JPWO2019021859A1 - 塗布処理装置、塗布処理方法及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2017年7月27日に日本国に出願された特願2017−145753号に基づき、優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本実施形態では、OLEDに用いられる円偏光板を作製する場合において、光学膜である、直線偏光膜(直線偏光板)とλ/4波長膜(λ/4波長板)を、その偏光軸が45度で交差するようにガラス基板に形成する。
次に、本発明の第1の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図1は、第1の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す平面図である。図2及び図3は、第1の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す側面図である。なお、以下に示す図面においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
次に、本発明の第2の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図9及び図10は、第2の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す側面図である。
次に、本発明の第3の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図12は、第3の実施形態に係る受液部110で塗布液Pを受けとめる様子を示す説明図である。
次に、本発明の第4の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図13は、第4の実施形態に係る受液部120で塗布液Pを受けとめる様子を示す説明図である。
次に、本発明の第5の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図14は、第5の実施形態に係る受液部130で塗布液Pを受けとめる様子を示す説明図である。
次に、本発明の第6の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図15は、第6の実施形態に係る受液部140で塗布液Pを受けとめる様子を示す説明図である。
次に、本発明の第7の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図16は、第7の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す側面図である。
次に、本発明の第8の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図17及び図18は、第8の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す側面図である。
次に、本発明の第9の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図19は、第9の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す平面図である。
次に、本発明の第10の実施形態に係る塗布処理装置について説明する。図20は、第10の実施形態に係る塗布処理装置1の構成の概略を示す平面図である。
次に、本発明の第11の実施形態(他の実施形態)に係る塗布処理装置について説明する。
そして、浮上ステージ上でガラス基板Gを空中に浮かせた状態で、当該ガラス基板Gを移動させることができる。
10 ステージ
20 塗布ノズル
21 吐出口
22 支持梁
30、100、110、120、130、140、150、160 受液部
31 ローラ
32 回収槽
33 支持フレーム
40 制御部
101 ディッケル
102 支持フレーム
111 パン
121 吸収材
131 複合材
131a ローラ
131b ディッケル
141 ローラ
142 ベルト
151 ローラ
152 回収槽
153 支持ブラケット
161 ディッケル
162 支持ブラケット
170 端部除去部
180 プライミングローラ
G ガラス基板
P(P1、P2) 塗布液
Claims (17)
- 基板に光学材料を含む塗布液を塗布する塗布処理装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された基板に前記塗布液を吐出する塗布ノズルと、
前記保持部と前記塗布ノズルを直交方向に相対的に移動させる移動機構と、
前記保持部に保持された基板の平面視外側の両側に設けられ、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を受けとめる受液部と、を有する。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を巻き取る巻き取り材を有する。 - 請求項2に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、前記巻き取り材の下方に設けられ、当該巻き取り材に巻き取られた前記塗布液を回収する回収槽をさらに有する。 - 請求項2に記載の塗布処理装置において、
前記保持部に保持された基板の上面と、前記巻き取り材の上面とは同じ高さである。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、前記塗布ノズルの吐出口を封止する封止材を有する。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を回収する回収容器を有する。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を吸収する吸収材を有する。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
基板の平面視外側の一方側に設けられた前記受液部は、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を巻き取る巻き取り材を有し、
基板の平面視外側の他方側に設けられた前記受液部は、前記塗布ノズルの吐出口を封止する封止材を有する。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、基板に近い側に設けられ、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を巻き取る巻き取り材と、基板に遠い側に設けられ、前記塗布ノズルの吐出口を封止する封止材と、が一体に接続された複合材を有する。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、支持構造体によって下方から支持されている。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記受液部は、前記塗布ノズルを支持する支持梁に吊り下げられて支持されている。 - 請求項1に記載の塗布処理装置において、
前記塗布ノズルから前記塗布液が塗布された基板に対し、当該基板の端部の前記塗布液を除去する端部除去部をさらに有する。 - 基板に光学材料を含む塗布液を塗布する塗布処理方法であって、
基板を保持部した保持部と塗布ノズルを直交方向に相対的に移動させながら、前記塗布ノズルから前記塗布液を吐出し、基板の平面視外側の両側において受液部で前記塗布液を受けとめて、基板に前記塗布液を塗布する。 - 請求項13に記載の塗布処理方法において、
前記受液部は、前記塗布ノズルから吐出された前記塗布液を回収する。 - 請求項13に記載の塗布処理方法において、
前記受液部は、前記塗布ノズルの吐出口を封止する。 - 請求項13に記載の塗布処理方法において、
基板に前記塗布液を塗布した後、当該基板の端部の前記塗布液を除去する。 - 基板に光学材料を含む塗布液を塗布する塗布処理方法を塗布処理装置によって実行させるように、当該塗布処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体であって、
前記塗布処理方法は、基板を保持部した保持部と塗布ノズルを直交方向に相対的に移動させながら、前記塗布ノズルから前記塗布液を吐出し、基板の平面視外側の両側において受液部で前記塗布液を受けとめて、基板に前記塗布液を塗布する。
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