CN112389096B - 液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法 - Google Patents

液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112389096B
CN112389096B CN202010181582.3A CN202010181582A CN112389096B CN 112389096 B CN112389096 B CN 112389096B CN 202010181582 A CN202010181582 A CN 202010181582A CN 112389096 B CN112389096 B CN 112389096B
Authority
CN
China
Prior art keywords
droplet
scanning
thickness
calculating
volume
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010181582.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112389096A (zh
Inventor
金钟城
闵弘基
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN112389096A publication Critical patent/CN112389096A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112389096B publication Critical patent/CN112389096B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/0456—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits detecting drop size, volume or weight
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04558—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits detecting presence or properties of a dot on paper
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04586—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads of a type not covered by groups B41J2/04575 - B41J2/04585, or of an undefined type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/60—Analysis of geometric attributes
    • G06T7/62—Analysis of geometric attributes of area, perimeter, diameter or volume
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301—Details of OLEDs
    • H10K2102/351—Thickness

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本公开涉及一种液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法，液滴测定方法可以包括：将液滴喷出于基板上的步骤；将包括向第一方向排列的光扫描仪的扫描部向与第一方向不同的第二方向移动而扫描液滴的步骤；存储通过扫描部扫描的液滴的部分的厚度的步骤；以及利用液滴的部分的厚度而计算液滴的体积的步骤。

Description

液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法
技术领域
本公开涉及一种液滴测定方法。更详细地，本公开涉及一种测定液滴的体积的方法、利用于此方法的液滴测定装置及利用此装置的显示装置的制造方法。
背景技术
显示装置可以显示图像而向使用者提供信息。显示装置可以包括用于显示图像的多个像素。在显示装置中有机发光显示装置的情况下，各个像素可以包括发光层。
发光层可以通过光刻、喷墨印刷等多种方法形成。在通过喷墨印刷形成发光层的情况下，可以将包含发光层形成物质的液滴喷出于通过开口暴露的像素电极上而形成发光层。
在液滴的喷出量不均匀的情况下，可能产生通过液滴形成的发光层之间的高度差。这样的发光层之间的高度差可能被识别为显示装置的斑点。
发明内容
本公开的一目的是提供一种正确地测定液滴的体积的液滴测定方法。
本公开的一目的是提供一种利用于所述液滴测定方法的液滴测定装置。
本公开的一目的是提供一种利用所述液滴测定方法的显示装置的制造方法。
但是，本公开的目的不限于这些目的，可以在不超出本公开的构思和领域的范围中进行多种扩展。
为了实现前述的本公开的一目的，根据实施例的液滴测定方法可以包括：将液滴喷出于基板上的步骤；将包括向第一方向排列的光扫描仪的扫描部向与所述第一方向不同的第二方向移动而扫描所述液滴的步骤；存储通过所述扫描部扫描的所述液滴的部分的厚度的步骤；以及利用所述液滴的所述部分的所述厚度而计算所述液滴的体积的步骤。
在一实施例中，可以是，扫描所述液滴的步骤包括：各个所述光扫描仪向所述液滴发出光的步骤；以及各个所述光扫描仪接收在所述液滴反射的所述光而测定所述液滴的所述部分的所述厚度的步骤。
在一实施例中，可以是，计算所述液滴的所述体积的步骤包括：利用向所述第一方向排列的所述液滴的所述部分的所述厚度而通过区分求积法计算所述液滴的截面面积的步骤；以及利用向所述第二方向排列的所述液滴的截面的面积而通过区分求积法计算所述液滴的所述体积的步骤。
在一实施例中，可以是，所述第一方向与所述第二方向正交。
在一实施例中，可以是，所述第一方向与所述第二方向构成锐角。
在一实施例中，可以是，所述第一方向与所述第二方向的夹角为5度以上且未满90度。
在一实施例中，可以是，所述扫描部的向所述第二方向的扫描分辨率通过所述扫描部的向所述第二方向的移动速度和所述扫描部的扫描频率来调节。
为了实现前述的本公开的一目的，根据实施例的液滴测定装置可以包括：工作台，支承基板；液滴喷出部，配置于所述工作台上，将液滴喷出于所述基板上；扫描部，配置于所述工作台上，并包括向第一方向排列的光扫描仪，所述扫描部向与所述第一方向不同的第二方向移动而扫描所述液滴；存储部，存储通过所述扫描部扫描的所述液滴的部分的厚度；以及计算部，利用所述液滴的所述部分的所述厚度而计算所述液滴的体积。
在一实施例中，可以是，所述第一方向与所述第二方向正交。
在一实施例中，可以是，所述第一方向与所述第二方向构成锐角。
在一实施例中，可以是，所述第一方向与所述第二方向的夹角为5度以上且未满90度。
在一实施例中，可以是，所述扫描部的相邻的光扫描仪之间的间隔均匀。
在一实施例中，可以是，各个所述光扫描仪包括：光源，向所述液滴发出光；以及光传感器，接收在所述液滴反射的所述光。
在一实施例中，可以是，所述液滴喷出部向所述第二方向移动而喷出所述液滴。
在一实施例中，可以是，所述液滴喷出部包括向与所述第二方向正交的第三方向排列并分别喷出所述液滴的喷嘴。
为了实现前述的本公开的一目的，根据实施例的显示装置的制造方法可以包括：将液滴喷出于基板上的步骤；将包括向第一方向排列的光扫描仪的扫描部向与所述第一方向不同的第二方向移动而扫描所述液滴的步骤；存储通过所述扫描部扫描的所述液滴的部分的厚度的步骤；利用所述液滴的所述部分的所述厚度而计算所述液滴的体积的步骤；调整所述液滴的喷出量的步骤；以及将所述液滴喷出于显示基板上而形成发光层的步骤。
在一实施例中，可以是，扫描所述液滴的步骤包括：各个所述光扫描仪向所述液滴发出光的步骤；以及各个所述光扫描仪接收在所述液滴反射的所述光而测定所述液滴的所述部分的所述厚度的步骤。
在一实施例中，可以是，计算所述液滴的体积的步骤包括：利用向所述第一方向排列的所述液滴的所述部分的所述厚度而通过区分求积法计算所述液滴的截面面积的步骤；以及利用向所述第二方向排列的所述液滴的截面的面积而通过区分求积法计算所述液滴的所述体积的步骤。
在一实施例中，可以是，所述液滴包括空穴注入物质、空穴输送物质、有机发光物质、电子输送物质以及电子注入物质中至少一种。
在一实施例中，可以是，所述显示基板包括：像素电极；以及像素界定膜，配置于所述像素电极上，并包括暴露所述像素电极的至少一部分的开口，所述液滴喷出于所述像素电极上的所述开口内。
(公开的效果)
在根据本公开的实施例的液滴测定方法、利用于所述液滴测定方法的液滴测定装置及利用所述液滴测定方法的显示装置的制造方法中，将包括向第一方向排列的光扫描仪的扫描部向与第一方向不同的第二方向移动而扫描液滴，利用通过扫描部扫描的液滴的部分的厚度而计算液滴的体积，由此能够正确地测定液滴的体积。另外，基于测定的液滴的体积而调整液滴的喷出量，由此能够形成具有均匀的体积的显示装置的发光层。
但是，本公开的效果不限于前述的效果，可以在不超出本公开的构思和领域的范围内进行多种扩展。
附图说明
图1是示出根据本公开的一实施例的液滴测定装置的图。
图2是示出根据本公开的一实施例的液滴测定装置的俯视图。
图3是示出根据本公开的一实施例的液滴测定方法的顺序图。
图4是示出根据本公开的一实施例的喷出液滴的步骤的俯视图。
图5是示出根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤的顺序图。
图6、图7和图8是示出根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤的图。
图9是示出根据本公开的一实施例的计算液滴的体积的步骤的顺序图。
图10和图11是示出根据一实施例的计算液滴的体积的步骤的图。
图12是示出根据本公开的一实施例的液滴测定装置的俯视图。
图13是示出根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤的图。
图14是示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造方法的顺序图。
图15是示出配置于工作台上的根据本公开的一实施例的显示基板的俯视图。
图16和图17是示出根据本公开的一实施例的形成发光层的步骤的图。
附图标记说明
110：工作台 120：液滴喷出部
122：喷嘴 130：扫描部
132：光扫描仪 134：光源
136：光传感器 150：存储部
160：计算部 220：像素电极
230：像素界定膜 240：发光层
具体实施方式
以下，参照所附的附图，更详细地说明根据本公开的实施例的液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法。针对所附的附图上的相同的构成要件，使用相同或相似的参照附图标记。
以下，参照图1至图11，说明根据本公开的一实施例的液滴测定装置及利用该装置的液滴测定方法。
图1是示出根据本公开的一实施例的液滴测定装置的图。图2是示出根据本公开的一实施例的液滴测定装置的俯视图。
参照图1和图2，根据本公开的一实施例的液滴测定装置可以包括工作台110、液滴喷出部120、扫描部130、控制部140、存储部150以及计算部160。
在工作台110上可以配置基板SUB。工作台110可以支承基板SUB。基板SUB可以提供喷出液滴的空间。基板SUB可以是包括玻璃、石英、塑料等的绝缘性基板。
在工作台110上可以配置液滴喷出部120。液滴喷出部120可以将液滴喷出于基板SUB上。液滴喷出部120可以在沿第二方向DR2移动的同时，将液滴喷出于基板SUB上的预先规定的位置。
液滴喷出部120可以包括多个喷嘴122。通过喷嘴122，液滴可以喷出于基板SUB上。喷嘴122可以沿实质上正交于第二方向DR2的第三方向DR3排列。在一实施例中，相邻的喷嘴122之间的间隔可以实质上均匀。在此情况下，喷出于基板SUB上的相邻的液滴之间的间隔可以实质上均匀。
从液滴喷出部120喷出的液滴可以是形成有机发光元件的发光层的物质。在一实施例中，液滴可以包括空穴注入物质、空穴输送物质、有机发光物质、电子输送物质以及电子注入物质中至少一种。所述有机发光物质可以包括红色有机发光物质、绿色有机发光物质和/或蓝色有机发光物质。液滴可以在所述物质中追加性包括用于从喷嘴122顺畅地喷出所述物质的溶剂。
在工作台110上可以配置扫描部130。扫描部130可以扫描配置于基板SUB上的液滴。扫描部130可以在沿第二方向DR2移动的同时，扫描喷出于基板SUB上的预先规定的位置的液滴。
扫描部130可以沿第二方向DR2以预先规定的速度移动。另外，扫描部130可以以预先规定的扫描频率扫描液滴。在此情况下，扫描部130的向第二方向DR2的扫描分辨率可以通过扫描部130的向第二方向DR2的移动速度和扫描部130的扫描频率来调节。例如，扫描部130的向第二方向DR2的扫描分辨率可以与扫描部130的扫描频率成比例，与扫描部130的向第二方向DR2的移动速度成反比例。
扫描部130可以包括光扫描仪132。通过光扫描仪132，扫描部130可以扫描液滴。光扫描仪132可以沿与第二方向DR2不同的第一方向DR1排列。第一方向DR1可以与第二方向DR2实质上正交。换句话说，第一方向DR1可以与第三方向DR3实质上相同。在此情况下，光扫描仪132可以向与喷嘴122的排列方向实质上相同的方向排列。
在一实施例中，相邻的光扫描仪132之间的间隔可以实质上均匀。在此情况下，扫描部130的向第一方向DR1的扫描分辨率可以通过相邻的光扫描仪132之间的间隔来决定。例如，扫描部130的向第一方向DR1的扫描分辨率可以与相邻的光扫描仪132之间的间隔成反比例。
各个光扫描仪132可以包括光源134和光传感器136。光源134可以向液滴发出光。光传感器136可以接收在液滴反射的光。在一实施例中，从光源134发出的光可以是可见光或者激光。光传感器136接收从光源134发出而在液滴的表面反射的光，由此各个光扫描仪132可以测定液滴的部分的厚度。另一方面，包括向第一方向DR1排列的多个光扫描仪132的扫描部130在向第二方向DR2以预先规定的速度移动的同时，以预先规定的扫描频率扫描液滴，由此扫描部130可以测定液滴的部分的厚度。
控制部140可以控制液滴喷出部120和扫描部130。例如，控制部140可以控制液滴喷出部120的移动、液滴喷出等，控制扫描部130的移动、移动速度、扫描频率等。
存储部150可以存储通过扫描部130扫描的液滴的部分的厚度。计算部160可以利用液滴的部分的厚度而计算液滴的体积。虽然在图1中图示了存储部150和计算部160包括于控制部140，但是本公开不限于此，存储部150和计算部160也可以从控制部140分离。
图3是示出根据本公开的一实施例的液滴测定方法的顺序图。
参照图3，根据本公开的一实施例的液滴测定方法可以包括：喷出液滴的步骤(S110)；扫描液滴的步骤(S120)；存储液滴的部分的厚度的步骤(S130)；以及计算液滴的体积的步骤(S140)。
图4是示出根据本公开的一实施例的喷出液滴的步骤(S110)的俯视图。
参照图3和图4，在喷出液滴的步骤(S110)中，可以将液滴喷出部120向第二方向DR2移动而将液滴DL喷出于基板SUB上的预先规定位置。液滴DL可以分别从液滴喷出部120的喷嘴122喷出。液滴DL可以在向第二方向DR2预先规定的位置向第三方向DR3以实质上相同的间隔排列。喷出于基板SUB上的各个液滴DL可以例如具有实质上半球形状。
图5是示出根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤(S120)的顺序图。
参照图3和图5，根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤(S120)可以包括：向液滴发出光的步骤(S122)；以及接收在液滴反射的光而测定液滴的部分的厚度的步骤(S124)。
图6、图7和图8是示出根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤(S120)的图。
参照图3、图5、图6、图7和图8，在扫描液滴的步骤(S120)中，可以将包括向第一方向DR1排列的光扫描仪132的扫描部130向第二方向DR2移动而扫描液滴DL。
在向液滴发出光的步骤(S122)中，光扫描仪132可以向液滴DL发出光LT(参见图10)。各个光扫描仪132的光源134可以向液滴DL发出可见光、激光等光LT。在此情况下，可以向一个液滴DL从多个光扫描仪132发出光LT。换句话说，相邻的光扫描仪132之间的间隔可以小于液滴DL的直径。
在接收在液滴反射的光而测定液滴的部分的厚度的步骤S124中，光扫描仪132可以接收从液滴DL的表面反射的光LT，利用反射的光LT而测定液滴DL的部分的厚度。各个光扫描仪132的光传感器136可以感测从液滴DL的表面反射的光LT。利用从光扫描仪132发出光LT的时点到光扫描仪132接收光LT的时点的时间，光扫描仪132可以测定液滴DL的各部分的厚度。例如，从光扫描仪132发出光LT的时点到光扫描仪132接收光LT的时点的时间可以与液滴DL的各部分的厚度成反比例。向第一方向DR1排列的光扫描仪132可以在向第二方向DR2移动的同时，扫描液滴DL的部分，由此，扫描部130可以测定液滴DL的部分的厚度。
在一实施例中，扫描部130的光扫描仪132可以沿与第二方向DR2实质上正交的第一方向DR1排列，相邻的光扫描仪132之间的间隔W1可以为约5μm。在此情况下，当向与第二方向DR2实质上正交的第三方向DR3的扫描间隔W3为约5μm，液滴DL的直径为约70μm时，向第三方向DR3的扫描分辨率可以为约14。换句话说，约14个光扫描仪132可以扫描一个液滴DL。另外，扫描部130可以向第二方向DR2移动，向第二方向DR2的扫描间隔可以为约250nm。在此情况下，当液滴DL的直径为约70μm时，向第二方向DR2的扫描分辨率可以为约280。换句话说，各光扫描仪132可以将一个液滴DL扫描约280次。由此，在本实施例中，光扫描仪132可以以约3920的扫描分辨率扫描一个液滴DL，扫描部130可以测定液滴DL的约3920个部分的厚度。
参照图3，在存储液滴的部分的厚度的步骤(S130)中，存储部可以存储通过扫描部130扫描的液滴的部分的厚度。
图9是示出根据本公开的一实施例的计算液滴的体积的步骤(S140)的顺序图。
参照图3和图9，根据本公开的一实施例的计算液滴的体积的步骤(S140)可以包括：利用液滴的部分的厚度而计算液滴的截面面积的步骤(S142)；以及利用液滴的截面的面积而计算液滴的体积的步骤S144。
图10和图11是示出根据一实施例的计算液滴的体积的步骤(S140)的图。
参照图3、图9、图10和图11，在计算液滴的体积的步骤(S140)中，计算部可以利用存储于存储部的液滴DL的部分的厚度TH而计算液滴DL的体积。
在利用液滴的部分的厚度而计算液滴的截面面积的步骤(S142)中，计算部可以利用存储于存储部的液滴DL的部分的厚度TH而计算液滴DL的截面CS的面积。液滴DL的各截面CS的面积可以利用向第三方向DR3排列的液滴DL的部分的厚度TH而通过区分求积法计算。例如，可以计算将向第三方向DR3的扫描间隔作为底边、将向第三方向DR3排列的液滴DL的各部分的厚度TH作为高度的矩形的面积，可以将向第三方向DR3排列的矩形的面积相加而计算液滴DL的各截面CS的面积。
在利用液滴的截面的面积而计算液滴的体积的步骤S144中，计算部可以利用计算的液滴DL的截面CS的面积而计算液滴DL的体积。液滴DL的体积可以利用向第二方向DR2排列的液滴DL的截面CS的面积而通过区分求积法计算。例如，可以计算将向第二方向DR2排列的液滴DL的各截面CS的面积作为底面、将向第二方向DR2的扫描间隔作为高度的立体的体积，可以将向第二方向DR2排列的立体的体积相加而计算液滴DL的体积。
在根据现有技术的比较例中，可以利用液滴的底面或者液滴的半径和接触角而计算液滴的体积。在此情况下，计算的液滴的体积与实际液滴的体积之间可能存在误差。但是，在本公开的一实施例中，将包括向第一方向DR1排列的光扫描仪132的扫描部130向与第一方向DR1不同的第二方向DR2移动而扫描液滴DL，利用通过扫描部130扫描的液滴DL的部分的厚度而计算液滴DL的体积，由此能够正确地测定液滴DL的体积。
以下，参照图12和图13，说明根据本公开的一实施例的液滴测定装置及利用该装置的液滴测定方法。除扫描部130的光扫描仪132的排列方向之外，参照图12和图13说明的液滴测定装置和液滴测定方法与参照图1至图11说明的液滴测定装置和液滴测定方法可以实质上相同或相似。由此，省略对于与前述的内容实质上相同或相似的内容的说明。
图12是示出根据本公开的一实施例的液滴测定装置的俯视图。
参照图12，扫描部130可以包括光扫描仪132。通过光扫描仪132，扫描部130可以扫描液滴。光扫描仪132可以沿与第二方向DR2不同的第一方向DR1排列。第一方向DR1可以与第二方向DR2构成锐角。换句话说，第一方向DR1可以与第三方向DR3不同。在此情况下，光扫描仪132可以向与喷嘴122的排列方向不同的方向排列。在一实施例中，第一方向DR1和第二方向DR2的夹角可以为约5度以上且未满约90度。在第一方向DR1和第二方向DR2的夹角为未满约5度的情况下，由于向与第二方向DR2实质上正交的第三方向DR3的扫描间隔变得过小，因此扫描部130可能无法扫描液滴的整体表面。
图13是示出根据本公开的一实施例的扫描液滴的步骤(S120)的图。
参照图3和图13，在扫描液滴的步骤(S120)中，可以将扫描部130向第二方向DR2移动，向第一方向DR1排列的光扫描仪132向液滴DL发出光，并接收从液滴DL的表面反射的光，利用反射的光而测定液滴DL的部分的厚度。
在一实施例中，可以是扫描部130的光扫描仪132沿与第二方向DR2构成锐角的第一方向DR1排列，相邻的光扫描仪132之间的间隔W1为约5μm。可以是在第一方向DR1和第二方向DR2的夹角为约60度的情况下向与第二方向DR2实质上正交的第三方向DR3的扫描间隔W3为约2.5μm，在液滴DL的直径为约70μm的情况下向第三方向DR3的扫描分辨率约28。换句话说，约28个光扫描仪132可以扫描一个液滴DL。另外，可以是扫描部130可以向第二方向DR2移动，向第二方向DR2的扫描间隔约250nm。在此情况下，当液滴DL的直径为约70μm时，向第二方向DR2的扫描分辨率可以为约280。换句话说，各光扫描仪132可以将一个液滴DL扫描约280次。由此，在本实施例中，光扫描仪132可以以约7840的扫描分辨率扫描一个液滴DL，扫描部130可以测定液滴DL的约7840个部分的厚度。
与参照图8说明的本公开的一实施例相比，在参照图13说明的本公开的一实施例中，排列扫描部130的光扫描仪132的第一方向DR1与扫描部130移动的第二方向DR2构成锐角，由此能够减小向与第二方向DR2实质上正交的第三方向DR3的扫描部130的扫描间隔W3。因此，能够增加扫描部130的扫描分辨率，由此能够更加正确地测定液滴DL的体积。
以下，参照图14至图17，说明根据本公开的一实施例的显示装置的制造方法。参照图14至图17说明的显示装置的制造方法可以包括参照图1至图13说明的液滴测定方法。由此，省略对于与前述的内容实质上相同或相似的内容的说明。
图14是示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造方法的顺序图。
参照图14，根据本公开的一实施例的显示装置的制造方法可以包括：喷出液滴的步骤(S110)；扫描液滴的步骤(S120)；存储液滴的部分的厚度的步骤(S130)；计算液滴的体积的步骤(S140)；调整液滴的喷出量的步骤S210；以及形成发光层的步骤S220。
图15是示出配置于工作台上的根据本公开的一实施例的显示基板的俯视图。
参照图14和图15，在调整液滴的喷出量的步骤S210中，可以考虑通过计算部计算的液滴的体积而调节从液滴喷出部120喷出于显示基板DS的液滴的喷出量。在计算的液滴的体积大于预先规定的液滴的体积的情况下，可以减少液滴的喷出量，在计算的液滴的体积小于预先规定的液滴的体积的情况下，可以增加液滴的喷出量。
显示基板DS可以包括：多个像素电极220，配置于晶体管基板210上；以及像素界定膜230，配置于像素电极220上。晶体管基板210可以包括用于将驱动电流提供于像素电极220的多个晶体管。像素界定膜230可以包括暴露各个像素电极220的至少一部分的开口OP。在向通过像素界定膜230的开口OP分别暴露的像素电极220分别喷出的液滴的喷出量彼此不均匀的情况下，可能产生通过液滴形成的发光层之间的高度差，发光层之间的高度差可能被识别为显示装置的斑点。由此，在从液滴喷出部120的喷嘴122分别喷出的液滴的喷出量彼此不均匀的情况下，可以按照喷嘴122调整液滴的喷出量而将从喷嘴122喷出的液滴的喷出量调整为彼此均匀。
图16和图17是示出根据本公开的一实施例的形成发光层的步骤(S220)的图。
参照图14、图16和图17，在形成发光层的步骤(S220)中，可以将液滴DL喷出于显示基板DS上而形成发光层240。显示基板DS可以配置于工作台110上，将包括向第三方向DR3排列的喷嘴122的液滴喷出部120向第二方向DR2移动，将液滴喷出部120配置于向第三方向DR3排列的像素电极220上。之后，可以通过喷嘴122而将液滴DL喷出于通过像素界定膜230的开口OP分别暴露的像素电极220上，形成向第三方向DR3排列的发光层240。
在一实施例中，液滴DL可以包括空穴注入物质、空穴输送物质、有机发光物质、电子输送物质以及电子注入物质中至少一种。所述有机发光物质可以包括红色有机发光物质、绿色有机发光物质和/或蓝色有机发光物质。液滴DL可以在所述物质中追加性包括用于从喷嘴122顺畅地喷出所述物质的溶剂。
在本公开的一实施例中，利用通过扫描部扫描的液滴DL的部分的厚度而计算液滴DL的体积，由此能够正确地测定液滴DL的体积，基于正确地测定的液滴DL的体积而调整液滴DL的喷出量，由此能够形成具有均匀的体积的显示装置的发光层240。由此，能够防止识别到显示装置的斑点。
产业上可利用性
根据本公开的例示性实施例的液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法可以应用于包括于电脑、笔记本、手机、智能手机、智能平板、便携式媒体播放器(PMP)、个人数字助理(PDA)、MP3播放器等中的显示装置的制造方法。
以上，针对根据本公开的例示性实施例的液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法，参照附图进行了说明，但是说明的实施例是例示性的，本技术领域中具有通常知识的人员在不超出记载于权利要求书中的本公开的技术构思的范围内可以进行修改和变更。

Claims (18)

1.一种液滴测定方法，其中，包括：
将液滴喷出于基板上的步骤；
将包括向第一方向排列的光扫描仪的扫描部向与所述第一方向不同的第二方向移动而扫描所述液滴的步骤；
存储通过所述扫描部扫描的所述液滴的部分的厚度的步骤；
利用所述液滴的所述部分的所述厚度而计算所述液滴的体积的步骤，
计算所述液滴的所述体积的步骤包括：
利用向所述第一方向排列的所述液滴的所述部分的所述厚度而通过区分求积法计算所述液滴的截面面积的步骤；以及
利用向所述第二方向排列的所述液滴的截面的面积而通过区分求积法计算所述液滴的所述体积的步骤。
2.根据权利要求1所述的液滴测定方法，其中，
扫描所述液滴的步骤包括：
各个所述光扫描仪向所述液滴发出光的步骤；以及
各个所述光扫描仪接收在所述液滴反射的所述光而测定所述液滴的所述部分的所述厚度的步骤。
3.根据权利要求1所述的液滴测定方法，其中，
所述第一方向与所述第二方向正交。
4.根据权利要求1所述的液滴测定方法，其中，
所述第一方向与所述第二方向构成锐角。
5.根据权利要求4所述的液滴测定方法，其中，
所述第一方向与所述第二方向的夹角为5度以上且未满90度。
6.根据权利要求1所述的液滴测定方法，其中，
所述扫描部的向所述第二方向的扫描分辨率通过所述扫描部的向所述第二方向的移动速度和所述扫描部的扫描频率来调节。
7.一种液滴测定装置，其中，包括：
工作台，支承基板；
液滴喷出部，配置于所述工作台上，将液滴喷出于所述基板上；
扫描部，配置于所述工作台上，并包括向第一方向排列的光扫描仪，所述扫描部向与所述第一方向不同的第二方向移动而扫描所述液滴；
存储部，存储通过所述扫描部扫描的所述液滴的部分的厚度；以及
计算部，利用所述液滴的所述部分的所述厚度而计算所述液滴的体积，
相邻的所述光扫描仪之间的间隔小于所述液滴的直径。
8.根据权利要求7所述的液滴测定装置，其中，
所述第一方向与所述第二方向正交。
9.根据权利要求7所述的液滴测定装置，其中，
所述第一方向与所述第二方向构成锐角。
10.根据权利要求9所述的液滴测定装置，其中，
所述第一方向与所述第二方向的夹角为5度以上且未满90度。
11.根据权利要求7所述的液滴测定装置，其中，
所述扫描部的相邻的光扫描仪之间的间隔均匀。
12.根据权利要求7所述的液滴测定装置，其中，
各个所述光扫描仪包括：
光源，向所述液滴发出光；以及
光传感器，接收在所述液滴反射的所述光。
13.根据权利要求7所述的液滴测定装置，其中，
所述液滴喷出部向所述第二方向移动而喷出所述液滴。
14.根据权利要求7所述的液滴测定装置，其中，
所述液滴喷出部包括向与所述第二方向正交的第三方向排列并分别喷出所述液滴的喷嘴。
15.一种显示装置的制造方法，其中，包括：
将液滴喷出于基板上的步骤；
将包括向第一方向排列的光扫描仪的扫描部向与所述第一方向不同的第二方向移动而扫描所述液滴的步骤；
存储通过所述扫描部扫描的所述液滴的部分的厚度的步骤；
利用所述液滴的所述部分的所述厚度而计算所述液滴的体积的步骤；
调整所述液滴的喷出量的步骤；以及
将所述液滴喷出于显示基板上而形成发光层的步骤，
计算所述液滴的体积的步骤包括：
利用向所述第一方向排列的所述液滴的所述部分的所述厚度而通过区分求积法计算所述液滴的截面面积的步骤；以及
利用向所述第二方向排列的所述液滴的截面的面积而通过区分求积法计算所述液滴的所述体积的步骤。
16.根据权利要求15所述的显示装置的制造方法，其中，
扫描所述液滴的步骤包括：
各个所述光扫描仪向所述液滴发出光的步骤；以及
各个所述光扫描仪接收在所述液滴反射的所述光而测定所述液滴的所述部分的所述厚度的步骤。
17.根据权利要求15所述的显示装置的制造方法，其中，
所述液滴包括空穴注入物质、空穴输送物质、有机发光物质、电子输送物质以及电子注入物质中至少一种。
18.根据权利要求15所述的显示装置的制造方法，其中，
所述显示基板包括：像素电极；以及像素界定膜，配置于所述像素电极上，并包括暴露所述像素电极的至少一部分的开口，
所述液滴喷出于所述像素电极上的所述开口内。
CN202010181582.3A 2019-08-14 2020-03-16 液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法 Active CN112389096B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190099271A KR20210021160A (ko) 2019-08-14 2019-08-14 액적 측정 방법, 액적 측정 장치, 및 표시 장치의 제조 방법
KR10-2019-0099271 2019-08-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112389096A CN112389096A (zh) 2021-02-23
CN112389096B true CN112389096B (zh) 2024-04-05

Family

ID=74568201

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010181582.3A Active CN112389096B (zh) 2019-08-14 2020-03-16 液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11417572B2 (zh)
KR (1) KR20210021160A (zh)
CN (1) CN112389096B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210130901A (ko) * 2020-04-22 2021-11-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 장치
KR102608020B1 (ko) * 2021-12-30 2023-11-30 (주)유니젯 잉크방울 측정패드, 이를 구비한 잉크젯 프린터 장치 및 잉크방울 측정방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1530227A (zh) * 2003-03-13 2004-09-22 ������������ʽ���� 电光面板、电子仪器的制造方法及电光面板、电光装置和电子仪器
CN1607378A (zh) * 2003-10-15 2005-04-20 精工爱普生株式会社 体积测定方法及装置、具有该装置的液滴喷出装置
CN101256092A (zh) * 2007-02-26 2008-09-03 精工爱普生株式会社 喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置
CN107031185A (zh) * 2015-09-16 2017-08-11 精工爱普生株式会社 液滴喷出方法、液滴喷出程序以及液滴喷出装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4251330B2 (ja) * 2005-12-22 2009-04-08 カシオ計算機株式会社 表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法
KR101525800B1 (ko) * 2008-07-25 2015-06-10 삼성디스플레이 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법
KR101073976B1 (ko) 2009-06-29 2011-10-17 주식회사 프로텍 체적 감지형 디스펜서 제어 방법
JP5381778B2 (ja) 2010-02-12 2014-01-08 株式会社リコー ノズル吐出状態測定装置および画像形成装置
KR20120098007A (ko) 2011-02-28 2012-09-05 주식회사 탑 엔지니어링 반도체패키지 제조용 수지도포장치
US9832428B2 (en) * 2012-12-27 2017-11-28 Kateeva, Inc. Fast measurement of droplet parameters in industrial printing system
KR102017399B1 (ko) 2014-09-02 2019-10-21 카티바, 인크. 산업용 프린팅 시스템에서 액적 파라미터의 빠른 측정
KR101818695B1 (ko) 2016-03-28 2018-01-16 세메스 주식회사 잉크젯 헤드를 이용한 인쇄 방법
US11009338B2 (en) * 2017-04-04 2021-05-18 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Liquid droplet measurement method and liquid droplet measurement device, and method and apparatus for manufacturing device
WO2018198303A1 (ja) * 2017-04-28 2018-11-01 シャープ株式会社 塗布装置、電子デバイス製造装置、製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1530227A (zh) * 2003-03-13 2004-09-22 ������������ʽ���� 电光面板、电子仪器的制造方法及电光面板、电光装置和电子仪器
CN1607378A (zh) * 2003-10-15 2005-04-20 精工爱普生株式会社 体积测定方法及装置、具有该装置的液滴喷出装置
CN101256092A (zh) * 2007-02-26 2008-09-03 精工爱普生株式会社 喷落点测定方法及喷落点测定装置、以及液滴喷出装置
CN107031185A (zh) * 2015-09-16 2017-08-11 精工爱普生株式会社 液滴喷出方法、液滴喷出程序以及液滴喷出装置

Also Published As

Publication number Publication date
US11417572B2 (en) 2022-08-16
US20210050270A1 (en) 2021-02-18
CN112389096A (zh) 2021-02-23
KR20210021160A (ko) 2021-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112389096B (zh) 液滴测定方法、液滴测定装置及显示装置的制造方法
KR100766988B1 (ko) 워크, 전기 광학 장치 및 전자 기기
US8366232B2 (en) Method of measuring landed dot, measuring apparatus for landed dot, liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optic apparatus, electro-optic apparatus, and electronic apparatus
KR100641378B1 (ko) 체적 측정 방법, 체적 측정 장치 및 이것을 구비한 액체방울 토출 장치, 및 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기광학 장치 및 전자 기기
US7247339B2 (en) Deposition of soluble materials using ink jet print head and alignment marks
US7920274B2 (en) Method of measuring topology of functional liquid droplet in pixel, topology measuring apparatus of functional liquid in pixel, liquid ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus
CN108731590B (zh) 液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置
TW201422451A (zh) 噴墨印頭以及使用此噴墨印頭製造有機發光顯示器之設備及方法
KR20060051965A (ko) 헤드 유닛, 액적 토출 장치, 패널 제조 방법, 화상 표시장치 및 전자기기
JP2004170386A (ja) 検査装置及び検査方法、液滴吐出装置及び液滴吐出方法、デバイス及び電子機器
JP2010240503A (ja) 液滴吐出量測定方法および有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP4466115B2 (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器
JP3925527B2 (ja) 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器
JP2010080268A (ja) 有機ｅｌ装置及び電子機器
JP3925525B2 (ja) 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器
KR20170026146A (ko) 액적 토출 방법, 프로그램을 갖는 컴퓨터 판독 가능 기록 매체, 유기 el 장치의 제조 방법, 컬러 필터의 형성 방법
JP2006208542A (ja) 描画装置、色要素付き基板の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2004209409A (ja) 基板の製造方法、液滴吐出装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および、電子機器
JP2020008319A (ja) 検査装置、塗布システム、検査方法、および塗布方法
JP2010169608A (ja) 液量測定方法、液量測定装置、および電気光学装置の製造方法
JP4360210B2 (ja) 液滴付与方法および電気光学装置の製造方法
US20240051291A1 (en) Printing device and printing method
JP2006035075A (ja) 液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP4239928B2 (ja) 画素形成方法および液滴吐出装置
KR20230010895A (ko) 잉크젯 프린팅 장치, 이를 이용한 잉크 프린팅 방법 및 표시 장치의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant