１３の先端が方形開口１２４の両開口縁部１２５，
１２５に着地する。両支持部材１３，１３が開口縁部１
２５，１２５に着地したら、両仮置きアングル１０６
ａ，１０６ａから両支持部材１３，１３を浮かせるよう
にし、こんどは両支持部材１３，１３の先端を中心に、
ヘッドユニット１を、開口縁部１２５上をスライドさせ
ながら更に奥に向かって押し込んでゆく。
【０１６６】そして、ヘッドユニット１の先端がストッ
パプレート１２３に突き当たったら、ヘッドユニット１
の後部をゆっくり下げて、両支持部材１３，１３のピン
孔２３に両開口縁部１２５，１２５の位置決めピン１２
７を嵌合させるようにして、ヘッドユニット１をベース
プレート１２１上に着座させる。ここで、ベースプレー
ト１２１の下側からベースプレート１２１を貫通して、
４本の固定ねじ１２８を両支持部材１３，１３に螺合
し、作業を完了する（同図（ｃ））。
【０１６７】このように、ユニット導入部１０５におい
て、ヘッドユニット１を仮置きし、この状態で必要な配
管・配線接続を行うようにしているため、これら接続作
業が行い易く、且つ接続作業後のヘッドユニット１を狭
いスペースに適切にセットすることができる。また、ヘ
ッドユニット１を、仮置きアングル１０６ａから一段低
いベースプレート１２１に、スライドさせながらセット
するようにしているため、ヘッドユニット１をメインキ
ャリッジ１１１にソフトランディングさせるようにセッ
トすることができ、重いヘッドユニット１を、衝撃なく
円滑にセットすることができる。
【０１６８】一方、描画装置Ｂのメンテナンス部１０４
には、キャッピング装置やクリーニング装置に併設する
ようにワイピング装置が設けられている。図１７に示す
ように、ワイピング装置１０８は、ワイピングシート１
３１を備えるワイピングユニット１３２と、ワイピング
ユニット１３２をヘッドユニット１に向かって進退させ
る移動機構１３３とを有している。Ｙテーブル１１３に
よりメンテナンス部１０４に導入されたヘッドユニット
１に対し、移動機構１３３がワイピングユニット１３２
をＸ軸方向（主走査方向）に進退させるようにして拭取
り動作させる。
【０１６９】ワイピングユニット１３３は、ワイピング
シート１３１をロール状に巻回した繰出しリール１３５
と、繰出しリール１３５から繰り出したワイピングシー
ト１３１を巻き取る巻取りリール１３６と、繰出しリー
ル１３５および巻取りリール１３６間においてワイピン
グシート１３１を掛け渡したワイピングローラ１３７と
を備えている。また、繰出しリール１３５とワイピング
ローラ１３７との間には、回転速度検出軸を兼ねるガイ
ドローラ１３８が配設され、且つワイピングローラ１３
７の近傍には、洗浄液供給ヘッド１３９が配設されてい
る。
【０１７０】繰出しリール１３５は、これに設けたトル
クリミッタにより制動回転し、巻取りリール１３６は、
これに設けたモータにより駆動回転する。繰出しリール
１３５から繰り出されたワイピングシート１３１は、ガ
イドローラ１３８をくぐって経路変更され、洗浄液供給
ヘッド１３９から洗浄液の供給を受けた後、ワイピング
ローラ１３７を周回し、巻取りリール１３６に巻き取ら
れる。
【０１７１】ワイピングローラ１３７は、自由回転ロー
ラであり、弾力性或いは柔軟性を有するゴムローラ等で
構成されている。ワイピング時におけるワイピングロー
ラ１３７は、ワイピングシート１３１を各液滴吐出ヘッ
ド３のヘッド本体５０に下側から押し付けるように作用
する。また、ワイピング時には、ワイピングローラ１３
７は巻取りリール１３６の回転を受けて走行するワイピ
ングシート１３１により回転し、且つ移動機構１３３に
より、ワイピングユニット１３３全体としてＸ軸方向に
移動する。これにより、ワイピングシート１３１が、ヘ
ッドニットの下面、すなわち１２個の液滴吐出ヘッド３
のヘッド本体５０に順に摺接してゆく。言い換えれば、
ヘッド本体５０の相対的な移動方向に対し、ワイピング
シート１３１が逆方向に走行し、各ヘッド本体５０のノ
ズル形成面５２が拭き取られることになる。
【０１７２】ヘッド本体５０に摺接してゆくワイピング
シート１３１には、ワイピングローラ１３７に達する直
前に、洗浄液供給ヘッド１３９から洗浄液、すなわちフ
ィルタ材料の溶剤等が供給される。これにより、各ヘッ
ド本体５０のノズル形成面５２に付着したフィルタ材料
は、ワイピングローラ１３７を介して洗浄液を含浸した
ワイピングシート１３１により、きれいに拭き取られ
る。また、上述したように、ヘッド本体５０の下端部は
これにモールドした樹脂６２により、面取りされている
ため、このワイピングの際にヘッド本体５０がワイピン
グシート１３１につかえることがない。
【０１７３】次に、図１８および図１９を参照して、ア
ライメントマスクＤについて説明する。実施形態の組立
装置Ａでは、ヘッドユニット１の組立個数に係わらず、
常に一定レベルの組立精度を有するヘッドユニット１を
供給する必要がある。そこで、キャリッジ２および１２
個の液滴吐出ヘッド３の基準位置をマークしたアライメ
ントマスクＤを用意している。すなわち、アライメント
マスクＤを部品位置の原型（原版）とし、複製としての
ヘッドユニット１を、この組立装置Ａで組み立てるよう
にしている。これにより、ヘッドユニット１に対する各
組立装置Ａが持つ癖や経時変化等の精度的影響を排除す
るようにしている。
【０１７４】アライメントマスクＤは、キャリッジ２の
基準位置および各液滴吐出ヘッド３の基準位置をマスク
パターン形成したマスタプレート１６１と、マスタプレ
ート１６１を下側から保持するプレートホルダ１６２と
で構成されている。上述したように、各液滴吐出ヘッド
３は、主走査方向に対し所定の角度（角度４０°〜６０
°）傾けて配設されている。そこで、マスタプレート１
６１およびプレートホルダ１６２は、この傾き角度に合
わせて形成されている。
【０１７５】より具体的には、マスタプレート１６１
は、傾けて搭載される液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５
０に対応し、その長辺に平行な２辺と短辺に平行な２辺
とで方形に形成され、無駄な部分が生じないようにして
いる。また、マスタプレート１６１は、原型として狂い
が生じないように厚手の透明な石英ガラスで構成されて
いる。
【０１７６】マスタプレート１６１の表面には、各液滴
吐出ヘッド３の基準位置を表す各５つのヘッド基準マー
ク１６４，１６４，１６４，１６４，１６４を１組とし
て、これが両側に６組ずつ計１２組形成されている。ま
た、この１２組のヘッド基準マーク１６４の外側には、
キャリッジ２の基準位置を表す一対のキャリッジ基準マ
ーク１６５，１６５が形成されている。さらに、端部に
位置するヘッド基準マーク１６４の近傍には、認識カメ
ラ３５３の画素分解能を調整するための被写体画像１６
６が形成されている。
【０１７７】各５つのヘッド基準マーク１６４は、液滴
吐出ヘッド３におけるノズル形成面５２の中心位置と、
２列のノズル列５３，５３のそれぞれ最外端部に位置す
る計４つの吐出ノズル５７，５７，５７，５７の位置を
表示している。図１８（ａ）に示すように、各ヘッド基
準マーク１６４は、円形ラインの内部に中抜きの十字を
描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成され
ている。したがって、これを認識カメラ３５３で画像認
識（撮像）すると、暗色の円形部分の内部に、明色の十
字部分が認識される。
【０１７８】上記と同様に、各キャリッジ基準マーク１
６５も、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと共
に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されている。
また、被写体画像１６６は、格子状に精度良く描いた縦
横の多数のラインで形成されている。なお、ノズル形成
面５２の中心位置を表すヘッド基準マーク１６４は、４
つの吐出ノズル５７の位置を表す４つのヘッド基準マー
ク１６４から演算可能であるため、省略してもよい。な
お、アライメントマスクＤに形成されたパターンは、Ｃ
ｒ等の金属に代表される不透明膜を一面形成し、その膜
を半導体技術を用いてパターニングする等して形成され
る。
【０１７９】プレートホルダ１６２は、図１９および図
２０に示すように、マスタプレート１６１より一回り大
きく形成した略方形のマスタ支持プレート１６８と、マ
スタ支持プレート１６８の裏面四隅に取り付けた樹脂製
の４つの脚ブロック１６９，１６９，１６９，１６９
と、マスタ支持プレート１６８の表面に設けられたマス
タプレート１６１を縦横不動に位置決めする複数のウレ
タンストッパ１７０と、マスタプレート１６１をマスタ
支持プレート１６８上に浮いた状態で支持する複数の支
持ピン１７１と、支持ピン１７１に対応して設けられマ
スタプレート１６８を上側から押さえる複数の押さえブ
ロック１７２とを備えている。
【０１８０】複数のウレタンストッパ１７０は、マスタ
プレート１６１の四辺に各２個ずつ突き当てられてい
る。また、複数の支持ピン１７１は、マスタプレート１
６１の隅部に各２個ずつ配置され、且つマスタ支持プレ
ート１６８に対し高さ調節可能に取り付けられている。
すなわち、各支持ピン１７１は、アジャストボルトの構
造を有しており、マスタプレート１６１の表面、すなわ
ちマーク形成面１６１ａのレベルを調整できるようにな
っている。複数の押さえブロック１７２は、それぞれ支
持ピン１７１に対応しており、支持ピン１７１との間に
マスタプレート１６１を挟み込むようにして、これを押
さえている。
【０１８１】このように構成されたアライメントマスク
Ｄは、後述する組立装置Ａのセットテーブル２３１に固
定される。このため、マスタ支持プレート１６８の左右
の各縁部には、２つの固定孔１７３，１７３と、２つの
固定孔１７３，１７３間に配設したピン孔１７４とが形
成されている。そして、アライメントマスクＤとヘッド
ユニット１とは、組立装置Ａのセットテーブル２３１に
交換セットされる。
【０１８２】次に、液滴吐出ヘッド３の組立装置Ａおよ
び組立方法について説明する。組立装置Ａは、キャリッ
ジ２に１２個の液滴吐出ヘッド３を仮装着した上記のヘ
ッドユニット１を組立対象物とし、ヘッドユニット１の
キャリッジ２に各液滴吐出ヘッド３を精度良く位置決め
して接着（仮固定）するものである。なお、この組立装
置Ａで、液滴吐出ヘッド３を仮固定したヘッドユニット
１は、洗浄工程および上記のハンドル１４等の部品組込
み工程を経て、描画装置Ｂにセットされる。
【０１８３】図２１ないし図２５の外観図に示すよう
に、組立装置Ａは、架台２０１上に透明な安全カバー２
０２を有し、架台２０１にエアー供給機器２０３等を組
み込むと共に、安全カバー２０２内に機台２０４に載置
するようにして主構成装置２０５を収容して、構成され
ている。架台２０１には、４個のキャスタ２０６と６個
のアジャストボルト付き支持脚２０７とが設けられてい
る。安全カバー２０２の正面には、ヘッドユニット１を
導入するための開閉扉２０８が設けられ、またその上面
には、警告灯２０９が立設されている。
【０１８４】主構成装置２０５は、ヘッドユニット１を
搭載しこれを水平面内においてＸ・Ｙ・θ方向に移動さ
せるユニット移動装置２１１と、キャリッジ２に仮装着
されている各液滴吐出ヘッド３の位置補正を行うヘッド
補正装置２１２と、キャリッジ２に各液滴吐出ヘッド３
を接着する仮固定装置２１３と、液滴吐出ヘッド３の位
置補正に先立ってキャリッジ２および各液滴吐出ヘッド
３を位置認識する認識装置２１４と、これらユニット移
動装置２１１、ヘッド補正装置２１２、仮固定装置２１
３および認識装置２１４を統括制御する制御装置（図５
０参照）２１５とを備えている。
【０１８５】この組立装置Ａでは、予めユニット移動装
置２１１に上記のアライメントマスクＤを導入し、認識
装置２１４によりアライメントマスクＤの各基準マーク
１６４，１６５を画像認識して、キャリッジ２および各
液滴吐出ヘッド３の基準位置データを記憶し、この基準
位置データ（マスタデータ）に基づいてキャリッジ２お
よび各液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。なお、
アライメントマスクＤは、新規のヘッドユニット１の導
入組立時は元より、同一のヘッドユニット１であって
も、その組立個数や稼動時間に基づいて、定期的に導入
される。もちろん、その際に基準位置データはリセット
される。
【０１８６】一方、ヘッドユニット１は、各液滴吐出ヘ
ッド３のヘッド本体５０を上向きにしてユニット移動装
置２１１の上面にセットされ、ヘッドユニット１の組立
ては、先ず認識装置２１４によるキャリッジ２の位置認
識からスタートする。キャリッジ２が位置認識される
と、この認識データと基準位置データとが比較され、そ
の比較結果に基づいて、ユニット移動装置２１１により
キャリッジ２の位置補正が行われる。次に、認識装置２
１４により液滴吐出ヘッド３が位置認識され、この認識
結果（比較結果）に基づいてヘッド補正装置２１２によ
り、液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。
【０１８７】続いて、この位置補正状態を維持しつつ、
仮固定装置２１３により、ヘッド保持部材４を介して液
滴吐出ヘッド３がキャリッジ２に接着される。またその
際、接着剤が硬化するまで、ヘッド補正装置２１２は、
液滴吐出ヘッド（ヘッド保持部材４）３を動かないよう
に押さえている。そして、この液滴吐出ヘッド３の位置
認識から接着までの工程を、液滴吐出ヘッド３の個数分
繰り返えすようにし、全液滴吐出ヘッド３の仮固定が完
了する。
【０１８８】図２１および図２６に示すように、ユニッ
ト移動装置２１１は、３個所のアジャストボルト２１７
により水平に支持した板状の機台２０４に、広い占有面
積をもって載置されている。ユニット移動装置２１１
は、ヘッドユニット１を反転状態でセットするセットテ
ーブル２３１と、セットテーブル２３１を下側から支持
するθテーブル２３２と、θテーブル２３２を下側から
支持するＸ・Ｙテーブル２３３とを、備えている。ヘッ
ドユニット１は、セットテーブル２３１と共に搭載した
液滴吐出ヘッド３の傾きに合わせ、傾けてセットされて
いる。このため、液滴吐出ヘッド３の主走査方向に相当
する方向がＸ軸方向となり、副走査方向がＹ軸方向とな
る。
【０１８９】図２７に示すように、セットテーブル２３
１は、複数の円形抜き孔２３６を形成した方形のベース
プレート２３５と、ベースプレート２３５の両側に固定
した一対の帯状ブロック２３７，２３７とを有してい
る。各帯状ブロック２３７の上面には、位置決めピン２
３８が立設される共に２つのねじ孔２３９，２３９が形
成されている。すなわち、ヘッドユニット１はセットテ
ーブル２３１に対し、左右の２個所で位置決めされ、計
４個所でねじ止め固定されるようになっている。また、
ベースプレート２３５の中央部分には、セットテーブル
２３１をθテーブル２３２に固定するための４つの貫通
孔２４０等が形成されている。
【０１９０】このように、ヘッドユニット１は、セット
テーブル２３１を介してθテーブル２３２に固定され、
同様にアライメントマスクＤも、セットテーブル２３１
を介してθテーブル２３２に固定されるようになってい
る。この場合、ヘッドユニット１とアライメントマスク
Ｄとは、θテーブル２３２に固定したヘッドユニット１
の各液滴吐出ヘッド３のノズル形成面５２と、θテーブ
ル２３２に固定したアライメントマスクＤのマーク形成
面（マスタプレートの表面）１６１ａとが、同一水平面
内に位置するように設計されている。
【０１９１】同様に、ヘッドユニット１の重量と、プレ
ートホルダ１６２を含むアライメントマスクＤの重量と
が、略同一重量となるように設計されている。これによ
り、アライメントマスクＤの位置認識動作とヘッドユニ
ット１の位置認識動作とを、全く同一条件で行えるよう
にしている。なお、セットテーブル２３１は、ヘッドユ
ニット１に対し専用部品となっており、ヘッドユニット
１が変更されるとこれに合わせてセットテーブル２３１
も変更される。
【０１９２】次に、図２８、図２９および図３０を参照
して、θテーブル２３２について説明する。θテーブル
２３２は、セットテーブル２３１を介してヘッドユニッ
ト１を微小回転（微小回動）させる回転作動部２４２
と、回転作動部２４２を駆動する進退駆動部２４３とで
構成されている。回転作動部２４２は、セットテーブル
２３１が固定されるテーブル本体２４５と、テーブル本
体２４５から進退駆動部２４３側に延びる連結アーム２
４６と、テープル本体２４５を回転自在に支持するロー
ラリング２４７と、ローラリング２４７を支持する支持
台２４８とを有している。この場合、セットテーブル２
３１は、テーブル本体２４５に設けた２個所の位置決め
ピン２５０，２５０と、４個所のねじ孔２５１を介し
て、テーブル本体２４５の上面に位置決め状態でねじ止
めされている。
【０１９３】進退駆動部２４３は、動力源を構成するθ
テーブルモータ（サーボモータ）２５３と、θテーブル
モータ２５３の主軸２５４にカップリング２５５を介し
て連結されボールねじ２５６と、ボールねじ２５６が螺
合する雌ねじブロック２５７と、雌ねじブロック２５７
をボールねじ２５６の軸方向（Ｘ軸方向に）にスライド
自在に支持する主スライダ２５８とを有しており、また
上記の連結アーム２４６の先端部が連結されアーム受け
２６０と、ベアリング２６１を介してアーム受け２６０
を回動自在に軸支する鉛直軸部材２６２と、雌ねじブロ
ック２５７に対し鉛直軸部材２６２をＹ軸方向にスライ
ド自在に支持する副スライダ２６３とを有している。
【０１９４】θテーブルモータ２５３は正逆回転可能に
構成され、θテーブルモータ２５３が正逆回転すると、
ボールねじ２５６により、雌ねじブロック２５７が主ス
ライダ２５８に案内されてＸ軸方向に進退する。雌ねじ
ブロック２５７が進退すると、これに支持されている副
スライダ２６３おび鉛直軸部材２６２もＸ軸方向に進退
する。さらに、鉛直軸部材２６２が進退すると、これに
軸着されているアーム受け２６０を介して、連結アーム
２４６およびテーブル本体２４５がテーブル本体２４５
の軸心を中心に回動する。すなわち、テーブル本体２４
５が水平面内において、正逆微小回転する（θ方向に正
逆移動）。
【０１９５】また、この回動に伴って、テーブル本体２
４５と鉛直軸部材２６２との中心間距離が変化するが、
この距離の変化は、副スライダ２６３を介して鉛直軸部
材２６２がＹ軸方向に適宜、微小移動することにより吸
収される。なお、雌ねじブロック２５７から突出する遮
光板２６５と、雌ねじブロック２５７の進退に伴って遮
光板２６５が臨む３個のフォトインタラプタ２６６によ
り、雌ねじブロック２５７の移動端位置、すなわちテー
ブル本体２４５の回動範囲（角度）が規制されるように
なっている（オーバーランの防止）。
【０１９６】進退駆動部２４３は、主スライダ２５８の
下側に設けた支持プレート２６７に支持されており、こ
の支持プレート２６７が回転作動部２４２の支持台２４
８に固定されている。そして、この支持台２４８がＸ・
Ｙテーブル２３３に載置されている。
【０１９７】次に、図２６、図３１および図３２を参照
して、Ｘ・Ｙテーブル２３３について説明する。Ｘ・Ｙ
テーブル２３３は、θテーブル２３２を下側から支持す
る支持ブロック２７０と、支持ブロック２７０をＸ軸方
向にスライド自在に支持するＸ軸テーブル２７１と、Ｘ
軸テーブル２７１をＹ軸方向にスライド自在に支持する
Ｙ軸テーブル２７２とを有している。支持ブロック２７
０には、４箇所にねじ孔２７４を有しており、この４箇
所にねじ孔２７４を介して支持ブロック２７０にθテー
ブル２３２が固定されている。
【０１９８】Ｘ軸テーブル２７１は、Ｘ軸エアースライ
ダ２７６と、Ｘ軸リニアモータ２７７と、Ｘ軸エアース
ライダ２７６に併設したＸ軸リニアスケール２７８とで
構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２７２は、Ｙ軸
エアースライダ２７９と、Ｙ軸リニアモータ２８０と、
Ｙ軸エアースライダ２７９に併設したＹ軸リニアスケー
ル２８１とで構成されている。なお、図中の符号、２８
２，２８３は、それぞれＸ軸ケーブルベア（登録商標）
およびＹ軸ケーブルベアである。また、符号２８４，２
８４は、両リニアモータ２７７，２８０のアンプであ
る。
【０１９９】Ｘ軸リニアモータ２７７およびＹ軸リニア
モータ２８０は、適宜制御駆動され、θテーブル２３２
をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。すなわち、セ
ットテーブル２３１にセットされたヘッドユニット（或
いはアライメントマスクＤ）１は、水平面内において、
θテーブル２３１によりθ軸方向に移動すると共に、Ｘ
・Ｙテーブル２３３によりＸ軸方向およびＹ軸方向に移
動する。
【０２００】次に、ヘッド補正装置２１２について説明
する。ヘッド補正装置２１２は、認識装置２１４による
液滴吐出ヘッド３の位置認識に基づき、ヘッド保持部材
４を介して液滴吐出ヘッド３をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方
向に微小移動させて、液滴吐出ヘッド３の位置決め（位
置補正）を行うものである。また同時に、ヘッド補正装
置２１２は仮固定装置２１３と協働し、接着剤が凝固す
るまでヘッド保持部材４をキャリッジ２に押し付けるよ
う機能する。
【０２０１】図２３および図３３に示すように、ヘッド
補正装置２１２は、上記の機台２０４の奥側に取り付け
た補正装置用スタンド３０１と、これに載置された補正
用Ｘ・Ｙテーブル３０２と、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０
２に支持された補正用θテーブル３０３と、補正用θテ
ーブル３０３に支持されたアームユニット３０４とで構
成されている。この場合、補正用θテーブル３０３は、
ユニット移動装置２１１のθテーブル２３２と全く同一
の構造を有しているため、ここでは説明を省略する。な
お、θテーブル２３２ではその進退駆動部２４３が左側
に位置するように配設されているが、この補正用θテー
ブル３０３では右側に位置するように配設されている
（図２３参照）。
【０２０２】補正装置用スタンド３０１は、図３３に示
すように、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２が載置されるベ
ースプレート３０７と、ベースプレート３０７を支持す
る３組の脚ユニット３０８，３０８，３０８とを有して
いる。３組の脚ユニット３０８は、左部、右部および中
央後部の３個所に配設されており、それぞれ一対の支柱
３０９，３０９と、一対の支柱３０９，３０９の上下に
固定した上板３１０および下板３１１とで構成されてい
る。
【０２０３】この場合、補正装置用スタンド３０１の下
側空間には、ユニット移動装置２１１により移動するヘ
ッドユニット１が臨み、補正装置用スタンド３０１から
張り出したアームユニット３０４がこのヘッドユニット
１に上側から臨む（ヘッド保持部材４に係合）ようにな
っている。そして、ヘッドユニット１の移動およびキャ
リッジ２の位置補正は、ユニット移動装置２１１により
行われ、各液滴ヘッド３の位置補正は、このヘッド補正
装置２１２により行われる。したがって、任意の１の液
滴吐出ヘッド３が仮固定された後、ユニット移動装置２
１１がヘッドユニット１を移動させて、次の液滴吐出ヘ
ッド３をヘッド補正装置２１２に臨ませる。
【０２０４】図３３ないし図３６に示すように、補正用
Ｘ・Ｙテーブル３０２は、補正装置用スタンド３０１の
中央に載置されており、補正用θテーブル３０２を支持
する支持ブロック３１４と、支持ブロック３１４をＸ軸
方向にスライド自在に支持する補正用Ｘ軸テーブル３１
５と、補正用Ｘ軸テーブル３１５をＹ軸方向にスライド
自在に支持する補正用Ｙ軸テーブル３１６とを有してい
る。支持ブロック３１４には、４箇所にねじ孔３１８を
有しており、この４箇所にねじ孔３１８を介して支持ブ
ロック３１４に補正用θテーブル３０３が固定されてい
る。
【０２０５】補正用Ｘ軸テーブル３１５は、Ｘ軸エアー
スライダ３２０と、Ｘ軸リニアモータ３２１と、Ｘ軸エ
アースライダ３２０に併設したＸ軸リニアスケール３２
２とで構成されている。同様に、補正用Ｙ軸テーブル３
１６は、Ｙ軸エアースライダ３２３と、Ｙ軸リニアモー
タ３２４と、Ｙ軸エアースライダ３２３に併設したＹ軸
リニアスケール３２５とで構成されている。なお、図中
の符号、３２６，３２７は、それぞれＸ軸ケーブルベア
およびＹ軸ケーブルベアであり、また、符号３２８，３
２８は、両リニアモータ３２１，３２４のアンプであ
る。
【０２０６】図３７、図３８および図３９に示すよう
に、アームユニット３０４は、ヘッド保持部材４の一対
の係合孔７６，７６に係合する一対の係合アーム３３
１，３３１と、一対の係合アーム３３１，３３１を支持
するブラケット３３２と、ブラケット３３２を昇降させ
るアーム昇降機構３３３と、アーム昇降機構３３３を支
持する支持台３３４とで構成されている。支持台３３４
は、補正用θテーブル３０３に固定される固定板３３６
と、固定板３３６から前方に延びる一対のＬ字アーム３
３７，３３７と、一対のＬ字アーム３３７，３３７の前
端に固定した鉛直板３３８とで構成され、前方に向かっ
て逆「Ｌ」字状に延在している。
【０２０７】アーム昇降機構３３３は、ブラケット３３
２を昇降自在に支持する昇降スライダ３４０と、鉛直板
３３８の下部に固定され昇降スライダ３４０を昇降させ
るエアーシリンダ３４１とで構成されている。エアーシ
リンダ３４１は、上記のエアー供給機器２０３に接続さ
れており、エアーバルブ等の切り替えにより昇降スライ
ダ３４０を案内にしてブラケット３３２を昇降させる。
ブラケット３３２は、「Ｌ」字状に形成され、先端が二
股に形成されている。そして、この二股部分に、それぞ
れ係合アーム３３１，３３１が下向きに取り付けられて
いる。
【０２０８】各係合アーム３３１は、図４０に示すよう
に、ヘッド保持部材４の係合孔７６に挿入される係合ピ
ン３４３と、係合ピン３４３を上下動自在に保持するピ
ンホルダ３４４と、ピンホルダ３４４に内蔵され係合ピ
ン３４３を下方に付勢するコイルばね３４５とを有して
いる。ピンホルダ３４４の上端部は、ブラケット３３２
に下側から嵌合するようにして固定されている。係合ピ
ン３４３の先端部は、テーパー形状に形成されており、
このテーパー部３４７は、ヘッド保持部材４の係合孔７
６に対し基端側が太径に先端側が細径に形成されてい
る。これにより、係合ピン３４３は係合孔７６にがたつ
きなく、係合するようになっている。
【０２０９】初期状態において、両係合アーム３３１，
３３１はエアーシリンダ３４１により上昇端位置に移動
しており、ユニット移動装置２１１によりヘッドユニッ
ト１を移動させた後、エアーシリンダ３４１により両係
合アーム３３１，３３１を下降させると、その一対の係
合ピン３４３，３４３が、所望のヘッド保持部材４の係
合孔７６，７６に係合する。また、エアーシリンダ３４
１は、上記の制御装置２１５によりタイマー制御されて
おり、仮固定装置２１３により塗布された接着剤が凝固
するまで、位置補正後のヘッド保持部材４をそのままキ
ャリッジ２に押圧している。
【０２１０】すなわち、両係合アーム３３１，３３１を
下降させたエアーシリンダ３４１は、ヘッド保持部材４
の位置補正および接着剤の塗布（詳細後述する）が行わ
れた後、接着剤の凝固時間（所定の接着強度に達する時
間）が経過した時に両係合アーム３３１，３３１を元の
位置に上昇させる。なお、本実施形態では、係合ピン３
４３をコイルばね３４５で付勢するようにしているが、
コイルばね３４５を省略し、係合ピン３４３とピンホル
ダ３４４とを一体化した単純な構造にしてもよい。
【０２１１】以上の構成では、アームユニット３０４の
両係合アーム３３１，３３１が下降して、ヘッド保持部
材４に係合すると、補正用θテーブル３０３および補正
用Ｘ・Ｙテーブル３０２が駆動して、ヘッド保持部材４
を介して液滴吐出ヘッド３を位置決めする。そして、接
着剤が凝固するまで、この位置決め状態が維持される。
すなわち、アームユニット３０４の両係合アーム３３
１，３３１が、位置きめ状態でヘッド保持部材４をキャ
リッジ２に向かって押さえており、このヘッド保持部材
４に仮固定装置（接着）２１３が臨むことになる。
【０２１２】次に、認識装置２１４について説明する。
図２４および図４１に示すように、認識装置２１４は、
補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２の前部を跨ぐように補正装
置用スタンド３０１上に固定したカメラスタンド３５１
と、カメラスタンド３５１の前面に固定したカメラ位置
調節ユニット３５２と、カメラ位置調節ユニット３５２
に取り付けた一対の認識カメラ（ＣＣＤカメラ）３５
３，３５３とで構成されている。この場合、一対の認識
カメラ３５３，３５３は、認識対象となるヘッドユニッ
ト（アライメントマスクＤ）１に対し、固定的に設けら
れている。
【０２１３】カメラスタンド３５１は、逆「Ｌ」字状に
前方に延びる左右一対の脚片部材３５５，３５５と、一
対の脚片部材３５５，３５５間に渡した横長の前面プレ
ート３５６とを有している。カメラ位置調節ユニット３
５２を介して前面プレート３５６に固定された一対の認
識カメラ３５３，３５３は、ヘッド補正装置２１２の一
対の係合アーム３３１，３３１より幾分高い位置に、且
つ幾分前方に張り出した位置に配設され（図２５参
照）、係合アーム３３１との干渉が防止されるようにな
っている。
【０２１４】図４１ないし図４４に示すように、カメラ
位置調節ユニット３５２は、前面プレート３５６に添設
したＺ軸調整プレート３５８と、Ｚ軸調整プレート３５
８の下端部に取り付けたマイクロステージ３５９と、左
側の認識カメラ３５３ａを保持する左カメラホルダ３６
０と、右側の認識カメラ３５３ｂを保持する右カメラホ
ルダ３６１とを有している。Ｚ軸調整プレート３５８
は、前面プレート３５６との間に鉛直方向に延びる一対
のガイドレール３６２，３６２を有すると共に、前面プ
レート３５６の上端に突き当てたアジャストボルト３６
３を有している。このアジャストボルト３６３の正逆回
転により、Ｚ軸調整プレート３５８を介して、両認識カ
メラ３５３，３５３の上下方向の位置が調節できるよう
になっている。
【０２１５】マイクロステージ３５９は、右カメラホル
ダ３６１を介して右側の認識カメラ３５３ｂを支持する
Ｘ軸ステージ３６５と、Ｘ軸ステージ３６５を支持する
と共にＺ軸調整プレート３５８の下端部に固定したＹ軸
ステージ３６６とで構成されている。Ｘ軸ステージ３６
５は、右側の認識カメラ３５３ｂをＸ軸方向に微小移動
可能に構成され、右側の認識カメラ３５３ｂにおける前
後方向の位置を調節可能に構成されている。同様に、Ｙ
軸ステージ３６６は、右側の認識カメラ３５３ｂにおけ
る左右方向の位置を調節可能に構成されている。
【０２１６】一方、左カメラホルダ３６０は、Ｚ軸調整
プレート３５８の下端部に固定されている。このため、
左カメラホルダ３６０を介して固定的に設けた左側の認
識カメラ３５３ａに対し、右側の認識カメラ３５３ｂを
マイクロステージ３５９で位置調節するようになってい
る。上述したように、左右の認識カメラ３５３ａ，３５
３ｂにより、２つの吐出ヘッド５７ａ，５７ａを同時に
位置認識するため、特に新規の液滴吐出ヘッド３を扱う
ときには、予めマイクロステージ３５９により、左右の
認識カメラ３５３ａ，３５３ｂの離間距離、すなわち視
野間距離を調節するようにしている。なお、図中の符号
３６７は、カメラ位置調節ユニット３５２および両認識
カメラ３５３，３５３を一体に覆うカメラカバーであ
る。
【０２１７】このように構成された認識装置２１４で
は、一方の認識カメラ３５３とユニット移動機構２１１
のＸ軸テーブル２７１との協働により、キャリッジ２の
２つの基準マーク（基準ピン１２，１２）２６，２６が
位置認識される。すなわち、一方の認識カメラ３５３に
より一方の基準ピン１２の画像認識が行われ、続いてキ
ャリッジ２がＸ軸方向に移動して他方の基準ピン１２の
画像認識が行われる。そして、この認識結果に基づい
て、ユニット移動装置２１１によりキャリッジ（ヘッド
ユニット１）２の位置補正が行われ、さらに確認のため
再度の位置認識が行われる。
【０２１８】また、一対の認識カメラ３５３，３５３に
より、各液滴吐出ヘッド３の基準となる２つの吐出ノズ
ル５７ａ，５７ａが、同時に位置認識される。すなわ
ち、該当する液滴吐出ヘッド３が一対の認識カメラ３５
３，３５３の直下に移動して、２つの吐出ヘッド５７
ａ，５７ａが同時に画像認識される。また、この状態
で、ヘッド保持部材４にヘッド補正装置２１２が臨ん
で、液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる、且つ仮固
定装置２１３による接着が行われる。なお、アライメン
トマスクＤにおける各マーク１６４，１６５の認識も、
上記と同様に為される。
【０２１９】次に、仮固定装置２１３について説明す
る。図２２および図４５に示すように、上記の機台２０
４の右部には、補正装置用スタンド３０１を跨ぐように
して前後方向に延びる共有スタンド２１９が設けられて
おり、仮固定装置２１３は、この共有スタンド２１９の
前部に配設されている。仮固定装置２１３は、４本のス
テー３７１で共有スタンド２１９に支持した方形支持プ
レート３７２と、方形支持プレート３７２の下面に固定
したエアーテーブル３７３と、エアーテーブル３７３の
先端部に固定した接着剤塗布装置３７４と、ホーム位置
に移動した接着剤塗布装置３７４に下側から臨む接着剤
トレイ３７５とを備えている。接着剤トレイ３７５は、
共有スタンド２１９に固定されており、接着剤塗布装置
３７４から垂れた接着剤を受けるようになっている。
【０２２０】図４５ないし図４９に示すように、エアー
テーブル３７３は、方形支持プレート３７２に取り付け
たＹ軸エアーテーブル３７７と、Ｙ軸エアーテーブル３
７７の先端部に取り付けたサブＹ軸エアーテーブル３７
８と、サブＹ軸エアーテーブル３７８の先端部に取り付
けたＸ軸エアーテーブル３７９と、Ｘ軸エアーテーブル
３７９の先端部に取り付けたＺ軸エアーテーブル３８０
とで構成されている。そして、これらＹ軸エアーテーブ
ル３７７、サブＹ軸エアーテーブル３７８、Ｘ軸エアー
テーブル３７９およびＺ軸エアーテーブル３８０は、い
ずれも上記のエアー供給機器２０３に接続されたエアー
シリンダ３７７ａ，３７８ａ，３７９ａ，３８０ａと、
スライダ３７７ｂ，３７８ｂ，３７９ｂ，３８０ｂとで
構成されている。
【０２２１】接着剤塗布装置３７４は、上記のＺ軸エア
ーテーブル３８０に固定した鉛直支持板３８２と、鉛直
支持板３８２の下部から先方に突出する左右一対の水平
支持ブロック３８３，３８３と、各水平支持ブロック３
８３に取り付けた一対のディスペンサユニット３８４，
３８４と、上記の共有スタンド２１９に支持したディス
ペンサコントローラ３８５とで構成されている。一対の
ディスペンサユニット３８４，３８４は、上記一対の係
合アーム３３１，３３１や一対の認識カメラ３５３，３
５３に対し、前方から対峙するように配設されている。
【０２２２】各ディスペンサユニット３８４は、先端に
接着剤注入ノズル３８７を装着したディスペンサ３８８
と、ディスペンサ３８８に接着剤を供給するカートリッ
ジ形式のシリンジ３８９と、ディスペンサ３８８および
シリンジ３８９を保持するディスペンサホルダ３９０と
を備えている。ディスペンサホルダ３９０は、水平支持
ブロック３８３の先端部に角度調節自在に取り付けられ
ており、本実施形態では、接着剤注入ノズル３８７が水
平に対し４５度程度、傾くように調節されている。な
お、各水平支持ブロック３８３は、鉛直支持板３８２に
対し、前後および左右方向に位置調節可能に固定されて
いる。
【０２２３】上述したように、接着剤は、上記の２本の
接着剤注入ノズル３８７，３８７を用い、ヘッド保持部
材４の対となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７
ａに同時に注入（塗布）されると共に、両接着剤注入ノ
ズル３８７，３８７のＹ軸方向への移動を経た後、対と
なる他方の２つの不接着剤注入孔７７ｂ，７７ｂに同時
に注入（塗布）される。したがって、両接着剤注入ノズ
ル３８７，３８７の離間寸法は、ヘッド保持部材４にお
ける対を為す接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ），７７ａ
（７７ｂ）の離間寸法に対応している。また、所定の傾
き角度を有する各接着剤注入ノズル３８７は、長孔であ
る接着剤注入孔７７に差し込まれ、その内周面に吹き付
けるようにして接着剤を注入する。
【０２２４】ところで、ヘッド補正装置２１２は、位置
決め動作を完了した状態で、そのままヘッド保持部材４
をキャリッジ２に押し付けるようにして、これを不動に
保持している。これに対し、Ｘ軸エアーテーブル３７９
およびＹ軸エアーテーブル３７７が駆動して、２本の接
着剤注入ノズル３８７，３８７をヘッド保持部材４の２
つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａの直上部に移動させ
る。ここで、Ｚ軸エアーテーブル３８０が駆動して、２
本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を２つの接着剤注
入孔７７ａ，７７ａに同時に挿入する。
【０２２５】つぎに、シリンジ３８９により、２本の接
着剤注入ノズル３８７，３８７から所定量（ディスペン
サコントローラ３８５で調整）の接着剤が注入される。
続いて、Ｚ軸エアーテーブル３８０により、２本の接着
剤注入ノズル３８７，３８７を上昇させると共に、サブ
Ｙ軸エアーテーブル３７８を駆動して、２本の接着剤注
入ノズル３８７，３８７を、他方の２つの接着剤注入孔
７７ｂ，７７ｂの直上部に移動させる。この場合、ヘッ
ド保持部材４における対となる２組の接着剤注入孔７７
ａ（７７ｂ），７７ａ（７７ｂ）間の距離は、一定して
いるため、ここでは、Ｙ軸エアーテーブル３７７を停止
させ、サブＹ軸エアーテーブル３７８のみを駆動させる
ようにしている。
【０２２６】次に、再度、接着剤注入ノズル３８７，３
８７を上昇させてから、仮固定装置２１３を休止させて
接着剤の凝固時間を待つ。凝固時間が経過すると、ヘッ
ド補正装置２１２がヘッド保持部材４に対する係合を解
き、任意の１つの液滴吐出ヘッド３の仮固定（位置決め
および接着）作業が完了する。そして、このヘッド補正
装置２１２と仮固定装置２１３との協働による液滴吐出
ヘッド３の位置決めおよび接着作業が、１２回繰り返さ
れることにより、液滴吐出ヘッド３の仮固定が完了し、
それぞれヘッド補正装置２１２と仮固定装置２１３はホ
ーム位置に戻る。
【０２２７】ここで、図５０を参照して、制御装置２１
５について説明すると共に、この制御装置２１５に基づ
くヘッドユニット１の一連の組立手順について説明す
る。同図のブロック図に示すように、制御装置２１５に
おける制御系は、キャリッジ２や液滴吐出ヘッド３の設
計上の位置データ等を操作パネル４０１により入力する
入力部４０２と、ユニット移動装置２１１等の構成装置
を駆動する各種のドライバ等を有する駆動部４０３と、
認識カメラ３５３により位置認識を行う検出部４０４
と、組立装置Ａの各構成装置を統括制御する制御部４０
５とを備えている。
【０２２８】駆動部４０３は、ユニット移動装置２１１
の各モータを駆動制御する移動用ドライバ４０７と、ヘ
ッド補正装置２１２の各モータを駆動制御する補正用ド
ライバ４０８と、仮固定装置２１３におけるエアーテー
ブル３７３の各エアーシリンダを駆動制御するエアー用
ドライバ４０９と、仮固定装置２１３におけるディスペ
ンサユニット３８４を制御するディスペンサコントロー
ラ３８５とを有している。
【０２２９】制御部４０５は、ＣＰＵ４１１、ＲＯＭ４
１２、ＲＡＭ４１３およびＰ−ＣＯＮ４１４を有してお
り、これらは互いにバス４１５を介して接続されてい
る。ＲＯＭ４１２には、ＣＰＵ４１１で処理する制御プ
ログラムを記憶する制御プログラムの他、各種の制御デ
ータを記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ４
１３は、外部から入力した位置データや、認識カメラ３
５３がアライメントマスクＤから得たマスタ位置データ
等を記憶する位置データ領域の他、各種レジスタ群を有
し、制御処理のための作業領域として使用される。
【０２３０】Ｐ−ＣＯＮ４１４は、ＣＰＵ４１１の機能
を補うと共に、周辺回路とのインターフェース信号を取
り扱うための論理回路やタイマー４１６が組み込まれて
いる。このため、Ｐ−ＣＯＮ４１４は、操作パネル４０
１と接続され入力部４０２からの各種指令などを、その
まま或いは加工してバス４１５に取り込む。また、Ｐ−
ＣＯＮ４１４はＣＰＵ４１１と連動して、ＣＰＵ４１１
等からバス４１５に出力されたデータや制御信号を、そ
のまま或いは加工して駆動部に出力する。
【０２３１】そして、ＣＰＵ４１１は、上記の構成によ
り、ＲＯＭ４１２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ
−ＣＯＮ４１４を介して各種検出信号、各種指令、各種
データ等を入力し、ＲＡＭ４１３内の各種データを処理
し、Ｐ−ＣＯＮ４１４を介して駆動部４０３に制御信号
を出力する。これにより、ユニット移動装置２１１、ヘ
ッド補正装置２１２、仮固定装置２１３等の組立装置Ａ
全体が制御される。
【０２３２】例えば、認識カメラ３５３から得たアライ
メントマスクＤのマスタ位置データ、および認識カメラ
３５３から得たヘッドユニット１のユニット位置データ
は、ＲＡＭ４１３内に格納され、ＲＯＭ４１２内の制御
プログラムに従って、マスタ位置データとユニット位置
データとが比較され、その比較結果に基づいて、ユニッ
ト移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２等が制御され
る。
【０２３３】ここで、実施形態の組立装置Ａによるヘッ
ドユニット１の組立方法について、順を追って説明す
る。この組立装置Ａでは、ヘッドユニット１の導入に先
立って、先ずアライメントマスクＤが導入される。アラ
イメントマスクＤがセットテーブル２３１にセットされ
ると、ユニット移動装置２１１が駆動し、アライメント
マスクＤの一方のキャリッジ基準マーク１６５を一方の
認識カメラ３５３に臨ませ、一方のキャリッジ基準マー
ク１６５を位置認識する。次に、ユニット移動装置２１
１のＸ軸テーブル２７１が駆動し、他方のキャリッジ基
準マーク１６５を認識カメラ３５３に臨ませ、他方のキ
ャリッジ基準マーク１６５を位置認識する。
【０２３４】次に、ユニット移動装置２１１が駆動し、
アライメントマスクＤの端部に位置するヘッド基準マー
ク１６４を一対の認識カメラ３５３，３５３に同時に臨
ませ、２個所のヘッド基準マーク１６４，１６４を同時
に位置認識する。これを、順に繰り返して、１２個の液
滴吐出ヘッド３に対応する１２組のヘッド基準マーク１
６４を位置認識する。このようにして、アライメントマ
スクＤの位置認識が完了したら、アライメントマスクＤ
をホーム位置に戻し、セットテーブル２３１にヘッドユ
ニット１を載せかえる。
【０２３５】ここで、ヘッドユニット１を上記と全く同
様の手順で移動させ、先ずキャリッジ２の一対の基準ピ
ン１２，１２を位置認識し、この認識結果に基づいて、
ユニット移動装置２１１によりキャリッジ（ヘッドユニ
ット１）２を位置補正する。次に、上記と同様の手順
で、第１番目の液滴吐出ヘッド３のヘッド本体（ヘッド
保持部材４）５０をヘッド補正装置２１２の一対の係合
アーム３３１に臨ませ、ヘッド保持部材４に係合アーム
３３１を係合させる。ここで、一対の認識カメラ３５
３，３５３によりヘッド本体５０の位置基準となる２つ
の吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置認識する。
【０２３６】次に、ヘッド補正装置２１２を駆動し、上
記の認識結果に基づきヘッド保持部材４を介して液滴吐
出ヘッド３を位置決めする。そして、この位置決め状態
のまま、仮固定装置２１３を駆動し、一対の接着剤注入
ノズル３８７，３８７をヘッド保持部材４に臨ませて、
接着剤の注入を行う。接着剤の注入は、仮固定装置２１
３のサブＹ軸エアーシリンダ３７８により、接着剤注入
ノズル３８７の移動を伴って２回行われる。接着剤の注
入が完了したら、タイマー制御により接着剤の硬化を待
って、ヘッド補正装置２１２のヘッド保持部材４への係
合を解く。
【０２３７】このようにして、第１番目の液滴吐出ヘッ
ド３の位置決めおよび仮固定が完了し、この作業を第２
番目から第１２番目の液滴吐出ヘッド３まで繰り返す。
そして、最後に、ユニット移動装置２１１、ヘッド補正
装置２１２および仮固定装置２１３を、それぞれホーム
位置に戻し、組み立てられたヘッドユニット１をセット
テーブル２３１から外す。その後、ヘッドユニット１
は、液滴吐出ヘッド３の洗浄を経ると共に、これに、ハ
ンドル１４や両アッセンブリ１５，１６等の構成部品を
組み込んで、描画装置Ｂに運び込まれる。
【０２３８】なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド３
を、ヘッド保持部材４を介してキャリッジ２に接着し、
接着部分が金属−金属の接着となるようにしているが、
液滴吐出ヘッド３を直接、キャリッジ２に接着する構造
にしてもよい。
【０２３９】ところで、本発明のヘッドユニットの組立
装置およびこれによって組み立てられるヘッドユニット
１は、上記の描画装置Ｂのみならず、各種フラットディ
スプレイの製造方法や、各種の電子デバイスおよび光デ
バイスの製造方法等にも適用可能である。そこで、この
ヘッドユニット１を用いた製造方法を、液晶表示装置の
製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、説明す
る。
【０２４０】図５１は、液晶表示装置のカラーフィルタ
の部分拡大図である。図５１（ａ）は平面図であり、図
５１（ｂ）は図５１（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０２４１】図５１（ａ）に示されるように、カラーフ
ィルタ５００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタ
エレメント）５１２を備え、画素と画素の境目は、仕切
り５１３によって区切られている。画素５１２の１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンク（フィルタ材料）が導入されている。この例では
赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ス
トライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わ
ない。
【０２４２】図５１（ｂ）に示されるように、カラーフ
ィルタ５００は、透光性の基板５１１と、遮光性の仕切
り５１３とを備えている。仕切り５１３が形成されてい
ない（除去された）部分は、上記画素５１２を構成す
る。この画素５１２に導入された各色のインクは着色層
５２１を構成する。仕切り５１３及び着色層５２１の上
面には、オーバーコート層５２２及び電極層５２３が形
成されている。
【０２４３】図５２は、本発明の実施形態によるカラー
フィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０２４４】膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃ
ｍの無アルカリガラスからなる透明基板５１１の表面
を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液
で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄
表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を
平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層５１４´を得る
（図５２：Ｓ１）。
【０２４５】この基板をホットプレート上で、８０℃で
５分間乾燥させた後、金属層５１４´の表面に、スピン
コートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成す
る。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を
描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をお
こなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割
合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフ
ォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングす
る。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエ
ッチング液でエッチング除去する。このようにして所定
のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリ
クス）５１４を得ることができる（図５２：Ｓ２）。遮
光層５１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、
遮光層５１４の幅は、およそ２２μｍである。
【０２４６】この基板上に、さらにネガ型の透明アクリ
ル系の感光性樹脂組成物５１５´をやはりスピンコート
法で塗布する（図５２：Ｓ３）。これを１００℃で２０
分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状
を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行な
う。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で
現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させることにより、バンク層５１５が形
成され、遮光層５１４及びバンク層５１５からなる仕切
り５１３が形成される（図５２：Ｓ４）。このバンク層
５１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バン
ク層５１５の幅は、およそ１４μｍである。
【０２４７】得られた遮光層５１４およびバンク層５１
５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板５１１
の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッ
チング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基
板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチン
グする。
【０２４８】次に、仕切り５１３で区切られて形成され
た画素５１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）
の各インクをインクジェット方式により導入する（図５
２：Ｓ５）。液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）
には、ピエゾ圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、
微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛
ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各イン
ク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとタ
ーゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよ
りターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行
曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止の
ためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ素子
を駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、
あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、イン
ク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パ
ターンにインクを塗布する。
【０２４９】インク（フィルタ材料）としては、例えば
ポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた
後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチ
ルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテート
を加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を
分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたも
のを用いる。
【０２５０】次に、塗布したインクを乾燥させる。ま
ず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層５１６のセ
ッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４
０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間
加熱してインク層５１６の硬化処理を行って、着色層５
２１が得られる（図５２：Ｓ６）。
【０２５１】上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピ
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層５２２を
形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）からなる電極層５２３を所要パターンで形成して、
カラーフィルタ５００とする（図５２：Ｓ７）。
【０２５２】図５３は、本発明の製造方法により製造さ
れる電気光学装置（フラットディスプレイ）の一例であ
るカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハ
ッチングは一部省略している。
【０２５３】このカラー液晶表示装置５５０は、カラー
フィルタ５００と対向基板５６６とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物５６５を封入することにより製造され
る。液晶表示装置５５０の一方の基板５６６の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極５６３とがマトリクス状に形成されている。ま
た、もう一方の基板として、画素電極５６３に対向する
位置に赤、緑、青の着色層５２１が配列するようにカラ
ーフィルタ５００が設置されている。
【０２５４】基板５６６とカラーフィルタ５００の対向
するそれぞれの面には、配向膜５６１、５６４が形成さ
れている。これらの配向膜５６１、５６４はラビング処
理されており、液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、基板５６６およびカラーフィルタ５００
の外側の面には、偏光板５６２、５６７がそれぞれ接着
されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示
せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、
液晶組成物５６５をバックライト光の透過率を変化させ
る光シャッターとして機能させることにより表示を行
う。
【０２５５】なお、電気光学装置は、本発明では上記の
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いることができる。
【０２５６】次に、図５２ないし図６６を参照して、有
機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説
明する。
【０２５７】（１）第１の実施の形態 第５４図乃至第５８図は、本発明の第１の実施の形態を
示す図であって、この実施の形態は、ＥＬ表示素子を用
いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したもの
である。より具体的には、配線としての走査線、信号線
及び共通給電線を利用して、光学材料としての発光材料
の塗布を行う例を示している。
【０２５８】第５４図は、本実施の形態における表示装
置６００の一部を示す回路図であって、この表示装置６
００は、透明の表示基板上に、複数の走査線６３１と、
これら走査線６３１に対して交差する方向に延びる複数
の信号線６３２と、これら信号線６３２に並列に延びる
複数の共通給電線６３３と、がそれぞれ配線された構成
を有するとともに、走査線６３１及び信号線６３２の各
交点毎に、画素領域素６００Ａが設けられている。
【０２５９】信号線６３２に対しては、シフトレジス
タ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを
備えるデータ側駆動回路６０１か設けられている。
【０２６０】また、走査線６３１に対しては、シフトレ
ジスタおよびレベルシフタを備える走査側駆動回路６０
２が設けられている。さらに、また、画素領域６００Ａ
の各々には、走査線６３１を介して走査信号がゲート電
極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ６４３
と、このスイッチング薄膜トランジスタ６４３を介して
信号線６３２から供給される画像信号を保持する保持容
量ｃａｐと、該保持容量ｃａｐによって保持された画像
信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジス
タ６４４と、このカレント薄膜トランジスタ６４４を介
して共通給電線６３３に電気的に接続したときに共通給
電線６３３から駆動電流が流れ込む画素電極６４２と、
この画素電極６４２と反射電極６５２との間に挟み込ま
れる発光素子６４１と、が設けられている。
【０２６１】かかる構成であれば、走査線６３１が駆動
されてスイッチング薄膜トランジスタ６４３がオンとな
ると、その時の信号線６３２の電位が保持容量ｃａｐに
保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて、カレント
薄膜トランジスタ６４４のオン・オフ状態が決まる。そ
して、カレント薄膜トランジスタ６４４のチャネルを介
して、共通給電線６３３から画素電極６４２に電流が流
れ、さらに発光素子６４１を通じて反射電極６５２に電
流が流れるから、発光素子６４１は、これを流れる電流
量に応じて発光する。
【０２６２】ここで、各画素領域６００Ａの平面構造
は、反射電極や発光素子を取り除いた状態での拡大平面
図である第５５図に示すように、平面形状が長方形の画
素電極６４２の四辺が、信号線６３２、共通給電線６３
３、走査線６３１及び図示しない他の画素電極用の走査
線によって囲まれた配置となっている。
【０２６３】第５６図〜第５８図は、画素領域６００Ａ
の製造過程を順次示す断面図であって、第５５図のＡ−
Ａ線断面に相当する。以下、第５６図〜第５８図に従っ
て、画素領域６００Ａの製造工程を説明する。
【０２６４】先ず、第５７図（ａ）に示すように、透明
の表示基板６２１に対して、必要に応じて、ＴＥＯＳ
（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料ガスと
してプラズマＣＶＤ法により厚さが約２０００〜５００
０オングストロームのシリコン酸化膜からなる下地保護
膜（図示せず。）を形成する。次いで、表示基板６２１
の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプ
ラズマＣＶＤ法により厚さが約３００〜７００オングス
トロームのアモルファスのシリコン膜からなる半導体膜
７００を形成する。次にアモルファスのシリコン膜から
なる半導体膜７００に対して、レーザアニールまたは固
相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜７００をポ
リシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例
えば、エキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラ
インビームを用い、その出力強度はたとえば２００ｍＪ
／ｃｍ2である。ラインビームについてはその短寸方向
におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分
が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。
【０２６５】次いで、第５６図（ｂ）に示すように、半
導体膜７００をパターニングして島状の半導体膜７１０
とし、その表面に対して、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシ
ラン）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ
法により厚さが約６００〜１５００オングストロームの
シリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜７２
０を形成する。なお、半導体膜７１０は、カレント薄膜
トランジスタ６４４のチャネル領域及びソース・ドレイ
ン領域となるものであるが、異なる断面位置においては
スイッチング薄膜トランジスタ６４３のチャネル領域及
びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されてい
る。つまり、第５６図〜第５８図に示す製造工程では二
種類のトランジスタ６４３、６４４が同時に作られるの
であるが、同じ手順で作られるため、以下の説明では、
トランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ６
４４についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジス
タ６４３については説明を省略する。
【０２６６】次いで、第５６図（ｃ）に示すように、ア
ルミニウム、タンタル、モリプデン、チタン、タングス
テンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形
成した後、パターニングし、ゲート電極６４４Ａを形成
する。
【０２６７】この状態で、高温度のリンイオンを打ち込
んで、シリコン薄膜７１０に、ゲート電極６４４Ａに対
して自己整合的にソース・ドレイン領域６４４ａ、６４
４ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分
がチャネル領域６４４ｃとなる。
【０２６８】次いで、第５６図（ｄ）に示すように、層
間絶縁膜７３０を形成した後、コンタクトホール７３
１、７３２を形成し、それらコンタクトホール７３１、
７３２内に中継電極７３３、７３４を埋め込む。
【０２６９】次いで、第５６図（ｅ）に示すように、層
間絶縁膜７３０上に、信号線６３２、共通給電線６３３
及び走査線（第５６図には図示せず。）を形成する。こ
のとき、信号線６３２、共通給電線６３３及び走査線の
各配線は、配線として必要な厚さに捕らわれることな
く、十分に厚く形成する。具体的には、各配線を１〜２
μｍ程度の厚さに形成する。ここで中継電極７３４と各
配線とは、同一工程で形成されていてもよい。この時、
中継電極７３３は、後述するＩＴＯ膜により形成される
ことになる。
【０２７０】そして、各配線の上面をも覆うように層間
絶縁膜７４０を形成し、中継電極７３３に対応する位置
にコンタクトホール７４１を形成し、そのコンタクトホ
ール７４１内にも埋め込まれるようにＩＴＯ膜を形成
し、そのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線６３２、
共通給電線６３３及び走査線に囲まれた所定位置に、ソ
ース・ドレイン領域６４４ａに電気的に接続する画素電
極６４２を形成する。
【０２７１】ここで、第５６図（ｅ）では、信号線６３
２及び共通給電線６３３に狭まれた部分が、光学材料が
選択的に配置される所定位置に相当するものである。そ
して、その所定位置とその周囲との間には、信号線６３
２や共通給電線６３３によって段差６１１が形成されて
いる。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く
なっている凹型の段差６１１が形成されている。
【０２７２】次いで、第５７図（ａ）に示すように、表
示基板６２１の上面を上に向けた状態で、インクジェッ
トヘッド方式により、発光素子６４１の下層部分に当た
る正孔注入層を形成するための液状（溶媒に溶かされた
溶液状）の光学材料（前駆体）６１２Ａを吐出し、これ
を段差６１１で囲まれた領域内（所定位置）に選択的に
塗布する。
【０２７３】正孔注入層を形成するための材料として
は、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフ
ェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス
ー（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキ
サン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニ
ウム等が挙げられる。
【０２７４】このとき、液状の前駆体６１２Ａは、流動
性が高いため、水平方向に広がろうとするが、塗布され
た位置を取り囲むように段差６１１が形成されているた
め、その液状の前駆体６１２Ａの１回当たりの塗布量を
極端に大量にしなければ、液状の前駆体６１２Ａが段差
６１１を越えて所定位置の外側に広がることは防止され
る。
【０２７５】次いで、第５７図（ｂ）に示すように、加
熱或いは光照射により液状の前駆体６１２Ａの溶媒を蒸
発させて、画素電極６４２上に、固形の薄い正孔注入層
６４１ａを形成する。ここでは、液状の前駆体６１２Ａ
の濃度にもよるが、薄い正孔注入層６４１ａしか形成さ
れない。そこで、より厚い正孔注入層６４１ａを必要と
する場合には、第５７図（ａ）及び（ｂ）の工程を必要
回数繰り返し実行し、第５７図（ｃ）に示すように、十
分な厚さの正孔注入層６４１Ａを形成する。
【０２７６】次いで、第５８図（ａ）に示すように、表
示基板６２１の上面を上に向けた状態で、インクジェッ
トヘッド方式により、発光素子６４１の上層部分に当た
る有撃半導体膜を形成するための液状（溶媒に溶かされ
た溶液状）の光学材料（有機蛍光材料）６１２Ｂを吐出
し、これを段差６１１で囲まれた領域内（所定位置）に
選択的に塗布する。
【０２７７】有機蛍光材料としては、シアノポリフェニ
レンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキル
フェニレン、２，３，６，７−テトラヒドロー１１−オ
キソー１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ペンゾビラノ［６，
７，８−ｉｊ］−キノリジンー１０−カルボン酸、１，
１−ビスー（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シ
クロヘキサン、２−１３・４´−ジヒドロキシフェニ
ル）−３，５，７−トリヒドロキシー１−ベンゾピリリ
ウムパークロレート、トリス（８−ヒドロキシキノリノ
ール）アルミニウム、２，３・６・７−テトラヒドロー
９−メチルー１１−オキソー１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）
ベンゾピラノ［６，７，８−Iｊ］−キノリジン、アロ
マティックジアミン誘導体（ＴＤＰ）、オキシジアゾー
ルダイマー（ＯＸＤ）、オキシジアゾール誘専体（ＰＢ
Ｄ）、ジスチルアリーレン誘導体（ＤＳＡ）、キノリノ
ール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体
（Ｂｅｂｑ）、トリフェニルアミン誘導体（ＭＴＤＡＴ
Ａ）、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマー、ルブレ
ン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレ
ン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェ
ン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベン
ゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウ
ム錯体等が挙げられる。
【０２７８】このとき、液状の有機蛍光材料６１２Ｂ
は、流動性が高いため、やはり水平方向に広がろうとす
るが、塗布された位置を取り囲むように段差６１１が形
成されているため、その液状の有機蛍光材料６１２Ｂの
１回当たりの塗布量を極端に大量にしなければ、液状の
有機蛍光材料６１２Ｂが段差６１１を越えて所定位置の
外側に広がることは防止される。
【０２７９】次いで、第５８図（ｂ）に示すように、加
熱或いは光照射により液状の有機蛍光材料６１２Ｂの溶
媒を蒸発させて、正孔注入層６４１Ａ上に、固形の薄い
有機半導体膜６４１ｂを形成する。ここでは、液状の有
機蛍光材料６１２Ｂの濃度にもよるが、薄い有機半導体
膜６４１ｂしか形成されない。そこで、より厚い有機半
導体膜６４１ｂを必要とする場合には、第５８図（a）
及び（ｂ）の工程を必要回数繰り返し実行し、第５８図
（ｃ）に示すように、十分な厚さの有機半導体膜６４１
Ｂを形成する。正孔注入層６４１Ａ及び有機半導体膜６
４１Ｂによって、発光素子６４１が構成される。最後
に、第５８図（ｄ）に示すように、表示基板６２１の表
面全体に若しくはストライプ状に反射電極６５２を形成
する。
【０２８０】このように、本実施の形態にあっては、発
光素子６４１が配置される処置位置を四方から取り囲む
ように信号線６３２、共通配線６３３等の配線を形成す
るとともに、それら配線を通常よりも厚く形成して段差
６１１を形成し、そして、液状の前駆体６１２Ａや液状
の有機蛍光材料６１２Ｂを選択的に塗布するようにして
いるため、発光素子６４１のパターニング精度が高いと
いう利点がある。
【０２８１】そして、段差６１１を形成すると、反射電
極６５２は比較的凹凸の大きな面に形成されることにな
るが、その反射電極６５２の厚さをある程度厚くしてお
けば、断線等の不具合が発生する可能性は極めて小さく
なる。
【０２８２】しかも、信号線６３２や共通配線６３３等
の配線を利用して段差６１１を形成するため、特に新た
な工程が増加する訳ではないから、製造工程の大幅な複
雑化等を招くこともない。
【０２８３】なお、発光素子６４１の上層部を形成する
光学材料は、有機蛍光材料６１２Ｂに限定されるもので
はなく、無機の蛍光材料であってもよい。
【０２８４】また、スイッチング素子としての各トラン
ジスタ６４３、６４４は、６００℃以下の低温プロセス
で形成された多結晶シリコンにより形成することが望ま
しく、これにより、ガラス基板の使用による低コスト化
と、高移動度による高性能化が両立できる。なお、スイ
ッチング素子は、非晶質シリセンまたは６００℃以上の
高温プロセスで形成された多結晶シリコンにより形成さ
れてもよい。
【０２８５】そして、スイッチング薄膜トランジスタ６
４３およびカレント薄膜トランジスタ６４４の他にトラ
ンジスタを設ける形式であってもよいし、或いは、一つ
のトランジスタで駆動する形式であってもよい。
【０２８６】また、段差６１１は、パッシブマトリクス
型表示素子の第１のバス配線、アクティブマトリク大型
表示素子の走査線６３１および、遮光層によって形成し
てもよい。
【０２８７】なお、発光素子６４１としては、発光効率
（正孔注入率）がやや低下するものの、正孔注入層６４
１Ａを省略してもよい。また、正孔注入層６４１Ａに代
えて電子注入層を有機半導体膜６４１Ｂと反射電極６５
２との間に形成してもよいし、或いは、正孔注入層及び
電子注入層の双方を形成してもよい。
【０２８８】また、上記実施の形態では、特にカラー表
示を念頭において、各発光素子６４１全体を選択的に配
置した場合について説明したが、例えば単色表示の表示
装置６００の場合には、第５９図に示すように、有機半
導体膜６４１Ｂは、表示基板６２１全面に一様に形成し
てもよい。ただし、この場合でも、クロストークを防止
するために正孔注入層６４１Ａは各所定位置毎に選択的
に配置しなければならないため、段差６１１を利用した
塗布が極めて有効である。
【０２８９】（２）第２の実施の形態 第６０図は本発明の第２の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態は、ＥＬ表示素子を用いたパッシブ
マトリクス型の表示装置に適用したものである。
【０２９０】なお、第６０図（ａ）は、複数の第１のバ
ス配線７５０と、これに直交する方向に配設された複数
の第２のバス配線７６０と、の配置関係を示す平面図で
あり、第６０図（ｂ）は、同（ａ）のＢ−Ｂ線断面図で
ある。
【０２９１】なお、上記第１の実施の形態と同様の構成
には、同じ符号を付し、その重複する説明は省略する。
また、細かな製造工程等も上記第１の実施の形態と同様
であるため、その図示及び説明は省略する。
【０２９２】即ち、本実施の形態にあっては、発光素子
６４１が配置される所定位置を取り囲むように、例えば
ＳｉＯ2等の絶縁膜７７０が配設されていて、これによ
り、所定位置とその周囲との間に、段差６１１が形成さ
れている。
【０２９３】このような構成であっても、上記第１の実
施の形態と同様に、液状の前駆体６１２Ａや液状の有機
蛍光材料６１２Ｂを選択的に塗布する際に、それらが周
囲に流れ出ることが防止でき、高精度のパターニングが
行える等の利点がある。
【０２９４】（３）第３の実施の形態 第６１図は本発明の第３の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。より具体的には、画素電
極６４２を利用して段差６１１を形成することにより、
高精度のパターニングが行えるようにしたものである。
【０２９５】なお、上記実施の形態と同様の構成には、
同じ符号を付しておく。また、第６１図は製造工程の途
中を示す断面図であり、その前後は上記第１の実施の形
態と略同様であるためその図示及び説明は省略する。
【０２９６】即ち、本実施の形態では、画素電極６４２
を通常よりも厚く形成し、これにより、その周囲と間に
段差６１１を形成している。つまり、本実施の形態で
は、後に光学材料が塗布される画素電極６４２の方がそ
の周囲よりも高くなっている凸型の段差が形成されてい
る。
【０２９７】そして、上記第１の実施の形態と同様に、
インクジェットヘッド方式により、発光素子６４１の下
層部分に当たる正孔注入層を形成するための液状（溶媒
に溶かされた溶液状）の光学材料（前駆体）６１２Ａを
吐出し、画素電極６４２上面に塗布する。
【０２９８】ただし、上記第１の実施の形態の場合とは
異なり、表示基板６２１を上下逆にした状態、つまり液
状の前駆体６１２Ａが塗布される画素電極６４２上面を
下方に向けた状態で、液状の前駆体６１２Ａの塗布を行
う。
【０２９９】すると、液状の前駆体６１２Ａは、重力と
表面張力とによって、画素電極６４２上面に溜まり、そ
の周囲には広がらない。よって、加熱や光照射等を行っ
て固形化すれば、第５７図（ｂ）と同様の薄い正孔注入
層を形成でき、これを繰り返せば正孔注入層が形成され
る。同様の手法で、有機半導体膜も形成される。
【０３００】このように、本実施の形態では、凸型の段
差６１１を利用して液状の光学材料を塗布して発光素子
のパターニング精度を向上することができる。
【０３０１】なお、遠心力等の慣性力を利用して、画素
電極６４２上面に溜まる液状の光学材料の量を調整する
ようにしてもよい。
【０３０２】（４）第４の実施の形態 第６２図は本発明の第４の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６２
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。
【０３０３】即ち、本実施の形態では、先ず、表示基板
６２１上に、反射電極６５２を形成し、次いで、反射電
極６５２上に、後に発光素子６４１が配置される所定位
置を取り囲むように絶縁膜７７０を形成し、これにより
所定位置の方がその周囲よりも低くなっている凹型の段
差６１１を形成する。
【０３０４】そして、上記第１の実施の形態と同様に、
段差６１１で囲まれた領域内に、インクジェット方式に
より液状の光学材料を選択的に塗布することにより、発
光素子６４１を形成する。
【０３０５】一方、剥離用基板６２２上に、剥離層６５
１を介して、走査線６３１、信号線６３２、画素電極６
４２、スイッチング薄膜トランジスタ６４３カレント薄
膜トランジスタ６４４および絶縁膜７４０を形成する。
【０３０６】最後に、表示基板６２１上に、剥離用基板
６２２上の剥離層６２２から剥離された構造を転写す
る。
【０３０７】このように、本実施の形態であっても、段
差６１１を利用して液状の光学材料を塗布するようにし
たから、高精度のパターニングが行える。さらに、本実
施の形態では、発光素子６４１等の下地材料への、その
後の工程によるダメージ、あるいは、走査線６３１、信
号線６３２、画素電極６４２、スイッチング薄膜トラン
ジスタ６４３．カレント薄膜トランジスタ６４４または
絶縁膜７４０への、光学材料の塗布等によるダメージ
を、軽減することが可能となる。
【０３０８】本実施の形態では、アクティブマトリクス
型表示素子として説明したが、パッシブマトリクス型表
示素子であってもよい。
【０３０９】（５）第５の実施の形態 第６３図は本発明の第６の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６３
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。
【０３１０】即ち、本実施の形態では、層間絶縁膜７４
０を利用して凹型の段差６１１を形成していて、これに
より、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を得るよ
うにしている。
【０３１１】また、層間絶縁膜７４０を利用して段差６
１１を形成するため、特に新たな工程が増加する訳では
ないから、製造工程の大幅な複雑化等を招くこともな
い。
【０３１２】（６）第６の実施の形態 第６４図は本発明の第６の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６４
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。
【０３１３】即ち、本実施の形態では、段差を利用して
パターニング精度を向上させるのではなく「液状の光学
材料が塗布される所定位置の親水性を、その周囲の親水
性よりも相対的に強くすることにより、塗布された液状
の光学材料が周囲に広がらないようにしたものである。
【０３１４】具体的には、第６４図に示すように、層間
絶縁膜７４０を形成した後に、その上面に非晶質シリコ
ン層６５３を形成している。非晶質シリコン層６５３
は、画素電極６４２を形成するＩＴＯよりも相対的に撥
水性が強いので、ここに、画素電極６４２表面の親水性
がその周囲の親水性よりも相対的に強い掩撥水性・親水
性の分布が形成される。
【０３１５】そして、上記第１の実施の形態と同様に、
画素電極６４２の上面に向けて、インクジェット方式に
より液状の光学材料を選択的に塗布することにより、発
光素子６４１を形成し、最後に反射電極を形成する。
【０３１６】このように、本実施の形態であっても、所
望の撥水性・親液性の分布を形成してから液状の光学材
料を塗布するようにしているから、パターニングの精度
を向上させることができる。
【０３１７】なお、本実施の形態の場合も、パッシブマ
トリクス型表示素子に適用できることは勿論である。
【０３１８】また、剥離用基板６２１上に剥離層６５１
を介して形成された構造を、表示基板６２１に転写する
工程を含んでいてもよい。
【０３１９】さらに、本実施の形態では、所望の撥水性
・親水性の分布を、非晶質シリコン層６５３によって形
成しているが、撥水性・親水性の分布は、金属や、陽極
酸化膜、ポリイミドまたは酸化シリコン等の絶縁膜や、
他の材料により形成されていてもよい。なお、パッシブ
マトリクス型表示素子であれば第１のバス配線、アクテ
ィブマトリクス型表示素子であれば走査線６３１、信号
線６３２、画素電極６４２、絶縁膜７４０或いは遮光層
によって形成してもよい。
【０３２０】また、本実施の形態では、液状の光学材料
が水溶液であることを前提に説明したが、他の液体の溶
液を用いた液状の光学材料であってもよく、その場合
は、その溶液に対して撥液性・親液性が得られるように
すればよい。
【０３２１】（７）第７の実施の形態 本発明の第７の実施の形態は、断面積造は上記第５の実
施の形態で使用した第６３図と同様であるため、これを
用いて説明する。
【０３２２】即ち、本実施の形態では、層間絶縁膜７４
０をＳｉＯ2で形成するとともに、その表面に紫外線を
照射し、その後に、画素電極６４２表面を露出させ、そ
して液状の光学材料を選択的に塗布するようになってい
る。
【０３２３】このような製造工程であれば、段差６１１
が形成されるだけでなく、層間絶縁膜７４０表面に沿っ
て撥液性の強い分布が形成されるため、塗布された液状
の光学材料は、段差６１１と層間絶縁膜７４０の撥液性
との両方の作用によって所定位置に溜まり易くなってい
る。つまり、上記第５の実施の形態と、上記第６の実施
の形態との両方の作用が発揮されるから、さらに発光素
子６４１のパターニング精度を向上させることができ
る。
【０３２４】なお、紫外線を照射するタイミングは、画
素電極６４２の表面を露出させる前後いずれでもよく、
層間絶縁膜７４０を形成する材料や、画素電極６４２を
形成する材料等に応じて適宜選定すればよい。ちなみ
に、画素電極６４２の表面を露出させる帝に紫外線を照
射する場合には、段差６１１の内壁面は撥液性が強くな
らないから、段差６１１で囲まれた領域に液状の光学材
料を溜めることにとって有利である。これとは逆に、画
素電極６４２の表面を露出させた後に紫外線を照射する
場合には、段差６１１の内壁面の撥液性が強くならない
ように垂直に紫外線を照射する必要があるが、画素電極
６４２の表面を露出する際のエッチング工程の後で紫外
線を照射するため、そのエッチング工程によって撥液性
が弱まるような懸念がないという利点がある。
【０３２５】また、層間絶縁膜７４０を形成する材料と
しては、例えばフォトレジストを用いることもできる
し、或いはポリイミドを用いてもよく、これらであれば
スピンコートにより膜を形成できるという利点がある。
【０３２６】そして、層間絶縁膜７４０を形成する材料
によっては、紫外線を照射するのではなく、例えば
Ｏ2、ＣＦ3、Ａｒ等のプラズマを照射することにより撥
液性が強くなるようにしてもよい。
【０３２７】（８）第８の実施の形態 第６５図は本発明の第８の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態は、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６５
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。
【０３２８】即ち、本実施の形態では、段差や撥液性・
親液性の分布等を利用してパターニング精度を向上させ
るのではなく、電位による引力や斥力を利用してパター
ニング精度の向上を図っている。
【０３２９】つまり、第６５図に示すように、信号線６
３２や共通給電線６３３を駆動するとともに、図示しな
いトランジスタを適宜オン・オフすることにより、画素
電極６４２がマイナス電位となり、層間絶縁膜７４０が
プラス電位となる電位分布を形成する。そして、インク
ジェット方式により、プラスに帯電した液状の光学材料
６１２を所定位置に選択的に塗布する。
【０３３０】このように、本実施の形態であれば、表示
基板６２１上に所望の電位分布を形成し、その電位分布
と、プラスに帯電した液状の光学材料６１２との間の引
力及び斥力を利用して、液状の光学材料を選択的に塗布
しているから、パターニングの精度を向上させることが
できる。
【０３３１】特に、本実施の形態では、液状の光学材料
６１２を帯電させているので、自発分極だけでなく帯電
電荷も利用することにより、パターニングの精度を向上
する効果が、さらに高まる。
【０３３２】本実施の形態では、アクティブマトリクス
型表示素子に適用した場合を示しているが、パッシブマ
トリクス型表示素子であっても適用可能である。
【０３３３】なお、剥離用基板６２１上に剥離層６５１
を介して形成された構造を、表示基板６２１に転写する
工程を含んでいてもよい。
【０３３４】また、本実施の形態では、所望の電位分布
は、走査線６３１に順次電位を印加し、同時に信号線６
３２および共通線６３３に電位を印加し、画素電極６４
２にスイッチング薄膜トランジスタ６４３およびカレン
ト薄膜トランジスタ６４４を介して電位を印加すること
により形成される。電位分布を走査線６３１、信号線６
３２、共通線６３３および画素電極６４２で形成するこ
とにより、工程の増加が抑制できる。なお、パッシブマ
トリクス型表示素子であれば、電位分布は、第１のバス
配線および遮光層によって形成することができる。
【０３３５】さらに、本実施の形態では、画素電極６４
２と、その周囲の層間絶縁膜７４０との両方に電位を与
えているが、これに限定されるものではなく、例えば第
６６図に示すように、画素電極６４２には電位を与え
ず、層間絶縁膜７４０にのみプラス電位を与え、そし
て、液状の光学材料６１２をプラスに帯電させてから塗
布するようにしてもよい。このようにすれば、塗布され
た後にも、液状の光学材料６１２は確実にプラスに帯電
した状態を維持できるから、周囲の層間絶縁膜７４０と
の間の斥力によって、液状の光学材料６１２が周囲に流
れ出ることをより確実に防止することができるようにな
る。
【０３３６】同様に、本実施形態のヘッドユニットは、
電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および
電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができ
る。
【０３３７】電子放出装置の製造方法では、複数の液滴
吐出ヘッドにＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主
走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電
極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放出装置
は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位の概念
である。
【０３３８】ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐
出ヘッドにＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査
および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基
板上の多数の凹部にそれそれ蛍光体を形成する。
【０３３９】電気泳動表示装置の製造方法では、複数の
液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、ヘッドユ
ニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副
走査し、インク材料を選択的に吐出して、電極上の多数
の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。なお、帯電粒子と
染料とから成る泳動体は、マイクロカプセルに封入され
ていることが、好ましい。
【０３４０】一方、本実施形態のヘッドユニットは、ス
ペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、
レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用
可能である。
【０３４１】スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、複数の液滴吐出ヘッドにスペーサ
を構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、粒子材
料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスペー
サを形成する。例えば、上記の液晶表示装置や電気泳動
表示装置における２枚の基板間のセルギャップを構成す
る場合に有用であり、その他この種の微小なギャップを
必要とする半導体製造技術に適用できることはいうまで
もない。
【０３４２】金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘ
ッドに液状金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、液状金
属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成す
る。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各
電極とを接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置にお
けるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用する
ことができる。また、この種のフラットディスプレイの
他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうま
でもない。
【０３４３】レンズ形成方法では、複数の液滴吐出ヘッ
ドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レンズ材料
を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレン
ズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビー
ム収束用のデバイスとして適用可能である。また、各種
の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０３４４】レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘ
ッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レジス
ト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォト
レジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけ
るバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為す
フォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗
布に広く適用可能である。
【０３４５】光拡散体形成方法では、ヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法で
あって、複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査
および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の
光拡散体を形成する。この場合も、各種の光デバイスに
適用可能であることはいうまでもない。
【０３４６】
【発明の効果】以上のように、本発明のヘッドユニット
の組立装置および組立方法によれば、キャリッジおよび
各液滴吐出ヘッドの位置認識から、各液滴吐出ヘッドの
キャリッジへの位置決め固定までの一連の作業を、単一
の装置で行うようにしているため、キャリッジに複数の
液滴吐出ヘッドを高い位置決め精度で組み込んだヘッド
ユニットを、安定に得ることができる。したがって、ヘ
ッドユニットの量産性および信頼性を高めることができ
る。
【０３４７】また、本発明の液滴吐出ヘッドの位置決め
装置および位置決め方法によれば、画像認識の結果に基
づいて位置決め作業（位置補正動作）を行うようにして
いるので、キャリッジに対し液滴吐出ヘッドを、高い精
度をもって迅速且つ簡単に位置決めすることができる。
【０３４８】さらに、本発明の液滴吐出ヘッドの固定装
置および固定方法によれば、外力を作用させることなく
固定作業（固定動作）を行うことができるので、液滴吐
出ヘッドをキャリッジに固定するときの位置ずれを確実
に防止することができる。
【０３４９】一方、本発明の液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法
によれば、各装置におけるフィルタ材料や発光材料等に
適した液滴吐出ヘッドを用いることができため、製造効
率を向上させることができる。
【０３５０】また、本発明のカラーフィルタの製造方
法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線
形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光
拡散体形成方法によれば、各電子デバイスや各光デバイ
スにおけるフィルタ材料や発光材料等に適した液滴吐出
ヘッドを用いることができため、製造効率を向上させる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係るヘッドユニットの平面図であ
る。
【図２】実施形態に係るヘッドユニットの正面図であ
る。
【図３】実施形態に係るヘッドユニットの側面図であ
る。
【図４】実施形態の基準ピンの構造図である。
【図５】実施形態の液滴吐出ヘッド廻りの断面図であ
る。
【図６】実施形態の液滴吐出ヘッドを模式的に表した斜
視図である。
【図７】実施形態の液滴吐出ヘッドの拡大断面図であ
る。
【図８】実施形態のヘッド保持部材の構造図である。
【図９】実施形態の組付治具を用いたヘッドユニットの
組付方法を示す拡大斜視図である。
【図１０】実施形態の組付治具の構造図である。
【図１１】実施形態の組付治具を用いたヘッドユニット
の組付方法を示す平面図である。
【図１２】実施形態の組付治具を用いたヘッドユニット
の組付方法を示す正面図である。
【図１３】実施形態の描画装置の模式図である。
【図１４】実施形態の描画装置におけるメインキャリッ
ジの斜視図である。
【図１５】実施形態の描画装置におけるメインキャリッ
ジの平面図である。
【図１６】ヘッドユニットのセット方法を示す説明図で
ある。
【図１７】実施形態の描画装置におけるワイピング装置
の模式図である。
【図１８】実施形態のアライメントマスクにおけるマス
タプレートの構造図である。
【図１９】実施形態のアライメントマスクの平面図であ
る。
【図２０】実施形態のアライメントマスクの正面図であ
る。
【図２１】実施形態の組立装置の正面側から見た全体斜
視図である。
【図２２】実施形態の組立装置の背面側から見た全体斜
視図である。
【図２３】実施形態の組立装置の全体平面図である。
【図２４】実施形態の組立装置の全体正面図である。
【図２５】実施形態の組立装置の左側から見た全体側面
図である。
【図２６】実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙ
テーブル廻りの斜視図である。
【図２７】実施形態のユニット移動装置におけるセット
テーブルの構造図である。
【図２８】実施形態のユニット移動装置におけるθテー
ブルの平面図である。
【図２９】実施形態のユニット移動装置におけるθテー
ブルの裁断側面図である。
【図３０】実施形態のユニット移動装置におけるθテー
ブルの正面図である。
【図３１】実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙ
テーブル廻りの平面図である。
【図３２】実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙ
テーブル廻りの正面図である。
【図３３】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの斜視図である。
【図３４】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの平面図である。
【図３５】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの正面図である。
【図３６】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの側面図である。
【図３７】実施形態のヘッド補正装置におけるアームユ
ニットの斜視図である。
【図３８】実施形態のヘッド補正装置におけるアームユ
ニットの正面図である。
【図３９】実施形態のヘッド補正装置におけるアームユ
ニットの側面図である。
【図４０】アームユニットの係合アームの断面図であ
る。
【図４１】実施形態の認識装置の斜視図である。
【図４２】実施形態の認識装置の平面図である。
【図４３】実施形態の認識装置の正面図である。
【図４４】実施形態の認識装置の側面図である。
【図４５】実施形態の仮固定装置の全体斜視図である。
【図４６】実施形態の仮固定装置の平面図である。
【図４７】実施形態の仮固定装置の正面図である。
【図４８】実施形態の仮固定装置の側面図である。
【図４９】接着剤塗布装置の斜視図である。
【図５０】実施形態に係る制御装置のブロック図であ
る。
【図５１】実施形態のカラーフィルタの製造方法により
製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。
【図５２】実施形態のカラーフィルタの製造方法を模式
的に示す製造工程断面図である。
【図５３】実施形態のカラーフィルタの製造方法により
製造される液晶表示装置の断面図である。
【図５４】実施形態の有機ＥＬの製造方法により製造さ
れる表示装置の回路図である。
【図５５】表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大平
面図である。
【図５６】第１実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す製造工程（１）の断面図である。
【図５７】第１実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す製造工程（２）の断面図である。
【図５８】第１実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す製造工程（３）の断面図である。
【図５９】第１実施形態の変形例に係る有機ＥＬの製造
方法を模式的に示す断面図である。
【図６０】第２実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す平面図および断面図である。
【図６１】第３実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。
【図６２】第４実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。
【図６３】第５実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。
【図６４】第６実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。
【図６５】第８実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。
【図６６】第８実施形態の変形例に係る有機ＥＬの製造
方法を模式的に示す断面図である。
【図６７】実施形態の描画装置におけるキャリッジの認
識動作を示す模式図である。
【符号の説明】
Ａ 組立装置 Ｂ 描画装置 Ｃ 組付治具 Ｄ アライメン
トマスク １ ヘッドユニット ２ キャリッジ ３ 液滴吐出ヘッド ４ ヘッド保持
部材 １１ 本体プレート １２ 基準ピン １３ 支持部材 １４ ハンドル １５ 配管接続アッセンブリ １６ 配線接続
アッセンブリ １７ 配管接続部材 ２５ ピン本体 ２６ 基準マーク（小孔） ２９ａ 先端面 ３２ ハンドル本体 ３４ 太径部 ４５ 液体導入部 ４８ ポンプ部 ４８ａ 吐出側端面 ４９ ノズル
形成プレート ５０ ヘッド本体 ５２ ノズル形
成面 ５３ ノズル列 ５７ 吐出ノズ
ル ５７ａ 吐出ノズル（最外端） ６１ 段部 ６２ 樹脂 ６５ ノズル基
準マーク ７６ 係合孔 ７７ 接着剤注
入孔 ７８ 接着部位 ８１ 治具本体 ８２ 装着ピン ８４ 縦辺部 ８５ 横辺部 ８６ 位置決め
部 １０１ ヘッド移動部 １０５ ユニッ
ト導入部 １０６ 仮置き台 １０６ａ 仮置き
アングル １０８ ワイピング装置 １１３ Ｙテー
ブル １１６ Ｘテーブル １２１ ベース
プレート １２３ ストッパプレート １２４ 方形開
口 １３１ ワイピングシート １３２ ワイピ
ングユニット １３３ 移動機構 １３７ ワイピ
ングローラ １３９ 洗浄液供給ヘッド １６１ マスタ
プレート １６１ａ マーク形成面 １６２ プレ
ートホルダ １６４ ヘッド基準マーク １６５ キャリ
ッジ基準マーク １７１ 支持ピン ２１１ ユニッ
ト移動装置 ２１２ ヘッド補正装置 ２１３ 仮固定
装置 ２１４ 認識装置 ２１５ 制御装
置 ２３１ セットテーブル ２３２ θテー
ブル ２３３ Ｘ・Ｙテーブル ２７１ Ｘ軸テ
ーブル ２７２ Ｙ軸テーブル ３０２ 補正用
Ｘ・Ｙテーブル ３０３ 補正用θテーブル ３０４ アーム
ユニット ３３１ 係合アーム ３３３ アーム
昇降装置 ３４３ 係合ピン ３４４ ピンホ
ルダ ３４５ コイルばね ３４７ テーパ
ー部 ３５２ カメラ位置調節ユニット ３５３ 認識カ
メラ ３５９ マイクロステージ ３７３ エアー
テーブル ３７４ 接着剤塗布装置 ３７７ Ｙエア
ーテーブル ３７８ サブＹエアーテーブル ３８０ Ｚ軸エ
アーテーブル ３８４ ディスペンサユニット ３８７ 接着剤
注入ノズル ４０２ 入力部 ４０３ 駆動部 ４０４ 検出部 ４０５ 制御部 ４１１ ＣＰＵ ４１２ ＲＯＭ ４１３ ＲＡＭ ４１４ Ｐ−Ｃ
ＯＮ ４１６ タイマー ５００ カラー
フィルタ ５１１ 基板 ５１２ 画素
（フィルタエレメント） ５１３ 仕切り ５１４ 遮光層 ５１５ バンク層 ５１６ インク
層 ５２１ 着色層 ５２２ オーバ
ーコート層 ５２３ 電極層 ６１１ 表示装
置（有機ＥＬ） ６２１ 表示基板 ６４１ 発光素
子（正孔注入層） ６４２ 画素電極 ６５２ 反射電
極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｊ 25/304 Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ ２Ｈ０８８ Ｇ０２Ｂ 3/00 1/1335 ５０５ ２Ｈ０９１ Ｇ０９Ｆ 9/00 ３４２Ｚ ３Ｋ００７ 5/02 9/30 ３２０ ５Ｃ０９４ 5/20 １０１ ３６０ ５Ｇ４３５ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ ３６５Ｚ 1/1335 ５０５ 9/313 Ｚ Ｇ０９Ｆ 9/00 ３４２ 9/35 9/30 ３２０ Ｈ０５Ｂ 33/10 ３６０ 33/12 Ｂ ３６５ 33/14 Ａ 9/313 33/22 Ｚ 9/35 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ｈ Ｈ０５Ｂ 33/10 １０１Ｚ 33/12 １０３Ａ 33/14 25/28 Ｚ 33/22 Ｆターム(参考） 2C056 EB07 EB11 EB36 FA15 HA08 HA10 2C057 AF93 AG14 AG96 AH07 AH20 AJ01 AL40 AM40 AP25 AP71 AP77 AP82 AQ06 BA04 BA14 2C064 CC04 CC13 2H042 BA03 BA15 2H048 BA64 BB02 BB42 2H088 FA30 HA12 MA20 2H091 FA03Y FC12 FD04 LA12 3K007 AB04 AB18 BA06 BB07 DB03 FA01 5C094 AA08 AA42 AA43 AA48 BA03 BA12 BA27 BA31 BA32 BA34 BA43 BA75 CA19 CA24 DA13 ED03 GB10 5G435 AA04 AA17 BB02 BB05 BB06 BB11 BB12 CC09 CC12 EE37 GG12 HH04 KK05 KK10 (54)【発明の名称】 ヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方 法、液滴吐出ヘッドの固定装置および固定方法、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置 の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、 カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レン ズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

Claims (57)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 それぞれがヘッド保持部材に保持された
    複数の液滴吐出ヘッドを、前記ヘッド保持部材を介して
    単一のキャリッジに仮装着したヘッドユニットに臨み、
    前記各液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めした
    状態で固定するヘッドユニットの組立装置であって、 前記キャリッジの位置および前記各液滴吐出ヘッドの位
    置をそれぞれ画像認識する認識手段と、 前記キャリッジを保持すると共に前記キャリッジをＸ・
    Ｙ・θ軸方向に移動させる移動手段と、 前記ヘッド保持部材に係合し、前記ヘッド保持部材をＸ
    ・Ｙ・θ軸方向に微少移動させる補正手段と、 前記ヘッド保持部材をキャリッジに固定する固定手段
    と、 前記認識手段、前記移動手段、前記補正手段および前記
    固定手段を制御する制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記認識手段の認識結果に基づいて、
    前記移動手段を駆動し前記キャリッジを位置決めした
    後、前記補正手段を駆動し前記キャリッジに対し前記各
    ヘッド保持部材を介して前記各液滴吐出ヘッドを位置決
    めし、更に前記固定手段を駆動し前記各ヘッド保持部材
    を介して前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに固定す
    ることを特徴とするヘッドユニットの組立装置。
  2. 【請求項２】 前記キャリッジの位置および前記キャリ
    ッジに搭載された前記各液滴吐出ヘッドの位置をパター
    ン形成したアライメントマスクを備え、 前記制御手段は、前記認識手段を介して前記移動手段に
    保持した前記アライメントマスクおよび前記ヘッドユニ
    ットからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびユニッ
    ト位置データに基づいて、前記移動手段、前記補正手段
    および前記固定手段を制御することを特徴とする請求項
    １に記載のヘッドユニットの組立装置。
  3. 【請求項３】 前記キャリッジの位置認識は、相互に離
    間して前記キャリッジに設けられた２つの基準マーク
    を、前記認識手段がそれぞれ画像認識することで行わ
    れ、 前記認識手段は、前記キャリッジに対するＸ軸方向およ
    びＹ軸方向のいずれか一方向の相対的移動により、前記
    ２つの基準マークをそれぞれ視野内に取り込む認識カメ
    ラを有していることを特徴とする請求項１または２に記
    載のヘッドユニットの組立装置。
  4. 【請求項４】 前記各液滴吐出ヘッドの位置認識は、前
    記液滴吐出ヘッドのノズル形成面に形成したノズル列に
    おける離間した２つのノズルを、前記認識手段がそれぞ
    れ画像認識することで行われ、 前記認識手段は、前記２つのノズルのそれぞれを同時に
    視野内に取り込む２つの認識カメラを有していることを
    特徴とする請求項１、２または３に記載のヘッドユニッ
    トの組立装置。
  5. 【請求項５】 前記液滴吐出ヘッドはノズル形成面を上
    向きにした状態で、前記ヘッド保持部材を介して前記キ
    ャリッジに吊下するように仮装着されており、 前記移動手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、 前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブル上に
    固定され、前記液滴吐出ヘッドを上向き状態で前記キャ
    リッジを保持するセット部材とを有していることを特徴
    とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニ
    ットの組立装置。
  6. 【請求項６】 前記ヘッド保持部材には、前記補正手段
    が係合すると共に相互に離間して配設された２つの係合
    孔が形成されており、 前記補正手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、 前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブルに取
    り付けたＺ軸移動テーブルと、 前記Ｚ軸移動テーブルに取り付けられ、前記ヘッド保持
    部材の２つの係合孔に係合する一対の係合アームとを有
    していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか
    に記載のヘッドユニットの組立装置。
  7. 【請求項７】 前記固定手段は、前記ヘッド保持部材と
    前記キャリッジとの間に接着剤を塗布する接着剤塗布機
    構と、 前記接着剤塗布機構をＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に移動させる移
    動テーブルとを有していることを特徴とする請求項１な
    いし６のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置。
  8. 【請求項８】 複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリ
    ッジに仮装着したヘッドユニットに臨み、前記各液滴吐
    出ヘッドを前記キャリッジに位置決めした状態で固定す
    るヘッドユニットの組立装置であって、 前記キャリッジの位置および前記各液滴吐出ヘッドの位
    置をそれぞれ画像認識する認識手段と、 前記キャリッジを保持すると共にこれをＸ・Ｙ・θ軸方
    向に移動させる移動手段と、 前記液滴吐出ヘッドに係合し、前記液滴吐出ヘッドをＸ
    ・Ｙ・θ軸方向に微少移動させる補正手段と、 前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに固定する固定手
    段と、 前記認識手段、前記移動手段、前記補正手段および前記
    固定手段を制御する制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記認識手段の認識結果に基づいて、
    前記移動手段を駆動し前記キャリッジを位置決めした
    後、前記補正手段を駆動し前記キャリッジに対し前記各
    液滴吐出ヘッドを位置決めし、更に前記固定手段を駆動
    し位置決めされた前記各液滴吐出ヘッドを前記キャリッ
    ジに固定することを特徴とするヘッドユニットの組立装
    置。
  9. 【請求項９】 それぞれがヘッド保持部材に保持された
    複数の液滴吐出ヘッドを、前記ヘッド保持部材を介して
    単一のキャリッジに仮装着したヘッドユニットに臨み、
    前記各液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めした
    状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、 前記キャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工
    程と、 前記キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、
    前記キャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程
    と、 前記各液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識
    工程と、 前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記
    キャリッジに対し前記各ヘッド保持部材を介して前記各
    液滴ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、 前記位置決めされた前記各ヘッド保持部材を前記キャリ
    ッジに固定する固定工程と、を備えたことを特徴とする
    ヘッドユニットの組立方法。
  10. 【請求項１０】 前記ヘッド認識工程、前記ヘッド位置
    決め工程および前記固定工程を、この工程順に前記液滴
    吐出ヘッドの数分繰り返すことを特徴とする請求項９に
    記載のヘッドユニットの組立方法。
  11. 【請求項１１】 前記固定工程は、接着剤により前記ヘ
    ッド保持部材を前記キャリッジに接着することで行わ
    れ、 前記固定工程の後、前記ヘッド保持部材を前記キャリッ
    ジに機械的に固定する本固定工程を、更に備えたことを
    特徴とする請求項９または１０に記載のヘッドユニット
    の組立方法。
  12. 【請求項１２】 前記キャリッジの位置および前記キャ
    リッジに搭載された前記各液滴吐出ヘッドの位置をパタ
    ーン形成したアライメントマスクが用意されており、 前記キャリッジ位置決め工程および前記ヘッド位置決め
    工程は、同一条件で前記アライメントマスクおよび前記
    ヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データお
    よびユニット位置データに基づいて、それぞれ為される
    ことを特徴とする請求項９、１０または１１に記載のヘ
    ッドユニットの組立方法。
  13. 【請求項１３】 複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャ
    リッジに仮装着したヘッドユニットに臨み、前記各液滴
    吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めした状態で固定
    するヘッドユニットの組立方法であって、 前記キャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工
    程と、 前記キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、
    前記キャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程
    と、 前記各液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識
    工程と、 前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記
    キャリッジに対し前記各液滴吐出ヘッドを位置決めする
    ヘッド位置決め工程と、 前記位置決めされた前記各液滴吐出ヘッドを前記キャリ
    ッジに固定する固定工程と、を備えたことを特徴とする
    ヘッドユニットの組立方法。
  14. 【請求項１４】 ヘッド保持部材に保持された液滴吐出
    ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへの固定に先立
    ち、前記ヘッド保持部材を介して前記キャリッジに仮装
    着した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決め
    する液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、 前記液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する認識手段と、 前記ヘッド保持部材に係合し、前記ヘッド保持部材をＸ
    ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させる補正手段と、 前記認識手段および前記補正手段を制御する制御手段と
    を備え、 前記制御手段は、前記認識手段の認識結果に基づいて、
    前記補正手段を駆動し、前記キャリッジに対し前記ヘッ
    ド保持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを位置決めする
    ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
  15. 【請求項１５】 前記キャリッジに対する前記液滴吐出
    ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクを
    備え、 前記制御手段は、前記認識手段を介して前記アライメン
    トマスクから得たマスタ位置データと前記液滴吐出ヘッ
    ドから得たヘッド位置データとに基づいて、前記補正手
    段を制御することを特徴とする請求項１４に記載の液滴
    吐出ヘッドの位置決め装置。
  16. 【請求項１６】 前記液滴吐出ヘッドの位置認識は、当
    該液滴吐出ヘッドのノズル形成面に形成したノズル列に
    おける離間した２つのノズルを、前記認識手段がそれぞ
    れ画像認識することで行われ、 前記認識手段は、前記２つのノズルのそれぞれを同時に
    視野内に取り込む２つの認識カメラを有していることを
    特徴とする請求項１４または１５に記載の液滴吐出ヘッ
    ドの位置決め装置。
  17. 【請求項１７】 前記認識手段は、前記２つの認識カメ
    ラにおける相互の視野間寸法を調節可能な視野間調節機
    構を有していることを特徴とする請求項１６に記載の液
    滴吐出ヘッドの位置決め装置。
  18. 【請求項１８】 前記ヘッド保持部材には、前記移動手
    段が係合すると共に、相互に離間して配設された２つの
    係合孔が形成されており、 前記補正手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、 前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブルに取
    り付けたＺ軸移動テーブルと、 前記Ｚ軸移動テーブルに取り付けられ、前記ヘッド保持
    部材の２つの係合孔に係合する一対の係合アームとを有
    していることを特徴とする請求項１４ないし１７のいず
    れかに記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
  19. 【請求項１９】 前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのＸ軸
    移動テーブルおよびＹ軸移動テーブルは、それぞれ駆動
    源を構成するリニアモータと、移動をガイドするエアー
    スライダとを有していることを特徴とする請求項１８に
    記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
  20. 【請求項２０】 前記各係合アームは、先端部が前記各
    係合孔に挿入される係合ピンを有し、 前記係合ピンの先端部は、先端側を前記係合孔より細径
    とし基端側を前記係合孔より太径とするテーパー形状に
    形成されていることを特徴とする請求項１８または１９
    に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
  21. 【請求項２１】 前記各係合アームは、前記係合ピンを
    その軸方向の進退自在に保持するピンホルダと、 前記係合ピンを突出方向に付勢するばねとを、更に有し
    ていることを特徴とする請求項２０に記載の液滴吐出ヘ
    ッドの位置決め装置。
  22. 【請求項２２】 前記ヘッド保持部材の２つの係合孔
    は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されて
    いることを特徴とする請求項１８ないし２１のいずれか
    に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
  23. 【請求項２３】 液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキ
    ャリッジへの固定に先立ち、前記キャリッジに仮装着し
    た前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めする
    液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、 前記液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する認識手段と、 前記液滴吐出ヘッドに係合し、前記液滴吐出ヘッドをＸ
    ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させる補正手段と、 前記認識手段および前記補正手段を制御する制御手段と
    を備え、 前記制御手段は、前記認識手段の認識結果に基づいて、
    前記補正手段を駆動し、前記キャリッジに対し前記液滴
    吐出ヘッドを位置決めすることを特徴とする液滴吐出ヘ
    ッドの位置決め装置。
  24. 【請求項２４】 請求項１４ないし２３のいずれかに記
    載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備えたことを特徴
    とするヘッドユニットの組立装置。
  25. 【請求項２５】 ヘッド保持部材に搭載された液滴吐出
    ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへの固定に先立
    ち、前記ヘッド保持部材を介して前記キャリッジに仮装
    着した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決め
    する液滴吐出ヘッドの位置決め方法であって、 前記液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工
    程と、 前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記
    キャリッジに対し前記ヘッド保持部材を介して前記液滴
    吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程とを備え
    たことを特徴とする液滴吐出ヘッドの位置決め方法。
  26. 【請求項２６】 前記キャリッジに搭載された前記液滴
    吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマス
    クが用意されており、 前記ヘッド位置決め工程は、同一条件で前記アライメン
    トマスクおよび前記液滴吐出ヘッドからそれぞれ得た、
    マスタ位置データおよびヘッド位置データに基づいて為
    されることを特徴とする請求項２５に記載の液滴吐出ヘ
    ッドの位置決め方法。
  27. 【請求項２７】 液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキ
    ャリッジへの固定に先立ち、前記キャリッジに仮装着し
    た前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めする
    液滴吐出ヘッドの位置決め方法であって、 前記液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工
    程と、 前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記
    キャリッジに対し前記液滴吐出ヘッドを位置決めするヘ
    ッド位置決め工程とを備えたことを特徴とする液滴吐出
    ヘッドの位置決め方法。
  28. 【請求項２８】 ヘッド保持部材に搭載された液滴吐出
    ヘッドを、これが搭載されるキャリッジに位置決め状態
    で固定する液滴吐出ヘッドの固定装置であって、 前記キャリッジを保持するキャリッジ保持手段と、 前記ヘッド保持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを前記
    キャリッジに対し位置決め状態に保持するヘッド保持手
    段と、 この状態で前記ヘッド保持部材と前記キャリッジとの間
    に接着剤を注入する接着剤注入手段とを備えたことを特
    徴とする液滴吐出ヘッドの固定装置。
  29. 【請求項２９】 前記ヘッド保持手段は、前記ヘッド保
    持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに
    位置決めする位置決め手段を兼ねていることを特徴とす
    る請求項２８に記載の液滴吐出ヘッドの固定装置。
  30. 【請求項３０】 前記ヘッド保持手段には、タイマーが
    組み込まれており、 前記ヘッド保持手段は、前記接着剤を注入した後前記接
    着剤が所定の接着強度に達する時間、前記液滴吐出ヘッ
    ドを位置決め状態に保持することを特徴とする請求項２
    ８または２９に記載の液滴吐出ヘッドの固定装置。
  31. 【請求項３１】 前記接着剤注入手段は、前記ヘッド保
    持部材と前記キャリッジとの間に接着剤を注入する接着
    剤注入機構と、 前記接着剤注入機構をＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に移動させる移
    動テーブルとを有していることを特徴とする請求項２
    ８、２９または３０に記載の液滴吐出ヘッドの固定装
    置。
  32. 【請求項３２】 前記移動テーブルのＸ軸移動テーブ
    ル、Ｙ軸移動テーブルおよびＺ軸移動テーブルは、それ
    ぞれ駆動源がエアーシリンダで構成されていることを特
    徴とする請求項３１に記載の液滴吐出ヘッドの固定装
    置。
  33. 【請求項３３】 前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を
    挟んで前記ヘッド保持部材の前記キャリッジとの接触部
    には、当該接触部を貫通して一対の接着剤注入孔が形成
    されており、 前記接着剤注入機構は、前記一対の接着剤注入孔に対応
    する一対の接着剤注入ノズルを有していることを特徴と
    する請求項３１または３２に記載の液滴吐出ヘッドの固
    定装置。
  34. 【請求項３４】 前記ヘッド保持部材の前記一対の接着
    剤注入孔は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向にわずかに離間し
    て２組形成されており、 これに対応して前記移動テーブルのＸ軸移動テーブルま
    たはＹ軸移動テーブルは、前記接着剤注入機構を前記離
    間寸法分、往復移動させるサブテーブルを有しているこ
    とを特徴とする請求項３３に記載の液滴吐出ヘッドの固
    定装置。
  35. 【請求項３５】 前記各接着剤注入孔の前記キャリッジ
    側の端部が、面取りされていることを特徴とする請求項
    ３３または３４に記載の液滴吐出ヘッドの固定装置。
  36. 【請求項３６】 前記各接着剤注入ノズルは、Ｚ軸に対
    し傾いており、前記各接着剤注入孔は前記傾き方向に長
    い長孔に形成されていることを特徴とする請求項３３、
    ３４または３５に記載の液滴吐出ヘッドの固定装置。
  37. 【請求項３７】 液滴吐出ヘッドをこれが搭載されるキ
    ャリッジに位置決め状態で固定する液滴吐出ヘッドの固
    定装置であって、 前記キャリッジを保持するキャリッジ保持手段と、 前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに対し位置決め状
    態に保持するヘッド保持手段と、 この状態で前記液滴吐出ヘッドと前記キャリッジとの間
    に接着剤を注入する接着剤注入手段とを備えたことを特
    徴とする液滴吐出ヘッドの固定装置。
  38. 【請求項３８】 請求項２８ないし３７のいずれかに記
    載の液滴吐出ヘッドの固定装置を備えたことを特徴とす
    るヘッドユニットの組立装置。
  39. 【請求項３９】 ヘッド保持部材に搭載された液滴吐出
    ヘッドを、これが搭載されるキャリッジに位置決め状態
    で固定する液滴吐出ヘッドの固定方法であって、 前記ヘッド保持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを前記
    キャリッジに対し位置決め状態に保持するヘッド保持工
    程と、 この状態で前記ヘッド保持部材と前記キャリッジとの間
    に接着剤を注入する接着剤注入工程とを備えたことを特
    徴とする液滴吐出ヘッドの固定方法。
  40. 【請求項４０】 液滴吐出ヘッドをこれが搭載されるキ
    ャリッジに位置決め状態で固定する液滴吐出ヘッドの固
    定方法であって、 前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに対し位置決め状
    態に保持するヘッド保持工程と、 この状態で前記液滴吐出ヘッドと前記キャリッジとの間
    に接着剤を注入する接着剤注入工程とを備えたことを特
    徴とする液滴吐出ヘッドの固定方法。
  41. 【請求項４１】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィ
    ルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であ
    って、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を
    選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成
    することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  42. 【請求項４２】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞ
    れＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であっ
    て、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択
    的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特
    徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
  43. 【請求項４３】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子
    放出装置の製造方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択
    的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴と
    する電子放出装置の製造方法。
  44. 【請求項４４】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍
    光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を
    選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特
    徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
  45. 【請求項４５】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成す
    る電気泳動表示装置の製造方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選
    択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴
    とする電気泳動表示装置の製造方法。
  46. 【請求項４６】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを
    配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタ
    の製造方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を
    選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成
    することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  47. 【請求項４７】 前記多数のフィルタエレメントは、前
    記基板上に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部
    に収容されており、 前記フィルタエレメントを形成する前に、 前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選
    択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする
    請求項４６に記載のカラーフィルタの製造方法。
  48. 【請求項４８】 前記多数のフィルタエレメントおよび
    前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されてお
    り、 前記フィルタエレメントを形成した後に、 前記複数の液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料
    を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材
    料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成する
    ことを特徴とする請求項４７に記載のカラーフィルタの
    製造方法。
  49. 【請求項４９】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピ
    クセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であ
    って、 前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択
    的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特
    徴とする有機ＥＬの製造方法。
  50. 【請求項５０】 前記多数のＥＬ発光層は、前記基板上
    に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部に収容さ
    れており、 前記ＥＬ発光層を形成する前に、 前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選
    択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする
    請求項４９に記載の有機ＥＬの製造方法。
  51. 【請求項５１】 前記多数のＥＬ発光層と前記基板との
    間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
    成されており、 前記バンクを形成する前に、 前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を
    選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを
    特徴とする請求項５０に記載の有機ＥＬの製造方法。
  52. 【請求項５２】 前記多数のＥＬ発光層および前記バン
    クを覆うように対向電極が形成されており、 前記ＥＬ発光層を形成した後に、 前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を
    選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴と
    する請求項５１に記載の有機ＥＬの製造方法。
  53. 【請求項５３】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを
    構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ
    形成方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材
    料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択
    的に吐出して少なくとも一方の前記基板上に前記スペー
    サを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
  54. 【請求項５４】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金属配線
    形成方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を
    選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴と
    する金属配線形成方法。
  55. 【請求項５５】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成
    するレンズ形成方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選
    択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成するこ
    とを特徴とするレンズ形成方法。
  56. 【請求項５６】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを形成す
    るレジスト形成方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を
    選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴と
    するレジスト形成方法。
  57. 【請求項５７】 請求項１ないし８のいずれかに記載の
    ヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッド
    ユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光
    拡散体形成方法であって、 前記複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
    を前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選
    択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特
    徴とする光拡散体形成方法。
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