CN1240540C - 喷出方法及其装置、电光装置及其制造方法和制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷出装置，在制造滤色器的液滴喷出装置的各种颜色所对应的液滴喷出处理装置中，设置有分别喷出各种颜色的滤波元件材料的头部件(420)。将在长方形的印刷电路板的长度方向一端一侧设置有喷墨头，在另一端一侧设置有连接器的头装置(433)，在连接器(441)所在部分不对置并且向相反一侧突出的状态下，在平板状的滑架(426)上呈直线状、以两组即两列配置成交错状，来构成头部件(420)。使头部件(420)在相对于头装置(433)的配置方向的交叉方向上移动，向给定位置重叠喷出滤波元件材料，在母板上将滤波元件形成为点图案状。组装良好并能防止电噪声的影响。

Description

喷出方法及其装置、电光装置及其制造方法和制造装置

技术领域

本发明涉及喷出具有流动性的液体的喷出方法及其装置。而且，本发明涉及液晶装置、EL装置、电泳装置、电子发射装置以及PDP装置等电光装置、制造该电光装置的电光装置制造方法及其制造装置。另外，本发明还涉及电光装置中使用的滤色器、制造该滤色器的制造方法及其制造装置。而且，本发明还涉及具有电光构件、半导体装置、光学构件、试剂检查构件等基体材料的器件、制造具有该基体材料的器件的制造方法及其制造装置。

背景技术

近年来，在移动电话、便携式计算机等电子仪器的显示部中广泛使用了液晶装置、场致发光装置(以下称作EL(electro luminescence)装置)等电光装置即显示装置。另外，最近，常常用显示装置进行全彩色显示。该基于液晶装置的全彩色显示例如通过使由液晶层调制的光通过滤色器而进行显示。而且，在由玻璃、塑料等形成的衬底的表面上，通过将R(红)、G(绿)、B(蓝)的点状的各色滤波元件以所谓的带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等给定的阵列进行排列来形成滤色器。

另外，基于EL装置的全彩色显示是在例如在玻璃、塑料等的衬底表面上，将R(红)、G(绿)、B(蓝)的点状的各色EL发光层以所谓的带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等给定的阵列排列，用一对电极夹持这些EL发光层，形成象素。而且，通过对各象素控制外加在它们的电极上的电压，以希望的颜色使这些象素发光，进行全彩色显示。

以往，我们知道当图案形成滤色器的R、G、B等各色滤波元件时、或形成EL装置的R、G、B等各色的象素时使用光刻法。但是，当使用光刻法时，由于其步骤复杂，大量消耗各色的材料或光刻胶，所以存在着成本高这一问题。

为了解决该问题，提出了通过用喷墨法将滤波元件材料和EL发光材料等以点状喷出，来形成点状阵列的滤波元件和EL发光层等的方法。

在此，说明通过喷墨法来形成点状阵列的滤波元件和EL发光层等的方法。在图29(A)中，在由玻璃、塑料等形成的大面积的衬底即所谓的母板301的表面上设定的多个面板区域302的内部区域上，如图29(b)所示，根据喷墨法，形成排列为点状的多个滤波元件303。此时，例如如图29(C)所示，一边使具有将多个喷嘴304排列为列状的喷嘴列305的液滴喷出头即喷墨头306，如图29(B)的箭头A1和箭头A2所示的那样，关于一个面板区域302，进行多次(在图29中为两次)主扫描，一边在这些主扫描之间，通过从多个喷嘴有选择地喷出墨水即滤波材料，在所希望的位置上形成滤波元件303。

如以上所述，该滤波元件303是通过将R、G、B等各色以所谓的带状阵列、三角阵列或镶嵌阵列等适当的阵列形态进行排列而形成的。因此，基于图29(B)所示的喷墨头306的喷墨处理预先只设置有R、G、B三色数量的喷出R、G、B的单色的喷墨头306。而且，依次使用这些喷墨头306，在一个母板301上形成R、G、B等三色阵列。

须指出的是，当在母板301上形成多个面板区域302时，考虑通过使用纵长形的喷墨头，对于喷墨头的主扫描方向，使喷墨头置位于成为宽度方向的母板301的宽度尺寸的大致整个区域，就能高效地形成滤波元件303。但是，当与面板区域302的大小尺寸对应而使用不同大小尺寸的母板301时，每次都需要不同的喷墨头，由于成本增大，所以考虑配置多个喷墨头的结构。

但是，喷墨头的结构是，例如使组装的压电元件正确合理地工作而给墨水施加压力以使其喷出，这就需要用来向压电元件适当地发送电信号的电布线。因此，可以考虑使用将喷墨头和电连接该喷墨头并连接用于控制压电元件的电布线的连接器一体装配形成在安装衬底上的头装置的结构。

但是，在配置多个头装置时，就有必要考虑向喷墨头配置电布线的布线等的操作性，和能获得所希望的配置图案的头装置的配置位置以及电噪声等。

发明内容

鉴于以上所述问题的存在，本发明的目的在于：提供装配性良好，并能防止由电噪声造成的影响的喷出方法及其装置、电光装置及其制造方法和制造装置、滤色器及其制造方法和制造装置、以及具有基体材料的器件及其制造方法和制造装置。

(1)本发明的喷出装置其特征在于：具有：

包含设置有将具有流动性的液体向被喷出物上喷出的喷嘴的液滴喷出头、安装了该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件；

使所述多个喷出部件分为多组排列，并且进行配置使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件不相对置，配置所述多个喷出部件使所述液滴喷出头的设置有喷嘴的一面与所述被喷出物的表面隔着间隙对置的保持部件；

使该保持部件和所述被喷出物中的至少任意一方在所述液滴喷出头沿着所述被喷出物的表面的状态下，相对地移动的移动部件。

在该发明中，将在衬底上安装了在一面设置有喷出具有流动性的液体的喷嘴的液滴喷出头和连接器的多个喷出部件分为多组排列，并且在保持部件中配置为安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件不相对置，配置的液滴喷出头的具有喷嘴的一面在沿着被喷出物的表面的状态下对于被喷出物相对移动，从喷嘴向被喷出物上的给定位置适当地喷出液体。根据该结构，在保持部件中配置有多个在安装衬底上设置有液滴喷出头和连接器的喷出部件，所以与分别配置多个液滴喷出头和与这些液滴喷出头对应的连接器时相比，组装变得容易，能提高制造性。另外，因为安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中的喷出部件彼此不相对置，所以配置有连接器的部分为向着与对于液滴喷出头的对面方向相反一侧即外侧的状态，不但向连接器的布线作业变得容易，能提高装配作业性，而且能防止连接器所在部分的电噪声彼此影响，从而的到了稳定良好的液体的喷出。

而且，在本发明中，安装衬底形成纵长形；喷出部件在所述安装衬底的长度方向的一端一侧配置有液滴喷出头，在所述安装衬底长度方向的另一端一侧配置有连接器。根据该结构，不但容易地获得了安装衬底上配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件不相对置，在保持部件上以向着与对于液滴喷出头的对面方向相反一侧即外侧的状态配置多个喷出部件的结构，而且，以简单的结构获得使连接器的位置从液滴喷出头从离开的状态，向连接器的布线作业也变得容易。

另外，在本发明中，最好使配置有连接器的部分不相对置的喷出部件近似点对称地配置。根据该结构，连接器的位置变为离成为近似点对称的另一方的组的喷出部件的连接器的位置最远的位置，能可靠地防止基于电噪声的影响并提高布线作业性。

而且，在本发明中，最好具备将液体提供给喷出部件的供液部件；供液部件从多个喷出部件的组之间的位置使供给管连接各组的各喷出部件，通过该供给管向各喷出部件供给液体。根据该结构，因为用供液部件通过从多个喷出部件的组的配置位置之间的位置连接了各组的喷出部件的供给管供给液体，所以用于供给液体的流路一直到途中都是集中的状态，不但配管作业和维护管理变得容易，而且，能防止由于配管的流路干涉到其他部位，导致保持部件的移动受限，或配管的脱开或损伤等问题。

而且，在本发明中，供液部件具有储存液体的箱、使所述液体流通的供给管、通过所述供给管将所述箱内的液体提供给喷出部件的液滴喷出头的泵；与所述喷出部件的液滴喷出头对应而设置有多个所述供给管，并且从多个喷出部件的组的配置位置之间的位置开始在喷出部件上配管。根据该结构，与喷出部件的液滴喷出头对应设置有多个使存储在箱中的液体流通的供给管，从多个喷出部件的组的配置位置之间的位置开始在喷出部件上分别配管，所以不需要使例如将液体分离供给的结构中从分流位置到顶端位置的流通阻力一致，防止各喷出部件的液滴喷出头间的喷出量的偏移的复杂的结构，通过使用同一形状、同一长度的供给管，就能容易地获得各液滴喷出头间的喷出量均匀的结构，提高制造性。

另外，在本发明中，具有从控制部件连接各喷出部件的连接器的多条电布线；这些电布线最好从保持部件的外周一侧向各喷出部件的连接器分别布线。通过该结构，从控制部件连接各喷出部件的连接器的多条电布线从保持部件的外周一侧向各喷出部件的连接器分别布线，所以能防止电布线所导致的噪声影响，能稳定地喷出良好的液体。

而且，在本发明中，多个喷出部件最好被配置为：使所述液滴喷出头沿着与利用移动部件使液滴喷出头沿着被喷出物的表面进行相对移动的方向交叉的方向呈多列排列的状态。根据该结构，即使对于基于移动部件的移动方向将液滴喷出头以倾斜的状态配置为多列，使喷嘴的间距与在被喷出物的表面喷成点状的液体的点间隔对应，配置有连接器的位置与相邻的喷出部件也不干涉地容易地配置，能提高制造性，能防止布线导致的噪声的影响。

(2)在本发明中，最好使用含有EL发光材料的液体作为喷出的液体，将它喷出到被喷出物即衬底上来形成EL发光层，从而制造电光装置。

(3)在本发明中，最好使用含有滤色材料的液体作为喷出的液体，将它喷出到作为被喷出物的夹持着液晶的一对衬底的一方上，形成滤色器，从而制造电光装置。

(4)在本发明中，最好使用含有滤色材料的液体作为喷出的液体，将它喷出到被喷出物即衬底上，形成呈现不同颜色的滤色器。

(5)在本发明中，最好向被喷出物即基体材料上喷出具有流动性的液体，制造具有设置有给定层的基体材料的器件。

附图说明

下面简要说明附图。

图1是本发明的滤色器制造装置的液滴喷出装置的去掉了表示液滴喷出处理装置的一部分的立体图。

图2是表示同上的液滴喷出处理装置的头部件的俯视图。

图3是同上的侧视图。

图4是同上的主视图。

图5是同上的剖视图。

图6是表示同上的头装置的分解立体图。

图7是表示同上的喷墨头的分解立体图。

图8是说明同上的喷墨头的喷出滤波元件材料的动作的说明图。

图9是说明同上的喷墨头的滤波元件材料的喷出量的说明图。

图10是说明同上的喷墨头的配置状态的概要图。

图11是说明同上的喷墨头的配置状态的局部放大概要图。

图12是表示利用同上的滤色器的制造装置制造的滤色器的模式图，图12(A)是滤色器的俯视图，图12(B)是图(A)的X-X线剖视图。

图13是说明制造同上的滤色器的步骤的制造步骤剖视图。

图14是表示使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的一部分的电路图。

图15是表示同上的显示装置的象素区域的平面结构的放大俯视图。

图16是表示同上的显示装置的制造步骤的前处理的步骤的制造步骤剖视图。

图17是表示同上的显示装置的制造步骤的EL发光材料的喷出的步骤的制造步骤剖视图。

图18是表示上述显示装置的制造步骤的EL发光材料的喷出步骤的制造步骤剖视图。

图19是表示使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的象素区域的平面结构的放大俯视图。

图20是表示使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的象素区域的结构的放大图，图20(A)是平面结构，图20(B)是图20(A)的B-B线剖视图。

图21是表示制造使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

图22是表示制造使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

图23是表示制造使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

图24是表示制造使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

图25是表示制造使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

图26是表示制造使用了本发明电光装置的EL显示元件的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

图27是表示具有同上的电光装置的电子仪器即个人电脑的立体图。

图28是表示具有同上的电光装置的电子仪器即移动电话的立体图。

图29是表示以往的滤色器的制造方法的一个例子的图。

图30是表示本发明电光装置的其他形态即显示装置的图，图30(A)是显示装置的平面模式图，图30(B)是沿着图30(A)的AB线的剖视模式图。

图31是表示同上的显示装置的主要部分的图。

图32是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图33是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图34是表示同上的显示装置的制造中使用的等离子体处理装置的一个例子的俯视模式图。

图35是表示图34所示的等离子体处理装置的第一等离子体处理室的内部结构的模式图。

图36是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图37是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图38是表示同上的显示装置的制造中使用的等离子体处理装置的其他例子的俯视模式图。

图39是表示同上的显示装置的制造中使用的液滴喷出装置的俯视图。

图40是表示喷墨头相对于基体材料的配置状态的俯视图。

图41是表示在喷墨头的一次扫描中形成空穴注入/输送层时的步骤的步骤图。

图42是表示在喷墨头的三次扫描中形成空穴注入/输送层110a时的步骤的步骤图。

图43是表示在喷墨头的两次扫描中形成空穴注入/输送层110a时的步骤的步骤图。

图44是说明本发明电光装置的其他形态即显示装置的制造方法的步骤图。

图45是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图46是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图47是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图48是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图49是说明同上的显示装置的制造方法的步骤图。

图50是具有由本发明的滤色器的制造装置制造的滤色器的液晶装置的剖视结构图。

下面简要说明附图符号。

1—构成作为电光装置的彩色液晶面板的滤色器；12—作为被喷出物的衬底(基体材料)即母板；13—作为液体的滤波元件材料；405R—(405G、405B)—作为喷出装置的滤色器的制造装置即液滴喷出处理装置；421—喷墨头；425—作为构成移动部件的主扫描驱动部件的主扫描驱动装置；426—作为保持部件的滑架；427—作为构成移动部件的副扫描驱动部件的副扫描驱动装置；433—作为喷出部件的头装置；435—作为安装衬底的印刷电路板；441—连接器；442—电布线；466—喷嘴；478—供给管；483—构成作为供液部件的墨水部件的箱；501—电光装置即显示装置；502—作为被喷出物的衬底(基体材料)即显示衬底；540A、540B—作为液体的光学材料；X—主扫描方向；Y—副扫描方向。

具体实施方式

(关于滤色器的制造方法以及制造装置的实施例)

下面，说明本发明的滤色器的制造装置的实施例。首先，在说明该滤色器的制造装置之前，先就制造的滤色器加以说明。图12是表示滤色器的局部放大图，图12(A)是俯视图，图12(B)是图12(A)的X-X线剖视图。

[滤色器的结构]

首先，参照附图说明通过发明的滤色器的制造装置形成的滤色器。图12是表示滤色器的局部放大图，图12(A)是俯视图，图12(B)是图12(A)的X-X线剖视图。

[滤色器的结构]

在图12(A)中，滤色器1具有排列为矩阵状的多个象素1A。这些象素1A的交界处由隔板6划分。在象素1A的一个一个中导入了红(R)、绿(G)、蓝(B)的任意一种墨水即作为液体的滤色材料即滤波元件材料13。图12所示的滤色器中，对红、绿、蓝的配置为所谓的镶嵌阵列进行了说明，但是如以上所述，也能使用带状阵列和三角阵列等任意的配置。

如图12(B)所示，滤色器1具有透光性的衬底12和透光性的隔板6。未形成该隔板6的部分即除去的部分构成所述象素1A。导入该象素1A中的各色的滤波元件材料13构成成为着色层的滤波元件3。隔板6和滤波元件3的上表面上形成了保护层即保护膜4和电极层5。

[滤色器制造装置的结构]

下面，参照附图说明制造所述滤色器的制造装置的结构。图1是本发明的滤色器制造装置的去掉了表示液滴喷出处理装置的一部分的立体图。滤色器制造装置制造构成作为电光装置的彩色液晶面板的滤色器1。该滤色器制造装置具有图中未显示的液滴喷出装置。

[液滴喷出处理装置的结构]

而且，液滴喷出装置具有图1所示的三台液滴喷出处理装置405R、405G、405B。这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B与向母板12分别喷出作为液体的墨水即滤色材料例如R、G、B的滤波元件材料13的R、G、B等三色对应。须指出的是，这些液滴喷出处理装置405R、405G、405B配置为近直列状，构成液滴喷出装置。另外，在各液滴喷出处理装置405R、405G、405B中一体设置有控制各构成构件的动作的图中未显示的控制装置。

须指出的是，各液滴喷出处理装置405R、405G、405B上分别连接了将母板12一块一块地搬入和搬出的图中未显示的输送机械手。另外，在各液滴喷出处理装置405R、405G、405B上连接了能容纳例如6块母板12，并且对母板12进行热处理，在例如120℃加热5分钟，使喷出的滤波元件材料13干燥的多级烤炉。

而且，如图1所示，各液滴喷出处理装置405R、405G、405B具有中空箱状的主体箱即热洁净室422。该热洁净室422内被形成为：内部调整为例如20±0.5℃，尘埃不可能从外部侵入，能获得基于喷墨方式的稳定的良好描画。在该热洁净室422内配置有液滴喷出处理主体423。

如图1所示，液滴喷出处理主体423具有X轴气动台424。在该X轴气动台424上配置有设置有图中未显示的线性电机的主扫描驱动装置425。该主扫描驱动装置425具有通过吸引安装固定母板12的图中未显示的台座部，使该台座部在X轴方向即对于母板12在主扫描方向移动。

如图1所示，在液滴喷出处理主体423上，位于X轴气动台424的上方，配置有作为Y轴台的副扫描驱动装置427。该副扫描驱动装置427使沿着例如上下方向喷出滤波元件材料13的头部件420在Y轴方向即对于母板12在副扫描方向移动。须指出的是，在图1中，为了明确位置关系，在浮在空中的状态下，用实线表示了头部件420。

另外，在液滴喷出处理主体423上，配置有为了控制作为后述的液滴喷出头的喷墨头421的位置和母板12的位置而识别位置的位置识别部件即图中未显示的各种照相机。须指出的是，头部件420和台座部的位置控制除了使用脉冲电机的位置控制，还能由使用伺服电机的反馈控制和其他任意的控制方法实现。

另外，如图1所示，在液滴喷出处理主体423上，设置有头部件420中的喷出滤波元件材料13的面的擦拭部件481。该擦拭部件481的结构为：适当地卷绕一体层叠了例如布构件和橡胶薄板的图中未显示的擦拭构件的一端，依次用新的面擦拭喷出滤波元件材料13的面。由此，除去附着在喷出面上的滤波元件材料13，使后述的喷嘴的堵塞不会发生。

如图1所示，在液滴喷出处理主体423上，设置有墨水系统482。该墨水系统482具有：储存滤波元件材料13的墨水箱483；滤波元件材料13能流通的供给管478；从墨水箱483通过供给管478，将滤波元件材料13向头部件420供给的图中未显示的泵。须指出的是，在图1中，供给管478的管道是模式地表示的，应布线为从墨水箱483开始，不影响头部件420的移动，并且从使头部件420扫描的副扫描驱动装置427的上方向头部件420供给滤波元件材料13。

另外，在液滴喷出处理主体423上设置有检测从头部件420喷出的滤波元件材料13的喷出量的重量测定部件485。

在液滴喷出处理主体423上设置有一对具有例如图中未显示的光传感器，并且检测来自头部件420的滤波元件材料13的喷出状态的漏点检测部件487。该漏点检测部件487配置为：沿着与从头部件420喷出液体的方向交叉的方向例如X轴方向，图中未显示的光传感器的光源和光敏部夹着从头部件420喷出的液滴通过的空间相对。另外，配置在头部件420的输送方向即Y方向一侧，在每次为了喷出滤波元件材料13使头部件420副扫描移动时，检测喷出状态，检测漏点。

须指出的是，后面将详细描述，但是在头部件420上将喷出滤波元件材料13的头装置433配置为两列。因此，为了检测各列头装置，配置有一对漏点检测部件487。

[头部件的结构]

下面，就头部件420的结构加以说明。图2是表示设置在液滴喷出装置上的头部件的俯视图。图3是表示头部件的侧视图。图4是表示头部件的主视图。图5是表示头部件的剖视图。

头部件420如图2～5所示，具有头主体部430和墨水供给部431。另外，头主体部430具有平板状的滑架426、安装在该滑架426上的实质上近同一形状的头装置433。

(头装置的结构)

图6是表示配置在头部件420上的头装置433的分解立体图。

头装置433如图6所示，具有长方形的印刷电路板435。在该打印衬底435上，设置有安装了各种电元件436的图中未显示的电布线。另外，在印刷电路板435上，在长度方向的一端一侧(图6中右侧)，贯通形成了窗部437。在印刷电路板435上，在窗部437的两侧，设置有墨水即滤波元件材料13能流通的流通路438。

而且，在该印刷电路板435的一面一侧(图6中的下表面一侧)，在长度方向的近一端一侧(图6中右侧)，通过安装构件440，一体安装了喷墨头421。该喷墨头421形成矩形形状，在长度方向沿着印刷电路板435的长度方向的状态下被安装。

须指出的是，各头装置433中的各喷墨头421实质上是近同一形状，即例如是给定规格的制品，即按给定的质量选择的。具体而言，这些喷墨头421最好具有相同个数的后述的喷嘴，喷嘴的形成配置彼此相同，这在对于滑架组装喷墨头时，使效率提高，能提高组装精度。如果使用经过同一制造、组装步骤制造的制品，就没必要制造特别的制品，能降低成本。

另外，在印刷电路板435的另一面一侧(图6中的上表面一侧)，在长度方向的近另一端(图6中的左侧)，一体安装了用电布线电连接了喷墨头421的连接器441。在这些连接器441上，如图1模式地显示的那样，在不影响头部件420的移动的前提下，连接了在副扫描驱动装置427上配置的电布线442(包含电源布线、信号布线)。该电布线442连接了图中未显示的控制装置和头部件420。即这些电布线442如图2和图5中用双点划线的箭头模式地表示的那样，从副扫描驱动装置427开始，在头部件420的两列头装置433的配列方向的两侧即头部件420的外周一侧布线，连接了连接器441，使电噪声不产生。

在印刷电路板435的另一面一侧(图6中的上表面一侧)，在长度方向的近一端一侧(图6中的右侧)，与喷墨头421对应，安装了墨水导入部443。该墨水导入部443具有：安装在安装构件440上，并且与贯穿印刷电路板435的定位销部444配合的近圆筒状的定位筒部445；与印刷电路板435配合止动的配合止动爪部446。

另外，在墨水导入部443上，伸出设置有一对顶端细的近圆筒状的连接部448。这些连接部448在成为印刷电路板435一侧的基端部，具有与印刷电路板435的流通路438连通的图中未显示的开口，在顶端部，具有滤波元件材料13能流通的图中未显示的孔。

在这些连接部448上，如图3～图6所示，在顶端一侧，分别安装了密封连接部450。这些密封连接部450在内周一侧形成了与连接部448配合的近圆筒状，在顶端部设置有密封构件449。

(喷墨头的结构)

图7是表示喷墨头421的分解立体图。图8是将喷墨头421喷出滤波元件材料13的动作与喷墨头421的剖面对应进行说明的模式图，图8(A)是喷出滤波元件材料之前的状态，图8(B)是使压电振子452收缩，喷出滤波元件材料13的状态，图8(C)是喷出滤波元件材料13之后的状态。图9是说明喷墨头421的滤波元件材料13的喷出量的说明图。图10是说明喷墨头421的配置状态的概要模式图。图11是图10的局部放大图。

喷墨头421如图7所示，具有近矩形的支架451。在该支架451上沿着长度方向例如设置有两列180个压电元件。另外，在支架451上，与印刷电路板435的流通路438连通，并且在长度方向的两侧近中央分别设置有墨水即滤波元件材料13流通的通孔453。

另外，在支架451的压电振子452所在的一面即上表面上，如图7所示，一体设置有由合成树脂形成薄板状的弹性板455。该弹性板455上分别设置有与通孔453连续的连通孔456。而且，在弹性板455上，设置有与在支架451的上表面的近四角上突出设置的定位爪部457配合的配合孔458，在支架451的上表面上定位，一体安装。

在弹性板455的上表面上设置有平板状的流路形成板460。在该流路形成板460上，设置有：在支架451的宽度方向，以纵长形与压电振子452对应，并且在支架451的长度方向设置的两列180个的直列状的喷嘴沟461；在喷嘴沟461的一侧，在支架的长度方向设置为纵长形的开口部462；与弹性板455的连通孔456连续的流通孔463。而且，在弹性板455上，设置有与在支架451的上表面的近四角上突出设置的定位爪部457配合的配合孔458，与弹性板455一起定位，并被一体安装在支架451的上表面上。

另外，在流路形成板460的上表面上，设置有近平板状的喷嘴板465。在该喷嘴板465上，与流路形成板460的喷嘴沟461对应，在支架451的长度方向，在25.4mm(1inch)的长度范围内，以直列状，设置有两列180个近圆形的喷嘴466。另外，在喷嘴板465上，设置有与在支架451的上表面的近四角上突出设置的定位爪部457配合的配合孔458，与弹性板455以及流路形成板460一起定位，并被一体安装在支架451的上表面上。

而且，如图8中模式地表示的那样，通过层叠的弹性板455、流路形成板460和喷嘴板465，在流路形成板460的开口部462，划分、形成了储液池467，并且该储液池467通过液供给路468与各喷嘴沟461连续。由此，喷墨头421根据压电振子452的动作，喷嘴沟461内的压力增大，从喷嘴以2～13pl例如约10pl的滴流量，7±2m/s的扬程，喷出滤波元件材料13。即如图8所示，通过对于压电振子452以脉冲状外加给定的外加电压Vh，如图8(A)、(B)、(C)依次所示，通过使压电振子452在箭头Q的方向适当伸缩，对墨水即滤波元件材料13加压，以给定量的液滴8，从喷嘴466喷出。

另外，该喷墨头421如以上所述，存在图9所示的阵列方向的两端部的喷出量增多的喷出量偏移。因此，进行控制，使例如喷出量偏移在5％以内的范围的喷嘴466即从两端部的各10个喷嘴466不喷出滤波元件材料13。

而且，构成头部件420的头主体部430的结构为：如图1～图5所示，彼此并列配置有多个具有喷墨头421的头装置433。该头装置433在滑架426上的配置如图10模式地显示的那样，被排列为在从副扫描方向即Y轴方向向与Y轴方向正交的主扫描方向即X轴方向一侧倾斜的方向上偏移。即在从副扫描方向即Y轴方向倾斜若干的方向上并列配置有六个，将该列作为组配置有多列例如以两组即两列配置。这是从以下状况出发而考虑的配置方法：一方面，与喷墨头421相比，头装置433的短边方向的宽度宽，无法使彼此相邻的喷墨头421彼此的配置间隔变窄，而且必须在Y轴方向连续配置喷嘴466的列。

在头主体部430中，头装置433在喷墨头421的长度方向在与X轴方向交叉的方向上倾斜的状态下，并且在位于与连接器441相对置的方向的相反一侧的状态下，配置为近似点对称。该头装置433的倾斜配置状态为例如喷墨头421的长度方向即喷嘴列的配置方向对于X轴方向倾斜57.1o。

另外，头装置433配置为近交错状即对于阵列方向不在并列状态。即如图2～图5以及图10所示，将喷墨头421配置为两列，使12个喷墨头421的喷嘴466在Y轴方向连续排列，并且向该Y轴方向的排列顺序配置位彼此不同的交错。

具体而言，根据图10和图11，更具体地说明。在此，喷墨头421中，其长度方向即喷嘴466的阵列方向对于X轴倾斜。因此，设置在喷墨头421上的两列喷嘴466的第一列中，在喷出滤波元件材料13的第11个喷嘴466所在的X轴方向的直线上，存在成为第二列的喷嘴466的另一方不喷出的10个以内的位置的区域A(图11中的A)。即在一个喷墨头421中，在X轴方向的直线上，产生了不存在两个喷嘴的区域A。

因此，如图10和图11所示，在一个喷墨头421中，在X轴方向的直线上，在两个喷嘴466所在的区域B(图11中的B)中，成列的头装置433在X轴方向不位于并列状态。在形成一方的列的头装置433的X轴方向上的直线上只存在一个的区域A和形成另一方的列的头装置433的X轴方向上的直线上只存在一个的区域A在X轴方向上，彼此位于并列状态，一方的列的喷墨头421和另一方的列的喷墨头421在X轴方向上的直线上，合计有两个喷嘴466。即在配置有喷墨头421的区域中，配置为交错状，即不论在哪条X轴方向的直线上，一定合计有两个喷嘴466。须指出的是，不喷出滤波元件材料13的喷嘴466的区域X不作为该X轴方向的直线上的两个喷嘴466的数计算。

这样，对于主扫描的X轴方向，喷出墨水的喷嘴的两个位于直线上，如后所述，从这两个喷嘴向一个地方喷出墨水。如果只用来自一个喷嘴的喷出构成一个元件，则喷嘴间的喷出量的偏移与元件特性偏移和成品率下降有关，所以，如果这样通过来自不同的喷嘴喷出，形成一个元件，就能分散喷嘴间的喷出偏移，能实现在元件间的特性均匀化和提高成品率。

(墨水供给部的结构)

墨水供给部431如图2～图5所示，具有：与头主体部430的两列对应，分别设置的一对平板状的安装板471；安装在这些安装板471上的多个供给主体部472。而且，供给主体部472具有近细长圆筒状的进退部474。该进退部474用安装夹具473，在贯通安装板471的状态下，安装为能沿轴向移动。另外，供给主体部472的进退部474例如由盘簧475等，安装在靠向从安装板471向头装置433进退的方向。须指出的是，在图2中，为了说明上的方便，墨水供给部431只对两列的头装置433中的一列进行了图示，省略了其他。

在该进退部474的与头装置433相对一侧的端部，设置有刷部476。在该刷部476的外周边形成凸缘，端面抵抗盘簧475的拉力，与头装置433的墨水导入部443的密封构件449接触。另外，在与进退部474的设置有刷部476的一侧相反一侧的端部上，设置有接合部477。该接合部477如图1模式地表示的那样，连接了滤波元件材料13流通的供给管478的一端。

如以上所述，该供给管478如图1模式地表示的那样，在不影响头部件420的移动的前提下，在副扫描驱动装置427上布线，如图2和图4中用单点划线的箭头模式地表示的那样，从副扫描驱动装置427开始，在头部件420上方以两列配置的墨水供给部431之间的近中央配管，再配置为放射状，顶端连接到墨水供给部431的接合部477。

而且，墨水供给部431将通过供给管流通的滤波元件材料13提供给头装置433的墨水导入部443。另外，提供给墨水导入部443的滤波元件材料13被提供给喷墨头421，从电控制的喷墨头421的各喷嘴466适当喷出液滴8状。

[滤色器的制作工作]

(前处理)

下面，参照附图，说明使用所述实施例的滤色器制造装置，形成滤色器1的动作。图13是说明使用所述滤色器制造装置，制造滤色器1的步骤的制造步骤剖视图。

首先，用在热浓硫酸中添加了1质量％的过氧化氢水的洗净液，洗净膜厚尺寸0.7mm、纵尺寸38cm、横尺寸30cm的无碱玻璃的透明衬底即母板12的表面。该洗净后，用纯水冲洗，在空气中干燥，得到清净表面。在该母板12的表面上，通过例如溅射法，以平均0.2μm的膜厚形成铬膜，得到金属层6a(图13中的步骤S1)。

将该母板12在热板上，在80℃进行5分钟的干燥后，在金属层6a的表面上，例如通过旋转镀膜，形成图中未显示的光刻胶层。将描画了例如所要的矩阵图案形状的图中未显示的掩模膜粘合在该母板12的表面上，用紫外线曝光。接着，将该曝光了的母板12浸渍在包含8质量％的氢氧化钾的碱显影液中，除去未曝光部分的光刻胶，对抗蚀层刻膜。接着，用例如以盐酸为主成分的蚀刻液，蚀刻除去露出的金属层6a。这样，就得到了具有给定的矩阵图案的遮光矩阵即遮光层6b(图13中的步骤S2)。须指出的是，遮光层6b的膜厚大约为0.2μm，遮光层6b的宽度大约为22μm。

用例如旋转镀膜法，再在设置有该遮光层6b的母板12上，涂敷阴性的透明丙烯酸类的感光性树脂组成物6c(图13中的步骤S3)。将设置有该感光性树脂组成物6c的母板12，在100℃预烘焙20分钟后，使用描画了给定的矩阵图案形状的图中未显示的掩模膜，进行紫外线曝光。然后，例如用上述的碱性显影液使未曝光的部分显影，用纯水冲洗后，旋转干燥。例如在200℃，进行30分钟的作为最终干燥的后烘焙，使树脂部分充分硬化，形成隔板层6d。该隔板层6d的膜厚平均约为2.7μm，宽度约为14μm。由该隔板层6d和遮光层6d形成了隔板6(图13中的步骤S4)。

为了改善用所述得到的遮光层6d和隔板层6d划分的着色层形成区域即滤波元件形成区域7(特别是母板12的露出面)的墨水浸湿性，进行干蚀刻即等离子体处理。具体而言，对在氦中加了20％氧的混合气体外加高电压，用等离子体处理形成蚀刻点，使母板12通过形成的蚀刻点下，进行蚀刻，实施母板12的前处理步骤。

(滤波元件材料的喷出)

接着，向由实施了上述的前处理的母板12的隔板6划分形成的滤波元件形成区域7内，通过喷墨方式，导入即喷出红(R)、绿(G)、蓝(B)各滤波元件材料(图13中的步骤S5)。

当基于该喷墨方式的滤波元件材料13的喷出时，预先组装头部件420。然后，在液滴喷出装置的各液滴喷出处理装置405R、405G、405B中，将从各喷墨头421的一个喷嘴喷出的滤波元件材料13的喷出量调整为给定量例如10pl左右。而在母板12的一面上，预先将隔板6形成格子状图案。

然后，通过图中未显示的机械手，将如以上所述进行了前处理的母板12首先搬入R色用的液滴喷出处理装置405R中，放在液滴喷出处理装置405R内的台座部上。例如通过吸引，定位固定了放在该台座部上的母板12。然后，用各种相机确认了母板12的位置，控制主扫描驱动装置425，使保持了母板12的台座部适当移动到给定的位置。另外，用副扫描驱动装置427使头部件420适当移动，确认它的位置。然后，使头部件420在副扫描方向移动，用漏点监测部件487监测来自喷嘴466的喷出状态，确认不会产生喷出不良，使其移动到初始位置。

然后，在X方向，使可由主扫描驱动装置425移动的台座部所保持的母板12在X方向扫描，对于母板12，相对地使头部件420移动，从喷墨头421的给定的喷嘴466适当喷出滤波元件材料13，填充到由母板12的隔板6划分的凹部内。来自该喷嘴466的喷出通过图中未显示的控制装置进行控制，使位于图11所示的喷嘴466的配置方向的两端部的给定区域X，例如从两端各10个喷嘴466不喷出滤波元件材料13，从位于中间部分的喷出量比较一样的160个喷出。

另外，来自喷嘴466的喷出中，因为在扫描方向的直线上即扫描线上有两个喷嘴466，所以在移动中向一个凹部从一个喷嘴466两点，更具体而言，从一个喷嘴466喷出两个液滴作为一点，总共喷出了8个液滴的量。在每一个扫描移动中，通过漏点监测部件487检测喷出状态，确认不会产生喷出不良。

当未确认了漏点时，使头部件420在副扫描方向移动给定量，再使保持母板12的台座部在主扫描方向移动，重复使滤波元件材料13喷出的动作，在给定的滤色器形成区域11的给定的滤波元件形成区域7上形成滤波元件3。

(干燥、硬化)

然后，通过图中未显示的机械手将被喷射了R色的滤波元件材料13的母板12从液滴喷出处理装置405R取出，用图中未显示的多级烤炉，例如在120℃，使滤波元件材料13进行5分钟干燥。该干燥后，通过机械手，从多级烤炉取出母板12，一边冷却一边输送。然后从液滴喷出处理装置405R开始，一次输送到G色用的液滴喷出处理装置405G和B色用的液滴喷出处理装置405B，与形成R色时同样，向给定的滤波元件形成区域7依次喷出G色和B色滤波元件材料13。然后，回收被喷射了各三色的滤波元件材料13并且干燥后的母板12，通过热处理即加热滤波元件材料13，使其凝固、固定(图13中的步骤S6)。

(滤色器的形成)

然后，在形成了滤波元件3的母板12的近整个面上形成保护膜4。再在该保护膜4上用ITO(Indium-Tin Oxide)以所要的图案，形成电极层5。然后，另外切断各滤色器形成区域11，形成多个滤色器1(图13中的步骤S7)。如刚才的实施例中说明的那样，形成了该滤色器1的母板12作为液晶装置中的一对衬底的一方使用。

[滤色器的制造装置的效果]

根据图1～图13所示的实施例，具有以下作用效果。

即用作为使在安装衬底即印刷电路板435的一面上设置有在一面上设置有将作为具有流动性的液体的滤色材料即滤波元件材料13向母板12上喷出的喷嘴466的喷墨头421，并且在从印刷电路板435的从喷墨头421的周面突出的位置设置有电连接了进行从喷嘴466使滤波元件材料13喷出的控制的控制部件的连接器441的喷出部件即头装置433与印刷电路板435的配置有连接器441的部分彼此不相对地并列配置有多个的保持部件的滑架426，在具有喷嘴466的喷墨头421的一面隔着给定的间隙与母板12的表面相对置的状态下，在沿着该母板12的表面的方向上使滑架426相对移动，从喷嘴466向母板12的给定位置适当地喷出滤波元件材料13。因此，使用在滑架426上设置有喷墨头421和连接器441的头装置433，在滑架426上彼此并列配置多个，所以与分别配置多个喷墨头421和与这些喷墨头421对应的连接器441时相比，组装变得容易，能提高制造性。另外，在滑架426上保持了多个头装置433，使在印刷电路板435上配置电连接了进行从喷嘴466使滤波元件材料13喷出的控制的控制装置的连接器441的部分与其他组的喷墨头421彼此不相对置，所以配置有连接器441的部分变为向着与对于喷墨头421对置的方向相反一侧即外侧的状态，不但使向连接器441的布线作业变得容易，能提高装配作业性，而且能防止连接器441所在的部分的电噪声彼此影响，从而能得到稳定、良好的滤波元件材料13的喷出。

而且，在形成纵纵长形状的印刷电路板435的长度方向的一端一侧配置喷墨头421，在长度方向的另一端一侧配置有连接器441。因此，印刷电路板435上配置有连接器441的部分与其他列即组的喷墨头421彼此不相对置，能容易地获得在向着与对于喷墨头421对置的方向相反一侧即外侧的状态下配置的结构，并且以简单的结构获得了连接器441的位置从喷墨头421离开的状态，使向连接器441的布线作业变得容易，能容易地维护管理。

在长方形的印刷电路板435的一端一侧配置有多个喷墨头421在另一端一侧配置有连接器441。因此，即使在多条直线上配置，也能使连接器441不干涉地配置，不但能实现小型化，而且不会形成在主扫描方向上不存在喷嘴466的位置，能得到连续的喷嘴466的排列，没必要使用纵长的特别的喷墨头。

而且，配置有喷墨头421使组即两列成近似点对称。因此，能一直到头部件420的附近集中配置供给滤波元件材料13的供给管478，能容易地进行装置的组装和维护管理。

另外，用于控制喷墨头421的电布线442的布线变为从头部件420的两侧即滑架426的外周一侧，能防止电布线442导致的电噪声的影响，能得到良好、稳定的描画。能将电布线442和供给滤波元件材料13的供给管478分开布线、配管，使电布线442和供给管478不缠绕，能容易地进行装配作业，能防止缠绕在一起导致的损伤和滤波元件材料13的喷出状态的变动。

而且，以点对称进行配置使连接器441位于相反一侧，所以能防止连接器441部分的电噪声的影响，能得到良好、稳定的描画。

另外，使在一面上在多条近直线上设置有将作为具有流动性的液体例如墨水即滤波元件材料13喷出的喷嘴466的喷墨头421，在这些喷墨头421的设置有喷嘴466的一面隔着给定的间隙与作为被喷出物的母板12的表面相对置的状态下，沿着母板12的表面相对地移动，从喷墨头421的各喷嘴466中的位于喷嘴466的配置方向的两端部的给定区域XX的例如两侧10个喷嘴466不喷出，从位于给定区域XX以外的中间部分的喷嘴466向母板12的表面喷出滤波元件材料13。根据该结构，从喷出量特别多的位于喷嘴466的配置方向的两端部的给定区域XX的例如两侧10个喷嘴466不喷出，使用喷出量比较一样的中间部分的喷出466使其喷出滤波元件材料13，所以能在母板12的表面上平面、均匀地喷出，能得到平面上质量均匀的滤色器1，在使用了该滤色器1的电光装置即显示装置中得到良好的显示。

而且，不从比滤波元件材料13的喷出量的平均值多10％以上的喷嘴466喷出，所以即使在将滤色器1的滤波元件材料13、EL发光材料、含有带电粒子的电泳装置用的功能性液体作为液体使用时，在特性上也不产生偏移，作为液晶装置和EL装置等电光装置，能准确地得到良好的特性。

另外，因为从喷嘴466对于喷出量的平均值在±10％以内，喷出了滤波元件材料13，所以喷出量比较一样，向母板12的表面进行了平面、均匀地喷出，得到了特性良好的电光装置。

而且，通过使用以近等间隔在直线上配置有喷嘴466的喷墨头421，能容易地描画例如带状阵列、镶嵌阵列或三角阵列等具有给定的规则性的结构。

在以近等间隔在直线上配置有喷嘴466的喷墨头421的结构中，在纵长矩形的喷墨头421上，沿着长度方向以近等间隔在直线上配置有喷嘴466，所以能使喷墨头421小型化，使例如相邻的喷墨头421彼此和其他的部位的干涉，能容易地实现小型化。

另外，在与喷嘴466的配置方向交叉的方向使喷墨头421相对移动，所以喷嘴466的配置方向对于移动方向为倾斜的状态，滤波元件材料13的喷出间隔即元件间的间距比喷嘴间的间距窄，只通过适当设定倾斜的状态，就能容易地与在母板12的表面上喷出点状时所希望的元件间的间距对应，没必要对应于元件间的间距而形成喷墨头421，能提高通用性。

使在一面上在多条近直线上设置有将作为具有流动性的液体例如墨水即滤波元件材料13喷出的喷嘴466的喷墨头421，在这些喷墨头421的设置有喷嘴466的一面隔着给定的间隙与母板12等被喷出物的表面相对置的状态下，沿着被喷出物的表面相对地移动，从多个喷墨头421的各喷嘴466向被喷出物的表面喷出相同的液体。因此，例如使用相同的标准品的喷墨头421，能向宽阔的范围使液体喷出，不必使用纵长的特别的喷墨头，就能通过使用多个以往的标准品代替，能降低成本。通过适当设定配置喷墨头421的配置方向的数，就能与喷出液体的区域对应，能提高通用性。

另外，因为配置有多个喷墨头421，所以即使在例如向母板12的表面喷出的区域宽阔时或在相同地方重叠喷出时，也没必要使喷墨头421移动多次，另外，没必要形成体别的喷墨头，能以简单的结构容易地喷出滤波元件材料12。

通过使用同一形状的部件作为多个喷墨头421，即使用一种喷墨头421，通过适当地配置就能与喷出一体的区域对应，从而简化了结构，能提高制造性，能降低成本。

另外，在喷嘴466的配置方向分别近平行的状态下，在滑架426上配置喷墨头421，构成了头部件420，所以例如当喷嘴466的配置方向以近直线状平行时，喷嘴466的配置区域变宽，能向宽阔的范围喷出滤波元件材料13，能提高喷出效率，另外，当以并列状态与喷墨头421的移动方向平行时，能从不同的喷墨头421向一个地方重叠喷出液体，能容易使喷出区域中的喷出量平均化，能得到稳定良好的描画。

而且，因为使多个喷墨头421分别在与主扫描方向交叉的方向上倾斜，位于近直线上，所以滤波元件材料13的喷出间隔即元件间的间距比喷嘴间的间距窄，例如当将被滤波元件材料13喷射了的母板12在显示装置中利用时，能得到更详细的显示形态。还能防止相邻的喷墨头421的干涉，能容易地实现小型化。而且，通过适当设定该倾斜角，就能恰当地设定描画的点间距，能提高通用性。

另外，因为将多个喷墨头421以多列例如两列配置为近交错状，所以不必使用纵长的特别的喷墨头421，即使使用现有产品的喷墨头421，也能在相邻的喷墨头421不干涉的前提下，不产生在喷墨头421间不喷出液体的区域，能进行连续良好的液体的喷出即连续的描画。

而且，使在一面上设置有多个将具有流动性的液体例如墨水即滤波元件材料13喷出的喷嘴466的喷墨头421，在喷墨头421的设置有喷嘴466的一面隔着给定的间隙与作为被喷出物的母板12的表面相对置的状态下，沿着母板12的表面相对地移动，从位于沿着该相对移动的方向的直线上的多个例如两个喷出466喷出滤波元件材料13。因此，获得了从不同的喷嘴466重叠喷出滤波元件材料13的结构，即使假设在多个喷嘴466间在喷出量上存在偏移时，也能使喷出的滤波元件材料13的喷出量平均化，能防止偏移，能得到平面、均匀的喷出，能得到在平面上质量均匀的特性良好的电光装置。

因为设置有漏点检测部件487，检测来自喷嘴466的滤波元件材料13的喷出，所以能防止滤波元件材料13的喷出不均匀，能准确地得到良好的滤波元件材料13的喷出即描画。

而且，在漏点检测部件487上设置有光传感器，用该光传感器在对于滤波元件材料13的喷出方向交叉的方向检测滤波元件材料13的通过，即使在喷出滤波元件材料13的步骤中，也能以简单的结构，准确地确认滤波元件材料13的喷出状态，能防止滤波元件材料13的喷出不均匀，能准确地得到良好的滤波元件材料13的喷出即描画。

在从喷嘴466向母板12喷出滤波元件材料13的步骤的前后，通过漏点检测部件487检测滤波元件材料13的喷出，所以能检测用于描画的滤波元件材料13的喷出之前和之后的喷出状态，能准确地确认喷出状态，能准确地防止漏点，能得到良好的描画。须指出的是，可以只在喷出结构的前或后的一方的时刻进行。

另外，在头部件420的主扫描方向一侧配置有漏点检测部件487，所以为了滤波元件材料13的喷出状态的检测而使头部件420移动的距离短，并且能以简单结构使向用于喷出的主扫描方向的移动就这样继续，能以简单的结构高效地检测漏点。

[滤色器的适用例]

下面，作为具有所述实施例的滤色器的电光装置的一个例子，以彩色液晶装置为例进行说明。图50是具有所述实施例的滤色器的液晶装置的剖视结构图。

本实施例的液晶装置700由具有彼此相对配置的滤色器衬底741和有源元件衬底701、夹在它们之间的液晶层702、设置在滤色器衬底741的上表面一侧(观测者一侧)的相位差板715a、偏振板716a、设置在有源元件衬底701的下表面一侧的相位差板715b、偏振板716b的液晶面板750为主体构成。在该液晶面板750上通过安装液晶驱动用驱动器芯片和用于传输信号的布线类、支撑体等附带要素，就构成了作为最终产品的液晶装置。

滤色器衬底741是具有光透射性衬底(衬底)742的向着观测者一侧设置的表面一侧的衬底，有源元件衬底701是设置在它的相反一侧换言之背面一侧的衬底。

滤色器衬底741以塑料薄膜或厚度300μm(0.3mm)左右的玻璃等衬底构成光透射性衬底742和形成在该衬底742的下侧(换言之，液晶层一侧的面)的滤色器751为主体构成。

滤色器751具有：形成在该衬底742的下侧(换言之，液晶层一侧的面)的隔板706、滤波元件703…、覆盖隔板706和滤波元件703…的保护膜704。

隔板706分别包围形成各滤波元件703的着色层形成区域即滤波元件形成区域707而形成了格子状，并且形成在衬底742的一面742a上。隔板706具有多个孔706c。各孔706c内露出衬底742面。而且，由隔板706的内壁(孔706c的壁面)和衬底742面划分，形成了滤波元件形成区域707…。

隔板706例如由黑色感光性树脂膜构成，作为该黑色感光性树脂膜，最好至少包含例如通常的光刻胶中使用的阳性或阴性的感光性树脂、炭黑等黑色无机颜料或黑色有机颜料。该隔板706包含黑色无机颜料或有机颜料，并且形成在除了滤波元件703…的形成位置的部分，所以能遮断滤波元件703…彼此间的光的透射，因此该隔板706具有作为遮光膜的功能。

滤波元件703…是通过喷墨方式向设置在隔板706的内壁和衬底742上的滤波元件形成区域中导入即喷出红(R)、绿(G)、蓝(B)等滤波元件材料，然后通过使其干燥而形成的。

在保护膜704的下侧(液晶层一侧)，跨保护膜704的近整个面形成了由ITO(Indium-Tin Oxide)等透明导电材料构成的液晶驱动用的电极层705。再覆盖该液晶驱动用的电极层705，在液晶层一侧设置有定向膜719a，另外在相反一侧的有源元件衬底701的后述的象素电极732上也设置有定向膜719b。

有源元件衬底701的结构为：在光透射性衬底714上形成了图中未显示的绝缘层，再在该绝缘层上形成作为TFT型的开关元件的薄膜晶体管T和象素电极732。另外，在形成在衬底714上的绝缘层上，多条扫描线和多条信号线形成了矩阵状，在由这些扫描线和信号线包围的各区域中设置有所述的象素电极732，在各象素电极732与扫描线以及信号线电连接的位置配置有薄膜晶体管T，通过外加对于扫描线以及信号线的信号，能使薄膜晶体管T导通、断开，控制对象素电极732的通电。另外，在相对一侧的滤色器衬底741一侧形成的电极层705在本实施例中是覆盖象素区域全体的全面电极。须指出的是，能在TFT的布线电路和象素电极形状上使用各种电路和形状。

有源元件衬底701和滤色器衬底741通过沿着滤色器衬底741的外周缘形成的密封材料755，隔着给定的间隙粘贴在一起。另外，符号756是用于使两个衬底间的间隔(单元间隔)在衬底面内保持一定的间隔团。结果在有源元件衬底701和滤色器衬底741之间通过俯视图中为近框状的密封材料755划分形成了矩形的液晶密封区域，在该液晶密封区域内密封了液晶。

如图50所示，滤色器衬底741比有源元件衬底701小，在有源元件衬底701的周边部分从滤色器衬底741的外周缘超出的状态下，粘贴在一起。因此，在有源元件衬底701中，在密封材料455的外周一侧区域中，能与象素开关用的薄膜晶体管T同时形成驱动电路用的TFT，因此能设置扫描线驱动电路和数据线驱动电路。

在该液晶面板750中，在有源元件衬底701和滤色器衬底741的光入射一侧和光出射一侧的面上，按照常白模式/常黑模式，将所述偏振板716a、716b(偏振片)配置在给定的方向。

在这样构成的液晶面板750中，在有源元件衬底701中，根据通过数据线(图中未显示)和薄膜晶体管T在象素电极732上外加的信号，在象素电极732和对置电极718之间，对各象素控制液晶的定向状态，进行与显示信号对应的给定显示。例如，当用TN模式构成液晶面板750时，当对于在一对衬底间(有源元件衬底701和滤色器衬底741)分别形成的定向膜719a、719b进行摩擦处理时，如果将摩擦方向设定为彼此正交的方向，则液晶在衬底间以90o的角度扭转定向。通过在衬底间在液晶层702上外加电场，解放了这样的扭转定向。因此，根据是否从外部在衬底间外加电场，能对形成了象素电极732的每个区域(各象素)控制液晶的定向状态。

因此，当将液晶面板750作为透射型的液晶面板使用时，来自配置在有源元件衬底701的下侧的照明装置(图中未显示)的光通过入射一侧的偏振板716b变为给定的直线偏振光后，通过相位差板715b、源元件衬底701入射液晶层702中，透射某一区域的直线偏振光的透射偏振轴被扭转后出射，而通过其他区域的直线偏振光的透射偏振轴不被扭转而出射。因此，如果将入射一侧的偏振板716b和出射一侧的偏振板716a配置为彼此的透射偏振轴正交(常白)，则通过配置在液晶面板750的出射一侧的偏振板716a的只有由液晶扭转了透射偏振轴的一方的直线偏振光。而如果将入射一侧的偏振板716b和出射一侧的偏振板716a配置为平行(常黑)，则通过配置在液晶面板750的出射一侧的偏振板716a的只有未由液晶扭转了透射偏振轴的直线偏振光。因此，如果对各象素控制液晶702的定向状态，就能显示任意的信息。

根据具有所述结构的液晶装置700，因为通过高度控制了喷出量的喷墨方式形成了滤色器衬底741的滤波元件703…，所以能获得平面上质量均匀的显示。

在所述中，说明了将滤色器适用于液晶装置的例子，但是本发明的滤色器当然也能适用于其他用户。例如能将滤色器适用于白色有机EL。即在白色有机EL的前表面(有机EL的光出射一侧)配置形成的滤色器。通过采用该结构，能使用白色有机EL提供能进行彩色显示的EL装置。

须指出的是，按如以下所述控制了光。形成了有机EL，使其成为白色光源，通过设置在各象素上的晶体管的控制调整发光量，通过光透射滤色器，显示所希望的颜色。

(关于使用了EL元件的电光装置的制造方法的实施例)

下面，参照附图，就本发明电光装置的制造方法加以说明。须指出的是，作为电光装置，说明使用了EL元件的有源矩阵型显示装置。须指出的是，在说明该显示装置的制造方法之前，首先说明制造的显示装置的结构。

[显示装置的结构]

图14是表示本发明电光装置的制造装置中的有机EL装置的一部分的电路图。图15是表示显示装置的象素区域的平面结构的放大俯视图。

即在图14中，501是使用了EL装置即EL元件的有源矩阵型显示装置，该显示装置501具有以下结构：在衬底即透明的显示衬底502，分别配置有多条扫描线503、在对于这些扫描线503交叉的方向上延伸的多条信号线504、与这些信号线504并列延伸的多条公共供电线505。而且，在扫描线503和信号线504的各交点上，设置有象素区域501A。

对于信号线504，设置有具有移位寄存器、电平移动器、视频线、模拟开关的数据一侧驱动电路507。另外，对于扫描线503，设置有具有移位寄存器、电平移动器的扫描一侧驱动电路508。而且，在各象素区域501A上，设置有：通过扫描线503向栅电极供给扫描信号的开关薄膜晶体管509；存储通过该开关薄膜晶体管509从信号线504提供的图象信号，并保持的存储电容cap；将由该存储电容cap保持的图象信号提供给栅电极的电流薄膜晶体管510；当通过该电流薄膜晶体管510与公共供电线505电连接时，驱动电流从公共供电线505流入的象素电极511；夹在该象素电极511和反射电极512之间的发光元件513。

通过该结构，如果扫描线503被驱动，开关薄膜晶体管509导通，在存储电容cap中保持了此时的信号线504的电位。按照该存储电容cap的状态，决定电流薄膜晶体管510的导通/断开状态。然后，通过电流薄膜晶体管510的沟道，电流从公共供电线505流向象素电极511，通过发光元件513，电流流向反射电极512。由此，发光元件513按照流过它的电流量发光。

在此，象素区域501A如去掉了反射电极512和发光元件513的状态的放大俯视图即图15所示，平面状态为长方形的象素电极511的四边由信号线504、公共供电线505、扫描线503和图中未显示的其他象素电极511用的扫描线503包围的配置。

[显示装置的制造步骤]

下面，说明制造使用了EL显示元件的有源矩阵型的显示装置的制造步骤。图16～图18是表示使用了EL显示元件的有源矩阵型的显示装置的制造步骤的制造步骤剖视图。

(前处理)

首先，如图16(A)所示，对于透明的显示衬底502，按照需要，通过等离子体CVD(Chemical Vapor Deposition)法，以四乙氧基硅烷(tetraethoxysilane：TEOS)和氧气等为原料气体，形成厚度约2000～5000埃的氧化硅膜即图中未显示的底层保护膜。接着，将显示衬底502的温度设定为约350℃，在底层保护膜的表面上，通过等离子体CVD法，形成厚度约300～700埃的非晶体的硅膜即半导体膜520a。然后对于半导体膜520a，实施激光退火或固相生长法的结晶步骤，使半导体膜520a结晶成多晶硅膜。在此，在激光退火法中，使用受激准分子激光、光束的长尺寸为400nm的线束，输出强度约为200mJ/cm²。进行了线束扫描，使关于线束，相当于短尺寸方向的激光强度的峰值的约90％的部分与各区域重叠。

而且，如图16(B)所示，对半导体膜520a刻膜，形成岛状半导体膜520b。在设置有该半导体膜520b的显示衬底502的表面上，通过等离子体CVD法，以TEOS和氧气为原料气体，形成厚度约600～1500埃的氧化硅膜或氮化膜即栅绝缘膜521a。须指出的是，半导体膜520b成为电流薄膜晶体管510的沟道区域和源漏间区域，但是在不同的剖面位置，也形成了成为开关薄膜晶体管509的沟道区域和源漏间区域的图中未显示的半导体膜。即在图16～图18所示的制造步骤中，同时形成了两种开关薄膜晶体管509和电流薄膜晶体管510，但是，因为是以同样的步骤形成，所以在以下的说明中，只说明电流薄膜晶体管510，省略了对开关薄膜晶体管509的说明。

然后，如图16(C)所示，通过溅射法，形成铝、钽、钼、钛、钨等的金属膜即导电膜后，进行刻膜，形成图15所示的栅电极510A。在该状态下，打入高温的磷离子，对于栅电极510A进行匹配，在半导体膜520b上形成源漏间区域510a、510b。须指出的是，未导入杂质的部分成为沟道区域510c。

接着，如图16(D)所示，形成层间绝缘膜522后，形成接触孔523、524，在该接触孔523、524内嵌入形成中继电极526、527。

接着，如图16(E)所示，在层间绝缘膜522上，形成信号线504、公共供电线505、扫描线503(在图16中未显示)。此时，信号线504、公共供电线505、扫描线503等各布线作为布线在厚度上不受限制，能形成足够的厚度。具体而言，各布线例如可以形成1～2μm左右的厚度。在此，中继电极527和各布线可以由同一步骤形成。此时，中继电极526由后述的ITO膜形成。

然后，形成层间绝缘膜530，使其覆盖各布线的上表面，在与中继电极526对应的位置，形成接触孔532。形成ITO膜，使其嵌入该接触孔532内，对该ITO膜刻膜，在由信号线504、公共供电线505、扫描线503围成的给定位置，形成电连接了源漏间区域510a的象素电极511。

在此，在图16(E)中，由信号线504、公共供电线505夹着的部分相当于有选择地配置有光学材料的给定位置。而且，在该给定位置和其周围之间，由信号线504、公共供电线505形成了阶梯535。具体而言，给定位置比其周围低，形成了凹型的阶梯。

(EL发光材料的喷出)

接着，通过喷墨方式，向实施了上述的前处理的显示衬底502喷出功能性液体即EL发光材料。即如图17(A)所示，在使实施了上述的前处理的显示衬底502的上表面朝上的状态下，使用喷墨方式即上述的各实施例的装置，喷出用于形成发光元件140的下层部分的空穴注入层513A的作为功能性液体的溶解于溶剂中的前导体即光学材料540A，在由阶梯535包围的给定位置的区域内，有选择地涂敷。

作为用于形成空穴注入层513A的光学材料540A，使用聚合物前身为聚四氢苯硫基苯撑的聚亚苯乙烯撑、1、1-双(4-N，N-二甲苯氨基苯基)环己烷、三(8-羟基喹啉)铝等。

须指出的是，该喷出时，具有流动性的液态光学材料540A与向上述的各实施例的隔板中喷出时同样，因为流动性高，所以要在平面方向扩展，但是，为了包围涂敷的位置而形成了阶梯535，所以如果光学材料540A的一次的喷出量如果不是极端大，就能防止光学材料540A超出阶梯535而扩展到给定位置的外侧。

然后，如图17(B)所示，通过加热或光照等，使液态的光学材料540A的溶剂蒸发，在象素电极511上形成固态的薄的空穴注入层513A。按必要次数重复该图17(A)、(B)，如图17(C)所示，形成厚度相当的空穴注入层513A。

接着，如图18(A)所示，在使显示衬底502的上表面朝上的状态下，使用喷墨方式即上述的各实施例的装置，喷出用于在发光元件513的上层部分形成有机半导体膜513B的作为功能性液体的溶解于溶剂中的有机荧光材料即光学材料540B，在由阶梯535包围的给定位置的区域内，有选择地涂敷。须指出的是，关于该光学材料540B，如以上所述，也与光学材料540A的喷出同样，能防止超出阶梯535扩展到给定位置的外侧。

作为用于形成有机半导体膜513B的光学材料540B，使用氰基聚亚苯乙烯撑、聚亚苯乙烯撑、聚烷基烯撑、2、3，6、7-四氢-11-氧化-1H·5H·(1H(1)苯并吡喃[6，7，8-ij]-喹嗪-10-羧酸、1，1-双(4-N，N-二甲苯氨基苯基)环己烷、2-(13.4’-二羟苯基)-3，5，7-三羟基-1-苯并噁英鎓全氯化物三(8-羟基喹啉)铝、2，3，6，7-四氢-9-甲基-11-氧化-1H.5H.11H(1)苯并吡喃[6，7，8-ij]-喹嗪、芳香族二胺衍生物(TDP)、羟基二唑聚体(OXD)、羟基二唑衍生物(PBD、二苯乙烯亚芳香族衍生物(DSA)、羟基喹啉系金属络合物、铍苯并羟基喹啉络合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、二苯乙烯基衍生物、吡唑啉聚体、红荧烯、喹吖啶、三唑衍生物、聚苯撑、聚烷基易、聚烷基噻吩、甲亚胺锌络合物、聚连翘苷锌络合物、苯并噁唑锌络合物、菲绕啉铕络合物等。

接着，如图18(B)所示，通过加热或光照射等，使光学材料540的溶剂蒸发，在空穴注入层513A上形成固体的薄的有机导体膜513B。按必要次数重复该图18(A)、(B)，如图18(C)所示，形成具有充分厚度的有机导体膜513B。通过空穴注入层513A和有机导体膜513B构成了发光元件513。最后，如图18(D)所示，在显示衬底502的表面全体或带状上形成反射电极512，制造显示装置501。

在图14～图18所示的实施例中，也通过实施与上述的各实施例同样的喷墨方式，能享受同样的作用效果。当有选择地涂敷功能性液体时，能防止其流出到周围，能以高精度形成图案。

须指出的是，在图14～图18的实施例中，说明了使用了着眼于彩色显示的EL元件的有源矩阵型的显示装置，但是，例如如图19所示，也能将图14～图18所示的结构适用于单色显示的显示装置。

即在显示衬底502的整个面上一样形成有机导体膜513B。但是此时，为了防止串扰，必须在各给定位置有选择地配置空穴注入层513A，所以使用了阶梯111的涂敷是极有效的。须指出的是，在图19中，对于与图14～图18所示的实施例相同的结构，采用了相同的符号。

另外，作为使用了EL显示元件的显示装置，不仅局限于有源矩阵型，例如也可以是图20所示的无源矩阵型的显示装置。图20是本发明电光装置的制造装置中的EL装置，图20(A)是表示多条第一总线布线550和配置在与它正交的方向上的多条第二总线布线560的配置关系的俯视图，图20(B)是图20(A)的B-B线剖视图。在该图20中，在与图14～图18所示的实施例同样的结构中，采用了相同的符号，省略了重复说明。另外，因为细致的制造步骤等也与图14～图18所示的实施例同样，所以省略了图示和说明。

该图20所示的实施例的显示装置中，配置有例如SiO₂的绝缘膜570，使其包围配置发光元件513的给定位置，由此，在给定位置和其周围之间形成阶梯535。因此，当有选择地涂敷功能性液体时，能防止它流到周围，能以高精度形成图案。

作为有源矩阵型的显示装置并不局限于图14～图18所示的实施例的结构。即例如能使用图21所示的结构、图22所示的结构、图23所示的结构、图24所示的结构、图25所示的结构、图26所示的结构等任意的结构。

图21所示的显示装置中，通过利用象素电极511形成阶梯535，能以高精度形成图案。图21是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图14～图18所示的实施例大致一样，所以省略了其图示和说明。

在图21所示的显示装置中，形成比通常厚的象素电极511，据此，在和其周围之间形成阶梯535。即在图21所示的显示装置中，后来涂敷了光学材料的象素电极511形成了比其周围高的凸型阶梯。而且，与所述图14～图18所示的实施例同样，通过喷墨方式，喷出用于形成在发光元件513的下层部分的空穴注入层513A的先导体即光学材料540A，涂敷在象素电极511的上表面上。

但是，与所述图14～图18所示的实施例不同，在显示衬底502的上下颠倒的状态即涂敷了光学材料540A的象素电极511的上表面朝下的状态下，喷出、涂敷光学材料540A。据此，光学材料540A由于重力和表面张力停留在象素电极511的上表面上(图21中的下表面)，不扩展到其周围。因此，如果通过加热和光照射等使其凝固，就能形成与图17(B)同样薄的空穴注入层513A，如果重复它，就形成了空穴注入层513A。因此，能利用凸型阶梯以高精度形成图案。须指出的是，不仅局限于重力和表面张力，也可以利用离心力等惯性力，调整光学材料540A、540B的量。

图22所示的显示装置也是有源矩阵型的显示装置。图22是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图14～图18所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。

在图22所示的显示装置中，首先，在显示衬底502上形成反射电极512，形成绝缘膜570，使其包围该反射电极512后来配置发光元件513的给定位置，据此，形成给定位置一方比周围低的凹型阶梯535。

然后，与所述图14～图18所示的实施例同样，在由阶梯535包围的区域内，通过由喷墨方式，有选择地涂敷功能性液体即光学材料540A、540B，形成发光元件513。

而在剥离用衬底580上，隔着剥离层581，形成扫描线503、信号线504、象素电极511、开关薄膜晶体管509、电流薄膜晶体管510和层间绝缘膜530。最后，在显示衬底502上复制从剥离用衬底580上的剥离层581剥离的结构。

在该图22的实施例中，减轻了向扫描线503、信号线504、象素电极511、开关薄膜晶体管509、电流薄膜晶体管510和层间绝缘膜530涂敷光学材料540A、540B导致的损伤。并且，也能使用于无源矩阵型的显示装置。

图23所示的显示装置也是有源矩阵型的显示装置。图23是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图14～图18所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。

在图23所示的显示装置中，利用层间绝缘膜530来形成凹型的阶梯535。因此，不用特别增加新的步骤，就能利用层间绝缘膜530，能防止制造步骤的大幅度复杂化等。并且，在用SiO₂形成层间绝缘膜530的同时，向其表面照射紫外线、O2、CF3、AR的等离子体，然后，使象素电极511的表面露出，然后，有选择地涂敷液态的光学材料540A、540B。据此，沿着层间绝缘膜530的表面，形成了拨液性强的分布，由于阶梯535和层间绝缘膜530的拨液性双方的作用，光学材料540A、540B容易停留在给定位置。

图24所示的显示装置是通过使涂敷了液体即光学材料540A、540B的给定位置的亲水性相对比其周围的亲水性强，使涂敷的光学材料540A、540B不向周围扩散。图24是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图14～图18所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。

在图24所示的显示装置中，在形成了层间绝缘膜530后，在其上表面上形成非晶体硅层590。非晶体硅层590比形成象素电极511的ITO的防水性强，所以在此，形成了象素电极511的表面的亲水性比其周围的亲水性相对强的防水性、亲水性分布。然后，与所述图14～图18所示的实施例同样，向着象素电极511的上表面，通过用喷墨方式，有选择地喷出、涂敷液态光学材料540A、540B，形成发光元件513，最后形成反射电极512。

并且，即使关于图24所示的实施例，也能适用于无源矩阵型显示装置。而且，如图22所示的实施例那样，也可以包含：将在剥离用衬底580上隔着剥离层581形成的结构复制到显示衬底502上的步骤。

而且，防水性、亲水性的分布可以由金属、阳极氧化膜、聚酰亚胺或氧化硅等绝缘膜、和其他材料形成。并且，如果是无源矩阵型显示装置，则可以由第一总线布线550，如果是有源矩阵型显示装置，则可以由扫描线503、信号线504、象素电极511、层间绝缘膜530或遮光层6b来形成。

图25所示的显示装置不是利用阶梯535和防水性、亲水性的分布等来提高图案形成精度，而是利用电位产生的引力和斥力等来提高图案形成精度。图25是制造显示装置的制造步骤中的阶段的剖视图，它的前后的阶段与所述图14～图18所示的实施例同样，所以省略了其图示和说明。

在图25所示的显示装置中，通过在驱动信号线504、公共供电线505的同时，适当使图中未显示的晶体管导通、断开，就形成象素电极511变为负电位，层间绝缘膜530变为正电位的电位分布。然后，通过喷墨方式，向给定位置有选择地喷出、涂敷带正电的液态光学材料540A。据此，因为使光学材料540A带电，所以不是自发极化，而是利用带电电荷，能进一步提高图案形成的精度。

并且，即使关于图25所示的实施例，也能适用于无源矩阵型显示装置。而且，如图22所示的实施例那样，也可以包含：将在剥离用衬底580上隔着剥离层581形成的结构复制到显示衬底502上的步骤。

另外，虽然为象素电极511和其周围的层间绝缘膜530双方提供了电位，但是并不局限于此，例如如图26所示，可以不为象素电极511提供电位，只为层间绝缘膜530提供电位，然后，使液态光学材料540A带正电后进行涂敷。根据图26所示的结构，在涂敷后，液态光学材料540A能可靠地位置带正电的状态，所以通过与周围的层间绝缘膜530斥力，能可靠地防止液态光学材料540A向周围流出。

(关于使用了EL元件的电光装置的制造方法的其他实施例)

下面，参照附图就本发明电光装置的制造方法的其他实施例加以说明。在以下描述中，在适用使用了EL显示元件的有源矩阵型液晶显示装置作为电光装置的点上与所述实施例同样，其电路结构也与图14所示的所述的实施例的显示装置同样。

[显示装置的结构]

图30(a)是本实施例的显示装置的俯视模式图，图30(B)是沿着图30(A)所示的A-B线的剖视模式图。如这些图所示，本实施例的显示装置具有：由玻璃等透明基体32、配置为矩阵状的发光元件和密封衬底。形成在基体32上的发光元件由后述的象素电极、功能层和阴极42形成。

基体32例如是玻璃等的透明衬底，被划分为位于基体32的中央的显示区域32a、位于基体32的周边并且配置在显示区域32a的外侧的非显示区域32b。

显示区域32a是由配置为矩阵状的发光元件形成的区域，也称作有效显示区域。另外，在显示区域的外侧形成了非显示区域32b。而且，在非显示区域32b上形成了与显示区域32a相邻的假显示区域32d。

另外，如图30(B)所示，在由发光元件和隔板部构成的发光元件41和基体32之间设置有电路元件部44，在该电路元件部44中设置有所述的扫描线、信号线、保持电容、开关用薄膜晶体管、驱动用薄膜晶体管123等。

另外，另外阴极42的一端连接了形成在基体32上的阴极用布线42a，该布线的一端连接了软性衬底35上的布线35a。另外，布线35a连接了软性衬底35上设置的驱动IC(驱动电路)。

另外，如图30(A)和图30(B)所示，在电路元件部44的非显示区域32b上设置有所述电源线103(103R、103G、103B)。

另外，在显示区域32a的图30(A)中的两侧，配置有所述的扫描一侧驱动电路105、105。该扫描一侧驱动电路105、105设置在假显示区域32d的下侧的电路元件部44内。在电路元件部44内还设置有连接了扫描一侧驱动电路105、105的驱动电路用控制信号布线105a、驱动电路用电源布线105b。

另外，在显示区域32a的图30(A)中的上侧，配置有检查电路106。通过该检查电路106，能检查制造途中和出厂时的显示装置的质量、缺陷。

另外，如图39(B)所示，发光元件部41具有密封部33。该密封部33由涂敷在基体32上的密封树脂603a和室密封衬底604构成。密封树脂603由热硬化树脂或紫外线树脂等构成，特别是最好由热硬化树脂的一种即环氧树脂构成。

该密封树脂603在基体32的周围涂敷为环状，例如是由微分配器等涂敷的。该密封树脂603接合基体32和密封室604，防止从密封树脂603和室密封衬底604之间水或氧向室密封衬底604侵入，防止阴极或发光元件部41内形成的图中未显示的发光层的氧化。

室密封衬底604由玻璃或金属构成，通过密封树脂603接合了基体32，在其内侧设置有容纳显示元件40的凹部604a。另外，在凹部604a上设置有吸收水、氧等的吸气剂605，它能吸收侵入室密封衬底604的内部的水或氧。须指出的是，也可以省略该吸气剂605。

接着，在图31中表示了放大显示装置的显示区域的剖面结构的图。在图31中显示了三个象素区域A。该显示装置31的结构为：在基体32上依次层叠形成了TFT等电路的电路元件部44、形成了功能层110的发光元件部41。

在该显示装置31中，从功能层110向基体32一侧发出的光透过电路元件部44和基体32，在基体32的下侧(观测者一侧)出射，并且从功能层110向基体32的相反一侧发出的光由阴极42反射，透过电路元件部44和基体32，在基体32的下侧(观测者一侧)出射。

须指出的是，能通过使用透明的材料作为阴极42，使发出的光从阴极一侧出射。能使用ITO、Pt、Ir、Ni、或Pd作为透明的材料。希望膜厚为75nm左右，更希望比该膜厚更薄。

在电路元件部44中，在基体32形成了由氧化硅膜构成的底层保护膜32c，在该底层保护膜32c之上形成了由多晶硅构成的岛状的半导体膜141。须指出的是，在半导体膜141上，通过打入高浓度P离子形成了源区域141a和漏区域141b。须指出的是，未导入P的部分成为沟道区域141c。

在电路元件部44上，形成了覆盖底层保护膜32c和半导体膜141的透明的栅绝缘膜142，在栅绝缘膜142上形成了由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极143(扫描线101)，栅电极143和栅绝缘膜142上形成了透明的第一层间绝缘膜144a和第二层间绝缘膜144b。栅电极143设置在与半导体膜141的沟道区域141c对应的位置。

另外，贯通第一、第二层间绝缘膜144a、144b，形成了分别连接了半导体膜141的源、漏区域141a、141b的接触孔145、146。

然后，在第二层间绝缘膜144b上，将由ITO构成的透明的象素电极111形成给定的形状，而接触孔145连接在该象素电极111上。

另外，另一个接触孔146连接了电源线103。

这样，在电路元件部44上形成了连接各象素电极111的驱动用薄膜晶体管123。

须指出的是，在电路元件部44上也形成了所述保持电容cap和开关用薄膜晶体管112，但是在图31中省略了它们的图示。

接着，如图31所示，发光元件部41是以分别层叠在多个象素电极111…上的功能层110、设置在各象素电极111和功能层110之间并且划分各功能层110的隔板部112、形成在功能层110上的阴极42为主体构成的。由这些象素电极(第一电极)111、功能层110和阴极42(对置电极(电极))构成了发光元件。

在此，象素电极111例如由ITO形成，形成了俯视图中的矩形。该象素电极111的厚度希望为50～200nm，特别是150nm左右。在该各象素电极111…之间具有隔板部112。

隔板部112如图31所示，由位于基体32一侧的无机物隔板层112a(第一隔板层)和位于远离基体32的位置的有机物隔板层112b(第二隔板层)层叠构成。

无机物隔板层、有机物隔板层(112a、112b)形成在象素电极111的周缘部上。在平面上，成为象素电极111的周围和无机物隔板层112a平面重叠配置的结构。另外，有机物隔板层112b也同样，配置为与象素电极111的一部分在平面上重叠。另外，无机物隔板层112a形成在比有机物隔板层112b更靠象素电极111的中央一侧。这样，通过在象素电极111的内侧形成无机物隔板层112a的第一层叠部112e，设置有与象素电极111的形成位置对应的下部开口部112c。

另外，在有机物隔板层112b上形成了上部开口部112d。该上部开口部112d设置为与象素电极111的形成位置以及下部开口部112c对应。如图31所示，上部开口部112d比下部开口部112c宽，比象素电极111窄。另外，有时上部开口部112d的上部的位置与象素电极111的端部几乎为相同位置。此时，如图31所示，有机物隔板层112b的剖面变为倾斜的形状。

而且，在有机物隔板层112b上，通过连通下部开口部112c和上部开口部112d，形成了贯通无机物隔板层112a和有机物隔板层112b的开口部112g。

另外，无机物隔板层112a例如希望由SiO₂、TiO₂等无机材料构成。该无机物隔板层112a的膜厚希望为50～200nm，特别是150nm。当膜厚不足50nm时，无机物隔板层112a变得比后述的空穴注入/输送层薄，因为无法确保空穴注入/输送层的平坦性，所以不好。如果膜厚超过200nm，则基于下部开口部112c的阶梯变大，因为无法确保在空穴注入/输送层上层叠的后述的发光层的平坦性，所以不好。

有机物隔板层112b由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等具有耐热性、耐溶剂性的材料构成。该有机物隔板层112b的厚度希望为0.1～3.5μm，特别是最好为2μm左右。如果厚度不足0.1μm，则有机物隔板层112b比后述的空穴注入/输送层和发光层的合计厚度薄，发光层有可能从上部开口部112d溢出，所以不好。另外，如果厚度超过3.5μm，则基于上部开口部112d的阶梯变大，因为无法确保在有机物隔板层112b上形成的阴极的台阶敷层，所以不好。另外，如果有机物隔板层112b的厚度在2μm以上，则能提高与驱动用薄膜晶体管123的绝缘，所以更好。

另外，在隔板部112上形成了表现亲液性的区域和表现拨液性的区域。

表现亲液性的区域是无机物隔板层112a的第一层叠部112e和象素电极111的电极面111a，这些区域通过以氧为处理气体的等离子体处理，被表面处理为亲液性。另外，表现拨液性的区域是上部开口部112d的壁面和有机物隔板层112的上表面112f，这些区域通过四氟甲烷或四氟化碳为处理气体的等离子体处理，表面被氟化处理(处理为拨液性)。须指出的是，有机物隔板层也可以由含氟聚合物的材料形成。

接着如图31所示，功能层110由层叠在象素电极111上的空穴注入/输送层110a、与空穴注入/输送层110a上相邻形成的发光层110b构成。须指出的是，也可以与发光层110b相邻再形成具有电子注入输送层的功能的其他功能层。

空穴注入/输送层110a不但具有将空穴注入发光层110b中的功能，而且具有在空穴注入/输送层110a内部输送空穴的功能。通过在象素电极111和发光层110b之间设置这样的空穴注入/输送层110a，能提高发光层110b的发光效率、寿命等元件特性。另外，在发光层110b中，从空穴注入/输送层110a注入的空穴和从阴极42注入的电子在发光层中再结合，得到了发光。

空穴注入/输送层110a由位于下部开口部112c内并且形成象素电极面111a上的平坦部110a1、位于上部开口部112d内并且形成在无机物隔板层的第一层叠部112e上的周缘部110a2构成。另外，空穴注入/输送层110a根据结构，只在各象素电极111上，并且在无机物隔板层110a(下部开口部110c)之间形成(也有只在所述的平坦部上形成的形态)。

该平坦部110a1的厚度一定，例如形成在50～70nm的范围中。

当形成了周缘部110a2时，周缘部110a2位于第一层叠部112e上，并且紧贴上部开口部112d的壁面即有机物隔板层112b。另外，周缘部110a2的厚度在电极面111a一侧薄，沿着远离电极面111a的方向增大，在下部开口部112d的壁面附近变得最厚。

作为周缘部110a2形成所述形状的理由在于：空穴注入/输送层110a是将包含空穴注入/输送层形成材料和极性溶剂的第一组成物向开口部112内喷出后，除去极性溶剂而形成的，极性溶剂的挥发主要在无机物隔板层的第一层叠部112e上发生，空穴注入/输送层形成材料在该第一层叠部112e上集中地浓缩、析出。

另外，发光层110b在空穴注入/输送层110a的平坦部110a1和周缘部110a2上形成，在平坦部110a1上的厚度为50～80nm的范围。

发光层110b具有发出红色(R)光的红色发光层110b1、发出绿色(G)光的绿色发光层110b2、发出蓝色(B)光的蓝色发光层110b3等三种，并且各发光层110b1～110b3配置为带状。

如以上所述，因为空穴注入/输送层110a的周缘部110a2紧贴上部开口部112d的壁面(有机物隔板层112b)，所以发光层110b不直接接触有机物隔板层112b。因此，能通过周缘部110a2阻止在有机物隔板层112b中作为杂质而包含的水移到发光层110b一侧，能防止水引起的发光层110b的氧化。

另外，因为在无机物隔板层的第一层叠部112e上形成了厚度不均匀的周缘部110a2，所以周缘部110a2通过第一层叠部112e变为从象素电极111绝缘的状态，空穴不会从周缘部110a2注入发光层110b中。据此，来自发光层110b的电流只流到平坦部112a1，能从平坦部112a1将空穴均匀地输送到发光层110b，不但能只使发光层110b的中央部分发光，而且能使发光层110b的发光量一定。

另外，因为无机物隔板层112a比有机物隔板层112b更向象素电极111的中央一侧延伸，所以能通过该无机物隔板层112a使象素电极111和平坦部110a1的接合部分的形状整齐，能抑制各发光层110b间的发光强度的偏移。

因为象素电极111的电极面111a和无机物隔板层的第一层叠部112e表现了亲液性，所以功能层110与象素电极111以及无机物隔板层112a均匀地紧贴，能使无机物隔板层112a上，功能层110不会变得极端薄，能防止象素电极111和阴极42的短路。

另外，因为有机物隔板层112b的上表面112f和上部开口部112d的壁面表现了拨液性，所以功能层110和有机物隔板层112b的紧贴性变低，功能层110不会从开口部112g溢出形成。

须指出的是，作为空穴注入/输送层形成材料，能使用聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物(PEDOT/PSS)的分散液。另外，作为发光层110b的材料，能使用例如聚芴衍生物、聚苯撑衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、或在这些高分子材料中掺杂二萘嵌苯类色素、香豆素类色素、若丹明类色素、例如红荧烯、二萘嵌苯、9、10-联苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等。

阴极42形成在发光元件部41的整个面上，与象素电极111成对，实现了使电流流向功能层110的功能。该阴极42例如由钙层和铝层层叠构成。此时，靠近发光层一侧的阴极不希望设置为功函数低的，特别是在本形态中，直接与发光层110b相连，完成将电子注入发光层110b的功能。另外，通过发光层的材料能使氟化锂高效地发光，所以在发光层110和阴极42之间形成LiF

须指出的是，在红色和绿色发光层110b1、110b2中并不局限于氟化锂，也可以使用其他材料。因此，只有蓝色(B)发光层110b3中，形成由氟化锂构成的层，在其他的红色和绿色发光层110b1、110b2上，可以层叠氟化锂以外的材料。另外，在红色和绿色发光层110b1、110b2上可以不形成氟化锂，而只形成钙。

须指出的是，氟化锂的厚度希望为2～5nm的范围，特别是2nm左右。另外，钙的厚度例如希望为2～50nm的范围，特别是20nm左右。

另外，形成阴极42的铝使从发光层110b发出的光在基体32一侧反射，除了铝膜，最好由Ag膜、Al和Ag的层叠膜构成。另外，其厚度希望在100～1000nm的范围，特别是200nm左右。

也可以再在铝上设置由SiO、SiO₂、SiN构成的防止氧化用的保护膜。

须指出的是，在这样形成的发光元件上配置密封室604。如图30(B)所示，通过密封树脂接合密封室604，形成显示装置31。

[显示装置的制造方法]

下面参照附图说明本实施例的制造方法。

本实施例的显示装置31的制造方法例如具有：(1)隔板部的形成步骤；(2)等离子体处理步骤(包含亲液化步骤和拨液化步骤)；(3)空穴注入/输送层的形成步骤(功能层的形成步骤)；(4)发光层的形成步骤(功能层的形成步骤)；(5)对置电极的形成步骤；(6)密封步骤。须指出的是，制造方法并不局限于此，按照需要有时会去掉或追加步骤。

(1)隔板部的形成步骤

在隔板部的形成步骤是在基体32的给定位置形成隔板部112的步骤。隔板部112的结构为：形成了无机物隔板层112a作为第一隔板层，并且形成了有机物隔板层112b作为第二隔板层。下面就形成方法加以说明。

(1)-1无机物隔板层的形成

首先，如图32所示，在基体32的给定位置形成无机物隔板层112a。形成了无机物隔板层112a的位置是在第二层间绝缘膜144b上和电极(在此是象素电极)111上。须指出的是，第二层间绝缘膜144b形成在配置有薄膜晶体管、扫描线、信号线等的电路元件部44上。

无机物隔板层112a能使用例如SiO₂、TiO₂等的无机物膜作为材料。例如通过CVD法、镀膜法、溅射法、蒸镀法等形成了这些材料。

无机物隔板层112a的膜厚度希望为50～200nm的范围，特别是150nm左右。

无机物隔板层112是在层间绝缘膜114和象素电极111的整个面上形成无机物膜，然后，通过由光刻法等对该无机物膜刻膜，形成了具有开口部的无机物隔板层112。开口部与象素电极111的电极面111a的形成位置对应，如图32所示，设置为下部开口部112c。

此时，与象素电极111的周缘部(一部分)重叠形成了无机物隔板层112a。如图32所示，通过使象素电极111的一部分和无机物隔板层112a重叠，形成无机物隔板层112a，能控制发光层110的发光区域。

(1)-2有机物隔板层112b的形成

接着，形成作为第二隔板层的有机物隔板层112b。

如图33所示，在无机物隔板层112a上形成有机物隔板层112b。作为有机物隔板层112b，使用丙烯酸树脂、聚酰亚胺等具有耐热性、耐溶剂性的材料。使用这些材料，通过光刻技术等形成了有机物隔板层112b。须指出的是，在形成图案时，在有机物隔板层112b上形成上部开口部112d。所述上部开口部112d设置在与电极面111a和下部开口部112c对应的位置。

如图33所示，上部开口部112d最好比形成在无机物隔板层112a上的下部开口部112c宽。有机物隔板层112b最好具有锥度，最好形成有机物隔板层112b，使有机物隔板层的开口部比象素电极111的宽度窄，并且在有机物隔板层112b的最上面，变为与象素电极111的宽度几乎相同的宽度。据此，包围无机物隔板层112a的下部开口部112c的第一层叠部112e比有机物隔板层112b更向象素电极111的中央一侧延伸。

这样，通过使形成在有机物隔板层112b上的上部开口部112d和形成在无机物隔板层112a上的下部开口部112c连通，就形成了贯通无机物隔板层112a和有机物隔板层112b的开口部112g。

须指出的是，有机物隔板层112b的厚度希望为0.1～3.5μm，特别是最好为2μm左右。取这样的范围的理由如以下所述。

如果厚度不足0.1μm，则有机物隔板层112b比后述的空穴注入/输送层和发光层的合计厚度薄，发光层110b有可能从上部开口部112d溢出，所以不好。另外，如果厚度超过3.5μm，则基于上部开口部112d的阶梯变大，因为无法确保上部开口部112d的阴极42上的台阶敷层，所以不好。另外，如果有机物隔板层112b的厚度在2μm以上，能提高与驱动用薄膜晶体管123的绝缘，所以更好。

(2)等离子体的处理步骤

接着，在等离子体的处理步骤中，以使象素电极111的表面活性化、再对隔板部112的表面进行表面处理为目的。特别是在活性化步骤中，是以象素电极111(ITO)上的洗净、功函数的调整为主要目的而进行的。进行象素电极111的表面的亲液化处理(亲液化步骤)、隔板部112表面的拨液化处理(拨液化步骤)。

该等离子体处理步骤大致分为：例如(2)-1预备加热步骤；(2)-2活性化处理步骤(亲液化步骤)、(2)-3拨性化处理步骤(亲液化步骤)；(2)-4冷却步骤。须指出的是，并不局限于这样的步骤，按照需要也可以削减、追加步骤。

首先，图34表示了等离子体处理步骤中使用的等离子体处理装置。

图34所示的等离子体处理装置50由预备加热处理室51、第一等离子体处理室52、第二等离子体处理室53、冷却处理室54、向这些处理室51-54输送基体32的输送装置55构成。各处理室51-54以输送装置55配置为放射状。

首先，说明使用了这些装置的简要步骤。

预备加热步骤在图34所示的预备加热处理室51中进行。而且，通过该处理室51，将从隔板部的形成步骤输送来的基体32加热到给定温度。

在预备加热步骤后，进行亲液化步骤和拨液化处理步骤。即将基体依次输送到第一、第二等离子体处理室52、53，在各处理室52、53中，对隔板部112进行等离子体处理，使其亲液化。在该亲液化处理后，进行拨液化处理。在拨液化处理后，将基体输送到冷却处理室，在冷却处理室54中将基体冷却到室温。该冷却步骤后，通过输送装置将基体输送到接着的步骤即空穴注入/输送层的形成步骤。

下面，详细说各步骤。

(2)-1预备加热步骤

预备加热步骤由预备加热处理室51进行。在该处理室51中，将包含隔板部112的基体32加热到给定的温度。

基体32的加热方法采用了例如在处理室51内，在安放基体32的台上安装加热器，用该加热器加热该台和基体32的方法。须指出的是，也能采用此外的方法。

在预备加热处理室51中，例如在70℃～80℃的范围内加热基体32。该温度是接着的步骤即等离子体处理的处理温度，配合接着的步骤，事先加热基体32，目的在于消除基体32的温度偏移。

假设不附加预备加热步骤，将基体32从室温加热到所述的温度，从步骤开始到步骤结束的等离子体处理步骤中，温度一边总是变动，一边进行了处理。因此，温度一边变动一边进行等离子体处理有可能与有机EL元件的特性的不均匀有关。因此，为了将处理条件保持一定，获得均匀的特性，进行了预备加热。

因此，在等离子体处理步骤中，当在将基体32安放在第一、第二等离子体处理装置52、53内的试样台上的状态下进行亲液化步骤或拨液化步骤时，最好使预备加热温度与连续进行亲液化步骤或拨液化步骤的试样台56的温度几乎一致。

因此，通过对基体32预备加热，使第一、第二等离子体处理装置52、53内的试样台上升的温度到达例如70～80℃，即使在连续对多个基体32进行等离子体处理时，也能使处理开始之后和处理结束之前的等离子体处理的条件几乎一定。据此，使基体32的表面处理条件相同，能使对于隔板部112的组成物的浸湿性均匀，能制造具有一定的质量的显示装置。

另外，通过预先加热基体32，能缩短之后的等离子体处理的处理时间。

(2)-2活性化处理(亲液化步骤)

接着，在第一等离子体处理室52中，进行了活性化处理。在活性化处理中，包含了象素电极111的功函数的调整、控制、象素电极表面的洗净、象素电极表面的亲液化步骤。

作为亲液化步骤，在大气气体介质中，进行以氧为处理气体的等离子体处理(O₂等离子体处理)。图35是模式地表示第一等离子体处理的图。如图35所示，将包含隔板部112的基体32放置在内置了加热器的试样台56上，在基体32的上侧，间隔0.5～2mm左右的距离，与基体32相对配置有等离子体放电电极57。一边由试样台56加热基体32，一边以给定的输送速度将试样台56向图示的箭头方向输送，其间对基体32照射了等离子体状态的氧。

O₂等离子体处理例如在等离子体功率100～800kW，氧气流量50～100ml/min，板输送速度0.5～10nm/sec，基体温度70～90℃的条件下进行。须指出的是，基于试样台56的加热主要是为了预备加热的基体32的保温而进行的。

通过该O₂等离子体处理，如图36所示，对象素电极111的电极面111a、无机物隔板层112a的第一层叠部112e以及有机物隔板层112b的上部开口部112d的壁面和上表面112f进行了亲液处理。通过该亲液处理，在这些面中导入了羟基，获得了亲液性。

在图37中用单点划线表示了亲液处理的部分。

须指出的是，该O₂等离子体处理不仅赋予亲液性，而且也能完成上述的象素电极即ITO上的洗净、功函数的调整。

(2)-3拨液处理步骤(拨液化步骤)

接着，在第二等离子体处理室53中，作为拨液化步骤，在大气气体介质中，进行以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理(CF₄等离子体处理)。第二等离子体处理室53的内部结构与图35所示的第一等离子体处理室52的内部结构相同。即一边由试样台56加热基体32，一边以给定的输送速度输送试样台，其间对基体32照射了等离子体状态的四氟甲烷(四氟化碳)。

CF₄等离子体处理例如在等离子体功率100～800kW，四氟甲烷流量50～100ml/min，板输送速度0.5～10nm/sec，基体温度70～90℃的条件下进行。须指出的是，基于试样台56的加热主要是为了预备加热的基体32的保温而进行的。

须指出的是，处理气体并不局限于四氟甲烷(四氟化碳)，能使用其他氟化碳类的气体。

通过该CF₄等离子体处理，如图37所示，对上部开口部112d的壁面和有机物隔板层的上表面112F进行了拨液处理。通过该拨液处理，在这些面中导入了氟基，获得了拨液性。在图37中，用点划线表示了表现性的区域。通过照射等离子体状态的四氟甲烷，能容易地使构成有机物隔板层112b的丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等有机物具有拨液性。另外，具有通过O₂等离子体进行了前处理的容易氟化的特征，在本实施例中特别有效。

须指出的是，象素电极111的电极面111a和无机物隔板层112a的第一层叠部112e受到一些CF₄等离子体处理的影响，但是对浸湿性影响不大。在图37中用单点划线表示了表现亲液性的区域。

(2)-4冷却步骤

接着，作为冷却步骤，使用冷却处理室54，将为了等离子体处理而加热的基体32冷却到管理温度。这是用于冷却到之后的步骤即液滴喷出步骤(功能层的形成步骤)的管理温度而进行的步骤。

该冷却处理室54的结构为：具有用于配置基体32的板，该板中内置了使基体32冷却的水冷装置。

另外，通过将等离子体处理后的基体32冷却到室温或给定温度(例如进行液滴喷出步骤的管理温度)，在接着的空穴注入/输送层的形成步骤中，基体32的温度变为一定，能以基体32的温度没有变化的均匀温度进行步骤。因此，通过附加这样的冷却步骤，能均匀地形成由液滴喷出法等喷出方法喷出的材料。

例如，当使包含用于形成空穴注入/输送层的材料的第一组成物喷出时，能以一定的容积连续喷出第一组成物，能均匀地形成空穴注入/输送层。

在所述等离子体处理步骤中，通过对于材料不同的有机物隔板层112b和无机物隔板层112a，依次进行O₂等离子体处理和CF₄等离子体处理，能容易地在隔板部112上设置亲液性的区域和拨液性的区域。

须指出的是，等离子体处理步骤中使用的等离子体处理装置并不局限于图34所示的装置，也可以使用例如图38所示的等离子体处理装置60。

图38所示的等离子体处理装置60由预备加热处理室61、第一等离子体处理室62、第二等离子体处理室63、冷却处理室64、向这些处理室61-64输送基体32的输送装置65构成，各处理室61-64配置在输送装置65的输送方向的两侧(图中箭头方向的两侧)。

在该等离子体处理装置60中，与图34所示的等离子体处理装置50同样，将从隔板部的形成步骤输送来的基体32依次输送到预备加热处理室61、第一、第二等离子体处理室62、63和冷却处理室64，在各处理室中进行与所述同样的处理后，将基体32输送到接着的空穴注入/输送层的形成步骤。

另外，所述等离子体装置也可以不是大气压下的装置，而使用真空下的等离子体装置。

(3)空穴注入/输送层的形成步骤(功能层的形成步骤)

在空穴注入/输送层的形成步骤中，作为液滴喷出，例如通过使用液滴喷出装置向电极面111a上喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(组成物)。然后进行干燥处理和热处理，在象素电极111上和无机物隔板层112a上形成空穴注入/输送层110a。须指出的是，在此将形成了空穴注入/输送层110a的无机物隔板层112a称作第一层叠部112e。

包含该空穴注入/输送层的形成步骤，在以下的步骤中最好为无水和氧的气体介质。例如最好在氮气体介质、氩气体介质等等惰性气体介质中进行。

须指出的是，有时不在第一层叠部112e上形成空穴注入/输送层110a。即有只在象素电极111上形成了空穴注入/输送层的形态。

基于液滴喷出的制造方法如以下所述。

作为适用于本实施例的显示装置的制造方法中的液滴喷出头能使用与所述实施例的图2所示的头部件420具有几乎同样的基本结构的头部件120。关于基体和所述头部件120的配置，最好象图39所表示的那样配置。

图39所示的液滴喷出装置具有与图2所示的装置几乎同样结构的头部件120。另外，符号1115是放置基体32的台，符号1116是在图中的x轴方向(主扫描方向)引导台1115的导轨。另外，头部件120通过支撑构件1111，通过导轨1113，能在图中y轴方向(副扫描方向)移动，头部件120还能在图中的θ轴方向旋转，喷墨头121对于主扫描方向能倾斜给定的角度。

图39所示的基体32为在母板上配置有多片的结构。即一片的区域相当于一个显示装置。在此，当对于基体32上的左侧的显示区域32a涂敷组成物时，通过导轨1113使头H向图中的左侧移动，并且通过导轨1116使基体32向图中上侧移动，一边使基体32扫描，一边进行涂敷。接着，使头121向图中的右侧移动，对于基体的中央的显示区域32a涂敷组成物。对于在右端的显示区域32a也与所述同样。

须指出的是，头部件120和图30所示的液滴喷出装置不仅在空穴注入/输送层的形成步骤中，还能用于发光层的形成步骤。

图40表示了使喷墨头121对于基体32扫描的状态。如图40所示，一边使喷墨头121在沿着图中X方向的方向相对移动，一边喷出第一组成物，但是此时，喷嘴n的配置方向Z为对于主扫描方向(沿着X方向的方向)倾斜的状态。这样通过将喷墨头121的喷嘴n的排列方向对于主扫描方向倾斜配置，能使喷嘴间隔与象素区域A的间隔对应。另外通过调整倾斜角度，对于任意的象素区域A都能对应。

下面，说明使喷墨头121扫描，在各象素区域A…中形成空穴注入/输送层110a的步骤。该步骤中具有：(1)在一次中进行喷墨头121的扫描的方法；(2)在多次中进行喷墨头121的扫描，并且在各扫描中使用多个喷嘴的方法；(3)在多次中进行喷墨头121的扫描，并且在各扫描中使用不同的喷嘴的方法。下面，依次说明(1)～(3)的方法。

(1)在一次中进行喷墨头121的扫描的方法

图41是表示用喷墨头121的一次扫描，在各象素区域A1…中形成空穴注入/输送层110a时的步骤的步骤图。图41(A)表示喷墨头121从图40中的位置沿着图示的X方向扫描后的状态，图41(B)表示了喷墨头121在从图41(A)所示的状态稍微向图示的X方向扫描的同时，在图示的Y方向的相反方向移动的状态，图41(C)表示了喷墨头121从图41(B)所示的状态向图示的X方向扫描的同时，在图示的Y方向移动的状态。另外，图44表示了象素区域A和喷墨头的剖视模式图。图41中表示了设置在喷墨头121的一部分上的用符号n1a～n3b表示的六个喷嘴。六个喷嘴中的喷嘴n1a、n2a、n3a等三个配置为当喷墨头121在图示的X方向移动时，分别位于各象素区域A1～A3上，剩下的三个喷嘴n1b、n2b、n3b配置为当喷墨头121在图示的X方向移动时，分别位于相邻的象素区域A1～A3之间。

在图41(A)中，在形成在喷墨头121上的各喷嘴中，从三个喷嘴n1a～n3a向象素区域A1～A3上喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物。须指出的是，在本实施例中，通过使喷墨头121扫描，喷出第一组成物，但是也可以通过使基体32扫描进行喷出。通过使喷墨头121和基体32相对地移动，也能使第一组成物喷出。须指出的是，在此后的使用液滴喷出头进行的步骤中，所述的点是同样的。

基于喷墨头121的喷出如下所数。即如图41(A)和图44所示，使形成在喷墨头121上的喷嘴n1a～n3a与电极面111a相对配置，从喷嘴n1a～n3a喷出最初的第一组成物的液滴110c1。象素区域A1～A3由象素电极111和划分该象素电极111的周围的隔板112形成，对于这些象素区域A1～A3，从喷嘴n1a～n3a喷出控制为一滴的液量的最初的第一组成物的液滴110c1。

接着如图41(B)所示，通过使喷墨头121在图示的X方向稍微扫描的同时，在图示的Y方向的相反方向移动，使喷嘴n1b～n3b位于各象素区域A1～A3上。然后，从各喷嘴n1b～n3b向各象素区域A1～A3喷出第一组成物的第二滴液滴110c2。

如图41(C)所示，通过使喷墨头121在图示的X方向稍微扫描的同时，在图示的Y方向移动，使喷嘴n1a～n3a再位于各象素区域A1～A3上。然后，从喷嘴n1a～n3a向各象素区域A1～A3喷出第一组成物的第三液滴110c3。

这样，通过一边使喷墨头121沿着图示的X方向扫描，一边沿着图示的Y方向稍微移动，对于一个象素区域A依次从两个喷嘴喷出第一组成物。对于一个象素区域A的喷出的液滴的数量能在例如6～20滴的范围中，但是该范围是根据象素的面积而改变的，可以比该范围多或少。向各象素区域(电极面111a)上喷出第一组成物的全量由下部、上部开口部112c、112d的尺寸、要形成的空穴注入/输送层的厚度、第一组成物中的空穴注入/输送层形成材料的浓度等决定。

这样，当用一次扫描形成空穴注入/输送层时，当喷出第一组成物时，进行喷嘴的切换，对于各象素区域A1～A3，分别从两个喷嘴喷出第一组成物，所以与象以往那样，对一个象素区域A从一个喷嘴多次喷出时相比，因为抵消了喷嘴间的喷出量的偏移，所以各象素电极111…的第一组成物的喷出量的偏移变小，从而能以相同的膜厚形成空穴注入/输送层。据此，能使各象素的发光量保持一定，能制造显示质量优良的显示装置。

(2)在多次中进行喷墨头121的扫描，并且在各扫描中使用多个喷嘴的方法

图42是表示用喷墨头121的三次扫描，在各象素区域A1…中形成空穴注入/输送层110a时的步骤的步骤图。图42(A)表示了基于喷墨头121的第一次的扫描后的状态，图42(B)表示了第二次的扫描后的状态，图42(C)表示了第三次扫描后的状态。

在第一次的扫描中，使图41所示的喷墨头121的各喷嘴中的喷嘴n1a、n2a、n3a与各象素区域A1～A3相对，喷出第一组成物的最初的液滴110c1，再使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，使喷嘴n1b～n3b与象素区域A1～A3相对，喷出第一组成物的第二滴液滴110c2。据此，如图42(A)所示，向各象素区域A1～A3上喷出了两个液滴110c1、110c2。各液滴110c1、110c2既可以如图42(A)所示，空开间隔喷出，也可以重叠喷出。

在第二次扫描中，与第一次扫描时同样，使喷嘴n1a～n3a与各象素区域A1～A3相对，喷出第一组成物的第三滴的液滴110c3，再使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，从喷嘴n1b～n3b喷出第一组成物的第四滴液滴110c4。据此，如图42(B)所示，向各象素区域A1～A3上又喷出了两个液滴110c3、110c4。须指出的是，第三滴和第四滴的液滴110c3、110c4既可以如图42(B)所示，与第一和第二滴液滴110c1、110c2不重叠地喷出，也可以重叠喷出。

在第三次扫描中，与第一、二次扫描时同样，使喷嘴n1a～n3a与各象素区域A1～A3相对，喷出第一组成物的第五滴的液滴110c5，再使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，从喷嘴n1b～n3b喷出第一组成物的第六滴液滴110c6。据此，如图42(C)所示，向各象素区域A1～A3上又喷出了两个液滴110c5、110c6。须指出的是，第五滴和第六滴的液滴110c5、110c6既可以如图42(C)所示，与其他液滴110c1～110c4不重叠地喷出，也可以重叠喷出。

这样，在用多次扫描形成空穴注入/输送层时，在各扫描中进行喷嘴的切换，对于各象素区域A1～A3，分别从两个喷嘴喷出第一组成物，所以与象以往那样，对一个象素区域A从一个喷嘴多次喷出时相比，因为抵消了喷嘴间的喷出量的偏移，所以各象素电极111…的第一组成物的喷出量的偏移变小，从而能以相同的膜厚形成空穴注入/输送层。据此，能使各象素的发光量保持一定，能制造显示质量优良的显示装置。

(3)在多次中进行喷墨头121的扫描，并且在各扫描中使用不同的喷嘴的方法

图43是表示用喷墨头121的两次扫描，在各象素区域A1…中形成空穴注入/输送层110a时的步骤的步骤图。图43(A)表示了基于喷墨头121的第一次扫描后的状态，图43(B)表示了第二次扫描后的状态。

在第一次的扫描中，在图41所示的喷墨头121的各喷嘴中，使喷嘴n1a～n3a与各象素区域A1～A3相对，依次喷出第一组成物的最初的液滴110c1、第二、第三滴的液滴110c2、110c3。据此，如图41(A)所示，向各象素区域A1～A3上喷出了三个液滴110c1、110c2、110c3。各液滴110c1、110c2、110c3既可以如图41(A)所示，彼此空开间隔喷出，也可以重叠喷出。

接着，在第二次的扫描中，使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，使喷嘴n1b～n3b与各象素区域A1～A3相对，依次喷出第一组成物的第四、第五、第六滴的液滴110c4、110c5、110c6。据此，如图43(B)所示，向各象素区域A1～A3上又喷出了三个液滴110c4、110c5、110c6。第4～6滴的液滴110c4、110c5、110c6既可以如图43(B)所示，嵌在第1～3的液滴110c1、110c2、110c3之间喷出，也可以与第1～3的液滴110c1、110c2、110c3重叠喷出。

图43(c)表示了第一、第二次的扫描后的另外的状态。在图43(C)中，在关于扫描次数为两次，在一次扫描中喷出第一1～第3滴的液滴，在第二次的扫描中，使喷墨头121移动，从别的喷嘴喷出第4～第6滴的液滴的点上与图43(A)和(B)时同样。与图43(A)和(B)的不同点在于各液滴的喷出位置不同。即在图43(C)中，通过第一次的扫描，向各象素区域A1～A3的图中的下半部分的区域上喷出液滴110c1～110c3，通过第二次的扫描，向各象素区域A1～A3的图中的上半部分的区域上喷出液滴110c4～110c6。

须指出的是，在图42和图43中，对于一个象素区域A喷出的液滴的数量分别为6滴，但是可以是6～20滴的范围，另外，该范围根据象素的面积而改变，比该范围多或少都可以。向各象素电极(电极面111a)上喷出的第一组成物的全量由下部、上部开口部112c、112d的尺寸、要形成的空穴注入/输送层的厚度、第一组成物中的空穴注入/输送层形成材料的浓度等决定。

这样，当用多次扫描形成空穴注入/输送层时，在每次扫描中进行喷嘴的切换，对于各象素区域A1～A3，分别从两个喷嘴喷出第一组成物，所以与象以往那样，对一个象素区域A从一个喷嘴多次喷出时相比，因为抵消了喷嘴间的喷出量的偏移，所以各象素电极111…的第一组成物的喷出量的偏移变小，从而能以相同的膜厚形成空穴注入/输送层。据此，能使各象素的发光量保持一定，能制造显示质量优良的显示装置。

须指出的是，当进行多次喷墨头121的扫描时，喷墨头121的扫描方向在各次中既可以为相同的方向，也可以是相反的方向。

如图44所示，从喷墨头121喷出的第一组成物的液滴110c在最终被亲液处理了的电极面111a和第二层叠部112e上扩展，填充在下部、上部开口部112c、112d内。即使，假设第一组成物滴110c从给定的喷出位置偏离，被喷到上表面112f上，上表面112f也不会被第一组成物滴110c浸渍，被排拒的第一组成物滴110c滑入下部、上部开口部112c、112d内。

作为在此使用的第一组成物，能使用将聚乙烯二氧噻吩(PEDOT)等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸(PSS)等的混合物溶解在极性溶剂中的组成物。作为极性溶剂能使用例如异丙醇(IPA)、正丁醇、 -丁内酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1、3-二甲基-2-咪唑(DMI)及其衍生物、卡必醇醋酸盐、丁基卡必醇醋酸盐等的乙二醇醚类。

作为更具体的第一组成物的组成，PEDOT/PSS混合物例如为：(PEDOT/PSS＝1∶20)：22.4重量％、PSS：1.44重量％、IPA：10重量％、NMP：27.0重量％、DMI：50重量％。须指出的是，第一组成物的粘度希望为2～20Ps，特别是4～12cPs左右。

通过使用所述第一组成物，能在喷出喷出H2不产生堵塞，稳定地喷出。

须指出的是，空穴注入/输送层形成材料对于红(R)、绿(G)、蓝(B)的各发光层110b1～110b3可以使用相同的材料，也可以按发光层改变。

接着，进行图45所示的干燥步骤。通过进行干燥步骤，对喷出后的第一组成物进行干燥处理，使第一组成物中包含的极性溶剂蒸发，形成空穴注入/输送层110a。

如果进行干燥处理，则第一组成物中包含的极性溶剂的蒸发主要在靠近无机物隔板层112a和有机物隔板层112b的地方发生，伴随着极性溶剂的蒸发，空穴注入/输送层形成材料被浓缩、析出。

据此，如图45所示，在第一层叠部112e上，形成了由空穴注入/输送层形成材料构成的周缘部110a2。该周缘部110a2紧贴在上部开口部112d的壁面(有机物隔板层112b)上，其厚度在靠近电极面111a一侧薄，在远离电极面111a一侧即靠近有机物隔板层112b一侧变厚。

另外，与此同时，通过干燥处理在电极面111a上也发生极性溶剂的蒸发，据此，在电极面111a上形成了由空穴注入/输送层形成材料构成的平坦部110a1。在电极面111a上极性溶剂的蒸发速度几乎均匀，所以空穴注入/输送层的形成材料在电极面111a上几乎均匀地浓缩，据此，形成了厚度均匀的平坦部110a。

这样，就形成了由周缘部110a2和平坦部110a1构成的空穴注入/输送层110a。

须指出的是，也可以在周缘部110a2上不形成，而只在电极面111a上形成空穴注入/输送层110a。

所述的干燥处理例如在氮气体介质中，在室温以例如133.3～13.3Pa(1～0.1Torr)左右的压力进行。如果急速使压力下降，则第一组成物滴110c崩沸，所以不好。另外，如果使温度为高温，则极性溶剂的蒸发速度快，无法形成平坦的膜。因此，最好在30℃～80℃。

干燥处理后，通过在氮中，希望在真空中，在200℃进行加热10分钟左右的热处理，除掉残存在空穴注入/输送层110a内的极性溶剂和水。

在所述空穴注入/输送层的形成步骤中，一方面喷出的第一组成物滴110c充满了下部、上部开口部112c、112d内，而另一方面第一组成物滴110c被进行了第一组成物滴110c处理的有机物隔板层112b排拒，流入下部、上部开口部112c、112d内。据此，一定能将喷出的第一组成物滴110c填充到下部、上部开口部112c、112d内，能在电极面111a上形成空穴注入/输送层110a。

另外，根据所述的空穴注入/输送层的形成步骤，因为使最初向各象素区域A喷出的第一组成物的液滴110c1接触有机物隔板层112b的壁面112h，所以该液滴从壁面112h落入第一层叠部112e和电极面111a，第一组成物的液滴110c优先地浸渍扩散到象素电极111的周围，能均匀地涂敷第一组成物，据此，能以几乎均匀的膜厚形成空穴注入/输送层110a。

(4)发光层的形成步骤

接着，发光层的形成步骤由表面改质步骤、发光层的形成材料的喷出步骤以及干燥步骤构成。

首先，为了空穴注入/输送层110a的表面改质，进行表面改质步骤。下面，详细说明该步骤。与所述的空穴注入/输送层的形成步骤同样，通过液滴喷出法，向空穴注入/输送层110a上喷出第二组成物。然后对喷出的第二组成物进行干燥处理(以及热处理)，在空穴注入/输送层110a上形成发光层110b。

接着，作为发光层的形成步骤，通过液滴喷出法，向空穴注入/输送层110a上喷出了包含发光层的形成材料的第二组成物后，进行干燥处理，在空穴注入/输送层110a上形成发光层110b。

图46表示了液滴喷出方法的概要。如图46所示，使喷墨头431和基体32相对地移动，从形成在喷墨头上的喷嘴喷出了含有各色(例如在此为蓝色(B))发光层的形成材料的第二组成物。

在喷出时，使喷嘴与位于下部、上部开口部112c、112d内的空穴注入/输送层110a相对，一边使喷墨头121与基体32相对地移动，一边使第二组成物喷出。控制了从喷嘴喷出的一滴的液量。从喷嘴喷出了这样控制了液量的液体(第二组成物滴110e)，将该第二组成物滴110e喷出到空穴注入/输送层110a上。

发光层的形成步骤与空穴注入/输送层的形成步骤同样，对于一个象素区域通过多个喷嘴进行第二组成物的喷出。

即与图41、图42、图43所示时同样，使喷墨头121扫描，在各空穴注入/输送层110a上形成发光层110b。在该步骤包含：(4)以一次进行喷墨头121的扫描的方法；(5)以多次进行喷墨头121的扫描的方法；(6)以多次进行喷墨头121的扫描，并且在各扫描中使用不同的喷嘴的方法。下面，简要说明(4)～(6)的方法。

(4)以一次-进行喷墨头121的扫描的方法

在该方法中，与图41时同样，用喷墨头121扫描的一次扫描，在象素电极(空穴注入/输送层110a上)形成发光层。即与图41(A)同样，与空穴注入/输送层110a相对配置喷墨头121的喷嘴n1a～n3a，从喷嘴n1a～n3a喷出最初的第二组成物的液滴。接着与图41(B)同样，使喷墨头121在主扫描方向稍微扫描的同时，在副扫描方向的相反方向移动，使使喷嘴n1b～n3b位于空穴注入/输送层110a上，从各喷嘴n1b～n3b喷出第二组成物的第二滴液滴。与图41(C)同样，通过使喷墨头H5在主扫描方向稍微扫描的同时，在副扫描方向移动，使喷嘴n1a～n3a再位于空穴注入/输送层110a上，从各喷嘴n1a～n3a象各空穴注入/输送层110a喷出第二组成物的第三滴液滴。

这样，一边使喷墨头121沿着主扫描方向扫描，一边沿着副扫描方向稍微移动，对于一个象素区域A(空穴注入/输送层110a)从两个喷嘴依次喷出第二组成物的液滴。对于一个象素区域的喷出的液滴的数量能在例如6～20滴的范围中，但是该范围是根据象素的面积而改变的，可以比该范围多或少。向各象素区域(空穴注入/输送层110a)上喷出第二组成物的全量由下部、上部开口部112c、112d的尺寸、要形成的发光层的厚度、第二组成物中的发光层的形成材料的浓度等决定。

这样，当用一次扫描形成发光层时，当喷出第二组成物时，进行喷嘴的切换，对于象素区域，分别从两个喷嘴喷出第二组成物，所以与象以往那样，对一个象素区域从一个喷嘴多次喷出时相比，因为抵消了喷嘴间的喷出量的偏移，所以各象素区域的第二组成物的喷出量的偏移变小，从而能以相同的膜厚形成发光层。据此，能使各象素的发光量保持一定，能制造显示质量优良的显示装置。

(5)以多次进行喷墨头121的扫描的方法

在该方法中，首先与图42(A)同样，作为第一次的扫描，使喷嘴n1a、n2a、n3a与各象素区域相对，喷出第二组成物，再使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，使喷嘴n1b～n3b与象素区域相对，喷出第二组成物。各液滴既可以与图42(A)同样，彼此空开间隔喷出，也可以重叠喷出。

接着，在第二次扫描中，与第一次扫描时同样，使喷嘴n1a～n3a与各象素区域相对，喷出第二组成物的第三滴的液滴，再使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，从喷嘴n1b～n3b喷出第二组成物的第四滴液滴。据此，与图42(B)同样，向各象素区域上又喷出了两个液滴。须指出的是，第三滴和第四滴的液滴既可以与第一和第二滴液滴不重叠地喷出，也可以重叠喷出。

在第三次扫描中，与第一、二次扫描时同样，使喷嘴n1a～n3a与各象素区域相对，喷出第二组成物的第五滴的液滴，再使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，从喷嘴n1b～n3b喷出第二组成物的第六滴液滴。据此，与图42同样，向各象素区域上又喷出了两个液滴。须指出的是，第五滴和第六滴的液滴既可以与其他液滴不重叠地喷出，也可以重叠喷出。

这样，在用多次扫描形成发光层时，在各扫描中进行喷嘴的切换，对于各象素区域分别从两个喷嘴喷出第二组成物，所以与象以往那样，对一个象素区域从一个喷嘴多次喷出时相比，因为抵消了喷嘴间的喷出量的偏移，所以第二组成物的喷出量的偏移变小，从而能以相同的膜厚形成发光层。据此，能使各象素的发光量保持一定，能制造显示质量优良的显示装置。

(6)以多次进行喷墨头121的扫描，并且在各扫描中使用不同的喷嘴的方法

在该方法中，首先与图43(A)同样，在第一次的扫描中，使喷墨头121的喷嘴n1a～n3a与各象素区域相对，依次喷出第二组成物的最初的液滴以及第二、第三滴的液滴。据此，与图43(A)同样，向各象素区域上喷出了三个液滴。各液滴既可以与图43(A)同样，彼此空开间隔喷出，也可以相互重叠喷出。

接着，在第二次的扫描中，使喷墨头121在副扫描方向稍微移动，使喷嘴n1b～n3b与各象素区域相对，依次喷出第二组成物的第四、第五、第六滴的液滴。据此，与图43(B)同样，向各象素区域上又喷出了三个液滴。并且，第4～6滴的液滴既可以嵌在第1～3的液滴之间喷出，也可以与第1～3的液滴重叠喷出。

须指出的是，对于一个象素区域的喷出的液滴的数量分别为6滴，但是能在6～20滴的范围中，另外因为该范围是根据象素的面积而改变的，所以可以比该范围多或少。向各象素区域(空穴注入/输送层110a)上喷出第二组成物的全量由下部、上部开口部112c、112d的尺寸、要形成的发光层的厚度、第二组成物中的发光层的形成材料的浓度等决定。

这样，当用多次扫描形成发光层时，在每次扫描中进行喷嘴的切换，对于各象素区域，分别从两个喷嘴喷出第二组成物，所以与象以往那样，对一个象素区域从一个喷嘴多次喷出时相比，因为抵消了喷嘴间的喷出量的偏移，所以各象素区域的第二组成物的喷出量的偏移变小，从而能以相同的膜厚形成发光层。据此，能使各象素的发光量保持一定，能制造显示质量优良的显示装置。

须指出的是，当进行多次喷墨头121的扫描时，喷墨头121的扫描方向在各次中既可以为相同的方向，也可以是相反的方向。

作为发光层110b的材料，能使用例如聚芴衍生物、聚苯撑衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、或在这些高分子材料中掺杂二萘嵌苯类色素、香豆素类色素、若丹明类色素、例如红荧烯、二萘嵌苯、9、10-联苯蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等。

作为非极性溶剂，最好是对于空穴注入/输送层110a不溶解的，例如能使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。

通过在发光层110b的第二组成物中使用这样的非极性溶剂，能使空穴注入/输送层110a不再溶解的前提下，涂敷第二组成物。

如图46所示，喷出的第二组成物110e在空穴注入/输送层110a上扩散，充满下部、上部开口部112c、112d内。而在被拨液处理的上表面112f，即使第二组成物滴110e从给定的喷出位置偏离，被喷出到上表面112f上，上表面112f也不会被第二组成物滴110e浸渍，第二组成物滴110e进入下部、上部开口部112c、112d内。

接着，当结束了对给定的位置喷出第二组成物后，通过对喷出后的第二组成物110e进行干燥处理，形成了发光层110b。即通过干燥，第二组成物中包含的非极性溶剂蒸发，形成了图47所示的蓝色(B)的发光层110b3。须指出的是，在图47中，只表示了一个发出蓝光的发光层，但是从图30和其他图可知，本来发光元件形成了矩阵形状，形成了图中未显示的多个发光层(与蓝色对应)。

接着，如图48所示，使用与所述蓝色(B)发光层110b3时同样的步骤，形成红色(R)发光层110b1，最后形成绿色(G)发光层110b2。

须指出的是，发光层110b的形成步骤并不局限于所述的顺序，可以采用任意的顺序。例如，能按照发光层形成材料决定形成的顺序。

另外，发光层的第二组成物的干燥条件为：当蓝色110b3时，在氮气体介质中，在室温以例如133.3～13.3Pa(1～0.1Torr)左右的压力进行5～10分钟。如果压力过低，则第二组成物崩沸，所以不好。另外，如果温度为高温，则非极性溶剂的蒸发速度快，发光层的形成材料大量附着在上部开口部112d的壁面上，所以不好。最好为30℃～80℃的范围。

另外，绿色发光层110b2和红色发光层b1时，因为发光层的形成材料的成分数多，所以迅速使其干燥，例如在40℃，进行5～10分钟的氮气喷射。

作为其他的干燥方法，例如有远红外线照射法、高温氮气喷射法等。

这样在象素电极111上就形成了空穴注入/输送层110a和发光层110b。

(5)对置电极(阴极)的形成步骤

接着，在对置电极的形成步骤中，如图49所示，在发光层110b和有机物隔板层112b的整个面上形成以及(对置电极)。须指出的是，阴极42可以层叠多种材料。例如在靠近发光层一侧，形成功函数小的材料，例如能使用Ca、Ba等，另外，根据材料，有时在下层形成薄的LiF等。另外，在上部一侧(密封一侧)能使用比下部一侧功函数高的材料，例如能使用Al。

希望通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成这些阴极42，特别是用蒸镀法形成时能放置热对发光层110b的损伤。

另外，可以只在发光层110b上形成氟化锂，能与给定的色对应形成。例如只在蓝色(B)发光层110b3上形成。此时，在其他的红色(R)发光层和绿色(G)发光层110b1、110b2上接触由钙构成的上部阴极层12b。

另外，最好在阴极42的上部，使用通过蒸镀法、溅射法、CVD法等形成的Al膜、Ag膜等。另外，该厚度希望在100～1000nm的范围，特别是200～500nm左右。另外，在阴极42上也可以设置用于防止氧化的SiO₂、SiN等的保护层。

(密封步骤)

最后，密封步骤是通过密封树脂3a密封形成了发光元件的基体32和密封衬底3b。例如，在基体32的整个面上涂敷由热硬化树脂或紫外线硬化树脂构成的密封树脂3a，在密封树脂3a上层叠密封用衬底3b。通过在步骤，在基体32上形成密封部33。

密封步骤最好在氮、氩、氦等惰性气体中进行。如果在大气中进行，当在阴极42上产生了针孔等缺陷时，水或氧有可能从该缺陷部分侵入阴极42，阴极42被氧化，所以不好。

通过在涂30所示的衬底5的布线35a上连接阴极42，并且在驱动IC36上连接电路元件部44的布线，就得到了本实施例的显示装置。

在本实施例中，通过实施与上述的各实施例同样的喷墨方式，也能享受同样的效果。当有选择地涂敷功能性液体时，因为对于一个功能层，使用多个喷嘴喷出液体，所以抵消了喷嘴间的偏移，各电极间的喷出量的偏移变小，能使各功能层的膜厚一致。据此，能制造各象素的发光量均匀化的显示质量优良的显示装置。

(其他实施例)

以上列举了优选的实施例来说明了本发明，但是本发明并不局限于所述各实施例，也包含以下的变形，在能实现本发明的目的范围内，能设定为其他任意的具体结构和形状。

即例如，使喷墨头421向主扫描方向X移动，对母板12进行主扫描，通过副扫描驱动装置425使母板12移动，喷墨头421对母板12进行了副扫描，但是，也可以与此相反，通过母板12的移动，执行主扫描，通过喷墨头421的移动，执行副扫描。也能采用使喷墨头421不移动，使母板12移动，或使双方相对地在相反方向移动，使至少任意一方相对地移动，使喷墨头421沿着母板12的表面相对地移动的任意结构。

另外，在所述实施例中，使用了利用压电元件453的挠曲变形，喷出墨水即滤波元件材料13的结构的喷墨头421，但是，也能采用其他任意结构的喷墨头，例如能使用通过由加热产生的气泡喷出墨水的方式的喷墨头等。

而且，在图1～图13所示的实施例中，作为喷墨头421，说明了以近等间隔在近直线上配置两列喷嘴466，但是，并不局限于两列，能采用多列。另外，也可以不是等间隔，也可以不是在直线上成列配置。

而且，在制造中使用的液滴喷出装置16、401还能在以下具有衬底(基体材料)，并且具有在其上方的区域中形成给定层的步骤的各种电光装置中使用：滤色器1和液晶装置；EL装置；FED(Field Emission Display：场致发射显示器)；PDP(Plasma Display Panel：等离子体显示面板)；电泳装置即向各象素的隔板间的凹部喷出含有带电粒子的功能性液体即墨水，在配置为夹持着各象素的电极间外加电压，使带电粒子靠近一方的电极一侧进行各象素的显示的装置、薄型布劳恩管；CRT(Cathode-RayTube：阴极射线管)显示器等。

本发明的装置和方法能在具有包含电光装置的衬底(基体材料)的器件，并且能使用在该衬底(基体材料)上喷出液滴的步骤的各种器件的制造步骤中使用。例如，也能用于以下的结构中：为了形成印刷电路板的电布线，以喷墨方式喷出液态金属和导电性材料、含金属的涂料等，形成金属布线的结构；通过喷墨方式喷出形成构成燃料电池的电极和离子传导膜等的结构；通过用喷墨方式，向基体材料上喷出形成的微细的显微透镜，形成光学构件的结构；通过用喷墨方式，使衬底上涂敷的抗蚀剂只涂敷在必要的部分的喷出结构；通过喷墨方式，在塑料等透光性衬底上喷出形成使光散射的凸部或微小的白图案，形成光散射板的结构；通过喷墨方式，在DNA(deoxyribonucleic acid：脱氧核糖核酸)上，向矩阵排列的峰点喷出RNA(ribonucleic acid：核糖核酸)，制作荧光标志测头，在DNA芯片上，使杂交，在基体材料上的划分了点状的位置，通过喷墨方式，喷出试剂、抗体、DNA(deoxyribonucleic acid：脱氧核糖核酸)等，形成生物芯片的结构等。

另外，也能适用于液晶装置，也能适用于以下构成构成液晶装置的任意部分：在象素中具有TFT等晶体管和TFD有源元件的有源矩阵液晶面板等；形成包围象素电极的隔板6，通过喷墨方式，向由该隔板6形成的凹部喷出墨水，形成滤色器1的结构；通过喷墨方式，向象素电极上喷出作为墨水的混合了颜色材料和导电材料的液体，将在象素电极上形成滤色器1作为导电性滤色器而形成的结构；通过喷墨方式喷出用于保持衬底间的间隔的间隔团的粒的结构。

而且，不仅局限于滤色器1，也能适用于EL装置201等其他的任意的电光装置，作为EL装置，将R、G、B三色对应的EL形成带状的带型；如以上所述，在各象素中设置有控制流向发光层的电流的晶体管的有源矩阵型的显示装置，或无源矩阵型等任意的结构。

而且，作为搭载了所述各实施例的电光装置的电子仪器，不仅局限于例如图27所示的个人电脑490，还能适用于：图28所示的移动电话491和PHS(Personal HandyphoneSystem)等移动式电话机、电子记事本、寻呼机、POS(Point Of Sales)终端、IC卡、小型磁盘播放器、液晶投影仪、工程工作站(Engineering Work Station：EWS)、字处理器、电视机、探视器型或监视直视型录象机、台式电子计算机、汽车导航装置、具有触摸面板的装置、表、游戏机等各种电子仪器。

另外，作为滤色器1的隔板6，除了使用没有透光性的树脂材料，当然也能使用透光性的树脂材料作为透光性的隔板6。此时，在与滤波元件3间对应的位置例如隔板6上、隔板6下另外设置具有遮光性的金属膜或树脂材料，作为遮光框。另外，也可以采用由透光性的树脂材料形成隔板6，不设置遮光框的结构。须指出的是，本发明的“隔板”也包含“岸”的意思，是指从衬底观察，几乎垂直角度的侧面、具有大概90度以上或未满90度的侧面等从衬底观察变为凸的部分。

另外，使用了R、G、B作为滤波元件3，但是，当然并不局限于此，例如也可以采用C(青色)、M(洋红)、Y(黄色)。此时，可以使用具有C、M、Y色的滤波元件材料代替R、G、B的滤波元件材料。

另外，本发明的实施时的具体的结构和步骤在能实现本发明的目的范围内也可以采用其他的结构和步骤。

根据本发明，将在安装衬底上安装了液滴喷出头和连接器的喷出部件分为多组配置，并且配置在保持部件上，使安装衬底的配置有连接器的部分不与其他组中配置的喷出部件相对，在具有喷嘴的一面沿着被喷出物的表面的状态下，使液滴喷出头相对地移动，从喷嘴向被喷出物上的给定位置适当喷出，所以与分别配置多个液滴喷出头和对应的连接器时相比，能容易地组装，能提高制造性。另外，配置为安装衬底的配置有连接器的部分不与其他组的喷出部件彼此相对，所以配置有连接器的部分对于液滴喷出头向着与对置方向相反的一侧即外侧，不但能容易地提高对连接器的布线作业性，而且，能防止连接器所在部分的电噪声互相影响。

Claims (25)

1.一种喷出装置，其特征在于：具有：

包括设置有将具有流动性的液体向被喷出物上喷出的喷嘴的液滴喷出头、安装了该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件；

使所述多个喷出部件分为多组排列，并且进行配置使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件不相对置，配置所述多个喷出部件，使所述液滴喷出头的设置有喷嘴的一面隔着间隙与所述被喷出物的表面对置的保持部件；

使该保持部件和所述被喷出物中的至少任意一方，在所述液滴喷出头沿着所述被喷出物的表面的状态下相对地移动的移动部件。

2.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：

安装衬底形成为纵长形；

喷出部件在所述安装衬底的长度方向的一端一侧配置有液滴喷出头，在所述安装衬底的长度方向的另一端一侧配置有连接器。

3.根据权利要求1或2所述的喷出装置，其特征在于：

使配置有连接器的部分不相对置的喷出部件近似点对称地配置。

4.根据权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

具备将液体提供给喷出部件的供液部件；

供液部件从多个喷出部件的组之间的位置将供给管连接到各组的各喷出部件上，通过该供给管向各喷出部件提供液体。

5.根据权利要求4所述的喷出装置，其特征在于：

供液部件具有储存液体的箱、使所述液体流通的供给管以及通过所述供给管将所述箱内的液体提供给喷出部件的液滴喷出头的泵；

所述供给管与所述喷出部件的液滴喷出头对应设置有多个，并从多个喷出部件的组的配置位置之间的位置向各喷出部件配管。

6.根据权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

具有从控制部件连接各喷出部件的连接器的多条电布线；

这些电布线从保持部件的外周一侧向各喷出部件的连接器分别布线。

7.根据权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

将多个喷出部件配置为：使所述液滴喷出头沿着与利用移动部件使所述液滴喷出头沿着被喷出物的表面进行相对移动的方向交叉的方向呈多列排列的状态。

8.一种电光装置的制造装置，包括权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

被喷出物是形成EL发光层的衬底，一边使多个液滴喷出头相对于所述衬底进行移动，一边从所述多个液滴喷出头的给定喷嘴向所述衬底上喷出含有EL发光材料的液体，在所述衬底上形成所述EL发光层。

9.一种电光装置的制造装置，包括权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

被喷出物是夹着液晶的一对衬底的一方，一边使多个液滴喷出头相对于所述衬底进行移动，一边从所述多个液滴喷出头的给定喷嘴向所述衬底上喷出含有滤色材料的液体，在所述衬底上形成滤色器。

10.一种滤色器的制造装置，包括权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

被喷出物是形成呈现不同颜色的滤色器的衬底，一边使多个液滴喷出头相对于所述衬底进行移动，一边从所述多个液滴喷出头的给定喷嘴向所述衬底上喷出含有滤色材料的液体，在所述衬底上形成滤色器。

11.一种电光装置，包括设置有多个电极的衬底和在该衬底上与所述电极对应而设置的多个EL发光层，其特征在于：

使用分别具有设置有喷出含有EL发光材料的液体的喷嘴的液滴喷出头、安装有该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件被分为多组排列，并且配置为使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件不相对置的保持部件；

配置在该保持部件上的液滴喷出头，一边使具有所述喷嘴的一面在沿着所述衬底的表面的状态下相对于所述衬底移动，所述液体一边从所述喷嘴适当地喷出到所述衬底上的给定位置，形成了所述EL发光层。

12.一种电光装置，包括衬底和在该衬底上形成的不同颜色的滤色器，其特征在于：

使用分别具有设置有喷出含有给定颜色的滤波材料的液体的喷嘴的液滴喷出头、安装有该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件被分为多组排列，并且配置为使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件彼此不相对置的保持部件；

配置在该保持部件上的液滴喷出头，一边使具有所述喷嘴的一面在隔着间隙与衬底的表面对置的状态下相对于所述衬底相对移动，一边从所述喷嘴将所述液体适当地喷出到所述衬底上的给定位置上，形成所述滤色器。

13.一种滤色器，在衬底上呈现不同颜色而形成，其特征在于：

使用分别包含设置有喷出含有给定颜色的滤波材料的液体的喷嘴的液滴喷出头、安装有该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件被分为多组排列，并且配置为使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件彼此不相对置的保持部件；

由配置在该保持部件上的液滴喷出头一边使具有所述喷嘴的一面在隔着间隙与所述衬底的表面对置的状态下相对于所述衬底相对移动，一边从所述喷嘴将所述液体适当地喷出到所述衬底上的给定位置上而形成。

14.一种喷出方法，其特征在于：

使用分别包含设置有喷出具有流动性的液体的喷嘴的液滴喷出头、安装有该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件被分为多组排列，并且配置为使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件彼此不相对置的保持部件；

配置在该保持部件上的液滴喷出头，一边在使具有所述喷嘴的一面沿着所述衬底的表面的状态下相对于所述被喷出物相对移动，一边从所述喷嘴将所述液体适当地喷出到所述被喷出物的给定位置上。

15.根据权利要求14所述的喷出方法，其特征在于：

将安装衬底形成为纵长形；

多个喷出部件的结构分别为在所述安装衬底的长度方向的一端一侧配置有液滴喷出头，在所述安装衬底的长度方向的另一端一侧配置有连接器；

从这些喷出部件的液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。

16.根据权利要求14或15所述的喷出方法，其特征在于：

使配置有连接器的部分不相对置的喷出部件近似点对称地配置；

从这些喷出部件的液滴喷出头的喷嘴向被喷出物上喷出液体。

17.根据权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法，其特征在于：

从多个喷出部件的组的配置位置之间的位置，分别在各组的喷出部件上连接供给管，通过该供给管向各喷出部件供给液体，从这些喷出部件的液滴喷出头向被喷出物上喷出液体。

18.根据权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法，其特征在于：

通过从保持部件的外周一侧将来自控制部件的电布线连接了各连接器的喷出部件来喷出液体。

19.根据权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法，其特征在于：

将多个喷出部件配置为：使所述液滴喷出头沿着与所述液滴喷出头沿着被喷出物的表面进行相对移动的方向交叉的方向呈多列排列。

20.一种电光装置的制造方法，利用权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法来喷出液体，其特征在于：

所述液体含有EL发光材料；

被喷出物是衬底；

一边使液滴喷出头在沿着所述衬底的表面的状态下相对地移动，一边从喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体来形成所述EL发光层。

21.一种电光装置的制造方法，利用权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法来喷出液体，其特征在于：

所述液体含有滤色材料；

所述被喷出物是衬底；

一边使所述液滴喷出头在沿着所述衬底的表面的状态下相对地移动，一边从喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体来形成滤色器。

22.一种滤色器的制造方法，利用权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法来喷出液体，其特征在于：

所述液体含有滤波材料；

所述被喷出物是衬底；

一边使液滴喷出头在沿着所述衬底的表面的状态下相对地移动，一边从喷嘴向所述衬底上的给定位置适当喷出所述液体来形成滤色器。

23.一种具有基体材料的器件，包含基体材料和向该基体材料上喷出具有流动性的液体而形成的给定层，其特征在于：

使用分别具有设置有喷出所述液体的喷嘴的液滴喷出头、安装有该液滴喷出头的安装衬底以及配置在该安装衬底上的连接器的多个喷出部件被分为多组排列，并且配置为使所述安装衬底的配置有连接器的部分与其他组中排列的所述喷出部件彼此不相对置的保持部件；

配置在该保持部件上的液滴喷出头一边在使具有所述喷嘴的一面沿着所述衬底的表面的状态下相对于所述衬底相对移动，一边从给定的喷嘴向所述衬底上的给定位置上适当地喷出所述液体来形成所述给定层。

24.一种具有基体材料的器件的制造装置，具有权利要求1或2中任意一项所述的喷出装置，其特征在于：

所述被喷出物是器件的基体材料；

在所述基体材料上形成给定层的步骤中，从所述多个液滴喷出头向所述基体材料上喷出液体来形成所述给定层。

25.一种具有基体材料的器件的制造方法，其特征在于：

利用权利要求14或15中任意一项所述的喷出方法，向被喷出物即基体材料上喷出液体，在所述基体材料上形成给定层。

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