WO2017010540A1 - インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法 - Google Patents

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WO2017010540A1
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liquid
template
liquid repellent
convex portion
supply head
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出村　健介
中村　聡
松嶋　大輔
正之 幡野
宏之 柏木
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芝浦メカトロニクス株式会社
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2031/00—Other particular articles
    • B29L2031/757—Moulds, cores, dies

Definitions

  • Embodiments described herein relate generally to an imprint template manufacturing apparatus and a template manufacturing method.
  • an imprint method has been proposed as a method for forming a fine pattern on an object to be processed such as a semiconductor substrate.
  • a liquid transfer object for example, photocurable resin
  • a mold original plate
  • the liquid transfer object is formed from the mold side. Is irradiated with light, and then the mold is removed from the cured transfer object to transfer the uneven pattern to the transfer object.
  • a template is used as a mold that is pressed against the surface of a liquid transfer object. This template is also referred to as a mold, an imprint mold or a stamper.
  • the template is formed of quartz or the like having high translucency so that light such as ultraviolet rays can be easily transmitted in the above-described process of curing the transfer object (transfer process).
  • Convex portions (convex portions) are provided on the main surface of the template, and a concave / convex pattern that is pressed against the liquid transfer object is formed on the convex portions.
  • a convex portion having a concavo-convex pattern is referred to as a mesa portion, and a portion other than the mesa portion on the main surface of the template is referred to as an off-mesa portion.
  • the template when the template is pressed against the liquid transfer object, although the liquid transfer object is small, it protrudes from the end of the convex part, and the protruding liquid transfer object rises along the side surface (side wall) of the convex part. Sometimes. Since the transferred object attached to the side surface of the convex portion is cured as it is by light irradiation, when the template is separated from the transferred object, a raised portion exists in the transferred object and pattern abnormality occurs.
  • the raised portion of the transferred object sticks to the template side, and then falls onto the transferred object at some timing and becomes dust. If the template is pressed against the fallen dust, the irregular pattern on the template side will be damaged, or the fallen dust will enter between the irregular patterns on the template side, resulting in foreign matter. End up. Further, if the transfer is continuously performed using a template having such a concavo-convex pattern or a template in which foreign matter has entered, a defect is generated in the pattern of the transfer object, and a pattern abnormality occurs.
  • the problem to be solved by the present invention is to provide a template manufacturing apparatus and a template manufacturing method capable of manufacturing an imprint template capable of suppressing the occurrence of pattern abnormality and template abnormality.
  • An imprint template manufacturing apparatus includes a base body having a main surface and a convex portion provided on the main surface, and unevenness pressed against a liquid transfer object on an end surface of the convex portion.
  • a stage that supports the template on which the pattern is formed, a supply head that supplies a liquid repellent material that repels a liquid transfer object to the template on the stage, and a movement that relatively moves the stage and the supply head in a direction along the stage.
  • the liquid repellent material includes a liquid repellent component that reacts with the template surface, a non-liquid repellent component that reacts with the template surface, and a liquid repellent material. And a volatile solvent to dissolve the minute, the aforementioned liquid is a volatile solvent of the fluorine dissolving the non-liquid-repellent component.
  • An imprint template manufacturing method includes a substrate having a main surface and a convex portion provided on the main surface, and unevenness pressed against a liquid transfer object on an end surface of the convex portion.
  • a step of supporting the template on which the pattern is formed a step of applying a liquid repellent material that repels a liquid transfer material to at least the side surface of the convex portion while avoiding the uneven pattern of the supported template, and a liquid repellent property. And supplying a liquid to the template coated with the liquid material.
  • the liquid liquid repellent material includes a liquid repellent component that reacts with the template surface, a non-liquid repellent component that reacts with the template surface, and a liquid repellent property.
  • the above-mentioned liquid is a fluorine-based volatile solvent that dissolves the non-liquid repellent component.
  • an imprint template that can suppress the occurrence of pattern abnormality and template abnormality.
  • An imprint template manufacturing apparatus is an example of a manufacturing apparatus including an application coating apparatus that applies a liquid repellent material to a template to coat a part of the template.
  • a template manufacturing apparatus 1 includes an application unit 10 that applies a liquid repellent material to a template W, a conveyance unit 20 that conveys the template W, and a template W after application. And a control unit 40 for controlling each unit.
  • the application unit 10 has a supply head 11 for supplying a liquid repellent material onto the template W.
  • the application unit 10 supplies a liquid lyophobic material from the supply head 11 to the surface of the template W, and applies the liquid lyophobic material to a predetermined region of the template W (details will be described later).
  • the application unit 10 is electrically connected to the control unit 40, and its driving is controlled by the control unit 40.
  • the transport unit 20 transports the coated template W coated with a liquid repellent material from the coating unit 10 to the cleaning unit 30.
  • This conveyance part 20 it is possible to use a robot handling apparatus, for example.
  • the transport unit 20 is electrically connected to the control unit 40, and its driving is controlled by the control unit 40.
  • the cleaning unit 30 includes a first supply head 31 that supplies a solvent onto the template W, a second supply head 32 that supplies pure water (for example, DIW) onto the template W, and a horizontal plane that holds the template W. And a rotating mechanism 33 that rotates the motor.
  • the first supply head 31 and the second supply head 32 are configured to be able to swing along the surface of the template W, respectively, and so as not to prevent mutual swinging.
  • the cleaning unit 30 supplies the solvent from the first supply head 31 to the center of the surface of the template W while rotating the template W in the horizontal plane with the rotation center 33 as the center of rotation. Pure water is supplied from the supply head 32 to the center of the surface of the template W to clean the template W.
  • a spray nozzle can be used as the first supply head 31 and the second supply head 32.
  • the cleaning unit 30 is electrically connected to the control unit 40, and its driving is controlled by the control unit 40.
  • the control unit 40 includes a microcomputer that centrally controls each unit, and a storage unit (none of which is shown) that stores processing information and various programs related to coating processing (coating processing), conveyance processing, and cleaning processing. Yes.
  • the control unit 40 controls the application unit 10 so that the application unit 10 applies a liquid repellent material to a predetermined region of the template W based on the processing information and various programs. Further, the control unit 40 controls the transport unit 20 so that the transport unit 20 transports the coated template W from the coating unit 10 to the cleaning unit 30 based on the processing information and various programs, and the cleaning unit 30 has been coated.
  • the cleaning unit 30 is controlled to clean the template W.
  • the template W used as a to-be-coated object is demonstrated with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the template W includes a base 51 having a main surface 51 a and a convex portion 52 provided on the main surface 51 a of the base 51.
  • the base body 51 has translucency and is formed in a plate shape whose main surface 51a is a flat surface.
  • the plate shape of the base 51 is, for example, a square or a rectangle, but the shape is not particularly limited.
  • a transparent substrate such as a quartz substrate can be used.
  • the surface opposite to the main surface 51a is a surface irradiated with light such as ultraviolet rays.
  • the convex part 52 has translucency and is integrally formed of the same material as the base 51.
  • a concave / convex pattern 52a is formed on the end surface of the convex portion 52, that is, the surface opposite to the main surface 51a (the upper surface in FIG. 2).
  • the uneven pattern 52a is a pattern pressed against a liquid transfer object (for example, a photocurable resin).
  • a liquid transfer object for example, a photocurable resin.
  • corrugated pattern 52a is formed in the end surface of the convex part 52 is a square or a rectangular area
  • the coating unit 10 images a processing chamber 12 for processing the template W, a stage 13 on which an unprocessed template W is placed, and a template W on the stage 13.
  • An imaging unit 14 a Y-axis movement mechanism 15 that moves the supply head 11 in the Y-axis direction, a pair of Z-axis movement mechanisms 16A and 16B that move the Y-axis movement mechanism 15 together with the supply head 11 in the Z-axis direction, A pair of X-axis moving mechanisms 17A and 17B that move the pair of Z-axis moving mechanisms 16A and 16B in the X-axis direction are provided.
  • the supply head 11 is a dispenser that discharges a liquid repellent material.
  • the supply head 11 stores a liquid lyophobic material supplied from a tank or the like outside the processing chamber 12 and discharges the stored liquid lyophobic material toward the template W on the stage 13 at a predetermined timing.
  • the supply head 11 is electrically connected to the control unit 40, and its driving is controlled by the control unit 40.
  • a liquid lyophobic material is a material that has translucency and repels a liquid material to be transferred.
  • This liquid repellent material contains a liquid repellent coating agent (for example, a silane coupling agent).
  • the liquid repellent coating agent is a solution containing a liquid repellent component that repels a liquid transferred material, a non-liquid repellent component that does not repel a liquid transferred material, and a volatile solvent that dissolves the liquid repellent component. Both the liquid repellent component and the non-liquid repellent component react with the surface of the template W.
  • the liquid repellent component is, for example, a liquid repellent component having a boiling point lower than 250 ° C.
  • the non-liquid repellent component is, for example, a non-liquid repellent component having a boiling point of 250 ° C. or higher.
  • the processing chamber 12 is formed in a box shape so as to accommodate the supply head 11, the stage 13, the imaging unit 14, each moving mechanism 15, 16A, 16B, 17A, and 17B.
  • a filter 12 a for removing foreign substances in the air is provided on the upper surface of the processing chamber 12, and an exhaust port 12 b is provided on the lower surface (bottom surface) of the processing chamber 12.
  • a ULPA filter or a HEPA filter can be used as the filter 12a.
  • the stage 13 has a plurality of support members 13a such as pins, and is a support portion that supports the template W by the support members 13a.
  • the stage 13 is fixed to the bottom surface of the processing chamber 12, but is not limited to this.
  • the stage 13 moves in the horizontal direction such as the X-axis direction and the Y-axis direction and the vertical direction such as the Z-axis direction. May be.
  • the imaging unit 14 is attached to the upper surface of the processing chamber 12 so that the template W on the stage 13, particularly the convex portion 52 and its periphery can be imaged.
  • the imaging unit 14 is electrically connected to the control unit 40, and transmits the captured image (for example, a planar image of the convex portion 52) to the control unit 40.
  • the Y-axis moving mechanism 15 supports the supply head 11 and moves the supply head 11 while guiding the supply head 11 in the Y-axis direction.
  • the pair of Z-axis moving mechanisms 16A and 16B supports the Y-axis moving mechanism 15 horizontally, and moves the Y-axis moving mechanism 15 together with the supply head 11 in the Z-axis direction.
  • the Y-axis moving mechanism 15 and the pair of Z-axis moving mechanisms 16A and 16B are arranged in a gate shape.
  • the pair of X-axis moving mechanisms 17A and 17B support the pair of upright Z-axis moving mechanisms 16A and 16B, and move the Z-axis moving mechanisms 16A and 16B while guiding them in the X-axis direction.
  • the Y-axis movement mechanism 15 and the pair of X-axis movement mechanisms 17A and 17B function as a horizontal movement mechanism that relatively moves the supply head 11 and the stage 13 in the horizontal direction. Further, the pair of Z-axis moving mechanisms 16A and 16B function as an up-and-down moving mechanism that relatively moves the supply head 11 and the stage 13 in the up-and-down direction.
  • These moving mechanisms 15, 16 ⁇ / b> A, 16 ⁇ / b> B, 17 ⁇ / b> A and 17 ⁇ / b> B are electrically connected to the control unit 40, and their driving is controlled by the control unit 40.
  • various moving mechanisms such as a linear motor type moving mechanism, an air stage type moving mechanism, and a feed screw type moving mechanism can be used.
  • the supply head 11 is applied to the application path A ⁇ b> 1 on the main surface 51 a of the template W by each of the moving mechanisms 15, 17 ⁇ / b> A and 17 ⁇ / b> B while maintaining a predetermined height.
  • a liquid lyophobic material is continuously supplied to the main surface 51a of the template W on the stage 13 while moving along (see the thick arrow line in FIG. 4).
  • the application path A1 extends from the discharge start position A2 on the main surface 51a to the discharge stop position A3 on the main surface 51a along the outer periphery of the convex portion 52 on the main surface 51a.
  • a path surrounding the convex part 52 in the application path A1 is separated from the side surface of the convex part 52 by a predetermined distance L1 (for example, 5 mm).
  • the discharge start position A2 is a position where the supply head 11 starts to discharge the liquid lyophobic material
  • the discharge stop position A3 is a position where the supply head 11 stops the discharge of the liquid lyophobic material.
  • the discharge start position A2 and the discharge stop position A3 are positions outside the application region (supply region) R1 around the convex portion 52 on the main surface 51a of the template W on the stage 13.
  • the application region R1 around the convex portion 52 has, for example, a frame shape, and the finding dimension (edge width) of the frame-shaped application region R1 is, for example, 10 mm or more and 20 mm or less.
  • the supply head 11 faces the discharge start position A2 on the main surface 51a of the template W on the stage 13 and starts discharging the liquid repellent material.
  • the supply head 11 is in a state where the liquid repellent material is being discharged, along the application path A1 on the main surface 51a of the template W, that is, along the outer periphery of the convex portion 52 on the main surface 51a.
  • the liquid repellent material is continuously moved into the application region R1 on the main surface 51a. Since the liquid lyophobic material supplied into the application region R1 spreads due to wettability, the liquid lyophobic material is applied to the entire application region R1.
  • the supply head 11 faces the discharge stop position A3 on the main surface 51a of the template W on the stage 13, and stops the discharge of the liquid lyophobic material.
  • the control unit 40 moves the supply head 11 along the application path A1 and continuously discharges the liquid repellent material based on the processing information and various programs.
  • the moving mechanisms 15, 16A, 16B, 17A and 17B are controlled.
  • the liquid lyophobic material 11a supplied from the supply head 11 to the main surface 51a of the template W spreads due to wettability, and a convex portion 52 on the main surface 51a. Reach up to the side. At this time, the spread liquid repellent material 11a adheres to the side surface without overcoming the side surface of the convex portion 52 due to surface tension.
  • the volatile solvent contained in the liquid lyophobic material 11a adhering to the side surface of the convex portion 52 and spreading on the main surface 51a is completely volatilized and dried, as shown in FIG.
  • a liquid-repellent layer 53 is formed on at least the side surface (side wall) of the convex portion 52, for example, on the entire side surface of the convex portion 52 and part of the main surface 51a, avoiding the concave / convex pattern 52a.
  • the liquid repellent layer 53 is formed on the entire side surface of the convex portion 52 while avoiding the concave / convex pattern 52a on the convex portion 52, and further on the side surface of the convex portion 52. It is formed in a predetermined region on the main surface 51a to be connected.
  • the predetermined region on the main surface 51a located around the convex portion 52 is a quadrangular annular region in plan view, but the shape of the convex portion 52 or the annular predetermined region is The shape of is not particularly limited.
  • the liquid repellent layer 53 is a layer that has translucency and repels a liquid transfer object.
  • the liquid repellent layer 53 is formed on the entire side surface of the convex portion 52, but is not limited thereto, and may be formed on at least a part of the side surface of the convex portion 52.
  • the predetermined distance L1 in the coating path A1 is away from the side surface of the convex portion 52 of the template W on the stage 13 based on the height position of the supply head 11, the supply amount of liquid lyophobic material, wettability, and the like.
  • the liquid repellent material 11a supplied from the supply head 11 to the main surface 51a of the template W on the stage 13 spreads and is set to a position where it adheres to the upper end of the side surface of the convex portion 52 without overcoming the side surface of the convex portion 52. (See FIG. 5).
  • the setting of the supply position may be performed based on a result of performing dummy ejection using a dummy template in advance.
  • the template W is left for a predetermined time (for example, 5 minutes to 10 minutes) until the residual solvent, that is, the remaining volatile solvent is completely volatilized.
  • the liquid repellent component contained in the liquid liquid repellent material 11 a reacts with the surface of the template W to form the liquid repellent layer 53, but the non-liquid repellent component contained in the liquid liquid repellent material 11 a also includes It is included in the liquid repellent layer 53.
  • a liquid repellent component and a non-liquid repellent component are mixed in the liquid repellent layer 53. In this case, the liquid repellency of the template W is lowered because the liquid repellency of the liquid repellent layer 53 is lowered.
  • the transport of the template W by the transport unit 20 is restricted by the control unit 40 for a predetermined time during which the template W is left unattended. Accordingly, the movement of the template W is prohibited for the predetermined time described above, so that the template W does not move before the liquid repellent material 11a is dried. Therefore, it is possible to prevent the liquid lyophobic material 11a from moving from the desired position and leaving the side surface of the convex portion 52 due to vibration caused by the movement of the template W.
  • a liquid repellent layer 53 can be formed.
  • the coated template W coated with the liquid repellent material 11a is transported from the coating unit 10 to the cleaning unit 30 by the transport unit 20 (see FIG. 1).
  • the cleaning unit 30 does not first rotate the template W, and the first supply head 31 is moved to the center of the main surface 51a of the template W, that is, the center of the end surface of the convex portion 52, as shown in FIG.
  • the solvent is supplied from the first supply head 31 to the center of the end surface of the convex portion 52 of the template W.
  • the flow rate at this time is, for example, 1 L / min or more.
  • the cleaning unit 30 After a predetermined time (for example, 15 seconds) from the start of supply, the cleaning unit 30 causes the rotation mechanism 33 to start rotation of the template W in the horizontal plane with the center of the template W as the rotation center. At this time, the first supply head 31 continues to supply the solvent to the main surface 51a of the template W. Thereby, the surface of the template W is cleaned.
  • a predetermined time for example, 15 seconds
  • the cleaning solvent used for the above-described cleaning is a fluorine-based volatile solvent (volatile solvent).
  • This fluorine-based volatile solvent is a solvent that dissolves non-liquid repellent components.
  • a fluorine-based volatile solvent for example, a fluorine-based inert liquid can be used.
  • the fluorinated inert liquid include Fluorinert (registered trademark), Galden (registered trademark), and Novec (registered trademark). When these Galden or Novec are used, since Galden or Novec is a solvent having higher volatility than Fluorinert, the solvent volatilization time can be shortened.
  • the volatile solvent (solvent that dissolves the liquid repellent component) contained in the liquid repellent material functions as the first volatile solvent
  • the above-mentioned fluorine-based volatile solvent (solvent that dissolves the non-liquid repellent component) is It functions as a second volatile solvent.
  • both the first volatile solvent and the second volatile solvent can be fluorinated solvents
  • the first volatile solvent and the second volatile solvent are different types of solvents
  • the volatile solvent is a solvent having higher volatility than the first volatile solvent.
  • the first volatile solvent is a solvent that reacts with quartz
  • the second volatile solvent is a solvent that does not react with quartz.
  • a fluorine-based volatile solvent that dissolves the non-liquid repellent component is supplied onto the template W.
  • the non-liquid repellent component contained in the liquid repellent layer 53 on the template W is dissolved by the fluorine-based volatile solvent and removed from the liquid repellent layer 53.
  • the liquid repellent layer 53 can be prevented from mixing the liquid repellent component and the non-liquid repellent component, and the liquid repellent layer 53 can have high liquid repellency, so that the liquid repellent performance of the template W can be improved.
  • the above-described solvent is supplied to the center of the end surface of the convex portion 52 of the template W.
  • the flow of the solvent which goes to the outer periphery from the end surface center of the convex part 52 of the template W arises.
  • the non-liquid repellent component dissolved in the fluorine-based volatile solvent from returning to the concave / convex pattern 52a side on the convex portion 52.
  • production of abnormality of the template W by adhesion can be suppressed. If the non-liquid repellent component adheres to the concave / convex pattern 52a on the convex portion 52, it becomes a foreign substance.
  • the solvent flows from the center of the end surface of the convex portion 52 of the template W toward the outer periphery thereof, it is possible to suppress the stagnation of the solvent due to the backflow of the solvent or vortex on the concave / convex pattern 52a or the main surface 51a. It becomes possible. Thereby, generation
  • the cleaning unit 30 does not first rotate the template W, but starts to supply the solvent to the center of the main surface 51a of the template W, that is, after starting the supply of the solvent, rotates the template W.
  • the solvent is supplied while the template W is rotating, the liquid may splash on the template W.
  • the occurrence of abnormality of the template W due to the liquid splash is suppressed. be able to.
  • the cleaning unit 30 After cleaning with the above-described solvent, the cleaning unit 30 makes the second supply head 32 face the center of the main surface 51a of the template W, that is, the center of the end surface of the convex portion 52, instead of the first supply head 31, and Pure water is supplied from the supply head 32 to the center of the end face of the convex portion 52 of the template W for a predetermined time (for example, 300 seconds), and the surface of the template W is cleaned.
  • the template W remains rotated from the cleaning with the solvent, and the second supply head 32 swings in a direction along the surface of the template W. By such cleaning, particles on the surface of the template W are removed, and the surface of the template W is cleaned.
  • the number of rotations of the template W is increased to a predetermined number (for example, 700 rpm), and the template W is dried for a predetermined time (for example, 180 seconds). After drying, the template W is transported to the next process.
  • ozone water (20 ppm) may be supplied for a predetermined time (for example, 60 seconds) before supplying pure water.
  • the template W on which the above-described liquid repellent layer 53 is formed has a concavo-convex pattern 52 a on the convex portion 52 and a liquid transfer target on the object to be processed (for example, a semiconductor substrate) 61. It is directed to the object (for example, photocurable resin) 62 and pressed against the liquid transfer object 62 on the object to be processed 61. At this time, the liquid transfer object 62 protrudes from between the end surface of the convex portion 52 and the object to be processed 61, but the liquid repellent layer 53 is formed on the side surface of the protrusion 52, so that the liquid transfer object is protruded.
  • the object for example, photocurable resin
  • the object 62 is repelled by the liquid repellent layer 53. That is, since the liquid repellent layer 53 has a function of repelling the liquid transfer object 62, the liquid transfer object 62 is suppressed from adhering to the side surface of the convex portion 52, and rises along the side surface of the convex portion 52. Is suppressed.
  • the transfer object 62 is not limited to a liquid photocurable resin, and for example, a liquid thermosetting resin can also be used.
  • the liquid transfer object 62 is heated and cured by a heating unit such as a heater or a light source.
  • FIG. 9 shows the determination result of the liquid repellency of the liquid repellent layer depending on the type of cleaning solvent.
  • the determination result is obtained by the same test procedure for each type of solvent.
  • a liquid repellent material is applied on a test substrate (for example, bare silicon) by a predetermined amount (for example, 0.05 ml).
  • the test substrate coated with the liquid repellent material is left for a predetermined time (for example, 1 hour), and a liquid repellent layer is formed on the test substrate.
  • the test substrate on which the liquid repellent layer is formed is immersed in one kind of solvent for a predetermined time (for example, 30 minutes). Thereafter, the test substrate on which the liquid repellent layer is formed is pulled up from the solvent, washed with water for a predetermined time (for example, 5 minutes), and dried by blowing a gas such as N 2 .
  • a resist (an example of the transferred object 62) is dropped on the liquid repellent layer formed on the test substrate, and the contact angle of the resist with respect to the liquid repellent layer is measured.
  • this contact angle is 65 degrees or more, for example, the solvent used in the test is determined to be acceptable (OK).
  • the solvent is a solvent that can eliminate the residue of non-liquid repellent components.
  • the contact angle is smaller than 65 degrees, for example, the solvent used in the test is determined to be rejected (NG).
  • the solvent is a solvent that cannot sufficiently eliminate the residue of the non-liquid repellent component.
  • the contact angle of the liquid repellent layer is 65 degrees or more, the liquid repellent layer of the template W is considered to have a sufficient function of repelling a liquid transfer object. In this manner, the determination result (good or bad) of the liquid repellency of the liquid repellent layer depending on the type of cleaning solvent as shown in FIG. 9 is obtained.
  • the concave / convex pattern 52a is avoided by applying the liquid lyophobic material 11a to the side surface of the convex portion 52 while avoiding the concave / convex pattern 52a on the convex portion 52 of the template W.
  • the liquid repellent layer 53 can be formed on at least a part of the side surface of the convex portion 52. For this reason, in the imprint process, the liquid transfer object 62 that protrudes from between the convex portion 52 of the template W and the object to be processed 61 is repelled by the liquid repellent layer 53, so that the liquid transfer object 62 is Adhering to the side surface of 52 can be suppressed.
  • the liquid repellent material 11a is a solution containing a liquid repellent component and a non-liquid repellent component, a liquid repellent component and a non-liquid repellent component are mixed in the liquid repellent layer 53 formed on the side surface of the convex portion 52.
  • the liquid repellency of the template W is lowered because the liquid repellency of the liquid repellent layer 53 is lowered, that is, the contact angle of the liquid transfer object 62 with respect to the liquid repellent layer 53 is reduced. Therefore, a fluorine-based volatile solvent that dissolves the non-liquid repellent component contained in the liquid repellent material 11a is supplied onto the template W when cleaning with a solvent is performed as described above.
  • the non-liquid repellent component contained in the liquid repellent layer 53 on the template W is dissolved by the fluorine-based volatile solvent and removed from the liquid repellent layer 53. Accordingly, the liquid repellent layer 53 can be prevented from mixing the liquid repellent component and the non-liquid repellent component, and the liquid repellent layer 53 can have high liquid repellency, that is, the liquid transfer object 62 can contact the liquid repellent layer 53. Since the corner becomes large, the liquid repellency of the template W can be improved.
  • the supply head 11 that applies the liquid lyophobic material 11 a to the template W, it is possible to easily form the lyophobic layer 53 on the side surface of the convex portion 52 while avoiding the concave / convex pattern 52 a on the convex portion 52. it can. Furthermore, according to the planar shape of the convex part 52, it is also possible to apply the liquid lyophobic material 11a to the side surface of the convex part 52 while avoiding the concave / convex pattern 52a on the convex part 52, and reliably the side surface of the convex part 52.
  • the liquid repellent layer 53 can be formed.
  • the template W is generally washed with a chemical solution in order to remove the transferred object 62.
  • a cleaning process for removing the transfer object 62 from the side surface of the convex portion 52 after the imprint process is performed. It can be unnecessary. Thereby, it is possible to reduce the cleaning process for the template W after the imprint process, and it is possible to prevent damage such as pattern consumption of the template W and pattern collapse due to the cleaning liquid. As a result, occurrence of template abnormality can be suppressed.
  • the concavo-convex pattern 52a is a fine pattern having a dimensional width of nanometer size.
  • the liquid repellent layer 53 is formed on the concavo-convex pattern 52a, the thickness of the liquid repellant layer 53 is increased. The accuracy of the dimension width cannot be maintained, and pattern abnormality occurs during transfer.
  • supply conditions such as the height position, discharge amount, and movement speed of the supply head 11 are discharged from the supply head 11 toward the application region R1.
  • the liquid lyophobic material discharged from the supply head 11 toward the application region R1 is prevented from splashing on the main surface 51a and adhering to the concavo-convex pattern 52a on the convex portion 52. It is set not to jump at 51a.
  • the discharge of the liquid repellent material is started with the supply head 11 facing the position in the application region R1, or If the discharge of the liquid lyophobic material is stopped, the liquid lyophobic material may jump on the main surface 51a and adhere to the concavo-convex pattern 52a on the convex portion 52 at that time.
  • the discharge force and discharge amount of the liquid when the supply head 11 starts supplying the liquid and when the supply of the liquid is stopped.
  • the supply head 11 starts discharging the liquid lyophobic material while facing the discharge start position A2 outside the application region R1, or faces the discharge stop position A3 outside the application region R1. In this state, the discharge of the liquid repellent material is stopped. Thereby, the distance between the discharge start position A2 or the discharge stop position A3 and the concave / convex pattern 52a is increased, and the liquid lyophobic material jumps on the main surface 51a and adheres to the concave / convex pattern 52a on the convex portion 52. Since this can be prevented, the occurrence of pattern abnormality can be reliably suppressed.
  • the discharge start position A2 and the discharge stop position A3 are set on the template on the stage 13. It is desirable to set the position outside the main surface 51a of W, that is, the position outside the outer peripheral edge of the main surface 51a. In this case, since the liquid lyophobic material does not hit the main surface 51a and does not jump, the liquid lyophobic material can be reliably prevented from splashing on the main surface 51a and adhering to the uneven pattern 52a on the convex portion 52. Can do.
  • the supply head 11 can be controlled such that the discharge amount of the liquid repellent material discharged from the supply head 11 changes from the discharge start position A2 to the discharge stop position A3. For example, at the position A4 where the trajectory of the supply head 11 overlaps from the discharge start position A2 to the discharge stop position A3, the liquid repellent material is applied twice, and at the position A4, the liquid repellent material is applied. The thickness tends to increase. If the thickness of the liquid repellent material is not uniform, aggregates may be generated. Therefore, it is preferable that the discharge amount of the liquid repellent material be uniform along the trajectory of the supply head 11. Therefore, at the position A4 where the trajectories overlap, the discharge amount can be adjusted so that the discharge amount of the supply head 11 is reduced. For example, the supply head 11 can be controlled so that the discharge amount of the liquid repellent material is approximately the same at the position A4 where the tracks overlap and at other positions on the track.
  • the liquid repellent layer 53 is formed on the entire side surface of the convex portion 52 and a part of the main surface 51a connected to the side surface, but this is not restrictive.
  • the liquid-repellent layer 53 may be formed at least on the side surface of the convex portion 52 while avoiding the concave / convex pattern 52a on the convex portion 52.
  • a part of the end surface of the convex portion 52 or the main surface 51a it is also possible to form the liquid repellent layer 53 on the entire surface other than the convex portion 52 in FIG.
  • the liquid repellent layer 53 can be formed on a part of the end surface of the convex portion 52 and the entire surface other than the convex portion 52 on the main surface 51a.
  • the liquid repellent layer 53 may be formed on the side surface of the convex portion 52 that is in contact with the transfer object 62, and the liquid repellent layer 53 may be formed only on a part of the side surface of the convex portion 52.
  • the liquid repellent layer 53 is a single layer as an example.
  • the liquid repellent layer 53 is not limited to a single layer, and a plurality of layers can be stacked and used.
  • the side surface (side wall) of the convex portion 52 may be perpendicular to the main surface 51a or may be inclined.
  • the side surface of the convex portion 52 may be flat or may have a step.
  • the continuous discharge in which the liquid repellent material is continuously discharged by the supply head 11 of the application unit 10 is illustrated, but the present invention is not limited thereto, and the liquid repellent material is not limited thereto. It is also possible to perform intermittent discharge (dropping of a liquid repellent material) that discharges intermittently. In this case, it is desirable that the supply head 11 repeat the dropping at a predetermined interval along the application path A1, that is, an interval at which the liquid repellent material 11a can be applied to the entire side surface of the convex portion 52.
  • the above-described application path A1 (supply position) is determined in advance.
  • the imaging unit 14 causes the projection 52 of the template W on the stage 13 to be formed.
  • the control unit 40 It is also possible to image the upper surface and adjust the supply position by the control unit 40 according to the planar size and planar shape of the convex portion 52 based on the captured image.
  • the supply position is adjusted by the control unit 40 so that the distance from the side surface of the convex portion 52 always becomes the predetermined distance L1 based on the planar size and planar shape of the convex portion 52.
  • the application position is maintained at a predetermined distance L1 from the side surface of the convex portion 52, so that the liquid lyophobic liquid supplied to the main surface 51a of the template W
  • the liquid repellent material 11 a can be reliably applied to the side surface of the convex portion 52 while preventing the material 11 a from spreading and overcoming the side surface of the convex portion 52.
  • the dispenser is exemplified as the supply head 11 of the application unit 10, but the present invention is not limited thereto, and other than the dispenser, a sponge brush impregnated with a liquid repellent material, It is possible to use a pen or an ink jet head that discharges a liquid repellent material.
  • a sponge brush, a pen, or the like in addition to the template W in the state shown in FIG. 3, each support member is inverted so that the convex portion 52 is directed downward in the direction of gravity, and each support member has a certain height. It is also possible to apply a liquid repellent material from below the template W, supported by 13a. Alternatively, it is possible to support the template W so that the main surface 51a is inclined and apply a liquid repellent material from an oblique direction of the template W.
  • the liquid repellent material is supplied to the main surface 51a of the template W, and as a result, the liquid repellent material is applied to the side surface of the convex portion 52.
  • the liquid repellent material is supplied to the main surface 51a of the template W, and as a result, the liquid repellent material is applied to the side surface of the convex portion 52.
  • the supply head 11 of the application unit 10 is moved to the XYZ axes by the horizontal movement mechanism or the vertical movement mechanism, but the stage 13 may be moved.
  • the stage 13 can be provided with a horizontal movement mechanism or a vertical movement mechanism. That is, it is only necessary that the supply head 11 and the stage 13 can move relatively, and either one or both may move. In this case, the relative movement between the stage 13 and the supply head 11 can be controlled by the control unit 40.
  • the spin processing apparatus was illustrated as the washing
  • a semiconductor substrate is exemplified as the object to be processed 61 as an example.
  • the present invention is not limited to this, and a quartz substrate used as a replica template may be used.

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Abstract

実施形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置（１）は、凹凸パターンが形成された凸部を有する、ステージ上のテンプレートＷに液状の撥液材を供給する供給ヘッド（１１）と、供給ヘッド（１１）及びステージをステージに沿う方向に相対移動させる搬送部（２０）と、供給ヘッド（１１）が凹凸パターンを避けて少なくとも凸部の側面に液状の撥液材を塗布するように供給ヘッド（１１）及び搬送部（２０）を制御する制御部（４０）と、液状の撥液材が塗布されたテンプレートＷに液体を供給する洗浄部（３０）とを備える。液状の撥液材は、テンプレートＷの表面と反応する撥液成分及び非撥液成分と、撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含む。前述の液体は、非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤である。

Description

インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法
　本発明の実施形態は、インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法に関する。
　近年、半導体基板などの被処理物に微細なパターンを形成する方法としては、インプリント法が提案されている。このインプリント法は、被処理物上に塗布された液状の被転写物（例えば光硬化性樹脂）に、凹凸パターンが形成された型（原版）を押し付け、その型側から液状の被転写物に光を照射し、その後、硬化した被転写物から型を離して凹凸パターンを被転写物に転写させる方法である。液状の被転写物の表面に押し付ける型としては、テンプレートが用いられている。このテンプレートは、モールド、インプリント型あるいはスタンパなどとも称される。
　テンプレートは、前述の被転写物を硬化させる工程（転写工程）において、紫外線などの光が透過しやすいように透光性が高い石英などにより形成されている。このテンプレートの主面には凸部（凸状の部位）が設けられており、この凸部には前述の液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されている。例えば、凹凸パターンを有する凸部はメサ部と称され、テンプレートの主面においてメサ部以外の部分はオフメサ部と称される。
特許第５５３７５１７号公報
　しかしながら、テンプレートが液状の被転写物に押し付けられると、液状の被転写物は少量であるが凸部の端からはみ出し、はみ出した液状の被転写物が凸部の側面（側壁）に沿って盛り上がることがある。凸部の側面に付着した被転写物は光照射によりその状態のまま硬化するため、テンプレートが被転写物から離されると、被転写物に盛り上がり部分が存在し、パターン異常が発生してしまう。
　また、テンプレートが被転写物から離される際に、被転写物の盛り上がり部分がテンプレート側にくっつき、その後、何らかのタイミングで被転写物上に落下してダストとなることがある。この落下したダスト上にテンプレートが押し付けられると、テンプレート側の凹凸パターンが破損したり、あるいは、落下したダストがテンプレート側の凹凸パターン間に入り込み、異物となったりするため、テンプレート異常が発生してしまう。さらにこのような破損した凹凸パターンを有するテンプレートや、異物が入り込んだテンプレートで続けて転写を行うと、被転写物のパターンに欠陥を生じさせ、パターン異常が発生してしまう。
　本発明が解決しようとする課題は、パターン異常及びテンプレート異常の発生を抑えることが可能なインプリント用テンプレートを製造することができるテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法を提供することである。
　実施形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置は、主面を有する基体と、主面上に設けられた凸部とを有し、この凸部における端面に、液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されたテンプレートを支持するステージと、ステージ上のテンプレートに液状の被転写物を弾く液状の撥液材を供給する供給ヘッドと、ステージ及び供給ヘッドをステージに沿う方向に相対移動させる移動機構と、供給ヘッドが凹凸パターンを避けて少なくとも凸部の側面に液状の撥液材を塗布するように供給ヘッド及び移動機構を制御する制御部と、液状の撥液材が塗布されたテンプレートに液体を供給する洗浄部とを備え、液状の撥液材は、テンプレートの表面と反応する撥液成分と、テンプレートの表面と反応する非撥液成分と、撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含み、前述の液体は、非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤である。
　実施形態に係るインプリント用のテンプレート製造方法は、主面を有する基体と、主面上に設けられた凸部とを有し、この凸部における端面に、液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されたテンプレートを支持する工程と、支持されたテンプレートの凹凸パターンを避けて少なくとも凸部の側面に、液状の被転写物を弾く液状の撥液材を塗布する工程と、液状の撥液材が塗布されたテンプレートに液体を供給する工程とを有し、液状の撥液材は、テンプレートの表面と反応する撥液成分と、テンプレートの表面と反応する非撥液成分と、撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含み、前述の液体は、非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤である。
　本発明の実施形態によれば、パターン異常及びテンプレート異常の発生を抑えることが可能なインプリント用テンプレートを製造することができる。
実施の一形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置の概略構成を示す図である。 実施の一形態に係るテンプレートの概略構成を示す断面図である。 実施の一形態に係る塗布部の概略構成を示す図である。 実施の一形態に係る塗布工程を説明するための平面図である。 実施の一形態に係る塗布工程を説明するための断面図である。 実施の一形態に係る塗布済のテンプレートの概略構成を示す断面図である。 実施の一形態に係る洗浄工程を説明するための断面図である。 実施の一形態に係るインプリント工程を説明するための断面図である。 実施の一形態に係る洗浄用溶剤の種類に依存する撥液層の撥液性の判定結果を説明するための図である。
　実施の一形態について図面を参照して説明する。実施の一形態に係るインプリント用のテンプレート製造装置は、テンプレートに液状の撥液材を塗布してテンプレートの一部をコートする塗布コーティング装置を含む製造装置の一例である。
　（基本構成）
　図１に示すように、実施の一形態に係るテンプレート製造装置１は、テンプレートＷに液状の撥液材を塗布する塗布部１０と、テンプレートＷを搬送する搬送部２０と、塗布後のテンプレートＷを洗浄する洗浄部３０と、各部を制御する制御部４０とを備えている。
　塗布部１０は、テンプレートＷ上に液状の撥液材を供給する供給ヘッド１１を有している。この塗布部１０は、供給ヘッド１１から液状の撥液材をテンプレートＷの表面に供給し、テンプレートＷの所定領域に液状の撥液材を塗布する（詳しくは後述する）。塗布部１０は制御部４０に電気的に接続されており、その駆動は制御部４０により制御される。
　搬送部２０は、液状の撥液材が塗布された塗布済のテンプレートＷを塗布部１０から洗浄部３０に搬送する。この搬送部２０としては、例えば、ロボットハンドリング装置を用いることが可能である。搬送部２０は制御部４０に電気的に接続されており、その駆動は制御部４０により制御される。
　洗浄部３０は、テンプレートＷ上に溶剤を供給する第１の供給ヘッド３１と、テンプレートＷ上に純水（例えばＤＩＷ）を供給する第２の供給ヘッド３２と、テンプレートＷを保持して水平面内で回転させる回転機構３３とを有している。第１の供給ヘッド３１及び第２の供給ヘッド３２は、それぞれテンプレートＷの表面に沿って揺動することが可能に、さらに、互いの揺動を妨げないように構成されている。
　この洗浄部３０は、回転機構３３によりテンプレートＷをその中心を回転中心として水平面内で回転させながら、第１の供給ヘッド３１からテンプレートＷの表面の中央に溶剤を供給し、あるいは、第２の供給ヘッド３２からテンプレートＷの表面の中央に純水を供給し、テンプレートＷを洗浄する。第１の供給ヘッド３１や第２の供給ヘッド３２としては、例えば、スプレーノズルを用いることが可能である。洗浄部３０は制御部４０に電気的に接続されており、その駆動は制御部４０により制御される。
　制御部４０は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布処理（コーティング処理）や搬送処理、洗浄処理に関する処理情報や各種プログラムなどを記憶する記憶部（いずれも図示せず）を備えている。この制御部４０は、処理情報や各種プログラムに基づいて塗布部１０がテンプレートＷの所定領域に液状の撥液材を塗布するように塗布部１０を制御する。さらに、制御部４０は、処理情報や各種プログラムに基づき、搬送部２０が塗布済のテンプレートＷを塗布部１０から洗浄部３０に搬送するように搬送部２０を制御し、洗浄部３０が塗布済のテンプレートＷを洗浄するように洗浄部３０を制御する。
　（テンプレート）
　被塗布物となるテンプレートＷについて図２を参照して説明する。図２に示すように、テンプレートＷは、主面５１ａを有する基体５１と、基体５１の主面５１ａ上に設けられた凸部５２とを具備している。
　基体５１は透光性を有しており、主面５１ａが平面である板状に形成されている。この基体５１の板形状は例えば正方形や長方形などの形状であるが、その形状は特に限定されるものではない。基体５１としては、例えば、石英基板などの透明基板を用いることが可能である。なお、インプリント工程では、主面５１ａの反対面が、紫外線などの光が照射される面となる。
　凸部５２は透光性を有しており、基体５１と同じ材料により一体に形成されている。この凸部５２の端面、すなわち主面５１ａ側と反対側の面（図２中の上面）には、凹凸パターン５２ａが形成されている。この凹凸パターン５２ａが液状の被転写物（例えば光硬化性樹脂）に押し付けられるパターンである。なお、凸部５２の端面において凹凸パターン５２ａが形成されているパターン領域は例えば正方形や長方形の領域であるが、その形状は特に限定されるものではない。
　（塗布部）
　図３に示すように、塗布部１０は、供給ヘッド１１に加え、テンプレートＷを処理するための処理室１２と、未処理のテンプレートＷが置かれるステージ１３と、ステージ１３上のテンプレートＷを撮像する撮像部１４と、供給ヘッド１１をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構１５と、Ｙ軸移動機構１５を供給ヘッド１１と共にＺ軸方向に移動させる一対のＺ軸移動機構１６Ａ及び１６Ｂと、一対のＺ軸移動機構１６Ａ及び１６ＢをＸ軸方向に移動させる一対のＸ軸移動機構１７Ａ及び１７Ｂとを備えている。
　供給ヘッド１１は、液状の撥液材を吐出するディスペンサである。この供給ヘッド１１は、処理室１２外のタンクなどから供給される液状の撥液材を収容し、その収容した液状の撥液材を所定タイミングでステージ１３上のテンプレートＷに向けて吐出する。供給ヘッド１１は制御部４０に電気的に接続されており、その駆動は制御部４０により制御される。
　液状の撥液材は、透光性を有し、液状の被転写物を弾く材料である。この液状の撥液材は、撥液コート剤（例えばシランカップリング剤）を含んでいる。撥液コート剤は、液状の被転写物を弾く撥液成分と、液状の被転写物を弾けない非撥液成分と、撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含む溶液である。撥液成分及び非撥液成分は両方ともテンプレートＷの表面に反応する。撥液成分は一例として沸点が２５０℃より低い撥液成分であり、非撥液成分は一例として沸点が２５０℃以上である非撥液成分である。
　処理室１２は、供給ヘッド１１やステージ１３、撮像部１４、各移動機構１５、１６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ及び１７Ｂなどを収容することが可能に箱形状に形成されている。この処理室１２の上面には空気中の異物を除去するフィルタ１２ａが設けられており、処理室１２の下面（底面）には排気口１２ｂが設けられている。処理室１２内では空気がフィルタ１２ａから排気口１２ｂへと流れており、処理室１２内はダウンフロー（垂直層流）によって清浄に保たれている。フィルタ１２ａとしては、例えば、ＵＬＰＡフィルタやＨＥＰＡフィルタなどを用いることが可能である。
　ステージ１３は、ピンなどの複数の支持部材１３ａを有しており、それらの支持部材１３ａによりテンプレートＷを支持する支持部である。このステージ１３は、処理室１２の底面に固定されているが、これに限るものではなく、例えば、Ｘ軸方向やＹ軸方向などの水平方向やＺ軸方向などの上下方向に移動するようにしても良い。
　撮像部１４は、ステージ１３上のテンプレートＷ、特に凸部５２及びその周辺を撮像することが可能に処理室１２の上面に取り付けられている。この撮像部１４は制御部４０に電気的に接続されており、撮像した画像（例えば凸部５２の平面画像）を制御部４０に送信する。
　Ｙ軸移動機構１５は、供給ヘッド１１を支持し、その供給ヘッド１１をＹ軸方向に案内して移動させる。また、一対のＺ軸移動機構１６Ａ及び１６Ｂは、Ｙ軸移動機構１５を水平に支持し、そのＹ軸移動機構１５を供給ヘッド１１と共にＺ軸方向に案内して移動させる。これらＹ軸移動機構１５と一対のＺ軸移動機構１６Ａ及び１６Ｂは門型形状に配置されている。一対のＸ軸移動機構１７Ａ及び１７Ｂは、直立状態の一対のＺ軸移動機構１６Ａ及び１６Ｂを支持し、それらＺ軸移動機構１６Ａ及び１６ＢをＸ軸方向に案内して移動させる。
　Ｙ軸移動機構１５と一対のＸ軸移動機構１７Ａ及び１７Ｂは、供給ヘッド１１とステージ１３とを水平方向に相対的に移動させる水平移動機構として機能する。また、一対のＺ軸移動機構１６Ａ及び１６Ｂは、供給ヘッド１１とステージ１３とを上下方向に相対移動させる上下移動機構として機能する。これらの移動機構１５、１６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ及び１７Ｂは制御部４０に電気的に接続されており、その駆動は制御部４０により制御される。各移動機構１５、１６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ及び１７Ｂとしては、例えば、リニアモータ式の移動機構やエアステージ式の移動機構、送りねじ式の移動機構など各種移動機構を用いることが可能である。
　次に、前述のテンプレート製造装置１が行う塗布工程（コーティング工程）、搬送工程及び洗浄工程について説明する。
　（塗布工程）
　図４に示すように、塗布部１０のコーティング工程において、供給ヘッド１１は、所定の高さを維持しつつ、各移動機構１５、１７Ａ及び１７Ｂにより、テンプレートＷの主面５１ａ上の塗布経路Ａ１（図４中の太い矢印線参照）に沿って移動しつつ、ステージ１３上のテンプレートＷの主面５１ａに液状の撥液材を連続して供給する。
　塗布経路Ａ１は、主面５１ａ上の吐出開始位置Ａ２から主面５１ａ上の凸部５２の外周に沿って主面５１ａ上の吐出停止位置Ａ３まで延びる。塗布経路Ａ１のうち凸部５２を囲む経路は凸部５２の側面から所定距離Ｌ１（例えば５ｍｍ）だけ離されている。吐出開始位置Ａ２は供給ヘッド１１が液状の撥液材の吐出を開始する位置であり、吐出停止位置Ａ３は供給ヘッド１１が液状の撥液材の吐出を停止する位置である。吐出開始位置Ａ２及び吐出停止位置Ａ３は、ステージ１３上のテンプレートＷの主面５１ａにおける凸部５２の周囲の塗布領域（供給領域）Ｒ１より外側の位置である。この凸部５２の周囲の塗布領域Ｒ１は例えば枠形状となり、その枠形状の塗布領域Ｒ１の見付寸法（縁幅）は一例として１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。
　まず、供給ヘッド１１は、ステージ１３上のテンプレートＷの主面５１ａにおける吐出開始位置Ａ２に対向し、液状の撥液材の吐出を開始する。次いで、供給ヘッド１１は、液状の撥液材を吐出している状態のまま、テンプレートＷの主面５１ａ上の塗布経路Ａ１に沿って、すなわち主面５１ａ上の凸部５２の外周に沿って相対移動し、主面５１ａ上の塗布領域Ｒ１内に液状の撥液材を連続して供給する。この塗布領域Ｒ１内に供給された液状の撥液材は濡れ性によって広がるため、液状の撥液材は塗布領域Ｒ１の全域に塗布されることになる。そして、供給ヘッド１１は、ステージ１３上のテンプレートＷの主面５１ａにおける吐出停止位置Ａ３に対向し、液状の撥液材の吐出を停止する。なお、制御部４０は、前述のように供給ヘッド１１が塗布経路Ａ１に沿って移動して液状の撥液材を連続して吐出するよう、処理情報や各種プログラムに基づいて供給ヘッド１１や各移動機構１５、１６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ及び１７Ｂなどを制御する。
　このような塗布工程において、図５に示すように、供給ヘッド１１からテンプレートＷの主面５１ａに供給された液状の撥液材１１ａは濡れ性により広がっていき、主面５１ａ上の凸部５２の側面にまで到達する。このとき、広がった液状の撥液材１１ａは表面張力により凸部５２の側面を乗り越えずにその側面に付着する。凸部５２の側面に付着して主面５１ａ上で広がっている液状の撥液材１１ａに含まれる揮発性溶剤が完全に揮発して乾燥すると、図６に示すように、凸部５２上の凹凸パターン５２ａを避けて少なくとも凸部５２の側面（側壁）に、例えば凸部５２の側面の全面及び主面５１ａの一部に撥液層５３が形成される。
　詳述すると、撥液層５３は、図６に示すように、凸部５２上の凹凸パターン５２ａを避けて凸部５２の側面の全面に形成されており、さらに、その凸部５２の側面につながる主面５１ａ上の所定領域に形成されている。例えば、凸部５２の形状は正方体又は直方体形状であるため、その周囲に位置する主面５１ａ上の所定領域は平面視で四角形の環状領域となるが、凸部５２の形状や環状の所定領域の形状は特に限定されるものではない。撥液層５３は透光性を有し、液状の被転写物を弾く層である。なお、撥液層５３は凸部５２の側面の全面に形成されているが、これに限るものではなく、凸部５２の側面の少なくとも一部に形成されれば良い。
　なお、前述の塗布経路Ａ１における所定距離Ｌ１は、供給ヘッド１１の高さ位置、液状の撥液材の供給量や濡れ性などに基づき、ステージ１３上のテンプレートＷの凸部５２の側面から離れ、供給ヘッド１１からステージ１３上のテンプレートＷの主面５１ａに供給された液状の撥液材１１ａが広がり、凸部５２の側面を乗り越えずに凸部５２の側面の上端まで付着する位置に設定されている（図５参照）。この供給位置の設定は、予めダミーテンプレートを用いてダミー吐出を行った結果に基づいて行われても良い。
　前述の塗布完了後には、テンプレートＷは残留溶剤、すなわち残留した揮発性溶剤が完全に揮発するまで所定時間（例えば５分以上１０分以下）放置される。このとき、液状の撥液材１１ａに含まれる撥液成分はテンプレートＷの表面と反応して撥液層５３を形成することになるが、液状の撥液材１１ａに含まれる非撥液成分も撥液層５３に含まれることになる。これにより、撥液層５３に撥液成分と非撥液成分とが混在する。この場合には、撥液層５３の撥液性が低くなるため、テンプレートＷの撥液性能が低下してしまう。
　また、前述のテンプレートＷが放置される所定時間、搬送部２０によるテンプレートＷの搬送は制御部４０により制限される。これにより、テンプレートＷの移動が前述の所定時間禁止されるので、液状の撥液材１１ａの乾燥前にテンプレートＷが移動することが無くなる。したがって、テンプレートＷの移動に起因する振動などによって液状の撥液材１１ａが所望位置から移動して凸部５２の側面から離れることを抑えることが可能になるので、凸部５２の側面に確実に撥液層５３を形成することができる。
　（搬送工程及び洗浄工程）
　液状の撥液材１１ａが塗布された塗布済のテンプレートＷは搬送部２０により塗布部１０から洗浄部３０に搬送される（図１参照）。洗浄部３０は、溶剤による洗浄を行う場合、まずテンプレートＷを回転させず、図７に示すように、第１の供給ヘッド３１をテンプレートＷの主面５１ａの中央、すなわち凸部５２の端面中央に対向させ、第１の供給ヘッド３１からテンプレートＷの凸部５２の端面中央に溶剤を供給する。このときの流量は例えば１Ｌ／ｍｉｎ以上である。その供給開始から所定時間（例えば１５秒）後、洗浄部３０は、回転機構３３によりテンプレートＷの中心を回転中心として水平面内でのテンプレートＷの回転を開始させる。このとき、第１の供給ヘッド３１はテンプレートＷの主面５１ａに溶剤を供給し続けている。これにより、テンプレートＷの表面が清浄にされる。
　ここで、前述の洗浄に用いられる洗浄用溶剤は、フッ素系の揮発性溶剤（揮発性溶媒）である。このフッ素系の揮発性溶剤は、非撥液成分を溶かす溶剤である。フッ素系の揮発性溶剤としては、例えば、フッ素系不活性液体を用いることが可能である。フッ素系不活性液体としては、フロリナート（登録商標）やガルデン（登録商標）、ノベック（登録商標）などがある。これらガルデン又はノベックを用いた場合には、ガルデンやノベックがフロリナートよりも揮発性の高い溶剤であるため、溶剤揮発時間を短縮することができる。
　なお、液状の撥液材に含まれる揮発性溶剤（撥液成分を溶かす溶剤）は第１の揮発性溶剤として機能し、前述のフッ素系の揮発性溶剤（非撥液成分を溶かす溶剤）は第２の揮発性溶剤として機能する。第１の揮発性溶剤と第２の揮発性溶剤をともにフッ素系溶剤とすることができるが、これら第１の揮発性溶剤と第２の揮発性溶剤は互いに異なる種類の溶剤であり、第２の揮発性溶剤は第１の揮発性溶剤よりも揮発性が高い溶剤である。また、第１の揮発性溶剤は石英と反応する溶剤であり、第２の揮発性溶剤は石英と反応しない溶剤である。
　前述の溶剤による洗浄を行う場合には、非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤がテンプレートＷ上に供給される。これにより、テンプレートＷ上の撥液層５３に含まれる非撥液成分は、フッ素系の揮発性溶剤によって溶かされ、撥液層５３から除去される。したがって、撥液層５３に撥液成分と非撥液成分とが混在することが抑えられ、撥液層５３の撥液性が高くなるので、テンプレートＷの撥液性能を向上させることができる。
　また、前述の溶剤はテンプレートＷの凸部５２の端面中央に供給される。これにより、テンプレートＷの凸部５２の端面中央からその外周に向かう溶剤の流れが生じる。このため、フッ素系の揮発性溶剤に溶け出した非撥液成分が凸部５２上の凹凸パターン５２ａ側に戻ることを抑制することが可能となるので、その凹凸パターン５２ａに対する非撥液成分の付着によるテンプレートＷの異常の発生を抑えることができる。非撥液成分が凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着すると異物となる。このような異物が付着したテンプレートＷの凹凸パターン５２ａが被転写物に押し付けられると、テンプレートＷ側の凹凸パターン５２ａが破損するため、テンプレートＷの異常が発生してしまう。さらに、このような破損した凹凸パターン５２ａを有するテンプレートＷや、非撥液成分が付着した状態のテンプレートＷで続けて転写を行うと、被転写物のパターンに欠陥を生じさせ、パターン異常が発生してしまう。
　さらに、テンプレートＷの凸部５２の端面中央からその外周に向かう溶剤の流れが生じるため、凹凸パターン５２ａや主面５１ａ上に、溶剤の逆流や渦などによって溶剤がたまる淀みが生じることを抑制することも可能になる。これにより、その淀みによるテンプレートＷの異常の発生を抑えることができる。詳しくは、淀みに含まれる非撥液成分が、凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着することで、異物としてパターン５２ａ上に残ることを抑制し、上述したテンプレート異常やパターン異常の発生を抑えることができる。
　また、洗浄部３０は、まずテンプレートＷを回転させず、溶剤をテンプレートＷの主面５１ａの中央に供給し始めてから、すなわち溶剤の供給開始後、テンプレートＷを回転させる。溶剤がテンプレートＷの回転中に供給されると、テンプレートＷ上で液が跳ねることがある。このため、前述のように溶剤の供給開始後、テンプレートＷを回転させることで、テンプレートＷ上での液跳ねを抑制することが可能となるので、その液跳ねによるテンプレートＷの異常の発生を抑えることができる。
　前述の溶剤による洗浄後、洗浄部３０は、第１の供給ヘッド３１に換えて第２の供給ヘッド３２をテンプレートＷの主面５１ａの中央、すなわち凸部５２の端面中央に対向させ、第２の供給ヘッド３２から純水をテンプレートＷの凸部５２の端面中央に所定時間（例えば３００秒）供給し、テンプレートＷの表面を洗浄する。このとき、テンプレートＷは前述の溶剤による洗浄から回転したままであり、第２の供給ヘッド３２はテンプレートＷの表面に沿う方向に揺動する。このような洗浄により、テンプレートＷの表面上のパーティクルが除去され、テンプレートＷの表面が清浄にされる。その後、洗浄液供給が停止した状態で、テンプレートＷの回転数を所定数（例えば７００ｒｐｍ）まで上昇させ、所定時間（例えば１８０秒）でテンプレートＷを乾燥させる。乾燥後、テンプレートＷは次工程に搬送される。なお、純水の供給前にオゾン水（２０ｐｐｍ）が所定時間（例えば６０秒）供給されるようにしても良い。
　（インプリント工程）
　図８に示すように、インプリント工程において、前述の撥液層５３が形成されたテンプレートＷは、凸部５２上の凹凸パターン５２ａが被処理物（例えば半導体基板）６１上の液状の被転写物（例えば光硬化性樹脂）６２に向けられ、被処理物６１上の液状の被転写物６２に押し付けられる。このとき、液状の被転写物６２は凸部５２の端面と被処理物６１との間からはみ出すが、撥液層５３が凸部５２の側面に形成されているため、はみ出した液状の被転写物６２は撥液層５３により弾かれる。すなわち、撥液層５３は液状の被転写物６２を弾く機能を有するため、液状の被転写物６２が凸部５２の側面に付着することが抑制され、凸部５２の側面に沿って盛り上がることが抑えられる。
　次に、凸部５２上の凹凸パターン５２ａが液状の被転写物６２に押し付けられた状態で、凹凸パターン５２ａが形成された面と反対側の面から紫外線などの光が液状の被転写物６２に照射される。この光照射によって液状の被転写物６２が硬化すると、硬化した被転写物６２からテンプレートＷが離される。このようにして、凸部５２上の凹凸パターン５２ａが被転写物６２に転写される。通常、このようなインプリント工程が被処理物６１の全面にわたって繰り返され、パターン転写が繰り返し行われるが、そのインプリント回数は特に限定されるものではない。
　なお、被転写物６２としては、液状の光硬化性樹脂に限るものではなく、例えば、液状の熱硬化性樹脂を用いることも可能である。この場合には、例えばヒータや光源などの加熱部により液状の被転写物６２を加熱して硬化させることになる。
　（洗浄用溶剤の種類に依存する撥液層の撥液性の判定結果）
　図９は、洗浄用溶剤の種類に依存する撥液層の撥液性の判定結果である。
　図９に示すように、各種の溶剤（界面活性剤、酸系溶剤、アルカリ系溶剤、有機溶剤及びフッ素系溶剤）が用いられ、溶剤の種類ごとにテストが行われ、各種類に依存する撥液層の撥液性の判定結果（良否）が求められている。
　この判定結果を求めるテストでは、溶剤の種類ごとに同じテスト手順で判定結果が求められる。テスト手順としては、まず、液状の撥液材がテスト基板（例えばベアシリコン）上に所定量（例えば０．０５ｍｌ）塗布される。液状の撥液材が塗布されたテスト基板は所定時間（例えば１時間）放置され、そのテスト基板上に撥液層が形成される。撥液層が形成されたテスト基板は一種類の溶剤に所定時間（例えば３０分）浸漬される。その後、撥液層が形成されたテスト基板は溶剤から引き上げられ、所定時間（例えば５分）水洗いされ、Ｎ２などの気体吹き付けによって乾燥される。
　次に、テスト基板上に形成された撥液層にレジスト（被転写物６２の一例）が滴下され、撥液層に対するレジストの接触角が測定される。この接触角が例えば６５度以上である場合には、テストに使用された溶剤は合格（ＯＫ）と判定される。その溶剤は非撥液成分の残渣を無くすことが可能な溶剤である。一方、接触角が例えば６５度よりも小さい場合には、テストに使用された溶剤は不合格（ＮＧ）と判定される。その溶剤は非撥液成分の残渣を十分に無くすことができない溶剤である。なお、撥液層の接触角が６５度以上であると、テンプレートＷの撥液層は、液状の被転写物を弾く機能を十分に有すると考えられる。このようにして、図９に示すような洗浄用溶剤の種類に依存する撥液層の撥液性の判定結果（良否）が求められる。
　図９に示すように、界面活性剤、酸系溶剤、アルカリ系溶剤及び有機溶剤は不合格（ＮＧ）であり、フッ素系溶剤だけが合格（ＯＫ）となることが確認された。したがって、前述の洗浄にフッ素系溶剤を用いることによって、非撥液成分の残渣を無くすことが可能となる。これにより、撥液層に対するレジストの接触角が大きくなるので、テンプレートＷの撥液性能を向上させることができる。なお、フッ素系の揮発性溶剤としては、例えば、フロリナートやガルデン、ノベックなどがある。
　以上説明したように、実施形態によれば、テンプレートＷの凸部５２上の凹凸パターン５２ａを避けて凸部５２の側面に液状の撥液材１１ａを塗布することによって、凹凸パターン５２ａを避けて撥液層５３を凸部５２の側面の少なくとも一部に形成することが可能となる。このため、インプリント工程において、テンプレートＷの凸部５２と被処理物６１との間からはみ出した液状の被転写物６２が撥液層５３により弾かれるため、液状の被転写物６２が凸部５２の側面に付着することを抑えることができる。これにより、硬化した被転写物６２の一部の盛り上がりを抑制してパターン異常の発生を抑えることが可能なテンプレートＷを得ることができる。さらに、テンプレートＷの破損や異物の噛み込みなどを抑制してパターン異常及びテンプレート異常の発生を抑えることが可能なテンプレートＷを得ることができる。
　なお、液状の撥液材１１ａは撥液成分と非撥液成分を含む溶液であるため、凸部５２の側面に形成された撥液層５３に撥液成分及び非撥液成分が混在する場合がある。この場合には、撥液層５３の撥液性が低くなり、すなわち撥液層５３に対する液状の被転写物６２の接触角が小さくなるため、テンプレートＷの撥液性能が低下してしまう。そこで、前述のように溶剤による洗浄を行う際に、液状の撥液材１１ａに含まれる非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤がテンプレートＷ上に供給される。これにより、テンプレートＷ上の撥液層５３に含まれる非撥液成分は、フッ素系の揮発性溶剤によって溶かされ、撥液層５３から除去される。したがって、撥液層５３に撥液成分と非撥液成分とが混在することが抑えられ、撥液層５３の撥液性が高くなる、すなわち撥液層５３に対する液状の被転写物６２の接触角が大きくなるので、テンプレートＷの撥液性能を向上させることができる。
　また、テンプレートＷに液状の撥液材１１ａを塗布する供給ヘッド１１を用いることによって、凸部５２上の凹凸パターン５２ａを避けて凸部５２の側面に撥液層５３を容易に形成することができる。さらに、凸部５２の平面形状に応じ、凸部５２上の凹凸パターン５２ａを避けて凸部５２の側面に液状の撥液材１１ａを塗布することも可能であり、確実に凸部５２の側面に撥液層５３を形成することができる。
　また、インプリント工程において、凸部５２の側面に被転写物６２が付着した場合には、その被転写物６２を取り除くため、テンプレートＷを薬液により洗浄することが一般的である。ところが、前述の実施形態によれば、被転写物６２が凸部５２の側面に付着することが抑えられるため、インプリント工程後、凸部５２の側面から被転写物６２を除去する洗浄工程を不要とすることができる。これにより、インプリント工程後のテンプレートＷに対する洗浄工程を削減することが可能となり、洗浄液によるテンプレートＷのパターン消耗や、パターン倒壊などのダメージを防ぐことができる。その結果、テンプレート異常の発生を抑制することができる。
　なお、凹凸パターン５２ａ上に撥液層５３を形成しないように凹凸パターン５２ａを避けて少なくとも凸部５２の側面に撥液層５３を形成することが重要である。これは、液状の被転写物６２に対する凹凸パターン５２ａの転写不良（ミスプリント）を避けるためである。すなわち、凹凸パターン５２ａはナノメートルサイズの寸法幅の微細なパターンであり、凹凸パターン５２ａ上に少しでも撥液層５３が形成されると、撥液層５３の厚みが生じる分、凹凸パターン５２ａの寸法幅の精度を維持できなくなり、転写する際にパターン異常が発生してしまう。
　ここで、前述の塗布工程（コーティング工程）での液の連続吐出において、供給ヘッド１１の高さ位置や吐出量、移動速度などの供給条件は、供給ヘッド１１から塗布領域Ｒ１に向けて吐出された液状の撥液材が主面５１ａで跳ねて凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着しないように、例えば、供給ヘッド１１から塗布領域Ｒ１に向けて吐出された液状の撥液材が主面５１ａで跳ねないように設定されている。ところが、液状の撥液材の供給条件が前述のように設定されていても、供給ヘッド１１が塗布領域Ｒ１内の位置に対向した状態で液状の撥液材の吐出を開始したり、あるいは、液状の撥液材の吐出を停止したりすると、その際に液状の撥液材が主面５１ａで跳ねて凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着することがある。この原因としては、一例として、供給ヘッド１１の液供給開始時や液供給停止時に液の吐出力や吐出量の変動があるため、液吐出や液停止が安定しないことが挙げられる。
　そこで、前述のように供給ヘッド１１は塗布領域Ｒ１より外側の吐出開始位置Ａ２に対向した状態で液状の撥液材の吐出を開始し、あるいは、塗布領域Ｒ１より外側の吐出停止位置Ａ３に対向した状態で液状の撥液材の吐出を停止する。これにより、吐出開始位置Ａ２または吐出停止位置Ａ３と、凹凸パターン５２ａとの距離が離れており、液状の撥液材が主面５１ａで跳ねて凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着することを防止することが可能になるので、パターン異常の発生を確実に抑えることができる。さらに、液状の撥液材が主面５１ａで跳ねて凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着することをより確実に抑えるためには、吐出開始位置Ａ２及び吐出停止位置Ａ３をステージ１３上のテンプレートＷの主面５１ａ外の位置、すなわち主面５１ａの外周縁より外側の位置にすることが望ましい。この場合には、液状の撥液材が主面５１ａに当たって跳ねることが無くなるので、液状の撥液材が主面５１ａで跳ねて凸部５２上の凹凸パターン５２ａに付着することを確実に抑えることができる。
　また、供給ヘッド１１が吐出開始位置Ａ２から吐出停止位置Ａ３に至るまでに、供給ヘッド１１から吐出される撥液材の吐出量が変化するように供給ヘッド１１を制御することもできる。例えば、供給ヘッド１１が吐出開始位置Ａ２から吐出停止位置Ａ３に至るまでに、供給ヘッド１１の軌跡が重なる位置Ａ４においては、撥液材が二重に塗布され、その位置Ａ４において撥液材の厚みが大きくなる傾向がある。撥液材の厚みが不均一になると、凝集物が発生する可能性があるので、撥液材の吐出量は供給ヘッド１１の軌跡において均一になるようにすることが好ましい。よって、軌跡が重なる位置Ａ４においては、供給ヘッド１１の吐出量が少なくなるように吐出量を調整することが可能である。例えば、軌跡が重なる位置Ａ４と、軌跡上の他の位置において、撥液材の吐出量が同程度になるように供給ヘッド１１を制御することができる。
　（他の実施形態）
　前述の実施形態においては、一例として、撥液層５３を凸部５２の側面の全面及びその側面につながる主面５１ａの一部に形成しているが、これに限るものではない。例えば、凸部５２上の凹凸パターン５２ａを避けて少なくとも凸部５２の側面に撥液層５３を形成すれば良く、凸部５２の側面に加え、凸部５２の端面の一部あるいは主面５１ａにおける凸部５２以外の全面に撥液層５３を形成することも可能である。さらに、凸部５２の側面に加え、凸部５２の端面の一部及び主面５１ａにおける凸部５２以外の全面に撥液層５３を形成することも可能である。また、凸部５２の側面における被転写物６２と接触する部分に撥液層５３を形成すれば良く、凸部５２の側面の一部だけに撥液層５３を形成することも可能である。
　また、前述の実施形態においては、一例として、撥液層５３を単層としたが、撥液層５３としては単層に限るものではなく、複数の層を積層して用いることも可能である。さらに、凸部５２の側面（側壁）は、主面５１ａに対して垂直でも良いし、傾斜していても良い。加えて、凸部５２の側面は平坦であっても良いし、段差を有していても良い。
　また、前述の実施形態においては、一例として、塗布部１０の供給ヘッド１１により液状の撥液材を連続して吐出する連続吐出を例示したが、これに限るものではなく、液状の撥液材を断続して吐出する断続吐出（液状の撥液材の滴下）を行うことも可能である。この場合には、供給ヘッド１１は、塗布経路Ａ１に沿って所定間隔、すなわち凸部５２の側面の全面に液状の撥液材１１ａを塗布することが可能な間隔で滴下を繰り返すことが望ましい。
　また、前述の実施形態においては、一例として、前述の塗布経路Ａ１（供給位置）を予め決めているが、これに限るものではなく、撮像部１４によりステージ１３上のテンプレートＷの凸部５２の上面を撮像し、撮像した画像に基づき凸部５２の平面サイズ及び平面形状に合わせて制御部４０により供給位置を調整することも可能である。例えば、供給位置は、凸部５２の平面サイズ及び平面形状に基づいて、凸部５２の側面からの距離が絶えず所定距離Ｌ１となるように制御部４０により調整される。これにより、凸部５２の平面サイズや平面形状が変化しても、塗布位置は凸部５２の側面から所定距離Ｌ１に維持されるので、テンプレートＷの主面５１ａに供給された液状の撥液材１１ａが広がって凸部５２の側面を乗り越えることを防止しつつ、凸部５２の側面に撥液材１１ａを確実に塗布することができる。
　また、前述の実施形態においては、一例として、塗布部１０の供給ヘッド１１としてディスペンサを例示したが、これに限るものではなく、ディスペンサ以外にも、液状の撥液材を染み込ませたスポンジブラシやペン、あるいは、液状の撥液材を吐出するインクジェットヘッドなどを用いることが可能である。スポンジブラシやペンなどを用いる場合には、図３に示す状態のテンプレートＷ以外にも、そのテンプレートＷを凸部５２が重力方向の下方に向くように逆さにし、高さがある程度高い各支持部材１３ａにより支持し、テンプレートＷの下方から液状の撥液材を塗布することも可能である。あるいは、テンプレートＷを主面５１ａが傾斜するように支持し、テンプレートＷの斜め方向から液状の撥液材を塗布することも可能である。
　また、前述の実施形態においては、一例として、テンプレートＷの主面５１ａに液状の撥液材を供給することで、結果的に凸部５２の側面に液状の撥液材を塗布しているが、これに限るものではなく、例えば、凸部５２の側面に直接、液状の撥液材を塗布することも可能である。
　また、前述の実施形態においては、一例として、塗布部１０の供給ヘッド１１を水平移動機構または上下移動機構によってＸＹＺ軸に移動させるようにしたが、ステージ１３を移動させるようにしても良い。この場合、ステージ１３に水平移動機構や上下移動機構を設けることが可能である。すなわち、供給ヘッド１１とステージ１３とが相対的に移動することができれば良く、いずれか一方または両方が移動するようにしても良い。この場合、制御部４０によりステージ１３と供給ヘッド１１の相対移動を制御することが可能である。
　また、前述の実施形態においては、一例として、洗浄部３０としてスピン処理装置を例示したが、これに限るものではなく、例えば、溶剤を貯留する槽や純水を貯留する槽を用いて、それらの槽内の液体に塗布済のテンプレートＷを浸漬することも可能である。
　また、前述の実施形態においては、一例として、被処理物６１として半導体基板を例示したが、これに限るものではなく、レプリカテンプレートとして使用される石英基板であっても良い。
　以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
　１　　　テンプレート製造装置
　１１　　供給ヘッド
　１３　　ステージ
　１５　　Ｙ軸移動機構
　１７Ａ　Ｘ軸移動機構
　１７Ｂ　Ｘ軸移動機構
　３０　　洗浄部
　４０　　制御部
　５１　　基体
　５１ａ　主面
　５２　　凸部
　５２ａ　凹凸パターン
　６２　　被転写物
　Ｗ　　　テンプレート

Claims (10)

  1. 　主面を有する基体と、前記主面上に設けられた凸部とを有し、この凸部における端面に、液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されたテンプレートを支持するステージと、
    　前記ステージ上の前記テンプレートに前記液状の被転写物を弾く液状の撥液材を供給する供給ヘッドと、
    　前記ステージ及び前記供給ヘッドを前記ステージに沿う方向に相対移動させる移動機構と、
    　前記供給ヘッドが前記凹凸パターンを避けて少なくとも前記凸部の側面に前記液状の撥液材を塗布するように前記供給ヘッド及び前記移動機構を制御する制御部と、
    　前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに液体を供給する洗浄部と、
    を備え、
    　前記液状の撥液材は、前記テンプレートの表面と反応する撥液成分と、前記テンプレートの表面と反応する非撥液成分と、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含み、
    　前記液体は、前記非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤であることを特徴とするインプリント用のテンプレート製造装置。
  2. 　前記制御部は、前記供給ヘッドが前記凸部の周囲の前記主面上に前記液状の撥液材を供給し、前記凸部の側面に前記液状の撥液材を塗布するように前記供給ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする請求項１に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。
  3. 　前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤は、フッ素系溶剤であり、
    　前記フッ素系の揮発性溶剤は、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤よりも揮発性が高い溶剤であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。
  4. 　前記フッ素系の揮発性溶剤は、フッ素系不活性液体であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。
  5. 　前記洗浄部は、
    　前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに前記液体を供給する供給ヘッドと、
    　前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートを水平面内で回転させる回転機構と、
    を具備し、
    　前記制御部は、前記供給ヘッドが前記液体を供給し始めてから、前記回転機構が前記テンプレートを回転させるように前記供給ヘッド及び前記回転機構を制御することを特徴とする請求項１に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。
  6. 　主面を有する基体と、前記主面上に設けられた凸部とを有し、この凸部における端面に、液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されたテンプレートを支持する工程と、
    　支持された前記テンプレートの前記凹凸パターンを避けて少なくとも前記凸部の側面に、前記液状の被転写物を弾く液状の撥液材を塗布する工程と、
    　前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに液体を供給する工程と、
    を有し、
    　前記液状の撥液材は、前記テンプレートの表面と反応する撥液成分と、前記テンプレートの表面と反応する非撥液成分と、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含み、
    　前記液体は、前記非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤であることを特徴とするインプリント用のテンプレート製造方法。
  7. 　前記液状の撥液材を塗布する工程では、前記凸部の周囲の前記主面上に前記液状の撥液材を供給し、前記凸部の側面に前記液状の撥液材を塗布することを特徴とする請求項６に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
  8. 　前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤は、フッ素系溶剤であり、
    　前記フッ素系の揮発性溶剤は、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤よりも揮発性が高い溶剤であることを特徴とする請求項６に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
  9. 　前記フッ素系の揮発性溶剤は、フッ素系不活性液体であることを特徴とする請求項６に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
  10. 　前記液体を供給する工程では、前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに前記液体を供給し始めてから、前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートを水平面内で回転させることを特徴とする請求項６に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
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