JP2008221183A - 液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】調整用の塗布対象物を用いることなく、液滴噴射ヘッドの傾斜角度調整を行うことができる液滴噴射塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射塗布装置１において、塗布対象物Ｋと液滴噴射ヘッド６とが相対移動する相対移動方向に対して液滴噴射ヘッド６の複数のノズルが並ぶ整列方向が水平面内で傾斜する傾斜位置に液滴噴射ヘッド６を位置付ける傾斜機構１９ａと、噴射した複数の液滴の飛翔形状を撮像する撮像装置１１と、傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッド６に液滴を噴射させ、噴射した複数の液滴の飛翔形状を撮像装置１１に撮像させる手段と、撮像した複数の液滴の飛翔形状に基づいて複数の液滴の各々の間の飛翔間隔を求め、求めた各飛翔間隔に基づいて傾斜位置を調整する手段と、調整した傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッド６に液滴を噴射させ、相対移動する塗布対象物Ｋに複数の液滴を塗布する手段とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、塗布対象物に複数の液滴を噴射して塗布する液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法に関する。

液滴噴射塗布装置は、画像情報の印刷に加え、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な平面型表示装置を製造する際に用いられている。

この液滴噴射塗布装置は、基板等の塗布対象物に向けて複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドを備えており、その液滴噴射ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、液滴噴射ヘッドにより塗布対象物に複数の液滴を順次着弾させ、所定の塗布パターンを有する塗布体を製造する。

液滴噴射ヘッドは、塗布対象物に対する相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾くことが可能に形成されている（例えば、特許文献１参照）。この傾斜角度で決まる液滴噴射ヘッドの傾斜位置を変更することによって、液滴の着弾ピッチを調整することができる。通常、着弾ピッチを調整する場合には、液滴噴射ヘッドが所定の傾斜位置に位置付けられ、その液滴噴射ヘッドから液滴が基板やメディア（光沢紙）等の調整用の塗布対象物に対して噴射される。その後、調整用の塗布対象物に着弾した各液滴の着弾ピッチが測定され、その着弾ピッチが目標とする着弾ピッチになるように液滴噴射ヘッドの傾斜位置（傾斜角度）が調整される。
特開平９−３００６６４号公報

しかしながら、前述のように傾斜位置を調整する場合には、基板やメディア（光沢紙）等の調整用の塗布対象物を用いる必要があるため、塗布対象物を無駄に使用してしまっている。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、調整用の塗布対象物を用いることなく、液滴噴射ヘッドの傾斜位置調整を行うことができる液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法を提供することである。

本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射塗布装置において、直線状に並ぶ複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、複数の液滴が着弾する塗布対象物と液滴噴射ヘッドとが相対移動する相対移動方向に対して複数のノズルが並ぶ整列方向が水平面内で傾斜する傾斜位置に液滴噴射ヘッドを位置付ける傾斜機構と、噴射した複数の液滴の飛翔形状を撮像する撮像装置と、傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッドに液滴を噴射させ、噴射した複数の液滴の飛翔形状を撮像装置に撮像させる手段と、撮像した複数の液滴の飛翔形状に基づいて複数の液滴の各々の間の飛翔間隔を求め、求めた複数の液滴の各々の間の飛翔間隔に基づいて傾斜位置を調整する手段と、調整した傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッドに液滴を噴射させ、相対移動する塗布対象物に複数の液滴を塗布する手段とを備えることである。

本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、塗布体の製造方法において、直線状に並ぶ複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと複数の液滴が着弾する塗布対象物とが相対移動する相対移動方向に対して複数のノズルが並ぶ整列方向が水平面内で傾斜する傾斜位置に液滴噴射ヘッドを位置付ける工程と、傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッドに液滴を噴射させ、噴射した複数の液滴の飛翔形状を撮像する工程と、撮像した複数の液滴の飛翔形状に基づいて複数の液滴の各々の間の飛翔間隔を求め、求めた複数の液滴の各々の間の飛翔間隔に基づいて傾斜位置を調整する工程と、調整した傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッドに液滴を噴射させ、相対移動する塗布対象物に複数の液滴を塗布する工程とを有することである。

本発明によれば、調整用の塗布対象物を用いることなく、液滴噴射ヘッドの傾斜角度調整を行うことができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態について図１乃至図６を参照して説明する。

図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る液滴噴射塗布装置１は、液体であるインクを液滴として塗布対象物の基板Ｋに塗布するインク塗布ボックス２と、そのインク塗布ボックス２にインクを供給するインク供給ボックス３とを備えている。これらのインク塗布ボックス２及びインク供給ボックス３は、互いに隣接させて架台４の上面に固定されている。

インク塗布ボックス２の内部には、基板Ｋを保持してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる基板移動機構５と、基板Ｋに向けて液滴を噴射する液滴噴射ヘッド６をそれぞれ有する複数の液滴噴射ヘッドユニット７と、それらの液滴噴射ヘッドユニット７を一体にＸ軸方向に移動させるユニット移動機構８と、各液滴噴射ヘッド６を清掃するヘッドメンテナンスユニット９と、インクを収容するインクバッファタンク１０と、各液滴噴射ヘッド６から噴射された全液滴の飛翔形状を撮像する撮像装置１１が設けられている。

基板移動機構５は、Ｙ軸方向ガイド板１２、Ｙ軸方向移動テーブル１３、Ｘ軸方向移動テーブル１４及び基板保持テーブル１５により構成されている。これらのＹ軸方向ガイド板１２、Ｙ軸方向移動テーブル１３、Ｘ軸方向移動テーブル１４及び基板保持テーブル１５は積層されて設けられている。

Ｙ軸方向ガイド板１２は架台４の上面に固定されて設けられている。このＹ軸方向ガイド板１２の上面には、複数のガイド溝１２ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝１２ａがＹ軸方向にＹ軸方向移動テーブル１３を案内する。

Ｙ軸方向移動テーブル１３は、Ｙ軸方向ガイド板１２の上面にＹ軸方向に移動可能に設けられている。このＹ軸方向移動テーブル１３は、送りネジ及び駆動モータを用いた送り機構（図示せず）により各ガイド溝１２ａに沿ってＹ軸方向に移動する。また、Ｙ軸方向移動テーブル１３の上面には、複数のガイド溝１３ａがＸ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝１３ａがＸ軸方向にＸ軸方向移動テーブル１４を案内する。

Ｘ軸方向移動テーブル１４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３の上面にＸ軸方向に移動可能に設けられている。このＸ軸方向移動テーブル１４は、送りネジ及び駆動モータを用いた送り機構（図示せず）により各ガイド溝１３ａに沿ってＸ軸方向に移動する。

基板保持テーブル１５は、Ｘ軸方向移動テーブル１４の上面に固定されて設けられている。この基板保持テーブル１５は、基板Ｋを吸着する吸着機構（図示せず）を備えており、その吸着機構により上面に基板Ｋを固定して保持する。吸着機構としては、例えばエアー吸着機構等を用いる。

ユニット移動機構８は、架台４の上面に立設された一対の支柱１６Ａ、１６Ｂと、それらの支柱１６Ａ、１６Ｂの上端部間に連結されてＸ軸方向に延出するＸ軸方向ガイド板１７と、そのＸ軸方向ガイド板１７にＸ軸方向に移動可能に設けられ液滴噴射ヘッドユニット７を支持するベース板１８とを有している。

一対の支柱１６Ａ、１６Ｂは、Ｘ軸方向において基板移動機構５を挟むように設けられている。また、Ｘ軸方向ガイド板１７の前面には、ガイド溝１７ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このガイド溝１７ａがＸ軸方向にベース板１８を案内する。

ベース板１８は、Ｘ軸方向ガイド板１７にＸ軸方向に移動可能に設けられている。このベース板１８は、送りネジ及び駆動モータを用いた送り機構（図示せず）によりガイド溝１７ａに沿ってＸ軸方向に移動する。このようなベース板１８の前面には、液滴噴射ヘッドユニット７が取り付けられている。この液滴噴射ヘッドユニット７は、複数の液滴を噴射する液滴噴射ヘッド６と、ベース板１８に設けられ液滴噴射ヘッド６を移動可能に支持する支持機構１９とを備えている。

液滴噴射ヘッド６は、液滴を噴射するための複数のノズル（貫通孔）Ｎ（図２参照）を有するノズルプレート及びそれらのノズルＮにそれぞれ対応させて設けられた複数の圧電素子（図示せず）等を具備している。各ノズルＮは、所定のピッチ（間隔）で直線状に並べてノズルプレートに設けられている。例えば、ノズルＮの数は６４、１２８及び２５６等の数十個から数百個程度であり、ノズルＮの直径は数μｍから数十μｍ程度であり、ノズルＮのピッチは数十μｍから数百μｍ程度である。このような液滴噴射ヘッド６は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各ノズルＮから液滴（インク滴）を噴射する。

支持機構１９はベース板１８に固定して設けられている。この支持機構１９は、基板Ｋの塗布面に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴噴射ヘッド６を移動させるＺ軸方向移動機構と、液滴噴射ヘッド６をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構と、液滴噴射ヘッド６をθ方向に回転させるθ方向回転機構１９ａとにより構成されている。これにより、液滴噴射ヘッド６はＺ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、さらにθ軸方向に回動可能である。

ここで、θ方向回転機構１９ａは傾斜機構として機能する。このθ方向回転機構１９ａは、基板Ｋと液滴噴射ヘッド６とが相対移動する相対移動方向に対して全ノズルＮが並ぶ整列方向が水平面内で傾斜する傾斜位置に液滴噴射ヘッド６を傾けて位置付ける。例えば、相対移動方向がＹ軸方向である場合には、液滴噴射ヘッド６の傾斜位置は、図２に示すように、ノズルＮの整列方向の直線Ｌ１が相対移動方向の基準線Ｌ２に対して傾斜する位置である。この傾斜位置は、相対移動方向の基準線Ｌ２からの傾斜角度θにより規定される位置である。この傾斜角度θ、すなわち液滴噴射ヘッド６の傾斜位置を変更することによって、液滴の着弾ピッチを調整することができる。このような傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッド６は、Ｙ軸方向に相対移動する基板Ｋに向けて液滴を噴射してＸ軸方向のドット列を順次形成し、所定の塗布パターンを塗布する。

図１に戻り、ヘッドメンテナンスユニット９は、各液滴噴射ヘッドユニット７の移動方向の延長線上であって基板移動機構５から離反させ、架台４の上面に設けられている。このヘッドメンテナンスユニット９は、各液滴噴射ヘッドユニット７の各々の液滴噴射ヘッド６を清掃する。なお、ヘッドメンテナンスユニット９は、液滴噴射ヘッド６がヘッドメンテナンスユニット９に対向する位置に停止した状態で、液滴噴射ヘッド６を自動的に清掃する。

インクバッファタンク１０は、その内部に貯留したインクの液面と液滴噴射ヘッド６のノズル面との水頭差（水頭圧）を利用し、ノズル先端のインクの液面（メニスカス）を調整する。これにより、インクの漏れ出しや噴射不良が防止されている。

撮像装置１１は、図１及び図３に示すように、各液滴噴射ヘッド６から噴射された全液滴を受ける受部材２０と、その受部材２０に向けて液滴噴射ヘッド６から噴射された各液滴の飛翔形状を撮像する撮像動作を行う撮像部２１と、液滴噴射ヘッド６から噴射された各液滴に向けて、撮像部２１に対向する位置から光を照射する照射部２２とを備えている。

受部材２０は、各液滴噴射ヘッドユニット７の移動方向の延長線上であってヘッドメンテナンスユニット９から離反させ、架台４の上面に設けられている。この受部材２０としては、例えば受皿等を用いる。なお、受部材２０の大きさは、ベース板１８が停止した停止状態で、各液滴噴射ヘッド６から噴射された全液滴を受けることができるサイズである。

撮像部２１及び照射部２２は、受部材２０のＹ軸方向の両側にそれぞれ対向させて設けられている。撮像部２１は、照射部２２による照射光により液滴の飛翔形状を撮像する。このとき、照射部２２は、例えば、点滅する間欠照射動作を行う。この照射部２２としては、フラッシュランプやＬＥＤ等を用いる。なお、照射部２２の大きさは、撮像部２１の撮像範囲に合わせて設定されている。

撮像部２１は、図３に示すように、ＣＣＤ等の撮像素子が一列に複数設けられたラインセンサ２１ａと、そのラインセンサ２１ａに対して像を結ぶ撮像レンズ２１ｂと、その撮像レンズ２１ｂをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるレンズ移動機構２１ｃとを備えている。この撮像部２１はオートフォーカス機能を有している。このオートフォーカス機能としては、例えばコントラスト検出方式を用いる。このコントラスト検出方式では、撮影対象のコントラスト（明暗）が最大になるように撮像レンズ２１ｂをＹ軸方向に移動させてピントを合わせる。

図１に戻り、インク供給ボックス３の内部には、インクを収容する複数のインクタンク２３が着脱可能に設けられている。なお、インクタンク２３は、供給パイプ２４によりインクバッファタンク１０を介して液滴噴射ヘッド６に接続されている。これにより、液滴噴射ヘッド６は、インクタンク２３からインクバッファタンク１０を介してインクの供給を受ける。

ここで、インクとしては、各種のインクを用いることが可能である。例えば、インクは、基板Ｋ上に残留物として残留する溶質と、その溶質を溶解（分散）させる溶媒とにより構成されている。この溶液としては、例えば、水、吸水性低蒸気圧溶媒（例えばＥＧ等）、水溶性高分子材料（例えば、ＰＶＰ：ポリビニルピロリドンやＰＶＡ：ポリビニルアルコール等）及び水溶性膜材料等を含むインクを用いる。

架台４の内部には、液滴噴射塗布装置１の各部を制御するための制御装置２５が設けられている。この制御装置２５は、各部を集中的に制御するＣＰＵ等の制御部と、基板Ｋに対する液滴の塗布に関する塗布情報、液滴噴射ヘッド６の傾斜位置調整用の調整検査情報及び各種のプログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を備えている。

制御装置２５は、各種のプログラムに加え、塗布情報あるいは調整検査情報に基づいて、基板移動機構５、液滴噴射ヘッドユニット７、ユニット移動機構８、ヘッドメンテナンスユニット９及び撮像装置１１等を制御する。このような制御装置２５により、基板保持テーブル１５上の基板Ｋと液滴噴射ヘッド６との相対位置を色々と変化させることができる。なお、塗布情報は塗布パターンや基板Ｋの搬送速度等を含んでいる。また、調整検査情報は液滴噴射ヘッド６の検査用の噴射タイミング、照射部２２の検査用の照射タイミング（点滅タイミング）及び撮像レンズ２１ｂのＸ軸方向の移動速度等を含んでいる。

ここで、検査用の噴射タイミングと照射タイミングとの関係について、撮像レンズ２１ｂが図３中の上から下のＸ軸方向に移動する場合を一例として説明する。なお、図３中の一番上に位置する液滴噴射ヘッド６を第１の液滴噴射ヘッドとし、図３中の中央に位置する液滴噴射ヘッド６を第２の液滴噴射ヘッドとし、図３中の一番下に位置する液滴噴射ヘッド６を第３の液滴噴射ヘッドとする。

図４に示すように、照射タイミングは、第１の液滴噴射ヘッド６の第１ノズルの噴射タイミングがオンになるとオンになり、第５ノズルの噴射タイミングがオンになるとオンになり、第９ノズルの噴射タイミングがオンになるとオンになり、すなわち、第（１＋４ｎ（ｎ＝０、１、２…））ノズルの噴射タイミングに応じてオンになる。これにより、照射部２２の一度の照射により、４つの液滴の飛翔形状が撮像されることになる。このとき、撮像する液滴に対するピントはオートフォーカス機能により合わされている。また、撮像レンズ２１ｂのＸ軸方向の移動速度は、４つの液滴の飛翔形状を正確に撮像可能な速度に設定されている。第１の液滴噴射ヘッド６に対する撮像動作に連続して、同様に、第２の液滴噴射ヘッド６及び第３の液滴噴射ヘッド６においても、第（１＋４ｎ（ｎ＝０、１、２…））ノズルの噴射タイミングに応じて照射タイミングがオンになる。

これにより、第１の液滴噴射ヘッド６、第２の液滴噴射ヘッド６及び第３の液滴噴射ヘッド６からそれぞれ噴射された液滴の飛翔形状が順次撮像される。それらの画像を連結して並べることにより、図５に示すように、全液滴が並び、それらの液滴の飛翔形状を示す画像が得られる。なお、全液滴の飛翔形状を撮像する撮像時間はノズルＮの総数に応じて変化するが、ノズルＮの総数が数百である場合でも１秒程度である。このように撮像レンズ２１ｂの上から下への一度の走査により、第１の液滴噴射ヘッド６、第２の液滴噴射ヘッド６及び第３の液滴噴射ヘッド６からそれぞれ噴射された全液滴の飛翔形状を撮像することができる。

次に、前述の液滴噴射塗布装置１が行う傾斜位置調整動作を含む塗布動作（塗布工程）について説明する。なお、液滴噴射塗布装置１の制御装置２５が傾斜位置調整処理を含む塗布処理を実行して各部の駆動を制御する。

図６に示すように、制御装置２５は、ユニット移動機構８を制御し、全ての液滴噴射ヘッドユニット７を待機位置から各液滴噴射ヘッド６が受部材２０に対向する検査位置まで移動させる（ステップＳ１）。これに応じて、全ての液滴噴射ヘッドユニット７はＸ軸方向ガイド板１７のガイド溝１７ａに案内されて検査位置まで移動する。

次いで、制御装置２５は、全ての液滴噴射ヘッドユニット７の各々の支持機構１９のθ方向回転機構１９ａを制御し、各液滴噴射ヘッド６をθ方向に所定の設計角度（傾斜角度θ）で決まる傾斜位置まで回転させて位置付ける（ステップＳ２）。この設計角度は、液滴の着弾ピッチ（着弾間隔）が塗布パターンの設計値から求められる目標の着弾ピッチになる傾斜角度である。

その後、制御装置２５は、各液滴噴射ヘッド６、撮像装置１１の撮像部２１及び照射部２２を制御し、全液滴の飛翔形状を撮像する（ステップＳ３）。すなわち、制御装置２５は、液滴噴射ヘッド６の傾斜位置調整用の調整検査情報に基づいて、全ての液滴噴射ヘッド６に順次液滴を噴射させ、その噴射タイミングに合わせて液滴に対して照射部２２により光を照射し（図４参照）、撮像部２１の撮像レンズ２１ｂを移動させて液滴に対してピントを合わせ、液滴の飛翔形状を順次撮像する。これにより、液滴の飛翔形状が順次撮像される。それらの画像を連結して並べることによって、図５に示すように、全液滴が並び、全液滴の飛翔形状を示す画像が得られる。

次いで、制御装置２５は、撮像した全液滴の飛翔形状に基づいて全液滴の各々の間の飛翔ピッチ（飛翔間隔）Ｐを計測する（ステップＳ４）。すなわち、制御装置２５は、図５に示すように、全液滴の飛翔形状の中心線Ｔを求め、全ての中心線Ｔの間の距離を飛翔ピッチＰとして順次求める。

計測した飛翔ピッチＰが目標値であるか否かを判断する（ステップＳ５）。この目標値は、例えば、目標の着弾ピッチを中心とする所定の許容範囲内の値である。なお、このとき、全ての飛翔ピッチPが目標値であるか否かを判断してもよく、また、全ての飛翔ピッチPの平均値が目標値であるか否かを判断してもよい。

計測した飛翔ピッチＰが目標値であると判断した場合には（ステップＳ５のＹＥＳ）、ユニット移動機構８を制御し、全ての液滴噴射ヘッドユニット７を検査位置から各液滴噴射ヘッド６が基板Ｋに対向する塗布開始位置まで移動させ（ステップＳ６）、傾斜位置に位置する各液滴噴射ヘッド６及び基板移動機構５を制御し、基板保持テーブル１５上の基板Ｋに対する塗布動作を行う（ステップＳ７）。これに応じて、各液滴噴射ヘッド６は、Ｙ軸方向に移動する基板Ｋに液滴を着弾させてＸ軸方向のドット列を順次形成し、所定の塗布パターンを塗布する。

一方、計測した飛翔ピッチＰが目標値でないと判断した場合には（ステップＳ５のＮＯ）、目標値とのズレ量を求め、求めたズレ量から補正角度を算出し（ステップＳ８）、液滴噴射ヘッド６を設計角度の傾斜位置から補正角度だけ回転させて傾斜位置を調整し（ステップＳ９）、処理をステップＳ３に戻す。この処理は飛翔ピッチＰが目標値になるまで繰り返され、傾斜角度θ、すなわち液滴噴射ヘッド６の傾斜位置が調整される。

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態によれば、液滴噴射ヘッド６に液滴を噴射させ、噴射した全液滴の飛翔形状を撮像し、撮像した全液滴の飛翔形状に基づいてそれらの液滴の各々の間の飛翔ピッチＰを求め、求めた全液滴の各々の間の飛翔ピッチＰに基づいて液滴噴射ヘッド６の傾斜位置を調整することによって、液滴噴射ヘッド６の傾斜位置は飛翔ピッチＰを用いて調整され、調整用の塗布対象物に着弾した実際の着弾ピッチを測定する必要がなくなるので、調整用の塗布対象物を用いることなく、液滴噴射ヘッド６の傾斜位置調整を行うことができる。その結果として、基板やメディア等の調整用の塗布対象物を用いることがなくなるので、調整用の塗布対象物を無駄に使用してしまうことを防止することができる。

また、調整した傾斜位置に位置する液滴噴射ヘッド６に液滴を噴射させ、相対移動する基板Ｋに複数の液滴を塗布することによって、着弾ピッチが目標の着弾ピッチとなり、塗布パターンが精度良く正確に形成されるので、塗布体の製造不良の発生を防止することができ、さらに、塗布精度が高い塗布体を得ることができる。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図７を参照して説明する。本発明の第２の実施の形態では、第１の実施の形態と異なる部分、すなわち撮像装置１１について説明する。なお、第２の実施の形態においては、第１の実施の形態で説明した部分と同じ部分の説明を省略する。

図７に示すように、本発明の第２の実施の形態に係る撮像装置１１では、受部材２０のＸ軸方向の幅が第１の実施の形態に比べ狭く形成されており、照射部２２のＸ軸方向の幅も第１の実施の形態に比べ狭く形成されている。受部材２０の大きさは、例えば、ベース板１８が停止した状態で、１つの液滴噴射ヘッド６から噴射された全液滴を受けることができるサイズである。また、照射部２２の大きさは、撮像部２１の撮像範囲に合わせて設定されている。

撮像部２１は、CCD等の撮像素子を複数有するエリアセンサ２１ｄと、そのエリアセンサ２１ｄをＹ軸方向に移動させるセンサ移動機構２１ｅとを備えている。この撮像部２１は、制御装置２５による制御に応じて、エリアセンサ２１ｄをＹ軸方向に移動させてピントを合わせる。

ここで、制御装置２５は、液滴噴射ヘッド６の傾斜位置調整用の調整検査情報に基づいて、各液滴噴射ヘッド６、ユニット移動機構８、撮像装置１１の撮像部２１及び照射部２２を制御し、全液滴の飛翔形状を撮像する。なお、調整検査情報は、第１の実施の形態と同様、液滴噴射ヘッド６の検査用の噴射タイミング及び照射部２２の検査用の照射タイミング（点滅タイミング）等に加え、液滴噴射ヘッド６の検査用のＸ軸方向の移動速度、及び焦点深度に基づくエリアセンサ２１ｄの移動距離も含んでいる。

この制御装置２５は、調整検査情報に基づいて、全ての液滴噴射ヘッド６をＸ軸方向に移動させながら順次液滴を噴射させ、その噴射タイミングに合わせて液滴に対して照射部２２により光を照射し（図４参照）、撮像部２１のエリアセンサ２１ｄを移動させて液滴に対してピントを合わせ、液滴の飛翔形状を順次撮像する。これにより、液滴の飛翔形状が順次撮像される。それらの画像を連結して並べることによって、第１の実施の形態と同様、図５に示すように、全液滴が並び、全液滴の飛翔形状を示す画像が得られる。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。特に、液滴噴射ヘッド６を移動させながら液滴の飛翔形状を順次撮像することによって、受部材２０、撮像部２１及び照射部２２、すなわち撮像装置１１を小型化することが可能になるので、液滴噴射塗布装置１の大型化を防止することができる。

（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

例えば、前述の実施の形態においては、基板保持テーブル１５上の基板Ｋに対する塗布動作を行う度に液滴噴射ヘッド６の傾斜角度調整を行っているが、これに限るものではなく、例えば、塗布パターンが変更された場合やインクが交換された場合等の所定のタイミングで液滴噴射ヘッド６の傾斜位置調整を行うようにしてもよい。

また、前述の実施の形態においては、塗布動作時に液滴噴射ヘッド６に対して基板Ｋを移動させるようにしているが、これに限るものではなく、基板Ｋに対して液滴噴射ヘッド６を移動させるようにしてもよく、基板Ｋと液滴噴射ヘッド６とを相対移動させるようにすればよい。

最後に、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。

本発明の第１の実施の形態に係る液滴噴射塗布装置の概略構成を示す斜視図である。 図１に示す液滴噴射塗布装置が備える液滴噴射ヘッドの傾斜位置を説明するための説明図である。 図１に示す液滴噴射塗布装置が備える撮像装置の概略構成を示す平面図である。 図１及び図２に示す撮像装置が行う傾斜位置調整動作における噴射タイミング及び照射タイミングの関係を説明するための説明図である。 図１及び図２に示す撮像装置が行う傾斜位置調整動作における全液滴の飛翔形状を撮像した画像を説明するための説明図である。 図１に示す液滴噴射塗布装置が行う傾斜位置調整動作を含む塗布動作の流れを示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態に係る液滴噴射塗布装置が備える撮像装置の概略構成を示す平面図である。

符号の説明

１…液滴噴射塗布装置、６…液滴噴射ヘッド、１９ａ…傾斜機構（θ方向回転機構）、２２…撮像部、Ｋ…塗布対象物（基板）、Ｎ…ノズル、Ｐ…飛翔間隔（飛翔ピッチ）

Claims (2)

1. 直線状に並ぶ複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、
   前記複数の液滴が着弾する塗布対象物と前記液滴噴射ヘッドとが相対移動する相対移動方向に対して前記複数のノズルが並ぶ整列方向が水平面内で傾斜する傾斜位置に前記液滴噴射ヘッドを位置付ける傾斜機構と、
   噴射した前記複数の液滴の飛翔形状を撮像する撮像装置と、
   前記傾斜位置に位置する前記液滴噴射ヘッドに前記液滴を噴射させ、噴射した前記複数の液滴の飛翔形状を前記撮像装置に撮像させる手段と、
   撮像した前記複数の液滴の飛翔形状に基づいて前記複数の液滴の各々の間の飛翔間隔を求め、求めた前記複数の液滴の各々の間の飛翔間隔に基づいて前記傾斜位置を調整する手段と、
   調整した前記傾斜位置に位置する前記液滴噴射ヘッドに前記液滴を噴射させ、相対移動する前記塗布対象物に前記複数の液滴を塗布する手段と、
   を備えることを特徴とする液滴噴射塗布装置。
2. 直線状に並ぶ複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと前記複数の液滴が着弾する塗布対象物とが相対移動する相対移動方向に対して前記複数のノズルが並ぶ整列方向が水平面内で傾斜する傾斜位置に前記液滴噴射ヘッドを位置付ける工程と、
   前記傾斜位置に位置する前記液滴噴射ヘッドに前記液滴を噴射させ、噴射した前記複数の液滴の飛翔形状を撮像する工程と、
   撮像した前記複数の液滴の飛翔形状に基づいて前記複数の液滴の各々の間の飛翔間隔を求め、求めた前記複数の液滴の各々の間の飛翔間隔に基づいて前記傾斜位置を調整する工程と、
   調整した前記傾斜位置に位置する前記液滴噴射ヘッドに前記液滴を噴射させ、相対移動する前記塗布対象物に前記複数の液滴を塗布する工程と、
   を有することを特徴とする塗布体の製造方法。

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