JP4552683B2 - 機能液供給装置の制御方法、機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、加圧ポンプにより機能液タンクを所定の上限圧力まで初期加圧した後、加圧ポンプを間欠的に駆動して機能液タンクに追い加圧することにより、機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに、所定の下限圧力から上限圧力までの圧力範囲内の機能液を加圧供給する機能液供給装置の制御方法、機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関する。

従来から、エアーポンプを用いてインクタンク（機能液タンク）を加圧することにより、インクタンクに貯留されたインク（機能液）を、インクジェット記録ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）に加圧供給するインク供給装置（機能液供給装置）が知られている。このようなインク供給装置では、インクタンクとインクジェット記録ヘッドとの間にサブタンクが介設されており、インクタンクから圧送されたインクは一旦サブタンクに貯留されてから、インクジェット記録ヘッドに供給されるようになっている。

サブタンクには、インク残量を検出する変位検出手段が設けられており、サブタンク内のインク残量に応じて、インクタンクからインクが供給される。これにより、サブタンク内の圧力は一定の範囲に保たれ、インクジェット記録ヘッドに供給されるインクの圧力変動が抑えられるようになっている。
特開２００１−１６２８３４号公報

しかしながら、インクジェット記録ヘッドに供給するインクの圧力変動を抑えるために、インクタンクに加え、サブタンクを設けなければならないとすると、部品点数の増加やスペース的な問題が生じるうえ、インクタンクからインクジェット記録ヘッドに至るインク流路（機能液流路）が長くなるため、インクタンクのインクを効率的に利用できないといった問題も生じる。

そこで、本発明は、サブタンクを設けることなく比較的簡易な構成で、一定の圧力範囲に保たれた機能液を、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに供給可能な機能液供給装置の制御方法、機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。

本発明は、所定の作動圧力を維持するために、加圧ポンプにより機能液タンクを作動圧力の上限圧力まで初期加圧した後、作動圧力が下限圧力まで降下したときに、加圧ポンプを駆動して機能液タンクに追い加圧することにより、機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに、作動圧力で機能液を加圧供給する機能液供給装置の制御方法であって、機能液タンク内の圧力が下限圧力に達しているか否かを検出する圧力検出工程と、機能液タンクの全容積から当該機能液タンクに残留する機能液の容積を除いた加圧容積を測定する加圧容積測定工程と、加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を測定するエアー供給量測定工程と、加圧容積測定工程およびエアー供給量測定工程による測定結果に基づいて、加圧ポンプを駆動することにより、下限圧力から上限圧力に到達するまでの追い加圧時間を算出する追い加圧時間算出工程と、機能液タンクの圧力が降下して下限圧力に達したときに、算出した追い加圧時間、加圧ポンプを駆動するポンプ駆動工程と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明は、所定の作動圧力を維持するために、加圧ポンプにより機能液タンクを作動圧力の上限圧力まで初期加圧した後、作動圧力が下限圧力まで降下したときに、加圧ポンプを駆動して機能液タンクに追い加圧することにより、機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに、作動圧力で機能液を加圧供給する機能液供給装置であって、機能液タンク内の圧力が下限圧力に達しているか否かを検出する圧力検出手段と、機能液タンクの全容積から当該機能液タンクに残留する機能液の容積を除いた加圧容積を測定する加圧容積測定手段と、加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を測定するエアー供給量測定手段と、加圧ポンプの駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、加圧容積測定手段およびエアー供給量測定手段による測定結果に基づいて、加圧ポンプを駆動することにより、下限圧力から上限圧力に到達するまでの追い加圧時間を算出し、機能液タンクの圧力が降下して下限圧力に達したときに、算出した追い加圧時間、加圧ポンプを駆動することを特徴とする。

これらの構成によれば、加圧ポンプを実際に駆動することにより追い加圧時間を算出しているため、作動圧力の下限圧力を検出し、算出した追い加圧時間に基づいて加圧ポンプを駆動させる（追い加圧させる）という比較的簡易な構成で、作動圧力の上限圧力まで（追い）加圧することが可能となる。すなわち、追い加圧直後における圧力のばらつきを抑えることができる。
また、加圧ポンプを実際に駆動させ、単位時間当たりのエアー供給量を測定しているため、加圧ポンプの実際の性能を把握することが可能である。すなわち、加圧ポンプの性能が経時的に劣化するような場合や、加圧ポンプの性能に製造上のばらつきがある場合でも、その性能を把握することができるため、追い加圧により作動圧力の上限圧力まで加圧することができる。したがって、追い加圧不足により作動圧力が下限圧力まで頻繁に降下することがなく、加圧ポンプの駆動頻度を適切なものとすることができる。

この場合、エアー供給量測定工程は、初期加圧を開始してから下限圧力に達するまでの時間を計測する時間計測工程と、初期加圧を開始してから下限圧力に達するまでに、加圧ポンプが供給する基準エアー供給量を測定する基準供給量測定工程と、時間計測工程による計測時間と、基準供給量測定工程による基準エアー供給量と、に基づいて、単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出工程と、を有することが好ましい。

また、この場合、エアー供給量測定手段は、初期加圧を開始してから下限圧力に達するまでの時間を計測する時間計測手段と、初期加圧を開始してから下限圧力に達するまでに、加圧ポンプが供給する基準エアー供給量を測定する基準供給量測定手段と、時間計測手段による計測時間と、基準供給量測定手段による基準エアー供給量と、に基づいて、単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出手段と、を有していることが好ましい。

これらの構成によれば、初期加圧を開始してから下限圧力に達するまでの時間を計測すると共に、計測時間内に加圧ポンプが実際に供給する基準エアー量を測定することにより、加圧ポンプのエアー供給性能を示す単位時間当たりのエアー供給量を算出することができる。

この場合、エアー供給量測定工程は、加圧ポンプの累積駆動時間を測定する累積駆動時間測定工程と、累積駆動時間および加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を関係付けたエアー供給量情報と、測定した前記累積駆動時間と、に基づいて単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出工程と、を有していることが好ましい。

また、この場合、エアー供給量測定手段は、加圧ポンプの累積駆動時間を測定する累積駆動時間測定手段と、累積駆動時間および加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を関係付けたエアー供給量情報と、測定した累積駆動時間と、に基づいて単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出手段と、を有していることが好ましい。

これらの構成によれば、加圧ポンプの累積駆動時間を測定すれば、加圧ポンプの累積駆動時間とその単位時間当たりのエアー供給量とを関係付けたエアー供給量情報を用いて、その単位時間当たりのエアー供給量を算出して把握することができる。

この場合、機能液タンクの機能液供給口の高さ位置が、機能液滴吐出ヘッドのノズル面よりも低い位置となるように配設されていることが好ましい。

この構成によれば、加圧ポンプの実際のエアー供給状態を把握して、追い加圧を行うことができるので、機能液タンクを機能液滴吐出ヘッドのノズル面のよりも低い位置に配設した場合に、機能液を適切に機能液滴吐出ヘッドに供給することができる。

この場合、機能液タンクと機能液滴吐出ヘッドとの間には、機能液タンクから送液される機能液の圧力を調整する圧力調整弁が介設されていることが好ましい。

この構成によれば、所定の作動圧力を維持できる上に、圧力調整弁が介設されているため、機能液滴吐出ヘッドの供給する機能液の圧力を極めて安定した状態とすることができる。

本発明は、描画対象物に対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより機能液滴を吐出させて、描画対象物に所定の描画パターンを描画する液滴吐出装置において、上述のいずれかに記載の機能液供給装置を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに所定の作動圧力の機能液を供給することができるため、機能液滴吐出ヘッドの機能液滴の吐出状態を安定させることができ、精度良い描画を実現することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、高精度な描画を実現可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の第１実施形態にかかり、液滴吐出装置の一種であるインクジェットプリンタについて説明する。このインクジェットプリンタは、パソコン等のホストコンピュータに接続して用いる大型カラープリンタであり、ホストコンピュータから転送された印刷データに基づいて、インクジェット方式により印刷対象物となるロール紙に印刷を行うものである。

図１および図２に示すように、インクジェットプリンタ１は、インクジェットヘッド４１（後述する）を有するプリンタ本体２と、プリンタ本体２を支持する支持スタンド３と、を備えている。

プリンタ本体２は、装置ケース１１で外郭を覆われており、その上部後方には、ロール紙Ｒを着脱させるためのロール紙カバー１２が開閉自在に設けられていると共に、ロール紙カバー１２の前方からプリンタ本体２の正面にかけては、内部を大きく開放する開閉カバー１３が着脱自在に設けられている。また、装置ケース１１には、インクカートリッジ８１を着脱するためのカートリッジカバー１７も形成されている。さらに、プリンタ本体２の正面には、印刷済みのロール紙Ｒを排紙させる排紙口１４が、開閉カバー１３の下側に位置して形成されている。
ロール紙カバー１２の内側には、ロール紙Ｒを着脱自在に収容するロール紙収容部１５が形成され、ロール紙Ｒを装填してこれを繰出す繰出しリール１６が設けられている。
一方、開閉カバー１３の内側には、繰出されたロール紙Ｒを排紙口１４まで送る送り経路（図示省略）が形成されており、この送り経路に沿って、ロール紙Ｒに印刷を行うための印刷手段２１が設けられている。

このインクジェットプリンタ１は、基本的な構成として、インクジェットヘッド４１を有し、ロール紙Ｒに印刷を行うための印刷手段２１と、ロール紙Ｒを送り経路に沿って送る送り手段２２と、インクカートリッジ８１を有し、インクジェットヘッド４１にインクを供給するインク供給手段２３と、インクジェットヘッド４１のメンテナンスに供するメンテナンス手段２４と、これら各手段を相互に関連させながら制御することにより、インクジェットプリンタ１全体を制御する制御手段２５と、を備えている（図７参照）。そして、インク供給手段２３によりインクジェットヘッド４１にインクを供給しながら、印刷手段２１および送り手段２２を同期して駆動させることにより、ロール紙Ｒに画像を印刷するようになっている。

印刷手段２１は、インクジェットヘッド４１を搭載したヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を移動自在に支持し、ヘッドユニット３１を移動させるヘッド移動機構３２と、を備えている。

ヘッドユニット３１は、インク（滴）を吐出する複数のインクジェットヘッド４１をキャリッジ４２に搭載して構成されている。図３に示すように、インクジェットヘッド４１は、インク供給手段２３からインクの供給を受ける接続針５２が設けられたインク導入部５１と、インク導入部５１の下方に連なり、供給されたインクを吐出させるためのヘッド本体５３と、を備えている。ヘッド本体５３は、多数（３６０個）の吐出ノズル５７が開口したノズル面５６を有するノズルプレート５４およびピエゾ圧電素子が組み込まれたケース５５から構成されており、インクジェットヘッド４１では、ケース５５内のピエゾ圧電素子の収縮により吐出ノズル５７からインク滴を吐出するようになっている。

なお、図３に示した本実施形態のインクジェットヘッド４１は、いわゆる２連のものであり、インク導入部５１には、個別にインクが供給される２つの接続針５２が設けられていると共に、ノズルプレート５４（ノズル面５６）には、各接続針５２からインクが個別に供給されるノズル列が２列形成されている。各ノズル列は、多数（１８０個）の吐出ノズル５７を等ピッチに配置させたものであり、相互に半ピッチ（約７０μｍ）分位置ずれして形成されている。したがって、インクジェットヘッド４１では、各ノズル列に異なる種類のインクを供給して、２種類のインクを吐出させることも可能であるし、２列のノズル列を合わせ、半ピッチ間隔でインクを吐出させる（高解像度の描画を行わせる）ことも可能である。

キャリッジ４２は、複数のインクジェットヘッド４１を位置決めした状態で保持しており、複数のインクジェットヘッド４１をキャリッジ４２に位置決め固定すると、キャリッジ４２には、各インクジェットヘッド４１のノズル列から成る所定の描画ラインが形成される。描画ラインとは、ロール紙Ｒの送り方向（Ｙ軸方向）に連続し、かつ同一色のインクが供給されるノズル列（吐出ノズル５７）の並びであり、本実施形態では、インク供給手段２３で供給される４色（４個）のインクに対応して、キャリッジ４２上に４本の描画ラインが形成されるようになっている。

ヘッド移動機構３２は、ヘッドユニット３１（キャリッジ４２）をロール紙Ｒの送り方向（Ｙ軸方向）に直交するＸ軸方向（主走査方向）に移動させるためのものであり、キャリッジモータ（図示省略）と、キャリッジモータの動力を伝達してヘッドユニット３１をＸ軸方向に移動させる動力伝達機構（図示省略）と、ヘッドユニット３１をＸ軸方向に対してスライド自在に支持すると共に、Ｘ軸方向に延在してその移動をガイドするガイド部材６２と、を備えている。

キャリッジモータは、正逆回転可能なＤＣサーボモータで構成されている。動力伝達機構は、一対のプーリと、一対のプーリ間に架け渡され、送り経路に対してインクジェットヘッド４１のノズル面５６が平行となるようにキャリッジ４２の基部を固定したタイミングベルトと、を有している（いずれも図示省略）。一方のプーリにはキャリッジモータが接続されており、キャリッジモータが正逆回転すると、タイミングベルトを介してヘッドユニット３１に動力が伝達され、ガイド部材６２を案内にして、キャリッジ４２がＸ軸方向に往復動する。

なお、ヘッド移動機構３２は、予め設定されたヘッド移動領域６４内でヘッドユニット３１を往復動させるように構成されている。本実施形態では、ヘッド移動領域６４の図示右側の端に当たる位置が、ヘッドユニット３１のホーム位置に設定されており、この位置を基準位置として、ヘッドユニット３１の移動位置が把握される。

具体的には、インクジェットプリンタ１には、ヘッドユニット３１のホーム位置を検出するホーム位置検出センサ６５が設けられていると共に、キャリッジ４２に搭載されたフォトセンサと、ガイド部材６２に並設され、Ｘ軸方向に延在するリニアスケールと、から成るＸ軸リニアエンコーダー６６が設けられており、ホーム位置検出センサでヘッドユニット３１のホーム位置を検出してから、フォトセンサでリニアスケールに設けられた多数の検出線を順次検出していくことにより、ヘッド移動領域６４内を移動するヘッドユニット３１の移動位置を把握するようになっている。

送り手段２２は、ロール紙収容部１５に収容されたロール紙Ｒを繰り出すと共に、繰出したロール紙Ｒを送り経路に沿って送るためのものであり、ロール紙Ｒを繰出し送りするための駆動源となる送りモータ（図示省略）と、送り経路に臨んで配設されると共に、動力伝達機構（図示省略）を介して送りモータに接続され、ロール紙Ｒを繰出し送りする送りローラ（図示省略）と、を備えている。なお、ヘッド移動領域６４内には、セットされたロール紙Ｒの幅に対応して印刷領域が設定されており、ロール紙Ｒは、送り手段２２によりこの印刷領域を通過するように送られてゆく。

このインクジェットプリンタ１では、ヘッド移動機構３２を駆動してヘッドユニット３１をＸ軸方向に移動させながら、複数のインクジェットヘッド４１を選択的に駆動することにより、ロール紙Ｒにインク滴を吐出させる主走査と、送り手段２２を駆動して行われるロール紙Ｒの送りである副走査と、を繰り返し行うことにより、ロール紙Ｒに所望の画像を描画させてゆく。

図４に示すように、インク供給手段２３は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、およびブラック（Ｂ）のインクをそれぞれ貯留した４個のインクカートリッジ８１と、４個のインクカートリッジ８１を収容するカートリッジホルダ８２と、各インクカートリッジ８１にエアーを供給することによりインクカートリッジ８１を加圧して、各インクカートリッジ８１のインクを加圧送液させる加圧手段８３と、（４個の）インクカートリッジ８１と（複数の）インクジェットヘッド４１とを配管接続する複数本（本実施形態では４本）の給液チューブ８４と、を備えている。

図５に示すように、各インクカートリッジ８１は、インクを貯留したインクパック９１と、インクパック９１を収容したカートリッジケース９３と、を有している。インクパック９１は、２枚の長方形の（可撓性の）フィルムシートを重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、インクを供給する樹脂製の供給口９２を取り付けたものであり、変形可能に構成されている。カートリッジケース９３は、インクパック９１を密閉状態で収容していると共に、加圧手段８３のエアー配管１１３（後述する）に連通するエアー供給口（図示省略）が設けられている。すなわち、エアー供給口がカートリッジケース９３内にエアーを供給すると、インクパック９１の周囲にエアーが供給され、インクパックを外側から加圧する。

カートリッジホルダ８２は、インクジェットヘッド４１のノズル面よりも低い位置に固定的に設置されている。カートリッジホルダ８２は、所定の色のインクカートリッジ８１を装着するための４個のカートリッジ装着部１０１を有している。各カートリッジ装着部１０１には、接続アダプタ（図示省略）が設けられており、カートリッジ装着部１０１にインクカートリッジ８１を装着すると、接続アダプタを介して、エアー配管１１３とカートリッジケース９３とが気密状態に接続される。

加圧手段８３は、各インクカートリッジ８１（カートリッジケース９３）にエアーを供給するエアー供給機構１１１を備えている。エアー供給機構１１１は、エアーを各インクカートリッジ８１に供給して、これを加圧する単一の加圧ポンプ１１２と、加圧ポンプ１１２および各インクカートリッジ８１を接続するエアー配管１１３（エアー流路）と、エアー配管１１３に介設したレギュレータ１１４と、レギュレータ１１４の下流側に位置するエアー配管１１３に介設され、エアー流路内の圧力を検出することにより、インクパック９１に作用する加圧力を検出する圧力センサ１１５と、を備えている。

加圧ポンプ１１２は、ダイヤフラム式のものが用いられており、ポンプ室の一部を構成するダイヤフラムに対して、動力伝達機構を介してポンプモータ（ステッピングモータ）の動力を伝達することにより、ポンプ室の容積を増減させて、エアーの吸い込み・供給を行っている（いずれも図示省略）。加圧ポンプ１１２を駆動すると、エアー配管１１３を介してエアーが供給され、カートリッジケース９３内が加圧される。これにより、インクカートリッジ８１に収容されたインクパック９１が加圧され、インクパック９１に貯留するインクが加圧供給される。

エアー配管１１３は、一端を加圧ポンプ１１２に接続されていると共に、他端は各カートリッジ装着部１０１に配設された４個の接続アダプタを直列に接続しており、単一の加圧ポンプ１１２から供給されるエアーを、接続アダプタを介して４個の各インクカートリッジ８１（カートリッジケース９３）に供給する。

レギュレータ１１４は、加圧ポンプ１１２のエアー供給に起因して、エアー流路内の圧力（カートリッジケース９３の加圧力）が予め設定した所定の上限圧力を超えないようにするための安全弁（逃がし弁）である。なお、レギュレータ１１４には、ソレノイド１１４ａが設けられており、インクジェットプリンタ１の非稼動時等には、エアー流路内を大気開放するように構成されている。

圧力センサ１１５は、フォトカプラ等で構成されたＯＮ／ＯＦＦセンサであり、エアー流路内の圧力が設定圧力に達しているか否かを検出する。詳細は後述するが、圧力センサ１１５は、制御手段２５に接続されており、圧力センサ１１５の検出結果に基づいて、制御手段２５が加圧ポンプ１１２を駆動することにより、インクカートリッジ８１から供給されるインクのインク供給圧力が所定の作動圧力内に保たれる。

各給液チューブ８４は、その一端がインクジェットヘッド４１の接続針５２に接続され、他端がインクカートリッジ８１の供給口９２に接続されている。４本の給液チューブ８４は、図外のケーブル担持体（ケーブルベア：登録商標）にまとめて収容されており、ヘッドユニット３１（キャリッジ４２）の移動に追従にして移動する。

なお、図４に示すように、インクジェットヘッド４１を搭載したキャリッジ４２には、インクカートリッジ８１から供給されるインクの圧力を調整するための複数の圧力調整弁１２１が搭載されており、給液チューブ８４には、圧力調整弁１２１が介設されている。

図６に示すように、圧力調整弁１２１は、バルブハウジング１２２内に、インクカートリッジ８１に連なる１次室１２３と、インクジェットヘッド４１に連なる２次室１２４と、１次室１２３および２次室１２４を連通する連通流路１２５とを形成したものであり、２次室１２４の１の面には外部に面してダイヤフラム１２６（樹脂フィルム）が設けられ、連通流路１２５にはダイヤフラム１２６により開閉動作する弁体１２７が設けられている。

インクカートリッジ８１から１次室１２３に導入された機能液は、２次室１２４を介してインクジェットヘッド４１に供給されるが、このとき、ダイヤフラム１２６に作用する大気圧が調整基準圧力として、連通流路１２５に設けられた弁体１２７を開閉させることにより、２次室１２４内の圧力調整が行われる。この場合、弁座となる２次室１２４側の連通流路の開口縁に離接する弁体本体１２７ａと、ダイヤフラム１２６と、の面積比に応じて、インクパック９１側（１次側）のインクの圧力変動を抑えることができるため、インクジェットヘッド４１には、圧力変動の極めて少ない安定した圧力のインクを供給可能である。すなわち、インクカートリッジ８１から供給されるインクの供給圧は、所定の作動圧力に保たれているが、この圧力調整弁１２１により、さらにその圧力変動量を小さくすることが可能である。また、インクパック９１側で発生するインクの脈動等も、弁体１２７で縁切りされるため、これを吸収することが可能である（ダンパー機能）。

メンテナンス手段２４は、インクジェットヘッド４１を吸引する吸引手段１３１と、インクジェットヘッド４１からの吐出を受けるためのフラッシング手段１３２と、を備えている。

吸引手段１３１は、インクジェットヘッド４１のノズル面に密着可能に構成したキャップ１４１を介して、インクジェットヘッド４１に吸引ポンプ等からの吸引力を作用させることにより、吐出ノズル５７からインクを強制的に排出させるものであり、吐出ノズル５７の目詰まりを解消／防止するために用いられる。また、吸引手段１３１（のキャップ１４１）は、インクジェットヘッド４１を保管するためにも用いられ、インクジェットプリンタ１の非稼動時には、キャップ１４１をインクジェットヘッド４１のノズル面５６に密着させて、吐出ノズル５７の乾燥を防止する。なお、吸引手段１３１は、ホーム位置に臨んで配設されており、ホーム位置に臨んだヘッドユニット３１のインクジェットヘッド４１に対してキャップ１４１を密着させることができるようになっている（図４参照）。

フラッシング手段１３２は、インクジェットヘッド４１からの吐出を受けるフラッシング受け部１５１を有している。フラッシング受け部１５１は、吸引手段１３１の設置領域を除いた上記のヘッド移動領域６４に亘り、インクジェットヘッド４１の移動軌跡を包含するように設けられた凹溝であり、ヘッドユニット３１がいずれの位置に臨んでも、インクジェットヘッド４１からの吐出を受けるように構成されている。これにより、インクジェットヘッド４１から捨て吐出されたインク滴はもちろんのこと、ロール紙Ｒの端からはみ出したインク滴もフラッシング受け部１５１で受けられるようになっている（図４参照）。

なお、ここにいう「捨て吐出」とは、インクジェットヘッド４１の吐出ノズル５７内で（気化等により）粘度が増したインクを排出すると共に、吐出ノズル５７に状態の良い新たなインクを供給するために、インクジェットヘッド４１の（全）吐出ノズル５７からインクを吐出させるものであり、捨て吐出を行うことにより、インクジェットヘッド４１を適切な状態に維持することができるようになっている。

制御手段２５は、インクジェットプリンタ１の各手段に接続されており、インクジェットプリンタ１全体を統括的に制御している。また、制御手段２５には、ユーザとのインタフェースとして、ディスプレイ（図示省略）や各種インジケータ等が備えられている。

次に、図７を参照して、インクジェットプリンタ１の主制御系について説明する。同図に示すように、インクジェットプリンタ１は、プリンタインタフェース１６１を有し、ホストコンピュータから送信された印刷データ（画像データや印刷制御データ）および各種指令を入力すると共に、インクジェットプリンタ１内部における各種データをホストコンピュータに出力するためのデータ入出力部１６２と、上記したＸ軸リニアエンコーダー６６や圧力センサ１１５等を有し、各種検出を行う検出部１６３と、印刷手段２１および送り手段２２を有し、ロール紙Ｒに印刷を行うための印刷部１６４と、インク供給手段２３を有し、インクを加圧供給するためのインク供給部１６５と、インクジェットヘッド４１を駆動するヘッドドライバ１７１や、キャリッジモータを駆動するキャリッジモータドライバ１７２、送りモータを駆動する送りモータドライバ１７３、加圧ポンプ１１２を駆動するためのポンプ駆動ドライバ１７４等、各部を駆動する各種ドライバを有する駆動部１６６と、これら各部に接続され、インクジェットプリンタ１全体の制御を行う制御部１６７と、を備えている。

制御部１６７は、一時的に記憶可能な記憶領域を有する他、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ１８１と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データ（色変換テーブルや文字修飾テーブル等）を記憶するＲＯＭ１８２と、各種データを演算処理するＣＰＵ１８３、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が組み込まれると共に、時間制御を行うためのタイマー１８５が組み込まれた周辺制御回路（Ｐ−ＣＯＮ）１８４、これらを互いに接続するバス１８６、が備えられている。

なお、ＲＡＭ１８１には、後述の追い加圧算出方法で用いられる各種データ（例えば、カートリッジケース９３の加圧可能容積、単位インク滴数あたりのインク体積等）が記憶されていると共に、各吐出ノズル５７から吐出されたインク滴数をカウントするインク滴カウンタ（図示省略）が設けられている。また、ＲＯＭ１８２には、加圧ポンプ１１２を駆動制御するための駆動制御プログラムが記憶されており、追い加圧時間の算出も、この駆動制御プログラムに従って行われる。

制御部１６７では、Ｐ−ＣＯＮ１８４を介して各部から入力された各種データやＲＡＭ１８１内の各種データを、ＲＯＭ１８２に記憶された制御プログラム等に従ってＣＰＵ１８３に演算処理させ、その処理結果をＰ−ＣＯＮ１８４を介して各部に出力することにより、各部を制御している。

例えば、制御部１６７には、加圧手段８３の圧力センサ１１５が接続されており、制御部１６７は、圧力センサ１１５の検出結果に基づいて、エアー供給機構１１１（加圧ポンプ１１２）を間欠的に駆動することにより、インクカートリッジ８１の加圧力、すなわちインクカートリッジ８１から供給するインクの供給圧力を、予め設定した作動圧力（Ｐｍｉｎ〜Ｐｍａｘ）内に調整している。

より具体的には、圧力センサ１１５は、作動圧力の下限圧力Ｐｍｉｎを検出するように設定されており、初期加圧時も含めて、制御部１６７は、圧力センサ１１５が下限圧力Ｐｍｉｎを検出した後（圧力検出工程）、加圧ポンプ１１２の駆動により、加圧力（インクの供給圧力）が作動圧力の下限圧力Ｐｍｉｎから作動圧力の上限圧力Ｐｍａｘに到達するまでの時間を追い加圧時間Ｔ（ｓｅｃ）として算出するようになっている。そして、算出した追い加圧時間、加圧ポンプ１１２を駆動させる（ポンプ駆動工程）ことにより、インクカートリッジ８１の加圧力を作動圧力に調整している。

なお、インクジェットヘッド４１には、所定量（体積）の機能液滴の吐出が補償される機能液の圧力として、補償圧力範囲が予め設定されており、上記作動圧力は、この補償圧力範囲を満たすように設定されている。

ここで、追い加圧時間算出方法について説明する。本実施形態では、加圧ポンプ１１２の単位時間当たりのエアー供給量Ａ（ｍｌ／ｓｅｃ）と、下限圧力Ｐｍｉｎを上限圧力Ｐｍａｘに到達させるのに必要な必要エアー量Ｂ（ｍｌ）と、の商として、追い加圧時間Ｔを算出するようになっており、追い加圧時間算出方法は、単位時間当たりのエアー供給量Ａを測定するエアー供給量測定工程と、必要エアー量Ｂを算出する必要エアー量算出工程と、測定した単位時間当たりのエアー供給量Ａおよび算出した必要エアー量Ｂに基づいて、追い加圧時間Ｔを算出する追い加圧時間算出工程と、を備えている。

エアー供給量測定工程は、加圧ポンプ１１２で大気開放状態のカートリッジケース９３を上限圧力Ｐｍａｘまで加圧する初期加圧において、カートリッジケース９３の加圧力が初期加圧を開始してから下限圧力Ｐｍｉｎに到達するまでの到達時間ｔ（ｓｅｃ）と、到達時間ｔの間に加圧ポンプ１１２が供給したエアー供給量ａ（ｍｌ）と、を除算して、単位時間当たりのエアー供給量Ａを算出する。

到達時間ｔは、制御部１６７（Ｐ−ＣＯＮ１８４）に組み込まれたタイマー１８５を用いて、初期加圧のために加圧ポンプ１１２の駆動を開始してから、圧力センサ１１５が下限圧力Ｐｍｉｎを検出するまでの時間を時間ｔとして計測する。

エアー供給量ａは、ボイル・シャルルの法則に従い、初期加圧開始時におけるカートリッジケース９３の加圧容積と、到達時間ｔ内における加圧力の圧力変化量と、に基づいて算出する。加圧容積は、カートリッジケース９３の加圧可能容積（ｍｌ）（すなわちカートリッジケース９３の容積からインクエンド時のインクパック９１の容積を減算したもの）から初期加圧開始時にインクパック９１に残留するインク体積（ｍｌ）を減算することにより算出する。この場合、インクパック９１に残留するインク体積は、予め設定（記憶）されているインクフル時のインク体積、単位インク滴数あたりのインク体積、およびインクカウンタのカウンタ値に基づいた演算処理により算出される。

なお、本実施形態において、エアー供給量測定工程は、インクジェットプリンタ１の電源をОＮする毎に行われる。

必要エアー量算出工程は、エアー供給量ａの算出方法と同様であり、下限圧力Ｐｍｉｎが検出されたときのカートリッジケース９３の加圧容積Ｖを算出すると共に、算出した加圧容積Ｖにおいて、下限圧力が上限圧力Ｐｍａｘに到達するのに必要な必要エアー量Ｂを、ボイル・シャルルの法則に基づいて算出する。

追い加圧時間算出工程は、算出した単位時間当たりのエアー供給量Ａと算出した必要エアー量Ｂとを除算して、追い加圧時間Ｔを算出する。なお、エアー供給量測定工程で算出された単位時間当たりのエアー供給量Ａは、ＲＡＭ１８１に記憶されるようになっており、初期加圧後は、ＲＡＭ１８１に記憶されたエアー供給量Ａを用いて追い加圧時間Ｔを算出するようになっている。この場合、ＲＡＭ１８１に記憶されたエアー供給量Ａは、エアー供給量測定工程が行われる度に更新される。

このように、本実施形態のインクジェットプリンタ１では、下限圧力Ｐｍｉｎが検出されると、加圧ポンプ１１２の単位時間当たりのエアー供給量Ａと下限圧力Ｐｍｉｎを検出したときの加圧容積Ｖとに基づいて、追い加圧時間Ｔを算出すると共に、算出した追い加圧時間Ｔだけ、加圧ポンプ１１２を駆動させるようにしたので、カートリッジケース９３の加圧力を所定の作動圧力に維持することができ、インクカートリッジ８１から、所定の作動圧力の供給圧でインクを供給することができる。

また、本実施形態では、加圧ポンプ１１２の単位時間当たりのエアー供給量Ａを定期的に測定して、その値を反映させながら追い加圧時間Ｔを算出する、すなわち、加圧ポンプ１１２のポンプ性能を測定しながら追い加圧時間Ｔを設定する構成となっているため、作動圧力の下限圧力Ｐｍｉｎを検出する圧力センサ１１５を設けるといった比較的簡易な構成ながらも、加圧ポンプ１１２のポンプ性能の経時的な性能低下等に起因して、追い加圧直後の加圧力がばらつくことがなく、加圧ポンプ１１２の駆動頻度を適切なものとすることができる。

次に、上述の追い加圧時間算出方法の変形例について説明する。加圧ポンプ１１２のポンプ性能（単位時間当たりのエアー供給量Ａ）は、経時的に低下する（ダイヤフラムポンプの場合、エアーの吸気部および排気部に設けられた逆止弁からのリーク等に起因して）ことが知られている。そこで、変形例では、上述したエアー供給量測定工程を変形し、加圧ポンプ１１２の累積駆動時間と、加圧ポンプ１１２の単位時間当たりのエアー供給量と、を関係付けて設定したエアー供給量情報を用いて、単位時間当たりのエアー供給量Ａを算出するようにした。

エアー供給量情報は、加圧ポンプ１１２の累積駆動時間と単位時間当たりのエアー供給量とを実験的に求めて関連付けたものであり、例えば、実験により、加圧ポンプ１１２の累積駆動時間と単位時間当たりのエアー供給量との間には、図９に示すような関係が得られ、この関係をテーブルまたは関係式として表したものである。

制御部１６７のＲＡＭ１８１には、エアー供給量情報が記憶されていると共に、加圧ポンプ１１２の累積駆動時間をカウントアップするカウンタが設けられている。そして、制御部１６７は、タイマー１８５を用いて、加圧ポンプ１１２を駆動する毎にその駆動時間を測定し、その測定結果をカウンタに加算（カウントアップ）することにより、加圧ポンプ１１２の累積駆動時間を算出するようになっている。

変形例のエアー供給量測定工程では、圧力センサ１１５により下限圧力Ｐｍｉｎが検出されると、下限圧力Ｐｍｉｎ検出時における加圧ポンプ１１２の累積駆動時間をカウンタから取得すると共に、取得した累積駆動時間をエアー供給量情報に当てはめて、下限圧力Ｐｍｉｎ検出時に相当する加圧ポンプ１１２の単位時間当たりのエアー供給量Ａを算出する。この場合、エアー供給量測定工程は、任意の頻度で行うことができ、例えば、初期加圧時にだけ行うようにしても良いし、追い加圧時間Ｔを算出する度毎に行うようにしてもよい。

次に、本発明の第２実施形態にかかる液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能材料を溶剤に溶解させた機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入し、液滴吐出法（インクジェット法を応用した）により、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の３色から成る液晶表示装置のカラーフィルタの着色層や、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１０に示すように、液滴吐出装置２０１は、機台２０２と、機台２０２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド２５２を有する描画装置２０３と、機台２０２上で描画装置２０３に添設させたヘッド保守装置２０４と、機能液滴吐出ヘッド２５２に機能液を供給する機能液供給装置２０５と、各装置を制御する図外の制御装置２０６と、を備えている。そして、液滴吐出装置２０１では、制御装置２０６による制御に基づいて、描画装置２０３が、図外のワーク移載ロボットから導入されたワークに対して、描画処理を行うと共に、ヘッド保守装置２０４が機能液滴吐出ヘッド２５２に対して適宜保守処理（メンテナンス）を行うようになっている。

描画装置２０３は、主走査方向（Ｘ軸方向）に延在するＸ軸テーブル２１１と、Ｘ軸テーブル２１１に直交するＹ軸テーブル２１２と、Ｙ軸テーブル２１２に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ２１３と、メインキャリッジ２１３に支持され、（複数の）機能液滴吐出ヘッド２５２を搭載したヘッドユニット２１４と、を備えている。

Ｘ軸テーブル２１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ２２１に、ワークＷをセットするセットテーブル２２２を移動自在に搭載して構成されている。セットテーブル２２２は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル２２３と、吸着テーブル２２３にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するθテーブル２２４と、を有している。なお、機台２０２には、Ｘ軸方向を移動するセットテーブル２２２の移動位置を把握するためのＸ軸リニアセンサ２２５が設けられている。

Ｙ軸テーブル２１２は、Ｘ軸テーブル２１１と略同様に構成されており、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ２３１を有し、メインキャリッジ２１３をＹ軸方向に移動自在に搭載している。また、Ｙ軸テーブル２１２に並設するように、Ｙ軸方向を移動するヘッドユニット２１４の移動位置を把握するためのＹ軸リニアセンサ２３２が設けられている。なお、Ｙ軸テーブル２１２は、機台２０２上に立設した左右の支柱２３５を介して、機台２０２上に配設されたＸ軸テーブル２１１およびヘッド保守装置２０４を跨ぐように配設されており、Ｘ軸テーブル２１１およびＹ軸テーブル２１２が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア、Ｙ軸テーブル２１２およびヘッド保守装置２０４が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド２５２に対する保守動作を行う保守エリアとなっている。

メインキャリッジ２１３は、ヘッドユニット２１４を支持するキャリッジ本体２４１と、キャリッジ本体２４１を介して、ヘッドユニット２１４のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構２４２と、θ回転機構２４２を介して、キャリッジ本体２４１（ヘッドユニット２１４）をＹ軸テーブル２１２に支持させる略Ｉ字状の吊設部材（図示省略）と、で構成されている。

ヘッドユニット２１４は、ヘッドプレート２５１にヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド２５２を搭載させて構成されている。機能液滴吐出ヘッド２５２は、上記したインクジェットヘッド４１と同様の方式で構成されているため、ここでの説明は省述する。

描画処理時における描画装置２０３の一連の動作について説明すると、先ず、θ回転機構２４２を介してヘッドユニット２１４の位置補正が行われると共に、θテーブル２２４を介してセットテーブル２２２にセットされたワークＷの位置補正が行われる。次に、Ｘ軸テーブル２１１が駆動して、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往復動させる。ワークＷの往動と同期して、複数の機能液滴吐出ヘッド２５２が駆動し、ワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル２１２が駆動して、ヘッドユニット２１４を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、ワークＷの主走査方向へ復動と機能液滴吐出ヘッド２５２の駆動が再び行われる。このように、描画処理では、ワークＷのＸ軸方向への移動とこれに同期した機能液滴吐出ヘッド２５２の吐出駆動（主走査）と、ヘッドユニット２１４のＹ軸方向への移動（副走査）と、を交互に繰り返すことにより、ワークＷに対して所定の描画パターンを描画してゆく。

ヘッド保守装置２０４は、機台２０２上に載置された移動テーブル２６１と、フラッシングユニット２６２と、吸引ユニット２６３と、ワイピングユニット２６４と、を備えている。移動テーブル２６１は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。吸引ユニット２６３およびワイピングユニット２６４は、Ｘ軸方向に並んで移動テーブル２６１上に設置されており、機能液滴吐出ヘッド２５２の保守時には、移動テーブル２６１が駆動され、吸引ユニット２６３およびワイピングユニット２６４が適宜保守エリアに臨む構成となっている。

フラッシングユニット２６２は、（１枚の）ワークＷに対する一連の描画処理中において、ヘッドユニット２１４の全機能液滴吐出ヘッド２５２から捨て吐出（フラッシング）される機能液と、描画処理中にワークＷからはみ出した機能液を受けるためのものであり、吸着テーブル２２３のＹ軸方向に平行な一対の辺（周縁）に沿うように設けられた一対の描画フラッシングボックス２７１を有している。したがって、吸着テーブル２２３を介してワークＷをＸ軸方向に往復動させると、（１回の主走査により、ヘッドユニット２１４がワークＷに臨む直前およびヘッドユニット２１４がワークＷから離間した直後のいずれの場合においても）ヘッドユニット２１４の全機能液滴吐出ヘッド２５２を順次描画フラッシングボックス２７１に臨ませることができ、ワークＷに対する描画動作の直前・直後に行われる捨て吐出の機能液を適切に受けることができる。

吸引ユニット２６３は、上述の吸引手段１３１に相当するものであり、機能液滴吐出ヘッド２５２のノズル面に密着させるキャップ２８１と、キャップ２８１を介して機能液滴吐出ヘッド２５２を吸引可能な単一の吸引ポンプ等を備えている。

ワイピングユニット２６４は、洗浄液を噴霧したワイピングシート２９１で機能液滴吐出ヘッド２５２のノズル面に付着した汚れを払拭するためのものであり、ロール状に巻回したワイピングシート２９１を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット２９２と、繰り出したワイピングシート２９１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット２９３と、洗浄液が散布されたワイピングシート２９１でノズル面を拭取る拭取りユニット２９４と、を備えている。

機能液供給装置２０５は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液に対応する３個の機能液タンク３０１と、３個の機能液タンク３０１を収容するタンクホルダ３０２と、機能液タンク３０１の機能液を機能液滴吐出ヘッド２５２に加圧送液する加圧手段３０３と、３個の機能液タンク３０１と機能液滴吐出ヘッド２５２とを配管接続する複数本（本実施形態では３本）の給液チューブ３０４と、インクジェットプリンタ１のものと同様に構成され、各給液チューブ３０４に介設された圧力調整弁３０５と、を備えている。

機能液供給装置２０５は、上述のインク供給手段と略同様に構成されており、機能液タンク３０１はカートリッジ形式のものが採用されている。タンクホルダ３０２には、各機能液タンク３０１を収容する機能液収容部（図示省略）が設けられ、各機能液収容部には、機能液タンク３０１とエアー配管３２３とを接続する接続アダプタ（図示省略）が配設されている。また、加圧手段３０３は、接続アダプタを介して各機能液タンク３０１にエアーを供給するエアー供給機構３２１を有し、エアー供給機構３２１を構成する単一の加圧ポンプ３２２を駆動すると、エアー配管３２３を介して各機能液タンク３０１にエアーが供給される。この場合も、エアー配管３２３には、ソレノイド付きレギュレータ３２４および圧力センサ３２５が介設されており、エアー配管３２３内が所定の作動圧力に維持されるように構成されている。

制御装置２０６は、パソコン等で構成され、データ入力、各種設定を行うための入力手段（キーボード等）や、入力データ・各種設定状態等を視認するためのディスプレイ等を備えている（いずれも図示省略）。

図１１を参照しながら液滴吐出装置２０１の主制御系について説明する。液滴吐出装置２０１は、描画装置２０３を有する描画部３３１と、ヘッド保守装置２０４を有するヘッド保守部３３２と、機能液供給装置２０５を有する機能液供給部３３３と、描画装置２０３、ヘッド保守装置２０４および機能液供給装置２０５の各種センサを有し、各種検出を行う検出部３３４と、各部を駆動する各種ドライバ（描画装置２０３を駆動するための描画ドライバ３４１、ヘッド保守装置２０４を駆動するためのヘッド保守ドライバ３４２、機能液供給装置を駆動するための機能液供給ドライバ３４３等）を有する駆動部３３５と、各部に接続され、液滴吐出装置２０１全体の制御を行う制御部３３６（制御装置２０６）と、を備えている。

制御部３３６は、描画装置２０３およびヘッド保守装置２０４等を接続するためのインタフェース３５１、および描画装置２０３、ヘッド保守装置２０４、機能液供給装置２０５からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３５２が備えられている以外は、上述のインクジェットプリンタ１の制御部３３６と略同様に構成され、ＲＡＭ３５３、ＲＯＭ３５４、ＣＰＵ３５５、タイマー３５６、内部バス３５７と、を備えている。

上述のインクジェットプリンタ１の場合と同様に、制御部３３６は、機能液タンク３０１から供給する機能液の供給圧力を、予め設定した作動圧力内に調整すべく、圧力センサ３２５の検出結果に基づいて加圧ポンプ３２２を駆動制御している。すなわち、先ず、加圧ポンプ３２２を駆動して機能液タンク３０１を作動圧力の上限圧力まで初期加圧し、圧力センサ３２５で設定された下限圧力が検出されると、加圧ポンプ３２２の単位時間当たりのエアー供給量と下限圧力を検出したときの加圧容積とに基づいて追い加圧時間を算出し、算出した追い加圧時間だけ、加圧ポンプ３２２を駆動するようにしている。なお、追い加圧時間の算出方法も、上述のインクジェットプリンタ１に準じたものであり、上述のインクジェットプリンタ１と同様の効果が得られるようになっている。

次に、本実施形態の液滴吐出装置２０１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１２は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ６００（フィルタ基体６００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１３（ａ）に示すように、基板（Ｗ）６０１上にブラックマトリクス６０２を形成する。ブラックマトリクス６０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス６０２上に重畳する状態でバンク６０３を形成する。即ち、まず図１３（ｂ）に示すように、基板６０１及びブラックマトリクス６０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層６０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム６０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１３（ｃ）に示すように、レジスト層６０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層６０４をパターニングして、バンク６０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク６０３とその下のブラックマトリクス６０２は、各画素領域６０７ａを区画する区画壁部６０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド２５２により着色層（成膜部）６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体６００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク６０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）６０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク６０３（区画壁部６０７ｂ）に囲まれた各画素領域６０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１３（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド２５２によって機能液滴を吐出して区画壁部６０７ｂで囲まれた各画素領域６０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド２５２を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する。着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１３（ｅ）に示すように、基板６０１、区画壁部６０７ｂ、および着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂの上面を覆うように保護膜６０９を形成する。
即ち、基板６０１の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜６０９が形成される。
そして、保護膜６０９を形成した後、カラーフィルタ６００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１４は、上記のカラーフィルタ６００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置６２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ６００は図１３に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置６２０は、カラーフィルタ６００、ガラス基板等からなる対向基板６２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層６２２により概略構成されており、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板６２１およびカラーフィルタ６００の外面（液晶層６２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板６２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層側）には、図１４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極６２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６２３のカラーフィルタ６００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜６２４が形成されている。
一方、対向基板６２１におけるカラーフィルタ６００と対向する面には、カラーフィルタ６００の第１電極６２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極６２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極６２６の液晶層６２２側の面を覆うように第２配向膜６２７が形成されている。これらの第１電極６２３および第２電極６２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層６２２内に設けられたスペーサ６２８は、液晶層６２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材６２９は液晶層６２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極６２３の一端部は引き回し配線６２３ａとしてシール材６２９の外側まで延在している。
そして、第１電極６２３と第２電極６２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ６００に、第１電極６２３のパターニングおよび第１配向膜６２４の塗布を行ってカラーフィルタ６００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板６２１に、第２電極６２６のパターニングおよび第２配向膜６２７の塗布を行って対向基板６２１側の部分を作成する。その後、対向基板６２１側の部分にスペーサ６２８およびシール材６２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材６２９の注入口から液晶層６２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置２０１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板６２１側の部分にカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる前に、シール材６２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材６２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド２５２で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜６２４，６２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド２５２で行うことも可能である。

図１５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ６００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置６３０が上記液晶装置６２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ６００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置６３０は、カラーフィルタ６００とガラス基板等からなる対向基板６３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層６３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板６３１およびカラーフィルタ６００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層６３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極６３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６３３の液晶層６３２側の面を覆うように第１配向膜６３４が形成されている。
対向基板６３１のカラーフィルタ６００と対向する面上には、カラーフィルタ６００側の第１電極６３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極６３６が所定の間隔で形成され、この第２電極６３６の液晶層６３２側の面を覆うように第２配向膜６３７が形成されている。

液晶層６３２には、この液晶層６３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ６３８と、液晶層６３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材６３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置６２０と同様に、第１電極６３３と第２電極６３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。

図１６は、本発明を適用したカラーフィルタ６００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００と、これに対向するように配置された対向基板６５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ６００の上面側（観測者側）に配置された偏光板６５５と、対向基板６５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ６００の保護膜６０９の表面（対向基板６５１側の面）には液晶駆動用の電極６５６が形成されている。この電極６５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極６６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極６５６の画素電極６６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜６５７が設けられている。

対向基板６５１のカラーフィルタ６００と対向する面には絶縁層６５８が形成されており、この絶縁層６５８上には、走査線６６１及び信号線６６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた領域内には画素電極６６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極６６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極６６０の切欠部と走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ６６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線６６１と信号線６６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ６６３をオン・オフして画素電極６６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置６２０，６３０，６５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１７は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。

この表示装置７００は、基板（Ｗ）７０１上に、回路素子部７０２、発光素子部７０３及び陰極７０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置７００においては、発光素子部７０３から基板７０１側に発した光が、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部７０３から基板７０１の反対側に発した光が陰極７０４により反射された後、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部７０２と基板７０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜７０６が形成され、この下地保護膜７０６上（発光素子部７０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜７０７が形成されている。この半導体膜７０７の左右の領域には、ソース領域７０７ａ及びドレイン領域７０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域７０７ｃとなっている。

また、回路素子部７０２には、下地保護膜７０６及び半導体膜７０７を覆う透明なゲート絶縁膜７０８が形成され、このゲート絶縁膜７０８上の半導体膜７０７のチャネル領域７０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極７０９が形成されている。このゲート電極７０９及びゲート絶縁膜７０８上には、透明な第１層間絶縁膜７１１ａと第２層間絶縁膜７１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜７１１ａ、７１１ｂを貫通して、半導体膜７０７のソース領域７０７ａ、ドレイン領域７０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール７１２ａ，７１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜７１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極７１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極７１３は、コンタクトホール７１２ａを通じてソース領域７０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜７１１ａ上には電源線７１４が配設されており、この電源線７１４は、コンタクトホール７１２ｂを通じてドレイン領域７０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部７０２には、各画素電極７１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ７１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部７０３は、複数の画素電極７１３上の各々に積層された機能層７１７と、各画素電極７１３及び機能層７１７の間に備えられて各機能層７１７を区画するバンク部７１８とにより概略構成されている。
これら画素電極７１３、機能層７１７、及び、機能層７１７上に配設された陰極７０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極７１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極７１３の間にバンク部７１８が形成されている。

バンク部７１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層７１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層７１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層７１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部７１８の一部は、画素電極７１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部７１８の間には、画素電極７１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部７１９が形成されている。

上記機能層７１７は、開口部７１９内において画素電極７１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層７１７ａと、この正孔注入／輸送層７１７ａ上に形成された発光層７１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層７１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層７１７ａは、画素電極７１３側から正孔を輸送して発光層７１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層７１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層７１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層７１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層７１７ａを再溶解させることなく発光層７１７ｂを形成することができる。

そして、発光層７１７ｂでは、正孔注入／輸送層７１７ａから注入された正孔と、陰極７０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極７０４は、発光素子部７０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極７１３と対になって機能層７１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極７０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置７００の製造工程を図１８〜図２６を参照して説明する。
この表示装置７００は、図１８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１９に示すように、第２層間絶縁膜７１１ｂ上に無機物バンク層７１８ａを形成する。この無機物バンク層７１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層７１８ａの一部は画素電極７１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層７１８ａを形成したならば、図２０に示すように、無機物バンク層７１８ａ上に有機物バンク層７１８ｂを形成する。この有機物バンク層７１８ｂも無機物バンク層７１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部７１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部７１８間には、画素電極７１３に対して上方に開口した開口部７１９が形成される。この開口部７１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層７１８ａの第１積層部７１８ａａ及び画素電極７１３の電極面７１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極７１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層７１８ｂの壁面７１８ｓ及び有機物バンク層７１８ｂの上面７１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド２５２を用いて機能層７１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部７１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体７００Ａが得られる。この表示装置基体７００Ａは、図１０に示した液滴吐出装置２０１のセットテーブル２２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２１に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド２５２から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部７１９内に吐出する。その後、図２２に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面７１３ａ）７１３上に正孔注入/輸送層７１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層７１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層７１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層７１７ａと発光層７１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層７１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層７１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層７１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層７１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２３に示すように、各色のうちの何れか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部７１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層７１７ａ上に広がって開口部７１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部７１８の上面７１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面７１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部７１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２４に示すように、正孔注入／輸送層７１７ａ上に発光層７１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド２５２を用い、図２５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層７１７ｂを形成する。なお、発光層７１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極７１３上に機能層７１７、即ち、正孔注入／輸送層７１７ａ及び発光層７１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２６に示すように、発光層７１７ｂ及び有機物バンク層７１８ｂの全面に陰極７０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極７０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極７０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極７０４を形成した後、この陰極７０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置７００が得られる。

次に、図２７は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される放電表示部８０３を含んで概略構成される。放電表示部８０３は、複数の放電室８０５により構成されている。これらの複数の放電室８０５のうち、赤色放電室８０５Ｒ、緑色放電室８０５Ｇ、青色放電室８０５Ｂの３つの放電室８０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板８０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極８０６が形成され、このアドレス電極８０６と第１基板８０１の上面とを覆うように誘電体層８０７が形成されている。誘電体層８０７上には、各アドレス電極８０６の間に位置し、且つ各アドレス電極８０６に沿うように隔壁８０８が立設されている。この隔壁８０８は、図示するようにアドレス電極８０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極８０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁８０８によって仕切られた領域が放電室８０５となっている。

放電室８０５内には蛍光体８０９が配置されている。蛍光体８０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室８０５Ｒの底部には赤色蛍光体８０９Ｒが、緑色放電室８０５Ｇの底部には緑色蛍光体８０９Ｇが、青色放電室８０５Ｂの底部には青色蛍光体８０９Ｂが各々配置されている。

第２基板８０２の図中下側の面には、上記アドレス電極８０６と直交する方向に複数の表示電極８１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層８１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜８１３が形成されている。
第１基板８０１と第２基板８０２とは、アドレス電極８０６と表示電極８１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極８０６と表示電極８１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極８０６，８１１に通電することにより、放電表示部８０３において蛍光体８０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極８０６、表示電極８１１、及び蛍光体８０９を、図１０に示した液滴吐出装置２０１を用いて形成することができる。以下、第１基板８０１におけるアドレス電極８０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板８０１を液滴吐出装置２０１のセットテーブル２２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド２５２により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極８０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極８０６の形成を例示したが、上記表示電極８１１及び蛍光体８０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極８１１の形成の場合、アドレス電極８０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体８０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド２５２から液滴として吐出し、対応する色の放電室８０５内に着弾させる。

次に、図２８は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置９００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置９００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置９００は、互いに対向して配置された第１基板９０１、第２基板９０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部９０３を含んで概略構成される。電界放出表示部９０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部９０５により構成されている。

第１基板９０１の上面には、カソード電極９０６を構成する第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ９０８を形成した導電性膜９０７が形成されている。すなわち、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７により複数の電子放出部９０５が構成されている。導電性膜９０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ９０８は、導電性膜９０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板９０２の下面には、カソード電極９０６に対峙するアノード電極９０９が形成されている。アノード電極９０９の下面には、格子状のバンク部９１１が形成され、このバンク部９１１で囲まれた下向きの各開口部９１２に、電子放出部９０５に対応するように蛍光体９１３が配置されている。蛍光体９１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部９１２には、赤色蛍光体９１３Ｒ、緑色蛍光体９１３Ｇおよび青色蛍光体９１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板９０１と第２基板９０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置９００では、導電性膜（ギャップ９０８）９０７を介して、陰極である第１素子電極９０６ａまたは第２素子電極９０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極９０９に形成した蛍光体９１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂ、導電性膜９０７およびアノード電極９０９を、液滴吐出装置２０１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体９１３Ｒ，９１３Ｇ，９１３Ｂを、液滴吐出装置２０１を用いて形成することができる。

第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７は、図２９（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２９（ｂ）に示すように、予め第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂを形成（液滴吐出装置２０１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜９０７を形成（液滴吐出装置２０１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜９０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板９０１および第２基板９０２に対する親液化処理や、バンク部９１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置２０１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明の第１実施形態にかかるインクジェットプリンタの外観斜視図である。 ロール紙カバー、開閉カバー、カートリッジカバーを開放したときの、本発明の第１実施形態にかかるインクジェットプリンタの外観斜視図である。 インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）の外観斜視図である。 インクジェットプリンタの模式説明図である。 インクカートリッジの説明図である。 圧力調整弁の模式説明図である。 インクジェットプリンタの制御ブロック図である。 加圧ポンプの駆動方法についての説明図である。 加圧ポンプの累積駆動時間とその単位時間当たりのエアー供給量との関係を示した説明図である。 本発明の第２実施形態にかかる液滴吐出装置を模式的に示した模式平面図である。である。 液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ ２３ インク供給手段
２５ 制御手段 ４１ インクジェットヘッド
８１ インクカートリッジ １１２ 加圧ポンプ
１１５ 圧力センサ １２１ 圧力調整弁
１６７ 制御部

Claims (12)

1. 所定の作動圧力を維持するために、加圧ポンプにより機能液タンクを前記作動圧力の上限圧力まで初期加圧した後、前記作動圧力が下限圧力まで降下したときに、前記加圧ポンプを駆動して前記機能液タンクに追い加圧することにより、前記機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに、前記作動圧力で機能液を加圧供給する機能液供給装置の制御方法であって、
   前記機能液タンク内の圧力が前記下限圧力に達しているか否かを検出する圧力検出工程と、
   前記機能液タンクの全容積から当該機能液タンクに残留する機能液の容積を除いた加圧容積を測定する加圧容積測定工程と、
   前記加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を測定するエアー供給量測定工程と、
   前記加圧容積測定工程および前記エアー供給量測定工程による測定結果に基づいて、前記加圧ポンプを駆動することにより、前記下限圧力から前記上限圧力に到達するまでの追い加圧時間を算出する追い加圧時間算出工程と、
   前記機能液タンクの圧力が降下して前記下限圧力に達したときに、算出した前記追い加圧時間、前記加圧ポンプを駆動するポンプ駆動工程と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置の制御方法。
2. 前記エアー供給量測定工程は、前記初期加圧を開始してから前記下限圧力に達するまでの時間を計測する時間計測工程と、
   前記初期加圧を開始してから前記下限圧力に達するまでに、前記加圧ポンプが供給する基準エアー供給量を測定する基準供給量測定工程と、
   前記時間計測工程による計測時間と、前記基準供給量測定工程による前記基準エアー供給量と、に基づいて、前記単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出工程と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置の制御方法。
3. 前記エアー供給量測定工程は、前記加圧ポンプの累積駆動時間を測定する累積駆動時間測定工程と、
   前記累積駆動時間および前記加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を関係付けたエアー供給量情報と、測定した前記累積駆動時間と、に基づいて前記単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出工程と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置の制御方法。
4. 所定の作動圧力を維持するために、加圧ポンプにより機能液タンクを前記作動圧力の上限圧力まで初期加圧した後、前記作動圧力が下限圧力まで降下したときに、前記加圧ポンプを駆動して前記機能液タンクに追い加圧することにより、前記機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに、前記作動圧力で機能液を加圧供給する機能液供給装置であって、
   前記機能液タンク内の圧力が前記下限圧力に達しているか否かを検出する圧力検出手段と、
   前記機能液タンクの全容積から当該機能液タンクに残留する機能液の容積を除いた加圧容積を測定する加圧容積測定手段と、
   前記加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を測定するエアー供給量測定手段と、
   前記加圧ポンプの駆動を制御する制御手段と、を備え
   前記制御手段は、加圧容積測定手段および前記エアー供給量測定手段による測定結果に基づいて、前記加圧ポンプを駆動することにより、前記下限圧力から前記上限圧力に到達するまでの追い加圧時間を算出し、
   前記機能液タンクの圧力が降下して前記下限圧力に達したときに、算出した前記追い加圧時間、前記加圧ポンプを駆動することを特徴とする機能液供給装置。
5. 前記エアー供給量測定手段は、前記初期加圧を開始してから前記下限圧力に達するまでの時間を計測する時間計測手段と、
   前記初期加圧を開始してから前記下限圧力に達するまでに、前記加圧ポンプが供給する基準エアー供給量を測定する基準供給量測定手段と、
   前記時間計測手段による計測時間と、前記基準供給量測定手段による前記基準エアー供給量と、に基づいて、前記単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出手段と、を有していることを特徴とする請求項４に記載の機能液供給装置。
6. 前記エアー供給量測定手段は、前記加圧ポンプの累積駆動時間を測定する累積駆動時間測定手段と、
   前記累積駆動時間および前記加圧ポンプの単位時間当たりのエアー供給量を関係付けたエアー供給量情報と、測定した前記累積駆動時間と、に基づいて前記単位時間当たりのエアー供給量を算出する算出手段と、を有していることを特徴とする請求項４に記載の機能液供給装置。
7. 前記機能液タンクの機能液供給口の高さ位置が、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面よりも低い位置となるように配設されていることを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の機能液供給装置。
8. 前記機能液タンクと前記機能液滴吐出ヘッドとの間には、前記機能液タンクから送液される前記機能液の圧力を調整する圧力調整弁が介設されていることを特徴とする請求項４ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置。
9. 描画対象物に対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら前記機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより機能液滴を吐出させて、前記描画対象物に所定の描画パターンを描画する液滴吐出装置において、
   請求項４ないし８のいずれかに記載の機能液供給装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
10. 請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記描画対象物上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
11. 請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記描画対象物上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
12. 請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

Images