CN1236918C - 材料的喷出装置和方法及滤色器等的制造装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是缩短用于滤色器的滤色元件和EL装置的像素元素等的图案形成的喷墨头部分的扫描时间。本发明涉及一种制造包含排列在基片上的多个滤色元件的滤色器的装置。该装置包括：具有配置了多个喷嘴27的喷嘴排28的多个喷头20；向喷头20供应滤色材料的墨水供应装置；支撑排列在其上的喷头20的托架25；使托架25在X轴方向进行主扫描移动的主扫描驱动装置；使托架25在Y轴方向进行副扫描移动的副扫描驱动装置；托架25以平面内的倾斜角度θ的倾斜状态分别支持多个喷头20。

Description

材料的喷出装置和方法及 滤色器等的制造装置和方法

技术领域

本发明涉及用于向目的物喷出材料的材料喷出装置，具体地说，本发明涉及用于光学装置如液晶装置等的滤色器的制造装置和制造方法。另外，本发明也涉及具有滤色器的液晶装置的制造装置和制造方法。另外，本发明还涉及利用EL(场致发光)发光层进行显示的EL装置的制造装置和制造方法。另外，本发明还涉及通过这些方法制造的电子器件。

背景技术

最近，显示装置如液晶装置、场致发光装置(以下称为″EL装置″)等已经广泛地用作电子器件如蜂窝电话、便携式计算机等的显示部分。另外，近年来，越来越多地通过显示装置进行全色显示。液晶装置的全色显示，例如，通过由液晶层调制的光穿滤色色器来进行。滤色器是通过，例如点状的R(红)、G(绿)以及B(蓝)的滤色器元件以预定的排列如条纹排列、三角形排列、或马赛克排列，配置在由玻璃、塑料等制成的基片的表面上而形成。

在通过EL装置进行全色显示的情况下，在由玻璃、塑料等制成的基片的表面上配置电极，再在上面以预定的排列配置例如R(红)、G(绿)以及B(蓝)的点状的各色的EL发光层。通过控制施加于每个像素的电极的电压，从每个像素发出期望颜色的光，从而进行全色显示。

滤色器的R、G、B等的各色滤色元件的图案形成、或EL装置的R、G、B等的各色像素的图案形成过程中，传统使用光刻蚀法。但是，在利用光刻蚀法的情况下，工序变得复杂并且由于各色材料和光致抗蚀剂的高消耗导致成本增加等问题。

为了解决该问题，提议了一种方法，通过喷墨法点状喷出滤色材料、EL发光材料等形成点状排列的细丝和EL发光层等。

例如，图22(a)中由玻璃、塑料等制成的大面积基片即母板301的表面设定的多个面板区域302的内部区域中，考虑如图22(b)所示，点状配置的多个滤色元件303通过喷墨法形成的情况。在这种情况下，如图22(c)所示，具有包括排状排列的多个喷嘴304的喷嘴排305的喷墨头306，如图22(b)的箭头A1和A2所示，在一个面板区域302进行若干次(图22(b)中为两次)主扫描时，在主扫描期间，从多个喷嘴304有选择性地喷出墨水、即滤色材料，在期望位置形成滤色元件303。

R、G、B每一种像素色的滤色元件303是以适当的排列形式如条纹排列、三角形排列或马赛克排列形成的。因此，在从图22(b)所示的通过喷墨头306的墨水喷出处理中，只为R、G、B等3色预先设置用于喷出R、G、B的单色的喷墨头306，以便依次使用这些喷墨头306，在一个母板301上形成R、G、B的3色的排列。

可是，设置在喷墨头306上的喷嘴数目通常大约为160到180。另外，母板301通常具有比喷墨头306大的面积。因此，通过利用喷墨头306，在母板301表面上形成滤色元件303期间，必须一边使喷墨头306相对于母板301作副扫描移动，一边通过喷墨头306使母板301主扫描移动若干次，在每次主扫描期间，喷出墨水，进行图案描绘。

但是，这种方法有这样的问题，由于相对于母板的喷墨头306的扫描次数多，描绘时间即制造滤色器的时间变长。为了解决这个问题，本申请人在日本专利申请平11-279752号中提出了一种发明，通过支持机构支持的多个喷头线性地排列以便增加实质的喷嘴数目。

如果利用此方法，例如图23(a)所示，多个喷头，例如六喷头306通过支持机构307支持成直线状、当在副扫描方向Y副扫描移动支持机构307时，如箭头A1、A2……所示进行多次主扫描，在主扫描期间从每个喷嘴304有选择地喷出墨水。这种方法可以通过一次主扫描向很宽的区域供应墨水，从而确实缩短制造滤色器的时间。

可是，在图23(a)显示的传统方法中，每个喷头306由平行于副扫描方向Y配置的直线状的喷嘴排形成，因而多个喷嘴之间的间隔即喷嘴节距必须与母板301上的滤色元件303之间的间隔即元件节距相同。但是，很难形成喷嘴节距与元件节距相同的喷墨头。

为了解决该问题，考虑这样的方法，如图23(b)所示，使支持机构307相对于副扫描方向Y倾斜角度θ，使喷头306的喷嘴节距与母板301内的元件节距相同。但是在这种情况下，对于由喷头306排列形成的喷嘴排、在主扫描方向X上引起尺寸Z的偏差，从而引起用于墨水喷出的主扫描时间增加对应于偏差量的时间的问题。特别是，在使用如图23(b)所示的这种六联结构的喷头单元时，由于喷嘴排变长该偏差也变长，从而引起主扫描时间进一步增加的问题。

本发明已经考虑到所述问题，本发明的目的是缩短用于形成滤色器的滤色元件和EL装置的像素等图案的喷墨头的扫描时间。

发明内容

为了达到所述目的，根据本发明的一种用于向目的物喷出材料的材料喷出装置，其特征在于，它包括：具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；支持所述多个喷头的支持机构；用于使所述目的物和所述支持机构中的任何一个相对于另一个进行扫描的机构；用于控制由至少一个所述喷嘴排和扫描方向形成的角度的机构；以及对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构。更具体地说，所述多个喷头是相对于所述支持机构的纵向倾斜地被支持的。另外，这里所说的″扫描″意味着主扫描方向和与主扫描方向交叉的副扫描方向中的一个或两个。

在本发明的材料喷出装置中，利用支持装置支持多个喷头扫描基片以便材料可以从这多个喷头喷出。因此，与用单个喷头扫描目的物比较，可以缩短扫描时间。

在本发明中，最好所述多个喷头中，所述喷嘴排的喷嘴节距大体上相同，所述喷嘴排的倾斜角度大体上相同。从而，材料可以有规则地向目的物喷出，易于控制描绘有规则的图案。

另外，由于各喷头以倾斜状态进行扫描，属于各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在目的物上的滤色元件的元件节距一致。

此外，由于支持装置不是整体倾斜而是各喷头分别倾斜，靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比支持装置整体倾斜的情况短，从而缩短支持装置扫描基片的时间。

另外，根据本发明的材料喷出装置，用以向目的物喷出材料的材料喷出装置包括：具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；支持所述多个喷头的支持机构；使所述目的物和所述支持机构的任何一个相对于另一个进行扫描的机构；控制由至少一个所述喷嘴排和所述扫描方向形成的角度的机构，最好还包括控制所述喷嘴排之间间隔的机构。

在具有所述结构的材料喷出装置中，喷嘴排通过喷嘴排角度控制机构设置在倾斜状态，从而获得与所述材料喷出装置相同的效果。

而且，在该材料喷出装置中，由一个支持机构支持的各喷头很容易通过喷嘴排角度控制机构与不同的元件节距一致。而且，在这种情况下，一个喷嘴排和相邻喷嘴排之间距离可以通过喷嘴排间隔控制机构精确地调节以便喷嘴排继续保持恒定的喷嘴节距。

喷嘴排角度控制机构和喷嘴排间隔控制机构不局限于特别的结构，可以用任何一种能实现所述功能的结构实现。例如，喷嘴排角度控制机构可以通过以下结构实现，即，各喷头安装在支持机构上并使其在平面可旋转，并且这些喷头直接地或经由动传机构间接地连接到步进马达、伺服马达等能够控制旋转角的动力源的结构。在此结构中，通过控制动力源的输出角度值，可以将各喷嘴排的倾斜角度调节到期望值，并且通过在调节后保持动力源的输出轴在锁定状态，使各喷嘴排的倾斜角度保持固定的期望值。

另外，喷嘴排间隔控制机构不局限于特别的结构，可以用任何一种能实现所述功能的结构实现。例如，各喷头的平面旋转的中心部分安装在支持机构上并使其可以滑动，并且这些喷头连接到往复滑动移动驱动装置形成的结构。例如，往复滑动驱动装置可以由能够控制旋转角的步进马达、伺服马达等作为动力源的滑动驱动装置和线性电动机等线性运动驱动源构成的滑动驱动装置构成。

另外，控制喷嘴排和扫描方向之间夹角的机构最好用这样的方式控制角度，使得所述多个喷头中的喷嘴排的喷嘴节距相同，并且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

根据本发明的一种用于向目的物喷出材料的材料喷出方法，其特征在于，它包括：对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的工序；将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头、以及支持所述多个喷头的支持机构的其中一方相对于另一方进行扫描的工序；以及向所述目的物喷出所述材料的工序，其中至少一个所述喷嘴排相对于扫描方向是倾斜的。在这种情况下，所述目的物和所述支持机构中的任何一个在主扫描方向或与主扫描方向交叉的副扫描方向或两个方向上相对于另一个进行扫描。

最好所述多个喷头中的喷嘴排的喷嘴节距相同，并且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

另外，材料喷出方法还可以包括控制由至少一个所述喷嘴排和所述扫描方向形成的角度的工序，以及控制所述多个喷嘴排之间间隔的工序。

所述材料喷出装置和材料喷出方法能够使用于，例如，向基片喷出滤色材料的滤色器的制造装置和滤色器的制造方法，以及向基片喷出EL发光材料的EL装置的制造装置和制造方法等。当然，应用不局限于这些装置和方法，可以应用于各种不同的技术领域。

特别是，通过包括材料喷出方法的生产方法制造的组件能被使用于电子器件如蜂窝电话、便携式计算机等。

另外，根据本发明的一种用于制造滤色器的装置，其特征在于，它包括：具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；向所述喷头供应滤色材料的机构；支持所述多个喷头的支持机构；以及对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构，其中，所述支持机构以倾斜的状态支持所述多个喷头。

在所述结构中，滤色器可以例如包括R(红)、G(绿)、B(蓝)三原色、和C(青色)、Y(黄色)、M(洋红)三原色的各色着色剂。

采用该滤色器的制造装置，可以通过支持多个喷头的支持装置进行主扫描期间，从这些多个喷头喷出滤色材料，因此，与用单个喷头扫描基片表面比较，缩短了扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态执行主扫描，各喷头多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的滤色元件的元件节距一致。此外，由于支持装置不是整体倾斜而是各喷头分别倾斜，靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比支持装置整体倾斜的情况短，从而缩短支持装置扫描基片的时间。因此，可以缩短制造滤色器的时间。

另外，在具有上述结构的滤色器的制造装置中，所述支持装置可以以固定状态支持所述喷头，或以可以改变倾斜角度和/或喷头间距离的状态支持所述喷头。

另外，在具有所述结构的滤色器的制造装置中，最好所述多个喷头的喷嘴排的喷嘴节距相同，而且所述喷嘴排的倾斜角上相同。这样，易于控制向期望位置供应滤色材料。

另外，多个喷嘴排的倾斜角度最好相同，但倾斜方向可正可负。另外，这里以及以下， ″大体上″意味着包括即使当由于制造误差发生小的偏差时，在功能上不发生大的差异的情况。

另外，根据本发明的滤色器的制造装置，其特征在于包括：具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；向所述喷头供应滤色材料的机构；支持所述多个喷头的支持机构；使所述支持机构执行主扫描的主扫描机构；使所述支持机构执行副扫描的副扫描机构；控制所述多个喷嘴排倾斜角度的喷嘴排角度控制机构；对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构。

采用具有所述结构的滤色器制造装置，所述多个喷嘴排通过所述喷嘴排角度控制机构分别设置在倾斜状态，从而获得与所述滤色器的制造装置相同的效果。

另外，采用所述第二个滤色器的制造装置，通过喷嘴排角度控制机构的作用，可以容易地使支持机构所支持的各喷头与不同的元件节距一致。  而且在这种情况下，一个喷嘴排和相邻喷嘴排之间的间隔可以通过喷嘴排间隔控制机构精确地调节，以便这些喷嘴排继续保持恒定的喷嘴节距。

另外，喷嘴排角度控制机构和喷嘴排间隔控制机构不局限于特别的结构，可以通过任何能实现所述功能的结构实现。例如，能使用所述材料喷出装置中说明的结构。

在所述滤色器的制造装置中，最好所述多个喷头的喷嘴排的喷嘴节距相同，并且喷嘴排的倾斜角度相同。

其次，根据本发明的一种制造滤色器的方法，其特征在于，它包括：在将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的喷头在主扫描方向移动的同时，从所述多个喷嘴喷出滤色材料，在所述基片上形成滤色元件的工序，所述喷头多个并列而设置，而且以倾斜的状态布置，对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制。

采用该制造方法，多个喷头同时在主扫描方向移动以便滤色材料可以从各喷头喷出，因此，与用单个喷头扫描基片表面比较，可以缩短扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态执行扫描，各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的滤色元件的元件节距一致。此外，由于不是使多个喷头并列成一排、并使该排倾斜，而是各喷头分别倾斜，因此，靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比整排倾斜的情况短，从而缩短多个喷嘴排扫描基片的时间。因此，可以缩短制造滤色器的时间。

另外，在具有上述结构的滤色器的制造方法中，最好所述多个喷头中的所述喷嘴排的喷嘴节距相同，而且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

其次，根据本发明的一种用于制造液晶装置的装置，其特征在于，它包括：具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；向所述喷头供应滤色材料的机构；支持所述多个喷头的支持机构；使所述支持机构进行主扫描移动的主扫描机构；使所述支持机构进行副扫描移动的副扫描机构；以及对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构；其中，所述支持机构以倾斜的状态支持所述多个喷头。

采用该液晶装置的制造装置，在利用支持多个喷头的支持装置进行基片的主扫描期间，可以从多个喷头喷出墨水，即滤色材料，与用单个喷头扫描基片表面比较，可以缩短扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态进行扫描，各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的滤色元件的元件节距一致。此外，由于支持装置不是整体倾斜而是各喷头分别倾斜，所以靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比支持装置整体倾斜的情况短，从而缩短支持装置扫描基片的时间。因此，可以缩短制造滤色器的时间。

其次，根据本发明的一种制造液晶装置的方法，其特征在于，它包括：在将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的喷头在主扫描方向移动的同时，从所述多个喷嘴喷出滤色材料，在所述基片上形成滤色元件的工序，所述喷头多个并列而设置，而且以倾斜的状态布置；对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制。

采用该制造方法，多个喷头同时在主扫描方向移动以便墨水可以从各喷头喷出，因此，与用单个喷头扫描基片表面比较，可以缩短扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态执行扫描，各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的滤色元件的元件节距一致。此外，由于不是使多个喷头并排成一排，并使该排倾斜而是各喷头分别倾斜，靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比整排倾斜的情况短，从而缩短多个喷嘴排扫描基片的时间。因此，可以缩短滤色器的制造时间，从而可以缩短液晶装置的制造时间。

其次，根据本发明的一种用于制造EL装置的装置，其特征在于，它包括：具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；向所述喷头供应EL发光材料的机构；将所述多个喷头排列并支持的支持机构；使所述支持机构进行主扫描移动的主扫描机构；使所述支持机构进行副扫描移动的副扫描机构；控制所述多个喷嘴排的倾斜角度的喷嘴排角度控制机构；以及对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的喷嘴排间隔控制机构。

采用该EL装置的制造装置，在利用支持多个喷头的支持装置进行基片的主扫描期间，可以从多个喷头喷出墨水，即EL发光材料，与用单个喷头扫描基片表面比较，可以缩短扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态进行扫描，各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的像素的像素节距一致。此外，由于支持装置不是整体倾斜而是各喷头分别倾斜，所以靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比支持装置整体倾斜的情况短，从而缩短支持装置扫描基片的时间。因此，可以缩短EL装置的制造时间。

其次，根据本发明的一种制造EL装置的方法，其特征在于，它包括：在将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的喷头在主扫描方向移动的同时，从所述多个喷嘴喷出EL发光材料，在所述基片上形成所述EL发光层的工序，所述喷头多个并列而设置，而且以倾斜的状态布置；以及对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制。

采用该制造方法，多个喷头同时在主扫描方向移动以便墨水，即EL发光材料可以从各喷头喷出，因此，与用单个喷头扫描基片表面比较，可以缩短扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态执行扫描，各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的像素的像素节距一致。此外，由于不是使多个喷头并排成一排，并使该排倾斜而是各喷头分别倾斜，所以靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比整排倾斜的情况短，从而缩短多个喷嘴排扫描基片的时间。因此，可以缩短EL装置的制造时间。

    附图说明

图1是示意地表示利用根据本发明的滤色器的制造装置的一个实施例进行的制造方法的主要工序的平面图。

图2是图1的喷墨头的透视图。

图3是示意地表示利用根据本发明的滤色器的制造装置的另一个实施例进行的制造方法的主要工序的平面图。

图4是图3的喷墨头的透视图。

图5是示意地表示利用根据本发明的滤色器的制造装置的又一个实施例进行的制造方法的主要工序的平面图。

图6(a)是表示根据本发明的滤色器的一个实施例的平面图，(b)是表示作为其基础的母板的一个实施例的平面图。

图7是利用图6(a)的沿VII-VII线的截面部分示意地表示滤色器的制造工序的图。

图8是表示滤色器中的R、G、B3色的像素元素的排列例的示意图。

图9是表示作为根据本发明的滤色器的制造装置、根据本发明的液晶装置的制造装置、根据本发明的EL装置的制造装置的各制造装置的主要部分的喷墨装置的一个实施例的透视图。

图10是图9的装置的主要部分放大的透视图。

图11是表示图1的喷墨头上设置的一个喷头的透视图。

图12是表示喷头的改变例的透视图。

图13是表示喷头的内部构造、(a)表示部分破断的透视图、(b)表示沿(a)的J-J线的截面构造。

图14是表示使用图9的喷墨装置的电气控制系统的方框图。

图15是表示根据图14的控制系统实行的控制的流程图。

图16是表示另一个喷头的改变例的透视图。

图17是根据本发明的液晶装置的制造方法的一个实施例的工序图。

图18是根据本发明的液晶装置的制造方法制造的液晶装置的一个例子的分解状态的透视图。

图19是表示图18沿X-X线的液晶装置的截面构造的截面图。

图20是根据本发明的EL装置的制造方法的一个实施例的工序图。

图21是对应图20所示工序图的EL装置的截面图。

图22是表示传统的滤色器的制造方法的一个例子的图。

图23是表示传统的滤色器的制造方法的另一个例子的图。

具体实施方式

实施例1

以下将描述根据本发明的实施例的滤色器的制造方法和制造装置。首先，在制造方法和制造装置说明之前，说明通过该制造方法制造的滤色器。图6(a)显示根据实施例的滤色器的平面构造。  图7(d)显示沿着图6(a)的线VII-VII的截面的构造。

本实施例的滤色器1是通过在由玻璃、塑料等制成的方形基片2的表面上，多个滤色元件3形成点状图形、本实施例中为点阵，然后如图7(d)所示在其上积层保护膜4而形成。图6(a)是除去保护膜4的滤色器1的平面图。即在本实施例中，举例说明作为由喷墨形成的彩色图案的滤色元件3。

滤色元件3是由非透光性树脂材料制成并形成格子状图案的隔板6分隔的、以点阵排列的多个方形区域，充填着色剂而形成的。另外，这些滤色元件3分别由R(红)、G(绿)、B  (蓝)的任何一个的着色剂构成，然后各颜色的滤色元件3以预定的排列配置。这种排列，已知如图8(a)所示条纹排列、图8(b)所示马赛克排列、以及图8(c)所示三角形排列。

在条纹排列中，矩阵的每排全部配置成相同的颜色。在马赛克排列中，垂直与水平线上的任何三个滤色元件配置成R(红)、G(绿)B(蓝)。在三角形排列中，滤色元件交错配置以致任何三个相邻滤色元件分别是R、G、B。

图6中，滤色器1的尺寸是、例如1.8英寸。各滤色元件3的尺寸是、例如30μm×100μm。各个滤色元件3之间的间隔即元件节距是，例如75μm。

当本实施例的滤色器1用作光学元件用于全色显示时，R、G、B三个滤色元件3作为一个单元形成一个像素，一个像素中的R、G、B的任何一个或它们的组合有选择地使光通过，执行全色显示。在这种情况下，由非透光性树脂材料制成的隔板起黑色掩膜的作用。

所述滤色器1被从如图6所示的大面积母板12中裁出。具体地说，首先，母板12中设定的多个滤色器形成区域11的各个表面上形成滤色器1的一个的图案，然后在这些滤色器形成区域11的周围形成切断沟槽，然后沿着这些沟槽切断母板12、形成各个滤色器1。

以下将说明制造图6(a)所示滤色器1的制造方法以及制造装置。

图7示意地按照工序顺序表示了滤色器1的制造方法。首先，从箭头B方向观察，由非透光性树脂材料制成的隔板6在母板12的表面上形成格子图案。格子图案的格子穴部分7是形成滤色元件3的区域即，滤色元件形成区域。从箭头B方向观察，由隔板6形成的各个滤色元件形成区域7的平面尺寸为，例如大约30μm×100μm。

隔板6具有阻止提供给滤色元件形成区域7的墨水即，滤色元件材料流动的功能，并且起黑底的作用。隔板6由任意的图案形成方法，例如光刻蚀法形成，并且根据需要还可以通过加热器加热。

隔板6形成之后，如图7(b)所示，滤色元件材料的液滴8提供给各滤色元件形成区域7，用滤色元件材料13填充各滤色元件区域7。图7(b)中，符号13R表示具有R(红)颜色的滤色元件材料，符号13G表示具有G(绿)颜色的滤色元件材料以及符号13B表示具有B(蓝)颜色的滤色元件材料。

当预定量的滤色元件材料填充到各滤色元件形成区域7时，通过加热器以大约70℃左右向母板加热，蒸发滤色元件材料的溶剂。该蒸发减少了滤色元件材料13的体积并使表面变平，如图7(c)所示。当体积急剧减小时，供应滤色元件材料的液滴并重复地加热直到滤色器具有足够的膜厚为止。通过所述处理，最终只有滤色元件材料的固体成分残留形成薄膜，从而形成期望的各色的滤色元件3。

通过以上形成滤色元件3后，为了完全地干燥滤色元件3，用预定温度进行预定时间的加热处理。然后，例如，使用旋涂法、辊式涂敷法、浸渍法、喷墨法等适当的方法形成保护膜4。该形成的保护膜4用于保护滤色元件3等并使滤色器1的表面变平。

图9是表示构成滤色器的制造装置的构成组件之一，图7(b)所示执行滤色元件材料供给处理的喷墨装置的一个实施例。该喷墨装置16是将R、G、B中的一种颜色如R色的滤色元件材料形成墨水的液滴，喷出到母板12(参照图(6))内的各滤色器形成区域11内的预定位置并附着在上面的装置。还准备有分别用于G色的滤色元件材料以及B色的滤色元件材料的喷墨装置，这些装置的构造可以与图9的装置相同，因而省略其说明。

图9中，喷墨装置16包括：具备喷墨头22的喷头单元26；控制喷墨头22位置的喷头位置控制装置17；控制母板12位置的基片位置控制装置18；使喷墨头22相对于母板12作主扫描移动的主扫描驱动装置19；使喷墨头22相对于母板12作副扫描移动的副扫描驱动装置21；将母板12供给到喷墨装置16内预定作业位置的基片供给装置23；以及控制整个喷墨装置16的控制装置24。

喷头位置控制装置17、基片位置控制装置18、主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21设置在基座9的上面。另外，这些装置根据需要用盖14覆盖。

喷墨头22，如图2所示包括：多个、本实施例中为6个喷头20；使这些喷头20并排并作为支持装置支持这些喷头20的托架25。托架25在支持喷头20的位置具有比喷头20稍大的穴即凹部，各喷头20插入穴中并通过螺丝、粘接剂等连接装置固定。另外，如果能够精确确定相对于托架25的喷头20的位置，也可以不使用特别的连接装置，仅仅通过压入喷头20进行固定。

喷头20，如图11所示，包括由多个喷嘴27排状排列形成的喷嘴排28。喷嘴27的数目为，例如180个，喷嘴27的孔径为，例如28μm，喷嘴27之间的喷嘴节距为，例如141μm。图6(a)及图6(b)中，相对于滤色器1及母板12的主扫描方向X及与其正交的副扫描方向Y按照图11所示设定。

图2中，各喷头20安装在托架25上，使得各喷头的喷嘴排28的延长线K0相对托架25的纵向的中心轴线K1倾斜角度θ。另外，喷墨头22的位置设置在如图1所示，该托架25的中心轴线K1与主扫描方向X的交差的方向，本实施例为正交方向的延长线上。即，各喷嘴排28相对主扫描方向为直角、相对副扫描方向为角度θ的倾斜状态进行位置设定。

喷墨头22沿着X方向平行移动对母板12进行主扫描，在主扫描期间，从各喷头20的多个喷嘴27有选择性地喷出作为墨水的滤色材料，在母板12内的预定位置附着滤色元件材料。另外，喷墨头22可以通过沿着副扫描方向Y方向平行移动预定距离，例如比喷嘴排28在副扫描方向Y上的长度的6倍较短或较长的距离，以便能够以预定的间隔与喷墨头22的主扫描位置错开。

各个喷头20具有如图13(a)和13(b)所示的内部构造。具体地说，喷头20包括，例如不锈钢制的喷嘴板29；与之相对的振动板31；将它们连接在一起的多个分隔部件32。喷嘴板29与振动板31之间，通过分隔部件32形成多个墨水室33和蓄液槽34。多个墨水室33和蓄液槽34通过通路38互相连通。

在振动板31的适当位置形成墨水供给孔36，该墨水供给孔36与墨水供给装置37连接。该墨水供给装置37向墨水供给孔36供应R、G、B中的一种颜色如R色的滤色元件材料M。供应的滤色元件材料M充满蓄液槽34，并通过通路38充满墨水室33。

喷嘴板29中设置了喷嘴27以便来自墨水室33的滤色元件材料M以射流状进行喷射。另外，在振动板31的墨水室33形成面的里面安装有对应于墨水室33的墨水加压体39。如图13(b)所示，该墨水加压体39具有与压电元件41并排并夹持压电元件41的一对电极42a和42b。对电极42a和42b通电使压电元件41如箭头C所示方向向外侧挠曲变形，从而增大墨水室33的容积。这样，与增大的容积部分相当的滤色元件材料M从蓄液槽34通过通路38流入墨水室33。

其次，当压电元件41的通电停止时，该压电元件41连同振动板31一起回复到原来的形状。从而，由于墨水室33也要回复原来的容积，墨水室33中的滤色元件材料M的压力上升，滤色元件材料M从喷嘴27向母板12(参照图6(b))形成液滴8喷出。另外，在喷嘴27的周围，为了防止液滴8飞行弯曲和喷嘴27的孔阻塞，设置例如镍-四氟乙烯共析镀层构成的疏墨水层43。

图10中，喷头位置控制装置17包括：使喷墨头22在平面内旋转的α马达44；使喷墨头22绕与副扫描方向Y平行的轴线摆动和旋转的β马达46；使喷墨头22绕与主扫描方向X平行的轴线摆动和旋转的γ马达47；以及使喷墨头22在上下方向平行移动的Z马达48。

图10中，图9所示的基片位置控制装置18包括：承载母板12的承载台49；使该承载台49沿着箭头θ在平面内旋转的θ马达51。另外，图9所示的主扫描驱动装置19包括：如图10所示沿着主扫描方向X延伸的导轨52；包含脉冲驱动的直线马达的滑座53。包含的直线马达动作时，滑座53沿着导轨52在主扫描方向平行移动。

另外，图9所示的副扫描驱动装置21包括：如图10所示沿着副扫描方向Y延伸的导轨54；包含脉冲驱动的直线马达的滑座56。包含的直线马达动作时，滑座56沿着导轨54在副扫描方向Y上平行移动。

滑座53和滑座56内的脉冲驱动的直线马达能够根据供给马达的脉冲信号精确地控制输出轴的回转角度，因而可以精确地控制滑座53支持的喷墨头22在主扫描方向X上的位置和承载台49在副扫描方向Y上的位置。而且，喷墨头22和承载台49的位置控制不局限于使用脉冲马达的位置控制装置，也可以使用利用伺服马达的反馈控制，以及其他能够实现的任意的控制方法。

图9所示的基片供给装置23包括：收容母板12的母板收容部57；搬运母板12的机械手58。机械手58包括：置于地面等设置平面的基台59；相对基台升降的升降轴61；绕升降轴中心旋转的第一机械臂62；对第一机械臂62旋转的第二机械臂63；第二机械臂63前端下面设置的吸盘64。吸盘64通过空气吸引等吸附母板12。

图9中，主扫描驱动装置19驱动的进行主扫描移动的喷墨头22的轨迹下，副扫描驱动装置21的一侧的位置上配置有压盖装置76和清洁装置77。另外，在另一侧配置有电子天平78。清洁装置77用以洗净喷墨头22。电子天平78是用以分别测量喷墨头22内的各个喷嘴27(参照图11)喷出的墨水液滴的重量的器件。另外，压盖装置76是当喷墨头22处于待机状态时，防止喷嘴27干燥的装置。

在喷墨头22旁边，配置有与喷墨头22一起移动的喷头用摄象机81。另外，基座9上设置的支持装置(图中未显示)支持的基片用摄象机82配置在能够拍摄母板12的位置。

图9所示的控制装置24，包括：容纳处理器的计算机本体66；作为输入装置的键盘67；作为显示装置的CRT(阴极射线管)显示器68。如图14所示，所述处理器包括进行演算处理的CPU(中央处理单元)69和存储各种信息的存储器即信息存储媒体71。

图9所示的喷头位置控制装置17、基片位置控制装置18、主扫描驱动装置19、副扫描驱动装置21、以及驱动喷墨头22内的压电元件41(参照图13(b))的驱动电路72通过输入输出接口73和总线74连接到CPU69。另外，基片供给装置23、输入装置67、显示器68、电子天平78、清洁装置77以及压盖装置76也通过输入输出接口73和总线74连接到CPU69。

存储器71包括RAM(随机存取存储器)、ROM(只读存储器)等半导体存储器以及硬盘、CD-ROM读取装置、碟型存储媒体等外部存储装置等概念，从功能上说，设定了用以存储记录喷墨装置16的动作的控制顺序的程序软件的存储区域、用以存储实现图8所示各种R、G、B排列的R、G、B中的一种颜色在母板12(参照图6)内的喷出位置的坐标数据的存储区域、用以存储图10中沿着副扫描方向Y的母板12的副扫描移动量的存储区域、作为CPU69的工作区域和临时文件的区域、以及其他各种存储区域。

CPU69根据存储器71中存储的程序软件，控制在母板12表面的预定位置喷出墨水即滤色元件材料。具体的功能实现单元包括：进行实现清洁处理的演算的清洁演算单元；进行实现压盖处理的演算的压盖演算单元；进行使用电子天平78(参照图9)实现重量测定处理的演算的重量测定演算单元；进行通过喷墨描绘滤色元件材料的演算的描绘演算单元。

描绘演算单元可以更详细地划分为：设定喷墨头描绘的初始位置的描绘开始位置演算单元；进行喷墨头22沿着主扫描方向X以预定速度扫描移动的控制的演算的主扫描控制演算单元；进行母板12沿着副扫描方向Y错开预定的副扫描量的控制的演算的副扫描控制演算单元；以及，进行使喷墨头22内的多个喷嘴27动作并是否喷出墨水即滤色元件材料的控制的演算的喷嘴喷出控制演算单元等各种功能的演算单元。

另外，本实施例中，虽然所述各功能是利用CPU69通过软件实现的，但是在不使用CPU而通过单独的电子电路能够实现的情况下，也可以利用电子电路。

以下，根据图15的流程图说明通过所述构成形成的喷墨装置16的动作。

当操作员接通电源启动喷墨装置16时，首先，进行步骤S1中的初始设定。具体地说，把喷头单元26和基片供给装置23以及控制装置24等设定成预定的初始状态。

其次，当重量测定时刻来临时(步骤S2的是)，图10的喷头单元26通过主扫描驱动装置19移动到图9的电子天平的位置(步骤S3)，用电子天平测定78测定喷嘴27喷出的墨水量(步骤S4)。然后，将各个喷嘴27的墨水喷出特性综合，调节施加在对应于各个喷嘴27的压电元件的电压(步骤S5)。

其次，当清洁时刻来临时(步骤S6的是)，喷头单元26通过主扫描驱动装置19移动到清洁装置77的位置(步骤S7)，通过清洁装置77清洁喷墨头22(步骤S8)。

当重量测定时刻和清洁时刻未来临(步骤S2及S6的否)、或这些处理完成的情况下，步骤S9中，使图9的基片供给装置23动作，将母板12供给到承载台49上。具体地说，基片收容部57内的母板12用吸盘64吸持，其次，使升降轴61、第一机械臂62以及第二机械臂63动作，将母板12搬运到承载台49，并压入承载台49的适当位置预先设置的定位销50(参照图10)。另外，为了防止承载台49上的母板12的位置偏差，最好使用空气吸引等装置在承载台49上固定母板12。

其次，通过图9的基片用摄象机82观察母板12时，图10的θ马达51的输出轴旋转很小的角度单位，使承载台49在平面内旋转很小的角度单位，确定母板12的位置(步骤S10)。其次，通过图9的喷头用摄象机81观察母板12时，通过演算确定喷墨头22的开始描绘位置(步骤S11)，然后，使主扫描驱动装置1 9及副扫描驱动装置21适当动作，将喷墨头22移动到开始描绘位置(步骤S12)。

这时，如图1所示，设定喷墨头22的托架25的中心轴线K1与主扫描方向X成直角。从而，将喷嘴排28配置成相对于喷墨头22的副扫描方向Y倾斜角度θ。这样，在通常的喷墨装置的情况下，相邻的喷嘴排之间的喷嘴节距和相邻滤色元件3即滤色元件形成区域7之间的元件节距往往不同，使喷墨头22沿着主扫描方向X移动时，采取措施使得喷嘴节距在副扫描方向Y上的几何尺寸分量等于元件节距。

图15的步骤S12中喷墨头22置于描绘开始位置后，沿着图15的步骤S13中的X方向开始主扫描，同时开始喷出墨水。具体地说，图10的主扫描驱动装置动作，喷墨头22沿着图1的主扫描方向X以恒定的速度直线扫描移动，移动中，当对应于应该供给墨水的的喷嘴27到达时，从该喷嘴27喷出墨水即滤色元件材料，填充到该区域7而形成滤色元件3。

在相对于母板12的一次主扫描完成后(步骤S14的是)，喷墨头22反转移动，回复到初始位置(步骤S15)。然后，喷墨头22，通过副扫描驱动装置21驱动沿着副扫描方向Y移动预定的副扫描量，例如6个喷嘴排28的总长的副扫描方向Y上的分量(步骤S16)。然后，反复进行主扫描及墨水喷出，在滤色元件形成区域7填充滤色元件材料，形成滤色元件3(步骤S13)。

所述通过喷墨头22对于母板12的全部区域的滤色元件3的描绘作业完成之后(步骤S17的是)，在步骤S18中，处理后的母板12通过基片供给装置23或其他搬运装置向外部排出。之后，除非操作员作出处理完成的指示(步骤S1的否)，否则返回到步骤S2，重复对其他母板12进行R、G、B中的一种颜色的墨水的喷出作业。

当操作员作出处理完成的指示时(步骤S19的是)，CPU69将图9中的喷墨头22搬运到压盖装置76的位置，通过该压盖装置76对喷墨头22进行压盖处理(步骤S20)。

从而，构成滤色器的R、G、B3色中的第1色，如R色的图案描绘完成后，将母板12搬运到R、G、B的第2色例如G色作为滤色元件材料的喷墨装置16并进行G色的图案描绘，最后，搬运到R、G、B的第3色例如B色作为滤色元件材料的喷墨装置16并进行B色图案的描绘。从而，制造出形成有多个具有条纹排列等期望的R、G、B的点状排列的滤色器1(图6(a))的母板12。通过沿各个滤色器区域切断该母板，单个滤色器1从多个中分割出来。

另外，当利用本滤色器1进行液晶装置的彩色显示时，在本滤色器1的表面还积层电极和定向膜。这种情况下，如果在积层电极和定向膜之前已经将母板12切断成各个滤色器1，则之后的电极形成工序非常麻烦。因而，这种情况下，最好在母板12上形成滤色器1之后，不马上切断母板12，而是在电极形成和定向膜形成等必要的附加工序完成之后切断母板12。

采用如上所述的根据本发明的滤色器的制造方法和制造装置，如图1所示，通过作为支持装置支持多个喷头20的托架25主扫描基片12期间，由于墨水从多个喷头20的喷嘴排28喷出，与用单个喷头扫描基片12的表面比较，缩短了扫描时间。从而，缩短了滤色器的制造时间。

另外，由于各喷头20相对副扫描方向Y以倾斜角度θ的状态进行扫描，各喷头20的多个喷嘴27的喷嘴节距可以与形成在基片12上的滤色元件形成区域7的间隔即元件节距一致。通过这样使喷嘴节距与元件节距在几何学上一致，从而具有不需要控制喷嘴排28在副扫描方向Y上的位置的优点。

另外，本实施例中，喷头20固定在托架25上，相对于一个托架25有一个倾斜角度θ。从而，基片12侧的元件节距变化的情况下，必须使用其他托架25以便实现对应该元件节距的倾斜角度θ。

而且，本实施例中，由于托架25不是整体倾斜而是各喷头20分别倾斜，靠近基片12的喷嘴27和远离基片12的喷嘴27之间的距离T比托架25整体倾斜的情况小得多，因而显著缩短喷墨头22扫描基片12的时间。从而，缩短了滤色器的制造时间。

另外，本实施例的制造方法和制造装置中，由于利用喷墨头22喷出墨水形成滤色元件，不必经过如光刻蚀法的复杂的工序，并且没有材料的浪费。

本实施例1中，使用非透光性树脂作为隔板6，但是隔板6当然也可以采用透光性树脂。这种情况下，在滤色元件之间的对应位置，例如隔板6的上面、隔板6的下面，可以采用其他用途的遮光性的金属膜或树脂材料作为黑色掩膜。另外，也可以采用利用透光性树脂形成隔板6，不设置黑色掩膜的结构。

另外，本实施例1中，采用R、G、B作为滤色元件，但是，不局限于R、G、B，例如也可以采用C(青色)、Y(黄色)、M(洋红)。这种情况下，可以用C、Y、M的滤色元件材料取代R、G、B的滤色元件材料。

实施例2

图3示意地表示根据本发明的滤色器的制造方法和制造装置的另一个实施例，利用喷墨头22，在母板12内的滤色器形成区域11内的滤色元件形成区域7喷出墨水即滤色元件材料进行供给的情况。

根据本实施例实施的大致的工序与图7所示的工序相同，用于喷出墨水的喷墨装置也与图9所示的装置在机构上相同。

本实施例与图1所示的前面的实施例的不同点在于，改变了通过托架25支持喷头20的支持构造。具体地说，图4中，以这种方式支持各个喷头20，使得相对于托架25，各个喷头20以喷头20的中心轴线K2为中心可以绕箭头N的方向旋转即平面内可旋转。另外，相对于托架25，各个喷头20可以沿箭头P的方向滑动即平面内可平行移动。另外，在托架25上附加设置有喷嘴排角度控制装置83和喷嘴排间隔控制装置84。

喷嘴排角度控制装置83可以个别或一起控制多个喷嘴排28的平面内倾斜角度θ。该喷嘴排角度控制装置83可以通过任何能实现的结构构成。例如，通过将安装在框架25上可以以箭头N的方向在平面内旋转的喷头直接地或经由传动机构间接地连接到能够控制旋转角的步进马达、伺服马达等动力源而构成。采用此结构，通过控制动力源的输出角度值，可以将各喷嘴排20的倾斜角度θ调节到期望值，并且通过在调节后保持动力源的输出轴在锁定状态，使各喷嘴排20的倾斜角度θ保持固定的期望值。

另外，喷嘴排间隔控制装置84可以个别控制各个间隔或一起控制多个喷嘴排20的间隔。该喷嘴排间隔控制装置83可以通过任何能实现的结构构成。例如，通过将安装在框架25上可以以箭头P的方向滑动的喷头20连接到由能够控制旋转角的步进马达、伺服马达等作为动力源的滑动驱动装置和线性电动机等线性运动驱动源构成的滑动驱动装置而构成。

根据本实施例，通过使图4的喷嘴排角度控制装置83动作，在图3中使喷头20绕箭头N的方向在平面内旋转，调节喷头20的平面内倾斜角度θ，使喷嘴排28的喷嘴节距与形成在基片12上的滤色元件形成区域7的元件节距一致。而且，使图4的喷嘴排间隔控制装置84动作，调节图3中的喷头20之间的间隔，使彼此相邻的喷嘴排同一端的喷嘴之间的距离与基片12侧的元件节距一致。

从而，可以形成具有6个喷嘴排28、并且与元件节距一致的喷嘴节距的连续的长喷嘴排。从而，根据本实施例，通过适当调节一个喷墨头22内的喷嘴节距，可以在基片12上描绘元件节距不同的图案。

实施例3

图5示意地表示根据本发明的制造装置和制造方法的另一个实施例，利用喷墨头22，在母板12内的滤色器形成区域11内的滤色元件形成区域7喷出墨水即滤色元件材料进行供给的情况。

根据本实施例实施的大致的工序与图7所示的工序相同，用以喷出墨水的喷墨装置也与图9所示的装置在机构上相同。

本实施例与图1及图3所示的前面的实施例的不同点在于，各喷嘴排28之间的喷嘴排28的倾斜角度θ的大小相同，但是倾斜方向在正负之间交互变化。从而，可以形成具有6个喷嘴排28、并且与元件节距一致的喷嘴节距的连续的长喷嘴排。

另外，如图1所示，本实施例也可以由使喷嘴排28固定的构造形成，或如图3所示，由可以调节喷嘴排28的倾斜角度θ及喷嘴排之间距离的构造形成。

实施例4

图12表示改变本发明使用的喷头20的例子。这里显示的喷头20与图11所示喷头20的不同点在于，沿着主扫描方向X设置了2排喷嘴排28。从而，可以通过同一条主扫描线承载的2个喷嘴27向一个滤色元件形成区域7供给滤色元件材料。

另外，本实施例中，由于喷墨头22的中心轴线K0相对于副扫描方向Y在平面内倾斜一个倾斜角度θ，2段的喷嘴排28内的喷嘴27，最好配置成不与托架25的中心轴线K0垂直，从托架25方向看与主扫描方向X相互错开。

实施例5

图16表示改变本发明使用的喷头20的另一个例子。该喷头20与图11所示喷头20的不同点在于，喷出R色墨水的喷嘴排28R、喷出G色墨水的喷嘴排28G以及喷出B色墨水的喷嘴排28B的三种喷嘴排形成一个喷头20，并分别为三种喷嘴排设置图13(a)及图13(b)所示的墨水喷出系统，R墨水供给装置37R连接到对应于R色喷嘴排28R的墨水喷出系统，G墨水供给装置37G连接到对应于G色喷嘴排28G的墨水喷出系统，并且B墨水供给装置37B连接到对应于B色喷嘴排28B的墨水喷出系统。

根据本实施例实施的大致的工序与图7所示的工序相同，用以喷出墨水的喷墨装置也基本上与图9所示的装置相同。

图11所示的实施例中，由于喷头20中只设置了1种喷嘴排28，通过R、G、B3色形成滤色器时，必须为R、G、B的3色中的各个颜色准备图2等所示的喷墨头22。另一方面，当使用图16所示的构造的喷头20时，通过具有多个喷头20的喷墨头22沿着X方向的1次主扫描，可以使R、G、B的3色同时附着在母板12上，因而仅仅准备一个喷墨头22就可以了。

实施例6

图17表示使用根据本发明的液晶装置的制造装置的制造方法的一个实施例。另外，图18表示根据该制造方法制造的液晶装置的一个实施例。另外，图19表示沿图18中的X-X线的液晶装置的截面构造。在说明液晶装置的制造方法及制造装置之前，首先举例说明根据该制造方法制造的液晶装置。另外，本实施例的液晶装置以单矩阵系统方式进行全色显示的半透过反射方式的液晶装置。

图18中，液晶装置101通过在液晶面板102中安装作为半导体芯片的液晶驱动用IC103a及103b，将作为配线连接组件的FPC(柔性印刷电路)104连接到液晶面板102，并且在液晶面板102的背面设置作为背光的照明装置106而形成。

液晶面板102通过利用密封材料108将第1基片107a和第2基片107b贴在一起而形成。密封材料108，例如通过丝网印刷，将环氧树脂成环状附着在第1基片107a和第2基片107b的内侧表面而形成。另外，如图19所示，密封材料108的内部包含有呈分散状态、由导电材料形成的球状或圆筒状导体109。

图19中，第1基片107a包括由透明的玻璃和透明的塑料等形成的板状基材111a。该板状基材111a的内侧表面(图19的上侧表面)形成有反射膜112，其上积层有绝缘膜113，再上面形成有从箭头D方向看成条纹状的第1电极114a(参照图18)，而且再上面形成有定向膜116a。另外，基材111a的外侧表面(19的下侧表面)通过粘合安装有偏光板117a。

图18中，第1电极114a的排列为了易于理解，这些条纹间隔描绘得比实际大，因而只描绘了少量条数的第1电极114a。但是实际上，在基材111a上形成了更多条数的第1电极114a。

图19中，第2基片107b包括由透明的玻璃和透明的塑料等形成的板状基材111b。该板状基材111b的内侧表面(图19的下侧表面)形成有滤色器118，其上形成与所述第1电极114a成正交方向、从箭头D方向看成条纹状的第2电极114b(参照图18)，而且再上面形成有定向膜116b。另外，基材111b的外侧表面(19的上侧表面)通过粘合安装有偏光板117b。

图18中，第2电极114b的排列为了易于理解，与第1电极114a的情况相同，这些条纹间隔描绘得比实际大，因而只描绘了少量条数的第2电极114b。但是实际上，在基材111b上形成了更多条数的第2电极114b。

图19中，第1基片107a、第2基片107b及密封材料108围成的间隙即单元间隙(cell gap)中封入液晶如STN(超扭曲向列)液晶L。第1基片107a和第2基片107b的内侧表面分散有很多微小的球状隔离物119，通过这些存在于单元间隙的隔离物119，保持单元间隙的厚度均匀。

第1电极114a与第2电极114b呈正交方向配置，它们的交叉点从图19的箭头D方向看呈点阵状排列。该点阵状的各交叉点构成一个像素元素。滤色器118，从箭头D方向看，由R(红)、G(绿)、B(蓝)的各色要素按照预定的图案如条纹排列、三角形排列、马赛克排列等图案配置而形成。所述的一个像素元素与这些R、G、B的各色一一对应，因而R、G、B的3色像素元素成为一个单元，构成一个像素。

通过使点阵状排列的多个像素元素，因而像素有选择地发光，在液晶面板102的第2基板107b的外侧显示文字、数字等图像。从而，显示图像的区域是有效像素区域，图18及图19中箭头V表示的平面矩形区域变成有效显示区域。

图19中，反射膜112由APC合金、Al(铝)等光反射性材料形成，在第1电极114a和第2电极114b的交叉点上的各像素元素的对应位置上形成有开口121。从而，从图19的箭头方向看，开口121与像素元素一起配置在相同的点阵内。

第1电极114a和第2电极114b，例如，由透明导电材料ITO形成。另外，定向膜116a及116b由聚酰亚胺树脂附着在均一厚度的膜上形成。这些定向膜116a及116b通过摩擦处理，确定第1基片107a和第2基片107b的表面上的液晶分子的初始定向。

在图18中，第1基片107a比第2基片107b形成了更大的面积，这些基片通过密封材料108粘合在一起时，第1基片107a具有向第2基片107b外侧伸出的基片伸出部分107c。在该基片伸出部分107c上，从第1电极114a延伸出来的引出配线114c、通过存在于密封材料108内部的导体109(参照图19)与第2基片107b上的第2电极114b导通的引出配线114d、与液晶驱动用IC103a的输入凸点即输入用端子连接的金属配线114e、以及与液晶驱动用IC103b的输入凸点连接的金属配线114等各种配线以适当的图案形成。

本实施例中，第1电极114a延伸出来的引出配线114c和与第2电极114b导通的引出配线114d由与它们的电极相同的材料ITO即导电性氧化物形成。另外，作为液晶驱动用IC103a和液晶驱动用IC103b的输入侧的配线的金属配线114e和114f由电阻值低的金属材料如APC合金形成。APC合金主要包含Ag、并附加有Pd和Cu，例如，Ag98％、Pd1％、Cu1％形成的合金。

液晶驱动用IC103a和液晶驱动用IC103b通过ACF(Anisotropicconductive film：各向异性导电膜)122连接到基片伸出部分107c并安装，即本实施例中，形成了作为半导体芯片直接安装在基片上的构造的、所谓COG(Chip on glass)方式的液晶面板。该COG方式的安装构造中，通过ACF122内部包含的导电粒子，液晶驱动用IC103a和液晶驱动用IC103b的输入侧凸点与金属配线114e和114f导电性地连接，液晶驱动用IC103a和液晶驱动用IC103b的输出侧凸点与引出配线114c和114d导电性地连接。

图18中，FPC104包括柔性树脂膜123、包含芯片部件124的电路126、以及金属配线端子127。电路126通过焊接或其他导电连接方法直接安装在树脂膜123的表面。另外，金属配线端子127由APC合金、Cr、Cu或其他导电材料形成。FPC104中形成金属配线端子127的部分，与第1基片107a中形成金属配线114e和金属配线114f的部分通过ACF122连接。另外，通过ACF122内部包含的导电粒子，基片侧的金属配线114e和金属配线114f与FPC侧的金属配线端子127导通。

FPC104的相反一侧的端部形成外部连接端子131，该外部连接端子131连接到图中未显示的外部电路。然后，根据从外部电路传送的信号驱动液晶驱动用IC103a和IC103b，向第1电极114a及第2电极114b中的一个供给扫描信号，另一个供给数据信号。从而，对每个像素，控制有效显示区域V内配置的点阵状的各个像素元素的电压，结果，对各个像素元素控制液晶L的定向。

图18中，作为所谓背光功能的照明装置106包括：丙烯酸树脂等构成的光导体132；光导体132的光出射面132b上设置的扩散板133；光导体132的光出射面132b的反面上设置的反射板134；作为发光源的LED(发光二极管)136。

LED通过LED基片137支持、该LED基片137安装在，例如与光导体132一体形成的支持部分上(图中未显示)。LED基片137安装在支持部分的预定位置上，LED136置放在光导体132侧面的光入射面132a的对面的位置。另外，符号138表示用于缓冲施加在液晶面板102的冲击的缓冲材料。

当LED136发光时，光从光入射面132a入射并导入光导体132的内部，通过在反射板134和光导体132的壁上反射进行传播时，从光出射面132b通过扩散板133作为平面光出射到外部。

由于本实施例的液晶装置101如上构成，当太阳光、室内光等外部光十分明亮的情况下，图19中，来自第2基片107b侧的外部光入射到液晶面板102的内部，光通过液晶L后，经反射膜112反射、再次供给液晶L。通过夹持液晶L的电极114a及114b，对各个R、G、B的像素元素控制液晶L的定向，从而，对各个像素元素调制供给液晶L的光。通过调制，由通过偏光板117b的光和不能通过的光在液晶面板102的外部显示文字、数字等图像。从而进行反射型显示。

另一方面，在外部光不足的情况下，LED136发光并从光导体132的光出射面132b出射平面光，该光通过在反射膜形成的开口121供给液晶L。这时，与反射型显示相同，通过控制液晶L的定向，对各个像素元素调制供给的光，从而向外部显示图像。从而进行透过型显示。

所述构成的液晶装置101，例如，可根据图17所示的制造方法制造。该制造方法中，工序P1-P6的系排工序是形成第1基片107a的工序，工序P11-P14的系排工序是形成第2基片107b的工序。第1基片形成工序和第2基片形成工序通常分别各自进行。

首先，说明第1基片形成工序，透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面积的母原料基材的表面用光刻蚀法形成用于多个液晶面板102的反射膜112，其上再用众所周知的成膜法形成绝缘膜113(工序P1)，然后，用光刻蚀法等形成第1电极114a及配线114c、114d、114e、114f(工序P2)。

然后，在第1电极114a上通过涂敷、印刷等形成定向膜116a(工序P3)，并通过对该定向膜116a进行摩擦处理确定液晶的初始定向(工序P4)。然后，例如通过丝网印刷形成环状的密封材料108(工序P5)，并在其上分散球状的隔离物119(工序P6)。从而，形成了在液晶面板102的第1基片107a上具有多个面板图案的大面积的第1母基片。

第2基片形成工序(图17的工序P11-P14)的实施与所述第1基片形成工序分开进行。首先，准备由透光性玻璃、透光性塑料等形成的大面积的母原料基材，在其表面形成用于多个液晶面板102的滤色器118(工序P11)。该滤色器118的形成工序用图7所示的制造方法进行，该制造方法中的R、G、B的各色滤色元件，采用图9的喷墨装置16、根据图1、图2、图3、图4、图5等所示喷墨头的控制方法而形成。这些滤色器的制造方法及喷墨头的控制方法与已经说明的内容相同，因而省略其说明。

图7(d)所示，在母板12即母原料基材上形成滤色器1即滤色器118之后，用光刻蚀法等形成第2电极114b(工序P12)，然后通过涂敷、印刷等形成定向膜116b(工序P13)，并通过对该定向膜116b进行摩擦处理确定液晶的初始定向(工序P14)。从而，形成了在液晶面板102的第2基片107b上具有多个面板图案的大面积的第2母基片。

通过以上形成大面积的第1母基片和第2母基片之后，这些母板通过将密封材料108夹于其间并对齐，即位置对齐，相互贴合在一起(工序P21)。从而，形成包含多个液晶面板的面板部分，并且未封入液晶的空的面板结构。

然后，完成的空的面板结构的预定位置形成划线沟即切断用沟，并以该划线沟为基准分开即切断面板结构(工序P22)。从而，形成各液晶面板部分的密封材料108的液晶注入用开口110(参照图1 8)呈外露状态，所谓长条状的空的面板结构。

然后，通过露出的液晶注入用开口110，向各液晶面板部分的内部注入液晶L，再用树脂封住各液晶注入口110(工序P23)。通常的液晶注入处理，例如，将液晶储存在储存容器中，将储存该液晶的储存容器和长条状的空的面板放入室中，使该室成为真空状态之后将长条状的空的面板浸入该室内部的液晶中，然后，将该室开放到大气压。这时，由于空的面板为真空状态，通过大气压加压，液晶通过液晶注入用开口导入面板内部。由于液晶注入后的液晶面板结构的周围附着有液晶，液晶注入处理后的长条状面板在工序24中进行洗净处理。

然后，液晶注入及洗净后的长条状母面板再次在预定位置形成划线沟，并以该划线沟为基准切断长条状面板结构，分割出多个液晶面板(工序P25)。对这样制成的各个液晶面板，如图18所示，通过安装液晶驱动用IC103a、103b，安装作为背光的照明装置106，并连接FPC104，从而完成目标的液晶装置101(工序P26)。

以上说明的液晶装置的制造方法和制造装置特别是在滤色器的制造阶段中具有以下的特征。即作为喷墨头，采用图1、图2、图3、图4和图5等所示的构造，通过作为支持装置的托架25主扫描基片12期间，从这些多个喷头20的喷嘴排28喷出墨水，与用单个喷头扫描基片12的表面比较，可以缩短扫描时间。从而，缩短滤色器的制造时间。

另外，由于各喷头20相对副扫描方向Y以倾斜角度θ的状态进行扫描，各喷头20的多个喷嘴27的喷嘴节距可以与形成在基片12上的滤色元件形成区域7的间隔即元件节距一致。通过这样使喷嘴节距与元件节距在几何学上一致，从而具有不需要控制喷嘴排28在副扫描方向Y上的位置的优点。

另外，由于托架25不是整体倾斜而是各喷头20分别倾斜，靠近基片12的喷嘴27和远离基片12的喷嘴27之间的距离T比托架25整体倾斜的情况小得多，因而显著缩短喷墨头22扫描基片12的时间。从而，缩短了滤色器的制造时间。

另外，本实施例的制造方法和制造装置中，由于利用喷墨头22喷出墨水形成滤色元件3，不必经过如光刻蚀法的复杂的工序，并且没有材料的浪费。

实施例8

图20表示利用根据本发明的EL装置的制造装置的制造方法的一个实施例。另外，图21表示该制造方法的主要工序及最终得到的EL装置的主要截面构造。如图21(d)所示，EL装置201通过在透明基片204上形成像素电极202、各像素电极202之间形成从箭头G方向看成格子状的排205、在这些格子状凹部中形成正孔注入层220、在各格子状凹部中形成R色发光层203R、G色发光层203G、B色发光层203B使得从箭头G方向看呈条纹排列等预定排列、并在其上形成对面电极213而形成。

所述像素电极202通过TFD(薄膜二极管)元件等双端型的有源元件驱动的情况下，所述对面电极213形成从箭头G方向看呈条纹状。另外，像素电极202通过TFT(薄膜三极管)3端型的有源元件驱动的情况下，所述对面电极213作为单一的平面电极形成。

各像素电极202和各对面电极213所夹的区域形成一个像素元素，R、G、B3色的像素元素成为一个单元形成一个像素。通过控制流过各像素元素的电流，使多个像素元素中期望的像素有选择地发光，从而，能够在箭头H方向上显示期望的全色图像。

所述EL装置201，例如，可以根据图20所示的制造方法制造。即，如工序P51及图21(a)所示，在透明基片204的表面上形成TFD元件和TFT元件等有源元件，并形成像素电极。可以采用例如光刻蚀法、真空淀积法、喷涂法、熔溶胶法作为形成方法。作为像素元件的材料，可以采用ITO(氧化铟锡)、氧化锡、氧化铟和氧化锌的复合氧化物等。

其次，如工序P52及图20(a)所示，隔板即排205用众所周知的图案形成方法如光刻蚀法形成，并将该排205填充到各透明电极202之间。从而，能够提高对比度、防止发光材料的混色、并防止从像素与像素之间的光泄露。作为排205的材料，只要是对EL材料的溶剂具有耐久性的材料，并无特别限制，但最好是通过碳氟化合物气体的等离子体处理能够氟化树脂化的、例如，丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等有机材料。

其次，在涂敷正孔注入层用墨水之前，在基片204上连续进行氧气和碳氟化合物气体的等离子体处理(工序P53)。从而使聚酰亚胺表面疏水化、ITO表面亲水化，控制基片侧的湿润性以便进行细微的喷墨液滴的图案形成。作为发生等离子体的装置，可以用真空中发生等离子体的装置，也可以用大气中发生等离子体的装置。

其次，如工序P54及图21(a)所示，从图9的喷墨头装置16的喷墨头喷出正孔注入层用墨水，在各像素电极上进行图案形成的涂敷。具体的喷墨头的控制方法采用图1、图2、图3、图4和图5所示的方法。涂敷后，在真空(1乇)中、室温、20分钟的条件下除去溶剂(工序P55)，然后，通过在大气中、20℃(烤盘上)、10分钟的热处理，形成与发光层用墨水不相溶的正孔注入层220(工序P56)。膜厚为40nm。

其次，如工序P57及图21(b)所示，各滤色元件区域内的正孔注入层220上，周喷墨方法涂敷R发光层用墨水和G发光层用墨水。这里，各发光层用墨水从图9的喷墨装置16的喷墨头22喷出，并且喷墨头的控制方法采用图1、图2、图3、图4和图5所示的方法。采用喷墨方法，可以简便且在短时间内进行细微的图案形成。另外，可以通过改变墨水组成物的固体的浓度和喷出量改变膜厚。

涂敷发光层用墨水后，在真空(1托)中、室温、20分钟的条件下除去溶剂(工序P58)，然后通过在氮气气氛中、150℃、4小时的热处理，形成共轭的R色发光层203R和G色发光层203G(工序P59)。膜厚为50nm。通过热处理的共轭的发光层不溶于溶剂。

另外，发光层形成之前，也可以在正孔注入层220上进行氧气和碳氟化合物气体的连续的等离子体处理。从而，在正孔注入层220上形成氟化层，通过增加电离电势而增加正孔注入效率，从而能够提供发光效率高的有机EL装置。

其次，如工序P60及图21(c)所示，在各像素元素内的R色发光层203R和G色发光层203G及正孔注入层220上重叠形成B色发光层203B。从而，不仅可以形成R、G、B的3原色，而且可以填平R色发光层203R和G色发光层203G与排205之间的段差。从而，可以切实防止上下电极间的短路。通过调整B色发光层203B的膜厚，B色发光层203B在包括R色发光层203R和G色发光层203G的积层结构中起电子注入输送层的作用，不发出B色光。

作为以上的B色发光层203B的形成方法，也可以采用例如作为湿式法的自旋涂敷法，或采用与R色发光层203R和G色发光层203G的形成方法相同的喷墨法。

然后，如工序P61及图21(d)所示，通过形成对面电极213，制造成目标的EL装置201。当对面电极213为平面电极的情况下，例如，以Mg、Ag、Al、Li等作为材料、采用蒸镀法、喷镀法等成膜法形成。另外，当对面电极213为条纹状电极的情况下，采用光刻蚀法等图案形成方法形成成膜的电极层。

以上说明的EL装置的制造方法和制造装置中，作为喷墨头，采用图1、图2、图3、图4和图5等所示的构造，通过作为支持装置支持多个喷头20的托架25主扫描基片12期间，从这些多个喷头20的喷嘴排28喷出墨水，与用单个喷头扫描基片12的表面比较，可以缩短扫描时间。从而，缩短EL装置的制造时间。

另外，由于各喷头20相对副扫描方向Y以倾斜角度θ的状态进行扫描，各喷头20的多个喷嘴27的喷嘴节距可以与形成在基片12上的EL像素元素形成区域7的间隔即元件节距一致。通过这样使喷嘴节距与元件节距在几何学上一致，从而具有不需要控制喷嘴排28在副扫描方向Y上的位置的优点。

另外，由于托架25不是整体倾斜而是各喷头20分别倾斜，靠近基片12的喷嘴27和远离基片12的喷嘴27之间的距离T比托架25整体倾斜的情况小得多，因而显著缩短喷墨头22扫描基片12的时间。从而，缩短了EL装置的制造时间。另外，本实施例的制造方法和制造装置中，由于利用喷墨头22喷出墨水形成像素元素3，不必经过如光刻蚀法的复杂的工序，并且没有材料的浪费。

其他实施例

以上，通过例举最佳实施例说明本发明，但是不限于这些实施例，可以在权利要求书记载的发明的范围内进行种种变更。

例如，以上说明的实施例中，如图1所示，喷墨头22中设置了6个喷头20，但是可以设置较多或较少的喷头20。

另外，图1等所示的实施例中，显示了在母板12中设置多排滤色器形成区域11的情况，在母板12中设置一排滤色器形成区域11的情况也适用于本发明。另外，在母板12中，仅仅设置具有大约与母板12一样尺寸或小得多的一个滤色器形成区域11的情况也适用于本发明。

另外，图9及图10所示滤色器的制造装置中，使喷墨头22沿着X方向移动而主扫描基片12、通过用副扫描驱动装置21使基片12沿着Y方向移动，用喷墨头22进行副扫描。但是也可以反过来，基片12沿着Y方向移动进行主扫描，喷墨头22沿着X方向移动进行副扫描。

另外，所述实施例中，使用利用压电元件的挠曲变形喷出墨水的构造的喷墨头，但是也可以使用其他任意构造的喷墨头。

另外，所述实施例中，仅仅示例了主扫描方向与副扫描方向正交的最一般的构成，但是不局限于主扫描方向与副扫描方向正交的情况，可以以任意角度交差。

作为喷出的材料，根据在基片等目的物上形成的因素可以有种种选择，例如所述的墨水、EL发光材料之外，可以举出石英玻璃的前体、金属化合物等导电材料、绝缘材料、半导体材料等的例子。

另外，所述实施例中，以滤色器的制造方法及制造装置、液晶装置的制造方法及制造装置、EL装置的制造方法及制造装置为例进行了说明，但是本发明不局限于此，可以用于所有工业技术中在目的物上进行细微图案描绘的情况。

应用范围的例子包括，例如，各种半导体元件(薄膜晶体管、薄膜二极管等)、各种配线图案以及绝缘膜的形成等。

作为从喷头喷出的材料，根据在基片等目的物上形成的因素可以有种种选择，例如所述的墨水、EL发光材料之外，可以举出石英玻璃的前体、金属化合物等导电材料、绝缘材料、半导体材料等的例子。

另外，所述实施例中，为了简便称为“喷墨头”，但是从该喷墨头喷出的喷出物不限于墨水，例如，可以是所述EL发光材料、石英玻璃的前体、金属化合物等导电材料、绝缘材料、半导体材料等。所述实施例的制造方法制造的液晶装置、EL装置可以安装在例如便携式电话、手提电脑等电子器件的显示部分。

发明的效果

根据本发明的滤色器、液晶装置、EL装置的各个制造装置和它们的制造方法，可以通过多个喷头主扫描基片期间，从这些多个喷头喷出墨水，因此，与用单个喷头扫描基片表面比较，缩短了扫描时间。

另外，由于各喷头以倾斜状态执行扫描，各喷头的多个喷嘴的喷嘴节距可以与形成在基片上的滤色元件和像素元素的元件节距一致。

此外，由于多个喷头的支持装置不是整体倾斜而是各喷头分别倾斜，靠近基片的喷嘴和远离基片的喷嘴之间的距离比支持装置整体倾斜的情况短，从而缩短支持装置扫描基片的时间。因此，可以缩短滤色器、液晶装置及EL装置等的制造时间。

符号说明

1滤色器

2基片

3滤色元件

4保护膜

6隔板

7滤色元件形成区域

11滤色器形成区域

12母板

13滤色元件材料

16喷墨装置

17喷头位置控制装置

18母板位置控制装置

19主扫描驱动装置(主扫描驱动装置)

20喷头

21副扫描驱动装置(副扫描驱动装置)

22喷墨头

25托架(支持装置)

26喷头单元

27喷嘴

28喷嘴排

37墨水供给装置(墨水供给装置)

39墨水加压体

41压电元件

49承载台

76压盖装置

77清洁装置

78电子天平

81喷头用摄象机

82基片用摄象机

83喷嘴排角度控制装置(喷嘴排角度控制装置)

84喷嘴排间隔控制装置(喷嘴排间隔控制装置)

101液晶装置

102液晶面板

107a，107b基片

111a，111b基材

114a，114b电极

118滤色器

201EL装置

202像素电极

203R，203G，203B发光层

204基片

205排

213对面电极

220正孔注入层

L液晶

M滤色元件材料

X主扫描方向

Y副扫描方向

Claims (20)

1.一种用于向目的物喷出材料的材料喷出装置，其特征在于，它包括：

具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；

支持所述多个喷头的支持机构；

用于使所述目的物和所述支持机构中的任何一个相对于另一个进行扫描的机构；

用于控制由至少一个所述喷嘴排和扫描方向形成的角度的机构；以及

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构。

2.如权利要求1所述的材料喷出装置，其特征在于，用于控制所述喷嘴排和所述扫描方向之间夹角的所述机构用这样的方式进行所述控制，使得所述多个喷头中，所述喷嘴排的喷嘴节距相同，并且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

3.一种用于向目的物喷出材料的材料喷出方法，其特征在于，它包括：

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的工序；

将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头、以及支持所述多个喷头的支持机构的其中一方相对于另一方进行扫描的工序；以及

向所述目的物喷出所述材料的工序，

其中至少一个所述喷嘴排相对于扫描方向是倾斜的。

4.如权利要求3所述的材料喷出方法，其特征在于，所述目的物和所述支持机构中的任何一个在主扫描方向或与主扫描方向交叉的副扫描方向相对于另一个进行扫描。

5.如权利要求3或4所述的材料喷出方法，其特征在于，所述多个喷头中，所述喷嘴排的喷嘴节距相同，并且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

6.如权利要求3至4中的任何一项所述的材料喷出方法，其特征在于，还包括控制由至少一个所述喷嘴排和所述扫描方向形成的角度的工序。

7.一种用于制造滤色器的装置，其特征在于，它包括权利要求1到2中任何一个的喷出装置，其中将作为所述材料的滤色器材料喷出到作为所述目的物的基片上。

8.一种用于制造EL装置的装置，其特征在于，它包括权利要求1至2中的任何一项所述的喷出装置，

其中，将作为所述材料的EL发光材料喷出到作为所述目的物的基片上。

9.一种电子器件，它包括利用权利要求3至4中的任何一项所述的材料喷出方法制造的组件。

10.一种用于制造滤色器的装置，其特征在于，它包括：

具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；

向所述喷头供应滤色材料的机构；

支持所述多个喷头的支持机构；以及

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构，

其中，所述支持机构以倾斜的状态支持所述多个喷头。

11.如权利要求10所述的制造滤色器的装置，其特征在于，所述支持机构以固定的状态支持所述喷头。

12.如权利要求10或11中所述的制造滤色器的装置，其特征在于，属于所述多个喷头的喷嘴排的喷嘴间节距相同，并且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

13.一种用于制造滤色器的装置，其特征在于，它包括：

具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；

向所述喷头供应滤色材料的机构；

支持所述多个喷头的支持机构；

使所述支持机构进行主扫描移动的主扫描机构；

使所述支持机构进行副扫描移动的副扫描机构；

控制所述多个喷嘴排的倾斜角度的喷嘴排角度控制机构；以及

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的喷嘴排间隔控制机构。

14.如权利要求13所述的滤色器的制造装置，其特征在于，属于所述多个喷头的喷嘴排的喷嘴节距相同，并且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

15.一种制造滤色器的方法，其特征在于，它包括：

在将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的喷头在主扫描方向移动的同时，从所述多个喷嘴喷出滤色材料，在基片上形成滤色元件的工序，

所述喷头多个并列而设置，而且以倾斜的状态布置，

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制。

16.如权利要求15所述的制造滤色器的方法，其特征在于，所述喷嘴排的喷嘴节距相同，而且所述喷嘴排的倾斜角度相同。

17.一种用于制造液晶装置的装置，其特征在于，它包括：

具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；

向所述喷头供应滤色材料的机构；

支持所述多个喷头的支持机构；

使所述支持机构进行主扫描移动的主扫描机构；

使所述支持机构进行副扫描移动的副扫描机构；以及

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的机构；

其中，所述支持机构以倾斜的状态支持所述多个喷头。

18.一种制造液晶装置的方法，其特征在于，它包括：

在将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的喷头在主扫描方向移动的同时，从所述多个喷嘴喷出滤色材料，在基片上形成滤色元件的工序，

所述喷头多个并列而设置，而且以倾斜的状态布置；

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制。

19.一种用于制造EL装置的装置，其特征在于，它包括：

具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的多个喷头；

向所述喷头供应EL发光材料的机构；

将所述多个喷头排列并支持的支持机构；

使所述支持机构进行主扫描移动的主扫描机构；

使所述支持机构进行副扫描移动的副扫描机构；

控制所述多个喷嘴排的倾斜角度的喷嘴排角度控制机构；以及

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制的喷嘴排间隔控制机构。

20.一种制造EL装置的方法，其特征在于，它包括：

在将具有配置了多个喷嘴的喷嘴排的喷头在主扫描方向移动的同时，从所述多个喷嘴喷出EL发光材料，在基片上形成所述EL发光层的工序，

所述喷头多个并列而设置，而且以倾斜的状态布置；

对所述多个喷嘴排之间的各个间隔分别进行控制。

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