KR102492389B1

KR102492389B1 - 도포 처리 장치, 도포 처리 방법 및 컴퓨터 기억 매체

Info

Publication number: KR102492389B1
Application number: KR1020207004602A
Authority: KR
Inventors: 노리히코 니시무라
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2017-07-27
Filing date: 2018-07-13
Publication date: 2023-01-26
Also published as: CN110891697A; TW201919768A; KR20200035974A; JPWO2019021859A1; CN110891697B; TWI790255B; WO2019021859A1; JP6909854B2

Abstract

기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 장치에 있어서, 기판을 유지하는 유지부와, 상기 유지부에 유지된 기판에 상기 도포액을 토출하는 도포 노즐과, 상기 유지부와 상기 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 유지부에 유지된 기판의 평면시 외측의 양측에 설치되고, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 받아내는 액받침부를 갖는다.

Description

도포 처리 장치, 도포 처리 방법 및 컴퓨터 기억 매체

(관련 출원의 상호 참조)

본원은, 2017년 7월 27일에 일본에 출원된 일본 특허 출원 제2017-145753호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

본 발명은, 기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 장치, 상기 도포 처리 장치를 이용한 도포 처리 방법 및 컴퓨터 기억 매체에 관한 것이다.

예컨대 유기 발광 다이오드(OLED : Organic Light Emitting Diode)에는, 외광의 반사 방지를 위해 원편광판이 이용되고 있다. 원편광판은, 직선 편광판과 파장판(위상차판)을, 그 편광축이 45도로 교차하도록 적층하여 제작된다. 또한, 액정 디스플레이(LCD : Liquid Crystal Display)에도, 표시에서의 선광성이나 복굴절성을 제어하기 위해, 이들 직선 편광판과 파장판이 이용되고 있다.

또한, 예컨대 파장판만을, 그 편광축이 15도나 75도로 기울어지도록 형성하는 경우가 있다. 따라서, 편광판이나 파장판을 임의의 각도로 형성할 필요가 있다. 또한, 편광판이나 파장판의 편광축을 임의의 각도로 교차시키기 위해, 이들 편광판이나 파장판을 개별로 형성할 필요도 있다.

종래, 이러한 편광판이나 파장판은, 예컨대 연신 필름을 이용하여 제작되어 있다. 연신 필름은, 필름을 한 방향으로 연신시켜 접착함으로써 그 재료 중의 분자를 한 방향으로 배향시킨 것이다.

그런데, 최근 OLED나 LCD의 박형화에 따라, 편광판이나 파장판의 박막화도 요구되고 있다. 그러나, 편광판이나 파장판을 제작함에 있어서 종래와 같이 연신 필름을 이용한 경우, 상기 연신 필름 자체의 막두께를 작게 하는 것에 한계가 있어, 충분한 박막을 얻을 수 없다.

따라서, 기판 상에 소정 재료를 갖는 도포액을 도포하고, 필요한 막두께의 편광판이나 파장판을 형성함으로써, 박막화가 도모되고 있다. 구체적으로는, 예컨대 소정 재료로서 액정성을 갖는 도포액을 기판에 도포하여 유연ㆍ배향시킨다. 액정 화합물은 도포액 중에서 초분자 회합체를 형성하고 있고, 전단 응력을 가하면서 도포액을 유동시키면 초분자 회합체의 장축 방향이 유동 방향으로 배향된다.

예컨대 특허문헌 1에 기재된 편광막 인쇄 장치는, 기판을 유지하기 위한 테이블과, 기판에 잉크액을 토출하는 슬롯 다이를 갖고 있다. 테이블은, 정반 부분을 펀칭한 프레임판에 정반을 끼워 넣은 구성이며, 이것으로부터 정반 주변부의 높이를 정반에 정착한 기판의 표면과 동일한 높이로 한다. 슬롯 다이는, 적어도 정반을 덮도록 연신되어 있다. 그리고, 정반을 인쇄 방향으로 배치한 상태로 기판을 정착시키고, 또한 그 정반을 회전시켜 기판을 인쇄 방향에 대하여 소정 각도 기울인 후, 슬롯 다이를 인쇄 방향으로 이동시켜 기판에 잉크액을 도포한다.

일본 특허 공개 제2005-62502호 공보

그러나, 특허문헌 1에 기재된 편광막 인쇄 장치에서는, 기판을 정착시킨 정반을 회전시키고 있지만, 이 정반의 회전은 기판을 소정 위치(인쇄 방향과 평행해지는 위치)에서 수취하기 위한 것이며, 도포 방향을 제어하는 것이 아니다. 바꾸어 말하면, 기판에 대한 잉크액의 도포 방향은 고정되어 있고, 그 도포 방향을 자유롭게 제어할 수는 없다.

또한, 특허문헌 1에 기재된 편광막 인쇄 장치를 이용한 경우, 슬롯 다이가 적어도 정반을 덮도록 연신되어 있기 때문에, 기판에 잉크액을 도포할 때, 정반에 정착된 기판에 잉크액이 토출됨과 더불어, 기판의 외측에 있는 정반과 정반 주위의 프레임판에도 잉크액이 토출되어 부착된다. 이 때문에, 기판 1장을 도포 처리할 때마다 매번 정반과 프레임판을 세정할 필요가 있어 시간이 걸린다.

본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 광학 재료를 포함하는 도포액을, 기판에 대하여 임의의 각도로 적절하게 또한 효율적으로 도포하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하는 본 발명의 일양태는, 기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 장치에 있어서, 기판을 유지하는 유지부와, 상기 유지부에 유지된 기판에 상기 도포액을 토출하는 도포 노즐과, 상기 유지부와 상기 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 유지부에 유지된 기판의 평면시 외측의 양측에 설치되고, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 받아내는 액받침부를 갖는다.

본 발명의 일양태에 의하면, 이동 기구에 의해 유지부와 도포 노즐이 직교 방향으로 상대적으로 이동하기 때문에, 이들 유지부와 도포 노즐의 상대적인 이동 속도를 제어함으로써, 기판에 도포되는 도포액의 도포 방향을 임의로 제어할 수 있다. 이와 같이 간이한 구성 및 간이한 제어로, 기판에 대하여 임의의 각도로 도포액을 도포할 수 있다. 또한, 유지부에 유지된 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 도포액을 받아내기 때문에, 유지부에 도포액이 떨어져 부착되는 것을 억제할 수 있어, 종래와 같이 1장마다 유지부를 세정할 필요가 없다. 따라서, 기판에 도포액을 적절하고 또한 효율적으로 도포할 수 있다.

다른 관점에 의한 본 발명의 일양태는, 기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법에 있어서, 기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어, 기판에 상기 도포액을 도포한다.

다른 관점에 의한 본 발명의 일양태는, 상기 도포 처리 방법을 도포 처리 장치에 의해 실행시키도록, 상기 도포 처리 장치를 제어하는 제어부의 컴퓨터 상에서 동작하는 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체이다.

본 발명의 일양태에 의하면, 광학 재료를 포함하는 도포액을, 기판에 대하여 임의의 각도로 적절하고 또한 효율적으로 도포할 수 있다.

도 1은 제1 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 2는 제1 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 3은 제1 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 4는 제1 실시형태에 관한 도포 노즐의 구성의 개략을 나타내는 사시도이다.
도 5는 제1 실시형태에 관한 액받침부로 도포액을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 6은 제1 실시형태에 관한 액받침부의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 7은 제1 실시형태에서 직선 편광막을 형성할 때에, 유리 기판과 도포 노즐의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 8은 제1 실시형태에서 λ/4 파장막을 형성할 때에, 유리 기판과 도포 노즐의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 9는 제2 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 10은 제2 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 11은 제2 실시형태에 관한 액받침부로 도포액을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 12는 제3 실시형태에 관한 액받침부로 도포액을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 13은 제4 실시형태에 관한 액받침부로 도포액을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 14는 제5 실시형태에 관한 액받침부로 도포액을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 15는 제6 실시형태에 관한 액받침부로 도포액을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 16은 제7 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 17은 제8 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 18은 제8 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 19는 제9 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 20은 제10 실시형태에 관한 도포 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 평면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 관해 도면을 참조하면서 설명한다. 또, 본 명세서 및 도면에서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 요소에서는 동일한 부호를 붙이는 것에 의해 중복 설명을 생략한다.

<광학막 형성>

본 실시형태에서는, OLED에 이용되는 원편광판을 제작하는 경우에 있어서, 광학막인 직선 편광막(직선 편광판)과 λ/4 파장막(λ/4 파장판)을, 그 편광축이 45도로 교차하도록 유리 기판에 형성한다.

직선 편광막과 λ/4 파장막을 형성할 때에는 각각, 도포 처리, 감압 건조 처리, 가열처리, 막정착 처리, 막제거 처리가 순차적으로 행해진다.

우선, 유리 기판에 직선 편광막을 형성한다. 직선 편광막에 대한 도포 처리에서는, 유리 기판의 전면에 도포액(편광막용 도포액)을 도포한다. 이 때, 도포액에 한 방향의 전단 응력을 가함으로써 분자를 한 방향으로 배향시킨다. 그 후, 감압 건조 처리에서는, 직선 편광막을 감압 건조시킴으로써, 막 중의 용매가 제거되고, 막 중의 분자의 배향 상태가 적절하게 유지된다. 그 후, 가열 처리에서는, 직선 편광막을 소정의 온도로 함으로써, 막 중에 잔존하는 용매를 완전히 제거한다. 그 후, 막정착 처리에서는, 유리 기판의 화소 영역에 정착재를 도포함으로써, 직선 편광막을 불활성화(불용화)하고, 불활성화된 직선 편광막을 유리 기판에 정착시킨다. 그 후, 막제거 처리에서는, 유리 기판에 세정액을 공급함으로써, 막정착 처리에서 정착되지 않은 직선 편광막을 선택적으로 제거한다.

유리 기판에 직선 편광막이 형성되면, 다음으로, 유리 기판에 λ/4 파장막을 더 형성한다. λ/4 파장막에 대한 도포 처리에서는, 유리 기판의 전면에 도포액(파장막용 도포액)을 도포한다. 이 때, 도포액에 대하여, 직선 편광막에서의 한 방향으로부터 45도 기울어진 방향(경사 45도 방향)의 전단 응력을 가함으로써, 분자를 비스듬히 45도 방향으로 배향시킨다. 또, 그 후의 감압 건조 처리, 가열 처리, 막정착 처리, 막제거 처리는 각각, 직선 편광막을 형성할 때의 각 처리와 동일하다.

이렇게 하여 직선 편광막과 λ/4 파장막이, 그 편광축이 45도로 교차하도록 유리 기판에 형성된다. 이하의 설명에서는, 유리 기판에 대하여 임의의 각도로 도포액을 도포하는 도포 처리 장치 및 도포 처리 방법에 관해 설명한다.

<제1 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 1은, 제1 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 평면도이다. 도 2 및 도 3은, 제1 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다. 또, 이하에 나타내는 도면에서는, 위치 관계를 명확하게 하기 위해, 서로 직교하는 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향을 규정하고, Z축 정방향을 수직 상향 방향으로 한다.

도포 처리 장치(1)는, 유리 기판(G)을 유지하는 유지부로서의 스테이지(10)와, 유리 기판(G)에 도포액을 토출하는 도포 노즐(20)과, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액을 받아내는 액받침부(30)를 갖고 있다.

스테이지(10)는, 유리 기판(G)에 도포액이 도포되는 표면이 상측을 향하도록 그 이면을 흡착 유지한다. 스테이지(10)는, 평면시에서 유리 기판(G)보다 작은 형상, 또는 유리 기판(G)과 동일한 형상을 갖고 있다. 스테이지(10)는, 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 스테이지(10)의 이동 범위는 적어도 유리 기판(G)의 Y축 방향으로 2장분의 길이 이상이며, 스테이지(10)가 Y축 방향 부방향의 단부에 위치하고 있는 경우의 유리 기판(G)(도 1 중의 실선, 기판 위치 A1)과, 스테이지(10)가 Y축 방향 정방향의 단부에 위치하고 있는 경우의 유리 기판(G)(도 1 중의 점선, 기판 위치 A2)이, 평면시에서 중복되지 않는다.

도포 노즐(20)은, 스테이지(10)의 상측에 설치되어, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)에 도포액을 토출한다. 도포 노즐(20)은, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 이동 방향(Y축 방향)과 직교하는 방향(X축 방향)으로 연신된 장척형의 슬릿 노즐이다. 도 4에 나타낸 바와 같이 도포 노즐(20)의 하단부면에는, 유리 기판(G)에 도포액을 토출하는 토출구(21)가 형성되어 있다. 토출구(21)는, 도포 노즐(20)의 길이 방향(X축 방향)을 따라, 유리 기판(G)의 X축 방향의 길이보다 길게 연신된 슬릿형의 토출구이다.

도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이 도포 노즐(20)은, X축 방향으로 연신된 지지 들보(22)에 지지되고 있다. 그리고, 도포 노즐(20)은, 이동 기구(도시하지 않음)에 의해, 지지 들보(22)를 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 도포 노즐(20)은, 유리 기판(G)의 X축 방향 부방향측(도 1 중의 실선, 노즐 위치 B1)과, 유리 기판(G)의 X축 방향 정방향측(도 1 중의 점선, 노즐 위치 B2) 사이를 이동한다. 그리고, 노즐 위치 B1과 노즐 위치 B2 사이의 어느 위치에서도, 도포 노즐(20)은 그 토출구(21)로부터 유리 기판(G)의 X축 방향을 덮도록 도포액을 토출한다.

이와 같이 스테이지(10)와 도포 노즐(20)은 직교 방향으로 이동한다. 그리고, 도포 노즐(20)은, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)에 도포액을 도포할 수 있다. 또한, 스테이지(10)의 이동 속도와 도포 노즐(20)의 이동 속도를 제어함으로써, 유리 기판(G)에 도포되는 도포액의 도포 방향을 임의로 제어할 수 있다.

또, 도포 노즐(20)로부터 토출되는 도포액은, 광학 재료를 포함하는 도포액이다. 구체적으로는, 직선 편광막을 형성하기 위한 편광막용 도포액과, λ/4 파장막을 형성하기 위한 파장막용 도포액이며, 각각 예컨대 광학 재료로서 리오트로픽 액정 화합물이나 서모트로픽 액정 화합물 등 임의의 액정 화합물이 포함된다.

액받침부(30)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 외측의 양측에 설치되어 있다. 각 액받침부(30)는, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액을 권취하는 권취재로서의 롤러(31)와, 롤러(31)에 권취된 도포액을 회수하는 회수조(32)와, 롤러(31) 및 회수조(32)를 지지하는 지지 구조체로서의 지지 프레임(33)을 갖고 있다.

롤러(31)는, X축 방향으로 연신되어 설치되어 있다. 롤러(31)의 유리 기판(G)측의 단부는, 유리 기판(G)에 접촉하지 않도록 상기 유리 기판(G)에 근접하여 위치하고 있다. 롤러(31)의 유리 기판(G)과 반대측의 단부는, 노즐 위치 B1, B2의 각각에 있는 도포 노즐(20)의 외측에 위치하고 있다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이 도포 노즐(20)로부터 유리 기판(G)에 도포액(P)을 토출할 때, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출되는 도포액(P)은, 유리 기판(G)의 이동 방향과 동일한 방향으로 회전하는 롤러(31)에 권취되어 회수된다.

또한, 롤러(31)는, 도포 노즐(20)의 토출구(21)와 소정의 간극을 둔 상태로 도포액(P)을 권취한다. 그렇게 하면, 유리 기판(G)에 도포액(P)을 도포할 때의, 도포 노즐(20)로부터 토출되는 도포액(P)의 비드가 흐트러지지 않는다. 또한, 본 실시형태에서는 롤러(31)는, 롤러(31)의 상면과, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 상면이 동일한 높이가 되도록 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 롤러(31)는 유리 기판(G)의 연장(유사 기판)과 같은 역할을 한다. 이러한 경우, 롤러(31)와 도포 노즐(20)의 간극의 거리와, 유리 기판(G)과 도포 노즐(20)의 간극의 거리가 동일해지고, 이들 간극의 도포액(P)의 상태, 예컨대 도포액(P)의 양이 동일해지기 때문에, 도포 노즐(20)로부터의 도포액(P)의 비드를 더욱 적절하게 안정시킬 수 있다.

또, 롤러(31)와 유리 기판(G) 사이에는 X축 방향으로 약간의 간극이 있지만, 도포액(P)의 표면장력에 의해, 이 간극으로부터 도포액(P)이 떨어지지는 않는다. 또한, 도포액(P)의 점도가 높은 경우, 간극은 넓어도 좋지만, 도포액(P)의 점도가 낮은 경우, 간극은 좁은 쪽이 좋다. 또한, 예컨대 도포 노즐(20)의 X축 방향의 이동을 고려하여, 롤러(31)와 유리 기판(G)의 간극의 크기를, 유리 기판(G)의 좌우(도포 노즐(20)의 이동 방향 양측)에서 상이하도록 해도 좋다.

도 6에 나타낸 바와 같이 회수조(32)은, 롤러(31)의 하측에서 상기 롤러(31)를 덮도록 설치되어 있다. 회수조(32)는 상면이 개구되고, 롤러(31)에 의해 권취된 도포액(P)을 회수하여 일시적으로 저류한다. 또한 이 때, 회수조(32)에서 롤러(31)의 하부는 도포액(P)에 침지되어 있다. 회수조(32)에 일시적으로 저류되어 있는 도포액(P)에 물을 공급하여, 상기 도포액(P)을 물에 녹여도 좋다.

회수조(32)의 저면은 중앙부로 갈수록 하측으로 경사져 있고, 그 중앙부에는 도포액(P)의 배액관(34)이 접속되어 있다. 또한, 회수조(32)의 측면에는, 도포액(P)의 오버플로우를 방지하기 위한 오버플로우관(도시하지 않음)이 접속되어 있다. 그리고, 회수조(32)에 저류된 도포액(P)은, 배액관(34) 및 오버플로우관으로부터 배출된다. 이와 같이 배액관(34)으로부터 배출된 도포액(P)은, 이후에 처리되는 유리 기판(G)에 재이용해도 좋다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 지지 프레임(33)은, 롤러(31)와 회수조(32)를 하측으로부터 지지한다. 이러한 경우, 예컨대 롤러(31)와 회수조(32)의 메인터넌스시에, 상기 롤러(31)와 회수조(32)를 지지 프레임(33)마다 용이하게 교환할 수 있다. 또한, 지지 프레임(33)은 도포 노즐(20)에 간섭하지 않기 때문에, 도포 노즐(20)의 메인터넌스시에 상기 도포 노즐(20)을 용이하게 교환할 수도 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이 이상의 도포 처리 장치(1)에는 제어부(40)가 설치되어 있다. 제어부(40)는, 예컨대 컴퓨터이며, 프로그램 저장부(도시하지 않음)를 갖고 있다. 프로그램 저장부에는, 도포 처리 장치(1)에서의 도포 처리를 제어하는 프로그램이 저장되어 있다. 이 프로그램은, 예컨대 컴퓨터 판독 가능한 하드디스크(HD), 플렉시블디스크(FD), 컴팩트디스크(CD), 마그넷옵티컬데스크(MO), 메모리카드 등의 컴퓨터에 판독 가능한 기억 매체(H)에 기록되어 있던 것이며, 그 기억 매체(H)로부터 제어부(40)에 인스톨된 것이어도 좋다.

다음으로, 이상과 같이 구성된 도포 처리 장치(1)가 행해지는 도포 처리 방법에 관해 설명한다.

우선, 유리 기판(G)에 직선 편광막을 형성한다. 구체적으로는, 도 7에 나타낸 바와 같이 도포 처리 장치(1)에 있어서, 유리 기판(G)의 전면에 도포액(P1)을 도포한다. 이 경우의 도포액(P1)은, 직선 편광막을 형성하기 위한 편광막용 도포액이다. 또한, 도포 처리 장치(1)에서는, 도포 노즐(20)을 노즐 위치 B1로부터 이동시키지 않고, 유리 기판(G)을 기판 위치 A1로부터 기판 위치 A2로 이동시킨다. 또, 도포 노즐(20)의 위치는 노즐 위치 B1에 한정되지 않고, 노즐 위치 B1과 노즐 위치 B2 사이의 임의의 위치이어도 좋다.

도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기판 위치 A1에서 유리 기판(G)이 스테이지(10)에 유지된다. 계속해서, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이 도포 노즐(20)로부터 도포액(P1)을 토출하면서, 유리 기판(G)을 Y축 방향 정방향으로 이동시켜, 유리 기판(G)에 도포액(P1)이 도포된다. 그리고, 도 7의 (c)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(G)이 기판 위치 A2까지 이동하여, 유리 기판(G)의 전면에 도포액(P1)이 도포된다.

이 때, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출되는 도포액(P1), 즉 유리 기판(G)의 외측에 토출되는 도포액(P1)은, 롤러(31)에 권취되어 회수된다. 따라서, 도포액(P1)이 하측으로 떨어지지 않는다.

또한 이 때, 도포액(P1)은 전단 응력(도 7 중의 블록 화살표)이 가해지면서 도포된다. 도포 노즐(20)은 이동하지 않고, 유리 기판(G)이 Y축 방향 정방향으로 이동하기 때문에, 전단 응력은 Y축 방향 정방향으로 가해진다.

또한, 전단 응력(shear rates)은, 도포 속도(유리 기판(G)에 대한 도포 노즐(20)의 이동 속도)를, 유리 기판(G)과 도포 노즐(20)의 토출구(21)의 거리(갭)로 나눈 값이다. 도포 노즐(20)에는 슬릿 노즐이 이용되기 때문에, 도포 노즐(20)은, 유리 기판(G)을 손상시키지 않고, 상기 유리 기판(G)에 충분히 근접할 수 있다. 이 때문에, 갭을 작게 할 수 있다. 그렇게 하면, 도포 노즐(20)의 이동 속도를 제어함으로써, 도포액(P1)에 충분한 전단 응력을 가할 수 있다. 또한 그 결과, 도포액(P1) 중의 분자를 한 방향(Y축 방향)으로 배향시킬 수 있다.

또, 도포 노즐(20)에는, 슬릿 노즐 이외의 다른 노즐을 이용할 수도 있지만, 전술한 바와 같이 갭을 가능한 한 작게 할 수 있다는 관점에서는, 슬릿 노즐이 적합하다. 또한, 유리 기판(G)에 도포되는 도포액(P1)의 막두께는 작고, 이러한 관점에서도 슬릿 노즐이 적합하다.

다음으로, 유리 기판(G)에 λ/4 파장막을 형성한다. 구체적으로는, 도 8에 나타낸 바와 같이 도포 처리 장치(1)에 있어서, 유리 기판(G)의 전면에 도포액(P2)을 도포한다. 이 경우의 도포액(P2)은, λ/4 파장막을 형성하기 위한 파장막용 도포이다. 또한, 도포 처리 장치(1)에서는, 유리 기판(G)을 기판 위치 A1로부터 기판 위치 A2로 이동시킴과 더불어, 도포 노즐(20)을 노즐 위치 B1로부터 노즐 위치 B2로 이동시킨다. 이 때, 유리 기판(G)의 이동 속도와 도포 노즐(20)의 이동 속도는 동일하다.

도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기판 위치 A1에서 유리 기판(G)이 스테이지(10)에 유지된다. 계속해서, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(G)을 Y축 방향 정방향으로 이동시킴과 더불어, 도포 노즐(20)로부터 도포액(P2)을 토출하면서 도포 노즐(20)을 X축 방향 정방향으로 이동시켜, 유리 기판(G)에 도포액(P2)이 도포된다. 그리고, 도 8의 (c)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(G)이 기판 위치 A2까지 이동하고, 또한 도포 노즐(20)이 노즐 위치 B2까지 이동하여, 유리 기판(G)의 전면에 도포액(P2)이 도포된다.

이 때, 도포 노즐(20)이 노즐 위치 B1과 노즐 위치 B2 사이에서 이동하더라도, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출되는 도포액(P2), 즉 유리 기판(G)의 외측에 토출되는 도포액(P2)은, 롤러(31)에 권취되어 회수된다. 따라서, 도포액(P1)이 하측으로 떨어지지 않는다.

또한, 이 때, 도포액(P2)은 전단 응력(도 8 중의 블록 화살표)이 가해지면서 도포된다. 즉, 유리 기판(G)의 이동 속도와 도포 노즐(20)의 이동 속도가 동일하기 때문에, 전단 응력은 Y축 방향 정방향 및 X축 방향 정방향으로 비스듬히 45도 방향으로 가해진다.

또한, 유리 기판(G)의 이동 속도와 도포 노즐(20)의 이동 속도를 제어함으로써, 도포액(P2)에 충분한 전단 응력을 가할 수 있다. 그 결과, 도포액(P2) 중의 분자를 한 방향(경사 45도 방향)으로 배향시킬 수 있다.

이상의 실시형태에 의하면, 도포 처리 장치(1)에 있어서, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)과 도포 노즐(20)이 각각 직교 방향으로 이동하기 때문에, 이들 유리 기판(G)의 이동 속도와 도포 노즐(20)의 이동 속도를 제어함으로써, 유리 기판(G)에 도포되는 도포액의 도포 방향을 제어할 수 있다. 이와 같이 간이한 구성 및 간이한 제어로, 유리 기판(G)에 대하여 임의의 각도로 도포액을 도포할 수 있다. 그리고, 도포액(P1)의 도포 방향과 도포액(P2)의 도포 방향을 45도로 교차시키고, 직선 편광막과 λ/4 파장막을, 그 편광축이 45도로 교차하도록 형성할 수 있다.

또한, 유리 기판(G)의 외측의 양측에서 액받침부(30)(롤러(31))로 도포액(P)을 권취하여 회수하기 때문에, 도포액(P)이 떨어지는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 스테이지(10)에 도포액(P)이 떨어져 부착되는 것을 억제할 수 있고, 종래와 같이 1장마다 스테이지(10)를 세정할 필요가 없다. 또한, 회수조(32)에서 회수된 도포액(P)이 재이용되는 경우에는, 도포액(P)의 사용량을 억제하는 것도 가능해진다.

<제2 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 9 및 도 10은, 제2 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.

제2 실시형태와 제1 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하다. 즉, 제2 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 제1 실시형태의 액받침부(30) 대신에 액받침부(100)가 설치되어 있다.

액받침부(100)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 외측의 양측에 설치되어 있다. 각 액받침부(100)는, 도포 노즐(20)의 단부의 토출구를 밀봉하는 밀봉재로서의 디켈(101)과, 디켈(101)을 하측으로부터 지지하는 지지 구조체로서의 지지 프레임(102)을 갖고 있다.

디켈(101)은 X축 방향으로 연신되어 설치되어 있다. 디켈(101)의 유리 기판(G)측의 단부는, 유리 기판(G)에 접촉하지 않도록 상기 유리 기판(G)에 근접하여 위치하고 있다. 디켈(101)의 유리 기판(G)과 반대측의 단부는, 노즐 위치 B1, B2의 각각에 있는 도포 노즐(20)의 외측에 위치하고 있다. 그리고, 도 11에 나타낸 바와 같이 디켈(101)이 도포 노즐(20)의 단부에 밀착함으로써, 상기 도포 노즐(20)(토출구(21))의 단부가 밀봉된다. 그 결과, 도포 노즐(20)의 단부에서의 도포액(P)도 밀봉되어 토출되지 않는다.

또, 디켈(101)의 단면 형상은, 도포 노즐(20)의 단부에 밀착하여 밀봉할 수 있는 것이라면 한정되지 않는다. 본 실시형태에서 도시한 예와 같이 상면이 평탄한 직사각형이어도 좋고, 혹은 예컨대 일본 특허 공개 제2013-165137호 공보에 기재된 V자형이어도 좋다. 또한, 디켈(101)에는, 도포 노즐(20)과 밀착했을 때에 파티클의 발생이 억제되는 재료, 예컨대 실리콘 고무나 불소 고무를 이용하는 것이 바람직하다.

본 실시형태에서도, 제1 실시형태와 동일한 효과를 누릴 수 있다. 더구나, 디켈(101)이 도포 노즐(20)의 단부가 밀봉되어, 도포 노즐(20)의 단부로부터 도포액(P)이 토출되지 않기 때문에, 도포액(P)의 사용량을 억제하는 것도 가능해진다. 또한, 디켈(101)은 도포 노즐(20)에 밀착되기 때문에, 토출구(21)에 부착되는 도포액(P)을 닦아낼 수 있어, 토출구(21)를 항상 청정하게 유지할 수 있다.

<제3 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 12는, 제3 실시형태에 관한 액받침부(110)로 도포액(P)을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.

제3 실시형태와 제1 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하다. 즉, 제3 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 제1 실시형태의 액받침부(30) 대신에 액받침부(110)가 설치되어 있다.

액받침부(110)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 외측의 양측에 설치되어 있다. 각 액받침부(110)는, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 회수하는 회수 용기로서의 팬(111)과, 팬(111)을 하측으로부터 지지하는 지지 구조체로서의 지지 프레임(도시하지 않음)을 갖고 있다. 또, 지지 프레임의 구성은, 예컨대 제1 실시형태의 지지 프레임(33)의 구성과 동일하다.

팬(111)은, X축 방향으로 연신되어 설치되어 있다. 팬(111)의 유리 기판(G)측의 단부는, 유리 기판(G)에 접촉하지 않도록 상기 유리 기판(G)에 근접하여 위치하고 있다. 팬(111)의 유리 기판(G)과 반대측의 단부는, 노즐 위치 B1, B2의 각각에 있는 도포 노즐(20)의 외측에 위치하고 있다. 또한, 팬(111)은 상면이 개구되고, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 회수하여 일시적으로 저류한다. 그리고, 팬(111)에 저류된 도포액(P)은, 팬(111)에 접속된 배액관(도시하지 않음)으로부터 배출된다.

본 실시형태에서도, 제1 실시형태와 동일한 효과를 누릴 수 있다. 단, 본 실시형태의 팬(111)은, 제1 실시형태의 회수조(32)와 달리 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 직접 회수한다.

<제4 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제4 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 13은, 제4 실시형태에 관한 액받침부(120)로 도포액(P)을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.

제4 실시형태와 제1 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하다. 즉, 제4 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 제1 실시형태의 액받침부(30) 대신에 액받침부(120)가 설치되어 있다.

액받침부(120)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 외측의 양측에 설치되어 있다. 각 액받침부(120)는, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 흡수하는 흡수재(121)와, 흡수재(121)를 하측으로부터 지지하는 지지 구조체로서의 지지 프레임(도시하지 않음)을 갖고 있다. 또, 지지 프레임의 구성은, 예컨대 제1 실시형태의 지지 프레임(33)의 구성과 동일하다.

흡수재(121)는, X축 방향으로 연신되어 설치되어 있다. 흡수재(121)의 유리 기판(G)측의 단부는, 유리 기판(G)에 접촉하지 않도록 상기 유리 기판(G)에 근접하여 위치하고 있다. 흡수재(121)의 유리 기판(G)과 반대측의 단부는, 노즐 위치 B1, B2의 각각에 있는 도포 노즐(20)의 외측에 위치하고 있다. 그리고, 흡수재(121)가 도포 노즐(20)의 단부와 소정의 간극을 두고 배치된 상태로, 상기 도포 노즐(20)(토출구(21))의 단부로부터 토출되는 도포액(P)이 흡수재(121)에 흡수된다. 또한, 흡수재(121)에 의해 흡수된 도포액(P)은, 회수 기구(도시하지 않음)에 의해 회수된다. 또, 흡수재(121)를 도포 노즐(20)의 단부에 밀착시켜도 좋다.

또, 흡수재(121)에는, 도포액(P)을 흡수할 수 있는 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예컨대 복수의 구멍이 형성된 다공질체가 이용된다. 또한, 흡수재(121)에는, 도포 노즐(20)과 밀착했을 때에 파티클의 발생이 억제되는 재료, 예컨대 폴리에틸렌을 이용하는 것이 바람직하다.

본 실시형태에서도 제1 실시형태와 동일한 효과를 누릴 수 있다.

<제5 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제5 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 14는, 제5 실시형태에 관한 액받침부(130)로 도포액(P)을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.

제5 실시형태와 제1 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하다. 즉, 제5 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 제1 실시형태의 액받침부(30) 대신에 액받침부(130)가 설치되어 있다.

액받침부(130)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 외측의 양측에 설치되어 있다. 각 액받침부(130)는, 권취재로서의 롤러(131a)와 밀봉재로서의 디켈(131b)이 일체로 접속된 복합재(131)와, 복합재(131)를 하측으로부터 지지하는 지지 구조체로서의 지지 프레임(도시하지 않음)을 갖고 있다. 또, 지지 프레임의 구성은, 예컨대 제1 실시형태의 지지 프레임(33)의 구성과 동일하다.

복합재(131) 중, 롤러(131a)는 X축 방향에서 유리 기판(G)에 가까운 쪽에 설치되고, 롤러(131a)의 유리 기판(G)측의 단부는, 유리 기판(G)에 접촉하지 않도록 상기 유리 기판(G)에 근접하여 위치하고 있다. 롤러(131a)는 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 권취한다. 이 롤러(131a)의 구성은 제1 실시형태의 롤러(31)의 구성과 동일하다. 또한, 롤러(131a)의 하측에는, 제1 실시형태의 회수조(32)와 동일하게, 롤러(131a)에 권취된 도포액(P)을 회수하는 회수조(도시하지 않음)가 설치되어 있다.

복합재(131) 중, 디켈(131b)은 X축 방향에서 유리 기판(G)에 먼 쪽에 설치되고, 디켈(131b)의 유리 기판(G)과 반대측의 단부는, 노즐 위치 B1, B2의 각각에 있는 도포 노즐(20)의 외측에 위치하고 있다. 디켈(131b)은, 도포 노즐(20)(토출구(21))의 단부를 밀봉한다. 이 디켈(131b)의 구성은 제2 실시형태의 디켈(101)의 구성과 동일하다.

본 실시형태에서는, 제1 실시형태의 효과와 제2 실시형태의 효과를 모두 누릴 수 있다. 즉, 롤러(131a)와 디켈(131b)에 의해, 유리 기판(G)의 외측에 도포액(P)이 떨어지는 것을 억제할 수 있다. 또한, 롤러(131a)에 의해, 도포 노즐(20)로부터의 도포액(P)의 비드를 더욱 적절하게 안정시킬 수 있다. 또한, 디켈(131b)에 의해 도포액(P)의 사용량을 억제하는 것도 가능해진다.

<제6 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제6 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 15는, 제6 실시형태에 관한 액받침부(140)로 도포액(P)을 받아내는 모습을 나타내는 설명도이다.

제6 실시형태와 제1 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하다. 즉, 제6 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 제1 실시형태의 액받침부(30) 대신에 액받침부(140)가 설치되어 있다.

액받침부(140)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 외측의 양측에 설치되어 있다. 각 액받침부(140)는, Y축 방향으로 연신된 한쌍의 롤러(141, 141)와, 한쌍의 롤러(141, 141)에 감긴 벨트(142)와, 롤러(141) 및 벨트(142)를 하측으로부터 지지하는 지지 구조체로서의 지지 프레임(도시하지 않음)을 갖고 있다. 또, 지지 프레임의 구성은, 예컨대 제1 실시형태의 지지 프레임(33)의 구성과 동일하다.

벨트(142)의 유리 기판(G)측의 단부는, 유리 기판(G)에 접촉하지 않도록 상기 유리 기판(G)에 근접하여 위치하고 있다. 벨트(142)의 유리 기판(G)과 반대측의 단부는, 노즐 위치 B1, B2의 각각에 있는 도포 노즐(20)의 외측에 위치하고 있다. 그리고, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)은 벨트(142)에 권취되어 회수된다. 또한, 벨트(142)에 권취된 도포액(P)은 회수조(도시하지 않음)에 의해 회수된다.

<제7 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제7 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 16은, 제7 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.

제7 실시형태와 상기 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하다. 즉, 제7 실시형태의 도포 처리 장치(1)에는, 제1 실시형태에서의 액받침부(30)와 제2 실시형태에서의 액받침부(100)가 설치되어 있다. 액받침부(30)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 부방향측에 설치되고, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 권취하여 회수한다. 액받침부(100)는, 유리 기판(G)의 X축 방향 정방향측에 설치되고, 도포 노즐(20)(토출구(21))의 단부를 밀봉한다.

본 실시형태에서는, 제1 실시형태의 효과와 제2 실시형태의 효과를 모두 누릴 수 있다. 즉, 액받침부(30)의 롤러(31)와 액받침부(110)의 디켈(101)에 의해, 유리 기판(G)의 외측에 도포액(P)이 떨어지는 것을 억제할 수 있다. 또한, 롤러(31)에 의해, 도포 노즐(20)로부터의 도포액(P)의 비드를 더욱 적절하게 안정시킬 수 있다. 또한, 디켈(101)에 의해 도포액(P)의 사용량을 억제하는 것도 가능해진다.

또한, 액받침부(30)과 액받침부(100)에 있어서, 롤러(31) 및 회수조(32)는 지지 프레임(33)에 지지되고, 디켈(101)은 지지 프레임(102)에 지지되고 있기 때문에, 이들 액받침부(30)와 액받침부(100)의 교환도 용이하게 행할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 액받침부(30)와 액받침부(110)를 조합하여 이용했지만, 상기 실시형태의 액받침부(30, 110, 120, 130, 140)를 임의로 조합해도 좋다. 또한, 각 액받침부(30, 110, 120, 130, 140)가 지지 프레임을 갖는 경우, 이들의 조합도 용이하게 변경할 수 있다.

<제8 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제8 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 17 및 도 18은, 제8 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 측면도이다.

제8 실시형태와 상기 실시형태에서는, 도포 처리 장치(1)에서의 액받침부의 구성이 상이하고, 보다 구체적으로는, 유리 기판(G)의 단부로부터 토출되는 도포액(P)을 받아내는 부재(예컨대 롤러(31)나 디켈(101) 등)를 지지하는 구성이 상이하다. 제8 실시형태의 도포 처리 장치(1)에는 액받침부(150, 160)가 설치되어 있다.

액받침부(150)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 부방향측에 설치되어 있다. 액받침부(150)는, 도포 노즐(20)의 단부로부터 토출된 도포액(P)을 권취하는 롤러(151)와, 롤러(151)에 권취된 도포액(P)을 회수하는 회수조(152)와, 롤러(151) 및 회수조(152)를 지지하는 지지 브래킷(153)을 갖고 있다. 롤러(151)와 회수조(152)는 각각, 제1 실시형태의 롤러(31)와 회수조(32)와 동일한 구성을 갖고 있다. 또한, 롤러(151)와 회수조(152)는, 지지 브래킷(153)을 통해 지지 들보(22)에 현수되어 지지되고 있다.

액받침부(160)는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)의 X축 방향 정방향측에 설치되어 있다. 액받침부(160)는, 도포 노즐(20)의 단부의 토출구를 밀봉하는 디켈(161)과, 디켈(161)을 지지하는 지지 브래킷(162)을 갖고 있다. 디켈(161)은 제2 실시형태의 디켈(101)과 동일한 구성을 갖고 있다. 또한, 디켈(161)은, 지지 브래킷(162)을 통해 지지 들보(22)에 현수되어 지지되고 있다.

본 실시형태에서는, 제1 실시형태의 효과와 제2 실시형태의 효과를 모두 누릴 수 있다. 또한, 액받침부(150)에서 롤러(151)와 회수조(152)는 지지 브래킷(153)을 통해 지지 들보(22)에 현수되어 지지되고 있기 때문에, 상기 롤러(151)와 회수조(152)의 하측에 스페이스(S)가 형성된다. 이 스페이스(S)에 의해, 롤러(151)와 회수조(152)의 메인터넌스를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 액받침부(160)에서 디켈(161)의 하측에도 스페이스(S)가 형성되기 때문에, 디켈(161)의 메인터넌스를 용이하게 행할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 제1 실시형태의 롤러(31)와 동일한 롤러(151)와, 제2 실시형태의 디켈(101)과 동일한 디켈(161)을 조합하여 이용했지만, 조합은 임의이다. 예컨대 제3 실시형태의 팬(111), 제4 실시형태의 흡수재(121), 제5 실시형태의 복합재(131), 제6 실시형태의 롤러(141) 및 벨트(142) 등을 이용해도 좋다.

<제9 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제9 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 19는, 제9 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 평면도이다.

제9 실시형태의 도포 처리 장치(1)는, 상기 실시형태의 도포 처리 장치(1)에 있어서, 유리 기판(G)의 단부의 도포액(P)을 제거하는 단부 제거부(170)를 더 갖고 있다. 단부 제거부(170)는, 기판 위치 A2에서 유리 기판(G)의 X축 방향 양측에 설치되어 있다.

단부 제거부(170)는, 도포액(P)의 용제를 공급하는 용제 노즐(도시하지 않음)을 갖고 있다. 그리고, 유리 기판(G)의 X축 방향의 단부에 도포된 도포액(P)에 용제를 공급하여 상기 도포액(P)을 제거한다. 또, 단부 제거부(170)에는 공지의 구성을 이용할 수 있고, 예컨대 일본 특허 공개 제2013-58567호 공보에 기재된 용제 공급부를 이용할 수 있다.

여기서, 유리 기판(G)에 형성되는 광학막의 종류에 따라서는, 유리 기판(G)의 단부에 광학막이 불필요한 경우가 있다. 이러한 점에서, 본 실시형태에서는, 도포 노즐(20)에 의해 유리 기판(G)의 전면에 도포액(P)이 도포된 후, 단부 제거부(170)에 의해 유리 기판(G)의 단부의 도포액(P)을 제거할 수 있다.

또한, 유리 기판(G)의 전면에 도포액(P)을 도포하는 경우, 예컨대 유리 기판(G)의 단부에서의 도포액(P)의 막두께가, 단부 이외의 부분에서의 도포액(P)의 막두께와 달리, 기판면 내에서 막두께가 불균일해지는 경우가 있다. 이러한 경우에 대하여, 본 실시형태의 단부 제거부(170)를 이용하여 유리 기판(G)의 단부에서의 도포액(P)을 원하는 막두께만큼 제거함으로써, 상기 도포액(P)의 막두께를 조절하여 기판면 내에서 막두께를 균일하게 할 수도 있다. 또, 기판면 내에서 막두께를 균일하게 할 때에는, 유리 기판(G)의 단부를 온도 조절해도 좋다.

<제10 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제10 실시형태에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다. 도 20은, 제10 실시형태에 관한 도포 처리 장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 평면도이다.

제10 실시형태의 도포 처리 장치(1)는, 상기 실시형태의 도포 처리 장치(1)에 있어서, 프라이밍 롤러(180)를 더 갖고 있다. 프라이밍 롤러(180)는, 스테이지(10)의 Y축 방향 정방향측의 선단에 설치되어 있다.

프라이밍 롤러(180)는, 도포 노즐(20)로부터 유리 기판(G)에 도포액(P)을 토출하기 전에, 도포 노즐(20)의 선단부에 부착된 도포액(P)을 균일화하는 프라이밍 처리를 행한다. 구체적으로는, 프라이밍 롤러(180)의 바로 위에 도포 노즐(20)의 토출구(21)를 대치시켜, 토출구(21)로부터 프라이밍 롤러(180)에 대하여 도포액(P)을 토출한다. 그리고, 프라이밍 롤러(180)를 회전시켜 도포액(P)을 권취함으로써, 토출구(21)에서의 도포액(P)의 부착 상태가 갖춰지고, 토출구(21)에서의 도포액(P)의 토출 상태를 안정화시킬 수 있다.

<제11 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제11 실시형태(다른 실시형태)에 관한 도포 처리 장치에 관해 설명한다.

상기 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 유리 기판(G)을 유지한 스테이지(10)를 Y축 방향으로 이동시킴으로써 유리 기판(G)을 이동시켰지만, 유리 기판(G)의 이동 방식은 이것에 한정되지 않는다. 예컨대 일본 특허 공개 제2012-204500호 공보에 기재되어 있는 바와 같이, 소위 부상 반송 방식으로 유리 기판(G)을 이동시켜도 좋다. 구체적으로는, 예컨대 기판 위치 A1로부터 기판 위치 A2까지 Y축 방향으로 연신된 부상 스테이지(도시하지 않음)를 설치하고, 부상 스테이지의 상면으로부터 수직 상방으로 고압의 기체(통상은 에어)를 분출하여, 그 고압 에어의 압력에 의해 기판을 수평 자세로 띄운다.

그리고, 부상 스테이지 상에서 유리 기판(G)을 공중에 뜨게 한 상태로, 상기 유리 기판(G)을 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 실시형태의 도포 처리 장치(1)에서는, 스테이지(10)에 유지된 유리 기판(G)을 Y축 방향으로 이동시키고, 도포 노즐(20)을 X축 방향으로 이동시켰지만, 유리 기판(G)과 도포 노즐(20)을 상대적으로 직교 방향으로 이동시키면 된다. 예컨대 유리 기판(G)이 Y축 방향 및 X축 방향으로 이동해도 좋고, 혹은 도포 노즐(20)이 Y축 방향 및 X축 방향으로 이동해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는, OLED에 이용되는 원편광판을 제작하는 경우에 있어서, 유리 기판에 광학막으로서 직선 편광막(직선 편광판)과 λ/4 파장막(λ/4 파장판)을 형성하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 그 외에도 적용할 수 있다. 예컨대 LCD에 이용되는 편광판이나 파장판에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 파장판도 λ/4 파장막에 한정되지 않고, 예컨대 λ/2 파장막 등의 다른 파장판에도 본 발명을 적용할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 관해 설명했지만, 본 발명은 이러한 예에 한정되지 않는다. 당업자라면, 청구범위에 기재된 기술적 사상의 범주 내에서 각종 변경예 또는 수정예에 이를 수 있는 것은 분명하며, 이들에 관해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 양해된다.

1 : 도포 처리 장치
10 : 스테이지
20 : 도포 노즐
21 : 토출구
22 : 지지 들보
30, 100, 110, 120, 130, 140, 150, 160 : 액받침부
31 : 롤러
32 : 회수조
33 : 지지 프레임
40 : 제어부
101 : 디켈
102 : 지지 프레임
111 : 팬
121 : 흡수재
131 : 복합재
131a : 롤러
131b : 디켈
141 : 롤러
142 : 벨트
151 : 롤러
152 : 회수조
153 : 지지 브래킷
161 : 디켈
162 : 지지 브래킷
170 : 단부 제거부
180 : 프라이밍 롤러
G : 유리 기판
P(P1, P2) : 도포액

Claims

기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 장치에 있어서,
기판을 유지하는 유지부와,
상기 유지부에 유지된 기판에 상기 도포액을 토출하는 도포 노즐과,
상기 유지부와 상기 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 유지부에 유지된 기판의 평면시(平面視) 외측의 양측에 설치되고, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 받아내는 액받침부와,
제어부를 포함하고,
상기 제어부는 상기 유지부와 상기 도포 노즐의 상대적인 이동 속도를 제어하여, 상기 도포액에 전단 응력을 가하고, 상기 도포액 중의 분자를 한 방향으로 배향시키도록, 상기 유지부, 상기 도포 노즐 및 상기 이동 기구를 제어하는,
도포 처리 장치.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 장치에 있어서,
기판을 유지하는 유지부와,
상기 유지부에 유지된 기판에 상기 도포액을 토출하는 도포 노즐과,
상기 유지부와 상기 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 유지부에 유지된 기판의 평면시(平面視) 외측의 양측에 설치되고, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 받아내는 액받침부
를 포함하고,
상기 액받침부는, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 권취하는 권취재를 갖고, 상기 권취재는 상기 유지부의 이동 방향에 직교하는 방향으로 연신되고, 상기 유지부의 이동 방향과 같은 방향으로 회전하는 롤러인,
도포 처리 장치.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 장치에 있어서,
기판을 유지하는 유지부와,
상기 유지부에 유지된 기판에 상기 도포액을 토출하는 도포 노즐과,
상기 유지부와 상기 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 유지부에 유지된 기판의 평면시(平面視) 외측의 양측에 설치되고, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 받아내는 액받침부
를 포함하고,
상기 액받침부는, 상기 유지부의 이동 방향으로 연신된 한쌍의 롤러와, 상기 한쌍의 롤러에 감긴 벨트를 갖는 것인,
도포 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 액받침부는, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 권취하는 권취재를 갖는 것인, 도포 처리 장치.
제2항 또는 제4항에 있어서, 상기 액받침부는, 상기 권취재의 하측에 설치되고, 상기 권취재에 권취된 상기 도포액을 회수하는 회수조를 더 갖는 것인, 도포 처리 장치.
제2항 또는 제4항에 있어서, 상기 유지부에 유지된 기판의 상면과, 상기 권취재의 상면은 동일한 높이인 것인, 도포 처리 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액받침부는, 지지 구조체에 의해 하측으로부터 지지되고 있는 것인, 도포 처리 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액받침부는, 상기 도포 노즐을 지지하는 지지 들보에 현수되어 지지되고 있는 것인, 도포 처리 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액이 도포된 기판에 대하여, 상기 기판의 단부의 상기 도포액을 제거하는 단부 제거부를 더 갖는, 도포 처리 장치.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법에 있어서,
기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어 기판에 상기 도포액을 도포하고,
상기 유지부와 상기 도포 노즐의 상대적인 이동 속도가, 상기 도포액에 전단 응력을 가하고, 상기 도포액 중의 분자를 한 방향으로 배향시키도록, 상기 유지부, 상기 도포 노즐 및 이동 기구를 제어하는, 도포 처리 방법.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법에 있어서,
기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어 기판에 상기 도포액을 도포하고,
상기 액받침부는, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 권취하는 권취재를 갖고, 상기 권취재는 상기 유지부의 이동 방향에 직교하는 방향으로 연신되고, 상기 유지부의 이동 방향과 같은 방향으로 회전하는 롤러인, 도포 처리 방법.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법에 있어서,
기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어 기판에 상기 도포액을 도포하고,
상기 액받침부는, 상기 유지부의 이동 방향으로 연신된 한쌍의 롤러와, 상기 한쌍의 롤러에 감긴 벨트를 갖는 것인, 도포 처리 방법.
제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액받침부는, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 회수하는 것인, 도포 처리 방법.
제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 기판에 상기 도포액을 도포한 후, 상기 기판의 단부의 상기 도포액을 제거하는, 도포 처리 방법.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법을 도포 처리 장치에 의해 실행시키도록, 상기 도포 처리 장치를 제어하는 제어부의 컴퓨터 상에서 동작하는 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 있어서,
상기 도포 처리 방법은, 기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어, 기판에 상기 도포액을 도포하고,
상기 유지부와 상기 도포 노즐의 상대적인 이동 속도가, 상기 도포액에 전단 응력을 가하고, 상기 도포액 중의 분자를 한 방향으로 배향시키도록, 상기 유지부, 상기 도포 노즐 및 이동 기구를 제어하는 것인, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법을 도포 처리 장치에 의해 실행시키도록, 상기 도포 처리 장치를 제어하는 제어부의 컴퓨터 상에서 동작하는 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 있어서,
상기 도포 처리 방법은, 기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어, 기판에 상기 도포액을 도포하고,
상기 액받침부는, 상기 도포 노즐로부터 토출된 상기 도포액을 권취하는 권취재를 갖고, 상기 권취재는 상기 유지부의 이동 방향에 직교하는 방향으로 연신되고, 상기 유지부의 이동 방향과 같은 방향으로 회전하는 롤러인, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
기판에 광학 재료를 포함하는 도포액을 도포하는 도포 처리 방법을 도포 처리 장치에 의해 실행시키도록, 상기 도포 처리 장치를 제어하는 제어부의 컴퓨터 상에서 동작하는 프로그램을 저장한 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 있어서,
상기 도포 처리 방법은, 기판을 유지한 유지부와 도포 노즐을 직교 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 도포 노즐로부터 상기 도포액을 토출하고, 기판의 평면시 외측의 양측에서 액받침부로 상기 도포액을 받아내어, 기판에 상기 도포액을 도포하고,
상기 액받침부는, 상기 유지부의 이동 방향으로 연신된 한쌍의 롤러와, 상기 한쌍의 롤러에 감긴 벨트를 갖는 것인, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.