JP2005305869A - 液滴吐出装置、ヘッドの吐出性能維持装置、ヘッドの吐出性能維持方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、ノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】供給された液体の液滴を吐出するために、ノズル面７０には複数のノズル８１から成るノズル列７９Ａ〜７９Ｆを複数列備えるヘッド１１と、複数のノズル列のどのノズル列のノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを検出する非吐出ノズル検出部６００と、検出されたノズル面７０における非吐出ノズルを含むノズル列を封止して吸引して非吐出ノズルの目詰まりを回復させるための吸引手段１３００と、ノズル面７０における複数のノズル列を封止してノズル面７０を保湿するための保湿手段９００とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置、ヘッドの吐出性能維持装置、ヘッドの吐出性能維持方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。

液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
インクジェット式で微小な液滴を吐出する液滴吐出装置は、液滴を吐出するためのヘッドを有している。このヘッドは、微小な液滴を安定して正確にワークに対して吐出する必要がある。このためにヘッドが有する複数のノズルが目詰まりを起こす現象を抑制することにより、微小な液滴を安定して正確に吐出する。このヘッドのノズル面は、必要に応じて吸引してノズルから液滴を吐出させてクリーニング処理をすることにより、ノズルの目詰まりを抑制することが提案されている（たとえば特許文献１）。
特開平１０−９５１２６号公報（第５頁、図９）

特許文献１に開示されているインクジェット方式の画像形成装置では、複数個のキャップ部材が用意されており、各キャップ部材は別々のノズルに対して密着することによりそれぞれ独立してノズルを吸引する構造になっている。これにより、増粘したノズルを有するノズル列のみがキャップ部材を通じて吸引でき、その増粘したノズルの目詰まりを回復できる。
ところが、増粘したノズルを有するノズル列が、その他のノズル列とは分割して吸引できる機械的な構造のみが開示されているだけに過ぎず、予め目詰まりしたノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって特定することはできない。

そこで本発明は上記課題を解消し、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、ノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる液滴吐出装置、ヘッドの吐出性能維持装置、ヘッドの吐出性能維持方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。

上記目的は、第１の発明にあっては、液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、供給された液体の前記液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数列備えるヘッドと、複数の前記ノズル列のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを検出する非吐出ノズル検出部と、検出された前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを回復させるための吸引手段と、前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿するための保湿手段と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。

第１の発明の構成によれば、ヘッドは、供給された液体の液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数備えている。
非吐出ノズル検出部は、複数のノズル列のどのノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを検出する。
吸引手段は、ノズル面における非吐出ノズルを含むノズル列を封止して吸引して非吐出ノズルの目詰まりを回復させる。
保湿手段は、ノズル面における複数のノズル列を封止してノズル面を保湿する。
これにより、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、その後ノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる。このため、ノズルの目詰まり回復処理に浪費する液体の消費量を削減できるとともに、コンパクト化が図れる。

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記ヘッドと前記吸引手段を相対的に移動して前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を前記吸引手段に位置決めし、前記ヘッドと前記保湿手段を相対的に移動して複数の前記ノズル列を前記保湿手段に位置決めする操作部を、さらに備えることを特徴とする。

第２の発明の構成によれば、操作部は、ヘッドと吸引手段を相対的に移動して非吐出ノズルを含むノズル列を吸引手段に位置決めし、ヘッドと保湿手段を相対的に移動して複数のノズル列を保湿手段に位置決めするためのものである。
これにより、ヘッドと吸引手段あるいはヘッドと保湿手段は、相対的に移動することで、ヘッドと吸引手段との位置決めおよびヘッドと保湿手段との位置決めを確実に行うことができる。

第３の発明は、第１の発明の構成において、前記吸引手段は、前記ワークが配置されている位置の付近に配置されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、吸引手段は、ワークが配置されている位置の付近に配置されている。
これにより、ヘッドにおいて目詰まりをして非吐出ノズルとなっているノズルを有するノズル列が生じた場合に、ワークの付近においてそのノズル列を吸引手段により吸引して目詰まりの回復を行うことができる。このために、目詰まりをしているノズル列はワークの付近で回復処理を行うことができ、ヘッドの移動量を減らすことができ、しかも吸引手段はワークの付近に配置されているので液滴吐出装置のコンパクト化が図れる。

第４の発明は、第１の発明ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記吸引手段は、前記非吐出ノズルを含む１つの前記ノズル列を吸引する第１吸引用キャップと、前記非吐出ノズルを含む複数の前記ノズル列を同時に吸引する第２吸引用キャップと、を有することを特徴とする。

第４の発明の構成によれば、吸引手段は、第１吸引用キャップと第２吸引用キャップを有している。第１吸引用キャップは、非吐出ノズルを含む１つのノズル列を吸引する。第２吸引用キャップは、非吐出ノズルを含む複数のノズル列を同時に吸引することができる。
これにより、非吐出ノズルを含むノズル列が１つである場合と２つ以上の複数である場合に分けて、第１吸引用キャップと第２吸引用キャップを選択することで効率よくノズル列の吸引を行って、ノズルの目詰まりの回復処理を行うことができる。

第５の発明は、第４の発明の構成において、前記吸引手段により吸引された後に前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を有する前記ノズル面の部分のみを払拭する払拭手段を有することを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、吸引手段により吸引された後に、非吐出ノズルを含むノズル列を含むノズル面の部分のみを払拭手段が払拭する。
これにより、払拭手段はノズル面全体を払拭するのではなく、目詰まりしたノズル列を吸引手段により吸引した後に払拭するので、ノズル面の磨耗をできるだけ防ぐことができる。

第６の発明は、第４の発明の構成において、目詰まりしていない正常な前記ノズル列の前記ノズルでの前記液体の増粘と、目詰まりが回復された前記ノズル列の前記ノズルでの前記液体の増粘を阻止するために、前記保湿手段内には前記液滴を吐出し、前記ノズルごとに配置されている液滴吐出用駆動素子により各前記ノズル内の液体境界面に微振動を与えることを特徴とする。

第６の発明の構成によれば、目詰まりしていない正常なノズル列のノズルでの液体の増粘と、目詰まりが回復されたノズル列のノズルでの液体の増粘を阻止するために、保湿手段内には液滴を吐出し、ノズルごとに配置されている液滴吐出用駆動素子によりノズル内の液体境界面に微振動を与える。
これにより、各ノズルでの液体は、液滴を吐出し、しかも液体境界面に微振動を与えることで、ノズルでの液体の増粘を確実に防いで、ノズルの目詰まりを防止することができる。

第７の発明は、第４の発明の構成において、前記吸引手段は、前記液滴を前記ワークに吐出する動作をする直前までの前記ヘッドの休止時間の長さに応じて、前記ノズル面の吸引量を増加させることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、吸引手段は、液滴をワークに吐出する動作をする直前までのヘッドの休止時間の長さに応じて、ノズル面の吸引量を増加させる。
これにより、ヘッドの休止時間の長さが長ければ長いほどノズル面の吸引量を上げることで、目詰まりした非吐出ノズルの目詰まりの回復処理を確実に行うことができる。

第８の発明は、第７の発明の構成において、前記吸引手段は、前記ノズル列における前記非吐出ノズルの数が予め定めた一定の割合を超えたら、前記ノズル面の吸引量を増加させることを特徴とする。
第８の発明の構成によれば、吸引手段は、ノズル列における非吐出ノズルの数が予め定めた一定の割合を超えたら、ノズル面の吸引量を増加させる。
これにより、ノズル列における非吐出ノズルの数が一定の割合を超えたら、ノズル面の吸引量を増加させることで、非吐出ノズルの目詰まりの回復処理をより確実に行うことができる。

上記目的は、第９の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を設けられて、前記ヘッドのノズル面の吐出性能を維持するためのヘッドの吐出性能維持装置であって、供給された液体の前記液滴を吐出するために、複数のノズルから成るノズル列を前記ノズル面に複数列備える前記ヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを検出する非吐出ノズル検出部と、前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを回復させるための吸引手段と、前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿するための保湿手段と、を備えることを特徴とするヘッドの吐出性能維持装置により、達成される。

これにより、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、ノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる。このため、ノズルの目詰まり回復処理に浪費する液体の消費量を削減できるとともに、コンパクト化が図れる。

上記目的は、第１０の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置において前記ヘッドのノズル面の吐出性能を維持するためのヘッドの吐出性能維持方法であって、供給された液体の前記液滴を吐出するために、複数のノズルから成るノズル列を前記ノズル面に複数列備える前記ヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを非吐出ノズル検出部により検出する非吐出ノズル検出ステップと、前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを吸引手段により回復させる吸引ステップと、前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿手段により保湿する保湿ステップと、を有することを特徴とするヘッドの吐出性能維持方法により、達成される。

これにより、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、ノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる。このため、ノズルの目詰まり回復処理に浪費する液体の消費量を削減できるとともに、コンパクト化が図れる。

上記目的は、第１１の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、供給された液体の前記液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数列備えるヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを非吐出ノズル検出部により検出する非吐出ノズル検出ステップと、前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを吸引手段により回復させる吸引ステップと、前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿手段により保湿する保湿ステップと、を行った後に前記ワークに前記液滴を吐出して電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。

これにより、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、目詰まりの無いノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる。このため、ノズルの目詰まり回復処理に浪費する液体の消費量を削減できるとともに、コンパクト化が図れる。

上記目的は、第１２の発明にあっては、ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、供給された液体の前記液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数列備えるヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを非吐出ノズル検出部により検出する非吐出ノズル検出ステップと、前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを吸引手段により回復させる吸引ステップと、前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿手段により保湿する保湿ステップと、を行った後に前記ワークに前記液滴を吐出して製造されたことを特徴とする電気光学装置により、達成される。

これにより、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を単独で吸引することで回復処理を確実に行うことができるとともに、目詰まりの無いノズルにおける液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる。このため、ノズルの目詰まり回復処理に浪費する液体の消費量を削減できるとともに、コンパクト化が図れる。

第１３の発明は、第１２の発明に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器である。

以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。図１に示す液滴吐出装置１０は、たとえば描画システムとして用いることができる。この描画システムは、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。

液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、たとえば有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。

図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内へ搬入したりあるいは処理後のワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。

図１に示すチャンバ１２の中にはヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、吸引手段１３００、ワイピングユニット５００、非吐出ノズル検出部６００、保湿手段９００、あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。

吸引手段１３００は、ヘッド１１のノズル面から液滴や気泡を吸引してノズルの目詰まりを回復して、ヘッド１１の吐出性能の回復を図るためのものである。ワイピングユニット５００のワイピングブレードは、ノズル面に付着する液体等の汚れを払拭するためのものである。非吐出ノズル検出部６００は、ヘッド１１から吐出される液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
保湿手段９００は、ヘッド１１のノズル面を封止してヘッド１１の吐出性能の維持を図るためのものである。
回収部１６は、たとえば液滴を回収する液滴回収系と、ワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。

チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。

次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。

第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９とヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークＷに対して液滴を与える際に、ワークＷを保持する。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。

第１操作部２１は、ヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、このヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。

第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。

第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これによりワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。第１操作部２１と第２操作部２２は、本発明の実施形態における操作部を構成している。

次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９とヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２のＥ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。モータ６２の出力軸は送りねじ１８２１に連結されている。送りねじ１８２１は軸１８２３のナット１８２２に噛み合っている。

図２に示すモータ６２が作動すると、ヘッドホルダ６１とヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。

図２と図３に示すように、ヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。このノズル面７０は、複数のノズルのノズル開口を有している。ヘッド１１は、液体貯留部３００にチューブを介して接続されている。液体貯留部３００は、液体の一例であるインクを貯留するものであり、液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体は有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層や発光層の成膜部を形成するのに用いられる機能液の一例である。液体貯留部３００内の液体は、ノズル開口からたとえば圧電振動子の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。図３に示すようにモータ６２，６３は制御部２００により動作が制御される。

図４は、ヘッド１１の形状例と、ヘッドの吐出性能維持装置２０００の構造例を示している。図５はヘッド１１およびヘッドの吐出性能維持装置２０００の構造例を示す平面図である。
まず図４と図５を参照して、ヘッド１１の構造例について説明する。
ヘッド１１は、図４と図５に示すように複数のヘッド部分１１Ａないし１１Ｆを有するいわゆる多連ヘッドである。ヘッド１１の下面側には、ヘッド部分１１Ａないし１１Ｆが間隔をおいて配列されている。ヘッド部分１１Ａないし１１Ｃは、所定間隔をおいてＸ軸方向に並べて配列されている。ヘッド部分１１Ｄないし１１Ｆは、Ｘ軸方向に沿って所定間隔をおいて配列されている。

図５の各ヘッド部分１１Ａないし１１Ｆは、２列のノズル列を有している。すなわち、ヘッド部分１１Ａはノズル列７９Ａ，７９Ｂを有し、ヘッド部分１１Ｂはノズル列７９Ｃ，７９Ｄを有し、そしてヘッド部分１１Ｃはノズル列７９Ｅ，７９Ｆを有している。
ヘッド部分１１Ｄはノズル列７９Ａ，７９Ｂを有し、ヘッド部分１１Ｅはノズル列７９Ｃ，７９Ｄを有し、そしてヘッド部分１１Ｆはノズル列７９Ｅ，７９Ｆを有している。

各ノズル列７９Ａないし７９Ｆは、Ｙ軸方向に関して平行に間隔をおいて形成されている。各ノズル列７９Ａないし７９Ｆは、複数のノズル８１を有している。図４と図５に示すヘッド１１の形状例では、６つのヘッド部分１１Ａないし１１Ｆを有しているが、これに限らずヘッド１１は２つないし５つ、あるいは７つ以上のヘッド部分を有する多連であっても勿論構わない。
また各ヘッド部分は、図示例では２つのノズル列を有しているが、３以上のノズル列を有していても構わない。

各ヘッド部分１１Ａないし１１Ｆのノズル列は、図１に示す液体貯留部３００に対して接続されている。各ノズル列は液体貯留部３００内に収容されている異なる種類の液体をそれぞれ吐出できるようにしても良いし、たとえば隣接するノズル列は同じ種類の液体を吐出するようにしても良い。

次に、図４と図５に示すヘッドの吐出性能維持装置２０００について説明する。
ヘッドの吐出性能維持装置２０００は、ヘッド１１のノズル列のノズルの吐出性能を回復して維持する装置であって、吸引手段１３００と保湿手段９００を有している。
図４と図５に示す吸引手段１３００と保湿手段９００は、図１に示すようにメンテナンス部１５の中に配置されている。図１の実施形態では、好ましくは吸引手段１３００は、ワークＷに近い位置になるようにテーブル３０の付近に配置されている。保湿手段９００は、吸引手段１３００のさらに横の部分に配置されている。

図５に示すヘッド１１の各ヘッド部分の各ノズル列７９Ａ〜７９Ｆは、図１に示す液体貯留部３００から供給される液体をそれぞれ適宜図１のワークＷに対して吐出できるようになっている。
吸引手段１３００は、このヘッド１１のノズル列の内の目詰まりしたノズルを含むノズル列のみを吸引して、そのノズルの目詰まりを回復するための手段である。吸引手段１３００は、第１吸引用キャップ１７５１Ａと第２吸引用キャップ１７５１Ｂを有している。

第１吸引用キャップ１７５１Ａは、図４と図５に示すヘッド１１の１列のノズル列のみを封止して吸引することにより、その該当する１列のノズル列における目詰まりしている非吐出ノズルを吸引して回復するためのものである。
第２吸引用キャップ１７５１Ｂは、隣接するノズルを封止して吸引することにより、隣接するノズル列における目詰まりした非吐出ノズルを吸引して回復するためのものである。
このために、図４に示す第１吸引用キャップ１７５１Ａの幅Ｗ１は、第２吸引用キャップ１７５１Ｂの幅Ｗ２に比べて小さく設定されている。第１吸引用キャップ１７５１Ａの長さＬ１と、第２吸引用キャップ１７５１Ｂの長さＬ２は同じになっている。これらの長さＬ１，Ｌ２は、各ノズル列のＹ軸方向の長さよりもやや大きい値である。

図４に示すように、第１吸引用キャップ１７５１Ａと第２吸引用キャップ１７５１Ｂは、それぞれたとえば箱形状のものであり、各上部には開口を有している。第１吸引用キャップ１７５１Ａの中には吸収材１７５２Ａが収容されている。同様にして、第２吸引用キャップ１７５１Ｂの中には吸収材１７５２Ｂが収容されている。吸収材１７５２Ａと１７５２Ｂは、たとえば液体を吸収して目詰まりしないように廃液タンク１７５４側に送ることができるようにするために、多孔質材料、たとえば不織布等や多孔質樹脂等により作ることができる。

図４に示す第１吸引用キャップ１７５１Ａは、吸引ポンプ１７５３Ａに対して吸引チューブ１７６１Ａを介して接続されている。第２吸引用キャップ１７５１Ｂは、吸引ポンプ１７５３Ｂに対して吸引チューブ１７６１Ｂを介して接続されている。吸引ポンプ１７５３Ａ，１７５３Ｂは、モータ３０２Ａ，３０２Ｂによりそれぞれ駆動することにより、第１吸引用キャップ１７５１Ａと第２吸引用キャップ１７５１Ｂの中を負圧にすることができる。
これによって、第１吸引用キャップ１７５１Ａあるいは第２吸引用キャップ１７５１Ｂ内に吸引された液体は、ポンプを介して廃液タンク１７５４側に排出することができる。
第１吸引用キャップ１７５１Ａは、大気開放バルブ１７９８Ａに接続されている。第２吸引用キャップ１７５１Ｂは大気開放バルブ１７９８Ｂに接続されている。

次に、図４に示す保湿手段９００は、保湿用キャップ１６００を有している。この保湿用キャップ１６００は、箱形状のものであり、上部には開口を有している。保湿用キャップ１６００の中には、保湿用キャップ１６００の中には吸収材１６０１が収容されている。この吸収材１６０１は、吸収材１７５２Ａ，１７５２Ｂと同様の材質のものを採用することができる。この保湿用キャップ１６００は、たとえば図４に示すようにヘッド１１の各ヘッド部分１１Ａないし１１Ｆの全てのノズル列を同時に覆うことができるような大きさを有している。この保湿用キャップ１６００は、モータ３９１によりＺ軸方向に沿って上下動させることができる。

図４に示す第１吸引用キャップ１７５１Ａと第２吸引用キャップ１７５１Ｂは、それぞれ別々にモータ３０１によりＺ軸方向に沿って上下動させることができる。
これにより、第１吸引用キャップ１７５１Ａの上端部は、ヘッド１１のヘッド部分のノズル面７０に密着して任意の１列のノズル列を封止することにより、１つのノズル列のみを吸引することができる。同様にして第２吸引用キャップ１７５１Ｂは、ヘッド１１のヘッド部分のノズル面７０に密着して任意の２列のノズル列を密着して封止することにより、２列のノズル列のみを吸引することができる。

また保湿手段９００の保湿用キャップ１６００の上端部は、全てのノズル列を密着して封止することにより、全てのノズル列の保湿状態を維持することができる。
このように、吸引手段１３００と保湿手段９００は、ヘッドの各ノズルにおける目詰まりを防止して、ヘッドの吐出性能を維持することができるようにするためのものである。

図６は、非吐出ノズル検出部６００と、１つのヘッド部分を代表例として示している。図６に示すように、非吐出ノズル検出部６００が、ノズル８１の内の目詰まりした非吐出ノズルの検出と、その非吐出ノズルを含むノズル列の場所を検出するために設けられている。この非吐出ノズル検出部６００は、非動作ノズル検出部あるいは否吐出ノズル検出部とも呼ぶことができる。非吐出ノズルは、目詰まりして液滴が正常に吐出できないノズルである。
非吐出ノズル検出部６００は、発光部６０１と受光部６０２を有している。発光部６０１は、たとえばレーザー発光部を採用することができる。発光部６０１が発生する光Ｌは、受光部６０２に受光される。ノズル８１から液滴が吐出されると、光Ｌの光路を遮るので、この場合には受光部６０２は光Ｌの受光が一時的に中断される。したがって、あるノズル８１から正常に液滴が吐出されていれば、光Ｌが受光部６０２で一時的に遮光されるので、制御部２００は、このノズルは目詰まりをしていないと判断することができる。

一方、ノズル８１の駆動期間内に、光Ｌが全く遮光されない時には、制御部２００はそのノズル８１が目詰まりしていると判断することができる。なお、一滴の液滴では、光Ｌが遮断されたかどうかを十分に確実に検出できない場合があるので、１つのノズル８１について数滴の液滴を吐出するようにするのが望ましい。

図６におけるノズル列７９Ａの各ノズル８１について目詰まりの検査が済むと、ヘッド１１は、Ｘ軸方向に少し移動することで、次のノズル列７９Ｂのノズル８１について非吐出ノズルの検査をすることができる。このようにして、非吐出ノズル検出部６００は、図５に示すヘッド部１１Ａ〜１１Ｆのノズル列７９Ａ〜７９Ｆについて、非吐出ノズルが存在しているかどうかを順次非接触で検出して、図１に示す制御部２００に検出結果を送る。
このように、非吐出ノズル検出部６００は、飛行中の液滴を検出することによって、各ノズル列７９Ａ〜７９Ｆの各ノズル列の各ノズル８１の目詰まりの有無（すなわちドット抜けの有無）を検査することができる。

次に、図７を参照して、本発明の液滴吐出装置の各構成要素の電気的な接続例について説明する。
図７に示す制御部２００は、ホストコンピュータ１８００に対して通信インターフェース１８０１を介して接続されている。通信インターフェース１８０１は、メモリ１８０２に接続されている。メモリ１８０２は、データ領域１８０３と情報格納部１８１０を有している。

制御部２００は、クリーニング制御部２０１を有している。このクリーニング制御部２０１は、キャッピング制御部２０２、フラッシング制御部２０３を有している。
制御部２００は、非吐出ノズル検出部６００、キャップ操作用のモータ３０１、モータ３９１、吸引ポンプのモータ３０２Ａ，３０２Ｂ、Ｘ軸用のモータ２１Ａ、Ｙ軸用のモータ２２Ａ、吸着部３０Ｂ、モータ６２，６３、切替部４００の切替信号生成部４０１と駆動信号生成部４０３に電気的に接続されている。

図７に示すモータ２１Ａ，２２Ａ、吸着部３０Ｂ、モータ６２，６３は、図１に図示してある。図７に示す駆動信号生成部４０３は、制御部２００からの信号により、切替部４００の複数のスイッチ回路４１０に対して適宜信号を供給するようになっている。各スイッチ回路４１０は、それぞれ圧電素子（圧電振動子とも言う）４２０に対して接続されている。切替信号生成部４０１が制御部２００から与えられる信号により、スイッチ回路４１０を制御することにより、必要とする圧電素子４２０に対して駆動信号を供給するようになっている。各圧電素子４２０は、ノズルから液体を吐出させたり、ノズル内の液体境界面に微振動を付与する液滴吐出用の駆動素子である。

ヘッド１１はこれらの圧電素子４２０を有していて、各圧電素子４２０は、図４に示す各ノズル列のそれぞれのノズル８１に対応して設けられている。圧電素子４２０が駆動されると、その伸長収縮によりノズル８１から液滴が吐出できる。
図７に示すキャップ操作用のモータ３０１と吸引ポンプのモータ３０２Ａ，３０２Ｂは、図４に示している。

図８は、ヘッド１１のノズル面７０と吸引手段１３００の第１吸引用キャップ１７５１Ａおよびその周辺部分について示している。
図９は、ヘッド１１のノズル面７０と吸引手段１３００の第２吸引用キャップ１７５１Ｂおよびその周辺部分について示している。
図８に示すように、第１吸引用キャップ１７５１Ａの上端部１７５１Ｐは、ノズル面７０の１列分のノズル列、たとえばノズル列７９Ｆのみを封止する構造になっている。モータ３０１は、第１吸引用キャップ１７５１ＡをＺ軸方向に上下動することで、第１吸引用キャップ１７５１Ａをノズル面７０に密着したりあるいはノズル面７０から遠ざけることができる。モータ３０１，３０２Ａおよび大気開放バルブ１７９８Ａは、制御部２００のキャッピング制御部２０２により制御することができる。

同様にして図９に示すように、第２吸引用キャップ１７５１Ｂは、ノズル面７０の選択された１つのヘッド部分の２列のノズル列、たとえばノズル列７９Ｅ，７９Ｆのみを封止する構造になっている。このために、第２吸引用キャップ１７５１Ｂは上端部１７５２Ｐを有している。モータ３０１が作動することにより、第２吸引用キャップ１７５１Ｂはノズル面７０を封止したり、ノズル面７０から遠ざけることができる。モータ３０１，３０２Ｂおよび大気開放バルブ１７９８Ｂは、制御部２００のキャッピング制御部２０２により制御することができる。

図１０は、図８に示す第１吸引用キャップ１７５１Ａがヘッド１１のノズル面７０の１つのノズル列７９Ｆを吸引動作する様子と、ノズル列７９Ｆに対応するノズル面７０の部分だけをワイピングブレード１８５０がワイピングする動作例を示している。
図１１は、図９に示す第２吸引用キャップ１７５１Ｂがヘッド１１のノズル面７０の隣接する２列のノズル列７９Ｅ，７９Ｆのみを吸引動作する様子と、ノズル列７９Ｅ，７９Ｆを含むヘッド部分のノズル面７０の部分だけをワイピングブレード１８５０がワイピングする動作例を示している。
図１０と図１１において、吸引動作およびワイピング動作は、ノズル面７０および各ノズル列のノズルのクリーニング動作（清掃あるいは払拭動作ともいう）を構成している。

図１０と図１１に示すワイピングブレード１８５０は、ワイピングユニット５００に設けられている。ワイピングユニット５００は、たとえば図示しない駆動部によりワイピングブレード１８５０をＺ軸方向に沿って上下動することにより、ワイピングブレード１８５０の先端部がノズル面７０に対して密着して弾性変形するようになっている。これによって、ワイピングブレード１８５０の先端部は、たとえばヘッド１１をＸ１方向に移動することによりノズル面７０をワイピングすることができる。

このワイピングユニット５００は、図１０と図１１に示すようにワイピングブレード１８５０に代えて、ワイピング布５９２を用いることができる。このワイピング布５９２は、拭取りローラ５９１により矢印５９３に沿ってエンドレス状に移動する。このワイピング布５９２の移動により、ノズル面７０はワイピングすることができる。ワイピングブレード１８５０あるいはワイピング布５９２のいずれを用いても構わない。ワイピングブレード１８５０は、弾性変形可能なたとえばゴムやエラストマー等により作られている。

図１２は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態により行われるヘッドの吐出性能維持方法の一例を示すフロー図である。
図１３は、液滴吐出装置が液滴吐出作業直前までのキャッピング時間ＴＣの長さに応じて、目詰まりしたノズルを有するノズル列の１列分の総吸引量の一例を示している。この総吸引量を示すテーブルＡは、図７に示す情報格納部１８１０に格納されている。

図１３のテーブルＡは一例としてモード１〜モード５を有している。図１３のモード１では、液滴吐出作業直前までのキャッピング時間ＴＣに関係なく、図１のヘッドがホームポジションＨＰに位置されておらず（ホームポジション外）、その他の領域において、放置されたいわゆるアブノーマルな場合の例を示している。この場合には、ノズル列１列分の総吸引量は２．０ｇであり、最も多い。モード２はキャッピング時間ＴＣが０以上３日未満である。モード３では、キャッピング時間ＴＣが３日以上１週間未満である。モード４ではキャッピング時間ＴＣが１週間以上１月未満である。モード５では、キャッピング時間ＴＣは１ヶ月以上である。このようにモード２ないしモード５では、それぞれノズル列の１列分の総吸引量は、液滴吐出作業直前までのキャッピング時間（封止時間）が長くなるのにつれて、０．２、０．６、１．０および２．０という様に増加していく。

さらにノズル列の１列分の総吸引量が上述した総吸引量に比べて増加する場合がある。この場合としては、ノズル列における非吐出ノズル（ドット抜けしたノズル）の割合Ｎ２が、ノズル列の総ノズル数に対して５％を超える場合には、モード１ないしモード５においてそれぞれ総吸引量（ｇ）が増加されている。モード１ないしモード５では、総吸引量（ｇ）は３．０、０．４、１．２、２．０、３．０に増加されている。

次に、図１２を参照しながら、ヘッドの吐出性能維持方法の例について説明する。
図１２において、まず、非吐出ノズル検出ステップＳＴ０を行う。この検出ステップＳＴ０は、ステップＳＴ１〜ＳＴ３を含む。ステップＳＴ１では、非吐出ノズルの検出指示が図６の制御部２００から非吐出ノズル検出部６００側に有った場合には、ステップＳＴ２に移る。ステップＳＴ２では、図６と図７に示す非吐出ノズル検出部６００がノズル列の複数のノズルの中から非吐出ノズルの検出を行う。

図１２のステップＳＴ３において、非吐出ノズルが有ったかどうかを制御部２００が判断して、非吐出ノズルが無い場合にはステップＳＴ４において制御部２００はヘッド１１に対して通常の吐出動作を行わせる。そしてステップＳＴ５において、この場合の液滴吐出作業の直前までのキャッピング時間ＴＣは０にする。これによりこの作業が終了する。
これに対して図１２のステップＳＴ３において、非吐出ノズル検出部６００が非吐出ノズルを検出すると、ステップＳＴ６に移る。
ステップＳＴ６では、非吐出ノズル列数をＮ１として、非吐出ノズル列の位置（場所）をＰとし、該当するノズル列における非吐出ノズルの割合をＮ２とする。

非吐出ノズルとは、ノズル内において増粘等の原因により目詰まりしているノズルのことを言い、液体をノズルから吐出できないノズルを言う。
非吐出ノズル列は、この非吐出ノズルを含むノズル列のことを言う。非吐出ノズル列の位置とは、図５におけるヘッド部分１１Ａないし１１Ｆのいずれのノズル列であるかを特定することで得られるヘッド１１のノズル面における位置である。

非吐出ノズルの割合とは、非吐出ノズルを含むノズル列において、非吐出ノズルの数がそのノズル列の総ノズル数に対してどの程度の割合であるかを言う。
この非吐出ノズル列の数Ｎ１と非吐出ノズルの割合Ｎ２は、図６に示す非吐出ノズル検出部６００が各ノズル列のノズルの液滴吐出を検出できるかどうかを制御部２００側に送ることにより、制御部２００が演算をして求める。非吐出ノズル列の位置Ｐは、非吐出ノズル６００に対する図１のヘッドのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置に応じて得ることができる。

図１２のステップＳＴ７では、目詰まりしている非吐出ノズルが存在しているノズル列について、各ノズルごとについて目詰まりしているかどうかの選択データを、制御部２００が作成する。
ステップＳＴ８では、非吐出ノズル列の位置Ｐに応じて、ヘッド１１が図４においてＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。これにより、目詰まりしている非吐出ノズルを有するノズル列が１列だけの場合には、この１列のノズル列のみが図４に示す第１吸引用キャップ１７５１Ａの上方に位置決めされる。また２つのノズル列において目詰まりしている非吐出ノズルを有している場合には、隣接する２つのノズル列のみが図４の第２吸引用キャップ１７５１Ｂの上方に位置決めされる。

図８ではたとえば１列のノズル列７９Ｆのみが第１吸引用キャップ１７５１Ａにより封止されている。あるいは図９では、たとえば隣接する２つのノズル列７９Ｅ，７９Ｆのみが、第２吸引用キャップ１７５１Ｂにより封止される。図１２のステップＳＴ９のように、非吐出ノズルのあるノズル列かどうかを判断して、非吐出ノズルのあるノズル列がある場合には、上述したように図８または図９の状態で該当するノズル列を第１吸引用キャップ１７５１Ａもしくは第２吸引用キャップ１７５１Ｂにより封止する。

図１２の吸引ステップＳＴ１０では、図１３に示す総吸引量テーブルＡに応じて、図１０（Ａ）ないし図１０（Ｃ）に示すような吸引シーケンス（クリーニングシーケンス）を実行する。あるいは図１１（Ａ）ないし図１１（Ｃ）に示すような吸引シーケンス（クリーニングシーケンス）を実行する。
図１０（Ａ）に示すように、第１吸引用キャップ１７５１Ａがノズル面７０に対してＺ軸方向に上昇する。図１０（Ｂ）のような第１吸引用キャップ１７５１Ａがノズル面を封止した状態で、ポンプ１７５３Ａが作動すると、目詰まりしている非吐出ノズルを有するノズル列７９Ｆのノズルは吸引されて、吸引された液体は廃液タンク１７５４側に排出される。第１吸引用キャップ１７５１Ａ内の負圧を解除した後に、図１０（Ｃ）に示すように再び第１吸引用キャップ１７５１ＡはＺ２方向にノズル面７０から退避される。

図１１の例では、図１１（Ａ）に示すように第２吸引用キャップ１７５１ＢがＺ１方向に上昇する。図１１（Ｂ）に示すように第１吸引用キャップ１７５１Ｂは隣接するノズル列７９Ｅ，７９Ｆを封止し、吸引ポンプ１７５３Ｂが作動することによりノズル列７９Ｅ，７９Ｆのノズルが吸引されて、吸引された液体は廃液タンク１７５４側に排出される。第２吸引用キャップ１７５１Ｂの負圧が解除されて、図１１（Ｃ）に示すように第２吸引用キャップ１７５１Ｂはノズル面からＺ２方向に退避される。

図１２に戻ると、ステップＳＴ１２において、非吐出ノズル列の目詰まりが全て回復していない場合には、ステップＳＴ８に戻りステップＳＴ８からステップＳＴ１０までの処理を再度行う。
ステップＳＴ１２において、非吐出ノズル列の非吐出ノズルの目詰まりがすべて回復した場合には、図１２のステップＳＴ１３のワイピング処理に移る。ワイピング処理を行う場合には、図１０（Ｄ）に示すように回復させた１つのノズル列７９Ｆを含むノズル面７０の領域のみが、ワイピングブレード１８５０によりワイピングされる。あるいは図１１（Ｄ）の場合には、回復されたノズル列７９Ｅ，７９Ｆを含むノズル面７０の領域のみが、ワイピングブレード１８５０によりワイピングされる。
つまり、ワイピングブレード１８５０はノズル面７０の全面をワイピングするのではなく、回復したノズル列を含むノズル面７０の一部分をワイピングするだけである。

その後、ステップＳＴ２に戻ることになる。
図１２のステップＳＴ９において、非吐出ノズル列が無い場合には、保湿ステップＳＴ１１に移る。保湿ステップＳＴ１１では、図１４に示すように保湿キャップ１６００が使用される。
図１４（Ａ）に示すように休止用の保湿キャップ１６００に対応する位置に、ヘッド１１が位置決めされる。保湿キャップ１６００はモータ３９１によりＺ１方向に上昇されることにより、保湿キャップ１６００の上端部はノズル面７０に密着してノズル面７０を封止する。つまりヘッド１１のノズル列７９Ａないし７９Ｆは全て保湿キャップ１６００により封止されることになる。このようにして保湿キャップ１６００を用いることによりノズル面の全部のノズル列のキャッピングを行うことができる。

あるいは、ノズル面をキャッピングするだけではなく、図１４（Ｂ）に示すように保湿キャップ１６００がノズル面７０を封止した状態で、さらに各ノズル列７９Ａないし７９Ｆのノズルから液滴のフラッシング、すなわち液滴の吐出を保湿キャップ１６００内の吸収材１６０１に対して行う。これによって、保湿キャップ１６００内には液体により保湿されることになり、結果としてノズル面７０の各ノズルも保湿できることになる。

このようにして、各ノズルから定期的に液滴をフラッシングすることができる。この定期的な液滴のフラッシングに加えて、図１４（Ｃ）に示す各ノズル８１のノズル開口８１Ｐの液体境界面２１００に対して微振動を付与するのが望ましい。
この液体境界面２１００に対して微振動を与える場合には、制御部２００は各ノズル８１に対応して配置されている図７に示す圧電素子４２０を動作させるのである。
これによって、正常に吐出できるノズル列のノズルおよび回復したノズルを有するノズル列は、液体の増粘を防ぐことができる。この液体境界面２１００に与える微振動は、いわゆる印字外微振動（ホームポジションＨＰ外の微振動）である。このような図１４（Ａ）または図１４（Ｂ）に示すような増粘対策のシーケンスを行うことにより、ヘッド１１の吐出性の維持をさせながらヘッド１１を待機させておくのである。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。カラーフィルタ（ＣＦ）や液晶表示装置を製造する場合には、液晶の吐出も行える。

図１５は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。

有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。

有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。

また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。

次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１６は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。

カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。

液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。

対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

図１７は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。

図１８は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。

本発明の液滴吐出装置の実施形態では、微小な液滴を安定して正確に吐出するためのヘッドを有している。このヘッドのノズルの目詰まりを抑制するために、液滴吐出動作の前にいわゆるドット抜け検出（非吐出ノズルの検出）で目詰まりしているノズルとそのノズル列を検出する。

ところで上述した実施形態では、電気光学装置のワークに対して液滴を吐出する例を示している。
しかしこれに限らず、たとえばワークに対して複数種類の液体を用いて印刷する場合に対しても本発明の液滴吐出装置は使用することができる。本発明の液滴吐出装置の実施形態が、たとえばワークあるいはターゲットとしての印刷対象に対して複数の液体を吐出する場合について説明する。

従来行われていたように、ヘッドの目詰まり等すなわちヘッドの非吐出ノズルの数が多い場合には、いくらクリーニングシーケンスを施してもノズルの目詰まりの解消ができないことがある。これは、ノズル開口での液体の増粘状態が進んで液体が固化している場合であり、その固化がヘッドのキャビティ内に及んでいることによる。またヘッドが例えば４色の液体を吐出するために４つのノズル列を有している構造である場合には、１つのキャップで４つのノズル列を同時に吸引しており目詰まりの回復性が全色同等である場合は各列からは同じ吸引力で吸引して問題は発生しなかった。しかし、４色のうちたとえばマゼンタ（Ｍ）のみが回復性が悪く、他の３色であるブラック（ＢＫ）、シアン（Ｃ）、イエロー（Ｙ）のノズルの開口からはそれぞれの液体を吸引してしまうが、マゼンタに対応するノズル開口から液体を吸引することができなくなる。このマゼンタのノズル開口の目詰まりを回復するためには、何回も４色のノズル列を同時にクリーニング処理することが必要であった。

しかし本発明の実施形態を用いることにより、ノズル列を複数有しているヘッドにおいて目詰まりしているノズルを有するノズル列がどれであるかを前もって検出して、その目詰まりしたノズルを有するノズル列を正常に吐出できるノズル列とは分けて単独で吸引することで、目詰まりしているノズルの回復処理を確実に行うことができるとともに、目詰まりの無いノズル列では、液体の増粘の対策処理を確実に行うことができる。

本発明の実施形態では、ヘッドと吸引手段あるいはヘッドと保湿手段は、図１の第１操作部２１と第２操作部２２を用いて、相対的に移動することで、ヘッドと吸引手段との位置決め、およびヘッドと保湿手段との位置決めを確実に行うことができる。
ヘッドにおいて目詰まりをして非吐出ノズルとなっているノズルを有するノズル列が生じた場合に、ワークの付近においてそのノズル列を吸引手段により吸引して目詰まりの回復を行うことができる。このために、目詰まりをしているノズル列はワークの付近で行うことができ、ヘッドの移動量を減らすことができしかも吸引手段はワークの付近に配置されているので液滴吐出装置のコンパクト化が図れる。

本発明の実施形態では、非吐出ノズルを含むノズル列が１つである場合と、２つ以上の複数である場合に分けて、第１吸引用キャップと第２吸引用キャップを選択して吸引作業に使用することで、効率よくノズル列の吸引を行って目詰まりの回復処理を行うことができる。しかも正常なノズル列と目詰まりしたノズル列を同時に吸引する必要が無いので、吸引手段の小型化が図れ、吸引による液体の排出に伴う液体の浪費を減少できる。つまりヘッドの液滴吐出特性の回復をする場合に浪費する液体の消費量を大幅に削減できる。
本発明の実施形態では、払拭手段はノズル面全体を払拭するのではなく、目詰まりしたノズル列を吸引手段により吸引した後に払拭するので、ノズル面の磨耗をできるだけ防ぐことができる。

本発明の実施形態では、各ノズルでの液体は、液滴を吐出し、しかも液体境界面に微振動を与えることで、増粘を確実に防ぐことができる。ヘッドの休止時間の長さが長ければ長いほどノズル面の吸引量を上げることで、目詰まりしたノズルの回復処理を確実に行うことができる。ノズル列における非吐出ノズルの数が一定の割合を超えたら、ノズル面吸引量を増加させることで、非吐出ノズルの目詰まりの回復処理をより確実に行うことができる。

本発明の実施形態における図１２のたとえば液体としてのインクを交換する場合に行うインク交換クリーニングの場合にも、図１３の総吸引量テーブルＡのような要領で目詰まりを起こしているノズル列に対して吸引を行うことができる。本発明の実施形態では、目詰まりしているノズルが生じた場合に、インクのような液体を用いてノズルの目詰まりを回復させる場合の液体使用量を大幅に削減することができる。
ノズル面のワイピングは、目詰まりを回復したノズルを有するノズル列を含むヘッドの部分だけについて行えば良いので、ワイピング時間の短縮化が図れるとともに、ワイピング部材の磨耗およびヘッドのノズル面の磨耗の防止が図れる。また、ヘッドがホームポジションＨＰ、すなわち図１４のメンテナンス部の保湿手段９００の保湿用キャップ１６００によりキャッピングされていないにも関わらず非吐出ノズルを含むノズル列が存在しない場合には、ノズル面の吸引動作をしなくても済む。

図４に示すようないわゆる多連ヘッドの全てのノズル列に対してクリーニング用の吸引機構を設ける場合に比較して、目詰まりしたノズルを有するノズル列のみを吸引する構造であるので低コスト化および装置のコンパクト化が図れる。
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。

本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。 図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ヘッド等を示す斜視図。 図２のキャリッジおよびヘッド等を示す図２におけるＥ方向から見た正面図。 ヘッドとヘッドの吐出性能維持装置の構造例を示す斜視図。 ヘッドとヘッドの吐出性能維持装置を示す平面図。 非吐出ノズル検出部の例を示す図。 制御部およびその周辺の要素の電気的な接続例を示す図。 １つのノズル列のみを封止する第１吸引用キャップおよびその周辺を示す図。 ２列のノズル列のみを封止する第２吸引用キャップおよびその周辺を示す図。 １列のノズル列を封止してその後ワイピングする様子を示す図。 ２列のノズル列を封止して吸引後ワイピングする様子を示す図。 液滴吐出装置におけるノズル面の吐出性能の維持のための動作例を示すフロー図。 吸引動作における総吸引量の例を示すテーブルの図。 ノズル面を保湿するためのキャッピングおよび増粘対策の例を示す図。 本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。 本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。 本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。 電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。

符号の説明

１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、１１Ａないし１１Ｆ・・・ヘッド部分、２１，２２・・・操作部、７０・・・ノズル面、７９Ａないし７９Ｆ・・・ノズル列、８１・・・ノズル、２００・・・制御部、４２０・・・圧電素子（液滴吐出用駆動素子）、６００・・・非吐出ノズル検出部、９００・・・保湿手段、１３００・・吸引手段、２０００・・・ヘッドの吐出性能維持装置

Claims (13)

1. 液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、
   供給された液体の前記液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数列備えるヘッドと、
   複数の前記ノズル列のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを検出する非吐出ノズル検出部と、
   検出された前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを回復させるための吸引手段と、
   前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿するための保湿手段と、
   を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記ヘッドと前記吸引手段を相対的に移動して前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を前記吸引手段に位置決めし、前記ヘッドと前記保湿手段を相対的に移動して複数の前記ノズル列を前記保湿手段に位置決めする操作部を、さらに備えることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記吸引手段は、前記ワークが配置されている位置の付近に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
4. 前記吸引手段は、
   前記非吐出ノズルを含む１つの前記ノズル列を吸引する第１吸引用キャップと、
   前記非吐出ノズルを含む複数の前記ノズル列を同時に吸引する第２吸引用キャップと、を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
5. 前記吸引手段により吸引された後に前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を有する前記ノズル面の部分のみを払拭する払拭手段を有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 目詰まりしていない正常な前記ノズル列の前記ノズルでの前記液体の増粘と、目詰まりが回復された前記ノズル列の前記ノズルでの前記液体の増粘を阻止するために、前記保湿手段内には前記液滴を吐出し、前記ノズルごとに配置されている液滴吐出用駆動素子により各前記ノズル内の液体境界面に微振動を与えることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
7. 前記吸引手段は、前記液滴を前記ワークに吐出する動作をする直前までの前記ヘッドの休止時間の長さに応じて、前記ノズル面の吸引量を増加させることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
8. 前記吸引手段は、前記ノズル列における前記非吐出ノズルの数が予め定めた一定の割合を超えたら、前記ノズル面の吸引量を増加させることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
9. ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を設けられて、前記ヘッドのノズル面の吐出性能を維持するためのヘッドの吐出性能維持装置であって、
   供給された液体の前記液滴を吐出するために、複数のノズルから成るノズル列を前記ノズル面に複数列備える前記ヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを検出する非吐出ノズル検出部と、
   前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを回復させるための吸引手段と、
   前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿するための保湿手段と、
   を備えることを特徴とするヘッドの吐出性能維持装置。
10. ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置において前記ヘッドのノズル面の吐出性能を維持するためのヘッドの吐出性能維持方法であって、
    供給された液体の前記液滴を吐出するために、複数のノズルから成るノズル列を前記ノズル面に複数列備える前記ヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを非吐出ノズル検出部により検出する非吐出ノズル検出ステップと、
    前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを吸引手段により回復させる吸引ステップと、
    前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿手段により保湿する保湿ステップと、
    を有することを特徴とするヘッドの吐出性能維持方法。
11. ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて電気光学装置の製造をする電気光学装置の製造方法であって、
    供給された液体の前記液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数列備えるヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを非吐出ノズル検出部により検出する非吐出ノズル検出ステップと、
    前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを吸引手段により回復させる吸引ステップと、
    前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿手段により保湿する保湿ステップと、
    を行った後に前記ワークに前記液滴を吐出して電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
12. ヘッドから液滴をワークに吐出する液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置であって、
    供給された液体の前記液滴を吐出するために、ノズル面には複数のノズルから成るノズル列を複数列備えるヘッドの内のどの前記ノズル列の前記ノズルが目詰まりをして非吐出ノズルになっているかを非吐出ノズル検出部により検出する非吐出ノズル検出ステップと、
    前記ノズル面における前記非吐出ノズルを含む前記ノズル列を封止して吸引して前記非吐出ノズルの目詰まりを吸引手段により回復させる吸引ステップと、
    前記ノズル面における複数の前記ノズル列を封止して前記ノズル面を保湿手段により保湿する保湿ステップと、
    を行った後に前記ワークに前記液滴を吐出して製造されたことを特徴とする電気光学装置。
13. 請求項１２に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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