TWI294055B

TWI294055B -

Info

Publication number: TWI294055B
Application number: TW090133317A
Authority: TW
Inventors: Satoru Katagami; Hisashi Aruga; Hiroshi Kiguchi; Tatsuya Ito; Tomomi Kawase; Masaharu Shimizu
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-01-15
Filing date: 2001-12-31
Publication date: 2008-03-01
Also published as: US20060146379A1; US7901741B2; KR100497019B1; JP2002273868A; EP1225472A3; US7182815B2; JP3953776B2; EP1225472A2; DE60238568D1; EP1852733B1; CN1236918C; DE60238567D1; EP1852733A1; EP1852734B1; DE60237937D1; CN1365891A; EP1225472B1; KR20020061521A; EP1852734A1; US20020105688A1

Description

1294055 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明所屬之技術範圍】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關於對象物吐出材料的吐出裝置，及材料之吐出方法。更具體而言，爲有關製造使用於液晶裝置等之光學裝置的彩色濾色片的製造方法及製造裝置。又，本發明有關具有彩色濾色片之液晶裝置之製造方法及製造裝置。又’本發明係有關於使用E L發光層進行顯示之E L 裝置之製造方法及製造裝置。又，有關於使用此等製造方法製造的電子機器。【以往之技術】經濟部智慧財產局員工消費合作社印製近年以來，於攜帶型電話機、攜帶型個人電腦等之電子機器之顯示部，廣爲使用液晶裝置、電激發光裝置（以下稱E L裝置）等之顯示裝置。又，最近，經由顯示裝置 ’進行彩色顯示者有漸多的現象。液晶裝置所成之全彩顯示係例如將經由液晶層調變之光，經由透過彩色濾色片加以進行。然後，於彩色濾色片經由玻璃、塑膠等形成之基板的表面，例如將R (紅）、G (綠）、B (藍）之點狀之各色濾色片元件，經由以條紋排列、5排列或馬賽克排列等之所定之排列加以排列，加以形成。又，經由E L裝置，進行全彩顯示裝置時，例如於經由坡璃、塑膠等所形成之基板表面，將電極排列，於其上，例如將R (紅）、G (綠）、B (藍）之點狀之各色 E L發光層以所定之排列加以排列，經由控制施加於此等之電極的電壓，將發光期望之顏色，由此進行全彩顯示。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7^1 1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 _五、發明説明（2 ) 以往，圖案化彩色濾色片之R、G、B等之各色濾色元件時，或圖案化E L裝置之R、G、B等之各色晝素圖素時，已知有使用微縮法。但是於使用此微縮法時，因爲工程爲複雜或消耗多量之各色材料或光阻劑等之故，會有成本提高等之問題。爲解決此問題，提案經由噴墨法，將濾色材料或E L 發光材料等經由吐出成爲點狀，形成點狀排列之細絲或 E L·發光層等的方法。現在，於圖2 2 ( a )中，於經由玻璃、塑膠等所形成之大面積之基板、所謂設定於主機板3 0 1之表面的複數之面板範圍302之內部範圍，如圖22 (b)所示，有將排列成爲點狀之複數之濾色元件3 0 3，根據噴墨法形成之情形。於此時，例如示於圖2 2 ( c )，將具有複數之噴嘴3 0 4排列成爲列狀所成的噴嘴列3 0 5的噴墨頭3 06，於圖22 (b)箭頭A1及箭頭A2所示，關於1個之面板範圍3 0 2，進行複數次（圖2 2爲2次）之主掃瞄地，於此等之主掃瞄間，經由自複數之噴嘴選擇性地吐出墨水即吐出濾色材料，於期望位置形成濾色元件 3 0 3° 瀘色元件3 0 3係經由將R、G、B之各色以條紋排列、5排列、馬賽克排列等之適切排列加以排列加以形成之故，圖22 (b)所示噴墨頭306所成墨水吐出處理係將吐出R、G、B之單色的噴墨頭3 0 6，僅預先設置 R、G、B等之3色分，將此等之噴墨頭3 0 6順序使用 ---1--^------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 5 _ 1294055 A7 B7 五、發明説明（3 ) ，於1個母板3 0 1上，形成R、G、B等之3色排列。然而，設於通常之噴墨頭3 0 6之噴嘴數係1 6 0〜 1 8 0之程度。又，通常之母板3 0 1具有較該噴墨頭 306更大的面積。因此，使用噴墨頭306，於母板 3 0 1之表面，形成濾色片元件3 0 3時’需將噴墨頭 3 0 6對於母板3 0 1相對副掃猫移2動地，於噴墨頭 3 0 6，將母板3 0 1複數次主掃瞄移動，於各主掃瞄中，進行墨水吐出，進行描繪。但是，於此方法中，對於母板3 0 1之噴墨頭3 0 6 之掃瞄次數爲多會有描繪時間、即彩色濾色片之製造時間變長的問題。爲解決此問題，本申請人係於日本特願平 1 1 — 2 7 9 7 5 2號中，提案將複數之噴頭部，經由支持構件，呈直線狀加以排列，使得實質上噴嘴變多的發明 0 根據此方法之時，例如如圖2 3 ( a )所示，將複數例如6個之噴墨頭3 0 6，經由保護膜3 0 7支持成爲直線狀，將此支持構件，向副掃瞄方向Y副掃瞄移動地，如箭頭A1、A2.....，複數次進行主掃瞄，於各主掃瞄之時，自噴嘴3 0 4選擇性地加以吐出墨水。根據此方法時，以1次之主掃瞄，於廣範圍可供給之墨水之故，確實可縮短彩色濾色片之製造時間。【發明欲解決之課題】然而，於圖2 3 ( a )所示之以往方法中，各噴墨頭本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 部3 0 6則與副掃瞄方向Y平行加以配置，形成一直線狀之噴嘴列之故，複數之噴嘴間之間隔，即噴嘴間間隔係需與母板3 0 1側之濾色片元件3 0 3間之間隔、即與元件間間隔相同。但是，難以使噴嘴間間隔等於元件間間隔地，形成噴墨頭。爲解決此問題，如圖2 3 ( b )所示，有經由令支持構件3 0 7對於副掃瞄方向Y呈角度0加以傾斜地，使噴墨頭部3 0 6之噴嘴間間隔和母板3 0 1內之元件間間隔一致之方法。但是，此方法中，由於一列排列之噴墨頭部 3 0 6加以構成之噴嘴列，於主掃瞄方向X由於尺寸Z而偏移，會產生爲墨水吐出之主掃瞄時間會由於其量而有變長之問題。本發明係有鑑於上述之問題點而形成，縮短爲形成彩色瀘色片之濾色片元件或E L裝置之圖素畫素等之圖案的噴墨頭部分之掃瞄時間爲目的。【爲解決課題之手段】爲達成上述目的，有關於本發明之材料之吐出裝置，屬於向對象物吐出材料的材料之吐出裝置中，其特徵係具備具有排列複數之噴嘴的噴嘴列的複數噴頭，和令前述對象物及前述支持機構中之任一方，對於另一方加以掃瞄的機構；對於掃瞄之方向，前述噴嘴列爲傾斜者。更具體而言，將前述複數之噴頭，對於前述支持機構之長度方向傾斜地支持。然而，在此所稱「掃瞄」係顯示主掃瞄方向、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 7 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（5 ) 或與主掃瞄方向交叉之副掃瞄方向的任一方或雙方者。根據本發明之材料吐出裝置時，可經由支持複數之噴頭之支持手段，掃瞄基板，自此等複數之噴頭部吐出材料，因此，較使用1個之噴頭部掃瞄對象物之時，可縮短掃瞄時間。本發明中，前述噴嘴列之噴嘴間間隔係於前述複數之噴頭中實質上相等，前述噴嘴列之傾斜角度之大小係於前述複數之噴頭中實質上相等者爲佳。由此，吐出物可規則地吐出於對象物上，可容易進行爲規則性描繪圖案之控制〇又，各噴頭部係以傾斜狀態進行掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於對象物上之濾色片元件之元件間間隔。更且，非傾斜支持手段之整體，而是傾斜各噴頭部之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜支持手段之整體之時爲小，因此，經由支持手段掃瞄基板之時間可被縮短。又，本發明之材料之吐出裝置，屬於向對象物吐出材料的材料之吐出裝置中，其特徵係具備具有排列複數之噴嘴的噴嘴列的複數噴頭，和支持前述複數之噴頭的支持機構，和令對象物及前述支持機構中之任一方，對於另一方加以掃瞄的機構，和控制至少一個之前述噴嘴列和前述掃瞄之方向所成角度的機構者。更佳者係，更具備控制前述複數之噴嘴列間之間隔的機構。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 · 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（6 ) 更且，根據此材料之吐出裝置時，經由噴嘴列角度控制機構，可將支持於支持機構之各噴頭部，容易一致於不同之元件間間隔。而且，此時，經由噴嘴列角度控制機構之動作，可將一個之噴嘴列和鄰接於該之噴嘴列的間隔，以該噴嘴列爲一之之噴嘴間間隔連接地正確加以調節。然而，噴嘴列角度控制機構及噴嘴列間隔控制機構無限定於特別之構造，可經由可達成上述機能之任意構造而達成。例如，噴嘴列角度控制機構係如下，即將各噴頭部 2 0安裝呈可面內旋轉，將此等噴頭部，直接或藉由動力傳達機構等連接於可進行脈衝馬達或伺服馬達等之旋轉角度控制的動力源地加以構成。根據此構成時，經由控制上述動力源之輸出角度値，令各噴頭部之傾斜角度，調節爲期望之値，更且經由令該調節後之上述動力源之輸出軸，保持於鎖定狀態，可將各噴頭部之傾斜角度，固定保持於期望之値。又，上述噴嘴列間隔控制機構係無限定於特別之構造，可經由可達成上述機能之任意構造而達成。例如將各噴頭部之上述面內旋轉之中心部於支持構成呈可移動地加以安裝。然後，此往復滑動移動驅動手段係可例如經由脈衝馬達或伺服馬達等之可控制旋轉角度的旋轉機器爲動力源之滑動驅動裝置，或使用線性馬達等之直動驅動源構成之滑動驅動裝置加以構成。然而，控制前述噴嘴列和前述掃瞄之方向所成之角度的機構係前述噴嘴列之噴嘴間間隔、及前述噴嘴列之傾斜本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I* (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 ___ 五、發明説明（7 ) 角度之大小於前述複數之噴頭中，實質上爲相等地加以控制者爲佳。有關本發明之材料之吐出方法，屬於向對象物吐出材料的材料之吐出方法中，其特徵係具備將具有排列複數之噴嘴的噴嘴列的複數噴頭，及支持前述複數之噴頭的支持機構之一方，對於另一方加以掃瞄的工程，及向對象物吐出前述材料的工程；至少一個之前述噴嘴列則對於前述掃瞄之方向呈傾斜者。此時，前述對象物及前述支持構件之任一方係，對於另一方，向主掃瞄方向，或與主掃瞄方向交叉之副主掃瞄方向或該雙方加以掃瞄者。前述噴嘴列之噴嘴間間隔，及前述噴嘴列之傾斜角度之大小於前述複數之噴頭中實質上相等者爲佳。又，更具備控制至少一個之前述噴嘴列和前述掃瞄方向所成之角度的工程亦可，具備控制前述複數之噴嘴列間之間隔的工程亦可。上述材料之吐出裝置，及材料之吐出方法係例可利用於在於基板吐出濾色片材料的彩色瀘色片之製造裝置、及彩色濾色片之製造方法、以及在於基板吐出E L發光材料的E L裝置之製造裝置、及製造方法等。尤其，使用包含上述材料之吐出方法的製造方法製造的零件乃使用於攜帶電話機、攜帶型電腦等之電子機器。又，有關於本發明之彩色濾色片之製造裝置其特徵係具備具有排列複數之噴嘴的噴嘴列的複數噴頭，和向前述噴頭供給濾色片材料的機構，和支持前述複數之噴頭部的本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 1〇 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 Α7 Β7 五、發明説明（8 ) 支持機構；前述支持機構係令前述複數之噴頭部以傾斜狀態加以支持所成者。於上述構成中，做爲彩色濾色片係例如有R (紅）、 G (綠）、B (藍）之3原色或C (青藍）、γ (黃）、 Μ (洋紅）之3原色等之各色色材。根據此彩色滤色片之製造裝置時’可經由支持複數之噴頭之支持手段，於主掃瞄基板期間，自此等複數之噴頭部吐出濾色片材料，因此，較使用1個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。又，各噴頭部係以傾斜狀態進行掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於對象物上之濾色片元件之元件間間隔。更且，非傾斜支持手段之整體，而是傾斜各噴頭部之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜支持手段之整體之時爲小，因此，經由支持手段掃瞄基板之時間可被縮短。然而，上述構成之之彩色濾色片之製造裝置中，前述支持機構係可令前述噴頭以固定狀態加以支持，或可變更傾斜角度及/或噴頭部間距離地加以支持。又，上述構成之彩色瀘色片之製造裝置其中，屬於前述複數之噴嘴之噴嘴列之噴嘴間間隔係實質上相等，更且前述噴嘴列之傾斜角度之大小亦實質上相等者爲佳。如此之時，可容易進行關於向期望之位置供給濾色片材料的控制。然而，複數之噴嘴列傾斜角度只要相等亦可，傾斜方本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ _ —丨·--^---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（9 ) 向於正負間不同亦可。又，在此以及之後之「實質上」之記述係包含製造上之誤差等所產生之些微不同，在於作用上不會產生大的不同的情形之意思。又，有關本發明之彩色濾色片之製造裝置’其特徵係具備具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數噴頭，和向前述噴頭供給濾色片材料的機構，和支持前述複數之噴頭的支持機構，和主掃瞄移動該支持機構的主掃瞄機構，和副掃瞄移動該支持手段的副掃瞄機構，和控制前述複數之噴嘴列之傾斜角度之噴嘴列角度控制機構，和控制前述複數之噴嘴列間之間隔的噴嘴列間隔控制機構者。根據此構成之彩色濾色片之製造裝置時，經由上述噴嘴列角度控制機構，將各複數之噴嘴列經由設定成爲傾斜狀態，可得與前述彩色濾色片之製造裝置所產生之同樣效果。又，根據上述第2之彩色濾色片之製造裝置時，經由噴嘴列角度控制機構的動作，可容易地令支持於一個之支持手段的各噴頭部一致於不同元件間間隔。而且，此時，經由噴嘴列角度控制機構的動作，可將1個噴嘴列和鄰接於此之噴嘴列的間隔，此等之噴嘴列以一定之之噴嘴間間隔加以連續地正確調整。然而，噴嘴列角度控制機構、噴嘴列間隔控制機構係無限定於特別之構造，可經由可達成上述機能之任意構造而達成。例如，可利用於前述之材料之吐出裝置中所說明之物等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（10) 於上述彩色濾色片之製造裝置中，屬於前述複數之噴嘴之噴嘴列之噴嘴間間隔，及前述噴嘴列之傾斜角度之大小爲實質上相等者爲佳。接著，有關本發明之彩色濾色片之製造方法’於彩色濾色片之製造方法中，其特徵係具備將具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的噴頭，向主掃瞄方向移動地，自前述複數之噴嘴吐出濾色片材料，於前述基板形成前述濾色片元件的工程；前述噴頭係排列複數個加以設置，且以傾斜狀態加以配置者。根據此製造方法時，將複數之噴頭部同時主掃瞄移動，自各噴頭部可吐出濾色片材料之故，較僅使用一個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。又，各噴頭部於傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於基板上之濾色片元件之元件間間隔。更且，非將複數之噴頭部於並排成1列之狀態傾斜該1列，而是將此等之噴頭部各別加以傾斜之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜1列整體之時爲小，因此，經由複數之噴嘴列掃瞄基板之時間可被縮短。由此，可縮短彩色濾色片之製造時間。然而，於上述構成之彩色濾色片之製造方法，其中，前述噴嘴列之噴嘴間間隔爲實質上相等，且前述噴嘴列之傾斜角度之大小爲實質上相等者爲佳。接著，有關本發明之液晶裝置之製造裝置，其特徵係 -------^------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I,I訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13 - 1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（11) 具備具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數噴頭，和向前述噴頭供給濾色片材料的機構，和支持前述複數之噴頭的支持機構，和主掃瞄移動該支持機構的主掃瞄機構，和副掃瞄移動該支持手段的副掃瞄機構；前述支持機構係令前述複數之噴頭部，以傾斜狀態加以支持者。根據此液晶裝置之製造裝置時，可經由支持複數之噴頭部之支持手段，於主掃瞄基板期間，自此等複數之噴頭部吐出濾色片元件材料之故，較僅使用一個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。又，各噴頭部於傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於基板上之濾色片元件之元件間間隔。更且，非將支持手段之整體加以傾斜，而是將各噴頭部加以傾斜之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜支持手段之整體之時爲小，因此，經由複數之噴嘴列掃瞄基板之時間可被縮短。由此，可縮短彩色瀘色片之製造時間。接著，有關本發明之液晶裝置之製造方法，其特徵係具備將具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的噴頭，向主掃瞄方向移動地，自前述複數之噴嘴吐出瀘色片材料，於前述基板形成前述濾色片元件的工程；前述噴頭係排列複數個加以設置，且以傾斜狀態加以配置者。根據此製造方法時，將複數之噴頭部同時主掃瞄移動，自各噴頭部可吐出濾色片材料之故，較僅使用一個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。本&張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（12) 又，各噴頭部於傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於基板上之濾色片元件之元件間間隔。更且，非將複數之噴頭部於並排成1列之狀態傾斜該1列，而是將此等之噴頭部各別加以傾斜之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜1列整體之時爲小，因此，經由複數之噴嘴列掃瞄基板之時間可被縮短。由此，可縮短彩色濾色片之製造時間。接著，有關本發明之電激發光裝置之製造裝置，其特徵係具備具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數噴頭，和向前述噴頭供給電激發光發光材料的機構，和排列並支持前 .述複數之噴頭的支持機構，和主掃瞄移動該支持機構的主掃瞄機構，和副掃瞄移動該支持手段的副掃瞄機構；和控制前述複數之噴嘴列之傾斜角度之噴嘴列角度控制機構，和控制前述複數之噴嘴列間之間隔的噴嘴列間隔控制機構者。根據此E L裝置之製造裝置時，可經由支持複數之噴頭部之支持手段，於主掃瞄基板期間，自此等複數之噴頭部吐出E L發光材料之故，較僅使用一個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。又，各噴頭部於傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於基板上之圖素畫素之畫素間間隔。更且，非將支持手段之整體加以傾斜，而是將各噴頭部加以傾斜之故，接近於基板側之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -15- 1294055 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（13) 噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜支持手段之整體之時爲小，因此，經由複數之噴嘴列掃瞄基板之時間可被縮短。由此，可縮短E L裝置之製造時間。接著，有關本發明之電激發光裝置之製造方法，其特徵係具備將具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的噴頭，向主掃瞄方向移動地，自前述複數之噴嘴吐出電激發光發光材料，於前述基板形成前述電激發光發光層的工程；前述噴頭係排列複數個加以設置，且以傾斜狀態加以配置者。根據此製造方法時，將複數之噴頭部同時主掃瞄移動，自各噴頭部可吐出E L發光材料之故，較僅使用一個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。又，各噴頭部於傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於基板上之圖素晝素之畫素間間隔。更且，非將複數之噴頭部於並排成1列之狀態傾斜該1列，而是將此等之噴頭部各別加以傾斜之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離側之噴嘴的距離係較傾斜1列整體之時爲小，因此，經由複數之噴嘴列掃瞄基板之時間可被縮短。由此，可縮短E L裝置之製造時間。【發明之實施形態】 (第1之實施形態）以下，對於彩色濾色片之製造方法及該製造裝置之一實施形態加以說明。又，在說明此等之製造方法及製造裝本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) Γΐ6 - ' --I"-. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1-- 訂

1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（14) 置之前，對於使用此等之製造方法所製造之彩色濾色片加以說明。圖6 ( a )係將彩色濾色片之一實施形態之平面構造模式性地加以顯示。又，圖7 ( d )係顯示根據圖6 (a )之V I - V I線的截面構造。本實施形態之彩色濾色片1係於經由玻璃、塑膠等所形成之方形狀之基板2的表面，將濾色片元件3形成點圖案狀，於本實施形態中形成成爲點矩陣狀，更且如圖7 ( d )所示，於其上經由堆積保護層4加以形成。然而，圖 6 ( a )係平面顯示除去保護層4之狀態的彩色濾色片1 〇濾色片元件3係經由無透光性1之樹脂材料，藉由形成成爲格子狀之圖案的間隔壁6加以畫分，將成爲矩陣狀排列的複數之方形狀之範圍，經由以色材埋入而形成。又，此等之濾色片元件3各別經由R (紅）、G (綠）' B (藍）中之任一色的色材加以形成，此等之各色濾色片元件3成爲所定排列進行排列。做爲此排列，例如有圖8 ( a )所示之條紋排列、圖8 ( b )所示馬賽克排列、圖8 (c )所示5排列等。條紋排列係矩陣之縱列所有成爲同色之配色。馬賽克排列係排列於縱橫之直線上的任意之3個之濾色片元件，成爲R、G、B之3色所成配色。然後，5排列係將濾色片元件之配置成爲不同階段，任意鄰接之3個濾色片元件配色成爲R、G、B。圖6中，彩色瀘色片1之大小係例如1 · 8英吋。又 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17 - 1294055 Α7 Β7 五、發明説明（15) ，1個之濾色片元件3之大小係例如3 Ο μ m x 1 〇〇 μ m 。又，向各濾色片元件3間之間隔，所謂之元件間間隔係例如爲7 5 μ m。將本實施例之彩色濾色片1做爲全彩顯示之光學要素使用之時，將R、G、B 3個之濾色片元件3 ，做爲1個單元，形成1個畫素，於1畫素內之R、G、B之任一或此等之組合，將光經由選擇性通過，進行全彩顯示。此時，經由無透光性之樹脂材料形成之間隔壁6係做爲黑陣列加以作用。上述之彩色濾色片1係例如自圖6 ( b )所示之大面積之母基板1 2切出。具體而言，又，於設定於母基板 1 2內之複數之彩色濾色片形成範圍1 1之各表面，形成彩色濾色片1之1個分之圖案，更且於此等之彩色瀘色片形成範圍1 1之周圍，形成切斷用之溝，更且沿此等之溝 ’經由切斷母基板1 2，形成各個之彩色濾色片1。以下，對於製造圖6 ( a )所示之彩色濾色片1的製造方法及該製造裝置加以說明。圖7係將彩色濾色片1之製造方法依工程順序模式性加以顯示。首先，於母基板1 2之表面，經由無透光性之樹脂材料’將間隔壁6自箭頭B方向視之，形成成爲格子狀圖案。格子狀圖案之格子孔之部分7係形成濾色片元件 3之範圍，即濾色片元件範圍。自經由此間隔壁6形成之各濾色片元件範圍7之箭頭B方向視得情形之平面尺寸係例如形成成爲30μΓηχ1〇〇μηι。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21 Ο Χ 297公釐） _ 18 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（16) 間隔壁6係兼具有阻止供予濾色片元件範圍7之濾色片元件材料的流動機能及黑矩陣之機能。又，間隔壁6係經由任意之圖案手法，例如經由微縮術法加以形成，更且依需要，經由加熱器加熱燒成。間隔壁6之形成後，如圖7 ( b )所示，將濾色片元件材料之液滴8，經由供予各濾色片元件範圍7，將各濾色片元件範圍7以濾色片元件材料1 3加以埋入。於圖7 (b )中，符號1 3 R係顯示具有R (紅）色之濾色片元件材料，符號1 3 G係顯示具有G (綠）色之濾色片元件材料，然後符號1 3 B係顯示具有B (藍）色之濾色片元件材料。於各濾色片元件範圍7塡充所定量之濾色片元件材料時，經由加熱器，將母基板1 2例如加熱至7 0 °C程度，蒸發濾色片元件材料之溶媒。經由此蒸發，減少如圖7 ( c )所示之濾色片元件材料1 3的體積，而平坦化。於體積之減少激烈時，做爲彩色濾色片直至得充分膜厚，重覆進行濾色片元件材料之液滴的供給和該液滴的加熱。經由以上之處理，最終僅殘留濾色片元件材料的固體部而膜化，由此，形成期望各色之瀘色片元件3。經由以上，形成濾色片元件3之後，爲將此等之細線 3完全乾燥，於所定之溫度執行所定時間之加熱處理。之後，例如使用旋轉塗佈法，滾動塗佈法、刮塗法或噴墨法等之適切手法，形成保護膜4。此保護膜4係爲濾色片元件3等之保護及彩色濾色片1之表面之平坦化而形成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 19 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（17) 圖9所顯示爲進行圖7 ( b )所示之濾色片元件材料之供給處理的噴墨裝置之一實施形態。此噴墨裝置1 6係將R、G、B中之一色，例如將R色之濾色片元件材料做爲墨水之液滴，爲向母基板1 2 (參照圖6 ( b >)內之各彩色濾色片形成範圍1 1內之所定位置吐出附著的裝置。G色之濾色片元件材料及B色之濾色片元件材料的噴墨裝置雖亦被各別加以準備，此等之構造係可與圖9者相同之故，對於此等之說明則省略。於圖9中，噴墨裝置1 6係具有具備噴墨頭2 2之噴頭單元2 6，和控制噴墨頭2 2之位置之噴頭位置控制裝置1 7，和控制母基板1 2之位置之基板位置控制裝置 1 8，和將噴墨頭2 2對於母基板1 2主掃瞄移動的主掃瞄驅動裝置1 9，和將噴墨頭2 2對於母基板1 2副掃瞄移動的副掃瞄驅動裝置2 1 ，和將母基板1 2向噴墨裝置 1 6內之所定作業供給的基板供給裝置2 3，和然後司掌噴墨裝置1 6之整體之控制的控制裝置2 4。將噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、主掃瞄驅動裝置1 9，然後副掃瞄驅動裝置2 1之各裝置，設置於基台9上。又，此等之各裝置依需要經由覆蓋 1 4加以被覆。噴墨頭2 .2係例如圖2所示，具有複數、本實施形態爲6個之噴墨頭部2 0，和做爲並排此等之噴墨頭部2 0 加以支持的支持手段的支撐架2 5。支撐架2 5係於支持噴墨頭部2 0之位置，具有較噴墨頭部2 0略大之孔，即本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-20 - ---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·.....m -^-¾ · 訂

1294055 A7 B7 五、發明説明（18) 凹部，各噴墨頭部2 0係置入此等之孔中，更且，經由螺絲、黏著劑其他之締結手段所固定。又，對於支撐架2 5 之噴墨頭部2 0之位置被正確決定之時’無需使用特別之締結手段，經由單純之壓入，固定噴墨頭部2 0亦可。噴墨頭部2 0係例如如圖1 1所示，具有將複數之噴嘴2 7排列成爲列狀形成之噴嘴列2 8。噴嘴2 7之數係例如有1 8 0個，噴嘴2 7之孔徑係例如爲2 8 μ m，噴嘴 2 7間之噴嘴間隔係例如1 4 1 μ m。圖6 ( a )及圖6 ( b )中，對於彩色濾色片1及母基板1 2之主掃瞄方向X 及正交此之副掃瞄方向Y係於圖1 1中，設定爲如圖示。圖2中，各噴墨頭部2 0係具有此等噴嘴列2 8之延伸存在方向K 〇，對於支撐架2 5之長度方向之中心軸線 K 1 ，以角度0加以傾斜地，安裝支撐架2 5。又，噴墨頭2 2係如圖1所示，該支撐架2 5之中心軸線K 1與主掃瞄方向X交叉之方向，於本實施形態，向直角方向延伸地設定位置。即，各噴嘴列2 8係對於主掃瞄方向爲正角之副掃瞄方向Y，以角度β成爲傾斜狀態地加以位置設定〇噴墨頭2 2係雖經由向X方向平行移動，令母基板 1 2主掃瞄，於此主掃瞄之間，將做爲墨水之濾色片元件材料，自噴墨頭部2 0內之複數之噴嘴2 7，經由選擇性地吐出，於母基板1 2內之所定位置附著濾色片元件材料。又，噴墨頭2 2係經由向副掃瞄方向Υ平行移動所定所定距離，例如噴嘴列2 8之副掃瞄方向Υ成分之長度之6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） - 21- ~ ϋϋ· m T— it I - -- — m ϋϋ — --- n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（19) 分長度或較此爲短或較此爲長之長度加以平行移動，可將噴墨頭2 2所成主掃瞄位置以所定間隔加以偏移。各噴墨頭22係例如具有圖13 (a)及圖13 (b )所示內部構造。具體而言，噴墨頭部2 0係例如具有不鏽鋼製之噴嘴板2 9，和對向此之振動板3 1 ，和將此等相互接合之複數之區隔構件3 2。於噴嘴板2 9和振動板 3 1間，經由區隔構件3 2，形成複數之墨水室3 3和蓄液處3 4。複數之墨水室3 3和蓄液處3 4係介由通路 3 8相互連通。於振動板3 1之適切處，形成墨水供給孔3 6。於此墨水供給孔3 6，連接墨水供給裝置3 7。此墨水供給裝置3 7係將R、G、B中之一色，例如將R色之濾色片元件材料Μ供給至墨水供給孔3 6。被供給之濾色片元件材料Μ充滿蓄液處3 4，更且透過通路3 8，充滿於墨水室 3 3 〇於噴嘴板2 9中，將自墨水室3 3之濾色片元件材料 Μ，設置成爲噴射狀噴射的噴嘴2 7。又，於形成振動板 3 1之墨水室3 3面的背面，對應於該墨水室3 3，安裝墨水加壓體3 9。此墨水加壓體3 9係如圖1 3 ( b )所示，具有壓電元件4 1以及挾持此之一對之電極4 2 a及 4 2 b。壓電元件4 1係經由向電極4 2 a及4 2 b之通電，向以箭頭C所示外側突出地彎曲變形，由此，增大墨水室3 3之容積。結果，相當於增大之容積分的濾色片元件材料Μ自蓄液處3 4透過通路3 8，流向墨水室3 3。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22 - 1294055 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（20) 接著，解除向壓電元件4 1之通電時，逸壓電元件 4 1和振動板3 1係皆回到原本之形狀。由此，墨水室 3 3亦回到原本之容積之故，墨水室3 3之內部的濾色片 $件材料Μ之壓力上昇，自噴嘴2 7向母基板1 2 (參照圖6 ( b ))，濾色片元件材料Μ則成爲液滴8而噴出。然而，於噴嘴2 7之周邊部，爲防止液滴8之飛行彎曲或噴嘴2 7之孔阻塞，例如設置自N i -四氟乙烯共析鍍層所所成排墨水層4 3 〇於圖1 0中，噴頭位置控制裝置1 7係具有將噴墨頭 2 2面內旋轉之^馬達4 4，和將噴墨頭2 2向與副掃瞒方向Υ平行之軸線旋轉，搖動旋轉之/3馬達4 6、和將噴墨頭2 2向與主掃瞄方向平行之軸線旋轉，搖動旋轉之r 馬達4 7，和然後將噴墨頭2 2向上下方向平行移動之Ζ 馬達4 8 〇圖9所示之基板位置控制裝置1 8係於圖1 0中，具有載置有母基板1 2之平台4 9，和將該平台4 9如箭頭 Θ面內旋轉之Θ馬達5 1。又，示於圖9之主掃瞄驅動裝置1 9係如圖1 0所示，具有向主掃瞄方向X延伸之導軌 5 2，和內藏脈動驅動之線性馬達的滑動件5 3。滑動件 5 3係作動內藏之線性馬達時，沿導軌5 2向主掃瞄方向平行移動。又，示於圖9之副掃瞄驅動裝置2 1係如圖1 〇所示，具有向副掃瞄方向Υ延伸之導軌5 4，和內藏脈衝驅動之線性馬達的滑動件5 6。滑動件5 6係作動內藏之線性 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -23 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（21) 馬達時，沿導軌5 4，向副掃瞄方向Y平行移動。於滑動件5 3或滑動件5 6內，脈衝驅動之線性馬達係經由供予該馬達之脈衝信號，可精密進行輸出軸之旋轉陞角度控制，因此可高精度控制支持於滑動件5 3之噴墨頭2 2之主掃瞄方向X上之位置或平台4 9之副掃瞄方向 Y上之位置等。然而，噴墨頭2 2或平台4 9之位置控5 係不限於使用脈衝馬達之位置控制，亦可經由使用伺服馬達之反饋控制，或其他任意之控制方法加以實現。圖9所示之基板供給裝置2 3係具有收容母基板1 2 之基板收容部57，和搬送母基板12之機器人58。機器人5 8係具有置於設置底板、地面等之設置面的基台 5 9，和對於基台5 9昇降移動之昇降軸6 1 ，和將昇降軸6 1做爲中心旋轉之第1手臂6 2，和對於第Γ手臂 6 2旋轉之第2手臂6 3，和設於第2手臂6 3之前端下面的吸附墊6 4。吸附墊6 4係經由空氣吸引等，吸附母基板1 2 〇於圖9中’經由主掃猫驅動裝置1 9驅動，主掃瞄移動之噴墨頭2 2之軌跡下，於副掃瞄驅動裝置2 1之一方之旁側位置，配設覆蓋裝置7 6及淸潔裝置7 7。又，於其他之旁側位置，配設電子天平7 8。淸潔裝置7 7係爲洗浄噴墨頭2 2之裝置。電子天平7 8係將自噴墨頭2 2 內之各噴嘴2 7 (參照圖1 1 )吐出之墨水之液滴之重量，按每噴嘴測定之機器。然後，覆蓋裝置7 6係噴墨頭 2 2爲待機狀態時，爲防止噴嘴2 7 (參照圖1 1 )之乾 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -24 - " " (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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1294055 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（22) 燥的裝置。於噴墨頭2 2附近，以與該噴墨頭2 2 —體移動的關係，配設噴墨用攝影機8 1。又，支持於設於基台9上之支持裝置（未圖示）的基板用攝影機8 2，配置於可攝影母基板12之位置。圖9所示之控制裝置2 4係具有收容處理器之電腦本體部6 6，和做爲輸入裝置之，和做爲顯示裝置之C R T (陰極射線管）顯示器6 8。上述處理器係具有如圖1 5 所示，進行演算處理之CPU (中央處理器）69，和記憶各資訊之記憶體，即資訊記憶媒體7 1。驅動圖9所示之噴頭位置控制裝置17、基板位置控制裝置1 8、主掃瞄驅動裝置1 9、副掃瞄驅動裝置2 1 、然後噴墨頭2 2內之壓電元件4 1 (參照圖13 (b) )之噴墨驅動電路7 2之各機器，係於圖1 5 ，藉由輸出入界面7 3及匯流排7 4，連接於C P U 6 9。又，基板供給裝置2 3、輸入裝置6 7、顯示器6 8、電子天平 7 8、淸潔裝置7 7及覆蓋裝置7 6之各機器亦藉由輸出入界面73及匯流排74，連接於CPU69。記憶體7 1係包含R A Μ (隨機存取記憶體）、 R 〇 Μ (唯讀記憶體）等之半導體記憶體，或硬碟、c D - R 〇 Μ讀取裝置、碟片型記憶媒體等之外部記憶裝置的槪念’機能上設定記憶記述噴墨裝置1 6之動作之控制手續的程式軟體的記憶範圍，或將爲實現示於圖8之各種R 、G、Β排列的r、g、Β中之一色的母基板1 2 (參照本紙張尺度適用中國國家檩準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）-25 _ — -—I. - ml 4!00 I—I ! —：i I 0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 五、發明説明（23) 圖6 )內之吐出位置，做爲座標資料加以記憶的記憶範圍，或爲記憶圖1 0之副掃瞄方向Y的母基板1 2之副掃瞄移動量的記憶範圍，或做爲C P U 6 9之工作區域或暫存檔案等之機能範圍，或其他各種之記憶範圍。 C P U 6 9係根據記憶於記憶體7 1內的程式軟體，於母基板1 2，在表面之所定位置，進行吐出墨水，即吐出濾色片元件材料之控制，做爲具體性之機能實現，具有爲實現淸潔處理之演算的淸潔演算部，和爲實現縫隙處理的縫隙演算部，和爲進行實現使用電子天平7 8 (參照圖 9 )之重量測定的演算之重量測定演算部，和爲進行經由噴墨描繪濾色片元件材料之演算的描繪演算部。將描繪演算部詳細分割時，具有對爲描繪噴墨頭2 2 .之起始位置進行設定之描繪開始位置演算部，和演算將噴墨頭2 2后主掃瞄方向X以所定之速度掃瞄移動的控制的副掃瞄控制演算部，和然後作動噴墨頭2 2內之複數之噴嘴2 7中之任一者，進行爲控制是否吐出墨水即濾色片元件材料的演算的吐出控制演算部等的各種之機能演算部。然而，於本實施形態中，雖將上述各機能使用C P U 6 9以軟體加實現，上述之各機能經由未使用C P U之單獨電子電路加以實現之時，可使用如此之電子電路。以下，將自上述構成所成之噴墨裝置1 6之動作，根據圖1 5所示之流程加以說明。經由操作員所成電源投入，作動噴墨裝置1 6時，首先。於步驟S 1中，執行啓始設定。具體而言，噴頭單元本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（24) 2 6或基板供給裝置2 3或控制裝置2 4等設定成爲預先決定之啓始狀態。接著，到達重量測定時間（步驟s 2爲Y E S )，將圖1 0之噴頭單元2 6經由主掃瞄驅動裝置1 9，移動至圖9之電子天平7 8處（步驟S3)，將自噴嘴2 7吐出之墨水之量’使用電子天平7 8加以測定（步驟S 4 )。然後，配合噴嘴2 7之墨水吐出特性，調節施加於對應於各噴嘴2 7之壓電元件4 1的電壓（步驟s 5 )。接著，到達淸潔時間時（步驟S 6爲Y E S )、將噴頭單元2 6經由主掃瞄驅動裝置19移動示淸潔裝置7 7 之處（步驟S7)，經由淸潔裝置77淸潔噴墨頭22 ( 步驟S 8 )。不到達重量測定時間或淸潔時間時（步驟S 2及S 6 爲NO)，或此等之處理終了之時，於步驟S9，作動圖 8之基板供給裝置2 3，將母基板1 2供給至平台4 9。具體而言，將基板收容部5 7內之母基板1 2經由吸附墊 6 4加以吸附保持，接著，移動昇降軸6 1、第1手臂 62及第2手臂63，將母基板12搬送至平台49，更且於平台4 9之適切處，擠壓預先設置之定位針腳5 0 ( 圖10)。然而，爲防止平台49上之母基板12之位聲偏移，經由空氣吸引等之手段將母基板1 2回定於平台 4 9者爲佳。接著，經由圖9之基板用攝影機8 2 ’觀察母基板 1 2地，將圖1 0之0馬達5 1之輸出軸經由以微小角度 . - -一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27 - 1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（25) 單位旋轉，將平台4 9以微小角度單位面內旋轉，定位母基板1 2 (步驟S 1 〇 )。接著，經由圖9之噴墨用攝影機8 1 ，觀察母基板1 2地，經由噴墨頭2 2，藉由演算開始描繪之位置加以決定（步驟S 1 1 )，然後，適切動作主掃瞄驅動裝置1 9及副掃瞄驅動裝置2 1 ，將噴墨頭 2 2向描繪開始位置移動（步驟S 1 2 )。此時，噴墨頭2 2係如示於圖1 ( a )之位置，噴嘴列2 8對於噴墨頭2 2之副掃瞄方向Y，以角度0加以傾斜配設。此係於通常之噴墨裝置時，鄰接噴嘴2 7之間之間隔的噴嘴間間隔的噴嘴間間隔，和鄰接之瀘色片元件3 即濾色片元件材料形成範圍7之間之間隔的元件間隔不同爲多，將噴墨頭2 2向主掃瞄方向X移動時，噴嘴間間隔之副掃瞄方向Y之尺寸法成分與元件間隔成幾何學上相等而成之措施。於圖1 5之步驟S 1 2，噴墨頭2 2置於描繪開始位置時，於圖1中，噴墨頭2 2係置於（a )位置。之後，於圖1 5之步驟S 1 3中，開始對主掃瞄方向X之主掃瞄，同時開始墨水之吐出。具體而言，圖1 0之主掃瞄驅動裝置1 9則作動，噴墨頭2 2向圖1之主掃瞄方向X，以一定之速度直線性掃瞄移動，該移動中，到達對應於欲供給墨水之濾色片元件範圍7的噴嘴2 7時，自該噴嘴2 7 吐出墨水即濾色片元件材料，埋入該範圍7形成濾色片元件3。噴墨頭2 2係對於母基板1 2之1次之主掃瞄終了時本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -28:~一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（26) (於步驟S 1 4爲Y E S )、反轉移動向啓始位置回歸（步驟S 1 5 )。然後更且，噴墨頭2 2係經由副掃瞄驅動裝置2 1驅動，向副掃瞄方向Y僅移動預先決定之副掃瞄量，例如僅移動6個之噴嘴列2 8之位計長度的副掃瞄方向Y成分（步驟16)。然後’接著，重覆主掃瞄及墨水吐出加以進行，濾色片元件範圍7經由濾色片元件材料埋入，形成濾色片元件3 (步驟S 1 3 )。如以上之噴墨頭2 2所成之濾色片元件3之描繪作業，對於母基板1 2之所有範圍終了時（步驟S 1 7爲 YES)，於步驟S 1 8中，將母基板1 2經由基板供給裝置2 3 ，或經由其他之輸送機器，處理後之母基板1 2 向外部排出。之後，未經由操作員指示處理終止的狀況下 (於步驟S 1爲N〇），回到步驟S 2，重覆關於對於其他之母基板1 2的R、G、B中之一色的墨水吐附作業加以進行。由操作員有作業終止的指示時，（於步驟S 1 9爲 YES) 、CPU69於圖9中，將噴墨頭22搬送至覆蓋裝置7 6處，經由該覆蓋裝置7 6對於噴墨頭2 2施以加蓋處理（步驟S 2 0 )。經由上述，構成彩色濾色片之R、G、B 3色中之第 1色，例如對於R色之圖案化則終了，之後，將母基板 1 2向R、G、B3色中之第2色，例如將G色爲濾色片元件材料的噴墨裝置1 6搬送進行G色之圖案化。更且最後’將R、G、B第3色，例如將B色爲濾色片元件材料本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -29 · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（27) 的噴墨裝置1 6搬送至B色之圖案化。由此’具有條紋排列等之期望R、G、B之點排列的彩色濾色片1 (圖6 ( a ))則製造複數個形成之母基板1 2。經由將此母基板 1 2按彩色濾色片形成範圍1 1切斷，切出複數個1個之彩色濾色片1。然而，令本彩色濾色片1爲液晶裝置之彩色顯示而使用之時，於本彩色濾色片1之表面，更堆積電極或配向膜等。此時，於堆積電極或配各膜等之前，切斷母基板1 2 ，而切出各彩色濾色片1時，非於母基板1 2上，完成彩色濾色片1之後，馬上切斷母基板1 2，於電極形成或配各膜形成等之必要附加工程終止之後，再切斷母基板1 2 者爲佳。如以上所述，根據有關本實施形態之彩色濾色片之製造方法及製造裝置時，如圖1所示，經由支持複數之噴墨頭部2 0的支持手段的支撐架2 5，將基板1 2於主掃瞄間，自此等之複數之噴墨頭部2 〇之噴嘴列2 8，將墨水吐出之故，較僅使用1個之噴頭部，掃瞄基板1 2之表面時’可縮短掃瞄時間，因此，可縮短彩色濾色片之製造時間。又，各噴墨頭部2 0係對於副掃瞄方向Y以角度（9之傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴墨頭部2 0之複數之噴嘴2 7之噴嘴間間隔，一致於基板1 2上之濾色片元件範圍7間之間隔，即一致於元件間間隔。如此地，將噴嘴間間隔和元件間間隔成幾何學上一致時，無需將噴嘴本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇 X 297公釐） _ 30 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（28) 列2 8關於副掃瞄方向Y地加以位置控制之故，因此爲佳 0 然而，於本實施形態中，噴墨頭部2 〇固定於支撐架 2 5之故，傾斜角度Θ係對於1個之支撐架2 5爲1種類。因此，變化基板1 2側之元件間間隔時，可實現對應於該元件間間隔之傾斜角度0。更且，本實施形態中，非傾斜支撐架2 5之整體，而傾斜各噴墨頭部2 〇之故，接近基板1 2之噴嘴2 7和自基板1 2遠離之噴嘴2 7的距離T係較傾斜支撐架2 5之整體時明顯變小，因此，可使經由噴墨頭2 2掃瞄基板 1 2之時間明顯縮短由此，可縮短彩色濾色片之製造時間 0 然而，於本實施形態之製造方法中，經由使用噴墨頭 2 2之墨水吐出，形成濾色片元件3之故，無需經過使用微縮術法之方法的複雜工程，亦無材料上的浪費。於第1實施形態中，做爲間隔壁6使用無透光性之樹脂材料，但做爲透光間隔壁6，使用透光性之樹脂材料亦可。按情形視之，對於濾色片元件間之位置，例如於間隔壁6上，間隔壁6之下，設置另外遮光性之金屬膜或樹脂材料，做爲黑色矩陣亦可。又，於第1實施形態中，做爲濾色片元件，使用了 R 、G、B，但是不限定於R、G、B，採用例如C (青藍 )、Μ (洋紅）、Υ (黃）亦無妨。於該時，改變R、g 、Β濾色片元件材料，使用具有c、Μ、Υ色之濾色片元本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）-31 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 ___ 五、發明説明（29) 件材料即可。 (第2實施形態）圖3係經由有關本發明之彩色濾色片之製造方法及製造裝置之其他之實施形態，使用噴墨頭2 2，向母基板 1 2內之彩色濾色片形成範圍1 1內之各濾色片元件形成範圍7，經由吐出墨水，即吐出濾色片元件材料加以供給之時，模式性地加以顯示。經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖7所示之工程相同，爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦與圖9所示之裝置在機構上爲相同者。本實施形態與圖1所示之先前之實施形態不同之處係加上支撐架2 5所成噴墨頭部2 0之支持構造的改變。具體而言，於圖4中，將各噴墨頭部2 0對於支撐架2 5，令噴墨頭部2 0之中心線軸K 2爲中心，可如箭頭N旋轉 ’即於面內可旋轉地加以支持。又，將各噴墨頭部2 〇對於支撐架2 5如箭頭P所示滑動移動，即，可支持於面內平行移動。又，於支撐架2 5附設噴嘴列角度控制裝置 8 3及噴嘴列間隔控制裝置8 4。噴嘴列角度控制裝置8 3係將複數之噴嘴列2 8之面內傾斜角度Θ，個別或整體地加以控制。此噴嘴列角度控制裝置8 3係雖可經由任意之構成加以構成，例如可於外殼2 5如箭頭N，將呈面內可旋轉安裝之噴頭部2 〇，直接或藉由動力傳達機構等連接於可進行脈衝馬達或伺服馬本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）~ -32: '' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 、11,

1294055 A7 B7 五、發明説明（30) 達等之旋轉角度控制的動力源地加以構成。根據此構成時，經由控制上述動力源之輸出角度値，令各噴頭部2 0之傾斜角度Θ，調節於期望之値，更且經由令該調節後之上述動力源之輸出軸，保持於鎖定狀態，可將各噴頭部2〇之傾斜角度Θ，固定保持於期望之値。又，噴嘴列間隔控制裝置8 4係將複數之噴嘴列2 0 之間隔，按每間隔，各別或整體地加以控制者。此噴嘴列間隔控制裝置8 4係雖可經由任意之構造加以構成，例如如箭頭P，於外殼2 5，將安裝成爲可滑動移動之噴頭部 2 0，連接於脈衝馬達或伺服馬達等之可控制旋轉角度的旋轉機器爲動力源之滑動驅動裝置，或使用線性馬達等之直動驅動源構成之滑動驅動裝置加以構成。根據本實施形態時，令圖4之噴嘴列角度控制裝置 8 3動作，於圖3將噴頭部2 0如箭頭N經由面內旋轉，調節噴頭部2 0之面內傾斜角度Θ，將噴嘴列2 8之噴嘴間間隔，一致於基板1 2之濾色片元件形成範圍7之元件間間隔。然後，更更且令圖4之噴嘴列間隔控制裝置8 4 動作，於圖3中調節噴頭部2 0之間之間隔，將相互鄰接之噴嘴列2 8之端部間之噴嘴間距離，一致於基板1 2側之元件間間隔。經由以上者，可令6個之噴嘴列2 8形成成爲具有一致於元件間間隔之噴嘴間間隔的連接長度的噴嘴列。如此，根據本實施形態時，經由適切調節1個之噴墨頭2 2內之噴嘴間間隔，將元件間間隔之不同圖案描繪於基板1 2 ϋϋ- ϋϋ ϋϋ 4ιϋ m-ι ϋϋ ι__ϋ.1 m ί W (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -33 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（31) 上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (第3實施形態）圖5係經由有關本發明之彩色濾色片之另外之製造方法及製造裝置之其他之實施形態，使用噴墨頭2 2，向母基板1 2內之彩色濾色片形成範圍1 1內之各濾色片元件形成範圍7，經由吐出墨水，即吐出濾色片元件材料加以供給之時，模式性地加以顯示。經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖7所示之工程相同，爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦與圖9所示之裝置在機構上爲相同者。本實施形態與先前圖1及圖3所示之實施形態不同之處，係噴嘴列2 8之傾斜角度Θ於噴嘴列2 8間，大小爲同，但傾斜方向則於正負間有交互之變化。經由此方法時，亦可令6個之噴嘴列2 8形成成爲具有一致於元件間間隔之噴嘴間間隔的連接長度的噴嘴列。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而，有關於本實施形態，亦可如圖1所不，成爲噴嘴列2 8被固定之構造，或可如圖3所示’噴嘴列2 8之傾斜角度Θ及噴嘴列間距離成爲可調節之構造。 (第4實施形態）圖1 2係顯示本發明所使用噴頭部2 0之改變例。在此所示噴頭部2 0與圖1 1所示之噴頭部2 0不同之處係將噴嘴列2 8沿主掃瞄方向X 2列設置者。由此，經由載本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） -34 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（32) 設於同樣主掃瞄線之2個噴嘴2 7，可於1個之濾色片元件形成範圍7，供給瀘色片元件材料。然而，於本實施形態中，噴墨頭2 2之中心軸線K 0 係對於副掃瞄方向Y，傾斜面內傾斜角度<9之故，2段之噴嘴列2 8內之噴嘴2 7，係於支撐架2 5之中心軸線 K 0，排並列於直角方向，載設於主掃瞄方向X地，由支撐架2 5視之，相互偏移排列者爲佳。 (第5實施形態）圖1 6係顯示本發明所使用噴頭部2 0之其他改變例。在此所示噴頭部2 0與圖1 1所示之噴頭部2 0不同之處係將吐出R色墨水之噴嘴列2 8 R、和吐出G色墨水之噴嘴列2 8 G，和吐出B色墨水之噴嘴列2 8 B的3類之噴嘴列，形成於1個之噴頭部2 0，於此等3種類，設置圖1 3 ( a )及圖1 3 ( b )所示之墨水吐出系統，於對應於R色噴嘴列2 8 R之墨水吐出系統中，連接R墨水供給裝置3 7 R，於對應於G色噴嘴列2 8 G之墨水吐出系統中，連接G墨水供給裝置3 7 G、於對應於B色噴嘴列 2 8 B之墨水吐出系統中，連接B墨水供給裝置3 7 B。經由本實施形態所實施之槪略工程係與圖7所示之工程相同，爲墨水吐附所使用之噴墨裝置亦與圖9所示之裝置相同。圖1 1所示之實施形態中，於噴頭部2 0 ，僅設置1 種之噴嘴列2 8之故，經由R、G、B 3色，形成彩色瀘 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T,

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（33) 色片時，圖2所示之噴頭部2 2，需對於R、G、B之各 3色加以準備。對此，使用圖1 6所示之構造之噴頭部 2 0時，經由向具備複數個之噴頭部2 0之噴墨頭2 2之 X方向之1次之主掃瞄，可將R、G、B之3色同時附著於母基板1 2之故，噴墨頭2 2係僅需準備1個即足夠。 (第6實施形態）圖1 7係顯示有關本發明之液晶裝置之製造方法之一實施形態。又，圖1 8係顯示經由此製造方法製造之液晶裝置之一實施形態。又，圖1 9係顯示根據圖1 8之X -X線的液晶裝置之截面構造。在液晶裝置之製造方法及製造裝置之說明之前，首先，將經由該製造方法所製造之液晶裝置，列舉該一例加以說明。然而，本實施形態之液晶裝置係以單純矩陣方式進行全彩顯示之半透過反射方式之液晶裝置。於圖1 8中，液晶裝置1 0 1係於液晶面板1 0 2，安裝做爲半導體晶片之液晶驅動用I C 1 〇 3 a及 1 0 3 b，將做爲配線連接要素之F P C (可撓性印刷電路）1 0 4，連接於於液晶面板1 0 2，更且於於液晶面板1 0 2之背面側，將照明裝置1 〇 6做爲背光設置形成 0 液晶面板1 0 2係將第1基板1 0 7 a和第2基板 1 0 7 b經由密封材1 〇 8加以貼合形成。密封材1 〇 8 係例如經由網版印刷等，將環氧樹脂於第1基板1 〇 7 a (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 36 _ 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（34) 或第2基板1 0 7 b之內側表面，經由成爲環狀附著加以形成。又，此密封材1 0 8之內部中，如圖1 9所示，經由導電性材料，形成成爲球狀或圓筒狀之導通材1 0 9，以分散狀態加以包含。於圖1 9中，第1基板1 0 7 a係具有經由透明之玻璃，或透明之塑膠等形成之板狀基材1 1 1 a。於此板狀基材1 1 1 a之內側表面（圖1 9之上側表面），形成反射膜1 1 2，於其上堆積絕緣膜1 1 3，於其上第1電極 1 1 4 a自箭頭D方向視之，形成成爲條紋狀（參照圖 18)，更且，於其上形成配向膜116a。又，基材 1 1 1 a之外側表面（圖1 9之下側表面），偏光板 1 1 7 a則經由貼著等加以裝設。圖1 8中，爲使第1電極1 1 4 a之排列易於了解顯示，將此等之條紋間隔較實際大寬放寬加以描繪，因此，第1電極1 1 4 a之條數雖然描繪得少，但實際上，第1 電極1 1 4 a係有更多條形成於基材1 1 1 a上。於圖1 9中，第2基板1 0 7 b係具有經由透明之玻璃，或透明之塑膠等形成之板狀基材1 1 1 b。於此基材 1 1 1 b之內側表面（圖1 9之下側表面），形成彩色濾色片11 8，於其上第1電極1 1 4b，向與上述第1電極1 1 4 a正交之方向，自箭頭D方向視之，形成成爲條紋狀（參照圖1 8 )，更且，於其上形成配向膜1 1 6 a 〇又，於基材1 1 1 b之外側表面（圖1 9之上側表面本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -37 - ----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) _ f - - J 1 · 訂

1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（35) )，偏光板1 1 7 b經由貼著等加以裝設。圖1 8中，爲使第2電極1 1 4 b之排列易於了解顯示，與第1電極1 1 4 a之時同樣地，將此等之條紋間隔較實際大寬放寬加以描繪，因此，第2電極1 1 4 b之條數雖然描繪得少，但實際上，第2電極1 1 4 b係有更多條形成於基材1 1 1 b上。於圖1 9中，於經由第1基板1 0 7 a、第2基板 1 0 7 b及密封材1 0 8包圍之間隙，所謂格間隔內，封入液晶，例如封入S T N (超級扭轉向列）液晶L。於第 1基板1 0 7 a或第2基板1 0 7 b之內側表面，微小球形之間隔物1 1 9則多數分散，此等之間隔物1 1 9則經由存在於格間隔內，均勻維持該格間隔之厚度。第1電極1 1 4 a和第2電極1 1 4 b係相互成正交關係加以配置，此等之交叉點係自圖1 9之箭頭D方向視之，排列成爲點矩陣狀。然後，該點矩陣狀之各交叉點則構成1個之畫素。彩色濾色片1 1 8係將R (紅）、G ( 綠）、B (藍）之各色要素，自箭頭D方向視之，所定之圖案，例如經由條紋排列、5排列、馬賽克排列等之圖案之排列加以形成。上述之1個之圖素畫素係對應此等之R 、G、B之各一個，然後，R、G、B之3色圖素畫素則成爲1個之單元，構成1畫素。將排列成爲點矩陣狀之複數之圖素畫素，即將畫素選擇性地經由發光，於於液晶面板1 0 2之第2基板 1 0 7 b之外側，顯示文字、數字等之像。由此，像顯示本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 38 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（36) 之範圍爲有效畫素範圍，於圖1 8及圖1 9中，經由箭頭 V所示之平面之矩形範圍成爲有效顯示範圍。於圖1 9中，反射膜1 1 2係經由A P C合金、A 1 (鋁）等之光反射材料加以形成，於對應於第1電極 1 1 4 a和第2電極1 1 4 b之交叉點的各圖素畫素的位置，形成開口 1 2 1。結果，開口 1 2 1係自圖2 0之箭頭D方向視之，與圖素畫素同樣排列成爲點矩陣。第1電極1 1 4 a及第2電極1 1 4 b係例如經由透明導電材之I T ◦加以形成。又，配向膜1 1 6 a及 1 1 6 b係將聚醯亞胺系樹脂經由附著成爲一樣厚度之膜狀地加以形成。此等之配向膜1 1 6 a及姐1 1 6 b則經由接受平磨處理，決定第1基板1 0 7 a及第2基板 1 0 7 b之表面上的液晶分子之啓始排列。於圖1 8中，第1基板1 0 7 a你形成於較第2基板 1 0 7 b爲廣之面積，將此待之基板經由密封材1 〇 8加以貼合時，第1基板1 0 7 a係具有向第2基板1 0 7 b 之1外側展開之基板展開部1 0 7 c。然後，於此基板展開部1 0 7 c，自第1電極1 1 4 a延伸出之拉出配線 1 1 4 c、藉由存在於密封材1 0 8之內部的導通材 1 〇9 (參照圖1 9)與第2基板1 0 7b上之第2電極 1 1 4 b導通的拉出配線1 1 4 d、液晶驅動用 I C 1 0 3 a之輸入用突起電極、即連接於輸入用端子的金屬配線1 1 4 e、然後連接於液晶驅動用I C 1 〇 3 b 之輸入用突起電極的金屬配線1 1 4 f等之各種之配線則本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（37) 以適切之圖案加以形成。於本實施形態，自第1電極1 1 4 a延伸之拉出配線 1 1 4 d及導通於第2電極1 1 4 b之配線1 1 4 d係與此等之電極同樣之材料的I T〇，即經由導電性氧化物加以形成。又，液晶驅動用I c 1 0 3 a及1 0 3 b之輸入側之配線的金屬配線1 1 4 e及1 1 4 f係經由電氣阻抗値低之金屬材料，例如經由A P C合金加以形成。A P C 合金係主要包含Ag，附代包含P d及C u合金，例如 Ag98%、Pdl%、Cul%所成合金。液晶驅動用I c 1 0 3 a及液晶驅動用I c 1 0 3 b 係經由A C F (向異性導電膜）1 2 2，黏著於基板展開部1 0 7 c之表面加以安裝。即，於本實施形態中，於基板上，直接安裝半導體晶片之構造，即做爲C 0 G ( Chip 〇n Glass)方式之液晶面板加以形成。於此C〇G方式之安裝構造中，經由包含於A C F 1 2 2之內部的導電粒子，液晶驅動用I C 1 0 3 a及1 0 3 b之輸入側突起電極和金屬配線1 1 4 e及1 1 4 f則導電連接，導電連接液晶驅動用I C 1 0 3 a及1 0 3 b之輸出側突起電極和拉出配線1 1 4 c。於圖1 8中，F P C 1 〇 4係具有可撓性之樹脂薄膜 1 2 3、和包含晶片零件1 2 4構成之電路1 2 6，和金屬配線端子1 2 7。電路1 2 6係於樹脂薄膜1 2 3之表面加以銲接，經由其他之導電連接手法加以直接搭載。又，金屬配線端子1 2 7係經由A P C合金、C r 、C u其 ------I 1 -- _ --------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40 - 1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7 ___五、發明説明（38) 他之導電材料加以形成。形成F P C 1 0 4中之金屬配線端子1 2 7的部分係於第1基板1 0 7 a中之金屬配線 1 1 4 e及金屬配線1 1 4 f形成之部分，經由A C F 1 2 2加以連接。然後，經由包含於A C F 1 2 2之內部的導電粒子之工作，導通基板側之金屬配線1 1 4 e及 F P C側之金屬配線端子1 2 7。於F P C 1 〇 4之相反側之邊端部，形成外部連接端子1 3 1 ，此外部連接端子1 3 1連接於未圖示之外部電路。然後，根據自此外部電路傳送之信號，驅動液晶驅動用IC103a及l〇3b，於第1電極114a及第2 電極1 1 4 b之一方，供給掃瞄信號，於另一方供給資料信號。由此，排列於有效顯示範圍V內之點矩陣狀之圖素畫素，於每畫素電壓控制，結果，液晶L之排列按各圖素晝素加以控制。於圖1 8中，所謂做爲背光工作之照明裝置1 〇 6係如圖2 0所示，經由丙烯酸樹脂等構成之導光體1 3 2，和設於該導光體1 3 2之光射出面1 3 2 b的擴散薄片 133，和設於導光體132之光射出面132b之相反面的反射薄片1 34，和做爲發光源之LED1 3 6。 LED136係支持於LED基板137，該LED 基板1 3 7係裝著於例如與導光體1 3 2 —體形成之支持部（未圖示）6 L E D基板1 3 7則經由裝著於支持部之所定位置，L E D 1 3 6則置於對向於導光體1 3 2之側邊端面之光處理面1 3 2 a的位置。然而，符號1 3 8係本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公董) _ 41 -—' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂-

1294055 A7 B7 五、發明説明（39) 爲緩衝施加於於液晶面板1 〇 2之衝擊的緩衝材。 LED 1 3 6發光時，該光係自光處理面1 3 2 a處理，向導光體1 3 2之內部引導’於反射薄片1 3 4或導光體1 3 2之壁面加以反射傳播之期間’自光射出面 1 3 2 b透過擴散薄片1 3 3，向外部做爲平面光加以射出。本實施形態之液晶裝置1 0 1係如以上加以構成之故，太陽光、室內光等之外部光爲充分明亮之時，於圖2 0 中，自第2基板1 0 7 b側之外部光則向液晶面板1 0 2 之內部處理，該光通過液晶L後，以反射膜1 1 2加以反射，再供給至液晶L。液晶L經由挾持此之第1電極 1 1 4a及1 14b，於每R、G、B之圖素畫素加以排列控制，因此，向液晶L供給之光係按每圖素畫素加以調變，經由此調變，藉由通過偏光板1 1 7 b之光，和不會g 通過之光，於於液晶面板1 0 2之外部，顯示文字、數字等之像。由此，進行反射型之顯示。另一方面，無法得充分外部光之光量時，L ED 1 3 6則發光，自導光體1 3 2之光射出面1 3 2 b射出平面光，該光則通過形成於反射膜1 1 2之開口 1 2 1 ’ 向液晶1供給。此時，與反射型之顯示同樣地，供給之光經由排列控制之液晶L，按圖素畫素加以調變，由此’向外部顯示像。由此，進行透過型之顯示。上述構成之液晶裝置1 0 1係例如經由圖1 7所示之製造方法加以製造。於此製造方法中，工程P 1〜工程本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42 - ---r 丨—.----衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T1

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（40) P 6之一連串之工程，爲形成第1基板1 〇 7 a之工程，工程P 1 1〜工程P 1 4之一連串之工程，爲形成第2基板1 0 7 b之工程。第1基板形成工程和第2基板形成工程係通常各自獨立進行。首先，對於第1基板形成工程加以說明時，於經由透光性玻璃、透光性塑膠等形成之大面積之母原料基材之表面，將於液晶面板1 0 2之複數個份之反射膜1 1 2使用微縮術法等加以形成，更且，於其上，將絕緣膜1 1 3使用公知之成膜法加以形成（工程P 1 )，接著，使用微縮術法等，形成第1電極1 1 4 a及配線1 1 4 c、 114d、114e、114f (工程P2)。接者，於第1電極1 1 4 a上，經由塗佈、印刷等，形成配向膜1 1 6 a (工程P 3 )，更且對於該配向膜 1 1 6 a ，經由施以平磨處理，決定液晶之啓始排列（工程P 4 )。接著，例如經由網版印刷等，將密封材1 0 8 形成爲成環狀（工程P 5 )，更且於其上分散覆球狀之間隔物1 1 9 (工程6 )。經由以上，形成具有複數個於液晶面板1 0 2之第1基板1 0 7 a上之面板圖案的大面積之母第1基板。除了以上之第1基板形成工程之外，實施第2基板形成工程（圖1 7之工程P 1 1〜工程P 1 4 )。首先，準備經由透光性玻璃、透光性塑膠形成之大面積之母原料基材，於該表面形成於液晶面板1 0 2之複數個之彩色濾色片1 1 8 (工程P 1 1 )。此彩色濾色片之形成工程係使 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) h - -- I Γ . 、?τ

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -43 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（41) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 用圖7所示之製造方法加以進行，該製造方法中之r、G 、B之各乙色濾色片元件之形成係使用圖9之噴墨裝置 16 ，根據示於圖1 、圖2、圖3、圖4、圖5等之噴墨頭之控制方法加以執行。此等之彩色濾色片之製造方法及噴墨頭之控制方法係與已說明之內容相同，因此省略該說明。如圖7 ( d )所示，於母基板1 2，即母原料基材上，形成彩色濾色片1 ，即彩色濾色片1 1 8時，接下來經由微縮法，形成第2電極1 1 4 b (工程P 1 2 )，更且經由塗佈、印刷等，形成第2電極1 1 4 b (工程P 1 3 )，更且對於該配向膜1 1 6 b，施以平磨處理，決定液晶之啓始排列（工程P 1 4 )。經由以上，形成具有複數於液晶面板1 0 2之第2基板1 0 7 b上之面板圖案的大面積之母第2基板。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經由以上，形成大面積之母第1基板及母第2基板後，將此等之主機板，挾於密封材1 0 8之間對準，即於定位之狀態下，加以相互貼合（工程P 2 1 )。由此，形成包含液晶面板複數個分之面板部分，未封入液晶狀態的空面板構造。接著，於完成之空面板構造體之所定位置，形成條紋狀溝，即形成切斷用溝，更且令該條紋狀溝爲基準，破裂面板構造9，即切斷（工程P 2 2 )。由此，各液晶面板部分之密封材1 0 8之液晶注入用開口液晶注入用開口 1 1 0 (參照圖1 8 ) ’形成向外部露出狀態之所謂短冊本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 44 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（42) 狀之空面板構造體° 之後，透過露出之液晶注入用開口 1 1 〇 ’於各液晶面板部分之內部，注入液晶L，更且將各液晶注入口 1 1 0經由樹脂等加以封閉（工程p 2 3 ) °通常之液晶注入處理係例如於貯留容器中’貯留液晶’將貯留該液晶之貯留容器和短冊狀之空面板置入處理室內’將該處理室等成爲真空狀態之後，於該處理室之內部’於液晶中浸漬短冊狀之空面板’之後’將處理室開放至大氣壓下而進行者。此時，空面板之內部係真空狀態之故，經由大氣壓加壓之液晶則透過液晶注入用開口 ’向面板之內部導入。於液晶注入後之液晶面板構造體之周圍’附著液晶之故’液晶注入處理後之短冊狀面板係於工程2 4 ’接受洗淨處理〇之後，對於液晶注入及洗淨終了後之短冊狀之母面板，再於所定位置形成條紋溝，更且令該條紋溝爲基準，經由切斷短冊狀面板’複數個之液晶面板被各切出（工程 P 2 5 )。對於如此製作之各於液晶面板1 〇 2，如圖 19所示，安裝液晶驅動用ICl〇3a、l〇3b，將照明裝置1 0 6做爲背光裝著，更且經由連接F P C 1 0 4，完成目標的液晶裝置1 〇 1 (工程P 2 6 )。以上所說明之液晶裝置之製造方法及製造裝置係尤其於製造彩色濾色片之階段，具有以下之特徵。即，做爲噴墨頭，採用圖1 、圖2、圖3、圖4或圖5等所示之構造，經由做爲支持複數之噴頭部2 0的支持手段的支撐架 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -45 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（43) 2 5，將基板1 2於主掃瞄期間，自此等複數之噴頭部 2 〇之噴嘴列2 8吐出墨水之故，較僅使用1個噴頭部掃瞄基板1 2之表面時，可縮短掃瞄時間，因此，可縮短彩色濾色片之製造時間。又，各噴頭部2 0係對於副掃瞄方向Y，以角度Θ之傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部2 0之複數之噴嘴2 7之噴嘴間間隔，一致於基板1 2上之濾色片元件形成範圍濾色片元件形成範圍7間之間隔，即一致於元件間間隔。如此地，將噴嘴間間隔和元件間間隔，幾何性一致時，無需將噴嘴列2 8關於副掃瞄方向Y加以位置控制之故，因此較佳。又，非傾斜支撐架2 5之整體，而是傾斜各噴頭部 2 0之故，接近於基板1 2側之噴嘴2 7和自基板1 2遠離之噴嘴2 7的距離T較傾斜支撐架2 5之整體時明顯爲小，因此，經由噴墨頭2 2掃瞄基板1 2之時間，則明顯變短。由此，可縮短彩色濾色片之製造時間。又，於本實施形態之製造方法及製造裝置中，藉由使用噴墨頭2 2之墨水吐出，形成濾色片元件3之故，無需經由使用微縮術法之方法的複雜工程，且在於材料上亦無浪費。 (第8實施形態）圖2 0係顯示有關本發明使用E L裝置之製造裝置進行之製造方法之一實施形態。又，圖2 1係顯示該製造方 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 46 - 1294055 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（44) 法之主要工程及最終所得E L裝置之主要截面構造。如圖 2 1 ( d )所示，E L裝置2 0 1係於透明基板2 0 4上，形成畫素電極202，於各畫素電極202間，將區庫 2 0 5自箭頭G方向視之形成成爲格子狀，於此等之格子狀凹部中，形成正孔植入層2 2 0。自箭頭G方向視之，成爲條紋狀排列等之所定排列地，將R色發光層2 0 3 R 、〇色發光層203G及B色發光層203B，形成於各格子狀凹部之中，更且，於此等之上，經由形成對向電極 2 1 3加以形成。將上述畫素電極2 0 2，經由所謂T F D (薄膜二極體）元件等之2端子型之主動元件加以驅動之時，上述對向電極2 1 3係自箭頭G方向視之，形成成爲條紋狀。又，將畫素電極2 0 2經由所謂T F T (薄膜電極體）元件等之3端子型之主動元件加以驅動之時，上述對向電極 2 1 3係做爲單一之面電極加以形成。經由各畫素電極2 0 2和各對向電極2 1 3挾持之範圍，成爲1個之圖素畫素，R、G、B3色之圖素畫素則成爲1個之單元，形成1個畫素。經由控制流動於各圖素晝素之電流，選擇性令複數之圖素畫素中之期望者發光，由此，於箭頭Η方向顯示期望之全彩像。上述E L裝置2 0 1係例如經由圖2 0所示之製造方法加以製造。即，如工程Ρ 5 2及圖2 1 ( a )所示，於透明基板2 0 4之表面，形成TFD元件或TFT元件等之主動元件，更且形成畫素電極2 0 2。例如可使用微縮 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) Φ

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -47 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（45) 法’真空狀附著法、濺射法、高溫溶膠法等。做爲畫素電極之材料，可使用I T〇、氧化錫、氧化銦和氧化鋅之複合氧化物等。接著，如工程P 5 2及圖2 0 ( a )所示，將間隔壁即區庫2 0 5，使用周知之圖案化手法，例如微縮術法加以形成，經由此區庫2 0 5，埋入各透明電極2 0 2之間。由此，可達對比提升、發光材料之混色之防止，防止自畫素和畫素間之漏光等。做爲區庫2 0 5之材料，只要對於E L材料之溶媒，具有耐久性者，則不特別加限定，但經由氟碳氣體電漿處理，可處理氟者，例如丙烯酸樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等之有機材料爲佳。接著，於塗佈正孔植入層用墨水之前，於基板 2 0 4進行氧氣和氟碳氣體電漿之連續電漿處理（工程 P 5 3 )，由此，聚醯亞胺表面成爲排水化，I T〇表面則被親水化，可進行將噴墨液滴微細圖案化之基板側之溼潤性之控制。做爲產生電漿之裝置，於真空中產生電漿之裝置中，於大氣中產生電漿之裝置亦可同樣使用。接著，如工程P 5 4及圖2 1 ( a )所示，將正孔植入層墨水，自圖9之噴墨裝置1 6之噴墨頭2 2吐出，於各畫素電極2 0 2上，進行圖案塗佈。具體而言，噴墨頭之控制方法係使用圖1、圖2、圖3、圖4或圖5所示之方法。該塗佈後，於真空中（1 t 〇 r r )中、室溫、 2 0分的條件，除去溶媒（工程P 5 5 )，之後，經由大氣中、2 0 t (熱平板上）、1 0分之熱處理，形成發光 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 48 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（46) 層用墨水和不相溶之正孔植入層2 2 0 (工程P 5 6 )。膜厚係4 0 n m。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 接著，如工程P 5 7及圖2 1 ( b )所示，於各濾色片元件範圍內之正孔植入層2 2 0上，使用噴墨手法，塗佈R發光層用墨水及G發光層用墨水。在此，各發光層用墨水係自圖9之噴墨裝置1 6之噴墨頭2 2吐出，更且噴墨頭之控制方法係根據圖1、圖2、圖3、圖4或圖5所示之方法。根據噴墨方式，可將微細圖案簡便且短時間地進行。又，經由改變墨水組成物之固體份濃度及吐出量，可改變膜厚。發光層用墨水之塗佈後，於真空中（1 t 〇 r r )中、室溫、2 0分等的條件，除去溶媒（工程P 5 8 )，接著氮氣氛中，經由4時間之熱處理加以共軛化，形成R色發光層203R及G色發光層203G (工程P59)。膜厚爲5 Ο n m。經由熱處理共軛化之發光層係不溶於溶媒。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製然而，於形成發光層前，於正孔植入層2 2 0，進行氧氣和氟碳氣體電漿之連續電漿處理亦可。由此，於正孔植入層2 2 0上，形成氟化物層，經由離子化電位變高，增加正孔植入效率，提供發光效率高之有機E L裝置。接著，如工程P 6 0及圖2 1 ( c )所示，將B色發光層2 0 3 B重疊於各圖素畫素之R色發光層2 0 3 R、 G色發光層2 0 3 G及正孔植入層2 2 0上加以形成。由此，不僅形成R、G、B之3原色，埋下R色發光層本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（47)

2 0 3 R及G色發光層2 0 3 G和區庫2 0 5之階差，加以平坦化。由此，可將上下電極間之短路確實地防止。，經由調整B色發光層2 0 3 B之膜厚，B色發光層 2 0 3 B係於R色發光層2 0 3R及G色發光層2 0 3 G 之堆積構造，做爲電子植入輸送層作用於B色不進行發光〇做爲如以上之B色發光層2 0 3 B之形成方法，例如做爲濕式法，可採用一般之旋轉塗佈法，或可採用與R色發光層2 0 3R及G色發光層2 0 3G之形成法同樣之噴墨法。之後，如工程P 6 1及圖2 1 ( d )所示，經由形成對向電極213，製造目標之EL裝置201。對向電極 2 1 3係該爲面電極之時，例如可將M g、A g、A 1 、 L i等做爲材料，使用蒸著法、濺射法等之成膜法加以形成。又，對向電極2 1 3爲條紋狀電極之時，可將成膜之電極層使用微縮術法等之圖案化手法加以形成。根據以上所說明之E L裝置之製造方法及製造裝置，做爲噴墨頭之控制方法，採用圖1、圖2、圖3、圖4或圖5等所不之控制方法之故，經由做爲支持複數之噴頭部 2 0的支持手段的支撐架2 5，將基板1 2於主掃瞄期間，自此等複數之噴頭部2 0之噴嘴列2 8吐出墨水之故，較僅使用1個噴頭部掃瞄基板1 2之表面時，可縮短掃瞄時間，因此，可縮短E L裝置之製造時間。又，各噴頭部2 0係對於副掃瞄方向Y，以角度θ之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -50 - ---J---!------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 五、發明説明（48) 傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部2 〇之複數之噴嘴2 7之噴嘴間間隔，一致於基板1 2上之E L圖素畫素形成範圍間之間隔，即一致於元件間間隔。如此地，將噴嘴間間隔和兀件間間隔，幾何性一致時，無需將噴嘴列2 8關於副掃瞄方向Y加以位置控制之故，因此較佳。又，非傾斜支撐架2 5之整體，而是傾斜各噴頭部 2 0之故，接近於基板1 2側之噴嘴2 7和自基板1 2遠離之噴嘴2 7的距離T較傾斜支撐架2 5之整體時明顯爲小，因此，經由噴墨頭2 2掃瞄基板1 2之時間，則明顯變短。由此，可縮短E L裝置之製造時間。又，於本實施形態之製造方法及製造裝置中，藉由使用噴墨頭2 2之墨水吐出，形成圖素畫素3之故，無需經由使用微縮術法之方法的複雜工程，且在於材料上亦無浪費。 (其他之實施形態）以上，列舉較佳之實施形態說明本發明，但本發明非限定於該實施形態，於記載於申請專利範圍之發明範圍內，可做種種之改變。例如，以上說明之實施形態中，例示於母基板1 2中，設定複數列之彩色濾色片形成範圍1 1，於母基板1 2 中，設定1列之彩色濾色片形成範圍1 1時，可適用本發明又，僅幾近同樣大小或較其爲小之1個之彩色濾色片形成範圍1 1 ，設定於該母基板1 2中時，亦可適用本發明 —丨J---!----^^1 — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T.

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -51 - 1294055 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（49) 例如，圖9及圖1 0所示之彩色濾色片之製造裝置中 ’將噴墨頭2 2向主掃瞄方向X移動，主掃瞄基板1 2，胃基板1 2經由副掃瞄驅動裝置2 1加以移動，經由噴墨頭2 2副掃瞄基板1 2，與此相反地，經由母基板1 2之 @動執行主掃瞄，經由噴墨頭2 2之移動，執行副掃瞄。又，於上述實施形態中，雖使用利用壓電元件之彎曲變形吐出墨水之構造的噴墨頭，但亦可使用其他任意構造之噴墨頭' 又，於上述實施形態中，雖僅例示主掃瞄方向和副掃目苗方向正交之最爲一般之構成，但主掃瞄方向和副掃瞄方向之關係不限於正交關係，可以任意之角度交叉。做爲吐出之材料，對應於形成於基板等之對象物上的要素，可做種種之選擇，例如除上述之墨水、E L發光材料外，可將矽玻璃前驅體、金屬化合物等之導電材料、介電質材料、或半導體材料做爲其一例加以列舉。又，於上述實施形態中，將彩色濾色片之製造方法及製造裝置、液晶裝置之製造方法及製造裝置、E L裝置之製造方法及製造裝置爲例加以說明，但本發明不限定於此等’可使用於對象物上施以微細圖案之整體工業技術。例如，各種半導體元件（薄膜電晶體，薄膜二極體等 )、各種配線層案 '及絕緣膜之形成等則做爲該利用範圍之一例加以列舉。

做爲自噴墨頭吐出之材料，對應於形成於基板上之對象物上的要素’可做種種之選擇，例如上述之墨水、E L 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1294055 五、發明説明（5〇) 發光材料之外’可將矽玻璃前驅體、金屬化合物等之導電材料、介電質材料、或半導體材料做爲其-例加以列舉。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又於上述實施形態中，爲了方便稱爲「噴墨頭」，但自此噴墨頭吐出之吐出物非限定於墨水，例如，有前述之E L發光材料、矽玻璃前驅體、金屬化合物等之導電材料、介電質材料、或半導體材料之等等。經由上述實施形 _之製造方法製造之液晶裝置、E L裝置係例如可搭載於攜帶型電目舌機、攜帶型電腦等之電子機器之顯示部。【發明之效果】根據有關本發明之彩色濾色片、液晶裝置及E L裝置之各製造裝置以及此等製造方法時，可經由複數之噴頭部 ’將基板於主掃猫期間，自此等之複數之噴頭部吐出墨水 ’因此，較使用一個之噴頭部掃瞄基板表面之時，可縮短掃瞄時間。又，各噴頭部係以傾斜狀態進行主掃瞄之故，可將屬於各噴頭部之複數之噴嘴之噴嘴間間隔，一致於形成於基板上之濾色片元件或圖素晝素之元件間間隔。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製更且’非傾斜支持複數之噴頭部之支撐機構之整體，而是傾斜各噴頭部之故，接近於基板側之噴嘴至自基板遠離之噴嘴的距離較傾斜支撐手段之整體爲小，因此，經由支持機構，可縮短掃瞄基板之時間。由此，可縮短彩色濾色片或液晶裝置或E L裝置之製造時間。【圖面之簡單說明】本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇 X 297公釐） -53 1294055 A7 B7 五、發明説明（51) 【圖1】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用有關本發明之彩色濾色片之製造裝置之一實施形態進行之製造方法之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖2】圖1之噴墨頭之斜視圖【圖3】使用有關本發明之彩色濾色片之製造裝置之一實施形態進行之製造方法之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖4】圖3之噴墨頭之斜視圖【圖5】使用有關本發明之彩色濾色片之製造裝置之更爲其他之一實施形態進行之製造方法之主要工程，模示性顯示的平面圖。【圖6】經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (a )係顯示有關本發明之彩色瀘色片之一實施形態的平面圖，（b )係顯示成爲其基礎之母基板的一實施形態的平面圖。【圖7】模示性顯示使用根據圖6 ( a )之V I I - V I I線之截面部分的彩色濾色片之製造工程圖。【圖8】顯示彩色濾色片之R、G、B 3色之圖素畫素之排列例圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54 - 1294055 A7 B7 五、發明説明（52) 【圖9】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 顯示有關本發明之彩色瀘色片之製造裝置、有關本發明之液晶裝置之製造裝置及有關本發明之E L裝置之製造裝置之各製造裝置之主要部分的噴墨裝置之一實施形態的斜視圖。【圖1 0】顯示擴大圖9之裝置之主要部的斜視圖。【圖1 1】顯示設於圖1之噴墨頭之噴墨頭部之一個的斜視圖。【圖1 2】顯示噴墨頭之改變例斜視圖。【圖1 3】顯示噴墨頭之內部構造圖，（a )係顯示一部分破斷斜視圖，（b )係顯示根據（a )之J 一 J線之截面構造〇【圖1 4】使用於圖9之噴墨裝置之電氣控制系統的方塊圖。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製【圖1 5】顯示經由圖1 4之控制系執行之控制流程的流程圖。【圖1 6】顯示噴墨頭之其他之改變例斜視面圖。【圖1 7】顯示有關本發明之液晶裝置之製造方法之一實施形態的工程圖。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A7 B7 五、發明説明（53) 【圖1 8】將經由有關本發明之液晶裝置之製造方法所製造之液晶裝置之一例，以分解狀態加以顯示之斜視圖。【圖1 9】顯示根據圖1 8之X - X線之液晶裝置之截面構造之截面圖。【圖2 0】顯示有關本發明之E L裝置之製造方法的一實施形態的工程圖。【圖2 1】對應於顯示圖2 0之工程圖E L的裝置之截面圖。【圖2 2】顯示以往之彩色濾色片之製造方法之一例圖。【圖2 3】爲說明以往之彩色濾色片之製造方法之其他例圖。【符號之說明】 1:彩色瀘色片 2 :基板 3 :濾色片元件 4 :保護層 6 :間隔壁 7 :瀘色片元件範圍 1 1 :彩色濾色片形成範圍本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -56- ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

1294055 A7 B7 五、發明説明（54) 1 2 :母基板 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 3 :濾色片元件材料 1 6 :噴墨裝置 1 7 :噴頭位置控制裝置 1 8 :基板位置控制裝置 1 9 :主掃瞄驅動裝置 2 1 :副掃瞄驅動裝置 2 2 :噴墨頭 2 6 :噴頭單元 2 7 :噴嘴 2 8 :噴嘴列 3 9 :墨水加壓體 4 1 :壓電元件 4 9 :平台 7 6 :覆蓋裝置 7 7 :淸潔裝置 7 8 :電子天平經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 1 :噴墨用攝影機 8 2 :基板用攝影機 8 3 :噴嘴列角度控制裝置 8 4 :噴嘴列間隔控制裝置 1〇1 :液晶裝置 1 0 2 :液晶面板 107a、107b:基板本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -57 - 1294055 Α7 Β7 五、發明説明（55) 111a、111b:基材 114a、114b:電極 1 1 8 :彩色瀘色片 2 0 1 : E L裝置 2 0 2 :畫素電極 2 03R、203G、20 3 B:發光層 2 0 4 ··基板 2〇5 :區庫 213:對向電極 2 2 0 :正孔植入層 L :液晶 Μ:濾色片元件材料 X :主掃猫方向 Υ :副掃猫方向 — ----.------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ-

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -58 -

Claims

告 8888 ABCD

六、申請專利範圍第90 1 333 1 7號專利申請案中文申請專利範圍 1 · 一種材料之吐出裝置，屬於在對象物上吐出材料的材料之吐出裝置中，其特徵係具備具有排列複數之噴嘴的噴嘴列的複數噴頭，和支持前述複數之噴頭的支持機構，和令前述對象物及前述支持機構中之任一方，對於 Μ 一方加以掃瞄的機構，和在於與前述掃瞄之方向交叉之方向，移動前述噴頭之機構者。 2.如申請專利範圍第1項之材料之吐出裝置，其中 ’前述複數之噴頭係支持於前述支持機構之長度方向者〇 3 .如申請專利範圍第1項或第2項之材料之吐出裝置，其中，更具備控制前述複數之噴頭列間之間隔的機構。 4. 如申請專利範圍第3項之材料之吐出裝置，其中，控制前述噴嘴列與前述掃瞄之方向所成角度的機構乃前述噴嘴列之噴嘴間間隔及前述噴嘴列之傾斜角度之大小則在於前述複數之噴頭中，實質上相等地加以控制者。 5. 一種材料之吐出方法，屬於在於對象物上吐出材本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）-1 - ---------— (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍料的材料之吐出方法中，其特徵係具備將支持具有排列複數之噴嘴的噴嘴列的複數噴頭的支持機構及前述對象物之一方，對於另一方而言加以掃瞄的工程，和於前述對象物吐出前述材料的工程，和控制至少一個之前述噴嘴列與前述掃瞄之方向所成角度之工程，和於與前述掃瞄之方向交叉之方向，移動前述噴頭之工程者。 6.如申請專利範圍第5項之材料之吐出方法，其中，前述對象物及前述支持構件之任一方係在於與主掃瞄之方向或與前述主掃瞄之方向交叉之副主掃瞄方向加以掃瞄者。 7 ·如申請專利範圍第5項或第6項之任一項之材料之吐出方法，其中，更具備控制前述複數之噴嘴列間之間隔的工程。 8. —種電子機器，其特徵係搭載使用包含如申請專利範圍第5項至第7項之任一項記載的材料的吐出方法之製造方法所製造之零件者。 9. 一種彩色濾色片之製造裝置，其特徵係具備：具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數之噴頭、和於前述噴頭，供給濾色片材料之機構、和控制至少一個之前述噴嘴列的角度之機構、本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1294055 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍和移動前述噴頭之機構。 (請先聞脅背面之注意事項再填寫本頁) 10. —種彩色濾色片之製造裝置，其特徵係具備：具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數之噴頭、和於前述噴頭，供給濾色片材料之機構、和支持前述複數之噴頭之支持機構、和主掃瞄移動前述支持機構之主掃瞄機構、和副掃瞄移動前述支持機構之副掃瞄機構、和控制前述複數之噴嘴列的傾斜角度之噴嘴列角度控制機構、和控制前述複數之噴嘴列間的間隔之噴嘴列間隔控制機構。 1 1. 一種彩色濾色片之製造方法，其特徵係具有：一邊將具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的噴頭，向主掃瞄方向移動，從前述複數之噴嘴吐出濾色片材料，於前述基材，形成前述濾色片元件的工程、和控制至少一個之前述噴嘴列與前述主掃瞄方向所成角度之工程。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 12. —種液晶裝置之製造裝置，其特徵係具備：具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數之噴頭、和於前述噴頭，供給濾色片材料之機構、和支持前述複數之噴頭之支持機構、和主掃瞄移動前述支持機構之主掃瞄機構、和副掃瞄移動前述支持機構之副掃瞄機構、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-3 - 1294055 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍和控制至少一個之前述噴嘴列的角度之機構、和移動前述噴頭之機構。 (請先聞·«背面之注意事項存填寫本頁) 1 3 · —種液晶裝置之製造方法，其特徵係具有：一邊將具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的噴頭，向主掃瞄方向移動，從前述複數之噴嘴吐出濾色片材料，於 SU述基材，形成前述濾色片元件的工程、和控制至少一個之前述噴嘴列與前述主掃瞄方向所成角度之工程、和於與前述主掃瞄方向交叉之方向，移動前述噴頭之工程。 14. 一種電激發光裝置之製造裝置，其特徵係具有：具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的複數之噴頭、和於前述噴頭，供給電激發光材料之機構、和支持前述複數之噴頭之支持機構、和主掃瞄移動前述支持機構之主掃瞄機構、和副掃瞄移動前述支持機構之副掃瞄機構、經濟部智慧財產局員工消費合作社印製和控制前述複數之噴嘴列的傾斜角度之噴嘴列角度控制機構、和控制前述複數之噴嘴列間的間隔之噴嘴列間隔控制機構。 15. —種電激發光裝置之製造方法，其特徵係具有：一邊將具有排列複數之噴嘴之噴嘴列的噴頭，向主掃瞄方向移動，從前述複數之噴嘴吐出電激發光材料，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-4 _ 1294055 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍於前述基材，形成前述電激發光層的工程、和控制至少一個之前述噴嘴列與前述主掃瞄方向所成角度之工程、和於與前述主掃瞄方向交叉之方向，移動前述噴頭之工程。 (請先閱,背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）_ 5 1294055 第90133317號專利申請案中文圖式修正頁民國96年11月30日修正第14圖