WO2008102837A1 - インクジェット塗布装置におけるクリーニング方法、ノズル検査方法、塗布制御方法、および成膜方法 - Google Patents

インクジェット塗布装置におけるクリーニング方法、ノズル検査方法、塗布制御方法、および成膜方法 Download PDF

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Abstract

課題：インクジェット塗布装置におけるクリーニング方法、ノズル検査方法、塗布制御方法、および成膜方法の提供。 解決手段：インクジェットヘッドをユニット部材で覆い、ユニット部材に吸引力を作用させることにより、洗浄液を所定時間噴射し、インクジェットヘッドとユニット部材を僅かに離間させた状態で、吸引力を作用させて乾燥させることを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング方法。吐出作業後、流路に充填された吐出用液材を低揮発性の置換材に置換し、吐出作業を開始する直前に置換材を吐出用液材に再置換することを特徴とするインクジェット塗布制御方法。インクジェットヘッドから噴射した液材を着弾箇所と非着弾箇所の反射率が異なる検査用部材に着弾させることを特徴とするインクジェットヘッドの検査方法。前工程で噴射したワーク上の滴が流動しない程度に乾燥するのを待って、前工程により着弾した液材の滴に接触ないし一部が重なる位置へ液材を噴射することを特徴とするインクジェット成膜方法。
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