CN1943879A

CN1943879A - 膜图案的形成方法以及电子设备的制造方法

Info

Publication number: CN1943879A
Application number: CN200610151641.2A
Authority: CN
Inventors: 酒井宽文; 田中贵也
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-09-08
Filing date: 2006-09-07
Publication date: 2007-04-11

Abstract

本发明的膜图案的形成方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液(L)配置到基体(P)上并干燥所述功能液(L)，来形成由所述功能性材料构成的膜图案(F)，该方法具有：在形成有所述膜图案(F)的所述基体(P)的有效区域(T_E)和所述有效区域(T_E)的周围的非有效区域(T1、T2、T3)形成液体容纳部(P_E、P_D)的工序，在形成于所述有效区域(T_E)的所述液体容纳部(P_E)配置所述功能液(L)的工序，和在形成于所述非有效区域(T1、T2、T3)的所述液体容纳部(P_D)配置所述功能液(L)或所述溶剂的工序，在距离所述有效区域(TE)的中心部(C)越远的区域，在所述非有效区域(T1、T2、T3)的所述液体容纳部(P_D)配置的所述溶剂的量越多。本发明提供一种可在基板面内形成均匀膜厚图案的膜图案的形成方法。

Description

膜图案的形成方法以及电子设备的制造方法

技术领域

本发明涉及膜图案的形成方法、有机EL装置的制造方法、滤色器基板的制造方法、液晶显示装置的制造方法。

背景技术

近年来，正在开发一种通过将有机荧光材料等功能性材料油墨化并将该油墨(功能液)喷吐到基体上的液滴喷出法，并采用进行功能性材料的图案形成的方法，形成在一对电极之间夹持由该功能性材料构成的功能层的有机电致发光装置(以下称作有机EL装置)，特别是正在开发一种使用有机发光材料作为功能性材料的有机EL装置(例如参考专利文献1～4)。而且，对该油墨(功能液)的干燥方法也正在进行开发(例如参照专利文献6～8)。

作为上述的功能性材料的图案形成法，可以采用下述的方法，即，在形成于基体上的由ITO等构成的像素电极的周围形成被称作围堰的隔壁，接着，在对像素电极以及与该像素电极邻接的所述围堰的一部分进行亲液性处理，并对围堰的其余部分进行疏液性处理之后，通过使含有功能层的构成材料的油墨喷吐到像素电极并使其干燥，而在该像素电极上形成功能层。具体而言，其公知的方法是，使用具有沿着副扫描方向排列多个喷嘴而构成的喷嘴列的液滴喷头，一边相对于基体沿主扫描方向扫描该液滴喷头，一边从所述喷嘴喷出油墨，由此，在像素电极上形成功能层。由于该方法能够将微等级的液滴配置到像素区域，所以，如果考虑材料的利用效率，则与旋涂法等方法相比是有效的。

但是，在配置有像素电极的显示区域(有效区域)中的周边部，有时会存在从油墨蒸发的溶剂分子的分压比该显示区域的中央部少的情况。如果发生这样的现象，则在周边部溶剂的蒸发速度会极端加快，其结果，在所制造的有机EL装置中，存在着可能产生功能层的膜厚不均或在一个像素内的膜的偏倚(膜的截面形状处于倾斜的状态)。产生了这种膜厚不均的有机EL装置，其特性降低，在将其作为显示装置等而使用的情况下，还会产生显示不均。因此，为了解决所述课题，开发了例如专利文献5那样的技术。

专利文献1：特开平11-54270号公报

专利文献2：特开2001-291587号公报

专利文献3：特开2004-31360号公报

专利文献4：特开2004-127897号公报

专利文献5：特开2002-222695号公报

专利文献6：特开2003-245582号公报

专利文献7：特开2004-311206号公报

专利文献8：特开2004-330136号公报

上述专利文献5所公开的技术，是在显示区域的外侧形成不利于显示的虚设区域(非有效区域)，通过在该虚设区域上也涂敷与功能层相同的油墨，来减小显示区域内的溶剂分子分压的偏差。通常，在虚设区域形成与显示区域相同的图案的围堰，并在该围堰的开口部涂敷油墨。根据该方法，由于在显示区域的中央部和周边部溶剂的干燥等速进行，所以，有可能形成没有功能层的膜厚不均与膜的偏倚的高质量膜。

由于喷吐在虚设区域的油墨不用于形成显示用的像素，所以，与形成在显示区域的像素(有效像素)区分开来，其被称作虚设像素。为了防止上述那样的膜厚不均的发生，需要至少形成数列到数十列的虚设像素，但是，由于以往是以和有效像素相同的间距、相同的图案形成所有的虚设像素，所以，仅通过与显示区域同样地涂敷油墨，有时不一定能够完全消除膜厚的不均。即，由于喷吐到基体的油墨的干燥以同心圆状从周边进行，所以，例如在设置成矩形的显示区域的角部，有时溶剂的干燥速度会比其他的部分快，由此，有时无法充分回避膜厚不均的产生。

发明内容

本发明鉴于这样的事实而提出，其目的在于，提供能够在基板面内形成膜厚均匀的图案的膜图案形成方法以及有机EL装置的制造方法、滤色器基板的制造方法、液晶显示装置的制造方法。

为了解决上述课题，本发明的膜图案的形成方法，其特征在于，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上，并使所述功能液干燥，来形成由所述功能性材料构成的膜图案，其具有：在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，在形成于所述有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序；距离所述有效区域的中心部越远的区域，配置在所述非有效区域的所述液体容纳部中的所述溶剂的量越多。

根据该方法，由于距离有效区域的中心部越远的区域，配置在非有效区域的液体容纳部中的溶剂的量越多，所以，即使在干燥快速进行的有效区域的角部等处，溶剂分子的分压也不会急剧降低，能够使蒸发溶剂分子的分压在整个有效区域均匀化。即，由于在现有的方法中，只是对形成为相同间距、相同尺寸的液体容纳部配置了相同量的溶剂，所以，在距离中心部最远的有效区域的角部处，溶剂会快速干燥，而在本发明中，由于在干燥迅速、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效区域的角部等区域处，增加了溶剂的量，使得有效区域内溶剂的持续时间不会发生偏倚，所以，在整个有效区域，干燥速度变得均匀，可以形成无膜厚不均或膜偏倚等的高质量膜。

在本发明中，可以根据距离所述有效区域中心部的距离，以三个以上等级使配置在所述非有效区域的所述液体容纳部中的所述溶剂的量发生变化。根据该方法，可以形成进一步使干燥不均减少的膜图案。

在本发明中，可以在设置成矩形的所述有效区域的角部，使配置在所述非有效区域的所述液体容纳部中的所述溶剂的量最多。

根据该方法，可以消除以往最成为问题的、有效区域角部的膜厚不均匀性，由此，可以遍布有效区域整体形成均匀的膜。

在本发明中，可以将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

根据该方法，由于通过隔壁规定了膜图案的形状，所以，例如通过缩小邻接的隔壁之间的宽度，来恰当地形成隔壁，可以实现膜图案的微细化或细线化。

在本发明中，可以将所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸，和所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸形成为大致相同的尺寸。根据该方法，能够以和向有效区域进行配置相同的条件，进行将液状体或溶剂向非有效区域的配置。

在本发明中，可以使所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸，比所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸更大。

根据该方法，可以对非有效区域的液体容纳部配置足够量的溶剂。

在本发明中，距离所述有效区域的中心部越远的区域，所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸越大。

根据该方法，由于形成了能够配置更多溶剂的液体容纳部，即越在远离有效区域的中心部的液体容纳部越形成较大的尺寸，所以，可以避免在这些远离有效区域中心部的液体容纳部中溶剂溢出等不良情况的发生。而且，由于配置在液体容纳部的溶剂通过流动会润湿扩展至液体容纳部的尺寸，所以，在干燥迅速、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效区域的角部等区域处，可以得到更大的溶剂的表面积。虽然溶剂分子的分压依赖于所喷出的溶剂的表面积，表面积越大所蒸发的溶剂分子的分压越大，但是，在本发明中，由于通过液体容纳部的尺寸以及溶剂的量调节溶剂的表面积，由此，在有效区域内能够使溶剂分子的分压不产生偏倚，所以，可以形成均匀性更好的膜。

在本发明中，能够以大致相同的间隔，形成所述有效区域的所述液体容纳部的间隔(排列间距)、和所述非有效区域的所述液体容纳部的间隔。

根据该方法，能够以相同于向有效区域进行配置的情况的条件，进行将功能液或溶剂向非有效区域的配置。特别是在通过液滴喷出法喷出功能液或溶剂的情况下，由于不在有效区域和非有效区域改变喷出间距而可以连续进行喷出，所以，可使工序简单。

在本发明中，可以将所述非有效区域的所述液体容纳部，沿着所述有效区域的外周至少形成两列以上。

根据该方法，可以进一步确实可靠地防止干燥不均。

在本发明中，可以通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

根据该方法，与旋涂法等其它的涂敷技术相比，通过使用液滴喷出法会减少液体材料的消耗浪费，容易对配置在基体上的液体材料的量或位置进行控制。

本发明的有机EL装置的制造方法，其特征在于，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上，并使所述功能液干燥，来制造具有由所述功能性材料构成的膜图案的有机EL装置，具有：在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，在形成于所述有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序；距离所述有效区域的中心部越远的区域，在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量越多。

根据该方法，由于在干燥迅速、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效区域的角部等区域处，增加了溶剂的量，使得有效区域内溶剂的持续时间不会发生偏倚，所以，在整个有效区域，干燥速度变得均匀，可以制造具有无膜厚不均或无膜偏倚等的高质量的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以根据距离所述有效区域的中心部的距离，以三个以上等级使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量发生变化。

根据该方法，可以制造具有干燥不均更少的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以在设置成矩形的所述有效区域的角部，使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量最多。

根据该方法，可以消除以往最成为问题的、有效区域的角部的膜厚不均匀性，由此，可以制造遍布有效区域整体具有均匀的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

根据该方法，由于通过隔壁规定了膜图案的形状，所以，例如通过缩小邻接的隔壁之间的宽度等方法来恰当地形成隔壁，可以制造具有能够实现微细化或细线化的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以将所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸、和所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸形成为大致相同的尺寸。

根据该方法，能够制造具有能以相同于向有效区域进行配置的情况的条件、将液状体或溶剂向非有效区域配置的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以使所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸大于所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸。

根据该方法，可以制造具有对非有效区域的液体容纳部能够配置足够量的溶剂的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，距离所述有效区域的中心部越远的区域，所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸越大。

根据该方法，由于通过液体容纳部的尺寸以及溶剂的量调节溶剂的表面积，由此，在有效区域内能够使溶剂分子的分压不产生偏倚，所以，可以制造具有均匀性更佳的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，能够以大致相同的间隔，形成所述有效区域的所述液体容纳部的间隔、和所述非有效区域的所述液体容纳部的间隔。

根据该方法，能够制造具有以和向有效区域进行配置相同的条件、将功能液或溶剂向非有效区域配置的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以将所述非有效区域的所述液体容纳部，沿着所述有效区域的外周至少形成两列以上。

根据该方法，可以制造具有能够进一步确实可靠地防止干燥不均的膜图案的有机EL装置。

在本发明的有机EL装置的制造方法中，可以通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

根据该方法，与旋涂法等其它的涂敷技术相比，通过使用液滴喷出法会减少液体材料的消耗浪费，由此，可以制造具有能够容易地对配置在基体上的液体材料的量或位置进行控制的膜图案的有机EL装置。

本发明的滤色器基板的制造方法，其特征在于，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中的功能液配置到基体上，并使所述功能液干燥，来制造具有由所述功能性材料构成的膜图案的滤色器基板，具有：在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，在形成于所述有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序；距离所述有效区域的中心部越远的区域，在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量越多。

根据该方法，由于在干燥迅速、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效区域的角部等区域处，增加了溶剂的量，使得有效区域内溶剂的持续时间不会发生偏倚，所以，在整个有效区域，干燥速度变得均匀，可以制造具有无膜厚不均或无膜偏倚等的高质量的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以根据距离所述有效区域的中心部的距离，以三个以上等级使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量发生变化。

根据该方法，可以制造具有干燥不均更少的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以在设置成矩形的所述有效区域的角部，使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量最多。

根据该方法，可以消除以往最成为问题的、有效区域的角部的膜厚不均匀性，由此，可以制造遍布有效区域整体具有均匀的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

根据该方法，由于通过隔壁规定了膜图案的形状，所以，例如通过缩小邻接的隔壁之间的宽度等方法来恰当地形成隔壁，由此可以制造具有能够实现微细化或细线化的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以将所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸、和所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸形成为大致相同的尺寸。

根据该方法，能够制造具有能以和向有效区域进行配置相同的条件、将液状体或溶剂向非有效区域配置的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以使所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸大于所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸。

根据该方法，可以制造具有能够对非有效区域的液体容纳部配置足够量的溶剂的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，距离所述有效区域的中心部越远的区域，所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸越大。

根据该方法，由于通过液体容纳部的尺寸以及溶剂的量调节溶剂的表面积，由此，在有效区域内能够使溶剂分子的分压不产生偏倚，所以，可以制造具有均匀性更佳的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，能够以大致相同的间隔，形成所述有效区域的所述液体容纳部的间隔、和所述非有效区域的所述液体容纳部的间隔。

根据该方法，能够制造具有能以和向有效区域进行配置相同的条件、将功能液或溶剂向非有效区域配置的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以将所述非有效区域的所述液体容纳部，沿着所述有效区域的外周至少形成两列以上。

根据该方法，可以制造具有能够更确实可靠地防止干燥不均的膜图案的滤色器基板。

在本发明的滤色器基板的制造方法中，可以通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

根据该方法，与旋涂法等其它的涂敷技术相比，通过使用液滴喷出法会减少液体材料的消耗浪费，由此，可以制造具有能够容易地对配置在基体上的液体材料的量或位置进行控制的膜图案的滤色器基板。

本发明的液晶显示装置的制造方法，其特征在于，所述液晶装置具有滤色器基板，所述滤色器基板通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上并使所述功能液干燥而具有由所述功能性材料构成的膜图案，该制造方法具有：在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，在形成于所述有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液的工序，和在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序；距离所述有效区域的中心部越远的区域，在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量越多。

根据该方法，由于在干燥迅速、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效区域的角部等区域处，增加了溶剂的量，使得有效区域内溶剂的持续时间不会发生偏倚，所以，在整个有效区域，干燥速度变得均匀，从而，由于具有无膜厚不均或无膜偏倚等的高质量的膜图案的滤色器基板，所以，可以制造显示性能良好的液晶显示装置。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以根据距离所述有效区域的中心部的距离，以三个以上等级使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量发生变化。

根据该方法，可以制造具备滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有干燥不均更少的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以在设置成矩形的所述有效区域的角部，使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量最多。

根据该方法，可以消除以往最成为问题的、有效区域的角部的膜厚不均匀性，由此，可以制造具备滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板遍布有效区域整体具有均匀的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

根据该方法，由于通过隔壁规定了膜图案的形状，所以，例如通过缩小邻接的隔壁之间的宽度等方法来恰当地形成隔壁，可以制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有能够实现微细化或细线化的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以将所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸，和所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸形成为大致相同的尺寸。

根据该方法，能够制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有能以和向有效区域进行配置相同的条件将液状体或溶剂向非有效区域配置的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以使所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸大于所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸。

根据该方法，可以制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有能够对非有效区域的液体容纳部配置足够量溶剂的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，距离所述有效区域的中心部越远的区域，所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸越大。

根据该方法，由于通过液体容纳部的尺寸以及溶剂的量调节溶剂的表面积，由此，在有效区域内能够使溶剂分子的分压不产生偏倚，所以，可以制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有均匀性更佳的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，能够以大致相同的间隔，形成所述有效区域的所述液体容纳部的间隔、和所述非有效区域的所述液体容纳部的间隔。

根据该方法，能够制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有以和向有效区域进行配置的情况相同的条件、将功能液或溶剂向非有效区域配置的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以将所述非有效区域的所述液体容纳部，沿着所述有效区域的外周至少形成两列以上。

根据该方法，可以制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有能够更确实可靠地防止干燥不均的膜图案。

在本发明的液晶显示装置的制造方法中，可以通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

根据该方法，与旋涂法等其它的涂敷技术相比，通过使用液滴喷出法会减少液体材料的消耗浪费，由此，可以制造具有滤色器基板的液晶显示装置，所述滤色器基板具有能够容易地对配置在基体上的液体材料的量或位置进行控制的膜图案。

作为本发明的器件，例如是有机电致发光装置或滤色器基板等，在这些有机电致发光装置的有机功能层(发光层、电荷输送层等)或像素电极的图案、或者滤色器基板的滤色器图案的形成工序等中，优选采用本发明的膜图案形成方法。

附图说明

图1是表示本发明的膜图案形成方法的概念图。

图2是配置功能液的机构的一例，即液滴喷头的分解立体图。

图3是表示该液滴喷头的主要部分的局部立体图。

图4是包含虚设区域的基体的俯视图。

图5是表示该膜图案的形成工序的一例的工序图。

图6是表示虚设像素的其他构成的俯视图。

图7是表示在虚设像素上配置了功能液的状态的剖视图。

图8是表示虚设像素的另一个其他构成的俯视图。

图9是表示在虚设像素上配置了功能液的状态的剖视图。

图10是本发明的器件的一例，即有机EL装置的等效电路图。

图11是表示该有机EL装置的整体构成的俯视图。

图12是表示该有机EL装置的一个像素的构成的俯视图。

图13是沿着图12的A-A线的剖视图。

图14是表示该有机EL装置的制造工序的一例的工序图。

图15是继续图14的工序图。

图16是表示本发明的器件的一例，即滤色器基板的制造方法的概念图。

图17是表示该滤色器基板的制造工序的一例的工序图。

图18是实施例所涉及的样品基板的俯视图。

图19是表示对相同功能液进行干燥而得到的膜图案的轮廓的图。

图20是表示具有本发明的膜图案的电子设备的一例的立体图。

图中：70-有机电致发光装置(器件)，140A-空穴注入层(膜图案)，140B-发光层(膜图案)，B-隔壁，F-膜图案，L、L1、L2…-功能液，P-基体，P_E-有效像素(液体容纳部)，P_D-虚设像素(液体容纳部)，T_E-有效区域，T_D-非有效区域。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1是表示本发明的膜图案的形成方法的概念图。

本发明的膜图案的形成方法，通过将含有功能性材料的功能液配置在基体P上，并干燥所述功能液，在所述基体P上形成由所述功能性材料构成的膜图案。在形成有膜图案的区域中，将有效发挥膜本来的功能的一组由膜图案构成的区域称作有效区域T_E；将虽然形成有膜图案但不发挥膜本来的功能的一组由膜图案构成的区域称作非有效区域T_D。

例如，在有机EL显示装置等显示装置中，有效区域T_E是指由用于显示的一组像素构成的一个集合区域；在用于液晶显示装置等的滤色器基板中，有效区域T_E是指由用于显示的一组滤色器构成的一个集合区域。另外，在形成有多个电极或布线的基板上，是指由该多个电极或该多个布线构成的一个集合区域。本发明的膜图案的形成方法，是一种通过在这样的有效区域T_E上选择性地配置所述功能液，来形成具有所期望的形状以及功能的一组膜图案的方法。

在图1中，显示了如下所示的例子，即，将有效区域T_E作为例如由多个显示用的像素(有效像素)P_E构成的有效光学区域，采用液滴喷出法，选择性地分别对该有效光学区域T_E的多个有效像素P_E，喷吐含有功能性材料的功能液。

在图1中，符号IJ表示液滴喷出装置，符号20表示该液滴喷出装置所具备的液滴喷头，符号81表示设置在该液滴喷头上的喷嘴。在图1中，喷嘴81的排列方向J为相对有效像素P_E的排列方向X处于倾斜的状态，但是，如果排列方向J的喷嘴81的排列间距(邻接的喷嘴81的中心间隔)与X方向的有效像素P_E的排列间距(邻接的有效像素P_E的中心间隔)相同，则排列方向J被设定成与有效像素P_E的排列方向X一致的方向。液滴喷头20构成为，在与有效光学区域T_E平行的面内能够旋转角度θ，对喷嘴81的排列方向J进行控制，使得喷嘴81的X方向的排列间距(即，将喷嘴81投影到X轴时的喷嘴81的排列间距)和有效像素P_E的X方向的排列间距一致。而且，在规定了这样的排列方向J的状态下，液滴喷头20和基体P可以沿X方向或Y方向相对移动。

图2是表示液滴喷头20的一例的分解立体图。

液滴喷头20包括：具有多个喷嘴81的喷嘴板80、具有振动板85的压力室基板90、和嵌入并支撑这些喷嘴板80和振动板85的框体88。

液滴喷头20的主要部分构造如图3的局部立体图所示，成为压力室基板90被夹持在喷嘴板80和振动板85之间的结构。喷嘴板80的喷嘴81，分别与各压力室基板90被划分形成的压力室(腔室)91对应。通过对硅单晶体基板等进行蚀刻，在压力室基板90上设置多个腔室91，分别可发挥作为压力室的功能。腔室91彼此之间由侧壁92分离。各腔室91经由供给口94与作为公共流路的贮存器93连接。

在振动板85上设置有容器口86，其构成为能够通过导管从省略图示的液体材料供给容器供给任意的液体材料。在振动板85上的与腔室91对应的位置设置有压电体元件87。压电体元件87具有由上部电极和下部电极(未图示)夹持PZT元件等的压电性陶瓷晶体的构造。压电体元件87构成为，能够根据从省略图示的控制装置提供的喷出信号使体积发生变化。

为了从液滴喷头20喷出液滴，首先，控制装置将用于使液滴喷出的喷出信号提供给液滴喷头20。液滴流入到液滴喷头20的腔室91中，在被提供了喷出信号的液滴喷头20中，其压电体元件87通过施加在其上部电极和下部电极之间的电压而发生体积变化。该体积变化使振动板85变形，由此使腔室91的体积变化。结果，从该腔室91的喷嘴81喷出液滴。在喷出了液滴的腔室91中，因喷出而减少的液体材料会重新从液体材料供给容器被提供。

本实施方式所涉及的液滴喷出装置IJ所具备的液滴喷头20，其构成为使压电体元件发生体积变化来喷出液滴的结构，但是，也可以构成为通过发热体对液体材料进行加热，通过其膨胀来喷出液滴的结构。

图4是表示包含有效光学区域T_E的基体P的平面构成的模式图，图4(a)是表示有效光学区域T_E的周边部构成的模式图，图4(b)是该周边部中放大表示有效光学区域T_E的角部的区域K的模式图。

如图4所示，通过本发明的膜图案形成方法，在有效光学区域(有效区域)T_E的周围形成作为非有效区域的虚设区域T_D，通过对该虚设区域T_D喷吐虚设的液体材料，在有效光学区域TE的周围也会形成与有效光学区域T_E相同的溶剂气氛。作为虚设的液体材料，通常使用与喷吐在有效光学区域的材料相同的作为液体材料的功能液，但是，也可以喷吐含有与该功能液所含有的溶剂相同的溶剂的其他液体材料，或者，仅由该溶剂构成的液体材料。

虚设区域T_D设置成包围有效光学区域T_E的周围，具有与有效光学区域T_E同样的像素构造。形成在虚设区域T_D的像素P_D，相对于形成在有效光学区域T_E的有效像素P_E，被称作虚设像素。虚设像素P_D是不利于进行显示的像素，通常不形成像素电极或开关元件，但是，为了专门进行检查，有时也形成像素电极或开关元件。

在液滴喷出法中，为了将喷出的液滴高精度地配置到规定的像素上，一般在像素和像素之间形成有隔壁B(参照图5)，用于区分被称作围堰的像素。由于利用隔壁B规定了膜图案的形状，所以，通过例如缩小邻接的隔壁B、B之间的宽度等，来恰当地形成隔壁B，可以实现膜图案的微细化或细线化。特别是在对隔壁B的表面实施了疏液处理的情况下，能够仅在隔壁B的开口部可靠地配置液滴。在图4中，由隔壁B所划分的每个区域是本发明的液体容纳部，在这些多个液体容纳部中，配置在有效光学区域T_E的液体容纳部成为有效像素P_E，配置在虚设区域T_D的液体容纳部成为虚设像素P_D。

另外，有时也不形成隔壁B，仅通过对基体P进行表面处理，来划分配置有功能液的区域和未配置功能液的区域。即，有时通过对基体P的特定区域实施相对功能液使其亲和性(亲液性)降低的处理(疏液处理)，将成为有效像素P_E和虚设像素P_D的区域作为相对功能液的亲和性相对较高的区域(亲液区域)，将除此之外的区域作为相对功能液的亲和性相对较低的区域(疏液区域)。在该情况下，即使不形成隔壁B，也能够仅对作为亲液区域的有效像素P_E、和虚设像素T_D配置功能液。在本发明中，这样的亲液区域液包含在液体容纳部的概念中。

在图4(b)中，虚设像素P_D的形状(隔壁B的开口部的形状)、尺寸(隔壁B的开口部的面积)以及排列间距(相邻的虚设像素P_D的中心的间隔)，与有效像素P_E的形状、尺寸以及排列间距相同。即，处于与有效光学区域T_E相同的隔壁构造扩张到有效光学区域T_E的周边部的状态。虽然该点与现有的技术相同，但是，在本发明中，其不同点在于，相对这样的虚设区域T_D，离有效光学区域T_E的中心部C越远的区域，虚设的溶剂的喷出量越多。例如，溶剂向虚设像素P_D的喷出量，根据距离中心部C的距离分为三个等级，在距离中心部C最近的有效光学区域T_E的边缘中央部的区域T1处，溶剂的喷出量最少；在距离中心部C最远的有效光学区域T_E的角部区域T3处，喷出量最多，并且，在二者之间的区域T2处，喷出量介于二者之间。向喷出量最少的区域T1的虚设像素P_D喷出的量，与向有效光学区域T_E的有效像素P_E喷出的量相同。

由于喷吐到基体P的功能液的干燥以同心圆状从有效光学区域T_E的周边开始进行，所以，存在着在设置成矩形的有效光学区域T_E的角部T3或其附近T2处，溶剂的干燥速度会比其他部分快的情况。因此，通过像以往那样，仅设置虚设区域T_D有时还是无法充分回避膜厚不均的发生，但在本发明中，越是距离有效光学区域T_E的中心部C远的区域，向虚设像素P_D喷出的虚设溶剂的量就越多，所以，即使在干燥快速进行的有效光学区域T_E的角部，溶剂分子的分压也不会急剧降低，由此，在有效光学区域的整体，可以实现蒸发溶剂分子的分压的均匀化。即，由于在现有的方法中，仅对形成为相同间距、相同尺寸的虚设像素P_D配置了相同量的溶剂，所以，会导致在离中心部C最远的有效光学区域T_E的角部处，溶剂快速干燥；在本发明中，由于在干燥速度快、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效光学区域T_E的角部区域增多了溶剂的量，以使溶剂在有效光学区域T_E内不会在持续时间方面发生偏倚，所以，可以使有效光学区域整体的干燥速度均一，由此形成无膜厚不均或膜偏倚等的高质量的膜。

区域T1～T3占虚设区域T_D的比例、或溶剂向区域T1～T3的虚设像素P_D的喷出量，根据这些区域T1～T3的功能液干燥速度而决定。例如，预先在有效光学区域T_E的中心部、有效光学区域T_E的边缘中央部以及有效光学区域T_E的角部处来测定干燥时间，以使这些部分的干燥时间之差足够小，以便具有向各区域T1～T3的虚设像素P_D的喷出量的分布。此时，由于干燥时间因所使用的溶剂或功能液的粘度等而变化，所以，在确定该喷出量分布的时候，也应当充分考虑这些要素。

下面，参照图5，对本发明的膜图案的形成方法进行说明。

首先，如图5(a)所示，在基体P的有效光学区域T_E以及虚设区域T_D(T1、T2、T3)形成隔壁B。

作为基体P，可以举出玻璃、石英玻璃、Si晶片、塑料薄膜、金属板等各种基体。并且，还包括在这些各种原材料基板的表面形成半导体膜、金属膜、电介质膜、有机膜等作为基底层的基体。

隔壁B的形成可以通过光刻法或印刷法等任意的方法来进行。例如，通过旋涂法在整个基体P上形成隔壁的材料，通过利用光刻技术使其形成图案，可以形成单层的隔壁。另外，也可以如图5(a)所示，形成使下层B1为无机物层、使上层B2为有机物层的2层以上的隔壁B。此时，也可以在虚设像素P_D中进行下层B1的图案形成，还可以如图5(a)所示，不进行下层B1的图案形成。在不进行图案形成的情况下，由上层B2所划分的区域成为虚设像素P_D。另外，只要隔壁B的材料其耐热性、疏液性、溶剂耐性、与基底基板的密接性出色，则没有特别的限定。

根据需要，可以对隔壁B实施疏液处理或亲液处理。

作为亲液处理，可以使用将氧气作为处理气体的等离子处理(O₂等离子处理等)、或在氧气氛中的紫外线照射处理等。

作为疏液处理，可以采用使用了CF₄、SF₄、CHF₃等具有氟成分的气体(含有氟的气体)的等离子处理。也可以替代疏液处理，而在隔壁B的原材料自身(例如有机物层B2的形成材料)中预先填充氟基等疏液成分。通过使隔壁B的表面疏液化，可以仅在隔壁B的开口部形成膜，由此，防止在隔壁B的上面形成没有用的膜。

如果形成了隔壁B，则如图5(b)所示，向由隔壁B所划分的区域P_E、P_D喷出功能液L。功能液L是将构成膜图案F的材料溶解或分散到溶剂中而构成的液体材料。

作为构成膜图案F的材料，可以使用具有电功能或光学功能等各种功能的材料(功能性材料)。例如，在形成有机EL元件的发光层时，可以使用具有荧光或磷光的材料作为功能性材料，在形成滤色器的情况下，可以使用颜料等微粒着色材料。另外，在形成液晶装置等的透明像素电极时，可以使用铟锡氧化物(ITO)等的微粒导电材料。

作为溶剂，如果是能够溶解或分散上述功能性材料的溶剂、不引起凝聚的溶剂，就没有特别的限定。例如，优选使用水、醇类、烃系化合物、醚系化合物。

关于功能液L的喷出，采用前述的液滴喷出装置IJ。

喷出到虚设像素P_D的溶剂的量，距离有效光学区域T_E的中心部C越远就越多。其原因在于，由于该区域中液滴的干燥时间缩短，所以，如果所喷出的溶剂的量在所有的虚设像素P_D中都相同，则在有效光学区域T_E的角部等处干燥时间会产生偏差，由此无法进行均匀的干燥。另一方面，在像本发明那样，根据距离有效光学区域T_E的中心部C的距离调节喷出的溶剂的量时，在有效光学区域TE内溶剂的持续时间不会产生偏差，可以在有效光学区域整体形成无膜厚不均或膜偏倚等的高质量的膜。另外，喷出的溶剂的量，可以通过改变液滴的喷射数、或喷出的液体材料中的溶剂比率等来进行调节。

在本发明的膜图案的形成方法中，液滴向虚设像素P_D的喷出量因位置不同而不同，但是，如果像图4所示那样，虚设像素P_D的排列间距与有效像素P_E的排列间距相同，则从液滴喷头20的液滴喷出，可以在有效光学区域T_E和虚设区域T_D双方中，以固定喷嘴81的排列方向J(图1的角度θ)的状态进行。

如果喷出了功能液L，则如图5(c)所示，通过干燥除去功能液L的溶剂，在有效像素P_E上形成由所述功能性材料构成的膜图案F。

如上所述，在本发明中，向有效光学区域T_E的周围喷出了虚设的液体材料，所以，在干燥功能液L的时候，有效光学区域T_E的蒸发溶剂分子的分压，与虚设区域T_D的蒸发溶剂分子的分压相比，不会过大。特别是，由于配置在虚设区域T_D的单位面积的溶剂量，越是距离有效光学区域T_E的中心部C远的区域就越大，所以，有效光学区域T_E中蒸发的溶剂分子的分压以及溶剂的持续时间，在该有效光学区域T_E的中央部和周边部大致相同，结果，膜图案F的膜厚在整个有效光学区域处于均匀的状态。

(变形例)

下面，对本实施方式的膜图案的形成方法的变形例进行说明。

图6是表示本变形例的虚设像素P_D的平面构成的模式图。该图相当于第一实施方式的图4(b)。

在图6中，虚设像素P_D的尺寸比有效像素P_E的尺寸大。对于区域T1、区域T2以及区域T3整体来说，虚设像素P_D的形状以及尺寸是公用的，在这些区域T1～T3中，仅是对虚设像素P_D喷出的溶剂的量不同。另外，各区域T1～T3中的虚设像素P_D的X方向以及Y方向的排列间距，与有效光学区域T_E中的有效像素P_E的X方向以及Y方向的排列间距相同。

图7是表示对有效像素P_E和虚设像素P_D喷出了功能液L的状态的图。功能液L(特别是溶剂)向虚设像素P_D的喷出量，根据距离有效光学区域T_E的中心部C的距离分为三个等级，在距离中心部C最近的有效光学区域T_E的边缘中央部的区域T1处喷出量最少，在距离中心部C最远的有效光学区域T_E的角部的区域T3处喷出量最多，并且，在二者之间的区域T2处，喷出量处于二者之间。

在如第一实施方式那样，使虚设像素P_D的尺寸与有效像素尺寸相同的情况下，远离有效光学区域T_E的中心部C的虚设像素P_D，特别是在配置于有效光学区域T_E的角部的虚设像素P_D处，功能液L有溢出的可能，但是在本实施方式中，即使对这样的虚设像素也不会产生该不良情况，可以喷出足够量的功能液L。

图8是表示虚设像素P_D的其他构成的模式图。

在图8中，虚设像素P_D的尺寸形成为，距离有效光学区域T_E的中心部C越远的区域尺寸越大。例如，虚设像素P_D的尺寸根据距离中心部C的距离分为三个等级，在距离中心部C最近的有效光学区域T_E的边缘中央部的区域T1处尺寸最小，在距离中心部C最远的有效光学区域T_E的角部的区域T3处尺寸最大，并且，在二者之间的区域T2处，尺寸处于二者之间。尺寸最小的区域T1的虚设像素P_D的尺寸，与有效光学区域T_E的有效像素P_E的尺寸相同。另外，各区域T1～T3的虚设像素P_D的X方向以及Y方向的排列间距，与有效光学区域T_E的有效像素P_E的X方向以及Y方向的排列间距相同。

图9是表示对有效像素P_E和虚设像素P_D喷出了功能液L的状态的图。功能液L(特别是溶剂)向虚设像素P_D的喷出量，根据距离有效光学区域T_E的中心部C的距离分为三个等级，在距离中心部C最近的有效光学区域T_E的边缘中央部的区域T1处喷出量最少，在距离中心部C最远的有效光学区域T_E的角部的区域T3处喷出量最多，并且，在二者之间的区域T2处，喷出量处于二者之间。

根据该构成，越是被喷出更多功能液L的虚设像素P_D，即越是远离有效光学区域T_E的中心部C的虚设像素P_D，其尺寸越大，所以，在这些远离中心部C的虚设像素P_D中可以回避功能液L溢出等不良情况。而且，由于配置在虚设像素P_D的功能液L因流动会润湿扩展到虚设像素P_D的尺寸，所以，在干燥速度快、溶剂分子的分压容易急剧降低的有效光学区域T_E的角部的区域T3处，能够得到更大的溶剂的表面积。虽然溶剂分子的分压依赖于喷出的溶剂的表面积，表面积越大所蒸发的溶剂分子的分压越大，但是，在本发明中，通过虚设像素P_D的尺寸以及溶剂的量来调节溶剂的表面积，由此，在有效光学区域T_E内溶剂分子的分压不会产生偏倚，因此，可以形成均一性更加高的膜。

(第二实施方式)

下面，作为本发明的器件制造方法的一个实施方式，以将本发明的膜图案的形成方法应用于有机EL装置的制造方法为例，来进行说明。该有机EL装置是将有机EL元件作为像素排列到基体上而形成的有机EL装置，例如，可以优选用作电子设备等的显示机构。

图10是有机EL装置70的电路构成图，图11是该有机EL装置70的平面模式图。另外，图12表示该有机EL装置70所具备的各像素P_E的平面构造的图，(a)是像素P_E中主要表示TFT等像素驱动部分的图，(b)是表示对像素之间进行划分的围堰(隔壁)B等的图。而且，图13是表示沿着图12(a)的A-A线的截面构成的图。

如图10所示，有机EL装置70是，在由玻璃等构成的基体上，分别布线多条扫描线(布线、电力导通部)131、在与这些扫描线131交叉的方向上延伸的多条信号线(布线、电力导通部)132、和与这些信号线132并列延伸的多条公用供电线(布线、电力导通部)133的装置，其构成为在扫描线131与信号线132的每个交点处设有像素P_E。

相对于信号线132，设置具有移位寄存器、电平移动器、视频线以及模拟开关等的数据侧驱动电路72。另一方面，相对于扫描线131，设置具有移位寄存器和电平移动器等的扫描侧驱动电路73。而且，在各个像素P_E中，设置有：开关用TFT(薄膜晶体管)142，其栅电极经由扫描线131被供给扫描信号；保持电容cap，其保持经由该开关用TFT(薄膜晶体管)142从信号线132供给的图像信号(电力)；驱动用TFT 143，其栅电极被供给由保持电容cap所保持的图像信号；像素电极141，在经由该驱动用TFT 143与公用供电线133电连接时，从公用供电线133流入驱动电流；和发光部140，其夹持在该像素电极141和公用电极154之间。而且，由所述像素电极(第一电极)141、公用电极(第二电极)154和由有机功能层形成的发光部140构成的元件是有机EL元件。

根据这样的构成，如果驱动扫描线131导通开关用TFT 142，此时的信号线132的电位被保持电容cap所保持，对应于该保持电容cap的状态，决定驱动用TFT 143的导通、截止状态。然后，经由驱动用TFT 143的沟道，电流从公用供电线133向像素电极141流动，进而通过发光部140使电流流向公用电极154，由此发光部140根据流过其的电流量而发光。

接着，若观察平面构造，则如图11所示，本实施方式的有机EL装置70，在基体P的中央部具有配置成矩阵状的有机EL元件200。

基体P例如是玻璃等透明基板，其被划分成：位于基体P的中央、发挥着有机EL元件200的功能的有效光学区域(有效区域)T_E；和位于基体P的周缘并被配置在有效光学区域T_E的外周且不发挥有机EL元件200的功能的虚设区域(非有效区域)T_D。有效光学区域T_E是由配置成矩阵状的有机EL元件200形成的区域，也称作有效显示区域。另外，虚设区域T_D与有效光学区域T_E邻接而形成，构成为不利于显示的区域。在有效光学区域T_E和虚设区域T_D中，形成有划分有效像素和虚设像素的围堰B(参照图12)，由围堰B所划分的区域构成用于配置功能液的液体容纳部，通过在该液体容纳部配置功能液，形成了后述的有机EL元件的有机功能层。即，由围堰B所划分的区域是像素，在有效光学区域T_E中，每个像素都形成有有机EL元件200。

公用电极154，其一端与形成在基体P上的阴极用布线(省略图示)连接，如图11所示，该布线的一端部154a与柔性基板75上的布线77连接。另外，该布线77与柔性基体75上所具备的驱动IC 76(驱动电路)连接。

而且，如图11所示，所述公用供电线133(133R、133G、133B)被布线于基体P的虚设区域T_D。并且，在图11中，在有效光学区域T_E的图示两横侧配置有所述的扫描侧驱动电路73、73。该扫描侧驱动电路73、73设置在虚设区域T_D的下侧的电路元件部。并且，在电路元件部设置有与扫描侧驱动电路73、73连接的驱动电路用控制信号布线73a和驱动电路用电源布线73b。并且，在图11中，在有效光学区域T_E的图示上侧配置有检查电路74。通过该检查电路74可以检查制造途中或出厂时的显示装置的质量、缺陷。

接着，如果观察图12(a)所示的像素P_E的平面构造，则像素P_E构成为，其俯视近似为矩形形状的像素电极141的四条边，被信号线132、公用供电线133、扫描线131以及未图示的其他像素电极用的扫描线所包围。而且，如果观察图13所示的像素P_E的截面构造，则在基体P上设置有驱动用TFT 143，在隔着覆盖驱动用TFT 143而形成的多层绝缘膜的基体P上，形成有有机EL元件200。有机EL元件200以有机功能层140为主体而构成，具备将该有机功能层140夹持在像素电极141与公用电极154之间的构成，所述的有机功能层140被设置在由立设于基体P上的围堰B所包围的区域内。

在这里，如果观察如图12(b)所示的平面构造，则围堰B具有与像素电极141的形成区域对应的俯视近似为矩形形状的开口部149b、151，在该开口部149b、151上形成有先前的有机功能层140。

如图13所示，驱动用TFT143以形成在半导体膜210的源极区域143a、漏极区域143b、以及沟道区域143c，和隔着形成在半导体层表面的栅极绝缘膜220与沟道区域143c对置的栅电极143A为主体而构成。形成有覆盖半导体膜210以及栅极绝缘膜220的第一层间绝缘膜230，在贯通该第一层间绝缘膜230到达半导体膜210的接触孔232、234内，分别埋设有漏电极236、源电极238，各个电极与漏极区域143b、源极区域143a导电连接。在第一层间绝缘膜230上形成有第二层间绝缘膜240，在贯通设置于该第二层间绝缘膜240的接触孔中埋设有像素电极141的一部分。而且，通过像素电极141与漏电极236导电连接，驱动用TFT 143与像素电极141(有机EL元件200)电连接。以一部分到达像素电极141的周缘部的方式，形成了由无机绝缘材料构成的无机围堰(第一隔壁层)149。在无机围堰149上层叠有由有机材料构成的有机围堰(第二隔壁层)150，由这些无机围堰149以及有机围堰150形成了有机EL装置71的隔壁部件。

上述有机EL元件200通过在像素电极141上层叠作为电荷输送层的空穴注入层140A、和发光层140B，并形成覆盖该发光层140B和有机围堰150的公用电极154而构成。空穴注入层140A覆盖像素电极141而形成，其周端部也覆盖设置在有机围堰150的下层侧的无机围堰149中从有机围堰150向像素电极141中央侧突出配置的部分而形成。

在是所谓的底部发射型有机EL装置的情况下，由于形成从基体P侧取出光的结构，所以，使用玻璃等透明基板作为基体P。另一方面，在是所谓的顶部发射型有机EL装置的情况下，由于形成从设置有有机EL元件200的一侧取出光的结构，所以，除了玻璃等透明基板之外，也可以使用不透明基板。作为不透明基板，可以举出对例如氧化铝等陶瓷、不锈钢等金属片实施了表面氧化等绝缘处理的基板，还可以举出热固化性树脂、热可塑性树脂，还有其薄膜(塑料薄膜)等。

在是经由基体P取出光的底部发射型的情况下，像素电极141由ITO(铟锡氧化物)等透光性导电材料形成，在顶部发射型的情况下，不需要透光性，可以由金属材料等适宜的导电材料形成。

公用电极154以覆盖发光层140B和围堰B的上面、进而覆盖形成围堰B的侧面部的壁面的状态，形成在基体P上。作为用于形成该公用电极154的材料，在顶部发射型的情况下，使用透明导电材料。作为透明导电材料，优选ITO，但也可以是其他的透光性导电材料。在底部发射型的情况下，除了透明导电材料之外，还可以使用铝等不透明或具有光反射性的导电材料。

也可以在公用电极154的上层侧形成阴极保护层。通过设置该阴极保护层，可以获得在制造工艺时防止公用电极154被腐蚀的效果，可以由无机化合物，例如硅氧化物、硅氮化物、硅氮氧化物等硅化合物形成。通过以由无机化合物构成的阴极保护层覆盖公用电极154，可以良好地防止氧等向由无机氧化物构成的公用电极154的侵入。另外，这样的阴极保护层以10nm到300nm左右的厚度形成至公用电极154的平面区域的外侧基体上。

(有机EL装置的制造方法)

下面，参照附图对有机EL装置70的制造方法进行说明。在本实施方式中，举例说明了使用液滴喷出法，制造具有图10～图13所示的结构的有机EL装置。

另外，以下所示的顺序或液体材料的材料构成只是一个实例，不限定于此。而且，液滴喷出装置可以使用前述的装置。

下面，参照图14以及图15，对上述有机EL装置70所具备的有机EL元件200的制造方法进行说明。在图14和图15中，图示出了有效光学区域T_E和虚设区域T_D的交界部分。

首先，如图14(a)所示，在基体P上形成像素电极141、能够驱动该像素电极141的驱动用TFT 143。在图14(a)中，仅在有效光学区域T_E形成了像素电极141，但是，也可以对虚设区域T_D形成同样的像素电极。该情况下，在虚设区域T_D形成的像素(虚设像素)可以用作检查用的元件。

接着，以一部分与像素电极141的周缘部平面重合的方式，形成由氧化硅等无机绝缘材料构成的无机围堰149。具体而言，在以覆盖像素电极141以及平坦化绝缘膜240的方式形成氧化硅膜之后，可以通过使用公知的光刻技术使氧化硅膜形成图案，并使像素电极141的表面局部开口而形成。虽然在图14(a)中，仅在有效光学区域T_E进行了无机围堰149的图案形成，但是，也可以对虚设区域T_D进行同样的图案形成。

接着，如图14(b)所示，在无机围堰149上，形成由丙烯酸(アクリル)、聚酰亚胺等有机绝缘材料构成的有机围堰150。

有机围堰150与无机围堰149一起形成了划分有机EL元件200的围堰(隔壁)B。即，在有效光学区域T_E中，由无机围堰149以及有机围堰150划分的各个区域是本发明的液体容纳部，这些液体容纳部分别成为有效像素P_E。另一方面，在虚设区域T_D中，由于无机围堰149没有形成图案，所以，由有机围堰150所划分的各个区域是本发明的液体容纳部，这些液体容纳部分别成为虚设像素P_D。

虚设像素P_D的尺寸(即，围堰B的开口部151的面积)比有效像素P_E的尺寸大。即，可以保持比有效像素还多的功能液，由此，在有效光学区域的整体能够使功能液的干燥均匀地进行。

有机围堰150的高度被设定为例如1μm～2μm左右，其在基体P上作为有机EL元件200的划分部件而发挥功能。作为这种结构的根基，在有机EL元件200的空穴注入层或发光层的形成位置，即在这些形成材料的涂敷位置与其周围的有机围堰150之间，形成由足够高度的阶梯差构成的开口部151。有机围堰150的开口部151和无机围堰149的开口部149b相互连通，像素电极141处于在这些开口部内露出的状态。

有机围堰150的开口部151的X方向以及Y方向的间隔(排列间距)，在有效像素P_E和虚设像素P_D为相同间隔。即，有效像素P_E和虚设像素P_D以相同的配置密度形成，但是，虚设像素的配置密度也可以按区域T1、T2、T3而不同。

在形成有机围堰150之际，使有机围堰150的开口部151的壁面从无机围堰149的开口部149b向外侧后退若干而形成为佳。这样，通过使无机围堰149在有机围堰150的开口部151内露出一部分，可以使有机围堰150内的液体材料的润湿扩展良好。

如果在形成有机围堰150，对包含有机围堰150和像素电极141的基体上的区域实施疏液处理。由于有机围堰150发挥着作为划分有机EL元件200的划分部件的功能，所以，优选其相对从液滴喷头20喷出的功能液呈非亲和性(疏液性)。作为疏液处理，可以使用第一实施方式中所说明的方法，通过这样的疏液处理，能够使有机围堰150选择性地体现出非亲和性。

在这样的疏液处理中，即使对基体P的一面侧整体实施处理，由ITO膜或金属膜构成的无机材料的像素电极141的表面，与由有机材料构成的有机围堰150的表面相比，更难以被疏液化，选择性地只对有机围堰150的表面实施疏液化，在被有机围堰150包围的区域内，形成了多个相对功能液的亲和性不同的区域。

另外，也可以在疏液处理之前，对无机围堰149以及像素电极141的表面实施亲液处理。作为亲液处理，可以使用第一实施方式中所说明的方法。在进行O₂等离子处理作为亲液处理的情况下，可以兼带进行作为像素电极141的ITO上的清洗、功函数的调整。另外，当在亲液处理之后进行疏液处理的情况下，像素电极141或无机围堰149的表面也会多少受到疏液处理的影响，但是，与有机围堰150相比，它们的影响较小，对润湿性造成的影响少。

如果在基体P上形成围堰B，如图14(c)所示，利用液滴喷头，在由围堰B所划分的涂敷位置(在虚设区域T_D中，由有机围堰150包围的区域)，选择性地涂敷用于形成空穴注入层140A的功能液L1。功能液L1是将空穴注入层形成材料溶解或分散于溶剂中的溶液。

作为空穴注入层形成材料，可以例示聚合物前体为聚四氢苯硫基亚苯基的聚亚苯基亚乙烯基、1，1-双-(4-N，N-二甲苯基氨基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝、聚苯乙烯磺酸、聚亚乙二氧基噻吩和聚苯乙烯磺酸的混合物(PEDOT/PSS)等。另外，作为溶剂，可以例示异丙醇、N-甲基吡咯烷酮、1，3-二甲基-咪唑啉酮等极性溶剂。

向虚设像素P_D喷吐的功能液L1的量(特别是溶剂的量)，距离有效光学区域T_E的中心部越远的区域量越多。其原因在于，由于该区域中液滴的干燥速度快，所以，如果所喷出的溶剂的量在所有的虚设像素P_D中都相同，则在有效光学区域T_E的角部处干燥时间会产生偏差，由此无法进行均匀的干燥。另一方面，在根据距离有效光学区域T_E的中心部C的距离调节喷出的溶剂的量时，在有效光学区域T_E内溶剂的持续时间不会产生偏倚，可以在有效光学区域整体形成无膜厚不均或膜偏倚等的高质量的膜。

如果利用液滴喷头将功能液L1喷出到基体P上，则功能液L1会因流动性而向水平方向扩展，但是，由于包围涂敷位置而形成有围堰B，所以，功能液L1不会超越围堰B扩展到其外侧。而且，由于像素电极141或无机围堰149的表面处于保持了良好亲液性的状态，所以，喷出的功能液L1涂敷扩展在像素电极等的整体表面，形成均匀的涂膜。

如果在基体P上配置了功能液L1，则如图14(d)所示，通过加热或照射光使功能液L1的溶剂蒸发，在像素电极141上形成固体的空穴注入层140A(膜图案)。或者，也可以在大气环境下或氮气气氛下，以规定温度以及时间进行烧成。或者，还可以通过在比大气压低的压力环境下(减压环境下)进行配置，来除去溶剂。

此时，由于向单位面积喷出的虚设功能液L1的量，距离有效光学区域T_E的中心部越远的区域量越大，所以，即使在干燥快速进行的有效光学区域T_E的角部处，溶剂分子的分压也不会急剧降低，使得干燥速度在有效光学区域整体变为均匀。因此，所得到的空穴注入层140A，其膜厚、膜质也均匀，并且，其表面的平坦性也出色。

接着，如图15(a)所示，利用液滴喷头，在围堰B内的空穴注入层140A上，选择性地涂敷用于形成发光层140B的功能液L2。功能液L2是将发光层形成材料溶解或分散到溶剂中的溶液。

作为发光层形成材料，是能够发出荧光或磷光的公知高分子发光材料，优选可以使用如聚芴衍生物(PF)、聚对亚苯基亚乙烯基衍生物(PPV)、聚亚苯基衍生物(PP)、聚对亚苯基衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚二烷基芴(PDAF)、聚芴苯并硫二氮杂茂(PFBT)、聚烷基噻吩(PAT)、或聚甲基苯基硅烷(PMPS)等聚硅烷系等。另外，还可以在这些发光材料中掺杂使用紫苏烯系色素，香豆素系色素，若丹明系色素等高分子系材料，红荧烯、紫苏烯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等低分子材料。

对于所述发光层形成材料，优选使其溶解或分散到极性溶剂中作为液体材料，并将该液体材料从液滴喷头喷出。由于极性溶剂能够使所述发光材料等容易地溶解或均匀地分散，所以，可以防止在液滴喷头的喷嘴孔处附着发光层形成材料中的固体成分，或引起阻塞。

作为这样的极性溶剂，具体可以举出：水，甲醇、乙醇等与水具有互容性的醇，N，N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲基咪唑啉(DMI)、二甲基亚砜(DMSO)、甲苯、环己基苯、2，3-二氢苯并呋喃等有机溶剂或无机溶剂，还可以是适当混合这些溶剂2种以上而成的溶剂。

发光层140B的形成，通过将含有发红色显色光的发光层形成材料的功能液、含有发绿色显色光的发光层形成材料的功能液、含有发蓝色显色光的发光层形成材料的功能液，分别喷出到对应的有效像素P_E中而进行。

在图15(a)中，图示了将功能液L2喷出到红色有效像素的工序。在该工序中，与形成空穴注入层140A同样，也对虚设像素P_D喷出同样的功能液L2。另外，虽然在图15(a)中对所有的虚设像素P_D都喷出了功能液L2，但也可以仅对一部分虚设像素P_D进行喷出。

如果喷出了功能液L2，使功能液L2中的溶剂蒸发。通过该工序，如图15(b)所示，在红色有效像素P_E的空穴注入层140A上形成了固体的红色发光层140B(膜图案)，由此，得到了由空穴注入层140A和发光层140B构成的有机功能层140。

此时，由于根据距离有效光学区域T_E的中心部的距离，适宜地控制了配置在虚设区域T_D的功能液的量以及表面积，所以，有效光学区域T_E整体的干燥速度变得均匀，使得膜厚以及膜质变得均匀。而且，由于配置有功能液L2的空穴注入层140A的表面被良好地平坦化，所以，形成于其上的发光层140B也具有良好的平坦性而形成，由此，可以形成具有更均匀且良好的发光特性、和可靠性的发光层。

如果在所有的有效像素P_E中形成发光层140B，如图15(c)所示，在基体P的表面整体形成由ITO等构成的公用电极154，根据需要，在公用电极154的表面形成保护膜155。由此，完成了有机EL元件200。

另外，虽然在虚设像素P_D中形成了红色、绿色以及蓝色这三种发光层形成材料，但是，在图15(c)中，将这些一并以符号140D表示。

在本实施方式的有机EL装置的制造方法中，由于距离有效光学区域T_E的中心部越远的区域，其在虚设区域T_D中所保持的单位面积的溶剂的量以及表面积越大，所以，在功能液的干燥工序中，可以使虚设区域T_D的溶剂蒸发速度接近有效光学区域T_E的溶剂蒸发速度。因此，可以在有效光学区域T_E的外周部和中央部，形成均匀膜厚的空穴注入层或发光层，由此，可以容易地提供元件特性(显示特性)没有不均的可靠性出色的有机EL装置。

(第三实施方式)

下面，作为本发明的器件制造方法的一个实施方式，以将本发明的膜图案的形成方法应用于滤色器基板的制造方法为例，来进行说明。该滤色器基板优选作为例如液晶显示面板的颜色显示机构而使用。

图16是表示本实施方式的滤色器基板的制造方法的概念图。

在该滤色器基板的制造方法中，使用所述液滴喷头20，在由玻璃或塑料等构成的基体P上形成多个滤色器F(F_R、F_G、F_B)。从提高生产率的观点出发，使用由玻璃或塑料等构成的大面积的基板(大型基板)作为基体P，在形成于该大型基板P上的多个面板区域T_E的内部，形成多个以点状排列的滤色器F。

面板区域T_E是形成有显示用的滤色器F的区域，相当于本发明的有效区域。在大型基板P中，面板区域T_E的外侧的区域是不利于显示的虚设区域(非有效区域)T_D。在面板区域T_E以及虚设区域T_D中形成有围堰(隔壁)B，由围堰B所划分的各个区域是本发明的液体容纳部，在这些液体容纳部中，配置在面板区域T_E的液体容纳部成为有效像素P_E，配置在虚设区域T_D的液体容纳部成为虚设像素P_D。滤色器F通过在成为有效像素P_E的液体容纳部配置含有颜料等微粒着色材料的功能液而形成。

通过以后对大型基板P进行切断，各面板区域T_E可以作为适合显示面板的滤色器基板而使用。在面板区域T_E设置有含有红色着色材料的红色滤色器F_R、含有绿色着色材料的绿色滤色器F_G、以及含有蓝色着色材料的蓝色滤色器F_B，这些滤色器F_R、F_G、F_B例如如图16(b)所示，通过一边使液滴喷头20沿着箭头A1以及箭头A2所示的方向进行多次主扫描，一边在这些主扫描期间，分别从多个喷嘴81对规定的有效像素P_E选择性地喷出含有红色着色材料的功能液、含有绿色着色材料的功能液以及含有蓝色着色材料的功能液而形成。

这里，通过将红、绿、蓝各种颜色的滤色器以线状排列、三角排列或马赛克状的排列等方式进行排列，来制造滤色器基板。即，图16(b)所示的由液滴喷头20实现的滤色器F的形成，通过根据红、绿、蓝三种颜色，预先准备三种仅喷出红、绿、蓝中一种颜色的液滴喷头20，根据所述三种颜色顺次反复使用这些液滴喷头20，在一枚大型基板P上形成红、绿、蓝三种颜色的排列来进行。

图17表示具体的制造工序。

图17中表示出了面板区域T_E和虚设区域T_D的交界部分。在面板区域T_E中表示出三种有效像素P_E，分别是：形成有红色滤色器F_R的红色有效像素、形成有绿色滤色器F_G的绿色有效像素以及形成有蓝色滤色器F_B的蓝色有效像素。

首先，如图17(a)所示，在大型基板P的一方面上形成围堰B。

围堰B作为划分部件，发挥着对形成有滤色器F的区域进行划分的功能。围堰B形成在面板区域T_E以及该面板区域T_E的周边区域(非有效区域)。形成在面板区域T_E的围堰B，具有与显示面板的像素图案对应的开口部。在本发明的滤色器基板的制造方法中，通过在由围堰B所划分的区域配置含有着色材料的功能液，并使该功能液干燥，在大型基板P上形成滤色器(膜图案)F。该情况下，由于通过围堰B来规定滤色器F的形状，所以，例如通过缩小邻接的围堰B的宽度等，来恰当地形成围堰B，可以实现滤色器F的微细化。

围堰B的形成方法与第二实施方式的有机围堰150的形成方法相同。即，通过在大型基体P上形成丙烯酸、聚酰亚胺等有机绝缘材料，并利用光刻技术对其进行图案形成，来形成所期望形状的围堰B。在使用不具有透光性的材料(例如黑色树脂)作为有机绝缘材料的情况下，可以使围堰B发挥作为黑矩阵的功能。根据需要，可以对围堰B的表面实施疏液处理。

如图16所示，虚设像素P_D的尺寸(围堰B的开口部的尺寸)根据距离面板区域T_E的中心部C的距离R1、R2而不同，在距离中心部C最近的区域T1，虚设像素P_D的尺寸最小，随着远离中心部C，虚设像素P_D的尺寸逐渐变大。即构成为，距离面板区域T_E的中心部C越远的区域，其保持在虚设区域T_D中的单位面积的功能液的量以及表面积越大。由此，面板区域整体的功能液干燥速度能够均匀地进行。

虚设像素P_D的尺寸从面板区域T_E的边缘中央部朝向角部以多个等级进行变化。即，沿着面板区域T_E的边缘，设置有虚设像素P_D的尺寸不同的多个区域T1、T2、T3，在各个区域中虚设像素P_D的尺寸一定，这样构成的所述多个区域T1、T2、T3，虚设像素P_D的尺寸越大，其被配置在距离面板区域T_E的中心部越远的区域。对于各区域T1、T2、T3的虚设像素P_D的尺寸，或各区域T1、T2、T3在虚设区域T_D内占有的比率，在面板区域内功能液的干燥速度为一定的条件范围内，可进行恰当的设定。

另外，在图17中，将围堰B形成为由有机物层构成的单层构造，但也可以如第一实施方式的围堰B那样，形成无机物层和有机物层的双层构造。

如果形成围堰B，如图17(b)所示，利用液滴喷头，在围堰B所划分的区域选择性地喷出含有着色材料的功能液L。功能液L是将颜料等着色材料溶解或分散到溶剂中的溶液。

功能液的喷出，通过将含有红色着色材料的功能液、含有绿色着色材料的功能液以及含有蓝色着色材料的功能液，分别喷出到对应的有效像素P_E上而进行。

在图17(b)中，表示了将功能液L喷出到红色有效像素的工序。在该工序中，对虚设像素P_D也喷出同样的功能液L。另外，在图17(b)中，虽然对所有的虚设像素P_D喷出了功能液L，但是，也可以仅对一部分的虚设像素P_D进行喷出。

向虚设像素P_D喷出的功能液L的量(特别是溶剂的量)，在距离有效光学区域T_E的中心部C越远的区域就越多。其原因在于，由于该区域中液滴的干燥速度快，所以，如果所喷出的溶剂的量在所有的虚设像素P_D中都相同，则在有效光学区域T_E的角部处干燥时间会产生偏差，由此无法进行均匀的干燥。在本实施方式中，由于在距离面板区域T_E的中心部C越远的区域，虚设像素P_D的尺寸越大，所以，即使在远离中心部C的虚设像素P_D中，也不会发生所喷出的功能液L从围堰B的开口部溢出等不良情况。

如果喷出功能液L，就使功能液L中的溶剂蒸发。通过该工序，如图17(c)所示，在红色有效像素P_E上形成了固体的红色滤色器F_R。此时，由于根据距离面板区域T_E的中心部C的距离，适当控制配置在虚设区域T_D的功能液的量以及表面积，所以，面板区域T_E整体的干燥速度变得均匀，由此，可使得膜厚以及膜质均匀。

如果在红色有效像素上形成红色滤色器F_R，则以同样的步骤，在绿色有效像素上形成绿色滤色器F_G，进而，在蓝色有效像素上形成蓝色滤色器F_B。图17(d)表示在所有的有效像素P_E上形成了滤色器的状态。另外，虽然在虚设像素P_D上形成了红色、绿色以及蓝色的三种着色材料，但是，在图17(d)中，将这些统一以符号F_D表示。

如果在所有的有效像素P_E上形成滤色器F，则根据需要，可以在滤色器F的表面形成保护膜。

然后，沿着设置在面板区域T_E、T_E之间的划线对大型基板P进行切断，来获得每个滤色器基板。由此，完成了滤色器基板。

在本实施方式的滤色器基板的制造方法中，由于在距离面板区域T_E的中心部越远的区域，其保持在虚设区域T_D中的单位面积的功能液的量越大，所以，在面板区域T_E的外周部和中央部处，干燥速度不会发生偏差，能够遍布面板区域的整体形成膜厚均匀的滤色器F。因此，可提供颜色不均少、显示特性优良的滤色器基板。另外，由于可以平坦地形成滤色器F，所以，当在其上形成电极时，可以成为不发生断线等、可靠性优良的滤色器基板。

(实施例)

下面，对本发明的膜图案的形成方法的实施例进行说明。

图18是表示形成在样品基板P的有效像素P_E和虚设像素P_D的配置的俯视模式图。图18(a)是从有效区域T_E的边缘中央部朝向角部，使功能液(特别是溶剂)向虚设像素P_D的喷出量以三个等级发生变化的模式图(样品1)；图18(b)是以有效区域T_E的边缘中央部和角部的两个等级，使功能液的喷出量发生变化时的模式图(样品2)；图18(c)是使功能液的喷出量与有效像素P_E的量相同的情况下的模式图(样品3)。在任意一种样品中，有效像素的形状、尺寸以及间距和虚设像素的形状、尺寸以及间距都相同。

在样品1中，对虚设像素P_D喷出的功能液的量，从有效区域T_E的边缘中央部朝向角部以三个等级发生变化。在靠近有效区域T_E的中心部C的区域T1，向1个虚设像素P_D内喷出的功能液的量是50ng，在距离有效区域T_E的中心部C最远的区域T3，向1个虚设像素P_D内喷出的功能液的量是120ng。而且，在区域T1和区域T3中间的区域T2，对1个虚设像素P_D内喷出的功能液的量是80ng。另外，对有效像素P_E喷出的功能液的量，与对区域T1的虚设像素P_D喷出的功能液的量相同。

在样品2中，对虚设像素P_D喷出的功能液的量，从有效区域T_E的边缘中央部朝向角部以两个等级发生变化。在靠近有效区域T_E的中心部C的区域T1，向1个虚设像素P_D内喷出的功能液的量是50ng，在除此之外的区域T2，向1个虚设像素P_D内喷出的功能液的量是80ng。另外，对有效像素P_E喷出的功能液的量，与对区域T1的虚设像素P_D喷出的功能液的量相同。

在样品3中，对虚设像素P_D喷出功能液的量，与对有效像素P_E喷出的功能液的量相同。这种构成与以往所使用的构成相同。

在本实施例中，通过对样品1～3的有效像素P_E和虚设像素P_D喷出功能液，并使其干燥，在有效区域内形成了膜图案。所使用的功能液，是将PEDOT/PSS溶解于水(蒸汽压：2338Pa、20℃)和二甘醇(蒸汽压：1.3Pa、20℃)的混合溶剂中的溶液。功能液的干燥以在减压槽内管理压力的状态进行。

所述样品1和样品2的虚设像素P_D的喷出量被规定为，有效区域T_E的中央部与角部的功能液干燥时间之差足够小。

图19是表示有效区域T_E内的膜厚的不均匀性的图，图19(a)、图19(b)、图19(c)分别与样品1、样品2、样品3对应。图19(a)～图19(c)的横轴表示距离有效区域T_E的中心部C的距离，纵轴表示1个有效像素内的膜厚的不均匀性。膜厚的不均匀性，是通过在1个有效像素内测定膜厚最大的部分与膜厚最薄部分的膜厚之差而得到的。另外，纵轴的单位是埃()。

如图19所示，在样品3中，在有效区域T_E的长轴侧的端部处产生了大的膜厚不均匀性，由此可知，仅通过设置虚设区域T_D，是无法充分消除膜厚不均的。另一方面，在样品2中，这样的端部的膜厚的不均匀性减小，由此可知，在有效区域T_E的中央部和端部改变虚设的功能液的喷出量，对于改善有效区域T_E内的膜厚均匀性是有效的。尤其是在样品1中，在有效区域T_E内几乎不产生膜厚的不均匀性，由此可知，通过以三个以上等级调节虚设功能液的喷出量，可以形成膜厚大致均匀的图案。

(电子设备)

下面，对本发明的电子设备的具体例进行说明。

图20是表示移动电话的一个例子的立体图。在图20中，符号600表示移动电话主体，符号601表示具有上述实施方式的有机EL装置或滤色器基板的显示部。

由于图20所示的电子设备，具有通过上述本发明的膜图案形成方法形成的膜图案，所以，能够得到高的显示质量或高的性能。

另外，本发明的有机EL装置、滤色器基板等器件不限于所述移动电话机，也可以搭载于各种电子设备中。作为这种电子设备，例如有：电子书、个人电脑、数码相机、液晶电视、取景器型或监控直视型的录像机、车辆导航装置、寻呼机、电子记事本、电脑、文字处理器、工作站、电视电话、POS终端、具备触摸板的设备等。

以上，参照附图对本发明所涉及的优选实施方式进行了说明，但是，本发明所涉及的实例当然不限定于此。上述实例所示的各构成部件的各种形状或组合等仅是一个实例，在不脱离本发明的主旨范围内，可基于设计要求等，进行各种变更。

而且，在上述实施方式中，举例说明了将本发明的膜图案的形成方法应用于有机EL装置的制造方法，或滤色器基板的制造方法，但是，本发明不限定于此，还可应用于在规定区域内具有多种膜图案的器件的制造方法中。在上述的有机EL装置的实例中，不仅是空穴注入层140A或发光层140B，对像素电极141的图案形成也可以采用本发明。而且，包括数据线132、扫描线131或电源线133的各种布线的形成，在连接柔性基体75和基体P的多个端子电极的形成中，也可以采用本发明的膜图案的形成方法。

Claims

1、一种膜图案的形成方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上并干燥所述功能液，来形成由所述功能性材料构成的膜图案，该方法具有：

在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，

在形成于所述有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液的工序，和

在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序；

在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量，在距离所述有效区域的中心部越远的区域就越多。

2、根据权利要求1所述的膜图案的形成方法，其中，

根据距离所述有效区域的中心部的距离，以三个以上等级使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量发生变化。

3、根据权利要求1或2所述的膜图案的形成方法，其中，

使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量在设置成矩形的所述有效区域的角部最多。

4、根据权利要求1～3中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

5、根据权利要求1～4中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

将所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸和所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸形成为大致相同的尺寸。

6、根据权利要求1～4中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

使所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸大于所述有效区域的所述液体容纳部的尺寸。

7、根据权利要求1～4中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

使所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸在距离所述有效区域的中心部越远的区域就越大。

8、根据权利要求1～7中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

以大致相同的间隔，形成所述有效区域的所述液体容纳部的间隔、和所述非有效区域的所述液体容纳部的间隔。

9、根据权利要求1～8中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

将所述非有效区域的所述液体容纳部，沿着所述有效区域的外周至少形成两列以上。

10、根据权利要求1～9中任意一项所述的膜图案的形成方法，其中，

通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

11、一种有机EL装置的制造方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上并干燥所述功能液，来制造具有由所述功能性材料构成的膜图案的有机EL装置，该有机EL装置的制造方法具有：

在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂量，在距离所述有效区域的中心部越远的区域就越多。

12、根据权利要求11所述的有机EL装置的制造方法，其中，

13、根据权利要求11或12所述的有机EL装置的制造方法，其中，

使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量，在设置成矩形的所述有效区域的角部最多。

14、根据权利要求11～13中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

15、根据权利要求11～14中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

16、根据权利要求11～14中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

17、根据权利要求11～14中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

在距离所述有效区域的中心部越远的区域，所述非有效区域的所述液体容纳部的尺寸越大。

18、根据权利要求11～17中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

19、根据权利要求11～18中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

20、根据权利要求11～19中任意一项所述的有机EL装置的制造方法，其中，

通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

21、一种滤色器基板的制造方法，通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上并干燥所述功能液，来制造具有由所述功能性材料构成的膜图案的滤色器基板，该滤色器基板的制造方法具有：

在形成有所述膜图案的所述基体的有效区域、以及所述有效区域的周围的非有效区域形成液体容纳部的工序，

在形成于所述非有效区域的所述液体容纳部配置所述功能液或所述溶剂的工序，

配置在所述非有效区域的所述液体容纳部中的所述溶剂的量，在距离所述有效区域的中心部越远的区域就越多。

22、根据权利要求21所述的滤色器基板的制造方法，其中，

根据距离所述有效区域中心部的距离，以三个以上等级使在所述非有效区域的所述液体容纳部配置的所述溶剂的量发生变化。

23、根据权利要求21或22所述的滤色器基板的制造方法，其中，

24、根据权利要求21～23中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

25、根据权利要求21～24中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

26、根据权利要求21～24中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

27、根据权利要求21～24中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

28、根据权利要求21～27中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

29、根据权利要求21～28中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

30、根据权利要求21～29中任意一项所述的滤色器基板的制造方法，其中，

通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。

31、一种液晶显示装置的制造方法，所述液晶显示装置具有滤色器基板，所述滤色器基板通过将使功能性材料溶解或分散到溶剂中而成的功能液配置到基体上并干燥所述功能液而具有由所述功能性材料构成的膜图案，该液晶显示装置的制造方法具有：

32、根据权利要求31所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

33、根据权利要求31或32所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

34、根据权利要求31～33中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

将所述液体容纳部作为由隔壁所划分的区域而形成。

35、根据权利要求31～34中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

36、根据权利要求31～34中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

37、根据权利要求31～34中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

38、根据权利要求31～37中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

39、根据权利要求31～38中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

40、根据权利要求31～39中任意一项所述的液晶显示装置的制造方法，其中，

通过液滴喷出法进行所述功能液或所述溶剂的配置。