CN1278856C - 压力吸收装置、喷出装置、电光学装置、具有基板的器件和电子仪器 - Google Patents

Abstract

提供一种不论液体的性状如何，都能够从液滴喷头稳定喷出液滴的压力吸收装置、具有这种压力吸收装置的喷出装置、具有用这种喷出装置制造的滤色器和EL元件的电光学装置、以及具有基体材料的器件和具有这种电光学装置的电子仪器。用对液体具有耐腐蚀性的材料构成压力吸收装置(23)的液滴导入口(231A)、液滴导出口(231B)、通路(231C)和压力吸收部分(231D)。而且设置在液滴导出口(231B)与液滴喷头(22)的供给管(221A)之间的橡胶套管(24)，也由对液体具有耐腐蚀性的材料构成。

Description

压力吸收装置、喷出装置、电光学装置、 具有基板的器件和电子仪器

技术领域

本发明涉及压力吸收装置、具有这种压力吸收装置的喷出装置、备有用这种喷出装置制造的滤色器和电致发光(Electro Luminescense；EL)元件的电光学装置、具有基体材料的器件和具有这种电光学装置的电子仪器。

背景技术

近年来，广泛使用一种带有滤色器和EL元件的电光学装置。而滤色器和EL元件是在基板上以液滴状喷出、涂布滤色器材料和EL发光材料的方法形成的。具体讲，一边使液滴喷头在基板上作数次主扫描，以便从液滴喷头中喷出含有滤色器材料和EL发光材料的液滴。

液滴喷头扫描过程中，由于对液滴喷头内的液滴、以及连接液滴喷头与液滴罐的管道内的液滴施加加速度，使液滴的供给压力发生变动，所以液滴的稳定喷出变得困难。因此，过去在制造滤色器和EL元件时，在喷墨打印机的喷出装置上考虑采用设置压力吸收装置的方法。

但是这种压力吸收装置，仅对水溶性液体具有耐腐蚀性，使用特殊溶剂等的滤色器，以及制造EL元件使用的情况下，有损伤压力吸收装置之虞。

发明内容

本发明鉴于上述情况，目的在于提供一种不管液体的性状如何，都能从液滴喷头稳定喷出液滴的压力吸收装置、具有这种压力吸收装置的喷出装置、备有这种喷出装置制造的滤色器和电致发光元件的电光学装置、具有基体材料的器件和具有这种电光学装置的电子仪器。

本发明是采用以下构成而达成上述发明目的的。

具体讲，本发明的喷出装置，其具有供给有流动性的液体的液滴罐、向喷出对象物上喷出从所述液滴罐供给的液体的液滴喷头和吸收从所述液滴罐向所述液滴喷头供给的液体的压力变动的压力吸收装置，其特征在于：在所述液滴罐与所述液滴喷头之间设置所述压力吸收装置，所述压力吸收装置具有与所述液滴罐连接的液滴导入口、与所述液滴喷头连接的液滴导出口、连接它们的通路、和与此通路连通的压力吸收部分，所述液滴导入口、液滴导出口、通路和压力吸收部分的至少与所述液体接触的面由对于所述液体具有耐腐蚀性的材料形成，所述压力吸收装置的液滴导出口与所述液滴喷头通过橡胶套管连接。

其中在压力吸收装置中，既可以仅仅液滴导入口、液滴导出口、通路和压力吸收部分的与液体接触的面由耐腐蚀性材料覆盖，也可以全部由耐腐蚀性材料构成。

本发明中，由于与液体的接触面由耐腐蚀性材料覆盖，所以能够防止因与液体接触面的腐蚀等而造成压力吸收装置的损伤。因此不管液体的性状如何都能从液滴喷头稳定喷出液滴。这样一来，由于能够稳定喷出液滴，所以能够降低不良品的产生率，提高生产率。

此时所述耐腐蚀性材料，优选是聚乙烯、聚丙烯、氟树脂、聚甲醛、环状聚烯烃低聚物和聚对苯基苯并唑中任何一种物质。

作为氟树脂，例如可以举出四氟乙烯—全氟烷基乙烯基醚共聚物(Tetra Fluoro Ethylene-Perfluoroalkylvinyl copolymer；PFA)、聚四氟乙烯(polyFluoroEthylene；PTFE)、聚三氟一氯乙烯(polyChloroTriFluoroEthylene；PCTFE)等。

制造EL元件时作为耐腐蚀性材料，可以使用聚乙烯(Polyethylene；PE)、聚丙烯(Polypropylene；PP)、氟树脂、聚甲醛(Polyoxymethylene；POM)、环状聚烯烃低聚物(COC)和聚对苯基苯并唑(Poly(p-phenylene-2，6-benzobisoxazole)；PBO)。而且制造滤色器时特别优选使用聚丙烯和环状聚烯烃低聚物。

例如为制造EL元件和滤色器，由于要使用将EL元件和滤色器材料溶解在特殊溶剂中的液体，所以用上述耐腐蚀性材料时可以使用压力吸收装置制造EL元件和滤色器。

本发明的喷出装置具有上述的压力吸收装置，能够起同样的作用，产生同样的效果。也就是说，不管液体的性状如何都能从液滴喷头稳定地喷出液滴。

此时优选用橡胶套管将所述压力吸收装置的液滴导出口与所述液滴喷头连接，至少与所述橡胶套管中的液体接触的面，由对于所述液体具有耐腐蚀性的材料构成。

其中橡胶套管与液体接触的面可以由耐腐蚀性材料构成。因此，橡胶套管全体既可以用耐腐蚀性材料形成，或者也可以制成由具有柔软性材料的橡胶材料，例如硅橡胶等上涂敷耐腐蚀性材料的双层结构。

压力吸收装置与液体喷头用连接的橡胶套管等耐腐蚀性材料构成的情况下，能够提高喷出装置的耐腐蚀性。

此外所述耐腐蚀性材料优选采用氟橡胶、氟树脂、弹性体、丁基橡胶和硅橡胶中任何一种物质。

橡胶套管由于紧密附着在压力吸收装置的液滴导出口周围而能防止液体泄漏。因此，优选那种在将橡胶套管插入压力吸收装置的液滴导入口时，其柔软性程度能根据液滴导入口形状变形的。考虑到这一点，当用耐腐蚀性材料制成全体橡胶套管的情况下，氟橡胶、弹性体、丁基橡胶和硅橡胶是适用的。其中作为氟橡胶，可以举出偏氟乙烯系(FKM)、四氟乙烯丙烯系(FEPM)、四氟乙烯全氟乙烯基醚系(FEKM)物质。其中特别优选使用作为氟橡胶中一种物质的具有高耐腐蚀性和高耐热性的全氟橡胶(其中也包括所谓全氟弹性体)。

另一方面，在橡胶材料上涂敷耐腐蚀性材料将橡胶套管制成双层结构的情况下，由于与橡胶材料间的密着性是必要的，所以特别优选使用氟树脂。

本发明的电光学装置是具有电致发光元件的电光学装置，其特征在于所述电致发光元件备有设有多个电极的基板和在此基板上与所述电极对应设置的多个电致发光层，所述电致发光层是由本发明中任何一项所述喷出装置向所述基板上喷出含有电致发光材料的液体形成的；或者是具有滤色器的电光学装置，其特征在于所述滤色器备有基板和在此基板上形成的不同颜色的滤色层，所述滤色层是由本发明中的任何一项所述喷出装置向所述基板上喷出含有预定颜色滤色器材料的液体形成的。

电光学装置的EL元件和滤色器，由于可以用上述喷出装置以高生产率制造，所以能提高电光学装置的生产率。

本发明的器件，是备有基体材料和向此基体材料上喷出的有流动性液体的器件，其特征在于是用本发明中任何一项所述喷出装置向所述基板上喷出所述液体。

本发明的喷出装置，适于在作喷出对象物的基体材料上喷出具有流动性的液体，制造具有基体材料的器件。由于能用上述喷出装置稳定地喷出器件的液体，所以能提高器件的生产率。

本发明的电子仪器，其特征在于其中备有本发明所述电光学装置。

这里所述电子仪器，可以考虑以上述电光学装置作为液晶显示板等显示装置用的个人电脑和便携式电话等。

具有上述电光学装置的情况下，能够收到与电光学装置同样的作用效果。

附图说明

图1是表示本发明第一种实施方式涉及的制造装置的轴侧视图。

图2是表示喷出装置的分解轴侧视图。

图3是上述喷出装置的轴侧视图。

图4是用上述制造装置制造的滤色器的断面视图。

图5是表示具有上述滤色器的电光学装置的断面视图。

图6是表示具备上述电光学装置的个人电脑的轴侧视图。

图7是表示具有上述电光学装置的便携式电话的轴侧视图。

图8是本发明第二种实施方式的发光装置的电路图。

图9是表示上述发光装置像素区域平面结构的平面图。

图10是图9中A-B方向的断面视图。

图11是表示图10中要部的断面视图。

图中，

1、制造装置，2、喷出装置，22液滴喷头，23、压力吸收装置，24、橡胶套管，231B、液滴导出口，231D、压力吸收部分，231C、通路，4、滤色器，41、基板，42、滤色层，5、液晶装置，500A、个人电脑，500B、便携式电话，7、发光装置，70、显示元件，710b、发光层

具体实施方式

以下基于附图说明本发明的实施方式。

[制造装置1的构成]

图1表示滤色器制造用的制造装置1。

制造装置1备有三个喷出装置2。喷出装置2向滤色器4的基板41上喷出含有彩色滤光材料的液体(参照图4)，三个喷出装置分别喷出红、蓝、绿色液体。

而且制造装置1具有主扫描装置11和基板位置控制装置14。

主扫描装置11是保持后述的喷出装置2的液滴喷头22和压力吸收装置23用的。来自控制电路13的驱动信号一旦供给驱动马达12，就会驱动主扫描装置11、液滴喷头22和压力吸收装置23向Y方向移动。

基板位置控制装置14是保持滤色器4的基板41用的。来自控制电路13的驱动信号一旦供给驱动马达15，就会驱动基板位置装置14和基板41向X方向移动。

[喷出装置2的构成]

图2和图3表示喷出装置。

喷出装置2具有供给液体的液滴罐21和喷出从液滴罐21供给的液体的液滴喷头22。在此液滴罐21和液滴喷头之间设有压力吸收装置23。

压力吸收装置23用于吸收从液滴罐21向液滴喷头22供给的液体的压力变动。这种压力吸收装置23具有压力吸收装置本体231、滤色器232和滤色器234。

在压力吸收装置本体231上形成通过管路211连接到液滴罐21的液滴导入口231A，和与液滴喷头22连接的液滴导出口231B。液滴导出口231B设有两个，每个液滴导出口231B通过橡胶套管24分别与液滴喷头22上形成的两个供给管221A连接。

橡胶套管24在内部形成通路(图中未示出)，在插入液滴导出口231B和供给管221A的部分，沿着圆周方向形成突起。一旦将液滴导出口231B和供给管221A嵌入橡胶套管24内，突起就会崩溃，在液滴导出口231B和供给管221A周围就会形成密封。

这样的橡胶套管24由对液体具有耐腐蚀性的耐腐蚀性材料制成。作为耐腐蚀性材料，例如可以举出全氟橡胶、弹性体、丁基橡胶和硅橡胶。

而且在压力吸收装置主体上形成连接液滴导入口231A和液滴导出口231B的沟槽状通路231C，以及与此通路231C连通的压力吸收部分231D。

通路231C备有将液滴导入口231A的液体导入压力吸收部分231D第一通路231C’，和将压力吸收部分231D导入液滴导出口231B的第二通路(图中未示出)。

第二通路分为两个分支，分别与各液滴导出口231B相连。

压力吸收部分231D与第二通路间的交界处，利用超声波焊接法安装有过滤器234。设置这种过滤器234的目的在于阻止垃圾和气泡流入第二通路中。过滤器234利用例如聚丙烯、环状烯烃低聚物、聚乙烯和SUS等对液体具有耐腐蚀性的树脂形成。

此外，在压力吸收装置本体231上热沉积有薄膜232，用于覆盖该通路231C和压力吸收部分231D。这种薄膜232可以用对液体具有耐腐蚀性材料，例如，由聚丙烯、聚乙烯、聚乙烯与尼龙的层叠膜形成。

这样的压力吸收装置23的液滴导入口231A、液滴导出口231B、通路231C和压力吸收部分231D均由对液体具有耐腐蚀性材料构成。作为耐腐蚀性材料，例如可以举出聚丙烯、环状烯烃低聚物和聚乙烯。而且耐腐蚀性材料既可以由一种这样的树脂构成，也可以由两种以上混合树脂构成。

液滴喷头22具有形成供给管221A，并供给液体的喷头支架221、安装在此喷头支架221上的振动板222和固定在此振动板222上的振动元件223。

振动板222具有树脂膜(图中省略)和在此树脂膜上固定的金属框架(图中省略)，此框架被固定在喷头支架221上。在振动板222下方设有形成压力形成室225A的隔板225。而且在此隔板225下方设有将液体喷射成射流状用的带喷嘴226A的喷嘴板226。

振动元件223的一面被安装在粘结在喷头支架221内面上的制动板227上。而且振动元件223的电极通过薄膜基板25与电路基板26连接。

根据以下方式从这样的液滴喷头22中喷出液体。从电路基板26向振动元件223的电极上加减大约30V电压的情况下，振动元件223将会伸缩，并伴随此伸缩使振动元件222产生振动。振动板222一旦产生振动，就会使由振动室形成的压力发生室225A的容积发生变化，从而使压力产生变化。在这种压力作用下，液体可以自喷嘴226A喷出液体。

[滤色器4的结构和制造]

图4(d)表示用上述的制造装置1制造的滤色器4。滤色器4备有由玻璃、塑料等形成的方形基板41和在此基板41的表面上涂布成点图案状的滤色层42。在此滤色层42上层叠保护膜43。

参照图4说明滤色器4的制造方法。

将事先形成隔壁411的基板41(图4(a))保持在制造装置1的基板位置控制装置14上。隔壁411事先由没有透光性的树脂材料形成，例如设置成方格状图案。

一旦用控制电路13驱动驱动马达12，就会驱动主扫描装置11使液滴质头22和压力吸收装置23在基板41上作往复运动。此时液滴喷头22向隔壁411之间供给液体液滴。

其次利用驱动马达15驱动基板位置控制装置14，使基板41沿着X轴方向以预定距离移动。一旦再由驱动马达12驱动主扫描装置11，就会使液滴喷头22和压力吸收装置23在基板41上再次作往复运动。通过反复进行此项操作，就可以向全部隔壁411之间供给液体(图4(b))。

图4(b)中，符号42R表示R(红)色的液体，符号42G表示G(绿)色液体，符号42B表示B(蓝)色液体。

一旦在隔壁411之间充填了预定量液体，就由加热器(图示省略)加热基板41，使液体的溶剂蒸发。通过这种蒸发，如图4(c)所示，使液体体积减小，并平坦化。当体积减小剧烈的情况下，应当反复供给液体和加热蒸发，直到作为滤色器可以获得足够的膜厚为止。通过以上处理，最终只有液体的固形分残留，这种方法将形成彩色过滤层42。

形成滤色层42后，为了使这种滤色层完全干燥，应当利用上述方法在预定温度下进行预定时间的热处理。然后形成保护滤色层42的保护膜43。保护膜43既可以用制造装置1成膜，也可以用其他方法，例如旋涂法、辊涂法、刀涂法(ripping)等方法成膜。

[液晶装置5的构成]

使用这样制造的滤色器4作为图5所示电光学装置的液晶装置5。

液晶装置5是将作半导体芯片用的液晶驱动用IC52A和液晶驱动用IC(图中省略)安装在液晶板51上，再将作配线连接要素用的FPC(柔性印刷电路，Flexible Printed Circuit)53连接在液晶板51上。液晶装置5还可以在液晶板51的内侧面上设置形成照明装置作为背光。

用密封材料513将第一基板511和第二基板512粘合，可以形成液晶板51。

第一基板511具有由透明玻璃和透明塑料等形成的板状基体材料511A。在此基体材料511A的内侧表面(图7的上侧表面)上形成反射膜511B，其上层叠以绝缘膜511C，进而在其上形成第一电极511D，再于其上形成取向膜511E。

第二基板512具有由透明玻璃和透明塑料等形成的板状基体材料512A。在此基体材料512A的内侧表面(图7的下侧表面)上设置滤色器4，在其上形成第二电极512D，再于其上形成取向膜512E。

这种液晶装置5被组装在图6所示的个人电脑500A和图7所示的便携式电话500B等电子仪器上。

因此根据本实施方式可以有以下效果。

(1)压力吸收装置23的液滴导入口231A、液滴导出口231B、通路231C和压力吸收部分231D由于是由耐腐蚀性材料构成，所以能够防止因与液体接触面的腐蚀作用而损伤压力吸收装置23。而且这种压力吸收装置23可以吸收液体的压力波动，所以使液滴从液滴喷头22中稳定地喷出成为可能。因而能够降低滤色器4的不良品发生率，提高滤色器4的生产效率。

(2)由于使用聚乙烯、聚丙烯、环状烯烃低聚物作为压力吸收装置23中用的耐腐蚀性材料，这些树脂对于滤色器液体的耐腐蚀性特别高，因而能更有效地防止压力吸收装置的损伤。

(3)此外由于液滴导入口231A、液滴导出口231B、通路231C和压力吸收部分231D全部是由耐腐蚀性材料构成的，所以与仅在与液体接触的表面上涂布耐腐蚀性材料的情况相比，压力喷出装置23的制造不费事。

(4)连接压力吸收装置23与液滴喷头22的橡胶套管24是由对液体有耐腐蚀性材料构成的，所以能将喷出装置2制成耐腐蚀性更高的装置。

(5)此外，橡胶套管24的耐腐蚀性材料是全氟橡胶、弹性体、丁基橡胶和硅橡胶，不仅有耐腐蚀性，而且还有柔软性。所以一旦将液滴导出口231B等插入橡胶套管中就能使形成的突起崩溃，因而能够将液滴导出口231B等密封，所以能确实防止液体的泄漏。

(6)另外，安装在压力吸收部分231D与第二通路交界处的过滤器234，由于也是由对液体具有耐腐蚀性的树脂，例如聚丙烯、环状烯烃低聚物、聚乙烯和SUS等形成的，所以能仅由提高压力吸收装置23的耐腐蚀性。

(7)液晶装置5的滤色器4，由于能用上述的喷出装置2高生产率地制造，所以能够提高将这种液晶装置5组装成罐电脑500A和便携式电话500B等电子仪器的生产率。

以下说明本发明的第二种实施方式。其中在以下说明中对于与已经说明的相同的部分赋予同一符号，其说明省略。

[发光装置7的构成]

如图8所示，本身是电光学装置的发光装置7，被制成分别备有多条扫描线701、沿着与扫描线701交叉方向延伸的多条信号线702、与信号线702并列延伸的多条电源线配线构成。

在扫描线701和信号线702各交点附近，设有像素区A。

备有移位寄存器、电位移位器、视频线和模拟开关的数据侧驱动电路704与信号线702连接。

备有移位寄存器和电位移位器的扫描侧驱动电路705与扫描线701连接。

在各像素区A，设有借助于扫描线701将扫描信号供给门电极的开关用薄膜晶体管722、借助于此开关用薄膜晶体管722保持与信号线702共有像素信号的保持电容cap、将该保持电容cap所保持的像素信号供给门电极的驱动用薄膜晶体管723、通过此驱动用薄膜晶体管723与电源线703电连接时自该电源线703流过驱动电流的有机EL元件(显示元件70)。

发光装置7一旦驱动扫描线701使开关用薄膜晶体管722接通，此时的信号线702的电位就被保持在保持电容cap内，根据保持电容cap所处的状态，确定驱动用薄膜晶体管723的开关状态。

发光装置7，一旦有驱动电流通过驱动用薄膜晶体管723的通道，从电源线703流入像素电极，此电流就会通过功能层710流入阴极72，功能层710因流入电流而发光。

如图9～图11所示，发光装置7中在基板8上形成显示元件70，其上形成密封层9。

基板8是由在玻璃等透明基体6上形成电路元件部分74构成的。

如图10和图11所示，电路元件部分74中，在基体6上形成由硅酸化合物形成的基底保护层6c，在此基底保护层6c上形成由多晶硅组成的岛状半导体薄膜741。

在电路元件部分74上形成具有以下结构的薄膜晶体管723。

在半导体薄膜741上，通过注入高浓度P离子而形成源区741a和漏区741b。未导入P离子的部分则变成通道区域741c。

在电路元件部分74，形成覆盖基底保护膜6c和半导体薄膜741的透明的门绝缘膜742，在门绝缘膜742上形成由Al、Ta、Ti、W等组成的门电极743(扫描线701)，在门电极743和门绝缘膜742上形成透明的第一层间绝缘膜744a和第二层间绝缘膜744b。

门电极743被设置在与半导体薄膜741的通道区域741c对应的位置上。

如图11所示，在第一和第二层间绝缘膜744a、744b上，形成分别与半导体薄膜741的源、漏区741a、741b连接的接触孔745和746。

第二层间绝缘膜744b上形成的接触孔745，与设在第二层间绝缘膜744b上的像素电极711连接。而第一层间绝缘膜744a上形成的接触孔746与电源线703连接。

如图9和图10所示，在电路元件部分74内设有与扫描侧驱动电路705、与705连接的驱动电路用控制信号配线705a和驱动电路用电源配线705b。

在电路元件部分74内，形成上述的保持电容cap和开关用薄膜晶体管722。

显示元件70备有多个像素电极、设置在其上的发光元件部分71以及设置在其上的阴极72(对电极)。

如图10和图11所示，像素电极711，例如由ITO形成，形成得俯视大体呈矩形。这种像素电极711的厚度优选处于50～200nm范围内，特别优选150nm左右。

发光元件71，主体由分别在像素电极711上形成的功能层710，和区分各功能层710的存储部分712构成。

如图11所示，功能层710由层叠在像素电极711上的空穴注入/输送层710a，和在空穴注入/输送层710a上相邻形成的发光层710b(EL发光层)构成。

空穴注入/输送层710a由于能提高发光层710b的发光效率、延长寿命等元件特性，所以具有向发光层710b注入空穴的功能，同时还有在空穴注入/输送层710a内部输送空穴的功能。

作为空穴注入/输送层710a的材料，例如可以使用聚乙烯二氧噻吩等聚噻吩衍生物与聚乙烯磺酸等的混合物。

这种空穴注入/输送层710a，可以采用在像素电极711上涂布含有空穴注入/输送层710a材料液体的方法形成。具体讲，与制造滤色器4时同样，驱动主扫描装置11和基板位置控制装置14的方式进行。

其中在本实施方式中，采用聚丙烯等作为压力吸收装置23中压力吸收部分231D等使用的耐腐蚀性材料，形成空穴注入/输送层710a时使用环状烯烃低聚物、聚对亚苯基苯并唑、聚甲醛、聚丙烯等。而且过滤器也使用这些树脂或SUS等。此外，对于橡胶套管来说与上述实施方式同样，例如使用全氟橡胶、弹性体、丁基橡胶和硅橡胶。

从空穴注入/输送层710a注入的空穴与从阴极72注入的电子一旦再结合，发光层710b就能发光。

如图9所示，发光层710b由红色发光层R、绿色发光层G和蓝色发光层B组成。

作为发光层710b的材料，可以使用有机发光材料，例如三(8-羟基喹啉)铝配位化合物(Alq)等。

其中发光层710b，也是利用喷出装置2的液滴喷头22喷出含有有机发光材料的液体的方法形成的。此时压力吸收装置23中压力吸收部分231D等使用的耐腐蚀性材料，优选氟树脂、聚甲醛、聚丙烯。而且过滤器234也使用这些树脂或SUS等。此外，橡胶套管24例如优选使用硅橡胶，其中特别优选使用全氟橡胶(包括全氯弹性体)。

存储部分(bank)712可以利用层叠处于基板8侧面的无机物存储层712a(第一存储层)和偏离基板8位置的有机物存储层712b(第二存储层)的方法构成。

部分无机物存储层712a和部分有机物存储层712b可以在像素电极711的边缘部分形成。

也就是说，无机物存储层712a在像素电极711的边缘部分以平面重合方式形成，而有机物存储层712b也同样是在像素电极711的边缘部分以平面重合方式形成。

无机物存储层712a与有机物存储层712b相比，前者更靠近像素电极711的中央侧形成。

无机物存储层712a，例如优选由SiO₂、TiO₂等无机材料构成。这种无机物存储层712a的厚度优选处于50～200nm范围内，特别优选150nm左右。

有机物存储层712b，例如由具有耐热性、耐溶剂性的材料，例如由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂形成。这种有机物存储层712b的厚度，优选处于0.1～0.35微米范围内，特别优选2微米。

如图9和图10所示，将阴极72制成矩形形状，可以形成对发光元件71的全面覆盖。

阴极72例如能够形成由钙组成的第一层72a与由铝等形成的第二层72b所层叠而成的结构。

第二层72b由于使发光层710b发射的光线反射到基体6一侧，所以可以使用Al、Ag。第二层72b也可以形成Al层和Ag层的层叠膜。

在第二层72b上还可以设置由SiO、SiO₂、SiN等形成的防止氧化用保护膜。

阴极72可以采用机械掩膜等借助于蒸镀法、溅射法、CVD法等形成。

如图9和图10所示，基板8可以区分为形成大体矩形、处于内侧(基板中央侧)位置的矩形显示区6a和处于显示区外侧(基板周边区)的非显示区6b。

其中符号6d是表示非显示区6b中在与显示区6a相邻位置处形成的虚假显示区。

在以下说明中，所述上方和下方是指图9中的上方和下方，所述左方和右方是指图9中中的左方和右方。

在基板8的下边8d安装有柔性基板80，在柔性基板80上设有驱动IC81。

显示区6a是形成被设置成矩阵状的发光元件71的区域，也叫作有效显示区域。

在非显示区6b中，在相当于显示区右方和左方位置的电路元件74中设有扫描侧驱动电路705(扫描侧驱动电路705R、705L)。

与右侧的扫描侧驱动电路705R右方相当的、以及和左侧的扫描侧驱动电路705L的左方相当的位置上的电路元件74内，设有与扫描侧驱动电路705R、705L相连的驱动电路用控制信号配线705a和驱动电路用控制信号配线705b。

在显示区6a的上方设有检查电路706，因而能够对制造过程中和出厂时发光装置的品质和缺陷进行检查。

检查电路706的上方、和与右侧驱动电路用控制信号配线705a右方位置相当处的电路元件74上，形成与发射绿光的发光层710b相连的电源线703(第一电源线703G)。

第一电源线703G可以形成由在检查电路706的上方左右延伸的第一部分703G1，和驱动电路用控制信号配线705a右方上下延伸的第二部分703G2部分组成的L字形状。

在电源线703G的第一部分703G1的上方，和与第二部分703G2右方位置相当处的电路元件74上，形成与发射蓝光的发光层710b相连的电源线703(第二电源线703B)。

第二电源线703B可以形成由第一部分703G的上方左右延伸的第一部分703B1，和在第二部分703G2右方上下延伸的第二部分703B2部分组成的L字形状。

在电源线703B的第一部分703B1的上方，和与左侧的驱动电路用控制信号配线705a的左方相当位置的电路元件部分14上，形成与发射红光的发光层710b相连的电源线703(第三电源线703R)。

第三电源线703R可以形成由在第一部分703B1的上方左右延伸的第一部分703R1，和在驱动电路用控制信号配线705a的左方上下延伸的第二部分703R2部分组成的L字形状。

在电源线73的外侧(基板周边侧)形成与阴极连接的阴极用配线73(对电极用配线)。

阴极用配线73，可以形成由在第三电源线703R的第一部分703R1上方形成的第一部分73a、在电源线703R的第二部分703R2左方形成的第二部分73b和在第二电源线703B的第二部分703B2的右方形成的第三部分73c构成的コ字形状。

这种发光装置7中，第一部分73a在矩形基板8的上部沿着上沿8a左右方向延伸形成。第一部分73a的一端和另一端，分别达到上沿8a的一端附近和另一端附近。

第二部分73b，在矩形基板8的左部沿着左边8b上下方向延伸形成。第二部分73b的一端和另一端，分别达到左边8b的一端附近和另一端附近。

第三部分73c，在矩形基板8的右部沿着右边8c上下方向延伸形成。第三部分73c的一端和另一端，分别达到右边8c的一端附近和另一端附近。

阴极用配线73，优选设置在阴极72周边72c的内侧(基板中央侧)。

也就是说阴极用配线73，其周边73e(第一部分73a的上沿、第二部分73b的左边和第三部分73C的右边)优选比阴极72周边72c更靠近基板中央侧位置处形成。

将阴极用配线73周边73e与阴极72周边72c之间的距离，设置得处于1毫米以上(优选2毫米以上)是适宜的。

此距离若低于此范围，在阴极72的形成位置产生偏移时，阴极72与阴极用配线73之间的接触面积就会减小，它们之间的电阻有增大之虞。

阴极用配线73的宽度，优选设定在电源线703的宽度(第一～第三电源线703G、703B、703R的总宽度)以上。

阴极用配线73的宽度一旦低于此范围，由于流过功能层710的电流容易降低而不优选。

阴极用配线73的下端部分73d、73d(第二和第三部分73b、73c的下端部分)利用连接配线80a与柔性基板80上的驱动IC81(驱动电路)相连。

阴极用配线73能够制成层叠数层配线层的结构。

作为这些配线层用材料，可以举出Al、Mo、Ta、Ti、W、Cu、TiN及其合金。

阴极用配线73能够采用形成扫描线701的材料和形成信号线702的材料中至少一种材料形成。

作为这些材料，可以举出Al、Mo、Ta、Ti、W、Cu、TiN及其合金。

显示区6a、扫描侧驱动电路705、驱动电路用控制信号配线705a、驱动电路用电源配线705b、检查电路706、电源线703和阴极用配线73，可以在阴极72的周边72c的内侧(基板中央侧)形成。

也就是说，显示区6a、扫描侧驱动电路705、驱动电路用控制信号配线705a、驱动电路用电源配线705b、检查电路706、电源线703和阴极用配线73，可以形成得将阴极72覆盖。

如图10所示，密封部分9是防止外界气体中水分和氧等将阴极72和发光元件71氧化用的，可以由罐密封基板94、和将罐密封基板94粘结在基板8上用的密封树脂93构成。

罐密封基板94由于是由玻璃、金属、合成树脂等构成的，所以可以在下面一侧设置容纳显示元件用的凹部94a。

凹部94a优选能形成吸收氧等吸气剂层95的。

罐密封基板94，其周边可以用密封树脂93将其粘合在基板8上。

密封树脂93由热固性树脂、紫外线固化性树脂构成，其中特别优选作热固性树脂之一的环氧树脂。

密封部分9优选形成得能将阴极72覆盖。

也就是说，密封树脂93的周边93a优选在处于阴极72周边72c的外侧(基板周边一侧)形成。

这种发光装置7中，驱动电流一旦从电源线703经过驱动用薄膜晶体管723的通道流到像素电极711中，这种电流就会经过功能层710和阴极72流入阴极用配线73中，功能层710就会根据电流值而发光。

从功能层710向基体6侧发射的光线，透过电路元件部分74和基体6而出射到观测者一侧。

从功能层710向阴极72侧发射的光线，经阴极72反射后，透过电路元件部分74和基体6而出射到观测者一侧。

其中，作为阴极使用透明性材料能够从阴极侧射出光线。可以使用ITO、Pt、Ir、Ni、Pd作为透明性材料。

另外，本发明并不限于上述的实施方式，能够达成本发明目的范围内的一切变形和改进也应当包括本发明之中。

例如在上述各实施方式中，虽然使用了制造装置1制造滤色器4和显示元件70，但是其用途并不限于这些制造上，例如，还可以用于例如为形成印刷电路基板的电气配线上，通过喷出液态金属和导电性材料、含有金属的涂料等形成配线的结构上，在基体材料上喷出、形成微细透镜以制成光学部件的结构上，仅在基板的必要部位上喷出、涂布抗蚀剂的结构上，在塑料等透明性基板上等喷出、形成光线漫反射凸部和微小白色图案以制成光漫反射板的结构上，在基体材料上涂布液晶板用液晶材料的结构上，喷出、形成液晶板的取向膜的结构上，以及像试剂检查装置那样，在DNA(deoxyribonucleic acid；脱氧核糖核酸)芯片上以矩阵状排列的方形截面斑点状(spike spot)喷出RNA(ribonucleic acid；核糖核酸)，制作荧光标识探针，利用DNA芯片使之杂化等，在基体材料被区分的位置上喷出样片和抗体、DNA(deoxyribonucleic acid；脱氧核糖核酸)等，形成杂化芯片的结构上等。

上述各实施方式中，虽然是将电光学装置装入个人电脑500A和便携式电话500B中，但是也可以组装在例如电子记事本、寻呼机、POS(Pointof Sales)终端、IC卡、微型光盘播放机、液晶投影仪、工程工作站(Engineerung Work Station；EWS)、文字处理机、电视机、探视器型或监视器直视型视频磁带播放机、台式电子计算机、汽车驾驶导向(carnavigation)装置和备有触摸式通道的装置、钟表、游戏机等各种电子仪器之中。

此外上述各实施方式中，虽然是组装在基于图2所示的电信号喷出液滴的喷出装置2中，但是并不限于这种方式，也可以将压力吸收装置23组装在利用空气压力喷出方式的喷出装置之中。

而且在上述实施方式中，虽然压力吸收部分231D全部是由耐腐蚀性材料制成的，但是本发明中至少与液体接触的表面可以由耐腐蚀性材料制成。因此，也可以用没有腐蚀性的树脂形成压力吸收部分231D，仅在与液体接触的表面上涂布上述的耐腐蚀性材料。这样一来，由于耐腐蚀性材料用量减少，所以能够降低制造成本。

不仅如此，上述实施方式中作为耐腐蚀性材料，虽然列举了聚乙烯、聚丙烯、氟树脂、聚甲醛、环状烯烃低聚物和聚对亚苯基苯并唑等，但是并不限于这些物质。也就是说，耐腐蚀性材料只要是对液体具有耐腐蚀性的都可以使用，例如如表1所示那样，可以根据液体进行适当选择(表1中○表示特别适用，△表示适用，×表示不适用)。

表1

	表面涂层	液晶	取向膜	抗蚀层
					COC	○	○	○	×
PBO	×	○	○	○
					POM	○	○	○	○
PE	×	△～×	○～△	○～△
					PP	○	○	○	○

而且设置在喷出装置2上的橡胶套管24，虽然橡胶套管本身是由氟树脂、弹性体、丁基橡胶、硅橡胶构成的，但是橡胶套管也可以是在硅橡胶等具有柔软性的橡胶材料上涂布耐腐蚀性材料构成的双层结构。制成双层结构的情况下，由于与橡胶材料间的密接性是必须的，所以优选涂布氟树脂作为耐腐蚀性材料。

此外作为耐腐蚀性材料并不限于这些物质，例如可以像表2所示那样，根据液体进行适当选择(表1中○表示特别适用，△表示适用，×表示不适用)。

表2

	表面涂层	液晶	取向膜	抗蚀层
					氟橡胶(全氟橡胶除外)	×	×	×	×
全氟橡胶	○	○	○	○
					硅橡胶	△	○	○	○
丁基橡胶	△～×	△	○	×
					弹性体	○	×	×	×

此外，橡胶套管24与液体接触的表面也可以用耐腐蚀性材料制成。本发明中，压力吸收装置23的液滴导入口231A、液滴导出口231B、通路231C和压力吸收部分231D的与液体接触的表面是由耐腐蚀性材料构成的。

根据本发明，不论液体的性状如何，都能够提供可以从液滴喷头稳定喷出液滴的压力吸收装置、具有这种压力吸收装置的喷出装置、具有用这种喷出装置制造的滤色器和EL元件的电光学装置、以及具有基体材料的器件和具有这种电光学装置的电子仪器。

Claims (8)

1、一种喷出装置，其具有供给有流动性的液体的液滴罐、向喷出对象物上喷出从所述液滴罐供给的液体的液滴喷头和吸收从所述液滴罐向所述液滴喷头供给的液体的压力变动的压力吸收装置，其特征在于：在所述液滴罐与所述液滴喷头之间设置所述压力吸收装置，所述压力吸收装置具有与所述液滴罐连接的液滴导入口、与所述液滴喷头连接的液滴导出口、连接它们的通路、和与此通路连通的压力吸收部分，所述液滴导入口、液滴导出口、通路和压力吸收部分的至少与所述液体接触的面由对于所述液体具有耐腐蚀性的材料形成，所述压力吸收装置的液滴导出口与所述液滴喷头通过橡胶套管连接。

2、根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于：至少与所述橡胶套管中的液体接触的面由对于所述液体具有耐腐蚀性的材料构成。

3、根据权利要求2所述的喷出装置，其特征在于：其中所述耐腐蚀性材料是氟橡胶、氟树脂、弹性体、丁基橡胶和硅橡胶中至少任何一种物质。

4、根据权利要求1所述的喷出装置，其中所述耐腐蚀性材料是聚乙烯、聚丙烯、氟树脂、聚甲醛、环状聚烯烃低聚物和聚对苯基苯并唑中任何一种物质。

5、一种电光学装置，是具有电致发光元件的电光学装置，其特征在于：所述电致发光元件备有设有多个电极的基板和在此基板上与所述电极对应设置的多个电致发光层，所述电致发光层是由权利要求1～3中任何一项所述喷出装置向所述基板上喷出含有电致发光材料的液体形成的。

6、一种电光学装置，是具有滤色器的电光学装置，其特征在于：所述滤色器备有基板和在此基板上形成的不同颜色的滤色层，所述滤色层是由权利要求1～3中任何一项所述喷出装置向所述基板上喷出含有预定颜色滤色器材料的液体形成的。

7、一种器件，是备有基体材料和向此基体材料上喷出的有流动性的液体的器件，其特征在于：所述液体是由权利要求1～3中任何一项所述的喷出装置向所述基板上喷出形成的。

8、一种电子仪器，其特征在于：其中备有权利要求5或6所述电光学装置。

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