TWI403793B - Dye coating apparatus, droplet coating method, manufacturing apparatus of liquid crystal display panel, and manufacturing method of liquid crystal display panel - Google Patents

Description

液滴塗佈裝置、液滴塗佈方法、液晶顯示面板之製造裝置及液晶顯示面板之製造方法

本發明係有關於液滴塗佈裝置、液滴塗佈方法、液晶顯示面板之製造裝置及液晶顯示面板之製造方法，尤其係有關於對塗佈對象物吐出液滴而塗佈之液晶塗佈裝置及液滴塗佈方法、與製造液晶顯示面板之液晶顯示面板之製造裝置及液晶顯示面板之製造方法。

液滴塗佈裝置係於製造液晶顯示面板等的顯示裝置之情況，在塗佈對象物的基板上形成例如配向膜等的塗佈膜時而使用者(例如，參照專利文獻1)。該液滴塗佈裝置具有：朝基板將塗佈液從複數吐出孔(噴嘴)分別以液滴之狀態吐出(噴射)的塗佈頭。液滴塗佈裝置係一邊使載置台上的基板與塗佈頭相對移動，一邊藉由該塗佈頭使複數液滴依序滴落在基板的塗佈面，而在基板的塗佈面上形成配向膜等的塗佈膜。

在液晶顯示面板的製造步驟中，於所黏合之兩片基板的各顯示區域上，將配向膜藉由液滴塗佈裝置而形成。然後，在此兩片基板的任一基板上，以包圍顯示區域的方式塗佈密封劑，並在該塗佈之密封劑的包圍區域內滴下液晶。最後，在真空處理室等的真空氛圍中，進行滴下後的基板與另一基板的位置對準後，將滴下後的基板與另一基板加壓而黏合，而形成液晶顯示面板。

【專利文獻1】日本特開平9-105937號公報

然而，在上述的製造步驟中，因為係對黏合之兩片基板於相同的縱向依序塗佈有各液滴，所以在黏合有兩片基板的液晶顯示面板中，會有條紋狀的顯示不均(chrominance non-uniformity)變明顯之傾向，因而造成液晶顯示面板的品質降低。

本發明係為解決上述課題而開發者，其目的在於提供一種可 防止因條紋狀顯示不均所導致之液晶顯示面板的品質降低之液滴塗佈裝置、液滴塗佈方法、液晶顯示面板之製造裝置及液晶顯示面板之製造方法。

本發明之實施型態的第1特徵係一種液滴塗佈裝置，其中，具備：塗佈頭，朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出；移動機構，用以使塗佈對象物與塗佈頭相對移動；以及旋轉機構，在面對吐出複數液滴之吐出方向的平面內，使塗佈對象物旋轉。

本發明之實施型態的第2特徵係一種液滴塗佈方法，其中，具有：在面對藉由朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭，而吐出複數液滴之吐出方向的平面內，使塗佈對象物旋轉之步驟；以及一邊使塗佈對象物與塗佈頭相對移動，一邊藉由塗佈頭將塗佈液塗佈在塗佈對象物之步驟。

本發明之實施型態的第3特徵係一種液晶顯示面板之製造裝置，其中，具備：液滴塗佈裝置，具有朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭、使塗佈對象物與塗佈頭相對移動之移動機構、和在面對吐出複數液滴之吐出方向的平面內使塗佈對象物旋轉之旋轉機構；以及黏合裝置，將塗佈有塗佈液之塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合。

本發明之實施型態的第4特徵係一種液晶顯示面板之製造方法，其中，具有：在面對藉由朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭，而吐出複數液滴之吐出方向的平面內，使塗佈對象物旋轉之步驟；一邊使塗佈對象物與塗佈頭相對移動，一邊藉由塗佈頭將塗佈液塗佈在塗佈對象物之步驟；以及依據將塗佈有塗佈液之塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時之步驟。

本發明之實施型態的第5特徵係一種液滴塗佈裝置，其中，具備：塗佈頭，朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出；以及移動機構，使塗佈對象物與塗佈頭沿著塗佈對象物表面的方向相對移動，並且移動機構在將塗佈有塗佈液之塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以複數液滴依序滴落在 第1塗佈對象物的塗佈方向與複數液滴依序滴落在第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使塗佈對象物與塗佈頭相對移動。

本發明之實施型態的第6特徵係一種液滴塗佈方法，其中，具有：一邊使朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭與塗佈對象物相對移動，一邊藉由塗佈頭將塗佈液塗佈在塗佈對象物之步驟，並且在塗佈步驟中，在將塗佈有塗佈液之塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以複數液滴依序滴落在第1塗佈對象物的塗佈方向與複數液滴依序滴落在第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使塗佈對象物與塗佈頭相對移動。

本發明之實施型態的第7特徵係一種液晶顯示面板之製造裝置，其中，具備：液滴塗佈裝置，具有朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭、和使塗佈對象物與塗佈頭沿著塗佈對象物表面的方向相對移動之移動機構；以及黏合裝置，將塗佈有塗佈液之塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合；而移動機構在將第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以複數液滴依序滴落在第1塗佈對象物的塗佈方向與複數液滴依序滴落在第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使塗佈對象物與塗佈頭相對移動。

本發明之實施型態的第8特徵係一種液晶顯示面板之製造方法，其中，一邊使朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭與塗佈對象物相對移動，一邊藉由塗佈頭將塗佈液塗佈在塗佈對象物之步驟；以及將塗佈有塗佈液之塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合之步驟，並且在塗佈步驟中，在將第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以複數液滴依序滴落在第1塗佈對象物的塗佈方向與複數液滴依序滴落在第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使塗佈對象物與塗佈頭相對移動。

參照圖面，說明本發明之一實施型態。

如第1圖所示，液晶顯示面板的製造裝置1具備：液滴塗佈裝置2，將液滴塗佈在塗佈對象物之第1基板K1及第2基板K2(以下，簡稱為基板K1、K2)；烘烤裝置3，對塗佈有液滴的基板K1、K2進行烘烤處理；摩擦配向裝置4，對已進行烘烤處理的基板K1、基板K2進行摩擦配向處理；密封劑塗佈裝置5，對已進行摩擦配向處理的基板K1塗佈密封劑；液晶滴下裝置6，對塗佈有密封劑的基板K1滴下液晶；黏合裝置7，進行滴下有液晶的基板K1與已施行摩擦配向處理的基板K2之黏合；密封劑硬化裝置8，對已黏合之基板K1及基板K2的液晶顯示面板P進行密封劑硬化；以及控制裝置9，用來控制各部位。

如第2圖所示，液滴塗佈裝置2具備：載置台2a，使基板K1、K2以水平狀態(第2圖中，沿著X軸方向及與X軸方向垂直相交的Y軸方向之狀態)載置；旋轉機構2b，使該載置台2a朝θ方向(第2圖中，沿著X軸方向及Y軸方向之平面內的旋轉方向)旋轉；Y軸移動機構2c，使載置台2a經由該旋轉機構2b朝Y軸方向移動；複數塗佈頭2d，朝載置台2a上的基板K1、K2將塗佈液以複數液滴之狀態分別吐出；支持構件2e，用來支持此等塗佈頭2d；控制部2f，用來控制各部位；以及架台2g，用來支持Y軸移動機構2c及支持構件2e。

載置台2a係被載置於旋轉機構2b上，且設成可以其中心作為旋轉中心而朝θ方向旋轉。該載置台2a係藉由旋轉機構2b朝θ方向轉動。此外，在載置台2a上，基板K1、K2係藉由本身的重量而載置，但並非限定於此，例如為了保持該基板K1、K2，亦可設置靜電夾或吸附夾等的機構，更且，亦可設置用來支持基板K1、K2之可卡入擊出的複數支持銷等。

旋轉機構2b係被載置於Y軸移動機構2c上，且設成可朝Y軸方向移動。該旋轉機構2b係與載置台2a一起藉由Y軸移動機構2c朝Y軸方向移動。旋轉機構2b係與控制部2f電性連接，其驅動係由控制部2f所控制。此外，作為旋轉機構2b，係使用例如 以馬達作為驅動源的旋轉機構等。

Y軸移動機構2c係被載置於架台2g上，其係將旋轉機構2b與載置台2a一起朝Y軸方向引導而使之移動的移動機構。該Y軸移動機構2c係與控制部2f電性連接，其驅動係由控制部2f所控制。此外，作為Y軸移動機構2c，係使用例如：以線性馬達(linear motor)作為驅動源的線性馬達移動機構、或以馬達作為驅動源的移送螺桿移動機構等。

各塗佈頭2d係在支持構件2e配設成例如直線狀或鋸齒狀(zigzag)。此等塗佈頭2d分別內設有：複數液室，分別與吐出液滴的複數吐出孔連通；及複數壓電元件，分別內建用來改變各此等液室的容積(任一者均沒有圖示)。各吐出孔係以特定的間距(間隔)排列成直線狀而形成於塗佈頭2d的吐出面。例如，吐出孔的數量為數十個至數百個左右，吐出孔的直徑為數μm至數十μm左右，更且，吐出孔的間距為數十μm至數百μm左右。各塗佈頭2d係分別與控制部2f電性連接，且各塗佈頭2d的驅動係由控制部2f所控制。

塗佈頭2d係依據驅動電壓對各壓電元件的施加，藉由各壓電元件使各液室的容積改變，而將各液室內的塗佈液從與此等液室分別連通的吐出孔以液滴之狀態吐出。配向膜形成用塗佈液係從儲存該塗佈液的液體槽經由管子(tube)等，從液體槽被供給到各液室內。依此，各液室係由塗佈液所充滿。於該狀態下，若驅動壓電元件，與所驅動之壓電元件對應之液室內的塗佈液會從與該液室連通的吐出孔被擠壓出，而以液滴之狀態吐出。此外，作為配向膜形成用塗佈液，係使用例如聚醯亞胺(PI)溶液。

支持構件2e係用以支持各塗佈頭2d的門型柱(column)。該支持構件2e係以其延伸部沿著X軸方向的方式定位，其腳部係被固定在架台2g的上面而設置於架台2g上。此外，各塗佈頭2d係設置於延伸部的前面(第2圖中之前側的面)。

控制部2f係具備：微電腦，將各部位予以集中控制；及記憶體部，用以記憶塗佈相關的塗佈資訊或各種程式等(任一者均沒 有圖示)。該控制部2f係設置於架台2g內。塗佈資訊係包含：點距陣圖型(dot pattern)等的特定塗佈圖案、塗佈頭2d之吐出頻率及基板K1、K2之移動速度相關的資訊等。於此種控制部2f進行塗佈動作之情況，係依據塗佈資訊來控制旋轉機構2b、Y軸移動機構2c及各塗佈頭2d。

在塗佈動作中，控制部2f係控制旋轉機構2b，如第3圖所示，在與從各塗佈頭2d吐出複數液滴之吐出方向的平面內，例如與吐出方向垂直相交的平面內(第3圖中，沿著X軸方向及Y軸方向的平面內)，使載置台2a上的基板K1、K2對各塗佈頭2d與基板K1、K2的相對移動方向(第3圖中的箭頭：主掃描方向)傾斜。亦即，控制部2f係藉由旋轉機構2b使載置台2a上的基板K1、K2僅以特定角度朝θ方向旋轉。在該狀態下，控制部2f係一邊控制Y軸移動機構2c及各塗佈頭2d，且藉由Y軸移動機構2c使各塗佈頭2d與載置台2a上的基板K1、K2相對移動，一邊藉由各塗佈頭2d將各液滴塗佈在載置台2a上的基板K1、K2上，而在基板K1、K2形成複數配向膜M。此等配向膜M係以面板上印上多個圖案為目的而分別形成於基板K1、K2所設置的複數顯示區域上。

返回第1圖，烘烤裝置3係具備：加熱板(hot plate)或烘烤爐等。該烘烤裝置3係對塗佈有各配向膜M的基板K1、K2進行烘烤處理，並使該基板K1、K2上的各配向膜M乾燥。

如第4圖所示，摩擦配向裝置4係具備：載置台4a，用來載置基板K1、K2；及摩擦配向輥(rubbing roller)4c，藉由摩擦配向布4b對該載置台4a上之基板K1、K2的各配向膜M進行摩擦配向。載置台4a及摩擦配向輥4c係以可在基板K1、K2的平面方向相對移動之方式形成。摩擦配向布4b係捲繞於摩擦配向輥4c而設置。該摩擦配向裝置4係使載置台4a與摩擦配向輥4c相對移動，並對相對移動之載置台4a上的基板K1、K2進行摩擦配向處理。依此方式，可在基板K1、K2之各配向膜M的表面，形成延伸於特定方向的微小刻痕(溝狀的刻痕)。其結果，基板K1、 K2的各配向膜M可使液晶分子配向於多數刻痕的延伸方向。

如第5圖所示，密封劑塗佈裝置5具備：載置台5a，用以載置已施行摩擦配向處理的基板K1；及密封劑塗佈頭5b，用以將密封劑B塗佈在該載置台5a上之基板K1的各配向膜M周圍。載置台5a及密封劑塗佈頭5b係以可在基板K1的平面方向相對移動之方式形成。密封劑塗佈頭5b具有用以吐出密封劑B的噴嘴N1，其可對相對移動之載置台5a上的基板K1塗佈密封劑B。該密封劑塗佈裝置5係依據密封劑的塗佈圖案，使載置台5a及密封劑塗佈頭5b相對移動，並藉由密封劑塗佈頭5b對相對移動之載置台5a上的基板K1塗佈密封劑B。此時，密封劑塗佈頭5b係以包圍基板K1之各配向膜M周圍(即各顯示區域)的方式塗佈密封劑B。依此，可在基板K1之各配向膜M的周圍，形成包圍顯示區域之矩形密封劑B的圖案。

如第6圖所示，液晶滴下裝置6具備：載置台6a，用以載置塗佈有密封劑B的基板K1；及液晶滴下頭6b，用以在該載置台6a上之基板K1的各顯示區域(由密封劑B所包圍的各區域)上滴下液晶。載置台6a及液晶滴下頭6b係以可在基板K1的平面方向相對移動之方式形成。液晶滴下頭6b具有用以滴下液晶的噴嘴N2，可對載置台6a上的基板K1滴下液晶。該液晶滴下裝置6係使載置台6a及液晶滴下頭6b相對移動以將液晶滴下頭6b定位於特定的滴下位置，並藉由液晶滴下頭6b對載置台6a上的基板K1滴下液晶。此時，液晶滴下頭6b係依據所需要的液晶量，在基板K1的各顯示區域上(即，由密封劑B所包圍的各區域上)滴下數滴液晶。依此方式，可在基板K1的各顯示區域上，滴下所需量之液晶。

如第7圖所示，黏合裝置7具備：真空容器之真空處理室7a；第1基板保持部的第1載置台7b，用以將設置於該真空處理室7a內的基板K1保持在水平狀態(第7圖中，沿著X軸方向及與X軸方向垂直相交之Y軸方向的狀態)；第2基板保持部的第2載置台7c，用以將設置於真空處理室7a內的基板K2保持在水平狀態； 第1載置台移動機構7d，用以使第1載置台7b朝XYθ方向移動；第2載置台移動機構7e，用以使第2載置台7c朝向對於第1載置台7b接離的方向之Z軸方向移動；及減壓部7f，用以將真空處理室7a內減壓。

真空處理室7a具有形成可開關的開關門D。從該開關門D將基板K1及基板K2搬入真空處理室7a內而分別供給至第1載置台7b及第2載置台7c。在該開關門D呈關閉的狀態下，真空處理室7a的內部可藉由減壓部7f減壓成真空狀態(比大氣壓更低的壓力之狀態)。

在該真空處理室7a的下方，設有基板位置對準用的複數攝影部C1、C2。作為此等攝影部C1、C2，係使用例如CCD相機等。又，在真空處理室7a中，設有具透光性的複數透光部T1、T2，且在第1載置台7b上，設有分別與此等透光部T1、T2對向的複數貫通孔A1、A2。各透光部T1、T2及各貫通孔A1、A2係以各攝影部C1、C2可拍攝複數對準標記(alignment mark)(位置對準用標記)的方式定位而設置，而複數對準標記係分別被賦予至基板K1的端部及基板K2的端部。

第1載置台7b係藉由吸引吸附或靜電吸附等的保持機構而保持基板K1的下載置台。基板K1係被載置於第1載置台7b的保持面，且藉由保持機構而保持。此外，在基板K1的黏合面(與第2載置台7c對向的面)上，塗佈有各配向膜M及框狀密封劑B，更且，亦滴下有液晶。

第2載置台7c係藉由吸引吸附或靜電吸附等的保持機構而與基板K1對向以保持基板K2的上載置台。基板K2係被載置於第2載置台7c的保持面，且藉由保持機構而保持。此外，在基板K2的黏合面(與第1載置台7b對向的面)上，塗佈有各配向膜M。

第1載置台移動機構7d係使第1載置台7b朝X軸方向、Y軸方向及θ方向(第7圖中，沿著X軸方向及Y軸方向之平面內的旋轉方向)移動的機構。該第1載置台移動機構7d係使第1載置台7b朝XYθ方向移動，而進行分離狀態之基板K1與基板K2 的位置對準。此外，位置對準係藉由各攝影部C1、C2拍攝位於基板K1端部的對準標記及位於基板K2端部的對準標記，並依據所拍攝的影像而進行者。

第2載置台移動機構7e係使第2載置台7c朝Z軸方向移動的機構。該第2載置台移動機構7e係在真空處理室7a呈真空狀態時，使第2載置台7c朝Z軸方向移動，使第1載置台7b與第2載置台7c接近，並經由密封劑B將基板K1與基板K2黏合。

減壓部7f係藉由用以將真空處理室7a內的氛圍(氣體)排除的排氣配管之排氣管H，而連接至真空處理室7a。作為該減壓部7f，係使用例如真空泵等。減壓部7f係經由排氣管H抽吸真空處理室7a內的氛圍而排氣，並將真空處理室7a內減壓成真空狀態。

返回第1圖，密封劑硬化裝置8係用以對已進行黏合之基板K1及基板K2的液晶顯示面板P，進行紫外線照射的紫外線照射裝置。此乃使用紫外線硬化型密封劑作為密封劑B之情況，於使用其他密封劑之情況，則使用其他的密封劑硬化裝置。藉由該密封劑硬化裝置8將紫外線照射在液晶顯示面板P，可使液晶顯示面板P中的密封劑B硬化。

控制裝置9具備：微電腦，將各部位予以集中控制；及記體部，用以記憶液晶顯示面板製造相關的製造資訊或各種程式等(任一者均沒有圖示)。該控制裝置9係依據製造資訊及各種程式，來控制液滴塗佈裝置2、烘烤裝置3、摩擦配向裝置4、密封劑塗佈裝置5、液晶滴下裝置6、黏合裝置7及密封劑硬化裝置8等。此外，此等裝置間之基板K1、K2的搬送係藉由機器人或皮帶輸送機(belt conveyor)等的搬送裝置(沒有圖示)而進行者。該搬送裝置亦由控制裝置9所控制。

繼之，針對上述液晶顯示面板P之製造裝置1進行的製造動作進行說明。此外，製造裝置1的控制裝置9係依據各種程式來執行製造處理。

如第8圖所示，控制裝置9係藉由液滴塗佈裝置2對基板K1、K2進行液滴塗佈(步驟S1)。控制裝置9係將例如執行液滴塗佈 動作的命令信號傳送到液滴塗佈裝置2。液滴塗佈裝置2的控制部2f係依據控制裝置9的控制(接收命令信號)而執行液滴塗佈處理。

當基板K1、K2被載置於載置台2a時，液滴塗佈裝置2的控制部2f依據塗佈資訊來控制旋轉機構2b，使載置台2a上的基板K1、K2朝θ方向旋轉而在特定的角度停止(參照第3圖)。繼之，控制部2f依據塗佈資訊來控制Y軸移動機構2c，使載置台2a上的基板K1、K2移動至特定的塗佈開始位置。然後，控制部2f依據塗佈資訊來控制Y軸移動機構2c及各塗佈頭2d，一邊使載置台2a朝Y軸方向移動，一邊使各塗佈頭2d將塗佈液以複數液滴之狀態吐出，而將各液滴塗佈在載置台2a上之基板K1、K2的塗佈面(塗佈面上的各顯示區域)。此時，各塗佈頭2d係朝移動於Y軸方向之載置台2a上之基板K1、K2的塗佈面吐出液滴，且將排列於X軸方向的點陣列(dot array)依序塗佈於Y軸方向。依此方式，可將複數配向膜M形成於基板K1、K2的塗佈面上。此外，由於各塗佈頭2d係以在與基板K1、K2之移動方向垂直相交的X軸方向涵蓋基板K1、K2之寬度整體的方式排列而設置，故可在基板K1、K2之塗佈面的各顯示區域一次形成各配向膜M。

以上述方式，如第9圖所示般在基板K1、K2上形成各配向膜M。由於基板K1、K2係對載置台2a上之基板K1、K2的移動方向傾斜於θ方向(參照第3圖)，故各配向膜M的塗佈方向係為傾斜之狀態(參照第9圖中的斜線)。

此處，基板K1係為例如在每個顯示區域具有包含複數TFT(薄膜電晶體)及複數像素電極等的電性電路之陣列基板。又，基板K2係為例如在每個顯示區域具有對向電極或彩色濾光片(color filter)等的對向基板。由於基板K1上的各TFT及各像素電極、與基板K2上之彩色濾光片的各著色層及黑色矩陣的位置關係是在設計時決定者，所以基板K1與K2的組合亦可事先決定。因此，係依據規定其組合的黏合規定來進行基板K1及基板K2的黏合。亦即，黏合規定係將塗佈後之基板K1及基板K2黏合時的 組合規定，用來規定2片基板K1、K2以哪個方向，使哪一面對向而黏合。

例如，第9圖中，將塗佈後的基板K2翻過來，使該基板K2上的各配向膜M與基板K1上的各配向膜M對向而黏合於基板K1。亦即，基板K1及基板K2係以基板K1左上的配向膜M與基板K2右上的配向膜M對向，基板K1中央上的配向膜M與基板K2中央上的配向膜M對向，基板K1右上的配向膜M與基板K2左上的配向膜M對向，基板K1左下的配向膜M與基板K2右下的配向膜M對向，基板K1中央下的配向膜M與基板K2中央下的配向膜M對向，基板K1右下的配向膜M與基板K2左下的配向膜M對向之方式黏合。此黏合係依據黏合規定進行者。

因此，旋轉機構2b依據規定基板K1與基板K2之組合的黏合規定，將塗佈後之基板K1及基板K2黏合時，係以各液滴依序滴落在基板K1的塗佈方向(配向膜M的塗佈方向)與各液滴依序滴落在基板K2的塗佈方向(配向膜M的塗佈方向)形成交叉的方式，使基板K1、K2對各塗佈頭2d與基板K1、K2的相對移動方向(主掃描方向)傾斜的旋轉動作來進行。此外，旋轉機構2b未必要使載置台2a上的基板K1、K2旋轉一圈以上，只要以可將載置台2a上的基板K1、K2調整成至少可使基板K1與基板K2的塗佈方向交叉的程度之方式構成即可。

繼之，控制裝置9係藉由烘烤裝置3對配向膜形成後的基板K1、K2進行烘烤處理(步驟S2)。烘烤裝置3係依據控制裝置9的控制，對形成有各配向膜M的基板K1、K2進行烘烤處理。依此方式，基板K1、K2上的各配向膜M得以乾燥。

接著，控制裝置9係藉由摩擦配向裝置4對烘烤處理後的基板K1、K2進行摩擦配向處理(步驟S3)。當基板K1、K2被載置於載置台4a時，摩擦配向裝置4係依據控制裝置9的控制，使載置台4a與摩擦配向輥4c相對移動，而對相對移動之載置台4a上的基板K1、K2進行摩擦配向處理(參照第4圖)。依此方式，可在基板K1、K2之各配向膜M的表面，形成多數延伸於特定方向 的微小刻痕(溝狀刻痕)。

然後，控制裝置9係藉由密封劑塗佈裝置5對摩擦配向處理後的基板K1進行密封劑塗佈(步驟S4)。當基板K1被載置於載置台5a上時，該密封劑塗佈裝置5係依據控制裝置9的控制，按照密封劑B的塗佈圖案，使載置台5a與密封劑塗佈頭5b相對移動，而藉由密封劑塗佈頭5b對相對移動之載置台5a上的基板K1塗佈密封劑B(參照第5圖)。此時，密封劑塗佈裝置5係以包圍基板K1之各配向膜M周圍(即特定的各顯示區域)的方式塗佈密封劑B。依此，密封劑B係以包圍顯示區域的方式塗佈在基板K1的各配向膜M周圍。

更且，控制裝置9係藉由液晶滴下裝置6對密封劑塗佈後的基板K1進行液晶滴下(步驟S5)。當基板K1被載置於載置台6a上時，該液晶滴下裝置6係依據控制裝置9的控制，使載置台6a與液晶滴下頭6b相對移動以將液晶滴下頭6b定位於特定的滴下位置，並藉由液晶滴下頭6b對載置台6a上的基板K1滴下液晶。此時，液晶滴下裝置6係依所需要的液晶量，在基板K1的各顯示區域上(即由密封劑B所包圍的各區域上)滴下數滴液晶。依此，可在由密封劑B所包圍的各區域內，滴下所需量之液晶。

然後，控制裝置9係藉由黏合裝置7進行液晶滴下後之基板K1與摩擦配向處理後之基板K2的黏合(步驟S6)。當基板K1及基板K2分別被保持在第1載置台7b及第2載置台7c上時，黏合裝置7係依據控制裝置9的控制，藉由減壓部7f將真空處理室7a內的氛圍經由排氣管H抽吸而排氣，而將真空處理室7a內減壓成真空狀態(參照第7圖)。在該狀態下，黏合裝置7使第2載置台7c朝Z軸方向移動，使第1載置台7b與第2載置台7c接近，並經由密封劑B將基板K1與基板K2黏合，而形成液晶顯示面板P。此外，黏合前的基板K1及基板K2係從真空處理室7a的開關門D分別被供給至第1載置台7b及第2載置台7c，黏合後的液晶顯示面板P係從真空處理室7a的開關門D被取出。

在該黏合步驟中，如上所述，將第9圖所示的基板K2翻過來， 以使基板K2上的各配向膜M與基板K1上的各配向膜M對向而黏合於基板K1。此黏合係依據黏合規定進行者。依此方式，如第9圖所示，對基板K1的塗佈方向與對基板K2的塗佈方向會交叉成菱形的格子狀。

最後，控制裝置9係藉由密封劑硬化裝置8進行液晶顯示面板P中的密封劑硬化(步驟S7)。密封劑硬化裝置8係依據控制裝置9的控制，對黏合後之基板K1及基板K2的液晶顯示面板P進行紫外線照射。依此方式，紫外線會被照射在液晶顯示面板P，而使液晶顯示面板P中的密封劑B硬化。

在此種製造動作中，於塗佈步驟中，依據基板K1及基板K2的黏合規定，將塗佈後之基板K1及基板K2黏合時，係以基板K1的塗佈方向與基板K2的塗佈方向形成交叉的方式，使基板K1、K2對基板K1、K2與各塗佈頭2d的相對移動方向(主掃描方向)傾斜。亦即，載置台2a係藉由旋轉機構2b僅以特定的角度朝θ方向傾斜，而使載置台2a上的基板K1、K2朝θ方向旋轉而停止。在該狀態下，一邊使載置台2a藉由Y軸移動機構2c移動於Y軸方向，一邊藉由各塗佈頭2d將各液滴依序塗佈在載置台2a上的基板K1、K2。

然後，在黏合步驟中，如第9圖所示，將塗佈後的基板K2翻過來，以使基板K2上的各配向膜M與基板K1上的各配向膜M對向而黏合於基板K1。該黏合係依據黏合規定進行者。依此方式，對基板K1的塗佈方向與對基板K2的塗佈方向會交叉成菱形的格子狀。因此，即使在各基板K1、K2的配向膜M，產生沿著塗佈方向的條紋狀塗佈不均，此等條紋狀之塗佈不均可藉由2片基板K1、K2的黏合來防止出現被重合而增強顯示不均之情形，且與習知的條紋狀(直條紋狀)顯示不均相比較，變得不明顯，所以可防止液晶顯示面板P的品質降低。

如上述說明所示，根據本發明的實施型態，藉由在與吐出各液滴之吐出方向的平面內，設置使基板K1、K2旋轉的旋轉機構2b，將塗佈後之基板K1及基板K2黏合時，對基板K1的塗佈方 向與對基板K2的塗佈方向形成交叉的方式，可將各液滴依序塗佈在基板K1、K2上。因此，當形成有各配向膜M的基板K1及基板K2黏合時，由於對基板K1的塗佈方向與對基板K2的塗佈方向係形成交叉，所以即使在各基板K1、K2的配向膜M產生沿著塗佈方向的條紋狀塗佈不均，也可防止此等條紋狀塗佈不均藉由2片基板K1、K2的黏合來防止出現被重合而增強顯示不均之情況，且與習知的條紋狀(直條紋狀)顯示不均相比較，變得不明顯。其結果，可防止因條紋狀的顯示不均而導致液晶顯示面板P的品質降低。尤其，旋轉機構2b依據將塗佈後之基板K1及基板K2黏合時的黏合規定，將塗佈後之基板K1及基板K2黏合時，係以對基板K1的塗佈方向與對基板K2的塗佈方向形成交叉的方式，使基板K1、K2旋轉。

又，旋轉機構2b係藉由在與吐出各液滴之吐出方向的平面內，使基板K1、K2對基板K1、K2及各塗佈頭2d的相對移動方向傾斜，而使各配向膜M的塗佈方向成為傾斜，並且，當形成有各配向膜M的基板K1及基板K2黏合時，由於對基板K1的塗佈方向與對基板K2的塗佈方向係交叉成菱形或正方形等的格子狀，所以即使在配向膜M產生沿著塗佈方向的條紋狀塗佈不均，也可防止此等塗佈不均藉由2片基板K1、K2的黏合而增強，進而出現顯示不均之情況，所以可使液晶顯示面板P的顯示不均變不明顯。

(其他的實施型態)

此外，本發明並未限定於上述實施型態，在不脫離其要旨的範圍內，皆可進行各種變更。

例如，本發明的實施型態中，係依序對基板K1及基板K2傾斜地塗佈液滴，並將此等基板K1及基板K2黏合，但並未限定於此。例如，亦可在基板K1將液滴依序塗佈成縱列狀，在基板K2將液滴依序塗佈成橫列狀，並將此等基板K1及基板K2黏合。於此情況下，亦可獲得與上述實施型態相同的作用效果。又，亦可 在基板K1將液滴依序塗佈成格子狀，在基板K2將液滴依序塗佈成鋸齒狀(zigzag)(例如：三角波狀)，並將此等基板K1及基板K2黏合；再者，亦可在基板K1將液滴依序塗佈成菱形的格子狀，在基板K2將液滴依序塗佈成鋸齒狀，並將此等基板K1及基板K2黏合。於此等情況下，旋轉機構2b係依據格子狀或鋸齒狀的塗佈圖案而由控制部2f所控制。

此外，在上述實施型態中，係使基板K1、K2對塗佈頭2d移動，但並未限定於此，亦可使塗佈頭2d對基板K1、K2移動，只要可使基板K1、K2與塗佈頭2d相對移動即可。

再者，在上述實施型態中，係以在與基板K1、K2的移動方向垂直相交的X軸方向，涵蓋基板K1、K2之寬度整體的方式將複數塗佈頭2d排列而使用，但並未限定於此，亦可使用一個塗佈頭2d，或者亦可以在X軸方向短於基板K1、K2之寬度整體的方式將複數塗佈頭2d排列而使用。於此情況下，係在基板K1、K2的塗佈面整體分成複數次來進行塗佈塗佈液之控制。

又，在上述實施型態中，雖舉出各種數值，但此等數值僅為例示，並非用來限定者。

最後，在上述實施型態中，係藉由塗佈對象物之基板K1、K2的旋轉來進行塗佈方向的變更，但並未限定於此，例如亦可藉由基板K1、K2與塗佈頭2d之相對移動方向的變更來進行。於此情況下，係如第10圖所示般，將使各塗佈頭2d朝X軸方向移動的X軸移動機構11設置於支持構件2e，且藉由Y軸移動機構2c在基板K1、K2的Y軸方向移動中，驅動該X軸移動機構11，以使各塗佈頭2d以特定的移動速度朝X軸方向移動。如上所述，藉由一邊使塗佈頭2d及基板K1、K2的任一者朝X軸方向移動，且使另一者朝Y軸方向同時移動，一邊進行塗佈，可使塗佈方向成為傾斜。例如，若將X軸方向與Y軸方向的移動速度設成相同速度，且使塗佈頭2d與基板K1、K2相對移動時，對基板K1、K2的塗佈方向為45°。又，若將X軸方向與Y軸方向的移動速度設成1：4的比，則塗佈方向為約14°。

〔產業上利用之可能性〕

以上，說明本發明之實施型態，惟僅只是例示具體例，而非用以限定本發明，各部位的具體構成等皆可適當加以變更。此外，實施型態所記載的作用及效果，僅只是例舉本發明所產生之最合適的作用及效果，本發明的作用及效果並未受限於本發明的實施型態所記載者。本發明係有關於使用在例如對塗佈對象物吐出液滴而塗佈之塗佈裝置或塗佈方法，又，製造液晶顯示面板的製造裝置或製造方法等。

1‧‧‧液晶顯示面板的製造裝置

2‧‧‧液滴塗佈裝置

2a、4a、5a、6a‧‧‧載置台

2b‧‧‧旋轉機構

2c‧‧‧Y軸移動機構

2d‧‧‧塗佈頭

2e‧‧‧支持構件

2f‧‧‧控制部

2g‧‧‧架台

3‧‧‧烘烤裝置

4‧‧‧摩擦配向裝置

4b‧‧‧摩擦配向布

4c‧‧‧摩擦配向輥

5‧‧‧密封劑塗佈裝置

5b‧‧‧密封劑塗佈頭

6‧‧‧液晶滴下裝置

6b‧‧‧液晶滴下頭

7‧‧‧黏合裝置

7a‧‧‧真空處理室

7b‧‧‧第1載置台

7c‧‧‧第2載置台

7d‧‧‧第1載置台移動機構

7e‧‧‧第2載置台移動機構

7f‧‧‧減壓部

8‧‧‧密封劑硬化裝置

9‧‧‧控制裝置

S1~S7‧‧‧步驟

K1‧‧‧基板

K2‧‧‧基板

第1圖係表示本發明之一實施型態之液晶顯示面板之製造裝置的示意構成之方塊圖；第2圖係表示第1圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所具備的液滴塗佈裝置的示意構成之外觀立體圖；第3圖係表示第2圖所示之液滴塗佈裝置進行塗佈動作時之各塗佈頭與基板的位置關係示意之俯視圖；第4圖係表示第1圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所具備的摩擦配向裝置的示意構成之模式圖；第5圖係表示第1圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所具備的密封劑塗佈裝置的示意構成之模式圖；第6圖係表示第1圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所具備的液晶滴下裝置的示意構成之模式圖；第7圖係表示第1圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所具備的黏合裝置的示意構成之模式圖；第8圖係表示第1圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所進行的製造動作之流程的流程圖；第9圖係用來說明依據第8圖所示之液晶顯示面板之製造裝置所進行的製造動作之液滴塗佈及黏合之說明圖；以及第10圖係示意地表示第2圖所示之液滴塗佈裝置的改變例之液滴 塗佈裝置進行塗佈動作時之各塗佈頭與基板的位置關係之俯視圖。

2‧‧‧液滴塗佈裝置

2a‧‧‧載置台

2b‧‧‧旋轉機構

2c‧‧‧Y軸移動機構

2d‧‧‧塗佈頭

2e‧‧‧支持構件

2f‧‧‧控制部

2g‧‧‧架台

K1‧‧‧基板(塗佈對象物)

K2‧‧‧基板(塗佈對象物)

Claims (8)

1. 一種液滴塗佈裝置，其特徵為具備：塗佈頭，朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出；移動機構，用以使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動；以及旋轉機構，在面對吐出所述複數液滴之吐出方向的平面內，使所述塗佈對象物旋轉；所述旋轉機構在將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物旋轉。
2. 一種液滴塗佈方法，其特徵為具有：在面對藉由朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭，而在吐出所述複數液滴之吐出方向的平面內，使所述塗佈對象物旋轉之步驟；以及一邊使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動，一邊藉由所述塗佈頭將所述塗佈液塗佈在所述塗佈對象物之步驟；在所述旋轉步驟中，在將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物旋轉。
3. 一種液晶顯示面板之製造裝置，其特徵為具備：液滴塗佈裝置，具有：朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭、使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動的移動機構、和在面對吐出所述複數液滴之吐出方向的平面內使所述塗佈對象物旋轉之旋轉機構；以及黏合裝置，將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合； 所述旋轉機構在將所述第1塗佈對象物及所述第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物旋轉。
4. 一種液晶顯示面板之製造方法，其特徵為具有：在面對藉由朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭，而在吐出所述複數液滴之吐出方向的平面內，使所述塗佈對象物旋轉之步驟；一邊使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動，一邊藉由所述塗佈頭將所述塗佈液塗佈在所述塗佈對象物之步驟；以及將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合之步驟；在所述旋轉步驟中，在將所述第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物旋轉。
5. 一種液滴塗佈裝置，其特徵為具備：塗佈頭，朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出；以及移動機構，使所述塗佈對象物與所述塗佈頭沿著所述塗佈對象物表面的方向相對移動，並且所述移動機構在將塗佈有所述塗佈液之該塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動。
6. 一種液滴塗佈方法，其特徵為具有：一邊使朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭與所述塗佈對象物相對移動，一邊藉由所述塗佈頭將所述塗佈液塗佈在所述塗佈對象物之步驟，並且在所述塗佈步驟中，在將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對 象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動。
7. 一種液晶顯示面板之製造裝置，其特徵為具備：液滴塗佈裝置，具有：朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭、和使所述塗佈對象物與所述塗佈頭沿著所述塗佈對象物表面的方向相對移動之移動機構；以及黏合裝置，將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合；並且所述移動機構在將所述第1塗佈對象物及所述第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動。
8. 一種液晶顯示面板之製造方法，其特徵為具有：一邊使朝塗佈對象物將塗佈液以複數液滴之狀態吐出的塗佈頭與所述塗佈對象物相對移動，一邊藉由所述塗佈頭將所述塗佈液塗佈在所述塗佈對象物之步驟；以及將塗佈有所述塗佈液之所述塗佈對象物的第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合之步驟，並且在所述塗佈步驟中，在將所述第1塗佈對象物及第2塗佈對象物黏合時，係以所述複數液滴依序滴落在所述第1塗佈對象物的塗佈方向與所述複數液滴依序滴落在所述第2塗佈對象物的塗佈方向形成交叉的方式，使所述塗佈對象物與所述塗佈頭相對移動。