JP4743702B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
3 記憶部
4 入力部
9 基板
11 基板保持部
12 基板移動機構
13 基板回転機構
15 ヘッド移動機構
16 受液部
17 ノズル
21 基板姿勢変更部
22 基板位置調整部
92 隔壁
93 短辺
94 長辺
111 短辺
112 長辺
161 受液部移動機構
Claims (7)
- 複数の隔壁が形成された長方形の基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
長方形の主面を有し、前記主面の短辺および長辺が基板の短辺および長辺に平行となるように前記基板を前記主面にて保持する基板保持部と、
前記基板に向けて流動性材料を連続的に吐出するノズルと、
前記ノズルを前記基板の主面に平行な主走査方向に前記基板に対して相対的に移動することにより、前記基板の前記主面上の隔壁間の溝に前記流動性材料を塗布する主走査機構と、
前記主走査方向に関して前記基板保持部の両側に設けられるとともに前記ノズルからの前記流動性材料を受ける2つの受液部と、
前記基板の前記主面に平行であって前記主走査方向に垂直な副走査方向に前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動する副走査機構と、
前記基板の前記主面に垂直な軸を中心として前記基板を前記基板保持部と共に90°回転する基板回転機構と、
前記2つの受液部を前記主走査方向に移動して、前記基板および前記基板保持部に近接した位置に位置させる2つの受液部移動機構と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置であって、
前記基板回転機構を制御することにより、前記基板を僅かに回転して前記基板の前記ノズルに対する相対位置を調整する基板位置調整部をさらに備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1または2に記載の塗布装置であって、
前記副走査機構により、前記基板が前記基板保持部および前記基板回転機構と共に前記副走査方向に移動することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記基板上に予め定められている前記流動性材料の塗布方向および前記基板の搬入時の姿勢を予め記憶する記憶部と、
前記塗布方向および前記搬入時の姿勢に基づいて前記基板回転機構を制御することにより前記塗布方向を前記主走査方向に平行とする基板姿勢変更部と、
をさらに備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記基板の搬入時の姿勢を予め記憶する記憶部と、
前記基板上に予め定められている前記流動性材料の塗布方向の入力を受け付ける入力部と、
前記搬入時の姿勢および基板が搬入される毎に前記入力部が受け付ける前記塗布方向に基づいて前記基板回転機構を制御することにより前記塗布方向を前記主走査方向に平行とする基板姿勢変更部と、
をさらに備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項4または5に記載の塗布装置であって、
前記流動性材料の塗布前に前記基板回転機構により前記基板が90°回転した場合に、前記流動性材料の塗布後に前記基板姿勢変更部が前記基板回転機構を制御することにより、前記基板を逆方向に90°回転することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記基板保持部の短辺が、前記基板の短辺よりも短く、
前記基板保持部の長辺が、前記基板の長辺よりも短く、かつ、前記基板の短辺よりも長いことを特徴とする塗布装置。
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