JP3757963B2 - 機能液滴吐出ヘッドの吸引装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドにキャップを密着させ、キャップを介して機能液滴吐出ヘッドを吸引する機能液滴吐出ヘッドの吸引装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出装置の一種として従来から知られているインクジェット記録装置では、インクポンプに接続されたヘッドキャップ（キャップ）を印刷ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）に密着させ、インクポンプを駆動することにより、ヘッドキャップを介して印刷ヘッドの全ノズルからインクの吸引が行われている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
液滴吐出装置では、乾燥等に起因する印刷ヘッドの目詰まりを防止するためのクリーニング時や、新たに導入した機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液を充填する（初期充填の）際に、機能液滴吐出ヘッドの全ノズルから吸引が行われる。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１２７４５４号公報（第２−３頁、第７−８頁、第４図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
機能液滴吐出ヘッドから吸引を行うと、機能液に先行して流路内からエアー（気泡）が吸引される。したがって、上記したインクジェット記録装置のように、ポンプを用いて機能液滴吐出ヘッドに対する吸引を行うと、吸引されたエアーがポンプから排出されるまでポンプが空転するという問題が生じる。このような問題は、新たに導入した機能液滴吐出ヘッドに機能液を充填する場合において特に著しく、係る場合は、ポンプに機能液が達するまで十分な吸引力を確保できないために、機能液の充填に要する時間が長引いてしまう。また、吸引力の低下により、ヘッド内流路からの気泡の排出性が悪化するため、機能液充填時に要する機能液の消費量が増加し、高価な機能液を無駄にするという問題も生じる。さらに、ポンプは回転する部品や往復動する部品（可動部）を有するため、小型化しにくく、設置には広いスペースが必要となる。
【０００６】
本発明は、かかる問題に鑑みて為されたものであり、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引を効率的に行うことができる機能液滴吐出ヘッドの吸引装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置は、機能液滴を吐出するインクジェットヘッドで構成した機能液滴吐出ヘッドに機能液を充填する初期充填、および機能液滴吐出ヘッド内で増粘した機能液を除去するクリーニングのために、機能液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させ、キャップを介して機能液滴吐出ヘッドを吸引する機能液滴吐出ヘッドの吸引装置において、キャップと連通して、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に連なるノズルを吸引するエゼクタと、エゼクタに作動流体を供給する作動流体供給手段と、キャップとエゼクタの吸引口を接続する吸引管路内の圧力を検出する圧力検出手段と、作動流体供給手段とエゼクタの供給口とを接続する作動流体供給管路に介設され、エゼクタに供給する作動流体の流量を調節する流量調節弁と、吸引管路に介設され、吸引管路を開閉する吸引管路開閉弁と、圧力検出手段の検出結果に基づいて流量調節弁を制御すると共に、吸引管路開閉弁を制御する第１制御手段と、を備え、第１制御手段は、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、流量調整弁を閉弁させると共に、吸引管路開閉弁を閉弁させることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、エゼクタにより機能液滴吐出ヘッドのノズルを吸引しているので、機能液および機能液に先行するエアーに直接吸引力を作用させることができ、ポンプで吸引した場合と異なってエアー漏れが発生することがない。すなわち、キャップを介してエゼクタに侵入した気泡は、エゼクタの作動流体と共に円滑に排出されるため、気泡による吸引圧力の変動が少ない。したがって、機能液滴吐出ヘッドのノズルからの吸引を安定して行うことができる。また、エゼクタは可動部位を有していないため小型であるので、ポンプを用いて吸引する構成に比べ、省スペースとすることができる。
また、圧力検出手段の検出結果に基づいて、第１制御手段によりエゼクタに供給する作動流体の流量が調節されるので、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引圧力を適切に保つことができ、機能液滴吐出ヘッドの全ノズルを安定かつ適切に吸引することができる。
さらに、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時には、流量調整弁が閉弁されるので、エゼクタに作動流体が供給されることがなく、吸引動作を停止させることができる。また、流量調整弁の閉弁と共に吸引管路開閉弁を閉弁することで、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引を確実に停止させることができ、機能液滴吐出ヘッドから無駄に機能液を吸引し続けることがない。
なお、吸引は、全ノズルに対して行ってもよいし、使用するノズルだけを吸引する構成としても良い。
【００１５】
この場合、エゼクタは、キャップの近傍に配設されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、キャップの近傍にエゼクタが配設されているので、キャップからエゼクタに至る（吸引）管路を最短とすることができ、機能液滴吐出ヘッドに密着させたキャップを介して、エゼクタにより効率よく機能液滴吐出ヘッドの吸引を行うことができる。
【００１９】
この場合、第１制御手段は、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、流量調節弁を徐々に閉弁させることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、流量調節弁が徐徐に閉弁されるので、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引圧力が急激に低下して、機能液滴吐出ヘッド内の圧力が機能液滴吐出ヘッドに密着させたキャップ内の圧力よりも低くなることを防止している。また、吸引終了時に、流量調整弁を徐徐に閉弁させ、吸引圧力を調節することで、機能液滴吐出ヘッドからエゼクタに至る（吸引）管路の負圧を徐徐に低下させることができ、吸引終了後において、機能液滴吐出ヘッドからキャップを外したときに、機能液滴吐出ヘッド内にエアーが逆流することがない。
【００２３】
この場合、吸引管路開閉弁は、大気開放ポートを有する三方弁で構成されており、第１制御手段は、吸引管路開閉弁の閉弁と同時に大気開放ポートを開放すると共に、再び流量調節弁を開弁することが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引動作が終了すると、吸引管路が大気開放されるので、吸引動作により吸引管路を満たしていた機能液を、エゼクタを介して排出することができる。すなわち、吸引管路内で機能液が乾燥等により増粘して吸引管路を詰まらせることがない。また、大気開放ポートの開放と共に、再び流量調整弁を開弁することで、吸引管路内の機能液を速やかに排出することができる。さらに、作動流体が液体である場合、作動流体が作動流体供給管路に滞留することを防止することができる。
【００２５】
この場合、予め機能液を貯留していると共に、排出管路によりエゼクタの排出口に接続された貯留タンクをさらに備え、作動流体供給手段は、ポンプで構成されると共に、循環管路を介して貯留タンクに接続されており、作動流体として機能液を供給することが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、エゼクタの作動流体として非圧縮性の機能液が供給されるので、効率よく吸引を行うことができる。また、作動流体として圧縮エアーを用いた場合と異なり、機能液滴吐出ヘッド（の全ノズル）から吸引された機能液にエアーが混合することがなく、容易に再利用を行うことができる。また、作動流体である機能液を循環させる構成としているため、作動流体として用いる機能液量を最小限に抑えることができると共に、作動流体としての機能液を貯留するためのスペースを小さくすることができる。
【００２７】
この場合、作動流体供給手段と貯留タンクとを接続する循環管路には、大気開放ポートを有する三方弁で構成された循環管路開閉弁が介設されており、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、循環管路開閉弁を閉弁すると共に循環管路開閉弁の大気開放ポートを開放する第２制御手段をさらに備えることが好ましい。
【００２８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、循環管路開閉弁を閉弁し、貯留タンクから作動流体供給手段への機能液の供給を停止することにより、機能液滴吐出ヘッドに対する吸引を停止させることができる。また、循環管路開閉弁の大気開放ポートを開放することにより、循環管路を大気開放して、循環管路内の機能液を貯留タンクに排出することができる。
【００２９】
この場合、機能液滴吐出ヘッドは、複数設けられており、キャップ、エゼクタ、および吸引管路は、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応してそれぞれ複数設けられていることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、複数設けられた機能液滴吐出ヘッドに対し、複数のキャップ、エゼクタ、および吸引管路が設けられているので、各エゼクタに供給する作動流体の供給量を当該エゼクタに対応する機能液滴吐出ヘッド毎に調節することができ、各機能液滴吐出ヘッドを個別的に適切な状態で吸引することができる。すなわち、本発明では、複数の機能液滴吐出ヘッドを単一のポンプで吸引する場合のように流路抵抗の相違等の影響から機能液滴吐出ヘッド毎に吸引圧力にばらつきが生じることがなく、各機能液滴吐出ヘッドを効率的に吸引することができる。したがって、吸引時における機能液の流速を低下させることがなく、流路から効率的に気泡を排出することができ、気泡を排出のために消費する機能液を削減できる。また、各機能液滴吐出ヘッドの吸引時間を同一にすることができ、機能液滴吐出ヘッドの吸引時間を短縮できると共に、吸引時に消費する機能液を低減させることができる。
【００３１】
本発明の液滴吐出装置は、上記した吸引装置と、ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドをエゼクタにより効率的かつ適切に吸引することができるので、機能液滴吐出ヘッドに対する機能液の初期充填時や機能液滴吐出ヘッドのクリーニング時等のように、機能液滴吐出ヘッドの吸引を行う際の所要時間を短縮することができると共に、吸引時に消費する機能液を削減することができる。
【００３３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３４】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３５】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドから機能液を効率よく吸引可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３６】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本発明を適用した液滴吐出装置の外観斜視図、図２は、本発明を適用した液滴吐出装置の右側面図である。詳細は後述するが、この液滴吐出装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッド３１に導入して、基板等のワークＷに機能液滴による成膜部を形成するものである。
【００３９】
両図に示すように、液滴吐出装置１は、機能液を吐出するための吐出手段２と、吐出手段２のメンテナンスを行うメンテナンス手段３と、各手段に液体（例えば、機能液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段４と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５（作動流体供給手段）と、を備えている。吐出手段２の主要部は、架台１１上に設けた石定盤１２上に配設され、これらと一体的に添設した共通機台１３には、メンテナンス手段３、液体供給回収手段４、およびエアー供給手段５の主要部が配設されている。そして、これらの各手段は、制御手段６によって制御されている。以下、各手段について説明する。
【００４０】
吐出手段２は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド３１を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するメインキャリッジ４１と、メインキャリッジ４１を介して、ヘッドユニット２１（機能液滴吐出ヘッド３１）をワークＷに対して相対的に移動させるＸ・Ｙ移動機構５１と、を有している。
【００４１】
図３および図４に示すように、ヘッドユニット２１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１と、機能液滴吐出ヘッド３１を搭載するサブキャリッジ２２と、各機能液滴吐出ヘッド３１をサブキャリッジ２２に取り付けるためのヘッド保持部材２３と、で構成されている。サブキャリッジ２２には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３１が６個ずつに二分され、ワークＷへの十分な塗布密度を確保するために、所定角度傾けてサブキャリッジ２２に固定されている。また、サブキャリッジ２２には、各機能液滴吐出ヘッド３１と給液タンク１５３（後述する）とを配管接続するための配管ジョイント２４が設けられている。なお、機能液滴吐出ヘッド３１の個数や配列は、上記したものに限られるものではなく任意であり、例えば、機能液滴吐出ヘッド３１に利用目的に合わせた専用のものを用いれば、あえて機能液滴吐出ヘッド３１を傾ける構成とする必要はない。
【００４２】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド３１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３３を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３４と、機能液導入部３２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体３５と、を備えている。各接続針３３は、配管アダプタ２５を介して後述の給液タンク１５３に接続されており、機能液導入部３２は、各接続針３３から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体３５は、２連のポンプ部３６と、多数の吐出ノズル３９を形成したノズル形成プレート３７と、を有しており、機能液滴吐出ヘッド３１では、ポンプ部３６の作用により吐出ノズル３９から機能液滴を吐出するようになっている。なお、ノズル形成プレート３７の下面は、ノズル形成面３８（ノズル面）となっており、機能液滴吐出ヘッド３１は、ノズル形成面３８を下方に突出させるように、ヘッド保持部材２３を介してサブキャリッジ２２に固定されている（図４参照）。
【００４３】
図２に示すように、メインキャリッジ４１は、後述するＹ軸テーブル５４に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材４２と、吊設部材４２の下面に取り付けられ、（ヘッドユニット２１の）θ方向に対する位置補正を行うためのθテーブル４３と、θテーブル４３の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体４４と、で構成されている。キャリッジ本体４４には、ヘッドユニット２１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット２１を位置決め固定するようになっている。なお、キャリッジ本体４４には、ワークＷを認識するためのワーク認識カメラ（図示省略）が配設されている。
【００４４】
Ｘ・Ｙ移動機構５１は、ワークＷを吸着（固定）する吸着テーブル５３を有し、吸着テーブル５３を介してワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル５２と、メインキャリッジ４１を介してヘッドユニット２１をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル５４と、を備えている。Ｘ・Ｙ移動機構５１は、上記した石定盤１２上に配設されており、ワークＷの平坦度を維持すると共に、ヘッドユニット２１を正確に移動させることができるようになっている。
【００４５】
ここで、吐出手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、ヘッドユニット２１およびセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、Ｘ・Ｙ移動機構５１（Ｘ軸テーブル５２）が、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往復動させる。ワークＷの往復動と同期して、複数の機能液滴吐出ヘッド３１が駆動し、ワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。ワークＷが一往復動すると、Ｘ・Ｙ移動機構５１（Ｙ軸テーブル５４）は、ヘッドユニット２１を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、ワークＷの主走査方向へ往復動と機能液滴吐出ヘッド３１の駆動が再び行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット２１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット２１を固定とし、ワークＷを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４６】
次に、メンテナンス手段３について説明する。メンテナンス手段３は、機能液滴吐出ヘッド３１を保守して、機能液滴吐出ヘッド３１が適切に機能液を吐出できるようにするもので、フラッシングユニット６１、吸引ユニット７１、およびワイピングユニット１４１を備えている（図１参照）。
【００４７】
フラッシングユニット６１は、液滴吐出時における複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３１のフラッシング動作、すなわち全吐出ノズル３９からの予備吐出（無駄打ち）、により順に吐出される機能液を受けるためのものである。フラッシングユニット６１は、Ｘ軸テーブル５２に固定されており、吐出された機能液を受ける一対のフラッシングボックス６２が吸着テーブル５３を挟んで固定されている。フラッシングボックス６２は、主走査に伴いワークＷと共にヘッドユニット２１へ向かって移動していくので、フラッシングボックス６２に臨んだ機能液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル３９から順次フラッシング動作を行うことができる。そして、フラッシングボックス６２で受けた機能液は、後述する廃液タンク１８２に貯留される。なお、本実施形態のフラッシング動作では、全吐出ノズル３９からの予備吐出を行う構成であるが、例えば、使用する吐出ノズル３９のみに予備吐出をさせるといったように、一部の吐出ノズルだけに予備吐出を行わせる構成としてもよい。
【００４８】
吸引ユニット７１は、上記した共通機台１３上に設けられており、機能液滴吐出ヘッド３１を吸引するためのものである。具体的には、新たにヘッドユニット２１に機能液滴吐出ヘッド３１を投入した場合のように機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド３１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に吸引ユニット７１は用いられる。
【００４９】
図５に示すように、吸引ユニット７１は、各機能液滴吐出ヘッド３１に密着させる１２個のキャップ７３を有したキャップユニット７２と、キャップユニット７２を昇降させることにより、キャップ７３を機能液滴吐出ヘッド３１に離接させる昇降機構９１と、密着させたキャップ７３を介して機能液の吸引を行うエゼクタ１０１と、各キャップ７３とエゼクタ１０１を接続する吸引用チューブ１１１と、キャップユニット７２を支持する支持部材１３１と、を有している。
【００５０】
キャップユニット７２は、図５に示すように、ヘッドユニット２１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド３１の配置に対応させて、１２個のキャップ７３をキャップベース７４に配設したものであり、対応する各機能液滴吐出ヘッド３１に各キャップ７３を密着可能に構成されている。
【００５１】
図６に示すように、キャップ７３は、キャップ本体８１と、キャップホルダ８２と、で構成されている。キャップ本体８１は、２つのばね８７で上方に付勢され、かつわずかに上下動可能な状態でキャップホルダ８２に保持されている。キャップ本体８１の上面には、機能液滴吐出ヘッド３１の２列の吐出ノズル３９列を包含する凹部８３が形成され、凹部８３の周縁部にはシールパッキン８４が取り付けられている。そして、凹部８３の底部には、吸収材８５が押え枠８６によって押し付けられた状態で敷設されている。機能液滴吐出ヘッド３１を吸引する際には、機能液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面３８にシールパッキン８４を押し付けて密着させ、２列の吐出ノズル３９列を包含するようにノズル形成面３８を封止する。なお、各キャップ７３には、大気開放弁８８が設けられており、凹部８３の底面側で大気開放できるようになっている（図６参照）。そして、吸引動作の最終段階で、大気開放弁８８を開弁して大気開放することにより、吸収材８５に含浸されている機能液も吸引できるようになっている。
【００５２】
昇降機構９１は、エアーシリンダで構成され、互いにストロークが異なる２つの昇降シリンダ９２、９３を有している。そして、両昇降シリンダ９２、９３の選択作動でキャップユニット７２の上昇位置を比較的高い第１位置と比較的低い第２位置とに切換え自在としており、キャップユニット７２が第１位置にあるときは、各機能液滴吐出ヘッド３１に各キャップ７３が密着し、キャップユニット７２が第２位置にあるときは、各機能液吐出ヘッド３１と各キャップ７３との間に僅かな間隙が生じるようになっている。
【００５３】
エゼクタ１０１は、吸引用チューブ１１１によりキャップ７３と接続されており、キャップ７３を介して、機能液滴吐出ヘッド３１の全ノズル３９から吸引を行うものである。エゼクタ１０１は、効率的に機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を行えるようキャップ７３近傍に設けられ、図８および図９に示すように、キャップ７３毎に１つのエゼクタ１０１、すなわち計１２個のエゼクタ１０１、が配設されている。なお、キャップ７３とエゼクタ１０１との間にはそれぞれキャップ７３側から順に、機能液の有無を検出する機能液検出センサ１２１、吸引用チューブ１１１内の圧力を検出するキャップ側圧力センサ１２２（圧力検出手段）、吸引用チューブ１１１を開閉するキャップ側開閉弁１２３（吸引管路開閉弁）が介設されている。
【００５４】
エゼクタ１０１は、上記したエアー供給手段５に接続され、作動流体となる圧縮エアーの供給を受ける供給口１０２と、キャップ７３に接続され、吸引力を作用させる吸引口１０３と、供給口１０２に連なって、供給された作動流体および吸引口１０３からの吸引された気泡や機能液を排出するための排出口１０４と、を有している。すなわち、圧縮エアーの供給に伴い発生する随伴流によってエゼクタ１０１内部に負圧を生じさせ、吸引口１０３を介して、キャップ７３を密着させた機能液滴吐出ヘッド３１の吸引が行えるようになっている。そして、後述する流量調整弁１９６により圧縮エアーの供給量を調節して、吸引口１０３からの吸引力（吸引圧力）を調節可能となっている。エゼクタ１０１は、可動部を有さず、比較的小型なので、機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を、エゼクタ１０１を用いて行う構成とすることにより、ポンプを用いて吸引を行う構成に比して、装置を小型化することができる。また、機能液に先行して吸引口１０３から吸引された気泡は、圧縮エアーと共に排出口１０４から速やかに排出されるので、ポンプで吸引を行うときとは異なり、エアー漏れによる吸引力の低下を生じない。
【００５５】
吸引用チューブ１１１は、吸引チューブ１１２と、吸引チューブ１１２を複数（１２本）に分岐させた分岐吸引チューブ１１３（吸引管路）と、で構成されており、分岐吸引チューブ１１３によって、キャップ７３とエゼクタ１０１が接続されている。なお、本実施形態の液滴吐出装置１では、機能液非吐出時、すなわちワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止される時、における機能液滴吐出ヘッド３１のフラッシング動作で吐出された機能液を受ける機能液受けを各キャップ７３が兼ねており、吸引チューブ１１２には、フラッシングで吐出された機能液を、キャップを介して吸引するための吸引ポンプ１１４が介設されている。図８に示すように、吸引ポンプ１１４上流の吸引チューブ１１２には三方弁１１５が介設されており、三方弁１１５には一端を再利用タンク１６２に接続され、エゼクタ１０１から排出された作動流体および機能液を再利用タンク１６２に導くための排出チューブ１１６が接続されている。
【００５６】
そして、三方弁１１５を切替えることにより、エゼクタ１０１と吸引ポンプ１１４とを使い分けできるようになっている。具体的には、機能液滴吐出ヘッド３１に機能液を充填する場合や、機能液滴吐出ヘッド３１をクリーニングする場合には、エゼクタ１０１を用いるため、三方弁１１５を切替えて、吸引チューブ１１２を閉塞すると共に排出チューブ１１６を連通させ、フラッシングで吐出された機能液を吸引する場合のように吸引ポンプ１１４を用いるときには、三方弁１１５を切替えて、吸引チューブ１１２を連通させるようになっている。
【００５７】
ワイピングユニット１４１は、吸引ユニット７１と同じく共通機台１３上に設けられ、機能液滴吐出ヘッド３１の吸引（クリーニング）等により、機能液が付着して汚れた各機能液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面３８をＸ軸方向に移動しながら拭き取るものである。図７に示すように、ワイピングユニット１４１は、拭き取り用のワイピングシート１４４を繰り出しながら巻き取っていく巻取りユニット１４２と、ワイピングシート１４４をノズル形成面３８に接触させるための拭き取りローラ１４５を有する拭き取りユニット１４３と、で構成されている。ワイピングユニット１４１は、機能液滴吐出ヘッド３１に十分近接した状態で、巻き取りユニット１４２からワイピングシート１４４を繰り出し、拭き取りローラ１４５を用いて繰り出したワイピングシート１４４を機能液滴吐出ヘッド３１のノズル形成面３８に押し当てながら、汚れを拭き取っていく。なお、繰り出されたワイピングシート１４４には、後述する洗浄液供給系１７１から洗浄液が供給されており、機能液滴吐出ヘッド３１に付着した機能液を効率よく拭き取れるようになっている。
【００５８】
次に、液体供給回収手段４について説明する。液体供給回収手段４は、ヘッドユニット２１の各機能液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給する機能液供給系１５１と、メンテナンス手段３の吸引ユニット７１で吸引した機能液を回収する機能液回収系１６１と、ワイピングユニット１４１に機能材料の溶剤を洗浄用として供給する洗浄液供給系１７１と、フラッシングユニット６１で受けた機能液を回収する廃液回収系１８１と、で構成されている。そして、図２に示すように、共通機台１３の収容室１４には、図示右側から順に機能液供給系１５１の加圧タンク１５２、機能液回収系１６１の再利用タンク１６２、洗浄液供給系１７１の洗浄液タンク１７２が横並びに配設されている。そして、再利用タンク１６２および洗浄液タンク１７２の近傍には、小型に形成した廃液回収系１８１の廃液タンク１８２が設けられている。
【００５９】
機能液供給系１５１は、大量（３Ｌ）の機能液を貯留する加圧タンク１５２と、加圧タンク１５２から送液された機能液を貯留すると共に、各機能液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給する給液タンク１５３と、給液通路を形成してこれらを配管接続する給液チューブ１５４と、で成り立っている（図１、図２、および図８参照）。加圧タンク１５２に貯留された機能液は、後述するエアー供給手段５から導入される圧縮エアー（不活性ガス）により、給液チューブ１５４を介して貯留する機能液を給液タンク１５３に圧送される。
【００６０】
給液タンク１５３は、大気開放され、加圧タンク１５２からの圧力が縁切りされている。そして、給液タンク１５３は、機能液滴吐出ヘッド３１よりも僅かにマイナス水頭（例えば２５ｍｍ±０．５ｍｍ）に保たれており、機能液滴吐出ヘッド３１から機能液が液垂れすることを防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド３１のポンピング動作、すなわちポンプ部３６内の圧電素子のポンプ駆動で精度良く液滴が吐出されるようになっている。
【００６１】
給液タンク１５３には、機能液滴吐出ヘッド３１に延びる６本の給液チューブ１５４が繋ぎ込まれており、これらの給液チューブ１５４は、それぞれＴ字継手１５７を介して２本に分岐され、計１２本の分岐給液チューブ１５５を形成している。１２本の分岐給液チューブ１５５は、装置側配管部材としてヘッドユニット２１に設けた配管ジョイント２４に接続して、各機能液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給している（図１および図８参照）。また、各分岐給液チューブ１５５には、分岐給液チューブ１５５を開閉するためのヘッド側供給バルブ１５６が介設されており、制御手段６により開閉制御されている。
【００６２】
機能液回収系１６１は、吸引ユニット７１のエゼクタ１０１および吸引ポンプ１１４で吸引した機能液を貯留するためのもので、吸引した機能液を貯留する再利用タンク１６２と、吸引ポンプ１１４に接続され、吸引した機能液を再利用タンク１６２へ導く回収用チューブ１６４と、を有している。
【００６３】
洗浄液供給系１７１は、ワイピングユニット１４１のワイピングシート１４４に洗浄液を供給するためのもので、洗浄液を貯留する洗浄液タンク１７２と、洗浄液タンク１７２の洗浄液を供給するための洗浄液供給チューブ（図示省略）とを有している。なお、洗浄液の供給は、洗浄液タンク１７２にエアー供給手段５から圧縮エアーを導入することにより為される。また、洗浄液には、比較的揮発性の高い機能液の溶剤が用いられ、機能液滴吐出ヘッド３１に付着した機能液を効率よく拭き取れるようになっている。
【００６４】
廃液回収系１８１は、フラッシングユニット６１に吐出した機能液を回収するためのもので、回収した機能液を貯留する廃液タンク１８２と、フラッシングユニット６１（フラッシングボックス６２）に接続され、廃液タンク１８２にフラッシングボックス６２へ吐出された機能液を導く廃液ポンプ（図示省略）と、これらを配管接続する廃液用チューブ（図示省略）と、を有している。
【００６５】
次に、エアー供給手段５について説明する。図８に示すように、エアー供給手段５は、不活性ガス（Ｎ₂）を圧縮した圧縮エアーを各部、例えば加圧タンク１５２やエゼクタ１０１等、に供給するためもので、不活性ガスを圧縮するエアーポンプ１９１（コンプレッサー）と、圧縮エアーを供給先に合わせて一定圧力に保つレギュレータ１９２と、エアーポンプ１９１と各部とを配管接続して、圧縮エアーを各部に供給するエアー供給チューブ１９３と、を備えている。なお、エアーポンプ１９１とレギュレータ１９２とを接続するエアー供給チューブ１９３には、圧縮エアー（機能液）中のごみを除去するためのエアー（液体）フィルタ１９４および油分を除去するためのセパレータ１９６が介設されている。また、エアーポンプ１９１とエゼクタ１０１とを接続するエアー供給チューブ１９３（作動流体供給管路）には、圧縮エアーの供給量を調節する流量調整弁１９６（流量調節弁）が介設され、各エゼクタ１０１に供給する圧縮エアーの供給量を調節できるようになっている。
【００６６】
次に制御手段６について説明する。制御手段６は、各手段の動作を制御するための制御部を備えており、制御部は、制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための作業領域を有している。そして、制御手段６は、上記した各手段と接続され、装置全体を制御している。
【００６７】
制御手段６による制御の一例として、吸引ユニット７１を用い、機能液滴吐出ヘッド３１を吸引する場合について、図８を参照しながら説明する。機能液滴吐出ヘッド３１と吸引する場合、制御手段６（第１制御手段）は、上記したＸ・Ｙ移動機構５１を駆動して、先ずヘッドユニット２１を共通機台１３上に配設された吸引ユニット７１に臨ませる。そして、吸引ユニット７１の昇降機構９１を駆動して、キャップユニット７２を第１位置まで上昇させ、対応する機能液滴吐出ヘッド３１に各キャップ７３を密着させる。
【００６８】
次に、エアー供給チューブ１９３に介設した流量調整弁１９６を徐徐に開弁し、エアー供給手段５から１２個のエゼクタ１０１に圧縮エアーを供給して、機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を開始する。吸引時における圧縮エアーの供給量は、上記した各キャップ側圧力センサ１２２の検出結果に基づいて、流量調整弁１９６を開閉制御することによりエゼクタ１０１毎に適宜調節される。具体的には、吸引用チューブ１１１（分岐吸引チューブ１１３）内の吸引圧力が所定の圧力よりも低下したときには、流量調整弁１９６を制御して圧縮エアーの供給量を増加させ、吸引用チューブ１１１内の吸引圧力が所定の圧力よりも上昇した場合には、流量調整弁１９６を制御して圧縮エアーの供給量を低下させ、各機能液滴吐出ヘッド３１の吸引が一定の吸引圧力で行われるよう制御されている。このように、圧縮エアーの供給量を各エゼクタ１０１で個別的に調節することにより、効率的かつ適切に各機能液滴吐出ヘッド３１を吸引できるようになっている。
【００６９】
なお、本実施形態では、各機能液滴吐出ヘッド３１に対する吸引圧力を個別的に制御するために各キャップ７３にエゼクタ１０１を設ける構成となっているが、エゼクタ１０１の吸引口１０３に接続する分岐吸引チューブ１１３を分岐させることにより、複数のキャップ７３に対して１個のエゼクタ１０１を設ける構成としても良い。すなわち、２個のキャップ７３を１個のエゼクタ１０１で吸引する構成としたり、１２個のキャップ７３を１個のエゼクタ１０１で吸引する構成とすることも可能であり、エゼクタ１０１の設置数は状況に応じて適宜変更可能である。
【００７０】
機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を終了させるときには、先ず流量調整弁１９６を徐徐に閉弁させる。これにより、吸引圧力が急激に低下することを防ぎ、吸引終了後に、機能液滴吐出ヘッド３１内に気泡が逆流することを防止している。また、流量調整弁１９６の閉弁と共に、上記したキャップ側開閉弁１２３は閉弁制御され、確実に吸引動作を終了させて、高価な機能液を無駄に消費しないようになっている。
【００７１】
そして、昇降機構９１を駆動して、キャップユニット７２を下降させ、各キャップ７３を大気開放すると共に、再び流量調整弁１９６を開弁する。これにより、各キャップ７３の吸収材８５に吸収された機能液および吸引用チューブ１１１に残留した機能液を再利用タンク１６２に導くことができる。なお、キャップ７３が大気開放可能に構成されていない場合には、上記したキャップ側開閉弁１２３を、大気開放ポートを有する三方弁で構成することが好ましい。そして、流量調整弁１９６の閉弁と共に、キャップ側開閉弁１２３を大気開放ポートに切替えた後、流量調整弁１９６を開弁するようにし、吸引用チューブ１１１内に機能液が残留して目詰まりが生じることを防止する。
【００７２】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の液滴吐出装置１の基本構成は、上述した第１実施形態と略同様であるが、第２実施形態の液滴吐出装置１では、吸引ユニット７１のエゼクタ１０１に供給する作動流体にエアー供給手段５からの圧縮エアーではなく、機能液を用いている点で異なっている。
【００７３】
図９を参照して説明すると、エゼクタ１０１の供給口１０２は、圧力調整弁２０２を介して、高圧ポンプで構成された機能液ポンプ２０１に接続され、排出口１０４は接続チューブ２０３（排出管路）を介して再利用タンク１６２（貯留タンク）に接続されている。そして、本実施形態では、圧力調整弁２０２を用いて、機能液ポンプ２０１から送液された機能液の圧力を制御することにより、エゼクタ１０１の吸引力を調整している。なお、エゼクタ１０１の吸引口１０３は、第１実施形態と同様に分岐吸引チューブ１１３によりキャップ７３に接続されており、キャップ７３を介して、機能液滴吐出ヘッド３１から吸引可能に構成されている。
【００７４】
再利用タンク１６２と機能液ポンプ２０１とは、接続チューブ２０３で接続されており、機能液ポンプ２０１からエゼクタ１０１および再利用タンク１６２に至るまでの管路と、再利用タンク１６２から機能液ポンプ２０１に至るまでの管路と、で作動流体となる機能液が循環する循環管路２０４が構成されている。そして、再利用タンク１６２と機能液ポンプ２０１とを接続する循環管路２０４には、大気開放ポートを有する三方弁で構成された開閉弁２０５（循環管路開閉弁）が介設されている。また、再利用タンク１６２には、循環管路２０４を満たすことができる量の機能液が予め貯留されており、作動流体としての機能液を間断なくエゼクタ１０１に供給することで、安定した吸引が可能となっている。
【００７５】
ここで、図９を参照しながら、機能液滴吐出ヘッド３１の一連の吸引動作および制御について説明する。先ず、制御手段６（第２制御手段）は、第１実施形態の場合と同様にヘッドユニット２１を吸引ユニット７１に臨ませた後、各機能液滴吐出ヘッド３１にキャップ７３を密着させる。次に、機能液ポンプ２０１の駆動を開始し、再利用タンク１６２からエゼクタ１０１の作動流体となる機能液を汲み出して、圧力調整弁２０２に機能液を送液する。
【００７６】
圧力調整弁２０２は、キャップ７３毎に適切な吸引圧力が保持されるよう、各キャップ側圧力センサ１２２の検出結果に基づいて制御手段６によって制御されている。具体的には、分岐吸引チューブ１１３内の吸引圧力が所定圧力よりも低下したときには機能液の送液量を増加させ、分岐吸引チューブ１１３内の吸引圧力が所定圧力よりも上昇したときには機能液の送液量を減少させる。
【００７７】
圧力調整弁２０２を経た機能液は、適切な圧力でエゼクタ１０１の供給口１０２に送液され、吸引力を生じさせながら、排出口１０４から再利用タンク１６２に排出される。また、機能液滴吐出ヘッド３１から吸引された機能液も、エゼクタ１０１内部で供給口１０２から供給された機能液と合流し、排出口１０４から再利用タンク１６２に排出される。そして、再利用タンク１６２に排出された機能液は、再び機能液ポンプ２０１で汲み出されて、作動流体として循環していく。
【００７８】
このように、本実施形態では、作動流体として非圧縮性の機能液を用いているため、機能液滴吐出ヘッド３１をより一層効率よく吸引可能である。また、機能液を循環させる構成となっているので、機能液滴吐出ヘッド３１の吸引で使用する機能液の量を最小限に抑えることができると共に、再利用タンクを小型化して装置の省スペース化を図ることができる。さらに、作動流体に圧縮エアーを用いる場合と異なり、吸引された機能液を排出する際に気泡（圧縮エアー）が混じることがないので、排出された機能液を容易に再利用可能となっている。
【００７９】
機能液滴吐出ヘッド３１に対する吸引動作を終了させるときには、吸引圧力の急激な低下を防ぐために、制御手段６は、圧力調整弁２０２を制御してエゼクタ１０１に供給する機能液の圧力を徐徐に低下させると共に、機能液ポンプ２０１による機能液の送液量を減少させる。そして、上記した開閉弁２０５を閉弁させ、再利用タンク１６２からの機能液の供給を停止させる。続けて、開閉弁２０５を大気開放ポートに切替え、循環管路を大気開放することにより、循環管路内に残留する機能液を再利用タンク１６２に送り込む。そして、機能液ポンプ２０１の駆動を停止させ、吸引動作を終了する。
【００８０】
このように、第１実施形態および第２実施形態の液滴吐出装置１では、エゼクタを用いて機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を行う構成となっているので、ポンプを用いて吸引を行う場合と異なり、機能液に先行して吸引される気泡の影響を受けて吸引力が低下することがなく、効率的に機能液滴吐出ヘッド３１の吸引を行うことができる。したがって、上記した液滴吐出装置１を各種製品の製造に適用することにより、効率的な製造を行うことができる。
【００８１】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。
【００８２】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８３】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８４】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００８５】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８６】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、基板５０１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ５００が得られる。
【００８７】
図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００８８】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００８９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料により形成されている。
【００９０】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９１】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００９２】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３１で行うことも可能である。
【００９３】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９５】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９６】
図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００９７】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００９８】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００９９】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１００】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１０１】
次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１０２】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１０３】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０４】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１０５】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０６】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１０７】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１０８】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１０９】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
【０１１０】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１１１】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１１２】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１３】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１４】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１５】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１６】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の吸着テーブル５３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１１７】
図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド３１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。
【０１１８】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１１９】
そして次に、図２１に示すように、各色のうちの何れか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２０】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１２１】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３１を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２２】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１２３】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２４】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２５】
次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２６】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１２７】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１２８】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２９】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６を液滴吐出装置１の吸着テーブル５３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３０】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１３１】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１３２】
次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３３】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３４】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３５】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３６】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１３７】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１３８】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【０１３９】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の機能液滴吐出ヘッドの吸引方法および吸引装置は、機能液滴吐出ヘッドの吸引手段としてエゼクタを用いているので、機能液に先行して吸引される気泡の影響を受けることなく、適切な吸引力を維持して効率的に機能液滴吐出ヘッドの吸引を行うことができる。したがって、機能液滴吐出ヘッドから気泡を効率的に排出して、機能液滴吐出ヘッドの吸引で消費する機能液を削減することができると共に、吸引に要する時間を最小限に抑えることができる。また、エゼクタは、ポンプに比べて小型であるので、装置を小型化することができる。
【０１４０】
また、本発明の液滴吐出装置は上記の吸引装置を備えているので、装置の省スペースを図ることができる。また、機能液滴吐出ヘッドに機能液を充填する際や、機能液滴吐出ヘッドをクリーニングする際のように、機能液滴吐出ヘッドの吸引を行う場合に効率よく吸引することが可能である。
【０１４１】
本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器では、上記した液滴吐出装置を用いて製造されているため、機能液滴吐出ヘッドの吸引に要する機能液量および時間を削減することができ、効率的にこれらの製造を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】本実施形態における機能液滴吐出装置の右側面図である。
【図３】ヘッドユニットの平面図である。
【図４】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図５】吸引ユニットの外観斜視図である。
【図６】吸引ユニットのキャップ廻りの断面図である。
【図７】ワイピングユニットを説明した図であり、（ａ）はワイピングユニットの模式図、（ｂ）はワイピング動作の説明図である。
【図８】本発明の第１実施形態における機能液滴吐出ヘッド、これに接続される機能液供給系、エアー供給手段、および吸引ユニットの模式図である。
【図９】本発明の第２実施形態における機能液ポンプおよび吸引ユニット廻りの模式図である。
【図１０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２６】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
１ 液滴吐出装置 ２ 吐出手段
３ メンテナンス手段 ４ 機能液供給回収手段
５ エアー供給手段 ６ 制御手段
３１ 機能液滴吐出ヘッド ３８ ノズル形成面
３９ 吐出ノズル ７３ キャップ
１０１ エゼクタ １０２ 供給口
１０３ 吸引口 １０４ 排出口
１１３ 分岐吸引チューブ １２２ キャップ側圧力センサ
１２３ キャップ側開閉弁 １６２ 再利用タンク
１９１ エアーポンプ １９３ エアー供給チューブ
１９６ 流量調整弁 ２０１ 機能液ポンプ
２０２ 圧力調整弁 ２０４ 循環管路
２０５ 開閉弁 Ｗ ワーク

Claims (11)

1. 機能液滴を吐出するインクジェットヘッドで構成した機能液滴吐出ヘッドに機能液を充填する初期充填、および前記機能液滴吐出ヘッド内で増粘した機能液を除去するクリーニングのために、
   前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面にキャップを密着させ、前記キャップを介して前記機能液滴吐出ヘッドを吸引する機能液滴吐出ヘッドの吸引装置において、
   前記キャップと連通して、前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に連なるノズルを吸引するエゼクタと、
   前記エゼクタに作動流体を供給する作動流体供給手段と、
   前記キャップと前記エゼクタの吸引口を接続する吸引管路内の圧力を検出する圧力検出手段と、
   前記作動流体供給手段と前記エゼクタの供給口とを接続する作動流体供給管路に介設され、前記エゼクタに供給する前記作動流体の流量を調節する流量調節弁と、
   前記吸引管路に介設され、前記吸引管路を開閉する吸引管路開閉弁と、
   前記圧力検出手段の検出結果に基づいて前記流量調節弁を制御すると共に、前記吸引管路開閉弁を制御する第１制御手段と、を備え、
   前記第１制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、前記流量調整弁を閉弁させると共に、前記吸引管路開閉弁を閉弁させることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
2. 前記エゼクタは、前記キャップの近傍に配設されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
3. 前記第１制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、前記流量調節弁を徐々に閉弁させることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
4. 前記吸引管路開閉弁は、大気開放ポートを有する三方弁で構成されており、
   前記第１制御手段は、前記吸引管路開閉弁の閉弁と同時に前記大気開放ポートを開放すると共に、再び前記流量調節弁を開弁することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
5. 予め機能液を貯留していると共に、排出管路により前記エゼクタの排出口に接続された貯留タンクをさらに備え、
   前記作動流体供給手段は、ポンプで構成されると共に、循環管路を介して前記貯留タンクに接続されており、作動流体として機能液を供給することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
6. 前記作動流体供給手段と前記貯留タンクとを接続する前記循環管路には、大気開放ポートを有する三方弁で構成された循環管路開閉弁が介設されており、
   前記機能液滴吐出ヘッドに対する吸引終了時に、前記循環管路開閉弁を閉弁すると共に前記循環管路開閉弁の前記大気開放ポートを開放する第２制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項５に記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
7. 前記機能液滴吐出ヘッドは、複数設けられており、
   前記キャップ、前記エゼクタ、および前記吸引管路は、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対応してそれぞれ複数設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの吸引装置と、
   ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
9. 請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
10. 請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
11. 請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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