TWI526250B - Film forming apparatus and thin film forming method - Google Patents

Film forming apparatus and thin film forming method Download PDF

Info

Publication number
TWI526250B
TWI526250B TW101120476A TW101120476A TWI526250B TW I526250 B TWI526250 B TW I526250B TW 101120476 A TW101120476 A TW 101120476A TW 101120476 A TW101120476 A TW 101120476A TW I526250 B TWI526250 B TW I526250B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
elevated portion
outer frame
block type
heat source
film forming
Prior art date
Application number
TW101120476A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201311354A (zh
Inventor
Yoshinori Tokuyasu
Hideaki Yamamoto
Naoki Watase
Junichi Matsui
Hideo Nakamura
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of TW201311354A publication Critical patent/TW201311354A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI526250B publication Critical patent/TWI526250B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers

Description

薄膜形成裝置及薄膜形成方法
本發明，是有關於噴墨方式的薄膜形成裝置及薄膜形成方法。
噴墨方式，是從利用作為塗抹頭的氣泡或壓電元件的噴墨塗抹頭將作為塗抹材料的墨水液滴每次少量且高精度地吐出的方式。藉由此墨水液滴的高精度的吐出在作為塗抹對象的構件將墨水液滴塗抹的處理已被裝置化，即噴墨塗抹裝置。因為可實現墨水的高精細的塗抹所以近年來受到屬目，不限定於對於紙的印刷，對於任何產業領域皆被探索其可適用性，也有已經被實用化者。
在塗抹頭的下面先端，複數噴嘴是由預定的間距被設置，藉由此噴嘴的間距來決定塗抹材料也就是液滴的吐出間隔。此噴嘴的間距是小，因為對於每一噴嘴的吐出的有無可以個別管理，所以不需要如柔版印刷法的版模，在平面內可塗抹自由的形狀。
另一方面，因為可調整塗抹材料的黏度地從噴嘴吐出液滴，所以在被吐出之後的基板上會發生塗抹材料的擴散。因此，液滴的1滴及相鄰的液滴的1滴所形成的面形狀的穩定性會成為問題，特別是面形狀的最外周中的線形狀會深深地影響製作物的品質。
例如，專利文獻1，是藉由噴墨頭將定向膜材料吐出 並附著在基板上。在使乾燥固化來形成定向膜的方法中，為了適合噴墨吐出的黏度會添加於定向膜材料的表面張力調整的溶劑、和脫氣溶劑。這是為了提高噴墨的吐出動作及吐出後的基板上中的均染性，而乾燥固化則是不同步驟，因此被移到下一個乾燥裝置進行(非專利文獻1參照)。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第3073493號公報
[非專利文獻]
[非專利文獻1]岩井善弘‧越石健司著，「液晶‧PDP‧有機EL徹底比較」，初版，股份有限公司工業調査會，2004年7月，p.50-58
目前為止，除了求得噴墨方式的塗抹中的高塗抹位置精度和膜厚的均一性以外，主要目標是著眼於塗抹間隔及塗抹頭的噴嘴間距的相對的位置關係。
但是將噴墨方式的塗抹活用在各式各樣的領域之後，除了塗抹的時點的動作以外，從塗抹隨後直到乾燥並附著在基板上為止如何管理也很重要。
特別是，在適用於液晶玻璃基板的製造的例中，隨著基板的大型化，形成那一種附著狀態成為非常重要。因此 期望，藉由噴墨方式將位置管理地塗抹，可以保持被管理的位置的方式迅速地乾燥。
但是非專利文獻1所示的習知的方法，是在一連的塗抹處理終了之後，進行乾燥處理。因此，從塗抹處理開始直到被組裝於乾燥裝置使乾燥處理開始為止之間，乾燥處理不會被進行。因此，直到開始乾燥處理期間被塗抹在玻璃基板的液滴會滑動，且由液滴間的重疊所產生的均染有可能會在意想不到的狀態下連鎖地發生。
在此，本發明的課題是提供一種可高精度且均一地塗抹的薄膜形成裝置及薄膜形成方法。
為了解決這種課題，本發明，是一種薄膜形成裝置，其特徵為：具備：將塗抹對象物吸附保持的吸附載台、及對於被吸附保持在該吸附載台的前述塗抹對象物的表面從噴墨式噴嘴一邊將塗抹材吐出一邊進行薄膜形成的複數塗抹頭、及將該塗抹頭在前述塗抹對象物的上方位置移動的高架部，在前述高架部，進一步具備將前述塗抹對象物的表面加熱的熱源裝置。
依據本發明的話，可提供一種高精度且均一地塗抹的薄膜形成裝置及薄膜形成方法。
以下，對於實施本發明用的形態(以下稱為「實施例」)，一邊參照適宜圖面一邊詳細說明。又，在各圖中，對於共通的部分是附加同一的符號並省略重複的說明。
第1圖，是顯示本實施例的薄膜形成裝置1的構成的立體圖。
本實施例的薄膜形成裝置1，是具有用於：平板顯示器、和應用電泳方式等的被稱為可撓性顯示器的可柔順地彎曲的電子紙等多種多樣的用途。以下的說明，本實施例的薄膜形成裝置1，是以對於平板顯示器所使用的玻璃基板100形成(塗抹)聚醯亞胺的薄膜為例說明。又，在本實施例的薄膜形成裝置1中，在玻璃基板100上被形成(塗抹)的聚醯亞胺的薄膜，是藉由施加本乾燥處理及定向處理(Rubbing)，而成為定向膜，但是在本說明中，本乾燥處理、定向處理之前的薄膜也作成稱為「定向膜」。
薄膜形成裝置1，是具備：架台2、及高架部3、及具有複數塗抹頭4的塗抹頭元件5、及X軸移動機構6、及Y軸移動機構7、及Z軸移動機構8、及將形成(塗抹)定向膜的對象也就是玻璃基板100真空吸附固定的吸附載台9、及頭回復裝置10、及熱源裝置31、及校正照相機32(第2圖參照)、及校正照相機移動機構33(第2圖參照)、及控制部50(第5圖參照)。
又，以下的說明，如第1圖所示，將架台2的長度方 向(高架部3的移動方向)作為X軸，將架台2的寬度方向(在水平面上與X軸垂直的方向)作為Y軸，將垂直方向作為Z軸。且，將高架部3的朝X軸的正方向的移動作為往路，朝X軸的負方向的移動作為返路。
高架部3，是在與架台2之間具有開口3a的門型高架部，透過X軸移動機構6，被設在架台2的上。
在高架部3的返路側，透過Y軸移動機構7及Z軸移動機構8，被設置具有複數塗抹頭4的塗抹頭元件5。
在高架部3的往路側，設有熱源裝置31。且，高架部3的往路側，是透過校正照相機移動機構33(第2圖參照)，被設置校正照相機32(第2圖參照)。
X軸移動機構6，是由：設在架台2的定子(磁鐵托板)6a、及設在高架部3的可動子(線圈)6b所構成的線性馬達致動器，可以將高架部3對於架台2朝X軸方向移動。
Y軸移動機構7，是由：設在高架部3的定子(磁鐵托板)7a、及設在塗抹頭元件5的可動子(線圈)7b所構成的線性馬達致動器，可以將塗抹頭元件5對於高架部3朝Y軸方向移動。
Z軸移動機構8，是由伺服馬達所構成，可以將塗抹頭元件5對於高架部3朝Z軸方向移動。
即，塗抹頭元件5(塗抹頭4、後述的噴嘴4a)，是可以藉由X軸移動機構6朝X軸方向移動，藉由Y軸移動機構7朝Y軸方向移動，藉由Z軸移動機構8朝Z軸方 向移動。
又，X軸移動機構6、Y軸移動機構7及Z軸移動機構8，是藉由控制部50被控制。
具有複數塗抹頭4的塗抹頭元件5是被設置。為了確保將定向膜材料吐出的噴嘴的間距的連續性，塗抹頭4是被複數設置。
在第1圖所示的例，在塗抹頭元件5中，4個塗抹頭4是沿著Y軸方向被配置成一列，其塗抹頭4的列是被圖示在X軸方向被配置3列。
進一步，對於一個塗抹頭4將定向膜材料吐出的噴嘴(無圖示)是沿著Y軸方向呈一列地被複數配置，其噴嘴的列是被配置複數列(無圖示)。又，塗抹頭4，是利用壓電元件等從噴嘴將少量的液滴高精度地吐出的噴墨頭。
又，控制部50，可以對於塗抹頭4的各噴嘴分別控制定向膜材料的吐出的有無和時間點、吐出的定向膜材料的量。
第2圖，是說明高架部3的背面側的構造的構成意示圖。又，在第2圖中，X軸移動機構6的可動子6b、Y軸移動機構7、Z軸移動機構8是省略圖示。
如第2圖所示，被配置於高架部3的往路側(第1圖的背面側)的熱源裝置31，是例如，由紅外線燈泡所構成，可以朝大致垂直方向照射紅外線。即，在高架部3的返路時可以對於通過高架部3的開口3a(第1圖參照)的對象(玻璃基板100)照射紅外線。
又，熱源裝置31，是藉由控制部50被控制點燈/消燈。
又，本實施例的薄膜形成裝置1，其熱源裝置31雖是以使用紅外線燈泡為例作說明，但是不限定於此，照射可視光線的可視光線燈泡(無圖示)也可以，照射紫外線的紫外線燈泡(無圖示)也可以，只要可以將被塗抹在玻璃基板100的定向膜材料加熱即可。
順便，熱源裝置31是使用紫外線燈泡(無圖示)的情況時，從紫外線燈泡的電源投入直到被照射的紫外線的強度穩定為止因為因為需要時間，所以設置擋板(無圖示)，取代控制紫外線燈泡的點燈/消燈，而藉由擋板的開閉來控制照射開始及照射停止較佳。
且作為熱源裝置31，是將不含塵埃等的清淨的空氣(清淨空氣)加熱並朝對象(玻璃基板100)吹附的熱風送風裝置(無圖示)也可以。藉由將被加熱的清淨的空氣作為熱媒體朝對象吹附，就可以將對象(玻璃基板100)加熱。且，將熱風送風裝置及紅外線燈泡(可視光線燈泡、紫外線燈泡)組合者也可以。
校正照相機32，是除了被使用在與被吸附在吸附載台9的玻璃基板100的定位用以外，也用來觀察從塗抹頭4吐出並被塗抹在玻璃基板100的定向膜材料。
校正照相機移動機構33，是可以對於高架部3將校正照相機32朝Y軸方向移動。即，校正照相機32，是可以藉由X軸移動機構6朝X軸方向移動，藉由校正照相 機移動機構33朝Y軸方向移動。
又，X軸移動機構6及校正照相機移動機構33，是藉由控制部50被控制。且，由校正照相機32被攝像的畫像，是朝控制部50被發訊，並使用於塗抹頭4的位置修正。
返回至第1圖，吸附載台9，是可以將玻璃基板100真空吸附固定。且，吸附載台9，是具備由伺服馬達所構成的θ旋轉機構(無圖示)，將Z軸方向的軸作為旋轉軸只有旋轉角θ可以旋轉。
又，吸附載台9，是藉由控制部50使玻璃基板100的裝卸及旋轉角θ被控制。
接著，對於頭回復裝置10，使用第3圖及第4圖進一步說明。第3圖，是頭回復裝置10的放大圖。
頭回復裝置10，是從塗抹頭4的噴嘴吐出，防止噴嘴的孔堵塞，並且檢出孔堵塞的回復的裝置。
頭回復裝置10，是具備：吸入口11、及LED(Light Emitting Diode；發光二極管)12、及照相機13、及將LED 12朝Y軸方向移動的LED移動機構12A、及將照相機13朝Y軸方向移動的照相機移動機構13A、及電子天秤14。在電子天秤14中，將定向膜材料從塗抹頭4的噴嘴吐出，調整各塗抹頭4間的每1次的吐出量。
吸入口11，是與真空室(無圖示)等連接，被配置成從Z軸方向所見與被設在塗抹頭元件5的複數塗抹頭4的位置對應。即，對應第1圖所示的塗抹頭元件5，使4個吸 入口11沿著Y軸方向被配置成一列，其吸入口11的列是在X軸方向被配置3列。
LED 12，是被配置成與沿著被設在塗抹頭元件5的Y軸方向被配置成一列的塗抹頭4的位置對應。即，對應第1圖所示的塗抹頭元件5，使4個LED 12沿著Y軸方向被配置成一列。且，LED 12，是可以藉由LED移動機構12A朝Y軸方向移動。
又，LED 12，是藉由控制部50被控制點燈/消燈。
照相機13，是被配置成與沿著被設在塗抹頭元件5的Y軸方向被配置成一列的塗抹頭4的位置對應。即，對應第1圖所示的塗抹頭元件5，使4個照相機13沿著Y軸方向被配置成一列。且，照相機13，是可以藉由照相機移動機構13A朝Y軸方向移動。
又，由照相機13被攝像的畫像，是朝控制部50被發訊。
第4圖，是說明頭回復裝置10的動作的意示圖。又，第4圖，是由第1圖的X-Z平面所見的意示圖。且，在第1圖中，雖只在X軸方向配置有複數塗抹頭4及吸入口11，但是與檢查對象的噴嘴對應的塗抹頭4及吸入口11以外者，在此第4圖中被省略圖示。
首先，控制部50(後述的頭回復控制部51)，是將X軸移動機構6及Y軸移動機構7控制，使與吸入口11對應的方式將塗抹頭4移動。且，控制部50(頭回復控制部51)，是將LED移動機構12A及照相機移動機構13A控 制，使LED 12及照相機13的Y軸座標與檢查對象的噴嘴4a的Y軸座標一致的方式移動。且，照相機13，是具有X軸方向的移動機構(無圖示)，使攝像的焦點位置與檢查對象的噴嘴4a的X軸座標一致的方式移動。
接著，控制部50(頭回復控制部51)，是將塗抹頭4控制，進行從噴嘴4a將定向膜材料的液滴4b吐出的回復運轉。又，被吐出的定向膜材料的液滴4b，是進入吸入口11。
此時，控制部50(頭回復控制部51)，是將LED 12點燈，由照相機13攝像。被吐出的定向膜材料的液滴4b，是在由照相機13攝像的畫像中，成為影地被攝像。由此，可以檢出噴嘴4a的孔堵塞的回復。
又，噴嘴4a的孔堵塞，雖是藉由將定向膜材料的液滴4b吐出而被消解，但是只有吐出控制而無法使孔堵塞被消解的情況時，控制部50(頭回復控制部51)，是將Z軸移動機構8(第1圖參照)控制，使塗抹頭4與吸入口11接觸的方式降下，進行吸引回復也可以。且，控制部50(頭回復控制部51)，是將Z軸移動機構8(第1圖參照)控制，返回至預定的高度，從噴嘴4a將定向膜材料的液滴4b吐出，由照相機13攝像並確認回復。
第5圖，是說明控制部50的功能的功能方塊圖。
控制部50，是可以控制：X軸移動機構6、Y軸移動機構7、Z軸移動機構8、LED移動機構12A、照相機移動機構13A及校正照相機移動機構33的移動位置。
且控制部50，是在吸附載台9，可以控制：玻璃基板100的裝卸及旋轉角θ。
且控制部50，是可以控制LED 12及熱源裝置31的點燈/消燈。
且控制部50，是可以對於複數某塗抹頭4的各噴嘴分別控制定向膜材料的吐出的有無和時間點。
且控制部50，是讓由照相機13及校正照相機32被攝像的畫像被輸入。
控制部50，是具備：頭回復控制部51、及外框塗抹步驟控制部52、及內面塗抹步驟控制部53。
頭回復控制部51，是進行使塗抹頭4的噴嘴回復的控制。
外框塗抹步驟控制部52，是進行供形成被塗抹在玻璃基板100的定向膜的外框用的控制。
內面塗抹步驟控制部53，是進行將定向膜材料塗抹在藉由外框塗抹步驟控制部52被形成的定向膜的外框的內部的控制。
接著使用第6圖~第8圖，說明本實施例的薄膜形成裝置1的薄膜形成方法。
在步驟S1，控制部50的頭回復控制部51，是確認是否可以從塗抹頭4的噴嘴將定向膜材料正常地滴下。且，使用電子天秤14，調整來自塗抹頭4的噴嘴的定向膜材料的吐出量。
具體而言，頭回復控制部51，是控制X軸移動機構 6及Y軸移動機構7，使與吸入口11對應的方式將塗抹頭4移動。且，控制LED移動機構12A及照相機移動機構13A，使LED 12及照相機13的Y軸座標與檢查對象的噴嘴的Y軸座標一致的方式移動。
且頭回復控制部51，是控制塗抹頭4，從噴嘴將定向膜材料吐出，將被吐出的定向膜材料的液滴由照相機13攝像確認。
又，在噴嘴孔發生堵塞，無滴下的情況時，實行前述的吸引回復。
確認可以從塗抹頭4的噴嘴正常地滴下的話，朝步驟S2前進。
在步驟S2，控制部50，是控制吸附載台9，藉由外部的基板裝填機構(無圖示)將被配置於吸附載台9上的玻璃基板100吸附(基板裝載)。且，控制部50，是控制X軸移動機構6及校正照相機移動機構33使校正照相機32移動，依據由校正照相機32被攝像的畫像來確認被吸附在吸附載台9的玻璃基板100的位置。控制部50，是依據在此被確認的玻璃基板100的位置資訊，控制後述的塗抹頭4的移動。
在步驟S3，控制部50的外框塗抹步驟控制部52，是在玻璃基板100上將定向膜的外框塗抹形成。在此，使用第7圖進一步說明步驟S3所示的外框塗抹步驟。
首先，在步驟S31，外框塗抹步驟控制部52，是控制Y軸移動機構7，在後述的步驟S32使塗抹頭4通過形成 外框圖型110(第9圖(a)參照)的領域的方式，使Y軸的位置移動(塗抹頭Y軸位置對合)。
在步驟S32，如第9圖(a)所示，外框塗抹步驟控制部52，是控制X軸移動機構6，使高架部3朝往路方向移動，並且控制塗抹頭4，控制從塗抹頭4的噴嘴將定向膜材料的液滴滴下的時間點。
由此，定向膜的外框圖型110是被塗抹在玻璃基板100。
高架部3的往路方向的移動終了的話，朝步驟S33前進。
在步驟S33，外框塗抹步驟控制部52，是將熱源裝置31也就是紅外線燈泡點燈(熱源裝置導通(ON))。
在步驟S34，如第9圖(b)所示，外框塗抹步驟控制部52，是控制X軸移動機構6，將高架部3朝返路方向移動。如此的話，對於通過了高架部3的開口3a(第1圖參照)的玻璃基板100，照射紅外線(加熱領域)34。
由此，在步驟S32將被塗抹在玻璃基板100的定向膜的外框圖型110乾燥。
高架部3的返路方向的移動終了的話，朝步驟S35前進。
在步驟S35，外框塗抹步驟控制部52，是將熱源裝置31也就是紅外線燈泡消燈(熱源裝置斷開(OFF))。
在步驟S36，外框塗抹步驟控制部52，是判別是否預定的次數終了。
在步驟S3所示的外框塗抹步驟，為了將外框圖型110成為預定的高度，反覆外框圖型110的塗抹及乾燥複數次，預定的次數未終了的情況時(S36‧No)，外框塗抹步驟控制部52的處理，是返回至步驟S31。預定的次數終了的情況時(S36‧Yes)，終了第7圖所示的外框塗抹步驟(步驟S3)，朝第6圖的步驟S4前進。
返回至第6圖，在步驟S4，控制部50的內面塗抹步驟控制部53，是將定向膜材料塗抹於由在步驟S3形成的外框圖型110(第9圖參照)所包圍的內面。在此，使用第8圖進一步說明步驟S4所示的內面塗抹步驟。
在步驟S41，內面塗抹步驟控制部53，是控制Y軸移動機構7，使塗抹頭4被配置於Y軸方向的初期位置的方式，將Y軸的位置移動(塗抹頭Y軸位置對合)。
在步驟S42，內面塗抹步驟控制部53，是控制X軸移動機構6，將高架部3移動，並且控制塗抹頭4，控制從噴嘴將定向膜材料的液滴滴下的時間點(高架部移動、塗抹)。又，S42中的高架部3的移動，是不拘往路、返路。
由此，定向膜材料是被塗抹於由在步驟S3形成的外框圖型110(第9圖參照)所包圍的內面。
在步驟S43，內面塗抹步驟控制部53，是判別是否預定的塗抹次數(N回)終了。
如後述，由外框圖型110所包圍的內面的塗抹，是一邊將塗抹頭4移動噴嘴間距的1/N，一邊N次塗抹。由 此，在由外框圖型110所包圍的內面被滴下的液滴的間距，是成為塗抹頭4的噴嘴間距的1/N。由此，可以使膜厚均一化。
預定的塗抹次數未終了的情況(S43‧No)，朝步驟S44前進，內面塗抹步驟控制部52，是控制Y軸移動機構7，將塗抹頭4移動1/N噴嘴間距。且返回至步驟S42。
預定的塗抹次數終了的情況(S43‧Yes)，終了第8圖所示的內面塗抹步驟(步驟S4)，朝第6圖的步驟S5前進。
在步驟S5，控制部50，是控制吸附載台9，將被配置於吸附載台9上的玻璃基板100的吸附解除。定向膜被塗抹的玻璃基板100是藉由外部的基板裝填機構(無圖示)從薄膜形成裝置1被摘出(基板卸載)。
又，從薄膜形成裝置1被摘出的玻璃基板100，是朝進行本乾燥處理的乾燥處理裝置(無圖示)被送出。
如此，本實施例的薄膜形成裝置1，因為是使用噴墨方式形成定向膜，所以不需要如習知的柔版印刷法的版模，可以對應少量、多品種的定向膜形成(換言之，少量、多品種的平板顯示器的製造)。
且本實施例的薄膜形成裝置1，是在玻璃基板100形成定向膜時，形成定向膜的外框圖型110，其後，將定向膜材料塗抹在框內。
在此，如第9圖所示，形成定向膜的外框圖型110 時，因為藉由紅外線燈泡等的熱源裝置31，將被塗抹在玻璃基板100上的定向膜材料加熱，所以可以減少被塗抹的定向膜材料從玻璃基板100上的被塗抹的位置擴散。由此，減少從定向膜形成領域的超出，可以將定向膜材料有效率地使用。
且可以提高定向膜的端緣的直線性。由此，可以達成平板顯示器的非顯示部面積的更縮小化。且，在形成多倒角的玻璃基板中，可以將相鄰接的定向膜圖型之間縮小，可以提高從1枚的玻璃基板取出的平板顯示器的枚數。
接著，被塗抹在框內的定向膜材料，是藉由外框被攔截(限制)，使不會更擴散。由此，可以減少從定向膜形成領域的超出(擴散)，將定向膜材料有效率地使用。
且本實施例的薄膜形成裝置1，是鄰接於吸附載台9地設有頭回復裝置10。由此，可以防止塗抹頭4的孔堵塞，並且將噴嘴回復(清掃)，可以最佳地控制從塗抹頭4的噴嘴滴下的定向膜材料的液滴的量及滴下的時間點。
且由照相機13藉由攝像從塗抹頭4吐出的定向膜材料，就可以確認是否無孔堵塞地正確被吐出。
又，熱源裝置31的照射領域(第9圖(b)所示的加熱領域34)，因為是對於玻璃基板100朝向高架部3的下方，所以不會助長塗抹頭4的孔堵塞。
<變形例>
又，本實施例的薄膜形成裝置，不限定於上述實施例 的構成，在不脫離發明的宗旨範圍內可進行各種變更。
第10圖，是說明變形例的薄膜形成裝置的高架部3的構造的構成意示圖。與本實施例的高架部3(第2圖參照)相比較，變形例的高架部3(第10圖參照)，是也在高架部3的返路側(第1圖的正面側)具備熱源裝置35。熱源裝置35，是與熱源裝置31同樣地，例如，由紅外線燈泡所構成，可以朝大致垂直方向照射紅外線。即，熱源裝置35，是在高架部3的往路時可以對於通過了高架部3的開口3a(第1圖參照)的對象照射紅外線。
又，熱源裝置35，是藉由控制部50被控制點燈/消燈。
第11圖，是說明變形例的薄膜形成裝置的外框塗抹步驟的意示圖，(a)是顯示往路時，(b)是顯示返路時。
如第11圖(a)所示，將高架部3朝往路方向移動時，控制塗抹頭4，控制從塗抹頭4的噴嘴將定向膜材料的液滴滴下的時間點，並且藉由將熱源裝置35點燈而對於玻璃基板100照射紅外線(加熱領域)36。
且如第11圖(b)所示，將高架部3朝返路方向移動時，控制塗抹頭4，控制從塗抹頭4的噴嘴將定向膜材料的液滴滴下的時間點，並且藉由將熱源裝置31點燈而對於玻璃基板100照射紅外線(加熱領域)34。
如此，依據變形例的薄膜形成裝置的話，在往路時及在返路時皆可以進行定向膜材料的滴下及乾燥，可以短縮形成外框的節拍時間。
且從塗抹(定向膜材料的液滴的滴下)直到乾燥(照射紅外線)為止的時間因為可以短縮，所以外框的直線性可進一步提高。
且進一步具備將在吸附載台9(第1圖參照)所吸附的玻璃基板100加熱的加熱手段(無圖示)，在外框形成步驟(步驟S3)藉由將玻璃基板100加熱，促進被滴下的定向膜材料的液滴的乾燥也可以。
1‧‧‧薄膜形成裝置
2‧‧‧架台
3‧‧‧高架部
3a‧‧‧開口
4‧‧‧塗抹頭
4a‧‧‧噴嘴
4b‧‧‧定向膜材料的液滴
5‧‧‧塗抹頭元件
6‧‧‧X軸移動機構
6a‧‧‧定子
6b‧‧‧可動子
7‧‧‧Y軸移動機構
7a‧‧‧定子
7b‧‧‧可動子
8‧‧‧Z軸移動機構
9‧‧‧吸附載台
10‧‧‧頭回復裝置
11‧‧‧吸入口(吐出位置)
12‧‧‧LED(攝像裝置)
12A‧‧‧LED移動機構(攝像裝置)
13‧‧‧照相機(攝像裝置)
13A‧‧‧照相機移動機構(攝像裝置)
31‧‧‧熱源裝置
32‧‧‧校正照相機
33‧‧‧校正照相機移動機構
34‧‧‧紅外線(加熱領域)
35‧‧‧熱源裝置
36‧‧‧紅外線(加熱領域)
50‧‧‧控制元件
51‧‧‧頭回復控制部
52‧‧‧外框塗抹步驟控制部
53‧‧‧內面塗抹步驟控制部
100‧‧‧玻璃基板(塗抹對象物)
110‧‧‧外框圖型
[第1圖]顯示本實施例的薄膜形成裝置的構成的立體圖。
[第2圖]說明高架部的背面側的構造的構成意示圖。
[第3圖]頭回復裝置的放大圖。
[第4圖]說明頭回復裝置的動作的意示圖。
[第5圖]說明控制部的功能的功能方塊圖。
[第6圖]說明本實施例的薄膜形成裝置的薄膜形成方法的流程圖。
[第7圖]說明外框塗抹步驟的流程圖。
[第8圖]說明內面塗抹步驟的流程圖。
[第9圖]說明本實施例的薄膜形成裝置的外框塗抹步驟的意示圖，(a)是將往路時(b)是顯示返路時。
[第10圖]說明變形例的薄膜形成裝置的高架部的構造的構成意示圖。
[第11圖]說明變形例的薄膜形成裝置的外框塗抹步 驟的意示圖，(a)是將往路時(b)是顯示返路時。
2‧‧‧架台
3‧‧‧高架部
3a‧‧‧開口
4‧‧‧塗抹頭
5‧‧‧塗抹頭元件
6‧‧‧X軸移動機構
6a‧‧‧定子
6b‧‧‧可動子
7‧‧‧Y軸移動機構
7a‧‧‧定子
7b‧‧‧可動子
8‧‧‧Z軸移動機構
9‧‧‧吸附載台
10‧‧‧頭回復裝置
11‧‧‧吸入口(吐出位置)
12‧‧‧LED(攝像裝置)
13‧‧‧照相機(攝像裝置)
14‧‧‧電子天秤
31‧‧‧熱源裝置
100‧‧‧玻璃基板(塗抹對象物)

Claims (4)

  1. 一種薄膜形成裝置，其特徵為，具備：將塗抹對象物吸附保持的吸附載台、及對於被吸附保持在該吸附載台的前述塗抹對象物的表面從噴墨式噴嘴一邊將塗抹材吐出一邊在塗抹外框後對前述外框的內面進行薄膜形成的複數塗抹頭、及將該塗抹頭在前述塗抹對象物的上方位置移動的高架部、及被配置在前述高架部，將前述塗抹對象物的表面之外框圖型加熱的熱源裝置、及控制前述吸附載台、前述塗抹頭、前述高架部、前述熱源裝置的控制裝置，前述控制裝置，具備有：反覆進行預定次數塗抹動作、預定次數前述外框圖型的加熱動作之外框塗抹手段；以及在前述外框塗抹後，對以前述外框圖型所包圍的內面塗抹薄膜材料的內面塗抹手段；前述塗抹動作，是使前述塗抹頭以通過形成前述外框圖型的區域的方式移動，並且使前述高架部朝第1方向移動，且藉由控制薄膜材料的液滴從前述塗抹頭的噴嘴滴下的時間點，來塗抹前述外框圖型；前述外框圖型的加熱動作，是在前述高架部的前述第1方向的移動結束後，使前述高架部朝與前述第1方向相反的第2方向移動，且將前述熱源裝置導通來加熱前述外框圖型，並且在前述高架部的前述第2方向的移動結束 後，將前述熱源裝置斷開。
  2. 如申請專利範圍第1項的薄膜形成裝置，其中，在與前述塗抹對象物的表面不同的位置，進一步具備從前述塗抹頭將塗抹材吐出的吐出位置。
  3. 如申請專利範圍第2項的薄膜形成裝置，其中，在前述吐出位置中，進一步具備將從前述塗抹頭的噴嘴被吐出的塗抹材攝像的攝像裝置。
  4. 一種薄膜形成裝置的薄膜形成方法，該薄膜形成裝置，具備：將塗抹對象物吸附保持的吸附載台、及在被吸附保持在該吸附載台的前述塗抹對象物的表面從噴墨式噴嘴一邊將塗抹材吐出一邊在塗抹外框後對前述外框的內面進行薄膜形成的複數塗抹頭、及將該塗抹頭在前述塗抹對象物的上方位置移動的高架部、及被配置於前述高架部將前述塗抹對象物的表面之外框圖型加熱的熱源裝置、及控制前述吸附載台、前述塗抹頭、前述高架部、前述熱源裝置的控制裝置，其特徵為：前述控制裝置，具備有：反覆進行預定次數塗抹動作、預定次數前述外框圖型的加熱動作之外框塗抹步驟；以及在前述外框塗抹後，對以前述外框圖型所包圍的內面塗抹薄膜材料的內面塗抹步驟； 前述塗抹動作，是使前述塗抹頭以通過形成前述外框圖型的區域的方式移動，並且使前述高架部朝第1方向移動，且藉由控制薄膜材料的液滴從前述塗抹頭的噴嘴滴下的時間點，來塗抹前述外框圖型；前述外框圖型的加熱動作，是在前述高架部的前述第1方向的移動結束後，使前述高架部朝與前述第1方向相反的第2方向移動，且將前述熱源裝置導通來加熱前述外框圖型，並且在前述高架部的前述第2方向的移動結束後，將前述熱源裝置斷開。
TW101120476A 2011-06-16 2012-06-07 Film forming apparatus and thin film forming method TWI526250B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011134131A JP5864141B2 (ja) 2011-06-16 2011-06-16 薄膜形成装置および薄膜形成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201311354A TW201311354A (zh) 2013-03-16
TWI526250B true TWI526250B (zh) 2016-03-21

Family

ID=47330106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101120476A TWI526250B (zh) 2011-06-16 2012-06-07 Film forming apparatus and thin film forming method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5864141B2 (zh)
KR (1) KR101395157B1 (zh)
CN (1) CN102826762B (zh)
TW (1) TWI526250B (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103487993A (zh) * 2013-10-17 2014-01-01 深圳市华星光电技术有限公司 一种配向液喷嘴
JP6452318B2 (ja) 2014-05-20 2019-01-16 中外炉工業株式会社 基板の塗布装置及び基板の塗布方法
JP6326315B2 (ja) 2014-07-24 2018-05-16 中外炉工業株式会社 塗布装置及び塗布方法
CN104984869A (zh) * 2015-07-15 2015-10-21 深圳市创思泰科技有限公司 自动刮擦涂抹机及自动刮擦涂抹生产线
JP6339553B2 (ja) * 2015-12-24 2018-06-06 Ａｉメカテック株式会社 薄膜形成装置
CN105618300B (zh) * 2015-12-25 2018-10-30 天津滨海光热反射技术有限公司 专用于制作光热发电反射镜的喷涂设备及其运行方法
CN105880104B (zh) * 2016-05-25 2020-03-31 成都国珈星际固态锂电科技有限公司 一种涂布机构、狭缝涂布装置及膜制备方法
CN107718880A (zh) * 2016-08-12 2018-02-23 惠州市富丽电子有限公司 一种全自动喷码设备
CN107102458B (zh) * 2017-06-20 2023-05-16 南京信息职业技术学院 一种液晶显示器光刻胶成膜的装置及方法
DE102019207185A1 (de) * 2019-05-16 2020-11-19 Siemens Aktiengesellschaft Druckeinrichtung und Verfahren zum Bedrucken eines Gegenstands
CN110588186B (zh) * 2019-08-07 2020-07-10 华中科技大学 一种喷墨打印柔性显示器件制造系统及方法
JP6783365B1 (ja) * 2019-09-20 2020-11-11 株式会社大気社 塗装方法、塗装装置、および塗装プログラム
JP7313783B2 (ja) * 2020-03-04 2023-07-25 東レエンジニアリング株式会社 液滴撮像装置
KR102510929B1 (ko) 2020-04-23 2023-03-15 세메스 주식회사 하중 분산 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
JP2021183332A (ja) * 2020-11-26 2021-12-02 Ａｉメカテック株式会社 塗布装置
CN115921168B (zh) * 2023-02-10 2023-10-03 东莞市华纬涂装设备有限公司 一种多工位喷涂机械手

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004057928A (ja) * 2002-07-29 2004-02-26 Pioneer Electronic Corp パターン形成材料の射出塗布装置及びパターン形成材料の射出塗布方法
JP4413535B2 (ja) * 2002-09-19 2010-02-10 大日本印刷株式会社 インクジェット法による有機ｅｌ表示装置及びカラーフィルターの製造方法、製造装置
JP2006133671A (ja) * 2004-11-09 2006-05-25 Toshiba Corp 表示装置の製造方法及び薄膜の成膜方法
JPWO2006064792A1 (ja) * 2004-12-14 2008-06-12 株式会社アルバック 塗布装置、有機材料薄膜の形成方法、有機ｅｌパネル製造装置
KR20070031876A (ko) * 2004-12-14 2007-03-20 가부시키가이샤 알박 도포 장치, 유기 재료 박막의 형성 방법, 유기 ｅｌ 패널제조 장치
JP5321770B2 (ja) * 2005-03-25 2013-10-23 大日本印刷株式会社 塗工装置
JP2007232866A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Seiko Epson Corp パターン形成方法、液滴吐出装置及び液晶表示装置
JP2007256449A (ja) * 2006-03-22 2007-10-04 Toshiba Corp 液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法
JP2009072691A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Hitachi High-Technologies Corp インク噴射状態検査装置、フラットパネルの製造装置およびフラットパネル
JP5352073B2 (ja) * 2007-10-12 2013-11-27 株式会社日立製作所 インクジェットヘッド装置
KR101182226B1 (ko) * 2009-10-28 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 도포 장치, 이의 도포 방법 및 이를 이용한 유기막 형성 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP5864141B2 (ja) 2016-02-17
CN102826762A (zh) 2012-12-19
KR101395157B1 (ko) 2014-05-15
KR20120139547A (ko) 2012-12-27
TW201311354A (zh) 2013-03-16
JP2013000656A (ja) 2013-01-07
CN102826762B (zh) 2015-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI526250B (zh) Film forming apparatus and thin film forming method
JP4328614B2 (ja) マイクロデポジション装置
JP2008264608A (ja) 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
US20130136850A1 (en) Method for depositing materials on a substrate
US20130133574A1 (en) Material deposition system for depositing materials on a substrate
US20070216721A1 (en) Droplet jetting applicator and method of manufacturing coated body
JP7440954B2 (ja) 薄膜形成装置および薄膜形成方法
TW200413175A (en) Liquid droplet ejection apparatus and inspection apparatus for its inspecting drawing accuracy, workpiece and inspection apparatus for inspecting processing accuracy of its processing apparatus, and electro-optic device, and manufacturing method thereof
JP6721747B2 (ja) インクジェット方式の薄膜形成装置
JP2008197149A (ja) カラーフィルタの製造方法及びその製造用露光装置
TW201334982A (zh) 噴墨塗布裝置及噴墨塗布方法
JP6506446B2 (ja) 薄膜形成装置および薄膜形成方法
JP2008221183A (ja) 液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法
JP6931249B2 (ja) インクジェット方式の薄膜形成装置
JP6339553B2 (ja) 薄膜形成装置
JP2013043105A (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP2024056810A (ja) 薄膜形成装置および薄膜形成方法
JP2008180872A (ja) スペーサインク散布方法、プログラム、液晶パネルの製造方法、スペーサインク散布装置及び液晶パネル
JP2006133671A (ja) 表示装置の製造方法及び薄膜の成膜方法
TW200906628A (en) Method and apparatus for manufacturing color filter
JP2009086388A (ja) カラーフィルタ製造装置、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造装置、表示装置の製造方法
TW202310932A (zh) 塗布裝置、液滴噴出檢查方法
JP2010201288A (ja) 溶液の塗布方法及び装置
KR20090059061A (ko) 도포 장치
JP2007025333A (ja) スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル