KR100747914B1 - 압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기 - Google Patents
압력 조정 밸브, 기능액 공급 장치, 묘화 장치, 전기 광학장치 및 그의 제조 방법, 및 전자 기기 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (16)
- 기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화(描畵)를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 상기 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 상기 기능 액적 토출 헤드에 공급하고, 또한, 상기 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하고, 또한 대기(大氣)에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서,상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버를 형성한 밸브 하우징과,상기 연결 유로를 개폐하는 밸브체와,상기 밸브 하우징의 스프링 수취부(spring receiving portion)를 리시버로 하여 상기 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링을 구비하되,상기 밸브 하우징은 하우징 본체와, 상기 스프링 수취부를 갖고, 또한 상기 하우징 본체에 착탈이 자유롭게 장착된 덮개로 구성되며,상기 밸브체 부세 스프링은 상기 덮개의 이탈과 함께 상기 하우징 본체에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 1 항에 있어서,상기 밸브체 부세 스프링과 상기 덮개가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 밸브체는 상기 밸브체 부세 스프링의 이탈에 따라 상기 하우징 본체에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 밸브체 부세 스프링과 상기 밸브체가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 밸브체는 밸브체 본체와, 상기 밸브체 본체에 착탈이 자유롭게 장착된 밸브 밀봉부으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 밸브체 부세 스프링은 코일 스프링으로 구성되고,상기 밸브체에는, 상기 밸브체 부세 스프링의 상기 밸브체 쪽 선단부가 위치 결정 상태로 걸어 맞춰지는 선단 걸어 맞춤부가 마련되어 있는것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 덮개에는, 상기 밸브체 부세 스프링의 덮개쪽 기단부(基端部)가 위치 결정 상태로 걸어 맞춰지는 기단 걸어 맞춤부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 상기 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 상기 기능 액적 토출 헤드에 공급하고, 또한, 상기 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하고, 또한 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서,상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버를 형성하는 밸브 하우징과,상기 연결 유로를 개폐하는 밸브체와,상기 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 상기 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링을 구비하되,상기 밸브 하우징은 상기 제 2 챔버 및 상기 연결 유로를 형성한 제 2 챔버 하우징과, 상기 스프링 수취부를 갖고, 또한 상기 제 2 챔버 하우징에 착탈이 자유롭게 장착된 제 1 챔버 하우징으로 구성되며,상기 밸브체 부세 스프링은 상기 제 1 챔버 하우징의 이탈에 따라 상기 제 2 챔버 하우징에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 기능 액적을 토출하여 워크피스에 묘화를 하기 위한 기능 액적 토출 헤드와 상기 기능 액적 토출 헤드에 기능액을 공급하는 기능액 탱크 사이에 개재되어 마련되고, 상기 기능액 탱크로부터 제 1 챔버에 도입한 기능액을, 제 2 챔버를 통해 상기 기능 액적 토출 헤드에 공급하고, 또한, 상기 제 2 챔버의 하나의 면을 구성하고, 또한 대기에 면한 다이어프램이 받는 대기압을 기준 조정 압력으로 하여, 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 연결 유로를 개폐하는 압력 조정 밸브에 있어서,상기 제 1 챔버 및 상기 제 2 챔버를 형성하는 밸브 하우징과,상기 연결 유로를 개폐하는 밸브체와,상기 밸브 하우징의 스프링 수취부를 리시버로 하여 상기 밸브체를 밸브 폐쇄 방향으로 힘을 가하는 밸브체 부세 스프링과,상기 다이어프램을 대기압에 저항하는 방향으로 힘을 가하는 부압(負壓) 유지 스프링을 구비하되,상기 다이어프램은 상기 밸브 하우징에 착탈이 자유롭게 장착되고, 상기 부압 유지 스프링은 상기 다이어프램의 이탈에 따라 상기 밸브 하우징에 대해 이탈 가능하게 구성되어 있는것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 제 9 항에 있어서,상기 다이어프램을 걸친 상태로 유지하는 다이어프램 홀더를 더 구비하고,상기 다이어프램은 상기 다이어프램 홀더를 통해 상기 밸브 하우징에 착탈이 자유롭게 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 조정 밸브.
- 기능액 탱크와,상기 기능액 탱크와 기능 액적 토출 헤드를 접속하는 기능액 유로와,상기 기능액 유로에 개재되어 마련된 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 압력 조정 밸브를 구비한 것을 특징으로 하는 기능액 공급 장치.
- 청구항 11에 기재된 기능액 공급 장치와,상기 기능 액적 토출 헤드와,워크피스에 대하여 상기 기능 액적 토출 헤드를 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
- 청구항 12에 기재된 묘화 장치를 이용하여, 상기 워크피스 상에 기능 액적에 의한 성막부를 형성하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
- 청구항 12에 기재된 묘화 장치를 이용하여, 상기 워크피스 상에 기능 액적에 의한 성막부를 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
- 청구항 13에 기재된 전기 광학 장치의 제조 방법에 의해 제조한 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기.
- 청구항 14에 기재된 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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