CN1530227A - 电光面板、电子仪器的制造方法及电光面板、电光装置和电子仪器 - Google Patents

电光面板、电子仪器的制造方法及电光面板、电光装置和电子仪器 Download PDF

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Abstract

一种电光面板、电子仪器的制造方法及电光面板、电光装置和电子仪器，液滴喷出头(52)在图中X方向(主扫描方向)往返，其间，以喷嘴(54)的排列宽度H向滤色器基板(10a)上喷出功能液即保护膜材料的液滴。在滤色器基板(10a)上，在副扫描方向(Y方向)，以140μm的间隔涂敷保护膜材料的液滴。此外，在主扫描方向(X方向)，以10μm间隔涂敷保护膜材料的液滴。在一次的扫描中，涂敷保护膜材料后，滤色器基板(10a)只移动喷嘴(54)的排列宽度H，液滴喷出头(52)向下一区域喷出保护膜材料。根据本发明，可抑制功能液的涂敷速度下降。

Description

电光面板、电子仪器的制造方法及电光面板、电光装置和电子仪器
技术领域
本发明涉及通过液滴喷出形成滤色器的保护材料膜的电光面板的制造方法和电子仪器的制造方法、以及电光面板、电光装置和电子仪器。
背景技术
能进行彩色显示的液晶面板等电光面板为了从光源的白光有选择地取出具有给定波长的光，包含具有滤色器的基板。滤色器一般通过由R(Red)、G(Green)、B(Blue)的色素着色的树脂形成。而且，为了保护滤色器，并且使滤色器的表面平滑，在滤色器上形成滤色器保护膜。
以往，滤色器保护膜由以旋转镀膜法为代表的薄膜形成法制作，但是在这样的方法中，要废弃滤色器保护膜材料的90％以上，浪费多。此外，在旋转镀膜法中，由于离心力使液态的滤色器保护膜材料薄膜化，所以滤色器保护膜材料一直附着到滤色器基板的背面，从而需要洗净滤色器基板的背面的工序。而且，它成为使生产性下降的原因。在旋转镀膜法中，由于离心力使液态的滤色器保护膜材料薄膜化，所以难以对应尺寸大的滤色器基板。
因此，在近年，例如专利文献1、2所示，提出通过喷墨(液滴喷出)涂敷滤色器保护膜材料的技术。
根据喷墨法，从喷嘴向必要的地方喷出滤色器保护膜材料，所以几乎不发生材料的浪费。此外，对于滤色器基板上的给定位置能喷出滤色器保护膜材料，所以不需要滤色器基板的背面洗净。进而，如果增大喷墨头的扫描范围，就能对应尺寸大的滤色器基板。
[专利文献1]特开平9-329707号公报
[专利文献2]特开2002-189120号公报
可是，喷墨头从微细的喷嘴喷出液滴。对于主扫描方向(垂直于喷嘴的排列方向)，如果提高喷出的驱动频率，就能以高密度涂敷液滴。可是，在喷嘴的高密度化中存在界限，所以对于喷嘴的排列方向(副扫描方向)，以高密度涂敷液滴时，存在界限。因此，也存在减小副扫描方向的进给量，以高密度涂敷液滴的方法，但是生产性下降。
发明内容
因此，本发明是鉴于所述问题提出的，其目的在于：当通过液滴喷出形成滤色器保护膜、定向膜、绝缘膜等功能膜时，能抑制功能膜形成材料的涂敷速度下降的电光面板的制造方法和电子仪器的制造方法、电光面板、电光装置和电子仪器。
为了实现上述的目的，本发明的电光面板的制造方法的特征在于：在基体材料上形成功能膜时，通过把喷嘴排列在一个方向上的液滴喷出机构使功能液喷出，形成功能膜时，所述喷嘴排列方向上的所述功能液的液滴间隔比垂直于所述喷嘴排列方向的方向上的所述功能液的液滴间隔大。
例如，在把喷出液滴的喷嘴排列在一个方向上的液滴喷出头中，在向垂直于喷嘴排列方向(副扫描方向)的方向(主扫描方向)扫描的过程中，喷出功能液。因为副扫描方向的液滴的间隔依存于喷嘴的间隔，所以当减小间隔时，如果是相同的喷嘴数，则喷嘴的排列宽度也减小。因此，如果减小喷嘴的间隔，则只要不增加喷嘴数，功能液的涂敷速度就变慢。在本发明中，使喷嘴的排列方向上的液滴间隔比垂直于喷嘴的排列方向的方向还大。据此，能不降低功能液的涂敷速度，形成构成电光面板的滤色器的保护膜、定向膜、滤色器等功能膜，所以能提高电光面板的生产性。这里，功能膜是指在电光面板的显示基板上构成的滤色器、滤色器保护膜、定向膜、绝缘膜、液晶、有机EL装置的发光层、地址电极等在构成电光面板时发挥任意功能的薄膜。此外，功能液是指通过液滴喷出形成所述功能膜时，包含构成所述功能膜的材料的液体。
此外，以下发明的电光面板的制造方法，是制造所述电光面板的方法，其特征在于：所述功能液是滤色器的保护膜材料，所述功能膜是滤色器的保护膜；并且该制造方法包含：在基体材料上形成滤色器的滤色器形成工序；通过把喷嘴排列在一个方向上的液滴喷出机构向所述滤色器上涂敷保护膜材料的液滴的保护膜材料涂敷工序；使所述保护膜材料干燥的干燥工序；所述喷嘴排列方向上的所述液滴间隔比垂直于所述喷嘴排列方向的方向上的所述液滴间隔大。
例如，在把喷出液滴的喷嘴排列在一个方向上的液滴喷出头中，在向垂直于喷嘴排列方向(副扫描方向)的方向(主扫描方向)扫描的过程中，喷出保护膜材料。因为副扫描方向上的液滴的间隔依存于喷嘴的间隔，所以当减小间隔时，如果是相同的喷嘴数，喷嘴的排列宽度也减小。因此，如果减小喷嘴的间隔，则只要不增加喷嘴数，则保护膜材料的涂敷速度就变慢。在本发明中，使喷嘴的排列方向上的液滴间隔比垂直于喷嘴排列方向的方向还大。据此，不降低保护膜材料的涂敷速度，就能形成滤色器保护膜，所以能提高电光面板的生产性。
这里，优选保护膜材料对于滤色器的接触角为10度以下。如果这样，则保护膜材料对于滤色器的浸湿性充分提高，所以保护膜材料扩展，与相邻的液滴成为一体。据此，即使让喷嘴的排列方向上的液滴间隔比垂直于喷嘴的排列方向上的还大，也能以均等的膜厚形成滤色器保护膜(以下同样)。
此外，以下发明的电光面板的制造方法，是所述电光面板的制造方法，其特征在于：在所述滤色器形成工序之后，包含：把所述滤色器表面改质，提高所述滤色器表面的浸湿性的表面改质工序。
该发明包含与所述发明同样的结构，所以也取得与所述发明同样的作用和效果。此外，在所述滤色器形成工序之后，包含：把滤色器表面改质，提高滤色器表面的浸湿性的表面改质工序。据此，抑制保护膜的形成不良，能形成均质的滤色器保护膜。结果，能抑制电光面板的显示不良或缺陷等，所以在电光面板的制造中，能提高成品率。
此外，以下发明的电光面板的制造方法，是所述电光面板的制造方法，其特征在于：在形成了所述滤色器的所述基体材料整个面上涂敷所述保护膜材料。
该发明包含与所述发明同样的结构，所以也取得与所述发明同样的作用和效果。此外，在滤色器基板的整个面上涂敷保护膜材料，据此，能容易、均匀地形成比它尺寸还小的芯片上的滤色器保护膜的厚度。结果，能获得厚度均匀的高质量的滤色器保护膜。
此外，以下发明的电光面板的制造方法，是所述电光面板的制造方法，其特征在于：在形成了所述滤色器的所述基体材料中，只在芯片上涂敷所述保护膜材料。
该电光面板的制造方法包含与所述发明同样的结构，所以也获得与所述发明同样的作用和效果。此外，在形成了滤色器的所述母基体材料中，只在芯片上涂敷所述保护膜材料。据此，减少保护膜材料的浪费，能抑制制造成本。
此外，以下发明的电光面板的制造方法，是所述电光面板的制造方法，其特征在于：通过使向所述滤色器上喷出的所述保护膜材料的液滴间隔或液滴的质量中的至少一方变化，控制所述滤色器的膜厚。据此，如果保护膜材料的种类同一，就能容易地控制滤色器保护膜的膜厚。
此外，以下发明的电子仪器的制造方法的特征在于：包括：在基体材料上形成滤色器的滤色器形成工序；把该滤色器表面改质的表面改质工序；通过把喷嘴向一个方向排列的液滴喷出机构向所述滤色器上涂敷包含树脂和溶剂的保护膜材料液滴的保护膜材料涂敷工序；使所述溶剂干燥，形成所述滤色器的保护膜的保护膜形成工序；在形成保护膜后的所述基体材料上安装给定构件或部件，制造电光面板的工序；把安装元件向所述电光面板安装的工序；所述喷嘴排列方向上的所述液滴的间隔比垂直于所述喷嘴排列方向的方向上的所述液滴的间隔大。
该电子仪器的制造方法使喷嘴的排列方向上的液滴间隔比垂直于喷嘴的排列方向的方向上的液滴间隔还大，向滤色器上涂敷保护膜材料。据此，能不降低保护膜材料的涂敷速度，就形成滤色器保护膜，所以能提高电子仪器的生产性。
此外，以下发明的电光面板的特征在于：包括：在进行过表面改质处理的滤色器上按照使第一方向上的液滴间隔和垂直于第一方向的方向上的液滴间隔不同的方式涂敷包含树脂和溶剂的保护膜材料而形成的滤色器基板；与该滤色器基板相对配置的基板；保持在相对配置的所述基板之间的液晶。
该电光面板使喷嘴的排列方向上的液滴间隔比垂直于喷嘴的排列方向还大，向滤色器上涂敷保护膜材料。据此，能不降低保护膜材料的涂敷速度，就能形成滤色器保护膜，所以能提高电光面板的生产性。
此外，以下发明的电光面板的特征在于：具有：在进行过表面改质处理的滤色器上按照使第一方向上的液滴间隔和垂直于该第一方向的方向上的液滴间隔不同的方式，涂敷包含树脂和溶剂的保护膜材料而形成的滤色器基板；把发光元件形成矩阵状的发光装置；在所述发光元件的前面配置所述滤色器基板。
该电光面板使喷嘴的排列方向上的液滴间隔比垂直于喷嘴的排列方向的方向还大，向滤色器上涂敷保护膜材料。据此，能不降低保护膜材料的涂敷速度，就可形成滤色器保护膜，所以能提高在形成矩阵状的发光元件的前面配置滤色器基板的电光面板的生产性。
此外，以下发明的电光装置的特征在于：设有所述的电光面板。因此，能不降低保护膜材料的涂敷速度，就可形成滤色器保护膜，所以能提高电光装置的生产性。
此外，以下发明的电子仪器的特征在于：设有所述的电光装置。因此，能不降低保护膜材料的涂敷速度，就能形成滤色器保护膜，所以能提高电子仪器的生产性。
本发明的电光面板的制造方法和电子仪器的制造方法、电光面板、电光装置和电子仪器在通过液滴喷出形成滤色器保护膜、定向膜、绝缘膜等功能膜时，能抑制所述功能膜形成材料的涂敷速度的下降。
附图说明
下面简要说明附图。
图1是表示本发明的电光面板的构造的局部剖视图。
图2是表示本发明的滤色器基板的局部剖视图。
图3-1是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图3-2是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图3-3是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图3-4是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图3-5是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图3-6是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图3-7是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。
图4是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的程序流程图。
图5-1是表示本发明的液滴喷出装置的说明图。
图5-2是表示本发明的液滴喷出装置的说明图。
图5-3是表示本发明的液滴喷出装置的说明图。
图5-4是表示本发明的液滴喷出装置的说明图。
图5-5是表示本发明的液滴喷出装置的说明图。
图6-1是表示涂敷包保护膜材料的状态的平面图。
图6-2是表示涂敷包保护膜材料的状态的平面图。
图7-1是表示保护膜材料的涂敷图案的说明图。
图7-2是表示保护膜材料的涂敷图案的说明图。
图8是表示实施例2的电光面板和电子仪器的制造方法的程序流程图。
图9是表示实施例2的电光面板的CF基板的说明图。
图10-1是表示实施例3的液滴喷出装置的说明图。
图10-2是表示实施例3的液滴喷出装置的说明图。
图10-3是表示实施例3的液滴喷出装置的说明图。
图11是表示滤色器的制造工序的程序流程图。
图12-1是按制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600的模式剖视图。
图12-2是按制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600的模式剖视图。
图12-3是按制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600的模式剖视图。
图12-4是按制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600的模式剖视图。
图12-5是按制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600的模式剖视图。
图13是表示作为使用滤色器的液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶显示面板的第二例的概略结构的主要局部剖视图。
图14是使用本实施例中制造的滤色器的液晶显示面板第二例的概略结构的主要局部剖视图。
图15表示使用应用本发明的滤色器，构成液晶显示面板的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶显示面板的概略结构的分解立体图。
图16是有机EL显示装置的显示区的主要局部剖视图。
图17是表示有机EL显示装置的制造工序的程序流程图。
图18是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图19是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图20是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图21是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图22是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图23是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图24是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图25是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。
图26是等离子体型显示装置的主要部分分解立体图。
图27是电子发射显示装置的主要局部剖视图。
图28-1是表示第一元件电极、第二元件电极和导电性膜的形状的平面图。
图28-2是表示第一元件电极、第二元件电极和导电性膜的成膜工序的平面图。
符号的说明。
1-基体材料；9-电子仪器；10a-滤色器基板；11-滤色器；20-滤色器保护膜(CF保护膜)；50、50a-液滴喷出装置；52-液滴喷出头；54-喷嘴；54p-喷嘴板；60-台；65-控制装置；100-电光面板。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明。须指出的是，本发明并不由用于实施本发明的最佳实施方式所限定。此外，在以下实施例的构成要素中，包含本领域技术人员能容易想到的要素或实质上同一的要素。
须指出的是，作为本发明的电光面板，能列举出液晶显示面板或DMD(Digital Micromirror Device)显示面板或有机EL(ElectroLuminescence)显示面板。在实施例1～3中，说明使用滤色器的保护膜材料作为功能液，形成作为功能膜的滤色器保护膜的例子。在实施例4中，说明形成其他功能膜的例子。
[实施例1]
图1是表示本发明的电光面板的构造的局部剖视图。该电光面板100的特征在于：通过液滴喷出方式向形成了滤色器的滤色器基板上涂敷把粘度和表面张力调整在给定范围的保护膜材料，形成滤色器的保护膜。
图2是表示本发明的滤色器基板的局部剖视图。在该滤色器基板10a的与对置基板10b相对的一侧形成有滤色器11。在滤色器11间形成有黑底(black matrix)17。在滤色器11上，通过本发明的保护膜材料形成有滤色器保护膜20(以下称作CF保护膜)。据此，保护形成在基板1上的滤色器11。
此外，在CF保护膜20上形成有ITO(Indium Tin Oxide)电极14和定向膜16。CF保护膜20具有从形成ITO14时的高温保护滤色器11的功能、使滤色器11间的凹凸平坦化并且抑制ITO电极14的断线和定向膜16的摩擦(rubbing)不良的功能。
在对置基板10B，在其内表面，与滤色器11一侧的电极正交，把多个电极15形成带状，在这些电极15上形成有定向膜16。须指出的是，所述滤色器11分别配置在各基板上的ITO电极14、电极15的交叉位置。还有，电极39也由ITO等透明导电材料形成。下面，说明包含CF保护膜的形成方法的电光面板、包含该电光面板的制造方法的电子仪器的制造方法。
图3-1～图3-7是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的说明图。图4是表示本发明的电光面板和电子仪器的制造方法的程序流程图。图5-1～图5-5是表示本发明的液滴喷出装置的说明图。首先，如图3-1所示，在基体材料1上，通过光刻或喷墨或柱塞等的液滴喷出，形成滤色器11(步骤S101)。
接着，为了提高滤色器11与涂敷在其上的液态保护膜材料的浸湿性，如图3-2所示，对滤色器11上实施表面改质处理(步骤S102)，提高对保护膜材料的浸湿性。如果浸湿性差，则保护膜材料容易变成滴状，所以无法向滤色器11上均匀涂敷保护膜材料。此外，保护膜材料难以浸透滤色器11间，有时向该部分产生气泡，有可能使电光面板的显示图象质量下降。在本实施例中，通过使用UV灯3照射紫外线，实施表面改质处理，但是此外，也能应用氧等离子体处理。根据氧等离子体处理，能除去滤色器11上的残渣，所以CF保护膜20的质量提高，是优选的。
能用保护膜材料对于滤色器11的接触角β规定滤色器11和涂敷在其上的液态保护膜材料的浸湿性(参照图3-3)。在本发明的电光面板的制造方法中，所述接触角β优选为10度以下。如果是该范围，则能使保护膜材料充分浸透到滤色器11间，此外，能以均匀的厚度向滤色器11上形成保护膜材料，所以能形成高质量的CF保护膜20。
表面改质处理结束后，如图3-4所示，通过液滴喷出向滤色器11上涂敷液态的保护膜材料(步骤S103)。这里，使用图5说明保护膜材料的涂敷。在本发明中，使用喷墨作为液滴喷出。液滴喷出装置50具有液滴喷出头52和台60。从容器56通过供给管58向液滴喷出头52供给液体的保护膜材料。
如图5-2所示，液滴喷出头52在排列宽度H之间以一定间隔P排列多个喷嘴54。此外，各喷嘴54具有压电元件，根据来自控制装置65的指令，从任意的喷嘴54喷出保护膜材料的液滴。此外，通过使提供给压电元件的驱动脉冲变化，能使从喷嘴54喷出的保护膜材料的喷出量变化。须指出的是，控制装置65也可以使用个人电脑或工作站。
此外，如图5-1所示，液滴喷出头52以垂直于该头中心的旋转轴A为旋转中心，围绕旋转轴A旋转。如图5-4、图5-5所示，如果使液滴喷出头52围绕旋转轴A旋转，为喷嘴54的排列方向和X方向提供角度θ，则在表观喷嘴54的间隔能为P’＝P×Sinθ。据此，能按照滤色器基板10a的涂敷区域或保护膜材料的种类等其他涂敷条件，变更喷嘴54的间隔。滤色器基板10a设置在台60上。台60能向Y方向(副扫描方向)移动，此外，能以垂直于台60的旋转轴B为旋转中心，围绕旋转轴B旋转。
液滴喷出头52在图5-1中的X方向(主扫描方向)往返，其间，以喷嘴54的排列宽度H向滤色器基板10a上喷出保护膜材料的液滴。在一次扫描中，涂敷保护膜材料后，台60只向Y方向移动喷嘴54的排列宽度H，液滴喷出头52向下一区域喷出保护膜材料。液滴喷出头52的动作、喷嘴54的喷出和台60的动作由控制装置65控制。如果预先把这些动作模式编程，就能按照滤色器基板10a的涂敷区域或保护膜材料的种类等其他涂敷条件，容易地变更涂敷图案。重复所述动作，能在滤色器基板10a的全部区域涂敷保护膜材料。与此同样，当台60向Y方向移动时，只使液滴喷出头52向X方向移动排列宽度H，能向下一区域喷出保护膜材料。
图6-1、图6-2是表示涂敷了保护膜材料的状态的平面图。在滤色器基板10a上，在主扫描方向(X方向)以10μm的间隔、在副扫描方向(Y方向)以140μm的间隔涂敷保护膜材料的液滴。副扫描方向的液滴的间隔y与喷嘴54的间隔P(在实施例1中，140μm)相同。主扫描方向的液滴的间隔x依存于液滴喷出头52的扫描速度和喷出频率。
在实施例1中，1滴保护膜材料的质量m为20ng，但是在所述液滴间隔中，使保护膜材料的溶剂挥发后，能形成膜厚s＝1μm的CF保护膜20。当保护膜材料相同时，能根据1滴保护膜材料的质量、滤色器基板10a上的主、副扫描方向的液滴间隔x和y，控制CF保护膜20的膜厚。即能把所述m、x、y作为参数决定CF保护膜20的膜厚s。在本发明中，这些参数都能控制，所以通过调整它们中的至少一个，能控制膜厚s。
当1滴保护膜材料的质量m为20ng时，滤色器基板10a上的保护膜材料扩展为直径约200μm的圆形。因此，如果是所述x和y的值，则相邻的保护膜材料的液滴全部连接，成为一体。如果滤色器基板10a上的保护膜材料的直径为d，则如图6-2所示，如果x和y都超过
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则保护膜材料的液滴变为不连接。因此，有必要在x和y都不超过d×2/2的范围中决定滤色器基板10a上的保护膜材料的液滴间隔。即在滤色器基板10a上，相邻配置、形成四边形的4个液滴有必要位于重叠的位置。
这里，副扫描方向的液滴的间隔y依存于喷嘴54的间隔P，所以，如果减小它，则如果是相同的喷嘴数，喷嘴54的排列宽度H也减小。因此，如果减小喷嘴54的间隔，则只要不增加喷嘴数，保护膜材料的涂敷速度就变慢。在本发明中，x和y都为 以下，所以即使y为x的14倍，不变更主扫描方向的喷嘴54的间隔P，也能连接滤色器基板10a上的保护膜材料的液滴。据此，不降低保护膜材料的涂敷速度，就形成CF保护膜20。
这里，保护膜材料对于滤色器的接触角β(图3-3)优选为10度以下。如果这样，保护膜材料对于滤色器的浸湿性能充分提高，所以保护膜材料扩展，与相邻的液滴成为一体。据此，即使喷嘴的排列方向的液滴间隔比垂直于喷嘴的排列方向的方向大，也能以均匀的膜厚形成滤色器保护膜。
图7-1、图7-2是表示保护膜材料的涂敷图案的说明图。参照图7说明保护膜材料的涂敷图案。图7-1表示在母基体材料即滤色器基板10a”的整个面上涂敷保护膜材料的例子，图7-2表示向形成了滤色器11的区域即滤色器基板10a”上局部涂敷保护膜材料的例子。当为图7-2所示的涂敷例时，只在必要的区域涂敷保护膜材料，所以保护膜材料的浪费减少。而当为图7-2所示的涂敷例时，在滤色器基板10a”的整个面上涂敷保护膜材料。因此，在比滤色器基板10a”尺寸小的芯片15上，容易均匀地形成CF保护膜的厚度。能兼顾制造成本，选择任意的涂敷图案。这里，芯片15构成一个电光面板。须指出的是，通过预先对控制装置65输入与这些涂敷图案对应的液滴喷出头52和台60的控制数据，能容易地用这些涂敷图案涂敷保护膜材料。
在液滴喷出中，有必要从喷嘴54稳定喷出保护膜材料的液滴。因此，保护膜材料被调整为适合于液滴喷出的物性值。具体而言，20℃的粘度为1～20mPa·s，20℃的表面张力为20～70mN/m的范围。如果是该范围，能稳定地向喷嘴54供给保护膜材料，此外，喷嘴54的出口的保护膜材料液的弯液面也稳定。据此，从喷嘴54稳定喷出保护膜材料的液滴，能形成高质量的CF保护膜20。此外，如果是该粘度和表面张力的范围，则液滴喷出所需的能量也不会过分高，所以不会超过压电元件的喷出能力。
更优选20℃的粘度为4～8mPa·s，20℃的表面张力为25～35mN/m的范围。如果是该范围，就能稳定地向喷嘴54供给保护膜材料，此外，喷嘴54出口的保护膜材料液的弯液面也稳定。据此，从喷嘴54喷出的保护膜材料的液滴进一步稳定，能形成高质量的CF保护膜20。
下面，说明功能液之一的保护膜材料。在该保护膜材料中至少包含丙烯酸树脂、环氧树脂、亚胺树脂、氟类树脂中的至少一种。保护膜材料中的溶剂挥发后，这些树脂变为滤色器11的CF保护膜20。此外，作为树脂的溶剂，包含丙三醇、二甘醇、甲醇、乙醇、水、1、3-二甲基-2-咪唑啉酮、乙氧基乙醇、N、N-二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯啉酮、乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、醋酸丁酯、2-庚酮、丙二醇单甲醚、γ-丁内酯、醋酸二甘醇一丁醚、二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚中的至少一个。根据所述树脂和所述溶剂的混合比，调整粘度或表面张力。
这些溶剂中，优选沸点高的。沸点高的溶剂干燥慢，所以当向滤色器基板10a上涂敷保护膜材料时，不立刻干燥。结果，在滤色器基板10a上，能充分确保保护膜材料的厚度变为均匀的时间，所以能使CF保护膜20的膜厚均匀。此外，在喷嘴附近，能防止固体成分的析出引起的喷嘴堵塞。若要取得这样的结果，优选溶剂的沸点为180℃以上，若要形成更均匀厚度的CF保护膜20，优选为200℃以上。在所述溶剂中，醋酸二甘醇一丁醚的沸点为246℃，所以适合于本发明的电光面板的制造方法。此外，通过组合所述溶剂，可以调整到所需的沸点而使用。
另外，保护膜材料和板状构件即喷嘴板54p的接触角α(参照图5-2、图5-3)优选为30度～170度的范围。如果保护膜材料和喷嘴板54p的接触角α过小，则从喷嘴54喷出保护膜材料时，把保护膜材料拉向喷嘴板54p。结果，保护膜材料的液滴向滤色器基板10a上附着的位置偏移，有时CF保护膜20的膜厚变为不均匀。如果接触角α是所述范围，则不会把保护膜材料拉向喷嘴板54p，保护膜材料的液滴附着到滤色器基板10a上的给定位置。若要使保护膜材料的液滴稳定附着到给定位置，所述接触角α优选为50度以上，更优选为80度以上。
为了使保护膜材料和喷嘴板54p的接触角α收敛在所述范围中，对喷嘴板54p进行防液处理。通过对喷嘴板54p涂敷防液材料，能实现防液处理。作为这样的材料，能使用包含氟的有机硅烷偶合剂。具体而言，使用三氟丙基三氯硅烷作为防液材料，以乙醇为溶剂，把它稀释为浓度0.1％后，向喷嘴板54p涂敷。还有，除了三氟丙基三氯硅烷，也能使用十七氟癸基三氯硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷、十七基三氟癸基三甲氧基硅烷等含氟的有机硅烷偶合剂作为表面改质剂。此外，防液是指喷嘴板54p排斥保护膜材料，使两者的浸湿性变差的处理是防液处理。
向滤色器基板10a上涂敷保护膜材料后，为了使保护膜材料中的溶剂挥发，使保护膜材料干燥(步骤S104)。在本实施例中，如图3-5所示，把涂敷了保护膜材料液滴的基体材料1放到加热板67上，使保护膜材料中的溶剂挥发。这时，为了使CF保护膜20的平面平滑，优选在较低的温度下，用某程度的时间进行干燥。具体而言，优选在70℃以下，用5分钟以上的时间。为了进一步使CF保护膜20的表面状态平滑，优选在50℃以下，用10分钟以上的时间，更优选在30℃以下，用1小时以上的时间。还有，干燥并不局限于加热板67，也可以通过红外线加热器的加热，使其干燥，或在炉子内使其干燥。这样，使保护膜材料中的溶剂挥发，向滤色器基板10a形成CF保护膜20。
接着，向CF保护膜20上形成ITO14和定向膜16(步骤S105)。然后，经过定向膜16的摩擦(rubbing)工序、滤色器基板10a和对置基板10b的粘贴工序以及液晶的注入工序(步骤S106)，电光面板100完成。如图3-6所示，在完成的电光面板100上安装导线、FPC(Flexible PrintedCircuit)7或驱动器IC5(步骤S107)。然后，如图3-7所示，向移动电话或PDA等电子仪器9安装，完成这些电子仪器(步骤S108)。
以上，根据本发明，使喷嘴排列方向的液滴间隔比垂直于喷嘴排列方向的方向大。据此，不使保护膜材料的涂敷速度下降，就能形成滤色器保护膜，所以能提高电光面板的生产性。此外，在本发明中，使用液滴喷出形成CF保护膜，所以与以往的旋转镀膜相比，能减少保护膜材料的使用量。此外，不需要滤色器基板的背面洗净工序，所以仅此就能缩短电光面板、电光仪器的制造时间，而且也不需要洗净液。
[实施例2]
图8是表示实施例2的电光面板和电子仪器的制造方法的程序流程图。此外，图9是表示实施例2的电光面板的CF基板的说明图。
实施例2的电光面板和电子仪器的制造方法的不同点在于：设置隔板(隔壁)，在其中形成滤色器11，向滤色器11上形成CF保护膜20。其他结构与实施例1同样，所以省略其说明，并且对相同的构成要素付与相同的符号。
首先，在基体材料1上形成隔板30(步骤S201)，生成形成滤色器11的区域。例如通过旋转镀膜，把排墨性的树脂涂敷给定厚度，接着使用光刻等构图，通过把所述树脂的薄膜划分为格子状，形成隔板30。排墨性是对于把着色的树脂溶解于溶剂中的滤色器墨水的浸湿性差的性质。
接着形成滤色器11(步骤S202)。通过使用液滴喷出方式，把在溶剂中溶解着色的树脂的滤色器墨水向由隔板30划分的区域内涂敷，能形成滤色器11。即使向由隔板30划分的区域内稍微偏移喷出时，通过由排墨性的树脂形成的隔板30，能向所述区域内涂敷滤色器墨水。须指出的是，在液滴喷出中能使用实施例1中的液滴喷出装置50(参照图5)。
在基体材料1上形成滤色器11后，对滤色器11实施表面改质处理(步骤S203)。其理由如实施例1所述。特别是隔板30由疏液性的树脂形成，所以为了能形成均匀厚度的CF保护膜20，充分地对隔板30的部分进行表面改质处理。表面改质处理后，通过液滴喷出，在滤色器11上涂敷保护膜材料(步骤S204)。涂敷保护膜材料后，进行干燥(步骤序S205)，形成ITO、定向膜(步骤S206)，完成滤色器基板10a’。此后的工序与实施例1的电光面板以及电子仪器的制造方法的步骤S106～S108同样，所以省略说明。
这样，即使是在由隔板划分的区域内形成滤色器11的电光面板，也能应用本发明。此外，与以往的旋转镀膜相比，能减少保护膜材料的使用量，此外，滤色器基板的背面洗净工序变为不要的部分能缩短电光面板、电光仪器的制造时间。
[实施例3]
图10-1～图10-3是表示实施例3的液滴喷出装置的说明图。该液滴喷出装置50a的特征在于：使用柱塞作为液滴喷出。柱塞70由在顶端设置喷嘴头71的圆筒74、插入其中的活塞76构成。喷嘴头71如图10-2所示，多个喷嘴72以给定间隔P排列。此外，在圆筒74内保护膜材料存留，通过使活塞76向喷嘴头71方向移动，从喷嘴72喷出保护膜材料。
在活塞76上安装有进给螺丝78，通过安装了进给螺丝78的步进电机73旋转，活塞76向喷嘴头71方向移动。步进电机73根据来自控制部80的指令，只旋转给定转数。如果进给螺丝78旋转，则活塞76只移动进给螺丝78的导程PS。此外，活塞76的移动量和保护膜材料的喷出量成比例关系，所以根据进给螺丝78的转速，能控制保护膜材料的喷出量。
滤色器基板10a设置在X-Y台82上，能向X以及Y方向移动。向装置主体50b安装柱塞70，使喷嘴72的排列方向与Y方向平行。当向滤色器基板10a上形成CF保护膜20时，首先，使X-Y台移动，决定对于滤色器基板10a的保护膜材料的涂敷开始位置。接着根据来自控制部80的指令，使步进电机73只旋转给定量，从喷嘴72向配光基板上涂敷一定量的保护膜材料。
接着，根据来自控制部80的指令，使X-Y台82只向X方向移动给定宽度，同样，从喷嘴72向配光基板上涂敷一定量的保护膜材料。如果把它重复直到滤色器基板10a的宽度，就能以喷嘴72的排列宽度对滤色器基板10a的宽度方向(X方向)涂敷保护膜材料。接着，根据来自控制部80的指令，只以喷嘴72的排列宽度H使X-Y台82向Y方向移动，通过重复所述步骤，在Y方向的下一列涂敷保护膜材料。通过跨滤色器基板10a的Y方向重复以上的步骤，能向滤色器基板10a上形成CF保护膜20。这样，即使在液滴喷出中使用柱塞，也能与喷墨同样，向滤色器基板10a上形成CF保护膜20。
[实施例4]
在实施例4中，作为使用本发明的电光面板的制造方法或电子仪器的制造方法制造的电光装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、形成在这些显示装置上的有源矩阵基板等为例，说明这些构造及其制造方法。须指出的是，有源矩阵基板是指形成了薄膜晶体管、电连接在薄膜晶体管上的源线、数据线的基板。
首先，说明组装到液晶显示装置或有机EL装置等中的滤色器的制造方法。这时，滤色器是功能膜，滤色器材料是功能液。
图11是表示滤色器的制造工序的程序流程图，图12-1～图12-5是按照制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600(滤色器基体600A)的模式剖视图。首先，在黑底形成工序(步骤S301)中，如图12-1所示，在基板(W)601上形成黑底602。黑底602由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体、或树脂黑等形成。为了形成由金属薄膜构成的黑底602，能使用溅射法或蒸镀法等。此外，当形成由树脂薄膜构成的黑底602时，能使用照相凹版印刷、光刻胶法、热复制法等。
接着，在隔板形成工序(步骤S302)中，以重叠在黑底602上的状态形成隔板603。即首先如图12-2所示，覆盖基板601以及黑底602形成由负片型的透明感光树脂构成的抗蚀剂层604。然后，在用形成矩阵图案形状的掩模605覆盖它的上表面的状态下，进行曝光处理。此外，如图12-3所示，通过对抗蚀剂层604的未曝光部分进行蚀刻处理，把抗蚀剂层604构图，形成隔板603。还有，通过树脂黑形成黑底时，能兼用黑底和隔板。该隔板603和其下的黑底602成为划分各象素区域的划分壁部607b，在以后的着色层形成工序中通过功能液滴喷出头51形成着色层(成膜部)608R、608G、608B时，规定功能液滴的落下区域。
通过经过以上的黑底形成工序和隔板形成工序，得到所述滤色器基体600A。此外，在本实施例中，作为隔板603的材料，使用了镀膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。而且，因为基板(玻璃基板)601的表面为亲液(亲水)性，所以在后面描述的着色层形成工序中，向由隔板603(划分壁部607b)包围的各象素区域607a内的液滴落下位置精度提高。
接着，在着色层形成工序(步骤S303)中，如图12-4所示，通过功能液滴喷出头51喷出功能液滴，使之落到由划分壁部607b包围的各象素区域607a内。这时，使用功能液滴喷出头51，导入R、G、B等3色功能液(滤色器材料)，通过实施例1等中说明的电光面板的制造方法，进行功能液滴的喷出。须指出的是，作为R、G、B三色的排列图案，有带排列、镶嵌排列、三角排列。
然后，经过干燥处理(加热等处理)使功能液固定，形成3色的着色层608R、608G、608B。如果形成了着色层608R、608G、608B，就转移到保护膜形成工序(步骤S304)，如图12-5所示，覆盖基板601、划分壁部607b、着色层608R、608G、608B的上表面形成保护膜609。即向基板601的形成着色层608R、608G、608B的面全体上喷出保护膜用涂敷液后，经过干燥处理形成保护膜609。然后，通过实施例1等中说明的电光面板的制造方法形成保护膜609后，转移到滤色器600、下一工序的成为透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等的膜附加工序。
图13是表示作为使用滤色器600的液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶显示面板(液晶显示面板)的概略结构的主要部分剖视图。通过在该液晶显示面板620上安装液晶驱动用IC、背光、支撑体等附带元件，得到作为最终制品的透射型液晶显示装置。须指出的是，滤色器600与图1 2所示的相同，所以对对应的部位付与相同的符号，省略其说明。
该液晶显示面板620由滤色器600、由玻璃基板构成的对置基板621、夹持在它们之间的由STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层622组成，滤色器600配置在图中上方(观察者一侧)。还有，虽然未图示，但是在对置基板621和滤色器600的外表面(与液晶层622一侧相反一侧的面)上分别配置偏振片，此外，在位于对置基板621一侧的偏振片外侧配置有背光。
在滤色器600的保护膜609上(液晶层一侧)，在图13中，以给定间隔形成多个在左右方向长的长方形的第一电极623，覆盖该第一电极623的与滤色器600一侧相反一侧的面，形成有第一定向膜624。而在对置基板621的与滤色器600相对的面上，以给定间隔形成多个在与滤色器600的第一电极623正交的方向上长的长方形的第二电极626，覆盖该第二电极626的液晶层622一侧的面形成第二定向膜627。这些第一电极623和第二电极626由ITO等透明导电材料形成。
设置在液晶层622内的隔离块628是用于把液晶层622的厚度(单元间隔)保持一定的构件。此外，密封构件629是用于防止液晶层622内的液晶组成物向外部漏出的构件。并且，第一电极623的一端部作为围绕布线623a延伸到密封构件629的外侧。而且，第一电极623和第二电极626交叉的部分是象素，滤色器600的着色层608R、608G、608B位于该成为象素的部分。
在通常的制造工序中，进行第一电极623的构图和第一定向膜624的涂敷，生成滤色器600一侧的部分，并且此外，对对置基板621进行第二电极626的构图和第二定向膜627的涂敷，生成对置基板621一侧的部分。能通过实施例1中说明的电光面板的制造方法形成所述第一定向膜624和第二定向膜627。然后，在对置基板621一侧的部分形成隔离块628和密封构件629，在该状态下，粘贴滤色器600一侧的部分。再者，从密封构件629的注入口注入构成液晶层622的液晶，密封注入口。然后，层叠两偏振片和背光。
实施例1的液滴喷出装置50例如涂敷构成所述单元间隔的隔离块材料(功能液)，并且在对置基板621一侧的部分粘贴滤色器600一侧的部分前，在由密封构件629包围的区域中能均匀涂敷液晶(功能液)。此外，能用功能液滴喷出头51进行所述密封材料629的印刷。也能用功能液滴喷出头51进行第一和第二定向膜624、627的涂敷。当喷出这些功能液时，使用实施例1中说明的电光面板的制造方法。
图14是表示使用本实施例中制造的滤色器600的液晶显示面板的第二例的概略结构的主要部分剖视图。该液晶显示面板630与所述液晶显示面板620的巨大差异在于：在图中下方(与观察者相反一侧)配置滤色器600。该液晶显示面板630的结构为：在滤色器600和由玻璃基板构成的对置基板631之间夹持着由STN液晶构成的液晶层632。须指出的是，虽然未图示，但是在对置基板631和滤色器600的外表面分别配置偏振片。
在滤色器600的保护膜609上(液晶层632一侧)，以给定间隔形成多个在图中向里方向长的长方形第一电极633，覆盖该第一电极633的液晶层632一侧的面形成第一定向膜634。在对置基板631的与滤色器600相对的面上，以给定间隔形成在与滤色器600一侧的第一电极633正交的方向上延伸的多个长方形的第二电极636，覆盖该第二电极636的液晶层632一侧的面，形成第二定向膜637。
在液晶层632上设置有用于把该液晶层632的厚度保持一定的隔离块638、用于防止液晶层632内的液晶组成物向外部漏出的密封构件639。而且，与所述液晶显示面板620同样，第一电极633和第二电极636交叉的部分是象素，滤色器600的着色层608R、608G、608B位于该成为象素的部位。
图15表示使用应用本发明的滤色器600构成液晶显示面板的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶显示面板的概略结构的分解立体图。该液晶显示面板650在图中上方(观察者一侧)配置滤色器600。
该液晶显示面板650大体由滤色器600、与它相对配置的对置基板651、夹在它们之间的未图示的液晶层、配置在滤色器600的上面一侧(观察者一侧)的偏振片655、配置在对置基板651的下面一侧的偏振片(未图示)构成。在滤色器600的保护膜609的表面(对置基板651一侧的面)上形成有液晶驱动用的电极656。
该电极656由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后面描述的象素电极660的区域全体的全面电极。此外，在覆盖该电极656的与象素电极660相反一侧的面的状态下，设置有定向膜657。
在对置基板65 1的与滤色器600相对的面上形成有绝缘层658，在该绝缘层658上以彼此正交的状态形成扫描线661和信号线662。而且，在由这些扫描线661和信号线662包围的区域内形成有象素电极660。须指出的是，在实际的液晶显示面板中，在象素电极660上设置有定向膜，但是省略图示。
此外，在由象素电极660的切口部、扫描线661和信号线662包围的部分，设置具有源极、漏极、半导体和栅极的薄膜晶体管663。而且，通过对于扫描线661和信号线662外加信号，使薄膜晶体管663导通和断开，能进行对象素电极660的通电控制。须指出的是，所述各例的液晶显示面板620、630、650为透射型的结构，但是也能设置反射层或半透过反射层，作为反射型的液晶显示面板或半透反射型液晶显示面板。下面，说明有机EL装置。
图16是有机EL显示装置的显示区域的主要部分剖视图。该有机EL显示装置700大体以在基板(W)701上层叠电路元件部702、发光元件部703和阴极704的状态下构成。在该有机EL显示装置700中，从发光元件部703向基板701一侧发出的光透过电路元件部702和基板701向观察者一侧出射，并且从发光元件部703向基板701的相反一侧发出的光由阴极704反射后，透过电路元件部702和基板701，出射到观察者一侧。
在电路元件部702和基板701之间形成由氧化硅膜构成的底层保护膜706，在该底层保护膜706(发光元件部703一侧)上形成有由多晶硅构成的岛状的半导体膜707。在半导体膜707的左右区域分别通过高浓度阳离子注入，形成源区707a和漏区707b。而且，未注入阳离子的中央部成为沟道区707c。
此外，在电路元件部702上，形成覆盖底层保护膜706和半导体膜707的透明的栅绝缘膜708，在该栅绝缘膜708上的与半导体膜707的沟道区707c对应的位置形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极709。在该栅电极709和栅绝缘膜708上形成有透明的第一层间绝缘膜711a和第二层间绝缘膜711b。此外，贯通第一、第二层间绝缘膜711a、711b，形成有分别与半导体膜707的源区707a、漏区707b连通的接触孔712a、712b。栅电极709和栅绝缘膜708能通过实施例1等的电光面板的制造方法，通过喷出把构成它们的材料溶解于溶剂中的功能液的液滴而形成。
然后，在第二层间绝缘膜711b上，构图形成给定图案的由ITO等构成的透明的象素电极713，该象素电极713通过接触孔712a连接在源区707a上。此外，在第一层间绝缘膜711a上配置电源线714，该电源线714通过接触孔712b连接在漏区707b上。
这样，在电路元件部702上分别形成连接在各象素电极713上的驱动用的薄膜晶体管715。所述发光元件部703大体由分别层叠在多个象素电极713上的功能层717、设置在各象素电极713和功能层717之间并且划分各功能层717的隔板部718构成。由这些象素电极713、功能层717、配置在功能层717上的阴极704构成发光元件。须指出的是，象素电极713构图为平面视图中的矩形，在各象素电极713之间形成隔板部718。
隔板部718例如由以下部分构成：由SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物隔板层718a(第一隔板层)；层叠在无机物隔板层718a上，由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的截面梯形的有机物隔板层718b(第二隔板层)。该隔板部718的一部分以跨在象素电极713的周围部上的状态形成。而且，在各隔板部718之间，形成对象素电极713，向上方逐渐扩大的开口部719。
所述功能层717由在开口部719内以层叠状态形成在象素电极713上的空穴注入/输送层717a、形成在该空穴注入/输送层717a上的发光层717b构成。须指出的是，还可以与该发光层717b相邻形成具有其他功能的其他功能层。例如，也能形成电子输送层。空穴注入/输送层717a具有从象素电极713一侧输送空穴，注入发光层717b中的功能。通过喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(功能液)，形成该空穴注入/输送层717a。当喷出第一组成物(功能液)时，使用实施例1中说明的电光面板的制造方法。作为空穴注入/输送层的形成材料，使用公开的材料。
发光层717b发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)中的任意颜色的光，通过喷出包含发光层的形成材料(发光材料)的第二组成物(功能液)而形成。喷出第二组成物(功能液)时，能使用实施例1中说明的电光面板的制造方法。作为第二组成物的溶剂(非极性溶剂)，优选使用对于空穴注入/输送层717a不溶解的公知的材料，通过对发光层717b的第二组成物使用这样的非极性溶剂，使空穴注入/输送层717a不再溶解，形成发光层717b。
然后，在发光层717b中，由空穴注入/输送层717a注入的空穴和由阴极704注入的电子在发光层再结合，发光。以覆盖发光元件部703的全面的状态形成阴极704，与象素电极713成对，完成使电流流向功能层717的作用。须指出的是，在该阴极704的上部配置未图示的密封构件。
图17是表示有机EL显示装置的制造工序的程序流程图。图18～图25是表示有机EL显示装置的制造工序的说明图。下面，参照图17～图25说明所述有机EL显示装置700的制造工序。该有机EL显示装置700如图17所示，经过隔板部形成工序(步骤S401)、表面处理工序(步骤S402)、空穴注入/输送层形成工序(步骤S403)、发光层形成工序(步骤S404)、对置电极形成工序(步骤S405)，制造。须指出的是，制造工序并不局限于例示的，按照必要，有时去掉工序，或追加工序。
首先，在隔板部形成工序(步骤S401)中，如图18所示，在第二层间绝缘膜711b上形成无机物隔板层718a。在形成位置形成无机物膜后，通过光刻技术对该无机物膜构图，形成该无机物隔板层718a。这时，无机物隔板层718a的一部分与象素电极713的周围部重叠形成。如果形成了无机物隔板层718a，则如图19所示，在无机物隔板层718a上形成有机物隔板层718b。与无机物隔板层718a同样，通过光刻技术，构图形成该有机物隔板层718b。这样，就形成隔板部718。
此外，伴随着此，在各隔板部718之间，形成对于象素电极713，向上方开口的开口部719。该开口部719规定象素区域。
在表面处理工序(工序S402)中，进行亲液化处理和疏液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物隔板层718a的第一层叠部718aa和象素电极713的电极面713a，这些区域通过以氧为处理气体的等离子体处理，表面处理成亲液性。该等离子体处理也兼任象素电极713的ITO的洗净。此外，疏液化处理对有机物隔板层718b的壁面718s和有机物隔板层718b的上表面718t进行，通过以四氟化甲烷为处理气体的等离子体处理，对表面进行氟化处理(处理为疏液性)。通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷出头51形成功能层717时，能更可靠地使功能液滴落在象素区域中，此外，能防止落在象素区域中的功能液滴从开口部719溢出。
而且，经过上述的工序，获得显示装置基体700A。把该显示装置基体700A安放在图3所示的实施例1的液滴喷出装置50的台60上，通过使用实施例1中说明的电光面板的制造方法，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(步骤S403)、发光层形成工序(步骤S404)。如图20所示，在空穴注入/输送层形成工序(步骤S403)中，从功能液滴喷出头51向象素区域即各开口部719内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物。然后，如图21所示，进行干燥处理和热处理，使第一组成物中包含的极性溶剂蒸发，在象素电极(电极面713a)713上形成空穴注入/输送层717a。
接着，说明发光层形成工序(步骤S404)，在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层717a的再溶解，作为在发光层的形成时使用的第二组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层717a不溶解的非极性溶剂。可是，空穴注入/输送层717a对于非极性溶剂的亲和性低，所以即使对空穴注入/输送层717a上喷出包含非极性溶剂的第二组成物，也无法使空穴注入/输送层717a和发光层717b紧贴，或无法均匀涂敷发光层717b。
因此，为了提高空穴注入/输送层717a表面对于非极性溶剂以及发光层形成材料的亲和性，优选在发光层的形成前进行表面处理(表面改质处理)。把与发光层的形成时使用的第二组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与它类似的溶剂即表面改质材料涂敷在空穴注入/输送层717a上，使它干燥，进行该表面处理。通过进行这样的表面处理，空穴注入/输送层717a的表面容易与非极性溶剂亲和，在以后的工序中，使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，把包含发光层形成材料的第二组成物的均匀涂敷在空穴注入/输送层717a上。
然后，如图22所示，把包含与各色中的任意(在图22的例子中，蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组成物作为功能液滴，向象素区域(开口部719)内注入给定量。注入到象素区域内的第二组成物扩散到空穴注入/输送层717a上，充满开口部719内。须指出的是，万一第二组成物从象素区域偏移，落在隔板部718的上表面718t上，该上表面718t如上所述，进行了疏液处理，所以第二组成物容易落入开口部719内。
然后，通过进行干燥工序等，对喷出后的第二组成物进行干燥处理，使第二组成物中包含的非极性溶剂蒸发，如图23所示，在空穴注入/输送层717a上形成发光层717b。本图的时候，形成与蓝色(B)对应的发光层717b。同样，使用功能液滴喷出头51，使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，如图24所示，依次进行与所述蓝色(B)所对应的发光层717b的情况同样的工序，形成与其它颜色(红色(R)以及绿色(G))对应的发光层717b。须指出的是，发光层717b的形成顺序并不局限于例示的顺序，也可以用任意顺序形成。例如，能按照发光层形成材料决定形成的顺序。此外，作为R、G、B三色的配列图案，有带排列、镶嵌排列、三角排列。
如上所述，在象素电极713上形成功能层717即空穴注入/输送层717a和发光层717b。然后，转移到对置电极形成工序(步骤S405)。在对置电极形成工序(步骤S405)中，如图25所示，在发光层717b和有机物隔板层718b的全面上，通过蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极704(对置电极)。在本实施例中，层叠钙层和铝层，构成该阴极704。在阴极704的上部适当设置作为电极的Al膜、Ag膜、用于防止其氧化的SiO2、SiN等的保护层。这样形成阴极704后，进行通过密封构件密封该阴极704的上部的密封处理或布线处理等其他处理，得到有机EL显示装置700。
图26是等离子体型显示装置的主要部分分解立体图。须指出的是，在图26中，在切其一部分的状态下表示等离子体型显示装置(以下称作PDP显示装置)。该PDP显示装置800大体包含彼此相对配置的第一基板801、第二基板802、形成在它们之间的放电显示部803。放电显示部803由多个放电室805构成。多个放电室805中，红色放电室805R、绿色放电室805G、蓝色放电室805B等3个放电室805成组，构成一个象素。
在第一基板801的上表面，以给定间隔把地址电极806形成条纹状，覆盖该地址电极806和第一基板801的上表面形成介质层807。在介质层807上直立设置隔板808，它位于各地址电极806之间，并且沿着各地址电极806。该隔板808如图所示，包含沿着地址电极806的宽度方向两侧延伸的和在与地址电极806正交的方向延伸的未图示的。而且，由该隔板808划分的区域成为放电室805。
在放电室805内配置有荧光体809。荧光体809发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)中的任意颜色的光，在红色放电室805R的底部配置有红色荧光体809R，在绿色放电室805G的底部配置绿色荧光体809G，在蓝色放电室805B的底部配置蓝色荧光体809B。
在第二基板802的图中下方的面上，以给定间隔在与所述地址电极806正交的方向把多个显示电极811形成条纹状。然后，覆盖它们形成介质层812、由MgO等构成的保护膜813。在地址电极806和显示电极811彼此正交的状态下，把第一基板801和第二基板802贴在一起。须指出的是，所述地址电极806和显示电极811连接在未图示的交流电源上。而且，通过对各电极806、811通电，在放电显示部803中，荧光体809激励发光，能进行彩色显示。
在本实施例中，能使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，形成所述地址电极806、显示电极811、荧光体809。下面，例示第一基板801的地址电极806的形成工序。这时，在把第一基板801安放在液滴喷出装置50的台60上的状态下，进行以下的工序。首先，通过功能液滴喷出头51，把包含导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，使其落在地址电极形成区域中。该液体材料是把金属等的导电性微粒作为导电膜布线形成用材料分散到分散剂。作为导电性微粒，可以使用包含金、银、铜、钯、或镍的金属微粒、导电性聚合物。
关于成为补充对象的全部地址电极形成区域，如果液体材料的补充结束，就对喷出后的液体材料进行干燥处理，通过使液体材料中包含的分散剂蒸发，形成地址电极806。可是，在所述中，例示了地址电极806的形成，但是关于所述显示电极811和荧光体809，经过所述工序，也能形成。显示电极811的形成时与地址电极806时同样，把包含导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，使其落在显示电极形成区域中。此外，荧光体809的形成时，从功能液滴喷出头51把包含与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴喷出。这时，使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，使其落在对应的颜色的放电室805内。
下面，图27是电子发射显示装置的主要部分剖视图。须指出的是，在图27中，使其一部分为剖面，表示电子发射显示装置(也称作FED装置或SED装置，下面，仅称作FED显示装置900)900。该FED显示装置900大体包含彼此相对配置的第一基板901、第二基板902、形成在它们之间的场致发射显示部903。场致发射显示部903由配置为矩阵状的多个电子发射部905构成。
在第一基板901的上表面，构成阴极906的第一元件电极906a和第二元件电极906b彼此正交形成。此外，在由第一元件电极906a和第二元件电极906b划分的部分形成产生间隔908的导电性膜907。即由第一元件电极906a、第二元件电极906b和导电性膜907构成多个电子发射部905。导电性膜907例如由氧化钯(PdO)等构成，此外，在形成导电性膜907后，由成形等形成间隔908。
在第二基板902的下表面形成与阴极906对峙的阳极909。在阳极909的下表面形成格子状的隔板部911，在由该隔板部911包围的向下的各开口部912中，与电子发射部905对应配置荧光体913。荧光体913发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)中的任意颜色的光，在各开口部912中，以所述给定图案配置红色荧光体913R、绿色荧光体913G、蓝色荧光体913B。
然后，保持微小的间隔把这样构成的第一基板901、第二基板902贴在一起。在该FED显示装置900中，通过导电性膜(间隔908)907，从阴极即第一元件电极906a或第二元件电极906b飞出的电子撞击形成在阳极即阳极909上的荧光体913上，激励发光，能进行彩色显示。
这时，也能使用实施例1的液滴喷出装置50形成第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907、阳极909，并且能使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法，形成各色的荧光体913R、913G、913B。
图28-1是表示第一元件电极、第二元件电极、和导电性膜的形状的平面图。
图28-2是表示第一元件电极、第二元件电极、和导电性膜的成膜工序的平面图。第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907具有图28-1所示的平面形状，当形成它们时，如图28-2所示，预先剩下生成第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907的部分，形成隔板部BB(光刻法)。接着，在由隔板部BB构成的沟部分形成第一元件电极906a、第二元件电极906b(实施例1等中说明的电光面板的制造方法)，使它的溶剂干燥，进行成膜后，形成导电性膜907(实施例1等中说明的电光面板的制造方法)。然后，形成导电性膜907后，除去隔板部BB(灰化剥离处理)，转移到所述成形处理。须指出的是，与所述有机EL装置同样，优选进行对于第一基板901、第二基板902的亲液化处理、对于隔板部911、BB的疏液化处理。
此外，作为其他电光装置，考虑到金属布线的形成、透镜的形成、抗蚀剂的形成以及光扩散体的形成等的装置。以上，在实施例4中，在各种电光装置(器件)的制造中使用实施例1等中说明的电光面板的制造方法。即喷嘴排列方向的功能液液滴间隔比垂直于喷嘴排列方向的方向功能液液滴间隔大，喷出功能液，所以能抑制作为电光装置的构成而使用的功能膜形成材料的涂敷速度下降。据此，能高效制造各种电光装置。
(本发明的适用对象)
作为能应用本发明的电光面板的电子仪器，除了移动电话，能列举出例如称作PDA(Personal Digital Assistants)的便携式信息仪器、便携式个人电脑、个人电脑、数码相机、车载用监视器、数字摄影机、液晶电视、寻象器型、监视器直视型的录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、计算器、字处理器、工作站、电视电话机、POS终端机、使用电光装置即电光面板的仪器。因此，即使是这些电子仪器中的电连接构造，当然也能应用本发明。
此外，该电光面板是透射型或反射型的电光面板，把未图示的照明装置作为背光使用。须指出的是，即使是有源矩阵型的彩色电光面板，也是同样。例如在以上说明的各实施例中，都例示无源矩阵型的电光面板，但是作为本发明的电光装置，也同样能应用于有源矩阵型的电光面板(例如，把TFT(薄膜晶体管)或TFD(薄膜二极管)作为开关元件的电光面板)。此外，不仅是透射型或反射型的电光面板，象场致发光装置、无机场致发光装置、等离子体显示装置、电泳显示装置、场致发射显示装置、LED(发光二极管)显示装置那样，也能应用于对多个象素分别控制显示状态的各种电光装置中。对于在形成矩阵状的发光元件的前表面上配置滤色器基板的电光面板，也能应用本发明。
如上所述，本发明的电光面板的制造方法和电子仪器的制造方法、电光面板、电光装置和电子仪器对于通过液滴喷出形成滤色器保护膜、定向膜、绝缘膜等其他功能膜是有用的，特别适合于抑制所述功能膜形成材料的涂敷速度下降。

Claims (11)

1.一种电光面板的制造方法，其特征在于：
在基体材料上形成功能膜时，通过把喷嘴排列在一个方向上的液滴喷出机构使功能液喷出，形成功能膜时，所述喷嘴排列方向上的所述功能液的液滴间隔比垂直于所述喷嘴排列方向的方向上的所述功能液的液滴间隔大。
2.根据权利要求1所述的电光面板的制造方法，其特征在于：
所述功能液是滤色器的保护膜材料，所述功能膜是滤色器的保护膜；
该制造方法包含：在基体材料上形成滤色器的滤色器形成工序；
通过把喷嘴排列在一个方向上的液滴喷出机构向所述滤色器上涂敷保护膜材料的液滴的保护膜材料涂敷工序；
使所述保护膜材料干燥的干燥工序；
所述喷嘴排列方向上的所述液滴间隔比垂直于所述喷嘴排列方向的方向上的所述液滴间隔大。
3.根据权利要求2所述的电光面板的制造方法，其特征在于：
在所述滤色器形成工序之后，包含：把所述滤色器表面改质，提高所述滤色器表面的浸湿性的表面改质工序。
4.根据权利要求3所述的电光面板的制造方法，其特征在于：
在形成了所述滤色器的所述基体材料整个面上涂敷所述保护膜材料。
5.根据权利要求3所述的电光面板的制造方法，其特征在于：
在形成了所述滤色器的所述基体材料中，只在芯片上涂敷所述保护膜材料。
6.根据权利要求3～5中的任意一项所述的电光面板的制造方法，其特征在于：
通过使向所述滤色器上喷出的所述保护膜材料的液滴间隔或液滴的质量中的至少一方变化，控制所述滤色器的膜厚。
7.一种电子仪器的制造方法，其特征在于：包括：
在基体材料上形成滤色器的滤色器形成工序；
把该滤色器表面改质的表面改质工序；
通过把喷嘴向一个方向排列的液滴喷出机构向所述滤色器上涂敷包含树脂和溶剂的保护膜材料液滴的保护膜材料涂敷工序；
使所述溶剂干燥，形成所述滤色器的保护膜的保护膜形成工序；
在形成了保护膜后的所述基体材料上安装给定构件或部件，制造电光面板的工序；
把安装部件向所述电光面板安装的工序；
所述喷嘴排列方向上的所述液滴间隔比垂直于所述喷嘴排列方向的方向上的所述液滴间隔大。
8.一种电光面板，其特征在于：包括：
在进行了表面改质处理的滤色器上使第一方向的液滴间隔和垂直于第一方向的方向的液滴间隔不同，涂敷包含树脂和溶剂的保护膜材料而形成的滤色器基板；
与该滤色器基板相对配置的基板；
保持在相对配置的所述基板之间的液晶。
9.一种电光面板，其特征在于：具有：
在进行了表面改质处理的滤色器上使第一方向的液滴间隔和垂直于第一方向的方向的液滴间隔不同，涂敷包含树脂和溶剂的保护膜材料而形成的滤色器基板；
把发光元件形成矩阵状的发光装置；
在所述发光元件的前表面配置所述滤色器基板而成。
10.一种电光装置，其特征在于：
包括：权利要求8或9所述的电光面板。
11.一种电子仪器，其特征在于：
包括：权利要求10所述的电光装置。
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