CN1411985A - 头单元装配装置及方法和用其制造诸装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够将多个液滴排出头稳定且高精度地装配在单一的滑架上的头单元的装配装置和装配方法。具有对滑架(2)和各液滴排出头(3)的位置进行图像识别的识别装置(214)，和移动滑架(2)的移动装置(211)，和使头保持构件(4)微小移动的校正装置(212)，和将各头保持构件(4)固定在滑架上的固定装置(213)，和控制装置(215)；控制装置(215)根据识别装置(214)的识别结果，在将滑架(2)定位后，将各液滴排出头(3)在滑架(2)上定位，并且将各头保持构件(4)固定在滑架(2)上。

Description

头单元装配装置及方法和用其制造诸装置的制造方法

技术领域

本发明涉及将以喷墨头为代表的液滴排出头的多个头组装在单个滑架上的头单元的装配装置和装配方法、液滴排出头的定位装置和定位方法、液滴排出头的固定装置和固定方法、以及使用上述头单元的液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳显示装置的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法和光扩散体形成方法。

背景技术

在以前的打印机等中，在需要多个液滴排出头的情况下，将各液滴排出头各自保持在头保持构件上，并将其装载在单个滑架上，将多个液滴排出头与头保持构件和滑架一起作为头单元处理。

而且，在将液滴排出头装在头保持构件上的情况下，利用显微镜等人工进行定位和螺丝固定。而且，在将带有头的头保持构件装在滑架上的情况下，在滑架上设置将头保持构件定位的销等，将头保持构件放置在上面并固定。

但是，由于这种液滴排出头能够从其喷嘴列高精度且选择性地排出微小的液滴，所以能够应用于液晶显示装置或有机EL显示装置等的滤色器的制造，并且也期望应用于各种电子装置或光装置等的制造装置。

考虑到这样的应用技术，在液滴排出头自身的性能的基础上，对于平面内的喷嘴(喷嘴列)的位置精度(装配精度)或构成其前提的滑架的位置精度，要求有较高的精度。而且，也需要考虑到根据构成排出对象的液体等，液滴排出头的寿命缩短，液滴排出头的频繁的更换。

在这些要素中，由于在装载在打印机上的以前的液滴排出头(头单元)中，各部的精度的累积决定了整体的精度，所以在稳定地保持较高的定位精度这一点上，自然而然地会有局限。而且，手工操作的装配，其操作麻烦，而且可靠性低。

本发明的目的在于提供一种能够将多个液滴排出头稳定且高精度地装在单个滑架上的头单元的装配装置和装配方法、液滴排出头的定位装置和定位方法、液滴排出头的固定装置和固定方法、以及使用了上述头单元的液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法、电泳显示装置的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法和光扩散体形成方法。

发明内容

本发明的头单元的装配装置，是将分别保持在头保持构件上的多个液滴排出头通过头保持构件靠近临时装在单一的滑架上的头单元，以定位在滑架上的状态固定各液滴排出头的头单元的装配装置，其特征在于，配置有分别对滑架的位置和各液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和在保持滑架的同时使滑架在X、Y、θ轴方向上移动的移动装置，和与头保持构件结合、使头保持构件在X、Y、θ轴方向上微小移动的校正装置，将头保持构件固定在滑架上的固定装置，和对识别装置、移动装置、校正装置以及固定装置进行控制的控制装置；控制装置根据识别装置的识别结果，在驱动移动装置并将滑架定位后，驱动校正装置、通过各头保持构件将各液滴排出头在滑架上定位，并且驱动固定装置、通过各头保持构件将液滴排出头固定在滑架上。

根据该结构，首先利用识别装置对滑架的位置进行图像识别，根据该识别结果驱动移动装置将滑架定位。通过这样，由于临时装在滑架上的各液滴排出头处于临时的定位状态，所以能够尽量减少随后靠近各液滴排出头的识别装置和校正装置的徒劳的移动。然后，装载在各头保持构件上的液滴排出头的位置被识别装置识别，根据该识别结果驱动校正装置，通过各头保持构件将各液滴排出头相对于滑架定位。通过这样，各液滴排出头被正确地定位，故在此驱动固定装置将各头保持构件固定在滑架上。

这样，由于将从滑架和各液滴排出头的位置识别开始，到进行滑架和各液滴排出头的定位(位置校正)，进而到各液滴排出头向滑架的固定的一连串的作业利用单一的装置来进行，所以能够稳定地得到将多个液滴排出头以很高的定位精度装在滑架上的头单元。

并且，作为液滴排出头，有在压电元件上外加电压、利用其变形排出液滴的方式，和通过加热器瞬时加热液滴、利用其蒸发(体积膨胀)排出液滴的方式等，可以采用任何一种方法。

在这种情况下，最好具有图案形成滑架的位置以及装载在滑架上的各液滴排出头的位置的校准掩模，控制装置根据通过识别装置分别由保持在移动装置上的校准掩模以及头单元得到的基础位置数据和单元位置数据，控制移动装置、校正装置以及固定装置。

根据该结构，能够以校准掩模为原型，得到作为它的复制品的头单元。因此，作为复制品被装配的多个(或者多数)头单元，相互间具有同等的精度，能够稳定地批量生产具有很高的装配精度的头单元。

在这些情况下，最好滑架的位置识别，由识别装置分别对相互离开地设置在滑架上的2个基准标记进行图像识别，而识别装置具有通过相对于滑架在X轴方向和Y轴方向中的任意一个方向的相对移动、将2个基准标记分别取进视野内的识别照相机。

根据该结构，由于识别装置的识别照相机，通过相对于滑架在X轴方向和Y轴方向中的任意一个方向的相对移动，将2个基准标记分别取进视野内，所以能够尽量消除伴随识别照相机的移动而引起的精度误差。

在这些情况下，最好各液滴排出头的位置识别，由识别装置分别对在液滴排出头的喷嘴形成面上形成的喷嘴列中的相互离开的2个喷嘴进行图像识别，而识别装置具有分别将2个喷嘴同时取进视野内的2个识别照相机。

根据该结构，由于能够通过识别装置的2个识别照相机分别将2个喷嘴同时取进视野内，所以能够不移动识别照相机而同时对2个喷嘴进行图像识别，能够可靠地消除伴随识别照相机的移动而引起的精度误差。而且，由于对喷嘴列中相互离开的2个喷嘴进行图像识别，所以液滴排出头的X轴方向和Y轴方向的位置识别自不用说，对倾斜角度(θ轴方向)也能够正确地进行位置识别。并且，喷嘴列中相互离开的2个喷嘴最好为喷嘴列的最外端的2个喷嘴。

在这些情况下，最好液滴排出头以喷嘴形成面朝上的状态、通过头保持构件悬挂地临时装在滑架上，并且移动装置具有X、Y、θ轴移动工作台，和固定在X、Y、θ轴移动工作台的θ轴移动工作台上、以液滴排出头朝上的状态保持滑架的安装构件。

根据该结构，滑架以将液滴排出头朝向上方临时安装的状态通过X、Y、θ轴移动工作台进行适当移动。这样，在识别装置固定的情况下，能够使滑架和各液滴排出头适当移动以靠近识别装置。而且也能够根据识别装置的识别结果适当地进行滑架的位置校正。并且，能够利用安装构件进行喷嘴形成面的水平调整。

在这些情况下，最好在头保持构件上，形成与校正装置结合、并且相互离开设置的2个结合孔，校正装置具有X、Y、θ轴移动工作台，和安装在X、Y、θ轴移动工作台的θ轴移动工作台上的Z轴移动工作台，和安装在Z轴移动工作台上、与头保持构件的2个结合孔结合的一对结合臂。

根据该结构，由于校正装置具有X、Y、θ轴移动工作台，所以能够利用该校正装置，根据位置识别进行各液滴排出头的适当的位置校正。而且，通过使安装在X、Y、θ轴移动工作台的Z轴移动工作台上的一对结合臂与头保持构件的2个结合孔结合，能够使各头保持构件(各液滴排出头)为了校正而稳定且高精度地移动。

在这些情况下，最好固定装置具有在头保持构件和滑架之间涂敷粘接剂的粘接剂涂敷机构，和使粘接剂涂敷机构在X、Y、Z轴方向上移动的移动工作台。

根据该结构，由于固定装置具有在头保持构件和滑架之间涂敷粘接剂的粘接剂涂敷机构，头保持构件向滑架的固定通过粘接进行，所以与利用螺钉进行的固定等不同，能够在固定操作(固定动作)中有效地防止头保持构件位置偏移。而且，由于具有使粘接剂涂敷机构在X、Y、Z轴方向上移动的移动工作台，所以能够将粘接剂自由地涂敷在任意位置。并且，作为粘接剂，最好使用所谓的瞬时粘接剂。而且，在将头保持构件粘接之后(临时固定)，将其进一步机械固定(正式固定)，则更好。

本发明的其它头单元的装配装置，为使多个液滴排出头靠近临时装在单一滑架上的头单元，以定位在滑架上的状态固定各液滴排出头的头单元的装配装置，其特征在于，配置有分别对滑架的位置和各液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和在保持滑架的同时使其在X、Y、θ轴方向上移动的移动装置，和与液滴排出头结合、使液滴排出头在X、Y、θ轴方向上微小移动的校正装置，和将液滴排出头固定在滑架上的固定装置，和控制识别装置、移动装置、校正装置以及固定装置的控制装置；控制装置根据识别装置的识别结果，在驱动移动装置将滑架定位后，驱动校正装置、将各液滴排出头在滑架上定位，并且驱动固定装置、将被定位的各液滴排出头固定在滑架上。

该结构是将各液滴排出头直接装在滑架上的结构，根据该结构，首先通过识别装置对滑架的位置进行图像识别，根据该识别结果驱动移动装置将滑架定位。然后通过识别装置对各液滴排出头进行位置识别，根据该识别结果驱动校正装置、使各液滴排出头相对于滑架定位。通过这样，各液滴排出头被正确地定位，故在此驱动固定装置将各液滴排出头固定在滑架上。

这样，由于将从滑架和各液滴排出头的位置识别开始，到进行滑架和各液滴排出头的定位(位置校正)，进而到各液滴排出头向滑架的固定的一连串的作业利用单一的装置来进行，所以能够稳定地得到将多个液滴排出头以很高的定位精度装在滑架上的头单元。

本发明的头单元的装配方法，是将分别保持在头保持构件上的多个液滴排出头、通过头保持构件靠近临时装在单一的滑架上的头单元，以定位在滑架上的状态固定各液滴排出头的头单元的装配方法，其特征在于，具有对滑架的位置进行图像识别的滑架识别工序，和根据滑架识别工序的识别结果定位滑架的滑架定位工序，和对各液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和根据头识别工序的识别结果通过各头保持构件将各液滴排出头在滑架上定位的头定位工序，和将定位的各头保持构件固定在滑架上的固定工序。

根据该结构，由于将从滑架和各液滴排出头的位置识别开始，到进行滑架和各液滴排出头的定位(位置校正)，进而到各液滴排出头向滑架的固定的一连串的作业利用单一的装置来进行，所以能够稳定地得到将多个液滴排出头以很高的定位精度装在滑架上的头单元。

在这种情况下，最好使头识别工序、头定位工序以及固定工序按照该工序顺序、并按照液滴排出头的数重复进行。

根据该结构，由于就各液滴排出头而言，头识别工序、头定位工序以及固定工序连续进行，所以能够把各液滴排出头的移动限制在最小程度的距离内，并且能够高效率地进行固定工序。

在这些情况下，最好固定工序通过利用粘接剂将头保持构件粘接在滑架上来进行，在固定工序之后并且具有将头保持构件机械固定在滑架上的正式固定工序。

根据该结构，通过粘接剂将头保持构件临时固定在滑架上。因此，该临时固定自不用说，能够有效地防止在正式固定中头保持构件(液滴排出头)的位置偏移。而且，从临时固定到正式固定期间，即使在将滑架移动到装置外的情况下，也能够防止由于振动等引起的头保持构件的位置偏移。另一方面，被正式固定的头保持构件，例如即使粘接剂日久老化，也不会从滑架有偏离位置或脱开。

在这些情况下，最好备有由图案形成滑架的位置以及装载在滑架上的各液滴排出头的位置的校准掩模，滑架定位工序以及头定位工序，以相同条件分别从校准掩模以及头单元得到的基础位置数据以及单元位置数据分别进行。

根据该结构，能够以校准掩模为原型，得到作为复制品的头单元。因此，作为复制品被装配的多个(或者多数个)头单元，相互间具有同等的精度，能够稳定地批量生产具有很高的装配精度的头单元。

本发明的其它头单元的装配方法，是使多个液滴排出头靠近临时装在单一滑架上的头单元，以定位在滑架上的状态固定各液滴排出头的头单元的装配方法，其特征在于，具有对滑架的位置进行图像识别的滑架识别工序，和根据滑架识别工序的识别结果将滑架定位的滑架定位工序，和对各液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和根据头识别工序的识别结果将各液滴排出头在滑架上定位的头定位工序，和将定位的各液滴排出头固定在滑架上的固定工序。

根据该结构，由于将从滑架和各液滴排出头的位置识别开始，到各液滴排出头向滑架的固定的一连串的作业利用单一的装置来进行，所以能够稳定地得到将多个液滴排出头以很高的定位精度装在滑架上的头单元。

本发明的液滴排出头的定位装置，是在保持在头保持构件上的液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，把通过头保持构件将临时装在滑架上的液滴排出头定位在滑架上的液滴排出头的定位装置，其特征在于，具有对液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和与头保持构件结合、使头保持构件在X、Y、θ轴方向上相对地微小移动的校正装置，和控制识别装置以及校正装置的控制装置；控制装置根据识别装置的识别结果驱动校正装置，通过头保持构件将液滴排出头定位在滑架上。

根据该结构，液滴排出头通过头保持构件临时装在预先安装在规定位置的滑架上，从该状态通过识别装置识别液滴排出头的位置，根据该识别结果驱动校正装置，将液滴排出头定位在滑架上。在这种情况下，由于校正装置为使头保持构件在X、Y、θ轴方向上相对地微小移动的结构，所以能够高精度且迅速地进行液滴排出头的位置校正。

在该情况下，最好具有由图案形成液滴排出头相对于所述滑架的位置的校准掩模，控制装置根据通过识别装置从校准掩模得到的基础位置数据和从液滴排出头得到的头位置数据，控制校正装置。

根据该结构，由于能够以校准掩模为定位的原型，以其复制品的形态将液滴排出头定位在滑架上，所以能够一直以稳定的定位精度将液滴排出头定位。因此，能够提高装置的可靠性。

在这些情况下，最好液滴排出头的位置识别，由识别装置分别对在该液滴排出头的喷嘴形成面上形成的喷嘴列中相互离开的2个喷嘴进行图像识别，而识别装置具有分别将2个喷嘴同时取进视野内的2个识别照相机。

根据该结构，由于液滴排出头的位置识别，通过对液滴排出头的喷嘴列中相互离开的2个喷嘴的图像识别来进行，所以喷嘴列的X轴方向和Y轴方向的位置自不用说，倾斜角度(θ轴方向)也能够高精度地进行位置识别。而且，由于通过2个识别照相机分别将2个喷嘴同时取进视野内，所以能够不移动识别照相机而对2个喷嘴进行图像识别，能够消除伴随识别照相机的移动而引起的精度误差。并且，喷嘴列中相互离开的2个喷嘴最好为喷嘴列的最外端的2个喷嘴。

在该情况下，最好识别装置具有能够调节2个识别照相机的相互的视野之间的尺寸的视野间调节机构。

根据该结构，对于构成识别对象物的液滴排出头，在喷嘴列的长度不同的情况下，能够通过该视野间调节机构调节2个识别照相机的视野间尺寸。这样，2个识别照相机能够一直将2个喷嘴同时取进视野内。

在这些情况下，最好在头保持构件上形成与移动装置结合、并且相互离开设置的2个结合孔，校正装置具有X、Y、θ轴移动工作台，和安装在X、Y、θ轴移动工作台的θ轴移动工作台上的Z轴移动工作台，和安装在Z轴移动工作台上、与头保持构件的2个结合孔结合的一对结合臂。

根据该结构，由于校正装置具有X、Y、θ轴移动工作台，所以能够通过头保持构件以一系列的移动动作可靠地进行液滴排出头的位置校正。而且，由于使Z轴移动工作台的一对结合臂与头保持构件的2个结合孔结合、进行位置校正，所以能够稳定且高精度地进行位置校正。

在该情况下，最好X、Y、θ轴移动工作台的X轴移动工作台以及Y轴移动工作台分别具有构成驱动源的线性电机，和引导移动的气动滑块。

根据该结构，由于与用滚珠丝杠作为移动系主体的情况相比较，能够得到较高的移动精度，所以能够在装置构造上高精度地进行液滴排出头的位置校正。

在这些情况下，最好各结合臂的前端部具有插入各结合孔的结合销，结合销的前端部形成为前端一侧比结合孔直径细、末端一侧比结合孔的直径粗的锥形形状。

根据该结构，能够使头保持构件的各结合孔和Z轴移动台上的各结合臂的结合销高精度地结合。也就是说，能够防止结合孔和结合销之间的间隙对位置校正时的精度造成影响。

在该情况下，最好各结合臂还具有将结合销在其轴向上进退自如地保持的销支架，和将结合销向凸出方向施力的弹簧。

根据该结构，与结合孔结合的结合销通过结合孔压靠头保持构件，能够使位置校正时以及位置校正后的头保持构件的位置稳定。而且，在位置校正后将头保持构件固定在滑架上的情况下，能够以位置稳定的状态将其固定。

在这些情况下，最好头保持构件的2个结合孔，一个形成为圆形，另一个形成为椭圆形。

根据该结构，即使一对结合臂(结合销)的距离尺寸有制造上的误差，也能够可靠且顺利地进行各结合销向各结合孔的结合。也就是说，能够可靠地防止结合臂处的结合错误。

本发明的其它液滴排出头的定位装置，是液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，将临时装在滑架上的液滴排出头定位在滑架上的液滴排出头的定位装置，其特征在于，具有对液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和与液滴排出头结合、使液滴排出头在X、Y、θ轴方向上相对地微小移动的校正装置，和控制识别装置以及校正装置的控制装置；控制装置根据识别装置的识别结果驱动校正装置，将液滴排出头定位在滑架上。

该结构为将液滴排出头在滑架上直接定位的结构，根据该结构，液滴排出头通过识别装置进行位置识别，根据该识别结果驱动校正装置，将液滴排出头直接定位在滑架上。在这种情况下，由于校正装置为使液滴排出头在X、Y、θ轴方向上相对地微小移动的结构，所以能够高精度且迅速地进行液滴排出头的位置校正。

本发明的其它头单元的装配装置，其特征在于，具有上述的本发明的液滴排出头的定位装置。

根据该结构，能够通过头保持构件将液滴排出头高精度地定位在滑架上。因此，能够稳定地得到将液滴排出头高精度地装在滑架上的头单元。

本发明的液滴排出头的定位方法，是在安装在头保持构件上的液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，通过头保持构件将临时装在滑架上的液滴排出头定位在滑架上的液滴排出头的定位方法，其特征在于，具有对液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和根据头识别工序的识别结果，通过头保持构件将液滴排出头定位在滑架上的头定位工序。

根据该构成，对液滴排出头进行位置识别，根据该识别结果通过头保持构件将液滴排出头在滑架上定位，所以其结果能够将液滴排出头在滑架上直接定位。因此，能够高精度且迅速地进行液滴排出头的定位(位置校正)。

在这种情况下，最好备有由图案形成装载在滑架上的各液滴排出头的位置的校准掩模，头定位工序根据在相同条件下分别从校准掩模以及液滴排出头得到的基础位置数据以及头位置数据进行。

根据该构成，由于能够以校准掩模为定位的原型，以其复制品这样的形态在滑架上定位液滴排出头，所以能够一直以稳定的定位精度将液滴排出头定位。

本发明的其它液滴排出头的定位方法，是在液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，将临时装在滑架上的液滴排出头定位在滑架上的液滴排出头的定位方法，其特征在于，具有对液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和根据头识别工序的识别结果将液滴排出头定位在滑架上的头定位工序。

根据该构成，由于对液滴排出头进行位置识别，根据该识别结果将液滴排出头在滑架上定位，所以能够将液滴排出头在滑架上直接定位。因此，能够高精度且迅速地进行液滴排出头的定位(位置校正)。

本发明的液滴排出头的固定装置，是将装载在头保持构件上的液滴排出头以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定的液滴排出头的固定装置，其特征在于，具有保持滑架的滑架保持装置，和通过头保持构件将液滴排出头以定位在滑架上的状态保持的头保持装置，和以该状态在头保持构件和滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入装置。

根据该结构，头保持装置通过头保持构件将液滴排出头保持为相对于保持在滑架保持装置上的滑架定位的状态。在该状态下，粘接剂注入装置在头保持构件和滑架之间注入粘接剂。这样，通过粘接剂凝固，头保持构件就以在滑架上定位的状态粘接固定。也就是说，与螺钉固定等不同，能够不作用外力而通过头保持构件将液滴排出头稳定地固定在滑架上。并且，考虑到凝固时间的缩短，粘接剂最好使用所谓的瞬时粘接剂。而且，在该粘接固定之后，将液滴排出头(头保持构件)机械固定在滑架上(正式固定)，则更为理想。

在该情况下，最好头保持装置兼作通过头保持构件将液滴排出头定位在滑架上的定位装置。

根据该结构，能够连续地进行液滴排出头在滑架上的定位操作和之后的固定操作，能够提高操作效率，并且能够可靠地保持液滴排出头的较高的装配精度。

在这些情况下，最好在头保持装置上装入有计时器，头保持装置在注入粘接剂后粘接剂达到规定的粘接强度的时间内，以定位的状态保持液滴排出头。

根据该结构，由于一直到完全的粘接状态为止，液滴排出头都通过头保持装置保持为在滑架上定位的状态，所以能够可靠地防止粘接不良或液滴排出头的位置偏移。

在这些情况下，最好粘接剂注入装置具有在头保持构件和滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入机构，和使粘接剂注入机构在X、Y、Z轴方向上移动的移动工作台。

根据该结构，由于能够使注入粘接剂的粘接剂注入机构通过移动工作台在X、Y、Z轴方向上适当移动，所以粘接剂注入机构能够自由地靠近通过头保持装置保持为定位状态的液滴排出头附近。

在该情况下，最好移动工作台的X轴移动工作台、Y轴移动工作台和Z轴移动工作台，其驱动源都分别由气缸构成。

根据该结构，能够以较低的成本构成移动工作台，并且能够通过移动工作台迅速地移动粘接剂注入机构。而且，也可以利用该气动系统驱动粘接剂注入机构。

在这些情况下，最好在夹着液滴排出头的喷嘴形成面的头保持构件和滑架的接触面上，形成有穿过该接触部的一对粘接剂注入孔，粘接剂注入机构具有与一对粘接剂注入孔对应的一对粘接剂注入喷嘴。

根据该结构，通过在头保持构件的一对粘接剂注入孔中插入粘接剂注入机构的一对粘接剂注入喷嘴并注入粘接剂，能够在夹着液滴排出头的喷嘴形成面的头保持构件和滑架的接触部的2处施加粘接剂。通过这样，能够在适当的位置简单且迅速地注入粘接剂。

在该情况下，最好头保持构件的一对粘接剂注入孔，在X轴方向或者Y轴方向上稍微离开地形成为2组，与之相对应，移动工作台的X轴移动工作台或者Y轴移动工作台具有将粘接剂注入机构以离开的尺寸往复移动的副工作台。

根据该结构，由于头保持构件的一对粘接剂注入孔，在X轴方向或者Y轴方向上稍微离开地形成为2组，所以，即使上述的接触部较宽，也能够可靠地施加粘接剂。而且，由于移动工作台的X轴移动工作台或者Y轴移动工作台具有将粘接剂注入机构以离开的尺寸往复移动的副工作台，所以通过该专用的副工作台能够可靠且迅速地进行粘接剂注入机构在2组粘接剂注入孔之间的移动。

在这些情况下，最好各粘接剂注入孔的滑架一侧的端部有倒角。

根据该结构，由于通过粘接剂注入孔的倒角部能够促进注入该粘接剂的头保持构件和滑架的接触部处的毛细管现象，所以能够在接触部可靠且顺利地施加粘接剂。

在这些情况下，最好各粘接剂注入喷嘴相对于Z轴倾斜，各粘接剂注入孔在倾斜方向上形成较长的深孔。

根据该结构，能够有效地防止靠近头保持构件的粘接剂注入孔的粘接剂注入喷嘴和将液滴排出头保持为定位状态的头保持装置干涉。而且，由于在粘接剂注入孔中斜着插入粘接剂注入喷嘴，所以能够朝着粘接剂注入孔的周围部注入粘接剂，能够可靠地向接触部施加粘接剂。

本发明的其它液滴排出头的固定装置，是将液滴排出头以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定的液滴排出头的固定装置，其特征在于，具有保持滑架的滑架保持装置，和将液滴排出头以定位在滑架上的状态保持的头保持装置，和以该状态在液滴排出头和滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入装置。

该结构为将液滴排出头直接固定在滑架上的结构，根据该结构，头保持装置通过头保持构件将液滴排出头保持为相对于保持在滑架保持装置上的滑架定位的状态，在该状态下，粘接剂注入装置在头保持构件和滑架之间注入粘接剂。这样，通过粘接剂凝固，液滴排出头就以在滑架上定位的状态直接粘接凝固。也就是说，与螺钉固定等不同，能够不作用外力而将液滴排出头固定在滑架上。并且在该情况下，考虑到凝固时间的缩短，粘接剂最好使用所谓的瞬时粘接剂。而且，在该粘接固定之后，将液滴排出头(头保持构件)机械固定在滑架上(正式固定)，则更为理想。

本发明的其它头单元的装配装置，其特征在于，具有上述的本发明的液滴排出头的固定装置。

根据该结构，例如在滑架上装载有多个(多数个)液滴排出头的情况下，能够将被定位的液滴排出头高效率地固定在滑架上，能够稳定地得到高精度地装配好的头单元。

本发明的液滴排出头的固定方法，是将装载在头保持构件上的液滴排出头以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定的液滴排出头的固定方法，其特征在于，具有通过头保持构件将液滴排出头以定位在滑架上的状态保持的头保持工序，和以该状态在头保持构件和滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入工序。

根据该构成，通过粘接剂凝固，头保持构件以保持在滑架上定位的状态被粘接固定。也就是说，与螺钉固定等不同，能够不作用外力而通过头保持构件将液滴排出头固定在滑架上。因此，能够有效地防止固定作业中液滴排出头的位置偏移。

本发明的其它液滴排出头的固定方法，是将液滴排出头以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定的液滴排出头的固定方法，其特征在于，具有将液滴排出头以定位在滑架上的状态保持的头保持工序，和以该状态在液滴排出头和滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入工序。

根据该构成，通过粘接剂凝固，能够将液滴排出头以保持在滑架上定位的状态直接粘接固定，能够有效地防止固定作业中的液滴排出头的位置偏移。

本发明的液晶显示装置的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元，在滤色器的基板上形成多个滤清单元的液晶显示装置的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的过滤材料、通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出过滤材料、形成多个滤清单元。

本发明的有机EL装置的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上的多个像素单元上分别形成EL发光层的有机EL装置的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的发光材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出发光材料、形成多个EL发光层。

本发明的电子发射装置的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在电极上形成多个荧光体的电子发射装置的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的荧光材料，通过头单元使多个液滴排出头对电极进行相对扫描，选择性地排出荧光材料、形成多个荧光体。

本发明的PDP装置的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体的PDP装置的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的荧光材料，通过头单元使多个液滴排出头对背面基板进行相对扫描，选择性地排出荧光材料、形成多个荧光体。

本发明的电泳显示装置的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在电极上的多个凹部形成泳动体的电泳显示装置的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的泳动体材料，通过头单元使多个液滴排出头对电极进行相对扫描，选择性地排出泳动体材料、形成多个泳动体。

这样，通过将上述的头单元应用于液晶显示装置的制造方法、有机EL(Electronic Luminescence)装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP(Plasma Display Panel)装置的制造方法以及电泳显示装置的制造方法，能够以适当的量将各装置所要求的过滤材料或发光材料等选择性地供给到适当的位置。而且，能够通过头单元迅速供给专用的液滴排出头。并且，液滴排出头的扫描一般为主扫描和副扫描，但是在所谓的用单一的液滴排出头构成1行的情况下，仅为副扫描。而且，电子发射装置为包含所谓的FED(Field Emission Display)装置的概念。

本发明的滤色器的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、制造在基板上排列多个滤清单元而构成的滤色器的滤色器的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的过滤材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出过滤材料、形成多个滤清单元。

在该情况下，最好多个滤清单元被收容在由设置在基板上的凸起状的隔板(也称为隔壁)形成的凹部内，在形成滤清单元之前，在多个液滴排出头中导入存储体材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出存储体材料、形成存储体。

而且在该情况下，最好形成有覆盖多个滤清单元以及存储体的外涂层膜，在形成滤清单元后，向多个液滴排出头中导入透光性的涂敷材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出涂敷材料、形成外涂层膜。

本发明的有机EL的制造方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、将包含EL发光层的多个复数像素单元排列在基板上形成的有机EL的制造方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入各种颜色的发光材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出发光材料、形成多个EL发光层。

在该情况下，最好多个EL发光层被收容在由设置在所述基板上的凸起状的存储体(也称为隔壁)形成的凹部内，在形成EL发光层之前，向多个液滴排出头中导入存储体材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出存储体材料、形成存储体。

而且在该情况下，最好在多个EL发光层和基板之间，与EL发光层相对应形成有多个像素电极，在形成存储体之前，向多个液滴排出头中导入液态电极材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出液态电极材料、形成多个像素电极。

并且在该情况下，最好以覆盖多个EL发光层和存储体的形态形成对向电极，在形成EL发光层后，向多个液滴排出头中导入液态电极材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出液态电极材料、形成对向电极。

本发明的间隔形成方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在2个基板之间形成构成微小的单元间隙的多个粒子状的间隔的间隔形成方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入构成间隔的粒子材料，  通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出粒子材料、在至少一方的基板上形成间隔。

本发明的金属配线形成方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成金属配线的金属配线形成方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入液态金属材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出液态金属材料、形成金属配线。

本发明的透镜形成方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成多个微透镜的透镜形成方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入透镜材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出透镜材料、形成多个微透镜。

本发明的保护膜形成方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成任意形状的保护膜的保护膜形成方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入保护膜材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出保护膜材料、形成保护膜。

本发明的光扩散体形成方法，是使用通过上述的本发明的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，其特征在于，向多个液滴排出头中导入光扩散材料，通过头单元使多个液滴排出头对基板进行相对扫描，选择性地排出光扩散材料、形成多个光扩散体。

这样，通过将上述的头单元应用于滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法以及光扩散体形成方法，能够以适当的量将各电子装置或光装置所要求的过滤材料或发光材料等选择性地供给到适当的位置。而且，能够通过头单元迅速供给专用的液滴排出头。并且，上述的“存储体”的用语，是不论侧面是倾斜面还是垂直面等，而包含具有凸出形状的侧臂的隔臂以及棱等的概念。也就是说，“存储体”是指从基板看相对凸出的部。

附图说明

图1为涉及实施例的头单元的俯视图。

图2为涉及实施例的头单元的主视图。

图3为涉及实施例的头单元的侧视图。

图4为实施例的基准销的结构图。

图5为实施例的液滴排出头附近的剖视图。

图6为模式化地表示实施例的液滴排出头的立体图。

图7为实施例的液滴排出头的放大剖视图。

图8为实施例的头保持构件的结构图。

图9为表示使用实施例的安装夹具的头单元的安装方法的放大立体图。

图10为实施例的安装夹具的结构图。

图11为表示使用实施例的安装夹具的头单元的安装方法的俯视图。

图12为表示使用实施例的安装夹具的头单元的安装方法的主视图。

图13为实施例的描绘装置的模式图。

图14为实施例的描绘装置中的主滑架的立体图。

图15为实施例的描绘装置中的主滑架的俯视图。

图16为表示头单元的装入方法的说明图。

图17为实施例的描绘装置中的擦拭装置的模式图。

图18为实施例的校准掩模中的型板的结构图。

图19为实施例的校准掩模的俯视图。

图20为实施例的校准掩模的主视图。

图21为从实施例的装配装置的正面一侧看的整体立体图。

图22为从实施例的装配装置的背面一侧看的整体立体图。

图23为实施例的装配装置的整体俯视图。

图24为实施例的装配装置的整体主视图。

图25为从实施例的装配装置的左侧看的整体侧视图。

图26为实施例的单元移动装置中的X、Y工作台附近的立体图。

图27为实施例的单元移动装置中的安装工作台的结构图。

图28为实施例的单元移动装置中的θ工作台的俯视图。

图29为实施例的单元移动装置中的θ工作台的侧面剖视图。

图30为实施例的单元移动装置中的θ工作台的主视图。

图31为实施例的单元移动装置中的X、Y工作台附近的俯视图。

图32为实施例的单元移动装置中的X、Y工作台附近的主视图。

图33为实施例的头校正装置中的校正用X、Y工作台附近的立体图。

图34为实施例的头校正装置中的校正用X、Y工作台附近的俯视图。

图35为实施例的头校正装置中的校正用X、Y工作台附近的主视图。

图36为实施例的头校正装置中的校正用X、Y工作台附近的侧视图。

图37为实施例的头校正装置中的臂单元的立体图。

图38为实施例的头校正装置中的臂单元的主视图。

图39为实施例的头校正装置中的臂单元的侧视图。

图40为臂单元的结合臂的剖视图。

图41为实施例的识别装置的立体图。

图42为实施例的识别装置的俯视图。

图43为实施例的识别装置的主视图。

图44为实施例的识别装置的侧视图。

图45为实施例的临时固定装置的整体立体图。

图46为实施例的临时固定装置的俯视图。

图47为实施例的临时固定装置的主视图。

图48为实施例的临时固定装置的侧视图。

图49为粘接剂涂敷装置的立体图。

图50为涉及实施例的控制装置的框图。

图51为利用实施例的滤色器的制造方法制造的滤色器的部放大图。

图52为模式化地表示实施例的滤色器的制造方法的制造工艺剖视图。

图53为利用实施例的滤色器的制造方法制造的液晶显示装置的剖视图。

图54为利用实施例的有机EL的制造方法制造的显示装置的电路图。

图55为表示显示装置的像素区域的平面构造的放大俯视图。

图56为模式化地表示第1实施例的有机EL的制造方法的制造工艺(1)的剖视图。

图57为模式化地表示第1实施例的有机EL的制造方法的制造工艺(2)的剖视图。

图58为模式化地表示第1实施例的有机EL的制造方法的制造工艺(3)的剖视图。

图59为模式化地表示涉及第1实施例的变形例的有机EL的制造方法的剖视图。

图60为模式化地表示第2实施例的有机EL的制造方法的俯视图和剖视图。

图61为模式化地表示第3实施例的有机EL的制造方法的剖视图。

图62为模式化地表示第4实施例的有机EL的制造方法的剖视图。

图63为模式化地表示第5实施例的有机EL的制造方法的剖视图。

图64为模式化地表示第6实施例的有机EL的制造方法的剖视图。

图65为模式化地表示第8实施例的有机EL的制造方法的剖视图。

图66为模式化地表示涉及第8实施例的变形例的有机EL的制造方法的剖视图。

图67为表示实施例的描绘装置中的滑架的识别动作的模式图。

图中：A-装配装置；B-描绘装置；C-安装夹具；D-校准掩模；1-头单元；2-滑架；3-液滴排出头；4-头保持构件；11-本体板；12-基准销；13-支承构件；14-手柄；15-配管连接组件；16-配线连接组件；17-配管连接构件；25-销本体；26-基准标记；29a-前端面；32-手柄本体；34-粗径部；45-液体导入部；48-泵部；48a-排出侧端面；49-喷嘴形成板；50-头本体；52-喷嘴形成面；53-喷嘴列；57-排出喷嘴；57a-排出喷嘴(最外端)；61-阶梯部；62-树脂；65-喷嘴基准标记；76-结合孔；77-粘接剂注入孔；78-粘接部位；81-夹具本体；82-安装销；84-纵边部；85-横边部；86-定位部；101-头移动部；105-单元导入部；106-临时放置台；106a-临时放置角部件；108-擦拭装置；113-Y工作台；116-X工作台；121-底板；123-挡板；124-方形开口；131-擦拭片；132-擦拭单元；133-移动机构；137-擦拭辊；139-清洗液供给头；161-型板；161a-标记形成面；162-板支架；164-头基准标记；165-滑架基准标记；171-支承销；211-单元移动装置；212-头校正装置；213-临时固定装置；214-识别装置；215-控制装置；231-安装工作台；232-θ工作台；233-X、Y工作台；271-X轴工作台；272-Y轴工作台；302-校正用X、Y工作台；303-校正用θ工作台；304-臂单元；331-结合臂；333-臂升降装置；343-结合销；344-销支架；345-螺旋弹簧；347-锥形部；352-照相机位置调节单元；353-识别照相机；359-微型载物台，373-气动工作台；374-粘接剂涂敷装置；377-Y气动工作台；378-小Y气动工作台；380-Z轴气动工作台；384-分配器单元；387-粘接剂注入喷嘴；402-输入部；403-驱动部；404-检测部；405-控制部；411-CPU；412-ROM；413-RAM；414-P-CON；416-计时器；500-滤色器；511-基板；512-像素(滤清单元)；513-隔板；514-遮光层；515-隔板层；516-墨水层；521-着色层；522-外涂层；523-电极层；611-显示装置(有机EL)；621-表示基板；641-发光元件(空穴注入层)；642-像素电极；652-反射电极

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的实施例。因为喷墨打印机的喷墨头(液滴排出头)能够将微小的墨滴(液滴)以点状高精度地排出，所以期望例如通过在液滴(排出对像液)中使用特殊的墨水或感光性的树脂等，应用于各种零件的制造领域。而且，在相关的应用技术中，设想到粘性较高的排出对象物等对液滴排出头的耐久性产生很大的影响，故需要能够随时供给将多个液滴排出头高精度地装在滑架的头单元。

本实施例的头单元的装配装置，例如与装在液晶显示装置等的平面显示器中的滤色器的制造装置(下面称为“描绘装置”)同时设置、是能够随时供给头单元的装置。在该描绘装置中，在滤色器的滤清单元上，配置着将R.G.B的过滤材料作为液滴排出的多个液滴排出头，头单元的装配装置能够将该多个液滴排出头高精度地装在滑架上，装配成头单元，将其适当地供给到描绘装置。

这种情况下的头单元的装配次序为，首先将各液滴排出头以定位在头保持构件上的状态分别安装，将其临时安装在单一的滑架上，然后在将各液滴排出头在滑架上定位后，临时固定，最后正式固定。而且，液滴排出头向头保持构件的安装、向滑架的临时安装和正式固定，作为外部工序采用手操作进行，另一方面，在滑架上将多个液滴排出头定位且临时固定的操作，利用实施例的装配装置进行。

因此，在本实施例中首先说明在该装配装置中使用的头单元和其构成要素液滴排出头、头保持构件以及滑架。而且，紧接着该说明，就头单元和上述描绘装置的关系、将使用夹具的液滴排出头向头保持构件的安装方法、以及构成头单元的定位基准的校准掩模进行说明。然后详细说明头单元的装配装置。最后说明将该头单元应用于所谓的平面显示器的制造方法的例子。

图1、图2和图3为头单元的结构图。如该图所示的那样，头单元1配置有滑架2、装载在滑架2上的多个(12个)液滴排出头3，和用于将各液滴排出头3分别安装在滑架2上的多个(12个)头保持构件4。把12个液滴排出头3对半分成左右各6个，在主扫描方向上倾斜规定的角度设置。而且，各6个液滴排出头3在副扫描方向上相互偏移位置设置，12个液滴排出头3的所有的排出喷嘴57(在后面说明)在副扫描方向上连续(一部分重复)。也就是说，实施例的头排列为，在滑架2上，向同一方向倾斜配置的6个液滴排出头3为2列，并且构成在各头列之间液滴排出头3相互旋转180。的配置。当然，该排列方式仅为一例，例如可以将各头列上相邻的液滴排出头3之间以90°的角度配置(相邻的头之间构成“八”字形)，或者将各头列的液滴排出头3以90°的角度配置(列之间的头之间构成“八”字形)。总之，基于12个液滴排出头3的所有排出喷嘴57的点在副扫描方向上连续即可。而且，如果对于各种基板将液滴排出头3作为专用零件，那么就不需要将液滴排出头3特意倾斜设置，设置为交错状或阶梯状即可。进一步讲，只要能够构成规定长度的喷嘴列(点列)，可以用单一的液滴排出头3构成，也可以用多个液滴排出头3构成。也就是说，液滴排出头3的个数或列数、以及排列方式是任意的。

滑架2具有一部分被切除的近似方形的本体板11、设置在本体板11的长边方向的中间位置的左右一对基准销12、12、安装在本体板11的两长边部的左右一对支承构件13、13和设置在各支承构件13的端部的左右一对手柄14、14。左右的手柄14、14在例如将装配好的头单元1装进上述的描绘装置B的情况下，构成用于手持头单元1的部位。而且，左右支承构件13、13构成将滑架2在装配装置A或描绘装置B的安装部固定时的部位(详细内容均在后面说明)。

并且，在滑架2上，在位于对半分开的液滴排出头组3S的上侧设置有连接着这些液滴排出头3的左右一对配管连接组件15、15以及左右一对配线连接组件16、16。各配管连接组件15配管连接在描绘装置B的过滤材料供给系统上，同样各配线连接组件16配线连接在描绘装置B的控制系统上。并且，图1省略了一边(左侧)的配管连接组件15。

本体板11由不锈钢等的厚板构成，在左右形成有用于安装各6个液滴排出头3的一对安装开口18、18，并且在适当的位置形成有用于减轻重量的多个贯通的开口19、19。各安装开口18的安装6个液滴排出头3的开口部位18a连续在一起，与6个液滴排出头(液滴排出头组3S)3的排列相仿，其轴线相对于本体板11的轴线稍微倾斜。

各支承构件13由较厚的不锈钢板等构成，形成有用于固定的2个固定孔(自由尺寸孔)21、21和2个螺栓孔22、22，并且在这些固定孔21、21和螺栓孔22、22之间形成有插入定位用的销的销孔23。详细内容将在后面进行说明，向装配装置A安装头单元1时，利用销孔23定位的同时利用2个固定孔21、21进行螺钉固定，同样，向描绘装置B安装头单元1时，利用销孔23定位的同时利用2个螺栓孔22、22进行螺钉固定。

左右一对基准销12、12是用于构成以图像识别为前提将滑架2在X轴、Y轴和θ轴方向上定位(位置识别)的基准，凸出地安装在本体板11的背面上。如图4所示的那样，各基准销12由圆柱形的销本体25和在销本体25的前端面的中央部形成的凹形、具体为孔状的基准标记26构成。销本体25由用于压入滑架2的基部压入部27，与基部压入部27相连的圆筒部28，和在圆筒部28的前端凸出形成的标记形成部29构成，在该标记形成部29的前端面29a上形成有基准标记26。

标记形成部29的前端面29a被镜面加工，在该前端面29a的中心位置穿孔有构成基准标记26的小孔。小孔(基准标记)26例如为直径0.3mm左右的孔，与从基部压入部27到圆筒部28在其轴心部形成的轴心孔30连通。在这种情况下，基准销12在将小孔26穿孔之后，进行热处理(离子氮化)，并将标记形成部29的前端面29a镜面抛光而形成。虽然作为镜面抛光的例，为在研磨工具和前端面29a之间放进微细的磨料进行研磨的研磨抛光，但是并不局限于此。

由于能够这样通过简单的工艺方法以前端面29a为白色、小孔的基准标记26为暗色用照相机拍照，所以能够提高滑架2的对准精度。并且，虽然以基准销12的断面为圆柱形进行说明，但是也可以为椭圆形、或多边形。并且小孔的基准标记26也不局限于小孔，为具有能够得到充分的反差的槽的凹下的形状即可，其凹下的平面形状也不局限于圆形。

详细内容将在后面说明，装载在装配装置A以及描绘装置B上的识别照相机353将形成基准标记26的基准销12的前端面29a取进视野内进行图像识别(图案识别)。因此，在利用识别照相机353进行的图案识别中，识别镜面抛光的前端面29a为亮色、在其前端面29a的大致中央部形成的凹下形状的基准标记26为暗色，以具有充分的反差来对基准标记26进行图像识别。因此，能够高精度地识别基准标记26，能够确实可靠地防止识别错误。

这样形成的基准销12，其前端面29a朝向下方、以打进在滑架(本体板11)2上形成的安装用的孔部中的形式压入。压入滑架2的基准销12以与从滑架2凸出的液滴排出头3处于大致同一高度的形态从本体板11的背面凸出。也就是说，构成基准销12的图像识别面的前端面29a和构成液滴排出头3的图像识别面的喷嘴形成面(参照图3)位于大致同一平面内。

通过这样，在用识别照相机353检测两基准销12、12后继续检测各液滴排出头3的排出喷嘴57的情况下，不需要改变其焦点位置(识别照相机353的上下移动)，并且在用于图像识别的识别照相机353相对移动时，能够有效地防止识别照相机353与其它零件等干涉。并且，一对基准销12、12设置在本体板11的长边方向的大致中间位置最为理想，但是只要其相互离开，也可以设置在其它位置。

如图1、图2和图3所示的那样，左右的手柄14、14为用于手拿具有重量(7kg左右)的头单元1的部分，各手柄14由构成握持部的手柄本体32和从手柄本体32的下端直角延伸的臂部33形成为“L”形。手柄本体32的上端部为止滑用的粗径部34。而且，在手柄本体32的外圆周面上，施行有止滑用的滚花加工。并且，虽然在本实施例中采用了网纹滚花加工(参照图2和图3)，但是也可以为单纹。

臂部33为水平延伸，其前端部支承在滑架2的支承构件13上、并被螺钉固定。也就是说，各手柄14自由装卸地安装在滑架2上。这样，左右的手柄14、14就在从滑架(本体板11)2的长边方向的端部露出的位置、即从液滴排出头3离开的位置竖起设置。

因此，握住两手柄14、14举起滑架(头单元1)2，则滑架2就通过力的平衡保持着大致水平的姿势被举起。而且，在搬运作业等中，不会产生握着手柄14的手接触到液滴排出头3等问题。并且，详细内容将在后面进行说明，该手柄14，对于头单元1的搬运自不用说，对于头单元1向描绘装置B的安装作业特别有用(详细内容在后面说明)。

各配管连接组件15被设置在各液滴排出头组3S的上侧，由竖着设置在本体板11的长边方向的两端部的一对隔板36、36、架在一对隔板36、36之间的压板37和装载在压板37上的6组配管接头38构成。6组配管接头38的下端的头一侧的连接部稍微凸出，分别固定在压板37上。

详细内容将在后面说明，液滴排出头3为所谓的双联的构造，6组配管接头38分别通过双联的配管连接构件17连接在滴喷头3上。也就是说，通过在各液滴排出头3上嵌合配管连接构件17的同时，将装载6组配管接头38的压板37用螺钉固定在两隔板36、36上，6组配管接头38分别通过配管连接构件17连接在液滴排出头3上。而且，在各配管接头38的流入一侧，在向描绘装置B安装时通过一次操作把配管连接在其过滤材料供给系统上(详细内容在后面说明)。

同样地，各配线连接组件16，由竖立设置在滑架2的左右端部的3个弯曲支承构件40、40、40，固定在弯曲支承构件40的上端的连接器底座41，和安装在连接器底座41上的带有配线连接器43的4个头转接基板42构成。4个头转接基板42，分别通过挠性带状电缆(省略图示)，连接在后面说明的各液滴排出头3的双联的头基板47上。而且，在各头转接基板42上，在向描绘装置B安装时，通过其控制系统电缆的配线插头进行配线连接(详细内容在后面说明)。

并且如仅在图2中所示的那样，在该头单元1上还设置有覆盖两配线连接组件16的转接基板罩24。转接基板罩24由从各配线连接组件16的侧面覆盖正上方部的一对侧面罩24a、和架在一对侧面罩24a之间的上面罩24b构成，其中上面罩24b，在将头单元1安装到描绘装置B之后进行安装。而且，详细内容将在后面进行说明，在将头单元1向装配装置A安装的阶段，与向描绘装置B安装的情况不同，转接基板罩24自不用说，两组件15、16也不装在上面。

下面，利用图5至图8说明液滴排出头3。该液滴排出头3为所谓的双联的构造，配置着具有双联的连接针46的液体导入部45、与液体导入部45的侧面相连的双联的头基板47、与液体导入部45在下方相连的泵部48和与泵部48相连的喷嘴形成板49。在液体导入部45上连接着上述的配管连接构件17，在头基板47上连接着上述的挠性带状电缆。另一方面，通过该泵部48和喷嘴形成板49构成在滑架2的背面一侧凸出的方形的头本体50。而且，在喷嘴形成板49的喷嘴形成面52上形成有2列喷嘴列53、53(参照图6)。

如图6和图7所示的那样，泵部48具有和喷嘴数对应的压力室55和压电元件56，各压力室55与相对应的排出喷嘴57连通。而且，泵部48的基部一侧、即头本体50的基部一侧形成有支承液体导入部45的方形凸缘形状，在该凸缘部58上形成有在头保持构件4上固定液滴排出头3的小螺钉用的一对螺钉孔(阴螺纹)59、59。该一对螺钉孔59、59位于两长边部，并且相对于喷嘴形成面52的中心呈点对称设置。详细内容将在后面说明，通过贯通头保持构件4螺纹结合在凸缘部58上的2根小螺钉73、73，把液滴排出头3固定在头保持构件4上(参照图9)。

喷嘴形成板49由不锈钢板等形成，连接在泵部48的排出侧端面(液滴排出面)上。更具体地讲，则如图6和图7(a)所模式表示的那样，泵部48具有收容上述的压电元件56的机构部48a，和通过树脂薄膜48与喷嘴形成板49一起接合在该机构部48a上的硅空腔48c。也就是说，喷嘴形成板49被粘接在硅空腔48c上，以该状态通过树脂薄膜48b接合在机构部48a的接合面48d上，构成上述压力室55。因此，从头本体50的角度考虑装配方法，则为上述的树脂薄膜48b、硅空腔48c和喷嘴形成板(包含后面说明的电镀层49a)49，在泵部48的机构部48a上构成压力室装配体60。而且，把机构部48a的接合面48d形成为长方形，同时，把包含喷嘴形成板49的压力室装配体60形成为比其稍小的相似形，压力室装配体60与接合面48d大致同心地重叠接合。

因此，在压力室装配体60的四周和机构部48a的接合面48d的四周边缘部之间，在整个四周上构成有作为用于接合的间隙的阶梯部61，树脂62模压在该阶梯部61上。也就是说，由接合面48d的端部边缘(周围部)和压力室装配体60的端面(侧面部)构成的阶梯部61，以将自身埋住的形态用树脂62模压成型。因此，头本体50的下端形成通过该树脂62将四周倒角的形态。

详细内容将在后面说明，通过该树脂62的模压成型，防止擦拭时头本体50拌在擦拭片131上。在这种情况下，液滴排出头3在水平面内稍微倾斜、保持在滑架2上，擦拭片131在头本体50上从X轴方向进行擦拭动作(参照图17)。因此，上述的整个四周的模压的树脂62，最低限度仅在开始擦拭的一侧的长边部分、或者两长边部分设置即可。而且，后面说明的倒角加工也相同。并且如图7(b)所示的那样，将树脂62从喷嘴形成板49向前方稍微凸出(图示的t尺寸)地模压成型，也可以使树脂62具有保护排出喷嘴57的保护器的功能。而且，如图7(c)所示的那样，也可以使机构部48a的接合面48d和压力室装配体60为相同的形状，不采用树脂62的模压成型，而将压力室装配体60的端部边缘倒角加工。

另一方面，在喷嘴形成板49上相互平行地排列设置着2个喷嘴列53、53，各喷嘴列53由等间距排列的180个(在图示中模式化的表示)排出喷嘴57构成。也就是说，在头本体50的喷嘴形成面52上，夹着其中心线左右对称地设置着2个喷嘴列53、53。而且，各排出喷嘴57的喷嘴口63在形成防水性(防液性)的电镀层49a的圆形凹下部64内部开口。

并且，图6中的符号65、65，为用于识别液滴排出头3位置的2个喷嘴基准标记。如后面说明的那样，本实施例中液滴排出头3的位置识别是通过对任意一边的喷嘴列53中的最外端的2个排出喷嘴57a、57a的图像识别(图案识别)进行的。但是，根据排出对象液，有时排出喷嘴(喷嘴口63)57上形成的弯月面的形态不稳定(参照图6(b)中的虚拟线)，有可能在图案识别中造成不能识别(NG)。

因此，在本实施例中，在上述最外端的2个排出喷嘴57a、57a附近形成2个喷嘴基准标记65、65。也就是说，在喷嘴形成面52上，在将2个排出喷嘴57a、57a平行移动的位置、更严密地说将喷嘴列53平行移动(可以不一定是与喷嘴列53垂直相交的方向)后的在与两排出喷嘴57a、57a对应的位置，通过激光蚀刻等形成有2个喷嘴基准标记65、65。相对于2个排出喷嘴57a、57a，保证2个喷嘴基准标记65、65的位置，并在2个排出喷嘴57a、57a的图像识别不稳定的情况下，利用该2个喷嘴基准标记65、65进行图像识别。并且，只要2个喷嘴基准标记65、65相对于2个排出喷嘴(严密地讲为相互离开的任意的2个排出喷嘴57、57即可)57a、57a位置得以保证，且充分离开，可以设置在喷嘴形成面52的任意位置。

这样构成的液滴排出头3，使其头本体50从在滑架2上形成的安装开口18向滑架2的背面一侧凸出，在紧靠着安装开口18的边缘部的头保持构件4上在上述的凸缘部58的部分进行螺钉固定。而且，头保持构件4通过粘接在滑架2上临时固定，然后使用机械固定装置正式固定。

下面，参照图8和图9说明头保持构件4。头保持构件4为用于将液滴排出头3稳定地安装的滑架2上的媒介零件，为由不锈钢等构成的大致长方形的平板形状。在头保持构件4上，在其中央形成有穿通液滴排出头3的头本体50的方形的穿通开口71。在这种情况下，头保持构件4以其长边方向的两端部跨过安装开口(开口部位18a)18安装在滑架2的背面一侧，与此相对应，液滴排出头3将其头本体50穿过穿通开口71安装在滑架2的表面一侧(参照图5)。

在头保持构件4的穿通开口71周围，设置着与上述凸缘部58的2个螺钉孔59、59相对应的2个通孔72、72和2个小螺钉73、73以及2个凸出位置限制销74、74。2个通孔72、72分别形成凸出在安装开口18一侧的2个凸台部75、75上。在这种情况下，各凸台部75由压入头保持构件4的筒状的柱环构成。该2个凸台部75、75和2个凸出位置限制销74、74都相对于穿通开口71的中心设置在点对称位置上，通过这些凸台部75、75和凸出位置限制销74、74与头本体50的凸缘部58接触，使液滴排出头3从滑架2排出的尺寸得到限制。

而且，在穿通开口71的中心线上，在穿通开口71的外侧形成有2个结合孔76、76。该2个结合孔76、76是后面说明的液滴排出头3的安装夹具C安装时的部位，同时也是装配装置A的位置校正用的结合销343、343结合的部位。在这种情况下，为使安装夹具C的安装或结合销343的结合顺畅进行，2个结合孔76、76中的一个形成为圆形，另一个形成为在上述中心线方向上的较长的椭圆形。

并且，在穿通开口71的中心线上，在头保持构件4的两端部，在夹着穿通开口71的对称位置上分别形成有2个粘接剂注入孔77、77。各粘接剂注入孔77都构成为在头保持构件4的横断方向上延伸的长孔，该长孔的滑架2一侧的端部被倒角(参照图8)。形成各2个粘接剂注入孔77、77的头保持构件4的两端部，构成用于将头保持构件4粘接在滑架2上的粘接部位78、78，从各粘接剂注入孔77注入的粘接剂通过毛细管现象在滑架2和粘接部位78、78的界面部扩展、涂敷。

在这种情况下，在一边的端部的外侧(内侧)形成的粘接剂注入孔77a(77b)和在另一边的端部的内侧(外侧)形成的粘接剂注入孔77a(77b)分别构成一对。详细内容在后面说明，装配装置A具有2个粘接剂注入喷嘴387、387，2个粘接剂注入喷嘴387、387同时插入构成一对的一边的2个粘接剂注入孔77a、77a中注入粘接剂，并且在向上述中心线方向移动后，同时插入构成另一边的2个粘接剂注入孔77b、77b中注入粘接剂。

并且，图中的符号79、79为将头保持构件4临时装在滑架2上时使用(详细内容在后面说明)的一对连结孔，该一对连结孔79、79分别处于粘接剂注入孔77、77附近，相对于穿通开口71的中心在点对称位置上形成。而且，在滑架2的开口部位18a上，形成有与该一对连结孔79、79相对应的一对临时连结用螺钉孔20、20(参照图11)。

另外，各液滴排出头3，以其输出端即喷嘴列(排出喷嘴57)53为基准相对于通过一对基准销12、12定位的滑架2、在X轴、Y轴和θ轴方向上定位(位置识别)。更具体地说，由于2个喷嘴列53、53在制造阶段保证了相互的位置精度，所以以位于任意一边的喷嘴列53的最外端的2个排出喷嘴57a、57a为定位基准，对其进行识别。而且，液滴排出头3的头本体50的前端部的四边(严格地讲为泵部48的数毫米宽的前端部的四边)也在制造阶段保证了相互的位置精度。

另一方面，液滴排出头3为通过头保持构件4固定在滑架2上的形态。因此，在本实施例中，使用安装夹具C，以上述头本体50的前端部四边为基准，将液滴排出头3在头保持构件4上定位，用螺钉固定后以上述2个排出喷嘴57a、57a为基准，将带有头保持构件4的液滴排出头3定位并临时固定。也就是说，液滴排出头3通过使用安装夹具C进行的手工操作，将头保持构件4临时定位，随后经过利用装配装置A进行的图像识别(识别排出喷嘴57a、57a)，正式定位。

在实施例的装配装置A中，为了提高位置识别的速度，用固定设置的2个识别照相机353、353同时识别上述2个排出喷嘴57a、57a，即用2个识别照相机353、353同时取进视野内。因此，使用安装夹具C进行的液滴排出头3的临时定位，在正式定位的阶段根据设定的位置数据使2个识别照相机353、353靠近上述的2个排出喷嘴57a、57a时，都不会从视野中脱离。

在此参照图9和图10，对液滴排出头3的安装夹具C进行说明，并且就使用该安装夹具C将液滴排出头3安装在头保持构件4上的方法进行说明。如图10所示的那样，安装夹具C，由对液滴排出头3的头本体50进行定位的夹具本体81和将夹具本体81以定位在头保持构件4上的状态安装的一对安装销82、82构成。

夹具本体81，由竖边部84和从竖边部84的两端直角延伸的一对横边部85、85呈近似“C”字形一体形成。另一方面，一对安装销82、82，分别从横边部85、85的背面一侧凸出，通过使这一对安装销82、82与头保持构件4的结合孔76、76嵌合，将夹具本体81安装在头保持构件4上。

在从竖边部84的内侧到一边的横边部85的内侧的部位处，形成有呈近似“L”形的定位部86，通过使该定位部86与头本体50的一个长边和短边相接触，将液滴排出头3定位在头保持构件4上。定位部86使表面一侧与其它部为同一平面形成为薄壁，并且拐角部86a以半圆状凹下形成。而且夹具本体81，以装在头保持构件4上的状态而使其表面与液滴排出头3的喷嘴形成面52处于几乎同一平面(同一水平)的形态设计其厚度。

这样，头本体50以其凸出方向的前端部与安装夹具C的定位部86相接触而定位。也就是说，通过将在制造阶段保证了相对于喷嘴列53的位置精度的头本体50的前端部的四个边中相邻的2个边、抵住安装夹具C定位部86，将液滴排出头3在头保持构件4上定位。

另一方面，一对安装销82、82，与抵住定位部86的头本体50的中心线相吻合地设置。更加具体地说，定位部86的长边部位86b被形成为平行于连接一对安装销82、82的直线，并且其离开的尺寸与头本体50的长边位置相符合，而且以头本体50的短边的1/2的尺寸形成。另外，定位部86的短边部位86c与长边部位86b形成为直角，并且与位于短边部位86c一侧的安装销82的距离尺寸，与头本体50的短边位置相符合。

通过这样，安装夹具C在从图9的状态旋转180°的状态下，即使装在头保持构件4上，也不会产生特别的问题，能够将液滴排出头3定位。也就是说，虽然实施例的安装夹具C其平面形状不是左右对称，但是为所谓的不分左右的构造。

下面，参照图9、图11和图12说明使用上述的安装夹具C将液滴排出头3安装到头保持构件4上的安装方法。该安装作业作为装配装置A之外的工序手工进行。首先，在滑架(严格地说是本体板11)2的表面一侧的边缘部将4根支承脚88、88、88、88用螺钉固定。然后，将滑架2上下翻转，以通过支承脚88浮起的状态放置滑架2。并且虽然在图示中予以省略，但是在该状态下最好将上述一对支承构件13、13以及一对基准销12、12预先安装在滑架2上。

然后，将使头本体50朝向上方的液滴排出头3从滑架2的下侧插入安装开口18。这里，使头保持构件4的穿通开口71从滑架2的上侧与头本体50对准位置嵌入、将头保持构件4安装在滑架2上。在安装了头保持构件4后，从上侧将安装夹具C装在头保持构件4上的同时，将与之相对的头本体50的2个边压靠在头保持构件4的定位部86上。并且，也可以准备多个安装夹具C，将其预先装在头保持构件4上之后，再开始作业。

然后，一面保持上述的压靠状态，一面将2个小螺钉73、73分别从上侧穿过头保持构件4螺纹连接在液滴排出头3的凸缘部58上，将液滴排出头3固定在头保持构件4上。然后，作为使2个识别照相机353、353的视野不从2个排出喷嘴75a、75a离开的方法，将固定螺钉89、89分别从上述的一对连结孔79、79向着滑架2的临时连结用螺钉孔20、20、以临时紧固的状态螺纹结合(参照图9)。

通过这样，在固定螺钉89和连结孔79的尺寸交叉的范围内，使液滴排出头3相对于滑架2的位置对准成为可能，并且2个识别照相机353、353的视野不会从2个排出喷嘴75a、75a脱离。这样，通过按照顺序重复液滴排出头3向头保持构件4的定位和固定，12个液滴排出头3被分别安装在头保持构件4上。最后，从头保持构件4拔下安装夹具C的同时取下4根支承脚88，结束作业。

如上述那样，虽然12个液滴排出头3隔着滑架2安装在12个头保持构件4上，但是在该状态下12个液滴排出头3未固定在滑架2上，而为悬挂的状态。也就是说，带有头保持构件4的12个液滴排出头3，可在固定螺钉89和连结孔79的尺寸交叉的范围内微小移动地临时安装在滑架2上。并且该固定螺钉89为工艺螺钉，在装配装置A中，在头保持构件4粘接(临时固定)在滑架2上后拆下。也就是说，在实施例中，不利用螺钉将头保持构件4在滑架2上直接正式固定(利用其它构件压靠固定)。

而且，临时装着带有头保持构件4的12个液滴排出头3的头单元1被导入装配装置A，保持着上下翻转的姿势安装到滑架2上。并且被导入装配装置A的头单元1为在上述的主构成零件上装入一对支承构件13、13和基准销12、12的构造，而被导入描绘装置B的头单元1为在此基础上进而从手柄14开始，装入有两组件15、16等的构造。

这里简单地说明描绘装置B，并且就利用一对手柄14、14将头单元1放入描绘装置B的头单元1的安装方法进行说明。而且，与液滴排出头3的头本体50的构造相关，就描绘装置B的擦拭装置也予以简单说明。

图13为模式化地表示描绘装置B的示意图，如该图所示的那样，描绘装置B，具有装载头单元1并使之在Y轴方向以及θ轴方向上移动的头移动部101，和与头移动部101相对、使滤色器等的基板102向X轴方向移动的基板移动部103，和维护头单元1的液滴排出头3的维护部104。头移动部101使装载于其上的头单元1在夹着基板移动部103的头单元导入部105和维护部104之间移动。

在导入安装头单元1的情况下，头单元移动部101向单元导入部105一侧移动，其临时放置台106靠近单元导入部105。头单元1在将临时放置在临时放置台106上的配管和配线连上后，送进头单元移动部101中并安装。而且，虽然在进行头单元1的初期定位的准备工序中，进行头单元1向θ轴方向的微小移动(角度校正)，但是在排出过滤材料的制造工序中，基板102向X轴方向、且头单元1向Y轴方向移动，进行液滴排出头3的主扫描和副扫描。

头移动部101，具有竖立设置并支承头单元1的主滑架111，和使主滑架111在θ轴方向移动的θ工作台112，和通过θ工作台112使头单元1在Y轴方向移动的Y工作台113。而且，基板移动部103，具有吸附放置基板102的基板放置工作台115，和通过基板放置工作台115使基板向X轴方向移动的X工作台116。

在这种情况下，X工作台116通过气动滑块和线性电机的组合驱动，而Y工作台113通过滚珠丝杠和伺服电机的组合驱动(均省略图示)。而且分别将基板识别照相机117装载在主滑架111上(参照图15)、而头识别照相机118装载在基板放置工作台115上。因此，设置在头单元1的滑架2上的一对基准销12、12，通过头识别照相机118和使其在X轴方向上移动的X工作台116的协同动作而被进行图像识别。

在此参照图67说明利用头识别照相机118进行的一对基准销12、12的识别动作。首先根据设计上的数据适当驱动X工作台116和Y工作台113，移动头识别照相机118和滑架(头单元1)，将一方的基准销12取进头识别照相机118的视野内。在用头识别照相机118识别一方的基准销12之后，接着驱动X工作台116，在X轴方向(主扫描方向)上移动头识别照相机118，将另一个基准销12取进头识别照相机118的视野内进行识别。

而且，根据利用头识别照相机118进行的一对基准销12、12的识别结果，适当移动X工作台116、Y工作台113以及θ工作台112，进行滑架(头单元1)的位置校正。并且，在位置校正后，出于确认的目的再次进行上述的识别动作，完成一连串的识别动作。

然后，在实际的液滴排出作业中，首先驱动X工作台116，使基板102在主扫描方向上往复移动的同时驱动多个液滴排出头3，进行液滴排出头3的选择性的液滴排出。然后，驱动Y工作台113，使滑架2(头单元1)在副扫描方向上移动一个节距，再次进行基板102向主扫描方向的往复移动和液滴排出头3的驱动。然后通过重复数次，从基板102的端部到端部(整个区域)进行液滴排出。

由于这样利用X工作台116进行一对基准销12、12的图像识别中的头识别照相机118的移动，所以与使用滚珠丝杠的Y工作台113等不同，能够防止移动精度影响识别精度。而且，为X工作台116的移动方向的X轴方向，与主扫描方向一致，在构造上能够提高液滴排出的精度(着弹点的精度)。

并且在本实施例中，虽然相对于头单元(滑架2)1，使其作为排出对象物的基板102在主扫描方向上移动，但是也可以是使滑架(头单元1)2的主扫描方向上移动的构造。而且，虽然也可以考虑将一对基准销12、12设置在滑架2的长边方向的两端部的情况，但是在这样的情况下，通过滑架2向Y轴方向的相对移动识别一对基准销12、12。

图14和图15为主滑架111的外观图。主滑架111，具有支承头单元1的底板121，和将底板121竖着设置而支承的拱构件122，和在底板121的一个端部凸出地设置的临时放置台106、即左右一对临时放置角部件106a、106a，和设置在底板121的另一端部的挡板123。并且，上述的基板识别照相机117在挡板121的外侧设置有一对。

在底板121上形成有较松地嵌入头单元1的本体板11的方形开口124，而且在构成该方形开口124的底板121的左右的各开口边缘部125上，设置有与在头单元1的各支承构件13上形成的2个螺栓孔22、22以及销孔23相吻合的2个通孔126、126和定位销127。在这种情况下，方形开口124的宽度与本体板11的宽度几乎一致，从侧面安装的头单元1，以使本体板11的左右边被方形开口124的左右边引导而插入。

各临时放置角部件106a具有充分的厚度(高度)，通过外侧弯曲成“L”字形的基部，放置在底板121的端部固定。而且，两临时放置角部件106a、106a的距离尺寸与头单元1的两支承构件13、13的距离尺寸相对应。因此，头单元1通过其两支承构件13、13支承在两临时放置角部件106a、106a上而临时放置，并且通过临时放置角部件106a、106a送入底板121进行引导。而且，在该状态下，各液滴排出头3的头本体50从底板121充分离开，防止与底板121的接触(干涉)。

如图16的想象图所示的那样，在向主滑架111的底板121上安装头单元1的情况下，首先将用手持两手柄14、14搬入的头单元1放置到两临时放置角部件106a、106a上(临时放置)。虽然在这里没有特意图示，但将设置在拱构件122上的描绘装置B的过滤材料供给系统的管子、配管连接在配管连接组件15上，同时将控制系统的电缆配线连接在配线连接组件16上(该图(a))。

完成连接作业后，再次握住手柄14、14，引导两临时放置角部件106a、106a、将头单元1推向前方，并降低其前端部地倾斜(该图(b))。倾斜头单元1，则本体板11的前端部就插入方形开口124中，并且两支承构件13、13的前端被支承在方形开口124的两开口边缘部125、125上。两支承构件13、13支承在开口边缘部125、125上后，使两支承构件13、13从两临时放置角部件106a、106a脱开，然后以两支承构件13、13的前端为中心，使头单元1一边在开口边缘部125上滑动一边朝向更深处推入。

然后，在头单元1的前端碰到挡板123后，慢慢地降低头单元1的后部，使两开口边缘部125、125的定位销127与两支承构件13、13的销孔23嵌合而使头单元1支承在底板121上。这里从底板121的下侧穿过底板121，将4根固定螺钉128螺纹结合在两支承构件13、13上，完成作业(该图(c))。

由于这样在单元导入部105上临时放置头单元1，并在该状态下进行必要的配管、配线连接，所以这些连接作业容易进行，并且能够将连接作业后的头单元1在狭小的空间内适当地安装。而且，由于使头单元1一面从临时放置角部件106a向低一层的底板121滑动一面安装，所以能够使头单元1在主滑架111上软着陆地安装，能够无冲击地平滑地安装较重的头单元1。

另一方面，在描绘装置B的维护部104上，以与压盖装置或清洗装置同时设置的形态设置着擦拭装置。如图17所示的那样，擦拭装置108，具有配置有擦拭片131的擦拭单元132，和使擦拭单元132向着头单元1进退的移动机构133。对于通过Y工作台113导入维护部104中的头单元1，移动机构133使擦拭单元132在X轴方向(主扫描方向)上进退，进行擦拭动作。

擦拭单元133，具有将擦拭片131卷成滚筒状的绕线盘135，和卷绕从绕线盘135抽出的擦拭片131的卷线盘136，和在绕线盘135和卷线盘136之间架设擦拭片131的擦拭辊137。而且，在绕线盘135和擦拭辊137之间设置有兼作旋转速度检测轴的导向辊138，并且在擦拭辊137附近设置着清洗液供给头139。

绕线盘135通过设置在其上的扭矩限制器制动旋转，卷线盘136通过设置在其上的电机驱动旋转。从绕线盘135抽出的擦拭片131经过导向辊138而改变路径，接受从清洗液供给头139供给的清洗液后，绕着擦拭辊137旋转，被卷绕到卷线盘136上。

擦拭辊137为自由旋转辊，由具有弹性或者柔韧性的橡胶辊等构成。擦拭时的擦拭辊137从下侧将擦拭片131压靠在各液滴排出头3的头本体50上发挥作用。而且，在擦拭时，擦拭辊137通过受卷线盘136的旋转而移动的擦拭片131旋转，并且通过移动机构133，作为擦拭单元133整体向X轴方向移动。通过这样，擦拭片131与头单元的下表面、即12个液滴排出头3的头本体50顺序滑动接触。换言之，相对于头本体50的相对的移动方向，擦拭片131向反方向移动，擦拭各头本体50的喷嘴形成面52。

在即将到达擦拭辊137之前，从清洗液供给头139向与头本体50滑动接触的擦拭片131上供给清洗液，即过滤材料的溶剂等。通过这样，附着在各头本体50的喷嘴形成面52上的过滤材料，就经由擦拭辊137通过浸渍有清洗液的擦拭片131而被擦干净。而且，由于如上述的那样，头本体50的下端部通过在其上模压成型的树脂62倒角，所以在该擦拭时头本体50不会在擦拭片131上拌住。

下面参照图18和图19说明校准掩模D。在实施例的装配装置A中，与头单元1的装配个数无关，需要一直供给具有一定的装配精度的头单元1。因而，准备有标出了滑架2以及12个液滴排出头3的基准位置的校准掩模D。也就是说，以校准掩模D为零件位置的原型(原版)，将作为复制品的头单元1装配在该装配装置A上。通过这样，排除了各装配装置A的特性或随时间而变化等造成的对头单元1的精度影响。

校准掩模D，由通过掩模图案而形成滑架2的基准位置和各液滴排出头3的基准位置的型板161，和从下侧保持型板161的板支架162构成。如上述的那样，各液滴排出头3相对于主扫描方向倾斜规定的角度(角度40～60)设置。因此，型板161和板支架162与此倾斜角度相配合而形成。

更具体地说，型板161与倾斜装载的液滴排出头3的头本体50相对应，由与其长边平行的2个边和与其短边平行的2个边形成方形，不会产生无用的部。而且，为使型板161作为原型不产生偏差，而由较厚的透明石英玻璃构成。

在型板161的表面上，将表示各液滴排出头3的基准位置的各5个头基准标记164、164、164、164、164作为1组，在两侧形成各6组共计12组。而且，在该12组头基准标记164的外侧，形成有表示滑架2的基准位置的一对滑架基准标记165、165。并且在位于端部的头基准标记164附近，形成有用于调整识别照相机353的像素分辨率的被拍图像166。

各5个头基准标记164，表示液滴排出头3的喷嘴形成面52的中心位置，和分别位于2列喷嘴列53、53的最外端部的共计4个排出喷嘴57、57、57、57的位置。如图18(a)所示的那样，各头基准标记164，在圆形线的内部画有中空的十字，同时在除去十字之外的圆形区域内画有斜线而形成。因此，将其用识别照相机353进行图像识别(摄象)，则在暗色的圆形部内部识别出亮色的十字部。

与上述同样，各滑架基准标记165，也在圆形线的内部画有中空的十字，同时在除去十字之外的圆形区域内画有斜线而形成。而且，被拍图像166，由以格子状高精度地描画的多条纵横线形成。并且，由于表示喷嘴形成面52的中心位置的头基准标记164，能够由表示4个排出喷嘴57的位置的4个头基准标记164算出，所以也可以省略。并且，在校准掩模D上形成的图案，通过单面形成以Cr等金属为代表的不透明膜，利用半导体技术将该膜描绘图案等而形成。

板支架162如图19和图20所示的那样，具有比型板161大一圈形成的大致呈方形的型板支承板168，和安装在型板支承板168的背面4个角的树脂制的4个支脚块169、169、169、169，和将设置在型板支承板168的表面的型板161纵横不动地定位的多个聚氨酯挡块170，和以从型板支承板168上浮起的状态支承型板161的多个支承销171，和与支承销171相对应地设置、从上侧压住型板161的多个压块172。

多个聚氨酯挡块170，在每边各2个抵住型板161的四边。另外，多个支承销171在型板161的角部各配置2个，并且能够相对于型板支承板168调节高度地安装着。也就是说，各支承销171具有调整螺栓的构造，能够调整型板161的表面、即标记形成面161a的水平。多个压块172分别与支承销171对应，在与支承销171之间夹有型板161，并压靠。

这样构成的校准掩模D，被固定在后面说明的装配装置A的安装工作台231上。因此，在型板支承板168的左右的各边缘部形成有2个固定孔173、173，和设置在2个固定孔173、173之间的销孔174。而且，校准掩模D和头单元1被交换安装在装配装置A的安装工作台231上。

下面说明液滴排出头3的装配装置A和装配方法。装配装置A以在滑架2上临时装有12个液滴排出头3的上述的头单元1为装配对象物，是将各液滴排出头3高精度地定位、粘接(临时固定)在头单元1的滑架2上的装置。并且，临时固定了液滴排出头3的头单元1经过清洗工序以及上述的手柄14等的零件装入工序等，利用该装配装置A被安装到描绘装置B上。

如图21至图25的外观图所示的那样，装配装置A，在基座201上具有透明的安全罩202，在基座201上装入空气供给机器203等的同时，在安全罩202内以放置在底盘204上的形态收容主构成装置205而构成。在基座201上设置着4个小脚轮206和6个带调整螺栓的支承脚207。在安全罩202的正面设置有用于导入头单元1的开闭门208，而且在其上面竖立设置着警告灯209。

主构成装置205，具有装载头单元1并使其在水平面内向X、Y、θ方向移动的单元移动装置211，和进行临时装在滑架2上的各液滴排出头3的位置校正的头校正装置212，和将各液滴排出头3粘接在滑架2上的临时固定装置213，和在液滴排出头3的位置校正之前对滑架2和各液滴排出头3进行位置识别的识别装置214，和总括控制这些单元移动装置211、头校正装置212、临时固定装置213和识别装置214的控制装置(参照图50)215。

在该装配装置A中，预先在单元移动装置211中导入上述的校准掩模D，并通过识别装置214对校准掩模D的各基准标记164、165进行图像识别，存储滑架2以及各液滴排出头3的基准位置数据，根据该基准位置数据(基准数据)进行滑架2以及各液滴排出头3的位置校正。并且，校准掩模D在新的头单元1的导入装配时自不用说，即使是同一头单元1，也根据其装配个数或运转时间定期导入。当然这时要重新设置其基准位置数据。

另一方面，头单元1使各液滴排出头3的头本体50朝向上方、安装在单元移动装置211的上面，头单元1的装配首先从由识别装置214进行的滑架2的位置识别开始。在对滑架2进行位置识别时，比较该识别数据和基准位置数据，根据该比较结果，利用单元移动装置211进行滑架2的位置校正。然后，利用识别装置214对液滴排出头3进行位置识别，根据该识别结果(比较结果)，利用头校正装置212进行液滴排出头3的位置校正。

然后，一面保持该位置校正状态，一面利用临时固定装置213，通过头保持构件4将液滴排出头3粘接在滑架2上。而且这时一直到粘接剂固化为止，头校正装置212都不移动液滴排出头(头保持构件4)3地保持压住。然后，将从该液滴排出头3的位置识别到粘接为止的工序按液滴排出头3的个数重复，完成全部的液滴排出头3的临时固定。

如图21和图26所示的那样，单元移动装置211以较大的占有面积被放置在通过3处调整螺栓217水平支承的板状的底盘204上。单元移动装置211，具有以翻转状态安装头单元1的安装工作台231，和从下侧支承安装工作台231的θ工作台232，和从下侧支承θ工作台232的X、Y工作台233。头单元1与一起装载在安装工作台231上的液滴排出头3的倾斜相配合，倾斜安装。因此，与液滴排出头3的主扫描方向相当的方向为X轴方向，副扫描方向为Y轴方向。

如图27所示的那样，安装工作台231，具有形成多个圆形通孔236的方形的底板235，和固定在底板235的两侧的一对带状块237、237。在各带状块237的上面，竖立设置着定位销238，同时形成有2个螺钉孔239、239。也就是说，头单元1相对于安装工作台231在左右的2处定位，共4处用螺钉固定。而且，在底板235的中央部，形成有用于在θ工作台232上固定安装工作台231的4个通孔240等。

这样，头单元1通过安装工作台231被固定在θ工作台232上，同样地、校准掩模D也通过安装工作台231被固定在θ工作台232上。在该情况下，设计头单元1和校准掩模D，以使固定在θ工作台232上的头单元1的各液滴排出头3的喷嘴形成面52、和固定在θ工作台232上的校准掩模D的标记形成面(型板的表面)161a位于同一水平面内。

同样地，设计使头单元1的重量和包含板支架162的校准掩模D的重量大致相同。通过这样，将校准掩模D的位置识别动作和头单元1的位置识别动作在完全相同的条件下进行。并且，安装工作台231相对于头单元1为专用零件，头单元1改变，则与之相配合的安装工作台231也改变。

下面参照图28、图29和图30说明θ工作台232。θ工作台232由通过安装工作台231使头单元1微小旋转(微小转动)的旋转动作部242，和驱动旋转动作部242的进退驱动部243构成。旋转动作部242，具有固定安装工作台231的工作台本体245，和从工作台本体245向进退驱动部243一侧延伸的连接臂246，和自由旋转地支承工作台本体245上的滚环247，和支承滚环247的支承台248。在这种情况下，安装工作台231通过设置在工作台本体245上的2处定位销250、250和4个螺钉孔251，以在工作台本体245的上面定位的状态螺钉固定。

进退驱动部243，具有构成动力源的θ工作台电机(伺服电机)253，和通过联轴器255与θ工作台电机253的主轴254连接的滚珠丝杠256，和与滚珠丝杠256啮合的阴螺纹块257，和在滚珠丝杠256的轴向(X轴方向)自由滑动地支承阴螺纹块257的主滑块258，而且具有连接上述的连接臂246的前端部的臂支承部260，通过轴承261自由转动地以轴来支承臂支承部260的垂直轴构件262，和在阴螺纹块257上在Y轴方向上自由滑动地支承垂直轴构件262的副滑块263。

θ工作台电机253可正反旋转，当θ工作台电机253正反旋转时，通过滚珠丝杠256，阴螺纹块257就被主滑块258引导，在X轴方向上进退。阴螺纹块257进退，则其支承的副滑块263和垂直轴构件262也就在X轴方向上进退。并且，垂直轴构件262进退，则连接臂246和工作台本体245就通过其轴支承的臂支承部260以工作台本体245的轴心为中心转动。也就是说，工作台本体245在水平面内正反微小旋转(在θ方向上正反移动)。

而且，虽然伴随该转动、工作台本体245和垂直轴构件262的中心之间的距离发生变化，但是该距离的变化通过副滑块263由垂直轴构件262在Y轴方向上适当地微小移动而吸收。并且，通过从阴螺纹块257凸出的遮光板265和随着阴螺纹块257的进退而靠近遮光板265的3个光电断路器266，阴螺纹块257的移动端位置、即工作台本体245的转动范围(角度)受到限制(防止超限)。

进退驱动部243被支承在设置在主滑块258的下侧的支承板267上，该支承板267被固定在转动动作部242的支承台248上。而且，该支承台248被放置在X、Y工作台233上。

下面参照图26、图31和图32说明X、Y工作台233。X、Y工作台233，具有从下侧支承θ工作台232的支承块270，和在X轴方向上自由滑动地支承支承块270的X轴工作台271，和在Y轴方向上自由滑动地支承X轴工作台271的Y轴工作台272。在支承块270上在4个位置具有螺钉孔274，在该4个位置通过螺钉孔274将θ工作台232固定在支承块270上。

X轴工作台271，由X轴气动滑块276，和X轴线性电机277，和与X轴气动滑块276同时设置的X轴线性标尺278构成。同样地，Y轴工作台272，由Y轴气动滑块279，和Y轴线性电机280，和与Y轴气动滑块279同时设置的Y轴线性标尺281构成。并且，图中的符号282、283分别为X轴电缆线对和Y轴电缆线对。另外，符号284、284为两线性电机277、280的放大器。

X轴线性电机277和Y轴线性电机280被适当地控制驱动，使θ工作台232在X轴方向和Y轴方向上移动。也就是说，安装到安装工作台231上的头单元(或者校准掩模D)1在水平面内通过θ工作台231在θ轴方向上移动的同时，通过X、Y工作台233在X轴方向和Y轴方向上移动。

下面说明头校正装置212。头校正装置212，是根据利用识别装置214进行的液滴排出头3的位置识别、通过头保持构件4使液滴排出头3在X轴、Y轴以及θ轴方向上微小移动、进行液滴排出头3的定位(位置校正)的装置。而且头校正装置212同时与临时固定装置213协同动作，一直到粘接剂凝固为止将头保持构件4压靠在滑架2上。

如图23和图33所示的那样，头校正装置212，由安装在上述的底盘204内侧的校正装置用台架301，和放置在其上面的校正用X、Y工作台302，和支承在校正用X、Y工作台302上的校正用θ工作台303，和支承在校正用θ工作台303上的臂单元304构成。在该情况下，由于校正用θ工作台303具有与单元移动装置211的θ工作台232完全相同的构造，所以在此省略说明。并且，虽然在θ工作台232中使其进退驱动部243位于左侧地设置，但是在该校正用θ工作台303中位于右侧地设置(参照图23)。

校正装置用台架301如图33所示的那样，具有放置在校正用X、Y工作台302上的底板307，和支承底板307的3组支脚单元308、308、308。3组支脚单元308设置在左部、右部以及中央后部的3处，分别由一对支柱309、309，和在一对支柱309、309的上下固定的上板310和下板311构成。

在这种情况下，在校正装置用台架301的下侧空间，具有通过单元移动装置211移动的头单元1，从校正装置用台架301伸出的臂单元304在该头单元1上从上侧靠近(与头保持构件4结合)。而且，头单元1的移动和滑架2的位置校正，通过单元移动装置211进行，各液滴排出头3的位置校正通过该头校正装置212进行。因此，任意一个液滴排出头3被临时固定后，单元移动装置211移动头单元1，使下一个液滴排出头3靠近头校正装置212。

如图33至图36所示的那样，校正用X、Y工作台302被放置在校正装置用台架301的中央，具有支承校正用θ工作台302的支承块314，和在X轴方向上自由滑动地支承支承块314的校正用X轴工作台315，和在Y轴方向上自由滑动地支承校正用X轴工作台315的校正用Y轴工作台316。在支承块314上具有4个螺钉孔318，在该4个位置通过螺钉孔318将校正用0工作台303固定在支承块314上。

校正用X轴工作台315，由X轴气动滑块320，和X轴线性电机321，和与X轴气动滑块320同时设置的X轴线性标尺322构成。同样地，校正用Y轴工作台316，由Y轴气动滑块323，和Y轴线性电机324，和与Y轴气动滑块323同时设置的Y轴线性标尺325构成。并且，图中的符号326、327分别为X轴电缆线对和Y轴电缆线对。另外，符号328、328为两线性电机321、324的放大器。

如图37、图38和图39所示的那样，臂单元304，由与头保持构件4的一对结合孔76、76结合的一对结合臂331、331，和支承一对结合臂331、331的底盘332，和升降底盘332的臂升降机构333，和支承臂升降机构333的支承座334构成。支承座334，由固定在校正用θ工作台303上的固定板336，和从固定板336向前方延伸的一对L形臂337、337，和固定在一对L形臂337、337的前端的垂直板338构成，朝向前方呈反“L”字形延伸。

臂升降机构333由自由升降地支承底盘332的升降滑块340，和固定在垂直板338的下部、使升降滑块340升降的气缸341构成。气缸341连接在上述的空气供给机器203上，通过气阀等的切换引导升降滑块340、使底盘332升降。底盘332形成为“L”字形，前端形成为叉形。而且，在该叉形部上，分别朝向下方安装着结合臂331、331。

各结合臂331，如图40所示的那样，具有插入头保持构件4的结合孔76中的结合销343，和上下自由移动的保持结合销343的销支架344，和内装在销支架344内、对结合销343向下方施力的螺旋弹簧345。销支架344的上端部，以从下侧嵌合在底盘332上的形式固定。结合销343的前端部形成为锥形形状，该锥形部347相对于头保持构件4的结合孔76其底端一侧形成为粗径、前端一侧形成为细径。通过这样，结合销343可不晃动地结合在结合孔76中。

在初始状态下，在两结合臂331、331通过气缸341移动到上升端位置、通过单元移动装置211移动头单元1后，通过气缸341使两结合臂331、331下降，则该一对结合销343、343就与所希望头保持构件4的结合孔76、76结合。而且，气缸341通过上述的控制装置215进行时钟控制，一直到利用临时固定装置213涂敷的粘接剂凝固为止，将位置校正后的头保持构件4压靠在滑架2上。

也就是说，使两结合臂331、331下降的气缸341，在进行头保持构件4的位置校正和粘接剂的涂敷(详细内容在后面说明)后，在经过粘接剂的凝固时间(达到规定的粘接强度的时间)后使两结合臂331、331上升到原来的位置。并且，虽然在本实施例中，用螺旋弹簧345对结合销343施力，但是也可以省略螺旋弹簧345，构成将结合销343和销支架344一体化的简单的构造。

在上述的构造中，臂单元304的两结合臂331、331下降、与头保持构件4结合，则驱动校正用θ工作台303和校正用X、Y工作台302，通过头保持构件4将液滴排出头3定位。然后，一直到粘接剂凝固为止，维持该定位状态。也就是说，臂单元304的两结合臂331、331以定位状态向着滑架2压靠头保持构件4，临时固定装置(粘接)213靠近该头保持构件4。

下面说明识别装置214。如图24和图41所示的那样，识别装置214由以跨过校正用X、Y工作台302的前部的形式固定在校正装置用台架301上的照相机台架351，和固定在照相机台架351的前面的照相机位置调节单元352，和安装在照相机位置调节单元352上的一对识别照相机(CCD照相机)353、353构成。在这种情况下，一对识别照相机353、353相对于构成识别对象的头单元(校准掩模D)1固定设置。

照相机台架351具有呈反“L”字形向前方延伸的左右一对脚片构件355、355，和连接在一对脚片构件355、355之间的横长的前面板356。通照相机位置调节单元352固定在前面板356上的一对识别照相机353、353，在比头校正装置212的一对结合臂331、331略高的位置、且略微向前方伸出的位置设置(参照图25)，防止与结合臂331的干涉。

如图41至图44所示的那样，照相机位置调节单元352，具有增设在前面板356上的Z轴调整板358，和安装在Z轴调整板358的下端部的微型载物台359，和保持左侧的识别照相机353a的左照相机支架360，和保持右侧的识别照相机353b的右照相机支架361。Z轴调整板358具有在与前面板356之间在垂直方向上延伸的一对导轨362、362，并且具有抵在前面板356的上端的调整螺栓363。利用该调整螺栓363的正反旋转，能够通过Z轴调整板358调节两识别照相机353、353的上下方向的位置。

微型载物台359，由通过右照相机支架361支承右侧的识别照相机353b的X轴载物台365，和支承X轴载物台365并且固定在Z轴调整板358的下端部的Y轴载物台366构成。X轴载物台365能够在X轴方向上微小移动右侧的识别照相机353b，能够调节右侧的识别照相机353b的前后方向的位置。同样地，Y轴载物台366能够进行右侧的识别照相机353b的左右方向的位置。

另一方面，左照相机支架360被固定在Z轴调整板358的下端部，因此，相对于通过左照相机支架360固定设置的左侧的识别照相机353a，利用微型载物台359调节右侧的识别照相机353b的位置。如上所述的那样，由于通过左右的识别照相机353a、353b同时对2个排出头57a、57a进行位置识别，所以特别是在使用新的液滴排出头3时，预先利用微型载物台359调节左右的识别照相机353a、353a的离开的距离、即视野间距离。并且图中的符号367为一体覆盖照相机位置调节单元352以及两识别照相机353、353的照相机罩。

在这样构成的识别装置214中，通过一个识别照相机353和单元移动机构211的X轴工作台271的协同动作，滑架2的2个基准标记(基准销12、12)26、26被位置识别。也就是说，通过一个识别照相机353进行一个基准销12的图像识别，然后滑架2向X轴方向移动，进行另一个基准销12的图像识别。然后，根据该识别结果，通过单元移动装置211进行滑架(头单元1)2的位置校正，并且出于确认的目的再次进行位置识别。

而且，构成各液滴排出头3的基准的2个排出喷嘴57a、57a通过一对识别照相机353、353同时被进行位置识别。也就是说，相应的液滴排出头3移动到一对识别照相机353、353的正下方，2个排出头57a、57a被同时进行图像识别。而且，在该状态下，头校正装置212靠近头保持构件4，进行液滴排出头3的位置校正，且通过临时固定装置213进行粘接。并且校准掩模D中的各标记164、165的识别也与上述同样进行。

下面说明临时固定装置213。如图22和图45所示的那样，在上述底盘204的右部，以跨越校正装置用台架301的形式设置有在前后方向上延伸的共有台架219，临时固定装置213被设置在该共有台架219的前部。临时固定装置213具有用4根撑杆371支承在共有台架219上的方形支承板372，和固定在方形支承板372的下面的气动工作台373，和固定在气动工作台373的前端部的粘接剂涂敷装置374，和从下侧靠近移动到原来位置的粘接剂涂敷装置374的粘接剂托盘375。粘接剂托盘375被固定在共有台架219上，承接从粘接剂涂敷装置374滴下的粘接剂。

如图45至49所示的那样，气动工作台373，由安装在方形支承板372上的Y轴气动工作台377，和安装在Y轴气动工作台377的前端部的副YY轴气动工作台378，和安装在副Y轴气动工作台378的前端部的X轴气动工作台379，和安装在X轴气动工作台379的前端部的Z轴气动工作台380构成。而且，这些Y轴气动工作台377、副Y轴气动工作台378、X轴气动工作台379和Z轴气动工作台380都由连接在上述的空气供给机器203上的气缸377a、378a、379a、380a和滑块377b、378b、379b、380b构成。

粘接剂涂敷装置374，由固定在上述的Z轴气动工作台380上的垂直支承板382，和从垂直支承板382的下部向前方凸出的左右一对的水平支承块383、383，和安装在各水平支承块383上的一对分配器单元384、384，和支承在上述的共有台架219上的分配器控制器385构成。一对分配器单元384、384从前方与上述的一对结合臂331、331或一对识别照相机353、353相对峙地设置着。

各分配器单元384，配置有在前端安装着粘接剂注入喷嘴387的分配器388，和向分配器388供给粘接剂的弹壳形式的注射器389，和保持分配器388以及注射器389的分配器支架390。分配器支架390可自由调节角度地安装在水平支承块383的前端部，在本实施例中，粘接剂注入喷嘴387相对于水平呈45度左右倾斜地进行调节。并且，各水平支承块383可在前后以及左右方向上调节位置地固定在垂直支承板382上。

如上所述的那样，粘接剂利用上述的2个粘接剂注入喷嘴387、387向头保持构件4的构成对的一边的2个粘接剂注入孔77a、77a中同时注入(涂敷)，并且两粘接剂注入喷嘴387、387向Y轴方向移动后，向构成对的另一边的2个粘接剂注入孔77b、77b中同时注入(涂敷)。因此，两粘接剂注入喷嘴387、387的距离尺寸与头保持构件4的构成对的粘接剂注入孔77a(77b)、77a(77b)的距离尺寸相对应。而且，具有规定的倾斜角度的各粘接剂注入喷嘴387插入为深孔的粘接剂注入孔77中，向其内圆周面上喷射，注入粘接剂。

这样，头校正装置212在完成定位动作的状态下，维持着该状态将头保持构件4压靠在滑架2上，将其保持不动。然后驱动X轴气动工作台379和Y轴气动工作台377，使2个粘接剂注入喷嘴387、387移动到头保持构件4的2个粘接剂注入孔77a、77a的正上方。在这里驱动Z轴气动工作台380，将2个粘接剂注入喷嘴387、387同时插入2个粘接剂注入孔77a、77a中。

然后，利用注射器389从2个粘接剂注入喷嘴387、387注入规定量(用分配器控制器385调整)的粘接剂。然后，通过Z轴气动工作台380使2个粘接剂注入喷嘴387、387上升的同时，驱动副Y轴气动工作台378，使2个粘接剂注入喷嘴387、387移动到另一边的2个粘接剂注入孔77b、77b的正上方。在该情况下，由于头保持构件4的构成对的2组粘接剂注入孔77a(77b)、77a(77b)之间的距离为一定，所以在这里使Y轴气动工作台377停止，仅驱动副Y轴气动工作台378。

然后，再次使粘接剂注入孔387、387上升之后，使临时固定装置213停止，等候粘接剂的凝固时间。经过凝固时间后，则解除头校正装置212与头保持构件4的结合，完成任意的1个液滴排出头3的临时固定(定位和粘接)作业。然后，通过将该利用头校正装置212和临时固定装置213的协同动作进行的液滴排出头3的定位和粘接作业重复12次，完成液滴排出头3的临时固定，头校正装置212和临时固定装置213分别回复到原来的位置。

这里参照图50说明控制装置215，并且就基于该控制装置215的头单元1的一连串的装配程序进行说明。如该图的框图所示的那样，控制装置215中的控制系统，配置有通过操作面板401输入滑架2或液滴排出头3的设计上的位置数据等的输入部402，和具有驱动单元移动装置211等的构成装置的各种驱动器等驱动部403，利用识别照相机353进行位置识别的检测部404，和总括控制装配装置A的各构成装置的控制部405。

驱动部403，具有驱动控制单元移动装置211的各电机的移动用驱动器407，和驱动控制头校正装置212的各电机的校正用驱动器408，和驱动控制临时固定装置213的气动工作台373的各气缸的空气用驱动器409，和控制临时固定装置213的分配器单元384的分配器单元控制器385。

控制部405，具有CPU411、ROM412、RAM413以及P-CON414，相互间通过总线415连接。在ROM412上，具有储存用CPU411处理的控制程序的控制程序区域，和储存各种控制数据的控制数据区域。RAM413具有储存从外部输入的位置数据、识别照相机353从校准掩模D得到的基础位置数据等的位置数据区域，和各种寄存器群，作为用于控制处理的作业区域使用。

P-CON414补充CPU411的功能的同时，装有用于处理与外部电路的接口信号的逻辑电路或计时器416。因此，P-CON414与操作面板401连接、将来自输入部402的各种指令等原封不动或加工后输入总线415中。而且，P-CON414与CPU411联动，将从CPU411等输出到总线415的数据或控制信号原封不动或加工后向驱动部输出。

而且，CPU411通过上述结构，根据ROM412内的控制程序，经由P-CON414输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，处理RAM413内的各种数据，经由P-CON414向驱动部403输出控制信号。通过这样，控制单元移动装置211、头校正装置212、临时固定装置213等整个装配装置A。

例如，从识别照相机353得到的校准掩模D的基础位置数据以及从识别照相机353得到的头单元1的单元位置数据，被存入RAM413内，根据ROM412内的控制程序比较基础位置数据和单元位置数据，根据该比较结果控制单元移动装置211、头校正装置212等。

这里就利用实施例的装配装置A进行的头单元1的装配方法，按照顺序进行说明。在该装配装置A中，在导入头单元1之前，首先导入校准掩模D。校准掩模D被安装在安装工作台231上，则驱动单元移动装置211，使校准掩模D的一个滑架基准标记165靠近一个识别照相机353，对一个滑架基准标记165进行位置识别。然后，驱动单元移动装置211的X轴工作台271，使另一个滑架基准标记165靠近识别照相机353，对另一个滑架基准标记165进行位置识别。

然后，驱动单元移动装置211，使位于校准掩模D的端部的头基准标记164同时靠近一对识别照相机353、353，同时对2处头基准标记164、164进行位置识别。将其按照顺序重复，对与12个液滴排出头3对应的12组头基准标记164进行位置识别。这样完成校准掩模D的位置识别后，使校准掩模D回复到原来的位置，在安装工作台231上换装头单元1。

在这里，使头单元1按照与上述完全相同的次序移动，首先对滑架2的一对基准销12、12进行位置识别，根据该识别结果，利用单元移动装置211对滑架(头单元1)2进行位置校正。然后，按照与上述相同的次序使第1个液滴排出头3的头本体(头保持构件4)50靠近头校正装置212的一对结合臂331，将结合臂331结合在头保持构件4上。在这里，通过一对识别照相机353、353对构成头本体50的位置基准的2个排出喷嘴57a、57a进行位置识别。

然后，驱动头校正装置212，根据上述的识别结果，通过头保持构件4将液滴排出头3定位。然后，保持着该定位状态驱动临时固定装置213，使一对粘接剂注入喷嘴387、387靠近头保持构件4，进行粘接剂的注入。粘接剂的注入，通过临时固定装置213的副Y轴气缸378随着粘接剂注入喷嘴387的移动进行2次。完成粘接剂的注入后，通过计时控制等待粘接剂的固化，并解除头校正装置212与头保持构件4的结合。

这样，完成第1个液滴排出头3的定位和临时固定，从第2个到第12个液滴排出头3重复该作业。然后，最后分别将单元移动装置211、头校正装置212以及临时固定装置213回复到原来的位置，从安装工作台231取下装配好的头单元1。然后，头单元1经过液滴排出头3的清洗，并且将手柄14和两组件15、16等构成部件装上，运到描绘装置B中。

并且，虽然在本实施例中，通过头保持构件4将液滴排出头3粘接在滑架2上，粘接部为金属-金属的粘接，但是也可以将液滴排出头3直接粘接在滑架2上。

另外，本发明的头单元的装配装置以及利用其装配成的头单元1不仅可以适用于上述的描绘装置B，也可以适用于各种平面显示器的制造方法、各种电子装置和光装置的制造方法。因此，以液晶显示装置的制造方法和有机EL装置的制造方法为例说明使用该头单元1的制造方法。

图51为液晶显示装置的滤色器的部放大图。图51(a)为俯视图，图51(b)为图51(a)的B′-B′线剖视图。剖视图各部的剖面线部省略。

如图51(a)所示的那样，滤色器500具有矩阵形排列的像素(滤清单元)512，像素与像素的交界处通过隔板513分开。在一个一个的像素512上都导入有红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意一种墨水(过滤材料)。在该例中红、绿、蓝的配置为所谓的镶嵌排列，但是也可以为带状排列、三角形排列等其它排列。

如图51(b)所示的那样，滤色器500具有透光性的基板511，和遮光性的隔板513。未形成(被除去)隔板513的部分，构成上述的像素512。被导入该像素512的各种颜色的墨水构成着色层521。在隔板513和着色层521的上面形成有外涂层522和电极层523。

图52是说明基于本发明的实施例的滤色器的制造方法的制造工艺剖视图。剖视图各部的剖面线部分省略。

将膜厚0.7mm、纵38cm、横30cm的由无碱玻璃构成的透明基板511的表面用在热的浓硫酸中加入1％重量双氧水形成的清洗液清洗，用纯水漂洗后，进行空气干燥，得到洁净表面。在该表面上通过溅射方法以平均0.2μm的膜厚形成铬膜，得到金属层514′(图52-S1)。

将该基板在热板上在80℃下干燥5分钟后，在金属层514′的表面上通过旋转涂层形成光敏保护膜层(未图示)。将描绘有所需的矩阵形图案形状的掩模薄膜粘附在该基板表面上，用紫外线曝光。然后，将其浸渍在以8％重量的比例含有氢氧化钾的碱性显影液中，除去未曝光的部的光敏保护膜，将保护膜层形成图案。然后，用以盐酸为主要成分的蚀刻液蚀刻除去露出的金属层。这样就能够得到具有规定的矩阵图案的遮光层(黑色矩阵)514(图52-S2)。遮光层514的膜厚度为大约0.2μm。而且，遮光层514的宽度为大约22μm。

在该基板上仍然用旋转涂层法进一步涂敷阴性型的透明丙烯类感光性树脂构成物515′(图52-S3)。将其在100℃下预烘干20分钟后，利用描绘有规定的矩阵图案形状的掩模薄膜进行紫外线曝光。仍用碱性显影液将未曝光部的树脂显影，用纯水漂洗后自旋干燥。通过在200℃下进行30分钟作为最终干燥的二次烘烤，使树脂部充分固化，形成隔板层515，形成由遮光层514和隔板层515构成的隔板513(图52-S4)。该隔板层515的膜厚度为平均2.7μm。而且隔板层515的宽度为大约14μm。

为了改善用得到的遮光层514和隔板层515区划的着色层形成区域(特别是玻璃基板511的露出面)的墨水可湿性，进行干刻蚀、即等离子体处理。具体地说，对在氦中加入20％氧气的混合气体外加高电压，在等离子体气氛下形成刻蚀点，使基板通过该刻蚀点下而刻蚀。

然后在用隔板513区分形成的像素512内，通过喷墨方式导入上述的R(红)、G(绿)、B(蓝)的各墨水(图52-S5)。在液滴排出头(喷墨头)上使用应用了压电效果的精密头，在每个着色层形成区域选择性地喷10滴微小的墨滴。驱动频率设定为14.1kHZ，即各墨滴的排出间隔为69.5μ秒。头与目标的距离设定为0.3mm。为了防止从头向目标即着色层形成区域的飞翔速度、飞行弯曲、被称为卫星的分裂杂散滴的发生，墨水的物性自不必说，驱动头的压电元件的波形(包含电压)很重要。因此，预先将设定了条件的波形编程，同时涂敷红、绿、蓝3种颜色的墨水滴，涂敷规定的配色图案。

作为墨水(过滤材料)，例如使用将无机颜料在聚氨酯树脂低聚物中分散后，作为低沸点溶剂加入环己酮以及醋酸丁酯，作为高沸点溶剂加入丁基卡必醇乙酸酯，并且作为分散剂加入1％重量的非离子类界面活性剂，粘度为6～8厘泊的材料。

然后，使涂敷的墨水干燥。首先在自然气氛中放置3个小时、进行墨水层516的凝固后，在80℃的热板上加热40分钟，最后在烘箱中在200℃下加热30分钟，进行墨水层516的固化处理，得到着色层521(图52-S6)。

在上述基板上旋转涂敷透明丙烯树脂涂料，形成具有平滑面的外涂层522。并且，在其上表面上以规定图案形成由ITO(Indium Tin Oxide)构成的电极层523，构成滤色器500(图52-S7)。

图53为利用本发明的制造方法制造的电光学装置(平面显示器)的一例，即彩色液晶显示装置的剖视图。剖视图各部的剖面线部分省略。

该彩色液晶显示装置550，通过将滤色器500和对向的基板566组合，在两者之间封入液晶构成物565来制造。在液晶显示装置550的一个基板566的内侧的面上，以矩阵状形成TFT(薄膜晶体管)元件(未图示)和像素电极563。而且作为另一个基板，以在与像素电极563对向的位置排列红、绿、蓝的着色层521的形式设置着滤色器500。

在基板566和滤色器500的对向的各个面上，形成定向膜561、564。这些定向膜561、564被研磨处理，能够使液晶分子在一定方向上排列。而且，在基板566和滤色器500的外侧的面上，分别粘接着偏振光板562、567。而且，作为背景光一般采用荧光灯(未图示)和散射板的组合，通过使液晶构成物565作为改变背景光的透射率的光闸起作用来进行表示。

并且，电光学装置在本发明中不局限于上述的彩色液晶显示装置，例如可以使用应用了薄型的显像管或者液晶快门等的小型电视、EL显示装置、等离子监视器、CRT监视器、FED(Field Emission Display)面板等各种各样的电光学装置。

下面参照图52至图66说明有机EL装置的有机EL(显示装置)及其制造方法。

(1)第1实施例

图54至图58为表示本发明的第1实施例的图，该实施例适用于应用了EL显示元件的有效矩阵型的显示装置。更具体的讲，表示了利用作为配线的扫描线、信号线以及通用馈电线进行作为光学材料的发光材料的涂敷的例。

图54为表示本实施例的显示装置600的一部分的电路图，该显示装置600具有在透明的显示基板上分别配线有多根扫描线631、和在与这些扫描线631交叉的方向上延伸的多根信号线632，和与这些信号线632并列延伸的多根通用馈电线633的构造，并且在各个扫描线631和信号线632的交点，都设置着像素区域600A。

对于信号线632，设置着具有移位寄存器、电平移动器、视频线路、模拟开关的数据侧驱动电路601。

而且，对于扫描线631，设置着具有移位寄存器和电平移动器的扫描侧驱动电路602。并且，在各个像素区域600A中，设置着通过扫描线631将扫描信号供给到门电极的开关薄膜晶体管643，保持通过该开关薄膜晶体管643从信号线632供给的图像信号的保持容量cap，将通过该保持容量cap保持的图像信号供给到门电极的电流薄膜晶体管644，通过该电流薄膜晶体管644在与通用馈电线633电连接时从通用馈电线633流入驱动电流的像素电极642，和被夹入该像素电极642和反射电极652之间的发光元件641。

如果为这样的构造，那么驱动扫描线631、开关薄膜晶体管643接通，则此时信号线632的电位就被保持在保持容量cap中，根据该保持容量cap的状态决定电流薄膜晶体管644的接通、断开状态。然后通过电流薄膜晶体管644的通道，电流从通用馈电线633向像素电极642流入，并通过发光元件641流入反射电极652，所以发光元件641就根据这里流经的电流量发光。

这里，各像素区域600A的平面构造如表示取掉反射电极和发光元件的状态的平面放大图即图55所示的那样，平面形状为长方形的像素电极642的四边为被信号线632、通用馈电线633、扫描线631以及未图示的其它的像素电极用的扫描线包围的配置。

图56～图58为顺序表示像素区域600A的制造过程的剖视图，相当于图55的A-A断面。下面根据图56～图58说明像素区域600A的制造工艺。

首先如图57(a)所示的那样，在透明的显示基板621上，根据需要以TEOS(四乙氧基硅烷)和氧气为原料气体通过等离子体CVD法形成由厚度约2000～5000埃的硅氧化膜构成的底层保护膜(未图示)。然后将表示基板621的温度设定为约350℃，在底层保护膜的表面上通过等离子体CVD法形成由厚度约300～700埃的非晶形的硅膜构成的半导体膜700。然后对由非晶形的硅膜构成的半导体膜700进行激光退火或者固相成长法等结晶化工艺，将半导体膜700结晶化为多晶硅膜。在激光退火法中，例如使用受激准分子激光器的射束长度为400mm的线束，其输出强度例如为200mJ/cm²。以与线束的短寸方向的激光强度的峰值的90％相当的部在各个区域重叠的形态扫描线束。

然后，如图56(b)所示的那样，图案形成半导体膜700，使成为岛状的半导体膜701，在其表面上以TEOS(四乙氧基硅烷)和氧气为原料气体通过等离子体CVD法形成由厚度约600～1500埃的硅氧化膜或者氮化膜构成的门绝缘膜720。并且虽然半导体膜701构成电流薄膜晶体管644的通道区域以及源-漏区域，但是在不同的断面位置也形成开关薄膜晶体管643的通道区域以及源-漏区域。也就是说，虽然利用图56～图58所示的制造工艺同时制作两种晶体管643、644，但是由于用相同的次序制作，所以在下面的说明中，关于晶体管仅说明电流薄膜晶体管644，省略关于开关薄膜晶体管643的说明。

然后，如图56(c)所示的那样，利用溅射法形成由铝、钽、钼、钛、钨等的金属膜构成的导电膜后，形成图案，形成门电极644A。

在该状态下打入高温度的磷离子，在硅薄膜701上形成相对于门电极644A自行整合的源-漏区域644a、644b。并且，未导入杂质的部构成通道区域644c。

然后，如图56(d)所示的那样，在形成层间绝缘膜730后，形成接触孔731、732，在这些接触孔731、732内埋入中继电极733、734。

然后，如图56(e)所示的那样，在层间绝缘膜730上形成信号线632、通用馈电线633和扫描线(在图56上未图示)。这时，信号线632、通用馈电线633和扫描线的各配线不受作为配线所需的厚度的约束，而充分厚地形成。具体地将各配线形成为1～2μm左右的厚度。在这里，中继电极734和各配线可以在同一工序形成。这时，中继电极733通过后面所述的ITO膜形成。

然后，以覆盖各配线的上面的形态形成层间绝缘膜740，在与中继电极733相对应的位置形成接触孔741，以埋入在该接触孔741内的形态形成ITO膜，将该ITO膜形成图案，在信号线632、通用馈电线633和扫描线包围的规定位置形成与源-漏区域644a电连接的像素电极642。

这里，在图56(e)中，夹在信号线632以及通用馈电线633之间的部相当于选择性地配置光学材料的规定位置相当的部。而且，在该规定位置和其周围之间通过信号线632和通用馈电线633形成段差611。具体地说，形成有规定位置处比其周围低的凹形的段差611。

然后，如图57(a)所示的那样，以显示基板621的上面朝向上方的状态，通过喷墨头方式排出用于形成与发光元件641的下层部接触的空穴注入层的液体状(溶解在溶媒中的溶液状)的光学材料(前驱体)612A，将其选择性地涂敷在被段差611包围的区域内(规定位置)。

作为用于形成空穴注入层的材料，有聚合物前驱体为聚四氢化硫苯基苯撑的聚亚苯基乙烯撑1、1-双-(4-N、N-二甲苯胺基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝等。

这时，虽然由于液体状的前驱体612A流动性高，所以在水平方向上扩散，但是由于以围住涂敷位置的形态形成有段差611，所以如果该液体状的前驱体612A的一次的涂敷量不特别大，就能够防止液体状的前驱体612A越过段差611扩散到规定位置的外侧。

然后，如图57(b)所示的那样，通过加热或者光照射使液体状的前驱体612A的溶媒蒸发，在像素电极642上形成固体形的薄的空穴注入层641a。在这里，虽然也与液体状的前驱体612A的浓度有关，但是仅形成薄的空穴注入层614a。因此，在需要较厚的空穴注入层614a的情况下，将图57(a)以及(b)的工艺重复实行需要的次数，如图57(c)所示的那样，形成足够厚度的空穴注入层641A。

然后，以显示基板621的上面朝向上方的状态，通过喷墨头方式排出用于形成与发光元件641的上层部接触的有机半导体膜的液体状(溶解在溶媒中的溶液状)的光学材料(有机荧光材料)612B，将其选择性地涂敷在被段差611包围的区域内(规定位置)。

作为有机荧光材料可以例举出：氰基聚苯，乙烯、聚苯乙烯、聚烷基苯、2，3，6，7-四氢-11-氧代-1H·5H·11H(1)苯并吡喃[6，7，8-Ij]-喹嗪-10-羧酸、1，1-双-(4-N，N-二甲苯胺基苯基)环己烷、2-(3，4-二羟苯基-3，5，7-三羟基-1-苯并芘三(8-羟基喹啉)铝、2，3，6，7-四氢-9-甲基-11-氧代-1H·5H·11H(1)苯并吡喃[6，7，8-Ij]-喹啉、芳香族二胺衍生物(TDP)、羟基二吡咯聚体(OXD)、羟基二吡咯衍生物(PBD)、二甲亚芳香基衍生物(DSA)、羟基喹啉系金属络合物、铍苯并羟基喹啉络合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、二苯乙烯衍生物、吡唑啉聚体、红荧烯、喹吖啶、三唑衍生物、聚苯、聚烷基芴、聚烷基噻吩、甲亚胺锌络合物、锌络合物、苯并噁唑锌络合物、菲绕啉铕络合物等。

这时，虽然由于液体状的有机荧光材料612B流动性高，所以仍会在水平方向上扩散，但是由于以围住涂敷位置的形态形成有段差611，所以如果该液体状的有机荧光材料612B的一次的涂敷量不特别大，就能够防止液体状的有机荧光材料612B越过段差611扩散到规定位置的外侧。

然后，如图58(b)所示的那样，通过加热或者光照射使液体状的有机荧光材料612B的溶媒蒸发，在空穴注入层641A上形成固体形的薄的有机半导体膜641b。在这里，虽然也与液体状的有机荧光材料612B的浓度有关，但是仅形成薄的有机半导体膜641b。因此，在需要较厚的有机半导体膜614b的情况下，将图58(a)以及(b)的工艺重复实行需要的次数，如图58(c)所示的那样，形成足够厚度的有机半导体膜641B。通过空穴注入层641A和有机半导体膜641B形成发光元件641。最后，如图58(d)所示的那样，在显示基板621的表面整体或者呈带状形成反射电极652。

这样，在本实施例中，将配置发光元件641的处理位置从四面围住地形成信号线632、通用配线633等的配线的同时，将这些配线比通常厚地形成、从而形成段差611，而且由于选择性地涂敷液体状的前驱体612A和液体状的有机荧光材料612B，所以具有发光元件641的图案精度高的优点。

而且，形成段差611，则反射电极652就在相对比较凹凸不平的较大的面上形成，但是如果将该反射电极652的厚度适当加厚，那么产生断线等问题的可能性极小。

而且，由于利用信号线632和通用配线633等配线形成段差611，因此不会特别增加新的工序，所以不会导致制造工艺的很大程度的复杂化。

并且，形成发光元件641的上层部的光学材料不局限于有机荧光材料612B，也可以为无机荧光材料。

而且，作为开关元件的各晶体管643、644希望利用由600℃以下的低温工艺形成的多晶硅形成，通过这样基于玻璃基板的使用的低成本化、和基于高移动度的高性能化都能够得以实现。并且，开关元件也可以利用非晶质硅或者用600℃以上的高温工艺形成的多晶硅形成。

而且，也可以为在开关薄膜晶体管643和电流薄膜晶体管644之外设置晶体管的形式。或者也可以为利用一个晶体管驱动的形式。

而且，段差611也可以通过被动矩阵型显示元件的第1总线配线、有效矩阵大型显示元件的扫描线631和遮光层形成。

并且，作为发光元件641，也可以省略发光效率(空穴注入率)稍低的空穴注入层641A。而且，也可以取代空穴注入层641A而在有机半导体膜641B和反射电极652之间形成电子注入层，或者也可以同时形成空穴注入层和电子注入层。

而且，在上述实施例中，虽然特别以彩色显示为题就选择性地配置有各发光元件641整体的情况进行了说明，但是例如在单色显示的显示装置600的情况下，如图59所示的那样，有机半导体膜641B也可以同样地在显示基板621的整个面上形成。但是，由于即使在这种情况下，为了防止失真，空穴注入层641A也必须选择性地配置在各规定位置，所以利用段差611进行的涂敷极其有效。

(2)第2实施例

图60为表示本发明的第2实施例的图，该实施例适用于采用EL显示元件的被动矩阵型的显示装置。

并且，图60(a)为表示多个第1总线配线750、和设置在与此垂直相交的方向上的多个第2总线配线760的配置关系的图，图60(b)为图60(a)的B-B剖视图。

并且，对与上述的第1实施例相同的构造赋予相同的符号，省略其重复说明。而且，由于细的制造工艺等也与上述的第1实施例相同，所以省略其图示和说明。

也就是说，在本实施例中，以围住配置发光元件641的规定位置的形态，配置着例如SiO₂等的绝缘膜770，通过这样，在规定位置和其周围之间形成段差611。

这样的构造，与上述第1实施例相同，具有在选择性地涂敷液体状的前驱体612A和液体状的有机荧光材料612B时，能够防止向周围流出，能够进行高精度的图案形成等优点。

(3)第3实施例

图61为表示本发明的第3实施例的图，该实施例也与上述的第1实施例相同，适用于采用EL显示元件的有效矩阵型的显示装置。更具体地说，为通过利用像素电极642形成段差611，能够进行高精度的图案形成的装置。

并且，对与上述的施形态相同的构造赋予相同的符号。而且，图61为表示制造工艺的中间工序的剖视图，其前后工序与上述的第1实施例大致相同，所以省略其图示和说明。

也就是说，在本实施例中，将像素电极642比通常厚地形成，通过这样与其周围之间形成段差611。就是说，在本实施例中，形成后面涂敷光学材料的像素电极642比其周围高的凸起型的段差。

而且，与上述第1实施例相同，通过喷墨头方式排出用于形成与发光元件641的下层部接触的空穴注入层的液体状(溶解在溶媒中的溶液状)的光学材料(前驱体)612A，涂敷在像素电极642上表面。

但是，与上述的第1实施例的情况不同，以将显示基板621上下倒过来的状态、即以将涂敷液体状的前驱体612A的像素电极642的上表面朝向下方的状态，进行液体状的前驱体612A的涂敷。

这样，液体状的前驱体612A就通过重力和表面张力积存在像素电极642的上表面，不向周围扩散。所以，进行加热或光照射等、使之固体化，就能够形成与图57(b)同样的薄的空穴注入层，重复进行则形成空穴注入层。用同样的手法也能够形成有机半导体膜。

这样，在本实施例中，能够利用凸起型的段差611涂敷液体状的光穴材料，提高发光元件的图案形成精度。

并且，也可以利用离心力等惯性力，调整积存在像素电极642的上表面的液体状的光学材料的量。

(4)第4实施例

图62为表示本发明的第4实施例的图，该实施例也与上述的第1实施例相同，适用于采用EL显示元件的有效矩阵型的显示装置。并且，对与上述的施形态相同的构造赋予相同的符号。而且，图62为表示制造工艺的中间工序的剖视图，其前后工序与上述的第1实施例大致相同，故省略其图示和说明。

也就是说，在本实施例中，首先在表示基板621上形成反射电极652，然后，在反射电极652上以围住后面配置发光元件641的规定位置形态形成绝缘膜770，通过这样形成规定位置比其周围低的凹下型的段差611。

而且，与上述第1实施例同样地，通过在被段差611围住的区域内利用喷墨方式选择性地涂敷光学材料，形成发光元件641。

另一方面，在剥离用基板622上，通过剥离层651形成扫描线631、信号线632、像素电极642、开关薄膜晶体管643、电流薄膜晶体管644以及绝缘膜740。

最后，在显示基板621上复制从剥离用基板622上的剥离层剥离的构造。

这样，因为在本实施例中，利用段差611涂敷液体状的光学材料，所以能够进行高精度的图案形成。并且在本实施例中，能够减轻由后面的工序造成的对发光元件641等底层材料的损坏，或者由光学材料的涂敷造成的对扫描线631、信号线632、像素电极642、开关薄膜晶体管643、电流薄膜晶体管644或绝缘膜740的损坏。

虽然在本实施例中说明了有效矩阵型显示元件，但是也可以为被动矩阵型显示元件。

(5)第5实施例

图63为表示本发明的第5实施例的图，该实施例也与上述的第1实施例相同，适用于采用EL显示元件的有效矩阵型的显示装置。并且，对与上述的施形态相同的构造赋予相同的符号。而且，图63为表示制造工艺的中间工序的剖视图，其前后工序与上述的第1实施例大致相同，故省略其图示和说明。

也就是说，在本实施例中，利用层间绝缘膜740形成凹型的段差611，通过这样得到与上述第1实施例相同的作用效果。

而且，由于利用层间绝缘膜740形成段差611，所以不会特别增加新的工序，所以不会导致制造工艺的很大程度的复杂化。

(6)第6实施例

图64为表示本发明的第6实施例的图，该实施例也与上述的第1实施例相同，适用于采用EL显示元件的有效矩阵型的显示装置。并且，对与上述的施形态相同的构造赋予相同的符号。而且，图64为表示制造工艺的中间工序的剖视图，其前后工序与上述的第1实施例大致相同，故省略其图示和说明。

也就是说，在本实施例中，不是利用段差提高图案形成精度，而是通过使涂敷液体状的光学材料的规定位置的亲水性比其周围的亲水性相对增强，使被涂敷的液体状的光学材料不向周围扩散。

具体如图64所示的那样，在形成层间绝缘膜740后，在其上面形成非晶质硅层653。由于非晶质硅层653比形成像素电极642的ITO相对地防水性强，所以在这里形成为像素电极642表面的亲水性比其周围的亲水性相对较强的防水性、亲水性的分布。

而且，与上述第1实施例相同，通过利用喷墨方式向像素电极642的上面选择性地涂敷液体状的光学材料，形成发光元件641，最后形成反射电极。

这样，由于在本实施例中，形成所希望的防水性、亲水性的分布后涂敷液体状的光学材料，所以能够提高形成图案的精度。

并且，在本实施例的情况下，当然也适用于被动矩阵型显示元件。

而且，也可以将通过剥离层651在剥离用基板621上形成的构造包含在向显示基板621复制的工序中。

并且，虽然在本实施例中，通过非晶质硅层653形成所希望的防水性、亲水性的分布，但是也可以通过金属、阳极氧化膜、聚酰亚胺或者氧化硅等的绝缘膜、其它材料形成防水性、亲水性的分布。并且，如果是被动矩阵型显示元件可以通过第1总线配线、如果是有效矩阵型显示元件可以通过扫描线631、信号线632、像素电极642、绝缘膜740或遮光层形成。

而且，虽然在本实施例中，以液体状的光学材料是水溶液为前提进行了说明，但是也可以为使用其它液体的溶液的液体状的光学材料，在这种情况下，能够得到相对于该溶液的防液性、亲液性即可。

(7)第7实施例

本发明的第7实施例，断面构造和上述第5实施例使用的图63相同，所以使用该图进行说明。

也就是说，在本实施例中，用SiO₂形成层间绝缘膜740的同时，在其表面上照射紫外线，然后使像素电极642表面露出，然后选择性地涂敷液体状的光学材料。

这样的制造工艺中，由于不仅形成段差611，而且沿着层间绝缘膜740表面形成防液性较强的分布，所以涂敷的光学材料通过段差611和层间绝缘膜740的防液性的两种作用，很容易积存在规定位置。就是说，因为发挥了上述第5实施例和上述第6实施例的两种作用，所以能够进一步提高发光元件641的图案形成精度。

并且，照射紫外线的时机在使像素电极642露出之前或之后均可，根据形成层间绝缘膜740的材料、和形成像素电极642的材料适当选择即可。顺便说一下，因为在使像素电极642的表面露出前照射紫外线的情况下，段差611的内壁表面防液性不强，所以对于在被段差611包围的区域积存液体状的光学材料有利。与此相反，在使像素电极642的表面露出后照射紫外线的情况下，虽然为使段差611的内壁表面的防液性不致增强而需要垂直照射紫外线，但是由于露出像素电极642、进行蚀刻工序之后照射紫外线，所以具有不需要担心由于该蚀刻工序而削弱防液性的优点。

而且，作为形成层间绝缘膜740的材料，例如可以采用光敏保护膜，或者也可以采用聚酰亚胺，如果是这些材料，则有能够通过旋转涂层形成膜的优点。

而且，根据形成层间绝缘膜740的材料，也可以不照射紫外线，而通过照射O₂、CF₃、Ar等的等离子体来增强防液性。

(8)第8实施例

图65为表示本发明的第8实施例的图，该实施例也与上述的第1实施例相同，适用于采用EL显示元件的有效矩阵型的显示装置。并且，对与上述的施形态相同的构造赋予相同的符号。而且，图65为表示制造工艺的中间工序的剖视图，其前后工序与上述的第1实施例大致相同，故省略其图示和说明。

即在本实施例中，不是利用段差或防液性、亲液性的分布来提高图案形成精度，而是通过基于电位的引力或斥力提高图案形成精度。

就是说，如图65所示的那样，通过驱动信号线632和通用馈电线633，并且将未图示的晶体管适当接通、断开，形成像素电极642处于负电位、层间绝缘膜740处于正电位的电位分布。然后，通过喷墨方式将带正电的液体状的光学材料612选择性地涂敷到规定位置。

这样，在本实施例中，在显示基板621上形成所希望的电位分布，利用该电位分布、和与带正电的液体状的光学材料612之间的引力以及斥力选择性地涂敷液体状的光学材料，所以能够提高形成图案的精度。

特别是在本实施例中，由于使液体状的光学材料612带电，不仅利用自发极化液利用带电电荷，通过这样提高图案形成的精度的效果更佳。

虽然在本实施例中，表示了适用于有效矩阵型显示元件的情况，但是也可以适用于被动矩阵型显示元件。

并且，也可以将通过剥离层651在剥离用基板621上形成的构造包含在向显示基板621复制的工序中。

而且，在本实施例中，所希望的电位分布通过在扫描线631上顺序外加电位，同时在信号线632以及通用线633上外加电位，经由开关薄膜晶体管643和电流薄膜晶体管644在像素电极642上外加电位而形成。通过由扫描线631、信号线632、通用线633以及像素电极642形成电位分布，能够控制工序的增加。并且，如果是被动矩阵型显示元件，则电位分布能够通过第1总线配线和遮光层形成。

并且，在本实施例中，虽然向像素电极642、和其周围的层间绝缘膜740都施加电位，但是并不局限于此，例如也可以如图66所示的那样，不向像素电极642施加电位，而仅向层间绝缘膜740施加正电位，然后使液体状的光学材料612带正电后进行涂敷。这样，则由于在涂敷后液体状的光学材料612也能够确实可靠地位置带正电的状态，所以能够通过与周围的层间绝缘膜740之间的斥力更加确实可靠地防止液体状的光学材料612向周围流出。

同样地，本实施例的头单元能够适用于电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法以及电泳显示装置的制造方法等。

在电子发射装置的制造方法中，在多个液滴排出头中导入R、G、B各种颜色的荧光材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出荧光材料，在电极上形成多个荧光体。并且电子发射装置为包含FED(场致发射显示器)的内涵很广的概念。

在PDP装置的制造方法中，在多个液滴排出头中导入R、G、B各种颜色的荧光材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出荧光材料，在背面基板上的多个凹部中分别形成荧光体。

在电泳显示装置的制造方法中，在多个液滴排出头中导入各种颜色的泳动体材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出墨水材料，在电极上的多个凹部中分别形成泳动体。并且，由带电粒子和染料构成的泳动体最好被封入微型密封容器中。

另一方面，本实施例的头单元也能够适用于间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法以及光扩散体形成方法等。

间隔形成方法为形成在2个基板之间构成微小的网格间隙的多个粒子状的间隔的方法，在多个液滴排出头中导入构成间隔的粒子材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出粒子材料，在至少一边的基板上形成间隔。例如，在构成上述的液晶显示装置和电泳显示装置中的2个基板之间的网格间隙的情况下很有效，当然能够适用于其它需要这种微小的间隙的半导体制造技术。

在金属配线形成方法中，在多个液滴排出头中导入液体状金属材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出液体状金属材料，在基板上形成金属配线。例如能够适用于连接上述的液晶显示装置的驱动器和各电极的金属配线、连接上述的有机EL装置的TFT等和各电极的金属配线。而且，在这种平面显示器之外，当然也能够适用于一般的半导体制造技术。

在透镜形成方法中，在多个液滴排出头中导入透镜材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出透镜材料，在透明基板上形成多个微型透镜。例如可以作为上述的FED装置的收敛波束用的装置使用。而且当然可以适用于各种光装置。

在保护膜形成方法中，在多个液滴排出头中导入保护膜材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出保护膜材料，在基板上形成任意形状的光敏保护膜。例如上述的各种显示装置的存储体的形成自不必说，在作为半导体制造技术的主体的光解图像法中可以广泛应用于光敏保护膜的涂敷。

光扩散体形成方法，为使用头单元的装配装置装配的头单元，在基板上形成多个光扩散体的光扩散体形成方法，在多个液滴排出头中导入光扩散材料，通过头单元使多个液滴排出头主扫描和副扫描，选择性地排出光扩散材料、形成多个光扩散体。这种情况当然也可以适用于各种光装置。

(发明效果)

如上所述的那样，根据本发明的头单元的装配装置以及装配方法，将从滑架和各液滴排出头的位置识别开始，到各液滴排出头向滑架的定位固定的一连串的作业利用单一的装置来进行，所以能够稳定地得到将多个液滴排出头以很高的定位精度装在滑架上的头单元。因此，能够提高头单元的批量生产性和可靠性。

而且，根据本发明的液滴排出头的定位装置以及定位方法，根据图像识别的结果进行定位作业(位置校正动作)，所以能够以较高的精度迅速且简单地将液滴排出头定位在滑架上。

并且，根据本发明的液滴排出头的固定装置以及固定方法，能够不作用外力而进行固定作业(固定动作)，所以能够确实可靠地防止将液滴排出头向滑架固定时的的位置偏移。

另外，根据本发明的液晶显示装置的制造方法、有机EL装置的制造方法、电子发射装置的制造方法、PDP装置的制造方法以及电泳显示装置的制造方法，由于能够采用适于各装置的过滤材料或发光材料等的液滴排出头，所以能够提高制造效率。

而且，根据本发明的滤色器的制造方法、有机EL的制造方法、间隔形成方法、金属配线形成方法、透镜形成方法、保护膜形成方法以及光扩散体形成方法，由于能够采用适于各电子装置或各光装置的过滤材料或发光材料等的液滴排出头，所以能够提高制造效率。

Claims (57)

1.一种头单元的装配装置，将分别保持在头保持构件上的多个液滴排出头通过所述头保持构件靠近临时装在单一的滑架上的头单元，以定位在所述滑架上的状态固定所述各液滴排出头，其特征在于：

配置有分别对所述滑架的位置和所述各液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和

保持所述滑架并使所述滑架在X、Y、θ轴方向上移动的移动装置，和

与所述头保持构件结合、使所述头保持构件在X、Y、θ轴方向上微小移动的校正装置，和

将所述头保持构件固定在滑架上的固定装置，和

控制所述识别装置、所述移动装置、所述校正装置以及所述固定装置的控制装置；

所述控制装置，根据识别装置的识别结果，驱动所述移动装置将所述滑架定位后，驱动所述校正装置、通过所述各头保持构件将所述各液滴排出头在所述滑架上定位，并且驱动所述固定装置、通过所述各头保持构件将所述液滴排出头固定在所述滑架上。

2.根据权利要求1所述的头单元的装配装置，其特征在于：

具有由图案形成所述滑架的位置以及装载在所述滑架上的所述各液滴排出头的位置的校准掩模；

所述控制装置，根据通过所述识别装置、由保持在所述移动装置上的所述校准掩模以及所述头单元分别得到的基础位置数据和单元位置数据，控制所述移动装置、所述校正装置以及所述固定装置。

3.根据权利要求1或2所述的头单元的装配装置，其特征在于：

所述滑架的位置识别，通过由所述识别装置分别对相互离开地设置在所述滑架上的2个基准标记进行图像识别，

所述识别装置，具有通过相对于所述滑架在X轴方向和Y轴方向中的任意一个方向的相对移动，将所述2个基准标记分别取进视野内的识别照相机。

4.根据权利要求1、2或者3所述的头单元的装配装置，其特征在于：

所述各液滴排出头的位置识别，是由所述识别装置分别对在所述液滴排出头的喷嘴形成面上形成的喷嘴列中的相互离开的2个喷嘴进行图像识别，所述识别装置具有分别将所述2个喷嘴同时取进视野内的2个识别照相机。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的头单元的装配装置，其特征在于：

所述液滴排出头，以喷嘴形成面朝上的状态、通过所述头保持构件悬挂地临时装在所述滑架上，

所述移动装置，具有X、Y、θ轴移动工作台，和固定在所述X、Y、θ轴移动工作台的θ轴移动工作台上、以所述液滴排出头朝上的状态保持所述滑架的安装构件。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的头单元的装配装置，其特征在于：

在所述头保持构件上，形成有与所述校正装置结合、并且相互离开设置的2个结合孔，

所述校正装置，具有X、Y、θ轴移动工作台，和安装在所述X、Y、θ轴移动工作台的θ轴移动工作台上的Z轴移动工作台，和安装在所述Z轴移动工作台上、与所述头保持构件的2个结合孔结合的一对结合臂。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的头单元的装配装置，其特征在于：

所述固定装置，具有在所述头保持构件和所述滑架之间涂敷粘接剂的粘接剂涂敷机构，和使所述粘接剂涂敷机构在X、Y、Z轴方向上移动的移动工作台。

8.一种头单元的装配装置，使多个液滴排出头靠近临时装在单一滑架上的头单元并以定位在所述滑架上的状态固定所述各液滴排出头，其特征在于：

配置有分别对所述滑架的位置和所述各液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和

在保持所述滑架的同时使其在X、Y、θ轴方向上移动的移动装置，和

与所述液滴排出头结合、使所述液滴排出头在X、Y、θ轴方向上微小移动的校正装置，和

将所述液滴排出头固定在所述滑架上的固定装置，和

控制所述识别装置、所述移动装置、所述校正装置以及所述固定装置的控制装置；

所述控制装置，根据识别装置的识别结果，在驱动所述移动装置将所述滑架定位后，驱动所述校正装置、将所述各液滴排出头在所述滑架上定位，并且驱动所述固定装置、将被定位的所述各液滴排出头固定在所述滑架上。

9.一种头单元的装配方法，将分别保持在头保持构件上的多个液滴排出头通过所述头保持构件靠近临时装在单一的滑架上的头单元、以定位在所述滑架上的状态固定所述各液滴排出头，其特征在于：

具有对所述滑架的位置进行图像识别的滑架识别工序，和

根据所述滑架识别工序的识别结果、定位所述滑架的滑架定位工序，和

对所述各液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和

根据所述头识别工序的识别结果、通过所述各头保持构件将所述各液滴排出头在所述滑架上定位的头定位工序，和

将所述定位的所述各头保持构件固定在所述滑架上的固定工序。

10.根据权利要求9所述的头单元的装配方法，其特征在于：

将所述头识别工序、所述头定位工序以及所述固定工序按照该工序顺序、以所述液滴排出头的个数重复进行。

11.根据权利要求9或10所述的头单元的装配方法，其特征在于：

所述固定工序，利用粘接剂将所述头保持构件粘接在所述滑架上进行，

并且具有在所述固定工序之后、将所述头保持构件机械固定在所述滑架上的正式固定工序。

12.根据权利要求9、10或11所述的头单元的装配方法，其特征在于：

备有由图案形成所述滑架的位置以及装载在所述滑架上的所述各液滴排出头的位置的校准掩模，

所述滑架定位工序以及所述头定位工序，根据在相同条件下分别从所述校准掩模以及所述头单元得到的基础位置数据以及单元位置数据分别进行。

13.一种头单元的装配方法，使多个液滴排出头靠近临时装在单一滑架上的头单元、以定位在所述滑架上的状态固定所述各液滴排出头，其特征在于：

具有对所述滑架的位置进行图像识别的滑架识别工序，和

根据所述滑架识别工序的识别结果、将所述滑架定位的滑架定位工序，和

对所述各液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和

根据所述头识别工序的识别结果、将所述各液滴排出头在所述滑架上定位的头定位工序，和

将所述定位的所述各液滴排出头固定在所述滑架上的固定工序。

14.一种液滴排出头的定位装置，在把保持在头保持构件上的液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，通过所述头保持构件、将临时装在所述滑架上的所述液滴排出头定位在所述滑架上，其特征在于：

具有对所述液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和

与所述头保持构件结合、使所述头保持构件在X、Y、θ轴方向上相对地微小移动的校正装置，和

控制所述识别装置以及所述校正装置的控制装置；

所述控制装置，根据所述识别装置的识别结果、驱动所述校正装置，通过所述头保持构件将所述液滴排出头定位在所述滑架上。

15.根据权利要求14所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

具有由图案形成所述液滴排出头相对于所述滑架的位置的校准掩模；

所述控制装置，根据通过所述识别装置从所述校准掩模得到的基础位置数据和从所述液滴排出头得到的头位置数据，控制所述校正装置。

16.根据权利要求14或15所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

所述液滴排出头的位置识别，通过所述识别装置分别对在该液滴排出头的喷嘴形成面上形成的喷嘴列中相互离开的2个喷嘴进行图像识别，

所述识别装置，具有分别将所述2个喷嘴同时取进视野内的2个识别照相机。

17.根据权利要求16所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

所述识别装置，具有能够调节所述2个识别照相机的相互的视野之间的尺寸的视野间调节机构。

18.根据权利要求14至17中任意一项所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

在所述头保持构件上，形成有与所述移动装置结合、并且相互离开设置的2个结合孔，

所述校正装置，具有X、Y、θ轴移动工作台，和

安装在所述X、Y、θ轴移动工作台的θ轴移动工作台上的Z轴移动工作台，和

安装在所述Z轴移动工作台上、与所述头保持构件的2个结合孔结合的一对结合臂。

19.根据权利要求18所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

所述X、Y、θ轴移动工作台的X轴移动工作台以及Y轴移动工作台，分别具有构成驱动源的线性电机，和引导移动的气动滑块。

20.根据权利要求18或19所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

所述各结合臂的前端部，具有插入所述各结合孔的结合销，

所述结合销的前端部被形成为前端一侧比所述结合孔直径细、末端一侧比所述结合孔的直径粗的锥形形状。

21.根据权利要求20所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

所述各结合臂，进而具有将所述结合销在其轴向上进退自如地保持的销支架，和对所述结合销向凸出方向施力的弹簧。

22.根据权利要求18至21中任意一项所述的液滴排出头的定位装置，其特征在于：

所述头保持构件的2个结合孔，一个形成为圆形，另一个形成为椭圆形。

23.一种液滴排出头的定位装置，在把液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，将临时装在所述滑架上的所述液滴排出头定位在所述滑架上，其特征在于：

具有对所述液滴排出头的位置进行图像识别的识别装置，和

与所述液滴排出头结合、使所述液滴排出头在X、Y、θ轴方向上相对地微小移动的校正装置，和

控制所述识别装置以及所述校正装置的控制装置；

所述控制装置，根据所述识别装置的识别结果、驱动所述校正装置，将所述液滴排出头定位在所述滑架上。

24.一种头单元的装配装置，其特征在于：

配置有权利要求14至23中任意一项所述的液滴排出头的定位装置。

25.一种液滴排出头的定位方法，在把装载在头保持构件上的液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，通过所述头保持构件、将临时装在所述滑架上的所述液滴排出头定位在所述滑架上，其特征在于：

具有对所述液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和

根据所述头识别工序的识别结果、通过所述头保持构件将所述液滴排出头定位在所述滑架上的头定位工序。

26.根据权利要求25所述的液滴排出头的定位方法，其特征在于：

备有由图案形成装载在所述滑架上的所述各液滴排出头的位置的校准掩模，

所述头定位工序，根据在相同条件下分别从所述校准掩模以及所述液滴排出头得到的基础位置数据以及头位置数据进行。

27.一种液滴排出头的定位方法，在把液滴排出头向装载液滴排出头的滑架固定之前，将临时装在所述滑架上的所述液滴排出头定位在所述滑架上，其特征在于：

具有对所述液滴排出头的位置进行图像识别的头识别工序，和

根据所述头识别工序的识别结果，将所述液滴排出头定位在所述滑架上的头定位工序。

28.一种液滴排出头的固定装置，将装载在头保持构件上的液滴排出头、以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定，其特征在于：

具有保持所述滑架的滑架保持装置，和

通过所述头保持构件、将所述液滴排出头以定位在所述滑架上的状态保持的头保持装置，和

以该状态在所述头保持构件和所述滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入装置。

29.根据权利要求28所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

所述头保持装置，兼作通过所述头保持构件、将所述液滴排出头定位在所述滑架上的定位装置。

30.根据权利要求28或者29所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

在所述头保持装置上装入有计时器，所述头保持装置，在注入所述粘接剂后、在所述粘接剂达到规定的粘接强度的时间内，以定位的状态保持所述液滴排出头。

31.根据权利要求28、29或30所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

所述粘接剂注入装置，具有在所述头保持构件和所述滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入机构，和

使所述粘接剂注入机构在X、Y、Z轴方向上移动的移动工作台。

32.根据权利要求31所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

所述移动工作台的X轴移动工作台、Y轴移动工作台和Z轴移动工作台，其驱动源都分别由气缸构成。

33.根据权利要求31或32所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

在夹着所述液滴排出头的喷嘴形成面的所述头保持构件和所述滑架的接触部上，形成有穿过该接触部的一对粘接剂注入孔，

所述粘接剂注入机构，具有与所述的一对粘接剂注入孔对应的一对粘接剂注入喷嘴。

34.根据权利要求33所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

所述头保持构件的所述的一对粘接剂注入孔，在X轴方向或者Y轴方向上稍微离开地形成为2组，

与之相对应，所述移动工作台的X轴移动工作台或者Y轴移动工作台，具有将所述粘接剂注入机构以所述的离开的尺寸往复移动的副工作台。

35.根据权利要求33或34所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

所述各粘接剂注入孔的所述滑架一侧的端部有倒角。

36.根据权利要求33、34或35所述的液滴排出头的固定装置，其特征在于：

所述各粘接剂注入喷嘴，相对于Z轴倾斜，所述各粘接剂注入孔在所述倾斜的方向上形成较长的长孔。

37.一种液滴排出头的固定装置，将液滴排出头以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定，其特征在于：

具有保持所述滑架的滑架保持装置，和

将所述液滴排出头以定位在所述滑架上的状态保持的头保持装置，和

以该状态在所述液滴排出头和所述滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入装置。

38.一种头单元的装配装置，其特征在于：

具有权利要求28至37中任意一项所述的液滴排出头的固定装置。

39.一种液滴排出头的固定方法，将装载在头保持构件上的液滴排出头、以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定，其特征在于：

具有通过所述头保持构件将所述液滴排出头以定位在所述滑架上的状态保持的头保持工序，和

以该状态在所述头保持构件和所述滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入工序。

40.一种液滴排出头的固定方法，将液滴排出头以定位在装载液滴排出头的滑架上的状态固定，其特征在于：

具有将所述液滴排出头以定位在所述滑架上的状态保持的头保持工序，和

以该状态在所述液滴排出头和所述滑架之间注入粘接剂的粘接剂注入工序。

41.一种液晶显示装置的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在滤色器的基板上形成多个滤清单元的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的过滤材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述过滤材料、形成多个所述滤清单元。

42.一种有机EL装置的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上的多个像素单元上分别形成EL发光层，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的发光材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述发光材料、形成多个所述EL发光层。

43.一种电子发射装置的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元，、电极上形成多个荧光体，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的荧光材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述电极进行相对扫描，选择性地排出所述荧光材料、形成多个所述荧光体。

44.一种PDP装置的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的荧光材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述背面基板进行相对扫描，选择性地排出所述荧光材料、形成多个所述荧光体。

45.一种电泳显示装置的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在电极上的多个凹部形成泳动体，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的泳动体材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述电极进行相对扫描，选择性地排出所述泳动体材料、形成多个所述泳动体。

46.一种滤色器的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、制造由在基板上排列多个滤清单元构成的滤色器，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的过滤材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述过滤材料、形成多个所述滤清单元。

47.根据权利要求46所述的滤色器的制造方法，其特征在于：

所述的多个滤清单元，被收容在由设置在所述基板上的凸起状的存储体形成的凹部内，

在形成所述滤清单元之前，向所述多个液滴排出头中导入存储体材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述存储体材料、形成所述存储体。

48.根据权利要求47所述的滤色器的制造方法，其特征在于：

形成有覆盖所述多个滤清单元以及所述存储体的外涂层膜，

在形成所述滤清单元后，向所述多个液滴排出头中导入透光性的涂敷材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述涂敷材料、形成所述外涂层膜。

49.一种有机EL的制造方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、将包含EL发光层的多个复数像素单元排列在基板上而形成，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入各种颜色的发光材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述发光材料、形成多个所述EL发光层。

50.根据权利要求49所述的有机EL的制造方法，其特征在于：

所述多个EL发光层，被收容在由设置在所述基板上的凸起状的存储体形成的凹部内，

在形成所述EL发光层之前，向所述多个液滴排出头中导入存储体材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述存储体材料、形成所述存储体。

51.根据权利要求50所述的有机EL的制造方法，其特征在于：

在所述多个EL发光层和所述基板之间，与所述EL发光层相对应形成有多个像素电极，

在形成所述存储体之前，向所述多个液滴排出头中导入液态电极材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述液态电极材料、形成多个所述像素电极。

52.根据权利要求51所述的有机EL的制造方法，其特征在于：

以覆盖所述多个EL发光层和所述存储体的形式形成对向电极，

在形成所述EL发光层后，向所述多个液滴排出头中导入液态电极材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述液态电极材料、形成所述对向电极。

53.一种间隔形成方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在2个基板之间形成构成微小的单元间隙的多个粒子状的间隔，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入构成间隔的粒子材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述粒子材料、在至少一方的所述基板上形成所述间隔。

54.一种金属配线形成方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成金属配线，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入液态金属材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述液态金属材料、形成所述金属配线。

55.一种透镜形成方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成多个微透镜，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入透镜材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述透镜材料、形成多个所述微透镜。

56.一种保护膜形成方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成任意形状的保护膜，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入保护膜材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述保护膜材料、形成所述保护膜。

57.一种光扩散体形成方法，使用通过权利要求1至8中任意一项所述的头单元的装配装置装配的头单元、在基板上形成多个光扩散体，其特征在于：

向所述多个液滴排出头中导入光扩散材料，

通过所述头单元使所述多个液滴排出头对所述基板进行相对扫描，选择性地排出所述光扩散材料、形成多个所述光扩散体。

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