CN1689817A - 液滴喷出装置、喷头的喷出性能维持装置及性能维持方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种液滴喷出装置，具备：喷头(11)，其在喷嘴面(70)上具备为喷出所供给的液体的液滴的由多列由多个喷嘴(81)构成的喷嘴列(79A～79F)；不喷出喷嘴检查部(600)，其检查多个喷嘴列的哪列喷嘴列中的喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；吸引部件(1300)，其用以将包含被检出的喷嘴面(70)中的不喷出喷嘴的喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和保湿部件(900)，其用以将喷嘴面(70)中多个喷嘴列密封使喷嘴面(70)保湿。由此能够事先检出孔堵塞喷嘴的喷嘴列后，以单独吸引具有该孔堵塞喷嘴的喷嘴列的方式，能够确实进行恢复处理，同时还能对喷嘴中液体确实进行增粘的对策处理。

Description

液滴喷出装置、喷头的喷出性能维持装置及性能维持方法
技术领域
本发明涉及液滴喷出装置、喷头的喷出性能维持装置、喷头的喷出性能维维持方法、电光学装置的制造方法、电光学装置和电子仪器。
背景技术
液滴喷出装置往往用作描绘系统，这种描绘系统采用喷墨方式在工件上喷出液滴。这种描绘系统，例如有时用以平板显示器之类的电光学元件的制造中。
以喷墨方式喷出微小液滴的液滴喷出装置，具有用以喷出液滴的喷头。这种喷头必须能稳定而准确地在工件上喷出微小液滴。为此通过抑制喷头拥有的多个喷嘴产生孔堵塞的现象，能够稳定而准确地喷出微小的液滴。有人提出，这种喷头的喷嘴面，必要时通过吸引使液滴从喷头中喷出来进行清洁处理，以此方式抑制喷嘴孔堵塞(参见专利文献1)。
专利文献1：特开平10-95126号公报(第5页图9)。
专利文献1公开的喷墨式图像形成装置中，事先准备多个间隙部件，各间隙部件具有将每个喷嘴密接形成各自独立吸引喷嘴的结构。这样能够间隙部件仅仅吸引具有增粘喷嘴的喷嘴列，将该增粘喷嘴的孔堵塞恢复。
然而，具有增粘喷嘴的喷嘴列，只不过公开了一种能够与其它喷嘴列分割吸引的机械结构，不能事先确定具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列是哪一列。
发明内容
本发明为了解决上述课题，目的在于提供一种能够事先检出具有多列喷嘴列的喷头中，具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列是哪一列，以在单独吸引具有该孔堵塞喷嘴的喷嘴列的方式，能够确实进行恢复处理，同时还能对喷嘴中液体确实进行增粘的对策处理的液滴喷出装置、喷头的喷出性能维持装置、喷头的喷出性能维持方法、电光学装置的制造方法、电光学装置和电子仪器。
本发明目的由作为第一发明的液滴喷出装置所达成，所述液滴喷出装置，是用以在工件上喷出液滴的液滴喷出装置，其特征在于，具备：
喷头，用以在喷嘴面上具备喷出所供给液体的所述液滴的多列由多个喷嘴构成的多列喷嘴列；检查部，用以检查多个所述喷嘴列的哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴的不喷出喷嘴；吸引部件，用以将包含被检出的所述喷嘴面中的所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和保湿部件，用以将所述喷嘴面中的多个所述喷嘴列密封，使所述喷嘴面保湿。
根据第一发明的构成，喷头由多列在喷嘴面上具备用以喷出所供给液体的液滴的多个喷嘴构成的喷嘴列。
不喷出喷嘴检查部，检查多个喷嘴列的哪个喷嘴列中的喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴。
吸引部件将包含喷嘴面中不喷出喷嘴的喷嘴列密封吸引，使不喷出喷嘴的孔堵塞恢复。
保湿部件将喷嘴面中多个喷嘴列密封，使喷嘴面保湿。
这样能够事先检出具有多列喷嘴列的喷头中具有孔堵塞的喷嘴的喷嘴列是哪一列，以在单独吸引具有该孔堵塞的喷嘴的喷嘴列的方式，确实进行恢复处理，同时能够在其后确实进行喷嘴中液体的增粘对策处理。因此，能够削减喷嘴孔堵塞恢复处理浪费的液体消耗量，同时还能实现紧凑化。
第二发明，其特征在于在第一发明的构成中还具备：使所述喷头与所述吸引部件作相对移动，将包含所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列在所述吸引部件上定位，使所述喷头与所述保湿部件作相对移动，将多个所述喷嘴列在所述保湿部件上定位的操作部。
根据第二发明的构成，操作部使喷头与吸引部件作相对移动，将包含不喷出喷嘴的喷嘴列在吸引部件上定位，使喷头与保湿部件作相对移动，将多个喷嘴列在保湿部件上定位。
这样一来，喷头与吸引部件或喷头与保湿部件，以在相对移动的方式，能够确实进行喷头与吸引部件的定位以及喷头与保湿部件的定位。
第三发明，其特征在于，在第一发明的构成中所述吸引部件位置处于所述工件配置位置附近。
根据第三发明，吸引部件被配置在配置工件的位置附近。
这样一来，当产生具有使喷嘴孔堵塞产生了不喷出喷嘴的喷嘴列的情况下，工件附近通过吸引该喷嘴列的吸引部件的吸引能够进行孔堵塞的恢复。因此，产生孔堵塞的喷嘴列能够在工件附近进行恢复处理，减少喷头的移动量，而且由于吸引部件被配置在工件的附近，所以可以实现液滴喷出装置的紧凑化。
第四发明，其特征在于，在第一发明至第三发明的任何一种构成中，所述吸引部件具备吸引包含所述不喷出喷嘴的一个所述喷嘴列的第一吸引用罩，和同时吸引包含所述不喷出喷嘴的多个所述喷嘴列的第二吸引用罩。
根据第四发明的构成，吸引部件具备第一吸引用罩和第二吸引用罩。第一吸引用罩将吸引包含不喷出喷嘴中的一个喷嘴列。第二吸引用罩将同时吸引包含不喷出喷嘴中的多个喷嘴列。
这样一来，能够分成包含不喷出喷嘴中的一个喷嘴列的情况和两个以上多个喷嘴列的情况，通过在选择第一吸引用罩和第二吸引用罩的方式，高效进行喷嘴列的吸引，对喷嘴的孔堵塞进行恢复处理。
第五发明，其特征在于，在第四发明的构成中具备被所述吸引部件吸引后仅对具有包含所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列的所述喷嘴面部分进行擦拭的擦拭部件。
根据第五发明，被吸引部件吸引后，仅对具有包含不喷出喷嘴的喷嘴列的喷嘴面部分进行擦拭的擦拭部件。
这样一来，擦拭部件不仅能擦拭喷嘴面全体，而且还能在吸引部件吸引后对孔堵塞的喷嘴列进行擦拭，所以还能防止喷嘴面的磨损。
第六发明，其特征在于在第四发明的构成中，为使没有被堵塞的正常的所述喷嘴列的所述喷嘴中所述液体增粘，并阻止孔堵塞被恢复的所述喷嘴列的所述喷嘴中所述液体增粘，通过向所述保湿部件内喷出所述液滴，通过配置在每个所述喷嘴上的液体喷出用驱动元件，对各所述喷嘴内的液体界面赋予微小振动。
根据第六发明，为将没有被孔堵塞的正常的喷嘴列的喷嘴中液体增粘，并阻止孔堵塞被恢复的喷嘴列的喷嘴中液体增粘，通过向保湿部件内喷出液滴，利用配置在每个喷嘴上的液体喷出用驱动元件对喷嘴内的液体界面赋予微小振动。
这样一来，各喷嘴中的液体，通过在喷出液滴而且对液体界面赋予微小振动的方式，能够确实防止喷嘴中液体的增粘，而且还能防止喷嘴孔堵塞。
第七发明，其特征在于，在第四发明的构成中，所述吸引部件根据在所述工件上进行喷出所述液滴动作之前所述喷头的休止时间长度，使所述喷嘴面的吸引量增加。
根据第七发明的构成，吸引部件根据在工件上进行喷出液滴动作之前喷头的休止时间长度，使喷嘴面的吸引量增加。
这样一来，通过随着喷嘴休止时间长度的延长增大喷嘴面的吸引量的方式，能够对孔堵塞的不喷出喷嘴确实进行孔堵塞的恢复处理。
第八发明，其特征在于，在第七发明的构成中，所述喷嘴列中所述不喷出喷嘴的数目若超过预定的一定比例，则所述吸引部件使所述喷嘴面的吸引量增加。
根据第八发明的构成，喷嘴列中的不喷出喷嘴的数目若超过预定的一定比例，则吸引部件使喷嘴面的吸引量增加。
这样一来，喷嘴列中的不喷出喷嘴的数目若超过一定比例，则吸引部件使喷嘴面的吸引量增加，这种情况下能够确实对不喷出喷嘴的孔堵塞进行恢复处理。
上述目的由作为第九发明的一种喷头的喷出性能维持装置所达成，所述喷头的喷出性能维持装置，是设置从喷头在工件上喷出液滴的液滴喷出装置，用以维持所述喷头的喷嘴面的喷出性能的喷头的喷出性能维持装置，其特征在于，其中具备：不喷出喷嘴检查部，为喷出所供给液体的所述液滴而检查所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中的所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；吸引部件，用以将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和保湿部件，用以将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，使所述喷嘴面保湿。
这样一来，能够事先检出具有多列喷嘴列的喷头中，具有孔堵塞的喷嘴的喷嘴列是哪一列，通过在单独吸引具有该孔堵塞喷嘴的喷嘴列的方式能够确实进行恢复处理，同时还能够进行喷嘴中液体增粘的对策处理。因此，能够削减喷嘴孔堵塞恢复处理浪费液体的消耗量，同时还能实现紧凑化。
上述目的由作为第十发明的一种喷头的喷出性能维持方法所达成，所述喷头的喷出性能维持方法，是用喷头在工件上喷出液滴的液滴喷出装置中，用以维持所述喷头的喷嘴面的喷出性能的喷头的喷出性能维持方法，其特征在于，其中具有：不喷出喷嘴检查步骤，为喷出所供给液体的所述液滴，通过不喷出喷嘴检出部检查在所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中的所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；吸引步骤，借助于吸引部件将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和保湿步骤，通过保湿部件将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，使所述喷嘴面保湿。
这样能够事先检出有多列喷嘴列的喷头内，具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列是哪一列，通过在单独吸引具有该孔堵塞喷嘴的喷嘴列的方式能够确实进行恢复处理，同时还能对喷嘴中的液体确实进行增粘的对策处理。因此，能够削减对喷嘴孔堵塞作恢复处理而浪费液体的消耗量，同时还能实现紧凑化。
上述目的由作为第十一发明的一种电光学装置的制造方法所达成，所述电光学装置的制造方法，是用在工件上喷头的喷出液滴的液滴喷出装置，制造电光学装置的电光学装置的制造方法，其特征在于，先进行下述步骤：
不喷出喷嘴检查步骤，为喷出所供给液体的所述液滴，通过不喷出喷嘴检出部检查所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；吸引步骤，借助于吸引部件将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和保湿步骤，通过保湿部件将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，将所述喷嘴面保湿；
之后，在所述工件上喷出所述液滴制造电光学装置。
这样能够事先检出在具有多列喷嘴列的喷头内，具有的孔堵塞喷嘴的喷嘴列是哪一列，以在单独吸引具有该孔堵塞的喷嘴的喷嘴列的方式能够确实进行恢复处理，同时还能对没有孔堵塞的喷嘴中液体确实进行增粘的对策处理。因此，能够削减对喷嘴孔堵塞作恢复处理而浪费液体的消耗量，同时还能实现紧凑化。
上述目的由作为第十二发明的一种电光学装置所达成，所述电光学装置，是用喷头在工件上喷出液滴的液滴喷出装置制造的电光学装置，其特征在于，先进行下述步骤：
不喷出喷嘴检查步骤，为喷出所供给液体的所述液滴，通过不喷出喷嘴检出部检查所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中的所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；吸引步骤，借助于吸引部件将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，对所述不喷出喷嘴的孔堵塞进行恢复；和保湿步骤，通过保湿部件将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，将所述喷嘴面保湿；
之后，在所述工件上喷出所述液滴而制造的。
这样能够事先检出在具有多列喷嘴列的喷头内，具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列是哪一列，通过在单独吸引具有该孔堵塞喷嘴的喷嘴列的方式能够确实进行恢复处理，同时还能对没有孔堵塞的喷嘴中的液体确实进行增粘的对策处理。因此，能够削减对喷嘴孔堵塞作恢复处理而浪费液体的消耗量，同时还能实现紧凑化。
第十三发明涉及一种电子仪器，其特征在于，其中搭载了第十二发明中记载的电光学装置。
附图说明
图1是表示本发明的液滴喷出装置的优选实施方式的俯视图。
图2是表示图1的液滴喷出装置中承载器、喷头等的立体图。
图3是表示图2的承载器、喷头等的图2中沿着E方向观察的正视图。
图4是表示喷头和喷头的喷出性能维持装置结构实例的立体图。
图5是表示喷头和喷头的喷出性能维持装置的俯视图。
图6是表示不喷出喷嘴检出部实例的图。
图7是表示控制部及其周边要素的电连接实例的图。
图8是表示仅密封一列喷嘴列的第一吸引用罩及其周边的视图。
图9是表示仅密封两列喷嘴列的第二吸引用罩及其周边的视图。
图10是表示将一列喷嘴列密封然后擦拭情况的视图。
图11是表示将两列喷嘴列密封吸引后擦拭情况的视图。
图12是表示用以维持液滴喷出装置中喷嘴面的喷出性能的动作实例的流程图。
图13是表示吸引动作中总吸引量实例的表格。
图14是表示喷嘴面保湿用的罩上和增粘对策实例的视图。
图15是表示由本发明的液滴喷出装置制造的有机EL装置形状实例的视图。
图16是表示由本发明的液滴喷出装置制造的液晶显示装置的结构实例的视图。
图17是表示作为具备由本发明的实施方式制造的显示装置的电子仪器实例的移动电话机的立体图。
图18是表示作为电子仪器另外实例的个人计算机的立体图。图中：
10…液滴喷出装置；11…喷头；11A至11F…喷头部分；21、22…操作部；70…喷嘴面；79A至79F…喷嘴列；81…喷嘴；200…控制部；420…压电元件(液滴喷出用驱动元件)；600…不喷出喷嘴检出部；900…保湿部件；1300…吸引部件；2000…喷头的喷出性能维持装置
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的优选实施方式。
图1是表示本发明的液滴喷出装置的优选实施方式的俯视图。图1所示的液滴喷出装置10，例如能够用作描绘系统。这种描绘系统，是在作为所谓的一种平板显示器的例如有机EL(电致发光)装置的制造流水线上组装而成的。这种液滴喷出装置10，能够形成作为有机EL装置的各像素的发光元件。
液滴喷出装置10，例如可以作为喷墨式描绘装置使用。液滴喷出装置10，例如是采用液滴喷出法(喷墨法)形成有机EL装置的发光元件用的。液滴喷出装置10的喷头(也可以叫作功能性液滴喷头)，能够形成有机EL元件的发光元件。具体讲，在有机EL元件的制造工序中，经过贮存格(bank)部形成工序和等离子体处理工序，通过使导入发光功能材料的喷头对形成了贮存格部的基板(工件一侧)作相对扫描，液滴喷出装置10能够与基板的像素电极位置对应形成空穴注入/输送层和发光层的成膜部。
液滴喷出装置10，例如准备两台，一台液滴喷出装置10能够形成空穴注入/输送层，而另一台液滴喷出装置10能够形成R(红)、G(绿)、B(蓝)等三色发光层。
图1的液滴喷出装置10被容纳在腔室12中。腔室12，具有另一腔室13。在此腔室13中容纳有工件输出输入台架14。工件输出输入台架14是用以将工件W搬入腔室12内或者将处理后的工件14从腔室12内的台架30上搬出的台架。
图1所示的腔室12中，容纳有对喷头11进行保持的维持部15。而且在腔室12的外侧具备回收部16。
维持部15具有吸引部件1300、清扫单元500、不喷出喷嘴检出部600、保湿部件900或重量测定单元(图中未示出)等。
吸引部件1300，是用以自喷头11的喷嘴面吸引液滴和气泡，使喷嘴的孔堵塞恢复，使喷头11的喷出性能恢复的部件。清扫单元500的清扫板，是用以对附着在喷嘴面上的液体等污物进行擦拭的。不喷出喷嘴检出部600对从喷头11喷出液滴的喷出状态进行检查。重量测定单元测定从喷头11喷出的液滴重量。
保湿部件900用以密封喷头11的喷嘴面，维持喷头11的喷出性能的。
回收部16例如具有回收液滴的液滴回收系统，和供给清扫后洗涤用溶剂的洗涤液供给系统。
腔室12和腔室13，事先单个被空气管理，使腔室12和腔室13中的气氛不会发生波动。之所以这样使用腔室12和腔室13，是因为例如在制造有机EL元件的情况下，为避免大气中水分的影响而排除大气影响用的。在腔室12和腔室13中连续导入干燥空气后排气的情况下，能够维持干燥空气的气氛。
以下就图1所示的腔室12的构成要素进行说明。
腔室12中容纳有框架20、喷头11、承载器19、液体贮留部300、第一操作部21、第二操作部22、台架30和导引基座17。
图1的框架20沿着X轴方向水平设置的。导引基座17沿着Y轴方向设置的。框架20处于导引基座17的上方。X轴相当于第一移动轴，Y轴相当于第二移动轴。X轴与Y轴正交，相对于Z轴也正交。图1中Z轴处于与纸面垂直的方向上。
第一操作部21，是使承载器19与喷头11沿着框架20在X轴方向上作往复移动和定位用的。
第二操作部22具有台架30。这种台架30能够可装卸地搭载图1所示的工件W。这种第二操作部22的台架30，在由喷头11对工件W喷出液滴时，能够保持工件W。而且第二操作部22，能使工件W在导引基座17上沿着Y轴方向作直线移动和定位。
第一操作部21，具有用以使喷头11沿着X轴方向直线移动定位的马达21A。这种马达21A，例如能够通过进给丝杠使此喷头11沿着X轴方向作直线移动。马达21A既可以采用这种旋转型的电动马达，也可以采用线型马达。
第二操作部22的马达22A，能使台架30沿着引导基座17在Y轴方向作直线移动和定位。马达22A，例如能够采用使进给丝杠旋转的旋转型的电动马达。作为马达22A除旋转型马达以外，也可以采用线型马达。
第二操作部22的台架30具有搭载面30A。这种搭载面30A是与图1的Z轴方向垂直的的面。搭载面30A具有吸附部30B。这种吸附部30B，是能够借助于真空吸附将工件W吸附的部分。这样能使工件W相对于搭载面30A不移动的情况下确实可装卸地固定。第一操作部21和第二操作部22构成本发明的实施方式中的操作部。
以下参照图2和图3说明承载器19和喷头的结构实例。
图2是表示承载器19和喷头11四周形状实例的立体图，图3是从图2的E方向来看的正视图实例。
承载器19能够借助于图1所示的马达21A在X轴方向上移动和定位。承载器19用喷头支架61能可装卸地保持喷头11。马达62的输出轴与进给丝杆1821相连接。进给丝杆1821与轴1823的的螺栓1822啮合。
一旦使图2所示的马达动作，喷头支架61和喷头11的单元就能沿着Z轴方向作上下移动和定位。通过又一马达63的动作，能使喷头11以U轴为中心沿着θ方向旋转。
如图2和图3所示，喷头11具有喷嘴板64。喷嘴板64的下面是喷嘴面70。这种喷嘴面70具有多个喷嘴的喷嘴开口。喷头11通过管子与液体贮留部300相连接。液体贮留部300是贮留作为一个液体实例的油墨的容器，液体贮留部300也可以叫作功能液储藏部。液体是形成有机EL元件的孔穴注入/输送层和发光层的成膜部用的功能液的一个实例。液体贮留部300内的液体，是例如能够借助于压电振动元件的动作以喷墨方式从喷嘴开口喷出的物质。如图3所示，马达62、63由控制部200控制动作。
图4表示喷头11的形状例和喷头的喷出性能维持装置2000的结构例。图5是表示喷头11的形状例和喷头的喷出性能维持装置2000的结构例的俯视图。
首先参照图4和图5说明喷头11的结构例。
喷头11如图4和图5所示，是一种具有多个喷头部分11A乃至11F的所谓多联喷头。在喷头11的下面一侧以间隔排列有喷头部分11A乃至11F。喷头部分11A乃至11C以预定间隔沿着X轴方向并列排列着。喷头部分11D乃至11F以预定间隔沿着X轴方向排列着。
图5的各喷头部分11A乃至11C有两列喷嘴列。也就是说喷头部分11A具有喷嘴列79A、79B，喷头部分11B具有喷嘴列79C、79D，而喷头部分11C具有喷嘴列79E、79F。
喷头部分11D具有喷嘴列79A、79B，喷头部分11E具有喷嘴列79C、79D，而喷头部分11F具有喷嘴列79E、79F。
各喷嘴列79A乃至喷嘴列79F，在Y轴方向上以间隔平行地形成的。各喷嘴列79A乃至喷嘴列79F具有多个喷嘴81。在图4和图5所示的喷头11的形状实例中，虽然有六个喷头部分11A乃至11F，但是并不限于这种情况，喷头11当然也可以是两个乃至五个，或者七个以上喷头部分的多联喷头。
而且各喷头部分在图示的实例中虽然有两列喷嘴列，但是也可以有三列以上喷嘴列。
各喷头部分11A乃至11F的喷嘴列，与图1所示的液体贮留部300相连接。各喷嘴列既可以分别喷出容纳在液体贮留部300内的不同种类液体，例如相邻喷嘴列也可以喷出同种液体。
以下说明图4和图5所示的喷头的喷出性能维持装置2000。
喷头的喷出性能维持装置2000，是一种对喷头11的喷嘴列中喷嘴的喷出性能进行维持的装置，具有吸引部件1300和保湿部件900。
图4和图5所示的吸引部件1300和保湿部件900，如图1所示被配置在维持部15之中。在图1的实施方式中，吸引部件1300优选被配置在台架30附近与工件W接近的位置上。将保湿部件900进一步配置在吸引部件1300的横向位置上。
图5所示的喷头11的各喷头部分的各喷嘴列79A～79F，被配置得能够分别将从图1所示的液体贮留部300供给的液体适当地对图1的工件W喷出。
吸引部件1300，是仅仅对这种喷头11的喷嘴列中包含孔堵塞的喷嘴的喷嘴列产生吸引，用以使该喷嘴的孔堵塞恢复的一种部件。吸引部件1300具有第一吸引用罩1751A和第二吸引用罩1751B。
第一吸引用罩1751A，通过仅将图4和图5所示的喷头11的一列喷嘴列密封吸引，对该列喷嘴列中孔堵塞的不喷出喷嘴进行吸引使其恢复用的。
第二吸引用罩1751B，通过对相邻喷嘴列进行密封吸引，使相邻喷嘴列中孔堵塞的不喷出喷嘴进行吸引使其恢复用的。
因此，图4所示的第一吸引用罩1751A的宽度W1，被设定为比第二吸引用罩1751B的宽度W2小。将第一吸引用罩1751A的长度L1，设定得与第二吸引用罩1751B的长度L2相同。这些长度L1、L2，是比各喷嘴列在Y轴方向上的长度稍大的值。
如图4所示，第一吸引用罩1751A和第二吸引用罩1751B例如分别为箱状，其上部各有开口。在第一吸引用罩1751A中，容纳着吸收材料1752A。同样，在第二吸引用罩1751B中容纳着吸收材料1752B。吸收材料1752A和1752B，例如可以用多孔性材料，例如由无纺布等或多孔性树脂等制备，例如使其能够吸收液体以便使其不会孔堵塞并能将其送至废液罐1754一侧。
图4所示的第一吸引用罩1751A，借助于吸引管道1761A与吸引泵1753A连接着。而第二吸引用罩1751B，借助于吸引管道1761B与吸引泵1753B连接着。吸引泵1753A、1753B分别由马达302A、302B驱动，能使第一吸引用罩1751A和第二吸引用罩1751B中形成负压。
这样被吸引到第一吸引用罩1751A或第二吸引用罩1751B内的液体，可以借助于泵向废液罐1754一侧排出。
第一吸引用罩1751A与大气放空阀门1798A连接着。第二吸引用罩1751B与放空阀门1798B连接着。
进而图4所示的保湿部件900具有保湿罩1600。该保湿罩1600呈箱状，上部有开口。在保湿罩1600中容纳有处于保湿罩1600中的吸收材料1601。这种吸收材料1601可以采用与吸收材料1752A、1752B相同材质的物质。这种保湿罩1600，如图4所示，例如具有能够同时覆盖喷头11的各喷头部分11A乃至11F中全部喷嘴列的大小。这种保湿罩1600，能够利用马达驱动得沿着Z轴方向作上下移动。
图4所示的第一吸引用罩1751A和第二吸引用罩1751B，能够分别被马达301驱动得沿着Z轴方向作上下移动。
这样一来，第一吸引用罩1751A的上端部分，通过与喷头11的喷头部分的喷嘴面70密接得将任意一列喷嘴密封，能够仅仅吸引一列喷嘴列。同样，第二吸引用罩1751B，通过与喷头11的喷头部分的喷嘴面70密接得将任意两列喷嘴密封，能够仅仅吸引两列喷嘴列。
而且保湿部件900的保湿罩1600的上端部分，通过密接封住全部喷嘴列，能够维持全部喷嘴列的保湿状态。
这样，吸引部件1300和保湿部件900，是用以能够防止喷头的各喷嘴中孔堵塞，能够维持喷头的喷出性能部件。
图6是表示不喷出喷嘴检出部600，和以一个喷头部分作为代表例的图。如图6所示，不喷出喷嘴检出部600，是为检出喷嘴81内孔堵塞的不喷出喷嘴，以及检出包括该不喷出喷嘴的喷嘴列所在场所而设置的。这种不喷出喷嘴检出部600，也可以叫作不动作喷嘴检出部或者不喷出喷嘴检出部。不喷出喷嘴是因孔堵塞而不能正常喷出液滴的喷嘴。
不喷出喷嘴检出部600，具有发光部601和受光部602。发光部601，例如可以采用激光发光部。发光部601发出的光线L被受光部602所接收。一旦液滴从喷嘴81喷出，由于光线L的光路被遮挡，所以此时受光部602一时中断接受L光线。因此，若从某个喷嘴81正常喷出液滴，由于光线L被受光部602一时遮挡，所以控制部200能够判断此喷嘴没有孔堵塞。
另一方面，在喷嘴81的驱动期间内，当光线L没有被全部遮挡时，控制部200就能判断该喷嘴孔堵塞。而且，由于一滴液滴往往不能确实检出光线L是否被遮挡，所以希望使一个喷嘴81喷出数滴液滴。
一旦就图6中的喷嘴列79A的各喷嘴81完成孔堵塞检查，通过喷头11在X轴方向有少许移动的方式，能够就下一喷嘴列79B的喷嘴81进行不喷出喷嘴的检查。这样一来，不喷出喷嘴检出部600就会在非接触下，依次对图5所示的全部喷头11A～11F的喷嘴列79A～79B作是否存在不喷出喷嘴的检查，将检查结果送到图1所示的控制部200。
因此，不喷出喷嘴检出部600通过检查飞行中的液滴，能够检查到各喷嘴列79A～79F的各喷嘴列中各喷嘴81是否孔堵塞(即损失点的有无)。
以下参照图7说明本发明的液滴喷出装置各构成要素的电连接实例。
图7所示的控制部200，借助于通信界面1801与主计算机1800连接。通信界面1801与存储器1802连接。存储器1802具有数据区域1803和信息容纳部1810。
控制部200，具有清洗控制部201。这种清洗控制部201具有压顶控制部202和冲洗控制部203。
控制部200在驱动信号生成部403与不喷出喷嘴检出部600、间隙操作用马达301、马达391、吸引泵马达302A、302B、X轴用马达21A、Y轴用马达22A、吸附部30B、马达62、63和切换部400的切换信号生成部401电连接的。
图7所示的马达21A、22A、吸附部30B、马达62、63，示于图1之中。图7所示的驱动信号生成部403，能够由来自控制部200的信号向切换部400的多个开关电路410供给适当信号。各开关电路410分别与压电元件(也可以叫作压电振动元件)420连接着。切换信号生成部401通过由控制部200给予的信号控制开关电路410，能够对必要的压电元件420供给驱动信号。各压电元件420，是使液体从喷嘴中喷出，将微小振动赋予喷嘴内的液体界面的液滴喷出用的驱动元件。
喷头11具有这些压电元件420，各压电元件420是与图4所示的各喷嘴列的各自喷嘴81对应而设置的。一旦驱动压电元件420，依靠其伸长和收缩能够使液滴从喷嘴中喷出。
图7所示的间隙操作用马达301和吸引泵马达302A、302B示于图4之中。
图8表示喷头11的喷嘴面70与吸引部件1300的第一吸引用罩1751A及其周边部分。
图9表示喷头11的喷嘴面70与吸引部件1300的第二吸引用罩1751B及其周边部分。
如图8所示，第一吸引用罩1751A的上端部分1751P，制成将喷嘴面70的一列喷嘴，例如仅将喷嘴列79F密封的结构。通过马达301在使第一吸引用罩1751A在Z轴方向上作上下移动的方式，能够使第一吸引用罩1751A与喷嘴面70密接，或者与喷嘴面70远离。马达301、302A和大气放空阀1798A，能够受控制部200的封顶控制部202控制。
同样如图9所示，第二吸引用罩1751B，制成将喷嘴面70所选择的一个喷头部分的两列喷嘴，例如仅将喷嘴列、79E、79F密封的结构。因此，第二吸引用罩1751B有上端部分1752P。通过马达301动作，能使与喷嘴面70远离。马达301、302B和大气放空阀1798B，能够受控制部200的封顶控制部202控制。
图10表示图8所示的第一吸引用罩1751A吸引喷头11的喷嘴面70的一个喷嘴列79F的动作情况，清扫板1850对仅与喷嘴列79F对应的喷嘴面70的部分进行清扫动作的实例。
图11表示图9所示的第二吸引用罩1751B仅仅吸引喷头11的喷嘴面70相邻的两列喷嘴列79E、79F的动作情况，清扫板1850对仅与包含喷嘴列79E、79F的喷头部分的喷嘴面70部分进行清扫动作的实例。
在图10和图11中，吸引动作和清扫动作，构成喷嘴面70和各喷嘴列的清洗动作(也可以叫作清扫或擦拭动作)。
图10和图11所示的清扫板1850被设置在清扫单元500上。清扫单元500例如通过用图中未示出的驱动部分使清扫板1850沿着Z轴方向作上下移动，能使清扫板1850的端部与喷嘴面70密接产生弹性变形。这样，清扫板1850的端部，例如通过使喷嘴11在X1方向上移动就能清扫喷嘴面70。
这种清扫单元500，如图10和图11所示，也可以用抹布592代替清扫板1850。这种抹布592可以通过擦拭辊591的移动对喷嘴面70进行擦拭。无论采用清扫板1850还是抹布592均可。清扫板1850可以用能弹性变形的例如橡胶和弹性体等制作。
图12是表示采用本发明的优选实施方式进行的喷头的喷出性能维持方法一例的流程图。
图13表示液滴喷出装置，根据液滴喷出操作之前的间隔时间TC的长度，对具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列中一列的总吸引量的一例。表示这种总吸引量的表格A，被容纳在图7所示的信息容纳部1810之中。
图13的表格A，作为一个实例具有模式1～模式5。在图13的模式1表示与液滴喷出操作之前的间隔时间TC无关，图1的喷头未处于原有位置HP(处于原有位置外)，希望放置在其他区域中的所谓异常情况的实例。这种情况下，喷嘴列一列的总吸引量为2.0克，最多。模式2间隔时间TC处于0日以上3日以下。模式3间隔时间TC为3日以上一周以下。模式4间隔时间TC为一周以上一个月以下。模式5间隔时间TC为一个月以上。因此对于模式1乃至模式5而言，各喷嘴列中一列的总吸引量，随着液滴喷出操作之前的间隔时间(密封时间)的延长而分别以0.2、0.6、1.0和2.0这样的速率增加。
此外，喷嘴列中一列的总吸引量，往往比上述的总吸引量增加。作为这种情况，当喷嘴列中不喷出喷嘴(漏点的喷嘴)的比例N2相对于喷嘴列中的喷嘴数超过5％的情况下，在模式1～模式5中每种总吸引量(克)增加。在模式1～模式5中增加到3.0、0.4、1.2、2.0、3.0。
以下参照附图12说明喷头的喷出性能维持方法的实例。
图12中，首先进行不喷出喷嘴检出步骤ST0。这种检出步骤ST0，包括步骤ST1～ST3。在步骤ST1中，当不喷出喷嘴的检出指示出现在从图6的控制部200至不喷出喷嘴检出部600侧的情况下，移至步骤ST2。在步骤ST2中，图6和图7所示的不喷出喷嘴检出部600，将从喷嘴列的多个喷嘴中进行不喷出喷嘴的检出。
在图12所示的步骤ST3中，控制部200将判断是否有不喷出喷嘴，当没有不喷出喷嘴的情况下，在步骤ST4中控制部200将使喷头11进行通常的喷出动作。于是在步骤ST5中，将这种情况下的液滴喷出操作之前的间隔时间TC定为0。这样使此操作终止。
与此相比，在图12所示的步骤ST3中，不喷出喷嘴检出部600一旦检出不喷出喷嘴，就移到步骤ST6。
在步骤ST6中，以不喷出喷嘴列数定为N1，将不喷出喷嘴列的位置(场所)定为P，将该喷嘴列中的不喷出喷嘴的比例定为N2。
所谓不喷出喷嘴，是指在喷嘴内因增粘等原因而孔堵塞的喷嘴，即不能从喷嘴喷出液体的喷嘴。
不喷出喷嘴列，是指包含这种不喷非喷嘴列。所述不喷出喷嘴列的位置，是指将图5的喷头部分11A乃至11F中的任何喷嘴列特定而得到的喷头11在喷嘴面上的位置。
所谓不喷出喷嘴的比例，是指在包含不喷出喷嘴的喷嘴列中，不喷出喷嘴的数目在该列喷嘴总数中所占的比例。
这种不喷出喷嘴列的列数N1与不喷出喷嘴的比例N2，通过图6所示的不喷出喷嘴检出部600，将是否能检出各喷嘴列喷嘴的液滴喷出信息，输送到控制部200侧，由控制部200计算求出。不喷出喷嘴列的位置P，能够根据不喷出喷嘴600相对于图1的喷头在X轴方向和Y轴方向上的位置得到。
在图12的步骤ST7中，控制部200就存在孔堵塞的不喷出喷嘴的喷嘴列，制成各喷嘴是否孔堵塞的选择数据。
在步骤ST8中，喷头11根据不喷出喷嘴列的位置P，将会在图4中沿着X轴方向和轴方向Y移动。这样，当存在孔堵塞的不喷出喷嘴的喷嘴列仅有一列的情况下，仅将这一列喷嘴列定位在图4所示的第一吸引用罩1751A的上方。而且当两列中有孔堵塞的不喷出喷嘴的情况下，仅将相邻两个喷嘴列定位在图4的第二吸引用罩1751B的上方。
图8中由第一吸引用罩1751A例如仅使一列喷嘴列79F密封。或者在图9中，由第二吸引用罩1751B例如仅使相邻的两列喷嘴列70E、79F密封。正如图12的步骤ST9那样，当判断是否存在不喷嘴列后，存在不喷出喷嘴列的情况下，如上所述在图8或图9的状态下，由第一吸引用罩1751A或第二吸引用罩1751B将该喷嘴列密封。
在图12的步骤ST10中，将根据图13所示的总吸引量表格A，实行图10(A)乃至图10(C)所示的吸引程序(清洗程序)。或者实行图11(A)乃至图11(C)所示的吸引程序(清洗程序)。
如图10(A)所示，第一吸引用罩1751A相对于喷嘴面70在Z轴方向上升。如图10(B)所示的第一吸引用罩1751A，在将喷嘴面70密封的状态下，一旦使泵1753A动作，具有孔堵塞的不喷出喷嘴的喷嘴列79F的喷嘴就会受到吸引，将被吸出的废液排入废液罐1754一侧。当第一吸引用罩1751A内负压被解除后，第一吸引用罩1751A就会如图10(C)所示，再向从喷嘴面70向Z2方退出。
在图11的实例中，如图11(A)所示，第二吸引用罩1751AB在Z1方向上升。如图11(B)所示的第2吸引用罩1751B，将相邻喷嘴列79E、79F密封，通过使吸引泵1753B动作使喷嘴列79E、79F的喷嘴受到吸引，将被吸出的废液向废液罐1754一侧排出。当第二吸引用罩1751B内负压被解除后，第二吸引用罩1751B就会如图11(C)所示，从喷嘴面70向Z2方向退出。
返回到图12，在步骤ST12中，当不喷出喷嘴列的孔堵塞尚未全部恢复的情况下返回步骤ST8，再次进行自步骤ST8至步骤ST10的处理。
在步骤ST12中，当不喷出喷嘴列的不喷出喷嘴的孔堵塞已经恢复的情况下，移送到步骤ST13进行清扫处理。进行清扫处理的情况下，仅仅包含如图10(D)所示被恢复的一列喷嘴列79F的喷嘴面70的区域，被清扫板1850所清扫。或者在图11(D)的情况下，仅仅包含被恢复的喷嘴列79E、79F的喷嘴面70的区域被清扫板1850所清扫。
也就是说，清扫板1850不对喷嘴面70的全面进行清扫，而使对包含恢复的喷嘴列的喷嘴面70的一部分进行清扫。
然后返回步骤ST2。
在图12的步骤ST9中，在没有不喷出喷嘴列的情况下，移送至保湿步骤ST11。在保湿步骤ST11中，如图14所示采用保湿罩1600。
如图14(A)所示，将喷头11定位在与休止用保湿罩1600的位置上。保湿罩1600由马达391带动得在Z1方向上升，使保湿罩1600的上端与喷嘴面70密接而密封喷嘴面70。也就是说，喷头11的喷嘴列79A乃至79F全部被保湿罩1600密封。这样利用保湿罩1600能够对喷嘴面的全部喷嘴列进行罩上(capping)。
或者不仅将喷嘴面罩上，而且如图14(B)所示，在保湿罩1600使喷嘴面70处于密封的状态下，再由各喷嘴列79A乃至79F的喷嘴，对保湿罩1600内的吸收材料1601进行液滴冲洗，即喷出液滴。这样一来，保湿罩1600内被液体保湿，结果也能将喷嘴面70的各喷嘴保湿。
以这种方式能够定期从各喷嘴冲洗液滴。除这种定期液滴冲洗以外，还应当对图14(C)所示的各喷嘴81的0喷嘴开口81P的液体界面2100，赋予微小的振动。
对这种液体界面2100赋予微小振动的情况下，控制部200根据各喷嘴81对应配置的图7所示的压电元件420进行动作。
据此，能够正常喷出的喷嘴列的喷嘴和具有恢复喷嘴的喷嘴列，可以防止液体的增粘。向这种液体界面2100赋予的微小振动，是所谓打字以外的微小振动(原有位置HP以外的振动)。通过进行这种图14(A)或图14(B)所示的增粘对策程序，能使喷头11的喷出性能维持的情况下，使喷头11处于待机状态下。
本发明的液滴喷出装置的实施方式，可以用于制造电光学装置。这种电光学装置(器件)，可以考虑有液晶显示装置、有机EL(电致发光)装置、电子释放装置、PDP(等离子体显示板)装置和电泳显示装置等。其中电子释放装置是包括所谓FED(场发射显示)装置的概念。此外，作为电光学装置，可以考虑包括金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等的各种装置。在制造彩色滤光器(CF)或液晶显示装置的情况下，也能进行液晶的喷出。
图15表示采用本发明的液滴喷出装置作为扫描装置，在制造作为一种平板显示器的有机EL装置采用的情况下，一种有机EL装置的结构实例。有机EL装置701，是将由基板711、电路元件部721、像素电极731、贮存格部741、发光元件751、阴极761(对向电极)和密封基板771构成的有机EL元件702，与柔性基板(图示略)的配线和驱动IC连接而成的装置。
在有机EL元件702上形成电路元件721，在电路元件721上整列形成多个像素电极731。而且在各像素电极731之间，实现形成方格状贮存格部741，在由贮存格部741形成的凹部开口744中形成发光元件751。在贮存格部741和发光元件751的上部整个表面上形成阴极761，在阴极761上层叠有密封用基板771。
有机EL元件702的制造过程，备有形成贮存格部741的贮存格部形成工序，适当形成发光元件751用的等离子体处理工序，形成发光元件751的发光元件形成工序，形成阴极761的对向电极形成工序，在阴极761上层叠密封用基板771的密封工序。
也就是说，有机EL元件702可以采用在事先形成了电路元件部721和像素电极731的基板771(工件W)的所定位置上形成贮存格部741后，依次进行等离子体处理、发光元件751和阴极761的形成工序，进而在阴极761上层叠密封用基板771的方式制造。而且有机EL元件702，由于容易受大气中的水分等影响而劣化，所以有机EL元件702的制造优选在干燥空气或惰性气体(氮气、氩气、氦气)气氛中进行。
而且，各发光元件751事先由空穴注入/输送层752和被着色为R(红)、G(绿)、B(蓝)中任何颜色的发光层构成的膜部分形成。而发光元件形成工序包括形成空穴注入/输送层752的空穴注入/输送层形成工序，和形成三色发光层753的发光层形成工序。
有机EL装置701，通过将有机EL元件702制成后，在有机EL元件702的阴极761上连接柔性基板的配线，同时将驱动IC与电路元件部721的配线连接的方式制造。
以下就采用本发明的实施方式的液滴喷出装置制造液晶显示装置的情况进行说明。
图16是表示液晶显示装置801的断面结构的图。液晶显示装置801，由彩色滤光片802、对向基板803、在彩色滤光片802与对向基板803之间封入的液晶组合物804、和背光灯(图示略)构成。在对向基板803的内侧表面上形成有条状像素电极805和TFT(薄膜晶体管)元件(图示略)。使彩色滤光片802的红、绿、蓝着色层813排列在与像素电极805相对向的位置上。在彩色滤光片802和对向基板803的各自的内侧面上，形成有使液晶分子沿着一定方向排列的取向膜806，将偏光板807粘接在彩色滤光片802和对向基板803的各自的外侧面上。
彩色滤光片802备有透光性透明基板811，在透明基板811上以矩阵状并列的多个像素(滤光元件)812，在像素812上形成的着色层813和将各像素812隔开的遮光性隔板814。在着色层813和隔板814的上面形成有表涂层815和电极层816。
以下说明液晶显示装置801的制造方法。首先将隔板814装入透明基板811上后，在像素812部分形成R(红)、G(绿)、B(蓝)的着色层813。而且旋涂透明丙烯树脂涂料形成表涂层815，进而形成由ITO(铟锡氧化物)组成的电极层816，制成彩色滤光片802。
事先在对向基板803上装入像素电极805和TFT元件。然后在制成了彩色滤光片802和形成了像素电极805的对向基板803上涂布取向膜806，进而将其粘合。进而将液晶组合物804封入彩色滤光片802与对向基板803之间后，层叠偏光板807和背光灯。
本发明的液滴喷出装置的实施方式，能够用以形成上述彩色滤光片的滤光元件(红(R)、绿(G)、蓝(B)的着色层813)。而且用与像素电极805对应的液体材料也能用于形成像素电极805。
而且作为其他电光学装置，除金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等以外，还可以考虑包括显微镜用标本形成的装置。通过采用上述液滴喷出装置制造各种电光学装置(器件)，能够高效地制造各种电光学装置。
本发明的电子仪器搭载有上述电光学装置。这种情况下，作为电子仪器，除搭载了所谓平板显示器的移动电话机、个人计算机之外，还有各种与其相当的电气产品。
图17表示作为电子仪器一例的移动电话机1000。移动电话机1000具有主体部1001和显示部1002。显示部1002采用了作为如上述那种电光学装置之一例的有机EL装置701或液晶显示装置801。
图18表示作为电子仪器一例的计算机1100。计算机1100具有主体部1101和显示部1102。显示部1102采用了作为如上述那种电光学装置一例的有机EL装置701或液晶显示装置801。
本发明的液滴喷出装置的实施方式中，具有用以能稳定而准确喷出微小液滴的喷头。为了抑制这种喷头的喷嘴的孔堵塞，在液滴喷出动作之前，在所谓漏点检出(不喷出喷嘴的检出)中检出孔堵塞的喷嘴及其喷嘴列。
然而在上述实施方式中，示出了对电光学装置的工件喷出液滴的实例。
但是并不限于这种情况，即使采用多种液体例如对工件印刷的情况下也能够使用本发明的液滴喷出装置。以下说明本发明液滴喷出装置的实施方式，例如以工件或靶作为印刷对象喷出多种液体的情况。
正如过去进行的那样，当喷头的孔堵塞等即喷头的不喷出喷嘴的数目多的情况下，即使如何实施清洗往往也不能消除喷嘴孔堵塞。这是因为当喷嘴开口中液体的增粘状态逐渐进展的情况下液体会产生固化，这种固化波及喷头凹穴之内而引起的。而且当喷头结构中具有例如用以喷出四色液体的四列喷嘴的情况下，若事先用一个罩子同时吸引四列喷嘴，孔堵塞的恢复性与全色相同时，以相同的吸引力从各列中吸引后没有产生问题。但是，四色中例如仅有粉红色(M)恢复性差，虽然能从其他三色黑(BK)、青绿(C)、黄(Y)的喷嘴开口分别吸引各自的液体，但是却不能从与粉红色对应的喷嘴开口吸引液体。为使这种粉红色喷嘴开口的孔堵塞恢复，需要对四色喷嘴列同时进行数次清洗处理。
然而采用本发明的实施方式，事先检出具有多列喷嘴列的喷头中，具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列是哪列，然后将该具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列与能够正常喷出的喷嘴列加以区分后单独吸引的方式，能够确实进行孔堵塞喷嘴的恢复处理，同时能够对没有孔堵塞的喷嘴列确实进行液体增粘的对策处理。
本发明的实施方式中，通过喷头与吸引部件或喷头与保湿部件，采用图1的第一操作部21和第二操作部22，相对进行移动的方式，能够确实进行喷头与吸引部件之间的定位，和喷头与保湿部件之间的定位。
喷头中具有因使孔堵塞而形成不喷出喷嘴的喷嘴列出现的情况下，在工件附近通过吸引部件吸引该喷嘴列能够对孔堵塞进行恢复。因此，产生孔堵塞的喷嘴列能够在工件附近进行，能够减小喷头的移动量，但是由于吸引部件被设置在工件附近，所以能够实现液滴喷出装置的小型化。
本发明的实施方式中，区分为包含不喷出喷嘴的喷嘴列是一列的情况，和两列以上多列的情况，通过在吸引操作中选择使用第一吸引用罩和第二吸引用罩的方式，能够高效进行喷嘴列的吸引，进行孔堵塞的恢复处理。但是由于不必同时吸引正常喷嘴列和孔堵塞的喷嘴列，所以能够实现吸引部件的小型化，并减少伴随着吸引而排出液体的液体的浪费。也就是说，能够大幅度削减使喷头的液滴喷出特性恢复时浪费的液体消耗量。
本发明实施方式中，由于擦拭部件不是对喷嘴面全体进行擦拭，而是利用吸引部件将孔堵塞的喷嘴列吸引之后才进行擦拭，所以还可以尽可能防止喷嘴面的磨损。
本发明实施方式中，通过在喷出液滴并对液体界面施加微小振动的方式，能够确实防止各喷嘴中的液体增粘。随着喷头休止时间的延长而提高喷嘴面的吸引量的方式，能够确实进行孔堵塞喷嘴的恢复处理。若喷嘴列中不喷出喷嘴数目超过一定比例，则通过在使喷嘴面吸引量增加的方式，能够确实对不喷出喷嘴的孔堵塞进行恢复处理。
本发明实施方式中，即使在更换图12的例如作为液体的油墨时进行油墨更换，在图13所示的总吸引量表格A的指导下，能够对发生孔堵塞的喷嘴列进行吸引。本发明实施方式中，当产生孔堵塞的喷嘴的情况下，能够大幅度削减用油墨之类液体使喷嘴孔堵塞恢复时的液体消耗量。
喷嘴面的清扫，由于可以仅就包含使孔堵塞恢复的喷嘴的喷嘴列的喷头部分进行，所以在能缩短清扫时间的同时，还能防止清扫部件的磨损和喷头的喷嘴面的磨损。而且，喷头与原有位置HP无关，也就是说即使不采用图14中维持部的保湿部件900中的保湿罩1600罩上也没有关系，当包含不喷出喷嘴的喷嘴列不存在的情况下，对喷嘴面不进行吸引动作也行。
与如图4所示的所谓多联喷头的全部喷嘴列设置清洗用吸引机构的情况相比，由于是仅吸引具有孔堵塞喷嘴的喷嘴列的结构，所以能够实现低成本化和装置的小型化。
本发明并不限于上述实施方式，可以在不超出本发明的宗旨的范围内进行各种变更。此外，还可以上述各实施方式互相组合构成。

Claims (13)

1.一种液滴喷出装置，是在工件上喷出液滴用的液滴喷出装置，其特征在于，具备：
喷头，其在喷嘴面上具备用以喷出所供给的液体的所述液滴的由多个喷嘴构成的多列喷嘴列；
不喷出喷嘴检查部，其用以检查多个所述喷嘴列的哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；
吸引部件，其用以将包含被检出的所述喷嘴面中的所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和
保湿部件，其用以将所述喷嘴面中的多个所述喷嘴列密封，使所述喷嘴面保湿。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，其中还具备使所述喷头与所述吸引部件作相对移动，将包含所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列在所述吸引部件上定位，使所述喷头与所述保湿部件相对移动，将多个所述喷嘴列在所述保湿部件上定位的操作部。
3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，其中所述抽吸部件位配置在所述工件所配置的位置附近。
4.根据权利要求1～3中任何一项所述的液滴喷出装置，其特征在于其中所述吸引部件具备：
吸引包含所述不喷出喷嘴的一个所述喷嘴列的第一吸引用罩，和
同时吸引包含所述不喷出喷嘴的多个所述喷嘴列的第二吸引用罩。
5.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，其中具备擦拭部件，其被所述的吸引部件吸引后仅对具有包含所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列的所述喷嘴面的部分进行擦拭。
6.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，其中为使没有被孔堵塞的正常的所述喷嘴列的所述喷嘴中所述液体增粘，并阻止孔堵塞被恢复的所述喷嘴列的所述喷嘴中所述液体增粘，通过向所述保湿部件内喷出所述液滴，通过配置在每个所述喷嘴上的液体喷出用驱动元件，对各所述喷嘴内的液体界面赋予微小振动。
7.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，其中所述吸引部件根据在所述工件上进行喷出所述液滴动作之前所述喷头的休止时间长度，使所述喷嘴面的吸引量增加。
8.根据权利要求7所述的液滴喷出装置，其特征在于，其中所述喷嘴列中所述不喷出喷嘴的数目若超过预定的一定比例，则所述吸引部件使所述喷嘴面的吸引量增加。
9.一种喷头的喷出性能维持装置，是设置用喷头在工件上喷出液滴的液滴喷出装置，用以维持所述喷头喷嘴面的喷出性能的喷头的喷出性能维持装置，其特征在于，具备：
不喷出喷嘴检查部，为喷出所供给液体的所述液滴而检查所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；
吸引部件，将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，用以使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和
保湿部件，将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，用以使所述喷嘴面保湿。
10.一种喷头的喷出性能维持方法，是用以从喷头在工件上喷出液滴的液滴喷出装置中，维持所述喷头的喷嘴面的喷出性能的喷头的喷出性能维持方法，其特征在于，具有：
不喷出喷嘴检查步骤，其为喷出所供给液体的所述液滴，通过不喷出喷嘴检出部检查在所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；
吸引步骤，其借助于吸引部件将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和
保湿步骤，通过保湿部件将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，使所述喷嘴面保湿。
11.一种电光学装置的制造方法，是用在工件上喷头的喷出液滴的液滴喷出装置，制造电光学装置的电光学装置的制造方法，其特征在于，进行下述步骤：
不喷出喷嘴检查步骤，为喷出所供给液体的所述液滴，通过不喷出喷嘴检出部检查所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；
吸引步骤，借助于吸引部件将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和
保湿步骤，利用保湿部件将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，将所述喷嘴面保湿；
之后，在所述工件上喷出所述液滴而制造电光学装置。
12.一种电光学装置，是利用在工件上用喷头的喷出液滴的液滴喷出装置制造的电光学装置，其特征在于，进行下述步骤：
不喷出喷嘴检查步骤，为喷出所供给液体的所述液滴，通过不喷出喷嘴检出部检查所述喷嘴面上具备多列由多个喷嘴构成的喷嘴列的所述喷头内，哪个所述喷嘴列中所述喷嘴因孔堵塞而变成不喷出喷嘴；
吸引步骤，借助于吸引部件将包含所述喷嘴面中所述不喷出喷嘴的所述喷嘴列密封吸引，使所述不喷出喷嘴的孔堵塞恢复；和
保湿步骤，通过保湿部件将所述喷嘴面中多个所述喷嘴列密封，使所述喷嘴面保湿；
之后，在所述工件上喷出所述液滴而被制造的。
13.一种电子仪器，其特征在于，其中搭载了权利要求12所述的电光学装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102398416A (zh) * 2010-09-09 2012-04-04 精工爱普生株式会社 液体喷出装置以及液体喷出方法
CN102717598A (zh) * 2007-02-21 2012-10-10 武藏工业株式会社 喷墨喷头涂布控制方法
CN102862386A (zh) * 2011-07-08 2013-01-09 兄弟工业株式会社 液体喷射设备和湿空气供应方法
CN108688328A (zh) * 2017-03-29 2018-10-23 理想科学工业株式会社 具有用于接收作为废液的墨的墨接收部的喷墨打印机
CN109866505A (zh) * 2019-01-29 2019-06-11 北大方正集团有限公司 喷头维护方法、装置、设备及存储介质
CN111822275A (zh) * 2019-04-18 2020-10-27 盟立自动化股份有限公司 涂布系统及其涂布结构的保湿装置
CN111844740A (zh) * 2019-04-24 2020-10-30 精工爱普生株式会社 三维造型物的品质判定方法以及三维造型装置
CN114173936A (zh) * 2019-07-31 2022-03-11 京瓷株式会社 涂装装置及涂装方法

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007244973A (ja) 2006-03-15 2007-09-27 Toshiba Corp 液滴噴射装置及び塗布体の製造方法
JP4942494B2 (ja) * 2007-01-24 2012-05-30 株式会社リコー 画像形成装置
JP5228710B2 (ja) * 2008-09-01 2013-07-03 株式会社リコー 画像形成装置
JP2010058355A (ja) * 2008-09-03 2010-03-18 Seiko Epson Corp 液体吐出装置、及び、吐出検査方法
JP2011079234A (ja) * 2009-10-07 2011-04-21 Seiko Epson Corp 流体噴射装置
EP2447076B1 (en) * 2010-10-29 2013-06-05 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Recording apparatus
JP5691716B2 (ja) * 2011-03-24 2015-04-01 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置および吐出検査方法
US11000876B2 (en) * 2014-06-24 2021-05-11 Valeo Cincinnati, Inc. Reversible non-contact adhesive applicator dispenser
US11399118B2 (en) 2018-09-26 2022-07-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color pipeline
JP7215097B2 (ja) 2018-11-12 2023-01-31 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置の制御方法
DE102018131380A1 (de) * 2018-12-07 2020-06-10 Dürr Systems Ag Reinigungsgerät für ein Applikationsgerät
DE102019135360A1 (de) * 2019-12-20 2021-06-24 Dürr Systems Ag Reinigungsvorrichtung zum Reinigen eines Düsenapplikators und entsprechendes Reinigungsverfahren
JP2021146620A (ja) * 2020-03-19 2021-09-27 セイコーエプソン株式会社 印刷装置、及びインク残量管理方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69322459T2 (de) * 1992-09-03 1999-06-02 Canon Kk Farbstrahlaufzeichnungsgerät
US5455608A (en) 1993-04-30 1995-10-03 Hewlett-Packard Company Pen start up algorithm for black and color thermal ink-jet pens
JP3209075B2 (ja) * 1996-02-26 2001-09-17 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタ
JPH1095126A (ja) * 1996-07-30 1998-04-14 Fuji Xerox Co Ltd インクジェット方式の画像形成装置
DE69716772T2 (de) * 1996-12-24 2003-07-03 Seiko Epson Corp Tintenstrahlaufzeichnungsgerät
US6494560B1 (en) * 1998-01-30 2002-12-17 Seiko Epson Corporation Ink jet printer and printing system using the same
JP2000289229A (ja) 1999-04-05 2000-10-17 Seiko Epson Corp インクジェット式記録装置
EP1147900A1 (en) * 2000-04-20 2001-10-24 Hewlett-Packard Company, A Delaware Corporation Method of recovering a printhead when mounted in a printing device
JP3487584B2 (ja) 2000-05-02 2004-01-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置、および該装置における記録ヘッドの吐出状態を回復させる方法
CN1151025C (zh) * 2000-05-19 2004-05-26 明基电通股份有限公司 用于打印装置的喷墨头维护装置
JP2002273869A (ja) 2001-01-15 2002-09-25 Seiko Epson Corp 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
JP3953776B2 (ja) 2001-01-15 2007-08-08 セイコーエプソン株式会社 材料の吐出装置、及び吐出方法、カラーフィルタの製造装置及び製造方法、液晶装置の製造装置及び製造方法、ｅｌ装置の製造装置及び製造方法
JP2003054006A (ja) 2001-08-17 2003-02-26 Seiko Epson Corp インクジェット式記録装置
JP2003159787A (ja) 2001-11-28 2003-06-03 Seiko Epson Corp 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
JP2003266670A (ja) 2002-03-18 2003-09-24 Seiko Epson Corp 液体噴射装置
JP3929049B2 (ja) * 2002-06-11 2007-06-13 富士フイルム株式会社 液体吐出予測方法および画像形成装置

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102717598B (zh) * 2007-02-21 2014-12-17 武藏工业株式会社 喷墨喷头涂布控制方法
CN102717598A (zh) * 2007-02-21 2012-10-10 武藏工业株式会社 喷墨喷头涂布控制方法
CN102398416B (zh) * 2010-09-09 2016-05-18 精工爱普生株式会社 液体喷出装置以及液体喷出方法
CN102398416A (zh) * 2010-09-09 2012-04-04 精工爱普生株式会社 液体喷出装置以及液体喷出方法
CN102862386A (zh) * 2011-07-08 2013-01-09 兄弟工业株式会社 液体喷射设备和湿空气供应方法
CN102862386B (zh) * 2011-07-08 2015-04-01 兄弟工业株式会社 液体喷射设备和湿空气供应方法
US9044949B2 (en) 2011-07-08 2015-06-02 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid ejection apparatus and humid-air supply method
CN108688328A (zh) * 2017-03-29 2018-10-23 理想科学工业株式会社 具有用于接收作为废液的墨的墨接收部的喷墨打印机
CN109866505A (zh) * 2019-01-29 2019-06-11 北大方正集团有限公司 喷头维护方法、装置、设备及存储介质
CN111822275A (zh) * 2019-04-18 2020-10-27 盟立自动化股份有限公司 涂布系统及其涂布结构的保湿装置
CN111844740A (zh) * 2019-04-24 2020-10-30 精工爱普生株式会社 三维造型物的品质判定方法以及三维造型装置
US11241840B2 (en) 2019-04-24 2022-02-08 Seiko Epson Corporation Quality determination method for three-dimensional shaped object and three-dimensional shaping device
CN111844740B (zh) * 2019-04-24 2022-04-26 精工爱普生株式会社 三维造型物的品质判定方法以及三维造型装置
CN114173936A (zh) * 2019-07-31 2022-03-11 京瓷株式会社 涂装装置及涂装方法

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