JP2014140810A - インクジェット装置および液滴測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態に係るインクジェット装置1は、ヘッド部121〜126と、ステージ11と、光源161と、受光部162と、コントローラ15とを具備する。ステージ11は、液滴が塗布される基板Sを支持し、かつ、ヘッド部121〜126に対して相対移動可能に構成される。光源161は、基板S上の液滴Dに照明光L1を照射可能に構成される。受光部162は、液滴Dからの照明光L1の反射光L2を受光可能に構成される。コントローラ15は、受光部162で受光された反射光L2の強度に基づいて液滴Dの量に関する情報を取得可能に構成される。
【選択図】図5
Description
上記ヘッド部は、インクの液滴を吐出可能に構成される。
上記ステージは、上記液滴が塗布される基板を支持し、かつ、上記ヘッド部に対して相対移動可能に構成される。
上記光源は、上記基板上の上記液滴に照明光を照射可能に構成される。
上記受光部は、上記液滴からの上記照明光の反射光を受光可能に構成される。
上記コントローラは、上記受光部で受光された上記反射光の強度に基づいて上記液滴の量に関する情報を取得可能に構成される。
上記基板に塗布された乾燥前の上記液滴に向けて光源から照明光が照射される。
上記液滴からの上記照明光の反射光が受光部で受光される。
受光した上記反射光の強度に基づいて上記液滴の量に関する情報が取得される。
上記ヘッド部は、インクの液滴を吐出可能に構成される。
上記ステージは、上記液滴が塗布される基板を支持し、かつ、上記ヘッド部に対して相対移動可能に構成される。
上記光源は、上記基板上の上記液滴に照明光を照射可能に構成される。
上記受光部は、上記液滴からの上記照明光の反射光を受光可能に構成される。
上記コントローラは、上記受光部で受光された上記反射光の強度に基づいて上記液滴の量に関する情報を取得可能に構成される。
これにより、個々の液滴に対する反射光の受光方向等の測定条件を共通化でき、測定条件の相違による測定精度の低下を防止することができる。また複数の液滴を一単位とした受光強度の測定が可能となり、処理時間の短縮を図ることができる。
これにより個々の液滴についての量の比較等が可能となり、異常吐出等を容易に検出することができる。
これにより基板上への液滴の塗布と液滴の吐出量の測定とを同一のステージ上で実行することが可能となる。
上記基板に塗布された乾燥前の上記液滴に向けて光源から照明光が照射される。
上記液滴からの上記照明光の反射光が受光部で受光される。
受光した上記反射光の強度に基づいて上記液滴の量に関する情報が取得される。
これにより個々の液滴に対する反射光の受光方向等の測定条件を共通化でき、測定条件の相違による測定精度の低下を防止することができる。また複数の液滴を一単位とした受光強度の測定が可能となり、処理時間の短縮を図ることができる。
これにより基板上への液滴の塗布と液滴の吐出量の測定とを同一のステージ上で実行することが可能となる。
図1は、本発明の一実施形態に係るインクジェット装置を示す概略平面図であり、図2はその概略側面図である。各図においてX軸及びY軸は相互に直交する水平方向を示し、Z軸はX軸及びY軸にそれぞれ直交する鉛直方向を示している。
ヘッドモジュール12は複数のヘッド部121,122,123,124,125,126を有する。ヘッド部121〜126は、ガイドレール13a,13bに沿ってY軸方向に移動するステージ11上の基板Sの表面全域に、所定のインクの液滴Dを塗布するように構成される。なおヘッドモジュール12は、単一のヘッド部で構成されてもよい。
インクジェット印刷におけるインク吐出量は、直接的または間接的にインク吐出量を測定し、それが最適値となるようにフィードバックすることで調整される。吐出量の測定方法としては、飛翔している液滴の体積や速度を測定する方法、基板上に塗布された乾燥後の塗膜の膜厚を測定する方法等が知られている。しかし、飛翔状態の液滴を測定する方法は、ノズル毎に精密に測定を行う必要があるためフィードバックに時間を要し、また、ノズル間のクロストークの影響を受けやすい。一方、乾燥後の塗膜の膜厚を測定する方法は吐出異常が発生した場合に迅速にフィードバックすることができないなどの不具合があった。また、いずれの場合においても、測定に時間を要するため、測定点を少なくする必要があり、さらに測定ばらつきが大きく正確な測定が困難であった。
11…ステージ
15…コントローラ
16…液量測定ユニット
17…駆動部
121〜126…ヘッド部
161…光源
162…受光部
Claims (14)
- インクの液滴を吐出可能な1以上のヘッド部と、
前記液滴が塗布される基板を支持し、かつ、前記ヘッド部に対して相対移動可能なステージと、
前記基板上の前記液滴に照明光を照射可能な光源と、
前記液滴からの前記照明光の反射光を受光可能な受光部と、
前記受光部で受光された前記反射光の強度に基づいて前記液滴の量に関する情報を取得可能なコントローラと
を具備するインクジェット装置。 - 請求項1に記載のインクジェット装置であって、
前記ヘッド部は、前記液滴をそれぞれ吐出可能な複数のノズルを有し、
前記インクジェット装置は、前記受光部を前記ステージに対して相対移動させることが可能に構成された駆動部をさらに具備する
インクジェット装置。 - 請求項2に記載のインクジェット装置であって、
前記コントローラは、前記駆動部による前記受光部の移動を制御し、前記複数のノズルから吐出され前記基板上に塗布された複数の液滴からの前記反射光の強度に基づいて前記複数の液滴の量に関する情報をそれぞれ取得する
インクジェット装置。 - 請求項3に記載のインクジェット装置であって、
前記受光部は、前記基板上に塗布された前記複数の液滴を同時に撮像可能なカメラを含む
インクジェット装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載のインクジェット装置であって、
前記受光部は、前記基板の表面と直交する軸に関して、前記光源とは非対称な位置に配置される
インクジェット装置。 - 請求項2〜5のいずれか1つに記載のインクジェット装置であって、
前記ステージは、前記ヘッド部に対して第1の軸方向に沿って相対移動可能に構成され、
前記コントローラは、前記受光部を前記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に沿って移動させるように前記駆動部を制御する
インクジェット装置。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載のインクジェット装置であって、
前記ヘッド部は、一軸方向に沿って配列された複数のヘッド部を含む
インクジェット装置。 - 請求項1〜7のいずれか1つに記載のインクジェット装置であって、
前記コントローラは、前記液滴の量に関する情報に基づいて前記液滴の吐出量を制御するための制御信号を生成し、前記制御信号を前記ヘッド部へ出力可能に構成される
インクジェット装置。 - ステージ上の基板に向けて、少なくとも1つのヘッド部からインクの液滴を吐出し、
前記基板に塗布された乾燥前の前記液滴に向けて光源から照明光を照射し、
前記液滴からの前記照明光の反射光を受光部で受光し、
受光した前記反射光の強度に基づいて前記液滴の量に関する情報を取得する
液滴測定方法。 - 請求項9に記載の液滴測定方法であって、
前記液滴を吐出する工程は、前記ヘッド部の複数のノズルから複数の液滴を吐出し、
前記反射光を受光する工程は、前記受光部を前記ステージに対して相対移動させながら、前記基板上に塗布された前記複数の液滴からの反射光を受光する
液滴測定方法。 - 請求項10に記載の液滴測定方法であって、
前記情報を取得する工程は、前記基板上に塗布された前記複数の液滴からの反射光の強度に基づいて、前記複数の液滴の量に関する情報をそれぞれ取得する
液滴測定方法。 - 請求項10又は11に記載の液滴測定方法であって、
前記液滴を吐出する工程は、前記ステージを前記ヘッド部に対して第1の軸方向に移動させながら前記液滴を吐出し、
前記反射光を受光する工程は、前記受光部を前記ステージに対して前記第1の軸方向と交差する第2の軸方向に沿って移動させながら前記反射光を受光する
液滴測定方法。 - 請求項9〜12のいずれか1つに記載の液滴測定方法であって、さらに、
前記液滴の量に関する情報に基づいて前記液滴の吐出量を制御するための制御信号を生成し、前記制御信号を前記ヘッド部へ出力する
液滴測定方法。 - 請求項9〜13のいずれか1つに記載の液滴測定方法であって、さらに、
前記基板上に塗布された試験用液滴からの前記照明光の反射光を用いて前記液滴の吐出量を制御する
液滴測定方法。
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