JP2012170866A - 製膜装置、及び製膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製膜の際よりも、吐出不良検査の際は吐出ヘッドからの吐出数が少ないことに起因して、不良が検出され難くなることを抑制することができる製膜装置、及び製膜方法を提供する。
【解決手段】製膜装置は、吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させるとともに、吐出ヘッドから媒体保持手段に保持された被製膜媒体に向けて液状体を吐出する吐出走査によって、被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、吐出ヘッドから検査吐出した液状体を着弾させる検査着弾媒体を保持する検査媒体保持手段と、吐出ヘッドと検査媒体保持手段とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、検査媒体保持手段は、検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、媒体保持手段の相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、被製膜媒体上に液状体を配置し、当該液状体を固化させることによって、被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置、及び製膜方法に関する。

従来から、吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出し、任意の位置に精度よく着弾させることによって、任意の位置に任意の量の液状体を配置するインクジェット装置が知られている。このようなインクジェット装置は、配置した液状体を固化させることによって、精密な形状を有する機能膜や、精細な画像などを形成することができる製膜装置として用いられる。精密な形状を有する機能膜や、精細な画像は、吐出する液滴の重量や吐出された液滴の着弾位置を適切に維持することで、形成することができる。そのような精密な吐出を維持するために、吐出の状態の検査が実施されている。

特許文献１に開示された液滴吐出装置は、セットテーブルにセットしたワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを主走査方向に相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることにより、ワークに描画を行う液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査するための吐出不良検査ユニットを備え、吐出不良検査ユニットは、機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出により、所定の検査パターンが描画される被描画ユニットと、描画された検査パターンを撮像して画像認識し吐出不良を判断する吐出不良判断手段と、を有し、被描画ユニットは、セットテーブルから主走査方向に外れた主走査移動軸上に配設されている。これにより、特許文献１に開示された液滴吐出装置は、効率的にドット抜け検出を行うことができ、ドット抜け検出のサイクルタイムを削減できる。

特開２００９−２７４０６８号公報

しかしながら、特許文献１に記載された液滴吐出装置においては、ワークに対する吐出にくらべて、吐出不良検査において検査パターンを描画する際の吐出は、機能液吐出ヘッドからの吐出数が少なくならざるを得ない。このため、ワークに対して描画を実施する場合に、一定以上の数の吐出をすることで出現し易くなるような不良は、吐出不良検査においては、検出されない可能性が高いという課題があった。すなわち、描画を実施する際の欠陥を、確実に検出できない可能性があるという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる製膜装置は、液状体を吐出する吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、前記相対移動手段によって前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記媒体保持手段に保持された前記被製膜媒体に向けて前記液状体を吐出する吐出走査を実施することによって、前記被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、前記吐出ヘッドから検査吐出した前記液状体を着弾させる検査着弾媒体を保持する検査媒体保持手段と、前記吐出ヘッドと前記検査媒体保持手段とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、前記検査媒体保持手段は、前記検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、前記媒体保持手段の前記吐出走査における前記相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする。

本適用例にかかる製膜装置によれば、検査媒体保持手段は、検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、媒体保持手段の吐出走査における相対移動方向の長さより長い。この構成により、検査媒体保持手段によって保持される検査着弾媒体の、検査相対移動手段による相対移動方向の長さを、媒体保持手段によって保持される被製膜媒体の吐出走査における相対移動方向の長さより、長くすることができる。すなわち、検査吐出して検査着弾媒体に着弾させる範囲の長さを、吐出走査において被製膜媒体に着弾させる範囲の長さより、長くすることができる。これにより、検査吐出において描画できるパターンが吐出走査において描画するパターンより短いことに起因して、吐出走査を実施する場合に、一定以上の長さの範囲に吐出をすることで出現し易くなるような欠陥を検出し難くなることを抑制することができる。

［適用例２］本適用例にかかる製膜装置は、液状体を吐出する吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、前記相対移動手段によって前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記媒体保持手段に保持された前記被製膜媒体に向けて前記液状体を吐出する吐出走査を実施することによって、前記被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、検査吐出した前記液状体を着弾させる検査着弾媒体と、前記吐出ヘッドと前記検査着弾媒体とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、前記検査着弾媒体は、前記検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、前記媒体保持手段によって保持可能な前記被製膜媒体の前記吐出走査における前記相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする。

本適用例にかかる製膜装置によれば、検査着弾媒体は、検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、媒体保持手段によって保持可能な被製膜媒体の吐出走査における相対移動方向の長さより長い。この構成により、検査吐出して検査着弾媒体に着弾させる範囲の長さを、吐出走査において被製膜媒体に着弾させる範囲の長さより、長くすることができる。これにより、検査吐出において描画できるパターンが吐出走査において描画するパターンより短いことに起因して、吐出走査を実施する場合に、一定以上の長さの範囲に吐出をすることで出現し易くなるような欠陥を検出し難くなることを抑制することができる。

［適用例３］上記適用例にかかる製膜装置は、前記相対移動手段が、前記検査相対移動手段を兼ねることが好ましい。

この製膜装置によれば、相対移動手段は、検査相対移動手段としても機能する。これにより、相対移動手段と検査相対移動手段とをそれぞれ設ける構成にくらべて、製膜装置を小型にすることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる製膜装置は、前記被製膜媒体及び前記検査着弾媒体に紫外線を照射することが可能な紫外線照射手段をさらに備え、前記液状体が、紫外線硬化型の機能液であることが好ましい。

この製膜装置によれば、紫外線照射手段を備え、紫外線硬化型の機能液を吐出して、膜を形成する。紫外線硬化型の機能液を使用する製膜装置においては、吐出されて着弾した機能液が流動することを抑制するために、硬化用の紫外線照射手段を吐出ヘッドの近くに設ける構成が多く採用されている。吐出走査の長さが長くなることで、硬化用の光が吐出ヘッドの近くに照射されている時間が長くなり、硬化用の光が吐出ヘッドに影響を与える可能性が高くなる。したがって、吐出する液状体が紫外線硬化型の機能液である場合に、検査吐出において描画できるパターンが吐出走査において描画するパターンより短いことに起因して、吐出走査を実施する場合に一定以上の長さの範囲に吐出をすることで出現し易くなるような欠陥を検出し難くなることを抑制することができることは、非常に有益である。

［適用例５］本適用例にかかる製膜方法は、液状体を吐出する吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、を相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記媒体保持手段に保持された前記被製膜媒体に向けて前記液状体を吐出する吐出走査工程と、前記吐出ヘッドと、検査用媒体と、を相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記検査用媒体に向けて前記液状体を吐出する検査吐出走査工程と、を有し、前記検査吐出走査工程における相対移動距離が、前記吐出走査工程における相対移動距離と等しい又は当該相対移動距離より長く、前記検査吐出走査工程における前記吐出ヘッドからの吐出数が、前記吐出走査工程における吐出数と等しい又は当該吐出数より多いことを特徴とする。

本適用例にかかる製膜方法によれば、検査吐出走査工程における相対移動距離が、吐出走査工程における相対移動距離以上であり、検査吐出走査工程における吐出ヘッドからの吐出数が、記吐出走査工程における吐出数以上である。これにより、検査吐出走査工程において描画できるパターンが吐出走査工程において描画するパターンより短いことに起因して、吐出走査工程を実施する場合に、一定以上の長さの範囲に吐出を実施することで出現し易くなるような欠陥を検出し難くなることを抑制することができる。また、検査吐出走査工程において吐出する吐出数が吐出走査工程において吐出する吐出数より少ないことに起因して、吐出走査工程を実施する場合に、一定数以上の数の吐出を実施することで出現し易くなるような欠陥を検出し難くなることを抑制することができる。

［適用例６］上記適用例にかかる製膜方法は、前記検査吐出走査工程において、前記吐出走査工程において形成する膜の平面形状と同じ平面形状を有する検査用膜を形成する吐出を実施することが好ましい。

この製膜方法によれば、検査吐出走査工程において、吐出走査工程において形成する前記膜の平面形状と同じ平面形状を有する検査用膜を形成する吐出を実施する。これにより、吐出走査工程において膜を形成するための吐出を実施することで出現する欠陥が検査吐出走査工程において出現する可能性を高くすることができる。

［適用例７］上記適用例にかかる製膜方法は、前記検査吐出走査工程において、前記検査用膜及び追加の検査用膜を有する拡大検査用膜を形成する吐出を実施することが好ましい。

この製膜方法によれば、検査吐出走査工程において、検査用膜及び追加の検査用膜を有する拡大検査用膜を形成するため、吐出走査工程において形成する膜と同じ平面形状の検査用膜を形成する吐出に加えて、追加の検査用膜を形成する吐出を実施する。検査吐出走査工程において、吐出走査工程より多く吐出することで、一定以上の長さの範囲に吐出を実施することで出現し易くなるような欠陥をより検出し易くすることができる。

［適用例８］上記適用例にかかる製膜方法は、前記液状体が、紫外線硬化型の機能液であることが好ましい。

この製膜方法によれば、紫外線硬化型の機能液を吐出して、膜を形成する。紫外線硬化型の機能液を使用する製膜装置においては、吐出されて着弾した機能液が流動することを抑制するために、硬化用の光源を吐出ヘッドの近くに設ける構成が多く採用されている。吐出走査の長さが長くなることで、硬化用の光が吐出ヘッドの近くに照射されている時間が長くなり、硬化用の光が吐出ヘッドに影響を与える可能性が高くなる。したがって、吐出する液状体が紫外線硬化型の機能液である場合に、検査吐出において描画できるパターンが吐出走査において描画するパターンより短いことに起因して、吐出走査を実施する場合に、一定以上の長さの範囲に吐出をすることで出現し易くなるような欠陥を検出し難くなることを抑制することができることは、非常に有益である。

（ａ）は、液滴吐出装置の全体構成の概略を示す斜視図。（ｂ）は、全体構成の概略を示す平面図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。 ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。 （ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。 （ａ）は、半導体パッケージに描画されたマーキング画像を示す説明図。（ｂ）は、半導体パッケージが保持板上に整列させられた状態を示す説明図。 （ａ）は、マーキング画像を示す説明図。（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、及び（ｅ）は、検査用画像の形状例を示す説明図。 （ａ）は、検査描画ユニットの概略構成を示す平面図。（ｂ）は、検査描画ユニットの概略構成を示す側面図。

以下、製膜装置、及び製膜方法について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドを用いて、被描画媒体上に画像を描画する液滴吐出装置を用いて実施するマーキングを例に説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被描画媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被描画媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の画像を形成する装置である。機能液は、例えば紫外線を照射することによって硬化する紫外線硬化型の機能液を用いる。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
液滴吐出装置が、製膜装置に相当する。被描画媒体が、被製膜媒体に相当する。機能液が、液状体に相当する。

＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の全体構成の概略を示す説明図である。図１（ａ）は、液滴吐出装置の全体構成の概略を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、全体構成の概略を示す平面図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、媒体機構部３と、撮像ユニット４と、保守装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。液滴吐出装置１は、また、図示省略した機能液供給部や、吐出装置制御部を備えている。液滴吐出ヘッド２０が吐出する機能液は、機能液供給部から液滴吐出ヘッド２０に供給される。吐出装置制御部は、上記した各機構部などを総括的に制御する。液滴吐出ヘッド２０が、吐出ヘッドに相当する。

ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１が吊設されたヘッドキャリッジ２２と、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるヘッド走査機構６２とを、備えている。

ヘッド走査機構６２は、支持柱６３と、支持梁６４と、ガイド部６６と、駆動モーター６７と、駆動プーリー６７ａと、従動プーリー６７ｂと、ベルト６２ａと、リニアスケール６８と、を備えている。
支持梁６４は、２つの支持柱６３に掛け渡されるように設けられ、Ｙ軸方向に延在している。ガイド部６６は、支持梁６４に固定されており、Ｙ軸方向に延在している。駆動モーター６７は、支持梁６４のＹ軸方向における一方の端近くで、支持梁６４に固定されている。駆動モーター６７の出力軸には、駆動プーリー６７ａが固定されており、駆動プーリー６７ａが、駆動モーター６７によって回動駆動される。従動プーリー６７ｂは、支持梁６４のＹ軸方向における、駆動モーター６７が固定された端と反対側の端近くで、支持梁６４に、回動可能に固定されている。従動プーリー６７ｂの回動軸の軸方向は、駆動プーリー６７ａの回動軸（駆動モーター６７の出力軸）の軸方向と、略平行である。ベルト６２ａは、駆動プーリー６７ａと従動プーリー６７ｂとの間に掛け渡されており、駆動プーリー６７ａが回動することによって、駆動される。ベルト６２ａは、ガイド部６６と並行してＹ軸方向に延在している。リニアスケール６８は、支持梁６４に固定されており、ガイド部６６と略平行にＹ軸方向に延在している。

ベルト６２ａには、ヘッドキャリッジ２２が固定されている。ヘッドキャリッジ２２は、ガイド部６６に、Ｙ軸方向に摺動自在に係合している。ヘッドキャリッジ２２は、駆動モーター６７によってベルト６２ａが駆動させられることによって、ガイド部６６に沿ってＹ軸方向に駆動される。ヘッドキャリッジ２２のＹ軸方向の位置は、リニアスケール６８によって検出される。
ヘッドキャリッジ２２を、ヘッド走査機構６２によってＹ軸方向に移動させることで、ヘッドキャリッジ２２に吊設されたヘッドユニット２１が有する液滴吐出ヘッド２０を、Ｙ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。ヘッド走査機構６２が、相対移動手段に相当する。

媒体機構部３は、媒体載置台３１と、スライド台３１ａと、検査媒体保持台３７と、スライド台３７ａと、媒体移動機構３３と、を備えている。
媒体移動機構３３は、Ｘ軸ガイド３５とＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸ガイド３５は、２つの支持柱６３の間で、支持梁６４の下方に配設されており、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に略平行に延在している。
スライド台３１ａ及びスライド台３７ａは、Ｘ軸方向に摺動自在に、Ｘ軸ガイド３５に支持されている。Ｘ軸リニアモーターは、Ｘ軸ガイド３５と略平行に配設されており、スライド台３１ａ及びスライド台３７ａは、Ｘ軸リニアモーターによって、Ｘ軸方向に移動させられる。また、移動した任意の位置に保持させられる。スライド台３１ａ及びスライド台３７ａは、それぞれ個別に移動又は保持することができる。
媒体載置台３１は、図示省略した媒体回動機構によって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と直交するＺ軸方向に平行な軸まわりの方向に回動可能に、スライド台３１ａの上に固定されて、支持されている。検査媒体保持台３７は、スライド台３７ａの上に固定されて、支持されている。

媒体移動機構３３によって、スライド台３１ａ又はスライド台３７ａをＸ軸方向に移動させることで、スライド台３１ａ又はスライド台３７ａに固定されて支持された媒体載置台３１又は検査媒体保持台３７を、Ｘ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。すなわち、媒体載置台３１又は検査媒体保持台３７に保持された被描画媒体又は検査用媒体を、Ｘ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。検査用媒体は、吐出検査のために吐出した機能液の液滴を着弾させる媒体である。
図１（ｂ）に示すように、検査媒体保持台３７のＹ軸方向の幅（長さ）は、媒体載置台３１のＹ軸方向の幅（長さ）より、広く（長く）なっている。検査媒体保持台３７には、Ｙ軸方向において媒体載置台３１によって保持可能な被描画媒体より幅が広い（長い）検査用媒体を、保持させることができる。
媒体載置台３１が、媒体保持手段に相当する。検査媒体保持台３７が、検査媒体保持手段に相当する。検査用媒体が、検査着弾媒体に相当する。

ヘッド機構部２のヘッドキャリッジ２２に吊設されたヘッドユニット２１が有する液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５（図２参照）を下側に向けて、保持されている。媒体載置台３１又は検査媒体保持台３７に保持された被描画媒体又は検査用媒体を、Ｘ軸方向の液滴吐出ヘッド２０が対向可能な位置まで移動して停止し、上方にある液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）のＹ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動する被描画媒体又は検査用媒体と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、被描画媒体又は検査用媒体上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
ヘッド走査機構６２が、相対移動手段に相当するとともに、検査相対移動手段に相当する。
ヘッドユニット２１において、液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向の両側には、紫外線硬化型機能液を仮硬化させるための紫外線照射部９５が、１つずつ設けられている。機能液として紫外線硬化型機能液を用いて描画した画像を、紫外線照射部９５を用いて硬化させることができる。

撮像ユニット４は、撮像カメラ４１と、撮像カメラ４１をＹ軸方向に移動可能に保持するカメラ移動機構４２とを、備えている。カメラ移動機構４２は、ヘッド走査機構６２と同様の構成を有し、媒体移動機構３３の上方で略Ｙ軸方向に延在している。カメラ移動機構４２は、ヘッド走査機構６２がヘッドキャリッジ２２を移動させる構成と同様の構成によって、撮像カメラ４１を、Ｙ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。
撮像カメラ４１は、下方を撮像可能にカメラ移動機構４２に保持されている。検査媒体保持台３７に保持された検査用媒体を、Ｘ軸方向の撮像カメラ４１に臨む位置まで移動して停止し、上方にある撮像カメラ４１によって撮影することで、検査用媒体上に着弾した液滴の画像を取得することが可能である。

保守装置部５は、各種保守装置を備えている。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。液滴吐出ヘッド２０の保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、Ｙ軸走査機構を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられ、保守作業が実施される。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図２に示したＸ軸、及びＺ軸は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＸ軸、及びＺ軸と一致している。

図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＸ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＸ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｘ軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。ノズルピッチは、例えば１４０μｍであり、半ノズルピッチは、７０μｍである。

図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。

圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列２４Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル２４がもう１列のノズル列２４Ａを形成している。当該ノズル列２４Ａに対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。

振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。

電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。

＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図３に示したように、ヘッドユニット２１は、ユニットプレート２３と、ユニットプレート２３に搭載された９個の液滴吐出ヘッド２０と、を有している。ヘッドユニット２１は、また、２個の紫外線照射部９５を有している。
液滴吐出ヘッド２０は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート２３に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体がユニットプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル基板２５が、ユニットプレート２３の面より突出した位置に位置している。図３は、ノズル基板２５の側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｘ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド組２０Ａを３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド２０のノズル列２４Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｘ軸方向に延在している。

液滴吐出ヘッド２０は、Ｘ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド２０の、一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。一つのヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル２４は、Ｘ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｙ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド２０が有するそれぞれのノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４から吐出された液滴は、設計上では、Ｘ軸方向に半ノズルピッチの等間隔に並んで一直線上に着弾する。
ノズル列２４Ａは、例えば１８０個の吐出ノズル２４を有しており、液滴吐出ヘッド２０は、３６０個の吐出ノズル２４を有している。９個の液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１は、３２４０個の吐出ノズル２４を有している。一つのヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド２０が有する１８列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列２４０Ａ」と表記する。ユニットノズル列２４０Ａは、３２４０個の吐出ノズル２４を有している。ユニットノズル列２４０Ａのそれぞれの吐出ノズル２４から一滴ずつ吐出させて、Ｙ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が半ノズルピッチのピッチ間隔で連なる直線が形成される。

紫外線照射部９５は、支持枠（図示省略）と、ＵＶＬＥＤ（Ultraviolet Light Emitting Diode）９６と、ＬＥＤ筐体９７と、を備えている。ＵＶＬＥＤ９６は、紫外線を射出するＬＥＤである。
ＬＥＤ筐体９７は、ユニットプレート２３のＹ軸方向の側面に支持枠を介して固定されている。ＬＥＤ筐体９７は、略直方体形状の外形を有し、内部に略直方体形状で一面が開口した筐体室が形成されている。筐体室は、媒体載置台３１又は検査媒体保持台３７に臨む側が開口している。筐体室には、ＵＶＬＥＤ９６が、開口側に紫外線を射出する状態で固定されている。複数のＵＶＬＥＤ９６が、Ｘ軸方向に並んで配設されている。複数のＵＶＬＥＤ９６は、Ｘ軸方向において、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド２０が機能液を配置可能な幅を包含する範囲に、紫外線を照射することができる。
紫外線照射部９５が、紫外線照射手段に相当する。

上述したように、紫外線照射部９５は、Ｙ軸方向（吐出走査方向）において、９個の液滴吐出ヘッド２０を挟んで両側に、９個の液滴吐出ヘッド２０に関して略対称な状態で、配設されている。
ヘッドユニット２１がＹ軸方向に走査されて機能液を吐出する際には、液滴吐出ヘッド２０に並んで配設されたＵＶＬＥＤ９６から、略並行して、紫外線を照射させる。
走査方向において、ヘッドユニット２１の後側に位置するＵＶＬＥＤ９６から紫外線を照射することで、吐出されて着弾させられた機能液に、着弾した直後に紫外線を照射することができる。機能液に紫外線を照射することで、機能液を硬化させることができる。機能液の硬化率に影響を及ぼす要因は、走査速度、ＵＶＬＥＤ９６の照射領域のＹ軸方向における幅、ＵＶＬＥＤ９６の照射強度、などである。これらの要因について、適切な値に設定することで、着弾させられた機能液を適切な硬化率に硬化させることができる。

＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４と、それぞれの吐出ノズル２４から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図４を参照して説明する。図４は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図４（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図４（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図４（ｃ）は、液滴を吐出走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図４（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｙ軸方向が吐出走査方向であって、図４に示した矢印ａの方向に吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）を相対移動させながら、任意の位置において機能液の液滴を吐出することによって、Ｙ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。

図４（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｘ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。上述したように、２列のノズル列２４Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル２４同士は、Ｘ軸方向において、相互に、ノズルピッチＰの１／２ずつ位置がずれている。

図４（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点９１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円９１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。２列のノズル列２４Ａの全部の吐出ノズル２４から、図４（ｂ）に二点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。

図４（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル２４から連続して液滴を吐出させることによって、Ｙ軸方向に着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。Ｙ軸方向における着弾点９１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、吐出走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル２４の最小吐出間隔との積である。

図４（ｄ）に示すように、二点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの１／２の中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が、Ｙ軸方向に並列した着弾面が形成される。図４（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点９１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。

画像の描画に際しては、画像の情報に従って、図４（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１の位置について、液滴を配置する位置を定める。例えば、当該配置位置、及び配置位置に液滴を吐出する吐出ノズル２４を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液を着弾させることによって、画像の情報によって規定される画像を描画する。なお、図４（ｄ）に示した例では、着弾円９１Ａの間に隙間が存在するが、ノズルピッチＰや最小着弾距離ｄに対して、吐出する液滴の１滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。

＜被描画媒体＞
次に、被描画媒体について、図５を参照して説明する。本実施形態では、半導体パッケージにマーキング用のマーキング画像を形成する場合を例にして説明する。図５は、半導体パッケージと、半導体パッケージに描画されたマーキング画像とを示す説明図である。図５（ａ）は、半導体パッケージに描画されたマーキング画像を示す説明図であり、図５（ｂ）は、半導体パッケージが保持板上に整列させられた状態を示す説明図である。

図５（ａ）に示した、半導体パッケージ７０は、フリップチップ接続で実装するパッケージである。バンプが形成された面の反対側の面にマーキング画像７１が描画されている。マーキング画像７１は、例えば、ロゴマーク、製品名称、製品型番、ロット番号などである。マーキング画像７１は、平面視で上記ロゴマークなどの形状を有する膜で形成されている。当該膜は、膜の材料を含む機能液を、半導体パッケージ７０上の定められた位置に着弾させ、着弾した機能液を固化させることで形成する。マーキング画像７１が形成された半導体パッケージ７０を、半導体パッケージ７０Ａと表記する。
図５（ｂ）に示したように、半導体パッケージ７０を保持板７２の上に整列させて仮固定し、マーキング用体７３を構成する。図５（ｂ）に示した例では、マーキング用体７３には、２４０個の半導体パッケージ７０が含まれている。２４０個の半導体パッケージ７０は、Ｘ軸方向に１２行、Ｙ軸方向に２０列に配列させられている。マーキング用体７３を、液滴吐出装置１の媒体載置台３１に載置して、マーキング画像７１の描画を実施する。図５（ｂ）に示した例では、Ｘ軸方向に１２行、Ｙ軸方向に２０列に配列させられた２４０個のマーキング画像７１を含むマーキング画像７１Ａを、マーキング用体７３上に形成する。
マーキング用体７３が、被描画媒体であって、被製膜媒体に相当する。マーキング画像７１Ａを構成する膜が、膜に相当する。

＜検査用画像＞
次に、マーキング画像７１Ａを形成する吐出走査工程を実施する際に、予め実施する検査吐出走査工程において形成する検査用画像について、図６を参照して説明する。図６は、検査用画像の形状例を示す説明図である。図６（ａ）は、マーキング画像を示す説明図であり、図６（ｂ）、図６（ｃ）、図６（ｄ）、及び図６（ｅ）は、検査用画像の形状例を示す説明図である。

図６（ａ）に示したマーキング画像７１Ａは、上述したように、２４０個のマーキング画像７１を含んでいる。マーキング用体７３にマーキング画像７１Ａを描画することで、マーキング用体７３が有する２４０個の半導体パッケージ７０のそれぞれに、マーキング画像７１が形成される。

吐出走査工程を実施する際には、マーキング用体７３を、上述した媒体載置台３１上に供給する。媒体載置台３１は、吐出装置制御部からの指令にしたがって、吸着装置などの保持手段によって、供給されたマーキング用体７３を保持する。マーキング用体７３は、図６（ａ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向が、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と略一致する方向で、媒体載置台３１に保持される。
媒体移動機構３３によって、スライド台３１ａをＸ軸方向に移動させることで、スライド台３１ａに固定されて支持された媒体載置台３１を、Ｘ軸方向に移動させて、媒体載置台３１に保持されたマーキング用体７３を、Ｘ軸方向に移動させる。媒体移動機構３３によって、スライド台３１ａを保持することで、マーキング用体７３がＸ軸方向においてヘッドユニット２１に臨む位置に、媒体載置台３１を保持する。
ヘッド走査機構６２によってヘッドユニット２１（ヘッドキャリッジ２２）を走査させるとともに、ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド２０から、指定された位置に向けて、機能液の液滴を吐出して、吐出走査工程を実施する。１回の吐出走査で、Ｘ軸方向におけるユニットノズル列２４０Ａが対向可能な範囲に液滴を着弾させて、マーキング画像７１を形成する。

図６（ｂ）に示した検査用画像８１Ａは、検査用シート８６に描画されている。検査用画像８１Ａは、４個の検査画像体８１を含んでいる。図６（ｂ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。検査用シート８６は、図６（ｂ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向が、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と略一致する方向で、検査媒体保持台３７に保持される。検査用シート８６が、検査用媒体であって、検査着弾媒体に相当する。

検査用シート８６は、Ｙ軸方向の長さが、保持板７２（マーキング用体７３）より長くなっている。Ｙ軸方向において、マーキング用体７３には、２０列の半導体パッケージ７０が配列させられているのに対して、検査用シート８６には、２４列のマーキング画像７１を描画することが可能である。Ｘ軸方向において、検査用シート８６には、４行のマーキング画像７１を描画することが可能である。４行のマーキング画像７１を描画することが可能な幅は、ユニットノズル列２４０Ａによって、１回の吐出走査において描画可能な範囲である。
上述したように、検査媒体保持台３７のＹ軸方向の幅（長さ）は、媒体載置台３１のＹ軸方向の幅（長さ）より、広く（長く）なっている。検査媒体保持台３７には、Ｙ軸方向において媒体載置台３１によって保持可能な被描画媒体より幅が広い（長い）検査用媒体を、保持させることができる。検査媒体保持台３７は、Ｙ軸方向の長さがマーキング用体７３より長い検査用シート８６であっても、保持することが可能である。

検査用画像８１Ａは、４個の検査画像体８１を含んでいる。検査画像体８１は、Ｘ軸方向の幅が、１個のマーキング画像７１のＸ軸方向の幅相当の幅である。検査画像体８１は、Ｙ軸方向の長さが、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１の配列と同様にマーキング画像７１を配列させて、２４個のマーキング画像７１の幅相当の長さである。検査用画像８１Ａにおいて、４個の検査画像体８１は、Ｘ軸方向の相対位置が、マーキング画像７１Ａにおける、マーキング画像７１のＸ軸方向の相対位置と略同等に、配列されている。
検査画像体８１は、図４（ｄ）を参照して説明したような、１回の吐出走査において、ノズル列２４Ａの吐出ノズル２４によって着弾させることが可能な全ての着弾点９１に着弾させることによって形成できる画像である。したがって、検査画像体８１は、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１を描画するために吐出を実施する吐出ノズル２４に、吐出可能な全ての吐出タイミングにおいて吐出を実施させることによって、形成できる。
検査用画像８１Ａは、ユニットノズル列２４０Ａにおける、マーキング画像７１Ａを描画する際の１回の吐出走査において吐出を実施する吐出ノズル２４に、吐出可能な全ての吐出タイミングにおいて吐出を実施させることによって、形成できる。

図６（ｃ）に示した検査用画像８２Ａは、上述した検査用画像８１Ａとは構成が異なり、９６個の検査画像体８２を含んでいる。検査用画像８２Ａは、図６（ｂ）に示した検査用シート８６と同じ検査用シート８６に描画されている。図６（ｃ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。検査用シート８６は、図６（ｃ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向が、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と略一致する方向で、検査媒体保持台３７に保持される。

検査用画像８２Ａは、９６個の検査画像体８２を含んでいる。検査画像体８２は、マーキング画像７１と同等の画像である。検査用画像８２Ａにおいて、検査画像体８２は、Ｘ軸方向に、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１のＸ軸方向における配設ピッチと同じ配設ピッチで、４行配列されている。検査用画像８２Ａにおいて、検査画像体８２は、Ｙ軸方向に、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１のＹ軸方向における配設ピッチと同じ配設ピッチで、２４列配列されている。
検査用画像８２Ａは、ユニットノズル列２４０Ａにおける、マーキング画像７１Ａを描画する際の１回の吐出走査において吐出を実施する吐出ノズル２４に、マーキング画像７１Ａを描画する際の吐出に加えて、Ｘ軸方向に４行でＹ軸方向に４列の検査画像体８２を描画する吐出を実施することで形成できる。
検査用画像８２Ａにおける、マーキング画像７１Ａと同等であるＹ軸方向において２０列の検査画像体８２が、検査用膜に相当し、２０列以外の４列の検査画像体８２が、追加の検査用膜に相当する。検査用画像８２Ａが、拡大検査用膜に相当する。

図６（ｄ）に示した検査用画像８３Ａは、上述した検査用画像８１Ａや検査用画像８２Ａとは構成が異なり、１２個の検査画像体８１を含んでいる。検査用画像８３Ａは、検査用シート８７に描画されている。図６（ｄ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。検査用シート８７は、図６（ｄ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向が、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と略一致する方向で、検査媒体保持台３７に保持される。検査用シート８７が、検査用媒体であって、検査着弾媒体に相当する。

検査用シート８７は、Ｙ軸方向の長さが、保持板７２（マーキング用体７３）より長くなっている。Ｙ軸方向において、マーキング用体７３には、２０列の半導体パッケージ７０が配列させられているのに対して、検査用シート８７には、２４列のマーキング画像７１を描画することが可能である。Ｘ軸方向において、検査用シート８７の幅はマーキング用体７３と略同等であり、検査用シート８７には、１２行のマーキング画像７１を描画することが可能である。１２行のマーキング画像７１を描画することが可能な幅は、ユニットノズル列２４０Ａによって、３回の吐出走査を実施することで描画することができる範囲である。
上述したように、検査媒体保持台３７のＹ軸方向の幅（長さ）は、媒体載置台３１のＹ軸方向の幅（長さ）より、広く（長く）なっている。検査媒体保持台３７には、Ｙ軸方向において媒体載置台３１によって保持可能な被描画媒体より幅が広い（長い）、検査用媒体を保持させることができる。検査媒体保持台３７は、Ｙ軸方向の長さがマーキング用体７３より長い検査用シート８７であっても、保持することが可能である。

検査用画像８３Ａは、１２個の検査画像体８１を含んでいる。検査画像体８１は、検査用画像８１Ａを構成する検査画像体８１である。検査用画像８３Ａにおいて、１２個の検査画像体８１は、Ｘ軸方向の相対位置が、マーキング画像７１Ａにおける、マーキング画像７１のＸ軸方向の相対位置と略同等に、配列されている。
上述したように、検査画像体８１は、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１を描画するために吐出を実施する吐出ノズル２４に、吐出可能な全ての吐出タイミングにおいて吐出を実施させることによって、形成できる。検査用画像８３Ａは、ユニットノズル列２４０Ａにおける、マーキング画像７１Ａを描画する際の１回の吐出走査において吐出を実施する吐出ノズル２４に、吐出可能な全ての吐出タイミングにおいて吐出を実施させる吐出走査を、３回実施することによって、形成できる。

図６（ｅ）に示した検査用画像８４Ａは、上述した検査用画像８１Ａや検査用画像８２Ａや検査用画像８３Ａとは構成が異なり、２８８個の検査画像体８２を含んでいる。検査用画像８２Ａは、図６（ｄ）に示した検査用シート８７と同じ検査用シート８７に描画されている。図６（ｅ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。検査用シート８７は、図６（ｅ）に示したＸ軸方向及びＹ軸方向が、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と略一致する方向で、検査媒体保持台３７に保持される。

検査用画像８４Ａは、２８８個の検査画像体８２を含んでいる。上述したように、検査画像体８２は、マーキング画像７１と同等の画像である。検査用画像８４Ａにおいて、検査画像体８２は、Ｘ軸方向に、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１のＸ軸方向における配設ピッチと同じ配設ピッチで、１２行配列されている。検査用画像８４Ａにおいて、検査画像体８２は、Ｙ軸方向に、マーキング画像７１Ａにおけるマーキング画像７１のＹ軸方向における配設ピッチと同じ配設ピッチで、２４列配列されている。
検査用画像８４Ａを描画する際は、ユニットノズル列２４０Ａにおける、マーキング画像７１Ａを描画する際の１回の吐出走査において吐出を実施する吐出ノズル２４に、マーキング画像７１Ａを描画する際の吐出に加えて、Ｘ軸方向に４行でＹ軸方向に４列の検査画像体８２を描画する吐出を実施する。当該吐出走査（検査吐出走査）を３回実施することで、検査用画像８４Ａを形成することができる。

検査吐出走査工程に際しては、検査用シート８６や検査用シート８７などを、上述した検査媒体保持台３７上に供給する。検査媒体保持台３７は、吐出装置制御部からの指令にしたがって、吸着装置などの保持手段によって、供給された検査用シート８６や検査用シート８７などを保持する。検査用シート８６や検査用シート８７などは、図６（ｂ）などに示したＸ軸方向及びＹ軸方向が、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と略一致する方向で、検査媒体保持台３７に保持される。
媒体移動機構３３によって、スライド台３７ａをＸ軸方向に移動させることで、スライド台３７ａに固定されて支持された検査媒体保持台３７を、Ｘ軸方向に移動させて、検査媒体保持台３７に保持された検査用シート８６や検査用シート８７などを、Ｘ軸方向に移動させる。媒体移動機構３３によって、スライド台３７ａを保持することで、検査用シート８６や検査用シート８７などがＸ軸方向においてヘッドユニット２１に臨む位置に、検査媒体保持台３７を保持する。
ヘッド走査機構６２によってヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるとともに、ヘッドキャリッジ２２に吊設されたヘッドユニット２１が有する液滴吐出ヘッド２０から、検査画像体８１や検査画像体８２などに対応する位置に向けて液滴を吐出する、検査吐出走査を実施する。この検査吐出走査によって、検査用シート８６や検査用シート８７などに、検査画像体８１や検査画像体８２の行などが形成される。必要な回数の検査吐出走査を実施することによって、検査用画像８１Ａや検査用画像８２Ａや検査用画像８３Ａや検査用画像８４Ａなどを形成することができる。

検査用画像８４Ａなどが形成された検査用シート８７などは、媒体移動機構３３によって、スライド台３７ａをＸ軸方向に移動させることで、撮像ユニット４の下方、すなわち撮像カメラ４１に対向する位置に移動させられる。上述したように、撮像カメラ４１は、下方を撮像可能にカメラ移動機構４２に保持されている。また、撮像カメラ４１は、カメラ移動機構４２によって、Ｙ軸方向に自在に移動させることができるため、検査用画像８４Ａなどを、Ｙ軸方向の全幅において撮影することができる。撮像カメラ４１によって、撮像ユニット４の下方に位置した検査用シート８７などに形成された検査用画像８４Ａなどの画像を取得する。取得された画像は、吐出装置制御部に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド２０の各吐出ノズル２４が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判定される。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。

＜検査媒体保持台及び検査用シート＞
次に、検査媒体保持台３７及び検査用シート８６や検査用シート８７とは異なる検査媒体保持台及び検査用シートの例としての検査描画ユニット１８０について、図７を参照して説明する。液滴吐出装置１は、検査媒体保持台３７に代えて検査描画ユニット１８０を備える構成のものも、液滴吐出装置１と表記する。図７は、検査描画ユニットの概略構成を示す説明図である。図７（ａ）は、検査描画ユニットの概略構成を示す平面図であり、図７（ｂ）は、検査描画ユニットの概略構成を示す側面図である。図７に矢印で示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、図１に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、又はＺ軸方向と一致している。

図７に示すように、検査描画ユニット１８０は、検査用シート１８１と、検査ステージ１８２と、シート供給装置１８４と、ユニット枠１８６と、ユニット基材１８７と、を備えている。検査ステージ１８２と、シート供給装置１８４とは、ユニット枠１８６に固定されている。ユニット枠１８６は、ユニット基材１８７上に固定されている。ユニット基材１８７がスライド台３７ａに固定されることによって、検査描画ユニット１８０が液滴吐出装置１に取り付けられている。

検査用シート１８１は、液滴吐出ヘッド２０から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートである。検査ステージ１８２は、検査用シート１８１を載置するシート載置面１８２ａを備えている。シート載置面１８２ａは、検査描画ユニット１８０が液滴吐出装置１に取り付けられた状態で、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に略平行な平面であって、略長方形形状の平面形状を有し、長方形形状の長手方向が、Ｙ軸方向に延在している。シート載置面１８２ａの上に検査用シート１８１が載っており、Ｙ軸方向に延在している。シート載置面１８２ａは、媒体移動機構３３によってＸ軸方向に移動させられることによって、ヘッドユニット２１や撮像カメラ４１に臨む位置に位置させることが可能である。シート載置面１８２ａの上の検査用シート１８１には、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド２０から吐出した液滴を着弾させて描画することが可能である。検査用シート１８１に描画された画像は、撮像カメラ４１によって撮影することが可能である。

シート供給装置１８４は、供給リール１８４ａと巻取リール１８４ｂとを備えている。供給リール１８４ａには検査用シート１８１が巻かれており、供給リール１８４ａから送り出された検査用シート１８１が、シート載置面１８２ａ上を通って巻取リール１８４ｂに巻き取られる。シート供給装置１８４は、図示省略したリール駆動装置を備え、検査用シート１８１の未描画の部分を供給リール１８４ａから、シート載置面１８２ａの上に送り出す。シート載置面１８２ａの上で描画された検査用シート１８１の描画済の部分は、巻取リール１８４ｂに巻き取られる。
検査用シート１８１が、検査着弾媒体に相当する。検査ステージ１８２が、検査媒体保持手段に相当する。

シート載置面１８２ａのＹ軸方向の長さは、媒体載置台３１のＹ軸方向の長さより、長くなっている。検査用シート１８１のシート載置面１８２ａに支持されている部分の長さは、媒体載置台３１に載置可能なマーキング用体７３などより長くなっている。検査描画ユニット１８０の検査用シート１８１には、検査吐出走査を実施することによって、上述した検査用画像８１Ａや検査用画像８２Ａや検査用画像８３Ａや検査用画像８４Ａなどを形成することができる。

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）吐出走査を実施する際のヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）の走査方向がＹ軸方向であって、検査媒体保持台３７のＹ軸方向の長さは、媒体載置台３１のＹ軸方向の長さより、長くなっている。このため、検査媒体保持台３７には、Ｙ軸方向において媒体載置台３１によって保持可能な被描画媒体より長い検査用媒体を、保持させることができる。これにより、検査媒体保持台３７に保持された検査用媒体に液滴を着弾させる検査吐出におけるヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）の移動距離を、媒体載置台３１に保持された被描画媒体に液滴を着弾させる描画走査におけるヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）の移動距離より長くすることができる。

（２）検査描画ユニット１８０におけるシート載置面１８２ａのＹ軸方向の長さは、媒体載置台３１のＹ軸方向の長さより、長くなっている。このため、検査用シート１８１のシート載置面１８２ａに支持されている部分の長さは、媒体載置台３１に載置可能なマーキング用体７３などより長くなっている。これにより、検査用シート１８１に液滴を着弾させる検査吐出におけるヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）の移動距離を、媒体載置台３１に保持された被描画媒体に液滴を着弾させる描画走査におけるヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）の移動距離より長くすることができる。

（３）検査描画ユニット１８０は、検査用シート１８１と、検査ステージ１８２と、シート供給装置１８４とを備えている。検査用シート１８１は、シート供給装置１８４によって、未描画の部分が検査ステージ１８２の上に供給される。検査ステージ１８２上の検査用シート１８１に、液滴吐出ヘッド２０から検査吐出された液滴が着弾する検査吐出が実施され、着弾した液滴によって描画された画像が撮影される。検査用シート１８１の描画済の部分は、次の検査吐出のために未描画の部分が供給される際に、検査ステージ１８２の上から除去される。これにより、検査吐出ごとに新しい検査用シートを使用する場合にくらべて、検査用シートの交換を容易にすることができる。シート供給装置１８４のような装置の稼働を吐出装置制御部によって制御させることで、検査用シートの供給も、人手をわずらわせることなく、製膜装置に実施させることができる。

（４）マーキング用体７３に向けてマーキング画像７１Ａを形成するための吐出を実施する際も、検査用シート８６などに向けて検査用画像８１Ａなどを形成するための検査吐出を実施する際も、ヘッド走査機構６２によってヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）を走査させる。これにより、描画吐出走査と検査吐出走査とで、液滴吐出ヘッド２０とマーキング用体７３とを相対移動させる装置と、液滴吐出ヘッド２０と検査用シート８６などとを相対移動させる装置と、が異なる構成にくらべて、相対移動装置に起因する描画吐出走査と検査吐出走査との差を抑制して、正確な検査吐出走査を実施することができる。

（５）検査用画像８１Ａ、検査用画像８２Ａ、検査用画像８３Ａ、及び検査用画像８４Ａは、ヘッドユニット２１の走査方向であるＹ軸方向の長さが、マーキング画像７１ＡのＹ軸方向の長さより長い。これにより、検査用画像を形成するための液滴吐出ヘッド２０からの吐出数がマーキング画像を形成するための液滴吐出ヘッド２０からの吐出数より少ないことに起因して、吐出不良を検出できない場合がある可能性を小さくすることができる。

（６）検査画像体８２は、マーキング画像７１と同等の画像である。これにより、検査用画像８２Ａや検査用画像８４Ａを形成するための液滴吐出ヘッド２０からの吐出パターンを、マーキング画像７１Ａを形成するための液滴吐出ヘッド２０からの吐出パターンと実質的に同じにすることができる。これにより、描画吐出走査と検査吐出走査とで形成する画像が異なる場合にくらべて、液滴吐出ヘッド２０からの吐出パターンの差に起因して検査吐出走査においてのみ不良吐出が出現し難くなることを抑制して、正確な検査吐出走査を実施することができる。

（７）検査画像体８１は、マーキング画像７１を形成するために吐出を実施する吐出ノズル２４に連続吐出を実施させて形成することができる画像である。これにより、検査用画像８１Ａや検査用画像８４Ａを形成するための液滴吐出ヘッド２０の負荷を、マーキング画像７１Ａを形成するための液滴吐出ヘッド２０の負荷より大きくすることができる。これにより、検査吐出走査における液滴吐出ヘッド２０の負荷が描画吐出走査における液滴吐出ヘッド２０の負荷より軽い場合にくらべて、検査吐出走査において、検査吐出走査における液滴吐出ヘッド２０の負荷が軽いことに起因して、液滴吐出ヘッド２０の負荷が増大することによって出現する可能性が高くなる不良吐出が出現し難くなることを抑制することができる。

（８）マーキング画像７１を形成するために用いる機能液は、紫外線硬化型の機能液である。紫外線硬化型の機能液は、着弾させた液滴に紫外線を照射することで、機能液が流動することによって着弾位置からずれることを抑制することができる。これにより、着弾した機能液が移動することに起因してマーキング画像７１の形状が不正確になることを抑制することができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１の走査方向であるＹ軸方向の長さが、マーキング画像７１ＡのＹ軸方向の長さが、マーキング画像７１を、隙間をとって２０個並べた長さであるのに対して、検査用画像８１Ａ、検査用画像８２Ａ、検査用画像８３Ａ、及び検査用画像８４Ａは、マーキング画像７１を、隙間をとって２４個並べた長さであった。しかし、検査吐出走査工程における相対移動距離が、吐出走査工程における相対移動距離に対してこのような比率で長いことは必須ではない。検査吐出走査工程における相対移動距離は、吐出走査工程における相対移動距離と略等しくてもよいし、他の比率で当該相対移動距離より長くてもよい。

（変形例２）前記実施形態においては、検査画像体８２は、マーキング画像７１と同等の画像であり、検査画像体８１は、マーキング画像７１を形成するために吐出を実施する吐出ノズル２４に連続吐出を実施させて形成することができる画像であった。しかし、検査吐出走査工程を実施して形成する画像はこのような画像に限らない。検査吐出走査工程における相対移動距離が吐出走査工程における相対移動距離と同等又は長くなるような画像であって、検査吐出走査工程における吐出ヘッドからの吐出数が吐出走査工程における吐出数と同等又は多くなるような画像であれば、どのような画像であってもよい。

（変形例３）前記実施形態においては、膜を形成する被製膜媒体の例として、半導体パッケージ７０を挙げていたが、被製膜媒体は、半導体パッケージに限らない。被製膜媒体は、膜を形成することによってマーキング画像を形成するような製品や、フィルター膜のような機能膜を形成することが必要な製品であってもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、吐出走査工程及び検査吐出走査工程において、ヘッド走査機構６２によってヘッドユニット２１をＹ軸方向に走査させることによって、液滴吐出ヘッド２０と、マーキング用体７３又は検査用シート８６や検査用シート８７と、を相対移動させていた。しかし、吐出ヘッドと媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段や吐出ヘッドと検査媒体保持手段とを相対移動させる検査相対移動手段が、吐出ヘッドを走査させる手段であることは必須ではない。相対移動手段や検査相対移動手段は、媒体保持手段や検査媒体保持手段を走査させる手段であってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａの延在方向における着弾点９１の着弾ピッチは、液滴吐出ヘッド２０における吐出ノズル２４の配設ピッチであった。しかし、ノズル列の延在方向における着弾ピッチが液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配設ピッチであることは必須ではない。ノズル列の延在方向における相対移動における移動量の最小値を吐出ノズルの配設ピッチより小さくすることで、ノズル列の延在方向における着弾ピッチを、吐出ノズルの配設ピッチより小さくすることができる。

（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を備えており、ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド２０が吐出する機能液は単一の機能液であった。しかし、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが吐出する液状体が同一であることは必須ではない。描画装置においては、色が異なるなど、複数種類の異なる液状体を吐出してもよい。色が異なる複数種類の液状体を吐出することでカラー描画も可能である。液状体の種類は、液滴吐出装置が複数のヘッドユニットを備えて、ヘッドユニットごとに異ならせてもよいし、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよいし、ノズル列ごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに液状体を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる液状体を吐出してもよい。なお、カラー描画を実施する際には、同じ着弾位置に、複数の、例えば色が異なる液状体を着弾させることができる構成のヘッドユニット又は液滴吐出ヘッドを用いたり、走査方法を用いたりすることで、より微細な描画が可能となる。

（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を１個備えていた。しかし、描画装置が備えるヘッドユニットが１個であることは必須ではない。描画装置が備えるヘッドユニットは、いくつであってもよい。

（変形例８）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は、液滴吐出ヘッド２０を９個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが９個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。

（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０は、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａを２列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。また、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４は、ノズル列２４Ａの延在方向において互いの位置がずれていたが、吐出ヘッドは、ノズル列の延在方向において、略同一位置に位置する吐出ノズルを複数備える構成であってもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａにおけるノズルピッチは１４０μｍであり、２本のノズル列２４Ａを備える液滴吐出ヘッド２０におけるノズル列方向の吐出ピッチは約７０μｍであった。しかし、液滴吐出ヘッドにおけるノズルの配置は、液滴吐出ヘッド２０における配置に限らない。ノズル列におけるノズルピッチは１４０μｍとは異なるノズルピッチであってもよい。

（変形例１１）前記実施形態においては、マーキング画像７１Ａを形成するために用いる機能液は、紫外線硬化型の機能液であった。しかし、マーキングのための画像を描画するために用いる液状体が紫外線硬化型の液状体であることは必須ではない。熱硬化型の液状体や、硬化のための処理を特に実施しない液状体など、他の硬化処理によって硬化させる液状体であってもよい。

１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…媒体機構部、４…撮像ユニット、５…保守装置部、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、３１…媒体載置台、３１ａ…スライド台、３３…媒体移動機構、３７…検査媒体保持台、３７ａ…スライド台、４１…撮像カメラ、４２…カメラ移動機構、６２…ヘッド走査機構、７０…半導体パッケージ、７０Ａ…半導体パッケージ、７１…マーキング画像、７１Ａ…マーキング画像、７２…保持板、７３…マーキング用体、８１，８２…検査画像体、８１Ａ，８２Ａ，８３Ａ，８４Ａ…検査用画像、８６，８７…検査用シート、９５…紫外線照射部、９６…ＵＶＬＥＤ、１８０…検査描画ユニット、１８１…検査用シート、１８２…検査ステージ、１８４…シート供給装置、２４０Ａ…ユニットノズル列。

Claims (8)

1. 液状体を吐出する吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、前記相対移動手段によって前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記媒体保持手段に保持された前記被製膜媒体に向けて前記液状体を吐出する吐出走査を実施することによって、前記被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、
   前記吐出ヘッドから検査吐出した前記液状体を着弾させる検査着弾媒体を保持する検査媒体保持手段と、
   前記吐出ヘッドと前記検査媒体保持手段とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、
   前記検査媒体保持手段は、前記検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、前記媒体保持手段の前記吐出走査における前記相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする製膜装置。
2. 液状体を吐出する吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させる相対移動手段と、を備え、前記相対移動手段によって前記吐出ヘッドと前記媒体保持手段とを相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記媒体保持手段に保持された前記被製膜媒体に向けて前記液状体を吐出する吐出走査を実施することによって、前記被製膜媒体上に膜を形成する製膜装置であって、
   検査吐出した前記液状体を着弾させる検査着弾媒体と、
   前記吐出ヘッドと前記検査着弾媒体とを相対移動させる検査相対移動手段と、を備え、
   前記検査着弾媒体は、前記検査相対移動手段による相対移動方向の長さが、前記媒体保持手段によって保持可能な前記被製膜媒体の前記吐出走査における前記相対移動手段による相対移動方向の長さより長いことを特徴とする製膜装置。
3. 前記相対移動手段は、前記検査相対移動手段を兼ねることを特徴とする、請求項１又は２に記載の製膜装置。
4. 前記被製膜媒体及び前記検査着弾媒体に紫外線を照射することが可能な紫外線照射手段をさらに備え、
   前記液状体が、紫外線硬化型の機能液であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の製膜装置。
5. 液状体を吐出する吐出ヘッドと、被製膜媒体を保持する媒体保持手段と、を相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記媒体保持手段に保持された前記被製膜媒体に向けて前記液状体を吐出する吐出走査工程と、
   前記吐出ヘッドと、検査用媒体と、を相対移動させるとともに、前記吐出ヘッドから前記検査用媒体に向けて前記液状体を吐出する検査吐出走査工程と、を有し、
   前記検査吐出走査工程における相対移動距離が、前記吐出走査工程における相対移動距離と等しい又は当該相対移動距離より長く、前記検査吐出走査工程における前記吐出ヘッドからの吐出数が、前記吐出走査工程における吐出数と等しい又は当該吐出数より多いことを特徴とする製膜方法。
6. 前記検査吐出走査工程において、前記吐出走査工程において形成する膜の平面形状と同じ平面形状を有する検査用膜を形成する吐出を実施することを特徴とする、請求項５に記載の製膜方法。
7. 前記検査吐出走査工程において、前記検査用膜及び追加の検査用膜を有する拡大検査用膜を形成する吐出を実施することを特徴とする、請求項６に記載の製膜方法。
8. 前記液状体が、紫外線硬化型の機能液であることを特徴とする、請求項５乃至７のいずれか一項に記載の製膜方法。

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