KR20040004048A - 압력 흡수 장치, 토출 장치, 전기 광학 장치, 기재를 갖는디바이스 및 전자 기기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액상체의 특성을 불문하고, 안정하게 액적 토출 헤드로부터 액적을 토출시킬 수 있는 압력 흡수 장치, 이 압력 흡수 장치를 갖는 토출 장치, 이 토출 장치에 의해 제조되는 컬러 필터나 EL 소자를 갖는 전기 광학 장치, 기재를 갖는 디바이스 및 이 전기 광학 장치를 갖는 전자 기기를 제공하는 것이다.
압력 흡수 장치(23)의 액적 도입구(231A), 액적 도출구(231B), 유로(231C) 및 압력 흡수부(231D)를, 액상체에 대한 내식성 재료로 구성한다. 또한, 액적 도출구(231B)와 액적 토출 헤드(22)의 공급관(221A) 사이에 설치되는 고무 부쉬(24)도, 액상체에 대한 내식성을 갖는 내식성 재료로 구성한다.

Description

압력 흡수 장치, 토출 장치, 전기 광학 장치, 기재를 갖는 디바이스 및 전자 기기{PRESSURE ABSORPTION DEVICE, DISCHARGE DEVICE, ELECTRO-OPTICAL DEVICE, DEVICE HAVING A SUBSTRATE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT}
본 발명은 압력 흡수 장치, 이 압력 흡수 장치를 갖는 토출 장치, 이 토출장치에 의해 제조되는 컬러 필터나 일렉트로루미네선스(Electro Luminescence; EL) 소자를 갖는 전기 광학 장치, 기재를 갖는 디바이스 및 이 전기 광학 장치를 갖는 전자 기기에 관한 것이다.
근년, 컬러 필터나 EL 소자 등을 사용한 전기 광학 장치가 널리 이용되고 있다. 컬러 필터나 EL 소자는 기판상에 필터 재료나, EL 발광 재료를 도트상으로 토출하여, 도포함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는 액적 토출 헤드를 기판상에 복수회 주주사(主走査)시키면서, 액적 토출 헤드로부터 필터 재료나, EL발광 재료를 함유하는 액적을 토출하고 있다.
액적 토출 헤드의 주사중에는, 액적 토출 헤드내의 액적이나, 액적 토출 헤드와 액적 탱크를 연결하는 튜브내의 액적에 가속도가 가해져서, 액적의 공급 압력이 변동하기 때문에, 안정된 액적의 토출이 곤란해진다. 그런데, 종래부터 잉크젯 프린터용의 토출 장치에 설치되어 있는 압력 흡수 장치를 컬러 필터나, EL 소자의 제조시에 사용하는 방법이 고려된다.
그러나, 이 압력 흡수 장치는 수용성의 액상체에 대한 내식성 밖에 갖지 않아, 특수한 용제 등을 사용하는 컬러 필터나, EL 소자의 제조에 사용한 경우에는 압력 흡수 장치가 손상할 우려가 있다.
본 발명의 목적은 이러한 문제을 감안하여 액상체의 특성을 불문하고, 안정하게 액적 토출 헤드로부터 액적을 토출시킬 수 있는 압력 흡수 장치, 이 압력 흡수 장치를 갖는 토출 장치, 이 토출 장치에 의해 제조되는 컬러 필터나 EL 소자를갖는 전기 광학 장치, 기재를 갖는 디바이스 및 이 전기 광학 장치를 갖는 전자 기기를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 제조 장치를 나타내는 사시도.
도 2는 토출 장치를 나타내는 분해 사시도.
도 3은 상기 토출 장치의 사시도.
도 4는 상기 제조 장치에 의해 제조되는 컬러 필터를 나타내는 단면도.
도 5는 상기 컬러 필터를 갖는 전기 광학 장치를 나타내는 단면도.
도 6은 상기 전기 광학 장치를 구비한 퍼스널 컴퓨터를 나타내는 사시도.
도 7은 상기 전기 광학 장치를 구비한 휴대 전화를 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명의 제２ 실시 형태의 발광 장치의 회로도.
도 9는 상기 발광 장치의 화소 영역의 평면 구조를 나타내는 평면도.
도 10은 도 9의 A-B 방향의 단면도.
도 11은 도 10의 주요부를 나타내는 단면도.
부호의 설명
1 제조 장치
2 토출 장치
22 액적 토출 헤드
23 압력 흡수 장치
24 고무 부쉬
231B 액적 도출구
231D 압력 흡수부
231C 유로
231A 액적 도입구
4 컬러 필터
41 기판
42 컬러 필터층
5 액정 장치
500A 퍼스널 컴퓨터
500B 휴대 전화
7 발광 장치
70 표시 소자
710b 발광층
그 때문에, 본 발명은 이하의 구성을 채용하여 상기 목적을 달성하려고하는 것이다.
구체적으로는 본 발명의 압력 흡수 장치는, 유동성을 가진 액상체를 피토출물상에 토출하는 액적 토출 헤드와, 이 액적 토출 헤드에 액상체를 공급하는 액적 탱크 사이에 배치되며, 상기 액적 탱크로부터 상기 액적 토출 헤드에 공급되는 액상체의 압력 변동을 흡수하는 압력 흡수 장치로서, 상기 액적 탱크에 접속되는 액적 도입구와, 상기 액적 토출 헤드에 접속되는 액적 도출구와, 이들을 연결하는 유로와, 이 유로에 연통한 압력 흡수부를 구비하고, 상기 액적 도입구, 액적 도출구, 유로 및 압력 흡수부는 적어도 상기 액상체와 접하는 면이 상기 액상체에 대한 내식성을 갖는 재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 압력 흡수 장치는 액적 도입구, 액적 도출구, 유로 및 압력 흡수부의 액상체와 접하는 면만이 내식성 재료로 피복되어도 좋고, 또한, 전체가 내식성 재료로 구성되어도 좋다.
본 발명에서는 액상체가 접하는 면이 내식성 재료로 피복되어 있기 때문에, 액상체와 접하는 면의 부식 등에 의한 압력 흡수 장치의 손상을 방지할 수 있다. 따라서, 액상체의 특성을 불문하고, 액적 토출 헤드로부터 안정하게 액적을 토출시킴이 가능해진다. 이와 같이, 안정하게 액적을 토출할 수 있으므로, 불량품의 발생율을 저감할 수 있어, 생산성도 향상할 수 있다.
이 때, 상기 내식성 재료는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 불소 수지, 폴리옥시메틸렌, 환상 올레핀 공중합체 및 폴리파라페닐렌 벤조옥사졸 중 적어도 어느 하나인 것이 바람직하다. 불소 수지의 예로는 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(Tetrafluoroethylene perfluoroalkylvinylcopolymer: PFA), 폴리테트라플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene; PTFE), 폴리3불화염화에틸렌(Polychlorotrifluoroethylene; PCTFE) 등을 들 수 있다.
EL 소자를 제조할 때에는 내식성 재료로서, 폴리에틸렌(Polyetylene; PE), 폴리프로필렌(Polypropylene; PP), 불소 수지, 폴리옥시메틸렌(Polyoxymethylene; POM), 환상 올레핀 공중합체 (COC), 폴리파라페닐렌 벤조옥사졸(Poly(p-phenylene-2,6-benzobisoxazole); PBO)를 사용할 수 있다. 또한, 컬러 필터를 제조할 때에는 폴리프로필렌, 환상 올레핀 공중합체를 사용하는 것이 특히 바람직하다.
예를 들어, EL 소자나 컬러 필터의 제조에는, EL발광 재료나, 컬러 필터 재료를 특수한 유기 용제에 녹인 액상체를 사용하기 때문에, 상술한 내식성 재료를 사용함으로써, 압력 흡수 장치를 EL 소자나 컬러 필터의 제조에 사용할 수 있다.
본 발명의 토출 장치는, 유동성을 가진 액상체를 공급하는 액적 탱크와, 상기 액적 탱크로부터 공급된 액상체를 피토출물상에 토출하는 액적 토출 헤드를 가진 토출 장치로서, 상기 액적 탱크와 상기 액적 토출 헤드 사이에는 제1항 또는 제2항 기재의 압력 흡수 장치가 설치된 것을 특징으로 한다. 이러한 토출 장치는 상술한 압력 흡수 장치를 갖고 있어, 같은 작용, 효과를 발휘할 수 있다. 즉, 액상체의 특성을 불문하고, 안정하게 액적 토출 헤드로부터 액적을 토출할 수 있다.
이 때, 상기 압력 흡수 장치의 액적 도출구와, 상기 액적 토출 헤드는 고무 부쉬를 통하여 연결되며, 적어도, 상기 고무 부쉬의 액상체와 접하는 면은 상기 액상체에 대한 내식성을 갖는 재료로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
여기서, 고무 부쉬는 액상체와 접하는 면이 내식성 재료로 구성되어 있으면 좋다. 따라서, 고무 부쉬 전체를 내식성 재료로 성형해도 좋고, 혹은 유연성을 갖는 고무 재료, 예를 들어 실리콘 고무 등에 내식성 재료를 코팅한 2층 구조로 하여도 좋다.
압력 흡수 장치와, 액적 토출 헤드를 연결하는 고무 부쉬도 내식성 재료로 구성함으로써, 토출 장치의 내식성을 향상시킬 수 있다.
또한 상기 내식성 재료는 불소 고무, 불소 수지, 엘라스토머, 부틸 고무 및 실리콘 고무 중 적어도 어느 하나인 것이 바람직하다.
고무 부쉬는 압력 흡수 장치의 액적 도출구 등의 주위에 밀착하여 액상체의 누출을 방지하는 것이다. 그 때문에, 고무 부쉬는 압력 흡수 장치의 액적 도출구를 끼워 넣었을 때, 액적 도출구의 형상에 따라 변형 가능한 정도의 유연성을 갖는 것이 바람직하다. 이 점을 고려하면, 고무 부쉬 전체를 내식성 재료로 성형하는 경우, 불소 고무, 엘라스토머, 부틸 고무, 실리콘 고무가 적합하다. 여기서, 불소 고무로는, 불화 비닐리덴계(FKM), 테트라플루오로에틸렌프로필렌계(FEPM), 테트라플루오로에틸렌 퍼플루오로비닐에테르계(FFKM)의 것을 들 수 있다. 그 중에서, 불소 고무의 일종으로, 높은 내식성, 내열성을 갖는 퍼플루오로 고무(소위 퍼플루오로 엘라스토머도 포함함)를 사용하는 것이 특히 바람직하다.
한편, 고무 부쉬를 고무 재료에 내식성 재료를 코팅한 2층 구조로 하는 경우에는, 고무 재료와의 밀착성이 필요하기 때문에, 불소 수지가 특히 바람직하다.
본 발명의 전기 광학 장치는, 일렉트로루미네선스 소자를 갖는 전기 광학 장치로서, 상기 일렉트로루미네선스 소자는 전극이 복수 설치된 기판 및 이 기판상에 상기 전극에 대응하여 복수 설치된 일렉트로루미네선스 발광층을 구비하고, 상기 일렉트로루미네선스 발광층은 일렉트로루미네선스 발광 재료를 함유하는 액상체가 제3항 내지 제5항 중 어느 한항 기재의 토출 장치로부터 상기 기판상에 토출됨으로써 형성된 것, 혹은, 컬러 필터를 갖는 전기 광학 장치로서, 상기 컬러 필터는 기판과, 이 기판상에 형성된 다른 색의 컬러 필터층을 구비하고, 상기 컬러 필터층은 소정의 색의 컬러 필터 재료를 함유하는 액상체가 제3항 내지 제5항 중 어느 한항 기재의 토출 장치로부터 상기 기판상에 토출됨으로써 형성되는 것을 특징으로 한다.
전기 광학 장치의 EL 소자나 컬러 필터는 상술한 토출 장치에 의해 생산 효율 좋게 제조되기 때문에, 전기 광학 장치의 생산성의 향상도 도모할 수 있다.
본 발명의 디바이스는 기재와, 이 기재 상에 토출된 유동성을 갖는 액상체를 갖는 디바이스로서, 상기 액상체는 제3항 내지 제5항 중 어느 한항 기재의 토출 장치로부터 상기 기판상에 토출되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 토출 장치는 유동성을 갖는 액상체를 피토출물인 기재상에 토출하여 기재를 갖는 디바이스를 제조하기에 적합하다. 디바이스의 액상체는 상기한 토출 장치에 의해 안정되게 토출되기 때문에, 디바이스의 생산성을 향상할 수 있다.
본 발명의 전자 기기는 제6항 또는 제7항 기재의 전기 광학 장치를 갖는 것을 특징으로 한다.
여기서, 전자 기기로는 상술한 전기 광학 장치를 액정 패널 등의 표시 장치로서 사용한 컴퓨터나 휴대 전화 등을 들 수 있다. 상술한 전기 광학 장치를 가짐으로써, 전기 광학 장치와 같은 작용 효과를 향수할 수 있다.
발명의 실시 형태
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 의하여 설명한다.
[제조 장치(1)의 구성]
도 1에는 컬러 필터의 제조에 사용되는 제조 장치(1)가 나타나 있다.
제조 장치(1)는 토출 장치(2)를 3개 구비하고 있다. 토출 장치(2)는 컬러 필터(4)의 기판(41)상에 컬러 필터 재료를 함유하는 액상체(도 4 참조)를 토출시키는 것으로, 3개의 토출 장치(2)는 각각 적색, 청색, 녹색의 액상체를 토출한다.
또한, 제조 장치(1)은 주주사 장치(11)와, 기판 위치 제어장치(14)를 갖고 있다. 주주사 장치(11)는 후술하는 토출 장치(2)의 액적 토출 헤드(22) 및 압력 흡수 장치(23)를 유지하는 것이다. 구동 모터(12)에 제어 회로(13)로부터 구동 신호가 공급되면 주주사 장치(11)가 구동하여, 액적 토출 헤드(22) 및 압력 흡수 장치(23)는 Y축 방향으로 이동한다. 기판 위치 제어장치(14)는 컬러 필터(4)의 기판(41)을 유지하는 것이다. 구동 모터(15)에 제어 회로(13)로부터 구동 신호가 공급되면 기판 위치 제어장치(14)가 구동하여, 기판(41)이 X축 방향으로 이동한다.
[토출 장치(2)의 구성]
도 2 및 도 3에는 토출 장치(2)가 나타나 있다.
토출 장치(2)는 액상체를 공급하는 액적 탱크(21)와, 액적 탱크(21)로부터 공급된 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(22)를 갖고 있다. 이 액적 탱크(21)와 액적 토출 헤드(22) 사이에는 압력 흡수 장치(23)가 설치되어 있다.
압력 흡수 장치(23)는 액적 탱크(21)로부터 액적 토출 헤드(22)로 공급되는 액상체의 압력 변동을 흡수하기 위한 것이다. 이 압력 흡수 장치(23)는 압력 흡수 장치 본체(231)와 필름(232)과 필터(234)를 갖는다.
압력 흡수 장치 본체(231)에는 액적 탱크(21)에 튜브(211)를 통하여 접속되는 액적 도입구(231A)와, 액적 토출 헤드(22)에 접속되는 액적 도출구(231B)가 형성되어 있다. 액적 도출구(231B)는 2개 설치되어 있고, 각 액적 도출구(231B)는 고무 부쉬(24)를 통하여 액적 토출 헤드(22)에 형성된 2개의 공급관(221A)에 각각 접속되어 있다.
고무 부쉬(24)는 도시하지 않지만 내부에 유로가 형성되어 있고, 액적 도출구(231B)나 공급관(221A)이 넣어지는 부분에는 원주 방향으로 돌기가 형성되어 있다. 고무 부쉬(24)에 액적 도출구(231B)나 공급관(221A)를 끼워 넣으면, 돌기가 찌부러져서 액적 도출구(231B)나 공급관(221A)의 주위를 실링하도록 되어 있다. 이러한 고무 부쉬(24)는 액상체에 대한 내식성을 갖는 내식성 재료로 구성되어 있다. 내식성 재료의 예로는 퍼플루오로 고무, 엘라스토머, 부틸 고무 및 실리콘 고무를 들 수 있다.
또한, 압력 흡수 장치 본체(231)에는, 액적 도입구(231A) 및 액적 도출구(231B)를 연결하는 홈 형상의 유로(231C)와, 이 유로(231C)와 연통한 압력 흡수부(231D)가 형성되어 있다.
유로(231C)는 액적 도입구(231A)로부터의 액상체를 압력 흡수부(231D)까지 안내하는 제1 유로(231C') 와, 압력 흡수부(231D)로부터의 액상체를 액적 도출구(231B)까지 안내하는 제２ 유로(도시 생략)를 구비하고 있다.
제２ 유로는 2개로 분기되어 있고, 각각이 각 액적 도출구(231B)에 연결되어 있다.
압력 흡수부(231D)와 제２ 유로의 경계선에는 필터(234)가 초음파 용착에 의해 부착되어 있다. 이 필터(234)는, 제２ 유로에 먼지나 기포를 유입시키지 않기 위하여 설치된 것이다. 필터(234)는 액상체에 대한 내식성을 갖는 수지, 예를 들어, 폴리프로필렌, 환상 올레핀 공중합체, 폴리에틸렌이나 SUS 등으로 형성되어 있다.
또한 압력 흡수 장치 본체(231)에는 그 유로(231C) 및 압력 흡수부(231D)를 덮도록 필름(232)이 열용착된다. 이 필름(232)은 액상체에 대한 내식성을 갖는 내식성 재료, 예를 들어, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리에틸렌과 나일론의 적층 필름으로 형성되어 있다.
이러한, 압력 흡수 장치(23)의 액적 도입구(231A), 액적 도출구(231B), 유로(231C) 및 압력 흡수부(231D)는 액상체에 대한 내식성 재료로 구성되어 있다. 내식성 재료의 예로는 폴리프로필렌, 환상 올레핀 공중합체, 폴리에틸렌을 들 수있다. 또한, 내식성 재료는 이러한 수지 1종류로 구성되어도 좋고, 2종 이상 혼합한 수지로 구성되어도 좋다.
액적 토출 헤드(22)는 공급관(221A)이 형성되며, 액상체가 공급되는 헤드 프레임(221)과, 이 헤드 프레임(221)에 부착되는 진동판(222)과, 이 진동판(222)에 고정되는 진동자(223)를 갖는다. 진동판(222)은 수지 필름(도시 생략) 과, 이 수지 필름에 고착된 금속제의 프레임(도시 생략) 를 갖고 있고, 이 프레임부가 헤드 프레임(221)에 고착되어 있다. 진동판(222)의 하방에는 압력 발생실(225A)이 형성된 스페이서(225)가 설치되어 있다. 또한 이 스페이서(225)의 하방에는 액상체를 제트상으로 분사하기 위한 노즐(226A)이 설치된 노즐 플레이트(226)가 설치되어 있다.
진동자(223)는 그 한면이 헤드 프레임(221)의 내면에 접착되는 제진판(227)에 부착되어 있다. 또한, 진동자(223)의 전극은 필름 기판(25)을 통하여, 회로 기판(26)에 연결되어 있다.
이러한 액적 토출 헤드(22)로부터 다음과 같이 액상체가 토출된다. 진동자(223)의 전극에 회로 기판(26)으로부터 약 30V의 전압을 가감함으로써 진동자(223)가 신축하고, 이에 수반하여 진동판(222)이 진동한다. 진동판(222)이 진동하면 진동판(222)에 형성된 압력 발생실(225A)의 용적이 변화하여 압력이 발생한다. 이 압력에 의해 액상체가 노즐(226A)로부터 토출된다.
[컬러 필터(4)의 구성 및 제조]
도 4의 (d)에는 상술한 제조 장치(1)을 사용하여 제조된 컬러 필터(4)가 나타나 있다. 컬러 필터(4)는 유리, 플라스틱 등에 의해 형성되는 사각 형상의 기판(41)과, 이 기판(41)의 표면에, 액상체를 도트 패턴상으로 도포한 컬러 필터층(42)를 구비하고 있다. 이 컬러 필터층(42)상에는 보호막(43)이 적층되어 있다.
도 4를 참조하여 컬러 필터(4)의 제조 방법에 대해서 설명한다.
미리 격벽(411)이 형성된 기판(41)(도 4의 (a))을 제조 장치(1)의 기판 위치 제어장치(14)에 유지시킨다. 격벽(411)은 투광성이 없는 수지 재료에 의해서 형성되어 있고, 예를 들어 격자 패턴상으로 배치되어 있다. 제어 회로(13)에 의해 구동 모터(12)가 구동하면, 주주사 장치(11)가 구동하여 액적 토출 헤드(22) 및 압력 흡수 장치(23)는 기판(41)상을 1 왕복한다. 이 때, 액적 토출 헤드(22)로부터 격벽(411) 사이에 액상체의 액적이 공급된다.
다음에, 구동 모터(15)에 의해 기판 위치 제어장치(14)가 구동하여 기판(41)이 소정 거리 X축 방향으로 이동한다. 재차, 구동 모터(12)에 의해 주주사 장치(11)가 구동하면, 액적 토출 헤드(22) 및 압력 흡수 장치(23)는 기판(41)상을 1 왕복한다. 이 조작이 반복됨으로써 모든 격벽(411) 사이에 액상체가 공급된다(도 4의 (b)). 또한, 도 4의 (b)에서, 부호 42R은 R(적색)의 색을 갖는 액상체를 나타내며, 부호 42G는 G(녹색)의 색을 갖는 액상체를 나타내며, 또 부호 42B는 B(청색)의 색을 갖는 액상체를 나타내고 있다.
격벽(411) 사이에 소정량의 액상체가 충전되면, 히터 (도시 생략)에 의해서 기판(41)을 가열하여, 액상체의 용매를 증발시킨다. 이 증발에 의해, 도 4의 (c)에 나타내는 바와 같이 액상체의 체적이 감소하여, 평탄화한다. 체적의 감소가 심한 경우에는, 컬러 필터(4)로서 충분한 막두께가 얻어지기까지, 액상체의 공급과 가열 증발을 반복하여 실행한다. 이상의 처리에 의해, 최종적으로 액상체의 고형분만이 잔류하여 막화하고, 이것에 의해, 컬러 필터층(42)이 완성된다.
이상에 의해, 컬러 필터층(42)을 형성한 후, 이 컬러 필터층(42)을 완전하게 건조시키기 위해서, 소정의 온도에서 소정 시간의 가열 처리를 실행한다. 그 후, 컬러 필터층(42)을 보호하는 보호막(43)을 형성한다. 보호막(43)은 제조 장치(1)를 사용하여 성막해도 좋고, 기타 방법, 예를 들어, 스핀 코트법, 롤 코트법, 디핑 등의 방법을 사용하여 성막하여도 좋다.
[액정 장치(5)의 구성]
이와 같이 하여 제조된 컬러 필터(4)는 도 5에 나타내는 바와 같은 전기 광학 장치에 있는 액정 장치(5)에 사용된다.
액정 장치(5)는, 액정 패널(51)에 반도체 칩으로서의 액정 구동용 IC(52A) 및 액정 구동용 IC (도시 생략)를 실장하고, 배선 접속 요소로서의 FPC (Flexible Printed Circuit)(53)를 액정 패널(51)에 접속한다. 액정 장치(5)는 액정 패널(51)의 이면측에 조명 장치(54)를 백 라이트로서 더 설치함으로써 형성된다.
액정 패널(51)은 제1 기판(511)과 제2 기판(512)을 실링재(513)에 의해서 접합함으로써 형성된다.
제1 기판(511)은 투명한 유리나, 투명한 플라스틱 등에 의해 형성된 판상의 기재(511A)를 갖는다. 이 기재(511A)의 내측 표면(도 5의 상측 표면)에는반사막(511B)이 형성되며, 그 위에 절연막(511C)이 적층되며, 그 위에 제1 전극(511D)이 형성되며, 또한 그 위에 배향막(511E)이 더 형성된다.
제2 기판(512)은 투명한 유리나, 투명한 플라스틱 등에 의해 형성된 판상의 기재(512A)를 갖는다. 이 기재(512A)의 내측 표면(도 5의 하측 표면)에는 컬러 필터(4)가 설치되며, 그 위에 제2 전극(512D)이 형성되며, 또한 그 위에 배향막(512E)이 더 형성된다.
이 액정 장치(5)는 도 6에 나타내는 바와 같은 퍼스널 컴퓨터(500A)나, 도 7에 나타내는 바와 같은 휴대 전화(500B) 등의 전자 기기에 조립된다.
따라서, 본 실시 형태에 의하면, 이하의 효과를 발휘할 수 있다.
(1) 압력 흡수 장치(23)의 액적 도입구(231A), 액적 도출구(231B), 유로(231C) 및 압력 흡수부(231D)는, 내식성 재료로 구성되어 있기 때문에, 액상체와 접하는 면의 부식에 의한 압력 흡수 장치(23)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 이 압력 흡수 장치(23)에 의해, 액상체의 압력 변동이 흡수되므로, 액적 토출 헤드(22)로부터 안정하게 액적을 토출시키는 것이 가능해진다. 따라서, 컬러 필터(4)의 불량품의 발생율을 저감시켜, 컬러 필터(4)의 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
(2) 압력 흡수 장치(23)에 사용되는 내식성 재료로서, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 환상 올레핀 공중합체를 사용하고 있고, 이들 수지는 컬러 필터(4)의 액상체에 대한 내식성이 특히 높기 때문에, 보다 효과적으로 압력 흡수 장치(23)의 손상을 방지할 수 있다.
(3) 또한 액적 도입구(231A), 액적 도출구(231B), 유로(231C) 및 압력 흡수부(231D)의 전체를 내식성 재료로 구성하기 때문에, 액상체와 접하는 면만 내식성 재료를 도포하는 경우에 비해, 압력 토출 장치(23)의 제조에 수고를 요구하지 않는다.
(4) 압력 흡수 장치(23)와, 액적 토출 헤드(22)를 연결하는 고무 부쉬(24)는 액상체에 대한 내식성을 갖는 내식성 재료로 구성되어 있다. 따라서, 토출 장치(2)를 보다 내식성이 높은 것으로 할 수 있다.
(5) 또한 고무 부쉬(24)의 내식성 재료는 퍼플루오로 고무, 엘라스토머, 부틸고무 및 실리콘 고무로서, 내식성뿐만 아니라, 유연성을 갖고 있다. 따라서, 액적 도출구(231B) 등을 고무 부쉬(24)에 끼워 넣으면, 형성된 돌기가 찌부러져서, 액적 도출구(231B) 등을 실링할 수 있으므로, 액상체 누설을 확실히 방지할 수 있다.
(6) 또한, 압력 흡수부(231D)와 제２ 유로의 경계선에 부착되는 필터(234)도 액상체에 대한 내식성을 갖는 수지, 예를 들어, 폴리프로필렌, 환상 올레핀 공중합체, 폴리에틸렌이나 SUS 등으로 형성했기 때문에, 압력 흡수 장치(23)의 내식성을 더 높일 수 있다.
(7) 또한, 액정 장치(5)의 컬러 필터(4)는 상술한 토출 장치(2)에 의해 생산 효율 좋게 제조되기 때문에, 액정 장치(5), 또는, 액정 장치(5)가 조립된 퍼스널 컴퓨터(500A)나 휴대 전화(500B) 등의 전자 기기의 생산성의 향상도 도모할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제2 실시 형태를 설명한다. 또, 이하의 설명에서는 이미 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
[발광 장치(7)의 구성]
도 8에 나타내는 바와 같이, 전기 광학 장치에 있는 발광 장치(7)는 복수의 주사선(701)과, 주사선(701)에 대해서 교차하는 방향으로 뻗는 복수의 신호선(702)과, 신호선(702)에 병렬로 뻗는 복수의 전원선(703)이 각각 배선된 구성으로 되어 있다.
주사선(701) 및 신호선(702)의 각 교점 부근에는 화소 영역(A)이 설치되어 있다.
신호선(702)에는 쉬프트 레지스터, 레벨 쉬프터, 비디오 라인 및 아날로그 스윗치를 구비하는 데이터측 구동 회로(704)가 접속되어 있다.
주사선(701)에는 쉬프트 레지스터 및 레벨 쉬프터를 구비하는 주사측 구동 회로(705)가 접속되어 있다.
화소 영역(A)의 각각에는, 주사선(701)을 통하여 주사 신호가 게이트 전극에 공급되는 스위칭용의 박막 트랜지스터(722)와, 이 스위칭용의 박막 트랜지스터(722)를 통하여 신호선(702)으로부터 공유되는 화소 신호를 유지하는 유지 용량(cap)과, 그 유지 용량(cap)에 의해서 유지된 화소 신호가 게이트 전극에 공급되는 구동용의 박막 트랜지스터(723)와, 이 구동용 박막 트랜지스터(723)를 통하여 전원선(703)에 전기적으로 접속했을 때에 당해 전원선(703)으로부터 구동 전류가 흐르는 유기 EL 소자(표시 소자) (70)가 설치되어 있다.
발광 장치(7)는, 주사선(701)이 구동되어 스위칭용의 박막 트랜지스터(722)가 온으로 되면, 그 때의 신호선(702)의 전위가 유지 용량(cap)에 유지되며, 유지 용량(cap) 상태에 따라서, 구동용의 박막 트랜지스터(723)의 온·오프 상태가 정해지도록 되어 있다.
발광 장치(7)는, 구동용의 박막 트랜지스터(723)의 채널을 통하여, 전원선(703)으로부터 화소 전극(711)으로 구동 전류가 흐르면, 이 전류가 기능층(710)을 통하여 음극(72)으로 흘러서, 기능층(710)이 전류치에 따라 발광하도록 되어 있다.
도 9~도 11에 나타내는 바와 같이, 발광 장치(7)에서는 기판(8)상에 표시 소자(70)가 형성되며, 그 위에 밀봉부(9)가 형성되어 있다.
기판(8)은 유리 등으로 되는 투명한 기체(6) 상에, 회로 소자부(74)가 형성된 구성으로 되어 있다.
도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 회로 소자부(74)에서는 기체(6)상에 실리콘 산화물로 되는 하지 보호막(6c)이 형성되며, 이 하지 보호막(6c)상에, 다결정 실리콘으로 되는 섬 형상의 반도체막(741)이 형성되어 있다.
회로 소자부(74)에는 이하의 구성을 갖는 박막 트랜지스터(723)가 형성되어 있다.
반도체막(741)에는 소스 영역(741a) 및 드레인 영역(741B)이 고농도 P이온 넣음에 의해 형성되어 있다. P가 도입되지 않은 부분은 채널 영역(741c)으로 되어 있다.
회로 소자부(74)에는 하지 보호막(6c) 및 반도체막(741)을 덮는 투명한 게이트 절연막(742)이 형성되며, 게이트 절연막(742)상에는 Al, Mo, Ta, Ti, W 등으로 되는 게이트 전극(743) (주사선(701))이 형성되며, 게이트 전극(743) 및 게이트 절연막(742)상에는 투명한 제1 층간 절연막(744a)과 제2 층간 절연막(744B)이 형성되어 있다.
게이트 전극(743)은 반도체막(741)의 채널 영역(741c)에 대응하는 위치에 설치되어 있다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 제1 및 제2 층간 절연막(744a, 744b)에는 반도체막(741)의 소스, 드레인 영역(741a, 741b)에 각각 접속되는 컨택트홀(745, 746)이 형성되어 있다.
제2 층간 절연막(744b)에 형성된 컨택트홀(745)은 제2 층간 절연막(744b)상에 설치된 화소 전극(711)에 접속되어 있다. 제1 층간 절연막(744a)에 형성된 컨택트홀(746)은 전원선(703)에 접속되어 있다.
도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 회로 소자부(74)내에는 주사측 구동 회로(705, 705)에 접속되는 구동 회로용 제어 신호 배선(705a)과 구동 회로용 전원 배선(705B)이 설치되어 있다.
회로 소자부(74)에는 전술의 유지 용량(cap) 및 스위칭용의 박막 트랜지스터(722)가 형성되어 있다.
표시 소자(70)은 복수의 화소 전극(711)과, 그 위에 설치된 발광 소자부(71)와, 그 위에 설치된 음극(72) (대향 전극)을 구비하고 있다.
도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 화소 전극(711)은 예를 들어 ITO로 형성되며, 평면도가 대략 구형으로 패터닝 되어 형성되어 있다. 이 화소 전극(711)의 두께는 50~200nm의 범위가 바람직하고, 특히 150nm정도가 바람직하다.
발광 소자부(71)는 화소 전극(711)상에 각각 형성된 기능층(710)과, 각기능층(710)을 구획하는 뱅크부(712)를 주체로서 구성되어 있다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 기능층(710)은 화소 전극(711)상에 적층된 정공 주입/수송층(710a)과, 정공 주입/수송층(710a)상에 인접해 형성된 발광층(710b) (EL 발광층) 으로 구성되어 있다.
정공 주입/수송층(710a)은 발광층(710b)의 발광 효율, 수명 등의 소자 특성을 높이기 위한 것으로, 정공을 발광층(710b)에 주입하는 기능을 가짐과 동시에, 정공을 정공 주입/수송층(710a) 내부에서 수송하는 기능을 갖는다.
정공 주입/수송층(710a)의 재료로는 예를 들어 폴리에틸렌 디옥시티오펜 등의 폴리티오펜 유도체와 폴리스티렌 설폰산 등의 혼합물을 사용할 수 있다.
이 정공 주입/수송층(710a)은 화소전극(711)상에 정공 주입/수송층(710a)의 재료를 함유하는 액상체를 도포함으로써 형성되어 있다. 구체적으로는 컬러 필터(4)의 제조시와 마찬가지로, 주주사 장치(11) 및 기판 위치 제어장치(14)를 구동하여 행한다.
여기서, 상기 실시 형태에서는 압력 흡수 장치(23)의 압력 흡수부(231D) 등에 사용되는 내식성 재료를 폴리프로필렌 등으로 했지만, 정공 주입/수송층(710a)을 성형할 때에는 환상 올레핀 공중합체, 폴리파라페닐렌 벤조옥사졸, 폴리옥시메틸렌, 폴리프로필렌 등을 사용한다. 또한, 필터(234)도 이들 수지 또는 SUS 등을 사용한다. 또한 고무 부쉬(24)에는 상기 실시 형태와 마찬가지로,예를 들어, 퍼플루오로 고무, 엘라스토머, 부틸 고무 및 실리콘 고무를 사용한다.
발광층(710b)은 정공 주입/수송층(710a)으로부터 주입된 정공과, 음극(72)으로부터 주입되는 전자가 재결합하여, 발광이 얻어지도록 되어 있다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 발광층(710b)은 적색 발광층(R)과, 녹색 발광층(G)과, 청색 발광층(B)으로 된다.
발광층(710b)의 재료로는 유기 발광 재료, 예를 들어 트리스(8-퀴노리놀)알루미늄 착체(Alq) 등을 사용할 수 있다.
여기에서도, 발광층(710b)은 유기 발광 재료를 함유하는 액상체를 토출 장치(2)의 액적 토출 헤드(22)로부터 토출시킴으로써 형성된다. 이 때, 압력 흡수 장치(23)의 압력 흡수부(231D) 등에 사용되는 내식성 재료는 불소 수지, 폴리옥시메틸렌, 폴리프로필렌인 것이 바람직하다. 또한, 필터(234)도 이들 수지 또는 SUS 등을 사용한다. 또한 고무 부쉬(24)에는 예를 들어, 불소 고무를 사용하는 것이 바람직하고, 그 중에서 퍼플루오로 고무(퍼플루오로 엘라스토머를 포함)를 사용하는 것이 특히 바람직하다.
뱅크부(712)는 기판(8)측에 위치하는 무기물 뱅크층(712a) (제1 뱅크층)과, 기판(8)으로부터 떨어져 위치하는 유기물 뱅크층(712b) (제2 뱅크층)이 적층되어 구성되어 있다.
무기물 뱅크층(712a)의 일부, 및 유기물 뱅크층(712b)의 일부는 화소전극(711)의 주연부상에 형성되어 있다.
즉, 무기물 뱅크층(712a)은 화소 전극(711)의 주연부에 평면적으로 겹치도록 형성되어 있다. 유기물 뱅크층(712b)도 마찬가지로, 화소 전극(711)의 주연부에 평면적으로 겹치는 위치에 형성되어 있다.
무기물 뱅크층(712a)은, 유기물 뱅크층(712b)보다도 화소 전극(711)의 중앙측에 도달하도록 형성되어 있다.
무기물 뱅크층(712a)은 예를 들어, SiO2, TiO2등의 무기 재료로 되는 것이 바람직하다. 이 무기물 뱅크층(712a)의 두께는 50~200nm의 범위가 바람직하고, 특히 150nm 정도가 바람직하다.
유기물 뱅크층(712b)은 내열성, 내용매성이 있는 재료, 예를 들어 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등으로 형성되어 있다. 이 유기물 뱅크층(712b)의 두께는 0.1~3.5㎛의 범위가 바람직하고, 특히 2㎛정도가 바람직하다.
도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 음극(72)은 구형 형상으로 되며, 발광 소자부(71)의 전체면을 덮도록 형성되어 있다.
음극(72)은 예를 들어, 칼슘 등으로 되는 제1 층(72a)과, 알루미늄 등으로 되는 제2 층(72B)이 적층된 구성으로 할 수 있다.
제2 층(72b)은 발광층(710b)로부터 발한 광을 기체(6)측에 반사시키는 것으로, Al, Ag를 사용할 수 있다. 제2 층(72b)은 Al층과 Ag층으로 되는 적층막으로 하여도 좋다.
제2 층(72b)상에는 SiO, SiO2, SiN 등으로 되는 산화 방지용의 보호층을 설치하여도 좋다.
음극(72)은 메카니컬 마스크 등을 사용하여 증착법, 스퍼터법, CVD 법 등으로 형성할 수 있다.
도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 기판(8)은 대략 구형 형상으로 형성되며, 내측(기판 중앙측)에 위치하는 구형 형상의 표시 영역(6a)과, 표시 영역(6a)의 외측(기판 주연측)에 위치하는 비표시 영역(6b)으로 구획되어 있다.
또한, 부호 6d는 비표시 영역(6b)에서, 표시 영역(6a)에 인접하는 위치에 형성된 더미 표시 영역이다.
이하의 설명에서, 상방 및 하방은 도 9에서의 상방 및 하방을 가리키며, 우방 및 좌방은 9에서의 우방 및 좌방을 가리킨다.
기판(8)의 하변(8d)에는 플렉시블 기판(80)이 부착되며, 플렉시블 기판(80)상에는 구동 IC(81)가 설치되어 있다.
표시 영역(6a)은 매트릭스상으로 배치된 발광 소자부(71)가 형성되는 영역이고, 유효 표시 영역이라고도 한다.
비표시 영역(6b)에서, 표시 영역(6a)의 우방 및 좌방에 상당하는 위치의 회로 소자부(74)에는 주사측 구동 회로(705)(주사측 구동 회로(705R, 705L))가 설치되어 있다.
우측의 주사측 구동 회로(705R)의 우방, 및 좌측의 주사측 구동 회로(705L)의 좌방에 상당하는 위치의 회로 소자부(74)내에는 주사측 구동 회로(705R, 705L)에 접속되는 구동 회로용 제어 신호 배선(705a) 및 구동 회로용 전원 배선(705B)이 설치되어 있다.
표시 영역(6a)의 상방에는 검사 회로(706)가 설치되dj, 제조 도중이나 출하시의 발광 장치의 품질, 결함의 검사를 행할 수 있도록 되어 있다.
검사 회로(706)의 상방, 및 우측의 구동 회로용 제어 신호 배선(705a)의 우방에 상당하는 위치의 회로 소자부(74)에는 녹색으로 발광하는 발광층(710b)에 접속되는 전원선(703) (제1 전원선(703G))이 형성되어 있다.
제1 전원선(703G)은 검사 회로(706)의 상방에서 좌우로 뻗는 제1 부분(703G1)와, 구동 회로용 제어 신호 배선(705a)의 우방에서 상하로 뻗는 제2 부분(703G2)로 되는 L자상으로 형성되어 있다.
전원선(703G)의 제1 부분(703G1)의 상방, 및 제2 부분(703G2)의 우방에 상당하는 위치의 회로 소자부(74)에는 청색으로 발광하는 발광층(710b)에 접속되는 전원선(703) (제2 전원선(703B))이 형성되어 있다.
제2 전원선(703B)은 제1 부분(703G1)이 상방에서 좌우로 뻗는 제1 부분(703B1)과, 제2 부분(703G2)의 좌우에서 상하로 뻗는 제2 부분(703B2)으로 되는 L자상으로 형성되어 있다.
전원선(703B)의 제1 부분(703B1)의 상방, 및 좌측의 구동 회로용 제어 신호 배선(705a)의 좌방에 상당하는 위치의 회로 소자부(14)에는 적색으로 발광하는 발광층(710b)에 접속되는 전원선(703)(제3 전원선(703R))이 형성되어 있다.
제3 전원선(703R)은 제1 부분(703B1)의 상방에서 좌우로 뻗는 제1 부분(703R1)과, 구동 회로용 제어 신호 배선(705a)의 좌방에서 상하로 뻗는 제2 부분(703R2)으로 되는 L자상으로 형성되어 있다.
전원선(703)의 외측(기판 주연측)에는 음극(72)에 접속된 음극용 배선(73)(대향 전극용 배선)이 형성되어 있다.
음극용 배선(73)은, 제3 전원선(703R)의 제1 부분(703R1)의 상방에 형성된 제1 부분(73a)과, 전원선(703R)의 제2 부분(703R2)의 좌방에 형성된 제2 부분(73b)과, 제2 전원선(703B)의 제2 부분(703B2)의 우방에 형성된 제3 부분(73c)으로 되는 コ 형상으로 형성되어 있다.
이 발광 장치(7)에서, 제1 부분(73a)은 구형 형상의 기판(8)의 상부에, 상변(8a)을 따라 좌우 방향으로 연재하도록 형성되어 있다. 제1 부분(73a)의 일단부 및 타단부는 각각 외관(8a)의 일단부 근방 및 타단부 근방에 도달하고 있다.
제2 부분(73b)은 구형 형상의 기판(8)의 좌부에, 좌변(8b)을 따라 상하 방향으로 연재하도록 형성되어 있다. 제2 부분(73b)의 일단부 및 타단부는 각각 좌변(8b)의 일단부 근방 및 타단부 근방에 도달하고 있다.
제3 부분(73c)은 구형 형상의 기판(8)의 우부에, 우변(8c)을 따라 상하 방향으로 연재하도록 형성되어 있다. 제3 부분(73c)의 일단부 및 타단부는 각각 우변(8c)의 일단부 근방 및 타단부 근방에 도달하고 있다.
음극용 배선(73)은 음극(72)의 주연(72c)보다도 내측(기판 중앙측)에 설치하는 것이 바람직하다.
즉, 음극용 배선(73)는 주연(73e)(제1 부분(73a)의 상연(上緣), 제2 부분(73b)의 좌연(左緣), 및 제3 부분(73c)의 우연(右緣))이 음극(72)의 주연(72c)보다도 기판 중앙측에 위치하도록 형성하는 것이 바람직하다.
음극용 배선(73)의 주연(73e)과, 음극(72)의 주연(72c)의 거리는 1mm이상(바람직하게는 2mm 이상)으로 하는 것이 적합하다.
이 거리가 이 범위를 하회하면, 음극(72)의 형성 위치에 편차가 생겼을 때에, 음극(72)과 음극용 배선(73)의 접촉 면적이 작아져서, 이들 사이의 전기 저항이 커질 우려가 있다.
음극용 배선(73)의 폭은 전원선(703)의 폭(제1~제3 전원선(703G, 703B, 703R)의 폭의 합계)이상으로 설정하는 것이 바람직하다.
음극용 배선(73)의 폭이 이 범위를 하회하면, 기능층(710)을 흐르는 전류가 저하하기 쉬워지기 때문에 바람직하지 않다.
음극용 배선(73)의 하단부(73d,73d) (제2 및 제3 부분(73b,73c)의 하단부)는 접속 배선(80a)를 통하여, 플렉시블 기판(80)상의 구동 IC(81)(구동 회로)에 접속되어 있다.
음극용 배선(73)은 복수의 배선층이 적층된 구성으로 할 수 있다.
이들 배선층의 재료로는 Al, Mo, Ta, Ti, W, Cu, TiN, 및 이들의 합금을 들 수 있다.
음극용 배선(73)은 주사선(701)을 형성하는 재료와 신호선(702)을 형성하는 재료중 적어도 하나에 의해 형성할 수도 있다.
이 재료로는 예를 들어 Al, Mo, Ta, Ti, W, Cu, TiN, 및 이들의 합금을 들 수 있다.
표시 영역(6a), 주사측 구동 회로(705), 구동 회로용 제어 신호 배선(705a), 구동 회로용 전원 배선(705b), 검사 회로(706), 전원선(703), 음극용 배선(73)은 음극(72)의 주연(72c)보다도 내측(기판 중앙측)에 형성되어 있다.
즉, 표시 영역(6a), 주사측 구동 회로(705), 구동 회로용 제어 신호 배선(705a), 구동 회로용 전원 배선(705b), 검사 회로(706), 전원선(703), 음극용 배선(73)은 음극(72)으로 덮여지도록 형성되어 있다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 밀봉부(9)는 외기중의 물이나 산소 등에 의해 음극(72) 및 발광 소자부(71)가 산화하는 것을 방지하는 것으로, 캔밀봉 기판(94)과, 캔밀봉 기판(94)을 기판(8)에 접합하는 밀봉 수지(93)로 구성되어 있다.
캔밀봉 기판(94)은 유리, 금속, 합성 수지 등으로 되는 것으로, 하면측에는 표시 소자(70)을 수납하는 오목부(94a)가 설치되어 있다.
오목부(94a)에는 물, 산소 등을 흡수하는 겟터제층(95)을 형성하는 것이 바람직하다.
캔밀봉 기판(94)은 그 주연부에서 밀봉 수지(93)를 통하여 기판(8)에 접합되어 있다.
밀봉 수지(93)는 열경화 수지, 자외선 경화 수지 등으로 되며, 특히, 열경화 수지의 1 종인 에폭시 수지로 되는 것이 바람직하다.
밀봉부(9)는 음극(72)를 덮도록 형성하는 것이 바람직하다.
즉, 밀봉 수지(93)의 주연(93a)이 음극(72)의 주연(72c)보다도 외측(기판 주연측)에 위치하도록 형성하는 바람직하다.
이 발광 장치(7)에서는, 구동용의 박막 트랜지스터(723)의 채널을 통하여, 전원선(703)으로부터 화소 전극(711)으로 구동 전류가 흐르면, 이 전류가 기능층(710), 음극(72)을 거쳐 음극용 배선(73)으로 흘러, 기능층(710)이 전류값에 따라 발광한다.
기능층(710)으로부터 기체(6)측으로 발한 광은 회로 소자부(74) 및 기체(6)를 투과하여 관측자측으로 출사된다.
기능층(710)으로부터 음극(72)측으로 발한 광은 음극(72)에 의해 반사되어, 회로 소자부(74) 및 기체(6)를 투과하여 관측자측으로 출사된다.
또한, 음극(72)으로서, 투명한 재료를 사용함으로써, 광을 음극측으로부터 출사시킬 수 있다. 투명한 재료로는 ITO, Pt, Ir, Ni, Pd를 사용할 수 있다.
또한, 본 발명은 전술의 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위에서 변형, 개량 등은 본 발명에 포함되는 것이다.
예를 들어, 상기 각 실시 형태에서는, 제조 장치(1)를 컬러 필터(4)나 표시 소자(70)의 제조에 사용하고 있지만, 용도는 이들의 제조에 한정되지 않고, 예를 들어, 프린트 회로 기판의 전기 배선을 형성하기 위해서, 액상 금속이나 도전성 재료, 금속 함유 도료 등을 토출하여 금속 배선 등을 하는 구성, 기재상에 형성되는 미세한 마이크로 렌즈를 토출하여 광학 부재를 형성하는 구성, 기판상에 도포하는 레지스트를 필요한 부분만에 도포하도록 토출하는 구성, 플라스틱 등의 투광성 기판 등에 광을 산란시키는 볼록부나 미소 백패턴 등을 토출 형성하여 광산란판을 형성하는 구성, 액정 패널에 사용되는 액정 재료를 기재상에 도포하는 구성, 액정 패널의 배향막을 토출에 의해 형성하는 구성, 시약 검사 장치 등과 같이 DNA(deoxyribonucleic acid) 칩상에 매트릭스 배열하는 스파이크 스폿에 RNA(ribonucleic acid)를 토출시켜 형광 표지 프로브를 제작하여 DNA 칩상에서 하이브리더제이션 시키는 등, 기재에 구획된 도트상의 위치에, 시료나 항체, DNA(deoxyribonucleic acid) 등을 토출시켜 바이오 칩을 형성하는 구성 등에도 이용할 수 있다.
상기 각 실시 형태에서는, 전기 광학 장치는 퍼스널 컴퓨터(500A)나 휴대 전화(500B)에 조립되는 것으로 하였지만, 예를 들어, 전자 수첩, 페이져, POS(Point Of Sales) 단말, IC 카드, 미니 디스크 플레이어, 액정 프로젝터, 엔지니어링 워크스테이션(Engineering Work Station; EWS), 워드 프로세서, 텔레비젼, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오테이프 레코더, 전자 탁상 계산기, 카 내비게이션 장치, 터치 패널을 구비한 장치, 시계, 게임기기 등의 각종의 전자 기기에 조립되어도 좋다.
또한 상기 각 실시 형태에서는, 도 2에 나타낸 바와 같은 전기적인 신호에 의하여, 액적을 토출하는 토출 장치(2)에 압력 흡수 장치(23)를 조립하였지만, 이것에 한정되지 않고, 공기압에 의해 액적을 토출하는 방식의 토출 장치에 압력 흡수 장치(23)를 조립하여도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에서는 압력 흡수부(231D)등 전체가 내식성 재료에 의해 구성되어 있는 것으로 했지만, 본 발명에서는 적어도, 액상체에 접하는 면이 내식성 재료로 구성되어 있으면 좋다. 따라서, 압력 흡수부(231D) 등을 내식성을 갖지 않는 수지로 형성하고, 액상체가 접하는 면에만 상술한 내식성 재료를 코팅해도 좋다. 이렇게 하면, 내식성 재료의 사용량이 소량으로 되기 때문에, 제조 비용의 저감을 도모할 수 있다.
또한 상기 실시 형태에서는 내식성 재료로서, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 불소 수지, 폴리옥시메틸렌, 환상 올레핀 공중합체 및 폴리파라페닐렌 벤조옥사졸 등을 들었지만, 이들에 한정되지 않는다. 즉, 내식성 재료는 액상체에 대한 내식성을 갖는 것이면 좋고, 예를 들어, 표 1에 나타내는 바와 같이 액상체에 따라 적당히 선택하면 좋다(표 1에 있어서 Ｏ는 특히 적합함, △은 적합함, ×은 적합하지 않음을 나타내고 있다.).
표 1
오버코트 액정 배향막 레지스트
COC Ｏ Ｏ Ｏ ×
PBO × Ｏ Ｏ Ｏ
POM Ｏ Ｏ Ｏ Ｏ
PE × △~× Ｏ~△ Ｏ~△
PP Ｏ Ｏ Ｏ Ｏ
또한, 토출 장치(2)에 설치된 고무 부쉬(24)는 고무 부쉬(24) 자체가 불소 고무, 엘라스토머, 부틸 고무, 실리콘 고무로 구성되어 있지만, 고무 부쉬는 실리콘 고무 등의 유연성을 갖는 고무 재료에 내식성 재료를 코팅한 2층 구조라도 좋다. 2층 구조로 하는 경우에는 고무 재료와의 밀착성이 필요하기 때문에, 내식성 재료로서 불소 수지를 코팅하는 것이 바람직하다.
또한, 내식성 재료로는 이들에 한정되지 않고, 예를 들어 표 2에 나타내는 바와 같이 액상체에 따라 적당히 선택하면 좋다(표 2에 있어서 Ｏ는 특히 적합함, △은 적합함, ×은 적합하지 않음을 나타내고 있다.).
표 2
오버코트 액정 배향막 레지스트
불소고무(퍼플루오로 고무를 제외함) × × × ×
퍼플루오로 고무 Ｏ Ｏ Ｏ Ｏ
실리콘 고무 △ Ｏ Ｏ Ｏ
부틸 고무 △~× △ Ｏ ×
엘라스토머 Ｏ × × ×
또한 고무 부쉬(24)의 액상체와 접하는 면을 내식성 재료로 구성하지 않아도 좋다. 본 발명에서는 압력 흡수 장치(23)의 액적 도입구(231A), 액적 도출구(231B), 유로(231C) 및 압력 흡수부(231D)의 액상체와 접하는 면이 내식성 재료로 구성되어 있으면 좋기 때문이다.
이러한 본 발명에 의하면, 액상체의 특성을 불문하고, 안정하게 액적 토출 헤드로부터 액적을 토출시킬 수 있는 압력 흡수 장치, 이 압력 흡수 장치를 갖는 토출 장치, 이 토출 장치에 의해 제조되는 컬러 필터나 EL 소자를 갖는 전기 광학 장치, 기재를 갖는 디바이스 및 이 전기 광학 장치를 갖는 전자 기기를 제공할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 유동성을 가진 액상체를 피토출물상에 토출하는 액적 토출 헤드와 이 액적 토출 헤드에 액상체를 공급하는 액적 탱크 사이에 배치되며, 상기 액적 탱크로부터 상기 액적 토출 헤드에 공급되는 액상체의 압력 변동을 흡수하는 압력 흡수 장치로서,
    상기 액적 탱크에 접속되는 액적 도입구와, 상기 액적 토출 헤드에 접속되는 액적 도출구와, 이들을 연결하는 유로와, 이 유로에 연통한 압력 흡수부를 구비하며,
    상기 액적 도입구, 액적 도출구, 유로 및 압력 흡수부는 적어도 상기 액상체와 접하는 면이 상기 액상체에 대한 내식성을 갖는 재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 압력 흡수 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내식성 재료는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 불소 수지, 폴리옥시메틸렌, 환상 올레핀 공중합체 및 폴리파라페닐렌벤조옥사졸 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압력 흡수 장치.
  3. 유동성을 가진 액상체를 공급하는 액적 탱크와, 상기 액적 탱크로부터 공급된 액상체를 피토출물상에 토출하는 액적 토출 헤드를 가진 토출 장치로서,
    상기 액적 탱크와 상기 액적 토출 헤드 사이에는 제1항 또는 제2항 기재의 압력 흡수 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 토출 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 압력 흡수 장치의 액적 도출구와 상기 액적 토출 헤드는 고무 부쉬를 통하여 연결되며,
    적어도 상기 고무 부쉬의 액상체와 접하는 면은 상기 액상체에 대한 내식성을 갖는 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 토출 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 내식성 재료는 불소 고무, 불소 수지, 엘라스토머, 부틸 고무 및 실리콘 고무 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 토출 장치.
  6. 일렉트로루미네선스 소자를 갖는 전기 광학 장치로서,
    상기 일렉트로루미네선스 소자는 전극이 복수 설치된 기판 및 이 기판상에 상기 전극에 대응하여 복수 설치된 일렉트로루미네선스 발광층을 구비하며,
    상기 일렉트로루미네선스 발광층은 일렉트로루미네선스 발광 재료를 함유하는 액상체가 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항 기재의 토출 장치로부터 상기 기판상에 토출함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  7. 컬러 필터를 갖는 전기 광학 장치로서,
    상기 컬러 필터는 기판과, 이 기판상에 형성된 다른 색의 컬러 필터층을 구비하며,
    상기 컬러 필터층은 소정의 색의 컬러 필터 재료를 함유하는 액상체가 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항 기재의 토출 장치로부터 상기 기판상에 토출함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  8. 기재와, 이 기재상에 토출된 유동성을 갖는 액상체를 갖는 디바이스로서,
    상기 액상체는 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항 기재의 토출 장치로부터 상기 기재상에 토출되는 것을 특징으로 하는 디바이스.
  9. 제6항 또는 제7항 기재의 전기 광학 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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