JP2014066861A - ラビング装置およびそれを用いたラビング方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ラビングローラに付着したゴミを除去することができるラビング装置を提供する。
【解決手段】 ラビング装置1であって、液体2が内部に貯められるラビング槽3と、ラビング槽3の内部を所定の速度で移動する、配向膜6aが形成された基板6が液体2中に浸漬された状態で上面に載置されるラビングステージ5と、ラビング布8が設けられてラビングステージ5の上方に配置されており、基板6が載置されたラビングステージ5を移動させながら、一部を液体2中に浸漬させた状態で回転しつつラビング布8を液体2中で配向膜6aに接触させて配向膜6aをラビングするラビングローラ7と、ラビングローラ7の近傍に配置された、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布8に向かって液体を吹き付けるためのノズル9とを備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】 ラビング装置1であって、液体2が内部に貯められるラビング槽3と、ラビング槽3の内部を所定の速度で移動する、配向膜6aが形成された基板6が液体2中に浸漬された状態で上面に載置されるラビングステージ5と、ラビング布8が設けられてラビングステージ5の上方に配置されており、基板6が載置されたラビングステージ5を移動させながら、一部を液体2中に浸漬させた状態で回転しつつラビング布8を液体2中で配向膜6aに接触させて配向膜6aをラビングするラビングローラ7と、ラビングローラ7の近傍に配置された、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布8に向かって液体を吹き付けるためのノズル9とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、携帯電話、デジタルカメラあるいは携帯型情報端末などの様々な用途に用いられる液晶表示装置の製造プロセスにおいて、配向膜が形成された基板を配向処理するラビング工程で使用するラビング装置およびそれを用いたラビング方法に関する。
液晶表示装置は、液晶分子を均一にかつ所定の方向に配列させるためにラビング処理が行なわれる。このラビング処理は、ラビングローラの外周に設けられたラビング布で基板に形成された配向膜をラビングすることによって行なわれる。このようなラビング方法は、例えば、特許文献1に開示されている。
ラビング処理においては、ラビング中にラビングローラと配向膜とが擦れることによってゴミが発生する。このゴミはラビングローラに付着してラビング中に配向膜に付着する。しかしながら、特許文献1に開示されたラビング方法は、ラビング処理を液体中で行なうのみで、ラビングローラに付着したゴミを除去することは困難であり、配向膜が形成された基板にラビング中にゴミが付着しやすいという問題があった。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ラビング中にラビング布にノズルでもって液体を吹き付けることによって、ラビングローラに付着したゴミを除去することができるラビング装置およびそれを用いたラビング方法を提供することにある。
本発明のラビング装置は、液体が内部に貯められるラビング槽と、該ラビング槽の底部に配置された、該ラビング槽の内部を所定の速度で水平方向に直線状に移動する、配向膜が形成された基板が前記液体中に浸漬された状態で上面に載置されるラビングステージと、外周にラビング布が設けられて前記ラビングステージの上方に配置されており、前記基板が載置された前記ラビングステージを移動させながら、一部を前記液体中に浸漬させた状態で回転しつつ前記ラビング布を前記液体中で前記配向膜に接触させて、前記液体中で前記配向膜をラビングするラビングローラと、該ラビングローラの近傍に配置された、ラビング中に前記ラビングローラの回転によって前記液体中から出てくる前記ラビング布に向かって液体を吹き付けるためのノズルとを備えていることを特徴とするものである。
また、本発明のラビング方法は、本発明のラビング装置を用いて、前記液体が貯められた前記ラビング槽の前記ラビングステージの上面に、配向膜が形成された前記基板を前記液体中に浸漬させた状態で配置するステップと、前記ラビングローラを回転させて、前記ラビングステージを水平方向に直線状に移動させながら、一部を前記液体中に浸漬させた状態で回転しつつ前記ラビング布を前記液体中で前記配向膜に接触させて、前記液体中で前記配向膜をラビングするとともに、ラビング中に前記ラビングローラの回転によって前記液体中から出てくる前記ラビング布に向かって前記ノズルでもって前記液体を吹き付けるステップとを含むことを特徴とするものである。
本発明のラビング装置およびそれを用いたラビング方法によれば、ラビング中にラビング布にノズルでもって液体を吹き付けることによって、ラビングローラに付着したゴミを除去することができるという効果を奏する。
<実施の形態>
以下、本発明の第1の実施の形態(実施の形態1という)に係るラビング装置およびそれを用いたラビング方法について、図1乃至図6を参照しながら説明する。
以下、本発明の第1の実施の形態(実施の形態1という)に係るラビング装置およびそれを用いたラビング方法について、図1乃至図6を参照しながら説明する。
まず、ラビング装置1について、図1および図2を参照しながら以下に説明する。
ラビング装置1は、図1に示すような構成であり、液体2が内部に貯められるラビング槽3と、ラビング槽3の底部に配置された、ラビング槽3の内部を所定の速度で水平方向に直線状に移動する、配向膜6aが形成された基板6が液体2中に浸漬された状態で上面に載置されるラビングステージ5と、外周にラビング布8が設けられてラビングステージ5の上方に配置されており、基板6が載置されたラビングステージ5を移動させながら、一部を液体2中に浸漬させた状態で回転しつつビング布8を液体2中で配向膜6aに接触させて、液体2中で配向膜6aをラビングするラビングローラ7と、ラビングローラ7の近傍に配置された、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布に向かって液体を吹き付けるためのノズル9とを備えている。
ラビング槽3は、四角形状であり、内部をラビングステージ5が移動することができる大きさを有しており、液体2が内部に貯められる。すなわち、ラビング槽3は、ラビングステージ5に配向膜6aが形成された基板6が載置された状態で液体2中に浸漬するように、内部に液体2が貯められる。したがって、ラビング槽3に貯められる液体2は、図2に示すように、ラビングローラ7でもって液体2中で配向膜6aをラビングすることができるように調整して貯められる。また、ラビング槽3に貯められる液体2には、例えば、ラビング処理で発生したゴミ12を配向膜6aに付着しにくくするために、イソプロピルアルコールまたは水等が使用される。
また、通常、ラビング処理にされた基板6は、ラビング処理後に洗浄されるが、ラビング装置1では、基板6がラビング槽3に貯められた液体2中でラビング処理されるので、ラビング処理と洗浄とを同時に行なうことができる。
ラビングステージ5は、四角形状で、ラビング槽3の底部に配置されたラビングステージ土台4上に設けられてラビング槽3の底部に配置されている。また、ラビングステージ5は、上面に配向膜6aが形成された基板6を載置してラビング槽3の内部を所定の速度で水平方向に直線状に移動する。なお、ラビングステージ5は、載置される基板6とほぼ同じ大きさを有している。
また、ラビングステージ5には、配向膜6aが形成された基板6を載置して固定するために、基板6を吸着固定するための機構が設けられている。
ラビングステージ土台4は、ラビングステージ5を水平方向に直線状に移動させるための移動機構を有している。
ラビングステージ5に載置される基板6は、表示領域に配向膜6aが設けられており、例えば、ガラスまたはプラスチック等の透光性を有する材料からなる。なお、基板6は、例えば、薄膜トランジスタが形成されたアレイ基板またはカラーフィルタ基板である。また、配向膜6aは、配向膜6aの形成領域に対応する所定のパターンを有する印刷版を用いた印刷法によって基板6上に設けられており、印刷の後に、180(℃)〜240(℃)で数時間焼成される。配向膜6aは、例えば、ポリイミド樹脂等の材料からなる。また、配向膜6aの膜厚は、例えば、0.04(μm)〜0.1(μm)である。
ラビングローラ7は、ラビングローラ支持フレーム7aに装着されてラビングステージ5の上方に配置されている。なお、ラビングローラ支持フレーム7aは、ラビング処理を行なう際にラビングローラ7を上下方向に昇降する昇降機能を有している。また、ラビングローラ7は、配向膜6aをラビング処理するために外周にラビング布8が設けられている。ラビングローラ7は、円柱状であり、例えば、アルミニウムまたはステンレス等の材料からなる。
ラビングローラ7の外周に設けられるラビング布8は、例えば、コットンまたはレーヨン等の布からなる。また、ラビング布8は、図5に示すように、ベースとなる基布8aにパイル8bと呼ばれる細い繊維が植毛されている。そして、ラビング布8の基布8aは、経糸および緯糸からなり、経糸および緯糸が織られている。
また、ラビングローラ7は、基板6が載置されたラビングステージ5を移動させながら、一部を液体2中に浸漬させた状態で回転している。そして、ラビングローラ7は、ラビング布8を液体2中で配向膜6aに接触させて、液体2中で配向膜6aをラビングする。なお、ラビングローラ7は、配向膜6aを液体2中でラビングすることができるように液体2中に浸漬される。
このように、基板6に形成された配向膜6a上をラビングローラ7のラビング布8で一定の方向に擦ることによって、配向膜6aに対してラビング処理が施される。そして、ラビング処理された配向膜6aに対して液晶分子が一定方向に配列される。
ノズル9は、ノズル支持フレーム9aに装着されてラビングローラ7の近傍に配置されている。そして、ノズル9は、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体中2から出てくるラビング布8に向かって液体を吹き付けるものである。
また、ノズル支持フレーム9aは、ノズル9を上下方向に調整する調整機構を有しており、この調整機構によってラビング布8に向かって液体を吹き付ける際にノズル9が最適な位置になるように調整することができる。
ノズル9は、図2(b)に示すように、ノズル9の長手方向に、円形状の細孔9bが一列に複数個設けられている。細孔9bの大きさは、例えば、700(μm)〜800(μm)である。また、細孔9bは、複数列に複数個設けてもよい。細孔9bの形状は、円形状に限らず、四角形状等であってもよい。
また、ノズル9は、配管(図示せず)を介して高圧液体供給源(図示せず)に接続されている。そして、ノズル9は、細孔9bから、例えば、9.5(MPa)〜10(MPa)の高圧の液体をラビング布8に向かって吹き付けることができる。すなわち、ノズル9は、細孔9bからラビング布8に向かって高圧ジェットの液体を吹き付けることができる。細孔9bから吹き付けられる液体には、例えば、イソプロピルアルコールまたは水等が使用される。
また、ラビング槽3に貯められる液体2およびノズル9から吹き付けられる液体は、ラビング装置1の構築性の容易さから、同じ液体であることが好ましい。さらに、ラビング装置1は、液体2およびノズル9から吹き付けられる液体が水の場合には、さらにランニングコストを低減することができる。
また、ラビング装置1は、ラビング布8の毛並みを揃えるブラッシングローラを配置してもよい。すなわち、ノズル9でラビング布8に向かって液体を吹き付けた後に、ラビング布8の毛並みを揃えることができるようにブラッシングローラをラビングローラ7の回転方向のノズル9の下方に配置してもよい。
ラビング処理においては、図5に示すように、ラビング中にラビングローラ7のラビング布8と配向膜6aとが擦れることによってゴミ12が発生しやすい。すなわち、配向膜6aにラビング処理を施すと、微小なゴミ、いわゆるラビングカスが発生しやすい。なお、発生したゴミ12は、図5に示すように、ラビング布8のパイル8bの間に付着しやすい。そして、これらのゴミ12は、ラビング中に基板6の配向膜6aに付着しやすくなる。
しかしながら、ラビング装置1では、図1に示すように、ラビングローラ7の近傍に、ノズル9が配置されており、ノズル9がラビング布8に向かって液体を吹き付けてラビング布8に付着したゴミを除去することができる。すなわち、ノズル9は、図5(a)および(b)に示すように、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布8に向かって液体を連続的に吹き付けて、吹き付けられた液体によってラビング布8に付着したゴミ12を除去することができる。
したがって、ラビング装置1は、パイル8bの間に付着したゴミ12に対して、ノズル9の細孔9bから高圧の液体を吹き付けることによって、図5(a)および(b)に示すように、ラビング布8に付着したゴミ12をラビングステージ5の移動方向とは反対側に吹き飛ばして除去することができる。これによって、ラビング布8は、ノズル9から吹き付けられた液体によってパイル8bに付着したゴミが除去される。
したがって、ラビングローラ7は、ゴミ12が除去されたラビング布8でもって配向膜6aをラビングすることができるので、ラビング装置1は、ラビング中にラビング布8に付着したゴミ12が基板6に付着しにくくなる。これによって、ラビング装置1でラビング処理した基板6を使用した液晶表示装置は、ゴミ12が配向膜6aに付着することによ
って発生する輝点欠陥等が抑制される。
って発生する輝点欠陥等が抑制される。
また、ラビング布8に付着したゴミ12は、図6に示すように、ノズル9によって吹き飛ばされてラビングステージ5の移動方向とは反対側の液体2上に浮遊している。そして、液体2上に浮遊しているゴミ12は、基板6が液体2中に浸漬しているので、基板6の配向膜6a上には付着しにくい。
ここで、ラビング装置1でのラビング方法について、図1乃至図4を参照しながら説明する。
まず、外周にラビング布8が設けられたラビングローラ7を準備して、ラビングローラ支持フレーム7aにラビングローラ7を装着する。
そして、図1(a)に示すように、液体2が貯められたラビング槽3のラビングステージ5の上面に配向膜6aが形成された基板6を載置する。そして、ラビングステージ5に載置された基板6が液体2中に浸漬された状態にする。
次に、図2(a)に示すように、ラビングローラ7を回転させて、ラビングステージ5を水平方向に直線状に移動させながら、ラビングローラ支持フレーム7aによって一部を液体2中に浸漬させた状態で回転しつつラビング布8を液体2中で配向膜6aに接触させて、液体2中で配向膜6aをラビングする。そして、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布8に向かってノズル9でもって液体を吹き付ける。
ラビングローラ7は、図2乃至図4に示すように、ノズル9からラビング布8に液体を吹き付けながら、ラビングステージ5を水平方向に移動させることによって、基板6に形成された配向膜6aの全面をラビング処理する。
したがって、ラビング処理において、ラビング中にラビングローラ7のラビング布8と配向膜6aとが擦れることによってゴミ12が発生するが、ノズル9の細孔9bから高圧の液体を吹き付けることによって、ラビング布8はパイル8bに付着したゴミが除去される。これによって、ゴミ12が除去されたラビング布8で配向膜6aをラビングすることができる。
本発明は、上述の第1の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。以下、他の実施の形態について説明する。なお、第1の実施の形態と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
<実施の形態2>
以下、本発明の第2の実施の形態(実施の形態2という)に係るラビング装置1Aおよびラビング方法について、図7および図8を参照しながら説明する。
以下、本発明の第2の実施の形態(実施の形態2という)に係るラビング装置1Aおよびラビング方法について、図7および図8を参照しながら説明する。
実施の形態2に係るラビング装置1Aは、図7に示すように、実施の形態1に係るラビング装置1に、さらにラビング槽3に液体供給口10および液体排出口11を追加した構成である。
すなわち、ラビング槽3は、図7に示すように、ラビング中にラビングステージ5が移動する方向に位置する側壁の下方に、ラビング中に外部から内部に液体2を供給する液体供給口10を有するとともに、ラビングステージ5が移動する方向の反対側に位置する側
壁の下方に、ラビング中に内部から外部に液体2を排出する液体排出口11を有している。
壁の下方に、ラビング中に内部から外部に液体2を排出する液体排出口11を有している。
このような構成にすることによって、ラビング装置1Aは、パイル8bの間に付着したゴミ12に対して、ノズル9の細孔9bから高圧の液体を吹き付けることによって、図8に示すように、ラビング布8に付着したゴミ12をラビングステージ5の移動方向とは反対側に吹き飛ばして除去することができる。
さらに、ラビング装置1Aは、ラビング槽3がラビング中に外部から内部に液体2を供給する液体供給口10およびラビング中に内部から外部に液体2を排出する液体排出口11を有しているので、ラビング中にラビングステージ5の移動方向とは反対の方向、すなわち、図7(a)に示す矢印の方向に向かう液体の流れを形成することができる。
これによって、ラビング装置1Aは、図8に示すように、ノズル9によって吹き飛ばされてラビング布8から除去されたゴミ12は、ラビングステージ5の移動方向とは反対側の液体2上に浮遊しているが、浮遊しているゴミ12は、液体供給口10および液体排出口11によって形成された液体2の流れによってラビング槽3の外部に排出される。したがって、ノズル9によって吹き飛ばされてラビング布8から除去されたゴミ12は、基板6にさらに付着しにくくなる。
ラビング装置1Aは、液体供給口10と液体排出口11とをラビング槽3の外部で繋げて、液体排出口11側にゴミ12を除去するフィルターを設けた循環系としてもよい。
また、ラビング装置1Aでは、ラビング槽3は、平面視して中央部に液体供給口10および液体排出口11を有しているが、これに限らない。ラビング槽3の内部に液体2の流れが形成される位置であれば、液体供給口10および液体排出口11は、ラビング槽3のどの位置に設けられていてもよい。例えば、液体供給口10および液体排出口11は、平面視してラビング槽3の対角に設けられていてもよい。
ここで、ラビング装置1Aでのラビング方法について説明する。なお、実施の形態2のラビング装置1Aでのラビング方法は、ラビング槽3の外部から内部に液体供給口10から液体2を供給するとともにラビング槽3の内部から外部に液体排出口11から液体を排出しながら配向膜6aをラビングする点が実施の形態1のラビング方法とは異なっている。すなわち、ラビング装置1Aでのラビング方法は、ラビング中にラビング槽3の内部に液体2の流れを形成しながら配向膜6aをラビングする。
まず、外周にラビング布8が設けられたラビングローラ7を準備して、ラビングローラ支持フレーム7aにラビングローラ7を装着する。
そして、液体2が貯められたラビング槽3のラビングステージ5の上面に配向膜6aが形成された基板6を載置する。そして、ラビングステージ5に載置された基板6が液体2中に浸漬された状態にする。
次に、ラビング槽3の外部から内部に液体供給口10から液体2を供給するとともにラビング槽3の内部から外部に液体排出口11から液体2を排出して、ラビング槽3の内部に液体2の流れを形成する。
そして、ラビングローラ7を回転させて、ラビングステージ5を水平方向に直線状に移動させながら、ラビングローラ支持フレーム7aによって一部を液体2中に浸漬させた状態で回転しつつラビング布8を液体2中で配向膜6aに接触させて、ラビング槽3の内部
に液体2の流れが形成された状態で、液体2中で配向膜6aをラビングする。そして、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布8に向かってノズル9でもって液体を吹き付ける。
に液体2の流れが形成された状態で、液体2中で配向膜6aをラビングする。そして、ラビング中にラビングローラ7の回転によって液体2中から出てくるラビング布8に向かってノズル9でもって液体を吹き付ける。
したがって、ラビング処理において、ラビング中にラビングローラ7のラビング布8と配向膜6aとが擦れることによってゴミ12が発生するが、ノズル9の細孔9bから高圧の液体を吹き付けることによって、ラビング布8はパイル8bに付着したゴミが除去されるとともに、ラビング槽3の内部に形成された液体2の流れによって、除去されたゴミ12がラビング槽3の外部に排出される。これによって、ゴミ12が除去されたラビング布8で配向膜6aをラビングすることができる。
本発明は、上述した実施の形態1および実施の形態2に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。
1、1A ラビング装置
2 液体
3 ラビング槽
4 ラビングステージ台
5 ラビングステージ
6 基板
6a 配向膜
7 ラビングローラ
7a ラビングローラ支持フレーム
8 ラビング布
8a 基布
8b パイル
9 ノズル
9a ノズル支持フレーム
9b 細孔
10 液体供給口
11 液体排出口
12 ゴミ
2 液体
3 ラビング槽
4 ラビングステージ台
5 ラビングステージ
6 基板
6a 配向膜
7 ラビングローラ
7a ラビングローラ支持フレーム
8 ラビング布
8a 基布
8b パイル
9 ノズル
9a ノズル支持フレーム
9b 細孔
10 液体供給口
11 液体排出口
12 ゴミ
Claims (4)
- 液体が内部に貯められるラビング槽と、
該ラビング槽の底部に配置された、該ラビング槽の内部を所定の速度で水平方向に直線状に移動する、配向膜が形成された基板が前記液体中に浸漬された状態で上面に載置されるラビングステージと、
外周にラビング布が設けられて前記ラビングステージの上方に配置されており、前記基板が載置された前記ラビングステージを移動させながら、一部を前記液体中に浸漬させた状態で回転しつつ前記ラビング布を前記液体中で前記配向膜に接触させて、前記液体中で前記配向膜をラビングするラビングローラと、
該ラビングローラの近傍に配置された、ラビング中に前記ラビングローラの回転によって前記液体中から出てくる前記ラビング布に向かって液体を吹き付けるためのノズルとを備えていることを特徴とするラビング装置。 - 請求項1に記載のラビング装置であって、
前記ラビング槽は、ラビング中に前記ラビングステージが移動する方向に位置する側壁の下方に、ラビング中に外部から内部に前記液体を供給する液体供給口を有するとともに、前記ラビングステージが移動する方向の反対側に位置する側壁の下方に、ラビング中に内部から外部に前記液体を排出する液体排出口を有していることを特徴とするラビング装置。 - 請求項1に記載のラビング装置を用いて、
前記液体が貯められた前記ラビング槽の前記ラビングステージの上面に、配向膜が形成された前記基板を前記液体中に浸漬させた状態で配置するステップと、
前記ラビングローラを回転させて、前記ラビングステージを水平方向に直線状に移動させながら、一部を前記液体中に浸漬させた状態で回転しつつ前記ラビング布を前記液体中で前記配向膜に接触させて、前記液体中で前記配向膜をラビングするとともに、ラビング中に前記ラビングローラの回転によって前記液体中から出てくる前記ラビング布に向かって前記ノズルでもって前記液体を吹き付けるステップと
を含むことを特徴とするラビング方法。 - 請求項2に記載のラビング装置を用いて、
前記液体が貯められた前記ラビング槽の前記ラビングステージの上面に、配向膜が形成された前記基板を前記液体中に浸漬させた状態で配置するステップと、
前記ラビング槽の外部から内部に前記液体供給口から前記液体を供給するとともに前記ラビング槽の内部から外部に前記液体排出口から前記液体を排出しながら、前記ラビングローラを回転させて、前記ラビングステージを水平方向に直線状に移動させながら、一部を前記液体中に浸漬させた状態で回転しつつ前記ラビング布を前記液体中で前記配向膜に接触させて、前記液体中で前記配向膜をラビングするとともに、ラビング中に前記ラビングローラの回転によって前記液体中から出てくる前記ラビング布に向かって前記ノズルでもって前記液体を吹き付けるステップと
を含むことを特徴とするラビング方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109719389A (zh) * | 2017-10-31 | 2019-05-07 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
-
2012
- 2012-09-26 JP JP2012211956A patent/JP2014066861A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109719389A (zh) * | 2017-10-31 | 2019-05-07 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
CN109719389B (zh) * | 2017-10-31 | 2021-12-28 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
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