CN1263606C - 液滴喷出装置、电光装置及其制造方法、电子仪器 - Google Patents

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Abstract

本发明的液滴喷出装置(1)具有与基于移动台(111)的扫描同步喷出功能液的功能液滴喷出头(41)、向功能液滴喷出头(41)供给功能液的功能液供给部件(191)，功能液供给部件(191)具有：供给功能液的功能液容器(202)；用于配管连接的树脂制的连接管(203)；支撑连接管(203)，并且伴随着功能液滴喷出头(41)的扫描，使所述连接管(203)跟踪移动的柔性支撑部件(123)；设置在柔性支撑部件(123)上，与连接管(203)接触，使该连接管(203)与装置框架(10)构成接地连接的除电部件(6)。这样，通过把连接管接地，能去掉连接管中产生的静电。

Description

液滴喷出装置、电光装置及其制造方法、电子仪器
技术领域
本发明涉及把由树脂构成的，连接各部件的连接管，例如连接功能液滴喷出头和功能液容器的连接管接地的液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置、电子仪器。
背景技术
作为液滴喷出装置的一种，特开2000-141698公开了一种喷墨打印机，其具备：从喷嘴喷出墨滴的同时进行往复移动而进行印刷动作的印字喷头；覆盖所述印字喷头的金属制的保护部件；用于将墨水从墨水盒向所述印字喷头供给的墨水管；将所述保护部件和具有接地电位的接地基材进行电连接，且具有挠曲性而能保护墨水管的引导部件。
此外，作为液滴喷出装置的另一种，从以往知道的喷墨记录装置在能往返移动的滑架上配置喷出墨水的喷墨头，并且用墨水供给管(连接管)连接喷墨头和供给墨水的墨盒(墨水容器)(例如，参照特开2001-270133号公报、第2-3页，图2)。
这样的喷墨记录装置的喷墨头(功能液滴喷出头)能高精度地把微小的墨滴喷出为点状，所以被期望用于各种制品的制造领域中，希望能够向功能液滴喷出头导入作为功能液的各种液体材料。因此，为了在液滴喷出装置假定导入各种功能液，对从贮存功能液的功能液容器到功能液滴喷出头的功能液管道使用了具有耐腐蚀性的树脂制的连接管。
此外，在液滴喷出装置中设置有用于擦掉附着在功能液滴喷出头上的功能液的擦拭单元，从清洗液容器向擦拭单元供给清洗液。而且，考虑到按照功能液能使用多种多样的清洗液，所以对从功能液容器到擦拭单元的清洗液管道也与功能液管道同样使用具有耐腐蚀性的树脂制的连接管。
这样，在液滴喷出装置中，考虑功能液或清洗液的耐腐蚀性，用树脂制的连接管构成功能液管道和清洗液管道。可是，树脂制的连接管容易发生静电，当导入了使用引火点低的溶剂的功能液或清洗液时，静电有可能对装置造成不良影响。而且，当像伴随着功能液滴喷出头的扫描，连接管追随移动那样，成为连接管移动的结构时，特别是在连接管的移动部分容易发生静电，将进一步增加对装置造成不良影响的可能性。
发明内容
因此，本发明的目的在于：提供通过把连接管接地，去除由连接管产生的静电的液滴喷出装置、电光装置的制造方法、电光装置、电子仪器。
本发明是一种液滴喷出装置，具有被配置在移动台上的与该移动台进行的扫描同步地，向工件喷出功能液的功能液滴喷出头、和向功能液滴喷出头供给功能液的功能液供给部件，所述功能液供给部件具有：供给功能液的功能液容器；连接所述功能液滴喷出头和所述功能液容器的树脂制的连接管；所述液滴喷出装置的特征在于：所述功能液供给部件还具有：一端固定在所述移动台上，并且另一端固定在装置框架上，支撑所述连接管，并且伴随着所述功能液滴喷出头的扫描，使所述连接管追随移动的柔性支撑部件；被设置在柔性支撑部件上，通过与所述连接管接触，使该连接管与所述装置框架构成接地连接的除电部件。
此外，本发明是一种液滴喷出装置，具有功能液滴喷出头、通过相对所述功能液滴喷出头移动而擦拭该功能液滴喷出头的喷嘴面的擦拭单元、配置所述擦拭单元并且使所述擦拭单元相对功能液滴喷出头移动的移动台、向所述擦拭单元供给擦拭用清洗液的清洗液供给部件，清洗液供给部件具有：供给清洗液的清洗液容器；连接所述清洗液容器和所述擦拭单元的树脂制连接管；所述液滴喷出装置的特征在于：所述清洗液供给部件还具有：一端固定在所述移动台上，并且另一端固定在装置框架上，支撑所述连接管，并且伴随着所述擦拭单元的移动，使所述连接管追随移动的柔性支撑部件；被设置在柔性支撑部件上，通过与所述连接管接触，使该连接管与所述装置框架构成接地连接的除电部件。
根据这些结构，因为设置有为伴随着功能液滴喷出头的扫描或擦拭单元的移动而使连接管追随移动的柔性支撑部件除去静电的除电部件，所以能迅速除去发生的静电。即由柔性支撑部件支撑的部分的连接管由于追随移动，是最容易产生静电的部分，但是通过设置与该部分的连接管接触的除电部件，能高效除去产生的静电。此外，“柔性支撑部件设置除电部件”是指除了在柔性支撑部件另外设置导电性部件的情形，还包括用导电性部件(也包括混入了碳等导电性草料的树脂)构成柔性支撑部件自身时的情形。
这时，希望除电部件由配置在柔性支撑部件的连接管的支撑面上的除电薄板构成。
根据该结构，因为除电部件由除电薄板构成，所以，即使配置在柔性支撑部件上，也不会变为妨碍。此外，如果在柔性支撑部件的连接管的支撑面上配置除电薄板，则是除电薄板和连接管接触的结构，所以能容易去掉连接管的静电。此外，当连接管由多个构成时，只通过调整除电薄板的宽度，就能容易地使除电薄板与全部连接管接触，能去掉全部连接管的静电。
这时，希望跨柔性支撑部件的支撑面的全长设置除电薄板。
根据该结构，因为跨柔性支撑部件的支撑面的全长设置除电薄板，所以除电薄板跨通过柔性支撑部件而追随移动的连接管的全长接触。因此，除电薄板接触连接管最容易产生静电的部分全体，所以能防止在连接管中，静电局部残留。
这时，希望在除电薄板的与连接管的接触面上设置除电用的起毛。
根据该结构，设置在除电薄板的接触面上的除电用的起毛接触连接管，所以能增加除电薄板和连接管的接触面积，能更高效地去掉的静电。
这时，还希望具有：设置在连接管的除了支撑在柔性支撑部件上的部分的非可动部分上，把连接管接地连接在装置框架上的导电性接头。
根据该结构，连接管的非可动部分即不伴随着功能液滴喷出头的扫描而追随移动的部分的连接管通过接头接地连接在装置框架上，所以能去掉在连接管的非可动部分产生的静电。此外，作为导电性接头也包括用混入了碳等导电性材料的导电性树脂构成的接头。
这时，希望接头以规定的间隔设置在连接管的非可动部分上。
根据该结构，因为接头以规定的间隔设置在连接管的非可动部分上，所以能在各规定的间隔除掉连接管的非可动部分产生的静电，能把产生的静电的影响限制在最小限度。
这时，希望接头通过导电性的接头支撑零件接地连接在装置框架上。
根据该结构，因为连接管的非可动部分通过支撑接头的接头支撑零件接地连接在装置框架上，所以没必要另外设置特殊形状的接头、或用于把接头接地的部件，能省略设置部件的空间，并且能简化装置结构。
本发明的电光装置的制造方法的特征在于：使用所述液滴喷出装置，在工件上形成由从功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
此外，本发明的电光装置的特征在于：使用所述液滴喷出装置，在工件上形成了由从功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
根据这些结构，使用对工件能喷出多样化的功能液的液滴喷出装置进行制造，所以能高效制造电光装置。此外，作为电光装置(器件)，考虑到液晶显示装置、有机EL(Electro-Luminescence)装置、电子发射装置、PDP(Plasma Display Panel)装置和电泳显示装置。此外，电子发射装置是包括所谓的FED(Field Emission Display)装置的概念。作为电光装置，考虑到包括金属布线的形成、透镜的形成、保护膜的形成和光扩散体的形成等的装置。
本发明的电子仪器的特征在于：配置了所述电光装置。
这时，作为电子仪器，相当于配置了所谓的平板显示器的移动电话、个人电脑、其他各种电制品。
附图说明
图1是本实施例的功能液滴喷出装置的外观立体图。
图2是本实施例的功能液滴喷出装置的外观俯视图。
图3是本实施例的功能液滴喷出装置的外观右侧视图。
图4是头单元的俯视图。
图5A是功能液滴喷出头的外观立体图，图5B是把功能液滴喷出头安装在配管适配器上时的剖视图。
图6是吸引部件的外观立体图。
图7是擦拭单元的卷绕单元的外观立体图。
图8是擦拭单元的擦取单元的外观立体图。
图9A、B是支撑供液管的Y轴电缆支架周围的外观立体图(9A)和外观侧视图(9B)。
图10A、B是除电部件的接头单元的外观立体图(10A)和主视图(10B)。
图11是关于供液管周围的除电部件的模式图。
图12是关于回收用管周围的除电部件的模式图。
图13是表示液体供给回收部件周围的模式图。
图14是说明滤色器制造步骤的程序流程图。
图15A～15E是表示制造步骤中所示的滤色器的模式剖视图。
图16是表示使用了本发明的滤色器的液晶装置概略结构的主要部分剖视图。
图17是表示使用了本发明滤色器的第二例的液晶装置概略结构的主要部分剖视图。
图18是表示使用了本发明滤色器的第三例的液晶装置概略结构的主要部分剖视图。
图19是实施例2的显示装置的主要部分剖视图。
图20是说明有机EL装置的显示装置制造步骤的程序流程图。
图21是说明无机物隔岸层的形成的步骤图。
图22是说明有机物隔岸层的形成的步骤图。
图23是说明形成空穴注入/输送层的过程的步骤图。
图24是说明形成了空穴注入/输送层的状态的步骤图。
图25是说明形成蓝色发光层的过程的步骤图。
图26是说明形成了蓝色发光层的状态的步骤图。
图27是说明形成了各色发光层的状态的步骤图。
图28是说明阴极的形成的步骤图。
图29是等离子体型显示装置(PDP装置)的显示装置主要部分立体图。
图30是电子发射装置(FED装置)的显示装置主要部分立体图。
图31A、B是显示装置的电子发射部周围的俯视图(31A)和表示它的形成方法的俯视图(31B)。
图中：1-液滴喷出装置；2-喷出部件；3-维护部件；4-功能液供给回收部件；5-空气供给部件；6-除电部件；7-控制部件；10-装置框架；25-电缆支架；33-XY移动机构；41-功能液滴喷出头；57-喷嘴形成面；123-Y轴电缆支架；132-擦拭单元；202-供液容器；203-供液管；241-清洗液容器；242-清洗液供给管；271-除电薄板；281-接地接头；282-支架；283-接头固定部件；W-工件。
具体实施方式
下面，参照附图，说明本发明实施例。图1是应用了本发明的液滴喷出装置的外观立体图，图2是外观俯视图，图3是外观侧视图。后面将详细描述，但是该液滴喷出装置1把特殊的墨水和发光性的树脂液等功能液导入功能液滴喷出头41中，在基板等的工件W上形成由功能液滴构成的成膜部。
如图1～3所示，液滴喷出装置1具有：用于喷出功能液的喷出部件2；进行喷出部件2的维护的维护部件3；向喷出部件2供给功能液，并且回收不要的功能液的液体供给回收部件4；供给用于驱动和控制各部件的压缩空气的空气供给部件5。而且，这些部件通过控制部件7，被彼此关联控制。此外，在液滴喷出装置1中设置有用于除掉装置内产生的静电的除电部件6。此外，虽然未图示，但是还设置了识别工件W的位置的工件识别相机、进行喷出部件2的头单元31(后面描述)的位置确认的头识别相机、各种指示器等附带装置，它们也由控制部件7控制。
如图1所示，喷出部件2和维护部件3的冲洗部件133(后面描述)配置在由角材组成方形而构成的架台11上部上固定的石平台12上，液体供给回收部件4和空气供给部件5的大部分被组合在在架台11上设置的机台21上。在机台21上形成大小两个收容室26、27，在大的收容室26中收容有液体供给回收部件4的容器类，在小的收容室26中收容有空气供给部件5的主要部分。此外，在机台21上设置有放置后面描述的液体供给回收部件4的供液容器202的容器台22、及被支撑为在机台21的长度方向上能自由滑动的移动台23，在移动台23上固定着放置维护部件3的吸引部件131(后面描述)和擦拭单元132(后面描述)公共基台24。此外，在移动台23的旁边具有与移动台23平行配置的电缆支架(注册商标)25，收容着连接在吸引部件131或擦拭单元132上的电缆。此外，把像架台11或石平台12、机台21、容器台22那样用于放置和固定各部件的部件总称为装置框架10。
该液滴喷出装置1一边使维护部件3保养喷出部件2的功能液滴喷出头41，一边从液体供给回收部件4的供液容器202向功能液滴喷出头41供给功能液，并且从功能液滴喷出头41向工件W喷出功能液。下面说明各部件。
喷出部件2包括：具有多个喷出功能液的功能液滴喷出头41的头单元31；支撑头单元31的主滑架32；承载工件W，使工件W对功能液滴喷出头41扫描的XY移动机构33。
如图4和图5所示，头单元31由多个(12个)功能液滴喷出头41、配置多个功能液滴喷出头41的子滑架42、用于把功能液滴喷出头41安装在子滑架42上的头保持部件43构成。12个功能液滴喷出头41对于副扫描方向(Y轴方向)彼此位置错开配置，在副扫描方向中，各功能液滴喷出头41的喷出喷嘴58变为连续(一部分重复)。此外，当用专用零件构成功能液滴喷出头41，对工件W能确保功能液的充分的涂敷密度时，没必要倾斜设置功能液滴喷出头41。
如图5所示，功能液滴喷出头41是所谓的双联的，包括：具有双联的连接针52的功能液导入部51、连接在功能液导入部51上的双联的头基板53、连接在功能液导入部51的下方的头主体54。各连接针52通过配管适配器59连接在液体供给回收部件4的供液容器202上，功能液导入部51从各连接针52接收功能液的供给。头主体54具有形成了由双联的泵部55和多个喷出喷嘴58构成的2列喷出喷嘴列的喷嘴形成板56，在头主体54的内部形成用功能液充满的头内管道。而且，在功能液滴喷出头41中，通过泵部55的作用，从喷出喷嘴58喷出功能液滴。
如图4所示，子滑架42具有：一部分被切去的主体板71、设置在主体板71的长边方向中间位置上的左右一对基准销72、安装在主体板71的两长边部分上的左右一对支撑部件73。一对基准销72以图像识别为前提，成为用于在X轴、Y轴、θ轴方向把子滑架42定位(位置识别)的基准。支撑部件73成为把头单元31固定在主滑架32上时的固定部位。此外，在子滑架42上设置有用于配管连接各功能液滴喷出头41和供液容器202的配管接头74。配管接头74在一端连接来自与各功能液滴喷出头41(连接针52)连接的配管适配器59头一侧配管部件，在另一端具有用于连接来自供液容器202的装置一侧配管部件的12个管座75。
主滑架32由从下方固定在后面描述的桥板112上的外观“I”形的吊设部件91、安装在吊设部件91的下表面上的θ台、吊设在θ台的下方的滑架主体93构成(参照图3)。在滑架主体93上具有用于游动嵌入头单元31的方形开口，定位并固定头单元31。此外，在滑架主体93上配置有用于取入滑架移动轴的误差修正数据的工件识别相机。
XY移动机构33固定在所述石平板12上，使工件W主扫描(X方向)，并且通过主滑架32使头单元31副扫描(Y轴方向)。如图1所示，XY移动机构33具有：使轴线与沿着石平板12的长边的中心线的轴线一致，直接固定在石平板12上的X轴台101；通过固定在石平板12上的4根支柱13，跨X轴台101，使轴线与沿着石平板12的短边的中心线的轴线一致的Y轴台111。
如图1所示，X轴台101由通过空气吸引而吸附设定工件W的吸附台102、支撑吸附台102的θ台103、把θ台103支撑为在X轴方向自由滑动的气动滑块104、通过θ台103使吸附台102上的工件W在X轴方向移动的X轴线性电机(省略图示)、设置在气动滑块104上的X轴线性刻度105构成。通过X轴线性电机的驱动，吸附了基板W的吸附台102和θ台103在气动滑块104上引导，在X轴方向往返移动，进行功能液滴喷出头41的主扫描。
此外，位于与X轴线性刻度105平行，配置有X轴电缆支架121。在X轴电缆支架121中，收容着连接在所述空气供给部件5上并且通过吸附台102吸引工件W的真空管、用于配置在θ台103上的电缆或管子等，由盒122覆盖。
如图1～3所示，Y轴台111(移动台)具有：设置在所述4根支柱13上配置的承载板14上，吊设主滑架32的桥板112；以双柱并且在Y轴方向可自由滑动地支撑桥板112的一对Y轴滑道113；设置在Y轴滑道113上的Y轴线性刻度114；引导一对Y轴滑道113，使桥板112在Y轴方向移动的Y轴球状螺栓115；使Y轴球状螺栓115正反旋转的Y轴电机(省略图示)。Y轴电机由伺服电机构成，如果Y轴电机正反旋转，则通过Y轴球状螺栓115与它螺旋配合的桥板112在一对Y轴滑道113上引导，在Y轴方向移动。即伴随着桥板112的移动，主滑架32(头单元31)进行Y轴方向的往返移动，进行功能液滴喷出头41的副扫描。
此外，如同一图所示，在一对Y轴滑道113的两外侧，与Y轴滑道113平行配置，设置有收容在盒子124中的一对Y轴电缆支架123。各Y轴电缆支架123一端固定在Y轴台111的桥板上，另一端固定在承载板14上。在Y轴电缆支架123中主要收容着连接在头单元31(功能液滴喷出头41)上的电缆和管子，Y轴电缆支架123柔性保护这些电缆和管子，并且使它们跟随主滑架32(头单元31)的移动。此外，在图示跟前一侧的Y轴电缆支架123(柔性支撑部件)中收容着(支撑着)连接供液容器202和功能液滴喷出头41的供液管203。
这里，简单说明喷出部件2的一系列动作。首先，作为喷出功能液前的准备，进行了基于头识别相机的头单元31的位置修正后，通过工件识别相机，进行设置在吸附台102上的工件W的位置修正。通过XY移动机构33(X轴台)使工件W在主扫描方向往返移动，并且驱动多个功能液滴喷出头41，进行对工件W的功能液滴选择性喷出动作。然后，使工件W返回运动后，通过XY移动机构33(Y轴台111)使头单元31在副扫描方向移动，再度进行工件W向主扫描方向的往返移动和功能液滴喷出头41的驱动。此外，在本实施例中，对于头单元31，使工件W在主扫描方向移动，但是，也可以是使头单元31在主扫描方向移动的结构。此外，也可以是使头单元31固定，使工件W在主扫描方向和副扫描方向移动的结构。
下面，说明维护部件3。维护部件3保养功能液滴喷出头41，能使功能液滴喷出头41恰当喷出功能液，具有吸引部件131、擦拭单元132、冲洗部件133(参照图1)。
吸引部件131承载在所述机台21的公共基台24上，通过移动台23在机台21的长度方向即X轴方向自由滑动。吸引部件131通过吸引功能液滴喷出头41，用于保养功能液滴喷出头41，当向头单元31(的功能液滴喷出头41)进行功能液的填充时或进行用于除去在功能液滴喷出头41内粘度增加了的功能液的吸引(清理)时使用。
如图6所示，吸引部件131包括：具有紧贴在各功能液滴喷出头41上的12个帽142的帽部件141；通过紧贴的帽部件142进行功能液的吸引的功能液吸引泵143；连接各帽142和功能液吸引泵143的吸引用管144；支撑帽部件141的支撑部件145；通过支撑部件145使帽部件141升降，使帽142离开或接触功能液滴喷出头41的升降机构146。
擦拭单元132从后面描述的液体供给回收部件4的清洗液容器241接收清洗液，擦拭由于吸引动作，功能液附着、污染的各功能液滴喷出头41的喷嘴形成面57(喷嘴面)，与吸引部件131一起配置在公共基台24上。即成为通过移动台23的驱动，吸引部件131和擦拭单元132通过公共基台24在X轴方向移动的结构，用吸引部件131吸引头单元31的功能液滴喷出头41后，驱动移动台，使擦拭单元132来到头单元31，用擦拭单元132擦拭由于吸引而污染的功能液滴喷出头41的喷嘴形成面57。
如图1所示，擦拭单元132由面对面的状态配置的卷绕单元151和擦取单元152构成。如图7所示，卷绕单元151具有：单支承形式的框架161、可自由旋转地支撑在框架161上的上方输送卷轴162和下方卷绕卷轴163、使下方卷绕卷轴163旋转的卷绕电机164。此外，在框架161的上侧部固定着子框架165，在子框架165上，位于输送卷轴162的前方，以双支承支撑着速度检测辊166和中间辊167。此外，在它们的下方设置有接收清洗液(后面描述)的清洗液容器169。
如图12所示，在输送卷轴162中装填卷装的擦拭薄片168，从输送卷轴162输送的擦拭薄片168通过速度检测辊166和中间辊167数送给擦取单元152，经由后面描述的擦取辊173，卷绕到卷绕卷轴163中。
如图8所示，擦取单元152具有：左右一对支架171；支撑在一对支架171上的截面“U”字状的底座172；以双支承形式、可自由旋转地支撑在底座172上，由夹持辊构成的擦取辊173；与擦取辊173平行对峙的清洗液喷雾头174；使底座172升降的一对气缸175。
清洗液喷雾头174配置在擦取辊173的附近，向从中间辊167送来的擦拭薄片168喷射清洗液。因此，在清洗液喷雾头174的前面即擦取辊173一侧，配合擦拭薄片168的宽度，横排配置有多个清洗液喷雾头174。此外，在清洗液喷雾头174的背面设置有连接在清洗液容器241上的管连接用的多个连接器。此外，虽然省略了图示，但是在擦取单元152上也设置有用于接收从擦拭薄片168滴下的清洗液的清洗液盘。
这里，参照图12说明擦拭单元132的一系列擦拭动作。如果头单元31(功能液滴喷出头41)的吸引结束，移动台23就驱动，使擦拭单元132前进，充分接近头单元31。如果擦取辊173移动到功能液滴喷出头41的附近，就停止移动台23的驱动，驱动两气缸175，使擦取辊173上升，使擦取辊173接触(按压)功能液滴喷出头41。
然后，驱动卷绕电机164，在输送擦拭薄片168的同时，开始清洗液的喷雾，使清洗液浸泡擦拭薄片168。与此同时，驱动移动台，一边进行擦拭薄片168的输送，一边使擦取辊173前进，使擦拭薄片168在多个功能液滴喷出头41的下表面(喷嘴形成面57)滑动，进行擦拭。而且，如果擦拭动作结束，即如果擦取辊173通过了功能液滴喷出头41的下表面，就停止擦拭薄片168的输送，并且使擦取辊173下降，驱动移动台23，使擦拭单元132后退到原来的位置。
冲洗部件133用于接收通过液滴喷出时的多个(12个)功能液滴喷出头41的冲洗动作(预备喷出)而按顺序喷出的功能液。冲洗部件133具有：隔着X轴台101的吸附台102固定在θ台103上，接收喷出的功能液的一对冲洗盒181。冲洗盒181伴随着主扫描移动，所以不为了冲洗动作使头单元31移动。即冲洗盒181与工件W一起向头单元31移动，所以能从面临冲洗盒181的功能液滴喷出头41的喷出喷嘴58依次进行冲洗动作。此外，用冲洗盒181接收的功能液贮存在后面描述的废液容器251中。
冲洗动作从全部的功能液滴喷出头41的全部喷出喷嘴58喷出功能液，为了防止伴随着时间的经过，导入功能液滴喷出头41中的功能液由于干燥而粘度增加，在功能液滴喷出头41的喷出喷嘴58产生堵塞而定期进行的。冲洗动作不仅在功能液的喷出时，在工件W的更换时等暂时停止功能液的喷出时也有必要进行。这时，头单元31移动到吸引位置即吸引部件131的帽部件141的正上部后，各功能液滴喷出头41向对应的各帽142进行冲洗。
当对帽142进行冲洗时，帽部件141通过升降机构146上升到功能液滴喷出头41和帽142之间产生仅有的间隙的第二位置，由冲洗喷出的功能液的大部分由各帽142接收。可是，喷出的功能液的一部分变为雾状的喷雾，浮游、飞散，所以在本实施例的液滴喷出装置1中，向帽142进行冲洗时，成为通过各帽142吸引功能液滴喷出空间的空气的结构。即通过空气吸引在各帽142接收喷雾，缝制功能液滴喷出头41的喷嘴形成面57或装置内部被喷雾污染。此外，通过驱动连接在帽上的鼓风机147，进行空气吸引(参照图13)。
下面，说明液体供给回收部件4。液体供给回收部件4由向头单元31的功能液滴喷出头41供给功能液的功能液供给系统191(功能液供给装置)、回收由维护部件3的吸引部件131吸引的功能液的功能液回收系统192、为了清洗而向擦拭单元132供给功能材料的溶剂的清洗液供给系统193、回收由冲洗部件接收的功能液的废液回收系统194构成。而且，如图3所示，在机台21的大的收容室26中，从图示右侧开始按顺序横排配置有功能液供给系统191的加压容器201、功能液回收系统192的清洗液容器241。而且，在再利用容器231和清洗液容器241的附近设置有小型形成的废液回收系统194的废液容器261。
如图13所示，功能液供给系统191具有：贮存大量(3L)的功能液的加压容器201；贮存从加压容器201输送的功能液，并且向各功能液滴喷出头41供给功能液的供液容器202；形成供液通路，配管连接它们的供液管203(连接管)。加压容器201通过从空气供给部件5导入的压缩气体(惰性气体)，通过供液管203把贮存的功能液向供液容器202加压输送。
供液容器202如图1～3所示，包括：固定在所述容器台22上的，在两侧具有液位窗212，并且贮存来自的加压容器201的功能液的容器主体211；面临两个液位窗212，检测功能液的液位(水位)的液位检测器213。
如图2所示，在容器主体211(的盖体)的上表面连接与加压容器201连接的供液管203，此外，设置了向头单元31一侧延伸的供液管203用的6个供液用连接器218、一个与空气供给部件5连接的空气供给用的加压用连接器219。在连接在加压容器201上的供液管203上设置有液位调节阀门221，通过根据来自液位检测器213的检测结果，开关控制液位调节阀门221，把贮存在容器主体211中的功能液的液位调整为总在液位检测器213的检测范围内(参照图13)。
此外，在连接在加压用连接器219上的空气供给管262中设置了具有大气开放口的三通阀264，来自加压容器201的压力通过大气而丧失。由此，通过上述的液位调节，把向头单元31一侧延伸的供液管203的水位差压稍微保持在负水位差(例如25mm±0.5mm)，防止来自功能液滴喷出头41的喷出喷嘴58的液体滴下，并且通过功能液滴喷出头41的抽吸动作即泵55内的压电元件的泵驱动以高精度喷出液滴。
供液管203为了防止被功能液侵蚀，由具有耐腐蚀性的氟树脂、聚乙烯(PE)或聚丙烯(PP)构成。后面将具体描述，但是供液管203连接在设置在各处的接地接头281上，通过各接头固定在装置框架10上。此外，从供液容器202向功能液滴喷出头41延伸的6个供液管203从Y轴电缆支架123连接在接头单元272(后面描述)上配置的T字接头284上，分别分支为2条，形成12条分支供液管(参照图10、图11和图13)。各分支供液管204通过配管一侧装置部件连接在各功能液滴喷出头41上。此外，在各分支供液管204上设置了供给阀门222，通过开关控制供给阀门222，能控制向功能液滴喷出头41的功能液的供给。
功能液回收系统192用于贮存由吸引部件131吸引的功能液，具有：贮存吸引的功能液的再利用容器231；连接在功能液吸引泵143上，把吸引的功能液向再利用容器231引导的回收用管232(参照图13)。回收用管232也与供液管203同样，由具有耐腐蚀性的树脂构成。回收用管232支撑在所述电缆支架(注册商标)25(柔性支撑部件)上。电缆支架(注册商标)25固定在机台21上，并且顶端部固定在公共基台24上，使回收用管232跟随吸引部件131(公共基台24)的移动。
清洗液供给系统193用于向擦拭单元132的擦拭薄片168供给清洗液，具有贮存清洗液的清洗液容器241和用于供给清洗液容器241的清洗液的清洗液供给管242。如图13所示，在清洗液容241上连接着与空气供给部件5相连的供给管262(后面描述)、一端连接在擦拭单元132的清洗液喷雾头174上的清洗液供给管242。即清洗液容器241的清洗液通过从空气供给部件5导入的压缩空气压送到清洗液喷雾头174。
在清洗液中使用了乙醇，但是有必要使用与导入的功能液对应的清洗液，所以清洗液供给管242与供液管203同样，由具有耐腐蚀性的氟树脂等构成的树脂形成。清洗液供给管242与回收用管232一起支撑在电缆支架(注册商标)25(柔性支撑部件)上，能跟随擦拭单元132(公共基台24)的移动。
废液回收系统194用于回收喷出到冲洗部件133的功能液，具有：存储回收的功能液的废液容器251；连接在冲洗部件133上，引导喷出到冲洗部件133的功能液的废液用管252。
下面，说明空气供给部件5。如图13所示，空气供给部件5例如把压缩了惰性气体(N2)的压缩空气向加压容器201或供液容器202等各部供给，具有：压缩惰性气体的空气泵261、用于把由空气泵261压缩的压缩空气向各部供给的空气供给管262。而且，在空气供给管262中设置了用于按照压缩空气的供给目标而把压力保持在规定的一定压力的调整器263。
下面，说明除电部件6。除电部件6主要用于把在供液管203、回收用管232和清洗液供给管242产生的静电除掉。除电部件6由把在各管的可动部即支撑在所述除电部件6和电缆支架(注册商标)25上的部分产生的静电除去的除电薄板271、把在各管的非可动部即出去由电缆支架(注册商标)25支撑的部分的部分产生的静电除去的接头单元272构成。此外，如图11～图13所示，液滴喷出装置1的功能液滴喷出头41或擦拭单元132、、各容器类与接地285连接。变为能够除电。此外，装置框架10即架台11或支柱13、机台21也连接在接地285上。
如图9A，B所示，除电薄板271在Y轴电缆支架123和电缆支架(注册商标)25的管支撑面(安装面)的整个面上，跨全长配置，与支撑在Y轴电缆支架123和电缆支架(注册商标)25上的全部管子接触。而且，在与除电薄板271的各管子的接触面上形成无数除电用的细的起毛，增大与各管的接触面积，能高效除电。此外，除电薄板271固定在Y轴电缆支架123和电缆支架(注册商标)25上，所以去掉的静电通过这些电缆支架接地连接到装置框架10上。这样，通过与各管的可动部的长度和配置的各管的宽度对应，设置跨全长接触配置的全部管子的除电薄板271，能迅速去掉由树脂构成，最容易产生静电的各管的可动部的静电，能把静电导致的影响抑制在最小限度。
如图10所示，接头单元272具有连接在各管上的接地接头281、用于把接地接头281固定在装置框架10上的支架282、用于把接地接头281安装在支架282上的截面为“L”字形的接头固定部件283(接头支撑零件)，这些它们由导电性部件例如铜、黄铜等金属、混入了导电性材料的导电性树脂构成。因此，非可动部的各管通过接地接头281、接头固定部件283和支架282接地连接在装置框架10上，能去掉由非可动部的各管产生的静电。
下面，参照图11和图13，说明配置在供液管203周围的除电部件6。从加压容器201到功能液滴喷出头41的供液管203的长度大致为9.0m，其中(供液管203的)可动部长度大致1.2m。此外，从加压容器201到供液容器202的长度大致为3.0m。如同一图所示，在加压容器201和供液容器202的近中间，把一个接头单元272设置在供液管203上，在从Y轴电缆支架123(供液管203的可动部)到功能液滴喷出头41，把一个接头单元272设置在供液管203上。此外，在从供液容器202开始大约1.8m的位置设置Y轴电缆支架123，在Y轴电缆支架123上，配置有与可动部长度对应的约1.2m的除电薄板271。此外，在设置在从Y轴电缆支架123到功能液滴喷出头41之间的接头单元272上配置了：用于把供液管203分支为两个的T字接头284、用于使分支的供液管203(分支供液管204)能堵塞的供给阀门222(参照图11)。
在供液管203的非可动部，大致每1.5～1.8m就设置有接头单元272，接地连接在装置框架10上。即通过每隔规定的间隔设置接头单元272，能恰当去掉在供液管203的非可动部分产生的静电。此外，当然能按照状况适当增减设置在供液管203的非可动部上的接头单元272，例如为了更高效地除掉由非可动部分产生的静电，增加接头单元272的数量，每隔1.0m设置接头单元272。
如图12所示，与供液管203周围同样，在回收用管232和清洗液供给管242周围也设置有除电部件6。即与回收用管232和清洗液供给管242的可动部即支撑在所述电缆支架(注册商标)25上的部分的长度对应，在电缆支架(注册商标)的管支撑面上配置了在表面具有细的起毛的除电薄板271。此外，在再利用容器231和电缆支架(注册商标)25的近中央位置、清洗液容器241和电缆支架(注册商标)25的近中央位置各配置了一个接头单元272，能去掉在回收用管232和清洗液供给管242的非可动部产生的静电。
下面，说明控制部件7。控制部件7与各部件连接，控制装置全体。控制部件7具有用于控制各部件的动作的控制部，具有控制部存储控制程序和控制数据，并且进行各种控制处理的作业区。
下面，作为使用本实施例的液滴喷出装置1制造的电光装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、形成在这些显示装置中的有源矩阵基板等为例，说明它们的构造和制造方法。此外，有源矩阵基板是指形成了薄膜晶体管、与薄膜晶体管电连接的源线、数据线的基板。
首先，说明纳入液晶显示装置或有机EL装置中的滤色器的制造方法。图14是表示滤色器的制造步骤的程序流程图，图15A-E是制造步骤中所示的本实施例的滤色器500(滤色基体500A)的模式剖视图。
首先，在黑矩阵形成步骤(S11)中，如图15A所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体、或树脂黑等形成。在形成由金属薄膜构成的黑矩阵502时，能使用溅射法或蒸镀法。此外，在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502时，能使用照相凹版印刷法、光刻胶法、热复制法等。
然后，在隔岸形成步骤(S12)中，在黑矩阵502上以重叠的状态形成隔岸503。即首先，如图15B所示，覆盖基板501和黑矩阵502形成负片型的由透明感光性树脂构成的抗蚀剂层504。然后，在用形成了矩阵图案形状的掩模薄膜505覆盖了其上表面的形状，进行曝光处理。
如图15C所示，通过蚀刻抗蚀剂层504的未曝光部分，对抗蚀剂层504构图，形成隔岸503。此外，在通过树脂黑形成黑矩阵时，能把黑矩阵兼任隔岸。
该隔岸503和其下的黑矩阵502成为划分各像素区域507的划分壁部507b，在后面的着色层形成步骤中，在通过功能液滴喷出头41形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，规定功能液滴的落下区域。
经过以上的黑矩阵形成步骤和隔岸形成步骤，取得所述滤色基体500A。
此外，在本实施例中，作为隔岸503的材料，使用涂层表面成为斥液(斥水)型的树脂材料。而且，基板(玻璃基板)501的表面具有亲液(亲水)性，所以在后面描述的着色层形成步骤中，液滴向包围在隔岸503(划分壁部507b)中的各像素区域507a内的落下位置精度提高。
接着，在着色层的形成步骤(S13)中，如图15D所示，通过功能液滴喷出头41喷出功能液滴，使其落到由划分壁部507b包围的各像素区域507a内。这时，使用功能液滴喷出头41导入R、G、B等3色功能液(滤色材料)，进行功能液滴的喷出。此外，作为R、G、B等3色的排列图案，有条状排列、镶嵌排列和三角形排列。
然后，经过干燥处理(加热等处理)，使功能液固定，形成三色的着色层508R、508G、508B。如果形成了着色层508R、508G、508B，就转移到保护膜形成步骤(S14)，如图15E所示，覆盖基板501、划分壁部507b、着色层508R、508G、508B的上表面，形成保护膜509。
即向基板501的形成着色层508R、508G、508B的面全体喷出保护膜用涂敷液后，经过干燥处理，形成保护膜509。
然后，在形成了保护膜509后，滤色器500转移到成为下一步骤的透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等膜的附加步骤中。
图16是表示作为使用了所述滤色器500的液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略结构的主要部分剖视图。在该液晶装置520中通过安装液晶驱动用IC、背光、支撑体等附带要素，取得作为最终制品的透射型液晶显示装置。此外，滤色器500与图15所示的滤色器相同，对于对应的部分采用相同的符号，省略了其说明。
该液晶装置520由滤色器500、由玻璃基板构成的对置基板521、夹在它们之间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层522构成，在图中上方(观察者一侧)配置有滤色器500。
此外，虽然未图示，但是在对置基板521和滤色器500的外表面(与液晶层522一侧相反一侧的面)上分别配置了偏振片，此外在位于对置基板521一侧的偏振片外侧配置有背光。
在滤色器500的保护膜509(液晶层一侧)，以规定的间隔形成多个在图中左右方向长的长方形第一电极523，覆盖该第一电极523的与滤色器500相反一侧的面形成第一定向膜524。
而在对置基板521的与滤色器500相对的面上，以规定的间隔形成多个在与滤色器500的第一电极523正交的方向长的长方形第二电极526，覆盖该第二电极526的液晶层522一侧的面形成第二定向膜527。这些第一电极523和第二电极526由ITO等透明导电材料形成。
设置在液晶层522内的隔离块528是用于使液晶层522的厚度(单元间隔)保持一定的部件。此外，密封材料529是用于防止液晶层522内的液晶组成物向外部泄漏的部件。此外，第一电极523的一端部作为包围部件523a，延伸到密封材料529的外侧。
而且，第一电极523和第二电极526交叉的部分是像素，滤色器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的部分。
在通常的制造步骤中，通过对滤色器500进行第一电极的构图和第一定向膜524的涂敷，生成滤色器500一侧的部分，并且在另外对于对置基板521进行第二电极526的构图和第二定向膜527的涂敷，生成对置基板521一侧的部分。然后，在对置基板521一侧的部分生成隔离块528和密封材料529，在该状态下，与滤色器500一侧的部分贴在一起。接着，从密封材料529的注入口注入构成液晶层522的液晶，密封注入口。然后，层叠两个偏振片和背光。
实施例的液滴喷出装置1能涂敷构成所述单元间隔的隔离材料(功能液)，并且在向对置基板521一侧的部分粘贴滤色器500一侧的部分之前，向由密封材料529包围的区域均一涂敷液晶(功能液)。此外，也能用功能液滴喷出头41进行所述密封材料529的印刷。也能用功能液滴喷出头41进行第一和第二定向膜524、527的涂敷。
图17是表示使用了在本实施例中制造的滤色器500的液晶装置的第二例概略结构的主要部分剖视图。
本液晶装置530与所述液晶装置520的最大不同点在于：在图中下方(与观测者一侧相反一侧)配置了滤色器500。
该液晶装置530的结构为：在滤色500和由玻璃基板构成的对置基板531之间夹持着由STN液晶构成的液晶层532。此外，虽然未图示，但是在对置基板531和滤色器500的外表面上分别配置有偏振片。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层532一侧)，以规定的间隔形成多个在图中向里方向长的长方形第一电极533，覆盖该第一电极533的液晶层532一侧的面形成第一定向膜534。
而在对置基板531的与滤色器500相对的面上，以规定的间隔形成多个在与滤色器500一侧的第一电极533正交的方向延伸的长方形第二电极536，覆盖该第二电极536的液晶层532一侧的面形成第二定向膜537。
在液晶层532中设置了用于使该液晶层532厚度保持一定的隔离块538、用于防止液晶层532内的液晶组成物向外部泄漏的密封材料539。
而且，与所述液晶装置520同样，第一电极533和第二电极536交叉的部分是像素，滤色器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的部位。
图18表示使用本发明的滤色器500构成液晶装置的第三例，是表示透射型TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略结构的分解立体图。
该液晶装置550是把滤色器500配置在图中上方(观察者一侧)。
液晶装置550由滤色器500、与它相对配置的对置基板551、夹持在它们之间的未图示的液晶层、配置在滤色器500的上表面一侧(观察者一侧)的偏振片555、配置在对置基板551的下表面一侧的偏振片(未图示)构成。
在滤色器500的保护膜509的表面(对置基板551一侧的面)上形成液晶驱动用电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后面描述的像素电极560的区域全体的全面电极。此外，以覆盖了与该电极556的与像素电极560相反一侧的面的状态下，设置了定向膜557。
在对置基板551的与滤色器500相对的面上形成绝缘膜558，在该绝缘膜558上以彼此正交的状态形成扫描线561和信号线562。而且，在包围在这些扫描线561和信号线562中的区域内形成像素电极560。此外，在实际的液晶装置中，在像素电极560上设置有定向膜，但是省略了图示。
此外，在包围在像素电极560的切口部、扫描线561和信号线562中的部分中设置了具有：源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管563。而且，通过外加对于扫描线561和信号线562的信号，使薄膜晶体管563导通和断开，能进行对像素电极560的通电控制。
此外，所述各例的液晶装置520、530、550为透射型结构，但是也能设置反射层或半透射反射层，成为反射型的液晶装置或半透射反射型的液晶装置。
下面，图19是有机EL装置的显示区(以下只称作显示装置600)的主要部分剖视图。
该显示装置600以在基板(W)601上层叠了电路元件部602、发光元件部603和阴极604的状态下构成。
在显示装置600中，从发光元件部603向基板601一侧发出的光透过电路元件部602和基板601，出射到观测者一侧，从发光元件部603向基板601的相反一侧发出的光由阴极604反射后，透射电路元件部602和基板601，出射到观测者一侧。
在透射电路元件部602和基板601之间形成由氧化硅膜构成的底层保护膜606，在底层保护膜606上(发光元件部603一侧)形成由多晶硅构成的岛状半导体膜607。在该半导体膜607的左右区域上通过高浓度阳离子注入分别形成源区607a和漏区607b。而且，未注入阳离子的中央部变为沟道区607c。
此外，在电路元件部602中形成覆盖底层保护膜606和半导体膜607的透明栅绝缘膜608，在该栅绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区607c对应的位置形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609。在该栅电极609和栅绝缘膜608上形成第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。此外，形成贯通第一、第二层间绝缘膜611a、611b，分别连通在半导体膜607的源区607a、漏区607b上的接触孔612a、612b。
然后，在第二层间绝缘膜611b上，把由ITO等构成的像素电极613构图形成规定的形状，该像素电极613通过接触孔612a连接在源区607a上。
此外，在第一层间绝缘膜611a上配置有电源线614，该电源线614通过接触孔612b连接在漏区607b上。
这样，在电路元件部602上分别形成连接在各像素电极613上的驱动用薄膜晶体管615。
所述发光元件部603由分别层叠在多个像素电极613上的功能层617、设置在各像素电极613和功能层617之间的划分各功能层617的隔岸部618构成。
通过像素电极613、功能层617和配置在功能层617上的阴极604构成发光元件。此外，像素电极613形成为在平面视图中为近矩形，在各像素电极613之间形成隔岸部618。
隔岸部618由以下部分构成：例如由SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物隔岸层618a(第一隔岸层)；层叠在无机物隔岸层618a上，由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的截面为梯形的有机物隔岸层618b(第二隔岸层)构成。以骑上像素电极613的边缘部上的状态形成该隔岸部618的一部分。
而且，在各隔岸部618之间，形成对于像素电极613向上方逐渐扩大的开口部619。
所述功能层617由在开口部619内以层叠状态形成在像素电极613上的空穴注入/输送层617a、形成在空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。此外，还可以与该发光层617b相邻，形成具有其他功能的其他功能层。例如也能形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a具有从像素电极613一侧输送空穴，向发光层617b注入的功能。通过喷出包括空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(功能液)，形成该空穴注入/输送层617a。作为空穴注入/输送层形成材料，使用公知的材料。
发光层617b发出红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)中的任意颜色的光，通过喷出包括发光层形成材料(发光材料)的第二组成物(功能液)而形成。作为第二组成物的溶剂(非极性溶剂)，希望使用对于空穴注入/输送层617a不溶解的公开的材料，通过把这样的非极性溶剂作为发光层617b的第二组成物，不会使空穴注入/输送层617a再溶解，就能形成发光层617b。
而且，在发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层中再结合、发光。
以覆盖发光元件部603的整个面的状态形成阴极604，与像素电极613成对实现使电流流过功能层617的任务。此外，在该阴极604的上部配置有未图示的密封部件。
下面，参照图20～图24说明所述显示装置600的制造步骤。
如图20所示，该显示装置600经过隔岸部形成步骤(S21)、表面处理步骤(S22)、空穴注入/输送层形成步骤(S23)、发光层形成步骤(S24)和对置电极形成步骤(S25)制造。此外，制造步骤并不局限于例示的步骤，按照必要有时删除步骤，有时追加步骤。
首先，在隔岸部形成步骤(S21)中，如图21所示，在第二层间绝缘膜611b上形成无机物隔岸层618a。在形成位置形成了无机物膜后，通过光刻技术等把该无机物膜构图，形成无机物隔岸层618a。这时，形成为无机物隔岸层618a的一部分与像素电极613的边缘部重叠。
如果形成了无机物隔岸层618a，则如图22所示，在无机物隔岸层618a上形成有机物隔岸层618b。与无机物隔岸层618a同样，通过光刻技术等构图形成该有机物隔岸层618b。
这样，就形成了隔岸部618。此外，伴随着此，在各隔岸部618间，形成对于像素电极613在上方开口的开口部619。该开口部619规定像素区。
在表面处理步骤(S22)中，进行亲液处理和防液处理。进行亲液处理的区域是亲液处理的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域通过以氧为处理气体的等离子体处理，表面处理为亲液性。该等离子体处理液也兼任像素电极613的ITO的清洗。
此外，防液处理对有机物隔岸层618b的壁面618s和有机物隔岸层618b的上表面618t进行，通过例如以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理，对表面进行氟化处理(处理为防液性)。
通过进行表面处理步骤，当使用功能液滴喷出头41形成功能层617时，能更可靠地使功能液滴落在像素区域中，此外，能防止落在像素区中的功能液滴从开口部619溢出。
而且，通过以上的步骤，取得显示装置基体600A。把该显示装置基体600A放置在液滴喷出装置1的设置台(省略图示)上，进行以下的空穴注入/输送层形成步骤(S23)和发光层形成步骤(S24)。
如图23所示，在空穴注入/输送层形成步骤(S23)中，从功能液滴喷出头41向像素区的各开口部619内喷出包括空穴注入/输送层形成材料的第一组成物。然后如图24所示，进行干燥处理和热处理，使第一组成物种包括的极性溶剂蒸发，在像素电极(电极面613)上形成空穴注入/输送层617a。
下面，说明发光层形成步骤(S24)。在该发光层形成步骤中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为发光层的形成时使用的第二组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层617a不溶解的非极性溶剂。
可是，空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂的亲和性低，所以即使向空穴注入/输送层617a上喷出包括非极性溶剂的第二组成物，也无法使空穴注入/输送层617a和发光层617b紧贴，或者无法均匀涂敷发光层617b。
因此，为了提高空穴注入/输送层617a的表面对于非极性溶剂和发光层形成材料的亲和性，希望在形成发光层之前进行表面处理(表面改质处理)。把与形成发光层时使用的第二组成物的非极性溶剂同一或与它类似的溶剂的表面改质材料涂敷在空穴注入/输送层617a上，使它干燥，进行该表面处理。
通过实施该处理，空穴注入/输送层617a的表面变得容易与非极性溶剂亲和，在此后的步骤中，能均匀地把包括发光层形成材料的第二组成物向空穴注入/输送层617a涂敷。
然后，如图25所示，把包括与各色中的任意一个(在图25的例子中，蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组成物作为功能液滴向像素区(开口部619)内注入规定的量。注入到像素区中的第二组成物在空穴注入/输送层617a上扩散，充满开口部619内。此外，即使第二组成物从像素区偏离，落在隔岸部618的上表面618t上时，如上所述，因为对该上表面618t进行了防液处理，所以第二组成物容易落入开口部619中。
然后，通过进行干燥处理，干燥处理喷出后的第二组成物，使第二组成物中包括的非极性溶剂蒸发，如图26所示，在空穴注入/输送层617a上形成有机物隔岸层618b。这时，形成与蓝色(B)对应的发光层617b。
同样，使用功能液滴喷出头41，如图27所示，依次进行与所述蓝色(B)所对应的发光层617b时同样的步骤，形成与其它颜色(红色(R)和绿色(G))对应的发光层617b。此外，发光层617b的形成步骤并不局限于例示的顺序，可以用任意的顺序形成。例如，能按照发光层形成材料决定形成的顺序。此外，作为R、G、B三色的排列图案，有条状排列、镶嵌排列和三角形排列。
如上所述，在像素电极613上形成了功能层617即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后，转移到对置电极形成步骤(S25)。
在对置电极形成步骤(S25)中，如图28所示，在发光层617b和有机物隔岸层618b的整个面上通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。在本实施例中，例如层叠钙层和铝层而构成该阴极604。
在该阴极604的上部适当设置作为电极的A1膜、Ag膜等的用于防止其氧化的SiO2、SiN等保护层。
这样形成了阴极604后，进行通过密封材料密封该阴极604的上部的密封处理和布线处理等其他处理，取得显示装置600。
图29是等离子体显示装置(PDP装置，以下只称作显示装置700)的主要部分的分解立体图。此外，图28以切去其一部分的状态表示显示装置700。
该显示装置700由彼此相对配置的第一基板701、第二基板702、形成在它们之间的放电显示部703构成。放电显示部703由多个放电室705构成。在这些放电室705中，红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B等三个放电室成为组，构成一个像素。
在第一基板701的上表面上，地址电极706以规定的间隔形成条纹状，覆盖该地址电极706和第一基板701的上表面形成介质层707。在介质层707上，位于各地址电极706之间，并且沿着各地址电极706，直立设置有隔壁708。该隔壁708如图所示，包括在地址电极706的宽度方向两侧延伸的部分、在与地址电极706正交的方向延伸的部分。
而且，由该隔壁708划分的区域成为放电室705。在放电室705内配置有荧光体709。荧光体709发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任意颜色的荧光，在红色放电室705R的底部配置有红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置有绿色荧光体709G，在蓝色放电室705B的底部配置有蓝色荧光体709B。
在第二基板702的图中下方的面上，在与所述地址电极706正交的方向上，以规定的间隔把多个显示电极711形成条纹状。而且，覆盖它们形成介质层712和由MgO等构成的保护膜713。
在地址电极706和显示电极711彼此正交的状态下使第一基板701和第二基板702相对粘贴在一起。此外，所述地址电极706和显示电极711连接在未图示的交流电源上。
而且，通过对各电极706、711通电，在放电显示部703中，荧光体709激励发光，能进行彩色显示。
在本实施例中，能使用图1所示的液滴喷出装置1形成所述地址电极706、显示电极711、荧光体709。下面，表示第一基板701的地址电极706的形成步骤。
这时，在把第一基板701放置在液滴喷出装置1的设置台(省略图示)上的状态下进行以下的步骤。
首先，通过功能液滴喷出头41把包括导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使其落在电极形成区中。该液体材料作为导电膜布线形成用材料，是把金属等导电性微粒分散到分散剂中。作为该导电性微粒，使用包括金、银、铜或镍等的金属微粒、导电性聚合物。
关于成为补充对象的全部地址形成区，如果液体材料的补充结束，就对喷出后的液体材料进行干燥处理，通过使液体材料中包括的分散剂蒸发，形成地址电极706。
可是，在所述中，表示了地址电极706的形成，但是关于所述显示电极711和荧光体709，经过所述各步骤也能形成。
当形成各显示电极711时，与地址电极706的情形同样，把含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使其落在显示电极形成区中。
此外，在形成荧光体709时，从功能液滴喷出头41把包括与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴喷出，使其落在对应颜色的放电室705内。
图30是表示电子发射装置(也称作FED装置或SED装置，以下只称作显示装置800)的主要部分剖视图。此外，在图30中，把其一部分作为剖面表示了显示装置800。
该显示装置800具有：彼此相对配置的第一基板801、第二基板802和形成在它们之间的电场发射显示部803。电场发射显示部803由配置为矩阵状的多个电子发射部805构成。
在第一基板801的上表面，彼此正交形成构成阴极806的第一元件电极806a和第二元件电极806b。此外，在由第一元件电极806a和第二元件电极806b划分的部分中形成有形成间隔808的导电性膜807。即通过第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807，构成多个电子发射部805。导电性膜807由氧化钯(PdO)等构成，此外，在形成了导电性膜807后，通过成形等形成间隔808。
在第二基板802的下面形成与阴极806对置的阳极809。在阳极809的下表面形成格子状的隔岸部811，在由该隔岸部811包围的向下的各开口部812中，与电子发射部805对应配置有荧光体813。荧光体813发出红(R)、绿(G)、蓝(B)等任意颜色荧光，在各开口部812中，以规定的图案配置有红色荧光体813R、绿色荧光体813G、蓝色荧光体813B。
而且，把这样构成的第一基板801和第二基板802保存微小间隔贴在一起。在显示装置800中，通过导电性膜(间隔)，从阴极的第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子撞击形成在阳极即阳极809上的荧光体813，激励发光，彩色显示成为可能。
这时，与其它实施例同样，使用液滴喷出装置1能形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807和阳极809，而且使用液滴喷出装置1能形成各色荧光体813R、813G、813B。
第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807具有图31(a)所示的平面形状，当形成它们时，如图31(b)所示，预先保留形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807的部分，形成隔岸部BB(光刻法)。接着在由隔岸部BB构成的沟部分中形成(基于液滴喷出装置1的喷墨法)第一元件电极806a、第二元件电极806b，使其溶剂干燥，进行了成膜后，形成导电性膜807(基于液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，在形成导电性膜807后，除掉隔岸部BB(灰化剥离处理)，转移到所述成形处理。此外，与所述有机EL装置时同样，希望进行对隔岸部811、BB的防液处理。
此外，作为其他电光装置，考虑到包括金属布线的形成、透镜的形成、保护膜的形成和光扩散体的形成、显微镜用标本的形成的装置。
即所述液滴喷出装置1通过适当去除静电，能与多种多样的功能液以及清洗液对应，所以能在各种电光装置(器件)的制造中使用，能高效制造各种电光装置。
如上所述，根据本发明液滴喷出装置，能通过除电部件更高效地去掉树脂制的连接管中产生的静电。即在由于移动而特别容易产生静电的连接管的可动部，跨可动部的全长，使除电薄板接触，迅速去掉产生的静电，并且在非可动部分设置除电用的接头，适当进行除电。此外，通过用具有导电性的部件构成通常的接头，能把它作为除电用接头利用，所以不必另外设置其他部件，能谋求装置在空间上的节省，而且能简化装置。
此外，在本发明的电光装置的制造方法、电光装置、电子仪器中，使用所述液滴喷出装置进行了制造，所以很难受到静电的影响，使高效制造成为可能。

Claims (20)

1.一种液滴喷出装置，具有被配置在移动台上的与该移动台进行的扫描同步地，向工件喷出功能液的功能液滴喷出头、和向功能液滴喷出头供给功能液的功能液供给部件，
所述功能液供给部件具有：供给功能液的功能液容器；
连接所述功能液滴喷出头和所述功能液容器的树脂制的连接管；所述液滴喷出装置的特征在于：
所述功能液供给部件还具有：一端固定在所述移动台上，并且另一端固定在装置框架上，支撑所述连接管，并且伴随着所述功能液滴喷出头的扫描，使所述连接管追随移动的柔性支撑部件；
被设置在柔性支撑部件上，通过与所述连接管接触，使该连接管与所述装置框架构成接地连接的除电部件。
2.一种液滴喷出装置，具有功能液滴喷出头、通过相对所述功能液滴喷出头移动而擦拭该功能液滴喷出头的喷嘴面的擦拭单元、配置所述擦拭单元并且使所述擦拭单元相对功能液滴喷出头移动的移动台、向所述擦拭单元供给擦拭用清洗液的清洗液供给部件，
清洗液供给部件具有：供给清洗液的清洗液容器；
连接所述清洗液容器和所述擦拭单元的树脂制连接管；所述液滴喷出装置的特征在于：
所述清洗液供给部件还具有：
一端固定在所述移动台上，并且另一端固定在装置框架上，支撑所述连接管，并且伴随着所述擦拭单元的移动，使所述连接管追随移动的柔性支撑部件；
被设置在柔性支撑部件上，通过与所述连接管接触，使该连接管与所述装置框架构成接地连接的除电部件。
3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述除电部件由配置在所述柔性支撑部件的所述连接管的支撑面上的除电薄板构成。
4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述除电部件由配置在所述柔性支撑部件的所述连接管的支撑面上的除电薄板构成。
5.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于：
跨所述柔性支撑部件的支撑面的全长设置除电薄板。
6.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于：
跨所述柔性支撑部件的支撑面的全长设置除电薄板。
7.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于：
在所述除电薄板的与所述连接管的接触面上设置除电用的起毛。
8.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于：
在所述除电薄板的与所述连接管的接触面上设置除电用的起毛。
9.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：
还具有：设置在所述连接管的除了被支撑在所述柔性支撑部件上的部分的非可动部分上，使所述连接管与所述装置框架构成接地连接的导电接头。
10.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于：
还具有：设置在所述连接管的除了被支撑在所述柔性支撑部件上的部分的非可动部分上，使所述连接管与所述装置框架构成接地连接的导电接头。
11.根据权利要求9所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述接头以规定的间隔设置在所述连接管的非可动部分上。
12.根据权利要求10所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述接头以规定的间隔设置在所述连接管的非可动部分上。
13.根据权利要求9所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述接头通过导电性的接头支撑零件与所述装置框架构成接地连接。
14.根据权利要求10所述的液滴喷出装置，其特征在于：
所述接头通过导电性的接头支撑零件与所述装置框架构成接地连接。
15.一种电光装置的制造方法，其特征在于：使用权利要求9所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成由从所述功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
16.一种电光装置的制造方法，其特征在于：使用权利要求10所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成由从所述功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
17.一种电光装置，其特征在于：使用权利要求9所述的液滴喷出装置，在工件上形成了由从功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
18.一种电光装置，其特征在于：使用权利要求10所述的液滴喷出装置，在工件上形成了由从功能液滴喷出头喷出的功能液滴构成的成膜部。
19.一种利用权利要求15或16所述电光装置的制造方法制造的电光装置。
20.一种电子仪器，其特征在于：配置了权利要求17或18所述的电光装置。
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