KR100747914B1

KR100747914B1 - 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기

Info

Publication number: KR100747914B1
Application number: KR1020050109995A
Authority: KR
Inventors: 도모노리 나카무라
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2004-11-19
Filing date: 2005-11-17
Publication date: 2007-08-08
Also published as: TWI324563B; CN1775532A; KR20060056250A; CN100391743C; US20090073243A1; KR100801781B1; KR20070053186A; TW200824921A; JP4258462B2; US8033655B2; JP2006142215A; US20060108004A1; TW200630234A; TWI313225B; TWI324564B; TW200824920A; US7458663B2

Abstract

본 발명은, 내장되는 밸브체 부세 스프링 또는 부압 유지 스프링을 간단히 교환할 수 있는 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치, 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 하고 있다. 다이어프램(175)이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 기능액을 기능액 탱크(91)로부터 기능 액적 토출 헤드(41)에 공급하는 압력 조정 밸브(161)에 있어서, 제 1 챔버(172)와 제 2 챔버(173)를 연결하는 연결 유로(174)를 개폐하는 밸브체(176)에 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링(267)은 덮개(190)의 하우징 본체(192)로부터의 이탈에 따라 함께 이탈 가능하도록 구성되어 있다.

Description

압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기{PRESSURE-REGULATING VALVE, FUNCTIONAL LIQUID SUPPLYING APPARATUS, IMAGING APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING ELECTO-OPTIC DEVICE, ELECTRO-OPTIC DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 묘화 장치의 평면 모식도,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 묘화 장치의 정면 모식도,

도 3은 지지 프레임 근방의 평면 모식도,

도 4는 기능 액적 토출 헤드의 외관 사시도,

도 5는 기능 액적 토출 헤드, 압력 조정 밸브 및 기능액 탱크의 높이 관계를 나타낸 도면,

도 6은 압력 조정 밸브를 배면에서 본 외관 사시도,

도 7은 압력 조정 밸브의 설명도이며, 도 7의 (a)는 압력 조정 밸브의 배면도, 도 7의 (b)는 압력 조정 밸브의 정면도,

도 8은 압력 조정 밸브의 설명도이며, 도 8의 (a)는 압력 조정 밸브의 종단면도, 도 8의 (b)는 압력 조정 밸브의 유입 포트로부터 밸브체를 통해 유출 포트에 이르는 종단면 모식도,

도 9는 압력 조정 밸브의 동작을 설명하기 위한 설명도,

도 10은 본 발명의 실시예 1을 나타내는, 덮개 근방의 부분도,

도 11은 실시예 1의 변형예를 나타내는, 덮개 근방의 부분도,

도 12는 실시예 2의 압력 조정 밸브를 도시하는 도면,

도 13은 실시예 3의 압력 조정 밸브를 배면에서 본 외관 사시도,

도 14는 실시예 3의 압력 조정 밸브의 설명도이며, 도 13 (a)는 압력 조정 밸브의 배면도, 도 13의 (b)는 압력 조정 밸브의 정면도,

도 15는 실시예 3의 압력 조정 밸브의 설명도이며, 도 15의 (a)는 압력 조정 밸브의 종단면도, 도 15의 (b)는 제 1 챔버 근방을 확대한 종단면도,

도 16은 묘화 장치의 주 제어계에 대하여 설명한 블럭도,

도 17은 컬러 필터 제조 공정을 설명하는 흐름도,

도 18의 (a)~(e)는, 제조 공정 순으로 나타내는 컬러 필터의 모식 단면도,

도 19는 본 발명을 적용한 컬러 필터를 이용한 액정 장치의 개략 구성을 나타내는 주요부 단면도,

도 20은 본 발명을 적용한 컬러 필터를 이용한 제 2 예의 액정 장치의 개략 구성을 나타내는 주요부 단면도,

도 21은 본 발명을 적용한 컬러 필터를 이용한 제 3 예의 액정 장치의 개략 구성을 나타내는 주요부 단면도,

도 22는 유기 EL 장치인 표시 장치의 주요부 단면도,

도 23은 유기 EL 장치인 표시 장치의 제조 공정을 설명하는 흐름도,

도 24는 무기물 뱅크층의 형성을 설명하는 공정도,

도 25는 유기물 뱅크층의 형성을 설명하는 공정도,

도 26은 정공 주입/수송층을 형성하는 과정을 설명하는 공정도,

도 27은 정공 주입/수송층이 형성된 상태를 설명하는 공정도,

도 28은 청색의 발광층을 형성하는 과정을 설명하는 공정도,

도 29는 청색의 발광층이 형성된 상태를 설명하는 공정도,

도 30은 각 색의 발광층이 형성된 상태를 설명하는 공정도,

도 31은 음극의 형성을 설명하는 공정도,

도 32는 플라즈마형 표시 장치(PDP 장치)인 표시 장치의 주요부 분해 사시도,

도 33은 전자 방출 장치(FED 장치)인 표시 장치의 주요부 단면도,

도 34는 표시 장치의 전자 방출부 근방의 평면도(a) 및 그 형성 방법을 나타내는 평면도(b)이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 묘화 장치 3 : 액적 토출 장치

4 : 기능액 공급 장치 41 : 기능 액적 토출 헤드

72 : 기능액 공급 튜브 91 : 기능액 탱크

161 : 압력 조정 밸브 171 : 밸브 하우징

172 : 제 1 챔버 173 : 제 2 챔버

174 : 연결 유로 175 : 다이어프램

176 : 밸브체 190 : 덮개

192 : 하우징 본체 261 : 밸브체 본체

263 : 밸브 밀봉부 267 : 밸브체 부세 스프링

268 : 부압 유지 스프링 278 : 다이어프램 홀더

287 : 선단 걸어 맞춤부 290 : 기단 걸어 맞춤부

294 : 제 1 챔버 하우징 295 : 제 2 챔버 하우징

W : 워크피스

본 발명은 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기에 관한 것이다.

묘화 장치의 일종인 잉크젯 프린터를 공업용으로 응용한 묘화 장치에서는, 기능액(잉크)을 충전한 기능액 탱크와 기능 액적 토출 헤드(잉크젯 헤드) 사이에, 기능액 탱크의 기능 액적 토출 헤드에 대한 설치 위치의 자유도를 갖게 하기 위해, 압력 조정 밸브(액체 공급용 밸브 유닛)를 부설하고 있다. 그 압력 조정 밸브는 하우징(유닛 케이스)과, 하우징과 이것에 열 용착된 제 1 필름 부재로 형성되어 기능액 탱크로 연결되는 제 1 챔버(잉크 공급실)와, 하우징과 이것에 열 용착된 제 2 필름 부재(다이어프램)로 형성되어 기능 액적 토출 헤드로 연결되는 제 2 챔버(압력실)와, 제 1 챔버와 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로(잉크 유로)와, 연결 유로를 개폐하는 밸브체(가동 밸브)에 의해 구성되어 있다.

제 1 필름 부재에는 스프링 수취 부재가 내측으로부터 부설되고, 스프링 수취 부재와 밸브체 사이에는 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 밸브체 부세 스프링이 배치되어 있다. 또한, 다이어프램과 하우징 사이에는 다이어프램을 내측으로부터 대기에 저항하여 가압하는 부압(負壓) 유지 스프링이 배치되어 있다.

액적 토출 헤드로부터의 잉크 토출을 받아 제 2 챔버 내부가 대기압에 대하여 부압으로 되면, 다이어프램이 부압 유지 스프링 및 밸브체 부세 스프링에 저항하도록 하여 밸브체를 개방시킨다. 그 결과, 제 1 챔버의 기능액이 연결 유로를 통해 제 2 챔버로 유입된다. 이 유입이 진행되어 제 2 챔버의 부압 상태가 해소되면, 밸브체 부세 스프링은 밸브체를 제 2 챔버 쪽으로 후퇴시키고, 부압 유지 스프링은 다이어프램을 대기압과 평형 상태가 될 때까지 후퇴시킨다. 이에 따라, 밸브체가 밸브 폐쇄된다. 이와 같이, 부압 유지 스프링 및 밸브체 부세 스프링이 제 1 챔버 내 및 제 2 챔버 내의 압력 변화에 따라 신축함으로써, 기능액 탱크의 기능액을 액적 토출 헤드에 일정한 압력으로 공급하는 것이 가능하게 된다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 2004-142405호 공보(제 47 페이지, 도 25, 도 26)

그런데, 상기 압력 조정 밸브에 비중이 서로 다른 기능액을 사용할 때에, 제 1 챔버 및 제 2 챔버의 압력이 변화되기 때문에, 그때까지 사용하고 있었던 밸브체 부세 스프링 및 부압 유지 스프링을, 사용하는 기능액의 비중에 따른 반발력을 가진 것으로 교환할 필요가 있다. 예를 들어, 비중이 큰 기능액을 사용하는 경우에는, 상기 액적 토출 헤드와 상기 밸브체의 수두차(水頭差)로부터 발생하는 압력이 커져 상기 밸브체의 밀봉성을 높이기 위해 상기 밸브체 부세 스프링의 반발력을 강하게 할 필요가 있다. 또한, 반대로 비중이 가벼운 기능액을 사용하는 경우에는 스프링의 반발력을 작게 할 필요가 있다. 또한, 기능액에 따라서는 상기 밸브체 부세 스프링이나 상기 부압 유지 스프링이 부식되는 경우가 있어 이를 교환할 필요가 있다.

그러나, 종래의 압력 조정 밸브에서는 상기 밸브체 부세 스프링이 수용되어 있는 제 1 챔버가 제 1 필름 부재로 밀봉되고, 또한 부압 유지 스프링이 수용되어 있는 제 2 챔버가 제 2 필름 부재로 밀봉되어 있기 때문에, 스프링을 단체(單體)로서 교환할 수가 없어 압력 조정 밸브 전체를 교환하는 것이 필요로 된다. 혹은, 기능액 탱크나 밸브체의 높이 위치를 변경할 필요가 있다. 그러나, 이러한 교환 작업이나 조정 작업은 작업이 번잡하게 되는 문제가 있다.

그래서, 본 발명은, 내장되는 밸브체 부세 스프링 또는 부압 유지 스프링을 간단히 교환할 수 있는 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

본 발명의 압력 조정 밸브는, 기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 기능 액적 토출 헤드에 공급하는 동시에, 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하는 동시에 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 제 1 챔버와 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는, 압력 조정 밸브에 있어서, 제 1 챔버 및 제 2 챔버를 형성한 밸브 하우징과, 연결 유로를 개폐하는 밸브체와, 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 밸브체 부세 스프링을 구비하며, 밸브 하우징은 하우징 본체와, 스프링 수취부를 갖고, 또한하우징 본체에 착탈이 자유롭게 장착된 덮개로 구성되고, 밸브체 부세 스프링은, 덮개의 이탈에 따라 함께 상기 하우징 본체에 대하여 이탈 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 기능액의 비중이 변경되었을 때에는 하우징 본체로부터 덮개를 분리시킴으로써 제 1 챔버를 개방하여, 밸브체 부세 스프링을 그 비중에 대응한 반발력을 갖는 것으로 교환할 수 있다. 또한, 부식성 등의 비중 이외의 특성에 관해서도 동일한 교환 작업으로 대응할 수 있다. 즉, 교환용 부품으로서, 기능액의 소재 특성에 관계없이 공통으로 사용할 수 있는 공통 부품과 소재 특성 특유의 대응 부품을 조립 이전의 상태로 준비해 두면 된다. 따라서, 압력 조정 밸브 전체를 교환하는 것, 혹은 기능액 탱크나 압력 조정 밸브의 높이 위치를 변경하는 것 등을 필요로 하지 않는다.

이 경우, 밸브체 부세 스프링과 덮개가 연결되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 기능액의 비중 변경에 대하여 상기 덮개와 함께 밸브체 부세 스프링을 착탈하는 것이 가능해져, 교환 작업을 간단하고도 단시간에 완결할 수 있다.

이 경우, 밸브체는, 밸브체 부세 스프링의 이탈에 수반하여 하우징 본체에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 기능액의 소재 변경에 따라 밸브체의 소재 또는 특성을 변경할 때에, 또는 밸브체가 열화되었을 때에, 밸브체 부세 스프링을 분리한 후에 밸브체도 교환할 수 있다.

이 경우, 밸브체 부세 스프링과 밸브체가 연결되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 밸브체 부세 스프링과 함께 밸브체를 착탈하는 것이 가능하게 되어 교환 작업을 단시간에 완결할 수 있다.

이 경우, 밸브체는 밸브체 본체와, 밸브체 본체에 착탈이 자유롭게 장착된 밸브 밀봉부으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 밸브 밀봉부이 열화했을 때에도 밸브 밀봉부만을 교환할 수 있다.

이 경우, 밸브체 부세 스프링은 코일 스프링으로 구성되고, 밸브체에는, 밸브체 부세 스프링의 밸브체측 선단부가 위치 결정 상태로 걸어 맞춤되는 선단 걸어 맞춤부가 마련되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 교환용의 밸브체 부세 스프링을 하우징에 내장되어 있는 밸브체에 부설할 때에, 그들 양자간의 상대 위치 정밀도가 용이하게 확보되는 동시에 그 부설 작업을 단시간에 완결할 수 있다.

이 경우, 덮개에는, 밸브체 부세 스프링의 덮개쪽 기단부가 위치 결정 상태로 걸어 맞춤되는 기단 걸어 맞춤부가 마련되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 교환용의 밸브체 부세 스프링을 밸브체에 부설한 후에 덮개를 그 밸브체 부세 스프링에 부설할 때에, 그들 덮개와 밸브체 부세 스프링의 상대 위치 정밀도가 용이하게 확보되는 동시에 그 부설 작업을 단시간에 완결할 수 있다.

본 발명의 다른 압력 조정 밸브는 기능액을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 기능 액적 토출 헤드에 공급하는 동시에, 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하는 동시에 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 제 1 챔버와 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서, 제 1 챔버 및 제 2 챔버를 형성한 밸브 하우징과, 연결 유로를 개폐하는 밸브체와, 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 밸브체 부세 스프링을 구비하며, 밸브 하우징은, 제 2 챔버 및 연결 유로를 형성한 제 2 챔버 하우징과, 스프링 수취부를 갖고, 또한제 2 챔버 하우징에 착탈이 자유롭게 장착된 제 1 챔버 하우징으로 구성되며, 밸브체 부세 스프링 은, 제 1 챔버 하우징의 이탈에 수반하여 제 2 챔버 하우징에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 기능 액적의 비중이 변경되었을 때에는 압력 조정 밸브의 제 1 챔버 하우징을 제 2 챔버 하우징으로부터 분리함으로써 제 1 챔버를 개방하여, 밸브체 부세 스프링을 그 비중에 대응한 반발력을 갖는 것으로 교환할 수 있다. 또한, 부식성 등의 비중 이외의 특성에 관해서도 동일한 교환 작업으로 대응할 수 있다. 즉, 교환용 부품으로서, 기능액의 소재 특성에 관계없이 공통으로 사용할 수 있는 공통 부품과 소재 특성 특유의 대응 부품을 조립 이전의 상태로 준비해 두면 된다. 따라서, 압력 조정 밸브 전체를 교환하는 것, 또는 기능액 탱크나 압력 조정 밸브의 높이 위치를 변경하는 것 등을 필요로 하지 않는다.

본 발명의 다른 압력 조정 밸브는 기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 기능 액적 토출 헤드에 공급하는 동시에, 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하는 동시에 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 제 1 챔버와 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서, 제 1 챔버 및 제 2 챔버를 형성하는 밸브 하우징과, 연결 유로를 개폐하는 밸브체와, 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 밸브체 부세 스프링과, 다이어프램을 대기압에 저항하는 방향으로 가압하는 부압 유지 스프링을 구비하며, 다이어프램은, 밸브 하우징에 착탈이 자유롭게 장착되고, 부압 유지 스프링은, 다이어프램의 이탈에 수반하여 밸브 하우징에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 기능액의 비중이 변경되었을 때에는 밸브 하우징으로부터 다이어프램을 분리시킴으로써 제 2 챔버를 개방하여, 부압 유지 스프링을 그 비중에 대응한 반발력을 갖는 것으로 교환할 수 있다. 또한, 부식성 등의 비중 이외의 특성에 관해서도 동일한 교환 작업으로 대응할 수 있다. 즉, 교환용 부품으로서, 기능액의 소재 특성에 관계없이 공통으로 사용할 수 있는 공통 부품과 소재 특성 특유의 대응 부품을 조립 이전의 상태로 준비해 두면 된다. 따라서, 압력 조정 밸브 전체를 교환하는 것, 혹은 기능액 탱크나 압력 조정 밸브의 높이 위치를 변경하는 것 등을 필요로 하지 않는다.

이 경우, 다이어프램을 걸친 상태로 유지하는 다이어프램 홀더를, 더 구비하고, 다이어프램은, 다이어프램 홀더를 통해 밸브 하우징에 착탈이 자유롭게 장착되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 다이어프램을 다이어프램 홀더와 동시에 교환할 수 있으므로, 다이어프램의 교환에 있어서 그 장설(張設;expanding) 작업을 필요로 하지 않고, 다이어프램의 교환 작업을 간단하고도 단시간에 완결하는 것이 가능해진다.

본 발명의 기능액 공급 장치는, 기능액 탱크와, 기능액 탱크와 기능 액적 토출 헤드를 접속하는 기능액 유로에 개재되어 마련된 상기 어느 하나의 압력 조정 밸브로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 비중이 다른 기능액을 도입했을 때에, 또한 압력 조정 밸 브의 구성 부재의 일부에 열화가 발생했을 때에, 간단하고도 단시간에 대응할 수 있다.

본 발명은, 기능액 유로를 통해 기능액 탱크에 접속된 기능 액적 토출 헤드를, 워크피스에 대하여 상대적으로 이동시켜, 기능 액적 토출 헤드를 토출 구동함으로써, 워크피스 상에 기능 액적에 의한 묘화를 하는 묘화 장치에 있어서, 기능액 유로에는, 상기 어느 한 항에 기재된 압력 조정 밸브가 개재되어 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 밸브체 부세 스프링을 교환 가능한 압력 조정 밸브를 개재하여 마련하고 있기 때문에, 비중이 다른 기능액을 도입했을 때에, 또한 압력 조정 밸브의 구성 부재의 일부에 열화가 발생했을 때에, 밸브체 부세 스프링 등의 교환 작업에 간단하고도 단시간에 대응 가능하다.

본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법 및 전기 광학 장치는, 상기 묘화 장치를 이용하여, 상기 워크피스 상에 기능 액적에 의한 성막부를 형성하는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 압력 조정 밸브의 부품 교환을 간단하고도 단시간에 대응할 수 있는 묘화 장치를 이용하여 전기 광학 장치의 제조가 행해지기 때문에, 제조 과정에서의 장치의 정지 시간을 단축할 수 있으며, 성막부를 효율적으로 형성하는 것이 가능해진다. 또, 전기 광학 장치(디바이스)로서는, 액정 표시 장치, 유기 EL(Electro-Luminescence) 장치, 전자 방출 장치, PDP(Plasma Display Panel) 장치 및 전기 영동 표시 장치 등을 생각해 볼 수 있다. 또, 전자 방출 장치는, 이른바 FED(Field Emission Display) 장치 또는 SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display) 장치를 포함하는 개념이다. 또한, 전기 광학 장치로서는, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스트 형성 및 광 확산체 형성 등을 포함하는 장치를 생각해 볼 수 있다.

본 발명의 전자 기기는 상기 전기 광학 장치의 제조 방법에 의해 제조한 전기 광학 장치 또는 상기 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 한다.

이 경우, 전자 기기로서는, 이른바 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)를 탑재한 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 외에, 각종 전기 제품이 이에 해당된다.

(실시예)

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 적용한 묘화 장치에 대해 설명한다. 이 묘화 장치는, 이른바 플랫 패널 디스플레이의 제조 라인에 내장되는 것으로, 기능 액적 토출 헤드를 이용한 액적 토출법에 의해, 액정 표시 장치의 컬러 필터나 유기 EL 장치의 각 화소로 되는 발광 소자 등을 형성하는 것이다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 묘화 장치(1)는 기대(機臺)(2)와, 기능 액적 토출 헤드(41)를 갖고, 기대(2) 상의 전역에 넓게 탑재된 액적 토출 장치(3)와, 액적 토출 장치(3)에 접속된 기능액 공급 장치(4)와, 액적 토출 장치(3)에 가설되도록 기대(2) 상에 탑재한 헤드 유지 장치(5)를 구비하고 있다. 또한, 묘화 장치(1)에는, 도면 외의 제어 장치(6)가 마련되어 있고, 묘화 장치(1)로서는, 기능 액 공급 장치(4)에 의해 액적 토출 장치(3)가 기능액의 공급을 받으면서, 제어 장치(6)에 의한 제어에 근거하여, 액적 토출 장치(3)가 워크피스 W에 대한 묘화 동작을 하는 동시에, 기능 액적 토출 헤드(41)에 대하여, 헤드 유지 장치(5)가 적절히 유지 동작(maintenance)을 하도록 되어 있다.

액적 토출 장치(3)는 워크피스 W를 주(主)주사(X축 방향으로 이동)시키는 X축 테이블(12) 및 X축 테이블(12)에 직교하는 Y축 테이블(13)로 이루어지는 X·Y 이동 기구(11)와, Y축 테이블(13)에 이동이 자유롭게 장착된 메인 캐리지(main carriage)(14)와, 메인 캐리지(14)에 메달려, 기능 액적 토출 헤드(41)를 탑재한 헤드 유닛(15)을 갖고 있다.

X축 테이블(12)은, X축 방향의 구동계를 구성하는 X축 모터(도시하지 않음) 구동의 X축 슬라이더(22)를 갖고, 이것에 흡착 테이블(24) 및 θ 테이블(25) 등으로 이루어지는 세트 테이블(23)을 이동이 자유롭게 탑재하여 구성되어 있다. 마찬가지로, Y축 테이블(13)은, Y축 방향의 구동계를 구성하는 Y축 모터(도시하지 않음) 구동의 Y축 슬라이더(29)를 갖고, 이것에 헤드 유닛(15)을 지지하는 상기 메인 캐리지(14)를 Y축 방향으로 이동이 자유롭게 탑재하여 구성되어 있다. 또, X축 테이블(12)은 X축 방향으로 평행하게 배치되어 있고, 기대(2) 상에 직접 지지되어 있다. 한편, Y축 테이블(13)은 기대(2) 상에 세워진 좌우의 지주(支柱)(31)에 지지되어 있고, X축 테이블(12) 및 헤드 유지 장치(5)를 가로 걸치도록 Y축 방향으로 연장되어 있다(도 1 및 도 2 참조).

묘화 장치(1)에서는, X축 테이블(12) 및 Y축 테이블(13)이 교차하는 영역이 워크피스 W의 묘화를 하는 묘화 영역(32), Y축 테이블(13) 및 헤드 유지 장치(5)가 교차하는 영역이 기능 액적 토출 헤드(41)에 대한 기능 회복 처리를 하는 보수 영역(33)으로 되어 있고, 워크피스 W에 묘화를 하는 경우에는 묘화 영역(32)에, 기능 회복 처리를 하는 경우에는 보수 영역(33)에, 헤드 유닛(15)을 향하게 하도록 되어 있다.

헤드 유닛(15)은 복수(12개)의 기능 액적 토출 헤드(41)와, 헤드 유지 부재(도시하지 않음)를 통해 기능 액적 토출 헤드(41)를 탑재하는 헤드 플레이트(42)를 구비하고 있다. 헤드 플레이트(42)는 지지 프레임(43)에 착탈이 자유롭게 지지되어 있고, 헤드 유닛(15)은 지지 프레임(43)을 통해 메인 캐리지(14)에 위치 결정하여 탑재된다. 또, 상세한 것은 후술하겠지만, 지지 프레임(43)에는, 헤드 유닛(15)에 나란히, 기능액 공급 장치(4)의 밸브 유닛(74) 및 탱크 유닛(71)이 지지되어 있다(도 1 내지 도 3 참조).

도 4에 나타내는 바와 같이, 기능 액적 토출 헤드(41)는, 이른바 2연(連)의 것으로, 2연의 접속침(52)을 갖는 기능액 도입부(51)와, 기능액 도입부(51)에 연결되는 2연의 헤드 기판(53)과, 기능액 도입부(51)의 아래쪽으로 연결되어, 내부에 기능액으로 채워지는 헤드 내 유로가 형성된 헤드 본체(54)를 구비하고 있다. 접속침(52)은 도면 외의 기능액 공급 장치(4)에 접속되어, 기능 액적 토출 헤드(41)의 헤드 내 유로에 기능액을 공급한다. 헤드 본체(54)는 캐비티(55)(피에조 압전 소자)와, 토출 노즐(58)이 개구된 노즐면(57)을 갖는 노즐 플레이트(56)로 구성되어 있다. 노즐면(57)에는, 다수(180개)의 토출 노즐(58)로 이루어지는 노즐열이 형성되어 있다. 기능 액적 토출 헤드(41)를 토출 구동하면, 캐비티(55)의 펌프 작용에 의해, 토출 노즐(58)로부터 기능 액적을 토출한다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 헤드 플레이트(42)는 스테인리스 등으로 이루어지는 방형(方形;사각형)의 두꺼운 판으로 구성되어 있다. 헤드 플레이트(42)에는, 12개의 기능 액적 토출 헤드(41)를 위치 결정하고, 이것을 이면 쪽으로부터 헤드 유지 부재를 통해 고정하기 위한 12개의 장착 개구(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 12개의 장착 개구는 2개씩 6조로 나누어져 있고, 각 조의 장착 개구는 일부가 중복되도록, 기능 액적 토출 헤드(41)의 노즐열과 직교하는 방향(헤드 플레이트(42)의 길이 방향)으로 위치 어긋나게 형성되어 있다. 즉, 12개의 기능 액적 토출 헤드(41)는 2개씩 6조로 나누어지고, 노즐열과 직교하는 방향으로, 각 조의 기능 액적 토출 헤드(41)의 노즐열이 일부 중복되도록, 계단 형상으로 배치된다(도 3 참조).

또, 각 기능 액적 토출 헤드(41)에 형성된 2열의 노즐열은 4도트 분의 피치를 갖고 배치된 다수(180개)의 토출 노즐(58)에 의해 각각 구성되어 있고, 양 노즐열은 열 방향으로 2도트만큼 위치가 어긋나 배치되어 있다. 즉, 각 기능 액적 토출 헤드(41)에는, 2열의 노즐열에 의해, 2도트 피치의 묘화 라인이 형성되어 있다. 한편, 동일 조(組)의 인접하는 2개의 기능 액적 토출 헤드(41)는 각각의 (2도트 피치의) 묘화 라인이 열 방향으로 1도트만큼 위치가 어긋나도록 배치되고, 1조의 기능 액적 토출 헤드(41)에 의해, 1도트 피치의 묘화 라인이 형성된다. 즉, 동일 조 2개의 기능 액적 토출 헤드(41)는 1/4 해상도의 각 노즐열이 상호 위치 어긋나도록 배치되고, 다른 5조 10개의 기능 액적 토출 헤드(41)와 합쳐, 1묘화 라인의 고해상도(1 해상도)의 노즐열이 구성되도록 되어 있다.

메인 캐리지(14)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, Y축 테이블(13)에 하측으로부터 고정되는 외관 「I」 형태의 서스펜션 부재(61)와, 서스펜션 부재(61)의 하면에 장착되고, (헤드 유닛(15)의) θ 방향에 대한 위치 보정을 하기 위한 θ 회전 기구(62)와, θ 회전 기구(62)의 아래쪽으로 매달리도록 장착된 캐리지 본체(63)로 구성되어 있고, 캐리지 본체(63)가 지지 프레임(43)을 통해 헤드 유닛(15)을 지지하도록 되어 있다. 도시는 생략하였지만, 캐리지 본체(63)에는, 지지 프레임(43)을 끼우기 위한 사각형(方形)의 개구가 형성되어 있는 동시에, 지지 프레임(43)을 위치 결정하기 위한 위치 결정 기구가 마련되어 있어, 헤드 유닛(15)을 위치 결정한 상태로 고정할 수 있도록 되어 있다.

도 1 내지 도 3에 나타내는 바와 같이, 기능액 공급 장치(4)는 상기 지지 프레임(43)에 헤드 유닛(15)과 함께 탑재되어 있고, 기능액을 저장하는 복수(12개)의 기능액 탱크(91)로 이루어지는 탱크 유닛(71)과, 각 기능액 탱크(91) 및 각 기능 액적 토출 헤드(41)를 접속하는 복수(12개)의 기능액 공급 튜브(기능액 유로)(72)와, 각 기능액 공급 튜브(72)를 각 기능액 탱크(91) 및 각 기능 액적 토출 헤드(41)에 접속하기 위한 복수(12개)의 접속구(接續具)(73)와, 복수의 기능액 공급 튜브(72)에 개재되어 마련된 복수(12개)의 압력 조정 밸브(161)로 이루어지는 밸브 유닛(74)을 구비하고 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 지지 프레임(43)은 대략 사각형의 프레임 형상 으로 형성되어 있고, 그 길이 방향에 대하여, 헤드 유닛(15), 밸브 유닛(74), 탱크 유닛(71)의 순서로 이들을 탑재하고 있다. 또, 지지 프레임(43)에는, 그 긴 변 부분에, 한 쌍의 핸들(81)이 장착되어 있으며, 이 한 쌍의 핸들(81)을 손잡이 부위로 하여, 지지 프레임(43)을 메인 캐리지(14)(캐리지 본체(63))에 착탈 가능하게 투입할 수 있도록 되어 있다.

탱크 유닛(71)은 12개의 기능액 탱크(91)와, 이들을 위치 결정하는 12개의 세트부(111)를 갖고, 12개의 기능액 탱크(91)를 지지하는 탱크 플레이트(92)와, 각 기능액 탱크(91)를 각 세트부(111)에 장착(세트)하기 위한 탱크 세트 지그(93)로 구성되어 있다. 기능액 탱크(91)는 카트리지 형식의 것이며, 기능액을 진공 패킹한 기능액 패키지(101)와, 기능액 패키지(101)를 수용하는 수지제의 카트리지 케이스(108)를 갖고 있다. 또, 기능액 패키지(101)에 저장되는 기능액은 미리 탈기(脫氣)되어 있어, 그 용존 기체량은 대략 0(zero)으로 되어 있다.

기능액 패키지(101)는 두 장의 직사각형의 (가요성의) 필름 시트(102)(도시하지 않음)를 중첩시켜 열 용착한 자루 형상의 것으로, 기능액을 공급하는 수지제의 공급구(供給口)(103)를 장착한 것이다. 공급구(103)에는, 패키지 내에 연결되는 연결 개구(104)가 형성되어 있다. 연결 개구(104)는 기능액 내식성을 갖는 부틸 고무(butyl rubber) 등의 탄성재로 구성한 폐색(閉塞) 부재(105)에 의해 마개가 닫혀 있어, 연결 개구(104)로부터 공기(산소)나 습기가 침입하는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다.

탱크 플레이트(92)는 스테인리스 등의 두꺼운 판으로 대략 평행사변형으로 형성되어 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 탱크 플레이트(92)에는, 기능액 탱크(91)의 공급구(103)를 밸브 유닛(74) 쪽으로 향하게 상태로 기능액 탱크(91)를 세로로 위치 결정하는 동시에, 이것을 착탈이 자유롭게 세트하는 12개의 세트부(111)가 설치된다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 세트부(111)는, 헤드 플레이트(42)에 탑재한 12개의 기능 액적 토출 헤드(41)의 배치를 따라 배치되어 있다. 즉, 12개의 기능액 탱크(91)는, 2개씩 6조로 나누어지고, 공급구(103)(기능액 탱크(91)의 전면)를 기능 액적 토출 헤드(41)로 향하게 한 상태로, 탱크 플레이트(92)의 긴 변을 따르도록 지지 프레임(43)의 짧은 변 방향으로 위치 어긋나게 배치된다.

탱크 세트 지그(93)는 기능액 탱크(91)의 후면(기능액 탱크(91)의 전면(前面)에 대향하는 면)을 전방(前方)으로 밀어 넣음으로써, 기능액 탱크(91)를 전방으로 슬라이드시켜 세트부(111)에 세트하는 것이며, 기능액 탱크(91)를 밀어내는 가압 레버(121)와, 가압 레버(121)를 지지하는 지지 부재(122)를 구비하고 있다. 기능액 탱크(91)의 세트 위치에 맞춰 지지 부재(122)를 이동시키는 것에 의해, 가압 레버(121)를 각 기능액 탱크(91)에 대치시켜, 기능액 탱크(91)를 적절히 세트할 수 있도록 되어 있다.

기능액 공급 튜브(72)는 각 기능액 탱크(91) 및 각 압력 조정 밸브(161)를 접속하는 탱크 측 튜브(131)와, 각 압력 조정 밸브(161) 및 각 기능 액적 토출 헤드(41)를 접속하는 헤드측 튜브(132)를 갖고 있다.

접속구(73)는 기능액 탱크(91) 및 탱크 측 튜브(131)를 접속하기 위한 탱크 측 어댑터(141)와, 기능 액적 토출 헤드(41) 및 헤드측 튜브(132)를 접속하기 위한 헤드측 어댑터(158)를 갖고 있다. 탱크 측 어댑터(141)에는, 축심(軸心)에 유로를 형성한 접속침(152)이 마련되어 있고, 접속침(152)은 상기한 기능액 패키지(101)(연결 개구(104))의 폐색 부재(105)를 관통하여 꽂히는 것에 의해 기능액 패키지(101)에 접속되어 있다.

밸브 유닛(74)은 12개의 압력 조정 밸브(161)와, 12개의 압력 조정 밸브(161)를 지지하는 12개의 밸브 지지 부재(162)와, 밸브 지지 부재를 통해 12개의 압력 조정 밸브(161)를 지지하는 스테인리스제의 밸브 플레이트(163)로 구성되어 있다(도 3 참조).

밸브 플레이트(163)에는, 12개의 밸브 지지 부재(162)가 세워지고, 이 12개의 밸브 지지 부재(162)에 12개의 압력 조정 밸브(161)를 지지 프레임(43)의 짧은 변 방향으로 위치가 어긋난 상태로 지지하고 있다(도 3 참조).

도 6 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 압력 조정 밸브(161)는 밸브 하우징(171) 내에, 기능액 탱크(91)에 연결되는 제 1 챔버(172)와, 기능 액적 토출 헤드(41)에 연결되는 제 2 챔버(173)와, 제 1 챔버(172) 및 제 2 챔버(173)를 연결하는 연결 유로(174)를 형성한 것이며, 제 2 챔버(173)의 하나의 면에는 외부에 면하여 다이어프램(175)이 마련되고, 연결 유로(174)에는 다이어프램(175)에 의해 개폐 동작하는 밸브체(176)가 마련되어 있다. 기능액 탱크(91)로부터 제 1 챔버(172)에 도입된 기능액은 제 2 챔버(173)를 통해 기능 액적 토출 헤드(41)에 공급되는데, 그 때, 다이어프램(175)에 의해 대기압을 조정 기준 압력으로 하여, 연결 유로(174)에 마련한 밸브체(176)를 개폐 동작시킴으로써 제 2 챔버(173)의 압력 조정을 하도록 되어 있다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 압력 조정 밸브(161)는, 다이어프램(175)을 수직으로 한 세로로 이용되기 때문에, 이하, 동 도면을 따라서 지면(紙面)의 앞쪽을 「상」, 바로 앞을 「하」, 왼쪽을 「전」 및 오른쪽을「후」라고 하여 설명을 계속한다. 또, 도 6 및 도 7에서는, 압력 조정 밸브(161)에, 이것을 프레임 등(본 실시예에서는 밸브 지지 부재(162))에 장착하기 위한 장착 플레이트(181), 상기 탱크 측 튜브(131)를 연결해 넣기 위한 유입 커넥터(182)(유니온 조인트) 및 상기 헤드측 튜브를 연결해 넣기 위한 유출 커넥터(183)(유니온 조인트)를 조립한 상태를 나타내고 있다.

밸브 하우징(171)은 하우징 본체(192)와, 하우징 본체(192)와 함께 내부에 제 1 챔버(172)를 형성한 덮개(190)와, 하우징 본체(192)와 함께 내부에 제 2 챔버(173)를 형성하여, 하우징 본체(192)에 다이어프램(175)을 고정하는 링 플레이트(193)의 3 부재로 구성되고, 모두 스테인리스 등의 내식성 재료로 형성되어 있다. 덮개(190) 및 링 플레이트(193)는 하우징 본체(192)에 대해, 앞뒤에서 링 플레이트(193) 및 덮개(190)를 포개고, 복수개의 계단형 평행 핀(194)으로 각각 위치 결정한 후, 나사 고정하도록 조립되어 있으며, 모두 원형의 다이어프램(175)의 중심을 지나는 축선과 동심원으로 되는 다각형(8각형) 혹은 원형의 외관을 갖고 있다. 그리고, 덮개(190) 및 하우징 본체(192)는 패킹(O 링)(196)을 통해 서로 기밀하게 접합되고, 하우징 본체(192) 및 링 플레이트(193)는, 다이어프램(175)의 가장자리부 및 패킹(197)을 사이에 끼어 넣어 서로 기밀하게 맞붙여 접합되어 있다.

하우징 본체(192)와 덮개(190)로 형성된 제 1 챔버(172)는 다이어프램(175)과 동심(同心)으로 되는 대략 원통 형상으로 형성되어 있고, 그 개방단을 덮개(190)에 의해 폐쇄하고 있다. 또한, 하우징 본체(192)의 제 1 챔버(172) 쪽 배면 상부에 형성한 상부 보스부(198)의 좌측부에는 제 1 챔버(172)로부터 직경 방향 비스듬히 연장되는 유입 포트(201)가 형성되고, 유입 포트(201)에는 상기 유입 커넥터(182)가 접속되어 있다.

유입 포트(201)는 하우징 본체(192)의 외주면에 개구된 유입구(211)와, 유입구(211)와 제 1 챔버(172)의 내주면을 연결하는 유입 경로(213)로 이루어지고, 유입구(211)에 대하여 유입 경로(213)는, 제 1 챔버(172) 쪽으로 편심(偏心)되어 형성되어 있다. 유입구(211)에는, 유입 커넥터(182)가 나사 결합(테이퍼 나사)되어 있으며, 이 유입 커넥터(182)를 통해 상기 탱크 측 튜브(131)가 접속되어 있다. 유입 커넥터(182)의 내부 유로는, 하류단에서 확장 형성되어 있고, 내부 유로에 단부가 발생하지 않도록, 또한 기능액의 유속에 큰 변화가 발생하지 않도록 되어 있다. 마찬가지로, 유입구(211)의 하류단은 테이퍼 형상을 이뤄 유입 경로(213) 사이에 단부가 발생하지 않도록 되어 있다.

또한, 하우징 본체(192)의 제 1 챔버(172) 외면에는, 제 1 챔버(172)와 동심원의 원형 장착 홈(199)이 형성되고, 이 원형 장착 홈(199)에 덮개(190)가 착탈이 자유롭게 부설되어 있다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 하우징 본체(192)에는 다이어프램(175)을 장착하기 위한 전면(前面)을 개방한 원뿔대(대략 원통) 형상의 제 2 챔버(173)의 주 챔 버(221)와, 주 챔버(221)의 후방에 연결되어, 주 챔버 쪽으로 확장된 원뿔대(대략 원통) 형상의 제 2 챔버(173)의 스프링 챔버(222)와, 스프링 챔버(222)와 제 1 챔버(172)를 연결하는 상기 연결 유로(174)가 형성되어 있다. 또한, 이들 주 챔버(221), 스프링 챔버(222) 및 연결 유로(174)는 모두 다이어프램(175)과 동심(同心)의 원형 단면을 갖고 있다. 단, 연결 유로(174)는 후술하는 밸브체(176)의 축부(262)가 슬라이드 자유롭게 수용되는 원형 단면의 축 삽입부(223)와, 축 삽입부(223)로부터 직경 방향 사방으로 연장되는 십자 형상 단면의 유로부(224)로 구성되어 있다(도 7 참조). 또, 하우징 본체(192)의 다이어프램(175) 쪽 대향면에는, 후술하는 패킹(197)용으로 환상(環狀)의 하우징 본체(192) 환상 홈(251)이 형성되어 있다.

유출 포트(241)는 하우징 본체(192)의 하부에 위치하는 하부 보스부(242)에 형성되어 있으며, 하우징 본체(192)의 하부에 개구된 유출구(243)와, 제 2 챔버(173)의 하단부에 개구된 제 2 챔버 쪽 개구(244)와, 이들을 연결하는 유출 유로(245)로 구성되어 있다. 유출 유로(245)는 주 챔버(221)의 테이퍼면으로부터 비스듬히 연장되어 아래 방향의 유출구(243)에 연결되어 있다. 유출구(243)는 유출 유로(245)의 축선 방향으로부터 유출 커넥터(183)가 나사 결합되어 있으며, 이 유출 커넥터(183)를 통해 상기 헤드측 튜브(132)가 접속되어 있다. 유출 커넥터(183)의 내부 유로는 상류단에서 확장 형성되어 있고, 내부 유로에 단부가 발생하지 않도록, 또한 기능액의 유속에 큰 변화가 발생하지 않도록 되어 있다. 제 2 챔버(173)로부터 유출되는 기능액은 제 2 챔버 쪽 개구(244)로부터 유출 유로(245)의 구배를 따라 비스듬히 흘러내려, 기능 액적 토출 헤드(41) 쪽으로 유출된다.

또한, 주 챔버(221)의 벽면에는, 스프링 챔버(222)로부터 십자 형상으로 연장되는 배액·배기 홈(226)이 형성되어 있다. 이 배액·배기 홈(226) 중 하측 홈부는 유출구(243)의 부근 혹은 유출구(243)까지 연장되어 있다.

실시예의 압력 조정 밸브(161)에서는, 기능액의 초기 충전 시나 이종(異種)의 기능액 도입에 앞선 액체 배출 시에, 상기 흡인 유닛에 의해, 흡인 동작을 하도록 하고 있지만, 이러한 경우에 제 2 챔버(173) 쪽이 부압으로 되면 밸브체(176)가 개방되더라도 다이어프램(175)이 주 챔버(221)의 벽면(테이퍼면)에 밀착되어 버려 연결 유로(174)와 유출구(243) 사이의 유로가 차단될 우려가 있다.

그래서, 상기 배액·배기 홈(226)에 의해, 다이어프램(175)이 주 챔버(221)의 벽면에 밀착하더라도, 연결 유로(174)와 유출구(243)의 연결 상태를 유지할 수 있도록 하고 있다. 또한, 제 2 챔버(173) 내의 액체 배출이나 공기 배출을 원활하게 실행할 수 있도록 하고 있다.

링 플레이트(193)는 하우징 본체(192)의 전면(前面)과의 사이에 다이어프램(175)을 사이에 유지하여 고정하는 것이며, 하우징 본체(192)의 형상에 맞춰 다각형(8각형) 혹은 원형으로 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 상기 하우징 본체(192) 환상 홈(251)에 삽입한 패킹(197)과 다이어프램(175)을 끼워 넣은 상태로, 링 플레이트(193)를 하우징 본체(192)에 밀착시키도록 되고 있다.

다이어프램(175)은 수지 필름으로 구성한 다이어프램 본체(252)와, 다이어프램 본체(252)의 내측에 접착된 수지성의 수압판(受壓板)(253)으로 구성되어 있다. 수압판(253)은 다이어프램 본체(252)와 동심의 원판 형상으로, 또한 다이어프램 본체(252)에 대하여 충분히 작은 직경으로 형성되어 있고, 그 중앙에 후술하는 밸브체(176)의 축부(262)가 접촉된다. 다이어프램 본체(252)는 내열 PP(폴리프로필렌)와 특수 PP와 실리카를 증착한 PET(폴리에틸렌테레프탈레이트)를 적층하여 구성되어 있고, 하우징 본체(192)의 전면(前面)과 동일 직경의 원형으로 형성되어 있다. 다이어프램(175)은 소정의 장력(tension)을 갖게 한 상태로, 링 플레이트(193)에 의해 하우징 본체(192)의 전면(前面)에 기밀하게 고정된다. 또, 수압판(253)은 다이어프램 본체(252)의 외측에 마련하여도 좋지만, 후술하는 밸브체(176)의 축부(262)가 분리 접촉을 반복하기 때문에, 다이어프램 본체(252)의 손상을 방지해야 하는 본 실시예에서는 내측에 마련하고 있다.

밸브체(176)는 원판 형상의 밸브체 본체(261)와, 밸브체 본체(261)의 중심으로부터 단면 가로 「T」자 형상을 이루도록 한 방향으로 연장되는 축부(262)와, 밸브체 본체(261)의 축부 쪽(전면(前面))에 마련한(접착한) 환상의 밸브 밀봉부(263)으로 구성되어 있다. 밸브체 본체(261) 및 축부(262)는 스테인리스 등의 내식 재료로 일체적으로 형성되어 있고, 밸브체 본체(261)의 전면(前面)에는, 축부(262)의 외측에 위치하며 환상의 소(小)돌기(264)가 형성되어 있다. 밸브 밀봉부(263)은 연질의 실리콘 고무로 구성되며, 그 전면(前面)에는, 상기 소돌기(264)에 대응하여, 환상의 돌기로 되는 밀봉 돌기(265)가 돌출되어 있다. 이 때문에, 밸브체(176)의 밸브 폐쇄 시에는, 밸브 시트로 되는 하우징 본체(192)의 제 1 챔버(172) 쪽 벽면, 즉 연결 유로(174)의 개구 돌기에 밀봉 돌기(265)가 강하게 접촉하여, 연 결 유로(174)가 제 1 챔버(172) 쪽으로부터 액밀(液密)하게 폐쇄된다. 또, 제 2 챔버(173)의 근소한 압력 변동에 따라 밸브체(176)를 개폐 가능하게 하기 위해서, 밸브체 본체(261)는 다이어프램(175)보다 충분히 작게 형성되어 있다(도 8 참조).

축부(262)는 연결 유로(174)에 슬라이드 자유롭게 삽입되고, 밸브 폐쇄 상태에서 그 반경의 선단이 중립 위치에 있는 다이어프램(175)의 수압판(253)에 접촉된다. 즉, 다이어프램(175)이 외부를 향하여 팽창하는 플러스 변형의 상태에서는, 축부(262)의 전단(前端)과 수압판(253) 사이에는 소정의 간격이 생겨 있으며, 이 상태로부터 다이어프램(175)이 마이너스 쪽으로 변형되어 가면, 링 플레이트(193)와 평행한 중립 상태로 축부(262)의 전단(前端)과 수압판(253)이 접촉하고, 또한 다이어프램(175)의 마이너스 변형이 진행되면, 수압판(253)이 축부(262)를 통해 밸브체 본체(261)를 눌러 밸브를 개방시키는 것으로 된다. 따라서, 제 2 챔버(173)의 용적 중 다이어프램(175)이 플러스 변형으로부터 중립 상태로 되는 용적분은 제 1 챔버(172) 쪽의 압력을 일체 받지 않고, 기능액의 공급이 이루어진다.

한편, 밸브체(176)(밸브체 본체(261))의 배면(261a)과 덮개(190) 사이에는, 밸브체를 제 2 챔버(123) 쪽, 즉 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 밸브체 부세 스프링(267)이 개재되어 마련되어 있다. 마찬가지로, 상기 수압판(253)과 제 2 챔버(173)의 스프링 챔버(222) 사이에는, 수압판(253)을 통해 다이어프램 본체(252)를 외부를 향해 가압하는 부압 유지 스프링(268)이 개재되어 마련되어 있다. 이 경우, 밸브체 부세 스프링(267)은 밸브체(176)의 배면(261a)에 가해지는 기능액 탱크(91)의 수두(水頭)를 보완하는 것이며, 기능액 탱크(91)의 수두와 이 밸브체 부세 스프링(267)의 스프링력에 의해, 밸브체(176)가 폐쇄 방향으로 가압된다. 또한, 밸브 폐쇄 시에는 밸브 밀봉부(263)의 밀봉성을 유지하는 한편, 부압 유지 스프링(268)은 다이어프램(175)의 플러스 변형을 보완하는 것에 의해, 대기압에 대하여 제 2 챔버(173)가 약간 부압으로 되도록 작용한다. 또, 실시예의 밸브체 부세 스프링(267) 및 부압 유지 스프링(268)은 모두 코일 스프링으로 구성되어 있다.

상세한 것은 후술하겠지만, 압력 조정 밸브(161)는 대기압과 기능 액적 토출 헤드(41)에 이어지는 제 2 챔버(173)와 압력 밸런스에 의해 밸브체(176)가 진퇴하여 개폐되는데, 그 때, 밸브체 부세 스프링(267) 및 부압 유지 스프링(268)에 힘이 분산되어 작용하고, 또한 연질 실리콘 고무의 밸브 밀봉부(263)(의 탄성력)에 의해, 밸브체(176)는 매우 천천히 개폐 동작을 행한다. 이 때문에, 밸브체(176)의 개폐에 의한 압력 변동(cavitation)이 억제되어, 기능 액적 토출 헤드(41)의 토출 구동에 영향을 주지 않도록 되어 있다. 물론, 기능액 탱크(1차 챔버) 쪽에서 발생하는 맥동 등도, 밸브체(176)에 의해 절연되기 때문에, 이것을 흡수(댐퍼 기능)할 수 있다.

도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 장착 플레이트(181)는 사각을 챔퍼링(chamfering)한 사각형의 스테인리스판으로 구성되어 있고, 하우징 본체(192)의 측부 배면에 고정되어 있다. 장착 플레이트(181)의 양면에는, 그 상하 중간 위치에 다이어프램(175)의 중심 위치를 나타내는 선 형상의 마크(271)가 새겨져 있고, 이 마크(271)에 의해, 후술하는 기능 액적 토출 헤드(41)에 대하여 압력 조정 밸브(161)를 소정의 고저차를 갖고 설치할 때의 지표로 하고 있다. 또한, 도면 중의 참조 부호 272는 장착 플레이트(181)의 마크(271)와 다이어프램(175)의 중심 위치를 위치 정렬하기 위한 긴 구멍이며, 장착 플레이트(181)는 이 위치 정렬을 한 후, 밸브 하우징(171)에 고정된다.

다음에, 도 9를 참조하여, 압력 조정 밸브(161)의 동작 원리에 대해 설명한다. 제 1 챔버(172)에는, 기능액 탱크(91)에 저장된 기능액의 수위에 근거하는 수두(설계 상으로는, 기능액 패키지(101)의 공급구의 중심축과 제 1 챔버(172)의 중심축 사이의 수두차)가 작용하고 있으며, 이 수두에 근거하는 압력과 밸브체 부세 스프링(267)의 스프링력이 밸브체의 밸브 폐쇄력으로서 작용한다. 즉, 수두에 근거하는 단위 면적당 압력을 P1로 하고, 밸브체 본체(261)의 배면(261a)의 면적을 S1로 하고, 밸브체 부세 스프링(267)의 스프링력을 W1로 했을 때에, 제 1 챔버 측으로부터 밸브체(176)에 작용하는 힘 F1은

F1=(P1ㅧS1)+W1

로 된다. 또, W1은 밸브 밀봉부(263)의 탄성력을 고려한 값으로 되어 있으며, 여기서는, 스프링력과 밸브 밀봉부(263)의 탄성력(가압력)의 합계를 W1로 하고 있다. 한편, 제 2 챔버 쪽으로부터 밸브체(176)에 작용하는 힘 F2는 제 2 챔버(173)의 내압을 P2로 하고, 다이어프램(175)의 면적(대기압 수압(水壓) 면적)을 S2로 하고, 부압 유지 스프링(268)의 스프링력을 W2로 했을 때에,

F2=-(P2ㅧS2)+(P2ㅧS1)-W2

로 된다. 또, P1 및 P2는 게이지 압력이다.

F2>F1의 상태에서 밸브체가 밸브 개방 동작하고, F1>F2의 상태에서 밸브체가 밸브 폐쇄 동작한다. 이 관계에 따라, 본 실시예에서는, 밸브체 본체(261)의 배면(261a)의 면적, 다이어프램(175)의 면적, 제 1 챔버(172) 및 제 2 챔버(173)의 압력에 근거하여, W1 및 W2가 설정되어 있고, 대략 대기압을 기준 조정 압력으로 하여 ((P2ㅧS2)+W2<0일 때에) 밸브체가 개폐되도록 하였다.

즉, 다이어프램(175)이 플러스 변형의 상태로부터, 기능 액적 토출 헤드(41)에 의해 기능액이 소비(토출)되고, 제 2 챔버(173)가 부압으로 되면, 다이어프램(175)이 대기압에 의해 눌려 중립 상태로부터 마이너스 변형으로 이행한다. 이에 따라, 수압판(253)을 통해 밸브체(176)가 눌려 천천히 밸브를 개방한다. 밸브체(176)가 밸브 개방하면, 연결 유로(174)를 통해 제 1 챔버(172)로부터 제 2 챔버(173)에 기능액이 유입된다. 이에 따라, 제 2 챔버(173)의 압력이 증가하여, 밸브체(176)가 천천히 밸브 폐쇄된다. 그리고, 밸브체(176)의 밸브 폐쇄 후에도 대기압에 저항하여 부압 유지 스프링(268)이 작용하여, 다이어프램(175)을 플러스 변형시키는 동시에, 제 2 챔버(173) 내의 기능액 압력을 약간 부압 상태로 되게 한다. 상기 동작을 천천히 반복함으로써, 제 2 챔버(173)를 거의 일정한 압력으로 유지한 채로, 기능액이 공급된다.

마찬가지로, 기능액의 초기 충전에 있어서도, 기능 액적 토출 헤드 쪽으로부터의 기능액의 강제 흡인에 의해 상기 동작이 이루어져, 밸브 내 유로에 기능액이 충전된다. 또, 제 2 챔버(173) 내의 기능액의 압력은 부압 유지 스프링(268)에 의해 대기압보다 낮은 압력으로 유지되어 있다. 이 때문에, 기능 액적 토출 헤드(41)(노즐면(57))의 위치와, 압력 조정 밸브(161)(다이어프램(175)의 중심)의 위치 의 고저차를 일정한 값으로 해둠으로써, 기능 액적 토출 헤드(41)로부터 액적이 늘어지는 것이 방지되어 있다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 기능 액적 토출 헤드(41) 및 압력 조정 밸브(161)의 수두차는 미리 설정되어 있고, 이 설정값에 근거하여 기능 액적 토출 헤드(41) 및 압력 조정 밸브(161)의 고저차가 정해져 있다. 구체적으로는, 설정된 수두차에 근거하여, 기능 액적 토출 헤드(41)의 노즐면(57)의 높이 위치보다 다이어프램(175)의 중심 위치의 높이가 소정의 높이만큼 높아지도록, 다이어프램(175)의 중심 위치가 결정된다.

또한, 본 실시예에서는, 압력 조정 밸브(161)의 높이 위치에 근거하여, 기능액 탱크(91)의 높이 위치가 설정되어 있고, 압력 조정 밸브(161)의 제 1 챔버(172)와 기능액 탱크(91)의 수두차(자연 유하(流下))에 의해, 기능액 탱크(91)로부터 압력 조정 밸브(161)에 기능액이 흐르도록 구성되어 있다.

한편, 도 1에 나타내는 바와 같이, 헤드 유지 장치(5)는 기대(2) 상에 탑재되어, X축 방향으로 연장되는 이동 테이블(291)과, 이동 테이블(291) 상에 탑재된 흡인 유닛(292)과, 흡인 유닛(292)에 나란히 이동 테이블(291) 상에 배치된 와이핑 유닛(293)을 구비하고 있다. 이동 테이블(291)은 X축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있고, 기능 액적 토출 헤드(41)의 보수 시에는, 흡인 유닛(292) 및 와이핑 유닛(293)을 적절히 보수 영역(33)로 이동시키는 구성으로 되어 있다. 또, 상기 각 유닛에 부가하여, 기능 액적 토출 헤드(41)로부터 토출된 기능 액적의 비행 상태를 검사하는 토출 검사 유닛이나, 기능 액적 토출 헤드(41)로부터 토출된 기능 액적의 중량을 측정하는 중량 측정 유닛 등을, 헤드 유지 장치(5)에 탑재하는 것이 바람직하다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 흡인 유닛(292)은 캡 스탠드(301)와, 기능 액적 토출 헤드(41)의 노즐면(57)에 밀착시키는 캡(302)과, 각 캡(302)을 통해 (12개의) 기능 액적 토출 헤드(41)를 흡인 가능한 단일의 흡인 펌프(303)와, 각 캡(302)과 흡인 펌프(303)를 접속하는 흡인 튜브(도시하지 않음)를 갖고 있다. 또, 도시하지는 않았지만, 캡 스탠드(301)에는, 모터 구동에 의해, 각 캡(302)을 승강시키는 캡 승강 기구(305)가 내장되어 있고, 흡인 튜브의 캡(302)의 하류(흡인 펌프(303)) 쪽에는, 흡인 압력을 검출하는 흡인 압력 검출 센서(306), 흡인 튜브를 통과하는 기능액의 유무를 검출하는 액체 검출 센서(307)가 마련되어 있다.

그리고, 기능 액적 토출 헤드(41)의 흡인을 하는 경우에는, 캡 승강 기구(305)를 구동하여, 기능 액적 토출 헤드(41)의 노즐면(57)에 캡(302)을 밀착시키는 동시에, 흡인 펌프(303)를 구동한다. 이에 따라, 캡(302)을 통해 기능 액적 토출 헤드(41)에 흡인력을 작용시킬 수 있어, 기능 액적 토출 헤드(41)로부터 기능액이 강제적으로 배출된다. 이 기능액의 흡인은 기능 액적 토출 헤드(41)의 막힘을 해소/방지하기 위해 행해지는 것 외에, 묘화 장치(1)를 신설한 경우나, 기능 액적 토출 헤드(41)의 헤드 교환의 경우 등에, 기능액 탱크(91)로부터 기능 액적 토출 헤드(41)에 이르는 기능액 유로에 기능액을 충전하기 위해 행해진다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 와이핑 유닛(293)은 권취 모터(312)(도시하지 않음)의 구동에 의해, 롤 형상으로 감긴 와이핑 시트(313)를 풀어내면서 권취해 가 는 권취 유닛(311)과, 세정액 노즐(분무 노즐 : 도시하지 않음)을 갖고, 풀어낸 와이핑 시트(313)에 세정액을 살포하는 세정액 공급 유닛(314)과, 세정액이 살포된 와이핑 시트(313)로 노즐면(57)을 닦아내는 와이프 오프 유닛(315, wipe-off unit)을 구비하고 있다. 그리고, 보수 영역(33)에 위치하는 헤드 유닛(15)에 대하여 와이핑 유닛(293)을 면하게 하여, 기능 액적 토출 헤드(41)의 노즐면(57)을, 세정액을 함침(含浸)한 와이핑 시트(313)로 와이핑 동작(닦아냄)함으로써, 노즐면(57)에 부착되는 (기능액) 오염을 제거한다.

제어 장치(6)는 퍼스널 컴퓨터 등으로 구성되어 있다. 도시는 하지는 않지만, 장치 본체에는, 키보드나 마우스 등의 입력 장치, FD 드라이브나 CD-ROM 드라이브 등의 각종 드라이브(도시하지 않음), 모니터 디스플레이 등의 주변 기기가 접속되어 있다.

다음에, 도 16을 참조하면서 묘화 장치(1)의 주 제어계에 대해 설명한다. 묘화 장치(1)는 액적 토출 장치(3)를 갖는 액적 토출부(321)와, 헤드 유지 장치(5)를 갖는 헤드 유지부(322)와, 액적 토출 장치(3)나 헤드 유지 장치(5)의 각종 센서를 갖고, 각종 검출을 하는 검출부(323)와, 각 부재를 구동하는 구동부(324)와, 각 부재에 접속되어, 묘화 장치(1) 전체를 제어하는 제어부(325)(제어 장치(6))를 구비하고 있다.

제어부(325)에는, 액적 토출 장치(3) 및 헤드 유지 장치(5)를 접속하기 위한 인터페이스(331), 일시적으로 기억 가능한 기억 영역을 갖고, 제어 처리를 위한 작업 영역으로서 사용되는 RAM(332), 각종 기억 영역을 갖고, 제어 프로그램이나 제 어 데이터를 기억하는 ROM(333), 워크피스 W에 묘화를 하기 위한 묘화 데이터나, 액적 토출 장치(3) 및 헤드 유지 장치(5)로부터의 각종 데이터 등을 기억하는 동시에, 각종 데이터를 처리하기 위한 프로그램 등을 기억하는 하드디스크(334), ROM(333)이나 하드디스크(334)에 기억된 프로그램 등에 따라, 각종 데이터를 연산 처리하는 CPU(335), 이들을 서로 접속하는 버스(336)가 구비되어 있다.

그리고, 제어부(325)는 액적 토출 장치(3), 헤드 유지 장치(5) 등으로부터의 각종 데이터를 인터페이스(331)를 통해 입력하는 동시에, 하드디스크(334)에 기억된(또는, CD-ROM 드라이브 등에 의해 순차적으로 판독된) 프로그램에 따라 CPU(335)에 연산 처리시키고, 그 처리 결과를, 인터페이스(331)를 통해 액적 토출 장치(3)나 헤드 유지 장치(5) 등에 출력함으로써, 각 수단을 제어하고 있다.

그런데, 상기 밸브체 부세 스프링(267) 및 부압 유지 스프링(268)은 모두 밸브체(176)를 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 복귀 스프링으로서 기능하고 있지만, 밸브 폐쇄 시에 밸브 시트에 접하는 밸브 밀봉부(263)으로부터 기능액이 새지 않도록 밀봉하는 밀봉력을 부여하는 기능도 갖고 있다. 따라서, 서로 다른 비중의 기능액을 도입하는 경우에는 이들의 스프링력을 비중에 맞춰, 즉 제 1 챔버(172)와 제 2 챔버(173)의 압력차에 맞춰, 교환할 필요가 있다. 구체적으로는, 비중이 큰 기능액을 도입하는 경우에는, 밸브체 부세 스프링(267) 및 부압 유지 스프링(268)의 적어도 한쪽을 스프링력이 강한 것으로 함으로써 대응할 수 있다. 마찬가지로 비중이 작은 기능액을 도입하는 경우에는, 밸브체 부세 스프링(267) 및 부압 유지 스프링(268)의 적어도 한쪽을 스프링력이 작은 것으로 함으로써 대응할 수 있다.

그래서, 본 실시예에서는, 상술한 바와 같이 하우징 본체(192)의 제 1 챔버(172) 쪽에 덮개(190)를 마련하고, 이 덮개(190)를 분리함으로써 밸브체 부세 스프링(267)을 교환할 수 있도록 되어 있다.

덮개(190)는 원판 형상으로 형성되고, 하우징 본체(192)에 형성한 원형 장착 홈(199)에 끼워 맞춘 상태로, 4개의 접시 나사(277)에 의해, 하우징 본체(192)에 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 원형 장착 홈(199)에 끼워 맞춘 덮개(190)는 하우징 본체(192)의 제 1 챔버(172) 쪽의 면과 한 면으로 되도록 형성되고, 압력 조정 밸브(161)의 두께 방향으로 돌출되지 않도록 배치되어 있다.

덮개(190)의 내면에는, 밸브체 부세 스프링(267)의 일단이 위치 결정되는 원형 오목 홈(273)(기부(基部) 걸어 맞춤부)이 형성되는 동시에, 원형 오목 홈(273)의 외측에 위치하여, 상기 패킹(196)이 수용되는 덮개 환상 홈(269)이 형성되어 있다. 또, 밸브체 본체(261)의 헤드부에는, 밸브체 부세 스프링(267)의 타단이 위치 결정되는 원형 단부(段部)(274)(선단 걸어 맞춤부)가 형성되어 있다(도 10 참조).

이러한 구성에서는, 서로 다른 비중의 기능액을 도입하는 경우에는, 접시 나사(277)를 분리하고, 또한, 덮개(190)를 하우징 본체(192)로부터 분리해 제 1 챔버(172)를 개방하여, 밸브체 부세 스프링(267)을 적절한 것으로 교환할 수 있도록 되어 있다. 또한, 밸브체 부세 스프링(267)을 제 1 챔버(172)로부터 제거한 상태에서는, 밸브체(176)도 제 1 챔버(172) 쪽으로 뽑아낼 수 있게 된다. 따라서, 서로 다른 비중의 기능액을 도입하여, 밸브체 부세 스프링(267)의 스프링력을 변경하는 경우에 있어서는, 밸브체(176)를 제거하여, 밸브 밀봉부(263)을 교환할 수도 있다.

따라서, 서로 다른 비중의 기능액으로 묘화하는 경우에는, 기능액의 비중에 대응한 스프링력을 구비한 밸브체 부세 스프링(267)으로 교환할 수 있다. 이 때문에, 압력 조정 밸브(161)의 일괄 교환, 압력 조정 밸브(161)의 세트 높이의 조정 등은 불필요하게 된다.

또한, 밸브체 부세 스프링(267) 및 밸브체(176) 혹은 패킹(196)에 대하여 부식성을 갖는 기능액으로 묘화하는 경우에는, 상기 실시예와 동일한 순서로 덮개(190)를 분리하여, 그들을 내부식성 소재 부품으로 교환할 수 있다.

다음에, 상기 실시예 1의 제 1 변형예에 대하여 도 11을 참조하여 설명한다. 이 변형예에서는, 본 발명의 밸브체(176)에는, 밸브체(176)가 밸브체 부세 스프링(267)과 걸어 맞춤하는 부분에는, 밸브체 부세 스프링(267)으로부터의 힘을 받는, 대략 평탄한 스프링 수취부(285)와 그 스프링 수취부(285)로부터 밸브체 부세 스프링 쪽을 향하여 끝이 가느다란 테이퍼 형상으로 연장된 원뿔 볼록부(286)로 구성된 선단 걸어 맞춤부(287)가 형성되어 있다. 그 원뿔 볼록부(286)의 기단부는 밸브체 부세 스프링(267)의 내경과 거의 동일한 외경을 갖고 있다. 또한, 덮개(190)가 밸브체 부세 스프링(267)과 걸어 맞춤되는 부분에는, 밸브체 부세 스프링(267)으로부터의 힘을 받는, 대략 평탄한 스프링 수취부(288)와 그 스프링 수취부로부터 밸브체 부세 스프링 측을 향하여 테이퍼 형상으로 개방된 원뿔 오목부(289)로 구성된 기단 걸어 맞춤부(290)가 형성되어 있다. 그 원뿔 오목부(289)의 기단부는 밸브체 부세 스프링(267)의 외경과 거의 동일한 내경을 갖고 있다. 또, 원뿔 오목부(289) 대신, 원형 오목홈(273)의 내측에 밸브체 부세 스프링(267)의 내측과 동일한 덮개 측 원뿔 볼록부(289k)를 형성하도록 하여도 좋다.

이러한 구성에서는, 밸브체 부세 스프링(267)의 교환 작업에 의해 밸브체 부세 스프링(267)을 밸브체(176)에 대하여 걸어 맞춤할 때에, 밸브체 부세 스프링(267)을 상기 원뿔 볼록부(286)의 테이퍼를 따라 밀어 넣음으로써 밸브체(176)와 밸브체 부세 스프링(267)의 상대 위치 정밀도를 용이하게 확보할 수 있다. 마찬가지로, 덮개(190)를 밸브체 부세 스프링(267)에 걸어 맞춤할 때에도, 기단부 걸어 맞춤부(290)의 형상에 의해, 덮개(190)와 밸브체 부세 스프링(267)의 상대 위치 정밀도를 용이하게 확보할 수 있다.

또, 본 발명에 있어서는, 덮개(190)의 기단부 걸어 맞춤부(290) 대신, 또는 밸브체(176)의 선단 걸어 맞춤부(287) 대신, 덮개(190)나 밸브체(176)를 밸브체 부세 스프링(267)에 대하여 용접이나 접착에 의해 연결하여도 좋다. 또한, 상기 원뿔 볼록부(286)의 선단에 바깥쪽으로 약간 돌출되는 환상 돌출부를 마련하는 동시에 상기 덮개측 원뿔 볼록부(289k)에도 동일한 환상 돌출부를 마련하면, 용접 등에 관계없이, 밸브체(176)와 밸브체 부세 스프링(267), 또는 덮개(190)와 밸브체 부세 스프링(267)을 연결하는 것도 가능하다.

이러한 구성에서는, 밸브체 부세 스프링(267)의 교환 작업에서, 덮개(190)를 하우징 본체(192)로부터 분리하는 것에 의해 밸브체 부세 스프링(267)도 동시에 밸브체(176)로부터 분리할 수 있다. 그 결과, 교환 작업을 단시간에 완결할 수 있다. 또한, 덮개(190)와 밸브체 부세 스프링(267)의 상대 위치 정밀도도 확보할 수 있다.

상기 제 2 변형예에서는, 덮개(190)와 밸브체 부세 스프링(267)을 연결한 형태에 대해 설명하였지만, 밸브체 부세 스프링(267)과 밸브체(176)를 연결한 형태, 또한, 덮개(190)와 밸브체 부세 스프링(267)과 밸브체(176)의 3 부재를 연결한 형태로도 동일한 효과를 얻을 수 있다.

다음에, 도 12를 참조하여, 실시예 2를 설명한다. 이 실시예에서는 부압 유지 스프링(268)을 교환 가능하게 한 것으로, 이후의 설명에서는 실시예 1과 상이한 부분만 설명한다. 또, 이 실시예는, 서로 다른 비중의 기능액을 도입하는 것에 기인하는 제 1 챔버(172)와 제 2 챔버(173)의 압력차의 변화를 부압 유지 스프링(268)의 스프링력을 적정한 것으로 교환함으로써 대응하기 때문에, 상기 착탈이 자유로운 덮개(190)를 반드시 필요로 하지는 않는다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 다이어프램(175)은 필요한 인장력을 유지한 상태로 링 플레이트(193)와 다이어프램 홀더(278) 사이에 접시 나사(276)에 의해 고정되어, 일체화되어 있다. 또한, 다이어프램(175) 및 다이어프램 홀더(278)과 일체화된 링 플레이트(193)는, 접시 나사(275)에 의해, 하우징 본체 환상 홈(251)에 부설된 패킹(197)을 통해 하우징 본체(192)에 착탈이 자유롭게 장착되어 있다. 또, 하우징 본체(192)에는, 다이어프램 홀더용 원형 오목 홈(279)이 형성되어, 다이어프램 홀더(278)을 은폐하고 있다.

이 구성에서는, 서로 다른 비중의 기능액으로 묘화하는 경우에는, 접시 나사(275)에 의해 다이어프램(175) 및 다이어프램 홀더(278)과 일체화된 링 플레이트(193)를 분리함으로써, 기능액의 비중에 대응하여 스프링력을 갖는 부압 유지 스프 링(268)으로 교환할 수 있다. 또한, 그 때, 다이어프램(175)의 장력(tension) 조정을 필요로 하지 않는다. 또, 지그 등에 의해 다이어프램(175)의 장력 조정을 용이하게 실행할 수 있는 경우에는, 실시예 1의 구성에서, 링 플레이트(193) 및 다이어프램(175)을 제거하고 부압 유지 스프링(268)을 교환하는 것도 가능하다.

다음에, 도 13, 도 14, 도 15를 참조하여, 실시예 3의 압력 조정 밸브(161)에 대해 상세히 설명한다. 이 압력 조정 밸브(161)도, 밸브 하우징(171) 내에, 기능액 탱크(91)에 연결되는 제 1 챔버(172)와, 기능 액적 토출 헤드(41)에 연결되는 제 2 챔버(173)와, 제 1 챔버(172) 및 제 2 챔버(173)를 연결하는 연결 유로(174)를 형성한 것으로, 제 2 챔버(1731)의 면에는 외부에 면하여 다이어프램(175)이 마련되고, 연결 유로(174)에는 다이어프램(175)에 의해 개폐 동작하는 밸브체(176)가 마련되어 있다. 기능액 탱크(91)로부터 제 1 챔버(172)에 도입된 기능액은 제 2 챔버(173)를 통해 기능 액적 토출 헤드(41)에 공급되는데, 그 때, 다이어프램(175)에 의해 대기압을 조정 기준 압력으로 하여, 연결 유로(174)에 마련한 밸브체(176)를 개폐 동작시킴으로써 제 2 챔버(173)의 압력 조정을 하도록 되어 있다.

이 압력 조정 밸브(161)의 밸브 하우징(171)은 내부에 제 1 챔버(172)를 형성한 제 1 챔버 하우징(294)과, 내부에 제 2 챔버(173)를 형성한 제 2 챔버 하우징(295)과 제 2 챔버 하우징(295)에 다이어프램(175)을 고정하는 링 플레이트(193)와의 3 부재로 구성되어 있다. 제 1 챔버 하우징(294), 제 2 챔버 하우징(295) 및 링 플레이트(193)는 제 2 챔버 하우징(295)에 대하여, 앞뒤에서 링 플레이트(193) 및 제 1 챔버 하우징(294)을 포개어, 복수개의 계단형 평행 핀 등으로 각각 위치 결정한 후, 나사 고정되어 있다. 그리고, 제 1 챔버 하우징(294) 및 제 2 챔버 하우징(295)은 O 링(196)을 통해 서로 기밀하게 접합되고, 제 2 챔버 하우징(295) 및 링 플레이트(193)는 다이어프램(175)의 가장자리부 및 패킹(197)을 끼워 넣어 서로 기밀하게 접합되어 있다.

또한, 제 1 챔버 하우징(294)의 배면 상부에 형성한 상부 보스부(198)에는, 기능액 탱크(91)에 연결되어 있는 유입 포트(201) 및 제 1 챔버 에어 제거 포트(202)가 형성되어 있다. 제 1 챔버 에어 제거 포트(202)는 상하 방향으로 연장되어 있으며, 유입 포트(201)는 비스듬히 연장되어 있다. 유입 포트(201)의 상류단은 유입 커넥터(182)에 연결하고, 하류단은 제 1 챔버(172)에 연결하고 있다.

제 2 챔버 하우징(295)에는, 다이어프램(175)을 장착하기 위한 전면(前面)을 개방한 제 2 챔버(173)의 주 챔버(221)와 주 챔버(221)에 연결되는 스프링 챔버(222)와, 스프링 챔버(222)와 제 1 챔버(172)를 연결하는 상기 연결 유로(174)가 형성되어 있다.

제 2 챔버(173)(주 챔버(221))에는, 제 2 챔버 에어 제거 포트(231)(제 2 챔버 쪽 에어 제거부) 및 유출 포트(241)가 상하로 연결되어 있다. 유출 포트(241)는 제 2 챔버 하우징(295)의 배면 하부에 위치하여 전후 방향 비스듬히 연장되어 있으며, 하류단에는 유출 커넥터(183)가 나사 결합되어 있다.

다이어프램(175)은 수지 필름으로 구성한 다이어프램 본체(252)와, 다이어프램 본체(252)의 내측에 접착한 수지성의 수압판(253)으로 구성되어 있다. 다이어프램(175)은 이것에 외측으로부터 첨설(添設)한 패킹(197)과 함께 링 플레이트 (193)에 의해 제 2 챔버 하우징(295)의 전면(前面)에 기밀하게 고정된다.

밸브체(176)는 원판 형상의 밸브체 본체(261)와, 밸브체 본체(261)의 중심으로부터 단면적 「T」자 형상을 하도록 한 방향으로 연장되는 축부(262)와, 밸브체 본체(261)의 축부 쪽(전면)에 마련한(접착한) 환상의 밸브 밀봉부(263)으로 구성되어 있다. 밸브체 본체(261) 및 축부(262)는 스테인리스 등의 내식 재료로 일체적으로 형성되어 있고, 밸브체 본체(261)의 전면(前面)에는, 축부(262)의 외측에 위치하고 환상인 소돌기(264)가 형성되어 있다. 밸브 밀봉부(263)은, 예컨대, 연질의 실리콘 고무로 구성되고, 그 전면에는, 상기 소돌기(264)에 대응하여, 환상의 돌기로 되는 밀봉 돌기(265)가 돌설되어 있다.

그리고, 축부(262)는, 연결 유로(174)에 슬라이드 자유롭게 삽입되고, 밸브 폐쇄 상태에서 그 선단(전단)이 중립 위치에 있는 다이어프램(175)의 수압판(253)에 접촉하고 있다. 즉, 다이어프램(175)이 외측을 향해 팽창되는 플러스 변형의 상태에서는, 축부(262)의 전단과 수압판(253) 사이에는 소정의 간격이 발생하고 있고, 이 상태로부터 다이어프램(175)이 마이너스 쪽으로 변형해 가면, 링 플레이트(193)와 평행한 중립 상태에서 축부(262)의 전단과 수압판(253)이 접촉하고, 또한 다이어프램(175)의 마이너스 변형이 진행되면, 수압판(253)이 축부(262)를 통해 밸브체 본체(261)를 눌러 밸브 개방시키는 것으로 된다.

한편, 밸브체(176)의 배면과 제 1 챔버(172)의 후면벽 사이에는, 밸브체(176)를 제 2 챔버(173) 쪽, 즉 밸브 폐쇄 방향으로 가압하는 밸브체 부세 스프링(267)이 개재되어 마련되어 있다.

이러한 구성에서는, 제 2 챔버 하우징(295)에 대하여 제 1 챔버 하우징(294)이 착탈이 자유롭게 나사 고정되어 있기 때문에, 서로 다른 비중의 기능액으로 묘화하는 경우에는, 제 1 챔버 하우징(294)을 제 2 챔버 하우징(295)으로부터 분리하여 밸브체 부세 스프링(267)을 기능액의 비중에 대응한 스프링력을 구비한 것으로 교환할 수 있다.

다음에, 본 실시예의 묘화 장치(1)를 이용하여 제조되는 전기 광학 장치(플랫 패널 디스플레이(flat-panel display))로서, 컬러 필터, 액정 표시 장치, 유기 EL 장치, 플라즈마 디스플레이(PDP 장치), 전자 방출 장치(FED 장치, SED 장치), 또한 이들 표시 장치에 형성되어 이루어지는 액티브 매트릭스 기판 등을 예로 들어, 이들의 구조 및 그 제조 방법에 대해 설명한다. 또, 액티브 매트릭스 기판이란, 박막 트랜지스터, 및 박막 트랜지스터에 전기적으로 접속하는 소스선, 데이터선이 형성된 기판을 말한다.

우선, 액정 표시 장치나 유기 EL 장치 등에 내장되는 컬러 필터의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 17은 컬러 필터의 제조 공정을 나타내는 흐름도, 도 18은 제조 공정 순으로 나타낸 본 실시예의 컬러 필터(500)(필터 기체(基體)(500A))의 모식 단면도이다.

우선, 블랙 매트릭스 형성 공정(S51)에서는, 도 18(a)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)(501) 상에 블랙 매트릭스(502)를 형성한다. 블랙 매트릭스(502)는 금속 크롬, 금속 크롬과 산화 크롬의 적층체, 또는 수지 블랙 등에 의해 형성된다. 금속 박막으로 이루어지는 블랙 매트릭스(502)를 형성하기 위해서는, 스퍼터법이나 증착법 등을 이용할 수 있다. 또한, 수지 박막으로 이루어지는 블랙 매트릭스(502)를 형성하는 경우에는, 그라비아 인쇄법, 포토레지스트법, 열 전사법 등을 이용할 수 있다.

계속해서, 뱅크 형성 공정(S52)에 있어서, 블랙 매트릭스(502) 상에 중첩되는 상태로 뱅크(503)를 형성한다. 즉, 우선 도 18(b)에 나타내는 바와 같이, 기판(501) 및 블랙 매트릭스(502)를 덮도록 네거티브형의 투명한 감광성 수지로 이루어지는 레지스트층(504)을 형성한다. 그리고, 그 상면을 매트릭스 패턴 형상으로 형성된 마스크 필름(505)으로 피복한 상태로 노광 처리를 한다.

또한, 도 18(c)에 나타내는 바와 같이, 레지스트층(504)의 미(未) 노광 부분을 에칭 처리함으로써 레지스트층(504)을 패터닝하여, 뱅크(503)를 형성한다. 또, 수지 블랙에 의해 블랙 매트릭스를 형성하는 경우에는, 블랙 매트릭스와 뱅크를 겸용하는 것이 가능하게 된다.

이 뱅크(503)와 그 아래의 블랙 매트릭스(502)는 각 화소 영역(507a)을 구획하는 구획 벽부(507b)로 되어, 이후의 착색층 형성 공정에서 기능 액적 토출 헤드(41)에 의해 착색층(성막부)(508R, 508G, 508B)을 형성할 때에 기능 액적의 착탄(着彈) 영역을 규정한다.

이상의 블랙 매트릭스 형성 공정 및 뱅크 형성 공정을 거치는 것에 의해, 상기 필터 기체(500A)가 얻어진다.

또, 본 실시예에 있어서는, 뱅크(503)의 재료로서, 도포막 표면이 소액(疏液)(소수(疏水))성으로 되는 수지 재료를 이용하고 있다. 그리고, 기판(유리 기 판)(501)의 표면이 친액(친수)성이기 때문에, 후술하는 착색층 형성 공정에서 뱅크(503)(구획 벽부(507b))에 둘러싸인 각 화소 영역(507a) 내로의 액적의 착탄 위치 정밀도가 향상된다.

다음에, 착색층 형성 공정(S53)에서는, 도 18(d)에 나타내는 바와 같이, 기능 액적 토출 헤드(41)에 의해 기능 액적을 토출하여 구획 벽부(507b)에 의해 둘러싸인 각 화소 영역(507a) 내에 착탄시킨다. 이 경우, 기능 액적 토출 헤드(41)를 이용하여, R·G·B 3색의 기능액(필터 재료)을 도입하여, 기능 액적을 토출한다. 또, R·G·B 3색의 배열 패턴으로서는, 스트라이프 배열, 모자이크 배열 및 델타 배열 등이 있다.

그 후, 건조 처리(가열 등의 처리)를 통해 기능액을 정착시켜, 3색의 착색층(508R, 508G, 508B)을 형성한다. 착색층(508R, 508G, 508B)을 형성했으면, 보호막 형성 공정(S54)으로 이행하여, 도 18(e)에 나타내는 바와 같이, 기판(501), 구획 벽부(507b) 및 착색층(508R, 508G, 508B)의 상면을 덮도록 보호막(50g)을 형성한다.

즉, 기판(501)의 착색층(508R, 508G, 508B)이 형성되어 있는 면 전체에 보호막용 도포액이 토출된 후, 건조 처리를 통해 보호막(509)이 형성된다.

그리고, 보호막(509)을 형성한 후, 컬러 필터(500)는 다음 공정의 투명 전극으로 되는 IT0(Indium Tin 0xide) 등의 막 부착 공정으로 이행한다.

도 19는 상기 컬러 필터(500)를 이용한 액정 표시 장치의 일례로서의 패시브 매트릭스형 액정 장치(액정 장치)의 개략 구성을 나타내는 주요부 단면도이다. 이 액정 장치(520)에, 액정 구동용 IC, 백 라이트, 지지체 등의 부대 요소를 장착함으로써, 최종 제품으로서의 투과형 액정 표시 장치를 얻을 수 있다. 또, 컬러 필터(500)는 도 18에 도시한 것과 동일하기 때문에, 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명은 생략한다.

이 액정 장치(520)는, 컬러 필터(500), 유리 기판 등으로 이루어지는 대향 기판(521) 및 이들 사이에 유지된 STN(Super Twisted Nematic) 액정 조성물로 이루어지는 액정층(522)에 의해 개략 구성되어 있고, 컬러 필터(500)를 도면 중 위쪽(관측자 쪽)에 배치하고 있다.

또, 도시하지 않았지만, 대향 기판(521) 및 컬러 필터(500)의 외면(액정층(522) 쪽과는 반대쪽의 면)에는 편광판이 각각 배치되고, 또한 대향 기판(521) 쪽에 위치하는 편광판의 외측에는, 백 라이트가 배치되어 있다.

컬러 필터(500)의 보호막(509) 상(액정층 쪽)에는, 도 19에서 좌우 방향으로 긴 스트립 형상의 제 1 전극(523)이 소정의 간격으로 복수 형성되어 있고, 이 제 1 전극(523)의 컬러 필터(500) 쪽과는 반대쪽의 면을 덮도록 제 1 배향막(524)이 형성되어 있다.

한편, 대향 기판(521)에 있어서의 컬러 필터(500)와 대향하는 면에는, 컬러 필터(500)의 제 1 전극(523)과 직교하는 방향으로 긴 스트립 형상의 제 2 전극(526)이 소정의 간격으로 복수 형성되고, 이 제 2 전극(526)의 액정층(522) 쪽의 면을 덮도록 제 2 배향막(527)이 형성되어 있다. 이들 제 1 전극(523) 및 제 2 전극(526)은 ITO 등의 투명 도전 재료에 의해 형성되어 있다.

액정층(522) 내에 마련된 스페이서(528)는 액정층(522)의 두께(셀 갭)를 일정하게 유지하기 위한 부재이다. 또한, 밀봉재(529)는 액정층(522) 내의 액정 조성물이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위한 부재이다. 또, 제 1 전극(523)의 일단부는 드로잉 배선(523a)으로서 밀봉재(529)의 외측까지 연장되어 있다.

그리고, 제 1 전극(523)과 제 2 전극(526)이 교차하는 부분이 화소이며, 이 화소로 되는 부분에, 컬러 필터(500)의 착색층(508R, 508G, 508B)이 위치하도록 구성되어 있다.

통상의 제조 공정에서는, 컬러 필터(500)에, 제 1 전극(523)의 패터닝 및 제 1 배향막(524)의 도포를 행하여 컬러 필터(500) 쪽의 부분을 작성하는 동시에, 이와는 별도로 대향 기판(521)에, 제 2 전극(526)의 패터닝 및 제 2 배향막(527)의 도포를 행하여 대향 기판(521) 쪽의 부분을 작성한다. 그 후, 대향 기판(521) 쪽의 부분에 스페이서(528) 및 밀봉재(529)를 만들어 넣고, 이 상태로 컬러 필터(500) 쪽의 부분을 접합한다. 이어서, 밀봉재(529)의 주입구로부터 액정층(522)을 구성하는 액정을 주입하고, 주입구를 막는다. 그 후, 양 편광판 및 백 라이트를 적층한다.

실시예의 묘화 장치(1)는, 예컨대 상기 셀 갭을 구성하는 스페이서 재료(기능액)를 도포하는 동시에, 대향 기판(521) 쪽의 부분에 컬러 필터(500) 쪽의 부분을 접합하기 전에, 밀봉재(529)로 둘러싼 영역에 액정(기능액)을 균일하게 도포하는 것이 가능하다. 또한, 상기 밀봉재(529)의 인쇄를, 기능 액적 토출 헤드(41)로 실행하는 것도 가능하다. 또한, 제 1·제 2 양 배향막(524, 527)의 도포를 기능 액적 토출 헤드(41)로 실행하는 것도 가능하다.

도 20은 본 실시예에서 제조한 컬러 필터(500)를 이용한 액정 장치의 제 2 예의 개략 구성을 나타내는 주요부 단면도이다.

이 액정 장치(530)가 상기 액정 장치(520)와 크게 다른 점은 컬러 필터(500)를 도면 중 아래쪽(관측자 쪽과는 반대쪽)에 배치한 점이다.

이 액정 장치(530)는 컬러 필터(500)와 유리 기판 등으로 이루어지는 대향 기판(531) 사이에 STN 액정으로 이루어지는 액정층(532)이 유지되어 개략 구성되어 있다. 또, 도시하지 않았지만, 대향 기판(531) 및 컬러 필터(500)의 외면에는 편광판 등이 각각 배치되어 있다.

컬러 필터(500)의 보호막(509) 상(액정층(532) 쪽)에는, 도면 중 깊이 방향으로 긴 스트립 형상의 제 1 전극(533)이 소정의 간격으로 복수 형성되어 있고, 이 제 1 전극(533)의 액정층(532) 쪽의 면을 덮도록 제 1 배향막(534)이 형성되어 있다.

대향 기판(531)의 컬러 필터(500)와 대향하는 면 상에는, 컬러 필터(500) 쪽의 제 1 전극(533)과 직교하는 방향으로 연장되는 복수의 스트립 형상의 제 2 전극(536)이 소정 간격으로 형성되고, 이 제 2 전극(536)의 액정층(532) 쪽의 면을 덮도록 제 2 배향막(537)이 형성되어 있다.

액정층(532)에는, 이 액정층(532)의 두께를 일정하게 유지하기 위한 스페이서(538)와, 액정층(532) 내의 액정 조성물이 외부로 누출되는 것을 방지하기 위한 밀봉재(539)가 마련되어 있다.

그리고, 상기 액정 장치(520)와 마찬가지로, 제 1 전극(533)과 제 2 전극(536)의 교차하는 부분이 화소이며, 이 화소로 되는 부분에, 컬러 필터(500)의 착색층(508R, 508G, 508B)이 위치하도록 구성되어 있다.

도 21은 본 발명을 적용한 컬러 필터(500)를 이용하여 액정 장치를 구성한 제 3 예를 나타낸 것으로, 투과형의 TFT(Thin Film Transistor)형 액정 장치의 개략 구성을 나타내는 분해 사시도이다.

이 액정 장치(550)는 컬러 필터(500)를 도면 중 위쪽(관측자 쪽)에 배치한 것이다.

이 액정 장치(550)는 컬러 필터(500)와, 이것에 대향하도록 배치된 대향 기판(551)과, 이들 사이에 유지된 도시하지 않은 액정층과, 컬러 필터(500)의 상면 쪽(관측자 쪽)에 배치된 편광판(555)과, 대향 기판(551)의 하면 쪽에 배치된 편광판(도시하지 않음)으로 개략 구성되어 있다.

컬러 필터(500)의 보호막(509)의 표면(대향 기판(551) 쪽의 면)에는 액정 구동용 전극(556)이 형성되어 있다. 이 전극(556)은 ITO 등의 투명 도전 재료로 이루어지며, 후술하는 화소 전극(560)이 형성되는 영역 전체를 덮는 전면(全面) 전극으로 되어 있다. 또한, 이 전극(556)의 화소 전극(560)과는 반대쪽의 면을 덮은 상태로 배향막(557)이 마련되어 있다.

대향 기판(551)의 컬러 필터(500)와 대향하는 면에는 절연층(558)이 형성되어 있고, 이 절연층(558) 상에는, 주사선(561) 및 신호선(562)이 서로 직교하는 상태로 형성되어 있다. 그리고, 이들 주사선(561)과 신호선(562)으로 둘러싸인 영역 내에는 화소 전극(560)이 형성되어 있다. 또, 실제의 액정 장치에서는, 화소 전극(560) 상에 배향막이 마련되지만, 도시를 생략하고 있다.

또한, 화소 전극(560)의 절결부와 주사선(561)과 신호선(562)으로 둘러싸인 부분에는, 소스 전극, 드레인 전극, 반도체, 및 게이트 전극을 구비하는 박막 트랜지스터(563)가 내장되어 구성되어 있다. 그리고, 주사선(561)과 신호선(562)에 대한 신호의 인가에 의해 박막 트랜지스터(563)를 온·오프하여 화소 전극(560)으로의 통전 제어를 행할 수 있도록 구성되어 있다.

또, 상기 각 예의 액정 장치(520, 530, 550)는 투과형의 구성으로 하였지만, 반사층 혹은 반투과 반사층을 마련하여, 반사형의 액정 장치 혹은 반투과 반사형 액정 장치로 하는 것도 가능하다.

다음에, 도 22는 유기 EL 장치의 표시 영역(이하, "표시 장치(600)"라고 약칭함)의 주요부 단면도이다.

이 표시 장치(600)는 기판(W)(601) 상에, 회로 소자부(602), 발광 소자부(603) 및 음극(604)이 적층된 상태로 개략 구성되어 있다.

이 표시 장치(600)에 있어서는, 발광 소자부(603)로부터 기판(601) 쪽에 발생한 광이 회로 소자부(602) 및 기판(601)을 투과하여 관측자 쪽으로 출사되는 동시에, 발광 소자부(603)로부터 기판(601)의 반대쪽에 발생한 광이 음극(604)에 의해 반사된 후, 회로 소자부(602) 및 기판(601)을 투과하여 관측자 쪽으로 출사되도록 되어 있다.

회로 소자부(602)와 기판(601) 사이에는 실리콘 산화막으로 이루어지는 하지 보호막(606)이 형성되고, 이 하지 보호막(606) 상(발광 소자부(603) 쪽)에 다결정 실리콘으로 이루어지는 섬 형상의 반도체막(607)이 형성되어 있다. 이 반도체막(607)의 좌우 영역에는, 소스 영역(607a) 및 드레인 영역(607b)이 고농도 양 이온 주입에 의해 각각 형성되어 있다. 그리고, 양 이온이 주입되지 않은 중앙부가 채널 영역(607c)으로 되어 있다.

또한, 회로 소자부(602)에는, 하지 보호막(606) 및 반도체막(607)을 덮는 투명한 게이트 절연막(608)이 형성되고, 이 게이트 절연막(608) 상의 반도체막(607)의 채널 영역(607c)에 대응하는 위치에는, 예컨대 Al, Mo, Ta, Ti, W 등으로 구성되는 게이트 전극(609)이 형성되어 있다. 이 게이트 전극(609) 및 게이트 절연막(608) 상에는, 투명한 제 1 층간 절연막(611a)과 제 2 층간 절연막(611b)이 형성되어 있다. 또한, 제 1, 제 2 층간 절연막(611a, 611b)을 관통하여, 반도체막(607)의 소스 영역(607a), 드레인 영역(607b)에 각각 연결하는 콘택트 홀(612a, 612b)이 형성되어 있다.

그리고, 제 2 층간 절연막(611b) 상에는, ITO 등으로 이루어지는 투명한 화소 전극(613)이 소정의 형상으로 패터닝되어 형성되고, 이 화소 전극(613)은 콘택트 홀(612a)을 통하여 소스 영역(607a)에 접속되어 있다.

또한, 제 1 층간 절연막(611a) 상에는 전원선(614)이 배치되어 있고, 이 전원선(614)은 콘택트 홀(612b)을 통하여 드레인 영역(607b)에 접속되어 있다.

이와 같이, 회로 소자부(602)에는, 각 화소 전극(613)에 접속된 구동용 박막 트랜지스터(615)가 각각 형성되어 있다.

상기 발광 소자부(603)는 복수의 화소 전극(613) 상의 각각에 적층된 기능층(617)과, 각 화소 전극(613) 및 기능층(617) 사이에 구비되고 각 기능층(617)을 구획하는 뱅크부(618)에 의해 개략 구성되어 있다.

이들 화소 전극(613), 기능층(617) 및 기능층(617) 상에 배치된 음극(604)에 의해 발광 소자가 구성되어 있다. 또, 화소 전극(613)은 평면에서 보아 대략 스트립 형상으로 패터닝되어 형성되어 있고, 각 화소 전극(613) 사이에 뱅크부(618)가 형성되어 있다.

뱅크부(618)는, 예컨대, SiO, SiO₂, TiO₂ 등의 무기 재료에 의해 형성되는 무기물 뱅크층(618a)(제 1 뱅크층)과, 이 무기물 뱅크층(618a) 상에 적층되고, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등의 내열성, 내용매성이 우수한 레지스트에 의해 형성되는 단면 사다리꼴 형상의 유기물 뱅크층(618b)(제 2 뱅크층)에 의해 구성되어 있다. 이 뱅크부(618)의 일부는 화소 전극(613)의 가장자리부 상에 올라 탄 상태로 형성되어 있다. 그리고, 각 뱅크부(618)의 사이에는, 화소 전극(613)에 대하여 위쪽을 향해 점차 확장된 개구부(619)가 형성되어 있다.

상기 기능층(617)은 개구부(619) 내에서 화소 전극(613) 상에 적층 상태로 형성된 정공 주입/수송층(617a)과, 이 정공 주입/수송층(617a) 상에 형성된 발광층(617b)에 의해 구성되어 있다. 또, 이 발광층(617b)에 인접하여 그 밖의 기능을 갖는 다른 기능층을 더 형성하여도 좋다. 예컨대, 전자 수송층을 형성하는 것도 가능하다. 정공 주입/수송층(617a)은 화소 전극(613) 쪽으로부터 정공을 수송하여 발광층(617b)에 주입하는 기능을 갖는다. 이 정공 주입/수송층(617a)은 정공 주입/수송층 형성 재료를 포함하는 제 1 조성물(기능액)을 토출함으로써 형성된다. 정공 주입/수송층 형성 재료로서는, 공지(公知)의 재료를 이용한다.

발광층(617b)은 적색(R), 녹색(G), 또는 청색(B) 중 어느 하나로 발광하는 것으로, 발광층 형성 재료(발광 재료)를 포함하는 제 2 조성물(기능액)을 토출함으로써 형성된다. 제 2 조성물의 용매(비극성 용매)로서는, 정공 주입/수송층(617a)에 대하여 불용(不溶)인 공지의 재료를 이용하는 것이 바람직하고, 이러한 비극성 용매를 발광층(617b)의 제 2 조성물에 이용하는 것에 의해, 정공 주입/수송층(617a)을 재용해시키는 일 없이 발광층(617b)을 형성할 수 있다.

그리고, 발광층(617b)에서는, 정공 주입/수송층(617a)으로부터 주입된 정공과, 음극(604)으로부터 주입되는 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하도록 구성되어 있다.

음극(604)은 발광 소자부(603)의 전면을 덮는 상태로 형성되어 있고, 화소 전극(613)과 쌍으로 되어 기능층(617)에 전류를 흘리는 역할을 담당한다. 또, 이 음극(604)의 상부에는 도시하지 않은 밀봉 부재가 배치된다.

다음에, 상기 표시 장치(600)의 제조 공정을 도 23 내지 도 31을 참조하여 설명한다. 이 표시 장치(600)는, 도 23에 나타내는 바와 같이, 뱅크부 형성 공정(S61), 표면 처리 공정(S62), 정공 주입/수송층 형성 공정(S63), 발광층 형성 공정(S64) 및 대향 전극 형성 공정(S65)을 통해 제조된다. 또, 제조 공정은 예시하는 것에 한정되는 것이 아니라, 필요에 따라 그 밖의 공정이 제외되는 경우, 또는 추 가되는 경우도 있다.

우선, 뱅크부 형성 공정(S61)에서는, 도 24에 나타내는 바와 같이, 제 2 층간 절연막(611b) 상에 무기물 뱅크층(618a)을 형성한다. 이 무기물 뱅크층(618a)은 형성 위치에 무기물막을 형성한 후, 이 무기물막을 포토리소그래피 기술 등에 의해 패터닝함으로써 형성된다. 이 때, 무기물 뱅크층(618a)의 일부는 화소 전극(613)의 가장자리부와 겹치도록 형성된다.

무기물 뱅크층(618a)을 형성했으면, 도 25에 나타내는 바와 같이, 무기물 뱅크층(618a) 상에 유기물 뱅크층(618b)을 형성한다. 이 유기물 뱅크층(618b)도 무기물 뱅크층(618a)과 마찬가지로 포토리소그래피 기술 등에 의해 패터닝하여 형성된다. 이렇게 하여 뱅크부(618)가 형성된다. 또한, 이것에 수반하여, 각 뱅크부(618) 사이에는, 화소 전극(613)에 대하여 위쪽으로 개구된 개구부(619)가 형성된다. 이 개구부(619)는 화소 영역을 규정한다.

표면 처리 공정(S62)에서는, 친액화 처리 및 발액화(撥液化) 처리가 행해진다. 친액화 처리를 실시하는 영역은 무기물 뱅크층(618a)의 제 1 적층부(618aa) 및 화소 전극(613)의 전극면(613a)이며, 이들 영역은, 예컨대, 산소를 처리 가스로 하는 플라즈마 처리에 의해서 친액성으로 표면 처리된다. 이 플라즈마 처리는 화소 전극(613)인 ITO의 세정 등도 겸하고 있다.

또한, 발액화 처리는 유기물 뱅크층(618b)의 벽면(618s) 및 유기물 뱅크층(618b)의 상면(618t)에 실시되며, 예컨대 4불화메탄을 처리 가스로 하는 플라즈마 처리에 의해 표면이 불화 처리(발액성으로 처리)된다.

이 표면 처리 공정을 하는 것에 의해, 기능 액적 토출 헤드(41)를 이용하여 기능층(617)을 형성할 때에, 기능 액적을 화소 영역에, 보다 확실하게 착탄시킬 수 있고, 또한, 화소 영역에 착탄한 기능 액적이 개구부(619)로부터 넘쳐 나가는 것을 방지할 수 있게 된다.

그리고, 이상의 공정을 거치는 것에 의해, 표시 장치 기체(基體)(600A)가 얻어진다. 이 표시 장치 기체(600A)는 도 1에 나타낸 묘화 장치(1)의 세트 테이블(23)에 탑재되어, 이하의 정공 주입/수송층 형성 공정(S63) 및 발광층 형성 공정(S64)이 행해진다.

도 26에 나타내는 바와 같이, 정공 주입/수송층 형성 공정(S63)에서는, 기능 액적 토출 헤드(41)로부터 정공 주입/수송층 형성 재료를 포함하는 제 1 조성물을 화소 영역인 각 개구부(619) 내에 토출한다. 그 후, 도 27에 나타내는 바와 같이, 건조 처리 및 열 처리를 하여, 제 1 조성물에 포함되는 극성 용매를 증발시키고, 화소 전극(전극면(613a))(613) 상에 정공 주입/수송층(617a)을 형성한다.

다음에 발광층 형성 공정(S64)에 대하여 설명한다. 이 발광층 형성 공정에서는, 상술한 바와 같이, 정공 주입/수송층(617a)의 재용해를 방지하기 위해, 발광층 형성 시에 이용하는 제 2 조성물의 용매로서, 정공 주입/수송층(617a)에 대하여 불용인 비극성 용매를 이용한다.

그러나, 한편, 정공 주입/수송층(617a)은, 비극성 용매에 대한 친화성이 낮기 때문에, 비극성 용매를 포함하는 제 2 조성물을 정공 주입/수송층(617a) 상에 토출하더라도, 정공 주입/수송층(617a)과 발광층(617b)을 밀착시킬 수 없게 되거 나, 혹은 발광층(617b)을 균일하게 도포할 수 없을 우려가 있다.

그래서, 비극성 용매 및 발광층 형성 재료에 대한 정공 주입/수송층(617a)의 표면의 친화성을 높이기 위해, 발광층 형성 전에 표면 처리(표면 개질 처리)를 하는 것이 바람직하다. 이 표면 처리는 발광층 형성 시에 이용하는 제 2 조성물의 비극성 용매와 동일 용매 또는 이것과 닮은 용매인 표면 개질재를, 정공 주입/수송층(617a) 상에 도포하고, 이것을 건조시킴으로써 실행한다.

이러한 처리를 실시함으로써 정공 주입/수송층(617a)의 표면이 비극성 용매에 친해지기 쉬워져, 이 다음의 공정에서, 발광층 형성 재료를 포함하는 제 2 조성물을 정공 주입/수송층(617a)에 균일하게 도포할 수 있다.

그리고 다음에, 도 28에 나타내는 바와 같이, 각 색 중 어느 하나(도 23)의 예에서는 청색(B))에 대응하는 발광층 형성 재료를 함유하는 제 2 조성물을 기능 액적으로서 화소 영역(개구부(619)) 내에 소정량 주입한다. 화소 영역 내에 주입된 제 2 조성물은 정공 주입/수송층(617a) 상으로 퍼져서 개구부(619) 내에 채워진다. 또, 만일, 제 2 조성물이 화소 영역으로부터 벗어나 뱅크부(618)의 상면(618t) 상에 착탄된 경우에도, 이 상면(618t)은, 상술한 바와 같이, 발액 처리가 실시되어 있기 때문에, 제 2 조성물이 개구부(619) 내에 굴러 들어오기 쉽게 되어 있다.

그 후, 건조 공정 등을 실시함으로써, 토출 후의 제 2 조성물을 건조 처리하고, 제 2 조성물에 포함되는 비극성 용매를 증발시켜, 정공 주입/수송층(617a) 상에 발광층(617b)이 형성된다. 이 도면의 경우, 청색(B)에 대응하는 발광층(617b) 이 형성되어 있다.

마찬가지로, 기능 액적 토출 헤드(41)를 이용하여, 도 30에 나타내는 바와 같이, 상기한 청색(B)에 대응하는 발광층(617b)의 경우와 동일한 공정을 순차적으로 실행하여, 다른 색(적색(R) 및 녹색(G))에 대응하는 발광층(617b)을 형성한다. 또, 발광층(617b)의 형성 순서는 예시한 순서에 한정되는 것이 아니라, 어떠한 순서로 형성하더라도 좋다. 예컨대, 발광층 형성 재료에 따라 형성하는 순서를 정하는 것도 가능하다. 또한, R·G·B의 3색의 배열 패턴으로서는, 스트라이프 배열, 모자이크 배열 및 델타 배열 등이 있다.

이상과 같이 하여, 화소 전극(613) 상에 기능층(617), 즉, 정공 주입/수송층(617a) 및 발광층(617b)이 형성된다. 그리고, 대향 전극 형성 공정(S65)으로 이행한다.

대향 전극 형성 공정(S65)에서는, 발광층(617b) 및 유기물 뱅크층(618b)의 전면(全面)에 음극(604)(대향 전극)을, 예컨대, 증착법, 스퍼터법, CVD법 등에 의해 형성한다. 이 음극(604)은, 본 실시예에 있어서는, 예컨대, 칼슘층과 알루미늄층이 적층되어 구성되어 있다.

이 음극(604)의 상부에는, 전극으로서의 Al막, Ag막이나, 그 산화 방지를 위한 SiO₂, SiN 등의 보호층이 적절히 마련된다.

이렇게 하여 음극(604)을 형성한 후, 이 음극(604)의 상부를 밀봉 부재에 의해 밀봉하는 밀봉 처리나 배선 처리 등의 기타 처리 등을 실시함으로써, 표시 장치 (600)가 얻어진다.

다음에, 도 32는 플라즈마형 표시 장치(PDP 장치 : 이하, "표시 장치(700)"라고 약칭함)의 주요부 분해 사시도이다. 또, 동 도면에서는 표시 장치(700)를 그 일부를 절결한 상태로 나타내고 있다.

이 표시 장치(700)는 서로 대향하여 배치된 제 1 기판(701), 제 2 기판(702) 및 이들 사이에 형성되는 방전 표시부(703)를 포함하여 대략 형성된다. 방전 표시부(703)는 복수의 방전실(705)에 의해 구성되어 있다. 이들 복수의 방전실(705) 중, 적색 방전실(705R), 녹색 방전실(705G), 청색 방전실(705B)의 3개의 방전실(705)이 조(組)를 이뤄 1개의 화소를 구성하도록 배치되어 있다.

제 1 기판(701)의 상면에는 소정의 간격으로 줄무늬 형상으로 어드레스 전극(706)이 형성되고, 이 어드레스 전극(706)과 제 1 기판(701)의 상면을 덮도록 유전체층(707)이 형성되어 있다. 유전체층(707) 상에는, 각 어드레스 전극(706) 사이에 위치하고, 또한 각 어드레스 전극(706)을 따르도록 격벽(708)이 세워져 있다. 이 격벽(708)은, 도시하는 바와 같이, 어드레스 전극(706)의 폭 방향 양측으로 연장되는 것과, 어드레스 전극(706)과 직교하는 방향으로 연장된 도시하지 않은 것을 포함한다.

그리고, 이 격벽(708)에 의해 구획된 영역이 방전실(705)로 되어 있다.

방전실(705) 내에는 형광체(709)가 배치되어 있다. 형광체(709)는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 중 어느 한 색의 형광을 발광하는 것으로, 적색 방전실(705R)의 바닥부에는 적색 형광체(709R)가, 녹색 방전실(705G)의 바닥부에는 녹색 형광체 (709G)가, 청색 방전실(705B)의 바닥부에는 청색 형광체(709B)가 각각 배치되어 있다.

제 2 기판(702)의 도면 중 하측의 면에는, 상기 어드레스 전극(706)과 직교하는 방향으로 복수의 표시 전극(711)이 소정의 간격으로 줄무늬 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 이들을 덮도록 유전체층(712) 및 MgO 등으로 이루어지는 보호막(713)이 형성되어 있다.

제 1 기판(701)과 제 2 기판(702)은 어드레스 전극(706)과 표시 전극(711)이 서로 직교하는 상태로 대향시켜 접합되어 있다. 또, 상기 어드레스 전극(706)과 표시 전극(711)은 도시하지 않은 교류 전원에 접속되어 있다.

그리고, 각 전극(706, 711)에 통전(通電)함으로써, 방전 표시부(703)에서 형광체(709)가 여기 발광하여, 컬러 표시가 가능해진다.

본 실시예에 있어서는, 상기 어드레스 전극(706), 표시 전극(711) 및 형광체(709)를 도 1에 도시한 묘화 장치(1)를 이용하여 형성할 수 있다. 이하, 제 1 기판(701)에 있어서의 어드레스 전극(706)의 형성 공정을 예시한다.

이 경우, 제 1 기판(701)을 묘화 장치(1)의 세트 테이블(23)에 탑재된 상태로 이하의 공정이 행해진다.

우선, 기능 액적 토출 헤드(41)에 의해, 도전막 배선 형성용 재료를 함유하는 액체 재료(기능액)를 기능 액적으로 하여 어드레스 전극 형성 영역에 착탄시킨다. 이 액체 재료는 도전막 배선 형성용 재료로서, 금속 등의 도전성 미립자를 분산매로 분산시킨 것이다. 이 도전성 미립자로서는, 금, 은, 동, 팔라듐, 또는 니 켈 등을 함유하는 금속 미립자나, 도전성 폴리머 등이 이용된다.

보충 대상으로 되는 모든 어드레스 전극 형성 영역에 대하여 액체 재료의 보충이 종료되었으면, 토출 후의 액체 재료를 건조 처리하여, 액체 재료에 포함되는 분산매를 증발시킴으로써 어드레스 전극(706)이 형성된다.

그런데, 상기에 있어서는 어드레스 전극(706)의 형성을 예시하였지만, 상기 표시 전극(711) 및 형광체(709)에 관해서도 상기 각 공정을 거치는 것에 의해 형성할 수 있다.

표시 전극(711)의 형성의 경우, 어드레스 전극(706)의 경우와 마찬가지로, 도전막 배선 형성용 재료를 함유하는 액체 재료(기능액)를 기능 액적으로 하여 표시 전극 형성 영역에 착탄시킨다.

또한, 형광체(709)의 형성의 경우에는, 각 색(R, G, B)에 대응하는 형광 재료를 포함한 액체 재료(기능액)를 기능 액적 토출 헤드(41)로부터 액적으로서 토출해, 대응하는 색의 방전실(705) 내에 착탄시킨다.

다음에, 도 33은 전자 방출 장치("FED 장치" 혹은 "SED 장치"라고도 함 : 이하, "표시 장치(800)"라고 약칭함)의 주요부 단면도이다. 또, 동 도면에서는 표시 장치(800)를, 그 일부를 단면으로 하여 도시하고 있다.

이 표시 장치(800)는 서로 대향하여 배치된 제 1 기판(801), 제 2 기판(802) 및 이들 사이에 형성되는 전계 방출 표시부(803)를 포함하여 개략 구성된다. 전계 방출 표시부(803)는 매트릭스 형상으로 배치한 복수의 전자 방출부(805)에 의해 구성되어 있다.

제 1 기판(801)의 상면에는, 캐소드 전극(806)을 구성하는 제 1 소자 전극(806a) 및 제 2 소자 전극(806b)이 서로 직교하도록 형성되어 있다. 또한, 제 1 소자 전극(806a) 및 제 2 소자 전극(806b)에 의해 구획된 부분에는, 갭(808)을 형성한 도전성막(807)이 형성되어 있다. 즉, 제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b) 및 도전성막(807)에 의해 복수의 전자 방출부(805)가 구성되어 있다. 도전성막(807)은, 예컨대, 산화팔라듐(PdO) 등으로 구성되며, 또한 갭(808)은 도전성막(807)을 성막한 후, 포밍(forming) 등에 의해 형성된다.

제 2 기판(802)의 하면에는, 캐소드 전극(806)에 대치되는 애노드 전극(809)이 형성되어 있다. 애노드 전극(809)의 하면에는, 격자 형상의 뱅크부(811)가 형성되고, 이 뱅크부(811)로 둘러싸인 하향의 각 개구부(812)에, 전자 방출부(805)에 대응하도록 형광체(813)가 배치되어 있다. 형광체(813)는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 중 어느 한 색의 형광을 발광하는 것으로, 각 개구부(812)에는, 적색 형광체(813R), 녹색 형광체(813G) 및 청색 형광체(813B)가 상기 소정 패턴으로 배치되어 있다.

그리고, 이와 같이 구성한 제 1 기판(801)과 제 2 기판(802)은 미소한 간극을 두고 접합되어 있다. 이 표시 장치(800)에서는, 도전성막(갭(808))(807)을 통해, 음극인 제 1 소자 전극(806a) 또는 제 2 소자 전극(806b)으로부터 뛰쳐나가는 전자를, 양극인 애노드 전극(809)에 형성한 형광체(813)에 접촉시켜 여기 발광하여, 컬러 표시가 가능해진다.

이 경우에도, 다른 실시예와 마찬가지로, 제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b), 도전성막(807) 및 애노드 전극(809)을, 묘화 장치(1)를 이용하여 형성할 수 있는 동시에, 각 색의 형광체(813R, 813G, 813B)를, 묘화 장치(1)를 이용하여 형성할 수 있다.

제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b) 및 도전성막(807)은 도 34(a)에 나타내는 평면 형상을 갖고 있고, 이들을 성막하는 경우에는, 도 34(b)에 나타내는 바와 같이, 미리 제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b) 및 도전성막(807)을 만들어 넣을 부분을 남기고, 뱅크부 BB를 형성(포토리소그래픽법)한다. 다음에, 뱅크부 BB에 의해 구성된 홈 부분에, 제 1 소자 전극(806a) 및 제 2 소자 전극(806b)을 형성(묘화 장치(1)에 의한 잉크젯법)하고, 그 용제를 건조시켜 성막한 후, 도전성막(807)을 형성(묘화 장치(1)에 의한 잉크젯법)한다. 그리고, 도전성막(807)을 성막한 후, 뱅크부 BB를 제거하고(애싱 박리 처리), 상기 포밍 처리로 이행한다. 또, 상기 유기 EL 장치의 경우와 마찬가지로, 제 1 기판(801) 및 제 2 기판(802)에 대한 친액화 처리나, 뱅크부(811, BB)에 대한 발액화 처리를 하는 것이 바람직하다.

또한, 다른 전기 광학 장치로는, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스트 형성 및 광 확산체 형성 등의 장치를 생각해 볼 수 있다. 상기한 묘화 장치(1)를 각종 전기 광학 장치(디바이스)의 제조에 이용함으로써, 각종 전기 광학 장치를 효율적으로 제조하는 것이 가능하다.

본 발명에 의하면, 내장되는 밸브체 부세 스프링 또는 부압 유지 스프링을 간단히 교환할 수 있는 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims

기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화(描畵)를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 상기 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 상기 기능 액적 토출 헤드에 공급하고, 또한, 상기 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하고, 또한 대기(大氣)에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서,

상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버를 형성한 밸브 하우징과,

상기 연결 유로를 개폐하는 밸브체와,

상기 밸브 하우징의 스프링 수취부(spring receiving portion)를 리시버로 하여 상기 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링

을 구비하되,

상기 밸브 하우징은 하우징 본체와, 상기 스프링 수취부를 갖고, 또한 상기 하우징 본체에 착탈이 자유롭게 장착된 덮개로 구성되며,

상기 밸브체 부세 스프링은 상기 덮개의 이탈과 함께 상기 하우징 본체에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는

것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 1 항에 있어서,

상기 밸브체 부세 스프링과 상기 덮개가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 밸브체는 상기 밸브체 부세 스프링의 이탈에 따라 상기 하우징 본체에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 밸브체 부세 스프링과 상기 밸브체가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 밸브체는 밸브체 본체와, 상기 밸브체 본체에 착탈이 자유롭게 장착된 밸브 밀봉부으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 밸브체 부세 스프링은 코일 스프링으로 구성되고,

상기 밸브체에는, 상기 밸브체 부세 스프링의 상기 밸브체 쪽 선단부가 위치 결정 상태로 걸어 맞춰지는 선단 걸어 맞춤부가 마련되어 있는

것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 덮개에는, 상기 밸브체 부세 스프링의 덮개쪽 기단부(基端部)가 위치 결정 상태로 걸어 맞춰지는 기단 걸어 맞춤부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 상기 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 상기 기능 액적 토출 헤드에 공급하고, 또한, 상기 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하고, 또한 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서,

상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버를 형성하는 밸브 하우징과,

상기 연결 유로를 개폐하는 밸브체와,

상기 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 상기 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링

을 구비하되,

상기 밸브 하우징은 상기 제 2 챔버 및 상기 연결 유로를 형성한 제 2 챔버 하우징과, 상기 스프링 수취부를 갖고, 또한 상기 제 2 챔버 하우징에 착탈이 자유롭게 장착된 제 1 챔버 하우징으로 구성되며,

상기 밸브체 부세 스프링은 상기 제 1 챔버 하우징의 이탈에 따라 상기 제 2 챔버 하우징에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는

것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 상기 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 상기 기능 액적 토출 헤드에 공급하고, 또한, 상기 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하고, 또한 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서,

상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버를 형성하는 밸브 하우징과,

상기 연결 유로를 개폐하는 밸브체와,

상기 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 상기 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링과,

상기 다이어프램을 대기압에 저항하는 방향으로 힘을 가하는 부압(負壓) 유지 스프링

을 구비하되,

상기 다이어프램은 상기 밸브 하우징에 착탈이 자유롭게 장착되고, 상기 부압 유지 스프링은 상기 다이어프램의 이탈에 따라 상기 밸브 하우징에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는

것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
제 9 항에 있어서,

상기 다이어프램을 걸친 상태로 유지하는 다이어프램 홀더를 더 구비하고,

상기 다이어프램은 상기 다이어프램 홀더를 통해 상기 밸브 하우징에 착탈이 자유롭게 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
기능액 탱크와,

상기 기능액 탱크와 기능 액적 토출 헤드를 접속하는 기능액 유로와,

상기 기능액 유로에 개재되어 마련된 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 압력 조정 밸브

를 구비한 것을 특징으로 하는 기능액 공급 장치.
청구항 11에 기재된 기능액 공급 장치와,

상기 기능 액적 토출 헤드와,

워크피스에 대하여 상기 기능 액적 토출 헤드를 상대적으로 이동시키는 이동 수단

을 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
청구항 12에 기재된 묘화 장치를 이용하여, 상기 워크피스 상에 기능 액적에 의한 성막부를 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
청구항 12에 기재된 묘화 장치를 이용하여, 상기 워크피스 상에 기능 액적에 의한 성막부를 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
청구항 13에 기재된 전기 광학 장치의 제조 방법에 의해 제조한 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기.
청구항 14에 기재된 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기.