JP3115549B2 - インクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッド及び反り調整方法 - Google Patents
インクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッド及び反り調整方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 70
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 31
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 15
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 188
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 24
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 17
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 5
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 3
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- LNUFLCYMSVYYNW-ZPJMAFJPSA-N [(2r,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6r)-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-6-[[(3s,5s,8r,9s,10s,13r,14s,17r)-10,13-dimethyl-17-[(2r)-6-methylheptan-2-yl]-2,3,4,5,6,7,8,9,11,12,14,15,16,17-tetradecahydro-1h-cyclopenta[a]phenanthren-3-yl]oxy]-4,5-disulfo Chemical compound O([C@@H]1[C@@H](COS(O)(=O)=O)O[C@@H]([C@@H]([C@H]1OS(O)(=O)=O)OS(O)(=O)=O)O[C@@H]1[C@@H](COS(O)(=O)=O)O[C@@H]([C@@H]([C@H]1OS(O)(=O)=O)OS(O)(=O)=O)O[C@@H]1[C@@H](COS(O)(=O)=O)O[C@H]([C@@H]([C@H]1OS(O)(=O)=O)OS(O)(=O)=O)O[C@@H]1C[C@@H]2CC[C@H]3[C@@H]4CC[C@@H]([C@]4(CC[C@@H]3[C@@]2(C)CC1)C)[C@H](C)CCCC(C)C)[C@H]1O[C@H](COS(O)(=O)=O)[C@@H](OS(O)(=O)=O)[C@H](OS(O)(=O)=O)[C@H]1OS(O)(=O)=O LNUFLCYMSVYYNW-ZPJMAFJPSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 2
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 240000005926 Hamelia patens Species 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N dichromate(2-) Chemical compound [O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000001041 dye based ink Substances 0.000 description 1
- 239000002659 electrodeposit Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000001042 pigment based ink Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 that is Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにより被記録部材にインクを吐出して記録を行うイ
ンクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びイ
ンクジェットヘッド及び反り調整方法びインクジェット
ヘッドユニット及び混色低減方法及びカラーフィルタの
製造装置に関するものである。
ッドにより被記録部材にインクを吐出して記録を行うイ
ンクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びイ
ンクジェットヘッド及び反り調整方法びインクジェット
ヘッドユニット及び混色低減方法及びカラーフィルタの
製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。第１の方法は顔料分散法である。こ
の方法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成
し、これをパターニングすることにより単色のパターン
を得る。更にこの工程を３回繰り返すことによりＲ、
Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。第１の方法は顔料分散法である。こ
の方法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成
し、これをパターニングすることにより単色のパターン
を得る。更にこの工程を３回繰り返すことによりＲ、
Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。
【０００３】第２の方法は染色法である。染色法は、ガ
ラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗
布し、これをフオトリソグラフィー工程により所望の形
状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成す
る。
ラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗
布し、これをフオトリソグラフィー工程により所望の形
状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成す
る。
【０００４】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。
【０００５】第４の方法としては印刷法がある。この方
法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。
法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。
【０００６】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用が難し
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成が難しい。
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用が難し
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成が難しい。
【０００７】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各インクを乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各インクを乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このようなインクジェ
ット方式の１つとして、インクを熱エネルギーにより膜
沸騰させて気泡を生じさせ、その気泡の体積膨張により
インクを押し出して吐出する所謂バブルジェット方式と
呼ばれる方法がある。インクジェットヘッドにこのよう
なバブルジェット方式を用いた場合、発生する熱エネル
ギーによりヘッドの温度が上昇する。このような温度上
昇は、ヘッドを熱膨張させて、インクの吐出ノズルの位
置ズレを引き起こす原因となる。特に最近では、多数の
ノズルを並べた長尺状のヘッドを用い、そのノズルの並
び方向と略直交する方向にヘッドを走査し、一度に多数
の画素列を着色する方法が用いられる様になってきてお
り、ヘッドの長手方向の伸びによるノズルの位置ズレは
重要な問題となってきている。
ット方式の１つとして、インクを熱エネルギーにより膜
沸騰させて気泡を生じさせ、その気泡の体積膨張により
インクを押し出して吐出する所謂バブルジェット方式と
呼ばれる方法がある。インクジェットヘッドにこのよう
なバブルジェット方式を用いた場合、発生する熱エネル
ギーによりヘッドの温度が上昇する。このような温度上
昇は、ヘッドを熱膨張させて、インクの吐出ノズルの位
置ズレを引き起こす原因となる。特に最近では、多数の
ノズルを並べた長尺状のヘッドを用い、そのノズルの並
び方向と略直交する方向にヘッドを走査し、一度に多数
の画素列を着色する方法が用いられる様になってきてお
り、ヘッドの長手方向の伸びによるノズルの位置ズレは
重要な問題となってきている。
【０００９】また、上記のような長尺状のヘッドでは、
多数のノズルがμｍオーダーで一直線状に並ぶようにヘ
ッドを製造することは困難であり、特にカラーフィルタ
の製造の様に高度なインクの着弾精度が要求される場合
には、ノズルの位置精度を改善することが重要な課題と
なってきている。
多数のノズルがμｍオーダーで一直線状に並ぶようにヘ
ッドを製造することは困難であり、特にカラーフィルタ
の製造の様に高度なインクの着弾精度が要求される場合
には、ノズルの位置精度を改善することが重要な課題と
なってきている。
【００１０】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、ヘッドの温度上昇を極
力低減させることができるインクジェット記録装置及び
記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッドを提供
することである。
されたものであり、その目的は、ヘッドの温度上昇を極
力低減させることができるインクジェット記録装置及び
記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッドを提供
することである。
【００１１】また、本発明の他の目的は、長尺状のイン
クジェットヘッドのノズルを一直線状に精度良く並べる
ことができるインクジェット記録装置及び記録方法及び
補助部材及びインクジェットヘッドを提供することであ
る。
クジェットヘッドのノズルを一直線状に精度良く並べる
ことができるインクジェット記録装置及び記録方法及び
補助部材及びインクジェットヘッドを提供することであ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるインクジェット
記録装置は、インクジェットヘッドにより被記録部材に
インクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置で
あって、長手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配
置された長尺状のインクジェットヘッドと、該インクジ
ェットヘッドの長手方向に沿って取り付けられ、該イン
クジェットヘッドの熱容量を増加させるための所定の体
積を有する板状の補助部材であって、前記長尺状のイン
クジェットヘッドの反りを矯正する機能を有する補助部
材とを具備し、前記補助部材は、前記インクジェットヘ
ッドの長手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯
正部を備えることを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わるインクジェット
記録装置は、インクジェットヘッドにより被記録部材に
インクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置で
あって、長手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配
置された長尺状のインクジェットヘッドと、該インクジ
ェットヘッドの長手方向に沿って取り付けられ、該イン
クジェットヘッドの熱容量を増加させるための所定の体
積を有する板状の補助部材であって、前記長尺状のイン
クジェットヘッドの反りを矯正する機能を有する補助部
材とを具備し、前記補助部材は、前記インクジェットヘ
ッドの長手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯
正部を備えることを特徴としている。
【００１３】また、この発明に係わるインクジェット記
録装置において、前記補助部材は、前記インクジェット
ヘッドの片側に設けられていることを特徴としている。
録装置において、前記補助部材は、前記インクジェット
ヘッドの片側に設けられていることを特徴としている。
【００１４】また、この発明に係わるインクジェット記
録装置において、前記補助部材は、前記長尺状のインク
ジェットヘッドの長手方向に沿って長く形成されてお
り、その長さは、前記複数の吐出ノズルの並び方向の全
長以上であることを特徴としている。
録装置において、前記補助部材は、前記長尺状のインク
ジェットヘッドの長手方向に沿って長く形成されてお
り、その長さは、前記複数の吐出ノズルの並び方向の全
長以上であることを特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わるインクジェット記
録装置において、前記インクジェットヘッドには、長手
方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成されてい
るとともに、前記補助部材には前記第１のネジ穴に対応
する位置に前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２の
ネジ穴が形成されており、前記第２のネジ穴を介して前
記第１のネジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ
込むことにより、前記インクジェットヘッドを前記補助
部材に引き寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に
螺合するネジをねじ込むことにより、前記インクジェッ
トヘッドを前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェ
ットヘッドの反りを矯正することを特徴としている。
録装置において、前記インクジェットヘッドには、長手
方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成されてい
るとともに、前記補助部材には前記第１のネジ穴に対応
する位置に前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２の
ネジ穴が形成されており、前記第２のネジ穴を介して前
記第１のネジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ
込むことにより、前記インクジェットヘッドを前記補助
部材に引き寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に
螺合するネジをねじ込むことにより、前記インクジェッ
トヘッドを前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェ
ットヘッドの反りを矯正することを特徴としている。
【００１６】また、この発明に係わるインクジェット記
録装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴としている。
録装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴としている。
【００１７】また、この発明に係わるインクジェット記
録装置において、前記インクジェットヘッドにより、カ
ラーフィルタ基板にインクを吐出して各画素を着色し、
カラーフィルタを製造することを特徴としている。
録装置において、前記インクジェットヘッドにより、カ
ラーフィルタ基板にインクを吐出して各画素を着色し、
カラーフィルタを製造することを特徴としている。
【００１８】また、本発明に係わるインクジェット記録
方法は、インクジェットヘッドにより被記録部材にイン
クを吐出して記録を行うインクジェット記録方法であっ
て、前記インクジェットヘッドの長手方向に沿って取付
けられ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させる
ための所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの長
手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備
える補助部材が取り付けられた長手方向に複数のインク
吐出ノズルが並んで配置された長尺状のインクジェット
ヘッドにより、前記被記録部材上を相対的に走査しなが
ら、前記被記録部材に記録を行うことを特徴としてい
る。
方法は、インクジェットヘッドにより被記録部材にイン
クを吐出して記録を行うインクジェット記録方法であっ
て、前記インクジェットヘッドの長手方向に沿って取付
けられ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させる
ための所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの長
手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備
える補助部材が取り付けられた長手方向に複数のインク
吐出ノズルが並んで配置された長尺状のインクジェット
ヘッドにより、前記被記録部材上を相対的に走査しなが
ら、前記被記録部材に記録を行うことを特徴としてい
る。
【００１９】また、この発明に係わるインクジェット記
録方法において、前記補助部材は、前記インクジェット
ヘッドの片側に設けられていることを特徴としている。
録方法において、前記補助部材は、前記インクジェット
ヘッドの片側に設けられていることを特徴としている。
【００２０】また、この発明に係わるインクジェット記
録方法において、前記補助部材は、前記長尺状のインク
ジェットヘッドの長手方向に沿って長く形成されてお
り、その長さは、前記複数の吐出ノズルの並び方向の全
長以上であることを特徴としている。
録方法において、前記補助部材は、前記長尺状のインク
ジェットヘッドの長手方向に沿って長く形成されてお
り、その長さは、前記複数の吐出ノズルの並び方向の全
長以上であることを特徴としている。
【００２１】また、この発明に係わるインクジェット記
録方法において、前記インクジェットヘッドには、長手
方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成されてい
るとともに、前記補助部材には前記第１のネジ穴に対応
する位置に前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２の
ネジ穴が形成されており、前記第２のネジ穴を介して前
記第１のネジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ
込むことにより、前記インクジェットヘッドを前記補助
部材に引き寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に
螺合するネジをねじ込むことにより、前記インクジェッ
トヘッドを前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェ
ットヘッドの反りを矯正することを特徴としている。
録方法において、前記インクジェットヘッドには、長手
方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成されてい
るとともに、前記補助部材には前記第１のネジ穴に対応
する位置に前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２の
ネジ穴が形成されており、前記第２のネジ穴を介して前
記第１のネジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ
込むことにより、前記インクジェットヘッドを前記補助
部材に引き寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に
螺合するネジをねじ込むことにより、前記インクジェッ
トヘッドを前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェ
ットヘッドの反りを矯正することを特徴としている。
【００２２】また、この発明に係わるインクジェット記
録方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴としている。
録方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴としている。
【００２３】また、この発明に係わるインクジェット記
録方法において、前記インクジェットヘッドにより、カ
ラーフィルタ基板にインクを吐出して各画素を着色し、
カラーフィルタを製造することを特徴としている。
録方法において、前記インクジェットヘッドにより、カ
ラーフィルタ基板にインクを吐出して各画素を着色し、
カラーフィルタを製造することを特徴としている。
【００２４】また、本発明に係わる補助部材は、長手方
向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置された長尺状
のインクジェットヘッドに取り付けられる補助部材であ
って、前記インクジェットヘッドの長手方向に沿って取
付けられ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させ
るための所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの
長手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を
備えることにより前記インクジェットヘッドの反りを矯
正することを特徴としている。
向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置された長尺状
のインクジェットヘッドに取り付けられる補助部材であ
って、前記インクジェットヘッドの長手方向に沿って取
付けられ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させ
るための所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの
長手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を
備えることにより前記インクジェットヘッドの反りを矯
正することを特徴としている。
【００２５】
【００２６】また、この発明に係わる補助部材におい
て、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利用
してインクを吐出するヘッドであって、インクに与える
熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を備
えることを特徴としている。
て、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利用
してインクを吐出するヘッドであって、インクに与える
熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を備
えることを特徴としている。
【００２７】また、本発明に係わるインクジェットヘッ
ドは、長手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置
された長尺状のインクジェットヘッドであって、前記イ
ンクジェットヘッドの本体部の長手方向に沿って取付け
られ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させるた
めの所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの長手
方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備え
ることにより前記インクジェットヘッドの本体部の反り
を矯正する補助部材を一体に備えることを特徴としてい
る。
ドは、長手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置
された長尺状のインクジェットヘッドであって、前記イ
ンクジェットヘッドの本体部の長手方向に沿って取付け
られ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させるた
めの所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの長手
方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備え
ることにより前記インクジェットヘッドの本体部の反り
を矯正する補助部材を一体に備えることを特徴としてい
る。
【００２８】また、この発明に係わるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴としている。
ッドにおいて、前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴としている。
【００２９】また、この発明に係わるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記補助部材は、前記本体部の片側に設
けられていることを特徴としている。
ッドにおいて、前記補助部材は、前記本体部の片側に設
けられていることを特徴としている。
【００３０】また、本発明に係わる反り調整方法は、長
手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置された長
尺状のインクジェットヘッドの反りを調整するための反
り調整方法であって、前記インクジェットヘッドには、
長手方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成され
ているとともに、前記インクジェットヘッドに取り付け
られる補助部材には前記第１のネジ穴に対応する位置に
前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２のネジ穴が形
成されており、前記第２のネジ穴を介して前記第１のネ
ジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ込むことに
より、前記インクジェットヘッドを前記補助部材に引き
寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に螺合するネ
ジをねじ込むことにより、前記インクジェットヘッドを
前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェットヘッド
の反りを調整することを特徴としている。
手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置された長
尺状のインクジェットヘッドの反りを調整するための反
り調整方法であって、前記インクジェットヘッドには、
長手方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成され
ているとともに、前記インクジェットヘッドに取り付け
られる補助部材には前記第１のネジ穴に対応する位置に
前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２のネジ穴が形
成されており、前記第２のネジ穴を介して前記第１のネ
ジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ込むことに
より、前記インクジェットヘッドを前記補助部材に引き
寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に螺合するネ
ジをねじ込むことにより、前記インクジェットヘッドを
前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェットヘッド
の反りを調整することを特徴としている。
【００３１】また、この発明に係わる反り調整方法にお
いて、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利
用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与え
る熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を
備えることを特徴としている。
いて、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利
用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与え
る熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を
備えることを特徴としている。
【００３２】
【００３３】
【００３４】
【００３５】
【００３６】
【００３７】
【００３８】
【００３９】
【００４０】
【００４１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００４２】図１はカラーフィルタの製造装置の一実施
形態の構成を示す概略図である。
形態の構成を示す概略図である。
【００４３】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）のインクジェットヘッド、５８はカ
ラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコント
ローラ、５９はコントローラの表示部であるところのテ
ィーチングペンダント（パソコン）、６０はティーチン
グペンダント５９の操作部であるところのキーボードを
示している。
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）のインクジェットヘッド、５８はカ
ラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコント
ローラ、５９はコントローラの表示部であるところのテ
ィーチングペンダント（パソコン）、６０はティーチン
グペンダント５９の操作部であるところのキーボードを
示している。
【００４４】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。
【００４５】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は生産情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御す
るステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は生産情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御す
るステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。
【００４６】次に、図３は、上記のカラーフィルタ製造
装置９０に使用されるインクジェットヘッド５５の構造
を示す図である。図１においては、インクジェットヘッ
ドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、
これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図
３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表
して示している。
装置９０に使用されるインクジェットヘッド５５の構造
を示す図である。図１においては、インクジェットヘッ
ドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、
これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図
３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表
して示している。
【００４７】図３において、インクジェットヘッド５５
は、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成
された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボ
ード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構
成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８が
形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口
１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されて
いる。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔
絶されている。各液路１１０は、その後方において１つ
のインク液室１１４に共通に接続されており、インク液
室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供
給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路
１１０に供給される。
は、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成
された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボ
ード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構
成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８が
形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口
１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されて
いる。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔
絶されている。各液路１１０は、その後方において１つ
のインク液室１１４に共通に接続されており、インク液
室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供
給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路
１１０に供給される。
【００４８】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。
【００４９】本実施形態においては、基板１として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。
【００５０】次に、図４は、カラーフィルタの製造工程
の例を示した図である。
の例を示した図である。
【００５１】図４（ａ）は、光透過部７と遮光部である
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３’を形成する（図４（ｂ））。樹
脂層３’の形成には、スピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３’を形成する（図４（ｂ））。樹
脂層３’の形成には、スピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００５２】次に、ブラックマトリクス２により遮光さ
れる部分の樹脂層をフォトマスク４’を使用して予めパ
ターン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させて
インクを吸収しない部位５’（非着色部位）を形成し
（図４（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いて
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図４（ｄ））、必要
に応じてインクの乾燥を行う。
れる部分の樹脂層をフォトマスク４’を使用して予めパ
ターン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させて
インクを吸収しない部位５’（非着色部位）を形成し
（図４（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いて
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図４（ｄ））、必要
に応じてインクの乾燥を行う。
【００５３】パターン露光の際に使用されるフォトマス
ク４’としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を
硬化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。
ク４’としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を
硬化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。
【００５４】着色に用いるインクとしては、染料系、顔
料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソ
リッドインク共に使用可能である。
料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソ
リッドインク共に使用可能である。
【００５５】本発明で使用する硬化可能な樹脂組成物と
しては、インク受容性を有し、且つ光照射と加熱の少な
くとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれ
でも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹
脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース
誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。
しては、インク受容性を有し、且つ光照射と加熱の少な
くとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれ
でも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹
脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース
誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。
【００５６】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。
【００５７】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。
【００５８】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプが使用可能であり、着色面積及び
着色パターンは任意に設定することができる。
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプが使用可能であり、着色面積及び
着色パターンは任意に設定することができる。
【００５９】次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光り
照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化さ
せ（図４（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図４
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。
照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化さ
せ（図４（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図４
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。
【００６０】また、本例では基板上に樹脂組成物を形成
する例を示しているが、以下のように基板に直接インク
を付与してもよい。
する例を示しているが、以下のように基板に直接インク
を付与してもよい。
【００６１】すなわち、インクジェット方式を利用し
て、Ｒ、Ｇ、Ｂインクがちょうど遮光部を構成するブラ
ックマトリクスの間の光透過部をうめるようにして付与
される。このＲ、Ｇ、Ｂパターンは、いわゆるキャステ
ィングのような形で形成されてもよい。また、ブラック
マトリクス上で各色インクが重ならない範囲で印字され
るのが好ましい。
て、Ｒ、Ｇ、Ｂインクがちょうど遮光部を構成するブラ
ックマトリクスの間の光透過部をうめるようにして付与
される。このＲ、Ｇ、Ｂパターンは、いわゆるキャステ
ィングのような形で形成されてもよい。また、ブラック
マトリクス上で各色インクが重ならない範囲で印字され
るのが好ましい。
【００６２】使用されるインクは、光や熱などのエネル
ギーの付与により硬化可能であれば、染料系、顔料系い
ずれでも用いることができ、また、液状インク、ソリッ
ドインク共に使用可能である。インク中には光硬化可能
な成分あるいは熱硬化可能な成分あるいは光及び熱の双
方により硬化可能な成分を含有することが必須であり、
このような成分としては、様々な市販の樹脂、硬化剤を
用いることができ、インク中に固着等の問題を起こすも
のでなければ特に限られない。具体的には、アクリル系
樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン樹脂等が好適に用いら
れる。
ギーの付与により硬化可能であれば、染料系、顔料系い
ずれでも用いることができ、また、液状インク、ソリッ
ドインク共に使用可能である。インク中には光硬化可能
な成分あるいは熱硬化可能な成分あるいは光及び熱の双
方により硬化可能な成分を含有することが必須であり、
このような成分としては、様々な市販の樹脂、硬化剤を
用いることができ、インク中に固着等の問題を起こすも
のでなければ特に限られない。具体的には、アクリル系
樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン樹脂等が好適に用いら
れる。
【００６３】図５及び図６は上記のカラーフィルタを組
み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面
図である。
み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面
図である。
【００６４】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリックス状に
形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素
電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラ
ーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極
（共通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリ
クス２は、通常カラーフィルター基板１側に形成される
が（図５参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレ
イタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側
に形成される（図６参照）。さらに、両基板の面内には
配向膜１９が形成されており、これをラビング処理する
ことにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１
１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行う。次に、
本実施形態の製造方法を適用した場合のカラーフィルタ
の着色工程を説明する。
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリックス状に
形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素
電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラ
ーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極
（共通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリ
クス２は、通常カラーフィルター基板１側に形成される
が（図５参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレ
イタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側
に形成される（図６参照）。さらに、両基板の面内には
配向膜１９が形成されており、これをラビング処理する
ことにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１
１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行う。次に、
本実施形態の製造方法を適用した場合のカラーフィルタ
の着色工程を説明する。
【００６５】まず、カラーフィルタ製造装置９０のＸＹ
θステージ５２上にガラス基板５３をセットする。そし
て、しかるべく位置決めを行った後、ガラス基板５３の
カラーフィルタ形成領域（着色領域）をインクジェット
ヘッド５５の直下に移動させ、インクジェットヘッド５
５とガラス基板５３をＸＹθステージ５２により相対的
に走査させながらインクを吐出し、カラーフィルタの各
画素の着色を実行する。
θステージ５２上にガラス基板５３をセットする。そし
て、しかるべく位置決めを行った後、ガラス基板５３の
カラーフィルタ形成領域（着色領域）をインクジェット
ヘッド５５の直下に移動させ、インクジェットヘッド５
５とガラス基板５３をＸＹθステージ５２により相対的
に走査させながらインクを吐出し、カラーフィルタの各
画素の着色を実行する。
【００６６】この着色時のインクジェットヘッド５５の
うちの赤色（Ｒ）のインクを吐出するヘッド５５ａとガ
ラス基板５３の関係を示したものが図７である。
うちの赤色（Ｒ）のインクを吐出するヘッド５５ａとガ
ラス基板５３の関係を示したものが図７である。
【００６７】図７において、ヘッド５５ａは、例えば、
７０.５μｍ間隔でノズル３１３が並んでおり、これを
例えば１００μｍ間隔でＲ、Ｇ、Ｂの各画素３１４が順
番に並んだカラーフィルタを着色するのに使用する場合
は、３００μｍ間隔で並ぶ赤色の画素にノズルの位置を
合わせる必要がある。そのため、ヘッド５５ａのノズル
を５ノズル置きに使用し、ヘッド５５ａを走査方向に対
して３１.７°傾けて使用する。このようにすれば、５
ノズル置きのノズルが赤色の画素の真上にきて、着色を
行うことが出来る。このような関係は赤色のヘッド５５
ａだけでなく、他のヘッド５５ｂ,５５ｃにも同様にあ
てはまるものである。
７０.５μｍ間隔でノズル３１３が並んでおり、これを
例えば１００μｍ間隔でＲ、Ｇ、Ｂの各画素３１４が順
番に並んだカラーフィルタを着色するのに使用する場合
は、３００μｍ間隔で並ぶ赤色の画素にノズルの位置を
合わせる必要がある。そのため、ヘッド５５ａのノズル
を５ノズル置きに使用し、ヘッド５５ａを走査方向に対
して３１.７°傾けて使用する。このようにすれば、５
ノズル置きのノズルが赤色の画素の真上にきて、着色を
行うことが出来る。このような関係は赤色のヘッド５５
ａだけでなく、他のヘッド５５ｂ,５５ｃにも同様にあ
てはまるものである。
【００６８】次に、図８は、本実施形態の特徴的な部分
であるインクジェットヘッドの温度上昇を抑制する構成
を示した背面図であり、図９は、図８を左側から見た側
面図である。ここでは、赤色のインクを吐出するインク
ジェットヘッド５５ａについて説明するが、他のヘッド
５５ｂ,５５ｃも同様の構成である。
であるインクジェットヘッドの温度上昇を抑制する構成
を示した背面図であり、図９は、図８を左側から見た側
面図である。ここでは、赤色のインクを吐出するインク
ジェットヘッド５５ａについて説明するが、他のヘッド
５５ｂ,５５ｃも同様の構成である。
【００６９】本実施形態のインクジェットヘッド５５ａ
は、熱エネルギーによりインクに気泡を生じさせその気
泡の成長によりインクを押し出して吐出する所謂バブル
ジェット方式を採用している。そのため、インクジェッ
トヘッドは自身の発熱により温度が上昇する。そして、
この温度上昇は、インクジェットヘッドに熱膨張を生じ
させ、各ノズル間の距離を変化させてしまう。例えば、
本実施形態においては、インクジェットヘッド５５ａ
は、単体でインクの吐出を連続して行うと約５°Ｃの温
度上昇がある。インクジェットヘッド５５ａは、本体が
アルミニウム合金からなり、長手方向の全長が約１００
ｍｍ程度あるため、５°Ｃの温度上昇が生ずると、その
長手方向両端部のノズル間の間隔は約１０μｍも伸びて
しまう。このようにノズルの位置が１０μｍ変化する
と、カラーフィルタの着色を行った場合、隣の異なる色
の画素との混色が起こってしまう場合がある。混色の発
生を防止するためには、ノズルの位置ずれを３μｍ程度
以下に抑える必要がある。
は、熱エネルギーによりインクに気泡を生じさせその気
泡の成長によりインクを押し出して吐出する所謂バブル
ジェット方式を採用している。そのため、インクジェッ
トヘッドは自身の発熱により温度が上昇する。そして、
この温度上昇は、インクジェットヘッドに熱膨張を生じ
させ、各ノズル間の距離を変化させてしまう。例えば、
本実施形態においては、インクジェットヘッド５５ａ
は、単体でインクの吐出を連続して行うと約５°Ｃの温
度上昇がある。インクジェットヘッド５５ａは、本体が
アルミニウム合金からなり、長手方向の全長が約１００
ｍｍ程度あるため、５°Ｃの温度上昇が生ずると、その
長手方向両端部のノズル間の間隔は約１０μｍも伸びて
しまう。このようにノズルの位置が１０μｍ変化する
と、カラーフィルタの着色を行った場合、隣の異なる色
の画素との混色が起こってしまう場合がある。混色の発
生を防止するためには、ノズルの位置ずれを３μｍ程度
以下に抑える必要がある。
【００７０】そこで本実施形態においては、図７及び図
８に示す様にインクジェットヘッド５５ａの背面に、イ
ンクジェットヘッド５５ａの熱容量の２倍〜４倍程度の
熱容量を有するプレート１２０を取り付け、結果として
インクジェットヘッドとプレートとを合わせたものの熱
容量をインクジェットヘッド５５ａ単体の場合の３倍〜
５倍にしている。このようにすれば、インクジェットヘ
ッドの温度上昇は、ヘッド単体の場合の１／３〜１／５
となり、インクジェットヘッドの長手方向両端部のノズ
ル間の間隔変化量は２μｍ〜３μｍ程度となる。これに
より、混色の起こらない着色を可能とするヘッドが実現
される。なお、プレート１２０の材質としては、アルミ
ニウム合金あるいはステンレス鋼などが、加工が容易で
ローコストである点で好ましい。
８に示す様にインクジェットヘッド５５ａの背面に、イ
ンクジェットヘッド５５ａの熱容量の２倍〜４倍程度の
熱容量を有するプレート１２０を取り付け、結果として
インクジェットヘッドとプレートとを合わせたものの熱
容量をインクジェットヘッド５５ａ単体の場合の３倍〜
５倍にしている。このようにすれば、インクジェットヘ
ッドの温度上昇は、ヘッド単体の場合の１／３〜１／５
となり、インクジェットヘッドの長手方向両端部のノズ
ル間の間隔変化量は２μｍ〜３μｍ程度となる。これに
より、混色の起こらない着色を可能とするヘッドが実現
される。なお、プレート１２０の材質としては、アルミ
ニウム合金あるいはステンレス鋼などが、加工が容易で
ローコストである点で好ましい。
【００７１】次に、図１０は、図８を下方から見た部分
断面図である。本実施形態で使用されるプレート１２０
は、インクジェットヘッド５５ａの反りを矯正する機能
も備えている。この反りを矯正するための構造について
図８及び図１０を参照して説明する。
断面図である。本実施形態で使用されるプレート１２０
は、インクジェットヘッド５５ａの反りを矯正する機能
も備えている。この反りを矯正するための構造について
図８及び図１０を参照して説明する。
【００７２】図８及び図１０において、プレート１２
０、はインクジェットヘッド５５ａの本体５６に対して
３本のボルト１２２により固定されている。本体５６の
３本のボルト１２２が螺合する雌ネジ部５６ｂの周囲に
は、本体５６の他の部分よりも僅かに高い平面部５６ａ
が形成されており、プレート１２０は、この平面部５６
ａの上面に固定される。
０、はインクジェットヘッド５５ａの本体５６に対して
３本のボルト１２２により固定されている。本体５６の
３本のボルト１２２が螺合する雌ネジ部５６ｂの周囲に
は、本体５６の他の部分よりも僅かに高い平面部５６ａ
が形成されており、プレート１２０は、この平面部５６
ａの上面に固定される。
【００７３】一方、プレート１２０のボルト１２２が装
着される位置の中間部には、複数のネジ穴１２０ａが形
成されている。このネジ穴１２０ａは、例えばＭ４のネ
ジ穴である。そして、ネジ穴１２０ａには、２種類のボ
ルト１２４と１２６が装着される。ボルト１２４は、例
えばネジ穴１２０ａと丁度螺合するＭ４のネジであり、
このボルト１２４をネジ穴１２０ａにねじ込むことによ
り、ボルト１２４の先端がヘッド本体５６の表面に当接
し、ヘッド本体５６をプレート１２０から離れる方向に
押して、ノズルを図１０に示す矢印Ａ方向にずらすこと
が出来る。また、ボルト１２６は、例えばネジ穴１２０
ａに隙間を持って自由に挿通するＭ３のボルトであり、
このボルト１２６をヘッド本体５６に形成されたＭ３の
ネジ穴５６ｃにねじ込むことにより、ヘッド本体５６は
プレート１２０に近づく方向に引き寄せられ、ノズルを
図１０に示す矢印Ｂ方向にずらすことが出来る。このよ
うに各ネジ穴１２０ａに丁度螺合するボルト１２４かあ
るいは自由に挿通するボルト１２６を選択的に装着する
ことにより、そのネジ穴の位置におけるノズルの位置を
矢印Ａ方向あるいは矢印Ｂ方向に移動させることが出来
る。これによりインクジェットヘッド５５ａが製造され
た時点で有している僅かな反りを任意に修正することが
出来る。
着される位置の中間部には、複数のネジ穴１２０ａが形
成されている。このネジ穴１２０ａは、例えばＭ４のネ
ジ穴である。そして、ネジ穴１２０ａには、２種類のボ
ルト１２４と１２６が装着される。ボルト１２４は、例
えばネジ穴１２０ａと丁度螺合するＭ４のネジであり、
このボルト１２４をネジ穴１２０ａにねじ込むことによ
り、ボルト１２４の先端がヘッド本体５６の表面に当接
し、ヘッド本体５６をプレート１２０から離れる方向に
押して、ノズルを図１０に示す矢印Ａ方向にずらすこと
が出来る。また、ボルト１２６は、例えばネジ穴１２０
ａに隙間を持って自由に挿通するＭ３のボルトであり、
このボルト１２６をヘッド本体５６に形成されたＭ３の
ネジ穴５６ｃにねじ込むことにより、ヘッド本体５６は
プレート１２０に近づく方向に引き寄せられ、ノズルを
図１０に示す矢印Ｂ方向にずらすことが出来る。このよ
うに各ネジ穴１２０ａに丁度螺合するボルト１２４かあ
るいは自由に挿通するボルト１２６を選択的に装着する
ことにより、そのネジ穴の位置におけるノズルの位置を
矢印Ａ方向あるいは矢印Ｂ方向に移動させることが出来
る。これによりインクジェットヘッド５５ａが製造され
た時点で有している僅かな反りを任意に修正することが
出来る。
【００７４】図１１は、インクジェットヘッド５５ａの
具体的な調整方法を説明するための図である。
具体的な調整方法を説明するための図である。
【００７５】インクジェットヘッド５５ａは、図１１
（ａ）に示すように、製造された時点では、僅かな反り
を有している（図１１（ａ）では反りを強調して大きく
示している）。この反りを、図１０に示したボルト１２
４あるいは１２６を適宜差し替えて、プレート１２０に
対してインクジェットヘッドを押し引きすることにより
修正する。このとき、図１１（ａ）に示したように、反
りの大きさに応じて、少し引く、大きく引く、少し押
す、大きく押すといった操作を組み合わせ、ヘッドを図
１１（ｂ）に示すようにまっすぐな状態に矯正する。
（ａ）に示すように、製造された時点では、僅かな反り
を有している（図１１（ａ）では反りを強調して大きく
示している）。この反りを、図１０に示したボルト１２
４あるいは１２６を適宜差し替えて、プレート１２０に
対してインクジェットヘッドを押し引きすることにより
修正する。このとき、図１１（ａ）に示したように、反
りの大きさに応じて、少し引く、大きく引く、少し押
す、大きく押すといった操作を組み合わせ、ヘッドを図
１１（ｂ）に示すようにまっすぐな状態に矯正する。
【００７６】このような、矯正を行なうことにより、製
造された時点では図１２に実線で示すような±１０μｍ
以上の反りを有するヘッドを、図１２に一点鎖線で示す
ような±２μｍ程度の反りに修正することができる。
造された時点では図１２に実線で示すような±１０μｍ
以上の反りを有するヘッドを、図１２に一点鎖線で示す
ような±２μｍ程度の反りに修正することができる。
【００７７】反りの修正を行なうときには、図１３に示
すように、インクジェットヘッド５５ａのノズル穴を、
顕微鏡２００で拡大し、テレビカメラ２０２で撮像して
画像処理装置２０４を介してモニタ２０６に表示させ、
ノズル穴の位置を観察しながら修正作業を行なう。
すように、インクジェットヘッド５５ａのノズル穴を、
顕微鏡２００で拡大し、テレビカメラ２０２で撮像して
画像処理装置２０４を介してモニタ２０６に表示させ、
ノズル穴の位置を観察しながら修正作業を行なう。
【００７８】このようにして、製造時に僅かな反りを有
するインクジェットヘッドを、ノズルが±２μｍ程度以
内といった極めて微小なずれで直線上に並んだ状態に修
正することができる。
するインクジェットヘッドを、ノズルが±２μｍ程度以
内といった極めて微小なずれで直線上に並んだ状態に修
正することができる。
【００７９】なお、図１４は、プレートの変形例を示し
た図であり、図示した様にプレート１２０’にフィン１
３０を形成することにより、放熱性がよくなり、ヘッド
の温度上昇をさらに抑制することが出来る。
た図であり、図示した様にプレート１２０’にフィン１
３０を形成することにより、放熱性がよくなり、ヘッド
の温度上昇をさらに抑制することが出来る。
【００８０】また、プレートを黒色にすることにより、
熱の放射がよくなり、ヘッドの温度上昇を抑制する効果
が更に高まる。
熱の放射がよくなり、ヘッドの温度上昇を抑制する効果
が更に高まる。
【００８１】次に、ガラス基板に対してインクジェット
ヘッドを相対的に走査させながらガラス基板にインクを
吐出してカラーフィルタを製造する場合におけるインク
ジェットヘッドの反りの調整精度について説明する。
ヘッドを相対的に走査させながらガラス基板にインクを
吐出してカラーフィルタを製造する場合におけるインク
ジェットヘッドの反りの調整精度について説明する。
【００８２】本願発明者は、インクジェット方式により
カラーフィルタの製造を行なう場合に、インクジェット
方式特有の、着色した隣りの画素同士の色が混ざりあう
混色の問題に悩まされた。
カラーフィルタの製造を行なう場合に、インクジェット
方式特有の、着色した隣りの画素同士の色が混ざりあう
混色の問題に悩まされた。
【００８３】そこで、この混色の要因を明確にするため
に、図１５に示すようにインクの吐出中に画素の長手方
向に対してインクジェットヘッドが斜めに走査されるよ
うに、ガラス基板５３を移動させ、混色が始まる際のイ
ンクドットのずれ量（Δｘ）とインクドットの直径ＣＬ
と画素の幅ＧＬとの関係を調べる実験を行なった。
に、図１５に示すようにインクの吐出中に画素の長手方
向に対してインクジェットヘッドが斜めに走査されるよ
うに、ガラス基板５３を移動させ、混色が始まる際のイ
ンクドットのずれ量（Δｘ）とインクドットの直径ＣＬ
と画素の幅ＧＬとの関係を調べる実験を行なった。
【００８４】複数のノズルから吐出量、すなわち着弾し
たときの直径の異なるインクを吐出し、画素幅（隣り合
うブラックマトリクス２ａ,２ｂの中心間の距離ＧＬ）
の異なる画素に着色を繰り返すうちに、画素幅をＧＬ、
着弾したインクが形成するドットの直径をＣＬ、着弾位
置の画素幅方向のずれ量をΔｘとした場合、 ＧＬ＜ＣＬ＋Δｘ となったときに、混色の可能性が急激に増加することを
見出した。逆にいえば、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ を満足すれば、混色が非常に起こりにくくなることを見
出した。
たときの直径の異なるインクを吐出し、画素幅（隣り合
うブラックマトリクス２ａ,２ｂの中心間の距離ＧＬ）
の異なる画素に着色を繰り返すうちに、画素幅をＧＬ、
着弾したインクが形成するドットの直径をＣＬ、着弾位
置の画素幅方向のずれ量をΔｘとした場合、 ＧＬ＜ＣＬ＋Δｘ となったときに、混色の可能性が急激に増加することを
見出した。逆にいえば、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ を満足すれば、混色が非常に起こりにくくなることを見
出した。
【００８５】また、カラーフィルタの製造時に異なるピ
ッチ間隔の画素を着色する場合、図７に示したようにヘ
ッドを斜めに傾けて使用することで、種々のカラーフィ
ルタにフレキシブルに対応することができることは知ら
れている。
ッチ間隔の画素を着色する場合、図７に示したようにヘ
ッドを斜めに傾けて使用することで、種々のカラーフィ
ルタにフレキシブルに対応することができることは知ら
れている。
【００８６】また、本願発明者は、吐出されたインクが
球状になる前にガラス基板５３にインクを着弾させるこ
とにより、インクのよれ等による着弾ずれが発生しにく
くなり、より高精度な着弾位置精度を実現できることを
特願平７−１９５２３５号で示した。この際、インクの
着弾位置を調べてみると、図１６に示すように、インク
の着弾位置がインクジェットヘッドのインク吐出ノズル
の穴の位置と略一致していることも実験により判明し
た。
球状になる前にガラス基板５３にインクを着弾させるこ
とにより、インクのよれ等による着弾ずれが発生しにく
くなり、より高精度な着弾位置精度を実現できることを
特願平７−１９５２３５号で示した。この際、インクの
着弾位置を調べてみると、図１６に示すように、インク
の着弾位置がインクジェットヘッドのインク吐出ノズル
の穴の位置と略一致していることも実験により判明し
た。
【００８７】すなわち、ヘッドのノズル穴の位置精度が
インクジェットヘッドの混色の起こりやすさに支配的で
あることがこれらの実験からわかってきた。
インクジェットヘッドの混色の起こりやすさに支配的で
あることがこれらの実験からわかってきた。
【００８８】以上のことから、本願発明者は、図１５及
び図１７に示すように、ＧＬを画素幅（隣り合うブラッ
クマトリクスの幅の中心間の距離）、ＣＬを着弾したイ
ンクが形成するドットの直径、ｙ1をヘッドの反りがな
かった場合にノズルが並ぶ理想直線（最小二乗法により
求めた近似直線）からの理想直線に直交する方向へのノ
ズルの正側へのずれ量、ｙ2をヘッドの反りがなかった
場合にノズルが並ぶ理想直線からの理想直線に直交する
方向への負側へのずれ量、θをヘッドの走査方向に直交
する方向に対するヘッドの傾き角、Δｘを走査方向に直
交する方向（画素の幅方向）へのインクドットのずれ量
としたときに、以下の式が成り立つことを見出した。
び図１７に示すように、ＧＬを画素幅（隣り合うブラッ
クマトリクスの幅の中心間の距離）、ＣＬを着弾したイ
ンクが形成するドットの直径、ｙ1をヘッドの反りがな
かった場合にノズルが並ぶ理想直線（最小二乗法により
求めた近似直線）からの理想直線に直交する方向へのノ
ズルの正側へのずれ量、ｙ2をヘッドの反りがなかった
場合にノズルが並ぶ理想直線からの理想直線に直交する
方向への負側へのずれ量、θをヘッドの走査方向に直交
する方向に対するヘッドの傾き角、Δｘを走査方向に直
交する方向（画素の幅方向）へのインクドットのずれ量
としたときに、以下の式が成り立つことを見出した。
【００８９】ｙ＝ｙ1＋y2 Δｘ＝ｙ・ｓｉｎθ Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ すなわち、 ｙ・ｓｉｎθ≦ＧＬ−ＣＬ ｙ≦（ＧＬ−ＣＬ）／ｓｉｎθ （ただし０°＜θ＜９０°） （１） なお、ここでいう着弾したインクが形成するドットの直
径ＣＬとは、仕切りのない素ガラスもしくはインク受容
層が塗布されたガラスにインクを着弾させ、乾燥するま
でにインクが広がった直径をいい、着弾径の不揃いな複
数のノズルを有するヘッドにおいては、もっとも大きい
着弾径をＣＬとする。
径ＣＬとは、仕切りのない素ガラスもしくはインク受容
層が塗布されたガラスにインクを着弾させ、乾燥するま
でにインクが広がった直径をいい、着弾径の不揃いな複
数のノズルを有するヘッドにおいては、もっとも大きい
着弾径をＣＬとする。
【００９０】従って、反りのあるヘッドのノズルのずれ
量ｙを上記の式（１）を満足するように、既に説明した
矯正方法で矯正することにより、混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。あるいは、反りを矯正す
るしないにかかわらず、ノズルのずれ量ｙが式（１）を
満足しているようなヘッドを用いてカラーフィルタを着
色すれば、混色のないカラーフィルタを製造することが
できる。
量ｙを上記の式（１）を満足するように、既に説明した
矯正方法で矯正することにより、混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。あるいは、反りを矯正す
るしないにかかわらず、ノズルのずれ量ｙが式（１）を
満足しているようなヘッドを用いてカラーフィルタを着
色すれば、混色のないカラーフィルタを製造することが
できる。
【００９１】もちろん、ノズル列方向にもヘッドの製造
時にノズル位置の多少のズレは生ずるが、少なくともノ
ズル列と直交する方向へのノズル位置のずれ量が式
（１）を満たしている必要がある。
時にノズル位置の多少のズレは生ずるが、少なくともノ
ズル列と直交する方向へのノズル位置のずれ量が式
（１）を満たしている必要がある。
【００９２】なお、式（１）では、０°＜θ＜９０°と
したが、製造効率の点から０°＜θ≦４５°で使用する
のが一般的である。
したが、製造効率の点から０°＜θ≦４５°で使用する
のが一般的である。
【００９３】本願発明者による実験においては、画素幅
ＧＬ＝１０２.５μｍ、着弾径ＣＬ＝８５μｍとし、３
６０ｄｐｉの４インチの長尺ヘッド（ノズル数１４０８
で、５ノズルおきに吐出）をθ＝２９.２７°傾けて使
用した。
ＧＬ＝１０２.５μｍ、着弾径ＣＬ＝８５μｍとし、３
６０ｄｐｉの４インチの長尺ヘッド（ノズル数１４０８
で、５ノズルおきに吐出）をθ＝２９.２７°傾けて使
用した。
【００９４】この際、ノズルの理想直線からの正側、負
側のばらつきは略同等であったので、式（１）でｙ1＝
ｙ2として、 ｙ≦±｛（１０２.５−８５）／ｓｉｎ２９.２７°｝／
２ 従って、ｙ≦±１７.９μｍとなる。
側のばらつきは略同等であったので、式（１）でｙ1＝
ｙ2として、 ｙ≦±｛（１０２.５−８５）／ｓｉｎ２９.２７°｝／
２ 従って、ｙ≦±１７.９μｍとなる。
【００９５】本願発明者は、これに装置の精度等のマー
ジンを±１０μｍ見込んで、ヘッドの反り量が±８μｍ
以下となるようにヘッドを調整して着色を行なった。そ
の結果、混色のないカラーフィルタを製造することがで
きた。なお、式（１）は、装置の精度等のマージンがゼ
ロであると仮定した場合の式であり、マージンがあると
きは、上記のように式（１）より算出した値からマージ
ン量を差し引いた値以下にヘッドの反り量がなるように
調整する。
ジンを±１０μｍ見込んで、ヘッドの反り量が±８μｍ
以下となるようにヘッドを調整して着色を行なった。そ
の結果、混色のないカラーフィルタを製造することがで
きた。なお、式（１）は、装置の精度等のマージンがゼ
ロであると仮定した場合の式であり、マージンがあると
きは、上記のように式（１）より算出した値からマージ
ン量を差し引いた値以下にヘッドの反り量がなるように
調整する。
【００９６】なお、図１８は、長さの短いヘッドを組み
合わせたヘッドユニットにおける位置ずれの説明図であ
り、この例においても、ノズルのずれ量ｙを式（１）を
満足するように設定すればよい。
合わせたヘッドユニットにおける位置ずれの説明図であ
り、この例においても、ノズルのずれ量ｙを式（１）を
満足するように設定すればよい。
【００９７】また、図１９は、カラーフィルタの画素と
インクドットの関係を示した図であり、図２０は、カラ
ーフィルタの着色時の混色の限界を示す図である。
インクドットの関係を示した図であり、図２０は、カラ
ーフィルタの着色時の混色の限界を示す図である。
【００９８】以上説明した様に、上記の実施形態によれ
ば、インクジェットヘッドに熱容量の大きいプレートを
取りつけることにより、インクジェットヘッドの温度上
昇を抑制することができ、ノズルの位置ズレが防止され
て混色のないカラーフィルタを製造することが出来る。
ば、インクジェットヘッドに熱容量の大きいプレートを
取りつけることにより、インクジェットヘッドの温度上
昇を抑制することができ、ノズルの位置ズレが防止され
て混色のないカラーフィルタを製造することが出来る。
【００９９】また、プレートにネジ穴を形成するととも
に、ヘッド本体側にそれよりも一回り小さいネジ穴を形
成し、プレートのネジ穴に、丁度螺合するボルトと一回
り径の小さい自由に挿通するボルトを選択的に装着する
ことにより、各ネジ穴の位置でヘッドをプレートから離
す方向とヘッドに近づける方向の双方に移動させること
ができ、ヘッドの反りを矯正することが出来るので、ノ
ズルが一直線上に正確に並んだインクジェットヘッドが
提供される。
に、ヘッド本体側にそれよりも一回り小さいネジ穴を形
成し、プレートのネジ穴に、丁度螺合するボルトと一回
り径の小さい自由に挿通するボルトを選択的に装着する
ことにより、各ネジ穴の位置でヘッドをプレートから離
す方向とヘッドに近づける方向の双方に移動させること
ができ、ヘッドの反りを矯正することが出来るので、ノ
ズルが一直線上に正確に並んだインクジェットヘッドが
提供される。
【０１００】さらに、ノズルのずれ量が式（１）を満足
するヘッドを使用することにより混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。
するヘッドを使用することにより混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。
【０１０１】なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。
【０１０２】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
【０１０３】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【０１０４】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【０１０５】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。
【０１０６】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
【０１０７】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【０１０８】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
【０１０９】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。
【０１１０】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
【０１１１】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、イ
ンクジェットヘッドに熱容量の大きいプレートを取りつ
けることにより、インクジェットヘッドの温度上昇を抑
制することができ、ノズルの位置ズレが防止されて混色
のないカラーフィルタを製造することが出来る。
ンクジェットヘッドに熱容量の大きいプレートを取りつ
けることにより、インクジェットヘッドの温度上昇を抑
制することができ、ノズルの位置ズレが防止されて混色
のないカラーフィルタを製造することが出来る。
【０１１２】また、プレートにネジ穴を形成するととも
に、ヘッド本体側にそれよりも一回り小さいネジ穴を形
成し、プレートのネジ穴に、丁度螺合するボルトと一回
り径の小さい自由に挿通するボルトを選択的に装着する
ことにより、各ネジ穴の位置でヘッドをプレートから離
す方向とヘッドに近づける方向の双方に移動させること
ができ、ヘッドの反りを矯正することが出来るので、ノ
ズルが一直線上に正確に並んだインクジェットヘッドが
提供される。
に、ヘッド本体側にそれよりも一回り小さいネジ穴を形
成し、プレートのネジ穴に、丁度螺合するボルトと一回
り径の小さい自由に挿通するボルトを選択的に装着する
ことにより、各ネジ穴の位置でヘッドをプレートから離
す方向とヘッドに近づける方向の双方に移動させること
ができ、ヘッドの反りを矯正することが出来るので、ノ
ズルが一直線上に正確に並んだインクジェットヘッドが
提供される。
【０１１３】さらに、ノズルのずれ量が式（１）を満足
するヘッドを使用することにより混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。
するヘッドを使用することにより混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。
【０１１４】
【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。
御部の構成を示す図である。
【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。
ジェットヘッドの構造を示す図である。
【図４】カラーフィルタの製造工程の他の例を示した図
である。
である。
【図５】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
【図６】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
【図７】カラーフィルタの着色の仕方の例を示した図で
ある。
ある。
【図８】インクジェットヘッドにプレートを取り付けた
様子を示す図である。
様子を示す図である。
【図９】図８を左側から見た側面図である。
【図１０】図８を下方から見た部分断面図である。
【図１１】インクジェットヘッドの反りを修正する具体
的な方法を説明するための図である。
的な方法を説明するための図である。
【図１２】修正前と修正後のインクジェットヘッドの反
り量を示す図である。
り量を示す図である。
【図１３】インクジェットヘッドの反りを観察する装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図１４】プレートの変形例を示した図である。
【図１５】混色を引き起こすインクドットのずれ量を求
める方法を説明するための図である。
める方法を説明するための図である。
【図１６】インクの着弾位置とノズルの位置の関係を示
した図である。
した図である。
【図１７】ヘッドの反りによる画素の幅方向へのノズル
のずれを説明するための図である。
のずれを説明するための図である。
【図１８】長さの短いヘッドを組み合わせたヘッドユニ
ットにおける位置ずれの説明図である。
ットにおける位置ずれの説明図である。
【図１９】カラーフィルタの画素とインクドットの関係
を示した図である。
を示した図である。
【図２０】カラーフィルタの着色時の混色の限界を示す
図である。
図である。
５２ ＸＹθステージ ５３ ガラス基板 ５４ カラーフィルタ ５５ 着色ヘッド ５８ コントローラ ５９ ティーチングペンダント ６０ キーボード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−136247（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−227634（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−56042（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−56636（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−35138（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/05 B41J 2/16 B41J 2/21 B41J 2/485 G02B 5/20 101
Claims (19)
- 【請求項１】 インクジェットヘッドにより被記録部材
にインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置
であって、 長手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置された
インクジェットヘッドと、 該インクジェットヘッドの長手方向に沿って取り付けら
れ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させるため
の所定の体積を有する板状の補助部材であって、前記長
尺状のインクジェットヘッドの反りを矯正する機能を有
する補助部材とを具備し、 前記補助部材は、前記インクジェットヘッドの長手方向
の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備えるこ
とを特徴とするインクジェット記録装置。 - 【請求項２】 前記補助部材は、前記インクジェットヘ
ッドの片側に設けられていることを特徴とする請求項１
に記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項３】 前記補助部材は、前記インクジェットヘ
ッドの長手方向に沿って長く形成されており、その長さ
は、前記複数の吐出ノズルの並び方向の全長以上である
ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録
装置。 - 【請求項４】 前記インクジェットヘッドには、長手方
向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成されている
とともに、前記補助部材には前記第１のネジ穴に対応す
る位置に前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２のネ
ジ穴が形成されており、前記第２のネジ穴を介して前記
第１のネジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ込
むことにより、前記インクジェットヘッドを前記補助部
材に引き寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に螺
合するネジをねじ込むことにより、前記インクジェット
ヘッドを前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェッ
トヘッドの反りを矯正することを特徴とする請求項１に
記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項５】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項１に記載のイン
クジェット記録装置。 - 【請求項６】 前記インクジェットヘッドにより、カラ
ーフィルタ基板にインクを吐出して各画素を着色し、カ
ラーフィルタを製造することを特徴とする請求項１乃至
５のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項７】 インクジェットヘッドにより被記録部材
にインクを吐出して記録を行うインクジェット記録方法
であって、 前記インクジェットヘッドの長手方向に沿って取付けら
れ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させるため
の所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの長手方
向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備える
補助部材が取り付けられた長手方向に複数のインク吐出
ノズルが並んで配置されたインクジェットヘッドによ
り、前記被記録部材上を相対的に走査しながら、前記被
記録部材に記録を行うことを特徴とするインクジェット
記録方法。 - 【請求項８】 前記補助部材は、前記インクジェットヘ
ッドの片側に設けられていることを特徴とする請求項７
に記載のインクジェット記録方法。 - 【請求項９】 前記補助部材は、前記インクジェットヘ
ッドの長手方向に沿って長く形成されており、その長さ
は、前記複数の吐出ノズルの並び方向の全長以上である
ことを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録
方法。 - 【請求項１０】 前記インクジェットヘッドには、長手
方向に沿って複数の位置に第１のネジ穴が形成されてい
るとともに、前記補助部材には前記第１のネジ穴に対応
する位置に前記第１のネジ穴よりも一回り大きい第２の
ネジ穴が形成されており、前記第２のネジ穴を介して前
記第１のネジ穴に螺合するネジを該第１のネジ穴にねじ
込むことにより、前記インクジェットヘッドを前記補助
部材に引き寄せ、前記第２のネジ穴に該第２のネジ穴に
螺合するネジをねじ込むことにより、前記インクジェッ
トヘッドを前記補助部材から遠ざけて、前記インクジェ
ットヘッドの反りを矯正することを特徴とする請求項７
に記載のインクジェット記録方法。 - 【請求項１１】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項７に記載のイ
ンクジェット記録方法。 - 【請求項１２】 前記インクジェットヘッドにより、カ
ラーフィルタ基板にインクを吐出して各画素を着色し、
カラーフィルタを製造することを特徴とする請求項７乃
至１１のいずれか１項に記載のインクジェット記録方
法。 - 【請求項１３】 長手方向に複数のインク吐出ノズルが
並んで配置されたインクジェットヘッドに取り付けられ
る補助部材であって、 前記インクジェットヘッドの長手方向に沿って取付けら
れ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加させるため
の所定の体積を有し、該インクジェットヘッドの長手方
向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部を備える
ことにより前記インクジェットヘッドの反りを矯正する
ことを特徴とする補助部材。 - 【請求項１４】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項１３に記載の
補助部材。 - 【請求項１５】 長手方向に複数のインク吐出ノズルが
並んで配置されたインクジェットヘッドであって、 前記インクジェットヘッドの本体部の長手方向に沿って
取付けられ、該インクジェットヘッドの熱容量を増加さ
せるための所定の体積を有し、該インクジェットヘッド
の長手方向の異なる位置に設けられた複数の反り矯正部
を備えることにより前記インクジェットヘッドの本体部
の反りを矯正する補助部材を一体に備えることを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項１６】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項１５に記載の
インクジェットヘッド。 - 【請求項１７】 前記補助部材は、前記本体部の片側に
設けられていることを特徴とする請求項１５に記載のイ
ンクジェットヘッド。 - 【請求項１８】 長手方向に複数のインク吐出ノズルが
並んで配置されたインクジェットヘッドの反りを調整す
るための反り調整方法であって、 前記インクジェットヘッドには、長手方向に沿って複数
の位置に第１のネジ穴が形成されているとともに、前記
インクジェットヘッドに取り付けられる補助部材には前
記第１のネジ穴に対応する位置に前記第１のネジ穴より
も一回り大きい第２のネジ穴が形成されており、前記第
２のネジ穴を介して前記第１のネジ穴に螺合するネジを
該第１のネジ穴にねじ込むことにより、前記インクジェ
ットヘッドを前記補助部材に引き寄せ、前記第２のネジ
穴に該第２のネジ穴に螺合するネジをねじ込むことによ
り、前記インクジェットヘッドを前記補助部材から遠ざ
けて、前記インクジェットヘッドの反りを調整すること
を特徴とする反り調整方法。 - 【請求項１９】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項１８に記載の
反り調整方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24693097A JP3115549B2 (ja) | 1996-09-30 | 1997-09-11 | インクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッド及び反り調整方法 |
| DE69721678T DE69721678T2 (de) | 1996-09-30 | 1997-09-29 | Tintenstrahldrucker und Tintenstrahldruckverfahren, Zusatzstück, Tintenstrahlkopf, Verfahren zur Korrektur der Verformung, Tintenstrahlkopfelement und Verfahren zur Reduzierung der Farbenmischung |
| US08/939,481 US6109727A (en) | 1996-09-30 | 1997-09-29 | Ink-jet printer and printing method, auxiliary member, ink-jet head, warp correction method, ink-jet head unit and color-mixture reducing method |
| KR1019970049547A KR100233635B1 (ko) | 1996-09-30 | 1997-09-29 | 잉크 제트 프린터 및 인쇄 방법, 보조 부재, 잉크 제트 헤드,편향 조정 방법, 잉크 제트 헤드 유니트 및 혼색 감소 방법 |
| EP97307625A EP0832743B1 (en) | 1996-09-30 | 1997-09-29 | Ink-jet printer and printing method, auxiliary member, ink-jet head, warp correction method, ink-jet head unit and color-mixture reducing method |
| US09/584,491 US6505908B1 (en) | 1996-09-30 | 2000-06-01 | Ink-jet printer and printing method, auxiliary member, ink-jet head, warp correction method, ink-jet head unit and color-mixture reducing method |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-259164 | 1996-09-30 | ||
| JP25916496 | 1996-09-30 | ||
| JP24693097A JP3115549B2 (ja) | 1996-09-30 | 1997-09-11 | インクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッド及び反り調整方法 |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000231782A Division JP3459811B2 (ja) | 1996-09-30 | 2000-07-31 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドユニット及びカラーフィルタの製造方法及び製造装置 |
| JP2000231783A Division JP3347709B2 (ja) | 1996-09-30 | 2000-07-31 | カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法 |
| JP2000231784A Division JP3459812B2 (ja) | 1996-09-30 | 2000-07-31 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10151748A JPH10151748A (ja) | 1998-06-09 |
| JP3115549B2 true JP3115549B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=26537982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24693097A Expired - Fee Related JP3115549B2 (ja) | 1996-09-30 | 1997-09-11 | インクジェット記録装置及び記録方法及び補助部材及びインクジェットヘッド及び反り調整方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6109727A (ja) |
| EP (1) | EP0832743B1 (ja) |
| JP (1) | JP3115549B2 (ja) |
| KR (1) | KR100233635B1 (ja) |
| DE (1) | DE69721678T2 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6478274B1 (en) * | 1999-05-10 | 2002-11-12 | Innovative Office Products, Inc. | Arm apparatus for mounting electronic devices |
| JP4447757B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2010-04-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置 |
| SE516696C2 (sv) | 1999-12-23 | 2002-02-12 | Perstorp Flooring Ab | Förfarande för framställning av ytelement vilka innefattar ett övre dekorativt skikt samt ytelement framställda enlit förfarandet |
| JP3953776B2 (ja) * | 2001-01-15 | 2007-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 材料の吐出装置、及び吐出方法、カラーフィルタの製造装置及び製造方法、液晶装置の製造装置及び製造方法、ｅｌ装置の製造装置及び製造方法 |
| US20030166311A1 (en) * | 2001-09-12 | 2003-09-04 | Seiko Epson Corporation | Method for patterning, method for forming film, patterning apparatus, film formation apparatus, electro-optic apparatus and method for manufacturing the same, electronic equipment, and electronic apparatus and method for manufacturing the same |
| WO2003036738A1 (en) * | 2001-10-19 | 2003-05-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Multi-nozzle printing method for pled displays |
| US6921148B2 (en) * | 2002-01-30 | 2005-07-26 | Seiko Epson Corporation | Liquid drop discharge head, discharge method and discharge device; electro optical device, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; color filter, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; and device incorporating backing, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof |
| CN1238190C (zh) * | 2002-02-19 | 2006-01-25 | 兄弟工业株式会社 | 喷墨头和喷墨打印机 |
| GB0224109D0 (en) * | 2002-10-16 | 2002-11-27 | Cambridge Display Tech Ltd | Deposition apparatus and methods |
| JP4378950B2 (ja) * | 2002-12-24 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 |
| JP3864953B2 (ja) | 2003-12-25 | 2007-01-10 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドアセンブリ及びそれを含んだインクジェットプリンタ |
| GB2414214B (en) * | 2004-05-19 | 2008-01-09 | Intense Photonics Ltd | Printing with laser activation |
| US20060159843A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-20 | Applied Materials, Inc. | Method of substrate treatment for manufacturing of color filters by inkjet printing systems |
| TWI302333B (en) * | 2005-04-28 | 2008-10-21 | Shibaura Mechatronics Corp | Apparatus for applying paste and method of applying paste |
| GB2438233B (en) * | 2006-05-15 | 2011-08-24 | Cametrics Ltd | Ink jet printing systems |
| JP4858283B2 (ja) * | 2007-04-18 | 2012-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 流体噴射装置 |
| JP6006705B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2016-10-12 | 富士フイルム株式会社 | 画像記録装置及び画像記録装置の調整方法 |
| DE112015006165B4 (de) | 2015-03-11 | 2018-11-29 | Fujifilm Corporation | Tintenstrahl-Aufzeichnungsgerät mit Tintenstrahlkopf-Biegekorrektur |
| JP2017032830A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法 |
| CN110252581B (zh) * | 2019-07-19 | 2020-10-02 | 中电科仪器仪表有限公司 | 一种导电胶涂覆用蘸胶头 |
| CN111451081B (zh) * | 2020-04-02 | 2021-06-01 | Tcl华星光电技术有限公司 | 显示模组及其涂胶方法、涂布机 |
Family Cites Families (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1127227A (en) * | 1977-10-03 | 1982-07-06 | Ichiro Endo | Liquid jet recording process and apparatus therefor |
| JPS5936879B2 (ja) * | 1977-10-14 | 1984-09-06 | キヤノン株式会社 | 熱転写記録用媒体 |
| JPS5510117A (en) | 1978-07-03 | 1980-01-24 | Toshiba Corp | Device for driving and controlling motor valve |
| US4330787A (en) * | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
| US4345262A (en) * | 1979-02-19 | 1982-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording method |
| JPS55132259A (en) | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Liquid jet recording method |
| US4463359A (en) * | 1979-04-02 | 1984-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplet generating method and apparatus thereof |
| US4313124A (en) * | 1979-05-18 | 1982-01-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording process and liquid jet recording head |
| US4558333A (en) * | 1981-07-09 | 1985-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head |
| JPS5975205A (ja) * | 1982-10-25 | 1984-04-27 | Seiko Epson Corp | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS59123670A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-17 | Canon Inc | インクジエツトヘツド |
| JPS59138461A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Canon Inc | 液体噴射記録装置 |
| JPS6071260A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-23 | Erumu:Kk | 記録装置 |
| JPS63235901A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-30 | Fujitsu Ltd | カラ−フイルタの形成方法 |
| JPH01122441A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-15 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録装置 |
| JP2692833B2 (ja) * | 1988-02-25 | 1997-12-17 | 株式会社東芝 | 液晶セルの製造方法 |
| JPH0216054A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェット記録装置 |
| JPH02136247A (ja) | 1988-11-17 | 1990-05-24 | Fuji Xerox Co Ltd | 熱転写装置 |
| JP2683126B2 (ja) | 1988-12-28 | 1997-11-26 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録装置 |
| JP2726135B2 (ja) | 1990-02-02 | 1998-03-11 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録装置 |
| GB2240514B (en) * | 1990-02-02 | 1994-04-20 | Canon Kk | Ink jet recording apparatus and ink jet recording head |
| JP2718805B2 (ja) * | 1990-04-06 | 1998-02-25 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドユニットおよび該ユニットを搭載したインクジェット記録装置 |
| DE69127301T2 (de) | 1990-04-06 | 1998-02-19 | Canon Kk | Tintenstrahldruckkopfeinheit und Tintenstrahldrucker |
| JPH0446759A (ja) | 1990-06-11 | 1992-02-17 | Nippon Steel Corp | ワイヤ式切断装置 |
| US5160945A (en) * | 1991-05-10 | 1992-11-03 | Xerox Corporation | Pagewidth thermal ink jet printhead |
| JPH05104354A (ja) | 1991-06-25 | 1993-04-27 | Canon Inc | インクジエツト用ヘツドの組み立て装置 |
| US5198054A (en) | 1991-08-12 | 1993-03-30 | Xerox Corporation | Method of making compensated collinear reading or writing bar arrays assembled from subunits |
| WO1993024240A1 (en) * | 1992-06-01 | 1993-12-09 | Advanced Technology Incubator, Inc. | Light influencing element for high resolution optical systems and method of making same |
| JP3513199B2 (ja) | 1993-01-01 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッド、これを用いた液体噴射ヘッドカートリッジおよび記録装置、ならびに液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP3290256B2 (ja) | 1993-06-30 | 2002-06-10 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ |
| FR2708233B1 (fr) * | 1993-07-27 | 1995-09-01 | Matra Communication | Procédé et dispositif d'impression par points. |
| JP3471887B2 (ja) | 1994-03-30 | 2003-12-02 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッド、該液体噴射ヘッドを有するヘッドカートリッジ及び液体噴射装置 |
| SG44309A1 (en) | 1994-03-04 | 1997-12-19 | Canon Kk | An ink jet recording apparatus |
| SG59905A1 (en) * | 1994-03-04 | 1999-02-22 | Canon Kk | An ink jet recording apparatus |
| JP2839134B2 (ja) * | 1994-05-20 | 1998-12-16 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法及びカラーフィルタの隣接する着色部間の混色の低減方法 |
| JPH08227011A (ja) | 1994-09-30 | 1996-09-03 | Canon Inc | カラーフィルタ、その製造方法、液晶パネル、及びこれを備えた情報処理装置 |
| JP3227634B2 (ja) | 1994-11-16 | 2001-11-12 | フジオーゼックス株式会社 | 内燃機関用タペットおよびその製造方法 |
| DE19804984C2 (de) | 1998-02-07 | 2000-11-02 | Daimler Chrysler Ag | Sonnenblende für ein Kraftfahrzeug |
-
1997
- 1997-09-11 JP JP24693097A patent/JP3115549B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-29 KR KR1019970049547A patent/KR100233635B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-09-29 DE DE69721678T patent/DE69721678T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-29 US US08/939,481 patent/US6109727A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-09-29 EP EP97307625A patent/EP0832743B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-06-01 US US09/584,491 patent/US6505908B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0832743B1 (en) | 2003-05-07 |
| EP0832743A3 (en) | 1999-07-07 |
| KR100233635B1 (ko) | 1999-12-01 |
| JPH10151748A (ja) | 1998-06-09 |
| EP0832743A2 (en) | 1998-04-01 |
| US6505908B1 (en) | 2003-01-14 |
| DE69721678T2 (de) | 2004-04-08 |
| DE69721678D1 (de) | 2003-06-12 |
| KR19980025102A (ko) | 1998-07-06 |
| US6109727A (en) | 2000-08-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000825 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080929 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090929 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090929 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100929 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100929 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110929 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110929 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120929 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130929 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |