JP2010169608A - 液量測定方法、液量測定装置、および電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被吐出領域の長手方向と直交する短手方向に沿う線分上の異なる3つの位置D1,D2,D3において、この3つの位置のうちの一つの位置D1における前記液滴の液面高さを基準として他の2つの位置D2,D3における前記液滴の液面高さ△H1,△H2を計測する計測工程と、計測された他の2つの位置D2,D3における液滴の液面高さと3つの位置D1,D2,D3とから、短手方向に沿った前記液滴の液面形状を近似する円弧の曲率半径Rを演算し、演算した曲率半径Rから液滴の液量を測定する測定工程と、を備えた。
【選択図】図8
Description
図1は、本発明の一実施形態としての液量測定装置100の概略構成を示す模式図である。液量測定装置100は、図示するように、X軸方向に移動するテーブル105aと、X軸方向と直交するY軸方向に移動するテーブル105bと、からなる移動手段としてのXYテーブル105と、読取手段としてのカメラ20と、計測手段としての計測器30と、液量測定装置100を制御するコントロール装置10とを備えている。
次に、図6を用いて、その液量測定方法についてその概要を説明する。なお、本実施形態では、機能層として発光層を形成するものとして説明する。もとより、以下の説明は、正孔注入層についても同様に適用可能である。なお、図6は、図3に示した画素領域の一つにおいて、発光層を形成する材料を溶質としこれを溶媒に溶融した機能液が所定の量滴下された状態を示す模式図であり、図面下側はX軸方向の中心断面図、図面右側はY軸方向の中心断面図である。
上記実施形態では、本発明を液量測定装置100とし、電気光学装置の一つとなる有機ELパネルを構成する有機EL素子を、基板Pに形成された画素領域に形成するものとして説明したが、他の実施形態として、本発明を電気光学装置の一つである有機ELパネルの製造方法として捉えることもできる。本実施形態による製造方法について、その工程を、図11のフローチャートを用いて説明する。
上記実施形態の液量測定方法では、画素領域の短手方向において、短手方向の中心位置と、この中心位置から両側にそれぞれ短手方向の幅Aの1/4以上離れた2つの位置との3つの位置において液面の高さを計測することとしたが、これに限るものでないことは勿論である。前述したように、円弧形状の曲率半径は、3つの座標位置から演算できる。従って、短手方向の幅Aにおける線上の位置であれば、どの3つの位置であっても、同様に曲率半径を演算することができる。
上記実施形態の液量測定装置では、カメラ20によって基板Pに形成された画素領域の位置と形状のデータを取得することとしたが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、カメラ20を備えないこととしてもよい。画素領域の位置および形状が、予め判明している場合は、コントロール装置10において、ROMなどのメモリーにそれらのデータを格納しておけばよい。CPU11は、格納された画素領域の位置および形状データを読み出して処理すればよい。この場合は、取得部111が不要である。さらに画素領域の長手方向の幅Bと短手方向の幅Aも予め判明している場合は、算出部112も不要である。
Claims (15)
- 基板面に一方向が長い長手方向を有するように領域形成された液滴の被吐出領域に対して、滴下された前記液滴の液量を測定する液量測定方法であって、
前記被吐出領域の長手方向と直交する短手方向に沿う線分上の異なる3つの位置において、前記3つの位置のうちの1つの位置における前記液滴の液面高さを基準として他の2つの位置における前記液滴の液面高さを計測する計測工程と、
計測された前記他の2つの位置における前記液滴の液面高さと前記3つの位置とから、前記短手方向に沿った前記液滴の液面形状を近似する円弧の曲率半径を演算し、演算した前記曲率半径から前記液滴の液量を測定する測定工程と、
を備えたことを特徴とする液量測定方法。 - 請求項1に記載の液量測定方法であって、
前記計測工程は、前記短手方向に沿う線分の位置を、前記長手方向の略中心位置とすることを特徴とする液量測定方法。 - 請求項1または2に記載の液量測定方法であって、
前記計測工程は、前記1つの位置を、前記被吐出領域の短手方向の略中心位置とすることを特徴とする液量測定方法。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の液量測定方法であって、
前記計測工程は、前記他の2つの位置を、前記短手方向の中心位置から前記被吐出領域の短手方向の幅の1/4以上離れた位置とすることを特徴とする液量測定方法。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の液量測定方法であって、
前記測定工程は、前記被吐出領域の形状に応じて前記液滴の液量と前記曲率半径との対応関係を予め定めたテーブルを用い、演算した前記曲率半径から前記液滴の液量を測定することを特徴とする液量測定方法。 - 請求項1ないし5いずれか一項に記載の液量測定方法であって、
前記被吐出領域について、形状と前記基板面における位置に関する情報を取得する取得工程と、
前記形状と前記位置に関する情報を用いて、前記被吐出領域について前記3つの位置を算出する算出工程と、
を備えたことを特徴とする液量測定方法。 - 請求項6に記載の液量測定方法であって、
前記取得工程は、前記基板面に形成された前記被吐出領域を光学的に読み取ることによって、前記被吐出領域の前記形状と前記位置に関する情報を取得することを特徴とする液量測定方法。 - 基板面に一方向が長い長手方向を有するように領域形成された液滴の被吐出領域に対して、滴下された前記液滴の液量を測定する液量測定装置であって、
前記液滴の液面高さを計測する計測手段と、
前記被吐出領域の長手方向と直交する短手方向に沿う線分上の異なる3つの位置において、前記3つの位置のうちの1つの位置における前記液滴の液面高さを基準として、他の2つの位置における前記液滴の液面高さを、前記計測手段を用いて計測する計測部と、
計測された前記他の2つの位置における前記液滴の液面高さと前記3つの位置とから、前記短手方向に沿った前記液滴の液面形状を近似する円弧の曲率半径を演算し、演算した前記曲率半径から前記液滴の液量を測定する測定部と、
を備えたことを特徴とする液量測定装置。 - 請求項8に記載の液量測定装置であって、
前記計測手段を前記基板面に対して面内方向に相対移動する移動手段と、
前記被吐出領域の形状と前記基板面における位置に関する情報を取得する取得部と、
取得された前記形状と前記位置に関する情報を用いて、前記3つの位置を算出する算出部と、
を備え、
前記計測部は、前記移動手段を用いて、算出された前記3つの位置に移動して計測することを特徴とする液量測定装置。 - 請求項9に記載の液量測定装置であって、
前記基板面において形成された前記被吐出領域を光学的に読み取る読取手段を備え、
前記取得部は、前記読取手段を用いて前記被吐出領域を読み取ることによって、前記被吐出領域の前記形状と前記位置に関する情報を取得することを特徴とする液量測定装置。 - 請求項8ないし10のいずれか一項に記載の液量測定装置であって、
前記計測部は、前記1つの位置を、前記被吐出領域の短手方向の略中心位置とすることを特徴とする液量測定装置。 - 請求項8ないし11のいずれか一項に記載の液量測定装置であって、
前記計測部は、前記他の2つの位置を、前記短手方向の中心位置から前記被吐出領域の短手方向の幅の1/4以上離れた位置とすることを特徴とする液量測定装置。 - 請求項8ないし12のいずれか一項に記載の液量測定装置であって、
前記測定部は、前記被吐出領域の形状に応じて前記液滴の液量と前記曲率半径との対応関係を予め定めたテーブルを用い、演算した前記曲率半径から前記液滴の液量を測定することを特徴とする液量測定装置。 - 基板面に一方向が長い長手方向を有するように領域形成された液滴の被吐出領域に対して、前記液滴を所定量滴下することによって表示素子が形成される電気光学装置の製造方法であって、
前記被吐出領域に対して、吐出装置を用いて前記液滴を吐出することによって、前記被吐出領域に前記液滴を滴下する滴下工程と、
前記滴下した前記液滴の液量を、請求項1ないし7のいずれか一項に記載の液量測定方法を用いて測定する測定工程と、
前記測定した前記液滴の液量に基づいて、前記吐出装置が吐出する前記液滴の滴下量が前記所定量になるように前記吐出装置の吐出量を補正する補正工程と、
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 基板面に一方向が長い長手方向を有するように領域形成された液滴の被吐出領域に対して、前記液滴を所定量滴下することによって表示素子が形成される電気光学装置の製造方法であって、
前記被吐出領域に対して、吐出装置を用いて前記液滴を吐出することによって、前記被吐出領域に前記液滴を滴下する滴下工程と、
前記滴下した前記液滴の液量を、請求項8ないし13のいずれか一項に記載の液量測定装置を用いて測定する測定工程と、
前記測定した前記液滴の液量に基づいて、前記吐出装置が吐出する前記液滴の滴下量が前記所定量になるように前記吐出装置の吐出量を補正する補正工程と、
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
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