JP2009036949A - 液晶装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な手法かつ低コストにて、基板上に、配向材をムラ無く均一に塗布することができることにより、配向材の塗布性を向上させることができる液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】TFT基板における少なくとも画素電極上に、配向膜を構成する配向材の主溶媒と、配向材が主溶媒によって設定濃度に希釈された希釈配向材とのいずれかを塗布するステップS2と、主溶媒と希釈配向材とのいずれか上に、配向材を塗布するステップS3と、配向材を乾燥させるステップS4と、を具備することを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】TFT基板における少なくとも画素電極上に、配向膜を構成する配向材の主溶媒と、配向材が主溶媒によって設定濃度に希釈された希釈配向材とのいずれかを塗布するステップS2と、主溶媒と希釈配向材とのいずれか上に、配向材を塗布するステップS3と、配向材を乾燥させるステップS4と、を具備することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、液晶に駆動電圧を印加する電極と、少なくとも電極上に形成された配向膜とが設けられた基板を具備する液晶装置の製造方法に関する。
周知のように、例えば光透過型の液晶装置は、ガラス基板、石英基板、シリコン基板等からなる2枚の基板間に液晶が介在されて構成されており、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に介在された液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
また、トランジスタを配置した素子基板と、この素子基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造される。素子基板及び対向基板は、例えば石英基板上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。層毎に各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程とを繰り返すことによって形成されるのである。
このようにして形成された素子基板及び対向基板は、パネル組立工程において高精度(例えばアライメント誤差1μm以内)に貼り合わされる。このパネル組立工程の一例を説明すると、先ず、各基板の製造工程において夫々製造された素子基板の画素電極及び対向基板の対向電極に対し、UV光やプラズマ等が照射される親水処理が行われた後、各電極上に、液晶分子を基板面に沿って水平配向させるためのポリイミド等の有機配向膜(以下、単に配向膜と称す)を構成する配向材が塗布される。その後、焼成が行われ、さらに配向膜に対し、電圧無印加時の液晶分子の配列を規定するためのラビング処理が施される。
次いで、例えば液晶封入方式により、素子基板と対向基板との間に液晶が介在される場合には、素子基板と対向基板との一方の基板上に、接着剤となるシール材が、一部に注入口となる切り欠きを有するよう略周状に塗布され、このシール材が用いられて素子基板に対し、対向基板が貼り合わされる。
次いで、アライメントが施されてそれぞれ圧着硬化された後、真空下において素子基板のシール材の注入口の近傍に、規定量の液晶がそれぞれ滴下され、その後、大気解放されることにより、注入口を介して液晶が素子基板と対向基板との間にそれぞれ注入され、最後に、注入口が、封止材により封止されて、液晶装置が製造される。製造された液晶装置は、その後、プロジェクタ等の電子機器に用いられる。
ここで、画素電極は、素子基板上において、平面視した状態でマトリクス状にパターニングされて形成されていることから、素子基板の厚さ方向の断面において、素子基板における表面は、パターニングされた画素電極に起因して凹凸状に形成されている。
よって、素子基板の表面に配向膜を構成する配向材を塗布する際、具体的には、素子基板の少なくとも画素電極上に配向材を塗布する際、画素電極表面に上述した親水処理が施されていたとしても、表面の凹凸により、該凹凸のエッジ部に配向材が塗布され難い等、配向材をムラ無く均一に塗布することが難しい。このことから、配向材が不均一に塗布された箇所では、液晶装置を表示装置に用いた際、表示不良が発生してしまう場合があるといった問題があった。尚、以上の問題は、特に配向膜を液滴として吐出するインクジェット法を用いた手法によって配向材を塗布した場合において発生しやすい。
このような問題に鑑み、特許文献1には、配向材塗布前に、レーザーフォーカス変位計を用いて基板表面の凹凸を測定し、該測定結果に基づいて、基板表面からの距離がほぼ所定値となるよう、配向材を塗布するインクジェットノズルの位置を調節しながら配向材を塗布することにより、配向材をムラ無く均一に塗布することができる配向膜の形成方法及び装置が開示されている。
特開平9−105939号公報
しかしながら、特許文献1に開示された配向膜の形成方法及び装置では、配向材の塗布に際し、基板表面の凹凸を、レーザーフォーカス変位計を別途用いて測定する必要があることから、製造コストが増大してしまう他、凹凸の測定において、複雑な制御が必要になるといった問題があった。
本発明は上記問題に着目してなされたものであり、簡単な手法かつ低コストにて、基板上に、配向材をムラ無く均一に塗布することができることにより、配向材の塗布性を向上させることができる液晶装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明に係る液晶装置の製造方法は、液晶に駆動電圧を印加する電極と、少なくとも前記電極上に形成された配向膜とが設けられた基板を具備する液晶装置の製造方法であって、前記基板における少なくとも前記電極上に形成された、前記配向膜を構成する配向材の主溶媒と、前記配向材が前記主溶媒によって設定濃度に希釈された希釈配向材とのいずれかを塗布する第1の塗布工程と、前記主溶媒と前記希釈配向材とのいずれか上に、前記配向材を塗布する第2の塗布工程と、前記配向材を乾燥させる乾燥工程と、を具備することを特徴とする。
本発明によれば、配向材を塗布する前に、配向材の塗布性を向上させる主溶媒または希釈配向材を塗布して、該主溶媒または希釈配向材によるバッファ層を形成することにより、基板上に、配向材をムラ無く均一に塗布することができる。よって、簡単な手法かつ低コストにて、配向材の塗布性を向上させることができる液晶装置の製造方法を提供することができるといった効果を有する。
また、本発明に係る液晶装置の製造方法は、液晶に駆動電圧を印加する電極と、少なくとも前記電極上に形成された配向膜とが設けられた基板を具備する液晶装置の製造方法であって、前記基板における少なくとも前記電極上に、前記配向膜を構成する配向材を該配向材の主溶媒によって設定濃度に希釈した希釈配向材を塗布する第1の塗布工程と、前記希釈配向材を乾燥させる第1の乾燥工程と、前記希釈配向材上に、前記配向材を塗布する第2の塗布工程と、前記配向材を乾燥させる第2の乾燥工程と、を具備することを特徴とする。
本発明によれば、配向材を塗布する前に、配向材の塗布性を向上させる希釈配向材を塗布した後、希釈配向材を乾燥させて希釈配向材から主溶媒を除去したバッファ層、即ち配向材からなるバッファ層を形成することにより、基板上に、配向材をムラ無く均一に塗布することができる。よって、簡単な手法かつ低コストにて、配向材の塗布性を向上させることができる液晶装置の製造方法を提供することができるといった効果を有する。
また、前記主溶媒は、ガンマブチロラクトンであることを特徴とする。
本発明によれば、ガンマブチロラクトンにより、配向材を、設定濃度に確実に溶かすことができるといった効果を有する。
さらに、前記第1の塗布工程と前記第2の塗布工程との少なくとも一方は、回転する基板上に、前記主溶媒と前記希釈配向材と前記配向材とのいずれかを塗布するスピンコーティング法と、前記基板上に前記主溶媒と前記希釈配向材と前記配向材とのいずれかを液滴吐出手段により塗布する液滴吐出法とのいずれかによって行うことを特徴とする。
本発明によれば、スピンコーティング法と液滴吐出法とのいずれかにより、基板上に、配向材を、ムラ無く一様に塗布することができることにより、簡単な手法かつ低コストにて、配向材の塗布性を向上させることができる液晶装置の製造方法を提供することができるといった効果を有する。
以下、図面を参照にして本実施の形態を説明する。尚、以下に示す実施の形態において液晶装置は、光透過型の液晶装置を例に挙げて説明する。また、液晶装置において対向配置される一対の基板の内、一方の基板は、素子基板(以下、TFT基板と称す)を、また他方の基板は、TFT基板に対向する対向基板を例に挙げて説明する。
(第1実施の形態)
先ず、本実施の形態の液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の構成を、図1、図2を用いて説明する。
先ず、本実施の形態の液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の構成を、図1、図2を用いて説明する。
図1は、本実施の形態を示す液晶装置の平面図、図2は、図1中のII−II線に沿って切断した断面図である。
図1、図2に示すように、液晶装置1は、例えば、石英基板やガラス基板、シリコン基板等を用いたTFT基板10と、該TFT基板10に対向配置される、例えばガラス基板や石英基板、シリコン基板等を用いた対向基板20との間の内部空間に、液晶50が介在されて構成される。対向配置されたTFT基板10と対向基板20とは、シール材52によって貼り合わされている。
TFT基板10の液晶50と接する領域に、液晶装置1の表示領域40を構成するTFT基板10の表示領域10hが構成されている。また、TFT基板10上の表示領域10hに、画素を構成するとともに、後述する対向電極21とともに液晶50に駆動電圧を印加する画素電極(ITO)9が、マトリクス状に配置されている。尚、画素電極9がマトリクス状に配置されていることにより、TFT基板10の厚さ方向の断面において、TFT基板10の表面は、凹凸状に形成されている。
また、対向基板20の基板上の液晶50と接する面の全面に、液晶50に画素電極9とともに駆動電圧を印加する対向電極(ITO)21が設けられており、対向基板20のTFT基板10の表示領域10hに対向する位置における液晶50と接する領域に、液晶装置1の表示領域40を構成する対向基板20の表示領域20hが構成されている。
TFT基板10の画素電極9上に、液晶50の既知のプレチルト角を規定して液晶50を水平配向させるラビング処理が施された配向膜16が設けられている。
また、対向基板20上の全面に渡って形成された対向電極21上にも、液晶50の既知のプレチルト角を規定して液晶50を水平配向させる、ラビング処理が施された配向膜26が設けられている。尚、各配向膜16,26は、例えば、ポリイミド膜等の透明な有機膜からなる配向材16z(図4参照)から構成されている。尚、配向材16zを構成する材料は、ポリイミドに限定されない。
また、TFT基板10の表示領域10hにおいては、複数本の走査線と複数本のデータ線(いずれも図示されず)とが交差するように配線され、走査線とデータ線とで区画された領域に画素電極9がマトリクス状に配置される。
そして、走査線とデータ線との各交差部位に対応してスイッチング素子である図示しない薄膜トランジスタ(以下、TFTと称す)が設けられ、このTFT毎に画素電極9が電気的に接続されている。
TFTは走査線のON信号によってオンとなり、これにより、データ線に供給された画像信号が画素電極9に供給される。この画素電極9と対向基板20に設けられた対向電極21との間の電圧が液晶50に印加される。
対向基板20に、TFT基板10の表示領域10h及び対向基板20の表示領域20hの外周を、画素領域において規定し区画することにより、表示領域40を規定する額縁としての遮光膜53が設けられている。
液晶50がTFT基板10と対向基板20との間の空間に、既知の液晶注入方式で注入される場合、シール材52は、シール材52の1辺の一部において欠落して塗布されている。尚、液晶50がTFT基板10と対向基板20との間の空間に、既知の液晶滴下方式で滴下される場合、シール材52は、途中で欠落することなく連続的に周状に塗布される。
シール材52の欠落した箇所は、該欠落した箇所から貼り合わされたTFT基板10及び対向基板20との間に液晶50を注入するための液晶注入口108を構成している。液晶注入口108は、液晶注入後、封止材109で封止される。尚、液晶滴下方式で液晶50が滴下される場合は、液晶注入口108、封止材109は不要となる。
シール材52の外側の領域に、TFT基板10の図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するドライバであるデータ線駆動回路101及び外部回路との接続のための外部接続端子102が、TFT基板10の一辺に沿って設けられている。
この一辺に隣接する二辺に沿って、TFT基板10の走査線及び図示しないゲート電極に、走査信号を所定のタイミングで供給することにより、ゲート電極を駆動するドライバである走査線駆動回路103,104が設けられている。走査線駆動回路103,104は、シール材52の内側の遮光膜53に対向する位置において、TFT基板10上に形成されている。
また、TFT基板10上に、データ線駆動回路101、走査線駆動回路103,104、外部接続端子102及び上下導通端子107を電気的に接続する配線105が、遮光膜53の3辺に対向して設けられている。
上下導通端子107は、シール材52のコーナー部の4箇所のTFT基板10上に形成されている。そして、TFT基板10と対向基板20相互間に、下端が上下導通端子107に接触し上端が対向電極21に接触する上下導通材106が設けられており、該上下導通材106によって、TFT基板10と対向基板20との間で電気的な導通がとられている。
尚、半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜等の各種薄膜形成前の、石英基板、ガラス、シリコン基板等のTFT基板10を構成する基板の表面上に、上述したTFT30や画素電極9の他、これらを含む各種薄膜の構成が積層構造をなして備えられているが、この積層構造、及び積層された各層の機能は周知であるため、その説明及び図示は省略する。
次に、本実施の形態の液晶装置の製造方法、具体的には配向膜の形成工程について、図3、図4を用いて説明する。図3は、本実施の形態の配向膜の形成工程を示すフローチャート、図4は、配向膜を構成する配向材や、主溶媒、希釈配向材を塗布するインクジェット装置を、TFT基板が複数構成された大板とともに示す斜視図である。
尚、配向膜の形成工程以外の液晶装置の製造方法については、周知のため、その説明は省略する。また、配向膜が形成される基板は、TFT基板10を例に挙げて説明する。
図3に示すように、先ず、ステップS1において、半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜等の各種薄膜が画素電極9まで形成されたTFT基板10が複数構成された大板100(図4参照)上の各TFT基板10の少なくとも画素電極9に対し、UV光やプラズマ等を照射する前処理工程を行う。その結果、TFT基板10の少なくとも画素電極9は、親水性が向上する。
次いで、ステップS2において、図4に示す液滴吐出手段であるインクジェット装置70を用いて、各TFT基板10の少なくとも画素電極9上に、配向膜を構成するポリイミド等の配向材16zの、例えばガンマブチロラクトンから構成された主溶媒と、配向材16zが主溶媒によって設定濃度に希釈された希釈配向材とのいずれかを、例えば10nmの膜厚に、液滴吐出法であるインクジェット法により塗布することによりバッファ層を形成し、TFT基板10に対する配向材16zの塗布性を向上させる第1の塗布工程を行う。
尚、希釈配向材は、例えば主溶媒中に、配向材16zが0.5%〜2.0%含有されるよう、配向材16zが主溶媒によって希釈されたものである。また、主溶媒としてガンマブチロラクトンを用いたのは、ポリイミドからなる配向材を、設定濃度に確実に溶かすことができるためである。よって配向材を設定濃度に確実に溶かすことができれば、主溶媒は、ガンマブチロラクトンに限定されず、Nメチルピロリロン等であっても構わない。さらに、バッファ層の膜厚も10nmに限定されない。
ここで、インクジェット装置70は、複数のインクジェットノズル170aを有する細長なインクジェットヘッド170と、該インクジェットヘッド170内に、主溶媒や希釈配向材、または配向材16zを供給する注入口178とに主要部が構成されている。
よって、第1の塗布工程において、各TFT基板10の少なくとも画素電極9上に、主溶媒と希釈配向材とのいずれかを塗布する際は、インクジェットヘッド170の長手方向を、大板100を進行させる方向Sに対して略直交するよう大板100の上方に位置させた後、大板100を進行方向Sに進行させながら、インクジェットヘッド170内に注入口178を介して供給された主溶媒と希釈配向材とのいずれかを、インクジェットノズル170aから液滴として噴射することにより行う。
次いで、ステップS3において、塗布された主溶媒と希釈配向材とのいずれかのバッファ層上に、配向材16zを、バッファ層の膜厚の約4倍、例えば40nmの膜厚に、上述したインクジェット法により塗布する第2の塗布工程を行う。尚、インクジェット装置70を用いた具体的な配向材16zの塗布方法は、主溶媒または希釈配向材が配向材16zに変わるのみで、その他は第1の塗布工程と同じであるためその説明は省略する。また、第2の塗布工程における配向材16zの膜厚は、バッファ層の膜厚の4倍に限定されない。
最後に、ステップS4において、塗布した配向材16zを乾燥させる乾燥工程を、例えば常温において、1分程度行う。尚、乾燥工程の条件は、本条件に限定されない。
この際、第1の塗布工程において、一方、主溶媒を塗布した場合は、主溶媒は乾燥工程において蒸発し除去されることから、乾燥後、配向膜16は、第2の塗布工程において塗布された配向材16zの1層のみから構成されることになる。
即ち、第1の塗布工程において、主溶媒を塗布する場合には、第2の塗布工程において塗布する配向材16zの膜厚のみにより、配向膜16の膜厚が決定される。
また、他方、第1の塗布工程において、希釈配向材を塗布した場合は、希釈配向材中の主溶媒は蒸発して除去されることにより、乾燥後、少なくとも画素電極9上には、希釈配向材から蒸発した主溶媒を除いた配向材16zと、第2の塗布工程において塗布された配向材16zが形成されることになる。ここで、希釈配向材から蒸発した主溶媒を除いた配向材16zと第2の塗布工程において塗布された配向材16zとは同一のものであることから、この場合であっても、配向膜16は1層のみから構成される。
即ち、第1の塗布工程において希釈配向材を塗布する場合には、第1の塗布工程において塗布した希釈配向材の膜厚と、第2の塗布工程において塗布する配向材16zの膜厚とにより、配向膜16の膜厚が決定される。
このように、本実施の形態においては、TFT基板10の少なくとも画素電極9上に配向膜16を形成するに際し、第1の塗布工程において、配向膜16を構成する配向材16zの塗布性を向上させる主溶媒と希釈配向材とのいずれかを塗布してバッファ層を形成した後、第2の塗布工程において、バッファ層上に配向材16zを塗布すると示した。
このことによれば、TFT基板10上において、画素電極9がマトリクス状に設けられていることにより、TFT基板10の厚さ方向の断面において、TFT基板10の表面に、凹凸が形成されていたとしても、配向材16zを塗布する前に、配向材16zの塗布性を向上させる主溶媒または希釈配向材を塗布して、該主溶媒または希釈配向材によるバッファ層を形成することにより、TFT基板上に、配向膜16を構成する配向材16zを、ムラ無く均一に塗布することができる。よって、簡単な手法かつ低コストにて、配向膜16を構成する配向材16zの塗布性を向上させることができる液晶装置1の製造方法を提供することができる。
(第2実施の形態)
図5は、本実施の形態の配向膜の形成工程を示すフローチャートである。
この第2実施の形態の液晶装置の製造方法は、上述した第1実施の形態の液晶装置の製造方法と比して、第1の塗布工程において塗布するものを希釈配向材に限定する点と、第1の塗布工程と第2の塗布工程との間に第1の塗布工程にて塗布した希釈配向材を乾燥させる工程を有する点のみが異なる。よって、この相違点のみを説明し、第1実施の形態の液晶装置1と同様の構成部材には、同じ符号を付し、その説明は省略する。
図5は、本実施の形態の配向膜の形成工程を示すフローチャートである。
この第2実施の形態の液晶装置の製造方法は、上述した第1実施の形態の液晶装置の製造方法と比して、第1の塗布工程において塗布するものを希釈配向材に限定する点と、第1の塗布工程と第2の塗布工程との間に第1の塗布工程にて塗布した希釈配向材を乾燥させる工程を有する点のみが異なる。よって、この相違点のみを説明し、第1実施の形態の液晶装置1と同様の構成部材には、同じ符号を付し、その説明は省略する。
尚、本実施の形態においても、配向膜の形成工程以外の液晶装置の製造方法については、周知のため、その説明は省略する。また、配向膜が形成される基板は、TFT基板10を例に挙げて説明する。
図5に示すように、先ず、ステップS10において、上述したステップS1と同様に、半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜等の各種薄膜が画素電極9まで形成されたTFT基板10が複数構成された大板100(図4参照)上の各TFT基板10の少なくとも画素電極9に対し、UV光やプラズマ等を照射する前処理工程を行う。その結果、TFT基板10の少なくとも画素電極9は、親水性が向上する。
次いで、ステップS11において、各TFT基板10の少なくとも画素電極9上に、上述した希釈配向材を、例えば10nmの膜厚に、インクジェット法により塗布することによりバッファ層を形成し、TFT基板10に対する配向材16zの塗布性を向上させる第1の塗布工程を行う。尚、インクジェット装置70を用いた具体的な希釈配向材の塗布方法は、上述した図3のステップS2における第1の塗布工程と同じであるためその説明は省略する。また、希釈配向材の膜厚も10nmに限定されない。
次いで、ステップS12において、ステップS11において塗布した希釈配向材を乾燥させる第1の乾燥工程を、例えば常温において、1分程度行う。尚、第1の乾燥工程の条件は、本条件に限定されない。この際、希釈配向材中の主溶媒は蒸発することにより除去され、希釈配向材は、乾燥後、配向材16zのみが残ることとなる。
次いで、ステップS13において、乾燥後、残留した配向材16z上に、さらに配向材16zを、例えば40nmの膜厚に、インクジェット法により塗布する第2の塗布工程を行う。尚、インクジェット装置70を用いた具体的な配向材16zの塗布方法も、上述した図3のステップS3における第2の塗布工程と同じであるためその説明は省略する。また、配向材16zの膜厚も40nmに限定されない。
その結果、少なくとも画素電極9上に、希釈配向材から蒸発した主溶媒を除いた配向材16zと第2の塗布工程において塗布された配向材16zとの2層の膜が形成されるが、各配向材16zは同一のものであることから、この場合、配向膜16は、1層から構成される。
即ち、第1の塗布工程において塗布する希釈配向材の膜厚と、第2の塗布工程において塗布する配向材16zの膜厚とにより、配向膜16の膜厚が決定される。
最後に、ステップS4において、塗布した配向材16zを乾燥させる第2の乾燥工程を、例えば常温において、1分程度行う。尚、第2の乾燥工程の条件は、本条件に限定されない。
このように、本実施の形態においては、TFT基板10の少なくとも画素電極9上に配向膜16を形成するに際し、第1の塗布工程において、配向膜16を構成する配向材16zの塗布性を向上させる希釈配向材を塗布してバッファ層を形成した後、第1の乾燥工程において、希釈配向材から主溶媒を蒸発させて配向材16zを残留させた後、配向材16z上に、第2の塗布工程において、配向材16zをさらに塗布すると示した。
このことによれば、TFT基板10上において、画素電極9がマトリクス状に設けられていることにより、TFT基板10の厚さ方向の断面において、TFT基板10の表面に、凹凸が形成されていたとしても、配向材16zを塗布する前に、配向材16zの塗布性を向上させる希釈配向材を塗布した後、希釈配向材を乾燥させて希釈配向材から主溶媒を除去したバッファ層を形成することにより、TFT基板10上に、配向材16zを、ムラ無く均一に塗布することができる。よって、簡単な手法かつ低コストにて、配向材16zの塗布性を向上させることができる液晶装置1の製造方法を提供することができる。
尚、以下、変形例を示す。上述した第1及び第2実施の形態においては、第1の塗布工程及び第2の塗布工程は、インクジェット法により行うと示したが、これに限らず、回転するTFT基板10の少なくとも画素電極9上に、主溶媒と希釈配向材と配向材とのいずれかを塗布するスピンコーティング法により行っても、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
また、上述した第1及び第2実施の形態においては、TFT基板10の少なくとも画素電極9上に配向膜16を形成する工程を例に挙げて示したが、これに限らず、対向基板20の厚さ方向の断面において、対向基板20の対向電極21の表面が凹凸に形成されている場合、配向膜26の形成工程において、上述した第1及び第2の実施の形態の形成工程を適用しても同様の効果を得ることができるということは勿論である。即ち、表面に凹凸を有する基板に対し配向膜を形成する場合であれば、どのような基板に対しても適用可能である。
また、液晶装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶装置は、TFT(薄膜トランジスタ)等のアクティブ素子(能動素子)を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、TFD(薄膜ダイオード)等のアクティブ素子(能動素子)を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュール、また、液晶装置は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばLCOS(Liquid Crystal On Silicon)等であっても構わない。
1…液晶装置、9…画素電極、10…TFT基板、16…配向膜、50…液晶、70…インクジェット装置。
Claims (4)
- 液晶に駆動電圧を印加する電極と、少なくとも前記電極上に形成された配向膜とが設けられた基板を具備する液晶装置の製造方法であって、
前記基板における少なくとも前記電極上に、前記配向膜を構成する配向材の主溶媒と、前記配向材が前記主溶媒によって設定濃度に希釈された希釈配向材とのいずれかを塗布する第1の塗布工程と、
前記主溶媒と前記希釈配向材とのいずれか上に、前記配向材を塗布する第2の塗布工程と、
前記配向材を乾燥させる乾燥工程と、
を具備することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 液晶に駆動電圧を印加する電極と、少なくとも前記電極上に形成された配向膜とが設けられた基板を具備する液晶装置の製造方法であって、
前記基板における少なくとも前記電極上に、前記配向膜を構成する配向材を該配向材の主溶媒によって設定濃度に希釈した希釈配向材を塗布する第1の塗布工程と、
前記希釈配向材を乾燥させる第1の乾燥工程と、
前記希釈配向材上に、前記配向材を塗布する第2の塗布工程と、
前記配向材を乾燥させる第2の乾燥工程と、
を具備することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 前記主溶媒は、ガンマブチロラクトンであることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記第1の塗布工程と前記第2の塗布工程との少なくとも一方は、回転する基板上に、前記主溶媒と前記希釈配向材と前記配向材とのいずれかを塗布するスピンコーティング法と、前記基板上に前記主溶媒と前記希釈配向材と前記配向材とのいずれかを液滴吐出手段により塗布する液滴吐出法とのいずれかによって行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の液晶装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007200450A JP2009036949A (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 液晶装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007200450A JP2009036949A (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 液晶装置の製造方法 |
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JP2009036949A true JP2009036949A (ja) | 2009-02-19 |
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Family Applications (1)
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JP2007200450A Withdrawn JP2009036949A (ja) | 2007-08-01 | 2007-08-01 | 液晶装置の製造方法 |
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JP (1) | JP2009036949A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015148749A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-08-20 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置およびその製造方法 |
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2007
- 2007-08-01 JP JP2007200450A patent/JP2009036949A/ja not_active Withdrawn
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JP2015148749A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-08-20 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置およびその製造方法 |
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