KR101157348B1 - 액적 도포 장치, 액적 도포 방법, 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법 - Google Patents

액적 도포 장치, 액적 도포 방법, 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

액적 도포 장치(2)에 있어서, 도포 대상물(K1, K2)을 향해 도포액을 복수의 액적으로 토출하는 도포 헤드(2d)와, 도포 대상물(K1, K2)과 도포 헤드(2d)를 상대 이동시키는 이동 기구(2c)와, 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면내에서 도포 대상물(K1, K2)을 회전시키는 회전 기구(2b)를 구비한다.

Description

액적 도포 장치, 액적 도포 방법, 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법{DROPLET APPLYING APPARATUS, DROPLET APPLYING METHOD, APPARATUS FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL AND METHOD FOR MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
본 발명은, 액적 도포 장치, 액적 도포 방법, 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 도포 대상물에 액적을 토출하여 도포하는 액적 도포 장치 및 액적 도포 방법과, 액정 표시 패널을 제조하는 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
액적 도포 장치는, 액정 표시 패널 등의 표시 장치를 제조하는 경우 등, 도포 대상물로서의 기판 상에 예를 들면 배향막 등의 도포막을 형성할 때에 이용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이 액적 도포 장치는, 기판을 향해 도포액을 복수의 토출구멍(노즐)으로부터 각각 액적으로서 토출(분사)하는 도포 헤드를 구비하고 있다. 액적 도포 장치는, 스테이지 상의 기판과 도포 헤드를 상대 이동시키면서, 그 도포 헤드에 의해 기판의 도포면에 복수의 액적을 순차적으로 착탄시켜, 기판의 도포면 상에 배향막 등의 도포막을 형성한다.
액정 표시 패널의 제조 공정에서는, 접합하는 2장의 기판 각각의 표시 영역 상에 배향막이 액적 도포 장치에 의해 형성된다. 그 후, 그들 기판의 어느 한쪽의 기판 상에 표시 영역을 둘러싸도록 시일제가 도포되고, 그 도포된 시일제의 둘러싸임 영역 내에 액정이 적하된다. 마지막으로, 진공 챔버 등 내의 진공 분위기 중에서 적하 후의 기판과 다른 쪽의 기판의 위치 맞춤이 행해진 후, 적하 후의 기판과 다른 쪽의 기판이 가압되고 접합되어, 액정 표시 패널이 생성된다.
특허문헌 1 : 일본국 특허공개 평9-105937호 공보
그러나, 전술한 제조 공정에 있어서, 접합하는 2장의 기판에 대해 동일한 세로방향으로 각 액적을 순차적으로 도포하고 있으므로, 2장의 기판을 접합한 액정 표시 패널에서는 줄무늬형상의 표시 얼룩(육안 얼룩)이 두드러지는 경향이 있어, 액정 표시 패널의 품질을 저하시키고 있다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 줄무늬형상의 표시 얼룩에 기인하는 액정 표시 패널의 품질 저하를 방지할 수 있는 액적 도포 장치, 액적 도포 방법, 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제1 특징은, 액적 도포 장치에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키는 이동 기구와, 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 도포 대상물을 회전시키는 회전 기구를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제2 특징은, 액적 도포 방법에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드에 의해 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 도포 대상물을 회전시키는 공정과, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키면서, 도포 헤드에 의해 도포 대상물에 도포액을 도포하는 공정을 갖는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제3 특징은, 액정 표시 패널의 제조 장치에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키는 이동 기구, 및 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 도포 대상물을 회전시키는 회전 기구를 구비하는 액적 도포 장치와, 도포액이 도포된 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 접합 장치를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제4 특징은, 액정 표시 패널의 제조 방법에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드에 의해 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 도포 대상물을 회전시키는 공정과, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키면서, 도포 헤드에 의해 도포 대상물에 도포액을 도포하는 공정과, 도포액이 도포된 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 공정을 갖는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제5 특징은, 액적 도포 장치에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와, 도포 대상물과 도포 헤드를 도포 대상물의 표면을 따르는 방향으로 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 이동 기구는, 도포액이 도포된 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합할 때에 제1 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 제2 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제6 특징은, 액적 도포 방법에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키면서, 도포 헤드에 의해 도포 대상물에 도포액을 도포하는 공정을 가지며, 도포하는 공정에서는, 도포액이 도포된 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합할 때에 제1 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 제2 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제7 특징은, 액정 표시 패널의 제조 장치에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와, 도포 대상물과 도포 헤드를 도포 대상물의 표면을 따르는 방향으로 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하는 액적 도포 장치와, 도포액이 도포된 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 접합 장치를 구비하고, 이동 기구는, 접합 규정에 의거하여 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합할 때에 제1 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 제2 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제8 특징은, 액정 표시 패널의 제조 방법에 있어서, 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와 도포 대상물을 상대 이동시키면서, 도포 헤드에 의해 도포 대상물에 도포액을 도포하는 공정과, 도포액이 도포된 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 공정을 가지며, 도포하는 공정에서는, 접합 규정에 의거하여 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합할 때에 제1 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 제2 도포 대상물에 대해 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 도포 대상물과 도포 헤드를 상대 이동시키는 것이다.
도 1은, 본 발명의 한 실시 형태에 관한 액정 표시 패널의 제조 장치의 개략 구성을 도시한 블록도이다.
도 2는, 도 1에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 구비하는 액적 도포 장치의 개략 구성을 도시한 외관 사시도이다.
도 3은, 도 2에 나타낸 액적 도포 장치가 행하는 도포 동작 시의 각 도포 헤드와 기판의 위치 관계를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4는, 도 1에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 구비하는 러빙 장치의 개략 구성을 도시한 모식도이다.
도 5는, 도 1에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 구비하는 시일제 도포 장치의 개략 구성을 도시한 모식도이다.
도 6은, 도 1에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 구비하는 액정 적하 장치의 개략 구성을 도시한 모식도이다.
도 7은, 도 1에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 구비하는 접합 장치의 개략 구성을 도시한 모식도이다.
도 8은, 도 1에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 행하는 제조 동작의 흐름을 도시한 흐름도이다.
도 9는, 도 8에 나타낸 액정 표시 패널의 제조 장치가 행하는 제조 동작에 의거한 액적 도포 및 접합을 설명하기 위한 설명도이다.
도 10은, 도 2에 나타낸 액적 도포 장치의 변형예인 액적 도포 장치가 행하는 도포 동작 시의 각 도포 헤드와 기판의 위치 관계를 개략적으로 도시한 평면도이다.
본 발명의 한 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 액정 표시 패널의 제조 장치(1)는, 도포 대상물로서의 제1 기판(K1) 및 제2 기판(K2)(이하, 간단히 기판(K1, K2)이라고 한다)에 액적을 도포하는 액적 도포 장치(2)와, 액적이 도포된 기판(K1, K2)에 대해 베이크 처리를 행하는 베이크 장치(3)와, 베이크 처리가 행해진 기판(K1), 기판(K2)에 대해 러빙 처리를 행하는 러빙 장치(4)와, 러빙 처리가 행해진 기판(K1)에 대해 시일제를 도포하는 시일제 도포 장치(5)와, 시일제가 도포된 기판(K1)에 대해 액정을 적하하는 액정 적하 장치(6)와, 액정이 적하된 기판(K1)과 러빙 처리가 행해진 기판(K2)의 접합을 행하는 접합 장치(7)와, 접합된 기판(K1) 및 기판(K2)인 액정 표시 패널(P)에 대해 시일제 경화를 행하는 시일제 경화 장치(8)와, 각 부를 제어하는 제어 장치(9)를 구비하고 있다.
액적 도포 장치(2)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판(K1, K2)이 수평 상태(도 2 중, X축 방향과 그것과 직교하는 Y축 방향을 따르는 상태)로 놓여지는 스테이지(2a)와, 그 스테이지(2a)를 θ방향(도 2 중, X축 방향 및 Y축 방향을 따르는 평면 내에서의 회전 방향)으로 회전시키는 회전 기구(2b)와, 그 회전 기구(2b)를 통해 스테이지(2a)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 기구(2c)와, 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 각각 토출하는 복수의 도포 헤드(2d)와, 그들 도포 헤드(2d)를 지지하는 지지 부재(2e)와, 각 부를 제어하는 제어부(2f)와, Y축 이동 기구(2c) 및 지지 부재(2e)를 지지하는 가대(架臺)(2g)을 구비하고 있다.
스테이지(2a)는 회전 기구(2b) 상에 놓여지고, θ방향으로 그 중심을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 스테이지(2a)는 회전 기구(2b)에 의해 θ방향으로 회동한다. 또한, 스테이지(2a)에는, 기판(K1, K2)이 자중(自重)에 의해 놓여지지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 그 기판(K1, K2)을 유지하기 위해, 정전 척이나 흡착 척 등의 기구를 설치하도록 해도 되고, 또, 기판(K1, K2)을 지지하는 출몰 가능한 복수의 지지 핀 등을 설치하도록 해도 된다.
회전 기구(2b)는 Y축 이동 기구(2c) 상에 놓여지고, Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 회전 기구(2b)는, 스테이지(2a)와 함께 Y축 이동 기구(2c)에 의해 Y축 방향으로 이동한다. 회전 기구(2b)는 제어부(2f)에 전기적으로 접속되어 있으며, 그 구동이 제어부(2f)에 의해 제어된다. 또한, 회전 기구(2b)로서는, 예를 들면, 모터를 구동원으로 하는 회전 기구 등을 이용한다.
Y축 이동 기구(2c)는 가대(2g) 상에 놓여지고, 회전 기구(2b)를 스테이지(2a)와 함께 Y축 방향으로 안내하여 이동시키는 이동 기구이다. 이 Y축 이동 기구(2c)는 제어부(2f)에 전기적으로 접속되어 있으며, 그 구동이 제어부(2f)에 의해 제어된다. 또한, Y축 이동 기구(2c)로서는, 예를 들면, 리니어 모터를 구동원으로 하는 리니어 모터 이동 기구나 모터를 구동원으로 하는 이송 나사 이동 기구 등을 이용한다.
각 도포 헤드(2d)는, 지지 부재(2e)에 예를 들면 직선형상 또는 갈지자형상으로 배치되어 있다. 이들 도포 헤드(2d)는, 액적을 토출하는 복수의 토출구멍에 각각 연결되어 통하는 복수의 액실 및 그들 액실의 용적을 각각 변화시키는 복수의 압전 소자(모두 도시 생략)를 각기 내장하고 있다. 각 토출구멍은, 소정의 피치(간격)로 직선형상으로 배열되어 도포 헤드(2d)의 토출면에 형성되어 있다. 예를 들면, 토출구멍의 수는 수십 개로부터 수백 개 정도이며, 토출구멍의 직경은 수 μm로부터 수십 μm 정도이고, 또한, 토출구멍의 피치는 수십 μm로부터 수백 μm 정도이다. 각 도포 헤드(2d)는 제어부(2f)에 전기적으로 각각 접속되어 있으며, 그들의 구동이 제어부(2f)에 의해 제어된다.
도포 헤드(2d)는, 각 압전 소자에 대한 구동 전압의 인가에 따라, 각 압전 소자에 의해 각 액실의 용적을 변화시키고, 각 액실 내의 도포액을 그들 액실에 각각 연결되어 통하는 토출구멍으로부터 액적으로서 토출한다. 배향막 형성용의 도포액은, 그 도포액을 저류하는 액체 탱크로부터 튜브 등을 통해 액체 탱크로부터 각 액실 내로 공급된다. 이에 의해, 각 액실은 도포액에 의해 채워지고 있다. 이 상태로, 압전 소자가 구동되면, 구동된 압전 소자에 대응하는 액실 내의 도포액이 그 액실에 연결되어 통하는 토출구멍으로부터 압출되어, 액적으로서 토출된다. 또한, 배향막 형성용의 도포액으로서는, 예를 들면 폴리이미드(PI) 용액을 이용한다.
지지 부재(2e)는, 각 도포 헤드(2d)를 지지하는 도어형의 칼럼이다. 이 지지 부재(2e)는, 그 연신부가 X축 방향을 따르도록 위치되고, 그 다리부가 가대(2g)의 상면에 고정되어 가대(2g) 상에 설치되어 있다. 또한, 각 도포 헤드(2d)는 연신부의 전면(도 2 중의 앞쪽의 면)에 설치되어 있다.
제어부(2f)는, 각 부를 집중적으로 제어하는 마이크로 컴퓨터와, 도포에 관한 도포 정보나 각종 프로그램 등을 기억하는 기억부(모두 도시 생략)를 구비하고 있다. 이 제어부(2f)는 가대(2g) 내에 설치되어 있다. 도포 정보는, 도트 패턴 등의 소정의 도포 패턴, 도포 헤드(2d)의 토출 주파수 및 기판(K1, K2)의 이동 속도에 관한 정보 등을 포함하고 있다. 이러한 제어부(2f)는, 도포 동작을 행하는 경우, 도포 정보에 의거하여 회전 기구(2b), Y축 이동 기구(2c) 및 각 도포 헤드(2d)를 제어한다.
도포 동작에서는, 제어부(2f)는, 회전 기구(2b)를 제어하고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 각 도포 헤드(2d)로부터 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내, 예를 들면 토출 방향과 직교하는 평면 내(도 3 중, X축 방향 및 Y축 방향을 따르는 평면 내)에서, 각 도포 헤드(2d)와 기판(K1, K2)의 상대 이동 방향(도 3 중의 화살표 : 주주사 방향)에 대해 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 기울어지게 한다. 즉, 제어부(2f)는 회전 기구(2b)에 의해 θ방향으로 소정 각도만큼 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 회전시킨다. 이 상태로, 제어부(2f)는, Y축 이동 기구(2c) 및 각 도포 헤드(2d)를 제어하고, Y축 이동 기구(2c)에 의해 각 도포 헤드(2d)와 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 상대 이동시키면서, 각 도포 헤드(2d)에 의해 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)에 각 액적을 도포하여, 기판(K1, K2) 상에 복수의 배향막(M)을 형성한다. 이들 배향막(M)은, 다면취(多面取)를 목적으로 하여 기판(K1, K2)에 설치된 복수의 표시 영역 상에 각각 형성된다.
도 1로 되돌아가, 베이크 장치(3)는 핫 플레이트 혹은 베이크 노(爐) 등을 구비하고 있다. 이 베이크 장치(3)는, 각 배향막(M)이 도포된 기판(K1, K2)에 대해 베이크 처리를 행하여, 그 기판(K1, K2) 상의 각 배향막(M)을 건조시킨다.
러빙 장치(4)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(K1, K2)이 놓여지는 스테이지(4a)와, 그 스테이지(4a) 상의 기판(K1, K2)의 각 배향막(M)에 대해 러빙포(4b)에 의해 러빙하는 러빙 롤러(4c)를 구비하고 있다. 스테이지(4a) 및 러빙 롤러(4c)는 기판(K1, K2)의 평면 방향으로 상대 이동 가능하게 형성되어 있다. 러빙포(4b)는 러빙 롤러(4c)에 감겨져 설치되어 있다. 이 러빙 장치(4)는, 스테이지(4a)와 러빙 롤러(4c)를 상대 이동시키고, 상대 이동하는 스테이지(4a) 상의 기판(K1, K2)에 대해 러빙 처리를 행한다. 이에 의해, 기판(K1, K2)의 각 배향막(M)의 표면에는, 소정 방향으로 신장되는 미소한 흠집(홈형상의 흠집)이 다수 형성된다. 그 결과, 기판(K1, K2)의 각 배향막(M)은 다수의 흠집의 연신(延伸) 방향으로 액정 분자를 배향시킬 수 있다.
시일제 도포 장치(5)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 러빙 처리가 행해진 기판(K1)이 놓여지는 스테이지(5a)와, 그 스테이지(5a) 상의 기판(K1)의 각 배향막(M) 주위에 시일제(B)를 도포하는 시일제 도포 헤드(5b)를 구비하고 있다. 스테이지(5a) 및 시일제 도포 헤드(5b)는 기판(K1)의 평면 방향으로 상대 이동 가능하게 형성되어 있다. 시일제 도포 헤드(5b)는 시일제(B)를 토출하기 위한 노즐(N1)을 갖고 있으며, 상대 이동하는 스테이지(5a) 상의 기판(K1)에 대해 시일제(B)를 도포한다. 이 시일제 도포 장치(5)는, 시일제의 도포 패턴에 의거하여 스테이지(5a)와 시일제 도포 헤드(5b)를 상대 이동시키고, 상대 이동하는 스테이지(5a) 상의 기판(K1)에 대해 시일제 도포 헤드(5b)에 의해 시일제(B)를 도포한다. 이 때, 시일제 도포 헤드(5b)는, 기판(K1)의 각 배향막(M)의 주위, 즉 각 표시 영역을 둘러싸도록 시일제(B)를 도포한다. 이에 의해, 기판(K1)의 각 배향막(M)의 주위에는, 표시 영역을 둘러싸는 직사각형 형상의 시일제(B)의 패턴이 형성된다.
액정 적하 장치(6)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 시일제(B)가 도포된 기판(K1)이 놓여지는 스테이지(6a)와, 그 스테이지(6a) 상의 기판(K1)의 각 표시 영역(시일제(B)에 의해 둘러싸여진 각 영역) 상에 액정을 적하하는 액정 적하 헤드(6b)를 구비하고 있다. 스테이지(6a) 및 액정 적하 헤드(6b)는 기판(K1)의 평면 방향으로 상대 이동 가능하게 형성되어 있다. 액정 적하 헤드(6b)는 액정을 적하하기 위한 노즐(N2)을 갖고 있으며, 스테이지(6a) 상의 기판(K1)에 대해 액정을 적하한다. 이 액정 적하 장치(6)는, 스테이지(6a)와 액정 적하 헤드(6b)를 상대 이동시켜 액정 적하 헤드(6b)를 소정의 적하 위치에 위치시키고, 스테이지(6a) 상의 기판(K1)에 대해 액정 적하 헤드(6b)에 의해 액정을 적하한다. 이 때, 액정 적하 헤드(6b)는, 필요한 액정량에 따라, 기판(K1)의 각 표시 영역 상, 즉 시일제(B)에 의해 둘러싸인 각 영역 상에 액정을 수회 적하한다. 이에 의해, 기판(K1)의 각 표시 영역 상에는, 필요량의 액정이 적하된다.
접합 장치(7)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 진공 용기인 진공 챔버(7a)와, 그 진공 챔버(7a) 내에 설치되어 기판(K1)을 수평 상태(도 7 중, X축 방향과 그것과 직교하는 Y축 방향을 따르는 상태)로 유지하는 제1 기판 유지부로서의 제1 스테이지(7b)와, 진공 챔버(7a) 내에 설치되어 기판(K2)을 수평 상태로 유지하는 제2 기판 유지부로서의 제2 스테이지(7c)와, 제1 스테이지(7b)를 XY θ방향으로 이동시키는 제1 스테이지 이동 기구(7d)와, 제1 스테이지(7b)에 대해 제2 스테이지(7c)를 접리(接離) 방향인 Z축 방향으로 이동시키는 제2 스테이지 이동 기구(7e)와, 진공 챔버(7a) 내를 감압하는 감압부(7f)를 구비하고 있다.
진공 챔버(7a)는, 개폐 가능하게 형성된 개폐도어(D)를 갖고 있다. 이 개폐도어(D)로부터 기판(K1) 및 기판(K2)이 진공 챔버(7a) 내에 반입되어 각각 제1 스테이지(7b) 및 제2 스테이지(7c)에 공급된다. 이 개폐도어(D)가 닫혀진 상태로 진공 챔버(7a)의 내부가 감압부(7f)에 의해 감압되어 진공 상태(대기압보다 낮은 압력 상태)가 된다.
이 진공 챔버(7a)의 아래쪽에는, 기판 위치 맞춤용의 복수의 촬상부(C1, C2)가 설치되어 있다. 이들 촬상부(C1, C2)로서는, 예를 들면 CCD 카메라 등을 이용한다. 또, 진공 챔버(7a)에는, 투광성을 갖는 복수의 투광부(T1, T2)가 설치되어 있으며, 제1 스테이지(7b)에는, 그들 투광부(T1, T2)에 각각 대향하는 복수의 관통구멍(A1, A2)이 설치되어 있다. 각 투광부(T1, T2) 및 각 관통구멍(A1, A2)은, 각 촬상부(C1, C2)가, 기판(K1)의 단부 및 기판(K2)의 단부에 각각 부여된 복수의 얼라인먼트 마크(위치 맞춤용 마크)를 촬상 가능하게 위치 규정되어 설치되어 있다.
제1 스테이지(7b)는, 흡인 흡착이나 정전 흡착 등의 유지 기구에 의해 기판(K1)을 유지하는 하부 스테이지이다. 기판(K1)은 제1 스테이지(7b)의 유지면에 놓여지고, 유지 기구에 의해 유지된다. 또한, 기판(K1)의 접합면(제2 스테이지(7c)에 대향하는 면)에는, 각 배향막(M) 및 틀형상의 시일제(B)가 도포되어 있으며, 또한, 액정도 적하되어 있다.
제2 스테이지(7c)는, 흡인 흡착이나 정전 흡착 등의 유지 기구에 의해 기판(K1)에 대향시켜 기판(K2)을 유지하는 상부 스테이지이다. 기판(K2)은 제2 스테이지(7c)의 유지면에 놓여지고, 유지 기구에 의해 유지된다. 또한, 기판(K2)의 접합면(제1 스테이지(7b)에 대향하는 면)에는, 각 배향막(M)이 도포되어 있다.
제1 스테이지 이동 기구(7d)는, 제1 스테이지(7b)를 X축 방향, Y축 방향 및 θ방향(도 7 중, X축 방향 및 Y축 방향을 따르는 평면 내에서의 회전 방향)으로 이동시키는 기구이다. 이 제1 스테이지 이동 기구(7d)는, 제1 스테이지(7b)를 XY θ방향으로 이동시켜, 이간된 상태의 기판(K1)과 기판(K2)의 위치 맞춤을 행한다. 또한, 위치 맞춤은, 기판(K1)의 단부에 위치하는 얼라인먼트 마크 및 기판(K2)의 단부에 위치하는 얼라인먼트 마크가 각 촬상부(C1, C2)에 의해 촬상되어, 그들 화상에 의거하여 행해진다.
제2 스테이지 이동 기구(7e)는, 제2 스테이지(7c)를 Z축 방향으로 이동시키는 기구이다. 이 제2 스테이지 이동 기구(7e)는, 진공 챔버(7a)가 진공 상태일 때, 제2 스테이지(7c)를 Z축 방향으로 이동시키고, 제1 스테이지(7b)와 제2 스테이지(7c)를 접근시켜, 시일제(B)를 통해 기판(K1)과 기판(K2)을 접합한다.
감압부(7f)는, 진공 챔버(7a) 내의 분위기(기체)를 배기하기 위한 배기 배관으로서의 배기 파이프(H)에 의해 진공 챔버(7a)에 접속되어 있다. 이 감압부(7f)로서는, 예를 들면 진공 펌프 등을 이용한다. 감압부(7f)는, 진공 챔버(7a) 내의 분위기를 배기 파이프(H)를 통해 흡인하여 배기하고, 진공 챔버(7a) 내를 감압하여 진공 상태로 한다.
도 1로 되돌아가, 시일제 경화 장치(8)는, 접합이 행해진 기판(K1) 및 기판(K2)인 액정 표시 패널(P)에 대해 자외선 조사를 행하는 자외선 조사 장치이다. 이것은, 시일제(B)로서, 자외선 경화형의 시일제를 이용한 경우이며, 다른 시일제를 이용한 경우에는, 다른 시일제 경화 장치를 이용한다. 이 시일제 경화 장치(8)에 의해 자외선이 액정 표시 패널(P)에 조사되고, 액정 표시 패널(P) 중의 시일제(B)가 경화된다.
제어 장치(9)는, 각 부를 집중적으로 제어하는 마이크로 컴퓨터와, 액정 표시 패널 제조에 관한 제조 정보나 각종 프로그램 등을 기억하는 기억부(모두 도시 생략)를 구비하고 있다. 이 제어 장치(9)는, 제조 정보 및 각종 프로그램에 의거하여, 액적 도포 장치(2), 베이크 장치(3), 러빙 장치(4), 시일제 도포 장치(5), 액정 적하 장치(6), 접합 장치(7) 및 시일제 경화 장치(8) 등을 제어한다. 또한, 이들 장치간의 기판(K1, K2)의 반송은 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 반송 장치(도시 생략)에 의해 행해진다. 이 반송 장치도 제어 장치(9)에 의해 제어된다.
다음에, 전술한 액정 표시 패널(P)의 제조 장치(1)가 행하는 제조 동작에 대해 설명한다. 또한, 제조 장치(1)의 제어 장치(9)가 각종 프로그램에 의거하여 제조 처리를 실행한다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(9)는 액적 도포 장치(2)에 의해 기판(K1, K2)에 대해 액적 도포를 행한다(단계 S1). 제어 장치(9)는, 예를 들면, 액적 도포 장치(2)에 액적 도포 동작을 실행하는 명령 신호를 송신한다. 액적 도포 장치(2)의 제어부(2f)는, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라(명령 신호를 수신하여) 액적 도포 처리를 실행한다.
액적 도포 장치(2)의 제어부(2f)는, 기판(K1, K2)이 스테이지(2a)에 놓여지면, 도포 정보에 의거하여 회전 기구(2b)를 제어하고, 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 θ방향으로 회전시켜 소정의 각도로 정지시킨다(도 3 참조). 다음에, 제어부(2f)는 도포 정보에 의거하여 Y축 이동 기구(2c)를 제어하고, 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 소정의 도포 개시 위치로 이동시킨다. 그 후, 제어부(2f)는 도포 정보에 의거하여 Y축 이동 기구(2c) 및 각 도포 헤드(2d)를 제어하고, 스테이지(2a)를 Y축 방향으로 이동시키면서 각 도포 헤드(2d)에 도포액을 복수의 액적으로서 토출시켜, 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)의 도포면(도포면 상의 각 표시 영역)에 각 액적을 도포한다. 이 때, 각 도포 헤드(2d)는, Y축 방향으로 이동하는 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)의 도포면을 향해 액적을 토출하고, X축 방향으로 배열되는 도트열을 Y축 방향으로 순차적으로 도포한다. 이에 의해, 복수의 배향막(M)이 기판(K1, K2)의 도포면 상에 형성된다. 또한, 각 도포 헤드(2d)는 기판(K1, K2)의 이동 방향과 직교하는 X축 방향으로 기판(K1, K2)의 폭 전체를 망라하도록 배열되어 설치되어 있으므로, 기판(K1, K2)의 도포면의 각 표시 영역에 각 배향막(M)을 한 번에 형성할 수 있다.
이와 같이 하여, 도 9에 나타낸 바와 같이, 기판(K1, K2) 상에는, 각 배향막(M)이 형성된다. 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)의 이동 방향에 대해 기판(K1, K2)이 θ방향으로 기울어져 있으므로(도 3 참조), 각 배향막(M)의 도포 방향은 비스듬해진다(도 9 중의 사선 참조).
여기에서, 기판(K1)은, 예를 들면, 복수의 TFT(박막 트랜지스터) 및 복수의 화소 전극 등을 포함하는 전기 회로를 표시 영역마다 갖는 어레이 기판이다. 또, 기판(K2)은, 예를 들면 대향 전극이나 컬러 필터 등을 표시 영역마다 갖는 대향 기판이다. 기판(K1) 상의 각 TFT 및 각 화소 전극과, 기판(K2) 상의 컬러 필터에 있어서의 각 착색층 및 블랙 매트릭스의 위치 관계는 설계상 결정되어 있으므로, 기판(K1)과 기판(K2)의 조합도 미리 결정되어 있다. 따라서, 그 조합을 규정하는 접합 규정에 의거하여 기판(K1)과 기판(K2)의 접합이 행해진다. 즉, 접합 규정은, 도포 후의 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하는 경우의 조합 규정이며, 2장의 기판(K1, K2)을 어떠한 방향으로, 어느 쪽의 면을 대향시켜 접합하는지를 규정하고 있다.
예를 들면, 도 9에서는, 도포 후의 기판(K2)은 뒤집어지며, 그 기판(K2) 상의 각 배향막(M)을 기판(K1) 상의 각 배향막(M)에 대향시켜 기판(K1)에 접합된다. 즉, 기판(K1) 및 기판(K2)은, 기판(K1)의 좌측 상부의 배향막(M)과 기판(K2)의 우측 상부의 배향막(M)이 대향하고, 기판(K1)의 중앙 상부의 배향막(M)과 기판(K2)의 중앙 상부의 배향막(M)이 대향하며, 기판(K1)의 우측 상부의 배향막(M)과 기판(K2)의 좌측 상부의 배향막(M)이 대향하고, 기판(K1)의 좌측 하부의 배향막(M)과 기판(K2)의 우측 하부의 배향막(M)이 대향하며, 기판(K1)의 중앙 하부의 배향막(M)과 기판(K2)의 중앙 하부의 배향막(M)이 대향하고, 기판(K1)의 우측 하부의 배향막(M)과 기판(K2)의 좌측 하부의 배향막(M)이 대향하도록 접합된다. 이러한 접합은 접합 규정에 의거하여 행해진다.
따라서, 회전 기구(2b)는, 기판(K1)과 기판(K2)의 조합을 규정하는 접합 규정에 의거하여, 도포 후의 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하는 경우에 기판(K1)에 대해 각 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향(배향막(M)의 도포 방향)과 기판(K2)에 대해 각 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향(배향막(M)의 도포 방향)이 교차하도록, 각 도포 헤드(2d)와 기판(K1, K2)의 상대 이동 방향(주주사 방향)에 대해 기판(K1, K2)을 기울어지게 하는 회전 동작을 행하고 있다. 또한, 회전 기구(2b)는 반드시 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 1회전 이상 회전시키는 것은 아니며, 적어도 기판(K1)과 기판(K2)의 도포 방향을 교차시키는 것이 가능한 정도로 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)을 조정할 수 있도록 구성되어 있으면 된다.
다음에, 제어 장치(9)는 베이크 장치(3)에 의해 배향막 형성 후의 기판(K1, K2)에 대해 베이크 처리를 행한다(단계 S2). 베이크 장치(3)는, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라, 각 배향막(M)이 형성된 기판(K1, K2)에 대해 베이크 처리를 행한다. 이에 의해, 기판(K1, K2) 상의 각 배향막(M)은 건조된다.
또한, 제어 장치(9)는 러빙 장치(4)에 의해 베이크 처리 후의 기판(K1, K2)에 대해 러빙 처리를 행한다(단계 S3). 러빙 장치(4)는, 기판(K1, K2)이 스테이지(4a) 상에 놓여지면, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라, 스테이지(4a)와 러빙 롤러(4c)를 상대 이동시키고, 상대 이동하는 스테이지(4a) 상의 기판(K1, K2)에 대해 러빙 처리를 행한다(도 4 참조). 이에 의해, 기판(K1, K2)의 각 배향막(M)의 표면에는, 소정 방향으로 신장되는 미소한 흠집(홈형상의 흠집)이 다수 형성된다.
그 후, 제어 장치(9)는 시일제 도포 장치(5)에 의해 러빙 처리 후의 기판(K1)에 대해 시일제 도포를 행한다(단계 S4). 이 시일제 도포 장치(5)는, 기판(K1)이 스테이지(5a) 상에 놓여지면, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라, 시일제(B)의 도포 패턴에 의거하여 스테이지(5a)와 시일제 도포 헤드(5b)를 상대 이동시키고, 상대 이동하는 스테이지(5a) 상의 기판(K1)에 대해 시일제 도포 헤드(5b)에 의해 시일제(B)를 도포한다(도 5 참조). 이 때, 시일제 도포 장치(5)는, 기판(K1)의 각 배향막(M)의 주위, 즉 소정의 각 표시 영역을 둘러싸도록 시일제(B)를 도포한다. 이에 의해, 기판(K1)의 각 배향막(M)의 주위에는, 시일제(B)가 표시 영역을 둘러싸도록 도포된다.
또한, 제어 장치(9)는 액정 적하 장치(6)에 의해 시일제 도포 후의 기판(K1)에 대해 액정 적하를 행한다(단계 S5). 이 액정 적하 장치(6)는, 기판(K1)이 스테이지(6a) 상에 놓여지면, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라, 스테이지(6a)와 액정 적하 헤드(6b)를 상대 이동시켜 액정 적하 헤드(6b)를 소정의 적하 위치에 위치시키고, 스테이지(6a) 상의 기판(K1)에 대해 액정 적하 헤드(6b)에 의해 액정을 적하한다. 이 때, 액정 적하 장치(6)는, 필요한 액정량에 따라, 기판(K1)의 각 표시 영역 상, 즉 시일제(B)에 의해 둘러싸인 각 영역 상에 액정을 수회 적하한다. 이에 의해, 시일제(B)에 의해 둘러싸인 각 영역 내에는, 필요량의 액정이 적하된다.
그 후, 제어 장치(9)는 접합 장치(7)에 의해 액정 적하 후의 기판(K1)과 러빙 처리 후의 기판(K2)의 접합을 행한다(단계 S6). 접합 장치(7)는, 기판(K1) 및 기판(K2)이 제1 스테이지(7b) 및 제2 스테이지(7c) 상에 각각 유지되면, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라, 감압부(7f)에 의해 진공 챔버(7a) 내의 분위기를 배기 파이프(H)를 통해 흡인하여 배기하고, 진공 챔버(7a) 내를 감압하여 진공 상태로 한다(도 7 참조). 그 상태로, 접합 장치(7)는, 제2 스테이지(7c)를 Z축 방향으로 이동시키고, 제1 스테이지(7b)와 제2 스테이지(7c)를 근접시켜, 시일제(B)를 통해 기판(K1)과 기판(K2)을 접합하여, 액정 표시 패널(P)을 형성한다. 또한, 접합 전의 기판(K1) 및 기판(K2)은 진공 챔버(7a)의 개폐도어(D)로부터 제1 스테이지(7b) 및 제2 스테이지(7c)로 각각 공급되고, 접합 후의 액정 표시 패널(P)은 진공 챔버(7a)의 개폐도어(D)로부터 취출된다.
이 접합 공정에서는, 전술한 바와 같이, 도 9에 나타낸 바와 같은 기판(K2)이 뒤집어지며, 기판(K2) 상의 각 배향막(M)을 기판(K1) 상의 각 배향막(M)에 대향시켜 기판(K1)에 접합된다. 이러한 접합은 접합 규정에 의거하여 행해진다. 이에 의해, 도 9에 나타낸 바와 같이, 기판(K1)에 대한 도포 방향과 기판(K2)에 대한 도포 방향이 마름모꼴의 격자형상으로 교차하게 된다.
마지막으로, 제어 장치(9)는 시일제 경화 장치(8)에 의해 액정 표시 패널(P) 중의 시일제 경화를 행한다(단계 S7). 시일제 경화 장치(8)는, 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라, 접합 후의 기판(K1) 및 기판(K2)인 액정 표시 패널(P)에 대해 자외선 조사를 행한다. 이에 의해, 자외선이 액정 표시 패널(P)에 조사되어, 액정 표시 패널(P) 중의 시일제(B)가 경화된다.
이러한 제조 동작에 있어서, 도포 공정에서는, 기판(K1) 및 기판(K2)의 접합 규정에 의거하여, 도포 후의 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하는 경우에 기판(K1)의 도포 방향과 기판(K2)의 도포 방향이 교차하도록, 기판(K1, K2)과 각 도포 헤드(2d)의 상대 이동 방향(주주사 방향)에 대해 기판(K1, K2)이 기울어진다. 즉, 스테이지(2a)는 회전 기구(2b)에 의해 θ방향으로 소정의 각도만큼 경사지고, 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)이 θ방향으로 회전하여 정지한다. 이 상태로, 스테이지(2a)가 Y축 이동 기구(2c)에 의해 Y축 방향으로 이동하면서, 각 도포 헤드(2d)에 의해 각 액적이 스테이지(2a) 상의 기판(K1, K2)에 순차적으로 도포된다.
그 후, 접합 공정에서는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 도포 후의 기판(K2)이 뒤집어지며, 기판(K2) 상의 각 배향막(M)을 기판(K1) 상의 각 배향막(M)에 대향시켜 기판(K1)에 접합된다. 이 접합은 접합 규정에 의거하여 행해진다. 이에 의해, 기판(K1)에 대한 도포 방향과 기판(K2)에 대한 도포 방향이 마름모꼴의 격자형상으로 교차하게 된다. 따라서, 각 기판(K1, K2)의 배향막(M)에 도포 방향을 따르는 줄무늬형상의 도포 얼룩이 생겼다고 해도, 이들 줄무늬형상의 도포 얼룩이 2장의 기판(K1, K2)의 접합에 의해 서로 겹쳐져 강조되어 표시 얼룩이 되어 나타나는 것이 방지되어, 종래의 줄무늬형상(세로 줄무늬형상)의 표시 얼룩에 비해 두드러지지 않게 되므로, 액정 표시 패널(P)의 품질 저하를 방지할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 각 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 기판(K1, K2)을 회전시키는 회전 기구(2b)를 설치함으로써, 도포 후의 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하는 경우에 기판(K1)에 대한 도포 방향과 기판(K2)에 대한 도포 방향이 교차하도록 기판(K1, K2)에 대해 각 액적을 순차적으로 도포하는 것이 가능해진다. 이에 의해, 각 배향막(M)이 형성된 기판(K1) 및 기판(K2)이 접합되면, 기판(K1)에 대한 도포 방향과 기판(K2)에 대한 도포 방향이 교차하므로, 각 기판(K1, K2)의 배향막(M)에 도포 방향을 따르는 줄무늬형상의 도포 얼룩이 생겼다고 해도, 이들 줄무늬형상의 도포 얼룩이 2장의 기판(K1, K2)의 접합에 의해 서로 겹쳐져 강조되어 표시 얼룩이 되어 나타나는 것이 방지되어, 종래의 줄무늬형상(세로 줄무늬형상)의 표시 얼룩에 비해 두드러지지 않게 된다. 그 결과, 줄무늬형상의 표시 얼룩에 기인하는 액정 표시 패널(P)의 품질 저하를 방지할 수 있다. 특히, 회전 기구(2b)는, 도포 후의 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 도포 후의 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합할 때에 기판(K1)에 대한 도포 방향과 기판(K2)에 대한 도포 방향이 교차하도록 기판(K1, K2)을 회전시킨다.
또, 회전 기구(2b)는, 각 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 기판(K1, K2)과 각 도포 헤드(2d)의 상대 이동 방향에 대해 기판(K1, K2)을 기울어지게 함으로써, 각 배향막(M)의 도포 방향은 비스듬해지며, 각 배향막(M)이 형성된 기판(K1) 및 기판(K2)이 접합되면, 기판(K1)에 대한 도포 방향과 기판(K2)에 대한 도포 방향이 마름모꼴이나 정사각형 등의 격자형상으로 교차하므로, 배향막(M)에 도포 방향을 따르는 줄무늬형상의 도포 얼룩이 생겼다고 해도, 이들 도포 얼룩이 2장의 기판(K1, K2)의 접합에 의해 강조되어 표시 얼룩이 되어 나타나는 것이 방지되어, 액정 표시 패널(P)의 표시 얼룩을 두드러지지 않게 할 수 있다.
(다른 실시 형태)
또한, 본 발명은, 전술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하다.
예를 들면, 본 발명의 실시 형태에 있어서는, 기판(K1) 및 기판(K2)에 대해 비스듬히 액적을 순차적으로 도포하여, 그들 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판(K1)에 종렬형상으로 액적을 순차적으로 도포하고, 기판(K2)에 횡렬형상으로 액적을 순차적으로 도포하여, 그들 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하도록 해도 된다. 이 경우에도, 상술한 실시 형태와 동일한 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판(K1)에 격자형상으로 액적을 순차적으로 도포하고, 기판(K2)에 지그재그형상(예를 들면, 삼각파형상 등)으로 액적을 순차적으로 도포하여, 그들 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하도록 해도 되며, 또한, 기판(K1)에 마름모꼴의 격자형상으로 액적을 순차적으로 도포하고, 기판(K2)에 지그재그형상으로 액적을 순차적으로 도포하여, 그들 기판(K1) 및 기판(K2)을 접합하도록 해도 된다. 이들의 경우에는, 회전 기구(2b)가 격자형상이나 지그재그형상의 도포 패턴에 의거하여 제어부(2f)에 의해 제어된다.
또, 전술한 실시 형태에 있어서는, 도포 헤드(2d)에 대해 기판(K1, K2)을 이동시키도록 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 기판(K1, K2)에 대해 도포 헤드(2d)를 이동시키도록 해도 되고, 기판(K1, K2)과 도포 헤드(2d)를 상대 이동시키도록 하면 된다.
또한, 전술한 실시 형태에 있어서는, 기판(K1, K2)의 이동 방향과 직교하는 X축 방향으로 기판(K1, K2)의 폭 전체를 망라하도록 복수의 도포 헤드(2d)를 배열하여 이용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 하나의 도포 헤드(2d)를 이용하도록 해도 되고, 혹은 X축 방향으로 기판(K1, K2)의 폭 전체보다 짧게 복수의 도포 헤드(2d)를 배열하여 이용하도록 해도 된다. 이들의 경우에는, 기판(K1, K2)의 도포면 전체에 복수회로 나누어 도포액을 도포하는 제어를 행한다.
또, 전술한 실시 형태에 있어서는, 각종의 수치를 들고 있지만, 그들 수치는 예시이며, 한정되는 것은 아니다.
마지막으로, 전술한 실시 형태에 있어서는, 도포 방향의 변경을 도포 대상물인 기판(K1, K2)의 회전에 의해 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 기판(K1, K2)과 도포 헤드(2d)의 상대 이동 방향의 변경에 의해 행하도록 해도 된다. 이 경우에는, 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 각 도포 헤드(2d)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(11)를 지지 부재(2e)에 설치하고, 이 X축 이동 기구(11)를 Y축 이동 기구(2c)에 의한 기판(K1, K2)의 Y축 방향 이동 중에 구동하여, 각 도포 헤드(2d)를 X축 방향으로 소정의 이동 속도로 이동시킨다. 이와 같이, 도포 헤드(2d) 및 기판(K1, K2)의 어느 한쪽을 X축 방향으로, 그 다른 쪽을 Y축 방향으로 동시에 이동시키면서 도포를 행함으로써, 도포 방향은 기울어진다. 예를 들면, X축 방향과 Y축 방향의 이동 속도를 같은 속도로 하여, 도포 헤드(2d)와 기판(K1, K2)을 상대 이동시키면, 기판(K1, K2)에 대한 도포 방향은 45°가 된다. 또, X축 방향과 Y축 방향의 이동 속도를 1:4의 비로 하면, 도포 방향은 약 14°가 된다.
[산업상의 이용 가능성]
이상, 본 발명의 실시 형태를 설명하였지만, 구체예를 예시한 것에 지나지 않고, 특별히 본 발명을 한정하는 것은 아니며, 각 부의 구체적 구성 등은, 적절히 변경 가능하다. 또, 실시 형태에 기재된 작용 및 효과는, 본 발명에서 발생하는 가장 적합한 작용 및 효과를 열거한 것에 지나지 않으며, 본 발명에 의한 작용 및 효과는, 본 발명의 실시 형태에 기재된 것에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 예를 들면, 도포 대상물에 액적을 토출하여 도포하는 도포 장치나 도포 방법, 또, 액정 표시 패널을 제조하는 제조 장치나 제조 방법 등에서 이용된다.

Claims (16)

  1. 삭제
  2. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와,
    상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키는 이동 기구와,
    상기 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 상기 도포 대상물을 회전시키는 회전 기구를 구비하고,
    상기 회전 기구는, 상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄(着彈)된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록 상기 도포 대상물을 회전시키는 것을 특징으로 하는 액적 도포 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드에 의해 상기 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 상기 도포 대상물을 회전시키는 공정과,
    상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키면서, 상기 도포 헤드에 의해 상기 도포 대상물에 상기 도포액을 도포하는 공정을 가지며,
    상기 회전시키는 공정에서는, 상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록 상기 도포 대상물을 회전시키는 것을 특징으로 하는 액적 도포 방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드, 상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키는 이동 기구, 및 상기 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 상기 도포 대상물을 회전시키는 회전 기구를 구비하는 액적 도포 장치와,
    상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합하는 접합 장치를 구비하고,
    상기 회전 기구는, 상기 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록 상기 도포 대상물을 회전시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드에 의해 상기 복수의 액적이 토출되는 토출 방향과 교차하는 평면 내에서 상기 도포 대상물을 회전시키는 공정과,
    상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키면서, 상기 도포 헤드에 의해 상기 도포 대상물에 상기 도포액을 도포하는 공정과,
    상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합하는 공정을 가지며,
    상기 회전시키는 공정에서는, 상기 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록 상기 도포 대상물을 회전시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
  12. 삭제
  13. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와,
    상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상기 도포 대상물의 표면을 따르는 방향으로 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
    상기 이동 기구는, 상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키는 것을 특징으로 하는 액적 도포 장치.
  14. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와 상기 도포 대상물을 상대 이동시키면서, 상기 도포 헤드에 의해 상기 도포 대상물에 상기 도포액을 도포하는 공정을 가지며,
    상기 도포하는 공정에서는, 상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키는 것을 특징으로 하는 액적 도포 방법.
  15. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와, 상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상기 도포 대상물의 표면을 따르는 방향으로 상대 이동시키는 이동 기구를 구비하는 액적 도포 장치와,
    상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합하는 접합 장치를 구비하고,
    상기 이동 기구는, 상기 접합 규정에 의거하여 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 장치.
  16. 도포 대상물을 향해 도포액을 복수의 액적으로서 토출하는 도포 헤드와 상기 도포 대상물을 상대 이동시키면서, 상기 도포 헤드에 의해 상기 도포 대상물에 상기 도포액을 도포하는 공정과,
    상기 도포액이 도포된 상기 도포 대상물로서의 제1 도포 대상물 및 제2 도포 대상물을 접합하는 경우의 접합 규정에 의거하여, 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합하는 공정을 가지며,
    상기 도포하는 공정에서는, 상기 접합 규정에 의거하여 상기 제1 도포 대상물 및 상기 제2 도포 대상물을 접합할 때에 상기 제1 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향과 상기 제2 도포 대상물에 대해 상기 복수의 액적이 순차적으로 착탄된 도포 방향이 교차하도록, 상기 도포 대상물과 상기 도포 헤드를 상대 이동시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101442932B1 (ko) 2009-09-04 2014-09-22 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 충전 장치
CN109894326A (zh) * 2017-12-07 2019-06-18 旭东机械工业股份有限公司 显示面板侧边涂胶方法及其系统

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI464074B (zh) * 2009-12-31 2014-12-11 Hk Applied Science & Tech Res 用於熱噴墨列印的列印頭及其列印方法
KR101678056B1 (ko) * 2010-09-16 2016-11-22 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
CN103962275B (zh) * 2013-02-01 2018-03-02 Ntn株式会社 涂布单元、使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法
TWI499872B (zh) * 2013-06-18 2015-09-11 Innolux Corp 曝光系統與曝光製程
US9268174B2 (en) * 2013-09-02 2016-02-23 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Rubbing device and rubbing method
CN104460125A (zh) * 2014-12-08 2015-03-25 合肥鑫晟光电科技有限公司 液晶涂布喷嘴及液晶涂布装置
KR101636070B1 (ko) * 2015-12-30 2016-07-14 주식회사 라파스 마이크로니들 제조장치
KR102492389B1 (ko) * 2017-07-27 2023-01-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 도포 처리 장치, 도포 처리 방법 및 컴퓨터 기억 매체
JP6901379B2 (ja) * 2017-11-02 2021-07-14 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
EP3705190B1 (en) * 2017-11-02 2023-07-26 Musashi Engineering, Inc. Liquid material application device and application method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09105937A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Toshiba Corp 液晶表示素子の配向膜形成方法
JP2006035075A (ja) 2004-07-26 2006-02-09 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP2006320839A (ja) 2005-05-19 2006-11-30 Sharp Corp 配向膜の液滴吐出方法及び液滴吐出装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003245579A (ja) * 2002-02-22 2003-09-02 Seiko Epson Corp 薄膜形成装置及び薄膜形成方法及び液晶装置の製造装置及び液晶装置の製造方法及び薄膜構造体の製造装置及び薄膜構造体の製造方法及び液晶装置及び薄膜構造体及び電子機器
US7416010B2 (en) * 2002-03-08 2008-08-26 Lg Display Co., Ltd. Bonding apparatus and system for fabricating liquid crystal display device
US7102726B2 (en) 2002-03-15 2006-09-05 Lg. Philips Lcd Co., Ltd. System for fabricating liquid crystal display and method of fabricating liquid crystal display using the same
US7295279B2 (en) 2002-06-28 2007-11-13 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. System and method for manufacturing liquid crystal display devices
JP2004290962A (ja) * 2003-03-11 2004-10-21 Seiko Epson Corp 薄膜形成装置、電子光学装置及び電子機器
US7450213B2 (en) * 2006-06-29 2008-11-11 Lg Display Co., Ltd. Methods of manufacturing liquid crystal display devices

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09105937A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Toshiba Corp 液晶表示素子の配向膜形成方法
JP2006035075A (ja) 2004-07-26 2006-02-09 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP2006320839A (ja) 2005-05-19 2006-11-30 Sharp Corp 配向膜の液滴吐出方法及び液滴吐出装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101442932B1 (ko) 2009-09-04 2014-09-22 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 충전 장치
CN109894326A (zh) * 2017-12-07 2019-06-18 旭东机械工业股份有限公司 显示面板侧边涂胶方法及其系统

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