CN1693084A - 液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置及其制造方法 - Google Patents

液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1693084A
CN1693084A CNA2005100673233A CN200510067323A CN1693084A CN 1693084 A CN1693084 A CN 1693084A CN A2005100673233 A CNA2005100673233 A CN A2005100673233A CN 200510067323 A CN200510067323 A CN 200510067323A CN 1693084 A CN1693084 A CN 1693084A
Authority
CN
China
Prior art keywords
nozzle
mentioned
ink gun
drop
nozzle face
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005100673233A
Other languages
English (en)
Inventor
臼田秀范
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN1693084A publication Critical patent/CN1693084A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2/16579—Detection means therefor, e.g. for nozzle clogging
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
    • A47J37/00—Baking; Roasting; Grilling; Frying
    • A47J37/06—Roasters; Grills; Sandwich grills
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
    • A47J36/00—Parts, details or accessories of cooking-vessels
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
    • A47J43/00—Implements for preparing or holding food, not provided for in other groups of this subclass
    • A47J43/04—Machines for domestic use not covered elsewhere, e.g. for grinding, mixing, stirring, kneading, emulsifying, whipping or beating foodstuffs, e.g. power-driven
    • A47J43/07—Parts or details, e.g. mixing tools, whipping tools
    • A47J43/0716—Parts or details, e.g. mixing tools, whipping tools for machines with tools driven from the lower side
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Ink Jet (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

本发明提供与以往进行的由清洗吸引使喷墨头的喷嘴的孔堵塞复原相比较可以大幅度削减废弃液体、可以更多更有效地利用喷出液体的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置和电子机器。其解决方法是使用用于将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置(10)，该液滴喷出装置(10)的特征在于，具备：具有喷出供给的液体的液滴的多个喷嘴(81)的喷墨头(11)、用于密封喷墨头(11)的喷嘴面(70)并进行吸引的吸引机构、和孔堵塞的喷嘴数超过预定数时由吸引机构密封喷嘴面(70)、从喷嘴(81)向吸引机构进行液滴的喷出、以由吸引机构密封喷嘴面(70)的状态放置、使喷嘴面(70)保湿的控制部(200)。

Description

液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及用于将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置和电子机器等。
背景技术
液滴喷出装置被作为描绘系统使用，该描绘系统以喷墨方式将液滴相对于工件喷出。该描绘系统例如可以用于平板显示器那样的电光学元件的制造中。
以喷墨方式喷出微小的液滴的液滴喷出装置，具有用于液滴喷出的喷墨头。该喷墨头需要稳定而正确地相对于工件喷出微小的液滴。因此通过抑制喷墨头具有的多个喷嘴发生的孔堵塞现象，就可以稳定而正确地喷出微小的液滴。有如下提案：根据必要吸引该喷墨头的喷嘴面、由喷嘴喷出液滴而进行清洗处理，藉此，抑制喷嘴的孔堵塞(例如专利文献1)。
【专利文献1】特开2002-79693号公报(第10页、图9)
这种喷墨头的清洗方式为了削减由增加清洗次数造成的是喷出液体的墨水的使用量就需要削减清洗的次数。因此，进行喷墨头的清洗之前，要实行非喷出喷嘴(指非动作喷嘴或者不喷出喷嘴)的检测，仅在存在这样的非喷出喷嘴的情况下实行清洗动作。该情况下的清洗动作以多个喷嘴组为单位实施。但是，其结局存在的问题是，由于作为喷墨头的喷嘴的复原处理要实行清洗，所以墨水的使用量多，不能削减废弃的墨水的量。
另外，还公开了进行清洗的情况下设定时、在某一定时间进行清洗，有在这样的所谓定时清洗的动作前仍然进行非喷出喷嘴(漏点)的检测以省略定时清洗动作的记载。但是，由于在发生漏点的情况下仍然要实施定时清洗，所以与墨水的使用量的削减没有联系。
发明内容
本发明的目的在于解决上述课题，提供与以往进行的由清洗吸引使喷墨头的喷嘴的孔堵塞复原相比可以大幅度削减废弃的液体、可以更有效地充分利用喷出液体的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置和电子机器。
上述目的由液滴喷出装置达成，作为第1发明，是用于将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置，其特征在于，具备：具有喷出供给的液体的上述液滴的多个喷嘴的喷墨头；用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的吸引机构；孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时由上述吸引机构密封上述喷嘴面、从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出、以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置、使上述喷嘴面保湿的控制部。
根据第1发明的构成，喷墨头具有喷出供给的液体的液滴的多个喷嘴。吸引机构可以密封喷墨头的喷嘴面并进行吸引。
在孔堵塞的喷嘴数超过预定数时，控制部可以由吸引机构密封喷嘴面，从喷嘴向吸引机构进行液滴的喷出，以由吸引机构密封喷嘴面的状态放置，使喷嘴面保湿。
藉此，在液滴喷出装置喷出液滴前，孔堵塞的喷嘴数超过预定数时，控制部可以进行由吸引机构密封喷嘴面、从喷嘴向吸引机构的液滴的喷出。而且以吸引机构密封喷嘴面的状态放置、使喷嘴面保湿。这样，通过使用吸引机构、以由吸引机构使喷嘴面保湿的状态放置，可以可靠地使喷墨头喷嘴的孔堵塞复原。
因此，由于与以往的由清洗动作的吸引使喷墨头的喷嘴的孔堵塞复原相比可以大幅度削减废弃液体，所以可以更有效充分地利用喷出液滴。即，可以防止为了使孔堵塞的喷嘴复原而实行几次清洗动作的现象，因而可以削减使用的液体量。
第2发明的特征在于，在第1发明的构成中，上述孔堵塞的上述喷嘴数在预定数或其以下时，上述控制部对上述吸引机构进行密封上述喷墨头的喷嘴面并进行吸引的吸引动作。
根据第2发明的构成，孔堵塞的喷嘴数在预定数或其以下时，控制部使吸引机构进行密封喷墨头的喷嘴面并进行吸引的吸引动作。
藉此，在孔堵塞的喷嘴数在预定数或其以下的情况下，喷墨头的喷嘴面通过以由吸引机构密封的状态的吸引动作，可以使喷墨头喷嘴的孔堵塞复原。
由此，在孔堵塞的喷嘴数比预定数少的情况下，可以进行由吸引动作的喷嘴的孔堵塞的复原。
第3发明的特征在于，在第2发明的构成中，具有用于选择上述吸引动作和以密封上述喷嘴面的状态放置并保湿的动作的选择机构。
根据第3发明的构成，选择机构可以选择吸引动作和以密封喷嘴面的状态放置并保湿的动作。
藉此，用户使用选择机构可以适宜地选择由吸引机构吸引的吸引动作和以密封喷嘴面的状态放置并保湿的动作。
第4发明的特征在于，在第1发明至第3发明的任一项构成中，具有用于通知以密封上述喷嘴面的状态放置并保湿的时间的放置时间通知机构。
根据第4发明的构成，放置时间通知机构可以向用户通知以密封喷嘴面的状态放置并保湿的时间。
第5发明的特征在于，根据第4发明的构成，具有检测上述孔堵塞的上述喷嘴并通知上述控制部的非喷出喷嘴检测部。
根据第5发明的构成，非喷出喷嘴检测部可以检测孔堵塞喷嘴存在的有无。
藉此，可以将非喷出喷嘴检测部检测的孔堵塞的喷嘴数可靠地告知控制部。
上述目的由液滴喷出方法达成，作为第6发明，是由喷墨头将液滴喷出到工件上的液滴喷出方法，其特征在于，上述喷墨头的喷嘴面中的喷嘴孔堵塞的情况下，孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时，由用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置，使上述喷嘴面保湿。
藉此，在液滴喷出装置喷出液滴前，孔堵塞的喷嘴数超过预定数时，控制部可以进行由吸引机构密封喷嘴面、从喷嘴向吸引机构的液滴的喷出。而且以吸引机构密封喷嘴面的状态放置，使喷嘴面保湿。这样，通过使用吸引机构、以由吸引机构使喷嘴面保湿的状态放置，可以可靠地使喷墨头喷嘴的孔堵塞复原。
因此，由于与以往的由清洗动作的吸引使喷墨头的喷嘴的孔堵塞复原相比可以大幅度削减废弃液体，所以可以更有效充分地利用喷出液滴。即，可以防止为了使孔堵塞的喷嘴复原而实行几次清洗动作的现象，因而可以削减使用的液体量。
上述目的由电光学装置的制造方法达成，作为第7发明，是用由喷墨头将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置进行电光学装置的制造的电光学装置的制造方法，其特征在于，以如下方法制造：上述喷墨头的喷嘴面中的喷嘴孔堵塞的情况下，孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时，由用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置，使上述喷嘴面保湿，其后将上述液滴喷出到上述工件上。
藉此，在液滴喷出装置喷出液滴前，孔堵塞的喷嘴数超过预定数时，控制部可以进行由吸引机构密封喷嘴面、从喷嘴向吸引机构的液滴的喷出。而且以吸引机构密封喷嘴面的状态放置、使喷嘴面保湿。这样，通过使用吸引机构、以由吸引机构使喷嘴面保湿的状态放置，可以可靠地使喷墨头喷嘴的孔堵塞复原。
因此，由于与以往的由清洗动作的吸引来复原喷墨头的喷嘴的孔堵塞相比可以大幅度削减废弃液体，所以可以更有效充分地利用喷出液滴。即，可以防止用于使孔堵塞的喷嘴复原而实行几次清洗动作的现象，因而可以削减使用的液体量。
由于用液滴喷出装置制造电光学装置的情况下喷出的液体更多而可以充分用于电光学装置的制造，所以可以谋求电光学装置制造时的成本下降。另外，可以可靠地防止喷嘴的堵塞，防止在喷嘴面出现非喷出喷嘴，从而提高电光学装置制造时的质量。
上述目的由电光学装置达成，作为第8发明，是用由喷墨头将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置制造的电光学装置，其特征在于，以如下方法制造：上述喷墨头的喷嘴面中的喷嘴孔堵塞的情况下，孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时，由用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置，使上述喷嘴面保湿，其后将上述液滴喷出到上述工件上。
藉此，在液滴喷出装置喷出液滴前，孔堵塞的喷嘴数超过预定数时，控制部可以进行由吸引机构密封喷嘴面、从喷嘴向吸引机构的液滴的喷出。而且吸引机构以密封喷嘴面的状态放置、使喷嘴面保湿。这样，通过使用吸引机构、由吸引机构以保湿喷嘴面的状态放置，可以可靠地使喷墨头喷嘴的孔堵塞复原。
因此，由于与以往的由清洗动作的吸引使喷墨头的喷嘴的孔堵塞复原相比可以大幅度削减废弃液体，所以可以更有效充分地利用喷出液滴。即，可以防止为了使孔堵塞的喷嘴复原而实行几次清洗动作的现象，因而可以削减使用的液体量。
因此，由于用液滴喷出装置制造电光学装置的情况下喷出的液体更多而可以充分用于电光学装置的制造，所以可以谋求电光学装置制造时的成本下降。另外，可以可靠地防止喷嘴的堵塞，防止在喷嘴面出现非喷出喷嘴，从而提高电光学装置制造时的质量。
第9发明是一种电子机器，其特征在于，搭载第8发明所述的电光学装置。
附图说明
图1是表示本发明的液滴喷出装置的优选的实施方式的平面图。
图2是表示图1的液滴喷出装置的喷墨承载器、喷墨头等的立体图。
图3是表示图2的喷墨承载器和喷墨头等的从图2中的E方向看的主视图。
图4是表示喷墨头的喷嘴面的形状例和非喷出喷嘴检测部的结构例的图。
图5是表示控制部和其周边的要素的电连接例的图。
图6是表示与用于实施清洗程序的吸引机构摩擦接触单元的例的图。
图7是表示给用户的放置通知机构的例的图。
图8是表示进行冲洗、罩盖放置的状态的图。
图9是表示液滴喷出方法的优选的实施方式的流程图。
图10是表示存储于信息存储部的清洗程序及在帽盖内的冲洗数和罩盖时间的例的图。
图11是表示由本发明的液滴喷出装置制造的有机EL装置的形状的例的剖面图。
图12是表示由本发明的液滴喷出装置制造的液晶显示装置的结构例的剖面图。
图13是表示作为具备由本发明的实施方式制造的显示装置的电子机器的一例的移动电话机的立体图。
图14是表示作为电子机器的另一例的个人计算机的立体图。
图中：
10-液滴喷出装置，          11-喷墨头，
70-喷嘴面，                79A～79F-喷嘴列
81-喷嘴，                  200-控制部，
390-给用户的放置时间通知机构，
600-非喷出喷嘴检测部，     700-选择机构，
1751-帽盖，                1753-吸引泵
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的优选的实施方式。
图1是表示本发明的液滴喷出装置的优选的实施方式的平面图。图1所示的液滴喷出装置10例如可以作为描绘系统使用。该描绘系统可以组装在作为平板显示器的一种的例如有机EL(电致发光)装置的制造生产线上。该液滴喷出装置10可以形成成为有机EL装置的各像素的发光元件。
液滴喷出装置10例如可以作为喷墨式描绘装置使用。液滴喷出装置10可以用于例如以液滴喷出法(喷墨法)形成有机EL装置的发光元件。液滴喷出装置10的喷墨头(也称为功能液滴喷出头)可以形成有机EL元件的发光元件。具体地说，在有机EL元件的制造工序中，经过贮格围堰部形成工序和等离子体处理工序，使导入发光功能材料的喷墨头对形成贮格围堰部的基板(工件的一例)相对地扫描，藉此，液滴喷出装置10与基板的像素电极的位置相对应而形成空穴注入/输送层和发光层的成膜部。
通过准备例如2台液滴喷出装置10，第1台液滴喷出装置10可以形成空穴注入/输送层，另一台液滴喷出装置10可以形成R(红)、G(绿)、B(蓝)的3色发光层。
图1的液滴喷出装置10收容在室12中。室12具有另一个室13。在该室13中收容工件搬出搬入台14。工件搬出搬入台14是用于将工件W搬入室12内或者将处理后的工件W从室12内的台30上搬出的台。
在图1所示的室12中收容可以进行喷墨头11维护的维护部15。另外，在室12的外侧具备回收部16。
维护部15具有吸引机构1750、摩擦接触单元500、非喷出喷嘴检测部600或者重量检测单元(未图示)等。
吸引机构1750用于从喷墨头11的喷嘴面吸引液滴和气泡。摩擦接触单元500的摩擦接触片可以擦拭附着在喷嘴面上的污物。非喷出喷嘴检测部600可以检查从喷墨头11喷出的液滴的喷出状态。重量测定单元可以测定从喷墨头11喷出的液滴的重量。
回收部16具有例如回收液滴的液滴回收系统和供给摩擦接触后所用的洗涤用溶剂的洗涤液供给系统。
室12和室13被一个一个地进行空气管理，使室12和室13中的气氛不发生变动。之所以这样使用室12和室13是由于例如在制造有机EL元件的情况下为了忌讳大气中的水分等而可以排除大气的影响。向室12和室13中连续地导入干燥空气并进行排气，就可以维持干燥空气的气氛。
以下说明图1所示的室12内的构成要素。
在室12中收容有车架20、喷墨头11、喷墨承载器19、液体贮存部300、第1操作部21、第2操作部22、台30、导向基台17。
图1的车架20沿X轴方向水平地设置。导向基台17沿Y轴方向设置。车架20在导向基台17的上方。X轴与第1移动轴相当，Y轴与第2移动轴相当。X轴与Y轴垂直，也相对于Z轴垂直。Z轴是图1中纸面垂直方向。
第1操作部21使喷墨承载器19和喷墨头11沿车架20在X轴方向上直线往返移动和决定位置。
第2操作部22具有台30。该台30还可以可装卸地搭载图1所示的工件W。该第2操作部22的台30在由喷墨头11将液滴赋予工件W时保持工件W。而且第2操作部22可以使工件W沿Y轴方向在导向基台17上直线移动并决定位置。
第1操作部21，具有用于使喷墨头11在X轴方向直线移动并决定位置的马达21A。该马达21A例如通过使用送进螺旋可以使该喷墨头11在X轴方向直线移动。马达21A既可以是这样的旋转型电动马达，也可以是线性马达。
第2操作部22的马达22A可以使台30沿导向基台17在Y轴方向上直线移动并决定位置。马达22A例如可以使用旋转送进螺旋的旋转型电动马达。作为马达22A也可以使用除旋转型马达以外的线性马达。
第2操作部22的台30具有搭载面30A，该搭载面30A是与图1的Z轴方向垂直的面。搭载面30A具有吸附部30B。该吸附部30B可以由真空吸附而吸附工件W。藉此，工件W可以相对于搭载面30A不偏移而确实地可装卸地固定。
以下，参照图2和图3说明喷墨承载器19和喷墨头11的结构例。
图2是表示喷墨承载器19和喷墨头11周围的形状例的立体图，图3是表示从图2的E方向看的主视图的例。
喷墨承载器19可以通过图1所示的马达21A在X轴方向移动并决定位置。喷墨承载器19使用夹持器61可装卸地保持喷墨头11。马达62的输出轴与送进螺旋1821连接的。送进螺旋1821与轴1823的螺母1822啮合的。
图2所示的马达62动作时，送进螺旋1821旋转，螺母1822、轴1823、喷墨头夹持器61和喷墨头11的单元沿Z轴方向可上下移动并决定位置。通过另一个马达63动作，喷墨头11以U轴作为中心在θ方向可旋转。
如图2和图3所示，喷墨头11具有喷嘴板64。喷嘴板64的下面是喷嘴面70。该喷嘴面70具有多个喷嘴的喷嘴开口65。喷墨头11借助于管连接于液体贮存部300。液体贮存部300也称为功能液贮藏部。液体是用于形成有机EL元件的空穴注入/输送层和发光层的成膜部的功能液的一例。液体贮存部300内的液体可以通过例如压电振动器的动作以喷墨式从喷嘴开口65喷出。图3所示的马达62、63由控制部200控制动作。
图4表示了图2和图3所示的喷墨头11的喷嘴面70的形状的例。喷嘴面70具有从79A至79F的多个喷嘴列。各喷嘴列79A至79F在Y轴方向上平行地形成。各喷嘴列79A至79F具有多个喷嘴81。而且喷嘴列79A至79F与X轴方向有关而以规定的间隔排列着。
各喷嘴列79A至79F具有多个喷嘴81。喷嘴列的数量在图4的例中图示了6列，但是不限于此，无须说，也可以是2列或其以上的数量的喷嘴列。
如图4所示，为了检测喷嘴81内孔堵塞的非喷出喷嘴而设有非喷出喷嘴检测部600。该非喷出喷嘴检测部600也可以称为非动作喷嘴检测部或者不喷出喷嘴检测部。
非喷出喷嘴检测部600具有发光部601和受光部602。发光部601例如可以采用激光发光部。发光部601发生的光L由受光部602受光。液滴由喷嘴81喷出时，由于遮挡光L的光路，所以此时受光部602暂时中断光L的受光。因此，只要由喷嘴81可以正常地喷出液滴，在受光部602光L就会被暂时遮光，因而控制部200就可以判断为该喷嘴没有孔堵塞。
另一方面，在喷嘴81的驱动期间内，光L完全不被遮光时，控制部200可以判断为该喷嘴81孔堵塞。另外，一滴的液滴时，由于有时不能充分可靠地检测出光L是否被遮挡，所以在1个喷嘴81中优选可以喷出数滴液滴。
对图4中的喷嘴列79A的各喷嘴81完成了孔堵塞的检查后，在X轴方向上少量移动喷墨头11，可以对下一个喷嘴列79B的喷嘴81进行非喷出喷嘴的检查。
这样，通过非喷出喷嘴检测部600检测飞行中的液滴，就可以检查各喷嘴列79A至79F的各喷嘴81的孔堵塞的有无(即漏点的有无)。
图4所示的喷嘴列79A至79F也可以是可以喷出分别不同种类的液滴的结构，无须说，也可以是相邻的2个或其以上的喷嘴列喷出相同种类的液滴的构成。
以下参照图5说明本发明的液滴喷出装置的各构成要素的电的连接例。
图5所示的控制部200相对于主计算机1800借助于通信接口1801连接。通信接口1801与存储器1802连接。存储器1802具有数据区域1803和信息存储部1810。
控制部200具有清洗控制部201。该清洗控制部201具有罩盖控制部202和冲洗控制部203。
控制部200与选择机构700、非喷出喷嘴检测部600、放置时间通知机构390、帽盖操作用马达301、吸引泵的马达302、X轴用马达21A、Y轴用马达22A、吸附部30B、马达62、63、转换部400的转换信号生成部401和驱动信号生成部403电接通。
图5所示的马达21A、22A、吸附部30B、马达62、63图示于图1中。图5所示的驱动信号生成部403，根据由控制部200的信号向转换部400的多个开关电路410供给适宜的信号。各开关电路410分别相对于压电元件(也称为压电振动器)420连接。根据由控制部200赋予的信号，转换信号生成部401控制开关电路410，藉此，将驱动信号供给所必要的压电元件420。
喷墨头11具有这些压电元件420，各压电元件420与图4所示的各喷嘴列的各自的喷嘴81相对应而设置。压电元件420被驱动时，由其的伸长收缩可以从喷嘴81中喷出液滴。
图5所示的帽盖操作用马达301和吸引泵的马达302示于图6。
图6表示吸引机构1750的结构例。吸引机构1750可以通过密封喷墨头11的喷嘴面70并进行吸引，进行喷墨头内的喷嘴的清洗。吸引机构1750具有帽盖1751、吸收材料1752、吸引泵1753、废液罐1754和马达301、302。马达301是用于使帽盖在Z1方向上升、在Z2方向下降的帽盖操作用马达。马达302是用于使吸引泵1753动作的马达。
帽盖1751是收容吸收材料1752的构件。通过帽盖1751的上端部1760相对于喷嘴面70进行密接，如图6(B)所示，可以密封喷嘴面70。
吸收材料1752被收容在帽盖1751内，可以吸收液滴，例如是多孔质材料。帽盖1751的底部由吸引管1761相对于吸引泵1753连接的。
因此，吸引泵1753由马达302的动作而动作时，在图6(B)的状态下的密封状态下，由喷嘴面70的喷嘴81的液体和空气的泡或者液体的孔堵塞物可以被吸收材料1752侧吸引。也就是说，吸引泵1753通过使帽盖1751内形成负压，可以强制地吸引喷嘴81侧的液体而使喷嘴81进行清洗。吸引的液体借助于吸引泵1753排出到废液罐1754侧。
帽盖操作用马达301动作时，可以从图6(A)所示的帽盖1751待机的状态转变成图6(B)所示的帽盖1751吸引的状态，而且可以再次转变为图6(C)所示的待机的状态。
图6(D)所示的是代替吸引机构1750所用的摩擦接触片1850。该摩擦接触片1850也称为清扫构件或者擦拭构件。如图6(A)至图6(C)所示那样吸引喷嘴面70后，摩擦接触片1850擦拭喷嘴面70的液滴，进行清洗。该情况下，通过喷墨头11沿X轴方向的X1方向相对于摩擦接触片1850相对地水平移动，喷嘴面70可以由摩擦接触片1850擦拭。摩擦接触片1850由可弹性变形的例如橡胶和弹性物等制作。
图6(A)至图6(D)所示的是喷嘴面70的清洗顺序。图5的清洗控制部201的罩盖控制部202可以控制上述的帽盖操作用的马达301和马达302的动作。
以下，图7表示图5所示的给用户的放置通知机构390的例。
在图7(A)中，给用户的放置通知机构390是液晶显示装置(LCD)的例，在图7(B)中，给用户的放置通知机构390是LED(发光二极管)显示部的例。
图7所示的给用户的放置通知机构390是用于将图8所示的向帽盖1751内喷出液滴(冲洗)、罩盖放置的状态的放置时间通知给用户的装置。
首先说明图8所示的罩盖放置状态。
在图6所示的帽盖1751相对于喷嘴面70密接而密封的状态下，帽盖1751密封各喷嘴列的喷嘴81。在该状态下，冲洗控制部203借助于图5所示的转换部400使各压电元件420动作，进行由各喷嘴81的液体的冲洗(液体喷出)。
藉此，液体被吸收材料1752内吸收。由吸收材料1752吸收的液体使帽盖1751内和喷嘴面70成为保湿的状态。这就是冲洗、罩盖放置的状态。
这样罩盖放置的时间可以由图7所示的给用户的放置通知机构390向用户显示。在图7(A)的例中，使用液晶显示装置370。液晶显示装置370的画面显示了用于通知用户的说明371。作为该说明371的例，例如是“罩盖时间(放置时间)需要是6小时。就这样断开电源，经过6小时后可再使用液滴喷出装置。”的内容。
与此相对，在图7(B)的给用户的放置通知机构390的例中，使用LED显示部380。该LED显示部380例如使用液体终端(表示液体的存储量是零)用的LED。作为给用户的通知381，例如可以使如图7(C)所示的墨水终端用LED383在例如闪光6次后，例如间隔2秒，再闪光6次。
通过使用这样的给用户的放置通知机构390可以给予用户视觉的确实地罩盖时间(放置时间)的通知。
图9是表示可以由本发明的液滴喷出装置的优选的实施方式实施的液滴喷出方法的一例的流程图。
图10表示了在进行图9液滴喷出方法的情况下，与液体的非喷出喷嘴的比例相对应进行的清洗程序的实施的必要性的有无、帽盖内的冲洗(FL)数和罩盖时间(放置时间)的例。
图10所示的表，具有表格A和表格B。表格A表示相对于液体的非喷出喷嘴的比例N的清洗程序的实施的必要性的有无。表格B表示相对于液体的非喷出喷嘴的比例N的帽盖内的冲洗(液滴喷出)数和罩盖时间的例。
这样的表格A、表格B存储在图5的存储器1802的信息存储部1810中。图10所示的罩盖时间(TC)可以区分为模式1、模式2和模式3的3种。其区别是，模式1中直至液体喷出操作前的罩盖时间TC是0或其以上、不足1个月，模式2中罩盖时间TC是1个月或其以上、不足4个月，模式3中罩盖时间TC是4个月或其以上。
在模式1中，根据不考虑非喷出喷嘴的比例N那样进行清洗程序的实施，并且也不考虑帽盖内的冲洗数和罩盖时间(放置时间)。
在模式2中，区分为非喷出喷嘴的比例N在5％或其以下的情况下和超过5％的情况下。非喷出喷嘴的比例N在5％或其以下的情况下，进行清洗程序，但不考虑帽盖内的冲洗数和罩盖时间(放置时间)。
非喷出喷嘴的比例N超过5％的情况下，不进行清洗程序，但帽盖内的冲洗数是100段，罩盖时间(放置时间)设定为6小时。
在模式3中，非喷出喷嘴的比例N在5％或其以下的情况下，进行清洗程序，但不考虑帽盖内的冲洗数和罩盖时间(放置时间)。非喷出喷嘴的比例N超过5％而在10％或其以下时，不进行清洗程序，但帽盖内的冲洗数是200段，罩盖时间(放置时间)设定为12小时。非喷出喷嘴的比例N超过10％时，不进行清洗程序，但帽盖内的冲洗数是400段，罩盖时间(放置时间)设定为24小时。
这里，非喷出喷嘴的比例N是指相对于1列的喷嘴列中的喷出用的喷嘴数的孔堵塞的喷嘴的比例。另外，冲洗数的段(segment)表示液滴的喷出次数的总数。
以下边参照图9边说明液滴喷出方法的优选的实施方式。
在图9中，在步骤ST1中，在由图5的控制部200的非喷出喷嘴检测部600侧具有非喷出喷嘴的检测指示的情况下，移至步骤ST2。在步骤ST2中，图5和图4所示的非喷出喷嘴检测部600进行从喷嘴列的多个喷嘴中的非喷出喷嘴的检测。
在图9的步骤ST3中，控制部200判断是否具有非喷出喷嘴，无非喷出喷嘴的情况下，在步骤ST4中，控制部200对喷墨头进行通常的喷出动作。而且在步骤ST5中，将该情况下的直至液滴喷出操作前的罩盖时间TC取为0。藉此，该操作结束。
与此相反，在图9的步骤ST3中，非喷出喷嘴检测部600检测出非喷出喷嘴时，移至步骤ST6。
在步骤ST6中，图5的控制部200根据由图4的受光部602的受光信号决定非喷出喷嘴的比例N。
在步骤ST7中，控制部200根据直至液滴喷出操作前的罩盖时间TC和非喷出喷嘴的比例N判定是图10所示的模式1、模式2和模式3中的哪一种。
在步骤ST8中，首先选择图10所示的表格A的处理，在步骤ST9中，控制部200判断是否实施清洗程序CL。在步骤ST9中，如图6所示那样实施清洗程序CL的情况下，移至步骤ST12，由步骤ST12进行步骤ST5并结束。
在清洗程序CL中，如图6(A)至图6(C)所示，帽盖1751相对于喷嘴面70密接，密封喷嘴面70的各喷嘴81。在该状态下，吸引泵1753动作时，帽盖1751内成为负压，藉此，来自各喷嘴81的液体和空气的泡通过吸引管1761和吸引泵1753被送到废液罐1754侧。
然后，如图6(C)所示，停止吸引泵1753，帽盖1751在Z2方向下降，成为待机状态。然后，如图6(D)所示，摩擦接触片1850擦拭喷嘴面70。
在图9的步骤ST9中，作为实施清洗程序CL的情况是图10的模式1的情况及模式2和模式3的非喷出喷嘴的比例N在5％或其以下的情况。
在图9的步骤ST9中，不实施清洗程序CL的情况下，判断是否设定步骤ST10的罩盖时间(放置时间)。不那样的情况下，由步骤ST11实行清洗程序，从步骤ST2实行步骤ST5而结束。
在步骤ST10中，在图10所示的模式2的非喷出喷嘴的比例N超过5％的情况、模式3中的非喷出喷嘴的比例N超过5％而在10％或其以下的情况和超过10％的情况下，控制部200根据表格B分别设定罩盖时间(放置时间)。
由此，在步骤ST12中，控制部200根据表格B在冲洗(液滴喷出)的实施和步骤ST13中进行罩盖时间(放置时间)的设定。
例如在模式2中，非喷出喷嘴的比例N超过5％的情况下，帽盖内的冲洗数是100段，罩盖时间(放置时间)是6小时。
另外，在模式3中，非喷出喷嘴的比例N超过5％而在10％或其以下的情况下，帽盖内的冲洗数是200段，罩盖时间(放置时间)是12小时。非喷出喷嘴的比例N超过10％时，帽盖内的冲洗数是400段，罩盖时间(放置时间)是24小时。
这样，非喷出喷嘴的比例N增加时，帽盖内的冲洗数的喷出单位增加，伴随之罩盖时间也延长。
在图9的步骤ST14中，将罩盖时间(放置时间)通知用户。该给用户的通知可以由图7(A)和图7(B)所示的给用户的放置通知机构的两种或者任一种进行。图7(A)的给用户的放置通知机构390在液晶显示装置370的画面上显示说明371。例如在罩盖时间(放置时间)是6小时的情况下，可以是图7(A)所示那样的显示。
在图7(B)的情况下，在罩盖时间需要是6小时的情况下，使如图7(C)所示的LED383闪光6次后，间隔2秒，再闪光6次。这样，无论使用图7(A)和图7(B)的哪一种的给用户的放置通知机构390，都可以对用户可靠地进行罩盖时间(放置时间)的通知381。例如经过6小时后，液滴喷出装置可再次进行液滴喷出操作，可以再使用。
在图7(B)中，LED383的各闪光间隔例如可以是0.5秒间隔。在图7的例中，例如经过6小时后罩盖时间(放置时间)结束，可成为可以再次喷出液滴的喷出开始。
图7中的显示例是罩盖时间是6小时的情况，但是即使是12小时或者24小时，给用户的放置通知机构390也可以用同样的方法显示。
返回图9，在步骤ST15中，液滴喷出装置的电源断开。再根据必要通过从步骤ST1经过步骤ST5，非喷出喷嘴由保湿作用可以使孔堵塞复原。其后可以从步骤ST1经过步骤ST5进行通常的喷出动作。
本发明的液滴喷出装置的实施方式可以用于制造电光学装置(器件)。作为这样的电光学装置(器件)是液晶显示装置、有机EL(electro-luminescence电致发光)装置、电子发射装置、PDP(plasma display panel等离子显示)装置和电泳显示装置。另外，电子发射装置是包含所谓FED(field emission display场发射显示器)装置的概念。另外，作为电光学装置是包含金属配线形成、透镜形成、保护膜形成和光漫射(扩散)体形成等的各种装置。在制造滤色片(CF)和液晶显示装置的情况下也进行液晶喷出。
图11表示将本发明的液滴喷出装置作为描绘装置使用、用于作为平板显示器的一种的有机EL装置的制造的情况下的有机EL装置的结构例。有机EL装置701相对于由基板711、电路元件部721、像素电极731、贮格围堰部741、发光元件751、阴极761(对向电极)和密封用基板771构成的有机EL元件702与挠性基板(图示省略)的配线和驱动IC(图示省略)连接。
在有机EL元件702的基板711上形成电路元件部721，在电路元件部721上排列多个像素电极731。而且在各像素电极731之间使贮格围堰部741形成格子状，在由贮格围堰部741形成的凹部开口744内形成发光元件751。在贮格围堰部741和发光元件751的上部的全面上形成阴极761，在阴极761的上方层叠密封用基板771。
有机EL元件702的制造过程具备：形成贮格围堰部741的贮格围堰部形成工序；用于恰当地形成发光元件751的等离子体处理工序；形成发光元件751的发光元件形成工序；形成阴极761的对向电极形成工序；在阴极761上层叠密封用基板771而密封的密封工序。
也就是说，在预先形成电路元件部721和像素电极731的基板711(工件W)的规定位置上形成贮格围堰部741后，顺序进行等离子体处理、发光元件751和阴极761(对向电极)的形成，再在阴极761上层叠密封用基板771而密封，藉此，制造有机EL元件702。另外，由于有机EL元件702受到大气中的水分等的影响容易劣化，所以有机EL元件702的制造优选在干燥空气或者惰性气体(氮气、氩气、氦气)的气氛下进行。
另外，各发光元件751由空穴注入/输送层752和由R(红)·G(绿)·B(蓝)的任一种色着色的发光层753构成的成膜部构成的，发光元件形成工序包括形成空穴注入/输送层752的空穴注入/输送层形成工序，和形成3种色的发光层753的发光层形成工序。
有机EL装置701，通过在制造有机EL元件702后，使挠性基板的配线与有机EL元件702的阴极761连接，同时使电路元件部721的配线与驱动IC连接而制造。
以下对将本发明的实施方式的液滴喷出装置适用于液晶显示装置的制造中的情况下进行说明。
图12表示液晶显示装置801的剖面结构。液晶显示装置801由滤色片802、对向基板803、封入滤色片802和对向基板803之间的液晶组合物804、背照光(图示省略)构成。在对向基板803的内侧的面上，使像素电极805和TFT(薄膜晶体管)元件(图示省略)形成矩阵状。在与像素电极805对向的位置上排列滤色片802的红、绿、蓝的着色层813。在滤色片802和对向基板803的各自的内侧面上形成以一定方向排列液晶分子的取向膜806，在滤色片802和对向基板803的各自的外侧面上粘接有偏光片807。
滤色片802备有透光性的透明基板811、在透明基板811上矩阵状排列的多个像素(滤波元件)812、在像素812上形成的着色层813、隔开各像素812的遮光性隔壁814。在着色层813和隔壁814的上面形成有外敷层815和电极层816。
说明液晶显示装置801的制造方法时，先在透明基板811上作入隔壁814后，在像素812部分形成R(红)·G(绿)·B(蓝)的着色层813。而且旋转涂布透明的丙烯酸树脂涂料，形成外敷层815，再形成由ITO(氧化铟锡)构成的电极层816，制成滤色片802。
在对向基板803上作入像素电极805和TFT元件。然后，在制成的滤色片802和像素电极805形成的对向电极803上进行取向膜806的涂布后，将其粘合。而且在滤色片802和对向基板803之间封入液晶组合物后，层压偏光片807和背照光。
本发明的液滴喷出装置的实施方式可以用于上述滤色片的滤波元件(R(红)·G(绿)·B(蓝)的着色层813)的形成。另外，通过使用与像素电极805对应的液体材料，也可以用于像素电极805的形成。
另外，作为其它电光学装置是除了金属配线形成、透镜形成、保护膜形成和光漫射体形成等以外还包括预制备形成的装置。通过将上述的液滴喷出装置用于各种电光学装置(器件)的制造中，可以有效地制造各种电光学装置。
本发明的电子机器搭载上述电光学装置。该情况下，作为电子机器除了搭载所谓平板显示器的移动电话机、个人计算机以外，各种电器制品与其相当。
图13表示作为电子机器的一例的移动电话机1000的形状的例。移动电话机1000具有主体部1001和显示部1002。显示部1002使用作为上述那样的电光学装置的例如有机EL装置701和液晶显示装置801。
图14表示作为电子机器的另一例的个人计算机1100。个人计算机1100具有主体部1101和显示部1102。显示部1102可以使用作为上述那样的电光学装置的一例的有机EL装置701和液晶显示装置801。
在本发明的液滴喷出装置和液滴喷出方法的实施方式中，具有用于稳定而正确地喷出微小的液滴的喷墨头。为了抑制该喷墨头的喷嘴的孔堵塞，在液滴喷出动作前用所谓漏点检测(非喷出喷嘴的检测)可以检测出孔堵塞的喷嘴。
而且，该孔堵塞的喷嘴数超过某一定喷嘴数的情况下，如图8所示，以由帽盖1751密封喷嘴面70的状态，使对于帽盖1751内的由喷嘴81的液滴的冲洗数(液滴喷出数)比原来增加。即，例如在图10中的模式2中非喷出喷嘴的比例N超过5％的情况下，或模式3中非喷出喷嘴的比例N超过5％而在10％或其以下的情况，和超过10％的情况下，可以分别增罩盖内的冲洗数的喷出单位。而且，如图8所示，帽盖1751密封喷嘴面70的密封状态的放置时间(罩盖时间)由非喷出喷嘴的比例N的增加也增加。
由此，通过帽盖1751内的吸收材料1752内吸收液体，提高了帽盖1751内的保湿性。通过帽盖1751内的保湿性提高而使喷嘴面70保湿，从而可以使孔堵塞的喷嘴81的孔堵塞状态确实地复原。
使用以往进行的仅由清洗动作的吸引使喷嘴的孔堵塞复原的方法时，要反复进行直至孔堵塞消除，由清洗动作反复吸引，白白地排出许多液体。
可是，在本发明的实施方式中，由于非喷出喷嘴的比例N超过某一定值时可以如图8所示那样进行冲洗、罩盖放置，所以与反复进行由帽盖吸引进行清洗相比可以大幅度地削减被废弃的液体的量。因此，高价的喷出液体可以更有效地充分用于电光学装置等的制造中。
在图9的步骤ST10中，用户有意图地不设定罩盖时间(放置时间)，就可以不是以图10所示的表格B而是根据表格A如图9所示的步骤ST11那样实行清洗程序。
也就是说，可以自由地选择采用由图8那样进行冲洗、罩盖放置的喷嘴的孔堵塞的复原方式或者使用图6所示那样的清洗程序而使喷嘴的孔堵塞复原。
以这样的进行冲洗后罩盖状态放置的动作，和图6所示的由清洗程序的使孔堵塞复原的动作，可以通过用户按动图5所示的选择机构700来选择。因此其优点在于，在与非喷出喷嘴的比例N的值无关而进行液滴喷出动作的情况下，用户可以根据选择进行清洗程序CL，而不选择罩盖放置就优先进行液滴喷出动作。
预先使图10所示的罩盖时间(放置时间)的非喷出喷嘴的比例(所谓漏点的比例)N、具有图4所示的非喷出喷嘴的喷嘴列、与该喷嘴列对应的液体种类、罩盖时间(月)、冲洗数进行表格化而装入图9所示的程序中，就可以使喷嘴的孔堵塞的检测和复原自动化，同时可以确实地通知用户可以再次开始喷出的可喷出开始时间。
这里，在上述的实施方式中，表示了相对于电光学装置的工件喷出液滴的例。
但是，不限于此，例如即使在相对于工件使用多种液体印刷的情况下也可以使用本发明的液滴喷出装置。对本发明的液滴喷出装置的实施方式例如相对于工件或者作为目标的印刷对象喷出多种液体的情况下进行了说明。
在以往进行的喷墨头的孔堵塞等、即喷墨头的非喷出喷嘴的数量多的情况下，无论怎样实施清洗程序，有时也不能消除喷嘴的孔堵塞。这是由于在喷嘴的开口处因液体的增粘状态加重而液体固化的情况下，该固化波及喷墨头的内腔内。另外，在喷墨头是例如具有用于喷出4色液体的4个喷嘴列的结构的情况下，用1个帽盖同时吸引4个喷嘴列的孔堵塞的复原性全部色是同等的情况下，由各列以相同的吸引力吸引，不会发生问题。但是4色中例如只有洋红(M)的复原性差，从其它3色的黑(BK)、青绿(C)、黄(Y)的喷嘴开口分别可以吸引液体，而从与洋红对应的喷嘴开口就不能够吸引液体。为了使该洋红的喷嘴开口的孔堵塞复原，就需要使4色的喷嘴列同时进行若干次清洗处理。
即使是这样的情况下，通过用本发明的实施方式，帽盖内具有保湿性，以该状态仅使喷墨头放置罩盖时间，其方法就有效。
用本发明的实施方式，由于即使非喷出喷嘴的比例大，也完全不反复进行清洗程序，由于可以削减喷出液体的浪费，所以可以谋求墨水这样的高价液体的使用量的削减而节省资源。
通过反复进行清洗使喷墨头的喷嘴的喷出不良复原的操作可以少，从而可以防止喷墨头的喷嘴面的疏水性的劣化，可以防止摩擦接触构件的磨损，可以延长吸引泵的长寿命。
即使液体的种类和墨水的色种变化，也可以可靠地进行喷嘴的孔堵塞的复原处理，可以削减废弃的液体量。
本发明对上述实施方式不作限定，在不脱离权利要求范围的范围内可以进行各种变更。另外，上述的各实施方式也可以相互组合而构成。

Claims (9)

1.一种液滴喷出装置，是用于将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置，其特征在于，具备：
具有喷出供给的液体的上述液滴的多个喷嘴的喷墨头；
用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的吸引机构；和
孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时由上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置、使上述喷嘴面保湿的控制部。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，上述孔堵塞的上述喷嘴数在预定数或其以下时，上述控制部对上述吸引机构进行密封上述喷墨头的喷嘴面并进行吸引的吸引动作。
3.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，具有用于选择上述吸引动作和以密封上述喷嘴面的状态放置并保湿的动作的选择机构。
4.根据权利要求1～3的任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，具有用于通知以密封上述喷嘴面的状态放置并保湿的时间的放置时间通知机构。
5.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，具有检测上述孔堵塞的上述喷嘴并通知上述控制部的非喷出喷嘴检测部。
6.一种液滴喷出方法，是由喷墨头将液滴喷出到工件上的液滴喷出方法，其特征在于，
上述喷墨头的喷嘴面中的喷嘴孔堵塞的情况下，孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时，由用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置，使上述喷嘴面保湿。
7.一种电光学装置的制造方法，是用由喷墨头将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置进行电光学装置的制造的电光学装置的制造方法，其特征在于，
以如下方法制造：上述喷墨头的喷嘴面中的喷嘴孔堵塞的情况下，孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时，由用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置，使上述喷嘴面保湿，其后将上述液滴喷出到上述工件上。
8.一种电光学装置，是用由喷墨头将液滴喷出到工件上的液滴喷出装置制造的电光学装置，其特征在于，
以如下方法制造：上述喷墨头的喷嘴面中的喷嘴孔堵塞的情况下，孔堵塞的上述喷嘴数超过预定数时，由用于密封上述喷墨头的上述喷嘴面并进行吸引的上述吸引机构密封上述喷嘴面，从上述喷嘴向上述吸引机构进行上述液滴的喷出，以由上述吸引机构密封上述喷嘴面的状态放置，使上述喷嘴面保湿，其后将上述液滴喷出到上述工件上。
9.一种电子机器，其特征在于，搭载权利要求8所述的上述电光学装置。
CNA2005100673233A 2004-04-30 2005-04-15 液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置及其制造方法 Pending CN1693084A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004135939A JP2005313114A (ja) 2004-04-30 2004-04-30 液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2004135939 2004-04-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1693084A true CN1693084A (zh) 2005-11-09

Family

ID=35186617

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005100673233A Pending CN1693084A (zh) 2004-04-30 2005-04-15 液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置及其制造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7404614B2 (zh)
JP (1) JP2005313114A (zh)
KR (1) KR100753952B1 (zh)
CN (1) CN1693084A (zh)
TW (1) TWI257352B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106457820A (zh) * 2014-05-16 2017-02-22 株式会社御牧工程 喷嘴堵塞判定装置
CN107128085A (zh) * 2016-02-26 2017-09-05 精工爱普生株式会社 记录装置
CN108859436A (zh) * 2017-05-12 2018-11-23 佳能株式会社 打印装置

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4710580B2 (ja) * 2005-12-08 2011-06-29 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタ
JP4958533B2 (ja) * 2006-12-19 2012-06-20 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
JP4991508B2 (ja) * 2007-12-07 2012-08-01 シャープ株式会社 インクジェット記録装置、及びその吐出検出用光センサの位置調整方法
JP5130961B2 (ja) * 2008-03-06 2013-01-30 セイコーエプソン株式会社 インクジェットプリンタのヘッドクリーニング方法
JP2010055864A (ja) * 2008-08-27 2010-03-11 Sumitomo Chemical Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法
JP2010058451A (ja) * 2008-09-05 2010-03-18 Seiko Epson Corp 印刷装置、及び印刷方法
JP2010058453A (ja) * 2008-09-05 2010-03-18 Seiko Epson Corp 印刷装置、及び印刷方法
JP5340111B2 (ja) 2008-11-28 2013-11-13 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
KR101035986B1 (ko) * 2009-07-02 2011-05-23 세메스 주식회사 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치
JP5348508B2 (ja) * 2010-06-17 2013-11-20 ブラザー工業株式会社 インク吐出装置
JP5472143B2 (ja) * 2011-01-31 2014-04-16 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置及びプログラム
JP5888892B2 (ja) * 2011-07-23 2016-03-22 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置
KR20240018677A (ko) * 2012-11-30 2024-02-13 카티바, 인크. 산업용 프린팅 시스템의 유지 방법
JP7151349B2 (ja) * 2018-10-04 2022-10-12 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置の制御方法及び液体吐出装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2053215T3 (es) * 1990-02-13 1994-07-16 Canon Kk Aparato de impresion por chorros de tinta.
ATE174268T1 (de) * 1992-09-03 1998-12-15 Canon Kk Farbstrahlaufzeichnungsgerät
JP3484951B2 (ja) * 1996-11-28 2004-01-06 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録装置
MY125797A (en) * 1998-05-25 2006-08-30 Seiko Epson Corp Ink cartridge, ink-jet printing apparatus, and refilling device
US6224188B1 (en) * 1998-12-14 2001-05-01 Seiko Epson Corporation Ink-jet recording apparatus
JP3988373B2 (ja) 1999-09-29 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 ノズルクリーニング前のノズル検査
US6565185B1 (en) * 1999-09-29 2003-05-20 Seiko Epson Corporation Nozzle testing before and after nozzle cleaning
JP3487584B2 (ja) * 2000-05-02 2004-01-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置、および該装置における記録ヘッドの吐出状態を回復させる方法
JP2002264357A (ja) 2001-03-09 2002-09-18 Canon Inc インクジェットプリント装置および該装置用プリントヘッドの不吐出判定方法
JP2003089226A (ja) * 2001-09-19 2003-03-25 Seiko Epson Corp クリーニング制御装置、インクジェットプリンタ、インクジェットプリンタの制御方法及び情報記録媒体
JP4284903B2 (ja) * 2001-11-19 2009-06-24 セイコーエプソン株式会社 クリーニング装置、インクジェットプリンタ、コンピュータプログラム、コンピュータシステム、及び、クリーニング方法
JP2003275646A (ja) * 2002-03-19 2003-09-30 Seiko Epson Corp 吐出装置における機能液滴吐出ヘッドのクリーニングユニットおよびこれを備えた吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法
JP4013650B2 (ja) 2002-05-22 2007-11-28 セイコーエプソン株式会社 印刷装置
JP2004017542A (ja) * 2002-06-18 2004-01-22 Seiko Epson Corp 液体噴射装置
JP3979353B2 (ja) 2002-08-02 2007-09-19 セイコーエプソン株式会社 塗布方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106457820A (zh) * 2014-05-16 2017-02-22 株式会社御牧工程 喷嘴堵塞判定装置
CN107128085A (zh) * 2016-02-26 2017-09-05 精工爱普生株式会社 记录装置
CN108859436A (zh) * 2017-05-12 2018-11-23 佳能株式会社 打印装置
CN108859436B (zh) * 2017-05-12 2021-04-06 佳能株式会社 打印装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI257352B (en) 2006-07-01
TW200538299A (en) 2005-12-01
US7404614B2 (en) 2008-07-29
KR20060045648A (ko) 2006-05-17
KR100753952B1 (ko) 2007-08-31
US20050243122A1 (en) 2005-11-03
JP2005313114A (ja) 2005-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1693084A (zh) 液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置及其制造方法
CN1689817A (zh) 液滴喷出装置、喷头的喷出性能维持装置及性能维持方法
CN1745903A (zh) 液滴喷出装置、喷头的清洁方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
CN1229655C (zh) 滤色膜层及电光学装置
CN1217794C (zh) 液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置及电子仪器
CN1263606C (zh) 液滴喷出装置、电光装置及其制造方法、电子仪器
CN1277676C (zh) 绘图装置、其中的喷嘴的异常辨别方法以及电光学装置、电光学装置的制造方法和电子器械
CN1221389C (zh) 液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置和电子仪器
CN1535087A (zh) 显示装置、电子机器以及显示装置的制造方法
CN1762708A (zh) 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
CN1762707A (zh) 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
CN1236362C (zh) 材料去除方法、基体材料再生方法及显示器件制造方法
CN1966267A (zh) 喷出图案数据修正方法及装置、液滴喷出装置、电光学装置
CN1406390A (zh) 图像显示装置、其制造方法以及密封材料填充装置
CN1498685A (zh) 液状体喷出方法和液状体喷出装置、电子仪器
CN1807101A (zh) 功能液滴喷头的初期填充方法及其初期填充装置
CN1870250A (zh) 膜图案的形成法、有源矩阵基板、电光装置、电子仪器
CN1695945A (zh) 液滴喷吐装置、电光学装置、电子设备以及液滴喷吐方法
CN1263604C (zh) 功能液滴喷出头吸引方法及装置、光电装置及其制造方法
CN1575054A (zh) 薄膜图案的制造方法、有机场致发光元件的制造方法
CN1762705A (zh) 液滴喷出装置及其所适用的工件及电光学装置的制造方法
CN1498754A (zh) 检查装置及检查方法、液滴喷出装置及液滴喷出方法、装置及电子仪器
CN1636731A (zh) 封盖单元及其控制方法、液滴喷射装置及设备制造方法
CN1816254A (zh) 膜图案的形成法、器件及其制法、电光学装置和电子仪器
CN1785673A (zh) 液滴喷出装置及喷出方法、电光学装置及其制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20051109

C20 Patent right or utility model deemed to be abandoned or is abandoned