CN1263604C - 功能液滴喷出头吸引方法及装置、光电装置及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种功能液滴喷出头的吸引方法，该方法通过与喷出功能液滴的功能液滴喷出头(31)的喷嘴面(38)紧贴的帽(73)，由喷射器(101)吸引功能液滴喷出头(31)的喷嘴(39)。此外，在使帽(73)紧贴在喷出功能液滴的功能液滴喷出头(31)上，通过帽(73)吸引功能液滴喷出头(31)的功能液滴喷出头(31)的吸引装置中，具有与帽(73)连通并且吸引功能液滴喷出头(31)的喷嘴(39)的喷射器(101)、向喷射器(101)供给工作流体的工作流体供给部件(5)，由此能高效进行功能液滴喷出头的吸引。
Description
技术领域
本发明涉及使功能液滴喷出头与帽紧贴，通过帽吸引功能液滴喷出头的功能液滴喷出头的吸引方法和吸引装置、液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置、电子仪器。
背景技术
作为液滴喷出装置的一种，在从以往就知道的喷墨记录装置中，连接在墨水泵上的头帽(帽)与打印头(功能液滴喷出头)紧贴，通过驱动墨水泵，通过头帽，从打印头的全部喷嘴进行墨水的吸引(例如，特开2000-127454号公报(参照第2-3页、第7-8页、图4)。
在液滴喷出装置中，在用于防止干燥等引起的打印头堵塞的清理时，或在新导入的功能液滴喷出头的头内流路中填充功能液时(初始填充)，从功能液滴喷出头的全部喷嘴进行吸引。
如果从功能液滴喷出头进行吸引，在功能液之前，从流路内吸引空气(气泡)。因此，如所述喷墨记录装置那样，如果使用泵进行对液滴喷出装置的吸引，则在从泵排出吸引的空气之前，存在泵空转的问题。这样的问题在向新导入的功能液滴喷出头填充功能液时特别显著，在相关时候，功能液到达泵之前无法确保充分的吸引力，所以功能液的填充所需时间拖得很长。此外，由于吸引力的下降，来自头内流路的气泡排出性恶化，所以填充功能液时所需的功能液消耗量增加，产生浪费高价的功能液的问题。因为泵具有旋转部件或往复运动的部件(可动部)，所以很难小型化，在设置中需要宽的空间。
发明内容
本发明是鉴于这样的问题而提出的，其目的在于：提供能高效进行对功能液滴喷出头的吸引的功能液滴喷出头的吸引方法和吸引装置、液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置、电子仪器。
本发明的功能液滴喷出头的吸引方法的特征在于：通过紧贴在喷出功能液滴的功能液滴喷出头的喷嘴面上的帽，通过喷射器吸引功能液滴喷出头的喷嘴。
根据该结构，因为通过喷射器吸引功能液滴喷出头的喷嘴，所以能使吸引力直接作用于功能液和在功能液之前的空气，与用泵吸引时不同，不发生空气泄漏。即，通过帽使侵入喷射器的气泡与喷射器的工作流体一起顺利排出，所以由气泡导致的吸引压力的变动小。因此，能稳定进行从功能液滴喷出头喷嘴的吸引。此外，可以对于全部喷嘴进行吸引，也可以只吸引所使用的喷嘴。
这时，希望控制向喷射器供给的工作流体的流量，使从帽到喷射器的吸引口的吸引管路内的吸引压力为一定。
根据本结构，控制向喷射器供给的工作流体的流量，把吸引管路内的吸引压力保持一定，所以能进行来自功能液滴喷出头的吸引。例如，当初始填充功能液时，吸引气泡和液体，当在各情况时流路阻力不同时，通过控制工作流体的流量，能使吸引管路内的压力变动被限制在最小限度，不会损害对功能液滴喷出头的吸引力。
这时，当对功能液滴喷出头的吸引动作结束时，希望把从帽到喷射器的吸引口的吸引管路对大气开放。
根据本结构，在对于功能液滴喷出头的吸引动作的结束时，吸引管路对大气开放，所以通过喷射器，能把吸引管路内残留的功能液完全排出。因此，在吸引动作结束后，能防止由于功能液残留或附着在吸引管路内而产生的堵塞。
本发明是一种功能液滴喷出头的吸引装置，使帽紧贴在喷出功能液滴的功能液滴喷出头上，通过帽吸引功能液滴喷出头，其特征在于：包括：与帽连通，吸引功能液滴喷出头的全部喷嘴的喷射器；向喷射器供给工作流体的工作流体供给部件。
根据本结构，通过帽进行吸引，所以从头内流路排出的气泡的影响小，能稳定吸引功能液滴喷出头的全部喷嘴。此外，喷射器不具有可动部位，是小型的，所以与使用泵吸引的结构相比，能节省空间。
这时，希望喷射器配置在帽的附近。
根据本结构，在帽附近配置喷射器，所以能使从帽到喷射器的(吸引)管路最短，通过与功能液滴喷出头紧贴的帽，能通过喷射器高效进行功能液滴喷出头的吸引。
这时，希望还包括：检测连接帽与喷射器的吸引口的吸引管路内压力的压力检测部件；设置在连接工作流体供给部件和喷射器的供给口的工作流体供给管路中，调节提供给喷射器的工作流体流量的流量调节阀；根据压力检测部件的检测结果，控制流量调节阀的第一控制部件。
根据本结构，根据压力检测部件的检测结果，通过第一控制部件调节提供给喷射器的工作流体流量，能恰当调节对功能液滴喷出头的吸引压力，能稳定并且恰当吸引功能液滴喷出头的全部喷嘴。
这时，希望第一控制部件在对于功能液滴喷出头的吸引结束时，使流量调节阀逐渐关闭。
根据本结构，在对于功能液滴喷出头的吸引结束时，使流量调节阀关闭，所以对于功能液滴喷出头的吸引压力急剧下降，防止功能液滴喷出头内的压力变得比与功能液滴喷出头紧贴的帽内的压力还低。此外，在吸引结束时，通过使流量调节阀逐渐关闭，通过调节吸引压力，能使从功能液滴喷出头到喷射器的(吸引)管路的负压渐渐下降，在吸引结束后，当从功能液滴喷出头取下帽时，空气不会向功能液滴喷出头内逆流。
这时，希望还具有：设置在吸引管路内，开关吸引管路的吸引管路开关阀；第一控制部件当对于功能液滴喷出头的吸引结束时，在关闭流量调节阀的同时，关闭吸引管路开关阀。
根据本结构，当对于功能液滴喷出头的吸引结束时，关闭流量调节阀，所以不向喷射器供给工作流体，能使吸引动作停止。此外，通过在关闭流量调节阀的同时，关闭吸引管路开关阀，能可靠地挺直对功能液滴喷出头的吸引，不会从功能液滴喷出头继续无用地吸引功能液。
这时，吸引管路开关阀由具有大气开放端口的三通阀构成，第一控制部件与吸引管路开关阀的关闭同时，把大气开放端口打开，并且再次打开流量调节阀。
根据本结构，如果对功能液滴喷出头的吸引动作结束，则吸引管路向大气开放，所以由吸引动作充满吸引管路的功能液通过喷射器排出。即在吸引管路内，功能液不会由于干燥等而粘度增加而使吸引管路堵塞。此外，通过与大气开放端口打开的同时，再次打开流量调节阀，能快速排出吸引管路内的功能液。当工作流体是液体时，能防止工作流体滞留在工作流体供给管路中。
这时，希望还具有：预先贮存功能液，并且通过排出管路连接在喷射器的排出口上的贮存容器；工作流体供给部件由泵构成，并且通过循环管路连接在贮存容器上，供给功能液作为工作流体。
根据本结构，作为喷射器的工作流体，供给非压缩性的功能液，所以能高效进行吸引。此外，当使用压缩空气作为工作流体时，在从功能液滴喷出头(的全部喷嘴)吸引的功能液中不会混合，能容易进行再利用。此外，作为使工作流体即功能液循环的结构，所以能把作为工作流体使用的功能液量抑制在最小限度，并且能减小用于贮存作为工作流体的功能液的空间。
这时，还希望具有：在连接工作流体供给部件和贮存容器的循环管路中设置由具有大气开放端口的三通阀构成的循环管路开关阀；当对功能液滴喷出头的吸引结束时，关闭循环管路开关阀，并且打开循环管路开关阀的大气开放端口的第二控制部件。
根据本结构，在对功能液滴喷出头的吸引结束时，关闭循环管路开关阀，停止从贮存容器向工作流体供给部件供给功能液，能停止对于功能液滴喷出头的吸引。此外，通过开放循环管路开关阀的大气开放端口，把循环管路向大气开放，能把循环管路内的功能液排出到贮存容器中。
这时，希望设置多个功能液滴喷出头，与多个功能液滴喷出头对应分别设置多个帽、喷射器和吸引管路。
根据本结构，对于设置的多个功能液滴喷出头，设置多个帽、喷射器和吸引管路，所以能对与该喷射器对应的各功能液滴喷出头调节提供给各喷射器的工作流体的供给量，能分别在适当的状态下吸引各功能液滴喷出头。即在本发明中，不会像用单一泵吸引多个功能液滴喷出头时那样，由于流路阻力不同的影响，在各功能液滴喷出头中吸引压力产生偏移，能高效吸引各功能液滴喷出头。因此，不会发生吸引时的功能液流速下降，能高效从流路排出起跑，能削减为了排出气泡而消耗的功能液。此外，能使各功能液滴喷出头的吸引时间相同，能缩短功能液滴喷出头的吸引时间，能减少吸引时消耗的功能液。
本发明的液滴喷出装置的特征在于：具有：所述吸引装置、向工件喷出功能液的功能液滴喷出头。
根据本结构，通过喷射器能高效并且恰当地吸引功能液滴喷出头，所以对于功能液滴喷出头的功能液初始填充时或功能液滴喷出头的清理时等，能缩短进行功能液滴喷出头的吸引时所需时间，并且能削减吸引时消耗的功能液。
本发明的电光装置的制造方法的特征在于：使用所述液滴喷出装置，在工件上形成由从功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
此外，本发明的电光装置的特征在于：使用所述液滴喷出装置，在工件上形成由从功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
根据这些结构，使用能从功能液滴喷出头高效吸引功能液的液滴喷出装置制造，所以能高效制造电光装置。此外，作为电光装置(器件)，可以是液晶显示装置、有机EL(Electro-Luminescence)装置、电子发射装置、PDP(Plasma Display Panel)装置和电泳显示装置。此外，电子发射装置是包含所谓的FED(Field Emission Display)或SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)装置的概念。作为电光装置，可以是包含金属布线的形成、透镜的形成、抗蚀剂的形成和光扩散体的形成等装置。
本发明的电子仪器的特征在于：搭载了所述电光装置。
这时，作为电子仪器，可以是搭载了所谓的平板显示器的移动电话、个人计算机及各种电制品。
附图说明
图1是本实施例的功能液滴喷出装置的外观立体图。
图2是本实施例的功能液滴喷出装置的右侧视图。
图3是头部件的平面图。
图4A是功能液滴喷出头的外观立体图，4B是把功能液滴喷出头安装在管道转接器上时的剖视图。
图5是吸引部件的外观立体图。
图6是吸引部件的帽周围的剖视图。
图7是说明擦拭部件的图，7A是擦拭部件的模式图，7B是擦拭动作的说明图。
图8是本发明实施例1的功能液滴喷出头、连接在其上的功能液供给系统、空气供给系统、吸引部件的模式图。
图9是本发明实施例2功能液泵和吸引部件周围的模式图。
图10是说明滤色器制造工序的程序流程图。
图11A～11E是表示按制造工序的顺序表示的滤色器的模式剖视图。
图12是使用应用了本发明的滤色器的液晶装置概略结构的要部剖视图。
图13是使用应用了本发明的滤色器的第二例的液晶装置概略结构的要部剖视图。
图14是使用应用了本发明的滤色器的第三例的液晶装置概略结构的要部剖视图。
图15是有机EL装置的显示装置的要部剖视图。
图16是说明有机EL装置的显示装置制造工序的流程图。
图17是说明无机物隔栅层的形成的工序图。
图18是说明有机物隔栅层的形成的工序图。
图19是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。
图20是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。
图21是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。
图22形成蓝色发光层的状态的工序图。
图23是说明形成各色发光层的状态的工序图。
图24是说明阴极的形成的工序图。
图25是等离子体显示装置(PDP装置)的显示装置的主要部分分解立体图。
图26是电子发射装置(FED装置)的显示装置的要部剖视图。
图27A是显示装置的电子发射部周围的平面图，图27B是表示其形成方法的平面图。
具体实施方式
下面，参照附图，说明本发明的实施例1。图1是应用了本发明的液滴喷出装置的外观立体图，图2是应用本发明的液滴喷出装置的右侧视图。将在后面详细描述，但是本液滴喷出装置1用于把特殊的墨水和发光性的树脂液等功能液导入功能液滴喷出头31中，在基板等工件W上形成由功能液滴构成的成膜部。
如两图所示，液滴喷出装置1具有：用于喷出功能液的喷出部件2、进行喷出部件2的维护的维护部件3、向各部件供给液体(例如功能液)并且回收不要的液体的液体供给回收部件4、用于驱动和控制各部件的供给压缩空气的空气供给部件5(工作流体供给部件)。喷出部件2的主要部分配置在架台11上设置的底盘12上，在与这些一体设置的公共机台13上配置有维护部件3、液体供给回收部件4、空气供给部件5的主要部分。而且，这些各部件由控制部件6控制。下面，说明各部件。
喷出部件2包括：具有喷出功能液的功能液滴喷出头31的头部件21、支撑头部件21的主滑架41、通过主滑架41使头部件21(功能液滴喷出头31)对于工件W相对移动的XY移动机构51。
如图3和图4A、B所示，头部件21由12个功能液滴喷出头31、搭载功能液滴喷出头31的子滑架22、用于把各功能液滴喷出头31安装在子滑架22上的头保持部件23构成。在子滑架22上，12个功能液滴喷出头31按6个一组分为两组，为了确保对工件W的充分的涂敷密度，倾斜规定的角度固定在子滑架22上。此外，在子滑架22上设置用于连接各功能液滴喷出头31和供液容器153(后面描述)的管道接头24。此外，功能液滴喷出头31的个数和排列并不限于所述的结构，是任意的，例如如果对功能液滴喷出头31使用与利用目的匹配的专用液滴喷出头，就没必要采取倾斜功能液滴喷出头31的结构。
如图4A、B所示，功能液滴喷出头31是所谓的双联的，包括：具有双联的连接针33的功能液导入部32、与功能液滴喷出头32相连的双联的头基板34、连接在功能液导入部32的下方并且在内部形成用功能液充满的头内流路的头主体35。各连接针33通过管道转接器25连接在后面描述的供液容器153，功能液导入部32从各连接针33接受功能液的供给。头主体35具有双联的泵部36、形成多个喷出喷嘴39的喷嘴形成板37，在功能液滴喷出头31中，通过泵部36的作用，从喷出喷嘴39喷出功能液滴。此外，喷嘴形成板37的下表面变为喷嘴形成面38(喷嘴面)，功能液滴喷出头31使喷嘴形成面38向下方突出，通过头保持部件23固定在子滑架22上(参照图4)。
如图2所示，主滑架41由以下部分构成：从下方固定在后面描述的Y轴台54上的外观“I”形的吊设部件42；安装在吊设部件42的下面上，用于进行对(头部件21的)θ方向的位置修正的θ台43；安装为吊设在θ台43的下方的滑架主体44。在滑架主体44上具有用于游动嵌入头部件21的方形开口，对头部件21进行定位固定。此外，在滑架主体44上配置有用于识别工件W的工件识别相机(省略图示)。
XY移动机构51具有吸附(固定)工件W的吸附台53，包括：通过吸附台53使工件W在X轴方向(主扫描方向)移动的X轴台52、通过主滑架41使头部件21在Y轴方向(副扫描方向)移动的Y轴台54。XY移动机构51配置在所述底盘12上，能维持工件W的平坦度，并且能使头部件21正确移动。
这里，简单说明喷出部件2的一系列动作。首先，作为喷出功能液前的准备，进行头部件21和设置的工件W的位置修正。接着，XY移动机构51(X轴台52)使工件W在主扫描方向(X轴)往返移动。与工件W往返移动同步，驱动多个功能液滴喷出头31，进行对于工件W的功能液滴的有选择喷出动作。如果工件W进行一次往返移动，则XY移动机构51(Y轴台54)使头部件21在副扫描(Y州)方向移动。然后，再次进行工件W向主扫描方向的往返移动和功能液滴喷出头31的驱动。此外，在本实施例中，对于头部件21，使工件W在主扫描方向移动，但是也可以是使头部件21在主扫描方向移动的结构。此外，也可以把头部件21固定，使工件W在主扫描方向和副扫描方向移动的结构。
下面，说明维护部件3。维护部件3维护功能液滴喷出头31，功能液滴喷出头31能适当喷出功能液，具有冲洗部件61、吸引部件71、擦拭部件141(参照图1)。
冲洗部件61用于接受通过液滴喷出时的多个(12个)功能液滴喷出头的冲洗动作即来自全部喷出喷嘴39的预备喷出(无用喷出)而按顺序喷出的功能液。冲洗部件61固定在X轴台52上，接受喷出的功能液的一对冲洗盒62夹着吸附台而固定。冲洗盒62伴随着主扫描与工件W一起向头部件21移动，所以能从面临冲洗盒62的功能液滴喷出头的喷出喷嘴依次进行冲洗动作。而且，由冲洗盒62接受的功能液存储在后面描述的废液容器182中。此外，在本实施例的冲洗动作中，是进行从全部喷出喷嘴39的预备喷出，但是也可以例如只让使用的喷出喷嘴39进行预备喷出那样地只让一部分喷出喷嘴进行预备喷出。
吸引部件71被设置在上述的公共机台13上，用于吸引功能液滴喷出头31。具体是，在如新将功能液滴喷出头31装入头部件21内时进行功能液填充的情况下和在进行为了除去功能液滴喷出头31内的粘度增加了的功能液的吸引(清洗)的情况下使用吸引部件71。
如图5所示，吸引部件71包括：具有与各功能液滴喷出头31紧贴的12个帽73的帽部件72；通过使帽部件72升降，使帽73离开或接触功能液滴喷出头31的升降机构91；通过紧贴的帽73，进行功能液的吸引的喷射器101；连接各帽73和喷射器101的吸引用管111；支撑帽部件72的支撑部件131。
帽部件72如图5所示，与搭载在头部件21上的12个功能液滴喷出头31的配置对应，把12个帽73配置在帽座74上，能使各帽73紧贴在对应的各功能液滴喷出头31上。
如图6所示，帽73由帽主体81、帽支架82构成。帽主体81通过两个弹簧靠向上方，并且在稍微能移动的状态下保持在帽支架82上。在帽主体81的上表面形成包含功能液滴喷出头31的2列喷出喷嘴39的凹部83，在凹部83的周围部安装着密封垫片84。而且，在凹部83的底部以通过按压框86按压的状态设置了吸收部件85。在吸引功能液滴喷出头31时，把密封垫片84按压紧贴在功能液滴喷出头31的喷嘴形成面39上，密封喷嘴形成面38，使其包含两列喷出喷嘴39。此外，在各帽73上设置有大气开放阀88，能在凹部83的底面一侧向大气开放(参照图6)。而且，在吸引动作的最终阶段，通过打开大气开放阀88向大气开放，也能吸引含浸在吸收部件85中的功能液。
升降机构91由气缸构成，具有行程彼此不同的两个升降气缸92、93。而且，通过两个升降气缸92、93的选择工作，能把帽部件72的上升位置切换为比较高的第一位置和比较低的第二位置，当帽部件72位于第一位置时，各帽73与各功能液滴喷出头31紧贴，当帽部件72位于第二位置时，各功能液滴喷出头31和各帽73之间产生很小的间隙。
喷射器101通过吸引用管111与帽73连接，通过帽73从功能液滴喷出头31的全部喷嘴39进行吸引。喷射器101设置在帽73附近，能高效进行功能液滴喷出头的吸引，如图8和图9所示，对于各帽73配置一个喷射器101即共计12个喷射器101。此外，在帽73和喷射器101之间分别从帽73一侧按顺序设置检测功能液的有无的功能液检测传感器121、检测吸引用管111内压力的帽一侧压力传感器122(压力检测部件)、开关吸引用管111的帽一侧开关阀(吸引管路开关阀)。
喷射器101具有：连接在所述空气供给部件5上，接受成为工作流体的压缩空气的供给的供给口102；连接在帽73上，使吸引力作用的吸引口103；与供给口102连接，用于排出供给的工作流体和从吸引口103吸引的气泡或功能液的排出口104。即，通过伴随着压缩空气的供给而产生的伴随流，使喷射器101内部产生负压，能进行通过吸引口103使帽73紧贴的功能液滴喷出头31的吸引。而且，通过后面描述的流量调节阀196，调节压缩空气的供给量，能调节来自吸引口103的吸引力(吸引压力)。由于喷射器101不具有可动部，比较小型，所以通过采用使用喷射器101进行功能液滴喷出头31的吸引的结构，与使用泵进行吸引的结构相比，能使装置小型化。此外，在功能液之前从吸引口103吸引的气泡与压缩空气一起从排出口104快速排出，所以与用泵吸引时不同，不会产生空气泄漏引起的吸引力下降。
吸引用管111由吸引管112、把吸引管112分支为多个(12个)的分支吸引管113(吸引管路)构成，通过分支吸引管113连接帽73和喷射器101。此外，在本实施例的液滴喷出装置1中，各帽兼任接受在功能液的非喷出时，即，对工件W的功能液的喷出暂时停止时的功能液滴喷出头31的冲洗动作中喷出的功能液的功能液接受部，在吸引管112中设置用于通过帽吸引在冲洗中喷出的功能液的吸引泵114。如图8所示，在吸引泵114上游的吸引管112中设置有三通阀115。在三通阀115中，一端连接在再利用容器162上，连接用于把从喷射器101排出的工作流体和功能液向再利用容器162引导的排出管116。
而且，通过切换三通阀115，能根据不同的目的分开使用喷射器101和吸引泵114。具体而言，当向功能液滴喷出头31填充功能液时，或清理功能液滴喷出头31时，使用喷射器101，所以切换三通阀115，使吸引管112与排出管116连通，当像在吸引在冲洗中喷出的功能液时那样使用吸引泵114时，切换三通阀115，使吸引管112与吸引泵114连通。
擦拭部件141与吸引部件71同样设置在公共机台13上，通过功能液滴喷出头31的吸引(清理)，一边使附着了功能液的被污染的各功能液滴喷出头31的喷嘴形成面38在X轴方向上移动，一边擦拭。如图7A、B所示，擦拭部件141由以下部分构成：一边输送擦拭用的擦拭带144，一边进行卷绕的卷绕部件142；具有用于使擦拭带144接触喷嘴形成面38的卷绕辊145的擦取部件143。擦拭部件141在充分接近功能液滴喷出头31的状态下，从卷绕部件142输送擦拭带144，把使用卷绕辊145输送的擦拭带144按在功能液滴喷出头31的喷嘴形成面38上，一边擦拭污垢。此外，从后面描述的清洗液供给系统171向输送的擦拭带144供给清洗液，高效擦取附着在功能液滴喷出头31上的功能液。
下面，说明液体供给回收部件4。液体供给回收部件4由向头部件21的各功能液滴喷出头31供给功能液的功能液供给系统151、回收由维护部件3的吸引部件71吸引的功能液的功能液回收系统161、把功能材料的溶剂作为清洗用而提供给擦拭部件141的清洗液供给系统171；回收由冲洗部件61接受的功能液的废液回收系统181构成。而且，如图2所示，在公共机台13的收容室14中，从图示右侧开始按顺序横向配置有功能液供给系统151的加压容器152、功能液回收系统161的再利用容器162、清洗液供给系统171的清洗液容器172。而且，在再利用容器162和清洗液容器172附近设置有形成小型的废液回收系181的废液容器182。
功能液供给系统151有以下部分构成：存储大量(3L)功能液的加压容器152；存储从加压容器152输送的功能液，并且把功能液向各功能液滴喷出头31供给的供液容器153；形成供液通路，连接它们的供液管154(参照图1、图2、图8)。存储在加压容器152中的功能液通过从后面描述的空气供给部件5导入的压缩空气(惰性气体)，通过供液管154把存储的功能液压送给供液容器153。
供液容器153向大气开放，解除来自加压容器152的压力。然后，将供液容器153保持在比功能液滴喷出头31呈稍微负液位差(例如25mm±0.5mm)的状态，防止功能液从功能液滴喷出头滴下，并且以功能液滴喷出头31的泵动作，即，泵部36内的压电元件的泵驱动，高精度喷出液滴。
在供液容器153上连接着向功能液滴喷出头31延伸的6根供液管154，这些供液管154分别通过T字接头157分支为两根，形成共计12个分支供液管155。12个分支供液管155连接在作为装置一侧管道部件而设置在头部件21上的管道接头24上，向各功能液滴喷出头31共计功能液(参照图1和图8)。此外，在各分支供液管155中设置用于开关分支供液管155的头一侧供给阀156，通过控制部件6开关控制。
功能液回收系统161用于存储由吸引部件71的喷射器101和吸引泵114吸引的功能液，具有：存储吸引的功能液的再利用容器162；连接在吸引泵114上，把吸引的功能液向再利用容器162引导的回收用管164。
清洗液供给系统171用于向擦拭部件141的擦拭带144供给清洗液，具有：存储清洗液容器172、用于供给清洗液容器172的清洗液的清洗液供给管(省略图示)。此外，通过从空气供给部件5向清洗液容器172导入压缩空气，进行清洗液的供给。此外，在清洗液中使用挥发性比较高的功能液的溶剂，能高效擦取附着在功能液滴喷出头31上的功能液。
废液回收系统181用于回收向冲洗部件61喷出的功能液，具有：存储回收的功能液的废液容器182；连接在冲洗部件61(冲洗盒62)上，把向冲洗盒62喷出的功能液向废液容器182引导的废液泵(省略图示)；连接它们的废液用管(省略图示)。
下面，说明空气供给部件5。如图8所示，空气供给部件5把压缩惰性气体(N2)的压缩空气向各部例如加压容器152或喷射器101等供给，具有：压缩惰性气体的空气泵191(压缩机)；与供给目标匹配，把压缩空气保持一定压力的调整器192；把空气泵191与各部通过管道连接，把压缩空气向各部供给的空气供给管193。此外，在连接空气泵191和调整器192的空气供给管193中设置用于除去压缩空气(功能液)中的灰尘的空气(液体)过滤器194和用于除去油分的分离器196。此外，在连接空气泵191和喷射器101的空气供给管193(工作流体供给管路)中，设置有调节压缩空气供给量的流量调整阀196(流量调节阀)，能调节提供给各喷射器101的压缩空气的供给量。
下面，说明控制部件6。控制部件6具有用于控制各部件的动作的控制部，控制部具有存储控制程序或控制数据，并且用于进行各种控制处理的作业区。而且，控制部件6与所述各部件连接，控制装置全体。
作为基于控制部件6的控制的一例，说明使用吸引部件71，吸引功能液滴喷出头31时的情形，下面参照图8，进行说明。当吸引功能液滴喷出头31时，控制部件6(第一控制部件)驱动所述XY移动机构，首先使头部件21面临配置在公共机台13上的吸引部件71。然后，驱动吸引部件71的升降机构91，使帽部件72上升到第一位置，使各帽73紧贴在对应的功能液滴喷出头31上。
接着，渐渐打开设置在空气供给管193中的流量调整阀196，从空气供给部件5向12个喷射器101供给压缩空气，开始功能液滴喷出头31的吸引。通过根据所述各帽一侧压力传感器122的检测结果，开关控制流量调整阀196，为各喷射器101适当调节吸引时的压缩空气供给量。具体而言，当吸引用管111(分支吸引管113)内的吸引压力比规定的压力还低时，控制流量调整阀196，使压缩空气供给量增加，当吸引用管111内的吸引压力比规定的压力还高时，控制流量调整阀196，使压缩空气供给量下降，进行控制，以便在一定的吸引压力下进行各功能液滴喷出头31的吸引。这样，通过用各喷射器101个别调节压缩空气供给量，能高效并且恰当地吸引各功能液滴喷出头31。
此外，在本实施例中，为了个别控制对于各功能液滴喷出头31的吸引压力，成为对各帽73设置喷射器101的结构，但是也可以是通过使连接在喷射器101的吸引口103上的分支吸引管113分支，对于多个帽73设置一个喷射器101的结构。即，也能采用用一个喷射器101吸引两个帽73的结构，或用一个喷射器101吸引12个帽73的结构，根据情况，能适当变更喷射器101的设置数。
当使功能液滴喷出头31的吸引结束时，首先渐渐关闭流量调整阀196。由此，防止了吸引压力急剧下降，在吸引结束后，防止气泡向功能液滴喷出头31内逆流。此外，与流量调整阀196的关闭一起，控制所述帽一侧开关阀123，使吸引动作可靠结束，以便不浪费高价的功能液。
然后，驱动升降机构91，使帽部件72下降，把各帽73向大气开放，并且再次打开流量调整阀196。由此，能把由各帽73的吸收材料85吸收的功能液和残留在吸引用管111中的功能液向再利用容器162引导。此外，当帽73的结构为不能向大气开放时，希望用具有大气开放端口的三通阀构成所述帽一侧开关阀123。而且，在关闭流量调整阀196的同时，把帽一侧开关阀123切换到大气开放端口后，打开流量调整阀196，防止功能液残留在吸引用管111中，产生堵塞。
下面，说明本发明的实施例2。本实施例的液滴喷出装置1的基本结构与上述的实施例1大致同样，但是在实施例2的液滴喷出装置1中，不同点在于：向吸引部件71的喷射器101供给的工作流体不是来自空气供给部件5的压缩空气，而使用功能液。
如果参照图9进行说明，则喷射器101的供给口102通过压力调整阀202连接在由高压泵构成的功能液泵201上，排出口104通过连接管203(排出管路)连接在再利用容器162上(贮存容器)。而且，在本实施例中，通过使用压力调整阀202控制从功能液泵201输送的功能液的压力，调整喷射器101的吸引力。此外，喷射器101的吸引口103与实施例1同样，通过分支吸引管113连接在帽73上，通过帽73能从功能液滴喷出头31吸引。
再利用容器162和功能液泵201由连接管203连接，由从功能液泵201到喷射器101以及再利用容器162的管路、从再利用容器162到功能液泵201的管路构成成为工作流体的功能液循环的循环管路204。而且，在连接再利用容器162和功能液泵201的循环管路204中设置有由具有大气开放端口的三通阀构成的开关阀205(循环管路开关阀)。
此外，在再利用容器162中预先存储着能充满循环管路204的量的功能液，通过不间断地把作为工作流体的功能液向喷射器101供给，能进行稳定的吸引。
这里，参照图9，说明功能液滴喷出头31的一系列吸引动作和控制。首先，控制部件6(第二控制部件)与实施例1时同样使头部件21面临吸引部件71后，使帽73紧贴在各功能液滴喷出头31上。接着，开始功能液泵201的驱动，从再利用容器162吸出成为喷射器101的工作流体的功能液，向压力调整阀202输送功能液。
压力调整阀202根据各帽一侧压力传感器122的检测结果，由控制部件6控制，以便对各保持适当的吸引压力。具体而言，当分支吸引管113内的吸引压力比规定的压力低时，使功能液的输送量增加，当分支吸引管113内的吸引压力比规定的压力还高时，使功能液的输送量减少。
经过压力调整阀202的功能液由适当的压力数送给喷射器101的供给口102，一边产生吸引力，一边从排出口104排出到再利用容器162中。此外，从功能液滴喷出头31吸引的功能液也与在喷射器101内由供给口102供给的功能液合流，从排出口104排出到再利用容器162中。然后，排出到再利用容器162中的功能液由功能液泵201吸出，作为工作流体循环。
这样，在本实施例中，也使用非压缩性的功能液作为工作流体，所以能更高效吸引功能液滴喷出头31。此外，变为使功能液循环的结构，所以能通过功能液滴喷出头31的吸引把使用的功能液量抑制在最小限度，并且使再利用容器162小型化，能谋求装置的省空间。与对工作流体使用压缩空气时不同，在排出吸引的功能液时，不会混着气泡(压缩空气)，所以能容易地把排出的功能液再利用。
当使对功能液滴喷出头31的吸引动作结束时，为了防止吸引压力的急剧下降，控制部件6控制压力调整阀202，使提供给喷射器101的功能液的压力渐渐下降，并且减少由功能液泵201的功能液供给量。然后，使所述开关阀205关闭，停止来自再利用容器162的功能液供给。接着，把开关阀205切换到大气开放端口，通过把循环管路向大气开放，把循环管路内残留的功能液送入再利用容器162中。然后，使功能液泵201的驱动停止，结束吸引动作。
这样，在实施例1和实施例2的液滴喷出装置1中，成为使用喷射器进行功能液滴喷出头31的吸引的结构，所以与使用泵进行吸引时不同，不会受在功能液之前吸引的气泡的影响而吸引力下降，能高效进行功能液滴喷出头31的吸引。因此，通过把所述液滴喷出装置1应用于各种制品的制造，能进行高效的制造。
下面，作为使用本实施例的液滴喷出装置1制造的电光装置(平板显示器)，以滤色器、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等为例，说明它们的构造及其制造方法。
首先，说明在液晶显示装置和有机EL装置中设置的滤色器的制造方法。图10是表示滤色器的制造工序的程序流程图，图11A～E是按照工序顺序表示的本实施例的滤色器500(滤色器基体500A)的模式剖视图。
首先，在黑矩阵形成工序(S11)中，如图11A所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502由金属铬和氧化铬的层叠体、或由树脂黑形成。在形成由金属薄膜构成的黑矩阵502时，能使用溅射或蒸镀法。此外，在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502时，能使用照相凹版印刷法、光刻法、热复制法。
接着，在隔栅形成工序(S12)中，以层叠在黑矩阵502上的状态形成隔栅503。即首先如图11B所示，覆盖基板501和黑矩阵502形成由负片形透明感光性树脂构成的抗蚀剂层504。然后，在用形成为矩阵图案的掩模层505覆盖其上表面的状态下，进行曝光处理。
如图11C所示，通过对抗蚀剂层504进行蚀刻处理，对抗蚀剂层504构图，形成隔栅503。此外，当由树脂黑形成黑矩阵时，能兼任黑矩阵和隔栅。
该隔栅503和其下的黑矩阵502变为划分各像素区域507a的划分壁部507b，在以后的着色层形成工序中，当通过功能液滴喷出头31形成着色层508R、508G、508B时，固定功能液滴的落下区域。
经过以上的黑矩阵形成工序和隔栅形成工序，获得所述滤波器基体500A。
此外，在本实施例，作为隔栅503的材料，使用镀膜表面成为斥液(斥水)性的树脂材料。而且，基板(玻璃基板501)的表面为亲液性(亲水)，所以在后面描述的着色层形成工序中，液滴向由隔栅503(划分壁部507b)包围的各像素区域507a内的落下位置精度提高。
接着，在着色层形成工序(S13)中，如图11D所示，通过功能液滴喷出头31喷出功能液滴，落在由划分壁部507b包围的各像素区域507a内。这时，使用功能液滴喷出头31，导入R、G、B等3色功能液(滤色器材料)，进行的喷出。此外，作为R、G、B等3色的排列图案，有带状排列、马赛克排列和三角排列。
然后，经过干燥处理(加热等处理)使功能液固定，形成三色的着色层508R、508G、508B。当形成了着色层508R、508G、508B后，转移到保护膜形成工序(S14)，如图11E所示，覆盖基板501、划分壁部507b和着色层508R、508G、508B的上表面形成保护膜509。
即，向基板501的形成着色层508R、508G、508B的面全体喷出保护膜用涂敷液后，经过干燥处理，形成保护膜509。
然后，形成保护膜509后，通过把基板501切断为各有效像素区域，获得滤色器500。
图12是表示作为使用所述滤色器500的液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略结构的要部剖视图。通过在该液晶装置520上安装液晶驱动用IC、背光灯、支撑体等附带要素，获得作为最终制品的透射型液晶显示装置。此外，滤色器500与图11所示相同，所以对于对应的部位采用相同的符号，省略其说明。
该液晶装置520由滤色器500、用玻璃基板等构成的对置基板521、夹在它们之间的用STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层522构成，滤色器500配置在图中上方(观察者一侧)。
此外，虽然未图示，但是在对置基板521和滤色器500的外表面(与液晶层522相反一侧的面)分别配置偏振片，此外在位于对置基板521一侧的偏振片外侧配置有背光灯。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层一侧)，以规定的间隔形成在图12中左右方向长的矩形第一电极523，覆盖该第一电极523的与滤色器500一侧相反一侧的面形成第一定向膜524。
而在与对置基板521的与滤色器500相对的面上，以规定的间隔形成多个在的与第一电极523正交的方向长的矩形第二电极526，覆盖该第二电极526的液晶层522一侧的面形成第二定向膜527。这些第一电极523和第二电极526由ITO(Indium Tin Oxide)等透明导电材料形成。
设置在液晶层522内的隔离块528是用于把液晶层522厚度(单元间隔)保持一定的部件。此外，密封材料529是用于防止液晶层522内的液晶组成物向外部泄漏的部件。此外，第一电极523的一端部作为围绕布线523a延伸到密封材料529的外侧。
而且，第一电极523和第二电极526交叉的部分是像素，滤色器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的部分。
在通常的制造工序中，对滤色器500进行第一电极523的构图和第一定向膜524的涂敷，生成滤色器500一侧的部分，另外在对置基板521上进行第二电极526的构图和第二定向膜527的涂敷，生成对置基板521一侧的部分。然后，在对置基板521一侧的部分设置隔离块528和密封材料529，在该状态下，摘铁滤色器500一侧的部分。接着，从密封材料529的注入口注入构成液晶层522的液晶，关闭注入口。然后，层叠两个偏振片和背光灯。
实施例的液滴喷出装置1涂敷构成所述单元间隔的隔离块材料(功能液)，并且向对置基板521一侧的部分粘贴滤色器500一侧的部分前，能向由密封材料529包围的区域均匀涂敷液晶(功能液)。此外，也能用功能液滴喷出头31进行所述密封材料529的印刷。也能用功能液滴喷出头31进行第一和第二定向膜524、527的涂敷。
图13是表示使用在本实施例中制造的滤色器500的液晶装置的第二例概略结构的要部剖视图。
该液晶装置530与所述液晶装置520的大的不同点在于：在图中下方(与观察者一侧相反一侧)配置滤色器500。
该滤色器500在滤色器500和由玻璃基板构成的对置基板531之间夹着由STN液晶构成的液晶层532。此外，虽然未图示，但是在对置基板531和滤色器500的外表面分别配置有偏振片。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层532一侧)，以规定的间隔配置多个在图中向里方向长的第一电极533，覆盖该第一电极533的液晶层532一侧的面形成第一定向膜534。
在对置基板531的与滤色器500相对的面上，以规定的间隔形成在与滤色器500一侧的第一电极533正交的方向延伸的多个矩形第二电极536，覆盖该第二电极536的液晶层532一侧的面形成第二定向膜537。
在液晶层532上设置用于把该液晶层532的厚度保持一定的隔离块538和用于防止液晶层532内的液晶组成物向外部泄漏的密封材料539。
而且，与所述液晶装置520同样，第一电极533与第二电极536交叉的部分是像素，着色层508R、508G、508B位于成为该像素的部位。
图14表示使用应用本发明的滤色器500构成液晶装置的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略结构的分解立体图。
该液晶装置550是把滤色器500配置在图中上方(观察者一侧)。
该液晶装置550由滤色器500、与其相对配置的对置基板551、夹在它们之间的未图示的液晶层、配置在滤色器500的上表面一侧(观察者一侧)的偏振片555、配置在对置基板551的下表面一侧的偏振片(未图示)构成。
在滤色器500的保护膜509的表面(对置基板551一侧的面)上形成液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后面描述的像素电极560的区域全体的全面电极。此外，在覆盖该电极556的与像素电极560相反一侧的面的状态设置定向膜557。
在对置基板551的与滤色器500相对的面上形成绝缘层558，在该绝缘层558上以彼此正交的状态形成扫描线561和信号线562。而且，在由这些扫描线561和信号线562包围的区域内形成像素电极560。此外，在实际的液晶装置中在像素电极560上设置定向膜，但是省略了图示。
此外，在由像素电极560的缺口部、扫描线561和信号线562包围的部分设置具有源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管563。而且，通过对扫描线561和信号线562施加信号，使薄膜晶体管563导通和断开，能进行对像素电极560的通电控制。
此外，所述各例的液晶装置520、530、550为透射型的结构，但是也能设置反射层或半透半反层，成为反射型的液晶装置或半透半反型的液晶装置。
图15是有机EL装置的显示区(以下只称作显示装置600)的要部剖视图。
在基板(W)601上层叠了电路元件部602、发光元件部603和阴极604的状态下，概略构成该显示装置600。
在该显示装置600中，从发光元件部603向基板601发出的光透射电路元件部602和基板601，向观察者一侧出射，并且从发光元件部603向基板601相反一侧发出的光由阴极604反射后，透射电路元件部602和基板601，向观察者一侧出射。
在电路元件部602和基板601之间形成由氧化硅构成的底层保护膜606，在该底层保护膜606上(发光元件部603一侧)形成由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右的区域中，分别通过高浓度阳离子注入，形成源区607a和漏区607b。而且，未注入阳离子的中央部变为沟道区607c。
此外，在电路元件部602上形成覆盖底层保护膜606和半导体膜607的透明栅绝缘膜608，在该栅绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区607c对应的位置形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609。在该栅电极609和栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。此外，贯通第一、第二层间绝缘膜611a、611b形成分别与半导体膜607的源区607a、漏区607b连通的接触孔612a、612b。
然后，在第二层间绝缘膜611b上构图，把由ITO等构成的像素电极613形成规定的图案，该像素电极613通过接触孔612a连接在源区607a上。
此外，在第一层间绝缘膜611a上配置电源线614，该电源线614通过接触孔612b连接在漏区607b上。
这样，在电路元件部602上分别形成连接在各像素电极613上的驱动用薄膜晶体管615。
所述发光元件部603由层叠在多个像素电极613上的功能层617、设置在各像素电极613和功能层617之间的划分各功能层617的隔栅部618构成。
由这些像素电极613、功能层617和配置在功能层617上的阴极604构成发光元件。此外，像素电极613构图形成平面视图中的矩形，在各像素电极613之间形成隔栅部618。
隔栅部618由以下部分构成：例如由SiO、SiO2、TiO2等无机材料构成的无机物隔栅层618a(第一隔栅层)；层叠在无机物隔栅层618a上，由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的截面为梯形的有机物隔栅层618b(第二隔栅层)。该隔栅部618的一部分以在像素电极613的周围部上的状态形成。
而且，在各隔栅部618之间，形成相对像素电极613向上方逐渐扩大的开口部619。
所述功能层617由在开口部619内以层叠在像素电极613上的状态形成的空穴注入/输送层617a、形成在该空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。此外，还可以与该发光层617b相邻形成具有其他功能的功能层。例如，也能形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a具有从像素电极613一侧输送空穴，注入发光层617b中的功能。通过喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(功能液)，形成该空穴注入/输送层617a。作为空穴注入/输送层形成材料，使用聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩衍生物和硫代聚苯乙烯等的混合物。
发光层617b发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意一种光，通过喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第二组成物(功能液)而形成。作为第二组成物的溶剂，希望对于空穴注入/输送层120a是不溶解的，例如，能使用环己基苯、二氢苯呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过对发光层617b的第二组成物使用这样的非极性溶剂，在不使空穴注入/输送层617a再次溶解的前提下，能形成发光层617b。
而且，在发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层中再耦合，发光。
阴极604以覆盖发光元件部603的全面的状态形成，与像素电极613成对，完成使电流流向功能层617的任务。此外，在该阴极604的上部配置未图示的密封部件。
下面，参照图16～图24说明所述显示装置600的制造工序。
该显示装置600如图16所示，经过隔栅部形成工序(S21)、表面处理工序(S22)、空穴注入/输送层形成工序(S23)、发光层形成工序(S24)、对置电极形成工序(S25)制造。此外，制造工序并不局限于例示的，按照必要有时追加其他工序，有时删除其他工序。
首先，在隔栅部形成工序(S21)中，如图17所示，在第二层间绝缘膜611b上形成无机物隔栅层618a。在形成位置上形成无机物膜后，通过光刻技术对该无机物膜构图，形成该无机物隔栅层618a。这时，无机物隔栅层618a的一部分层叠在像素电极613的边缘部上。
当形成了无机物隔栅层618a后，如图18所示，在无机物隔栅层618a上形成有机物隔栅层618b。该有机物隔栅层618b也与无机物隔栅层618a同样，通过光刻技术，构图形成。
这样形成了隔栅部618。此外，伴随着此，在各隔栅部618之间形成相对像素电极613在上方开口的开口部619。由该开口部619规定像素区。
在表面处理工序(S22)中，进行亲液化处理和斥液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物隔栅层618a的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域例如通过以氧为处理气体的等离子体处理被表面处理为亲液性。该等离子体处理也兼任像素电极613的ITO的清洗。
此外，斥液化处理对有机物隔栅层618b的壁面618s和有机物隔栅层618b的上表面618t进行，通过例如以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理，把表面进行氟化处理(处理为呈斥液性)。
通过进行该表面处理工序，当使用功能液滴喷出头31形成功能层617时，能更可靠地使功能液滴落在像素区中，此外，能防止落在像素区中的功能液滴从开口部619溢出。
而且，经过以上的工序，获得显示装置基体600A。把该显示装置基体600A安放在图1所示的液滴喷出装置1的吸附台53上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S23)、发光层形成工序(S24)。
如图19所示，在空穴注入/输送层形成工序(S23)中，从功能液滴喷出头31向像素区即各开口部619内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物。然后，如图20所示，进行干燥处理和热处理，使第一组成物中包含的极性溶剂蒸发，在像素电极613(电极面613a)上形成空穴注入/输送层617a。
下面，说明发光层形成工序(S24)。在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再次溶解，作为发光层的形成时使用的第二组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层617a不溶解的非极性溶剂。
可是，因为空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂的亲和性低，所以即使把包含非极性溶剂的第二组成物向空穴注入/输送层617a上喷出，也有可能无法使空穴注入/输送层617a和发光层617b紧贴，或无法均匀涂敷发光层617b。
因此，为了提高空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面亲和性，希望在形成发光层之前进行表面处理(表面改质处理)。通过在空穴注入/输送层617a上涂敷与发光层的形成时使用的第二组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与它类似的溶剂即表面改质材料，使它干燥，进行该表面处理。
通过实施这样的处理，空穴注入/输送层617a的表面变得容易与非极性溶剂亲和，在此后的工序中，在空穴注入/输送层617a上均匀涂敷包含发光层形成材料的第二组成物。
然后，如图21所示，把包含各色中的任意一种(在图21的例子中，蓝色(B))所对应的发光层形成材料的第二组成物作为功能液滴向像素区(开口部619)注入规定的量。注入像素区中的第二组成物在空穴注入/输送层617a上扩散，充满开口部619内。此外，万一第二组成物从像素区偏移，落在隔栅部618的上表面618t上时，该上表面618t如上所述进行了斥液处理，所以第二组成物容易地落入开口部619内。
然后，通过进行干燥工序，对喷出后的第二组成物进行干燥处理，使第二组成物中包含的非极性溶剂蒸发，如图22所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。这时，形成与蓝色(B)对应的发光层617b。
同样，如图23所示，使用功能液滴喷出头31，依次进行与所述蓝色(B)所对应的发光层617b时同样的工序，形成其他颜色(红色(R)、绿色(G))所对应的发光层617b。此外，发光层617b的形成顺序并不局限于例示的顺序，可以是任意的顺序。例如，能按照发光层形成材料决定顺序。此外，作为R、G、B等三色的排列图案，有带状排列、马赛克排列、三角排列。
如上所述，在像素电极613上形成功能层617，即，空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后，转移到对置电极形成工序(S25)。
在对置电极形成工序(S25)中，如图24所示，在发光层617b和有机物隔栅层618b的全面上通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。该阴极604在本实施例中，例如由钙层和铝层层叠构成。
在该阴极604的上部适当设置作为电极的Al膜、Ag膜或防止其氧化的SiO2、SiN等保护膜。
这样形成阴极604后，通过进行由密封部件密封该阴极604的上部的密封处理和布线处理等其他处理，获得显示装置600。
下面，图25是表示等离子体显示装置(PDP装置，以下称作显示装置700)的要部剖视图。此外，在同一图，以切去其一部分的状态表示显示装置700。
该显示装置700包含：彼此相对配置的第一基板701、第二基板702、形成在它们之间的放电显示部703。放电显示部703由多个放电室705构成。这些放电室705中，红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B等3个放电室705成为组，构成一个像素。
在第一基板701的上面以规定的间隔把形成地址电极706形成条纹状，覆盖该地址电极706和第一基板701的上表面形成介质层707。在该介质层707上，设置隔离壁708，使其位于各地址电极706之间，并且沿着各地址电极706。该隔离壁708如图所示，包含在地址电极706的宽度方向两侧延伸的、在与地址电极706正交的方向延伸的未图示的。
而且，由该隔离壁708划分的区域成为放电室705。
在放电室705内配置有荧光体709。荧光体709发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意一种光，在红色放电室705R的底部配置有红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置有绿色荧光体709，在蓝色放电室705B的底部配置有蓝色荧光体709B。
在第二基板的图中下方的面上以规定的间隔，在与所述地址电极706正交的方向形成多个显示电极711。然后，覆盖这些形成介质层712、由MgO构成的保护膜713。
第一基板701和第二基板702在地址电极706和显示电极711彼此正交的状态下相对粘贴在一起。此外，所述地址电极706和显示电极711连接在未图示的交流电源上。
而且，通过对各电极706、711通电，在放电显示部703中，荧光体709激励放电，能进行彩色显示。
在本实施例中，能使用图1所示的液滴喷出装置1形成所述地址电极706、显示电极711和荧光体709。下面，表示第一基板701的地址电极706的形成工序。
这时，在把第一基板安放在液滴喷出装置1的吸附台53上的状态下，进行以下的工序。
首先，通过功能液滴喷出头31，使包含导电膜布线形成材料的液体材料(功能液)作为功能液滴落在地址电极形成区域中。该液体材料作为导电膜布线形成材料，是把金属等导电性微粒分散到分散剂中。作为该导电性微粒，使用含有金、银、铜、钯或镍的金属微粒、导电性聚合物。
当对于成为补充对象的全部地址电极形成区域完成液体材料的补给后，对喷出后的液体材料进行干燥处理，使液体材料中包含的分散剂蒸发，形成地址电极706。
可是，在上述的各个工序中，例示了地址电极706的形成，但是对于所述显示电极711和荧光体709，也能通过所所述各个工序形成。
当形成显示电极711时，与地址电极706同样，使含有导电膜布线形成材料的液体材料(功能液)作为功能液滴落在显示电极型城区中。
此外，当形成荧光体709的情况下，从功能液滴喷出头31喷出包含与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)的液滴，使其落在对应颜色的放电室705内。
图26是电子发射装置(FED装置，以下只称作显示装置800)的要部剖视图。此外，在同一图中，把其一部分作为剖面表示显示装置800。
该显示装置800包含：彼此相对配置的第一基板801、第二基板802和形成在它们之间的场致发射显示部803。场致发射显示部803由配置为矩阵状的多个电子发射部805构成。
在第一基板801的上面，彼此正交形成构成阴极806的第一元件电极806a和第二元件电极806b。此外，在由第一元件电极806a和第二元件电极806b分隔的部分形成有形成间隔808的导电性膜807。即，通过第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807构成多个电子发射部805。导电性膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，此外，在形成导电性膜807后，通过物理成形等形成间隔808。
在第二基板802的下表面上形成与阴极806对向的阳极809。在该阳极809的下面形成格子状的隔栅部811，在由该隔栅部811包围的向下的各开口部812中，与电子发射部805对应配置荧光体813。荧光体813发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意一种光，在各开口部812中，所述红色荧光体813R、绿色荧光体813G、蓝色荧光体813B以所述规定的图案配置。
然后，把这样构成的第一基板801、第二基板802保持微小的间隙粘贴在一起。在该显示装置800中通过导电性膜(间隔808)807，从阴极即第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子撞击阳极即阳极809上形成的荧光体813，激励发光，能显示彩色。
这时，与其它实施例同样，能使用液滴喷出装置1形成第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807，并且能使用液滴喷出装置1形成各色的荧光体813R、813G、813B。
第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807具有图27A所示的平面形状，在对它们成膜时，如图27B所示，预先留下设置第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807的部分，形成隔栅部BB(光刻法)。接着，在由隔栅部BB构成的沟部分形成第一元件电极806a、第二元件电极806b(基于液滴喷出装置1的喷墨法)，使其溶剂干燥，进行成膜后，形成导电性膜807(基于液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，形成导电性膜807后，除去隔栅部BB(灰化剥离处理)，转移到所述成形处理。此外，与所述有机EL装置同样，希望进行对第一基板801和第二基板802的亲液化处理或对于隔栅部811、BB的斥液化处理。
此外，作为其他电光装置，可以是形成有金属布线、透镜、抗蚀剂和光扩散体等的装置。通过在各种电光装置(器件)的制造中使用所述液滴喷出装置1，能高效制造各种电光装置。
如上所述，本发明的功能液滴喷出头的吸引方法和吸引装置使用喷射器作为功能液滴喷出头的吸引部件，所以不会受功能液之前的气泡的影响，能维持适当的吸引力，高效进行功能液滴喷出头的吸引。因此，从功能液滴喷出头高效排出气跑，能削减功能液滴喷出头的吸引中消耗的功能液，并且能把吸引所需时间抑制在最小限度。此外，喷射器比泵小型，所以能使装置小型化。
此外，本发明的液滴喷出装置具有所述吸引装置，所以能实现装置的省空间。此外，在向功能液滴喷出头填充功能液时，或像清理功能液滴喷出头时那样，进行功能液滴喷出头的吸引时，能高效进行吸引。
在本发明的电光装置的制造方法、电光装置、电子仪器中，使用所述液滴喷出装置制造，所以能削减功能液滴喷出头的吸引中所需功能液量和时间，能高效地进行制造。
Claims (16)
1.一种功能液滴喷出头的吸引方法，其特征在于：
帽紧贴在喷出功能液滴的功能液滴喷出头的喷嘴面上，经由该帽，利用喷射器吸引所述功能液滴喷出头的喷嘴。
2.根据权利要求1所述的功能液滴喷出头的吸引方法，其特征在于：
控制向所述喷射器供给的工作流体的流量，使来自所述帽的吸引压力为一定。
3.根据权利要求1所述的功能液滴喷出头的吸引方法，其特征在于：
当对所述功能液滴喷出头的吸引动作结束时，把从所述帽到所述喷射器的吸引管路对大气开放。
4.一种功能液滴喷出头的吸引装置，使帽紧贴在喷出功能液滴的功能液滴喷出头上，通过帽吸引功能液滴喷出头，其特征在于：包括：
与所述帽连通，吸引所述功能液滴喷出头的全部喷嘴的喷射器；
向所述喷射器供给工作流体的工作流体供给部件。
5.根据权利要求4所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
将所述喷射器配置在所述帽的附近。
6.根据权利要求4所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
还包括：检测连接所述帽与所述喷射器的吸引口的吸引管路内压力的压力检测部件；
设置在连接所述工作流体供给部件与所述喷射器的供给口的工作流体供给管路中，调节提供给所述喷射器的所述工作流体流量的流量调节阀；
根据所述压力检测部件的检测结果，控制所述流量调节阀的第一控制部件。
7.根据权利要求6所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
所述第一控制部件在对所述功能液滴喷出头的吸引结束时，渐渐使所述流量调节阀关闭。
8.根据权利要求6所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
还具有：设置在所述吸引管路内，开关所述吸引管路的吸引管路开关阀；
所述第一控制部件当对所述功能液滴喷出头的吸引结束时，在关闭所述流量调整阀的同时，关闭所述吸引管路开关阀。
9.根据权利要求8所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
所述吸引管路开关阀由具有大气开放端口的三通阀构成；
在所述吸引管路开关阀被关闭的同时，所述第一控制部件开放所述大气开放端口并再次打开所述流量调节阀。
10.根据权利要求4所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
还具有：预先贮存所述功能液，并且通过所述排出管路与喷射器的排出口连接的贮存容器；
所述工作流体供给部件由泵构成，并且通过循环管路与所述贮存容器连接，供给作为工作流体的功能液。
11.根据权利要求10所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
具有：在连接所述工作流体供给部件与所述贮存容器的所述循环管路中设置由具有大气开放端口的三通阀构成的循环管路开关阀；
当对所述功能液滴喷出头的吸引结束时，关闭所述循环管路开关阀，并且打开所述循环管路开关阀的大气开放端口的第二控制部件。
12.根据权利要求4所述的功能液滴喷出头的吸引装置，其特征在于：
设置多个所述功能液滴喷出头；
与所述多个功能液滴喷出头对应分别设置多个所述帽、所述喷射器和所述吸引管路。
13.一种液滴喷出装置，其特征在于：包括：权利要求4所述的功能液滴喷出头的吸引装置；和向工件喷出功能液的功能液滴喷出头。
14.一种电光装置的制造方法，其特征在于：
使用权利要求13所述的液滴喷出装置，在工件上形成由功能液构成的成膜部。
15.一种电光装置，其特征在于：使用权利要求13所述的液滴喷出装置，在工件上形成由功能液构成的成膜部。
16.一种电子仪器，其特征在于：搭载了权利要求15所述的电光装置。
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