KR102262108B1 - 액정 측정 유닛 및 이를 포함하는 액정 토출 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정을 토출하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 액정 토출 장치에 있어서, 베이스와 상기 베이스의 상부에 제공되어, 기판으로 액정을 토출하는 헤드와 그리고 상기 베이스에 위치하며, 상기 헤드로부터 토출되는 상기 액정의 무게를 측정하는 액정 측정 유닛을 포함하되 상기 액정 측정 유닛은 액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과 상기 계측 유닛 주변의 이온화 농도를 조절하는 이온화 유닛을 포함하는 액정 토출 장치에 관한 것이다.

Description

액정 측정 유닛 및 이를 포함하는 액정 토출 장치{UNIT OF MEASURING QUANTITY OF LIQUID CRYSTAL AND APPARATUS OF DISPENSING LIQUID CRYSTAL WITH THE SAME}
본 발명은 액정 토출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 토출량 측정을 하는 액정 측정 유닛 및 이를 포함하는 액정 토출 장치에 관한 것이다.
최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과; 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.
컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하는 방법으로는 액정 주입 방법 또는 액정 적하 방법이 있다. 액정 주입 방법은 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 일정 간격 이격시켜 합착하고, 그 사이 공간으로 액정을 주입하여 충전하는 방법이다. 액정 적하 방법은 컬러 필터 기판 또는 어레이 기판상의 실라인 영역에 실라인을 형성한 후 실라인에 의해 정의된 표시 영역 내에 액정을 적하하는 방법이다. 액정이 적하된 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 얼라인된 후 적하된 액정이 전면에 고르게 퍼지도록 가압되며, 자외선(UV) 및 열처리 공정을 통해 씰 패턴을 경화시킴으로써 컬러 필터 기판과 어레이 기판이 합착된다.
한편, 액정을 토출하는 장치에서 액정 토출량 측정 장치에는 커버의 액받이에 있는 액정을 세정시 매뉴얼로 세정한다. 다만, 세정시 다량의 정전기가 발생되어 전자저울의 측정 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있다.
또한, 세정 후 정전기가 다량 발생되어 탈이온화 될 때까지 시간이 소요되어 저울을 바로 사용할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 액정 토출 장치에서 토출되는 액정의 토출량을 효과적으로 측정하기 위한 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 액정 토출 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 액정 토출 장치는 베이스와 상기 베이스의 상부에 제공되어, 기판으로 액정을 토출하는 헤드와 그리고 상기 베이스에 위치하며 상기 헤드로부터 토출되는 상기 액정의 무게를 측정하는 액정 측정 유닛을 포함하되, 상기 액정 측정 유닛은 액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과 상기 계측 유닛 주변의 이온화 농도를 조절하는 이온화 유닛을 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 계측 유닛은 액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와 상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 액정 측정 유닛은 커버 유닛을 더 포함하고 상기 커버 유닛은 상기 용기를 감싸는 프레임과 상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버을 포함할 수 있다.
일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공될 수 있다.
일 실시에에 따르면, 상기 커버 유닛은 상기 용기의 일측에 위치하는 제1프레임과 상기 용기의 타측에 위치하는 제2프레임을 포함하며 상기 이온화 유닛은 상기 제1프레임과 상기 제2프레임에 각각 제공될 수 있다.
일 실시에에 따르면, 상기 제1프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛과 상기 제2프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛은 서로 대향되게 제공될 수 있다.
일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.
본 발명은 액정 측정 유닛을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과 상기 계측 유닛 주변의 이온화 농도를 조절하는 이온화 유닛을 포함 할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 계측 유닛은 액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와 상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 액정 측정 유닛은 커버 유닛을 더 포함하고 상기 커버 유닛은 상기 용기를 감싸는 프레임과 상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버을 포함할 수 있다.
일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공될 수 있다.
일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 액정 측정 유닛에 이온화 유닛을 제공하여 액정 토출 장치에서 액정 토출량 측정의 효율을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다.
도 4는 도 2의 헤드의 노즐들을 도시한 도면이다.
도 5는 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면도이다.
도 6은 도 5의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.
도 7은 도 2의 액정 질량 측정 유닛의 사시도이다.
도 8은 도 7의 액정 측정 유닛의 단면도이다.
도 9와 도 7의 액정 측정 유닛의 평면도이다.
도 10은 도 7의 이온화 유닛의 제어기를 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 1의 액정 도포 설비(1)는 액정을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다. 기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.
도 1을 참조하면, 액정 도포 설비(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(12)으로 일렬로 배치된다.
제 1 방향(12)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(14)은 수평면 상에서 제 1 방향(12)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(16)은 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)에 수직한 방향이다.
액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)의 일측에는 기판 이송부(20)가 위치한다. 액정 토출부(10)의 타측에는 액정 공급부(50)와 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 제어부(90는 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에 배치된다. 액정 공급부(50)와 제어부(90)는 제 2 방향(14)으로 나란히 위치한다.
기판 이송부(20)의 타측에는 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 위치한다. 로딩부(300)와 언로딩부(40)는 액정 토출부(10)와 마주보는 위치에 제공된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(14)으로 나란히 위치한다.
액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받아, 액정을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다. 도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 액정 토출부(10)는 베이스(1800), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드들(400), 헤드 이동 유닛(500), 액정 공급 유닛(600), 액정 측정 유닛(800), 노즐 검사 유닛(900), 그리고 헤드 세정 유닛(1000)을 포함한다.
베이스(1800)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(1800)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.
지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(14)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(12)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(12)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(1800)의 상면 중심부에 제 1 방향(12)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(12)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다.갠트리는 직육면체의 형상으로 제공될 수 있다. 갠트리(200)는 베이스(1800)의 상면으로부터 상방향으로 이격 배치된다. 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(14)을 향하도록 배치된다.
갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(12)으로 직선 이동시킨다. 갠트리 이동 유닛(300)은 제 1 이동 유닛(310)과 제 2 이동 유닛(320)을 포함한다. 제 1 이동 유닛(310)은 갠트리(200)의 일단에 제공되고, 제 2 이동 유닛(320)은 갠트리(200)의 타단에 제공된다. 제 1 이동 유닛(310)은 베이스(1800)의 일측에 제공된 가이드 레일(315)을 따라 슬라이딩 이동한다. 제 2 이동 유닛(320)은 베이스(1800)의 타측에 제공된 가이드 레일(325)을 따라 슬라이딩 이동하며 갠트리(200)를 제 1 방향(12)으로 직선 이동시킨다.
헤드들(400)은 기판에 액정의 액적을 토출한다. 헤드들(400)은 복수개 제공될 수 있다. 헤드들(400)은 제 2 방향(14)으로 일렬로 나란하게 갠트리(200)에 결합된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 2 방향(14)으로 직선 이동한다. 또한 제 3 방향(16)으로 직선 이동될 수 있다. 헤드들(400)은 각각 헤드 이동 유닛(500)에 대해 제 3 방향(16)에 나란한 축을 중심으로 회전할 수 있다.
도 4를 참조할 때, 헤드들(400)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수개의 노즐들(410a,410b)이 제공된다. 일 예로, 헤드(410)에는 128개 또는 256개의 노즐들(410a,410b)이 제공될 수 있다. 노즐들(410a,410b)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(410a,410b)은 ㎍단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.
각각의 헤드들(400)에는 노즐들(410a,410b)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있다. 노즐들(410a,410b)의 액적 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
헤드 이동 유닛(500)은 개별 헤드들(400)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시 예의 경우, 3 개의 헤드(410,420,430)가 제공된 예를 들어 설명하므로, 헤드 이동 유닛(500) 또한 헤드(410,420,430)의 수에 대응하도록 3 개가 제공될 수 있다. 이와 달리, 헤드 이동 유닛(500)은 1 개 제공될 수 있으며, 이 경우 헤드들(400)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다. 이와는 달리 헤드들(400)이 제공되는 수에 대응하여 헤드 이동 유닛(500)은 복수개가 제공될 수 있다.
도 5는 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면을 보여주는 도면이고, 도 6은 도 5의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 헤드 이동 유닛(500)은 제 1 이동 유닛(520)과 제 2 이동 유닛(540)을 포함한다. 제 1 이동 유닛(520)은 개별 헤드(410)를 갠트리(200)의 길이 방향인 제 2 방향(14)으로 직선 이동시킨다. 제 2 이동 유닛(540)은 개별 헤드(410)를 제 3 방향(16)으로 직선 이동시키거나, 제 3 방향(16)에 나란한 축을 중심으로 회전시킨다.
제 1 이동 유닛(520)은 가이드 레일들(522a,522b), 슬라이더들(524a, 524b), 그리고 이동 플레이트(526)를 포함한다. 가이드 레일들(522a,522b)은 제 2 방향(14)으로 길게 연장되어 제공된다. 가이드 레일들(522a,522b)은 갠트리(200)의 전면에 제 3 방향(16)으로 이격 설치될 수 있다. 가이드 레일들(522a,522b)에는 슬라이더들(524a, 524b)이 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더들(524a, 524b)에는 직선 구동기가 제공된다. 일 예로 직선 구동기는 리니어 모터(미도시)가 제공될 수 있다. 이동 플레이트(526)는 슬라이더들(524a, 524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)의 상부 영역은 상부에 위치한 슬라이더(524a)에 결합된다. 이동 플레이트(526)의 하부 영역은 하부에 위치한 슬라이더(524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일들(522a,522b)을 따라 제 2 방향(14)으로 직선 이동한다. 이와 같이, 헤드(410,420,430)가 제 2 방향(14)을 따라 개별 이동됨에 따라, 헤드(410,420,430) 간의 간격이 조절될 수 있다.
제 2 이동 유닛(540)은 가이드 부재(542), 슬라이더(544), 검출기(546) 그리고 제어기(548)를 포함한다. 가이드 부재(542)는 제 1 이동 유닛(520)의 이동 플레이트(526)에 결합된다. 가이드 부재(542)는 슬라이더(544)의 제 3 방향(16)으로 직선 이동을 안내한다.
슬라이더(544)는 가이드 부재(542)에 제 3 방향(16)으로 직선 이동 또는 제 3 방향(16)에 나란한 축을 중심으로 회전 가능하게 결합된다. 슬라이더(544)에는 직선 구동기가 제공될 수 있다. 일 예로 직선 구동기는 리니어 모터(미도시)로 제공될 수 있다. 또한, 슬라이더(544)에는 회전 구동기가 내장될 수 있다. 헤드(410)는 슬라이더(544)에 결합되며, 슬라이더(544)의 제 3 방향(16) 직선 이동에 의해 제 3 방향(16)으로 이동된다.
검출기(546)는 갠트리(200)에 설치될 수 있다. 검출기(546)는 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 검출한다. 검출기(546)는 레이저 센서로 제공될 수 있다.
제어기(548)는 검출기(546)의 검출 신호에 대응하는 제어 신호를 생성한다. 제어기(548)는 제어 신호 생성 후, 슬라이더(544)에 내장된 리니어 모터에 제어 신호를 전달하여 리니어 모터의 구동을 제어한다. 검출기(546)의 검출 결과에 따라 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격이 기설정된 기준치를 벗어나는 것으로 판단되면, 제어기(548)는 리니어 모터(미도시)의 구동을 제어하여 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 조절한다.
다시 도 3을 참조하면, 액정 공급 유닛(600)은 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)을 포함한다. 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)은 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 액정 공급 모듈(620)은 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받아서, 액정을 개별 헤드(410,420,430)에 공급한다. 압력 조절 모듈(640)은 액정 공급 모듈(620)에 양압 또는 음압을 제공하여 액정 공급 모듈(620)의 압력을 조절한다.
액정 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량을 측정한다. 액정 측정 유닛(800)은 베이스(1800) 상의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 배치될 수 있다. 액정 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430) 마다 전부의 노즐들(410a,410b)로부터 토출되는 액정 량을 측정한다. 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량 측정을 통해, 개별 헤드(410,420,430)의 노즐들(410a,410b)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량이 기준치를 벗어나면, 노즐들(410a,410b) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.
도 7은 도 2의 액정 측정 유닛에 대한 사시도이다. 도 8은 도 7의 액정 측정 유닛의 단면도이다. 도 9와 도 7의 액정 측정 유닛의 평면도이다. 도 10은 도 7의 이온화 유닛의 제어기를 보여주는 도면이다.
도 7 내지 도 10을 참조하면, 액정 측정 유닛(800)은 계측 유닛(1100), 커버 유닛(1300), 실링 유닛(1500), 이온화 유닛(1600) 그리고 방진 유닛(1700)을 포함한다. 계측 유닛(1100)은 베이스(1800) 상에 위치한다. 계측 유닛(1100)은 후술할 용기(1111) 내 수용된 액정의 무게를 측정한다. 커버 유닛(1300)은 계측 유닛(1100)의 상측에서 계측 유닛(1100)을 개폐한다. 실링 유닛(1500)은 계측 유닛(1100)과 커버 유닛(1300) 사이에 제공된다. 방진 유닛(1700)은 베이스(1800)와 계측 유닛(1100) 사이에 제공된다.
계측 유닛(1100)은 용기(1111), 선반(1113), 그리고 저울 몸체(1115)를 가진다. 용기(1111)는 상부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 일 예로, 용기는 원통 형상으로 제공될 수 있다. 이와 달리, 용기는 직육면체의 통 형상으로 제공될 수 있다. 용기(1111)의 내부에는 수용공간(AS)이 제공된다. 수용공간(AS)에는 헤드(410)로부터 토출되는 액정이 수용된다. 선반(1113)은 용기(1111)의 하부를 지지한다. 선반(1113)은 용기(1111)와 일체로 결합될 수 있다. 저울 몸체(1115)는 선반(1113)의 하측에 제공된다. 저울 몸체(1115)는 선반(1113)과 연동하여 용기(1111) 내 수용된 액정의 무게를 측정한다. 저울 몸체(1115)는 액정의 무게를 ㎍단위의 스케일(Scale)까지 측정 가능한 전자 저울로 제공될 수 있다.
커버 유닛(1300)은 프레임(1310), 커버(1321), 그리고 구동기(1331)를 포함한다.
프레임(1310)은 제1프레임(1311), 제2프레임(1313), 제3프레임(1315) 그리고 제4프레임(1317)을 포함한다.
제1프레임(1311), 제2프레임(1313), 제3프레임(1315) 그리고 제4프레임(1317)은 각각 판 형으로 제공된다. 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313)은 계측 유닛(1100)의 상측에서 제 1 방향(12)으로 소정 간격 이격되어 제공된다. 제3프레임(1315)과 제4프레임(1317)은 계측 유닛(1100)의 상측에서 제 2 방향(14)으로 소정 간격 이격되어 제공된다. 제4프레임(1317)은 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313) 사이의 일측에서 제 1 방향(12)에 나란하게 놓인다. 제3프레임(1315)은 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313)의 중단에서 제4프레임(1317)과 나란하게 놓인다. 제3프레임(1315)은 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313) 사이를 제 1 공간(S1)과 제 2 공간(S2)으로 구획한다. 제 1 공간(S1)에는 용기(1111)와 선반(1113)이 놓인다. 제 2 공간(S2)에는 후술할 구동기(1331)가 배치된다. 제3프레임(1315)의 측면에는 제 2 공간(S2) 방향으로 돌출된 지지 브라켓(1316)이 제공된다. 지지 브라켓(1316) 상에는 후술할 구동기(1331)가 놓인다.
커버(1321)는 판 형상으로 제공된다. 커버(1321)의 일단에는 제 1 레일부재(1323)가 제공된다. 제 1 레일 부재(1323)는 제 1 측판(1323a), 제 2 측판(1323b), 그리고 연결부재(1323c)를 포함한다. 제 1 측판(1323a)은 커버(1321)의 일단에서 제 3 방향(16)과 나란한 하측 방향으로 연장된다. 제 1 측판(1323a)의 제 1 방향(12) 폭은 커버(1321)의 제 1 방향(12) 폭과 동일하게 제공된다. 제 2 측판(1323b)은 제 1 측판(1323a)과 나란하되, 제3프레임(1315) 방향으로 일정간격 이격된다. 연결부재(1323c)는 제 1 측판(1323a)과 제 2 측판(1323b)을 연결한다. 연결부재(1323c)는 커버(1321)와 나란한 판 형상으로 제공될 수 있다.
제 2 레일 부재(1318)는 제4프레임(1317)의 일측면 상단에 제공된다. 제 2 레일 부재(1318)는 제 1 레일 부재(1323)의 연결부재(1323c)와 제 2 측판(1323b)이 끼워져 슬라이딩 이동하는 공간을 제공한다.
구동기(1331)는 지지 브라켓(1316) 상에 놓인다. 이와 달리, 구동기(1331)는 제3프레임(1315)에 직접 결합될 수도 있다. 구동기(1331)는 커버(1321)를 제 1 방향(12)으로 이동시킨다. 커버(1321)와 구동기(1331)는 브라켓들(1333,1335)로 연결된다. 제 1 브라켓(1333)은 커버(1321)의 타단에서 제 3 방향(16)과 나란한 하측 방향으로 연장된다. 제 2 브라켓(1335)은 제 1 브라켓(1333)의 하측 말단에서 제 2 방향(14)과 나란하며 프레임(1315)으로부터 멀어지도록 제 2 공간(S2) 방향으로 연장된다. 제 2 브라켓(1335)은 구동기(1331)와 직접 연결될 수 있다. 구동기(1331)는 실린더로 제공될 수 있다. 이와 달리, 구동기(1331)는 리니어 모터로 제공될 수 있다.
실링 유닛(1500)은 플레이트(1510)와 실링부재(1530)를 포함한다. 플레이트(1510)는 계측 유닛(1100)과 커버 유닛(1300) 사이에 제공된다. 플레이트(1510)에는 계측 유닛(1100)의 선반(1113)이 관통하는 홀이 형성된다. 선반(1113)은 홀을 관통하여 플레이트(1510)의 상방향으로 일부가 노출된다.
실링부재(1530)는 선반(1113)과 홀 사이에 제공된다. 실링부재(1530)는 선반(1113)의 둘레 형상에 대응하게 제공된다. 일 예로, 실링부재(1530)는 원형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 실링부재(1530)는 선반(1113)과 홀 사이를 밀폐하여 저울 몸체(1115)의 상면과 플레이트(1510)의 하면 사이로 유입될 수 있는 기류 등이 선반(1113)에 영향을 미치지 못하도록 한다.
이온화 유닛(1600)은 계측 유닛(1100) 주변으로 이온화 가스를 공급한다. 이온화 유닛(1600)은 프레임(1310)의 외측면에 제공된다. 이온화 유닛(1600)은 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로 이온화 유닛(1600)은 제1프레임(1311)의 외측면과 제2프레임(1313)의 외측면에 각각 제공될 수 있다. 이온화 유닛(1600)은 서로 대향되게 제공될 수 있다. 이와는 달리 이온화 유닛(1600)은 복수개가 프레임(1310)의 측면에 제공될 수 있다.
이온화 유닛(1600)은 하우징(1610), 토출구(1620) 그리고 제어기(1630)를 포함한다.
하우징(1610)의 대체로 직육면제의 형상으로 제공될 수 있다. 하우징(1610)의 내부에서는 이온화 가스를 제공하는 장치가 제공된다. 이온화 가스는 계측 유닛(1100) 주변에 정전기가 발생시 이온화 가스를 공급하여 계측 유닛 주변을 탈이온화 시킨다.
토출구(1620)는 하우징(1610)과 연결된다. 토출구(1620)는 프레임(1310)의 내측으로 연장되어 제공된다. 토출구(1620)는 하우징(1621)에서 공급되는 이온화 가스를 계측 유닛(1100) 주변으로 공급한다.
제어기(1630)는 하우징(1610) 내에 이온화 가스를 제어한다. 제어기(1630) 는 하우징(1610) 내에서 제공되는 이온화 가스를 일정한 주기로 계측 유닛(1100) 주변으로 공급하도록 제어한다.
방진 유닛(1700)은 지지 플레이트(1710)와 방진부재(1730)를 포함한다. 지지 플레이트(1710)는 계측 유닛(1100)의 저울 몸체(1115)의 하부를 지지한다. 지지 플레이트(1710)는 판 형상으로 제공될 수 있다. 일 예로, 지지 플레이트(1710)는 직사각형의 판 형상으로 제공된다.
방진부재(1730)는 지지 플레이트(1710)의 하부 가장자리에 복수개 제공된다. 일 예로, 방진부재(1730)는 지지 플레이트(1710)의 모서리부 하면에 각각 제공될 수 있다. 방진부재(1730)는 베이스(1800)의 진동이 계측 유닛(1100)으로 전달되는 것을 방지한다. 일 예로, 방진부재(1730)는 겔(Gel) 타입으로 제공될 수 있다. 이와 달리, 방진부재(1730)는 스프링 타입으로 제공될 수 있다.
다시 도 2와 도 3을 참조하면, 헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)으로 이동되어 액정 측정 유닛(800)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(16)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 액정 측정 유닛(800)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
노즐 검사 유닛(900)은 광학 검사를 통해 헤드들(410,420,430)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 액정 측정 유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
노즐 검사 유닛(900)은 베이스(1800) 상의 기판 지지 유닛(100) 일측에 배치될 수 있다. 헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(900)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(16)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 노즐 검사 유닛(900)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
헤드 세정 유닛(1000)은 퍼징(Purging) 공정과 흡입(Suction) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정은 헤드들(410,420,430)의 내부에 수용된 액정의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 흡입(Suction) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 헤드들(410,420,430)의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 제거하는 공정이다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
1: 액정 도포 설비 10: 액정 토출부
20: 기판 이송부 30: 로딩부
40: 언로딩부 50: 액정 공급부
90: 제어부 100: 기판 지지 유닛
200: 갠트리 300: 갠트리 이동 유닛
400: 헤드들 500: 헤드 이동 유닛
600: 액정 공급 유닛 800: 액정 측정 유닛
900: 노즐 검사 유닛 1000: 헤드 세정 유닛
1100: 계측 유닛 1300: 커버 유닛
1500: 실링 유닛 1600: 이온화 유닛
1700: 방진 유닛 1800: 베이스

Claims (12)

  1. 액정 토출 장치에 있어서,
    베이스;와
    상기 베이스의 상부에 제공되어, 기판으로 액정을 토출하는 헤드;와 그리고
    상기 베이스에 위치하며, 상기 헤드로부터 토출되는 상기 액정의 무게를 측정하는 액정 측정 유닛을 포함하되,
    상기 액정 측정 유닛은,
    액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과;
    커버 유닛과;
    상기 계측 유닛 주변으로 이온화 가스를 공급하는 이온화 유닛을 포함하되;
    상기 계측 유닛은,
    액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와;
    상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함하고,
    상기 커버 유닛은,
    상기 용기를 감싸는 프레임과;
    상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버를 포함하고,
    상기 프레임은,
    상기 용기의 일측에 위치하는 제1프레임과;
    상기 용기의 타측에 위치하는 제2프레임을 포함하며,
    상기 이온화 유닛은,
    상기 제1프레임과 상기 제2프레임에 각각 제공되고,
    상기 제1프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛과 상기 제2프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛은 서로 대향되게 제공되고,
    상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함하는 액정 토출 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공되는 액정 토출 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 액정 측정 유닛에 있어서,
    액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과;
    커버 유닛과;
    상기 계측 유닛 주변으로 이온화 가스를 공급하는 이온화 유닛을 포함하되;
    상기 계측 유닛은,
    액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와;
    상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함하고,
    상기 커버 유닛은,
    상기 용기를 감싸는 프레임과;
    상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버를 포함하고,
    상기 프레임은,
    상기 용기의 일측에 위치하는 제1프레임과;
    상기 용기의 타측에 위치하는 제2프레임을 포함하며,
    상기 이온화 유닛은,
    상기 제1프레임과 상기 제2프레임에 각각 제공되고,
    상기 제1프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛과 상기 제2프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛은 서로 대향되게 제공되고,
    상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함하는 액정 측정 유닛.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제8항에 있어서,
    상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공되는 액정 측정 유닛.
  12. 삭제
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