KR20020061521A - 재료의 토출 장치 및 토출 방법, 컬러 필터의 제조 장치및 제조 방법, 액정 장치의 제조 장치 및 제조 방법, ｅｌ장치의 제조 장치 및 제조 방법, 및 이들 방법에 의해제조되는 전자 기기 - Google Patents

재료의 토출 장치 및 토출 방법, 컬러 필터의 제조 장치및 제조 방법, 액정 장치의 제조 장치 및 제조 방법, ｅｌ장치의 제조 장치 및 제조 방법, 및 이들 방법에 의해제조되는 전자 기기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 컬러 필터의 필터 소자나 EL 장치의 화소 픽셀 등과 같은 패턴을 형성하기 위한 잉크젯 헤드 부분의 주사 시간을 단축하는 것으로, 기판 상에 복수의 필터 소자를 배열하여 이루어지는 컬러 필터를 제조하는 컬러 필터의 제조 장치이며, 이 장치는 복수의 노즐(27)이 배열되어 이루어지는 노즐열(28)을 갖는 복수의 헤드부(20)와, 헤드부(20)에 필터 소자 재료를 공급하는 잉크 공급 장치와, 헤드부(20)를 배열하여 지지하는 캐리지(25)와, 캐리지(25)를 X 방향으로 주주사(主走査) 이동시키는 주주사 구동 장치와, 캐리지(25)를 Y 방향으로 부주사(副走査) 이동시키는 부주사 구동 장치를 갖고, 캐리지(25)는 복수의 헤드부(20)를 각각 면내 경사 각도 θ의 경사 상태로 지지한다.

Description

재료의 토출 장치 및 토출 방법, 컬러 필터의 제조 장치 및 제조 방법, 액정 장치의 제조 장치 및 제조 방법, ＥＬ 장치의 제조 장치 및 제조 방법, 및 이들 방법에 의해 제조되는 전자 기기{APPARATUS AND METHOD FOR DISCHARGING MATERIAL, APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING COLOR FILTER, APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DEVICE, APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING EL DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICES MANUFACTURED BY THESE METHODS}
본 발명은 대상물에 재료를 토출하는 재료의 토출 장치 및 재료의 토출 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 액정 장치 등과 같은 광학 장치에 이용되는컬러 필터를 제조하는 제조 장치 및 제조 방법, 컬러 필터를 갖는 액정 장치의 제조 장치 및 제조 방법, EL 발광층을 이용하여 표시하는 EL 장치의 제조 장치 및 제조 방법 및 그들 방법을 이용하여 제조되는 전자 기기에 관한 것이다.
최근, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등과 같은 전자 기기의 표시부에 액정 장치, 전자 발광 장치(이하, EL 장치라고 함) 등과 같은 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 또한 최근에는, 표시 장치에 의해 풀 컬러 표시를 행하는 경우가 많아지고 있다. 액정 장치에 의한 풀 컬러 표시는, 예컨대, 액정층에 의해서 변조되는 광을 컬러 필터를 통과시킴으로써 행해진다. 그리고, 컬러 필터는, 유리, 플라스틱 등으로 형성된 기판의 표면에, 예컨대, R(적색), G(녹색), B(청색)의 도트 형상의 각 색 필터 소자를 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등과 같은 소정 배열로 나열함으로써 형성된다.
또한, EL 장치에 의해 풀 컬러 표시를 행하는 경우에는, 예컨대, 유리, 플라스틱 등으로 형성된 기판의 표면에 전극을 배열하고, 그 위에, 예컨대, R(적색), G(녹색), B(청색)의 도트 형상의 각 색 EL 발광층을 소정 배열로 나열하며, 이들 EL 발광층을 전극에 인가하는 전압을 제어함으로써 원하는 광을 발광시켜, 이것에 의해, 풀 컬러 표시를 행한다.
종래, 컬러 필터의 R, G, B 등의 각 색 필터 소자를 패터닝하는 경우나, EL 장치의 R, G, B 등의 각 색화소 픽셀을 패터닝하는 경우에, 포토리소그래피법을 이용하는 것은 알려져 있다. 그러나 이 포토리소그래피법을 이용하는 경우에는, 공정이 복잡한 것이나, 각 색 재료나 포토 레지스트 등을 다량으로 소비하기 때문에비용이 증가하는 등의 문제가 있었다.
이 문제를 해소하기 위해서, 잉크젯법에 의해 필터 재료나 EL 발광 재료 등을 도트 형상으로 토출함으로써 도트 형상 배열의 필라멘트나 EL 발광층 등을 형성하는 방법이 제안되었다.
예컨대, 도 22(a)에서, 유리, 플라스틱 등으로 형성된 넓은 면적의 기판, 소위 마더 보드(301)의 표면에 설정되는 복수의 패널 영역(302)의 내부 영역에, 도 22(b)에 도시하는 바와 같이, 도트 형상으로 배열된 복수의 필터 소자(303)를 잉크젯법에 근거하여 형성하는 경우를 생각한다. 이 경우에는, 예컨대, 도 22(c)에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐(304)을 열형상으로 배열하여 이루어지는 노즐열(305)을 갖는 잉크젯 헤드(306)를, 도 22(b)에 화살표 A1 및 화살표 A2로 도시하는 바와 같이, 하나의 패널 영역(302)에 대해서 복수회(도 22(b)에서는 2회) 주주사시키면서, 그들 주주사 동안에 복수의 노즐로부터 선택적으로 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출함으로써 희망 위치에 필터 소자(303)를 형성한다.
필터 소자(303)는 R, G, B 등의 각 색을 스트라이프 배열, 델타 배열, 모자이크 배열 등과 같은 적절한 배열 형태로 배열함으로써 형성되는 것이므로, 도 22(b)에 나타내는 잉크젯 헤드(306)에 의한 잉크 토출 처리는 R, G, B의 단색을 토출하는 잉크젯 헤드(306)를 R, G, B 등의 3색 분량만큼 미리 마련해 두고, 그들 잉크젯 헤드(306)를 순서대로 이용하여 하나의 마더 보드(301) 상에 R, G, B 등의 3색 배열을 형성한다.
그런데, 보통의 잉크젯 헤드(306)에 마련되는 노즐수는 160 내지 180개 정도이다. 또한, 보통의 마더 보드(301)는 그 잉크젯 헤드(306)보다도 큰 면적을 갖고 있다. 따라서, 잉크젯 헤드(306)를 이용하여 마더 보드(301)의 표면에 필터 소자(303)를 형성할 때는, 잉크젯 헤드(306)를 마더 보드(301)에 대해 상대적으로 부주사 이동시키면서 잉크젯 헤드(306)에 의해 마더 보드(301)를 복수회 주주사 이동시켜 각 주주사 중에 잉크를 토출하여 묘화해야 한다.
그러나, 이와 같은 방법에서는, 마더 보드(301)에 대한 잉크젯 헤드(306)의 주사 회수가 많아서 묘화 시간, 즉, 서러 필터의 제조 시간이 길어진다는 문제가 있었다. 이 문제를 해소하기 위해서, 본 출원인은 일본 특허 출원 평성 제11-279752호에서, 복수의 헤드부를 지지 부재에 의해 직선 형상으로 배열하여 지지함으로써, 실질적인 노즐수를 많게 한다는 발명을 제안했다.
이 방법을 이용하면, 예컨대, 도 23(a)에 도시하는 바와 같이, 복수, 예컨대, 6개의 헤드부(306)를 지지 부재(307)에 의해서 직선 형상으로 지지하고, 이 지지 부재(307)를 부주사 방향 Y로 부주사 이동시키면서, 화살표 A1, A2, …와 같이 주주사를 복수회 행하여 각 주주사 시에 각 노즐(304)로부터 선택적으로 잉크를 토출한다. 이 방법에 따르면, 한 번의 주주사로 넓은 영역에 잉크를 공급할 수 있으므로, 확실하게 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
그런데, 도 23(a)에 나타내는 종래 방법에서는, 각 헤드부(306)가 부주사 방향 Y와 평행하게 배치되어 일직선 형상의 노즐열이 형성되므로, 복수 노즐 사이의간격, 즉, 노즐간 피치는 마더 보드(301) 측의 필터 소자(303) 사이의 간격, 즉, 소자간 피치와 동일한 것이 필요했다. 그러나, 노즐간 피치가 소자간 피치와 같게 되도록 잉크젯 헤드를 형성하는 것은 매우 어려웠다.
이 문제를 해소하기 위해서, 도 23(b)에 도시하는 바와 같이, 지지 부재(307)를 부주사 방향 Y에 대하여 각도 θ를 갖고 경사지게 함으로써 헤드부(306)의 노즐간 피치와 마더 보드(301) 내의 소자간 피치를 일치시키는 방법이 고려된다. 그러나, 이 경우에는, 일렬로 배열된 헤드부(306)에 의해 구성되는 노즐열이 주주사 방향 X로 치수 Z만큼 어긋나게 되어, 잉크 토출을 위한 주주사 시간이 그 어긋나는 분량만큼 길어진다는 문제가 발생한다. 특히, 도 23(b)에 나타내는 것과 같은 6 연속 구조의 헤드 유닛(six-linked structure head unit)을 이용하는 경우에는 노즐열이 길어지기 때문에 상기의 어긋난 치수도 길어지고, 따라서, 주주사 시간을 더 길게 해야 한다는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 컬러 필터의 필터 소자나 EL 장치의 화소 픽셀 등과 같은 패턴을 형성하기 위한 잉크젯 헤드 부분의 주사 시간을 단축하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치의 일 실시예를 이용하여 행해지는 제조 방법의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,
도 2는 도 1의 잉크젯 헤드의 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치의 다른 실시예를 이용하여 행해지는 제조 방법의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,
도 4는 도 3의 잉크젯 헤드의 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치의 또 다른 실시예를 이용하여 행해지는 제조 방법의 주요 공정을 모식적으로 나타내는 평면도,
도 6(a)는 본 발명에 따른 컬러 필터의 일 실시예를 나타내는 평면도이며, 도 6(b)는 그 기초가 되는 마더 기판의 일 실시예를 나타내는 평면도,
도 7은 도 6(a)의 Ⅶ-Ⅶ선 단면 부분을 이용하여 컬러 필터의 제조 공정을 모식적으로 도시하는 도면,
도 8은 컬러 필터에서의 R, G, B 3색의 화소 픽셀의 배열예를 나타내는 도면,
도 9는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치, 액정 장치의 제조 장치 및 EL 장치의 제조 장치와 같은 각 제조 장치의 주요 부분인 잉크젯 장치의 일 실시예를 나타내는 사시도,
도 10은 도 9의 장치의 주요부를 확대하여 나타내는 사시도,
도 11은 도 1의 잉크젯 헤드에 마련되는 헤드부 중 하나를 나타내는 사시도,
도 12는 헤드부의 변형예를 나타내는 사시도,
도 13은 헤드부의 내부 구조를 도시하는 도면으로, (a)는 일부 파단 사시도를 나타내고, (b)는 (a)의 J-J선 단면 구조를 나타내는 도면,
도 14는 도 9의 잉크젯 장치에 이용되는 전기 제어계를 나타내는 블록도,
도 15는 도 14의 제어계에 의해 실행되는 제어 흐름을 나타내는 흐름도,
도 16은 헤드부의 또 다른 변형예를 나타내는 사시면도,
도 17은 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내는 공정도,
도 18은 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법에 의해 제조되는 액정 장치의 일례를 분해 상태로 나타내는 사시도,
도 19는 도 18에서의 X-X선에 따른 액정 장치의 단면 구조를 나타내는 단면도,
도 20은 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내는 공정도,
도 21은 도 20에 나타내는 공정 도면에 대응하는 EL 장치의 단면도,
도 22는 종래의 컬러 필터의 제조 방법의 일례를 도시하는 도면,
도 23은 종래의 컬러 필터의 제조 방법의 다른 예를 나타내는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 컬러 필터2 : 기판
3 : 필터 소자4 : 보호막
6 : 격벽7 : 필터 소자 형성 영역
11 : 컬러 필터 형성 영역12 : 마더 기판
13 : 필터 소자 재료16 : 잉크젯 장치
17 : 헤드 위치 제어 장치18 : 기판 위치 제어 장치
19 : 주주사 구동 장치(주주사 구동 수단)20 : 헤드부
21 : 부주사 구동 장치(부주사 구동 수단)22 : 잉크젯 헤드
25 : 캐리지(지지 수단)26 : 헤드 유닛
27 : 노즐28 : 노즐열
37 : 잉크 공급 장치(잉크 공급 수단)39 : 잉크 가압체
41 : 압전 소자 49 : 테이블
76 : 캡핑 장치77 : 클리닝 장치
78 : 전자 천칭81 : 헤드용 카메라
82 : 기판용 카메라
83 : 노즐열 각도 제어 장치(노즐열 각도 제어 수단)
84 : 노즐열 간격 제어 장치(노즐열 간격 제어 수단)
101 : 액정 장치102 : 액정 패널
107a, 107b : 기판111a, 111b : 기재
114a, 114b : 전극118 : 컬러 필터
201 : EL 장치202 : 화소 전극
203R, 203G, 203B : 발광층204 : 기판
205 : 뱅크213 : 대향 전극
220 : 정공 주입층 L : 액정
M : 필터 소자 재료 X : 주주사 방향
Y : 부주사 방향
상기의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 재료의 토출 장치는, 대상물 상에 재료를 토출하는 재료의 토출 장치에 있어서, 복수의 노즐을 배열한 노즐열을 갖는 복수의 헤드와, 상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와, 상기 대상물및 상기 지지 기구 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 주사하는 기구를 갖고, 상기 주사 방향에 대해 상기 노즐열이 경사져 있는 것을 특징으로 한다. 보다 구체적으로는, 상기 복수의 헤드를 상기 지지 기구의 길이 방향에 대해 경사지게 지지한다. 또한, 여기서 말하는 「주사」란 주주사 방향, 주주사 방향과 교차하는 부주사 방향 중 어느 한 쪽, 또는 양쪽을 나타내는 것이다.
본 발명의 재료 토출 장치에 따르면, 복수의 헤드를 지지한 지지 수단에 의해 기판을 주사하여, 그들 복수의 헤드부에서 재료를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부를 이용하여 대상물을 주사하는 경우에 비해, 주사 시간을 단축할 수 있다.
본 발명에 있어서는, 상기 노즐열의 노즐간 피치는 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같고, 상기 노즐열의 경사 각도의 크기는 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같으면 바람직하다. 이렇게 함으로써, 토출물이 대상물 상에 규칙적으로 토출될 수 있게 되어, 규칙적인 패턴을 그리기 위한 제어가 용이해지기 때문이다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주사를 하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 대상물 상에 형성하는 필터 소자의 소자간 피치와 일치시킬 수 있다.
또한, 지지 수단 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부를 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 지지 수단 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 지지 수단에 의해 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명의 재료 토출 장치는, 대상물 상에 재료를 토출하는 재료의 토출 장치에 있어서, 복수의 노즐을 배열한 노즐열을 갖는 복수의 헤드와, 상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와, 상기 대상물 및 상기 지지 기구 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 주사하는 기구와, 적어도 하나의 상기 노즐열과 상기 주사 방향이 이루는 각도를 제어하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다. 그리고 바람직하게는 상기 노즐열 사이의 간격을 제어하는 기구를 더 구비한다.
이 구성의 재료 토출 장치에 따르면, 상기 노즐열 각도 제어 기구에 의해 노즐열을 경사 상태로 설정함으로써, 상술한 재료의 토출 장치에 의해 초래되는 효과와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 이 재료의 토출 장치에 따르면, 노즐열 각도 제어 기구의 기능에 의해 하나의 지지 기구에 지지된 각 헤드부를 다른 소자간 피치와 용이하게 일치시킬 수 있다. 또한 그 경우, 노즐열 간격 제어 기구의 기능에 의해, 하나의 노즐열과 그것에 이웃하는 노즐열의 간격을 그들 노즐열이 일정한 노즐간 피치로 연속하도록 정확하게 조절할 수 있다.
또, 노즐열 각도 제어 기구 및 노즐열 간격 제어 기구는 특별한 구조의 경우에 한정되지 않고, 상기 기능을 달성할 수 있는 임의의 구조에 의해 달성할 수 있다. 예컨대, 노즐열 각도 제어 기구는 다음과 같이, 즉, 각 헤드부를 지지 기구에 면내 회전할 수 있게 설치하여, 그들 헤드부를 펄스 모터나 서보 모터 등과 같은 회전 각도 제어가 가능한 동력원에 직접적으로 또는 동력 전달 기구 등을 거쳐서 간접적으로 접속함으로써 구성할 수 있다. 이 구성에 따르면, 상기 동력원의 출력 각도값을 제어함으로써, 각 노즐열의 경사 각도를 원하는 값으로 조절할 수 있고,또한 그 조절 후 상기 동력원의 출력축을 잠금 상태로 유지함으로써, 각 노즐열의 경사 각도를 원하는 값으로 고정 유지할 수 있다.
또한, 상기 노즐열 간격 제어 기구도 특별한 구조로 한정되지 않고, 상기 기능을 달성할 수 있는 임의 구조에 의해 달성할 수 있다. 예컨대, 각 헤드부의 상기 면내 회전의 중심부를 지지 부재에 슬라이드 이동할 수 있게 설치하고, 그들 헤드부를 왕복 슬라이드 이동 구동 수단에 접속함으로써 구성할 수 있다. 그리고, 이 왕복 슬라이드 이동 구동 수단은, 예컨대, 펄스 모터나 서보 모터 등과 같은 회전 각도를 제어할 수 있는 회전 기기를 동력원으로 하는 슬라이드 구동 장치나, 리니어 모터 등과 같은 선형 이동 구동원을 이용하여 구성되는 슬라이드 구동 장치에 의해 구성할 수 있다.
또한, 노즐열과 주사 방향이 이루는 각도를 제어하는 기구는 노즐열의 노즐간 피치 및 상기 노즐열의 경사 각도의 크기가 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같게 되도록 제어할 수 있으면 바람직하다.
본 발명에 따른 재료의 토출 방법은, 대상물 상에 재료를 토출하는 재료의 토출 방법에 있어서, 복수의 노즐을 배열한 노즐열을 갖는 복수의 헤드 및 상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구 중 하나를 다른 하나에 대해 주사하는 공정 및 상기 대상물에 상기 재료를 토출하는 공정을 갖고 이루어지며, 적어도 하나의 상기 노즐열이 상기 주사 방향에 대해 경사져 있는 것을 특징으로 한다. 이 경우에, 상기 대상물 및 상기 지지 부재 중 어느 하나는 다른 하나에 대해 주주사 방향 또는 주주사 방향과 교차하는 부주사 방향 또는 그 양쪽으로 주사된다.
상기 노즐열의 노즐간 피치 및 상기 노즐열의 경사 각도의 크기는 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같으면 바람직하다.
또한, 적어도 하나의 상기 노즐열과 상기 주사 방향이 이루는 각도를 제어하는 공정을 더 구비해도 무방하고, 상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 공정을 구비해도 관계없다.
상술한 재료의 토출 장치 및 재료의 토출 방법은, 예컨대, 기판에 필터 재료를 토출하는 컬러 필터의 제조 장치, 컬러 필터의 제조 방법, 및 기판에 EL 발광 재료를 토출하는 EL 장치의 제조 장치 및 제조 방법 등에 이용할 수 있지만, 물론 이들에 한정되지 않고 여러 가지 기술적 응용 범위가 고려된다. 특히, 상기 재료의 토출 방법을 포함하는 제조 방법을 이용하여 제조된 부품은 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등과 같은 전자 기기에 이용된다.
또한, 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치는 복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 복수의 헤드와, 상기 복수의 헤드부를 지지하는 지지 기구를 갖고, 상기 지지 기구는 상기 복수의 헤드부를 경사 상태로 지지하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에서, 필터로는, 예컨대, R(적색), G(녹색), B(청색)의 3원색이나, C(시안색), Y(황색), M(마젠타색)의 3원색 등과 같은 각 색의 색재가 고려된다.
이 컬러 필터의 제조 장치에 따르면, 복수의 헤드부를 지지한 지지 수단에 의해 기판을 주주사하는 동안에 그들 복수의 헤드부로부터 필터 재료를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부를 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해, 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성하는 필터 소자의 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 또한, 지지 수단 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부를 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 지지 수단 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 지지 수단에 의해서 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다. 이것에 의해, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또, 상기 구성의 컬러 필터의 제조 장치에 있어서, 상기 지지 수단은 상기 헤드부를 고정 상태로 지지할 수 있고, 또는 경사 각도 및/또는 헤드부간 거리를 변경할 수 있게 지지할 수도 있다.
또한, 상기 구성의 컬러 필터의 제조 장치에 있어서, 상기 복수의 헤드에 속하는 노즐열의 노즐간 피치는 실질적으로 같고, 또한, 상기 노즐열의 경사 각도의 크기도 실질적으로 같으면 바람직하다. 이렇게 하면, 희망하는 위치에 필터 재료를 공급하는 것에 대한 제어를 용이하게 행할 수 있게 된다.
또, 복수의 노즐열은 경사 각도의 크기가 같으면 좋고, 경사 방향은 플러스·마이너스 사이에서 달라져도 좋다. 또한, 여기서 및 이후에, 「실질적으로」란 제조 상의 오차 등에 의해서 근소한 차이가 발생하는 경우에도 작용적으로는 큰 차이는 발생하지 않는 경우를 포함한다는 의미이다.
또한, 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치는 복수의 노즐이 배열되는 노즐열을 갖는 복수의 헤드와, 상기 헤드에 필터 재료를 공급하는 기구와, 상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와, 해당 지지 기구를 주주사 이동시키는 주주사 기구와, 상기 지지 수단을 부주사 이동시키는 부주사 기구와, 상기 복수의 노즐열의 경사 각도를 제어하는 노즐열 각도 제어 기구와, 상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 노즐열 간격 제어 기구를 갖는 것을 특징으로 한다.
이 구성의 컬러 필터의 제조 장치에 따르면, 상기 노즐열 각도 제어 기구에 의해 복수의 노즐열 각각을 경사 상태로 설정함으로써, 상술한 컬러 필터의 제조 장치에 의해 초래되는 효과와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상기 제 2 컬러 필터의 제조 장치에 따르면, 노즐열 각도 제어 기구의 기능에 의해 하나의 지지 수단에 지지된 각 헤드부를 다른 소자간 피치와 용이하게 일치시킬 수 있다. 또한 그 경우, 노즐열 간격 제어 기구의 기능에 의해, 하나의 노즐열과 그것에 이웃하는 노즐열의 간격을 그들 노즐열이 일정한 노즐간 피치로 연속하도록 정확하게 조절할 수 있다.
또, 노즐열 각도 제어 기구 및 노즐열 간격 제어 기구는 특별한 구조로 한정되지 않고, 상기 기능을 달성할 수 있는 임의 구조에 의해 달성할 수 있다. 예컨대, 상술한 재료의 토출 장치에서 설명한 물건 등이 이용될 수 있다.
상기 컬러 필터의 제조 장치에 있어서, 상기 복수의 헤드에 속하는 노즐열의 노즐간 피치 및 노즐열의 경사 각도의 크기는 실질적으로 같은 것이 바람직하다.
다음으로, 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법은, 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 헤드를 주주사 방향으로 이동시키면서, 상기 복수의 노즐로부터 필터 재료를 토출하여 상기 기판에 상기 필터 소자를 형성하는 공정을 갖고, 상기 헤드는 복수개 배열되어 마련되어 있으며, 또한 경사 상태로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이 제조 방법에 따르면, 복수의 헤드부를 동시에 주주사 이동시키고 각 헤드부로부터 필터 재료를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성하는 필터 소자의 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 또한, 복수의 헤드부를 1열로 배열한 상태에서 그 1열을 경사지게 하는 것이 아니라 그들 헤드부를 각각 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 1열 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 복수의 노즐열에 의해서 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다. 이것에 의해, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또, 상기 구성의 컬러 필터의 제조 방법에 있어서, 상기 복수의 헤드에서 상기 노즐열의 노즐간 피치는 실질적으로 같고, 또한 노즐열의 경사 각도의 크기도 실질적으로 같으면 바람직하다.
다음으로, 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 장치는, 액정 장치의 제조 장치에 있어서, 복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 복수의 헤드와, 상기 헤드에 필터 재료를 공급하는 기구와, 상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와, 해당 지지 기구를 주주사 이동시키는 주주사 기구와, 상기 지지 기구를 부주사 이동시키는 부주사 기구를 갖고, 상기 지지 기구는 상기 복수의 헤드부를 경사 상태로 지지하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이 액정 장치의 제조 장치에 따르면, 복수의 헤드부를 지지한 지지 수단에 의해 기판을 주주사하는 동안에 그들 복수의 헤드부로부터 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성하는 필터 소자의 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 또한, 지지 수단 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부를 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 지지 수단 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 지지 수단에 의해서 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다. 이것에 의해, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 방법은 복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 헤드를 주주사 방향으로 이동시키면서, 상기 복수의 노즐로부터 필터 재료를 토출하여 상기 기판에 상기 필터 소자를 형성하는 공정을 갖고, 상기 헤드는 복수개 배열되어 마련되어 있으며, 또한 경사 상태로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이 제조 방법에 따르면, 복수의 헤드부를 동시에 주주사 이동시키고 각 헤드부로부터 잉크를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성하는 필터 소자의 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 또한, 복수의 헤드부를 1열로 배열한 상태에서 그 1열을 경사지게 하는 것이 아니라 그들 헤드부를 각각 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 1열 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 복수의 노즐열에 의해서 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다. 이에 따라, 컬러 필터의 제조 시간에 따라 액정 장치의 제조 시간을 단축할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 장치는 복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 복수의 헤드와, 상기 헤드에 EL 발광 재료를 공급하는 기구와, 상기 복수의 헤드를 배열하여 지지하는 지지 기구와, 해당 지지 기구를 주주사 이동시키는 주주사 기구와, 상기 지지 수단을 부주사 이동시키는 부주사 기구와, 상기 복수의 노즐열의 경사 각도를 제어하는 노즐열 각도 제어 기구와, 상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 노즐열 간격 제어 기구를 갖는 것을 특징으로 한다.
이 EL 장치의 제조 장치에 따르면, 복수의 헤드부를 지지한 지지 수단에 의해서 기판을 주주사하는 동안에 그들 복수의 헤드부로부터 잉크, 즉, EL 발광 재료를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성하는 화소 픽셀의 픽셀간 피치와 일치시킬 수 있다. 또한, 지지 수단 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부를 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 지지 수단 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 지지 수단에 의해서 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다. 이에 따라, EL 장치의 제조 시간을 단축할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 방법은 복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 헤드를 주주사 방향으로 이동시키면서, 상기 복수의 노즐로부터 EL 발광 재료를 토출하여 상기 기판에 상기 EL 발광층을 형성하는 공정을 갖고, 상기 헤드는 복수개 배열되어 마련되어 있으며, 또한 경사 상태로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이 제조 방법에 따르면, 복수의 헤드부를 동시에 주주사 이동시키고 각 헤드부로부터 잉크, 즉, EL 발광 재료를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성되는 화소 픽셀의 픽셀간 피치와 일치시킬 수 있다. 또한, 복수의 헤드부를 1열로 배열한 상태에서 그 1열을 경사지게 하는 것이 아니라 그들 헤드부를 각각 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 1열 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 복수의 노즐열에 의해서 기판을 주사하는 시간을 단축할수 있다. 이것에 의해, EL 장치의 제조 시간을 단축할 수 있다.
(실시예 1)
이하, 컬러 필터의 제조 방법 및 그 제조 장치의 일 실시예에 대하여 설명한다. 우선, 그들 제조 방법 및 제조 장치를 설명하는 데 앞서, 그들 제조 방법 등을 이용하여 제조되는 컬러 필터에 대하여 설명한다. 도 6(a)는 컬러 필터의 일 실시예의 평면 구조를 모식적으로 나타내고 있다. 또한, 도 7(d)은 도 6(a)의 Ⅶ-Ⅶ선 단면 구조를 나타내고 있다.
본 실시예의 컬러 필터(1)는 유리, 플라스틱 등으로 형성된 직사각형 형상의 기판(2) 표면에 복수의 필터 소자(3)를 도트 패턴 형상, 본 실시예에서는 도트·매트릭스 형상으로 형성하고, 또한 도 7(d)에 도시하는 바와 같이, 그 위에 보호막(4)을 적층함으로써 형성되어 있다. 또, 도 6(a)는 보호막(4)을 제거한 상태의 컬러 필터(1)를 평면적으로 나타내고 있다. 즉, 본 실시예에서는, 잉크젯에 의해 형성되는 색 패턴으로서 필터 소자(3)가 예시되어 있다.
필터 소자(3)는 투광성이 없는 수지 재료에 의해 격자 형상의 패턴으로 형성된 격벽(6)에 의해서 구획되어 도트·매트릭스 형상으로 배열된 복수의 직사각형 형상의 영역을 색재로 채움으로써 형성된다. 또한, 이들 필터 소자(3)는 각각이 R(적색), G(녹색), B(청색) 중 어느 하나의 색재에 의해 형성되고, 그들 각 색 필터 소자(3)가 소정 배열로 나열되어 있다. 이 배열로는, 예컨대, 도 8(a)에 나타내는 스트라이프 배열, 도 8(b)에 나타내는 모자이크 배열, 도 8(c)에 나타내는 델타 배열 등이 알려져 있다.
스트라이프 배열은 매트릭스의 종렬(縱列)이 모두 같은 색이 되는 배색이다. 모자이크 배열은 종횡의 직선 상에 배열된 임의의 3개의 필터 소자가 R, G, B 3색으로 이루어지는 배색이다. 그리고, 델타 배열은 필터 소자의 배치를 매우 멀게 하여, 임의의 인접하는 3개의 필터 소자가 R, G, B의 3색으로 이루어지는 배색이다.
도 6에서, 컬러 필터(1)의 크기는, 예컨대, 1.8인치이다. 또한, 하나의 필터 소자(3)의 크기는, 예컨대, 30㎛×100㎛이다. 또한, 각 필터 소자(3) 사이의 간격, 소위 소자간 피치는, 예컨대, 75㎛이다.
본 실시예의 컬러 필터(1)를 풀 컬러 표시를 위한 광학 요소로서 이용하는 경우에는, R, G, B 3개의 필터 소자(3)를 하나의 유닛으로서 하나의 화소를 형성하고, 1 화소 내의 R, G, B 중 어느 하나 또는 그들의 조합으로 광을 선택적으로 통과시킴으로써, 풀 컬러 표시를 행한다. 이 때, 투광성이 없는 수지 재료에 의해 형성된 격벽(6)은 검정 마스크로서 작용한다.
상기 컬러 필터(1)는, 예컨대, 도 6(b)에 나타내는 넓은 면적의 마더 기판(12)으로부터 잘라내어진다. 구체적으로는, 우선, 마더 기판(12) 내에 설정된 복수의 컬러 필터 형성 영역(11) 각각의 표면에 컬러 필터(1) 1개 분량의 패턴을 형성하고, 그들 컬러 필터 형성 영역(11) 주위에 절단용 홈을 더 형성하며, 또한 그들 홈을 따라 마더 기판(12)을 절단함으로써, 각각의 컬러 필터(1)가 형성된다.
이하, 도 6(a)에 나타내는 컬러 필터(1)를 제조하는 제조 방법 및 그 제조장치에 대하여 설명한다.
도 7은 컬러 필터(1)의 제조 방법을 공정 순서대로 모식적으로 나타내고 있다. 우선, 마더 기판(12)의 표면에 투광성이 없는 수지 재료에 의해 격벽(6)을 화살표 B 방향으로부터 보아 격자 형상 패턴으로 형성한다. 격자 형상 패턴의 격자 구멍 부분(7)은 필터 소자(3)가 형성되는 영역, 즉, 필터 소자 형성 영역이다. 이 격벽(6)에 의해 형성되는 각각의 필터 소자 형성 영역(7)의 화살표 B 방향에서 본 경우의 평면 치수는, 예컨대, 30㎛×100㎛ 정도로 형성된다.
격벽(6)은 필터 소자 형성 영역(7)에 공급되는 잉크, 즉, 필터 소자 재료의 유동을 저지하는 기능 및 검정 마스크의 기능을 겸해서 갖는다. 또한, 격벽(6)은 임의의 패터닝 방법, 예컨대, 포토리소그래피법에 의해 형성되고, 또한 필요에 따라 히터에 의해 가열되어 소성된다.
격벽(6)의 형성 후, 도 7(b)에 도시하는 바와 같이, 필터 소자 재료의 잉크 방울(8)을 각 필터 소자 형성 영역(7)에 공급함으로써, 각 필터 소자 형성 영역(7)을 필터 소자 재료(13)로 채운다. 도 7(b)에서, 참조 부호 13R는 적색을 갖는 필터 소자 재료를 나타내고, 참조 부호 13G는 녹색을 갖는 필터 소자 재료를 나타내며, 그리고 참조 부호 13B는 청색을 갖는 필터 소자 재료를 나타내고 있다.
각 필터 소자 형성 영역(7)에 소정량의 필터 소자 재료가 충전(充塡)되면, 히터에 의해 마더 기판(12)을, 예컨대, 70℃ 정도로 가열하여, 필터 소자 재료의 용매를 증발시킨다. 이 증발에 의해, 도 7(c)에 도시하는 바와 같이, 필터 소자 재료(13)의 부피가 감소하여 평탄화된다. 부피 감소가 심한 경우에는, 컬러 필터로서 충분한 막두께가 얻어질 때까지, 필터 소자 재료인 잉크 방울의 공급과 그 잉크 방울의 가열을 반복하여 실행한다. 이상의 처리에 의해, 최종적으로 필터 소자 재료의 고형분만이 잔류하여 막이 형성되고, 이것에 의해, 희망하는 각 색 필터 소자(3)가 형성된다.
이상으로부터 필터 소자(3)가 형성된 후, 그들 필터 소자(3)를 완전히 건조시키기 위해서, 소정 온도에서 소정 시간 가열 처리를 실행한다. 그 후, 예컨대, 스핀 코팅법(spin coating method), 롤 코팅법(roll coating method), 디핑법(dipping method) 또는 잉크젯법(inkjet method) 등과 같은 적절한 방법을 이용하여 보호막(4)을 형성한다. 이 보호막(4)은 필터 소자(3) 등의 보호 및 컬러 필터(1) 표면의 평탄화를 위해 형성된다.
도 9는 컬러 필터의 제조 장치를 구성하는 하나의 구성 요소 기기로서, 도 7(b)에 나타낸 필터 소자 재료를 공급 처리하기 위한 잉크젯 장치의 일 실시예를 나타내고 있다. 이 잉크젯 장치(16)는 R, G, B 중 한 색, 예컨대, R색의 필터 소자 재료를 잉크 방울로서, 마더 기판(12)(도 6(b)참조) 내의 각 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 소정 위치에 토출하여 부착시키기 위한 장치이다. G색의 필터 소자 재료 및 B색의 필터 소자 재료를 위한 잉크젯 장치도 각각 준비되지만, 그들의 구조는 도 9의 것과 동일하게 할 수 있기 때문에, 그들에 대한 설명은 생략한다.
도 9에서, 잉크젯 장치(16)는 잉크젯 헤드(22)를 구비한 헤드 유닛(26)과, 잉크젯 헤드(22)의 위치를 제어하는 헤드 위치 제어 장치(17)와, 마더 기판(12)의 위치를 제어하는 기판 위치 제어 장치(18)와, 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)에대하여 주주사 이동시키는 주주사 구동 장치(19)와, 잉크젯 헤드(22)를 마더 기판(12)에 대하여 부주사 이동시키는 부주사 구동 장치(21)와, 마더 기판(12)을 잉크젯 장치(16) 내의 소정 작업 위치에 공급하는 기판 공급 장치(23)와, 그리고 잉크젯 장치(16)의 전반적인 제어를 담당하는 제어 장치(24)를 갖는다.
헤드 위치 제어 장치(17), 기판 위치 제어 장치(18), 주주사 구동 장치(19), 그리고 부주사 구동 장치(21)의 각 장치는 베이스(9) 상에 설치된다. 또한, 그들 각 장치는 필요에 따라 커버(14)에 의해 덮인다.
잉크젯 헤드(22)는, 예컨대, 도 2에 도시하는 바와 같이, 복수, 본 실시예에서는 6개의 헤드부(20)와, 그들 헤드부(20)를 배열하여 지지하는 지지 수단으로서의 캐리지(25)를 갖는다. 캐리지(25)는 헤드부(20)를 지지해야 할 위치에 헤드부(20)보다 조금 큰 구멍, 즉, 오목부를 갖고, 각 헤드부(20)는 그들 구멍 내에 위치하고, 또한 나사나 접착제 그 밖의 체결 수단에 의해서 고정된다. 또한, 캐리지(25)에 대한 헤드부(20)의 위치가 정확하게 결정된 경우에는, 특별한 체결 수단을 이용하지 않고, 단순히 눌러 넣어서 헤드부(20)를 고정해도 무방하다.
헤드부(20)는, 예컨대, 도 11에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐(27)을 열형상으로 배열하는 것에 의해 형성된 노즐열(28)을 갖는다. 노즐(27)의 수는, 예컨대, 180개이며, 노즐(27)의 구멍 직경은, 예컨대, 28㎛이며, 노즐(27) 사이의 노즐 피치는, 예컨대, 141㎛이다. 도 6(a) 및 도 6(b)에서 컬러 필터(1)와 마더 기판(12)에 대한 주주사 방향 X와 그것에 직교하는 부주사 방향 Y는 도 11에 도시한 바와 같이 설정된다.
도 2에서, 각 헤드부(20)는 그들이 갖는 노즐열(28)의 연장 방향 K0이 캐리지(25)의 길이 방향의 중심축선 K1에 대해 각도 θ로 경사지도록, 그 캐리지(25)에 설치되고 있다. 또한, 잉크젯 헤드(22)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 그 캐리지(25)의 중심축선 K1이 주주사 방향 X와 교차하는 방향, 본 실시예에서는 직각 방향으로 연장되도록 위치 설정된다. 즉, 각 노즐열(28)은 주주사 방향에 대해 직각인 부주사 방향 Y에 대하여 각도 θ로 경사지는 상태로 위치 설정된다.
잉크젯 헤드(22)는 X 방향으로 평행 이동함으로써 마더 기판(12)을 주주사하지만, 이 주주사 동안에 잉크로서의 필터 소자 재료를 각 헤드부(20) 내의 복수의 노즐(27)로부터 선택적으로 토출함으로써, 마더 기판(12) 내의 소정 위치에 필터 소자 재료를 부착시킨다. 또한, 잉크젯 헤드(22)는 부주사 방향 Y로 소정 거리, 예컨대, 노즐열(28)의 부주사 방향 Y 성분 길이의 6개 분량의 길이 또는 그보다도 짧거나 또는 그보다도 긴 길이만큼 평행 이동함으로써, 잉크젯 헤드(22)에 의한 주주사 위치를 소정의 간격으로 비키어 놓을 수 있다.
각각의 헤드부(20)는, 예컨대, 도 13(a) 및 도 13(b)에 나타내는 내부 구조를 갖는다. 구체적으로는, 헤드부(20)는, 예컨대, 스테인레스제의 노즐 플레이트(29)와, 그것에 대향하는 진동판(31)과, 그들을 서로 접합하는 복수의 경계 부재(32)를 갖는다. 노즐 플레이트(29)와 진동판(31) 사이에는, 경계 부재(32)에 의해 복수의 잉크실(33)과 용액실(34)이 형성된다. 복수의 잉크실(33)과 용액실(34)은 통로(38)를 거쳐서 서로 연결되어 있다.
진동판(31)의 적당한 위치에는 잉크 공급 구멍(36)이 형성되고, 이 잉크 공급 구멍(36)에 잉크 공급 장치(37)가 접속된다. 이 잉크 공급 장치(37)는 R, G, B 중 한 색, 예컨대, R색의 필터 소자 재료 M을 잉크 공급 구멍(36)에 공급한다. 공급된 필터 소자 재료 M은 용액실(34)에 채워지고, 또한 통로(38)를 통해 잉크실(33)에 채워진다.
노즐 플레이트(29)에는, 잉크실(33)로부터 필터 소자 재료 M을 제트 형상으로 분사하기 위한 노즐(27)이 마련되어 있다. 또한, 진동판(31)의 잉크실(33)을 형성하는 면의 이면에는, 해당 잉크실(33)에 대응시켜 잉크 가압체(39)가 설치되어 있다. 이 잉크 가압체(39)는, 도 13(b)에 도시하는 바와 같이, 압전 소자(41) 및 이것을 사이에 유지하는 한 쌍의 전극(42a, 42b)을 갖는다. 압전 소자(41)는 전극(42a, 42b)으로의 통전에 의해 화살표 C로 나타내는 외측으로 돌출하도록 휨 변형되고, 이것에 의해 잉크실(33)의 용적이 증대한다. 그렇게 하면, 증대한 용적 분량에 상당하는 필터 소자 재료 M이 용액실(34)로부터 통로(38)를 통해 잉크실(33)로 유입된다.
다음으로, 압전 소자(41)로의 통전을 해제하면, 해당 압전 소자(41)와 진동판(31)은 모두 본래의 형상으로 되돌아간다. 이것에 의해, 잉크실(33)도 본래의 용적으로 되돌아가기 때문에, 잉크실(33) 내부에 있는 필터 소자 재료 M의 압력이 상승하여, 노즐(27)로부터 마더 기판(12)(도 6(b)참조)을 향해 필터 소자 재료 M이 잉크 방울(8)로 되어 분출한다. 또, 노즐(27)의 주변부에는, 잉크 방울(8)의 이탈이나 노즐(27)의 구멍 막힘 등을 방지하기 위해, 예컨대, Ni-테트라플루오르에틸렌 공판 도금층으로 이루어지는 잉크 소모층(waste ink layer)(43)이 마련된다.
도 10에서, 헤드 위치 제어 장치(17)는 잉크젯 헤드(22)를 면내 회전시키는 α 모터(44)와, 잉크젯 헤드(22)를 부주사 방향 Y와 평행한 축선 주위로 요동 회전시키는 β 모터(46)와, 잉크젯 헤드(22)를 주주사 방향 X와 평행한 축선 주위로 요동 회전시키는 γ 모터(47)와, 그리고 잉크젯 헤드(22)를 상하 방향으로 평행 이동시키는 Z 모터(48)를 갖는다.
도 9에 나타낸 기판 위치 제어 장치(18)는, 도 10에서, 마더 기판(12)을 싣는 테이블(49)과, 그 테이블(49)을 화살표 θ와 같이 면내 회전시키는 θ 모터(51)를 갖는다. 또한, 도 9에 나타낸 주주사 구동 장치(19)는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 주주사 방향 X로 연장하는 가이드 레일(52)과, 펄스 구동되는 리니어 모터를 내장한 슬라이더(53)를 갖는다. 슬라이더(53)는 내장하는 리니어 모터가 작동할 때에 가이드 레일(52)을 따라 주주사 방향으로 평행 이동한다.
또한, 도 9에 나타낸 부주사 구동 장치(21)는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 부주사 방향 Y로 연장되는 가이드 레일(54)과, 펄스 구동되는 리니어 모터를 내장한 슬라이더(56)를 갖는다. 슬라이더(56)는 내장하는 리니어 모터가 작동할 때에 가이드 레일(54)을 따라 부주사 방향 Y로 평행 이동한다.
슬라이더(53)나 슬라이더(56) 내에서 펄스 구동되는 리니어 모터는 해당 모터에 공급되는 펄스 신호에 의해 출력축의 회전 각도 제어를 정밀하게 행할 수 있고, 따라서, 슬라이더(53)에 지지된 잉크젯 헤드(22)의 주주사 방향 X 상의 위치나 테이블(49)의 부주사 방향 Y 상의 위치 등을 아주 정밀하게 제어할 수 있다. 또, 잉크젯 헤드(22)나 테이블(49)의 위치 제어는 펄스 모터를 이용한 위치 제어에 한정되지 않고, 서보 모터를 이용한 피드백 제어나, 기타 임의의 제어 방법에 의해 실현할 수도 있다.
도 9에 나타낸 기판 공급 장치(23)는 마더 기판(12)을 수용하는 기판 수용부(57)와, 마더 기판(12)을 반송하는 로봇(58)을 갖는다. 로봇(58)은 바닥, 지면 등과 같은 설치면에 놓여지는 기대(基臺)(59)와, 기대(59)에 대하여 승강 이동하는 승강축(61)과, 승강축(61)을 중심으로하여 회전하는 제 1 암(arm)(62)과, 제 1 암(62)에 대해 회전하는 제 2 암(63)과, 제 2 암(63)의 선단 하면에 마련된 흡착 패드(64)를 갖는다. 흡착 패드(64)는 공기 흡인 등에 의해서 마더 기판(12)을 흡착할 수 있다.
도 9에서, 주주사 구동 장치(19)에 의해 구동되어 주주사 이동하는 잉크젯 헤드(22)의 궤적 하이고 부주사 구동 장치(21) 한 쪽의 협소한 위치에, 캡핑 장치(76) 및 클리닝 장치(77)가 배치된다. 또한, 다른 쪽의 협소한 위치에 전자 천칭(78)이 배치된다. 클리닝 장치(77)는 잉크젯 헤드(22)를 세정하기 위한 장치이다. 전자 천칭(78)은 잉크젯 헤드(22) 내 각각의 노즐(27)(도 11 참조)로부터 토출되는 잉크 방울의 중량을 노즐마다 측정하는 기기이다. 그리고, 캡핑 장치(76)는 잉크젯 헤드(22)가 대기 상태에 있을 때에 노즐(27)의 건조를 방지하기 위한 장치이다.
잉크젯 헤드(22)의 근방에는, 그 잉크젯 헤드(22)와 일체적으로 이동하기 위한 헤드용 카메라(81)가 배치된다. 또한, 베이스(9) 상에 마련한 지지 장치(도시하지 않음)에 지지된 기판용 카메라(82)가 마더 기판(12)을 촬영할 수 있는 위치에배치된다.
도 9에 나타낸 제어 장치(24)는 프로세서를 수용한 컴퓨터 본체부(66)와, 입력 장치로서의 키보드(67)와, 표시 장치로서의 CRT(Cathode Ray Tube) 디스플레이(68)를 갖는다. 상기 프로세서는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 연산 처리를 행하는 CPU(Central Processing Unit)(69)와, 각종 정보를 기억하는 메모리, 즉, 정보 기억 매체(71)를 갖는다.
도 9에 나타낸 헤드 위치 제어 장치(17), 기판 위치 제어 장치(18), 주주사 구동 장치(19), 부주사 구동 장치(21), 그리고, 잉크젯 헤드(22) 내의 압전 소자(41)(도 13(b) 참조)를 구동하는 헤드 구동 회로(72)의 각 기기는, 도 14에서, 입출력 인터페이스(73) 및 버스(74)를 거쳐서 CPU(69)에 접속된다. 또한, 기판 공급 장치(23), 입력 장치(67), 디스플레이(68), 전자 천칭(78), 클리닝 장치(77) 및 캡핑 장치(76)의 각 기기도 입출력 인터페이스(73) 및 버스(74)를 거쳐서 CPU(69)에 접속된다.
메모리(71)는 RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory) 등과 같은 반도체 메모리나, 하드 디스크, CD-ROM 판독 장치, 디스크형 기억 매체 등과 같은 외부 기억 장치 등을 포함하는 개념이며, 기능적으로는, 잉크젯 장치(16)의 동작 제어 순서가 기술된 프로그램 소프트웨어를 기억하는 기억 영역이나, 도 8에 나타내는 각종 R, G, B 배열을 실현하기 위한 R, G, B 중 한 색의 마더 기판(12)(도 6 참조) 내에서의 토출 위치를 좌표 데이터로서 기억하기 위한 기억 영역이나, 도 10에서의 부주사 방향 Y로의 마더 기판(12)의 부주사 이동량을 기억하기 위한 기억영역이나, CPU(69)를 위한 작업 영역이나 임시 파일 등으로서 기능하는 영역이나, 그 밖의 각종 기억 영역이 설정된다.
CPU(69)는 메모리(71) 내에 기억된 프로그램 소프트웨어에 따라서, 마더 기판(12) 표면의 소정 위치에 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출하기 위한 제어를 하는 것이며, 구체적인 기능 실현부로서, 클리닝 처리를 실현하기 위한 연산을 행하는 클리닝 연산부와, 캡핑 처리를 실현하기 위한 캡핑 연산부와, 전자 천칭(78)(도 9 참조)을 이용한 중량 측정을 실현하기 위한 연산을 행하는 중량 측정 연산부와, 잉크젯에 의해 필터 소자 재료를 묘화하기 위한 연산을 행하는 묘화 연산부를 갖는다.
묘화 연산부를 자세히 분할하면, 잉크젯 헤드(22)를 묘화하기 위한 초기 위치를 설정하는 묘화 개시 위치 연산부와, 잉크젯 헤드(22)를 주주사 방향 X로 소정의 속도로 주사 이동시키기 위한 제어를 연산하는 주주사 제어 연산부와, 마더 기판(12)을 부주사 방향 Y로 소정의 부주사량만큼 비키어 놓기 위한 제어를 연산하는 부주사 제어 연산부와, 그리고, 잉크젯 헤드(22) 내의 복수 노즐(27) 중 어느 하나를 작동시켜 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출할지를 제어하기 위한 연산을 하는 노즐 토출 제어 연산부 등과 같은 각종 기능 연산부를 갖는다.
또, 본 실시예에서는, 상기의 각 기능을 CPU(69)를 이용하여 소프트웨어적으로 실현하기로 했지만, 상기의 각 기능이 CPU를 이용하지 않는 단독 전자 회로에 의해 실현할 수 있는 경우에는, 그와 같은 전자 회로를 이용할 수도 있다.
이하, 상기 구성으로 이루어지는 잉크젯 장치(16)의 동작을 도 15에 나타내는 흐름도에 근거하여 설명한다.
오퍼레이터에 의한 전원 투입에 의해서 잉크젯 장치(16)가 작동하면, 우선, 단계 S1에서 초기 설정이 실행된다. 구체적으로는, 헤드 유닛(26)이나 기판 공급 장치(23)나 제어 장치(24) 등이 미리 결정된 초기 상태로 설정된다.
다음으로, 중량 측정 타이밍이 도래하면(단계 S2에서 '예'), 도 10의 헤드 유닛(26)을 주주사 구동 장치(19)에 의해 도 9의 전자 천칭(78)의 위치까지 이동시키고(단계 S3), 노즐(27)로부터 토출되는 잉크의 양을 전자 천칭(78)을 이용하여 측정한다(단계 S4). 그리고, 각 노즐(27)의 잉크 토출 특성에 맞춰, 각 노즐(27)에 대응하는 압전 소자(41)에 인가하는 전압을 조절한다(단계 S5).
다음으로, 클리닝 타이밍이 도래하면(단계 S6에서 '예'), 헤드 유닛(26)을 주주사 구동 장치(19)에 의해서 클리닝 장치(77)의 위치까지 이동시키고(단계 S7), 그 클리닝 장치(77)에 의해서 잉크젯 헤드(22)를 클리닝한다(단계 S8).
중량 측정 타이밍이나 클리닝 타이밍이 도래하지 않은 경우(단계 S2 및 S6에서 '아니오'), 또는 그들 처리가 종료한 경우에는, 단계 S9에 있어서, 도 9의 기판 공급 장치(23)를 작동시켜 마더 기판(12)을 테이블(49)에 공급한다. 구체적으로는, 기판 수용부(57) 내의 마더 기판(12)을 흡착 패드(64)에 의해서 흡인 유지하고, 다음으로, 승강축(61), 제 1 암(62) 및 제 2 암(63)을 이동시켜 마더 기판(12)을 테이블(49)까지 반송하고, 또한 테이블(49)의 적당한 위치에 미리 마련하여 놓은 위치 결정핀(50)(도 10 참조)에 압착한다. 또, 테이블(49) 상에서 마더 기판(12)의 위치 어긋남을 방지하기 위해서, 공기 흡인 등의 수단에 의해 마더 기판(12)을 테이블(49)에 고정하는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 9의 기판용 카메라(82)로 마더 기판(12)을 관찰하면서, 도 10의 θ 모터(51)의 출력축을 미소 각도 단위로 회전시킴으로써 테이블(49)을 미소 각도 단위로 면내 회전시켜 마더 기판(12)을 위치 결정한다(단계 S10). 다음으로, 도 9의 헤드용 카메라(81)로 마더 기판(12)을 관찰하면서 잉크젯 헤드(22)에 의해 묘화를 개시하는 위치를 연산에 의해 결정하고(단계 S11), 그리고, 주주사 구동 장치(19) 및 부주사 구동 장치(21)를 적절하게 작동시켜 잉크젯 헤드(22)를 묘화 개시 위치로 이동시킨다(단계 S12).
이 때, 잉크젯 헤드(22)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 그 캐리지(25)의 중심축선 K1이 주주사 방향 X와 직각 방향이 되도록 설정된다. 이 때문에, 노즐열(28)이 잉크젯 헤드(22)의 부주사 방향 Y에 대하여 각도 θ로 경사지도록 배치된다. 이것은, 보통 잉크젯 장치의 경우에는, 서로 이웃하는 노즐(27) 사이의 간격인 노즐간 피치와, 서로 이웃하는 필터 소자(3), 즉, 필터 소자 형성 영역(7) 사이의 간격인 소자 피치가 다른 것이 많아서, 잉크젯 헤드(22)를 주주사 방향 X로 이동시킬 때에, 노즐간 피치의 부주사 방향 Y의 치수 성분이 소자 피치와 기하학적으로 같게 되도록 하기 위한 조치이다.
도 15의 단계 S12에서 잉크젯 헤드(22)가 묘화 개시 위치에 놓여지면, 그 후, 도 15의 단계 S13에서 X 방향으로의 주주사가 시작되고, 동시에 잉크의 토출이 시작된다. 구체적으로는, 도 10의 주주사 구동 장치(19)가 작동하여 잉크젯 헤드(22)가 도 1의 주주사 방향 X로 일정한 속도로 직선적으로 주사 이동하고, 그이동 중에 잉크를 공급해야 할 필터 소자 형성 영역(7)에 대응하는 노즐(27)이 도달했을 때에 그 노즐(27)로부터 잉크, 즉, 필터 소자 재료가 토출되어 해당 영역(7)이 채워져 필터 소자(3)가 형성된다.
잉크젯 헤드(22)는 마더 기판(12)에 대한 한 번의 주주사가 종료하면(단계 S14에서 '예'), 반전 이동하여 초기 위치로 복귀한다(단계 S15). 그리고, 잉크젯 헤드(22)는 부주사 구동 장치(21)에 의해 구동되어 부주사 방향 Y로 미리 결정된 부주사량, 예컨대, 6개 노즐열(28)의 합계 길이의 부주사 방향 Y 성분만큼 더 이동한다(단계 S16). 그리고 다음으로, 주주사 및 잉크 토출이 반복해서 행해져 필터 소자 형성 영역(7)이 필터 소자 재료에 의해 채워지고 필터 소자(3)가 형성된다(단계 S13).
이상과 같은 잉크젯 헤드(22)에 의한 필터 소자(3)의 묘화 작업이 마더 기판(12)의 전체 영역에 대해 완료되면(단계 S17에서 '예'), 단계 S18에서 마더 기판(12)을 기판 공급 장치(23)에 의해, 또는 별도의 반송 기기에 의해, 처리 후의 마더 기판(12)이 외부로 배출된다. 그 후, 오퍼레이터에 의해 처리 종료의 지시가 이루어지지 않는 한(단계 S19에서 '아니오'), 단계 S2로 되돌아가 별도의 마더 기판(12)에 대한 R, G, B 중 한 색에 대한 잉크 토착 작업을 반복하여 실행한다.
오퍼레이터로부터 작업 종료 지시가 있으면(단계 S19에서 '예'), CPU(69)는 도 9에서 잉크젯 헤드(22)를 캡핑 장치(76)의 위치까지 반송하고, 그 캡핑 장치(76)에 의해 잉크젯 헤드(22)에 대해 캡핑 처리를 실시한다(단계 S20).
이상으로부터, 컬러 필터를 구성하는 R, G, B 3색 중 제 1 색, 예컨대, R색에 대해서의 패터닝이 종료하고, 그 후, 마더 기판(12)을 R, G, B 중 제 2 색, 예컨대, G색을 필터 소자 재료로 하는 잉크젯 장치(16)로 반송하여 G색을 패터닝하고, 최종적으로 R, G, B 중 제 3 색, 예컨대, B색을 필터 소자 재료로 하는 잉크젯 장치(16)로 반송하여 B색을 더 패터닝한다. 이것에 의해, 스트라이프 배열 등과 같은 희망하는 R, G, B의 도트 배열을 갖는 컬러 필터(1)(도 6(a))가 복수개 형성된 마더 기판(12)이 제조된다. 이 마더 기판(12)을 컬러 필터 영역(11)마다 절단함으로써, 한 개의 컬러 필터(1)가 복수개 잘라내어진다.
또, 이 컬러 필터(1)를 액정 장치의 컬러 표시를 위해 이용하는 것으로 하면, 이 컬러 필터(1)의 표면에는 전극이나 배향막 등이 더 적층되게 된다. 그와 같은 경우, 전극이나 배향막 등을 적층하기 전에 마더 기판(12)을 절단하여 각각의 컬러 필터(1)를 잘라내면, 그 후의 전극 등의 형성 공정이 매우 번거롭게 된다. 따라서, 그와 같은 경우에는, 마더 기판(12) 상에서 컬러 필터(1)가 완성된 후에, 즉시 마더 기판(12)을 절단하는 것이 아니라, 전극 형성이나 배향막 형성 등과 같은 필요한 부가 공정이 종료된 후에 마더 기판(12)을 절단하는 것이 바람직하다.
이상과 같이 본 실시예에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 도 1에 도시하는 바와 같이, 복수의 헤드부(20)를 지지한 지지 수단으로서의 캐리지(25)에 의해서 기판(12)을 주주사하는 동안에 그들 복수 헤드부(20)의 노즐열(28)로부터 잉크를 토출하기 때문에, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판(12) 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있으므로, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부(20)는 부주사 방향 Y에 대해 각도 θ의 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부(20)에 속하는 복수 노즐(27)의 노즐간 피치를 기판(12) 상의 필터 소자 형성 영역(7) 사이의 간격, 즉, 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 이와 같이 노즐간 피치와 소자간 피치를 기하학적으로 일치시키면, 노즐열(28)을 부주사 방향 Y에 대해서 위치 제어할 필요가 없으므로 바람직하다
또, 본 실시예에서는 헤드부(20)가 캐리지(25)에 고정되기 때문에, 경사 각도 θ는 한 개의 캐리지(25)에 대하여 한 종류이다. 따라서, 기판(12) 측의 소자간 피치가 변화하는 경우에는, 그 소자간 피치에 대응한 경사 각도 θ를 실현할 수 있는 다른 캐리지(25)를 이용해야 한다.
또한, 본 실시예에서는, 캐리지(25) 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부(20)를 경사지게 하기 때문에, 기판(12)에 가까운 쪽의 노즐(27)과 기판(12)으로부터 먼 쪽의 노즐(27)까지의 거리 T는 캐리지(25) 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 현저하게 작아지므로, 잉크젯 헤드(22)에 의해 기판(12)을 주사하는 시간을 대폭 단축할 수 있다. 이것에 의해, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또, 본 실시예의 제조 장치 및 제조 방법에서는, 잉크젯 헤드(22)를 이용한 잉크 토출에 의해 필터 소자(3)를 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.
이 실시예 1에서는, 격벽(6)으로서 투광성이 없는 수지 재료를 이용했지만,격벽(6)으로서 투광성 수지 재료를 이용하는 것도 물론 가능하다. 그 경우에는, 필터 소자 사이에 대응하는 위치, 예컨대, 격벽(6)의 상(上), 하(下) 등에 별도로, 차광성 금속막 또는 수지 재료를 마련하고 검정 마스크로 해도 무방하다. 또한, 투광성 수지 재료로 격벽(6)을 형성하고, 검정 마스크를 마련하지 않는 구성으로 해도 좋다.
또한, 이 실시예 1에서는, 필터 소자로서 R, G, B를 이용했지만, R, G, B에 한정되는 것은 아니고, 예컨대, C(시안색), M(마젠타색), Y(황색)를 채용해도 관계없다. 그 경우에는, R, G, B의 필터 소자 재료 대신에, C, M, Y의 색을 갖는 필터 소자 재료를 이용하면 좋다.
(실시예 2)
도 3은 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치의 다른 실시예에 의해 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 마더 기판(12) 내 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 각 필터 소자 형성 영역(7)에 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출에 의해 공급하는 경우를 모식적으로 나타내고 있다.
본 실시예에 의해서 실시되는 개략의 공정은 도 7에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 도 9에 나타낸 장치와 기구적으로는 동일하다.
본 실시예가 도 1에 나타낸 앞의 실시예와 다른 점은 캐리지(25)에 의한 헤드부(20)의 지지 구조를 변형한 점이다. 구체적으로는, 도 4에서, 각각의헤드부(20)를 캐리지(25)에 대하여 헤드부(20)의 중심축선 K2를 중심으로 하여 화살표 N과 같이 회전할 수 있게, 즉, 면내 회전할 수 있게 지지한다. 또한, 각각의 헤드부(20)를 캐리지(25)에 대해, 화살표 P로 도시하는 바와 같이, 슬라이드 이동, 즉, 면내 평행 이동할 수 있게 지지한다. 또한, 캐리지(25)에 노즐열 각도 제어 장치(83) 및 노즐열 간격 제어 장치(84)를 부설한다.
노즐열 각도 제어 장치(83)는 복수의 노즐열(28)의 면내 경사 각도 θ를 개별적으로 또는 일괄적으로 제어하는 것이다. 이 노즐열 각도 제어 장치(83)는 임의 구조로 구성할 수 있지만, 예컨대, 화살표 N과 같이 면내 회전할 수 있게 케이스(25)에 설치된 헤드부(20)를 펄스 모터나 서보 모터 등과 같은 회전 각도 제어가 가능한 동력원에 직접적으로 또는 동력 전달 기구 등을 거쳐서 간접적으로 접속함으로써 구성할 수 있다. 이 구성에 따르면, 상기 동력원의 출력 각도값을 제어함으로써 각 노즐열(20)의 경사 각도 θ를 원하는 값으로 조절할 수 있고, 또한 그 조절 후 상기 동력원의 출력축을 잠금 상태로 유지함으로써 각 노즐열(20)의 경사 각도 θ를 원하는 값으로 고정 유지할 수 있다.
또한, 노즐열 간격 제어 장치(84)는 복수의 노즐열(20) 간격을 각각의 간격마다 개별적으로 또는 일괄적으로 제어하는 것이다. 이 노즐열 간격 제어 장치(84)는 임의 구조로 구성할 수 있지만, 예컨대, 화살표 P와 같이 슬라이드 이동할 수 있게 케이스(25)에 설치된 헤드부(20)를 펄스 모터나 서보 모터 등과 같은 회전 각도 제어가 가능한 회전 기기를 동력원으로 하는 슬라이드 구동 장치나, 리니어 모터 등과 같은 선형 이동 구동원을 이용하여 구성되는 슬라이드 구동 장치등에 접속함으로써 구성할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 도 4의 노즐열 각도 제어 장치(83)를 작동시켜 도 3에서 헤드부(20)를 화살표 N과 같이 면내 회전시킴으로써 헤드부(20)의 면내 경사 각도 θ를 조절하여, 노즐열(28)의 노즐간 피치를 기판(12) 상의 필터 소자 형성 영역(7)의 소자간 피치와 일치시킨다. 그리고 또한, 도 4의 노즐열 간격 제어 장치(84)를 작동시켜 도 3에서 헤드부(20) 사이의 간격을 조절하여, 서로 이웃하는 노즐열(28)의 단부끼리의 노즐간 거리를 기판(12) 측의 소자간 피치와 일치시킨다.
이상으로부터, 6개의 노즐열(28)을 소자간 피치와 일치하는 노즐간 피치를 갖는 연속하고 긴 노즐열로 형성할 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에 따르면, 1개의 잉크젯 헤드(22) 내의 노즐간 피치를 적절하게 조절함으로써, 소자간 피치가 다른 패턴을 기판(12) 상에 묘화할 수 있다.
(실시예 3)
도 5는 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 장치 및 제조 방법의 다른 실시예에 따라 잉크젯 헤드(22)를 이용하여 마더 기판(12) 내 컬러 필터 형성 영역(11) 내의 각 필터 소자 형성 영역(7)에 잉크, 즉, 필터 소자 재료를 토출에 의해 공급하는 경우를 모식적으로 나타내고 있다.
본 실시예에 따라 실시되는 개략의 공정은 도 7에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 도 9에 나타낸 장치와 기구적으로는 동일하다.
본 실시예가 도 1 및 도 3에 나타낸 앞의 실시예와 다른 점은, 노즐열(28)의 경사 각도 θ가 각 노즐열(28) 사이에서 크기는 동일하지만 경사 방향이 플러스·마이너스 사이에서 교대로 변화하는 점이다. 이 방법에 의해서도, 6개의 노즐열(28)을 기판(12) 측의 소자간 피치와 일치하는 노즐간 피치를 갖는 연속하고 긴 노즐열로 형성할 수 있다.
또, 본 실시예에 대해서도, 도 1에 나타내었듯이 노즐열(28)이 고정되는 구조로 할 수도 있고, 또는, 도 3에 나타내었듯이 노즐열(28)의 경사 각도 θ 및 노즐열간 거리를 조절할 수 있는 구조로 할 수도 있다.
(실시예 4)
도 12는 본 발명에서 이용하는 헤드부(20)의 변형예를 나타내고 있다. 여기에 나타내는 헤드부(20)가 도 11에 나타낸 헤드부(20)와 다른 점은 노즐열(28)을 주주사 방향 X를 따라 2열 마련한 점이다. 이에 따라, 동일 주주사 라인에 탑재된 두 개의 노즐(27)에 의해 하나의 필터 소자 형성 영역(7)에 필터 소자 재료를 공급할 수 있다.
또, 본 실시예에서 잉크젯 헤드(22)의 중심축선 K0은 부주사 방향 Y에 대하여 면내 경사 각도 θ로 경사져 있으므로, 2단의 노즐열(28) 내의 노즐(27)은 캐리지(25)의 중심축선 K0에 직각 방향으로 배열되는 것이 아니라, 주주사 방향 X에 탑재되도록 캐리지(25)로부터 보면 서로 어긋나 배열되는 것이 바람직하다.
(실시예 5)
도 16은 본 발명에서 이용하는 헤드부(20)의 또 다른 변형예를 나타내고 있다. 이 헤드부(20)가 도 11에 나타내는 헤드부(20)와 다른 점은 R색 잉크를 토출하는 노즐열(28R)과, G색 잉크를 토출하는 노즐열(28G)과, B색 잉크를 토출하는 노즐열(28B)과 같은 3종류의 노즐열을 하나의 헤드부(20)에 형성하고, 그들 3종류 각각 도 13(a) 및 도 13(b)에 나타낸 잉크 토출계를 마련하여, R색 노즐열(28R)에 대응하는 잉크 토출계에는 R 잉크 공급 장치(37R)를 접속하고, G색 노즐열(28G)에 대응하는 잉크 토출계에는 G 잉크 공급 장치(37G)를 접속하며, 그리고 B색 노즐열(28B)에 대응하는 잉크 토출계에는 B 잉크 공급 장치(37B)를 접속한 것이다.
본 실시예에 의해 실시되는 개략의 공정은 도 7에 나타낸 공정과 동일하며, 잉크 토착을 위해 이용하는 잉크젯 장치도 기본적으로는 도 9에 나타낸 장치와 동일하다.
도 11에 나타낸 실시예에서는, 헤드부(20)에 한 종류의 노즐열(28)만 마련되기 때문에, R, G, B 3색에 의해서 컬러 필터를 형성할 때에는 도 2 등에 나타낸 잉크젯 헤드(22)가 R, G, B의 3색 각각에 대해 준비되어 있어야 했다. 이것에 대하여, 도 16에 나타내는 구조의 헤드부(20)를 사용하는 경우에는, 복수개의 헤드부(20)를 구비한 잉크젯 헤드(22)가 X 방향으로 한 번 주주사됨으로써 R, G, B의 3색을 동시에 마더 기판(12)에 부착시킬 수 있기 때문에, 잉크젯 헤드(22)는 하나만 준비해 두면 충분하다.
(실시예 6)
도 17은 본 발명에 따른 액정 장치의 제조 장치를 이용한 제조 방법의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 18은 그 제조 방법에 의해 제조되는 액정 장치의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 19는 도 18에서의 X-X선에 따른 액정 장치의 단면 구조를 나타내고 있다. 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치의 설명에 앞서, 우선, 그 제조 방법에 의해 제조되는 액정 장치를 그 일례를 들어 설명한다. 또, 본 실시예의 액정 장치는 단순 매트릭스 방식으로 풀 컬러 표시를 행하는 반투과 반사 방식의 액정 장치이다.
도 18에서, 액정 장치(101)는 액정 패널(102)에 반도체 칩으로서의 액정 구동용 IC(103a, 103b)를 실장하고, 배선 접속 요소로서의 FPC(Flexible Printed Circuit)(104)를 액정 패널(102)에 접속하며, 또한 액정 패널(102)의 이면 측에 조명 장치(106)를 백 라이트로 마련함으로써 형성된다.
액정 패널(102)은 제 1 기판(107a)과 제 2 기판(107b)을 밀봉재(108)에 의해 접합하는 것에 의해 형성된다. 밀봉재(108)는, 예컨대, 스크린 인쇄 등에 의해 에폭시계 수지를 제 1 기판(107a) 또는 제 2 기판(107b)의 내측 표면에 고리 모양으로 부착시킴으로써 형성된다. 또한, 밀봉재(108) 내부에는, 도 19에 도시하는 바와 같이, 도전성 재료에 의해 구 형상 또는 원통 형상으로 형성된 도통재(109)가 분산 상태로 포함된다.
도 19에서, 제 1 기판(107a)은 투명한 유리나, 투명한 플라스틱 등으로 형성된 판 형상의 기재(111a)를 갖는다. 이 기재(111a)의 내측 표면(도 19의 상측 표면)에는 반사막(112)이 형성되고, 그 위에 절연막(113)이 적층되며, 그 위에 제 1 전극(114a)이 화살표 D 방향으로부터 보아 스트라이프 형상(도 18 참조)으로 형성되고, 그 위에 배향막(116a)이 더 형성된다. 또한, 기재(111a)의 외측 표면(도 19의 하측 표면)에는 편광판(117a)이 접착 등에 의해 장착된다.
도 18에서는 제 1 전극(114a)의 배열을 알기 쉽게 나타내기 위해, 그들 스트라이프 간격을 실제보다도 대폭 넓게 그리고 있어서 제 1 전극(114a)의 개수가 적게 그려져 있지만, 실제로는, 제 1 전극(114a)은 더 많은 개수가 기재(111a) 상에 형성된다.
도 19에서, 제 2 기판(107b)은 투명한 유리나, 투명한 플라스틱 등으로 형성된 판 형상의 기재(111b)를 갖는다. 이 기재(111b)의 내측 표면(도 19의 하측 표면)에는 컬러 필터(118)가 형성되고, 그 위에 제 2 전극(114b)이 상기 제 1 전극(114a)과 직교하는 방향으로 화살표 D 방향으로부터 보아 스트라이프 형상(도 18 참조)으로 형성되고, 그 위에 배향막(116b)이 더 형성된다. 또한, 기재(111b)의 외측 표면(도 19의 상측 표면)에는 편광판(117b)이 접착 등에 의해 장착된다.
도 18에서는, 제 2 전극(114b)의 배열을 알기 쉽게 나타내기 위해서, 제 1 전극(114a)의 경우와 마찬가지로, 그들의 스트라이프 간격을 실제보다도 대폭 넓게 그리고 있어서, 제 2 전극(114b)의 개수가 적게 그려져 있지만, 실제로는, 제 2 전극(114b)은 더 많은 개수가 기재(111b) 상에 형성된다.
도 19에서, 제 1 기판(107a), 제 2 기판(107b) 및 밀봉재(108)에 의해 둘러싸이는 간격, 소위 셀갭 내에는 액정, 예컨대, STN(Super Twisted Nematic) 액정 L이 봉입되어 있다. 제 1 기판(107a) 또는 제 2 기판(107b)의 내측 표면에는 미소한 구형 스페이서(119)가 다수 분산되고, 이들 스페이서(119)가 셀갭 내에 존재하는 것에 의해 그 셀갭의 두께가 균일하게 유지된다.
제 1 전극(114a)과 제 2 전극(114b)은 서로 직교 관계로 배치되고, 그들의 교차점은 도 19의 화살표 D 방향으로부터 보아 도트·매트릭스 형상으로 배열된다. 그리고, 그 도트·매트릭스 형상의 각 교차점이 하나의 화소 픽셀을 구성한다. 컬러 필터(118)는 R(적색), G(녹색), B(청색)의 각 색요소를 화살표 D 방향으로부터 보아 소정의 패턴, 예컨대, 스트라이프 배열, 델타 배열, 모자이크 배열 등의 패턴으로 배열시킴으로써 형성되어 있다. 상기 하나의 화소 픽셀은 그들 R, G, B의 각 하나씩에 대응하고 있고, R, G, B의 3색 화소 픽셀이 하나의 유닛으로 되어 1 화소가 구성된다.
도트·매트릭스 형상으로 배열되는 복수의 화소 픽셀에 따라 화소를 선택적으로 발광시킴으로써, 액정 패널(102)의 제 2 기판(107b) 외측에 문자, 숫자 등과 같은 이미지가 표시된다. 이와 같이 하여 이미지가 표시되는 영역이 유효 화소 영역이며, 도 18 및 도 19에서 화살표 V에 의해 도시되는 평면적인 직사각형 영역이 유효 표시 영역으로 되어 있다.
도 19에서, 반사막(112)은 APC 합금, Al(알루미늄) 등과 같은 광 반사성 재료에 의해 형성되고, 제 1 전극(114a)과 제 2 전극(114b)의 교차점인 각 화소 픽셀에 대응하는 위치에 개구(121)가 형성되어 있다. 결과적으로, 개구(121)는 도 19의 화살표 D 방향으로부터 보아, 화소 픽셀과 같은 도트·매트릭스 형상으로 배열되어 있다.
제 1 전극(114a) 및 제 2 전극(114b)은, 예컨대, 투명 도전재인 ITO에 의해서 형성된다. 또한, 배향막(116a, 116b)은 폴리이미드계 수지를 균일한 두께의 막형상으로 부착시킴으로써 형성된다. 이것의 배향막(116a, 116b)을 러빙 처리하는 것에 의해, 제 1 기판(107a) 및 제 2 기판(107b)의 표면 상에서의 액정 분자의 초기 배향이 결정된다.
도 18에서, 제 1 기판(107a)은 제 2 기판(107b)보다도 넓은 면적에 형성되어 있고, 이들 기판을 밀봉재(108)에 의해 접합했을 때, 제 1 기판(107a)은 제 2 기판(107b)의 외측으로 돌출하는 기판 돌출부(107c)를 갖는다. 그리고, 이 기판 돌출부(107c)에는, 제 1 전극(114a)으로부터 연장되는 연장 배선(114c), 밀봉재(108)의 내부에 존재하는 도통재(109)(도 19 참조)를 거쳐서 제 2 기판(107b) 상의 제 2 전극(114b)과 도통하는 연장 배선(114d), 액정 구동용 IC(103a)의 입력용 범프, 즉, 입력용 단자에 접속되는 금속 배선(114e), 그리고 액정 구동용 IC(103b)의 입력용 범프에 접속되는 금속 배선(114f) 등과 같은 각종 배선이 적절한 패턴으로 형성된다.
본 실시예에서는, 제 1 전극(114a)으로부터 연장되는 연장 배선(114c) 및 제 2 전극(114b)에 도통하는 연장 배선(114d)은 그들 전극과 동일 재료인 ITO, 즉, 도전성 산화물에 의해 형성된다. 또한, 액정 구동용 IC(103a, 103b)의 입력 측의 배선인 금속 배선(114e, 114f)은 전기 저항값이 낮은 금속 재료, 예컨대, APC 합금에 의해 형성된다. APC 합금은 주로 Ag를 포함하고, 부수적으로 Pd 및 Cu를 포함하는합금, 예컨대, Ag 98%, Pd 1%, Cu 1%로 이루어지는 합금이다.
액정 구동용 IC(103a, 103b)는 ACF(Anisotropic Conductive Film : 이방성 도전막)(122)에 의해 기판 돌출부(107c)의 표면에 접착되어 실장된다. 즉, 본 실시예에서는 기판 상에 반도체 칩이 직접 실장되는 구조인, 소위 COG(Chip On Glass) 방식의 액정 패널로서 형성되어 있다. 이 COG 방식의 실장 구조에서는, ACF(122) 내부에 포함되는 도전 입자에 의해, 액정 구동용 IC(103a, 103b)의 입력 측 범프와 금속 배선(114e, 114f)이 도전 접속되고, 액정 구동용 IC(103a, 103b)의 출력측 범프와 연장 배선(114c, 114d)이 도전 접속된다.
도 18에서, FPC(104)는 가요성 수지 필름(123)과, 칩부품(124)을 포함하여 구성된 회로(126)와, 금속 배선 단자(127)를 갖는다. 회로(126)는 수지 필름(123)의 표면에 납땜, 그 밖의 도전 접속 방법에 의해 직접 탑재된다. 또한, 금속 배선 단자(127)는 APC 합금, Cr, Cu, 그 밖의 도전 재료에 의해 형성된다. FPC(104) 중 금속 배선 단자(127)가 형성된 부분은 제 1 기판(107a) 중 금속 배선(114e, 114f)이 형성된 부분에 ACF(122)에 의해 접속된다. 그리고, ACF(122) 내부에 포함되는 도전 입자의 기능에 의해, 기판 측의 금속 배선(114e, 114f)과 FPC 측의 금속 배선 단자(127)가 도통된다.
FPC(104) 내의 다른 측 근처 단부에는 외부 접속 단자(131)가 형성되고, 이 외부 접속 단자(131)는 도시하지 않는 외부 회로에 접속된다. 그리고, 이 외부 회로로부터 전송되는 신호에 근거하여 액정 구동용 IC(103a, 103b)가 구동되어, 제 1 전극(114a) 및 제 2 전극(114b) 중 하나에 주사 신호가 공급되고, 다른 하나에 데이터 신호가 공급된다. 이것에 의해, 유효 표시 영역 V 내에 배열된 도트·매트릭스 형상의 화소 픽셀이 각각의 픽셀마다 전압 제어되고, 그 결과, 액정 L의 배향이 각각의 화소 픽셀마다 제어된다.
도 18에서, 소위 백 라이트로서 기능하는 조명 장치(106)는, 도 19에 도시하는 바와 같이, 아크릴 수지 등에 의해 구성된 도광체(132)와, 그 도광체(132)의 광출사면(132b)에 마련된 확산 시트(133)와, 도광체(132)의 광출사면(132b)의 반대면에 마련된 반사 시트(134)와, 발광원으로서의 LED(Light Emitting Diode)(136)를 갖는다.
LED(136)는 LED 기판(137)에 지지되고, 그 LED 기판(137)은, 예컨대, 도광체(132)와 일체적으로 형성된 지지부(도시하지 않음)에 장착된다. LED 기판(137)이 지지부의 소정 위치에 장착됨으로써, LED(136)가 도광체(132)의 측변 단면인 광취입면(132a)에 대향하는 위치에 놓여진다. 또, 참조 부호 138은 액정 패널(102)에 가해지는 충격을 완화하기 위한 완충재를 나타내고 있다.
LED(136)가 발광하면, 그 광은 광취입면(132a)으로부터 취입되어 도광체(132)의 내부로 유도되고, 반사 시트(134)나 도광체(132)의 벽면에서 반사하면서 전파되는 동안에 광출사면(132b)으로부터 확산 시트(133)를 통해서 외부로 평면광으로서 출사된다.
본 실시예의 액정 장치(101)는 이상과 같이 구성되어 있으므로, 태양광, 실내광 등과 같은 외부광이 충분히 밝은 경우에는, 도 19에서, 제 2 기판(107b) 측으로부터 외부광이 액정 패널(102)의 내부로 취입되고, 그 광이 액정 L을 통과한 후에 반사막(112)에서 반사되어 다시 액정 L에 공급된다. 액정 L은 이것을 사이에 유지하는 전극(114a, 114b)에 의해 R, G, B의 화소 픽셀에 배향 제어되어 있으며, 따라서, 액정 L에 공급된 광은 화소 픽셀마다 변조되고, 그 변조에 의해 편광판(117b)을 통과하는 광과, 통과할 수 없는 광에 의해 액정 패널(102)의 외부에 문자, 숫자 등과 같은 이미지가 표시된다. 이에 따라, 반사형 표시가 행해진다.
한편, 외부광의 광량이 충분히 얻어지지 않는 경우에는, LED(136)가 발광하여 도광체(132)의 광출사면(132b)으로부터 평면광이 출사되고, 그 광이 반사막(112)에 형성된 개구(121)를 통해서 액정 L에 공급된다. 이 때, 반사형의 표시와 마찬가지로 하여, 공급된 광이 배향 제어되는 액정 L에 의해서 화소 픽셀마다 변조되고, 이에 따라, 외부로 이미지가 표시된다. 이것에 의해, 투과형 표시가 행해진다.
상기 구성의 액정 장치(101)는, 예컨대, 도 17에 나타내는 제조 방법에 의해 제조된다. 이 제조 방법에 있어서, 공정 P1 내지 공정 P6의 일련의 공정이 제 1 기판(107a)을 형성하는 공정이며, 공정 P11 내지 공정 P14의 일련의 공정이 제 2 기판(107b)을 형성하는 공정이다. 제 1 기판 형성 공정과 제 2 기판 형성 공정은, 보통, 각각이 독자적으로 행해진다.
우선, 제 1 기판 형성 공정에 대하여 설명하면, 투광성 유리, 투광성 플라스틱 등으로 형성된 넓은 면적의 마더 원료 기재의 표면에 액정 패널(102)의 복수개 분량의 반사막(112)을 포토리소그래피법 등을 이용하여 형성하고, 그 위에절연막(113)을 주지의 성막법을 이용하여 더 형성하고(공정 P1), 다음으로, 포토리소그래피법 등을 이용하여 제 1 전극(114a) 및 배선(114c, 114d, 114e, 114f)을 형성한다(공정 P2).
다음으로, 제 1 전극(114a) 상에 도포, 인쇄 등에 의해 배향막(116a)을 형성하고(공정 P3), 또한 그 배향막(116a)에 대해 러빙 처리를 실시함으로써 액정의 초기 배향을 결정한다(공정 P4). 다음으로, 예컨대, 스크린 인쇄 등에 의해 밀봉재(108)를 고리 모양으로 형성하고(공정 P5), 또한 그 위에 구형 스페이서(119)를 분산시킨다(공정 P6). 이상으로부터, 액정 패널(102)의 제 1 기판(107a) 상의 패널 패턴을 복수개 분량 갖는 넓은 면적의 마더 제 1 기판이 형성된다.
이상의 제 1 기판 형성 공정과는 별도로, 제 2 기판 형성 공정(도 17의 공정 P11 내지 공정 P14)을 실시한다. 우선, 투광성 유리, 투광성 플라스틱 등으로 형성된 넓은 면적의 마더 원료 기재를 준비하고, 그 표면에 액정 패널(102)의 복수개 분량의 컬러 필터(118)를 형성한다(공정 P11). 이 컬러 필터의 형성 공정은 도 7에 나타낸 제조 방법을 이용하여 행해지고, 그 제조 방법 중의 R, G, B 중 각 색 필터 소자의 형성은 도 9의 잉크젯 장치(16)를 이용하여 도 1, 도 2, 도 3, 도 4, 도 5 등에 나타낸 잉크젯 헤드의 제어 방법에 따라 실행된다. 이들 컬러 필터의 제조 방법 및 잉크젯 헤드의 제어 방법은 이미 설명한 내용과 동일하기 때문에, 그들의 설명은 생략한다.
도 7(d)에 도시하는 바와 같이, 마더 기판(12), 즉, 마더 원료 기재 상에 컬러 필터(1), 즉, 컬러 필터(118)가 형성되면, 다음으로, 포토리소그래피법에 의해서 제 2 전극(114b)이 형성되고(공정 P12), 도포, 인쇄 등에 의해 배향막(116b)이 더 형성되며(공정 P13), 또한 그 배향막(116b)에 대하여 러빙 처리가 실시되어 액정의 초기 배향을 결정할 수 있다(공정 P14). 이상으로부터, 액정 패널(102)의 제 2 기판(107b) 상의 패널 패턴을 복수개 분량 갖는 넓은 면적의 마더 제 2 기판이 형성된다.
이상으로부터 넓은 면적의 마더 제 1 기판 및 마더 제 2 기판이 형성된 후, 그들 마더 기판을 밀봉재(108)를 사이에 두고 정렬, 즉, 위치 정렬한 뒤에 서로 접합한다(공정 P21). 이것에 의해, 액정 패널의 복수개 분량의 패널 부분을 포함하고 있어 아직 액정이 봉입되어 있지 않은 상태의 빈 패널 구조체가 형성된다.
다음으로, 완성된 빈 패널 구조체의 소정 위치에 스크라이브 홈, 즉, 절단용 홈을 형성하고, 또한 그 스크라이브 홈을 기준으로 하여 패널 구조체를 브레이크, 즉, 절단한다(공정 P22). 이것에 의해, 각 액정 패널 부분의 밀봉재(108) 중 액정 주입용 개구(110)(도 18참조)가 외부로 노출되는 상태의, 소위 직사각형의 빈 패널 구조체가 형성된다.
그 후, 노출된 액정 주입용 개구(110)를 통해 각 액정 패널 부분의 내부에 액정 L을 주입하고, 또한 각 액정 주입구(110)를 수지 등에 의해 봉지한다(공정 P23). 보통의 액정 주입 처리는, 예컨대, 저장 용기 내에 액정을 저장하고, 그 액정이 저장된 저장 용기와 직사각형 형상의 빈 패널을 챔버 등에 넣고, 그 챔버 등을 진공 상태로 하고 나서 그 챔버의 내부에서 액정 내에 직사각형 형상의 빈 패널을 담근 후, 챔버를 대기압에 개방함으로써 행해진다. 이 때, 빈 패널의 내부는 진공 상태이기 때문에, 대기압에 의해서 가압되는 액정이 액정 주입용 개구를 통해서 패널의 내부로 도입된다. 액정 주입 후의 액정 패널 구조체의 주위에는 액정이 부착되기 때문에, 액정 주입 처리 후의 직사각형 형상 패널은 공정 P24에서 세정 처리된다.
그 후, 액정 주입 및 세정이 완료된 후의 직사각형의 마더 패널에 대해 다시 소정 위치에 스크라이브 홈을 형성하고, 또한 그 스크라이브 홈을 기준으로 하여 직사각형 패널을 절단함으로써, 복수개의 액정 패널이 각각 잘라내어진다(공정 P25). 이렇게 해서 제작된 각각의 액정 패널(102)에 대해, 도 18에 도시하는 바와 같이, 액정 구동용 IC(103a, 103b)를 실장하고, 조명 장치(106)를 백 라이트로서 장착하며, 또한 FPC(104)를 접속함으로써, 목표로 하는 액정 장치(101)가 완성된다(공정 P26).
이상에서 설명한 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치는, 특히 컬러 필터를 제조하는 단계에서 다음과 같은 특징을 갖는다. 즉, 잉크젯 헤드로서 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 또는 도 5 등에 나타낸 구조를 채용하여, 복수의 헤드부(20)를 지지한 지지 수단으로서의 캐리지(25)에 의해 기판(12)을 주주사하는 동안에 그들 복수의 헤드부(20)의 노즐열(28)로부터 잉크를 토출하기 때문에, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판(12)의 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할 수 있고, 따라서, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부(20)는 부주사 방향 Y에 대하여 각도 θ의 경사 상태에서 주주사를 행하므로, 각 헤드부(20)에 속하는 복수 노즐(27)의 노즐간 피치를 기판(12) 상의 필터 소자 형성 영역(7) 사이의 간격, 즉, 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 이와 같이 노즐간 피치와 소자간 피치를 기하학적으로 일치시키면, 노즐열(28)을 부주사 방향 Y에 대해서 위치 제어할 필요가 없으므로 바람직하다
또한, 캐리지(25) 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부(20)를 경사지게 하기 때문에, 기판(12)에 가까운 쪽의 노즐(27)과 기판(12)으로부터 먼 쪽의 노즐(27)까지의 거리 T는 캐리지(25) 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 현저하게 작아지므로, 잉크젯 헤드(22)에 의해 기판(12)을 주사하는 시간을 대폭 단축할 수 있다. 이것에 의해, 컬러 필터의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또, 본 실시예의 제조 장치 및 제조 방법에서는, 잉크젯 헤드(22)를 이용한 잉크 토출에 의해 필터 소자(3)를 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.
(실시예 7)
도 20은 본 발명에 따른 EL 장치의 제조 장치를 이용하여 행해지는 제조 방법의 일 실시예를 나타내고 있다. 또한, 도 21은 그 제조 방법의 주요 공정 및 최종적으로 얻어지는 EL 장치의 주요 단면 구조를 나타내고 있다. 도 21(d)에 도시하는 바와 같이, EL 장치(201)는 투명 기판(204) 상에 화소 전극(202)을 형성하고, 각 화소 전극(202) 사이에 뱅크(205)를 화살표 G 방향으로부터 보아 격자 형상으로형성하며, 그들 격자 형상 오목부 내에 정공 주입층(220)을 형성하고, 화살표 G 방향으로부터 보아 스트라이프 배열 등과 같은 소정 배열로 되도록 R색 발광층(203R), G색 발광층(203G) 및 B색 발광층(203B)을 각 격자 형상 오목부 내에 형성하고, 그 위에 대향 전극(213)을 더 형성함으로써 형성된다.
상기 화소 전극(202)을 TFD(Thin Film Diode : 박막 다이오드) 소자 등과 같은 2 단자형의 액티브 소자에 의해 구동하는 경우에는, 상기 대향 전극(213)은 화살표 G 방향으로부터 보아 스트라이프 형상으로 형성된다. 또한, 화소 전극(202)을 TFT(Thin Film Transistor : 박막 트랜지스터) 등과 같은 3 단자형의 액티브 소자에 의해 구동하는 경우에는, 상기 대향 전극(213)은 단일 면 전극으로서 형성된다.
각 화소 전극(202)과 각 대향 전극(213) 사이에 위치하는 영역이 하나의 화소 픽셀로 되고, R, G, B 3색의 화소 픽셀이 하나의 유닛으로 되어 하나의 화소를 형성한다. 각 화소 픽셀을 흐르는 전류를 제어함으로써, 복수의 화소 픽셀 중 원하는 것을 선택적으로 발광시키고, 이것에 의해, 화살표 H 방향으로 원하는 풀 컬러 이미지를 표시할 수 있다.
상기 EL 장치(201)는, 예컨대, 도 20에 나타내는 제조 방법에 의해 제조된다. 즉, 공정 P51 및 도 21(a)과 같이, 투명 기판(204)의 표면에 TFD 소자나 TFT 소자 등과 같은 능동 소자를 형성하고, 화소 전극(202)을 더 형성한다. 형성 방법으로는, 예컨대, 포토리소그래피법, 진공 부착법(vacuum deposition), 스퍼터링법, 파이로졸법(pyrosol method) 등을 이용할 수 있다. 화소 전극의 재료로는ITO(Indium Tin Oxide), 산화 주석, 산화 인듐과 산화 아연의 복합 산화물 등을 이용할 수 있다.
다음으로, 공정 P52 및 도 20(a)에 도시하는 바와 같이, 격벽, 즉, 뱅크(205)를 주지의 패터닝 방법, 예컨대, 포토리소그래피법을 이용하여 형성하고, 이 뱅크(205)에 의해 각 투명 전극(202) 사이를 채웠다. 이것에 의해, 계조의 향상, 발광 재료의 혼색 방지, 화소와 화소 사이로부터의 광누설 등을 방지할 수 있다. 뱅크(205)의 재료로는, EL 재료의 용매에 대해 내구성을 갖는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 플루오르화 탄소 가스 플라즈마 처리에 의해 불소 수지화할 수 있는 것, 예컨대, 아크릴 수지, 에폭시, 감광성 폴리이미드 등과 같은 유기 재료가 바람직하다.
다음으로, 정공 주입층용 잉크를 도포하기 직전에, 기판(204)에 산소 가스와 플루오르화 탄소 가스 플라즈마의 연속 플라즈마 처리를 행한다(공정 P53). 이것에 의해, 폴리이미드 표면은 발수화되고 ITO 표면은 친수화되어, 잉크젯 잉크 방울을 미세하게 패터닝하기 위한 기판 측의 습윤성 제어를 할 수 있다. 플라즈마를 발생하는 장치로는, 진공 중에서 플라즈마를 발생하는 장치로도, 대기 중에서 플라즈마를 발생하는 장치로도 마찬가지로 이용할 수 있다.
다음으로, 공정 P54 및 도 21(a)에 도시하는 바와 같이, 정공 주입층용 잉크를 도 9의 잉크젯 장치(16)의 잉크젯 헤드(22)로부터 토출하여, 각 화소 전극(202) 상에 패터닝 도포를 행했다. 구체적인 잉크젯 헤드의 제어 방법은 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 또는 도 5에 나타낸 방법을 이용했다. 그 도포 후, 진공(1 torr) 중, 실온, 20분이라는 조건으로 용매를 제거하고(공정 P55), 그 후, 대기 중, 20℃(가열된 기판 상), 10분의 열 처리에 의해, 발광층용 잉크와 서로 용해되지 않는 정공 주입층(220)을 형성한다(공정 P56). 막두께는 40㎚였다.
다음으로, 공정 P57 및 도 21(b)에 도시하는 바와 같이, 각 필터 소자 영역내의 정공 주입층(220) 상에 잉크젯 방법을 이용하여 R색 발광층용 잉크 및 G색 발광층용 잉크를 도포했다. 여기서도, 각 발광층용 잉크는 도 9의 잉크젯 장치(16)의 잉크젯 헤드(22)로부터 토출되고, 또한 잉크젯 헤드의 제어 방법은 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 또는 도 5에 나타낸 방법을 따랐다. 잉크젯 방식에 따르면, 미세한 패터닝을 간편하게 또한 단시간에 행할 수 있다. 또한, 잉크 조성물의 고형분 농도 및 토출량을 변경함으로써 막두께를 변경할 수 있다.
발광층용 잉크의 도포 후, 진공(1 torr) 중, 실온, 20분 등이라는 조건으로 용매를 제거하고(공정 P58), 이어서 질소 분위기 중, 150℃, 4시간의 열 처리에 의해 공역화시켜 R색 발광층(203R) 및 G색 발광층(203G)을 형성한다(공정 P59). 막두께는 50㎚였다. 열 처리에 의해 공역화한 발광층은 용매에 녹지 않는다.
또, 발광층을 형성하기 전에 정공 주입층(220)에 산소 가스와 플루오르화 탄소 가스 플라즈마의 연속 플라즈마 처리를 행해도 무방하다. 이것에 의해, 정공 주입층(220) 상에 불소화물층이 형성되고, 이온화 포텐셜이 높아지는 것에 의해 정공 주입 효율이 늘어, 발광 효율이 높은 유기 EL 장치를 제공할 수 있다.
다음으로, 공정 P60 및 도 21(c)에 도시하는 바와 같이, B색 발광층(203B)을 각 화소 픽셀 내의 R색 발광층(203R), G색 발광층(203G) 및 정공 주입층(220) 상에거듭 형성했다. 이것에 의해, R, G, B 3원색을 형성할 뿐만 아니라, R색 발광층(203R) 및 G색 발광층(203G)과 뱅크(205)의 단차를 채워 평탄화할 수 있다. 이것에 의해, 상하 전극 간의 단락을 확실하게 방지할 수 있다. B색 발광층(203B)의 막두께를 조정하는 것으로, B색 발광층(203B)은 R색 발광층(203R) 및 G색 발광층(203G)의 적층 구조에서, 전자 주입 수송층으로서 작용하여 B색으로는 발광하지 않는다.
이상과 같은 B색 발광층(203B)의 형성 방법으로는, 예컨대, 습식법으로서 일반적인 스핀 코팅법을 채용할 수도 있고, 또는, R색 발광층(203R) 및 G색 발광층(203G)의 형성법과 마찬가지의 잉크젯법을 채용할 수도 있다.
그 후, 공정 P61 및 도 21(d)에 도시하는 바와 같이, 대향 전극(213)을 형성함으로써, 목표로 하는 EL 장치(201)를 제조했다. 대향 전극(213)은 그것이 면 전극인 경우에는, 예컨대, Mg, Ag, Al, Li 등을 재료로서, 증착법, 스퍼터링법 등과 같은 성막법을 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 대향 전극(213)이 스트라이프 형상 전극인 경우에는, 성막된 전극층을 포토리소그래피법 등과 같은 패터닝 방법을 이용하여 형성할 수 있다.
이상에 설명한 EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치에 따르면, 잉크젯 헤드로서 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 또는 도 5 등에 나타낸 구조를 채용하여, 복수의 헤드부(20)를 지지한 지지 수단으로서의 캐리지(25)에 의해 기판(12)을 주주사하는 동안에 그들 복수의 헤드부(20)의 노즐열(28)로부터 잉크를 토출하기 때문에, 하나의 헤드부만을 이용하여 기판(12)의 표면을 주사하는 경우에 비해 주사 시간을 단축할수 있어, EL 장치의 제조 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부(20)는 부주사 방향 Y에 대하여 각도 θ의 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부(20)에 속하는 복수 노즐(27)의 노즐간 피치를 기판(12) 상의 EL 화소 픽셀 형성 영역(7) 사이의 간격, 즉, 소자간 피치와 일치시킬 수 있다. 이와 같이 노즐간 피치와 소자간 피치를 기하학적으로 일치시키면, 노즐열(28)을 부주사 방향 Y에 대해서 위치 제어할 필요가 없으므로 바람직하다
또한, 캐리지(25) 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부(20)를 경사지게 하기 때문에, 기판(12)에 가까운 쪽의 노즐(27)과 기판(12)으로부터 먼 쪽의 노즐(27)까지의 거리 T는 캐리지(25) 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 현저하게 작아지므로, 잉크젯 헤드(22)에 의해 기판(12)을 주사하는 시간을 대폭 단축할 수 있다. 이것에 의해, EL 장치의 제조 시간을 단축할 수 있다. 또, 본 실시예의 제조 장치 및 제조 방법에서는, 잉크젯 헤드(22)를 이용한 잉크 토출에 의해 화소 픽셀(3)을 형성하기 때문에, 포토리소그래피법을 이용하는 방법과 같은 복잡한 공정을 거칠 필요도 없고, 또한, 재료를 낭비하는 경우도 없다.
(그 밖의 실시예)
이상, 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 그 실시예에 한정되는 것이 아니고, 청구의 범위에 기재된 발명의 범위 내에서 다양하게 변형할 수 있다.
예컨대, 이상에서 설명한 실시예에서는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 잉크젯헤드(22) 중에 6개의 헤드부(20)를 마련했지만, 헤드부(20)의 수는 더 적게 또는 더 많게 할 수 있다.
또한, 도 1 등에 나타낸 실시예에서는, 마더 기판(12) 내에 복수열의 컬러 필터 형성 영역(11)이 설정되는 경우를 예시했지만, 마더 기판(12) 내에 1열의 컬러 필터 형성 영역(11)이 설정되는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 마더 기판(12)과 거의 같은 크기 또는 그것보다도 상당히 작은 한 개의 컬러 필터 형성 영역(11)만이 그 마더 기판(12) 내에 설정되는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다.
또한, 도 9 및 도 10에 나타낸 컬러 필터의 제조 장치에서는, 잉크젯 헤드(22)를 X 방향으로 이동시켜 기판(12)을 주주사하고, 기판(12)을 부주사 구동 장치(21)에 의해 Y 방향으로 이동시킴으로써 잉크젯 헤드(22)에 의해 기판(12)을 부주사하는 것으로 했지만, 이와는 반대로, 기판(12)을 Y 방향으로 이동시켜 주주사를 실행하고, 잉크젯 헤드(22)를 X 방향으로 이동시켜 부주사를 실행할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 압전 소자의 휨 변형을 이용하여 잉크를 토출하는 구조의 잉크젯 헤드를 이용했지만, 다른 임의 구조의 잉크젯 헤드를 이용할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 주주사 방향과 부주사 방향이 직교하는 가장 일반적인 구성에 대해서만 예시했지만, 주주사 방향과 부주사 방향의 관계는 직교 관계에 한정되지 않고, 임의의 각도로 교차하고 있으면 좋다.
토출되는 재료로서는, 기판 등의 대상물 상에 형성하는 요소에 따라 여러 가지로 선택할 수 있고, 예컨대, 상술한 잉크, EL 발광 재료 이외에도, 실리카겔 전구체, 금속 화합물 등의 도전 재료, 유전체 재료, 또는 반도체 재료를 그 일례로서 들 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 컬러 필터의 제조 방법 및 제조 장치, 액정 장치의 제조 방법 및 제조 장치, EL 장치의 제조 방법 및 제조 장치를 예로서 설명해 왔지만, 본 발명은 이들에 한정되지 않고, 대상물 상에 미세 패터닝을 실시하는 공업 기술 전반에 이용할 수 있다.
예컨대, 각종 반도체 소자(박막 트랜지스터, 박막 다이오드 등), 각종 배선 패턴 및 절연막의 형성 등을 그 이용 범위의 일례로서 들 수 있다.
헤드로부터 토출되는 재료로는, 기판 등의 대상물 상에 형성하는 요소에 따라 여러 가지로 선택할 수 있고, 예컨대, 상술한 잉크, EL 발광 재료 이외에도, 실리카겔 전구체, 금속 화합물 등의 도전 재료, 유전체 재료, 또는 반도체 재료를 그 일례로서 들 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 편의상 「잉크젯 헤드」라고 호칭해 왔지만, 이 잉크젯 헤드로부터 토출되는 토출물은 잉크에 한정되지는 않고, 예컨대, 상술한 EL 발광 재료, 실리카겔 전구체, 금속 화합물 등의 도전성 재료, 유전체 재료, 또는 반도체 재료 등 여러 가지인 것은 말할 필요도 없다. 상기 실시예의 제조 방법에 의해 제조된 액정 장치, EL 장치는, 예컨대, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등과 같은 전자 기기의 표시부에 탑재할 수 있다.
본 발명에 따른 컬러 필터, 액정 장치 및 EL 장치 각각의 제조 장치 및 그들 제조 방법에 따르면, 복수의 헤드부에 의해 기판을 주주사하는 동안에 그들 복수의 헤드부로부터 잉크를 토출할 수 있으므로, 하나의 헤드부를 이용하여 기판 표면을 주사하는 경우에 비해, 주사 시간을 단축할 수 있다.
또한, 각 헤드부는 경사 상태에서 주주사를 행하기 때문에, 각 헤드부에 속하는 복수 노즐의 노즐간 피치를 기판 상에 형성하는 필터 소자나 화소 픽셀의 소자간 피치와 일치시킬 수 있다.
또한, 복수의 헤드부를 지지하는 지지 기구의 전체를 경사지게 하는 것이 아니라 각각의 헤드부를 경사지게 하기 때문에, 기판에 가까운 쪽의 노즐과 기판으로부터 먼 쪽의 노즐까지의 거리는 지지 수단 전체를 경사지게 하는 경우에 비해 작아지므로, 지지 기구에 의해 기판을 주사하는 시간을 단축할 수 있다. 이에 따라, 컬러 필터나 액정 장치, EL 장치 등의 제조 시간을 단축할 수 있다.

Claims (26)

  1. 대상물 상에 재료를 토출하는 재료의 토출 장치에 있어서,
    복수의 노즐을 배열한 노즐열을 갖는 복수의 헤드와,
    상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와,
    상기 대상물 및 상기 지지 기구 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 주사하는 기구
    를 갖고,
    상기 주사 방향에 대하여 상기 노즐열이 경사져 있는 것을 특징으로 하는
    재료의 토출 장치.

  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 헤드는 상기 지지 기구의 길이 방향에 대하여 경사져서 지지되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 장치.

  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 대상물 및 상기 지지 기구 중 어느 하나는 다른 하나에 대해 주주사 방향, 또는 주주사 방향과 교차하는 부주사 방향으로 주사되는 것을 특징으로 하는재료의 토출 장치.

  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐열의 노즐간 피치는 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같고,
    상기 노즐열의 경사 각도의 크기는 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같은 것을 특징으로 하는 재료의 토출 장치.

  5. 대상물 상에 재료를 토출하는 재료의 토출 장치에 있어서,
    복수의 노즐을 배열한 노즐열을 갖는 복수의 헤드와,
    상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와,
    상기 대상물 및 상기 지지 기구 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 주사하는 기구와,
    적어도 하나의 상기 노즐열과 상기 주사 방향이 이루는 각도를 제어하는 기구
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 장치.

  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 기구를 더 구비한 것을 특징으로 하는 재료의 토출 장치.

  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 노즐열과 상기 주사 방향이 이루는 각도를 제어하는 기구는,
    상기 노즐열의 노즐간 피치 및 상기 노즐열의 경사 각도의 크기가, 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같게 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 장치.

  8. 대상물 상에 재료를 토출하는 재료의 토출 방법에 있어서,
    복수의 노즐을 배열한 노즐열을 갖는 복수의 헤드 및 상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구 중 하나를 다른 하나에 대해 주사하는 공정 및
    상기 대상물에 상기 재료를 토출하는 공정을 갖고 이루어지며,
    적어도 하나의 상기 노즐열이 상기 주사 방향에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.

  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 대상물 및 상기 지지 부재 중 어느 하나는 다른 하나에 대해 주주사 방향, 또는 주주사 방향과 교차하는 부주사 방향으로 주사되는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.

  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 노즐열의 노즐간 피치 및 상기 노즐열의 경사 각도의 크기가, 상기 복수의 헤드에서 실질적으로 같은 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.

  11. 제 8 항에 있어서,
    적어도 하나의 상기 노즐열과 상기 주사 방향이 이루는 각도를 제어하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.

  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 재료의 토출 방법.


  13. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 토출 장치를 구비하고,
    상기 대상물로서의 기판에 상기 재료로서의 컬러 필터 재료를 토출하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 장치.

  14. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 토출 장치를 구비하고,
    상기 대상물로서의 기판에 상기 재료로서의 EL 발광 재료를 토출하는 것을 특징으로 하는 EL 장치의 제조 장치.

  15. 청구항 10 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 재료의 토출 방법을 포함하는 제조 방법을 이용하여 제조된 부품을 탑재한 전자 기기.

  16. 컬러 필터의 제조 장치에 있어서,
    복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 복수의 헤드와,
    상기 헤드에 필터 재료를 공급하는 기구와,
    상기 복수의 헤드부를 지지하는 지지 기구를 갖되,
    상기 지지 기구는 상기 복수의 헤드부를 경사 상태에서 지지하여 이루어지는것을 특징으로 하는
    컬러 필터의 제조 장치.

  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 지지 기구는 상기 헤드를 고정 상태로 지지하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 장치.

  18. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,
    상기 복수의 헤드에 속하는 노즐열의 노즐간 피치는 실질적으로 같고, 또한, 상기 노즐열의 경사 각도의 크기도 실질적으로 같은 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 장치.

  19. 컬러 필터의 제조 장치에 있어서,
    복수의 노즐이 배열되는 노즐열을 갖는 복수의 헤드와,
    상기 헤드에 필터 재료를 공급하는 기구와,
    상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와,
    해당 지지 기구를 주주사 이동시키는 주주사 기구와,
    상기 지지 수단을 부주사 이동시키는 부주사 기구와,
    상기 복수의 노즐열의 경사 각도를 제어하는 노즐열 각도 제어 기구와,
    상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 노즐열 간격 제어 기구
    를 갖는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 장치.

  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수의 헤드에 속하는 노즐열의 노즐간 피치 및 노즐열의 경사 각도의 크기는 실질적으로 같은 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 장치.

  21. 컬러 필터의 제조 방법에 있어서,
    복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 헤드를 주주사 방향으로 이동시키면서, 상기 복수의 노즐로부터 필터 재료를 토출하여 상기 기판에 상기 필터 소자를 형성하는 공정을 갖고,
    상기 헤드는 복수개 배열하여 마련되어 있고, 또한 경사 상태로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는
    컬러 필터의 제조 방법.


  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 노즐열의 노즐간 피치는 실질적으로 같고, 또한, 상기 노즐열의 경사 각도의 크기는 실질적으로 같은 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.

  23. 액정 장치의 제조 장치에 있어서,
    복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 복수의 헤드와,
    상기 헤드에 필터 재료를 공급하는 기구와,
    상기 복수의 헤드를 지지하는 지지 기구와,
    해당 지지 기구를 주주사 이동시키는 주주사 기구와,
    상기 지지 기구를 부주사 이동시키는 부주사 기구를 갖되,
    상기 지지 기구는 상기 복수의 헤드부를 경사 상태에서 지지하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 장치.

  24. 액정 장치의 제조 방법에 있어서,
    복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 헤드를 주주사 방향으로 이동시키면서, 상기 복수의 노즐로부터 필터 재료를 토출하여 상기 기판에 상기 필터 소자를 형성하는 공정을 갖되,
    상기 헤드는 복수개 배열하여 마련되어 있고, 또한 경사 상태로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 방법.

  25. EL 장치의 제조 장치에 있어서,
    복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 복수의 헤드와,
    상기 헤드에 EL 발광 재료를 공급하는 기구와,
    상기 복수의 헤드를 배열하여 지지하는 지지 기구와,
    해당 지지 기구를 주주사 이동시키는 주주사 기구와,
    상기 지지 수단을 부주사 이동시키는 부주사 기구와,
    상기 복수의 노즐열의 경사 각도를 제어하는 노즐열 각도 제어 기구와,
    상기 복수의 노즐열 사이의 간격을 제어하는 노즐열 간격 제어 기구
    를 갖는 것을 특징으로 하는 EL 장치의 제조 장치.

  26. EL 장치의 제조 방법에 있어서,
    복수의 노즐이 배열된 노즐열을 갖는 헤드를 주주사 방향으로 이동시키면서, 상기 복수의 노즐로부터 EL 발광 재료를 토출하여 상기 기판에 상기 EL 발광층을 형성하는 공정을 갖되,
    상기 헤드는 복수개 배열하여 마련되어 있고, 또한 경사 상태로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는
    EL 장치의 제조 방법.
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