TWI252812B

TWI252812B - Head unit assembling device and method, method for making other devices therewith

Info

Publication number: TWI252812B
Application number: TW091123946A
Authority: TW
Inventors: Shinichi Nakamura; Yoshiaki Yamada
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-10-19
Filing date: 2002-10-17
Publication date: 2006-04-11
Also published as: KR100453587B1; US20030085943A1; KR20040071110A; JP2003127392A; KR100453607B1; CN1274496C; KR20030032849A; US7322394B2; JP3893937B2; CN1411985A

Description

1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（1 ) 【發明所屬之技術範圍】本發明係有關將代表於噴墨頭之液滴吐出噴頭之複數個’組裝於單一之支架之噴頭單元之組裝裝置及組裝方法’液滴吐出噴頭之定位裝置及定位方法，液滴吐出噴頭之固定裝置及固定方法，以及使用上述噴頭單元之液晶顯示裝置之製造方法、有機電激發光裝置之製造方法、電子放出裝置之製造方法、電漿顯示面板裝置之製造方法、電泳顯示裝置之製造方法、彩色濾色片之製造方法、有機電激發光元件之製造方法、間隔物形成方法、金屬配線形成方法 '透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法。、【先前技術】以往之印表機等中，需要複數（多數）之液滴吐出噴頭之時，將各液滴吐出噴頭，各個保持於噴頭保持構件，更且將此搭載於單一之支架，將複數之液滴吐出噴頭，與噴頭保持構件及支架同時，做爲噴頭單元進行處理。然後，於將液滴吐出噴頭組裝於噴頭保持構件之時，使用顯微鏡等，進行人定位及鎖緊固定。又，於將附有噴頭之噴頭保持構件，組裝於支存之時，於支架設定定位噴頭保持構件之插梢等，於此設定噴頭保持構件且加以固定。【爲解決發明之課題】 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 裝· *11 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7五、發明説明（2 ) 然而，此種之液滴吐出噴頭係由該噴嘴列，可將微小之液滴，精度佳且選擇性地加以吐出之故，可應用於液晶顯示裝置或有機電激發光顯示裝置等之彩色濾光片之製造的同時，期待各種之電子裝置式光碟等之製造裝置之應用。考量如此之應用技術時，除了液滴吐出噴頭本身之性能，於平面內之噴嘴（噴嘴列）之定位精度（組裝精度）或以此前提之之支架之定位精度，要求高精度。又，經由成爲吐出對象之液體等，液滴吐出噴頭之壽命會變短，液滴吐出噴頭之頻繁交換亦需考慮。於此等之部分，塔載於印表機之以往之液滴吐出噴頭 (噴頭單元）中，各部之精度累積決定整體之精度之故，安定維持高定位精度時，會產生極限。又，於途手作業之組裝時，有作業煩瑣且可靠性劣化之疑慮。本發明乃提供將複數之液滴吐出噴頭，可安定且精度佳地組裝於單一之支架的噴頭單元之組裝裝置及裝配方法，液滴吐出噴頭之定位裝置及定位方法，液滴吐出噴頭之固定裝置及固定方法，以及液晶顯示裝置之製造方法、有機電激發光裝置之製造方法、電子放出裝置之製造方法、電漿顯示面板裝置之製造方法、電泳顯示裝置之製造方法、彩色濾色片之製造方法、有機電激發光元件之製造方法、間隔物形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法爲該課題。 (請先閲讀背面之注意事項^^寫本頁) 裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 1252812 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（3) 【爲解決課題之手段】本發明之噴頭單元之組裝裝置，屬於將各別保持於噴頭保持構件之複數之液滴吐出噴頭，臨接藉由前述噴頭保持構件，假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備將前述支架之位置及各液滴吐出噴頭之位置，各別畫像辨識之辨識手段，和保持前述支架的同時，將前述支架向Χ·γ· 0軸方向移動之移動手段，和卡合於前述噴頭保持構件，將前述噴頭保持構件向Χ·γ· Θ軸方向微少移動的補正手段，和將前述噴頭保持構件固定於支架之固定手段，和控制前述辨識手段、前述移動手段、前述補正手段及前述固定手後的控制手段；前述控制手段係根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述移動手段，定位前述支架之後，驅動前述補正手段，對於前述支架，藉由前述各噴頭保持構件，定位前述各液滴吐出噴頭，更且驅動前述固定手段，藉由前述各噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭固定於前述支架者。根據此構成時，首先，經由辨識手段，畫像辨識支架之位置，根據該辨識結果，驅動移動手段，定位支架。由此，假裝著於支架之各液滴吐出噴頭則成爲假的定位狀態之故，接著可將臨接於各液滴吐出噴頭之辨識手段及補正手段的多餘移動極力地加以減少。接著，經由辨識手段，位置辨識搭載於各噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，根據該辨識結果，驅動補正手段，對於支架藉由各噴頭保持構 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) -裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 6 - 1252812 A/ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（4 ) 件，定位各液滴吐出噴頭。由此，各液滴吐出噴頭爲正確定位之故，在此驅動固定手段，將各噴頭保持構件固定於支架。如此，由支架及各液滴吐出噴頭之位置辨識，進行支架及各液滴吐出噴頭之定位（位置補正），更且，將到達各液滴吐出噴頭之支架之固定的一連串作業，以單一之裝置加以進行之故，於支架可將複數之液滴吐出噴頭，以高定位組裝之噴頭，安定地加以所得。然而，就液滴吐出噴頭而言，可爲於壓電元件施加電壓，利用該變形，吐出液滴之方式，或經由加熱器，將液滴瞬時加熱，利用該蒸發（體積膨脹），吐出液滴之方式皆可。此時，具備將前述支架之位置及搭載於前述支架之前述液滴吐出噴頭之位置圖案形成之校準掩罩；前述控制手段係藉由前述辨識手段，根據由保持於前述移動手段之前述校準掩罩及前述噴頭單元各別所得之掩罩位置資料及單元位置資料，控制移動手段、修正手段及固定手段爲佳。根據此構成，將校準掩罩成爲原型，做爲該複製品可得噴頭單元。爲此，做爲複製品組裝之複數（或多數）之噴頭單元係於相互之間，具有同等之精度，將具有高組裝之精度之噴頭，安定地加以量產。此等之時，支架之位置辨識乃將相互隔離設於前述支架之2個基準標記，前述辨識手段經由各別畫像辨識而進行，前述辨識手段乃具備經由對於前述支架之X軸方向及

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_五、發明説明（5 ) Y軸方向之任一方向之相對性移動，將前述2個之基準標記各別置入視野內的辨識攝影機爲佳。根據此構成，辨識手段之辨識攝影機乃經由對於支架之X軸方向及Y軸方向之任一方向之相對移動，將2個之基準標記，各置入於視野內之故，於辨識攝影機可極力排除移動伴隨的精度誤差。此時，各液滴吐出噴頭之位置辨識乃將形成於前述液滴吐出噴頭之噴嘴形成面的噴嘴列所隔離之2個噴嘴，使前述辨識手段各別加以畫像辨識而進行，辨識手段係具有將各2個之噴嘴，同時置入於視野內之2個之辨識攝影機爲佳。根據此構成，經由辨識手段之2個之辨識攝影機，各將2個之噴嘴同時置入於視野內之故，無需移動辨識攝影機，可將2個之噴嘴同時加以畫像辨識。可確實排除伴隨辨識攝影機之移動的精度誤差。又，畫像辨識噴嘴列之間隔之2個之噴嘴之故，液滴吐出噴頭之X軸方向及Y軸方向之位置辨識就根本而言，傾斜角度（Θ軸方向）亦正確地位置辨識。然而，噴嘴列之間隔之2個之噴嘴係成爲噴嘴列之最外端的2個之噴嘴爲佳。此等之時，前述液滴吐出噴頭乃具有於使噴嘴形成面朝上之狀態，藉由前述噴頭保持構件，吊掛於前述支架地加以假裝著，前述移動手段乃具有X· Y· 0軸移動平台，和固定於前述Χ·Υ· 0軸移動平台之0軸移動平台上，將前述液滴吐出噴頭以朝上之狀態，保持前述支架的組裝構 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 1252812 Α7 Β7 五、發明説明（6) 成爲佳。 (請先閲讀背面之注意事項@寫本頁) 根據此構成，支架係於將液滴吐出噴頭朝上假裝置之狀態，經由Χ·Υ·Θ軸移動平台適切移動。由此，固定辨識手段時，可將支架及各液滴吐出噴頭，臨接於辨識手段地，適切地加以移動。又，根據辨識手段之辨識結果，亦可適切進行支架之位置補正。更且，經由組裝構件，進行噴嘴形成面之層級調整。此時，於前述噴頭保持構件，前述補正手段被卡合的冋時’形成相互隔離配設之2個卡合孔，補正手段係具有 Χ·Υ· 0軸移動平台，安裝於Χ·γ· 0軸移動平台之0 軸移動平台上的Ζ軸移動平台，和安裝於前述ζ軸移動平台，卡合於前述噴頭保持構件之2個卡合孔的一對卡合臂爲佳。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製根據此構成時，補正手段係具有Χ·Υ·0軸移動平台之故，經由該補正手段，根據位置辨識，可進行各液滴吐出噴頭之適切之位置補正。又，將安裝於X· Υ· 0軸移動平台化Ζ軸移動平台的一對之卡合臂，經由卡合於噴頭保持構件之2個之卡合孔，爲了補正，可安且且精度佳地移動各噴頭保持構件（各液滴吐出噴頭）。此等之時，前述固定手段係於前述噴頭保持構件和前述支架之間，塗佈黏著劑之黏著劑塗佈機構，和將前述黏著劑塗佈機構，向X · Υ · Ζ軸方向移動之移動平台爲佳。根據此構成之時，固定手段，具有於噴頭保持構件和 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 Α7 Β7 五、發明説明（7) 支架間，塗佈黏著劑之黏著劑塗佈機構，噴頭保持構件之支架的固定則經由黏著加以進行之故，與經由螺絲固定等不同，於固定作業（固定動作），可有效防止噴頭保持構件之位置偏移。又，具有將黏著劑塗佈機構向Χ·γ·ζ軸方向移動之移動平台之故，可將黏著劑於任意位置加以塗佈。然而，做爲黏著劑，則使用所謂瞬間黏著劑爲佳。又，黏著噴頭保持構件之後（假固定），再更將機械性固定（本固定）則更佳。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本發明之另一噴頭單元之組裝裝置，屬於將複數之液滴吐出噴頭，臨接於假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備將前述支架之位置及各液滴吐出噴頭之位置，各別畫像辨識之辨識手段，和保持前述支架的同時，將前述支架向X· Υ· 0軸方向移動之移動手段，和卡合於前述噴頭保持構件，將前述噴頭保持構件向Χ·γ·Θ軸方向微少移動的補正手段，和將前述噴頭保持構件固定於支架之固定手段，和控制前述辨識手段、前述移動手段、前述補正手段及前述固定手後的控制手段；前述控制手段係根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述移動手段，定位前述支架之後，驅動前述補正手段，對於前述支架，藉由前述各噴頭保持構件，定位前述各液滴吐出噴頭’更且驅動前述固定手段，藉由前述各噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭固定於前述支架者。’ 此構成乃將各液滴吐出噴頭支接置入支架者，經由如 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（8) 此，首先，經由辨識手段，畫像辨識支架之位置，根據該辨識結果，驅動移動手段，定位支架。接著，經由辨識手段，位置辨識各液滴吐出噴頭，根據該辨識結果，驅動補正手段，對於支架藉由各噴頭保持構件，定位各液滴吐出噴頭。由此，各液滴吐出噴頭爲正確定位之故，在此驅動固定手段，將各噴頭保持構件固定於支架。如此，由支架及各液滴吐出噴頭之位置辨識，進行支架及各液滴吐出噴頭之定位（位置補正），更且，將到達各液滴吐出噴頭之支架之固定的一連串作業，以單一之裝置加以進行之故，於支架可將複數之液滴吐出噴頭，以高定位組裝之噴頭，安定地加以所得。本發明之噴頭單元之組裝方法，屬於各別保持於噴頭保持構件之複數之液滴吐出噴頭，臨接藉由前述噴頭保持構件，假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝方法，其特徵係具備晝像辨識前述支架之位置之支架辨識工程，和根據前述支架辨識工程之辨識結果，定位前述支架之支架定位工程，和畫像辨識前述各液滴吐出噴頭之位置的噴頭辨識工程，和根據前述噴頭辨識工程之辨識結果，對於前述支架，藉由前述各噴頭保持構件，定位前述各液滴吐出噴頭之噴頭定位工程，和將前述定位之前述各噴頭保持構件，固定於前述支架之固定工程。根據此構成時，由支架及各液滴吐出噴頭之位置辨識，進行支架及各液滴吐出噴頭之定位（位置補正），更且’ (請先閲讀背面之注意事項訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -”- 1252812 A7 _B7_ 五、發明説明（9 ) 將到達各液滴吐出噴頭之支架之固定的一連串作業，以單一之裝置加以進行之故，於支架可將複數之液滴吐出噴頭，以高定位組裝之噴頭，安定地加以所得。此時，將前述噴頭辨識工程，前噴頭定位工程及前述固定工程，依此工程順序，數分重覆前述液滴吐出噴頭爲佳。根據此構成時，對於各液滴吐出噴頭，連續進行噴頭辨識工程，噴頭定位工程及固定工程之故，可使各液滴吐出噴頭之移動限制於最小之距離的同時，亦可有效率進行固定工程。此時，固定工程係更具備經由黏著劑，將前述噴頭保持構件黏著於前述支架而進行，固定工程之後，將前述噴頭保持構件機械性固定於前述支架之本固定工程爲佳。根據此構成時，則經由黏著劑，將噴頭保持構件假固定於支架。因此，此假固定就原本而言，可有效防止本固定之噴頭保持構件（液滴吐出噴頭）之位置偏移。又，由假固定至本固定的期間，將支架移動至裝置外，亦可防止振動等所造成之噴頭保持構件之位置偏移。另一方面，本固定之噴頭保持構件乃即時有經時性使黏著劑劣化，對於支架而言，無位置偏移或脫離。此時，準備將前述支架之位置及搭載於前述支架之前述各液滴吐出噴頭之位置圖案形成之校準用掩罩，根據自前述支架定位工程及前述噴頭單元各別所得之掩罩位置資料及單元位置資料，各別而成者爲佳。請閲讀背面之注意事項頁經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -12- 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（1Q) 根據此構成時，將校準掩罩做爲原型，做爲該複製，可得噴頭單元。爲此，做爲複製組裝之複數（或多數）之噴頭單元乃於相互之間，具有同等之精度，可安定量產具有高之組裝精度之噴頭單元。本發明之其他之噴頭單元之組裝方法，屬於將複數之液滴吐出噴頭，臨接於假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝方法，其特徵係具備畫像辨識前述支架之位置之支架辨識工程，和根據前述支架辨識工程之辨識結果，定位前述支架之支架定位工程，和畫像辨識前述各液滴吐出噴頭之位置的噴頭辨識工程，和根據前述噴頭辨識工程之辨識結果，對於前述支架，藉由前述各噴頭保持構件，定位前述各液滴吐出噴頭之噴頭定位工程，和將前述定位之前述各噴頭保持構件，固定於前述支架之固定工根據此構成時，由支架及各液滴吐出噴頭之位置辨識，將到達各液滴吐出噴頭之支架之固定的一連串作業，以單一之裝置加以進行之故，於支架可將複數之液滴吐出噴頭，以高定位組裝之噴頭，安定地加以所得。本發明之液滴吐出噴頭之定位裝置，屬於將保持於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，藉由前述噴頭保持構件，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位裝置，其特徵係具備畫像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之辨識手段’ 請先閲讀背面之注意事項裝-- 寫本頁) 訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（11) 和卡合於前述噴頭保持構件，將前述噴頭保持構件，相對於Χ·Υ·0軸方向微少移動的補正手段，和控制前述辨識手段及前述修正手段的控制手段；前述控制手段乃根據前述辨識手段之辨識結果，驅動則述補正手段^對於前述支架，藉由前述噴頭保持構件，定位前述液滴吐出噴頭者。根據此構成時，液滴吐出噴頭乃藉由噴頭保持構件，假裝著於預先設定於所定之位置的支架，由此狀態，經由辨識手段，位置辨識液滴吐出噴頭，根據該辨識結果，驅動補正手段，定位對於支架之液滴吐出噴頭。此時，補正手段乃將噴頭保持構件，成爲相對於X · Υ · 0軸方向微少移動的構造之故，將液滴吐出噴頭之位置補正，可精度佳且迅速地加以進行。此時，具備圖案形成對於前述支架之前述液滴吐出噴頭之位置的校準掩罩；前述控制手段乃藉由前述辨識手段，根據由前述校準掩罩所得掩罩位置資料和由前述液滴吐出噴頭所得噴頭位置資料，控制前述補正手段爲佳。根據此構成時，將校準掩罩做爲原型，以該複製的形式，可將液滴吐出噴頭定位於支架之故，可經常以安定之定位精度，定位液滴吐出噴頭。因此，可提高裝置之可靠此時，液滴吐出噴頭之定位裝置，乃前述液滴吐出噴頭之位置乃將形成於該液滴吐出噴頭之噴嘴形成面的噴嘴列所隔離之2個噴嘴，前述辨識手段經由各別畫像辨識而本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）閲讀背面之注意事項寫本頁經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 1252812 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（巧進行，前述辨識手段乃具備將前述2個之噴嘴各別同時置入視野內的辨識攝影機爲佳。根據此構成時，將液滴吐出噴頭之位置辨識乃以液滴吐出噴頭之噴嘴列之隔離之2個噴嘴之畫像辨識加以進行之故，噴嘴列之X軸方向及Y軸方向之位置則原本，傾斜角度（0軸方向）亦精度佳地加以位置辨識。又，經由2個辨識攝影機，將各2個噴嘴，同時置入於視野內之故，無需移動辨識攝影機，可畫像辨識2個之噴嘴，可排除伴隨辨識攝影機之移動的精度誤差。然而，噴嘴列隔離之2個之噴嘴乃成爲噴嘴列之最外端之2個噴嘴爲佳。此時，辨識手段乃具有可調節前述2個之辨識攝影機之相互之視野間尺寸的視野間調節機構爲佳。根據此構成，於成爲辨識對象物之液滴吐出噴頭，噴嘴列之長度不同之時，經由此視野間調節機構，可調節2 個噴嘴攝影機之視野間尺寸。由此，2個之辨識攝影機乃經常可將2個噴嘴同時置入於視野內。此等之時，於前述噴頭保持構件，前述補正手段被卡合的同時，形成相互隔離配設之2個卡合孔，前述補正手段係具有Χ·Υ· β軸移動平台，安裝於χ·γ· 0軸移動平台之Θ軸移動平台上的Ζ軸移動平台，和安裝於前述ζ 軸移動平台，卡合於前述噴頭保持構件之2個卡合孔的一對卡合臂爲佳。根據此構成時，補正手段具有X· Υ· 0軸移動平台之故，藉由噴頭保持構件，將液滴吐出噴頭之位置補正，可 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) I·· 裝- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -15- 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（13) 確實以一連串之移動動作加以進行。又，將Z軸移動平台之一對之卡合臂，卡合於噴頭保持構件之2個之卡合孔，爲進行位置補正，將位置補正安定且精度佳地加以進行。此時，X· Y· 0軸移動平台之X軸移動平台及Y軸移動平台，乃具有構成各驅動源之線性馬達，和導引移動之空氣滑動器爲佳。根據此構成，較將移動系之本體，以球型螺絲加以進行，可得高移動精度之故，將液滴吐出噴頭之位置補正，可於裝置構成上精度佳地進行。此時，各卡合臂乃具有前述部插入至前述各卡合孔之卡合插梢，前述卡合插梢之前端部乃形成成爲將前端側經由前述卡合孔成爲細徑，將基端側經由前述卡合孔而成粗徑的推拔形狀爲佳。根據此構成，將噴頭保持構件之各卡合孔，和Z軸移動基台之各卡合臂之卡合插梢，高精度地加以卡合。即，可防止卡合孔和卡合插梢間之間隙，影響到位置補正時之精度。此時，各卡合臂乃更具有將前述卡合插梢，保持成該軸方向之進退自如的插梢支持器，和將前述卡合插梢向突出方向彈播之彈簧爲佳。根據此構成時，卡合於卡合孔之卡合插梢，則藉由卡合孔，按壓噴頭保持構件，可安定位置補正時及位置補正後之噴頭保持構件之位置。又，於位置補正後，將噴頭保持構件固定於支架之時，於位置安定之狀態，將此固定。 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝·

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -16- 1252812 A7 —_ B7_ 五、發明説明（14) 此時’噴頭保持構件之2個卡合孔乃一方形成成爲圓形，另一*方形成成爲長圓形者爲佳。根據此時’噴頭保持構件之2個卡合孔乃一方形成成爲圓形，另一方形成成爲長圓形爲佳。根據此構成，於一對之卡合臂（卡合插梢）之隔離尺寸，有製造上的誤差中，將各卡合插梢之各卡合孔的卡合，可確實且圓滑地加以進行。即，可確實防止卡合臂之卡合錯誤。本發明之其他之液滴吐出噴頭之定位裝置，屬於將液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位裝置，其特徵係具備畫像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之辨識手段，和卡合於前述噴頭保持構件，將前述噴頭保持構件，相對於X · Y · β軸方向微少移動的補正手段，和控制前述辨識手段及前述修正手段的控制手段；前述控制手段乃根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述補正手段，對於前述支架，藉由前述噴頭保持構件，定位前述液滴吐出噴頭者。根據此構成時，液滴吐出噴頭乃直接定位於支架者，根據此時，經由辨識手段，位置辨識液滴吐出噴頭，根據該辨識結果，驅動補正手段，定位對於支架之液滴吐出噴頭。此時，補正手段乃將液滴吐出噴頭，成爲相對於X · Υ · β軸方向微少移動的構造之故，將液滴吐出噴頭之位置補正，可精度佳且迅速地加以進行。 (請先閲讀背面之注意事項\^、寫本頁) 裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 17 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（15) 本發明之其他之噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備上述本發明之液滴吐出噴頭之定位裝置。根據此構成時，藉由噴頭保持構件，可將液滴吐出噴頭，精度佳地定位於支架。爲此，可於支架得安定精度佳組裝液滴吐出噴頭的噴頭單元。本發明之液滴吐出噴頭之定位方法，屬於將搭載於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，藉由前述噴頭保持構件，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位方法，其特徵係具備畫像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之噴頭辨識工程，和根據前述噴頭辨識手段之辨識結果，對於前述支架，藉由前述噴頭保持構件，定位前述液滴吐出噴頭之噴頭定位工程者。根據此構成，位置辨識液滴吐出噴頭，根據該辨識結果，將液滴吐出噴頭，藉由噴頭保持構件，定位於支架之故，結果而言，可將液滴吐出噴頭，直接定位於支架。爲此，可將液滴吐出噴頭之定位（位置補正），精度佳且迅速地加以進行。此時，準備圖案形成搭載於前述支架之前述液滴吐出噴頭之位置的校準掩罩，前述噴頭定位工程乃根據同一條件下，由前述校準掩罩及前述液滴吐出噴頭各別所得之掩罩位置資料及噴頭位置資料而成者爲佳。根據此構成時，將校準掩罩做爲原型，以該複製的形式，可將液滴吐出噴頭定位於支架之故，可經常以安定之 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝- 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 18 _ 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（16) 定位精度，定位液滴吐出噴頭。本發明之其他之液滴吐出噴頭之定位方法，屬於將液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位方法，其特徵係具備畫像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之噴頭辨識工程，和根據前述辨識工程之辨識結果，對於前述支架，定位前述液滴吐出噴頭之噴頭定位工程者。根據此構成，位置辨識液滴吐出噴頭，根據該辨識結果，將液滴吐出噴頭，藉由噴頭保持構件，定位於支架之故，結果而言，可將液滴吐出噴頭，直接定位於支架。爲此，可將液滴吐出噴頭之定位（位置補正），精度佳且迅速地加以進行。本發明之液滴吐出噴頭之固定裝置，屬於將搭載於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定裝置，其特徵係具備保持前述支架之支架保持手段，和藉由前述噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭前述支架保持於定位狀態之噴頭保持構件，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入手段。根據此構成，對於保持於支架保持手段之支架，噴頭保持手段爲藉由噴頭保持構件，保持於定位液滴吐出噴頭之狀態。於此狀態，黏著劑注入手段於噴頭保持構件和支架間，注入黏著劑。如此之時，藉由凝固黏著劑，噴頭保持構件保持定位於支架之狀態地，黏著固定。即，與鎖緊 (請先閲讀背面之注意事項3寫本頁) -裝· -、v" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 19 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（17) 等不同，無外力之作，藉由噴頭保持構件，將液滴吐出噴頭安定固定於支架。然而，考量凝固時間之縮短，於黏著劑可使用所謂瞬間黏著劑。又，此黏著固定後，將液滴吐出噴頭（噴頭保持構件），機械性固定（本固定）於支架則更佳。此時，噴頭保持構件乃兼具藉由前述噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭定位於前述支架之定位手段爲佳。根據此構成，可連續進行對於支架之液滴吐出噴頭之定位作業和此後之固定作業，提高作業之效率的同時，可確實維持液滴吐出噴頭之高組裝精度。此時，於前述噴頭保持手段中，組裝有計時器，前述噴頭保持手段乃注入前述黏著劑後，前述黏著劑到達所定黏著強度之時間，將前述液滴吐出噴頭保持於定位狀態者爲佳。根據此構成時，經由噴頭保持手段，成爲完全之黏著狀態，爲將液滴吐出噴頭保持於對於支架之定位狀態，可確實防止黏著不良或液滴吐出噴頭之位置偏移。此等之時，黏著劑注入手段乃具有於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入機構，和將前述黏著劑注入機構向X· Y· Z軸方向移動之移動平台爲佳。根據此構成時，將注入黏著劑之黏著劑注入機構，藉由移動平台，適切向Χ·γ·ζ軸方向移動之故，於經由噴頭保持構件保持於定位狀態之液滴吐出噴頭周圍，自在地請先閲讀背之注意事項 Ρ 本經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -20- 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

A7 _____B7 __五、發明説明（18) 臨接黏著劑注入機構。此時，移動平台之X軸移動平台、Y軸移動平台及Z 軸移動平台乃各驅動源以汽缸加以構成者爲佳。根據此構成，可將移動平台以低成本加以構成的同時，藉由移動平台，可迅速移動黏著劑注入機構。又，可利用此空氣壓系，驅動黏著劑注入機構。此等之時，挾持液滴吐出噴頭之噴嘴形成面，於與前述噴頭保持構件之前述支架之接觸部，貫通前該接觸部，形成一對之黏著劑注入孔，前述黏著劑注入機構乃具有對祇於前述一對之黏著劑注入孔之一對之黏著劑注入噴嘴爲佳。根據此構成時，於噴頭保持構件之一對之黏著劑注入孔，插入黏著劑注入機構之一對之黏著劑注入噴嘴，經由注入黏著劑，可於挾持液滴吐出噴頭之噴嘴形成面的噴頭保持構件和支持之接觸部之2處，送達黏著劑。由此，於適切黏著劑之位2，簡單且迅速地加注入。此時，噴頭保持構件之前述一對之黏著劑注入孔，乃向X軸方向或Y軸方向些微隔離，形成2組，對應於此，前述移動平台之X軸移動平台或Y軸移動平台，乃具有令前述黏著劑注入機構往復移動前述間隔尺寸部分之副平台爲佳。根據此構成，噴頭保持構件之一對之黏著劑注入孔則於X軸方向或γ軸方向些微隔離，形成2組之故，上述之接觸部爲廣之時，可確實送達黏著劑。又，移動平台之X (請先閱讀背面之注意事項v 裝-- ^寫本頁) 訂線本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（19) 軸移動平台或γ軸移動平台，具有將黏著劑注入機構往復移動間隔尺寸部分之副平台之故，經由此專用之副平台，將2組之黏著劑注入孔間之黏著劑注入機構之移動，可確實且迅速地加以進行。此等之時，各黏著劑注入孔之前述支架側之端部被加以倒角者爲佳。根據此構成，經由黏著劑注入孔之倒角部分，促進注入此黏著劑之噴頭保持構件和支架之接觸部的毛細管現象之故，於接觸部，可確實且圓滑送達黏著劑。此等之時，各黏著劑注入噴嘴乃對於Z軸傾斜，前述各黏著劑注入孔乃向前述傾斜方向形成成長的長孔爲佳。根據此構成，對於將液滴吐出噴頭於定位狀態加以保持之噴頭保持構件，可有效防止干涉臨接於噴頭保持構件之黏著劑注入噴嘴的干涉，又，於黏著劑注入孔，爲傾斜插黏著劑注入噴嘴，朝向黏著劑注入孔之周緣部分，注入黏著劑，於接觸部，可確實且圓滑送達黏著劑。本發明之其他之液滴吐出噴頭之固定裝置，屬於將液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定裝置，其特徵係具備保持前述支架之支架保持手段，和將前述液滴吐出噴頭，對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持手段，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入手段。此構成係將液滴吐出噴頭直接固定於支架，根據此時，對於保持於支架保持手段之支架，噴頭保持手段爲藉 (請先閲讀背面之注意事項\?^寫本頁) 裝- 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 22 - 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（20) 由噴頭保持構件，保持於定位液滴吐出噴頭之狀態。於此狀態，黏著劑注入手段於噴頭保持構件和支架間，注入黏著劑。如此之時，藉由凝固黏著劑，噴頭保持構件保持定位於支架之狀態地，黏著固定。即，與鎖緊等不同，無外力之作，藉由噴頭保持構件，將液滴吐出噴頭安定固定於支架。然而，考量凝固時間之縮短，於黏著劑可使用所謂瞬間黏著劑。又，此黏著固定後，將液滴吐出噴頭（噴頭保持構件），機械性固定（本固定）於支架則更佳。本發明之其他之噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備上述之本發明之液滴吐出噴頭之固定裝置。根據此構成，例如於支架，搭載複數之液滴吐出噴頭之時，將定位之液滴吐出噴頭，向支架有效率地加以固定，可安定得精度佳組裝之噴頭單元。本發明之液滴吐出噴頭之固定方法，屬於將搭載於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定方法，其特徵係具備藉由前述噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭，對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持工程，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入工程。根據此構成係藉由凝固黏著劑，噴頭保持構件定位於支架之狀態直接黏著固定。即，與鎖緊等不同，無外力之作，藉由噴頭保持構件，將液滴吐出噴頭安定固定於支架。因此，有效防止固定作業之液滴吐出噴頭之位置偏 (請先閲讀背面之注意事項鍤，本頁) -裝·

、1T 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -23- 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明（21) 移。本發明之其他之液滴吐出噴頭之固定方法，屬於將液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定方法，其特徵係具備將前述液滴吐出噴頭，對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持工程，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入工程。根據此構成時，藉由凝固黏著劑，將液滴吐出噴頭定位於支架之狀態直接黏著固定。有效防止固定作業之液滴吐出噴頭之位置偏移。本發明之液晶顯示裝置之製造方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於彩色濾色片之基板上，形成多數之濾色片單元之液晶顯示裝置之製造方法，其特徵係前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之濾色片材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭’對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述濾色片材料，形成多數之前述濾色片單元。本發明之有機電激發光裝置之製造方法，屬於使用上 ^本:發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基之多數之圖素晝素，各形成電激發光層之有機電激發置之製造方法，其特徵係前述複數之液滴吐出噴頭導 Λ各色之發光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液 ί商出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述發光材料，形成多數之前述電激發光層。 (請先閲讀背面之注意事項\^寫本頁) 裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（22) 本發明之電子放出裝置之製造方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於電極上，形成多數之螢光體之電子放出裝置之製造方法，其特徵係前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之螢光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述電極相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述螢光材料，形成多數之前述螢光體。本發明之電漿顯示裝置之製造方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於背面基板上之凹部，各形成螢光體之電漿顯示裝置之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之螢光材料’藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述背面基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述螢光材料’形成多數之前述螢光體。本發明之電泳顯示裝置之製造方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於電極上之多數之凹部，各形成泳動體之電泳顯示裝置之製造方法’其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之泳動體材料’藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述背面基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述 t永動體材料，形成多數之前述泳動體。如此地，將上述噴頭單元，經由適用於液晶顯示裝置之製造方法、有機電激發光裝置之製造方法、電子放出裝置之製造方法、PDP裝置之製造方法及電泳顯示裝置之製本紙張尺度朝^標準（CNS) A4· (21GX 297公羡）~ (請先閲讀背面之注意事項^^寫本頁} .裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（23) 造，將要求於各裝置之濾光片材料或發光材料等，於適切之位置，選擇性供給適切之量。然而，液滴吐出噴頭之掃瞄一般爲主掃瞄及副掃瞄，將所謂1線以單一之液滴吐出噴頭加以構成之時，則僅有副掃瞄。又，電子放出裝置，乃包含所謂FED裝置之槪念。本發明之彩色濾色片之製造方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，製造排列多數濾色片單元所成之彩色濾色片的彩色濾色片之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之濾色片材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述濾色片材料，形成多數之前述濾色片單元。此時，多數之濾光片元件係收容於經由設於基板上之凸狀之間隔壁所形成之凹部，於形成濾色片元件之前，在複數之液滴吐出噴頭導入間隔壁材料，藉由噴頭單元，將複數之液滴吐出噴頭對於基板相對性掃瞄，選擇性吐出間隔物材料，形成間隔物爲佳。又’此時，形成被覆多數之濾色片元件及間隔物的外敷膜’形成濾色片元件後，於複數之液滴吐出噴頭，導入透光性之塗佈材料，藉由噴頭單元，將複數之液滴吐出噴頭對於基板相對性掃瞄，選擇吐出塗佈材料，形成外敷膜者爲佳。本發明之有機電激發光裝置之製造方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，將包 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) .裝.

、1T 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） -26- 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（24) 含電激發光層之多數之複數之圖素畫素，於基板上加以排列所成之有機電激發光裝置之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之發光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述發光材料，形成多數之前述電激發光層。此時，多數之電激發光層乃收容於經由設於前述基板上之凸狀之間隔壁所形成之凹部，於形成前述電激發光層之前，於前述複數之液滴吐出噴頭導入間隔壁材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述間隔壁材料，形成前述間隔壁爲佳。又此時，於前述多數之電激發光層和前述基板之間，對應電激發光層，形成多數之畫素電極，於形成前述間隔壁之前，於前述複數之液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述液狀電極材料，形成前述畫素電極爲佳。更且此時，被覆前述多數之電激發光層及前述間隔壁地，形成對向電極，於形成前述濾色片單元之後，於前述複數之液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述液狀電極材料，形成前述對向電極爲佳。 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 鏵： -裝. 訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 27 - 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（25) 本發明之間隔物形成方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於2枚基板間，爲構成微小晶胞間隔，形成多數之粒子狀之間隔物的間隔物形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入構成間隔物之粒子材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於至少一方之前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述粒子材料，於前述基板上形成前述間隔物。本發明之金屬配線形成方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成金屬配線之金屬配線形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入液狀金屬材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述液狀金屬材料，形成前述金屬配線。本發明之透鏡形成方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成多數之微透鏡之透鏡形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入透鏡材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述透鏡材料，形成多數之前述微透鏡。本發明之光阻劑形成方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成任意形狀之光阻劑之光阻劑形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入光阻劑材料，藉由前述噴頭單元，將 (請先閲讀背面之注意事項\^寫本頁) 裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28- 1252812 A/ B7 五、發明説明（26) 前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述光阻劑材料，形成前述光阻劑。本發明之光擴散體形成方法，屬於使用上述本發明之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成多數之光擴散體之光擴散體形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入光擴散體材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述光擴散體材料，形成多數之前述光擴散體。如此，將上述噴頭單元，經由適用於彩色濾光片之製造方法、有機EL之製造方法、間隔物形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法，可對要求於各電子裝置或各光裝置的濾光片材料或發光材料等，選擇性供給適切位置的適切量。然而，上述之「間隔壁」係不論爲側面爲傾斜面，或垂直面等，包含具有突出形狀之側壁的間隔壁及肋部等的槪念。即，「間隔壁」係由基板視之，爲相對凸起之部分。【發明之實施形態】以下，參照添加之圖面，對於本發明之實施形態加以說明。噴墨印表機之噴墨頭（液滴吐出噴頭），乃由於可將微小之墨水滴（液滴），成爲點狀精度佳地加以吐出，例如於液滴 (吐出對象液），經由使用特殊墨水匣或感光性之樹脂等，期待對於各種零件之製造範圍之應用。又，相關應用技術請先閲讀背面 Ϊ 事項馬本頁經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 29 _ 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（27) 中，期待各種構件之製造範圍之應用。又，有關之應用技術中，推想有對於黏性高的吐出對象液等之液滴吐出噴頭之耐久性很大的影響，需隨時供予將複數之液滴吐出噴頭精度佳地安裝於支架的噴頭單元。本實施形態之噴頭單元之組裝裝置乃一倂設於例如組裝於液晶顯示裝置等之平面顯示器之彩色濾光片之製造裝置（以下稱「描繪裝置」），對此可隨時供給噴頭單元者。於此描繪裝置中，具備於彩色濾光片之濾光片元件，將R.G.B 之彩色濾材料，做爲液滴吐出之複數之液滴吐出噴頭，噴頭單元之組裝裝置，係將此複數之液滴吐出噴頭精度佳地組裝於支架，組裝噴頭單元，將此適切供給於描繪裝置。此時之噴頭單元之組裝手續，乃首先，將各液滴吐出噴頭於定位於噴頭保持部之狀態，各別加以組裝，將此假裝設於單一之支架，接著，對於支架，定位各液滴吐出噴頭之後，假固定，最後予以真固定者。然後，對液滴吐出噴頭之噴頭保持部的組裝，支架之假裝著及主固定，則做爲外工程，經由徒手作業進行，另一方面，於支架，定位複數之液滴吐出噴頭，且假固定之作業則以實施形態之組裝裝裝加以進行。在此，於本實施形態中，首先，對於以此組裝裝置處理之噴頭單元，和該構成要件之液滴吐出噴頭、噴頭保持部及支架進行說明。又，與此說明之前後，對於噴頭單元和上述描繪裝置之關係，使用.治具之液滴吐出噴頭之噴頭保持部的組裝方法、及成爲噴頭單元之定位基準的校準光 (請先閱讀背面之注意事項^^寫本頁) 裝· 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -30- 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ______B7_ 五、發明説明（28) 罩加以說明。之後，對於噴頭單元之組裝裝置，詳細加以說明。然後，最後，將此噴頭單元，對於適用於所謂平面顯示器之製造方法之側加以說明。圖1、圖2及圖3係噴頭單元之構造圖。如同圖所示，噴頭單元1乃具備支架2、和搭載支架2之複數個（12個）之液滴吐出噴頭3，和將各液滴吐出噴頭3，各安裝於支架2 加以安裝之的複數個（12個）之噴頭保持部4。12個之液滴吐出噴頭3係二分爲左右個6個，對於掃瞄方向，傾斜所定之角度加以配設。又，各6個之液滴吐出噴頭3乃對於副掃瞄方向，相互位置偏移配設，12個之液滴吐出噴頭3 之全吐出噴嘴57(後述），於副掃瞄方向被連續（一部分重覆）。即，實施形態之噴頭排列係於支架2上，將向同一方向傾斜配置之6個液滴吐出噴頭3，成爲2列堵，且於各噴頭列間，液滴吐出噴頭3則成爲相互1 80度旋轉之配置。當然，此排列圖案爲一例，可例如於各噴頭列鄰接之液滴吐出噴頭3間，成爲具有90度之角度之配置（鄰接噴頭間爲「八」字形），或各噴頭列間之液滴吐出噴頭3具有90 度之角度之配置（列間噴頭間爲「八」字形）。無論如何，12 個之液滴吐出噴頭3之全吐出噴嘴57所成點，於副掃瞄方向被連續者即可。又，對於各種基板，將液滴吐出噴頭3 成爲專用零件時，無需事先將液滴吐出噴頭3加以傾斜設定，配置成爲鋸齒狀或階梯狀即可。更且，可構成所定長度之噴嘴列（點列）時，可將此以單一之液滴吐出噴頭3加以構成亦可，以複數之液滴吐出噴頭3加以構成亦可。即， (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 裝- 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -31 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（29) 液滴吐出噴頭3之個數或列數、更且排列圖案可爲任意 (請先閲讀背面之注意事項支架2係具有一部分缺口之略方形之本體板11，和設於本體板11之長邊方向之中間位置的左右一對之基準插梢 12、12，和安裝於本體板11之兩長邊部分之左右一對之支持構件1 3、1 3，和設於各支持構件1 3之端部的左右一對之把手14、14。左右之把手14、14係例如將組裝之噴頭單元 1，載入上述之描繪裝置B時，將噴頭單元1成爲手持之部位。又，左右之支持構件13乃將支架2成爲固定於組裝裝置A或描繪裝置B之組件部時之部位（皆於後詳細說明）。更且，於支架2,位於二分之液滴吐出噴頭群3S之上側，設置連接於此等液滴吐出噴頭3之左右一對之配管連接組件1 5、1 5及左右一對之配線連接組件1 6、1 6。各配管連接組件15係配管連接於描繪裝置B之濾光片材料供給系，同樣地，各配線連接組件16係配線連接於描繪裝置B 之控制系而成。然而，圖1係省略一方（左側）之配管連接組件15，加以描繪。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本體板11係以較厚之不鏽鋼板等加以構成，於左右形成爲安裝各6個之液滴吐出噴頭3之一對之裝著開口 18、 18的同時，於適切位置形成爲減輕重量之複數之拔除開口 19。各裝著開口 18係連續安裝6個之液滴吐出噴頭3之開口部位1 8a者，依照6個之液滴吐出噴頭（液滴吐出噴頭群 3 S)3之排列，該軸線對於本體板11之軸線，僅些微傾斜。各支持構件13係以較厚之不鏽鋼板等加以構成，形成本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（3Q) 爲固定此之2個固定孔21、21及2個之螺絲孔22、22的同時，於此等固定孔21、21及螺絲孔22間，形成插入定位用之插梢的插梢孔23。詳細雖在於後述，於組裝裝置A 設定噴頭單元1時，使用插梢孔23定位的同時，使用2個固定孔21、21，鎖緊固定，同樣於描繪裝置B設定噴頭單元1時，使用插梢孔23定位的同時，使用2個螺絲孔22、 22，鎖緊固定。左右一對之基準插梢12、12係將畫像辨識做爲前提，將支架2爲定位於X軸、Y軸及0軸（位置辨識）之基準，而突出於本體板1 1之背面地加以安裝。如圖4所示，各基準插梢12係以圓柱狀之插梢本體25，和形成於插梢本體25 之前端面之中央部的凹狀、具體而言孔狀之基準標記26所構成。插梢本體25係由壓入支架2之基部壓入部27，和連接於基部壓入部27之胴部28，和突出形成於胴部28之前端的標記形成部29所成，於此標記形成部29之前端面 29a，形成基準標記26。標記形成部29之前端面29a係被鏡面加工，於此前端面29a之中心位置，穿孔有成爲基準標記26之小孔。小孔 (基準標記）26乃例如直徑0.3 mm程度者，自基部壓入部27 至胴部28，連接於形成於該軸心部之軸心孔30。此時，基準插梢1 2係穿孔小孔26之後，熱處理（離子氮化），將標記形成部29之前端面29a，進行鏡面處理加以形成。做爲鏡面處理之例子，於硏磨工具和前端面29a間，介入存在有微細之砥粒加以硏磨拋光完工，但並非限定於此。請先閱讀背面之注意事項裝-- :寫本頁) 、τ 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 33- 1252812 A7 B7 五、發明説明（31) 如此地，經由簡單之步驟，前端面29a爲白色，小孔之基準標記26爲暗色地，被辨識攝影機所攝像之故，可提升支架2之校準精度。然而，基準插梢12係將截面以圓柱狀加以說明，即使爲橢圓狀，或多角形狀皆可。更且，小孔之基準標記26亦非限定於小孔，具有可得充妙對比之溝之凹形狀亦可，而該凹平面形狀亦非限定於圓形。詳細雖述於後，搭載於組裝裝置A及描繪裝置B之辨識攝影機353乃將形成基準標記26之基準插梢12之前端面29a，補捉於視野內，進行晝像辨識（圖案辨識）。爲此，於辨識攝影機3 5 3所成圖案辨識中，鏡面處理之前端面29a 爲明亮色，形成於該前端面29a之略中央部的凹形狀之基準標記26則以暗色被辨識，以充分之對比基準標記26則被畫像辨識。因此，基準標記26可精度佳地被辨識，可確實防止辨識之錯誤。如此形成之基準插梢1 2，係將該前端面29a向下，打入到形成於支架（本體板11)2之安裝用之孔部分地加以壓入。壓入於支架2之基準插梢12係略與自支架2突出之液滴吐出噴頭3同一高度地，由本體板11之背面突出。即，成爲基準插梢12之畫像辨識面之前端面29a，和液滴吐出噴頭3之晝像辨識面所成噴嘴形成面（參照圖3)52，位於略同一平面內。由此，於辨識攝影機353，接著兩基準插梢12、12, 檢出各液滴吐出噴頭3之吐出噴嘴57時，無需變更該焦點位置（辨識攝影機3 53之上下動），且於進行畫像辨識之辨識 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) -裝· 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34 - 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7______五、發明説明（32) 攝影機3 53之相對移動時，辨識攝影機3 53可有效防止對於其他零件等之干涉。然而，一對之基準插梢12、12雖設於本體板11之長邊方向之略中間位置爲佳，只要是相互隔離，可設於其他之位置。如圖1、圖2及圖3所示，左右之把手14、14乃爲手持有重量（7kg程度）之噴頭單元1者，各把手14乃以手握部分之把手本體32，和由把手本體32之下端向直角延伸之臂部33，形成成爲「L」字狀。把手本體32係該上端部成爲止滑用之粗徑部34。又，於把手本體32之外周面，施以止滑用之滾花加工。然而，本實施形態中，雖採用斜紋之滾花加工（參照圖2及圖3)，但亦可爲折疊紋。臂部33係向水平延伸存在，於該前端部，座落於支架 2之支持構件1 3地，加以鎖緊。如此地，左右之把手14、 14乃由支架（本體板11)2之長邊方向之端部溢出之位置，即在由液滴吐出噴頭3離開之位置，可被立起地加以設定。爲此，把持兩把手14、14，提起支架2(噴頭單元1) 時，經由力量的平衡，支架2則維持略水平的姿勢直接拉起。又，於搬運作業等中，握住把手14的手，不會有產生觸摸液滴吐出噴頭3等之障礙。然而，詳細部分雖述於後，此把手14係在於噴頭單元1之搬運上，對於噴頭單元 1之描繪裝置B之組裝作業特別有用（詳細則述於後）。各配管連接組件15乃配設於各液滴吐出噴頭群3S之上側，以站立設於本體板1 1之長邊方向之兩端部之一對之 (請先閱讀背面之注意事項\^寫本頁) 裝· 、τ 線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -35 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（33) 間隔物36、36，和交付一對之間隔物36、36間之按壓板 37，和搭載於按壓板37之6組配管連接器38所構成。6組之配管連接器38係將該下端之噴頭側連接部分些微突出地，各固定於按壓板37。詳細雖於後述，液滴吐出噴頭3爲所謂雙連者，6組之配管連接器38係藉由各雙連之配管連接構件17,連接於液滴吐出噴頭3。即，於各液滴吐出噴頭3,嵌合連接配管連接構件17，另一方面將搭載6組之配管連接器38之按壓板 37，鎖緊於兩間隔物36、36，6組之配管連接器38則各藉配管連接構件17，連接於液滴吐出噴頭3。然後，於各配管連接器3 8之流入側，於設置於描繪裝置B時，於該濾光片材料供給系，以單觸控加以配管連接（詳細係如後述）。同樣地，各配線連接組件1 6係以站立設置於支架2之左右之端部的3個彎曲支持構件40、40、40，和固定於彎曲支持構件40之上端的連接器基台41，和安裝於連接器基台41之附有配線連接器43之4個之噴頭中繼基板42加以構成。4個之噴頭中繼基板42係各藉由可撓性平面纜線（圖示省略），連接於後述之各液滴吐出噴頭3之雙連之噴頭基板47。然後，於各噴頭中繼基板42,於設置於描繪裝置B 時，經由該控制系纜線之配線插頭加以配線連接（詳細如後述）。然而，僅如圖2所示，於此噴頭單元1，更且，設置被覆兩配線連接組件16之中繼基板覆蓋24。中繼基板覆蓋 24係由各配線連接組件16之側面，被覆正上部之一對之側 (請先閲讀背面之注意事項v -裝-- I寫本頁) 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36- 1252812 A7 ___ _B7_ 五、發明説明（Μ) 面覆蓋24a，和交付於一對之側面覆蓋24a間之上面覆蓋 2朴所構成，此上面覆蓋24b係將噴頭單元1設定於描繪裝置B之後加以安裝而成。又，詳細雖於後述，將噴頭單元 1設置於組裝裝置A之階段中，與設定於描繪裝置B之時不同，中繼基板覆蓋24係成爲原本不組裝兩組件15、16 接著，使用圖5至圖8，對於液滴吐出噴頭3加以說明。此液滴吐出噴頭3係所謂雙連者，具備具有雙連之連接針46之液體導入部45，和連接於液體導入部45之側方的雙連之噴頭基板47,和於液體導入部45連接於下方之雙連泵部48，和連接泵部48之噴嘴形成板49。於液體導入部45,連接有上述之配管連接構件17,於噴頭基板47,連接有上述可撓性平面纜線。另一方面，經由此泵部48和噴嘴形成板4 9，構成向支架2背面側突出之方形之噴頭本體 50。又，於噴嘴形成板49之噴嘴形成面52，形成2列之噴嘴列53、53(參照圖6)。如圖6及圖7所示，泵部48係具有對應於噴嘴數之壓力室55和壓電元件56，各壓力室55係連通於對應之全吐出噴嘴57。又，泵部48之基部側、即噴頭本體50之基部側乃接受液體導入部45，形成成爲方形凸緣狀，於此凸緣部5 8，形成將液滴吐出噴頭3固定於噴頭保持部4之小螺絲用之一對之螺絲孔（雌螺絲）5 9、59。此一對之螺絲孔 59、59係位於兩長邊部分，且對於噴嘴形成面52之中心，成爲點對稱地加以配設。詳細雖於後述，貫通噴頭保持部請先閲讀背面之注意事項

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（35) 4，螺合於凸緣部58，經由2條之小螺絲73、73，液滴吐出噴頭3則固定於噴頭保持部4(參照圖9)。噴嘴形成板49，乃以不鏽鋼板等加以形成，連接於泵部48之吐出側端面（液滴吐出面）。更具體而言，於圖6及圖7模示性所示，泵部48係具有收容上述之壓電元件56 之機構部48a，和藉由樹脂薄膜48b，與噴嘴形成板49 一同，接合於此機構部48a之矽模槽48c。即，噴嘴形成板 49係黏著於矽模槽48c，於此狀態，藉由樹脂薄膜48b，接合於機構部48a之接合面48d，構成上述壓力室55。因此，於噴頭本體50，採用組裝方法時，上述之樹脂薄膜 48b、矽模槽48c及噴嘴形成板（包含後述鍍層49a)49，係對於泵部48之機構部48a，構成壓力室組裝體60。然後，機構部48a之接合面48d，乃形成成長方形，另一方面包含噴嘴形成板49之壓力室組裝體60則由此形成數分爲小的相似形狀，壓力室組裝體60則與接合面48d略爲同心1地加以重合接合。爲此，於壓力室組裝體60之四周和機構部48 a之接合面48d之四周緣部間，於四周構成做爲爲了接合之間隙之段部61，於此段部61，模鑄樹脂62。即，以接合面48d之端緣（周緣部）和壓力室組裝體60之端面（側面部）所構成之段部61，乃爲埋入此地，模鑄此樹脂62。因此，噴頭本體 5〇之下端，乃成爲經由此樹脂62四周倒角之形態。詳細部分雖述於後，經由此樹脂62之模鑄，乃於摩擦接觸時，噴頭本體50則防止爲摩擦板13 1所用。此時，液 (請先閲讀背面之注意事項3寫本頁) .裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38- 1252812 A7 B7 五、發明説明（36) (請先閲讀背面之注意事項\?||寫本頁) 滴吐出噴頭3係於水平面內，略爲傾斜，保持於支架2,對於噴頭本體50而言，摩擦板131係由X軸方向擦拭動作 (參照圖17)。因此，在於上述四周之模鑄樹脂62乃僅設於開始最近低限度擦拭側之長邊部分，或僅設於兩長邊之部分即可。又，於後述之倒角加工亦相同。然而，如圖7(b) 所示，將樹脂62由噴嘴形成板49向前述幾分突出（圖示之 t尺寸）地，加以模鑄，於樹脂62，可具有保護吐出噴嘴57 之保護之機能。又，如圖7(c)所示，將機構部48a之接合面48d和壓力室組裝體60成爲同一形狀，代替62之模鑄，將壓力室組裝體60之端緣進行倒角加工亦可。另一方面，於噴嘴形成板49，相互平行列設，各噴嘴歹[J 53係以等間隔排列之180個（圖示爲模示式顯示）之加以構成。即，於噴頭本體50之噴嘴形成面52中挾持該中心線，2條之噴嘴列53、53則成左右對稱配設。然後，各吐出噴嘴57之噴嘴口 63乃開口於形成排水性（排液性）之鍍層 49a的圓形凹陷64之深處。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而，圖6中之符號65、65，乃爲位置辨識液滴吐出噴頭3之2個噴嘴基準標記。如後所述，於本實施形態中，將液滴吐出噴頭3之位置辨識，晝像辨識（圖案辨識）任一方之噴嘴列53之最外端之2個之吐出噴嘴57a、57a，地加以進行。然而，經由吐出對象液，形成於吐出噴嘴（噴嘴口 63)57之彎月面之形態會有不一定之情形（參照圖6(b)中之假想線），於圖案辨識中，會有無法辨識（NG)之虞。在此，本實施形態中，於上述最外端之2個吐出噴嘴 39- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 __ _B7 _ 五、發明説明（37) 5 7a、57a之附近，形成2個之噴嘴基準標記65、65。即，於噴嘴形成面52中，向平行移動2個之吐出噴嘴57a、5 7a 的位置，更嚴密而言向對於平行移動噴嘴列53時之兩吐出噴嘴57a、5 7a的位置，經由雷射蝕刻等，形成2個噴嘴基準標記65、65。對於2個吐出噴嘴57a、57a，2個之噴嘴基準標記65、65被位置保証，2個之吐出噴嘴57a、57a之晝像辨識爲不安定之時，使用此2個之噴嘴基準標記65、 65，進行晝像辨識。然而，2個噴嘴基準標記65、65乃對於2個吐出噴嘴（嚴密而言，爲隔離之任意之2個吐出噴嘴 57、57即可）57a、5 7a被位置保証之下，而且充分間隔之下，設於噴嘴形成面52之任一位置亦可。如此構成之液滴吐出噴頭3，係將該噴頭本體50由形成於支架2之裝著開口 18向支架2之背面側突出，於裝著開口 18之緣部，於噴頭保持部4上，於上述凸緣部58之部分，螺止固定。又，噴頭保持部4係經由連接於支架2 而假固定，之後，使用機械性固定手段，加以主固定。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製接著，參照圖8及圖9，對於噴頭保持部4加以說明。噴頭保持部4係將液滴吐出噴頭3安定安裝於支架2之媒介模具，形成成爲以不鏽鋼等所構成之略長方形之平板狀。於噴頭保持部4，於該中央，形成插通液滴吐出噴頭3 之噴頭本體50之方形之插通開口 71。此時，噴頭保持部4 係於該長邊方向之兩端部，跨越裝著開口（開口部位 1 8a) 1 8，設定於支架2之背面側，對於此，液滴吐出噴頭3 係將該噴頭本體50插通於插通開口 71地，設定於支架2 _40- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（38) 之表面側（參照圖5)。 (請先閲讀背面之注意事項0寫本頁) 於噴頭保持部4之插通開口 71之周圍，配設對應上述凸緣部58之2個螺絲孔59、59的2個貫通孔72、72及2 條之小螺絲73、73，和2個之突出位置限制插梢74、74。 2個貫通孔72、72係形成於各突出於裝著開口 18側之2個凸起部75、75。此時，各凸起部75係以壓入噴頭保持部4 之筒狀之彩色加以柿成。此2個之凸起部75、75和2個之突出位置限制插梢74、74乃皆對於插通開口 7 1之中心，設於點對稱位置，此等之凸起部75、75和突出位置限制插梢74、74經由擋接於噴頭本體50之凸緣部58，可限制自液滴吐出噴頭3之支架2的吐出尺寸。又，於插通開口 71之中心線上，於插通開口 71之外側，形成2個卡合孔76、76。此2個卡合孔76、76係裝著後述之液滴吐出噴頭3之安裝工具C之部分的同時，亦爲卡合組裝裝置A之位置修正用之卡合插梢343、3 43的部分。此時，不勉強安裝工具C之裝著或卡合插梢343之卡合地，2個卡合孔76、76係一方成爲圓形，另一方向於上述中心線方向，形成長的長圓形。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製更且，於插通開口 7 1之中心線上，於噴頭保持部4之兩端部，各2個之黏著劑注入孔77、77，挾持插通開口 7 1，形成於對稱位置。各黏著劑注入孔77係延長峴噴頭保持部4之橫斷方向的長孔。此長孔之支架2側端部乃被倒角（參照圖8)。被各2個之黏著劑注入孔77、77形成之噴頭保持部4之兩端部，係成爲將噴頭保持部4連接於支架2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（39) 之黏著部位78、78，由各黏著劑注入孔77注入之黏著劑係經由毛細管現象，擴展於支架2和黏著部位78、78之界面部分，加以塗布。此時，形成於一方之端部之外側（內側）的黏著劑注入孔77a(77b)和形成於另一方之端部之內側（外側）之黏著劑注入孔77a(77b)乃各別成對。雖詳述於後’組裝裝置A係具有2條之黏著劑注入噴嘴3 87、3 87，2條之黏著劑注入噴嘴387、387乃於成對之一方之2個之黏著劑注入孔 7 7a、7 7a，同時注入被插入之黏著劑的同時，向上述中心線方向移動之後，於另一方之2個之不黏著劑注入孔77b、 77b，同時插入注入黏著劑。然而，圖中之符號79、79，將噴頭保持部4假裝著於支架2時所使用（詳細則於後述）之一對之締結孔79，此一對之締結孔79、79乃於各黏著劑注入孔77、77附近，對於插通開口 71之中心，形成於點對稱位置。又，於支架2 之開口部位18a中，形成對應於此一對之締結孔79、79的一對之假鎖緊用螺絲孔20、20(參照圖11)。然而，藉由一對之基準插梢12、12、對於定位之支架 2，各液滴吐出噴頭3乃以該輸出端之噴嘴列（吐出噴嘴 5 7)5 3爲基準，定位（位置辨識）於X軸、Y軸及0軸。更具體而言，2個噴嘴列5 3、5 3乃於製造階段，保証相互位置的精度之故，將位於任一方之噴嘴列53之最外端之2個吐出噴嘴57a、57A做爲定位基準，將此加以辨識。又液滴吐出噴頭3之噴頭本體50之前端部之四邊（嚴密而言’爲橫 (請先閲讀背面之注意事項本頁) 裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 42 - 1252812 A7 _B7_ 五、發明説明（4Q) 亙於泵部48之數mm寬度的前端部之四邊），亦於製造階段，保証相互之位置精度。另一方面，液滴吐出噴頭3乃藉於噴頭保持部4，固定於支架2之形態。在此，於本實施形態中，使用組裝工具 C，將上述噴頭本體50之前端部四邊爲基準，將液滴吐出噴頭3定位於噴頭保持部4,鎖緊固定後，將上述2個之吐出噴嘴57a、57a爲基準，定位附有噴頭保持部4的液滴吐出噴頭3，加以假固定。即，液滴吐出噴頭3係經由使用組裝工具C之途手作業，一且假定位於噴頭保持部4,接著經由組裝裝置A之畫像辨識（辨識吐出噴嘴57a、57a)，加以本定位。於實施形態之組裝裝置A中，爲達位置辨識之速度提升，將上述2個之吐出噴嘴57a、5 7a，以於固定設置之2 個之辨識攝影機3 5 3，同時加以辨識。即，將2個之辨識攝影機3 53、3 5 3，同時補捉於視野內。爲此，使用組裝工具 C之液滴吐出噴頭3之假定位，係於本定位之階段，根據設定之位置資料，將2個之辨識攝影機3 53、3 53，臨接於上述2個之吐出噴嘴57a、57a，皆爲不由視野脫離。在此，參照圖9及圖10,對於液滴吐出噴頭3之組裝工具C加以說明的同時，對於使用此組裝工具C，將液滴吐出噴頭3安裝於噴頭保持部4之安裝組裝方法加以說明。如圖1 〇所示，組裝工具C乃以定位液滴吐出噴頭3之噴頭本體50的工具本體81，和將工具本體81定位於噴頭保持部4之狀態裝著之一對之裝著插梢82、82加以構成。 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -43- 1252812 A7 B7 五、發明説明（41) (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) 工具本體81乃以縱邊部84，和由縱邊部84之兩端向直角延伸之一對之橫邊部85、85，成爲略「C」字狀一體加以形成。另一方面，一對之裝著插梢82、82係各由橫邊部85、85之背面側突出，將此一對之裝著插梢82、82 ’嵌合於噴頭保持部4之卡合孔76、76，工具本體8 1則裝著於噴頭保持部4。於自縱邊部84之內側跨過一方之橫邊部85之內側的部位，形成略「L」字狀之定位部86，於此定位部86 ’擋接噴頭本體50之一方之長邊及短邊，液滴吐出噴頭3則定位於噴頭保持部4。定位部86係將表面側，與其他部分做爲一面，形成成爲薄狀，且角落部86a則形成挖入成爲半圓狀。又，工具本體81係以將此裝著於噴頭保持部4之狀態，該表面和液滴吐出噴頭3之噴嘴形成面52，則幾近成爲一面（同程度）地，設計該厚度。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製由此，噴頭本體50乃該突出方向之前端部，擋接組裝工具C之定位部86加以定位。即，於製造階段，對於噴嘴列53，將保証位置精度之噴頭本體50之前端部之四邊中之鄰接的2個邊，頂接於組裝工具C之定位部86，液滴吐出噴頭3則定位於噴頭保持部4。另一方面，一對之裝著插梢82、82，頂接於定位部 86，合適於噴頭本體50之中心線地加以配設。更具體而言，定位部8 6之長邊部分8 6 b係與連接一對之裝著插梢 82、82之直線平行加以形成，且該間隔尺寸係配合於噴頭本體50之長邊位置加以管理的同時，形成成爲噴頭本體5〇 -44- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 ___B7___ 五、發明説明（42) 之短邊之1/2之尺寸。又，定位部86之短邊部分86c乃於長邊部分86b直角地加以形成，且與位於短邊部分86c側之裝著插梢82的間隔尺寸，乃配合噴頭本體50之短邊位置加以管理。由此，組裝工具C乃於由圖9之狀態，旋轉180度之狀態，裝著於噴頭保持部4時，不會產生特別的障礙’定位液滴吐出噴頭3。即，實施形態之組裝工具C乃該平面形狀非左右對稱，無由右向左，或左向右之構造。接著，參照圖9、圖11及圖12，使用上述之組裝工具 C，對於液滴吐出噴頭3之噴頭保持部4之組裝方法加以說明。此組裝作業乃做爲組裝裝置A之外工程，以途手作業加以進行。首先，於支架（嚴密而言，本體板11)2之表面側之周緣部，鎖緊4條之支持腳88、88、88、88。接著，上下反轉支架2，設定於將支架2經由支持腳88浮起之狀態，然而，於圖示中加以省略，於此狀態，在支架2，安裝上述一對之支持構件13、13及一對之基準插梢12、12爲佳。接著，將噴頭本體50朝上之液滴吐出噴頭3，由支架 2之下側插入裝著開口 18。在此，由支架2之上側，將噴頭保持部4之插通開口 71，位置配合於噴頭本體50，將噴頭保持部4設定於支架2上。設定噴頭保持部4之後，由上側於噴頭保持部4裝著組裝工具C的同時，於噴頭保持部4之定位部86，壓入對峙於此之噴頭本體50之2邊。然而，準備複數組裝工具C中，將此預先裝著噴頭保持部4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -45 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) •裝· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（43) 之後，開始作業亦可。接著，維持上述按壓狀態，自上側，將2條之小螺絲 73、73貫通噴頭保持部4，於液滴吐出噴頭3之凸緣部58 各別加以螺合，將液滴吐出噴頭3固定於噴頭保持部4。接著，2個之辨識攝影機3 53、3 53之視野，做爲不由2個之吐出噴嘴75a、75a離開之手段，由上述一對之締結孔79、 79向支架2之假鎖緊用螺絲孔20、20，各別將固定螺絲 89、89，以假鎖緊狀態加以螺合（參照圖9)。由此，於固定螺絲89和締結孔79之尺寸交叉的範圍，可進行對於支架2之液滴吐出噴頭3之位置配合的同時，2個之辨識攝影機3 53、3 5 3之視野，不會由2個之吐出噴嘴75a、75a離開。由此，順序重覆液滴吐出噴頭3之噴頭保持部4之定位及固定，1 2個液滴吐出噴頭3則各安裝於噴頭保持部4。最後，由噴頭保持部4拔除組裝工具C 的同時，除去4條之支持腳88，完成作業。如以上所述，挾持支架2，12個之液滴吐出噴頭3則組裝於1 2個之噴頭保持部4，於此狀態，1 2個之液滴吐出噴頭3乃不固定於支架2，成爲吊下之狀態。即，附有噴頭保持部4之12個之液滴吐出噴頭3,係對於支架2,於固定螺絲89和締結孔79之尺寸交叉範圍內，可微小移動地，加以假裝著。然而，此固定螺絲89爲丟棄螺絲，於組裝裝置A，於支架2黏著噴頭保持部4(假固定）後，加以除去。即，於實施形態中，進行噴頭保持部4之支架2之螺絲所成直接性之本固定。（成爲其他構件所成按壓固定）。 (請先閲讀背面之注意事項v -裝-- ~寫本頁) 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -46· 1252812 A7 _B7 五、發明説明（Μ) 然後，於支架2,假裝著附有噴頭保持部4之12個之液滴吐出噴頭3的噴頭單元1，乃導入組裝裝置A，保持上下反轉姿勢，將此設定。然而，導入於姐裝裝置A之噴頭單元1係於上述主構成零件組裝一對之支持構件1 3、1 3及基準插梢12、12，導入於描繪裝置B之噴頭單元1乃於此以把手1 4開始，組裝兩組件1 5、1 6等。在此，對於描繪裝置B簡單加以說明的同時，對於利用一對之把手14、14,將噴頭單元1載入於描繪裝置B之噴頭單元1之組裝方法加以說明。又，關連於液滴吐出噴頭3之噴頭本體50之構造，對於描繪裝置B之摩擦接觸裝置亦加以簡易說明。圖1 3乃將描繪裝置B模式性表示之槪念圖，如同圖所示，描繪裝置B乃具備搭載噴頭單元1，將此向Y軸方向及Θ軸方向移動的噴頭移動部101、和對峙於噴頭移動部 101，將彩色濾光片等之基板102向X軸方向移動的基板移動部1 03、和保全噴頭單元1之液滴吐出噴頭3的維護部 1 04。噴頭移動部1 0 1係將搭載此之噴頭單元1，挾持基板移動部103，於單元導入部105和維護部104間，加以移動。於導入安裝噴頭單元1之時，噴頭移動部101向單元導入部105側移動，該假放置台106臨接於單元導入部 105。噴頭單元1乃連繫假放置於此假放置台106上的配管及配線之後，送入噴頭移動部1 〇 1加以設定。然後’進行噴頭單元1之初期定位的工程中，雖進行噴頭單元1之㊀本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ <7 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) -裝- -訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1252812 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（45) 軸方向之微小移動（角度修正），於吐出濾色片材料之製造工程中，基板102則向X軸方向，且噴頭單元1向Y軸方向移動，進行液滴吐出噴頭3之主掃瞄及副掃瞄。噴頭移動部101乃具有垂設噴頭單元1地加以支持之主支架111，和將主支架111向Θ軸方向移動之Θ平台 112，藉由Θ平台112，將噴頭單元1向Y軸方向移動的Y 平台113。又，基板移動部103乃吸著基板102地加以設定之基板設定平台115,和藉由基板設定平台115,將基板向 X軸方向移動之X平台116。此時，X平台1 1 6乃以空氣滑動器和線性馬達之組合加以驅動（皆爲省略圖示）。又，基板辨識攝影機117乃於主支架1 11(參照圖15)，噴頭辨識攝影機118乃於基板設定平台115,各加以搭載。因此，設於噴頭單元1之支架2之一對之基準插梢12、12,乃經由噴頭辨識攝影機118和將此移動於X軸方向之X平台1 1 6之協動，加以畫像辨識。在此，參照圖67，對於噴頭辨識攝影機1 1 8所成之一對之基準插梢12、12之辨識動作加以說明。首先，根據設計上之資料，適切驅動X平台116及Y平台113,移動噴頭辨識攝影機118及支架（噴頭單元1)，將一方之基準插梢 1 2放入噴頭辨識攝影機1 1 8之視野內。將一方之基準插梢 1 2，以噴頭辨識攝影機1 18加以辨識時，接著，驅動X平台1 16，將噴頭辨識攝影機1 18向X軸方向（主掃瞄方向）移動，將另一方之基準插梢12，置於噴頭辨識攝影機118之視野內，加以辨識。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） .48 - (請先閲讀背面之注意事項$寫本頁) •裝· 訂線 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7五、發明説明（4S) 然後，根據噴頭辨識攝影機118所成一對之基準插梢 12、12之辨識結果，適切驅動X平台H6、Y平台113及Θ 平台112，進行支架（噴頭單元1)之位置補正。然而，於位置補正後，進行爲確認再度之上述之辨識動作，終止一連串之辨識動作。之後，於實際之液滴吐出作業，首先驅動X平台 116，將基板102往返移動於主掃瞄方向的同時，驅動複數之液滴吐出噴頭3，進行液滴吐出噴頭3之選擇伍之液滴吐出。接著，驅動Y平台113，令支架（噴頭單元1)2以1間隔分，向副掃瞄方向移動，再度進行基板102之主掃瞄方向之往復移動，和液滴吐出噴頭3之驅動。然後，將此數次重覆時，進行自基板1〇2端至端部（全範圍）之液滴吐出。如此，將一對之基準插梢12、12之畫像辨識之噴頭辨識攝影機1 1 8之移動，以X平台1 1 6加以進行之故，與使用滾珠螺絲之Y平台1 1 3等可同，可防止移動精度影響辨識精度。又，X平台116之移動方向之X軸方向乃合適於主掃瞄方向，可提高構造上、液滴吐出之精度（著彈點之精度）。然而，對於噴頭單元（支架2)1，雖將該吐出對象物之基板102，向主掃瞄方向移動，但亦可爲將支架（噴頭單元 1)2向主掃瞄方向移動的構成。又，可將一對之基準插梢 12、12,設於支架2之長邊方向之兩端部時，有關之情形中，經由向支架2之Y軸方向之相對移動，辨識一對之基準插梢1 2、1 2。 (請先閲讀背面之注意事項\^寫本頁) 裝. 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49 - 1252812 A7 _B7_ 五、發明説明（47) 圖14及圖15爲主支架111之外觀圖。主支架111乃具備噴頭單元1被座落之基台板121，和垂設基台板121地加以支持之圓頂構件122，和突出於基台板121之一方之端部加以設置之假放置台106的左右一對之假放置角部 106a、106a，和設於基台板121之另一方之端部的停止板 123。然而，上述基板辨識攝影機117乃向基台板121之外側設置一對。於基台板121中，形成遊動嵌合噴頭單元1之本體板 11的方形開口 124，又於構成此方形開口 124之基台板121 之左右之各開口緣部125,設置適合於形成於噴頭單元1之各支持構件13的2個螺母孔22、22及插梢孔23之2個之貫通孔126、126和定位插梢127。此時，方形開口 124之寬度和本體板11之寬度則幾近一致，由側方設定之噴頭單元1，乃本體板11之左右引導於方形開口 124之左右地加以插入。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製各假放置角部l〇6a乃具有充分厚度（高度），以於外側彎曲成爲「L」字狀之基部，載置於基台板121之端部地加以固定。又，兩放置假放置台106、106之間隔尺寸乃對應於噴頭單元1之兩支持構件13、13之間隔尺寸。因此，噴頭單元1乃該兩支持構件13、13，座落於角部106a、106a 地加以假放置，且經由兩假放置角部l〇6a、106a，送至基台板121而導引。又，於此狀態，各液滴吐出噴頭3之噴頭本體50則由基台板121充分浮起，防止與基台板121之接觸（干涉）。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 5〇 _ 1252812 A7 ____B7 五、發明説明（4Θ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如圖16峙之圖像圖所示，將噴頭單元丨，於設定於主支架111之基台板121時，首先將以把手14、14途手搬運之噴頭單元1，載置於兩假放置角部106a、106a上（假放置）。在此，雖未特別加以圖示，將配設於圓頂構件122上之描繪裝置B之濾色片材料供給系之管線，配設連接於噴頭單元1之配管連接組件1 5的同時，將控制系之管線配線連接於配線連接組件16。（同圖（a))。連接作業終了之後，再度握持14、14,將兩假放置角部106a、106a做爲導引，將噴頭單元1向前方壓入，更且令該前肯部向下傾斜（同圖（b))。傾斜噴頭單元1時，本體板1 1之前端部插入方形開口 1 24，且兩支持構件1 3、1 3之前端著地於方形開口 124之兩開口緣部125、125。兩支持構件13、13則著地於開口緣部125、125時，由兩假放置角部106a、106a浮現支持構件13、13地，此次將支持構件13、13之前述爲中心，將噴頭單元1，滑動開口緣部 125上地，更向深部按壓。經濟部智慧財凌局a£消費合作社印¾ 然後，噴頭單元1之前端頂到停止板123,將噴頭單元 1之後部緩慢下降，於兩支持構件13之插梢孔23，嵌合兩開口緣部125、125之定位插梢127地，將噴頭單元1座落於基台板121上。在此，由基台板121之下側，貫通基台板1 2 1，將4條之固定螺絲128，螺合於兩支持構件13、 13，完成作業（同圖（〇)。如此地，於單元導入部105中，假放置噴頭單元1，於此狀態，爲進行必要之配管·配線連接，此等許接作業則 -51 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（49) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 易於進行，且可將連接作業後之噴頭單元1，適切設定於狹窄的空間。又，將噴頭單元1，由假放置角部106a向更低基台板121滑動地加以設定之故，可將噴頭單元1向主支架1 1 1緩降地加以設定，可將重的噴頭單元1，無衝擊地圓滑地加以設定。另一方面，於描繪裝置B之維護部104中，倂設於覆蓋裝置或淸潔裝置地，設置接觸裝置。如圖17所示，接觸裝置108乃具有備有接觸板131之接觸單元132,和將接觸單元132朝向噴頭單元1進退之移動機構133。經由Y平台113,對於導入維護部104之噴頭單元1，移動機構133 將接觸單元132向X軸方役（主掃瞄方向）進退地加以擦拭動作。接觸單元133係將接觸板131成爲捲曲狀加以捲起的送出捲筒135，和將由送出捲筒135送出之接觸板131加以捲取的捲取捲筒136，和於送出捲筒135及捲取捲筒136 間，跨過接觸板131之接觸輥137。又，於送出捲筒135和接觸_ I37間，配設兼具旋轉速度檢出軸的導引輥138，且於接觸輥137之附近，配設洗淨液供給噴頭139。經濟部智慧財凌局員工消費合作社印¾ 送出捲筒1 3 5係經由設於此之轉矩限制器加以制動旋轉，捲取捲筒136係經由設於此之馬達，驅動旋轉。由送出捲筒135送出之接觸板131，通過導引輥138變更路徑，由洗淨液供給噴頭139接受洗淨液之供給後，旋轉接觸輥 137，捲曲於捲取捲筒136。接觸輥1 3 7係自由旋轉輥，以具有彈力性或柔軟性之 -52- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（5〇) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 橡膠輥等加以構成。接觸摩擦時之接觸輥137乃將接觸板 1 3 1，於各液滴吐出噴頭3之噴頭本體5 0，由下側按壓地力口以作用。又，於接觸摩擦時，接觸輥1 3 7係經由接受捲取捲筒1 3 6 1旋轉而行走之接觸板131加以旋轉，且經由移動機構133,做爲移動機構133整體，向X軸方向移動。由此，接觸板131於噴頭單元之下面，即於12個之液滴吐出噴頭3之噴頭本體50,順序加以摺疊接合。換言之，對於噴頭本體50之相對性移動方向，接觸板131向逆方向行走，各噴頭本體50之噴嘴形成面52則被加以擦拭。摺疊接合於噴頭本體50之接觸板131中，到達接觸輥 1 3 7之前，由洗淨液供給噴頭1 3 9供給洗淨液，即供給濾光片材料之溶劑等。由此，附著於各噴頭本體50之噴嘴形成面52的濾色片材料，係藉由接觸輥137,經由浸潰洗淨液之接觸板131，淸潔地擦拭。又，如上述，噴頭本體50之下端部係經由模鑄於此之樹脂62加以倒角之故，於此接觸摩擦時，噴頭本體50則不會使用於接觸板13 1。經濟部智您財凌局員工消黄合作社印紫接著，參照圖18及圖19，對於校準光罩D加以說明。實施形態之組裝裝置Α中，無關於噴頭單元1之組裝個數，經常需供給具有一定層級之組裝精度的噴頭單元1。在此，準備遮罩支架2及12個之液滴吐出噴頭3之基準位置之校準光罩D。即，將校準光罩D成爲零件位置之原型 (原版），將做爲複製之噴頭單元1，以此組裝裝置A加以組裝。由此，可排除對於噴頭單元1之各組裝裝置A所具有之瑕疵或歷時性變化等之精度的影響。 -53- 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（51) 校準光罩D係以將支架2之基準位置及各液滴吐出噴 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 頭3之基準位置加以光罩圖案形成之主板1 6 1，和將主板 1 6 1由下側保持之板保持器1 62加以構成。如上述，各液滴吐出噴頭3係對於主掃瞄方向’傾斜所定角度（角度4〇度〜6 0度）加以配設。在此，主板161及板保持器162係配合此傾斜角度加以形成。更具體而言，主板1 6 1係對應於傾斜搭載之液滴吐出噴頭3之噴頭本體50，平行於該長邊之2邊和平行於短邊之2邊，形成成爲方形，而不產生多餘之部分。又，主板 1 6 1乃做爲原型，爲不產生混亂地，以厚透明之石英玻璃加以構成。於主板161之表面，將顯示各液滴吐出噴頭3之基準位置的各5個之噴頭基準標記164、164、164、164、164 爲1組，此於兩側各6組地形成合計12組。又，於此12 組之噴頭基準標記1 64之外側’形成顯示支架2之基準位置之一對之支架基準標記165、165。更且，於位置於端部之噴頭基準標記164之附近，形成爲調整辨識攝影機353 之畫素解像力之被攝體畫像166。經濟部智慧財凌笱員工消費合作社印¾ 各5個之噴頭基準標記164,係顯示液滴吐出噴頭3之噴嘴形成面5 2之中心位置，和位於2列之噴嘴列5 3、5 3 之各最外端部合計4個之吐出噴嘴57、57、57、57之位置。如圖18(a)所示，各噴頭基準標記164係於圓形線之內部，描繪中空之十字的同時，除去十字，於圓形內描繪斜線加以形成。因此，將此以辨識攝影機3 5 3畫像辨識（攝影）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54- 1252812 A7 _B7_ 五、發明説明（52) 時，於暗色之圓形部分之內部，辨識明亮色之十字部分。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 與上述同樣，各支架基準標記1 65亦於圓形線之內部，描繪中空之十字的同時，除去十字，於圓形內描繪斜線加以形成。又，被攝體畫像1 66係以成爲格子狀精良佳地描繪之縱橫之多數線加以形成。顯示噴嘴形成面52之中心位置的噴頭基準標記164乃可由顯示4個之吐出噴嘴57 之位置的4個噴頭基準標記1 64加以演算之故，可加以省略。然而，形成於校準光罩D之圖案，乃將代表於Cr等之金屬之不透明膜加以一面形成，將該膜使用半導體技術，圖案化地加以形成。板保持器162係具備如圖19及圖20所示，較主板161 更大形成之略方形之主支持板168，和安裝於主支持板168 之背面四角之樹脂製之4個腳部區塊169、169、169、 169，和將設於主支持板168之表面之主板161，成爲縱橫不動定位之複數之聚胺酯停止器170,和將主板161浮於主支持板1 6 8上之狀態加以支持的複數支持插梢1 7 1，和將對應於支持插梢1 7 1所設之主支持板1 68，由上側按壓複數按壓區塊172。經濟部智慧財/iMTa (工消費合作钍印¾ 複數之聚胺酯停止器170乃於主板161之四邊，各2 個加以頂住。又，複數之支持插梢171係於主板161之角落部，各2個地加以配置，且對於主支持板168可調整高度地加以安裝。即，各支持插梢171乃具有調整螺母之構造，可調整本體板Π之表面，即可調整標記形成面161a 之層級。複數之按壓區塊1 72係對應於各支持插梢1 7 1，與本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -55 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（53) 支持插梢1 7 1間，挾持主板1 6 1地而按壓此。請閱讀背意事再填寫本頁如此構成之校準光罩D係固定於後述之組裝裝置A之設定平台231。爲此，於主支持板168之左右之各緣部，形成2個之固定孔173、173，和配設於2個之固定孔173、 173間的插梢孔174。然後，校準光罩D和噴頭單元1係交換設定於組裝裝置A之設定平台231。接著，對於液滴吐出噴頭3之組裝裝置A及組裝方法加以說明。組裝裝置A乃於支架2，將假裝著12個之液滴吐出噴頭3的上述噴頭單元1，做爲組裝對象物，於噴頭單元1之支架2，將各液滴吐出噴頭3精度佳地加以定位黏著 (假固定）。然而，於此組裝裝置A，假固定液滴吐出噴頭3 之噴頭單元1乃經過洗淨工程及上述把手14等之零件組裝工程，設定於描繪裝置B。經濟部智慧財/i局Μ工消費合作fi印¾ 示於圖21乃至圖25之外觀圖地，組裝裝置A乃於架台201上具有透明之安全罩202，於架台201組裝空氣供給機器203等的同時，於安全罩202甫，載置機台204地，收容主構成裝置205而構成。於架台201，設置4個之小腳輪206和6個之附有調整螺母之支持腳207。於殻體2202 之正面，設置爲導入噴頭單元1之開關門208，又於該上面，直立設置警告燈209。主構成裝置205係具備搭載噴頭單元1，將此於水平面內，向Χ·Υ· 0方向移動之單元移動裝置211，和進行假裝著於支架2之各液滴吐出噴頭3之位置補正的噴頭補正裝置212，和於支架2黏著各液滴吐出噴頭3之假固定裝置 -56- 木纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（54) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 213，和於液滴吐出噴頭3之位置補正之前，位置辨識支架 2及各液滴吐出噴頭3的辨識裝置2 1 4，和統籌控制此等噴嘴211、噴頭補正裝置212、假固定裝置213及辨識裝置 2 14的控制裝置（參照圖50)215。於此組裝裝置A中，預先於單元移動裝置211，導入上述之校準光罩D，經由辨識裝置2 1 4，畫像辨識校準光罩 D之各基準標記1 64、1 65，記憶支架2及各液滴吐出噴頭 3之基準位置資料，根據此基準位置資料（主資料），進行支架2及各液滴吐出噴頭3之位置補正。然而，校準光罩D 係新穎噴頭單元1之導入組裝時原本爲同一之噴頭單元1 時，根據該組裝個數和工作時間，定期性導入。當於，於此時，重置基準位置資料。經濟部智慧財/i局工消費合作社印¾ 另一方面，噴頭單元1係將各液滴吐出噴頭3之噴頭本體50向上，設定於單元移動裝置211之上面，噴頭單元 1之組裝乃首先由辨識裝置214所成支架2之位置辨識開始。支架2被位置辨識時，比較此辨識資料和基準位置資料，根據該比較結果，經由單元移動裝置211，進行支架2 之位置修正。接著，經由辨識裝置214，位置辨識液滴吐出噴頭3，根據此辨識結果（比較結果），經由噴頭補正裝置 2 1 2，進行液滴吐出噴頭3之位置修正。接著，維持此位置修正狀態，經由假固定裝置2 1 3，藉由噴頭保持部4,液滴吐出噴頭3則黏著於支架2。又，此時，至硬化黏著劑爲止，噴頭補正裝置212係不移動液滴吐出噴頭（噴頭保持部4)3地加以按壓。然後，將由此液滴 -57- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 _____B7 五、發明説明（55) 吐出噴頭3之位置辨識至黏著之工程，液滴吐出噴頭3之個數分地加以重覆地，全液滴吐出噴頭3之假固定則終了。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如圖21及圖26所示，單元移動裝置211乃經由3處之調整螺母217，於水平支持之板狀之機台204，以寬廣占有面積加以載置。單元移動裝置211係具備於將噴頭單元1 反轉之狀態加以設定之設定平台23 1，和將設定平台23 1由下側支持之0平台232，和將0平台232，由下側支持之 X· Y平台23 3。噴頭單元1係配合與設定平台231 —同搭載峙液滴吐出噴頭3之傾斜，加以傾斜設定。爲此，相當於液滴吐出噴頭3之主掃瞄方向的方向成爲X軸方向，副掃瞄方向成爲Y軸方向。經濟部智慧財凌局員工消費合作社印焚如圖27所示，設定平台23 1係具有形成複數之圓形拔除孔236的方形之基台板23 5，和固定於基台板23 5之兩側的一對之帶狀區塊23 7、23 7。於各帶狀區塊237之上面，直立設置定位插梢23 8的同時，形成2個之螺絲孔239、 239。即，噴頭單元1乃對於設定平台231，以左右之2處加以定位，合計4處以螺絲停止固定。又，於基台板23 5 之中央部分，形成將設定平台231爲固定於0平台232之4 個之貫通孔240等。如此，噴頭單元1乃藉由設定平台23 1固定於0平台 232，同樣地，校準光罩D亦藉由設定平台23 1，固定於0 平台232。此時，噴頭單元1和校準光罩D係固定於0平台232之噴頭單元1之各液滴吐出噴頭3之噴嘴形成面本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 58 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（56) 52 ’和固定於0平台232之校準光罩D之標記形成面（主板之表面）1 6 1 a，位於同一平面內地加以設計。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 同樣地，噴頭單元1之重量，和包含板保持器162之校準光罩D之重量，成爲略同一重量地加以設計。由此，將校準光罩D之位置辨識動作和噴頭單元1之位置辨識動作，以完全同一條件進行。然而，設定平台2 3 1係對於噴頭單元1成爲專用零件，變更噴頭單元1時，配合此，設定平台231亦變更。接著，參照圖28、圖29及圖30，對於0平台232加以說明。Θ平台U 2乃以藉由設定平台231，微小旋轉噴頭單元1之旋轉作動242，和驅動旋轉作動242之進退驅動部 243加以構成。旋轉作動242係具有固定設定平台231之平台本體245，和由平台本體2C向進退驅動部243側延伸之連結臂246，和旋轉自如平台本體245而支持之滾軸247，和支持滾軸24 7之支持台248。此時，設定平台231乃藉由設於平台本體245之2處之定位插梢250、250，和4處之螺絲孔25 1，定位於平台本體245之上面的狀態下，加以鎖緊。經濟部智慧財4笱員工消Φ合作社印製進退驅動部2M係具有構成動力源之0平台馬達（伺服馬達）2 53，和於0平台馬達253之主軸254，藉由耦合器 25 5連結之滾珠螺絲256，和螺合滾珠螺絲256之雌螺絲區塊25 7，和將雌螺絲區塊257向滾珠螺絲256之軸方向（X 軸方向）滑動自如地加以支持的主滑動器258，又，連給結上述之連結臂246之前端部，藉由臂支撐260，和軸承 -59- 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4現格（210X29*7公釐） 1252812 經濟部智慧財/1苟工消Φ合作社印¾ A7 B7五、發明説明（57) 2 6 1，旋動自如臂支撐2 6 0之軸支之鉛直軸構件2 6 2，和對於雌螺絲區塊2 57，將鉛直軸構件2 6 2滑動自在於Y軸方向加以支持之副滑動器263。 Θ平台馬達25 3係可正逆旋轉加以構成，正逆旋轉0 平台馬達25 3時，經由滾珠螺絲256，雌螺絲區塊25 7導引至主滑動器258，向X軸方向進退。雌螺絲區塊257進退時，支持此之副滑動器263及鉛直軸構件262，亦向X軸方向進退。更且，進退鉛直軸構件262時，藉由軸著於此之臂支撐260 ’連結臂2M及平台本體245以平台本體245 之軸心爲中心加以旋動。即，平台本體245於水平面內，正逆微小旋轉（於0方向正逆移動）。又，伴隨此旋動，平台本體2G和噴頭單元26之中心間距離雖會變化，此距離之變化乃藉由副滑動器263，鉛直軸構件262適切向Y軸方向經由微小移動地加以吸收。然而，經由自雌螺絲區塊257突出之遮光板265，和伴隨雌螺絲區塊257之進退，臨接遮光板265之3個之光斷流器 266，限制雌螺絲區塊257之移動端位置，即限制平台本體 245之旋動範圍（角度）（防止過度運動）。進退驅動部243係支持於設於主滑動器258之下側的支持板267，此支持板267固定於旋轉作動部242之支持台 248。然後，此支持台248載置於X · Y平台233。接著，參照圖31及圖32，對於X· Y平台233加以說明。X · γ平台233係具有將0平台232由下側支持之支持方塊270，和將支持方塊270向X軸方向滑動自如地加以 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- 1252812 A7 B7 五、發明説明（58) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 支持的X軸平台271，和將X軸平台271向Y軸方向滑動自如地加以支持的Y軸平台272。於支持方塊270，具有4 處螺絲孔274，於此4處，藉由螺絲孔274，於支持方塊 270，固定0平台232。 X軸平台27 1係以X軸空氣滑動器276，和X軸線性馬達277，倂設於X軸空氣滑動器276之X軸線性刻度 278。同樣地，Y軸平台272乃以Y軸空氣滑動器279，和 Y軸線性馬達280，和倂設於γ軸空氣滑動器279之γ軸線性刻度281。然而，圖中之符號，282、283乃各爲X軸裸纜線及Y軸裸纜線。又，符號284、284係兩線性馬達 277、280之放大器。 X軸線性馬達277及γ軸線性馬達280乃被適切地加以控制驅動，將0平台23 2向X軸方向及Y軸方向移動，即，設定於設定平台23 1之噴頭單元（或校準光罩D)i，於水平面內，經由設定平台231，向0軸方向移動的同時，經由X· Y平台233向X軸方向及Y軸方向移動。經濟部智慧財/i^Bi消費合作社印¾ 接著，對於噴頭補正裝置212加以說明。噴頭補正裝置212係根據辨識裝置214所成液滴吐出噴頭3之位置辨識，藉由噴頭保持部4將液滴吐出噴頭3向X軸、γ軸及 Θ軸方向微小移動，進行液滴吐出噴頭3之定位（位置補正）°又’同時，噴頭補正裝置212係與假固定裝置213協動’直至黏著劑凝固，將噴頭保持部4按壓於支架2地加以工作。如圖23及圖33所示，噴頭補正裝置212係以安裝於 -61 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 Α7 Β7 五、發明説明（59) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述機台204之深側之補正裝置用基台301，和載置於此之補正用X · Y平台302，和支持於X · γ平台302之補正用 Θ平台303，支持於補正用0平台3 03之臀單元3〇4。此時，補正用19平台3 03係爲具有與單元移動裝置211之0 平台23 2相同之構成之故，在此省略其說明。然而，於0 平台232中，該進退驅動部243位於左側地加以配設，於此補正用Θ平台303，位於右側地加以配設（參照圖23)。補正裝置用基台301乃如圖33所示，具有載置Χ·Υ 平台302之基台板307，和支持基台板307之3組之腳單元 308、308、308、308。3組之腳單元308乃配設於左部、右部及中央後部之3處，以各一對之支柱309、309，和固定於一對之支柱309、309的上板310及下板311加以構成。經濟部智慧財凌局a(工消費合作社印¾ 此時，於補正裝置用基台301之下側空間，臨接經由單元移動裝置211之噴頭單元1，由補正裝置用基台301展開之臀單元304，則於此噴頭單元1，由上側臨接（卡止於噴頭保持部4)。然後，噴頭單元1之移動及支架2之位置修正，係經由單元移動裝置2 1 1加以進行，各液滴吐出噴頭3之位置補正，經由此噴頭補正裝置212加以進行。因此’假固定任意之一之液滴吐出噴頭3後，單元移動裝置 211移動噴頭單元1，將下個液滴吐出噴頭3臨接於噴頭補正裝置212。如圖33至圖36所示，補正用X· Υ平台3 02係載置於補正裝置用基台301之中央，具有支持補正用0平台302 之支持方塊314，和將支持方塊314向X軸方向滑動自如 -62- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（6〇) ^ 一 ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 地加以支持的補正用X軸平台3 1 5，和將補正用X軸平台 3 1 5向Y軸方向滑動自如地加以支持的補正用 γ軸平台 3 1 6。於支持方塊3 14中，於4處具有螺絲孔3 1 8，於此4 處藉由螺絲孔3 1 8，於支持方塊3 1 4固定補正用0平台 303 〇補正用X軸平台315係以X軸空氣滑動器320，和χ 軸線性馬達321，和倂設於X軸空氣滑動器320之X軸線性刻度3 22。同樣地，補正用Υ軸平台3 16係以Υ軸空氣滑動器323，和Υ軸線性馬達324，和倂設於Υ軸空氣滑動器323之Υ軸線性刻度325。然而，圖中之符號326、327 乃各爲X軸裸纜線及Υ軸裸纜線。又，符號328、328係兩線性馬達321、324之放大器。經濟部智慧財凌局g(工消費合作社印製如圖37、圖38及圖39所示，臀單元304乃以卡合於噴頭保持部4之一對之卡合孔76、76的一對卡合臂33 1、 331，和支持一對之卡合臂331、331之夾子332，和昇降夾子332之臂昇降機構333,和支持臂昇降機構333之支持台 334加以構成。支持台334係以固定於補正用0平台303之固定板336，和由固定板336向前方延伸之一對L字臂 337、337，和固定於一對之L字臂337、337之前端的鉛直板338加以構成，向前方成爲「L」字狀地延伸存在。臂昇降機構3 3 3乃以將夾子3 32昇降自如地加以支持之昇降滑動器3 40,和昇降固定於鉛直板338之下部的昇降滑動器340的汽缸341加以構成。汽缸341乃連接於上述之空氣供給機器203,經由氣閥等之切換，將昇降滑動器 -63- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X 297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（61) 340指導，昇降夾子3 32。夾子3 32乃形成成爲「L」字狀，前端形成爲兩股。然後，於此兩股部分，各卡合臂 3 3 1、3 3 1則向下安裝。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 卡合臂3 3 1乃具有如圖40所示，插入噴頭保持部4之卡合孔76的卡合插梢343，和將卡合插梢343上下自如保持之插梢保持器344，和將內藏於插梢保持器344之卡合插梢3 43向下方彈播之線圈彈簧345。插梢保持器3 44之上端部乃於夾子3 32，由下側加以嵌合而固定。卡合插梢343之前端部乃形成成爲推拔形狀，此推拔部347乃對於噴頭保持部4之卡合孔76，基端側成爲粗徑，前端側成爲細徑地加以形成。由此，卡合插梢343係不晃動於卡合孔76地，被加以卡合。經濟部智慧財/i^7av 一消費合作社印¾ 於初期狀態中，兩卡合臂33 1、33 1乃經由汽缸34 1向上昇端位置移動，經由單元移動裝置211，移動噴頭單元1 之後，經由汽缸341下降兩卡合臂331、331時，該一對之卡合插梢3 43、343則卡合於所期望之噴頭保持部4之卡合孔76、76。又，汽缸341乃經由上述之控制裝置215，定時控制，直至經由假固定裝置2 1 3塗佈之黏著劑被凝固，將位置修正後之噴頭保持部4直接按壓於支架2。即，下降兩卡合臂331、331之汽缸341乃進行噴頭保持部4之位置修正及黏著劑之塗佈（詳細後述）後，於經過黏著劑之凝固時間（到達所定之黏著強度之時間）之時，將兩卡合臂3S1、331上昇至原本之位置。然而，本實施形態中，雖將卡合插梢343以線圈彈簧3 45加以彈播，省略線圈彈 -64 - 本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1252812 A7 B7___ 五、發明説明（62) 簧3 45，成爲一體化卡合插梢3G和插梢保持器344之單純構造亦可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以上之構成中，下降臀單元304之兩卡合臂331、 331，卡合於噴頭保持部4時，驅動補正用0平台303及 X· Y平台302，藉由噴頭保持部4，定位液滴吐出噴頭3。然後，直至黏著劑凝固，維持此定位狀態。即，臀單元304 之兩卡合臂331、331，於定位狀態，將噴頭保持部4向支架2按壓，於此噴頭保持部4臨接假固定裝置（黏著）2 13。接著，對於辨識裝置214加以說明。如圖24及圖41 所示，辨識裝置214係跨過X· Y平台302之前部地，固定於補正裝置用基台301上的攝影機基台351，和固定於攝影機基台351之前面的攝影機位置調節單元3 52,和安裝於攝影機位置調節單元3 5 2之一對之辨識攝影機（CCD攝影機）3 53、3 5 3加以構成。此時，一對之辨識攝影機3 5 3、複數之空間35乃對於成爲辨識對象之噴頭單元（校準光罩 D)1，固定地加以設置。經濟部智慧財凌笱員工消費合作社印紫攝影機基台351係具有成爲逆「L」字狀各前方延伸之左右一對之腳片構件3 5 5、3 5 5，和交付於一對之腳片構件 3 5 5、3 55間之橫長之前面板3 56。藉由攝影機位置調節單元352，固定於前面板3 56之一對辨識攝影機353、353則配置於較噴頭補正裝置212之一對之卡合臂331、331略高之位置，且配置於向略前方展開之位置（參照圖25)，防止與卡合臂331之干涉。如圖41至圖44所示，攝影機位置調節單元3 52乃具 -65- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（63) 有添設於前面板3 56之Z軸調整板3 5 8，和安裝於Z軸調 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 整板3 5 8之下端部的微基台3 59，和保持左側之辨識攝影機 3 5 3 a之左攝影機保持器3 60，和保持右側之辨識攝影機 353b之右攝影機保持器361。Z軸調整板358係於與前面板 3 56間，具有向鉛直方役延伸之一對之導軌362、3 62的同時，具有頂接於前面板3 56之上端之調整螺母3 63。經由此調整螺母3 63之正逆旋轉，藉由Z軸調整板358，可調節兩辨識攝影機353、353之上下方向之位置。微基台3 59乃藉由右攝影機保持器361，支持右側之辨識攝影機353b的X軸平台365，和支持X軸平台365的同時，固定於Z軸調整板3 5 8之下端部的Y軸平台3 66加以構成。X軸平台3 6 5乃將右側之辨識攝影機3 5 3b，向X軸方向微小移動地加以構成，可調節右側之辨識攝影機3 5 3 b 之前後方向之位置地加以構成。同樣地，Y軸平台366乃可調節右側之辨識攝影機3 5 3 b之左右方向之位置地加以構成。經濟部智慧財凌局：貝工消費合作社印^ 另一方面，左攝影機保持器360乃固定於Z軸調整板 358之下端部。爲此，對於藉由左攝影機保持器360，固定設定之左側之辨識攝影機3 5 3 a，將右側之辨識攝影機3 5 3 b 於微基台3 5 9加以位置調節。如上所述，經由左右之辨識攝影機353a、353b，將2個之吐出噴嘴57a、57a同時進行位置辨識，尤其於處理新穎之液滴吐出噴頭3時，預先經由微基台359,調節左右之辨識攝影機353a、353b之間隔距離，即調節視野間距離。然而。圖中之符號367,爲一體本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -66 β 1252812 A7 B7 五、發明説明（64) 被覆攝影機位置調節單元352及兩辨識攝影機353、353的攝影機外套。如此構成之辨識裝置2 1 4中，經由一方之辨識攝影機 353和單元移動裝置211之X軸平台27 1的協動，位置辨識支架2之2個之基準標記（基準插梢12、12)26、26。即，經由一方之辨識攝影機3 5 3，進行一方之基準插梢12 之畫像辨識，接著支架2向X軸方向移動，進行另一方之基準插梢1 2之畫像辨識。然後，根據此辨識結果，經由單元移動裝置211，進行支架（噴頭單元1)2之位置補正。又，經由一對之辨識攝影機3 5 3、3 5 3，成爲各液滴吐出噴頭3之基準之2個吐出噴嘴57a、57A，同時被位置辨識。即，該液滴吐出噴頭3向一對之辨識攝影機3 5 3、353 正下方移動，2個之吐出噴嘴57a、57A同時被畫像辨識。又，於此狀態，於噴頭保持部4臨接噴頭補正裝置212,進行液滴吐出噴頭3之位置補正，且進行假固定裝置213所成黏著。然而，校準光罩D之各標記164、165之辨識，亦與上述相同。接著，對於假固定裝置213加以說明。如圖22及圖45 所示，於上述機台2 04之右部，跨越補正裝置用基台301 地，設置向前後方向延伸之共有基台219。假固定裝置213 乃配設於此共有基台219之前部。假固定裝置213乃具備以 4條之拉線371，支持於共有基台219之方形支持板 372，和固定於方形支持板3 72之下面的空氣平台373，和固定於空氣平台373之前端部的黏著劑塗佈裝置3 74，和於 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 it 經濟部智^財1^7員工消費合作社印紫本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -67- 1252812 A7 _____ B7 五、發明説明（65) 向歸位位置移動之黏著劑塗佈裝置3 74，由下側臨接之黏著劑托架375。黏著劑托架375乃固定於共有基台219，接受由黏著劑塗佈裝置3 74垂下之黏著劑。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如圖45至圖49所示，空氣平台3 73係以安裝於方形支持板3 72之Y軸空氣平台377，和安裝於γ軸空氣平台 3 77之前端部的副Y軸空氣平台378，和安裝於副γ軸空氣平台378之前端部的X軸空氣平台3 79，和安裝於X軸空氣平台3 79之前端部之X軸空氣平台3 80加以構成。然後，此等Y軸空氣平台3 77、副Y軸空氣平台3 78、X軸空氣平台3 79及X軸空氣平台380乃以許接於上述之空氣供給機器203之汽缸377a、378a、37 9a、380a，和滑動器 377b、378b、379b、38 0b 力口以構成。經濟部智慧財/i^7a:工消費合作社印¾ 黏著劑塗佈裝置3 74以固定於上述之Z軸空氣平台380 之鉛直支持板3 82，和由鉛直支持板3 82之下部向前方突出之左右一對之水平支持方塊383、383，和安裝於各水平支持方塊383之一對之分配器單元384、384,和支持於上述共有基台219之分配器控制器3 85。一對之分配器單元 3 84、3 84係對於上述一對之卡合臂331、331或一對之辨識攝影機353、353，自前方對峙地加以配設。各分配器單元3 84係具備於前端裝著黏著劑注入噴嘴 387之分配器388,和於分配器3 88供給黏著劑之卡式形式之注入器389,和保持分配器388及注入器3 89之分配器保持器3 90。分配器保持器3 90係於水平支持方塊3 83之前端部角度調整自如地加以安裝，於本實施形態中，黏著劑注本纸乐尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） -68- 1252812 A 7 B7 五、發明説明（％) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 入噴嘴3 8 7對於水平傾斜4 5度地加以調整。然而，各水平支持方塊383乃對於鉛直支持板382，向前後及左右方向可位置調節地加以固定。如上述，黏著剷係使用上述之2條之黏著劑注入噴嘴 3 87、387,於成爲噴頭保持部4之對的一方之2個黏著劑注入孔77a、77a之同時加以注入（塗佈）時，經過兩黏著劑注入噴嘴387、387之Y軸方向之移動後，於成對之另一方之2個之不黏著劑注入孔77b、77b，同時加以注入（塗佈）。因此，兩黏著劑注入噴嘴3 87、3 87之間隔尺寸係對應於噴頭保持部4之成對之黏著劑注入孔77a(77b)、 77a( 77b)之間隔尺寸。又，具有所定之傾斜角度之各黏著劑注入噴嘴3 87係插入長2乙之黏著劑注入孔77，吹入於該周面地，注入黏著劑。經濟部智慧財—笱員工消費合作社印发然而，噴頭補正裝置212係於終止定位動作之狀態，直接將噴頭保持部4按壓於支架2,將此保持於不動。對此，驅動X軸空氣平台3 79及Y軸空氣平台377，將2條之黏著劑注入噴嘴387、387，向噴頭保持部4之2個之黏著劑注入孔77a、77a之正上部加以移動。在此，驅動Z軸空氣平台380，將2條之黏著劑注入噴嘴387、387同時插入2個之黏著劑注入孔77a、77a。接著，經由注入器3 89，由2條之黏著劑注入噴嘴 3 87、3 87注入所定量（以分配器控制器385加以調整）之黏著劑。接著，經由Z軸空氣平台380，上昇2條之黏著劑注入噴嘴387、387的同時，驅動副Y軸空氣平台378，將2 -69- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（67) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 條之黏著劑注入噴嘴3 87、3 87，向另一方之2個之黏著劑注入孔77b、77b之正上部移動。此時，噴頭保持部4之成對之2組之黏著劑注入孔77a(77b)、77a(77b)間之距離，爲一定，在此，停止Y軸空氣平台3 7 7，僅驅動副Y軸空氣平台3 78。接著，再度上昇黏著劑注入噴嘴387、387後，休止假固定裝置2 1 3，等待黏著劑之凝固時間。經過凝固時間時，噴頭補正裝置212解開對於噴頭保持部4之卡合，終止任意一個之1個之液滴吐出噴頭3之假固定（定位及黏著）作業。然後，此噴頭補正裝置212和假固定裝置213之協動所成液滴吐出噴頭3之定位及黏著作業經由1 2次重覆，終止液滴吐出噴頭3之假固定，各噴頭補正裝置212和假固定裝置2 1 3則回到歸位位置。經濟部智慧財凌^7肖工消費合作钍印災在此，參照圖50，對於控制裝置215說明的同時，根據此控制裝置215，對於噴頭單元1之一連串之組裝手續加以說明。如同圖之方去塊圖所示，控制裝置2 1 5之控制系係將支架2或液滴吐出噴頭3之設計上之位置資料等，經由液晶裝置40 1加以輸入之輸入部402，和具有驅動單元移動裝置211等之構成裝置之各種驅動器等之驅動部403，和經由辨識攝影機3 53進行位置辨識之檢出部404,和統籌控制組裝裝置A之各構成裝置之控制部405。驅動部 403 係具有 CPU41 1、ROM412、RAM413 及 P-CON414 >此等係相互藉由匯流排415加以連接。於 ROM412，記憶CPU411所處理之控制程式的控制程式之本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -70- 1252812 A7 B7 五、發明説明（68) 外’具有記憶各種之控制資料之控制資料範圍。R A Μ 4 1 3乃具記憶有自外部輸入之位置資料，或辨識攝影機3 5 3由校準光罩D所得主位置資料等之位置資料範圍外，具有各種暫存器群，做爲爲控制處理之作業範圍加以使用。 P-CON414係補償CPU411之機能的同時，組裝有爲處理周邊電路之界面信號之邏輯電路或計時器416。爲此，Ρ-CON414乃將由與操作面板401連接之輸入部402之各種指令等，直接或加工於匯流排415處理。又，P-CON414係與 CPU411連動，將由CPU411等輸出至匯流排415之資料或控制信號，直接或加工輸出至驅動部。然而，CPU411係經由上述構成，根據ROM412內之控制程式，藉由P-CON4 14，輸入各種檢出信號、各種指令、各種資料等，處理RAM413內之各種資料，藉由P-CON4 14，於驅動部403輸出控制信號。由此，控制單元移動裝置211、噴頭補正裝置212、假固定裝置213等之組裝裝置A整體。例如，由辨識攝影機3 53所得之校準光罩D之主位置資料及由辨識攝影機3 5 3所得噴頭單元1之單元位置資料係收容於RAM413內，根據ROM4 12內之控制程式，比較主位置資料和單元位置資料，根據該比較結果，控制單元移動裝置211、噴頭補正裝置212等。在此，對於實施形態之組裝裝置A所成噴頭單元1之組裝方法，供順序加以說明。於此組裝裝置A中，於噴頭單元1之導入之前，首先導入校準光罩D。校準光罩D設本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝· 訂經濟部智慧財凌局肖工消費合作社印¾ -71 - 1252812 A7 ____B7 五、發明説明（69)

於設定平台231時，驅動單元移動裝置211，將校準光罩D (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 之一方支架基準標記165，臨接於一方之辨識攝影機3 5 3，位置辨識一方之支架基準標記1 65。接著，驅動單元移動裝置211之X軸平台271，將其他之支架基準標記165臨接於辨識攝影機353,位置辨識另一方之支架基準標記165。接著，驅動單元移動裝置211，將位於校準光罩D之端部的噴頭基準標記164，同時臨接於一對之辨識攝影機 3 53、3 5 3，將2處之噴頭基準標記164、164同時位置辨識。將此，順序重覆，位置辨識對應於12個之液滴吐出噴頭3之12組之噴頭基準標記1 64。如此地，終止校準光罩 D之位置辨識，將校準光罩回到歸位位置，於設定平台231 載置噴頭單元1。經濟部智慧財凌局資工消費合作社印災在此，將噴頭單元1以與上述同樣之手續加以移動，首先位置辨識支架2之一對之基準插梢12、12,根據此辨識結果，經由單元移動裝置211位置補正支架（噴頭單元 1)2。接著，以與上述同樣之手續，將第1之液滴吐出噴頭 3之噴頭本體（噴頭保持部4)50,臨接於噴頭補正裝置212 之一對之卡合臂331，於噴頭保持部4卡合卡合臂331。在此，經由一對之辨識攝影機3 5 3、3 5 3，位置辨識噴頭本體 50之位置基準所成2個之吐出噴嘴5 7a、57a。接著，驅動噴頭補正裝置212,根據上述辨識結果，藉由噴頭保持部4，定位液滴吐出噴頭3。然後，保持此定位狀態，驅動假固定裝置2 1 3，將一對之黏著劑注入噴嘴 3S7、3 S7，臨接於噴頭保持部4,進行黏著劑之注入。黏著本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ ^2 _ 1252812 A7 B7 五、發明説明（7Q) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 劑之注入係經由假固定裝置2 1 3之副Y軸空氣平台3 78，伴隨黏著劑注入噴嘴3 87之移動，進行2次。黏著劑之注入終了時，經由計時控制，等待黏著劑之硬化，解開噴頭補正裝置212之噴頭保持部4的卡合。如此，終止第1之液滴吐出噴頭3之定位及假固定，將此作業重覆自第2至第12之液滴吐出噴頭3。然後，最後，將單元移動裝置211、噴頭補正裝置212及假固定裝置 2 1 3，各回到歸位位置，將組裝之噴頭單元1由設定平台 23 1加以脫離。之後，噴頭單元1係經過液滴吐出噴頭3之洗淨的同時，於此組裝把手14或兩組件15、16等之構成零件，運入描繪裝置B。然而，於本實施形態中，將液滴吐出噴頭3，藉由噴頭保持部4，黏著於支架2，黏著部分雖爲金屬-金屬之黏著，將液滴吐出噴頭3成爲直接黏著於支架2之構造亦可〇經濟部智慧財/i^7:H工消費合作社印災然而，本發明之噴頭單元之組裝裝置及經由此組裝之噴頭單元1，乃不僅於上述之描繪裝置B，可適用於各種平面顯示器之製造方法，或各種之電子裝置及光裝置之製造方法等。在此，將使用此噴頭單元1之製造方法，以液晶顯示裝置之製造方法及有機電激發光裝置之製造方法爲例加以說明。圖51係液晶顯示裝置之彩色濾光片之部分擴大圖。圖 51(a)係平面圖，圖51(b)係圖51(a)之B-B’線截面圖。截面圖各部之部面則一部分省略。 -73· 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐〉 1252812 A 7 B7 五、發明説明（71) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如圖51(a)所示，彩色濾光片500係具備並列成矩陣狀之畫素（濾光片元件）5 12，畫素和畫素之境界係經由間隔部 5 1 3加以區隔。於畫素5 1 2之一個一個，導入R(紅）、 G(綠）、B(藍）之任一之墨水（濾色片材料）。於此例中，將紅、綠、藍之配置成爲馬賽克排列，但成爲條紋排列、△ 排列等，之其他排列亦無妨。如圖51(b)所示，彩色濾光片500係具備透光性之基板 511，和遮光性之間隔部513。未形成間隔部513(除去）之部分，乃構成上述畫素512。導入於此畫素512之各色之墨水構成著色層521。於間隔部513及著色層521上面，形成外敷層522及電極層523。圖52係說明本發明之實施形態所成彩色濾光片之製造方法的製造工程截面圖。截面圖各部之部面則一部分省略。經濟部智慧財/i^7a:工消費合作?1印裂將膜厚0.7mm、縱38cm、橫30cm之無鹼玻璃所成基板5 1 1之表面，於熱濃硫酸，以添加1重量％過氧化氫水之洗淨液加以洗淨，以純水沖洗之後，進行空氣乾燥，得淸淨表面。於此表面，經由濺鍍法，將鉻膜以平坦0.2 μιη之膜厚加以形成，得金屬層514’（圖52:S1)。將此基板，於熱板上，於80°C 5分鐘加以乾燥後，於金屬層514’之表面，經由旋轉塗佈形成光阻層（未圖示）。於此基板表面，密著描述所要之矩陣圖案形狀之光罩薄膜，以紫外線進行曝光。接著，將此浸漬於包含8重量％之比例氫氧化鉀之鹼顯像液，除去未曝光之部分之光阻劑， •74- 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（72) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖案化光阻層。接著，將曝出之金屬層，以鹽酸爲主成分之蝕刻液，蝕刻除去。如此地，得具有所定之矩陣圖案的遮光層（黑矩陣）514(圖52:S2)。遮光層514之膜厚約爲0.2 μηι。遮光層514之寬度約爲22 μπι。於此基板上，更將負片型之透明丙烯酸系之感光性樹脂組成物515’，更以旋轉塗佈法加以塗佈（圖52: S3)。將此以l〇〇°C烘烤20分鐘後，使用描繪所定之矩陣圖案形狀之光罩薄膜，進行紫外線曝光。將未曝光部分之樹脂，仍以鹼性之顯像液加以顯像，以純水淸洗後，旋轉乾燥。將做爲最終乾燥之後烘烤，以200°C進行30分鐘，經由充分硬化樹脂部，形成間隔壁層5 15，形成遮光層5 14及間隔壁層 5 15所成間隔部513(圖52: S4)。此間隔壁層515之膜厚係平均2.7 μιη。又，間隔壁層515之寬度係約爲14 μπι。爲改善於所得遮光層514及間隔壁層515畫分之著色層形成範圍（尤其玻璃基板511之曝出面）之墨水溼潤性，進行乾蝕刻，即電漿處理。具體而言，於氦加上20%之氧的混合氣體，施加高電壓，於電漿氣氛，形成成爲蝕刻點，將基板通過此蝕刻點下加以蝕刻。經濟部智慧財/i局ΪΗ工消費合作社印¾ 接著，於間隔部513區隔形成之晝素512內，將上述 R(紅）、G(綠）、Β(藍）之各墨水，經由噴墨方法加以導入（圖 52:S5)。於液滴吐出噴頭（噴墨頭），使用應用壓電效果之精密噴頭，將微小墨水滴，於每著色層形成範圍，選擇性飛噴10滴。驅動頻率係設定14.4KHZ，即各墨水滴之吐出間隔係設定成爲 69.5 μ秒。噴頭和標的之距離乃設定本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -75- 1252812 經濟部智慧財產局肖工消費合作社印¾ A7 _B7五、發明説明（73) 0.3 mm。稱之爲經由噴頭標靶之著色層形成範圍之飛行速度、飛行彎曲、衛星之分裂迷走滴之產生之防止，墨水之物性係根本上，重點在驅動噴頭之壓電元件之波形（包含電壓）。因此，將預先條件設定之波形，加以程式，將墨水滴，令紅、綠、藍之3色同時塗佈，於所定之配色圖案，塗佈墨水。做爲墨水（濾光片材料），例如於聚氰基甲酸酯樹脂寡聚物，分散無機顏料後，做爲低沸點溶劑，將環己烷及乙酸乙酯，做爲高沸點溶劑，加上丁基卡必醇乙酸酯，更且將 0.0 1重量％非離子系界面活性劑，做爲分散劑加以添加，使用成爲黏度6〜8厘泊者。接著，乾燥塗佈之墨水。首先，於自然氣氛中，放置3 小時，進行墨水層516之設定後，於80 °C之熱板上加熱40 分鐘，最後於烤爐中，以200 °C加熱30分鐘，進行墨水層 516之硬化處理，得著色層521(圖52:S6)。於上述基板，旋轉塗佈透明丙烯酸樹脂塗料，形成具有平滑之外敷層522。更且，於此上面，將ITO所成電極層523，以所要圖案加以形成，成爲彩色濾光片500數圖 52:S7) 〇圖53係經由本發明之製造方法所製造之光電裝置（平面顯示器）之一例的彩色液晶顯示裝置之截面圖。截面圖各部之部面則省略一部分。此彩色液晶顯示裝置550係組合彩色爐光片500和對向基板566，於兩者間經由封入液晶組成物565加以製造。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -76- 1252812 A7 B7 五、發明説明（74) 於彩色液晶顯示裝置5 5 0之一方之基板5 6 6之內側面， TFT(薄膜電晶體）元件（未圖示）和畫素電極563形成成爲矩陣狀。又，做爲更一方之基板，於對向於畫素電極563之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 位置，排列紅、綠、藍之著色層52 1地，設置彩色濾光片 500。於對向基板566和彩色濾光片500之對向之各面，形成配向膜561、564。此等之配向膜561、564係平磨處理，將液晶分子排列成爲一定方向。又，於對向基板566及彩色爐光片500之外側面，各黏著偏光板562、567。又，做爲背光，螢光燈（未圖示）和散亂板之組合爲一般所使用，經由將液晶組成物5 65，做爲變化背光光線之透過率的光快門，進行顯示。然而’光電裝置係本發明中，未限定於上述彩色液晶顯示裝置，例如使用薄型之映像管、或液晶快門等之小型電視，電激發光顯示裝置、電漿顯示器、CRT顯示器、FED 面板等之種種光電手段。接著，參照圖52至圖62，說明有機電激發光裝置之有機電激發光元件（顯示裝置）和該製造方法。經濟部智慧財4笱資工消^合作社印^ (1)第1之實施形態第54圖至第58圖係顯示本發明之第！之實施形態圖’此實施形態係適用使用電激發光顯示元件之主動矩陣型之顯示裝置者。更具體而言，顯示利用做爲配線之掃瞄線、信號線及共通供電線，進行做爲光學材料之發光材料的塗佈之例。 -77- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 _B7_ 五、發明説明（75) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第54圖係顯示本實施形態之顯示裝置600之一部分的電路圖，此顯示裝置600係於透明之顯示基板上’具有複數之掃瞄線63 1，和向對於此等掃瞄線63 1交叉之方向延伸之複數之信號線6 3 2，和並列延伸於此等信號線6 3 2之複數之共通供電線6 3 3被各別配線之構成的同時’於每掃瞄線 63 1及信號線632之各交點，設置畫素範圍素600A。對於信號線632，設置具備偏移暫存器、位準偏移器、視訊線、類比開關的資料側驅動電路60 1。對於信號線632，設置具備偏移暫存器及位準偏移器之掃瞄側驅動電路602。更且，又，於各畫素範圍素600A，設置藉由掃瞄線63 1，掃瞄信號則供予閘極電極之開關薄膜電晶體6 4 3，和藉由此開關薄膜電晶體6 4 3，保持由信號線 63 2供給之畫像信號的保持容量cap，和經由該保持容量 cap所保持之畫像信號供予閘極電極之電流薄膜電晶體 644，和藉由此電流薄膜電晶體644，電氣連接於共通供電線 63 3時，由共通供電線63 3流入驅動電流之畫素電流 642，和挾入此畫素電流642和反射電極652間之發光元件 64 1 〇經濟部智慧財1局S工消费合作社印¾ 根據有關構成，驅動掃瞄線631，開關薄膜電晶體643 成爲開啓時，此時之信號線632之電位保持於保持容量 cap，對應於該保持容量cap之狀態，決定電流薄膜電晶體 644之開始·關閉狀態。然後，藉由電流薄膜電晶體644之通道，由共通供電線63 3向晝素電極642流入電流’更且通過發光元件641，於反射電極652流入電流，發光元件64 1 -78- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐〉 1252812 A7 __B7__ 五、發明説明（76) 係對應此流入電流量而發光。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在此，各畫素範圍素600A之平面構造係顯示除去反射電極或發光元件之狀態之擴大平面圖的第5 5圖，平面形狀爲長方形之畫素電極642之四邊，經由信號線632、共通供電線6 3 3、掃瞄線6 3 1及未圖示之其他畫素電極用之掃瞄線包圍配置。第56圖〜第58圖係順序顯示畫素範圍素600A之製造過程的截面圖，相當於第55圖之A-A線截面。以下，根據第56圖〜第58圖，說明晝素範圍素600A之製造工程。經濟部智慧財凌局肖工消費合作钍印災首先，如第57圖（a)所示，對於透明之顯示基板621，依需要，將TEOS(四乙氧矽烷）或氧氣等做爲原料氣體，經由電漿CVD法，形成厚約2000〜5 000埃之矽氧化膜所成基材保護膜（未圖示）。接著，將顯示基板621之溫度設定於約 350 °C，於基材保護膜之表面，經由電漿CVD法，形成厚度約300〜700埃之非晶質之矽膜所成半導體膜700。接著，對於非晶質之矽膜所成半導體膜700，進行雷射退火或固相成長法等之結晶化工程，將半導體膜700結晶化成爲多矽晶膜。於雷射退火法中，例如使用準分子雷射，光束長尺寸400mm之線光束，該輸出強度爲例如200m：T/cm2。對於線光束，相當於該短尺寸方向之雷射強度之尖峰値之90% 的部貿，重疊於各範圍地，掃瞄線光束。接著，如圖56(b)所示，將半導體膜700圖案化，成爲島狀之半導體膜710，對於該表面，將TEOS(四乙氧矽烷）或氧氣氣體等做爲原料氣體，經由電漿CVD法，形成厚約 -79- 本紙伕瓦度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（77) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 600〜1 500埃之矽氧化膜或氮化膜所成閘極絕緣膜720。然而，半導體膜710乃成爲電流薄膜電晶體644之通道範圍及源極·汲極範圍者，於不同截面位置，亦形成成爲開關薄膜電晶體643之通道範圍及源極·汲極範圍的半導體膜。即，於第56圖〜第58圖所示之製造工程中，同時製作二種之電晶體643、644，但由於以同樣手續製作之故，於以下之說明中，關於電晶體，僅對於電流薄膜電晶體644 加以說明，省略對於開關薄膜電晶體643之說明。接著，如第56圖（c)所示，將鋁、鉅、鉬、鈦、鎢等之金屬膜所成導電膜，經由濺鍍法加以形成後，進行圖案化，形成閘極電極644A。於此狀態，植入高溫度之磷離子，於矽薄膜7 1 0，對於閘極電極644A，形成自我整合之源極·汲極電極644 a、 644b。然而，未導入不純物之部分，則成爲通道範圍 644c ° 接著，如圖56(d)所示，形成層間絕緣膜730之後，形成連接孔73 1、73 2，於此等連接孔73 1、732，埋入中繼電極 733 、 734 ° 經濟部智慧財產局g(工消资合作社印製接著，如第56圖（e)所示，於層間絕緣膜730上，形成信號線63 2、共通供電線63 3及掃瞄線（第56圖未圖示）。此時，信號線632、共通供電線63 3及掃瞄線之各配線，無需做爲配線必要之厚度，形成爲充分的厚度。具體而言，將各配線形成爲1〜2 μπι程度之厚度。於此，中繼電極734 和各配線以同一工程形成亦可。此時，中繼電極733係經本纸浪尺度適用中國國家標率（〇^)八4規格（210/ 297公釐） -80 1252812 經濟部智慧財/1¾¾工消費合作社印¾ A7 B7五、發明説明（7Θ) 由後述ΙΤΟ膜形成。然後，各配線之上面亦被覆地，形成層間絕緣膜740，於對應於中繼電極73 3之位置，形成連接孔74 1，埋入該連接孔741地，形成ΙΤΟ膜，圖案化該ΙΤΟ膜，於包圍信號線632、共通供電線633及掃瞄線之所定位置，形成電氣連接於源極·汲極電極644a的晝素電極642。在此，第56圖（e)中，挾於信號線632及共通供電線 63 3之部分，則相當於選擇配置光學材料之所定位置。然後，於該所定位置和該周圍之間，經由信號線6 3 2或共通供電線63 3，形成階差6 1 1。具體而言，形成所定位置較該周圍爲低的凹型階差6 1 1。接著，如圖57(a)所示，將顯示基板621之上面，以朝向上面之狀態，經由噴墨頭方式，吐出形成相當於發光元件641之下層部分的正孔植入層之液狀（溶於溶媒之溶液狀）之光學材料（先驅體）612A，選擇性塗佈於將此以階差611 所包圍之範圍內。做爲形成正孔植入層之材料，可列舉聚合物先驅體爲聚四氫基苯硫基亞苯基之聚亞苯乙烯，1，1-雙-(4-Ν，Ν·二三胺苯基）環已烷，三（8-羥基喹啉醇）鋁等。此時，液狀之先驅體612Α流動性高之故，會向水平方向廣播，但爲包圍塗佈之位置地，形成階差611之故，只要該液狀之先驅體61 2Α之1次之塗佈量不是極端大量的話，液狀之先驅體612Α則可防止越過階差611向所定位置外側擴散。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 81 _ 1252812 經濟部智慧財凌局資工消費合作社印^ A7 B7五、發明説明（79) 接著，第57圖（b)所示，經由加熱或光照射，蒸發液狀之前驅體612A之溶媒，於畫素電極642上，形成固體之薄正孔注入層641a。在此，雖會有由於液狀之先驅體612A 之濃度而定，而僅形成薄正孔注入層64 1a。在此，於需要更厚之正孔注入層641a時，需將第57圖（a)及時行樂b)之工程重覆執行數次，如第57圖（c)所示，形成充分厚度之正孔注入層641 A。接著，如第58圖（a)所示，將顯示基板621之上面，以朝向上之狀態，經由噴墨頭方式，吐出相當於發光元件64 1 之上層部分之有機半導體膜之液狀（溶於溶媒之溶液狀）之光學材料（有機螢光材料）612B，選擇塗佈於將此以階差611 包圍之範圍內。做爲有機螢光材料，有氰基聚亞苯乙烯、聚亞苯乙烯、聚烷基亞苯、2,3,6,7_四氫基-11-羰基-1Η· 5Η· 11H(1) 苯并吡喃[6,7,8，-ij]-喹嗪-10-羧酸、1-1-雙-N，N-二甲苯胺基苯基（環己烷）、2-13 · 4’·二羥基苯基）-3,5,7-二羥基-1-全氯化苯并噁英鑰、三（8-羥基喹啉酚）鋁、2,3 · 6 · 7-四氫基-9-甲基-11-羰基-1Η· 5Η· 11H(1)苯并吡喃-[6,7,8，-Ij]-嗤嗪、芳香族二胺衍生物（TDP)、噁二唑二聚物（OXD)、噁二唑衍生物（PBD)、二芪芳烯衍生物（DSA)、喹啉酚系金屬錯合物、鈹-苯基喹啉酚錯合物（Bebq)、三苯胺衍生物類 MTDATA)、二苯乙烯衍生物、吡唑啉二聚物、紅螢烯、喹吖酮、三唑衍生物、聚苯烯、聚烷基芴、聚烷基噻吩、甲亞胺鋅錯合物、聚菲林鋅錯合物、苯并噁唑鋅錯合物、菲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -82- 1252812 A7 B7 五、發明説明（80) 繞琳銷錯合物等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此時，液狀之有機螢光材料6 12B乃因流動性高，仍向水平方向擴散，但包圍塗佈之位置地，形成階差6 1 1之故，只要該液狀之有機螢光材料6 1 2B之1次的塗佈量不極端的大量，可防止液狀之有機螢光材料61 2B超越階差611 擴散於所定位置之外側。接著，如第58圖（b)所示，經由加熱或光照射，蒸發液狀之有機螢光材料612B之溶媒，於正孔注入層641a上，形成固體之薄有機半導體膜64 1b。在此，雖會關於液狀之有機螢光材料6 1 2B之濃度，僅形成薄的有機半導體膜 64 1b。在此，需更厚的有機半導體膜64 1b時，將第58圖（a) 及（b)之工程重覆必要次數加以執行，如第58圖（c)所示，形成充分厚度之有機半導體膜64 1b。經由正孔注入層64 1A 及有機半導體膜6WB，構成發光元件641。最後，如第圖 58(d)所示，於顯示基板621之表面整體，或條紋狀地形成反射電極652。經濟部智慧財凌局資工消費合作社印製如此地，於本實施形態中，發光元件64 1配置之處置位置由四方包圍地，形成信號線632、共通配線633等之配線的同時，將此等配線形成較通常爲厚，形成階差611，然後，選擇塗佈液狀之先驅體612A或有機螢光材料612B之故，有發光元件60之圖案化精度高的優點。然後，形成階差611時，反射電極652形成於較凹凸大之面，該反射電極652之厚度成爲某種程度之厚度時，產生斷線等之不合宜的情形的可能性極小。 -83 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 經濟部智慧財凌局吕(工消費合作社印¾ _ B7_五、發明説明（81) 然而，利用信號線6 3 2或共通配線6 3 3等之配線，形成階差6 1 1之故，考特別增加新工程之故，不會招致製造工程之大幅複雜化等之問題。然而，形成發光元件6 4 1之上層部的光學材料乃非限定於有機螢光材料61 2B，爲無機之螢光材料亦可。又，做爲開關元件之各電晶體643、644，乃經由60〇 °C以下之低溫製程形成之多結晶矽而形成爲佳，由此，可兼顧玻璃基板之使用所造成之低成本化，和高移動隻所造成高性能。然而，開關元件乃可經由非晶質矽或600t以上之高溫製程形成之多結晶矽而形成亦可。然後，於開關薄膜電晶體643及電流薄膜電晶體644 之外，設置電晶體之形成亦可，或以一個電晶體驅動之形成亦可。又，階差611乃經由被動矩陣型顯示元件之第1之匯流排配線、主動矩陣大型顯示元件之掃瞄線63 1，及遮光層形成亦可。然而，做爲發光元件641，發光效率（正孔注入率）雖略爲下降，省略正孔注入層64 1 A亦可。又，代替正孔注入層 641A，將電子注入層形成於641b/和反射電極652之間六可，或形成正孔注入層及電子注入層之雙方亦可。又，於上述實施形態中，尤其於彩色顯示之槪念中，對於選擇配置各發光元件64 1之情形做爲說明’但例如於單色顯示之顯示裝置600之情形下，如第59圖所示，有機半導體膜64 1B係一樣形成於顯示基板62 1整面。惟，於此 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -84 - 1252812 A7 _B7_ 五、發明説明（82) 時，爲防止串訊，正孔注入層641A係需選擇配置於各所定位置之故，利用階差6 1 1之塗佈則極爲有效。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (2) 第2之實施形態第60圖乃顯示本發明之第2之實施形態之圖，此實施形態係適用於使用EL顯示元件之被動矩陣型之顯示裝置。然而，第60圖（a)係顯示囬數之第1之匯流排配線 750，和配設於正交於此之方向之複數之第2之匯流排配線 760之配置關係的平面圖，第60圖（b)係同（a)之B-B線截面圖。然而，於與上述第1之實施形態同樣之構成中，附上同樣符號，省略該重覆說明。又，細節之製造工程等，六與第1之實施形態同樣之故，省略該圖示及說明。即，本實施形態中，包圍配置發光元件64 1之所定位置地，例如配設Si02等之絕緣膜770，由此，於所定位置和該周圍間，形成階差6 1 1。如此之構成中，與上述第1之實施形態同樣地，有選擇塗佈液狀之先驅體612A或液狀之有機螢光材料612B 時，可防止此向周圍流出，而進行高精度之圖案化等之優經濟部智慧財4^7:貝工消費合作钍印災 (3) 第3之實施形態第6 1圖乃顯示本發明之第3之實施形態圖，此實施形態與上述第1之實施形態同樣，適用於使用EL顯示元件之主動矩陣型之顯示裝置。更具體而言，經由利用晝素電極 642，形成階差611地，進行高精度之圖案化。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -85 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（83) 然而，與上述實施形態同樣之構成中，附上同樣之符號，又，第61圖乃顯示製造工程之途中的截面圖，該前後乃與上述第1之實施形態同樣之故，省略該圖示及說明。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 即，本實施形態中，畫素電極642較通常爲厚地加以形成，由此，於與該周圍間，形成階差6 1 1。即，於實施形態中，之後，塗佈光學材料之畫素電極642者，形成較該周圍高之凸型之階差。然後，與第1之實施形態同樣地，經由噴墨頭方式，吐出爲形成相當於發光元件64 1之下層部分之正孔注入層之液（溶於溶媒之溶液狀）之光學材料（前驅體）612A，塗佈於畫素電極642上面。惟，與上述第1之實施形態不同，將顯示基板62 1成上下相反之狀態，即將塗佈液狀之先驅體6 1 2 A之畫素電極 642上面朝向下方之狀態下，進行液狀之先驅體612A之塗佈。經濟部智您財凌局肖工消资合作钍印災結果，液狀之先驅體6 1 2 A乃經由重力和表面張力，停留於642上面，不向該周圍擴散。因此，進行加熱或景射等加以固體化時，可形成與第57圖（B)同樣之薄正孔注入層，重覆此時，可形成正孔注入層。以同樣之手法，形成有機半導體膜。由此，於本實施形態中，可利用凸狀之階差6 1 1，塗佈液狀之光學材料，提升發光元件之圖案化精度。然而，利用離心力等之慣性力，調整停留於642上面之液狀之光學材料之量亦可。 -86- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 1252812 A7 _____B7 五、發明説明（84) (4)第4之實施形態 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第62圖乃顯示本發明之第4之實施形態之圖，此實施形態亦與上述第1之實施形態同樣，適用於使用EL顯示元件之主動矩陣型之顯示裝置。然後，與上述實施形態同樣之構成，則附上同樣之符號。又，第62圖係顯示製造工程之途中之截面圖，該前後乃與上述第1之實施形態同樣之故，省略該圖示及說明。即’於本實施形態中，首先，於顯示基板621上，形成反射電極652，接著，於反射電極652上，之後包圍配置發光元件641之所定位置地，形成絕緣膜770，由此，形成所定位置者較該周圍爲低的凹型之階差611。然後，與上述第1之實施形態同樣，於包圍於階差6 1 1 之範圍內，經由噴墨方式，由選擇塗佈液狀之光學材料，形成發光元件641。另一方面，於剝離用基板622上，藉由剝離層651，形成掃瞄線631、信號線632、畫素電極642、開關薄膜電晶體643、電流薄膜電晶體644及絕緣膜740。經濟部智慧財/ia!ra (工消脅合作社印¾ 最後，於顯示基板621上，轉印由剝離用基板622上之剝離層622所剝離之構造。由此，於本實施形態中，利用階差6 1 1，塗佈液狀之光學材料之故，可進行高精度之圖案化。更且，於本實施形態中，可使發光元件641等之對基材材料的之後工程所造成損傷，或對掃瞄線631、信號線632、晝素電極642、開關薄膜電晶體643、電流薄膜電晶體644及絕緣膜740之光本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -87 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（85) 學材料之塗佈所造成損傷減輕。本實施形態中，做爲主動矩陣型顯示元件做了說明，但亦可爲被動矩陣型顯示元件。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (5) 第5之實施形態第63圖乃顯示本發明之第6之實施形態圖，此實施形態亦與上述第1之實施形態同樣，適用於使用EL顯示元件之主動矩陣型之顯示裝置。然後，與上述實施形態同樣之構成，則附上同樣之符號。又，第63圖係顯示製造工程之途中之截面圖，該前後乃與上述第1之實施形態同樣之故，省略該圖示及說明。即，本實施形態中，利用層間絕緣膜740，形成凹形之階差6 1 1，由此，可得與上述第丨之實施形態同樣之作用效又，利用層間絕緣膜740形成階差611之故，亦非特別增加新的工程之故，不會招致製造工程之大幅的複雜化。 (6) 第6之實施形態經濟部智^財凌局3(工消費合作社印^ 第64圖乃顯示本發明之第6之實施形態圖，此實施形態亦與上述第1之實施形態同樣，適用於使用EL顯示元件之主動矩陣型之顯示裝置。然後，與上述實施形態同樣之構成，則附上同樣之符號。又，第64圖係顯示製造工程之途中之截面圖，該前後乃與上述第1之實施形態同樣之故，省略該圖示及說明。即’本實施形態中，非利用階差，提升圖案精度，乃， -88- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）經濟部智慧时4¾¾工消费合作社印¾ 1252812 A7 _B7五、發明説明（86) 經由將液狀之光學材料塗佈之所定位置之親水性，較該周圍之親水性相對爲強，塗佈之液狀之光學材料不會向周圍擴散者。具體而言，如第64圖所示，形成層間絕緣膜740後，於該上面，形成非晶質矽層653。非晶質矽層65 3乃較形成畫素電極642之ITO相對上排水性強之故，在此，形成畫素電極642之表面之親水性較該周圍之親水性相對爲強的排水性.親水性之分布。然後，與上述第1之實施形態同樣地，朝向晝素電極 642之上面，經由噴墨頭方式，藉由選擇塗佈液狀之光學材料，形成發光元件641，最後形成反射電極。如此，於本實施形態中，形成所期望之排水性·親水性之分布後，塗佈液狀之光學材料之故，可提升圖案化之精度。然而，本實施形態之時，當然亦可適用於被動矩陣型顯示元件。又，包含將於剝離用基板621上，藉由剝離層65 1形成之構造，轉印於顯示基板62 1之工程亦可。更且，於本實施形態中，將所期望之排水性·親水性之分布，經由非晶質矽層653加以形成，但排水性·親水性之分布亦可經由金屬，或陽極氧化膜、聚醯亞胺或氧化瓦等之絕緣，或其他之材料加以形成亦可。然而，爲被動矩陣型顯示元件中，經由第1之匯流排配線，爲主動矩陣型顯示元件中，經由掃瞄線631、信號線632、畫素電極 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） · 8g · 1252812 A7 ___ B7 五、發明説明（87) 642、絕緣膜740或遮光層加以形成亦可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又’本實施形態中，液狀之光學材料以水溶液爲前提做了說明，但亦可使用其他之溶液的液狀之光學材料，此時’對於該溶液，得排液性.親液性即可。 (7)第7之實施形態本發明之第7之實施形態中，截面構造與上述第5之實施形態所使用之第63圖相同之故，使用此加以說明。即，本實施形態中，將層間絕緣膜740以Si02形成的同時，於該表面照射紫外線，之後，曝露畫素電極642表面，然後，選擇塗佈液狀之光學材料。根據此製造工程時，不但是形成階差6 1 1，沿層間絕緣膜7 4 0之表面’形成排液性強之分布之故，塗佈之液狀之光學材料乃經由階差6 1 1和層間絕緣膜740之排液性之雙方作用，易於所定位置停留。即，發揮上述第5之實施形態，和上述第6之實施形態之雙方作用，更可提升發光元件641之圖案化精度。經濟部智慧財4笱員工消費合作社印製然而，照射紫外線之時間乃曝露畫素電極642之表面前後之任一者皆可，對應於形成層間絕緣膜740之材料，或形成畫素電極642之材料等，適切加以選定即可。即，於曝露晝素電極642之表面，照射紫外線之時，階差611 之內壁面排液性不會變強之故，於包圍階差611之範圍，停留液狀之光學材料爲有利的。與此相反地，於曝露晝素電極642之表面後，於照射紫外線之時，階差611之內壁面之排液性不變強地，需垂直地照射紫外線，於曝露晝素 -90- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 1252812 經濟部智总財凌局肖工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（88) 電極642之表面時之鈾刻工程後’爲照射紫外線，經由該触刻工程，不會有排液性變弱的問題的優點。又，做爲形成層間絕緣膜740之材料’例如使用光胝劑，或使用聚醯亞胺亦可，此時有可經由旋轉塗佈形成膜的優點。然後，根據形成層間絕緣膜740之材料，非以照射紫外線，例如經由照射〇2、CF3、Ar等電漿’使排液性變強亦可。 (8)第8之實施形態第65圖乃顯示本發明之第8之實施形態圖，此實施形態亦與上述第1之實施形態同樣，適用於使用EL顯示元件之主動矩陣型之顯示裝置。然後，與上述實施形態同樣之構成，則附上同樣之符號。又，第65圖係顯示製造工程之途中之截面圖，該前後乃與上述第1之實施形態同樣之故，省略該圖示及說明。即，於本實施形態中，非利用階差或排液性·親液性之分布等，提升圖案化精度，利用電位所成引力或斥力，可達圖案精度之提升。即，如第65圖所示，驅動信號線632或共通供電線 63 3的同時，將未圖示之電晶體經由適切之開.關，畫素電極642則成爲負電位，層間絕緣膜740形成成爲正電位電位分布。然後，經由噴墨頭方式，將帶電成爲正之液狀之光學材料612,選擇性塗佈所定位置。由此，爲本實施形態中，於顯示基板621上，形成所 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張疋度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -91 - 1252812 A7 ___B7 五、發明説明（89) 期望之電位分布，利用該電位分布，和成爲正帶電之液狀之光學材料612間之引力及斥力，選擇塗佈液狀之光學才料，提升圖案化之精度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 尤其，本實施形態中，令液狀之光學材料612史帶電之故，不單是自發分極，經由利用帶電電荷，提升圖案化之精度的效果則會更提高。本實施形態中，顯示適用於主動矩陣型顯示元件的情形，但亦可適用被動矩陣型顯示元件。然而，包含將剝離用基板621上，藉由剝離層形成之構成，轉印於顯示基板62 1之工程亦可。又，本實施形態中，所期望之電位分布，於掃瞄線63 1 順序杗加電位，同時於信號線632及633施加電位，於晝素電極642，藉由開關薄膜電晶體643及電流薄膜電晶體 644施加電位而形成。將電位分布，經由以掃瞄線63 1、信號線63 2、共通供電線633及畫素電極642形成，可抑制工程數之增加。然而，爲被動矩陣型顯示元件時，電位分布乃經由第1之匯流排配線及談光層所形成。經濟部智慧財4^a:工消費合作钍印¾ 更且，本實施形態中，於畫素電極642，和該周圍之層間絕緣膜740之雙方，供予電位，但非限定於此，例如如第6 6圖所示，於晝素電極642不供予電位，僅於層間絕緣膜7 40供予正電位，然後，將液狀之光學材料612帶電爲正之後，加以塗佈亦可。如此之時，於塗佈之後，液狀之光學材料612乃可確實維持正帶電之狀態之故，經由周圍之層間絕緣膜740間之斥力，液狀之光學材料612經由向本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -92 - 1252812 A 7 B7 五、發明説明（90) 周圍流出，可確實地加以防止。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 同樣地，本實施形態之噴頭單元可適用於電子放出裝置之製造方法、PDP裝置之製造方法及電泳顯示裝置之製造方法等。於電子放出裝置之製造方法中，於複數之液滴吐出噴頭，導入R、G、B各色之各色螢光材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出螢光材料，於電極上形成多數之螢光體。然而，電子放出裝置爲包含FED(電場放出顯示器）之上位槪念者。 PDP裝置之製造方法中，於複數之液滴吐出噴頭，導入R、G、B各色之各色螢光材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出螢光材料，於背面基板上之多數凹部各形成螢光體。電泳顯示裝置之製造方法中，於複數之液滴吐出噴頭，導入各色之泳動材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出墨水材料，於電極上之多數凹部各形成泳動體。然而，帶電粒子和染料所成泳動體乃封入微膠囊爲佳。經濟部智慧財凌局肖工消費合作社印¾ 另一方面，本實施形態之噴頭單元乃可適用間隔物形成方法、金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法等。間隔物形成方法乃於2板之基板間，形成構成微小之晶胞間隔之多數之粒子狀間隔物，於複數之液滴吐出噴頭，導入構成間隔物之粒子材料，藉由噴頭單元，主掃瞄 -93- 木纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（91) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出粒子材料，於至少一方之基板上，形成間隔物。例如，在於構成上述液晶顯示裝置或電泳顯示裝置之2枚基板間之晶胞間隔之時爲有用的，可適用於其他種類之微小間隔所需要的半導體製造技術。金屬配線形成方法中，於複數之液滴吐出噴頭，導入液狀金屬材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出液狀金屬材料，於基板上，形成金屬配線。例如，可適用於連接上述之液晶顯示裝置之驅動器和各電極的金屬配線，或連接上述有機電激發光裝置之TFT等和各電極之金屬配線。又，此種之平面顯示器之外，可適用於一般之半導體製造技術。透鏡形成方法，於複數之液滴吐出噴頭，導入透鏡材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出透鏡材料，於透明基板上，形成多數微透鏡。例如，可適用做爲上述FED裝置之光束聚光用之裝置。又，當然可適用於各種之光裝置。蛵濟部智您財凌局肖工消費合作社印¾ 光阻劑形成方法中，於複數之液滴吐出噴頭，導入光阻劑材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出光阻劑材料，於基板上，形成任意形狀之光阻劑。例如，上述之各種顯示裝置之間隔壁之形成，半導體製造技術之主體之微縮術法中，可廣爲適用於光阻劑之塗佈。光擴散體形成方法中，使用經由噴頭單元之組裝裝置 -94 - 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X；297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（92) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 所組裝之噴頭單元，於基板上形成多數之光擴散體之光擴散體形成方法中，於複數之液滴吐出噴頭，導入光擴散材料，藉由噴頭單元，主掃瞄及副掃瞄複數之液滴吐出噴頭，選擇性吐出光擴散材料，形成多數之光擴散體。於此時，當然可適用於各種之光裝置。【發明之效果】如以上，根據本發明之校準用之被辨識材料時，由於可以明顯之對比進行標記之畫像辨識之故，可有效防止誤辨識或不可辨識。又，構件本體形成成爲柱狀之故，將此簡單加以形成的同時，可迴避其他之零件和辨識攝影機之干涉。又，根據本發明之噴頭單元及具備此之電子機器時，可精度良好進行噴頭單元本身之位置辨識，以提高裝置之可靠性。經濟部智慧財1局3(工消资合作社印¾ 另一方面，根據本發明之液晶顯示裝置之製造方法、有機電激發光裝置之製造方法、電子放出裝置之製造方法、電獎顯示面板裝置之製造方法及電泳顯示裝置之製造方法，可使用適於各裝置之彩色濾光片材料或發光材料等之液滴吐出噴頭之故，可提升製造效率。又’根據本發明之彩色濾光片之製造方法、有機電激發光元件之製造方法、間隔物形成方法 '金屬配線形成方法、透鏡形成方法、光阻劑形成方法及光擴散體形成方法時’可使用適於各裝置之彩色濾光片材料或發光材料等之 -95- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1252812 A7 B7 五、發明説明（93) 液滴吐出噴頭之故，可提升製造效率。【圖面之簡單說明】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖1】有關實施形態之噴頭單元之平面圖。【圖2】有關實施形態之噴頭單元之正面圖。【圖3】有關實施形態之噴頭單元之側面圖。【圖4】實施形態之基準插梢之構造圖。【圖5】實施形態之液滴吐出噴頭周圍之截面圖。【圖6】將實施形態之液滴吐出噴頭模式性加以顯示之斜視圖。【圖7】實施形態之液滴吐出噴頭之擴大截面圖。【圖8】經濟部智慧財產局5貝工消費合作社印%[ 實施形態之噴頭保持構件之構造圖。【圖9】顯示使用實施形態之組裝工具之噴頭單元之組裝方法的擴大斜視圖。【圖1 0】實施形態之組裝工具之構成圖。 -96 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐〉 1252812 A7 B7 五、發明説明（94) 【圖11】顯示使用實施形態之組裝工具之噴頭單元之組裝方法的平面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖1 2】顯示使用實施形態之組裝工具之噴頭單元之組裝方法的正面圖。【圖13】實施形態之描繪裝置之模式圖。【圖14】實施形態之描繪裝置之主支架之斜視圖。【圖15】實施形態之描繪裝置之主支架之平面圖。【圖1 6】顯示噴頭單元之組裝方法之說明圖。【圖17】實施形態之描繪裝置之接觸裝置之模式圖。【圖18】實施形態之校準光罩之主板之構造圖。經濟部智慧財4¾¾工消費合作社印製【圖19】實施形態之校準光罩之平面圖。【圖20】實施形態之校準光罩之正面圖。【圖21】由實施形態之組裝裝置之正面側所見之整體斜視圖。衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -97 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（95) 【圖22】由實施形態之組裝裝置之背面側所見之整體斜視圖。【圖23】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施形態之組裝裝置之整體平面圖。【圖24】實施形態之組裝裝置之整體正面圖。【圖25】由實施形態之組裝裝置之左側所見之整體側面圖。【圖2 6】實施形態之單元移動裝置之X · Y平台周圍之斜視圖。【圖27】實施形態之單元移動裝置之組裝平台之構造圖。【圖28】實施形態之單元移動裝置之0平台之平面圖。【圖29】實施形態之單元移動裝置之0平台之裁斷截面圖。【圖3 0】實施形態之單元移動裝置之0平台之正面圖。經濟部智慧財產局員工消費合作社印災【圖31】實施形態之單元移動裝置之X· Y平台周圍之平面圖。【圖32】實施形態之單元移動裝置之X· Y平台周圍之正面圖。【圖33】實施形態之噴頭補正裝置之補正用X · Y平台周圍之斜視本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -98- 1252812 A7 B7 五、發明説明（96) 圖。【圖34】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施形態之噴頭補正裝置之補正用X· Y平台周圍之平面圖。【圖3 5】實施形態之噴頭補正裝置之補正用X· Y平台周圍之正面圖。【圖36】實施形態之噴頭補正裝置之補正用X · Y平台周圍之側面圖。【圖37】實施形態之噴頭補正裝置之臂單元之斜視圖。【圖38】實施形態之噴頭補正裝置之臂單元之正面圖。【圖39】實施形態之噴頭補正裝置之臂單元之側面圖。【圖4 0】臂單元之卡合臂之截面圖。經濟部智慈財1局員工消费合作钍印災【圖41】實施形態之辨識裝置之斜視圖【圖42】實施形態之辨識裝置之平面圖【圖43】實施形態之辨識裝置之正面圖衣纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公董Ί . gg . 1252812 A7 B7 五、發明説明（97) 【圖44】實施形態之辨識裝置之側面圖【圖45】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施形態之假固定裝置之整體斜視圖【圖4 6】實施形態之假固定裝置之平面圖【圖4 7】實施形態之假固定裝置之正面圖【圖48】實施形態之假固定裝置之側面圖【圖49】黏著劑塗佈裝置之側面圖【圖50】有關實施形態之控制裝置之方塊圖【圖5 1】經由實施形態之彩色濾色片之製造方法所製造之彩色濾色片之部分擴大圖。【圖52】經濟部智慧財/iajra:工消費合作社印¾ 將實施形態之彩色濾色片之製造方法模式性顯示之製造工程截面圖。【圖53】經由實施形態之彩色濾色片之製造方法所製造之液晶顯示裝置之截面圖。【圖54】本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -100- 1252812 A7 B7 五、發明説明（9δ) 經由實施形態之有機EL之製造方法所製造之顯示裝置之電路圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖55】顯示顯示裝置之晝素範圍之平面構造之擴大平面圖。【圖56】將第1實施形態之有機EL之製造方法模式性顯示之製造工程（1)之截面圖。【圖57】將第1實施形態之有機EL之製造方法模式性顯示之製造工程（2)之截面圖。【圖58】將第1實施形態之有機EL之製造方法模式性顯示之製造工程（3)之截面圖。【圖59】模式性顯示有關第1實施形態之變形例之有機EL之製造方法的截面圖。【圖60】經濟部智慈財/i^a (工消費合作社印製模式性顯示有關第2實施形態之有機EL之製造方法的平面圖及截面圖。【圖61】模示性顯示第3實施形態之有機EL之製造方法的截面圖。【圖6 2】模示性顯示第4實施形態之有機EL之製造方法的截面圖。【圖6 3】本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -101 - 1252812 A7 _ B7 五、發明説明（"）模示性顯示第5實施形態之有機EL之製造方法的截面圖。【圖64】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 模示性顯示第6實施形態之有機EL之製造方法的截面圖。【圖6 5】模示性顯示第8實施形態之有機EL之製造方法的截面圖。【圖66】模示性顯示第8實施形態之變形例之有機EL之製造方法的截面圖。【圖67】模示性顯示實施形態之描繪裝置之支架之辨識動作圖。【主要元件對照表】 A 組裝裝置 B 描繪裝置 C 組裝工具 D 校準光罩 1 噴頭單元 2 支架經濟部智慧財凌局Μ工消費合作社印¾ 3 液滴吐出噴頭 4 噴頭保持部 11 本體板 12 基準插梢12 13 支持構件13 14 把手14 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 1〇2 - 經濟部智慈財凌局資工消費合作社印製 1252812 A7 B7 五、發明説明（1〇? 15 配管連接組件15 16 配線連接組件16 17 配管連接構件17 25 插梢本體 26 基準標記26 29a 前端面 32 把手本體 34 粗徑部 45 液體導入部45 48 泵部48 48a 吐出側端面 49 噴嘴形成板49 50 噴頭本體50 52 噴嘴形成面52 53 噴嘴列53 57 吐出噴嘴57 57a 吐出噴嘴57a 61 段部61 62 樹脂62 65 噴嘴基準標記65 76 卡合孔76 77 黏著劑注入孔77 78 黏著部位78 8 1 工具本體81 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -1〇3 - 1252812 A7 五、發明説明（1〇)1 經濟部智慧財凌苟資工消費合作社印^ 82 裝著插梢82 84 縱邊部84 85 橫邊部85 86 定位部86 101 噴頭移動部1〇1 105 單元導入部105 106 假放置台1 06 106 a ，假放置角部l〇6a 108 接觸裝置108 113 Y平台1 13 1 16 X平台1 16 121 基台板12 1 123 停止板123 124 方形開口 124 13 1 接觸板131 132 接觸單元132 133 移動機構133 137 接觸輥137 139 洗淨液供給噴頭139 161 主板161 161s i標記形成面1 6 1 a 162 板保持器162 164 噴頭基準標記164 165 支架基準標記165 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -1〇4 - 1252812 A7 經濟部智慧財凌局轉工消黃合作社印製 B7五、發明説明（ 171支持插梢171211 單元移動裝置211212 噴頭補正裝置212 213 假固定裝置213 2 14 辨識裝置214 2 1 5 控制裝置2 1 5 231 設定平台231 23 2 Θ 平台 232 23 3 X · Y 平台 233 271 X軸平台271 272 Y軸平台272 302 X · Y 平台 302 3 03 補正用Θ平台303 304 臀單元3〇4 33 1 卡合臂33 1 3 3 3 臂昇降機構3 3 3 343 卡合插梢343 344 插梢保持器344 345 線圈彈簧345 347 推拔部347 3 52 攝影機位置調節單元352 3 5 3 辨識攝影機353 3 59 微基台359 3 7 3 空氣平台373 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙ft尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） -105- 1252812 A7 經濟部智慧財凌局資工消費合作社印¾ B7五、發明説明（1〇? 374黏著劑塗佈裝置374 3 77 Y軸空氣平台377 3 7 8 副Y軸空氣平台3 7 8 380 Z軸空氣平台380 3 84分配器單元384 3 87黏著劑注入噴嘴387 402輸入部402 403驅動部403 404檢出部404 405液晶面板405 41 1 CPU411 412 ROM412 413 RAM4 13 414 P-CON414 4 1 6計時器4 1 6 5〇〇彩色濾光片500 511基板511 512 畫素512 5 1 3 間隔部5 1 3 514遮光層514 5 1 5間隔壁層5 1 5 5 1 6 墨水層5 1 6 521 著色層521 522外敷層522 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 ·»線衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1〇6 - 1252812 A7 B7 五、發明説明（1〇f 523 電極層523 621顯示基板621 6 1 1顯示裝置6 1 1 641發光元件641 642畫素電極642 652反射電極652 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂經濟部智^^/1局替工>/]費合作社印製本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -1〇7 -

Claims

1252812 六、申請專利範圍附件第9 1 1 23946號專利申請案中文申請專利範圍修正本 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 民國94年12月I2日修正 1 · 一種噴頭單元之組裝裝置，屬於將各別保持於噴頭保持構件之複數之液滴吐出噴頭，臨接藉由前述噴頭保持構件，假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備將前述支架之位置及各液滴吐出噴頭之位置，各別畫像辨識之辨識手段， · 和保持前述支架的同時，將前述支架向χ·γ· Θ軸方向移動之移動手段，和卡合於前述噴頭保持構件，將前述噴頭保持構件向X · γ · Θ軸方向微少移動的補正手段，和將前述噴頭保持構件固定於支架之固定手段，和控制前述辨識手段、前述移動手段、前述補正手段及前述固定手段的控制手段；經濟部智慧財產局員工消費合作社印製前述控制手段係根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述移動手段，定位前述支架之後，驅動前述補正手段，對於前述支架，藉由前述各噴頭保持構件，定位前述各液滴吐出噴頭，更且驅動前述固定手段，藉由前述各噴頭保持構件’將前述液滴吐出噴頭固定於前述支架者。 2 _如申請專利範圍第1項之噴頭單元之組裝裝置，其中’具備將前述支架之位置及搭載於前述支架之前述液滴 1252812 忒12月15>曰料更)正.替換頁 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍吐出噴頭之位置圖案形成之校準掩罩； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述控制手段係藉由前述辨識手段，根據由保持於前述移動手段之前述校準掩罩及前述噴頭單元各別所得之掩罩位置資料及單元位置資料，控制前述移動手段、前述修正手段及前述固定手段。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之噴頭單元之組裝裝置’其中，前述支架之位置辨識乃將相互隔離設於前述支架之2個基準.標記，前述辨識手段經由各別畫像辨識而進行，前述辨識手段乃具備辉由對於前述支架之X軸方向及 Y軸方向之任一方向之相對性移動，將前述2個之基準標記各別置入視野內的辨識攝影機。 4 ·如申請專利範圍第1項或第2項之噴頭單元之組裝裝置，其中，前述各液滴吐出噴頭之位置辨識乃將形成於前述液滴吐出噴頭之噴嘴形成面的噴嘴列所隔離之2個噴嘴，使前述辨識手段各別加以晝像辨識而進行。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 ·如申請專利範圍第1項或第2項之噴頭單元之組裝裝置，其中，前述液滴吐出噴頭乃於使噴嘴形成面朝上之狀態，藉由前述噴頭保持構件，吊掛於前述支架地加以假裝著，前述移動手段乃具有X· Y· 0軸移動平台，和固定於前述Χ·γ·0軸移動平台之0軸移動平台上，將前述液滴吐出噴頭以朝上之狀態，保持前述支架的組裝構成0 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-2 - 1252812 A8 f B8 、C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 #12^2 曰修G®正替六、申請專利範圍 6 ’如申昍專利箪β圍帛"貝或第2項之噴頭單元之組裝裝置，其中，於前述噴頭保持構件，前述補正手段被卡合的同時，形成相互隔離配設之2個卡合孔，前述補正手段係具有Χ·γ· β軸移動平台，安裝於Χ·Υ· Θ軸移動平台之θ軸移動平台上的2軸移動平台，和女裝於則述Ζ軸移動平台，卡合於前述噴頭保持構件之2 個卡合孔的一對卡合臂。 7 ·如申請專利範圍第〗項或第2項之噴頭單元之組裝裝置’其中，前述固定手段谭於前述噴頭保持構件和前述支架之間，塗佈黏著劑之黏著劑塗佈機構，和將前述黏著劑塗佈機構，向X· γ· z軸方向移動之移動平台。 8 · —種噴頭單元之組裝裝置，屬於將複數之液滴吐出噴頭’臨接於假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備將前述支架之位置及各液滴吐出噴頭之位置，各別畫像辨識之辨識手段，和保持前述支架的同時，將前述支架向X · Y · Θ軸方向移動之移動手段，和卡合於前述液滴吐出噴頭，將前述液滴吐出噴頭向X . Y · 0軸方向微少移動的補正手段，禾口將前述液滴吐出噴頭固定於前述支架之固定手段，本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-3 -

1252812 k 1Z 1 2 .日修(更}正替換頁 B8 C8 D8 六、申請專利範圍和控制前述辨識手段、前述移動手段、前述補正手段及前述固定手段的控制手段； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述控制手段係根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述移動手段，定位前述支架之後，驅動前述補正手段，對於前述支架，藉由前述各噴頭保持構件，定位前述各液滴吐出噴頭，再者驅動前述固定手段，將定位前述各液滴吐出噴頭，固定於前述支架者。 9 · 一種噴頭單元之組裝方法，屬於各別保持於噴頭保持構件之複數之液滴吐出噴頭，臨接藉由前述噴頭保持構件，假裝著於單一之支架之噴頭軍元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝方法，其特徵係具備畫像辨識前述支架之位置之支架辨識工程，和根據前述支架辨識工程之辨識結果，定位前述支架之支架定位工程，和畫像辨識前述各液滴吐出噴頭之位置的噴頭辨識工程，和根據前述噴頭辨識工程之辨識結果，對於前述支架，定位前述各液滴吐出噴頭之噴頭定位工程，經濟部智慧財產局員工消費合作社印製和將前述定位之前述各液滴吐出噴頭，固定於前述支架之固定工程。 1 0 ·如申請專利範圍第9項之噴頭單元之組裝方法，其中，將前述噴頭辨識工程，前噴頭定位工程及前述固定工程，依此工程順序，數分重覆前述液滴吐出噴頭.。 1 1 ·如申請專利範圍第9項或第1 0項之噴頭單元之組本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-4 - 8 8 8 8 ABCD 1252812 「-——――一— 正替获齊六、申請專利範圍裝方法，其中，前述固定工程係更具備經由黏著劑，將前述噴頭保持構件黏著於前述支架而進行，前述固定工程之後，將前述噴頭保持構件機械性固定於前述支架之本固定工程。 1 2 _如申請專利範圍第9項或第1 0項之噴頭單元之組裝方法，其中，準備將前述支架之位置及搭載於前述支架之前述各液滴吐出噴頭之位置圖案形成之校準用掩罩，根據自前述支架定位工程及前述噴頭單元各別所得之掩罩位置資料及單元位置資料，各別而成者。 1 3 · —種噴頭單元之組裝方法，屬於將複數之液滴吐出噴頭，臨接於假裝著於單一之支架之噴頭單元，將前述各液滴吐出噴頭定位於前述支架之狀態加以固定之噴頭單元之組裝方法，其特徵係具備畫像辨識前述支架之位置之支架辨識工程，和根據前述支架辨識工程之辨識結果，定位前述支架之支架定位工程，和畫像辨識前述各液滴吐出噴頭之位置的噴頭辨識工程，和根據前述噴頭辨識工程之辨識結果，對於前述支架，定位前述各液滴吐出噴頭之噴頭定位工程，和將前述定位之前述各液滴吐出噴頭，固定於前述支架之固定工程。 1 4 · 一種液滴吐出噴頭之定位裝置，屬於將保持於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，藉由前述噴頭保持構件，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-5 - — π請先閲讀背面·尤法意事項存填寫本買) #11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1252812 年 di 12. 12 P修浼)正替换頁 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位裝置，其特徵係具備畫像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之辨識手段， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 和卡合於前述噴頭保持構件，將前述噴頭保持構件，相對於X · Y · 0軸方向微少移動的補正手段，和控制前述辨識手段及前述補正手段的控制手段；前述控制手段乃根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述補正手段，對於前述支架，藉由前述噴頭保持構件，定位前述液滴吐出噴頭者。 15.如申請專利範圍第14項之液滴肚出噴頭之定位裝置，其中，具備圖案形成對於前述支架之前述液滴吐出噴頭之位置的校準掩罩；前述控制手段乃藉由前述辨識手段，根據由前述校準掩罩所得掩罩位置資料和由前述液滴吐出噴頭所得噴頭位置資料，控制前述補正手段。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 6 ·如申請專利範圍第1 4項之液滴吐出噴頭之定位裝置，其中，前述液滴吐出噴頭之位置乃將形成於該液滴吐出噴頭之噴嘴形成面的噴嘴列所隔離之2個噴嘴，前述辨識手段經由各別畫像辨識而進行，前述辨識手段乃具備將前述2個之噴嘴各別同時置入視野內的辨識攝影機。 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項之液滴吐出噴頭之定位裝置，其中，前述辨識手段乃具有可調節前述2個之辨識攝影機之相互之視野間尺寸的視野間調節機構。本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-6 - 1252812 、曰修_正替換頁 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 8 ·如申請專利範圍第1 4項至第1 7項之任一項之液滴吐出噴頭之定位裝置，其中，於前述噴頭保持構件，前述補正手段被卡合的同時，形成相互隔離配設之2個卡合孔，前述補正手段係具有X· γ· 0軸移動平台，安裝於X· Υ· β軸移動平台之Θ軸移動平台上的Z軸移動平台，和安裝於前述Ζ軸移動平台，卡合於前述噴頭保持構件之2 個卡合孔的一對卡合臂。 1 9 ·如申請專利範圍第〗8項之液滴吐出噴頭之定位裝置，其中，χ·γ· Θ軸移動平台之X軸移動平台及γ軸移動平台，乃具有構成各驅動源之線性馬達，和導引移動之空氣滑動器。 20 ·如申請專利範圍第丨8項之液滴吐出噴頭之定位裝置’其中，前述各卡合臂乃具有前述部插入至前述各卡合孔之卡合插梢，前述卡合插梢之前端部乃形成成爲將前端側經由前述卡合孔成爲細徑，將基端側經由前述卡合孔而成粗徑的推拔形 2 1 .如申請專利範圍第20項之液滴吐出噴頭之定位裝置’其中，前述各卡合臂乃更具有將前述卡合插梢，保持成該軸方向之進退自如的插梢支持器，和將前述卡合插梢向突出方向彈播之彈簧。 22 .如申請專利範圍第1 8項之液滴吐出噴頭之定位裝本紙張尺渡適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-7 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1252812

六、申請專利範圍置，其中，前述噴頭保持構件之2個卡合孔乃一方形成成爲圓形，另一方形成成爲長圓形者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 3 · —種液滴吐出噴頭之定位裝置，屬於將液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位裝置，其特徵係具備晝像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之辨識手段，和卡合於前述液滴吐出噴頭，將前述各液滴吐出噴頭，相對於X · Y · Θ軸方向微少移動的補正手段，和控制前述辨識手段及前述補正手段的控制手段< ; 前述控制手段乃根據前述辨識手段之辨識結果，驅動前述補正手段，對於前述支架，定位前述各液滴吐出噴頭之。 24 · —種噴頭單元之組裝裝置，其特徵你具備如申請專利範圍第14項至第23項之任一項之液滴吐出噴頭之定位裝置。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 25 · —種液滴吐出噴頭之定位方法，屬於將搭載於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，固定於搭肅支架之前，藉由前述噴頭保持構件，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭’定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位方法，其特徵係具備晝像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之噴頭辨識工程，和根據前述噴頭辨識工程之辨識結果，對於前述支架，藉由前述噴頭保持構件，定位前述液滴吐出噴頭之噴頭定位工程者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-8 - 1252812 #12日修(更)正替換買 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 26 .如申請專利範圍第25項之液滴吐出噴頭之定位方法，其中，準備圖案形成搭載於前述支架之前述液滴吐出噴頭之位置的校準掩罩， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 前述噴頭定位工程乃根據同一條件下’由前述校準掩罩及前述液滴吐出噴頭各別所得之掩罩位置資料及噴頭位置資料而成者。 27 · —種液滴吐出噴頭之定位方法，屬於將液滴吐出噴頭，固定於搭載支架之前，將假裝著於前述支架的前述液滴吐出噴頭，定位於前述支架的液滴吐出噴頭之定位方法，其特徵係具備 .4 晝像辨識前述液滴吐出噴頭之位置之噴頭辨識工程，和根據前述辨識工程之辨識結果，對於前述支架，定位前述液滴吐出噴頭之噴頭定位工程者。 2 8 · —種液滴吐出噴頭之固定裝置，屬於將搭載於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定裝置，其特徵係具備保持前述支架之支架保持手段，經濟部智慧財產局員工消費合作社印製和藉由前述噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持手段，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入手段。 ’ 29 ·如申請專利範圍第28項之液滴吐出噴頭之固定裝置，其中’前述噴頭保持構件乃兼具藉由前述噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭定位於前述支架之定位手段。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-9 - 1252812 2曰修阳正替换頁 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 30 ·如申請專利範圍第28項或第29項之液滴吐出噴頭之固定裝置，其中，於前述噴頭保持手段中，組裝有計時器，前述噴頭保持手段乃注入前述黏著劑後，前述黏著劑到達所定黏著強度之時間，將前述液滴吐出噴頭保持於定位狀態者。 3 1 ·如申請專利範圍第28項或第29項之液滴吐出噴頭之固定裝置，其中，前述黏著劑注入手段乃具有於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入機構，和將前述黏著劑注入機構向X · Y · Z軸方向移動之.移動平台。 3 2 ·如申請專利範圍第31項之液滴吐出噴頭之固定裝置，其中，前述移動平台之X軸移動平台、γ軸移動平台及Z軸移動平台乃各驅動源以汽缸加以構成者。 3 3 .如申請專利範圍第31項之液滴吐出噴頭之固定裝置’其中’挾持前述液滴吐出噴頭之噴嘴形成面，於與前述噴頭保持構件之前述支架之接觸部，貫通前該接觸部，形成一對之黏著劑注入孔，經濟部智慧財產局員工消費合作社印製前述黏著劑注入機構乃具有對祇於前述一對之黏著劑注入 ?L之一對之黏著劑注入噴嘴。 3 4 ·如申請專利範圍第3 3項之液滴吐出噴頭之固定裝置’其中’前述噴頭保持構件之前述一對之黏著劑注入孔，乃向X軸方向或Y軸方向些微隔離，形成2組，對應於此，前述移動平台之X軸移動平台或γ軸移動平本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 1〇 - 1252812 •年月.W修(吏)正替 Α8 Β8 C8 D8 ☆、申請專利範圍台，乃具有令前述黏著劑注入機構往復移動前述間隔尺寸部分之副平台。 3 5 .如申請專利範圍第3 3項之液滴吐出噴頭之固定裝 ®，其中，前述各黏著劑注入孔之前述支架側之端部被加以倒角者。 3 6 .如申請專利範圍第3 3項之液滴吐出噴頭之固定裝置，其中，前述各黏著劑注入噴嘴乃對於Ζ軸傾斜，前述各黏著劑注入孔乃向前述傾斜方向形成成長的長孔。 3 7 · —種液滴吐出噴頭之固定裝置，屬於將液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定裝置，其特徵係具備保持前述支架之支架保持手段，和將前述液滴吐出噴頭，對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持手段，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入手段。 3 8 · —種噴頭單元之組裝裝置，其特徵係具備如申請專利範圍第2 8項至第3 7項之任一項之液滴吐出噴頭之固定裝置。 3 9 · —種液滴吐出噴頭之固定方法，屬於將搭載於噴頭保持構件之液滴吐出噴頭，定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定方法，其特徵係具備藉由前述噴頭保持構件，將前述液滴吐出噴頭，對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持工程，本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!〇Χ297公釐）一 11 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁〕、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1252812 年 1^12^ 曰修正替換買 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入工程。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4〇 . —種液滴吐出噴頭之固定方法，屬於將液滴吐出噴頭’定位於搭載此之支架的狀態下加以固定之液滴吐出噴頭之固定方法，其特徵係具備將前述液滴吐出噴頭，對於前述支架保持於定位狀態之噴頭保持工程，和於此狀態，於前述噴頭保持構件和前述支架間，注入黏著劑之黏著劑注入工程。 4 1 · 一種液晶顯示裝置之製造方法，屬於使用如申請. 專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於彩色濾色片之基板上，形成多數之濾色片單元之液晶顯示裝置之製造方法，其特徵係前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之濾色片材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述濾色片材料，形成多數之前述濾色片單元。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 42 . —種有機電激發光裝置之製造方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上之多數之圖素畫素，各形成電激發光層之有機電激發光裝置之製造方法，其特徵係前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之發光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述發光材料，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-12 - 1252812 94 ΐί 12 ·」 Α8 ^1 Β8 | C8 j D8 六、申請專利範圍形成多數之前述電激發光層。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 43. —種電子放出裝置之製造方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於電極上，形成多數之螢光體之電子放出裝置之製造方法，其特徵係前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之螢光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述電極相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述螢光材料，形成多數之前述螢光體。 44 · 一種電漿顯示裝置之製造方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於背面基板上之凹部，各形成螢光體之電漿顯示裝置之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之螢光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述背面基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述螢光材料，形成多數之前述螢光體。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 5 · —種電泳顯示裝置之製造方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於電極上之多數之凹部，各形成泳動體之電泳顯示裝置之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之泳動體材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述背面基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述泳動體本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-13 - 1252812 12. 12 日修(感丨 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍材料’形成多數之前述泳動體。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 46 · —種彩色濾色片之製造方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，製造排列多數濾色片單元所成之彩色濾色片的彩色濾色片之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之濾色片材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述濾色片材料’形成多數之前述濾色片單元。 47 ·如申請專利範圍第46項之彩色濾色片之製造方法，其中，前述多數之濾色片單元乃收容於經由設於前述基板上之凸狀之間隔壁所形成之凹部，於形成前述濾色片單元之前，於前述複數之液滴吐出噴頭導入間隔壁材料，藉由前述噴頭單兀，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述間隔壁材料，形成前述間隔壁。 4 8 ·如申請專利範圍第4 7項之彩色濾色片之製造方經濟部智慧財產局員工消費合作社印製法’其中’形成被覆前述多數之濾色片單元及前述間隔壁的外敷膜.，於形成前述濾色片單元之後， ^ 於前述複數之液滴吐出噴頭導入透光性之塗佈材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對方令則述基板相對地加以掃猫，選擇性吐出前述塗佈材料，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-14 - 1252812 遗沒)正藝換頁 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍形成前述外敷膜。 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本貫) 49. 一種有機電激發光裝置之製造方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，將包含電激發光層之多數之複數之圖素晝素，於基板上加以排列所成之有機電激發光裝置之製造方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入各色之發光材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述發光材料，形成多數之前述電激發光層。 50 ·如申請專利範圍第49項之有機電激發光裝置之製造方法，其中，前述多數之電激發光層乃收容於經由設於前述基板上之凸狀之間隔壁所形成之凹部，於形成前述電激發光層之前，於前述複數之液滴吐出噴頭導入間隔壁材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，|寸於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述間隔壁# 料，形成前述間隔壁。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 1 .如申請專利範圍第50項之有機電激發光裝置之製造方法，.其中，於前述多數之電激發光層和前述基板之間，對應電激發光層，形成多數之畫素電極，於形成前述間隔壁之前，於前述複數之液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-15 - 1252812 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述液狀電極材料’形成前述畫素電極。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 52 ·如申請專利範圍第5 !項之有機電激發光元件之製造方法，其中，被覆前述多數之電激發光層及前述間隔壁地，形成對向電極，於形成前述濾色片單元之後，於前述複數之液滴吐出噴頭導入液狀電極材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述液狀電極材料’形成前述對向電極。 5 3 · —種間隔物形成方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於2枚基板間，爲構成微小晶胞間隔，形成多數之粒子狀之間隔物的間隔物形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入構成間隔物之粒子材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於至少一方之前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述粒子材料，於前述基板上形成前述間隔物。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 4 · —種金屬配線形成方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成金屬配線之金屬配線形成方法’其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入液狀金屬材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-16 - 1252812 正替換頁 A8 B8 C8 D8 A、申請專利範圍於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述液狀金屬材 Μ ’形成前述金屬配線。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 5 · —種透鏡形成方法，屬於使用如申請專利範圍第1 項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元；’於基板上，形成多數之微透鏡之透鏡形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入透鏡材料，籍由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述透鏡材料，开多成多數之前述微透鏡。 5 6 · —種光阻劑形成方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成任意形狀之光阻劑之光阻劑形成方法，其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入光阻劑材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述光阻劑材料’形成前述光阻劑。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 7 · —種光擴散體形成方法，屬於使用如申請專利範圍第1項至第8項之任一項之噴頭單元之組裝裝置所組裝的噴頭單元，於基板上，形成多數之光擴散體之光擴散體形成方法’其特徵係於前述複數之液滴吐出噴頭導入光擴 θ夂體材料，藉由前述噴頭單元，將前述複數之液滴吐出噴頭，對於前述基板相對地加以掃瞄，選擇性吐出前述光擴散體材本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚）.17 . 1252812 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ιύ： 12： Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍料，形成多數之前述光擴散體 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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