JP2007025333A - スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル - Google Patents
スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007025333A JP2007025333A JP2005208462A JP2005208462A JP2007025333A JP 2007025333 A JP2007025333 A JP 2007025333A JP 2005208462 A JP2005208462 A JP 2005208462A JP 2005208462 A JP2005208462 A JP 2005208462A JP 2007025333 A JP2007025333 A JP 2007025333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- spacer
- ink
- liquid crystal
- spacer ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】 ワーク搬入部10から搬入された被処理基板1は基板改質ステージ12で、搬送テーブル20上で位置決めするが、その間に低圧水銀ランプ41から紫外線を照射し、この被処理基板1の表面層を構成するポリイミド膜を活性化させて、その表面を平滑化させて、接触角が小さくなるように改質して、液滴の保持能力を向上させ、その後に液滴散布ステージ13に移行させて、インクジェットヘッド26からスペーサインクの液滴が被処理基板1の表面に散布する。
【選択図】 図6
Description
3 ブラックマトリックス領域 4 スペーサ
10 ワーク搬入部 11 ワーク搬出部
12 表面改質ステージ 13 液滴散布ステージ
14 第1の熱処理ステージ 15 第2の熱処理ステージ
20 搬送テーブル 23 インクジェット手段
26 インクジェットヘッド 27 インクボトル
30 微小ノズル 40 TVカメラ
41 低圧水銀ランプ
Claims (5)
- 2枚の透明基板間に微小粒子からなるスペーサを介在させることによって所定の隙間をもって接合させたパネルを形成するために、ポリイミドからなる配向膜を積層させた被処理基板表面にスペーサを分散させたスペーサインクを散布する方法であって、
前記被処理基板を洗浄することを含む前処理工程と、
前記被処理基板の配向膜を形成した表面に紫外線を照射して、この表面を改質する基板改質工程と、
インクジェット手段によりスペーサインクを噴射させて、前記被処理基板にその液滴を散布する液滴散布工程と
を含むスペーサインク散布方法。 - 前記基板改質工程の紫外線照射は水銀ランプにより行うことを特徴とする請求項1記載のスペーサインク散布方法。
- 前記基板改質工程による紫外線の照射は、前記被処理基板に対してスペーサインクを散布する前に、この被処理基板を位置決めする間に行うことを特徴とする請求項1記載のスペーサインク散布方法。
- 請求項1の方法によりスペーサインクを散布した被処理基板を乾燥させた後に他の基板を接合することによって、液晶パネルを形成することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
- 請求項4により製造された液晶パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005208462A JP2007025333A (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005208462A JP2007025333A (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007025333A true JP2007025333A (ja) | 2007-02-01 |
JP2007025333A5 JP2007025333A5 (ja) | 2008-07-24 |
Family
ID=37786180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005208462A Pending JP2007025333A (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007025333A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11316380A (ja) * | 1998-05-06 | 1999-11-16 | Asahi Glass Co Ltd | スペーサ散布方法及びそれを用いて製造した液晶表示素子 |
JP2001265013A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | プロキシミティ露光装置の制御方法 |
JP2004145227A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-20 | Seiko Epson Corp | 電子光学パネルの製造方法及び電子光学パネル、並びにこの電子光学パネルを備えた電子光学装置及び電子機器 |
JP2006293148A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Ulvac Japan Ltd | スペーサ塗布装置、スペーサ塗布方法 |
-
2005
- 2005-07-19 JP JP2005208462A patent/JP2007025333A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11316380A (ja) * | 1998-05-06 | 1999-11-16 | Asahi Glass Co Ltd | スペーサ散布方法及びそれを用いて製造した液晶表示素子 |
JP2001265013A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | プロキシミティ露光装置の制御方法 |
JP2004145227A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-20 | Seiko Epson Corp | 電子光学パネルの製造方法及び電子光学パネル、並びにこの電子光学パネルを備えた電子光学装置及び電子機器 |
JP2006293148A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Ulvac Japan Ltd | スペーサ塗布装置、スペーサ塗布方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5864141B2 (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
TWI403793B (zh) | Dye coating apparatus, droplet coating method, manufacturing apparatus of liquid crystal display panel, and manufacturing method of liquid crystal display panel | |
JP2006289239A (ja) | 溶液の塗布装置及び塗布方法 | |
JP3915789B2 (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法 | |
JP2007255752A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4726123B2 (ja) | 塗布システム | |
JP2007025334A (ja) | スペーサインク散布装置及び散布方法 | |
WO2017010540A1 (ja) | インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法 | |
JP2024056810A (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
JP5693943B2 (ja) | 配向膜形成液の塗布装置および配向膜形成基板の製造方法 | |
TWI255352B (en) | Droplet discharge apparatus, manufacturing apparatus for color filter, color filter, method of manufacturing therefor, liquid crystal apparatus, and electronic apparatus | |
TW200426034A (en) | Liquid drop arrangement device, electric optical panel, electro-optic device and electronic equipment, liquid drop arrangement method, production method of electric optical panel, and production method of electronic equipment | |
JP2007025333A (ja) | スペーサインク散布方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネル | |
JP2006350295A (ja) | 薄膜の部分的形成方法および薄膜の部分的欠陥修復方法ならびに薄膜の欠陥修復装置 | |
JP2006320839A (ja) | 配向膜の液滴吐出方法及び液滴吐出装置 | |
JP2008180872A (ja) | スペーサインク散布方法、プログラム、液晶パネルの製造方法、スペーサインク散布装置及び液晶パネル | |
JP6506446B2 (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
JP2019135052A (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
JP3928456B2 (ja) | 液滴吐出装置とその液状材料充填方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス | |
JP7370770B2 (ja) | 機能素子、機能素子の製造方法、機能素子の製造装置、制御プログラム及び記録媒体 | |
JP4788321B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP6931249B2 (ja) | インクジェット方式の薄膜形成装置 | |
JP2006159077A (ja) | 膜形成装置、膜形成方法、液滴吐出装置及びパレット | |
JP2009139568A (ja) | 塗布装置 | |
KR100784026B1 (ko) | 도포 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080605 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20101125 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110322 |