KR102218380B1 - 기판 처리 장치 및 세정 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 처리 장치 및 세정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 액을 토출하는 헤드 유닛과 상기 헤드 유닛을 세정하는 세정 유닛을 포함하되 상기 헤드 유닛은 내부에 유로가 형성되고, 저면에 상기 유로와 연결된 토출구가 제공되는 바디와 상기 바디와 연결되어 상기 유로에 액을 공급하는 액 공급 포트와 상기 유로로부터 상기 액을 배출하는 액 배출 포트를 포함하고 상기 세정 유닛은 상기 액 공급 포트와 연결되고 상기 바디에 액을 공급하는 세정 장치와 상기 액 배출 포트와 연결되어 상기 유로가 외부에 개방되는 것을 차단하는 블로킹 유닛을 포함하되 상기 블로킹 유닛은 지지홀이 형성된 지지 부재와 상기 지지홀에 삽입되어 상기 지지 부재에 결합되는 체결 부재와 그리고 상기 체결 부재에 저면에 결합되는 블로킹 헤드와 상기 블로킹 헤드와 상기 액 배출 포트를 연결하는 블로킹 튜브를 가지는 블로킹 부재를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
Description
본 발명은 블로킹 유닛 및 이를 포함하는 세정 유닛에 관한 것으로 보다 구체적으로 액정 토출 장치에 헤드 유닛을 세정하는 세정 유닛에 관한 것이다.
최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과; 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이에 액정 층을 형성하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.
컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하는 방법으로는 액정 주입 방법 또는 액정 적하 방법이 있다. 액정 주입 방법은 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 일정 간격 이격시켜 합착하고, 그 사이 공간으로 액정을 주입하여 충전하는 방법이다. 액정 적하 방법은 컬러 필터 기판 또는 어레이 기판상의 실라인 영역에 실라인을 형성한 후 실라인에 의해 정의된 표시 영역 내에 액정을 적하하는 방법이다. 액정이 적하된 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 얼라인된 후 적하된 액정이 전면에 고르게 퍼지도록 가압되며, 자외선(UV) 및 열처리 공정을 통해 씰 패턴을 경화시킴으로써 컬러 필터 기판과 어레이 기판이 합착된다.
한편, 액정을 토출하는 장치에서 액정을 토출하는 헤드는 주기적으로 세정을 수행해야 한다. 헤드 유닛을 분리하여 별도의 세정 장치를 통해서 세정이 이루어진다. 일반적으로 헤드 유닛을 세정시 두 개의 세정액 유입구 중 하나의 유입구로 세정액을 공급하며 나머지 유입구는 대기에 노출되어 세정액이 나머지 유입구로 배출 될 수 있어 대기의 노출 차단을 위해 별도의 튜브를 유입구에 연결한다. 다만, 튜브를 별도의 장치에 체결시 회전식 결합에 의해 튜브가 꼬이거나 꺽여 튜브의 손상이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
본 발명은 헤드 유닛과 체결을 효율적으로 하여 세정 유닛의 세정 공정의 효율을 향상시키는 기판 처리 장치 및 세정 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 액을 토출하는 헤드 유닛과 상기 헤드 유닛을 세정하는 세정 유닛을 포함하되 상기 헤드 유닛은 내부에 유로가 형성되고, 저면에 상기 유로와 연결된 토출구가 제공되는 바디와 상기 바디와 연결되어 상기 유로에 액을 공급하는 액 공급 포트와 상기 유로로부터 상기 액을 배출하는 액 배출 포트를 포함하고 상기 세정 유닛은 상기 액 공급 포트와 연결되고 상기 바디에 액을 공급하는 세정 장치와 상기 액 배출 포트와 연결되어 상기 유로가 외부에 개방되는 것을 차단하는 블로킹 유닛을 포함하되 상기 블로킹 유닛은 지지홀이 형성된 지지 부재와 상기 지지홀에 삽입되어 상기 지지 부재에 결합되는 체결 부재와 그리고 상기 체결 부재에 저면에 결합되는 블로킹 헤드와 상기 블로킹 헤드와 상기 액 배출 포트를 연결하는 블로킹 튜브를 가지는 블로킹 부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 체결 부재에는 저면에 나사산이 형성된 홈을 가지며 상기 블로킹 부재는 상단에 외주면을 따라 나사산이 형성되며, 상기 홈에는 내주면을 따라 나사산이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 체결 부재는 상기 지지홀에 삽입되는 삽입체와 상기 삽입체의 상부에 연결되며 상기 삽입체보다 큰 면적으로 제공되는 상체와 상기 삽입체의 하부에 연결되며 상기 삽입체보다 큰 면적으로 제공되는 하체를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 지지홀에는 내주면을 따라 나사산이 형성되며, 상기 삽입체에는 외주면을 따라 나사산이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 삽입체의 길이는 상기 지지홀의 높이보다 길게 제공될 수 있다.
본 발명은 헤드 유닛을 세정하는 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 세정 방법은 상기 블로킹 튜브를 상기 액 배출 포트와 상기 블로킹 부재에 고정한 뒤 상기 블로킹 부재를 상기 홈에 연결하는 제1단계 및 상기 블로킹 부재는 정지된 상태에서, 상기 체결 부재를 회전하여 상기 지지홀과 상기 삽입체에 형성된 나사산과 상기 블로킹 부재의 상부와 상기 홈에 형성된 나사산이 회전으로 결합하는 제2단계 및 상기 세정 장치에서 상기 액 공급 포트로 세정액을 공급하여 헤드 유닛을 세정하는 제3단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 블로킹 유닛의 체결 방법을 달리해 튜브 등의 연결 라인에 꼬임이나 꺽임을 방지하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 액정 토출 장치의 헤드 유닛의 세정의 효율을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 잉크젯 방식의 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 4의 블로킹 유닛의 단면도이다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 4의 블로킹 유닛의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
이하에서는, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 대상물에 처리액을 도포하는 설비에 설명한다.
예를 들어, 대상물은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 처리액은 액정(Liquid Crystal), 배향액, 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 배향액으로는 폴리이미드(polyimide)가 사용될 수 있다.
배향액은 컬러 필터(CF) 기판과 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있고, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다. 잉크는 컬러 필터(CF) 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열된 블랙 매트릭스의 내부 영역에 도포될 수 있다.
본 실시 예에서는, 처리액으로 액정을 사용하는 설비를 예로 들어 설명하지만, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 나타내는 도면이다. 도 1의 액정 도포 설비(1)는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다.
기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.
도 1을 참조하면, 액정 도포 설비(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 메인 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(12)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에는 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)는 제 2 방향(14)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 액정 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 배치된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(14)으로 일렬로 배치될 수 있다.
여기서, 제 1 방향(12)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(14)은 수평면상에서 제 1 방향(12)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(16)은 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)에 모두 수직한 방향이다.
액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 메인 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이고, 도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 액정 토출부(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드 유닛(400), 헤드 이동 유닛(500), 액정 공급 유닛(600), 개별 헤드 제어 유닛(700), 액정 토출량 측정 유닛(800), 노즐 검사 유닛(900), 그리고 토출면 세정 유닛(1000)을 포함한다.
베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.
지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판(S)에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(12)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(12)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(12)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 1 방향(12)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(12)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 상부 방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(14)을 향하도록 배치된다. 헤드 유닛(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드 유닛(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리의 길이 방향인 제 2 방향(14)으로 직선 이동할 수 있다. 헤드 유닛(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 3 방향(16)으로 직선 이동될 수 있다.
갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(12)으로 직선 이동시키거나, 갠트리(200)의 길이 방향이 제 1 방향(12)에 경사진 방향을 향하도록 갠트리(200)를 회전시킬 수 있다. 갠트리(200)의 회전에 의해, 헤드 유닛(400)의 노즐들(미도시)이 제 1 방향(12)에 경사진 방향으로 정렬된다.
갠트리 이동 유닛(300)은, 이하에서 설명하는 바와 같이, 갠트리(200)의 일단을 회전 중심으로 하여 갠트리(200)의 타단을 회전시킬 수 있다. 이와 달리, 갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)의 센터를 회전 중심으로 하여 갠트리(200)를 회전시킬 수 있도록 구성될 수도 있다.
헤드 이동 유닛(500)은 헤드 유닛(400)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시 예의 경우, 3 개의 헤드 유닛(400)이 제공된 예를 들어 설명하였으며, 헤드 이동 유닛(500) 또한 헤드의 수에 대응하도록 3 개가 제공될 수 있다. 이와 달리 헤드 이동 유닛(500)은 1 개 제공될 수 있으며, 이 경우 헤드 유닛(400)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다.
헤드 유닛(400)은 기판에 액정의 액적을 토출한다. 헤드 유닛(400)은 복수 개 제공될 수 있다. 본 실시 예에서는 3 개의 헤드 유닛(400)이 제공된 예를 들어 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드 유닛(400)은 제 2 방향(14)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다.
헤드 유닛(400)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수 개의 노즐들(미도시)이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128 개 또는 256 개의 노즐들(미도시)이 제공될 수 있다. 노즐들(미도시)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(미도시)은 μg 단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.
각각의 헤드 유닛(400)에는 노즐들(미도시)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들(미도시)의 액적 토출 량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
액정 공급 유닛(600)은 액정 공급 모듈(미도시)과 압력 조절 모듈(미도시)을 포함한다. 액정 공급 모듈(미도시)과 압력 조절 모듈(미도시)은 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 액정 공급 모듈(미도시)은 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 액정을 개별 헤드에 공급한다. 압력 조절 모듈(미도시)은 액정 공급 모듈(미도시)에 양압 또는 음압을 제공하여 액정 공급 모듈(미도시)의 압력을 조절한다.
헤드 제어 유닛(700)은 각각의 헤드들의 액정 토출을 제어한다. 헤드 제어 유닛(700)은 헤드들에 인접하게 액정 토출부(10) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 헤드 제어 유닛(700)은 갠트리(200)의 일단에 배치될 수 있다. 본 실시 예에서는 헤드 제어 유닛(700)이 갠트리(200)의 일단에 배치된 경우를 예로 들어 설명하지만, 헤드 제어 유닛(700)의 위치는 이에 한정되는 것은 아니다.
헤드 제어 유닛(700)은, 비록 도시되지는 않았지만, 각각의 헤드들에 전기적으로 연결되고, 각각의 헤드들로 제어 신호를 인가한다.
액정 토출량 측정 유닛(800)은 개별 헤드의 액정 토출량을 측정한다. 구체적으로, 액정 토출량 측정 유닛(800)은 개별 헤드마다 전부의 노즐들(미도시)로부터 토출되는 액정량을 측정한다. 개별 헤드의 액정 토출량 측정을 통해, 개별 헤드의 노즐들(미도시)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 액정 토출량 측정 유닛(800)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 배치될 수 있다.
노즐 검사 유닛(900)은 광학 검사를 통해 헤드들에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 액정 토출량 측정 유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
노즐 검사 유닛(900)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100) 일측에 배치될 수 있다. 헤드들은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(900)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들을 제 3 방향(16)으로 이동시켜 헤드들과 노즐 검사 유닛(900)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
토출면 세정 유닛(1000)은 퍼징(Purging) 공정과 흡입(Suction) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정은 헤드들의 내부에 수용된 액정의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 흡입(Suction) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 헤드들의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 제거하는 공정이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 5는 도 4의 블로킹 유닛의 단면도이다.
이하, 도 4와 도 5를 참조하면, 세정 유닛은 헤드 유닛(400)을 세정한다. 헤드 유닛(400)은 바디(410), 액 공급 포트(420), 액 배출 포트(430), 유로(450) 그리고 토출구(470)를 포함한다.
바디(410)는 내부에 액이 이동하는 공간을 제공한다. 바디(410)는 원형의 형상으로 제공될 수 있다. 이와는 달리, 바디(410)는 직육면체의 형상으로 제공될 수 있다.
바디(410)의 상부에는 액 공급 포트(420)와 액 배출 포트가(430)가 형성된다. 액 공급 포트(420)와 액 배출 포트(430)는 세정액 또는 액정을 공급 또는 유출될 수 있는 포트이다. 액 공급 포트(420)는 액정의 공급을 받을 수 있다. 액 공급 포트(420)는 세정시 후술할 세정 장치(2000)에서 세정액을 공급받을 수 있다. 액 공급 포트(420)는 원형의 형상으로 제공될 수 있다. 액 공급 포트(420)와 세정 장치(2000)는 별도의 공급 튜브(2100)로 연결된다. 세정 장치(2000)에서는 액 공급 포트(420)를 통해서 세정액을 공급한다. 액 배출 포트(430)는 액정의 공급 시 액정의 외부로 배출되는 통로 역할을 한다. 액 배출 포트(430)는 원형의 형상으로 제공될 수 있다. 액 배출 포트(430)는 헤드 유닛(400)의 세정 시 후술할 블로킹 유닛(3000)과 연결된다. 연결은 별도의 블로킹 블로킹 튜브(3530)를 통해서 연결된다.
바디(410)의 내부에는 유로(450)가 형성된다. 유로(450)는 세정액이 이동하는 통로 역할을 한다. 유로(450)에는 토출구(470)가 연결되어 있다. 액 공급 포트(420)를 통해서 공급되는 세정액을 토출구(470)로 이동시켜준다.
토출구(470)는 바디(410)의 하부에 제공된다. 토출구(470)는 복수개가 형성된다. 유로(450)에 이동된 세정액은 토출구(470)를 통해서 배출된다. 이 과정에서 토출구(470)가 세정된다.
헤드 유닛(400)은 세정을 위해 전술한 액정 토출부(10)에서 분리하여 별도의 지지 장치(4000)에 놓여서 세정 공정을 수행한다.
세정 장치(2000)는 헤드 유닛(400)에 세정액을 공급하는 장치이다. 세정 장치(2000)와 헤드 유닛(400)은 공급 튜브(2100)로 연결된다. 공급 튜브(2100)의 일측은 세정 장치(2000)와 연결되며 타측은 헤드 유닛(400)의 액 공급 포트(420)와 연결된다.
블로킹 유닛(3000)은 헤드 유닛(400)의 액 배출 포트(430)와 연결된다. 블로킹 유닛(3000)은 액 배출 포트(430)와 연결되어 유로(450)가 대기에 노출되는 것을 막아준다.
블로킹 유닛(3000)은 지지 부재(3300), 체결 부재(3100) 그리고 블로킹 부재(3500)를 포함한다.
지지 부재(3300)는 외벽에 고정되어 제공될 수 있다. 지지 부재(3300)는 고정부(3310)와 수평부(3330)를 포함한다. 고정부(3310)는 외벽과 연결되어 제공될 수 있다. 일 예로 외벽과의 고정은 나사 등을 이용해 고정할 수 있다. 고정부(3310)는 직사각형의 플레이트로 제공될 수 있다. 수평부(3330)는 고정부(3310)와 수직하게 제공된다. 수평부(3330)는 고정부(3310)의 상부에 연결되어 제공된다. 수평부(3330)는 그 길이 방향으로 연장되어 제공된다. 수평부(3330)는 사각형의 플레이트로 제공될 수 있다. 수평부(3330)와 고정부(3310)는 같은 재질로 제공될 수 있다. 수평부(3330)에는 지지홀(3350)이 형성되어 있다. 지지홀(3350)은 후술하는 체결 부재(3100)가 삽입되어 결합된다. 지지홀(3350)에는 나사산(3370)이 제공된다. 나사산(3370)은 지지홀의 내주면을 따라서 형성된다.
체결 부재(3100)는 지지 부재(3300)과 블로킹 부재(3500)를 체결한다. 체결 부재(3100)는 상체(3110), 삽입체(3130) 그리고 하체(3150)를 포함한다. 상체(3110)는 원통 형상으로 제공될 수 있다. 상체(3110)의 하부에는 삽입체(3130)가 연결된다. 상체(3110)는 삽입체(3130)보다 큰 면적으로 제공된다. 삽입체(3130)는 원통 형상으로 제공된다. 삽입체(3130)는 상체(3110)보다 작은 면적으로 제공된다. 삽입체(3130)는 수평부(3330)의 지지홀(3350)을 삽입하여 제공된다. 삽입체(3130)에는 나사산(3131)이 형성된다. 나사산(3131)은 삽입체(3130)의 외주면을 따라서 형성된다. 삽입체(3130)의 나사산(3131)은 수평부(3330)의 지지홀(3350)의 내측에 형성된 나사산(3370)과 맞닿은 곳에 제공된다.
삽입체(3130)의 하부에는 하체(3150)가 연결된다. 하체(3150)는 원통 형상으로 제공된다. 하체(3150)는 삽입체(3130)보다 큰 면적으로 제공된다. 하체(3150)의 직경은 상체(3110)와 동일한 직경으로 제공될 수 있다. 하체(3150)는 수평부(3330)의 하부에 제공된다. 하체(3150)에는 블로킹 부재(3500)가 결합되어 제공되는 홈(3170)이 형성되어 있다. 홈(3170)에는 나사산(3190)이 제공된다. 홈(3170)에 형성된 나사산(3190)은 내주면을 따라서 형성된다.
상술한 예에서는 체결 부재(3100)의 상체(3110), 삽입체(3130) 그리고 하체(3150)는 원통의 형상으로 제공되었으나, 삽입체보다 큰 면적을 가지는 상체, 하체로 직육면체 등의 다양한 형상으로 제공될 수 있다.
블로킹 부재(3500)는 헤드 유닛(400)의 유로(450)가 외부에 개방되는 것을 방지한다. 블로킹 부재(3500)는 블로킹 헤드(3510)와 블로킹 튜브(3530)를 포함한다. 블로킹 헤드(3530)는 하체(3150)의 홈(3170)에 연결된다. 블로킹 헤드(3530)는 원통의 형상으로 제공될 수 있다. 블로킹 헤드(3530)에는 나사산(3520)이 형성된다. 나사산(3520)은 블로킹 헤드(3510)의 외주면을 따라서 형성된다. 블로킹 튜브(3530)는 블로킹 헤드(3510)와 액 배출 포트(430)를 연결한다. 블로킹 튜브(3530)는 블로킹 헤드(3510)의 저면에 결합될 수 있다.
헤드 유닛(400)은 액 공급 포트(420)에서 액정을 공급받는다. 공급된 액정은 유로(450)를 통해서 공급된다. 유로(450)에 액정이 공급되면 별도의 압전 소자에서 전기적 신호로 토출구(470)를 통해서 액정을 토출한다. 일부의 액정은 액 배출 포트(430)를 통해서 외부로 빠져나간다.
반면에, 헤드 유닛(400)을 세정 시 액 공급 포트(420)에서 세정액을 공급받는다. 액 배출 포트(430)는 블로킹 유닛(3000)과 연결되어 외부에 유로(450)가 개방되는 것을 차단한다.
세정액이 유로(450)에 공급되면, 유로(450)에 세정액의 양이 많아 질수록 유로(450)에 내부 압력이 높아진다. 내부 압력이 높아지면 유로(450)의 저면에 형성된 토출구(470)로 세정액이 빠져나간다. 세정액은 토출구(470)로 빠져 나가면서 토출구(470)를 세정한다. 또한, 유로(450) 내부도 세정하게 된다.
이하는 체결 부재(3100)와 지지 부재(3300)와 블로킹 부재(3500) 그리고 블로킹 튜브(3530)의 연결과 체결의 방법을 설명한다. 헤드 유닛(400)의 액 배출 포트(430)와 블로킹 튜브(3530)를 연결한다. 블로킹 튜브(3530)는 다시 블로킹 부재(3500)와 연결된다. 블로킹 튜브(3530)가 연결된 블로킹 부재(3500)는 하체(3150)의 하부 홈(3170)에 결합된다. 이후 체결 부재(3100)의 상체(3110)를 회전시키면, 삽입체(3130)와 수평부(3330)의 지지홀(3350)에 형성된 나사산(3370,3131)과 하체(3150)의 홈(3170)과 블로킹 부재(3500)에 형성된 나사산(3190,3520)이 연결되어 체결된다.
이러한 체결은 하부에서 블로킹 부재(3500)를 회전시켜 결합하는 방식에 비하여 블로킹 튜브(3530)의 꼬임 또는 꺽임을 방지할 수 있다.
이하는, 헤드 유닛(400)을 세정하는 방법을 설명한다.
세정 방법은 제1단계, 제2단계 그리고 제3단계를 포함한다. 제1단계는 헤드 유닛(400)의 액 배출 포트(430)와 블로킹 유닛(3000)의 블로킹 부재(3500)를 블로킹 튜브(3530)로 고정한다. 이 후 블로킹 부재(3500)를 홈(3170)에 연결하는 단계이다.
제2단계는 블로킹 부재(3500)는 정지된 상태에서 체결 부재(3100)를 회전시킨다. 체결 부재(3100)와 블로킹 부재(3500) 그리고 지지 부재(3300)에 있는 나사산들이 회전을 하면서 결합한다. 구체적으로 지지홀(3350)과 삽입체(3130)에 형성된 나사산과 블로킹 부재(3500)와 홈(3170)에 형성된 나사산이 결합하게 된다.
제3단계는 제2단계 후 세정 장치(2000)에서 액 공급 포트(420)로 세정액을 공급하여 헤드 유닛(400)을 세정하는 단계이다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
B: 베이스 100: 기판 지지 유닛
200: 갠트리 300: 갠트리 이동 유닛
400: 헤드 유닛 500: 헤드 이동 유닛
600: 액정 공급 유닛 700: 헤드 제어 유닛
800: 액정 토출량 측정 유닛 900: 노즐 검사 유닛
3000: 블로킹 유닛
200: 갠트리 300: 갠트리 이동 유닛
400: 헤드 유닛 500: 헤드 이동 유닛
600: 액정 공급 유닛 700: 헤드 제어 유닛
800: 액정 토출량 측정 유닛 900: 노즐 검사 유닛
3000: 블로킹 유닛
Claims (6)
- 기판을 처리하는 장치에 있어서,
액을 토출하는 헤드 유닛과
상기 헤드 유닛을 세정하는 세정 유닛을 포함하되,
상기 헤드 유닛은,
내부에 유로가 형성되고, 저면에 상기 유로와 연결된 토출구가 제공되는 바디와,
상기 바디와 연결되어 상기 유로에 액을 공급하는 액 공급 포트와
상기 유로로부터 상기 액을 배출하는 액 배출 포트를 포함하고,
상기 세정 유닛은,
상기 액 공급 포트와 연결되고 상기 바디에 액을 공급하는 세정 장치와
상기 액 배출 포트와 연결되어 상기 유로가 외부에 개방되는 것을 차단하는 블로킹 유닛을 포함하되,
상기 블로킹 유닛은,
지지홀이 형성된 지지 부재;와
상기 지지홀에 삽입되어 상기 지지 부재에 결합되는 체결 부재;와 그리고
상기 체결 부재에 저면에 결합되는 블로킹 헤드와 상기 블로킹 헤드와 상기 액 배출 포트를 연결하는 블로킹 튜브를 가지는 블로킹 부재를 포함하는 기판 처리 장치. - 제1항에 있어서,
상기 체결 부재에는 저면에 나사산이 형성된 홈을 가지며,
상기 블로킹 부재는 상단에 외주면을 따라 나사산이 형성되며, 상기 홈에는내주면을 따라 나사산이 형성되는 기판 처리 장치. - 제2항에 있어서,
상기 체결 부재는
상기 지지홀에 삽입되는 삽입체와
상기 삽입체의 상부에 연결되며 상기 삽입체보다 큰 면적으로 제공되는 상체와
상기 삽입체의 하부에 연결되며 상기 삽입체보다 큰 면적으로 제공되는 하체를 포함하는 기판 처리 장치. - 제3항에 있어서,
상기 지지홀에는 내주면을 따라 나사산이 형성되며, 상기 삽입체에는 외주면을 따라 나사산이 형성되는 기판 처리 장치. - 제3항에 있어서,
상기 삽입체의 길이는 상기 지지홀의 높이보다 길게 제공되는 기판 처리 장치. - 제4항에 기판 처리 장치를 이용하여 헤드 유닛을 세정하는 세정 방법에 있어서,
상기 블로킹 튜브를 상기 액 배출 포트와 상기 블로킹 부재에 고정한 뒤 상기 블로킹 부재를 상기 홈에 연결하는 제1단계 및
상기 블로킹 부재는 정지된 상태에서, 상기 체결 부재를 회전하여 상기 지지홀과 상기 삽입체에 형성된 나사산과 상기 블로킹 부재의 상부와 상기 홈에 형성된 나사산이 회전으로 결합하는 제2단계 및
상기 세정 장치에서 상기 액 공급 포트로 세정액을 공급하여 헤드 유닛을 세정하는 제3단계를 포함하는 세정 방법.
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| KR1020140133511A KR102218380B1 (ko) | 2014-10-02 | 2014-10-02 | 기판 처리 장치 및 세정 방법 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2000238270A (ja) | 1998-12-22 | 2000-09-05 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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| KR101166110B1 (ko) * | 2009-11-26 | 2012-07-23 | 세메스 주식회사 | 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 액정 토출 장치 |
| KR20140087808A (ko) * | 2012-12-31 | 2014-07-09 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 노즐 폐색방지장치 |
-
2014
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