CN108140557A - 压印用的模板制造装置及模板制造方法 - Google Patents

Abstract

有关实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：供给头(11)，向具有形成有凹凸图案的凸部的工作台上的模板(W)供给液态的疏液材料；输送部(20)，使供给头(11)及工作台在沿着工作台的方向上相对移动；控制部(40)，控制供给头(11)及输送部(20)，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少向凸部的侧面涂敷液态的疏液材料；和清洗部(30)，向涂敷有液态的疏液材料的模板(W)供给液体。液态的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分及非疏液成分和将疏液成分溶解的挥发性溶剂。上述液体是将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

Description

压印用的模板制造装置及模板制造方法

技术领域

本发明涉及压印用的模板制造装置及模板制造方法。

背景技术

近年来，作为在半导体基板等的被处理物上形成微细的图案的方法而提出了压印法。该压印法是将形成有凹凸图案的模子(原版)推压到被涂敷在被处理物上的液态的被转印物(例如光硬化性树脂)上、从该模子侧向液态的被转印物照射光、然后使模子从硬化后的被转印物离开、使凹凸图案转印到被转印物上的方法。作为向液态的被转印物的表面推压的模子而使用模板。该模板也被称作模具、压印模或压模等。

模板在使上述被转印物硬化的工序(转印工序)中由透光性较高的石英等形成，以使紫外线等的光容易透过。在该模板的主面上设有凸部(凸状的部位)，在该凸部上形成有被向上述液态的被转印物推压的凹凸图案。例如，具有凹凸图案的凸部被称作高台部，在模板的主面中高台部以外的部分被称作非高台部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5537517号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，如果模板被推压到液态的被转印物上，则有液态的被转印物尽管是少量但从凸部的端部溢出、溢出的液态的被转印物沿着凸部的侧面(侧壁)隆起的情况。由于附着在凸部的侧面上的被转印物通过光照射而在该状态的原状下硬化，所以如果模板从被转印物离开，则在被转印物上存在隆起部分，发生图案异常。

此外，当模板从被转印物离开时，被转印物的隆起部分紧粘在模板侧，然后有在某个时候掉落到被转印物上而成为灰尘的情况。如果模板被推压在该掉落的灰尘上，则模板侧的凹凸图案会破损，或者掉落的灰尘进入到模板侧的凹凸图案间而成为异物，所以发生模板异常。进而，如果用这样的具有破损的凹凸图案的模板或异物进入的模板继续进行转印，则在被转印物的图案中产生缺陷，发生图案异常。

本发明要解决的课题是提供一种能够制造能够抑制图案异常及模板异常的发生的压印用模板的模板制造装置及模板制造方法。

用来解决课题的手段

有关技术方案的压印用的模板制造装置具备：工作台，具有有主面的基体和设在主面上的凸部，将形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案的模板支承在该凸部的端面上；供给头，对工作台上的模板供给将液态的被转印物弹开的液态的疏液材料；移动机构，使工作台及供给头在沿着工作台的方向上相对移动；控制部，控制供给头及移动机构，以使供给头避开凹凸图案而至少向凸部的侧面涂敷液态的疏液材料；清洗部，对涂敷有液态的疏液材料的模板供给液体；液态的疏液材料包含与模板的表面反应的疏液成分、与模板的表面反应的非疏液成分、和将疏液成分溶解的挥发性溶剂；上述液体是将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

有关实施方式的压印用的模板制造方法具有：具有有主面的基体和设在主面上的凸部、将形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案的模板支承在该凸部的端面上的工序；避开被支承的模板的凹凸图案如图至少向凸部的侧面涂敷将液态的被转印物弹开的液态的疏液材料的工序；向涂敷了液态的疏液材料的模板供给液体的工序；液态的疏液材料包含与模板的表面反应的疏液成分、与模板的表面反应的非疏液成分、和将疏液成分溶解的挥发性溶剂；液体是将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

发明效果

根据本发明的实施方式，能够制造能够抑制图案异常及模板异常的发生的压印用模板。

附图说明

图1是表示有关一实施方式的压印用的模板制造装置的概略结构的图。

图2是表示有关一实施方式的模板的概略结构的剖视图。

图3是表示有关一实施方式的涂敷部的概略结构的图。

图4是用来说明有关一实施方式的涂敷工序的平面图。

图5是用来说明有关一实施方式的涂敷工序的剖视图。

图6是表示有关一实施方式的已涂敷的模板的概略结构的剖视图。

图7是用来说明有关一实施方式的清洗工序的剖视图。

图8是用来说明有关一实施方式的压印工序的剖视图。

图9是用来说明依存于有关一实施方式的清洗用溶剂的种类的疏液层的疏液性的判定结果的图。

具体实施方式

参照附图对一实施方式进行说明。有关一实施方式的压印用的模板制造装置是包括向模板涂敷液态的疏液材料而将模板的一部分涂层的涂敷涂层装置的制造装置的一例。

(基本结构)

如图1所示，有关一实施方式的模板制造装置1具备对模板W涂敷液态的疏液材料的涂敷部10、输送模板W的输送部20、将涂敷后的模板W清洗的清洗部30、和控制各部的控制部40。

涂敷部10具有向模板W上供给液态的疏液材料的供给头11。该涂敷部10从供给头11将液态的疏液材料向模板W的表面供给，在模板W的规定区域上涂敷液态的疏液材料(详细情况后述)。涂敷部10被电气地连接在控制部40上，其驱动受控制部40控制。

输送部20将被涂敷了液态的疏液材料的已涂敷的模板W从涂敷部10向清洗部30输送。作为该输送部20，例如可以使用机器人搬运装置。输送部20被电气地连接在控制部40上，其驱动受控制部40控制。

清洗部30具有向模板W上供给溶剂的第1供给头31、向模板W上供给纯水(例如DIW)的第2供给头32、和保持模板W并使其在水平面内旋转的旋转机构33。第1供给头31及第2供给头32构成为，能够分别沿着模板W的表面摆动，进而不妨碍相互的摆动。

该清洗部30一边由旋转机构33使模板W以其中心为旋转中心在水平面内旋转，一边从第1供给头31向模板W的表面的中央供给溶剂，或从第2供给头32向模板W的表面的中央供给纯水，将模板W清洗。作为第1供给头31及第2供给头32，例如可以使用喷雾嘴。清洗部30被电气地连接在控制部40上，其驱动受控制部40控制。

控制部40具备将各部集中地控制的微型计算机、存储关于涂敷处理(涂层处理)及输送处理、清洗处理的处理信息及各种程序等的存储部(都未图示)。该控制部40基于处理信息及各种程序控制涂敷部10，以使涂敷部10向模板W的规定区域涂敷液态的疏液材料。进而，控制部40基于处理信息及各种程序控制输送部20，以使输送部20将已涂敷的模板W从涂敷部10向清洗部30输送，控制清洗部30以使清洗部30将已涂敷的模板W清洗。

(模板)

参照图2对作为被涂敷物的模板W进行说明。如图2所示，模板W具备具有主面51a的基体51和设在基体51的主面51a上的凸部52。

基体51具有透光性，形成为主面51a是平面的板状。该基体51的板形状例如是正方形或长方形等的形状，但其形状没有被特别限定。作为基体51，例如可以使用石英基板等的透明基板。另外，在压印工序中，主面51a的相反面为被照射紫外线等的光的面。

凸部52具有透光性，由与基体51相同的材料一体地形成。在该凸部52的端面、即与主面51a侧相反侧的面(图2中的上表面)上，形成有凹凸图案52a。该凹凸图案52a是被推压到液态的被转印物(例如光硬化性树脂)上的图案。另外，在凸部52的端面中，形成有凹凸图案52a的图案区域例如是正方形或长方形的区域，但其形状没有被特别限定。

(涂敷部)

如图3所示，涂敷部10除了供给头11以外，还具备用来处理模板W的处理室12、载置未处理的模板W的工作台13、将工作台13上的模板W摄像的摄像部14、使供给头11在Y轴方向上移动的Y轴移动机构15、使Y轴移动机构15与供给头11一起在Z轴方向上移动的一对Z轴移动机构16A及16B、和使一对Z轴移动机构16A及16B在X轴方向上移动的一对X轴移动机构17A及17B。

供给头11是排出液态的疏液材料的分配器。该供给头11容纳从处理室12外的罐等供给的液态的疏液材料，将该容纳的液态的疏液材料以规定时机朝向工作台13上的模板W排出。供给头11被电气地连接在控制部40上，其驱动被控制部40控制。

液态的疏液材料具有透光性，是将液态的被转印物弹开的材料。该液态的疏液材料包括疏液涂层剂(例如硅烷耦合剂)。疏液涂层剂是包含将液态的被转印物弹开的疏液成分、不将液态的被转印物弹开的非疏液成分、和将疏液成分溶解的挥发性溶剂的溶液。疏液成分及非疏液成分两者都与模板W的表面反应。疏液成分作为一例是沸点比250℃低的疏液成分，非疏液成分作为一例是沸点为250℃以上的非疏液成分。

处理室12能够容纳供给头11及工作台13、摄像部14、各移动机构15、16A、16B、17A及17B等而形成为箱形状。在该处理室12的上表面设有将空气中的异物除去的过滤器12a，在处理室12的下表面(底面)设有排气口12b。在处理室12内，空气从过滤器12a向排气口12b流动，处理室12内被下降流(垂直层流)保持为清洁。作为过滤器12a，例如可以使用ULPA过滤器及HEPA过滤器等。

工作台13具有销等多个支承部件13a，是用这些支承部件13a支承模板W的支承部。该工作台13被固定在处理室12的底面上，但并不限于此，例如，也可以在X轴方向或Y轴方向等的水平方向、或Z轴方向等的上下方向上移动。

摄像部14可将工作台13上的模板W特别是凸部52及其周边摄像而被安装在处理室12的上表面。该摄像部14被电气地连接在控制部40上，将摄像出的图像(例如凸部52的平面图像)向控制部40发送。

Y轴移动机构15支承供给头11，将该供给头11在Y轴方向上导引而使其移动。此外，一对Z轴移动机构16A及16B将Y轴移动机构15水平地支承，将该Y轴移动机构15与供给头11一起在Z轴方向上导引而使其移动。这些Y轴移动机构15和一对Z轴移动机构16A及16B被配置为门型形状。一对X轴移动机构17A及17B支承直立状态的一对Z轴移动机构16A及16B，将这些Z轴移动机构16A及16B在X轴方向上导引而使其移动。

Y轴移动机构15和一对X轴移动机构17A及17B作为使供给头11和工作台13在水平方向上相对地移动的水平移动机构发挥功能。此外，一对Z轴移动机构16A及16B作为使供给头11和工作台13在上下方向上相对移动的上下移动机构发挥功能。这些移动机构15、16A、16B、17A及17B被电气地连接在控制部40上，其驱动受控制部40控制。作为各移动机构15、16A、16B、17A及17B，例如可以使用线性马达式的移动机构或空气台式的移动机构、进给丝杠式的移动机构等各种移动机构。

接着，对上述模板制造装置1进行的涂敷工序(涂层工序)、输送工序及清洗工序进行说明。

(涂敷工序)

如图4所示，在涂敷部10的涂层工序中，供给头11一边维持规定的高度，一边通过各移动机构15、17A及17B沿着模板W的主面51a上的涂敷路径A1(参照图4中的粗箭头线)移动，一边向工作台13上的模板W的主面51a连续供给液态的疏液材料。

涂敷路径A1从主面51a上的排出开始位置A2沿着主面51a上的凸部52的外周延伸到主面51a上的排出停止位置A3。涂敷路径A1中的将凸部52包围的路径从凸部52的侧面离开了规定距离L1(例如5mm)。排出开始位置A2是供给头11开始液态的疏液材料的排出的位置，排出停止位置A3是供给头11停止液态的疏液材料的排出的位置。排出开始位置A2及排出停止位置A3是比工作台13上的模板W的主面51a中的凸部52的周围的涂敷区域(供给区域)R1靠外侧的位置。该凸部52的周围的涂敷区域R1例如为框形状，该框形状的涂敷区域R1的面宽尺寸(边缘宽度)作为一例是10mm以上20mm以下。

首先，供给头11与工作台13上的模板W的主面51a中的排出开始位置A2对置，开始液态的疏液材料的排出。接着，供给头11在正将液态的疏液材料排出的状态的原状下，沿着模板W的主面51a上的涂敷路径A1、即沿着主面51a上的凸部52的外周相对移动，将液态的疏液材料向主面51a上的涂敷区域R1内连续地供给。由于被供给到该涂敷区域R1内的液态的疏液材料通过浸润性而扩散，所以液态的疏液材料被涂敷到涂敷区域R1的全域中。并且，供给头11与工作台13上的模板W的主面51a中的排出停止位置A3对置，停止液态的疏液材料的排出。另外，控制部40基于处理信息及各种程序控制供给头11及各移动机构15、16A、16B、17A及17B等，以使得如上述那样供给头11沿着涂敷路径A1移动而将液态的疏液材料连续地排出。

在这样的涂敷工序中，如图5所示，被从供给头11供给到模板W的主面51a上的液态的疏液材料11a通过浸润性而扩散，到达到主面51a上的凸部52的侧面。此时，扩散后的液态的疏液材料11a通过表面张力，不越过凸部52的侧面而附着在该侧面上。如果附着在凸部52的侧面上并在主面51a上扩散的液态的疏液材料11a中所包含的挥发性溶剂完全挥发而干燥，则如图6所示，避开凸部52上的凹凸图案52a而至少在凸部52的侧面(侧壁)上，例如在凸部52的侧面的整面及主面51a的一部分上形成疏液层53。

详细地讲，疏液层53如图6所示，避开凸部52上的凹凸图案52a而形成在凸部52的侧面的整面上，还形成在与该凸部52的侧面相连的主面51a上的规定区域。例如，由于凸部52的形状是正方体或长方体形状，所以位于其周围的主面51a上的规定区域在俯视中为四边形的环状区域，但凸部52的形状或环状的规定区域的形状没有被特别限定。疏液层53具有透光性，是将液态的被转印物弹开的层。另外，疏液层53被形成在凸部52的侧面的整面上，但并不限于此，只要形成在凸部52的侧面的至少一部分上就可以。

另外，上述涂敷路径A1中的规定距离L1基于供给头11的高度位置、液态的疏液材料的供给量及浸润性等，被设定在从工作台13上的模板W的凸部52的侧面离开、被从供给头11供给到工作台13上的模板W的主面51a上的液态的疏液材料11a扩散、不越过凸部52的侧面而附着到凸部52的侧面的上端的位置(参照图5)。该供给位置的设定也可以基于预先使用伪模板进行了伪排出的结果来进行。

在上述涂敷完成后，模板W被放置规定时间(例如5分钟以上10分钟以下)，直到残留溶剂即残留的挥发性溶剂完全挥发。此时，液态的疏液材料11a中包含的疏液成分与模板W的表面反应而形成疏液层53，但液态的疏液材料11a中包含的非疏液成分也被包含在疏液层53中。由此，在疏液层53中混合存在疏液成分和非疏液成分。在此情况下，由于疏液层53的疏液性变低，所以模板W的疏液性能下降。

此外，在上述模板W被放置的规定时间中，由输送部20进行的模板W的输送被控制部40限制。由此，模板W的移动在上述规定时间中被禁止，所以在液态的疏液材料11a的干燥前模板W不会移动。因而，能够抑制通过起因于模板W的移动的振动等而液态的疏液材料11a从希望位置移动、从凸部52的侧面离开的情况，所以能够在凸部52的侧面上可靠地形成疏液层53。

(输送工序及清洗工序)

被涂敷了液态的疏液材料11a的已涂敷的模板W被输送部20从涂敷部10向清洗部30输送(参照图1)。清洗部30在进行通过溶剂清洗的情况下，首先不使模板W旋转，如图7所示，使第1供给头31与模板W的主面51a的中央即凸部52的端面中央对置，从第1供给头31向模板W的凸部52的端面中央供给溶剂。此时的流量例如是1L/min以上。在从该供给开始起规定时间(例如15秒)后，清洗部30通过旋转机构33以模板W的中心为旋转中心开始在水平面内使模板W旋转。此时，第1供给头31向模板W的主面51a持续供给溶剂。由此，模板W的表面被清洁。

这里，被用于上述清洗的清洗用溶剂是氟系的挥发性溶剂(挥发性溶媒)。该氟系的挥发性溶剂是将非疏液成分溶解的溶剂。作为氟系的挥发性溶剂，例如可以使用氟系不活性液体。作为氟系不活性液体，有Fluorinert(フロリナーㅏ)(注册商标)或Galden(ガルデン)(注册商标)、Novec(ノべツク)(注册商标)等。在使用这些Galden或Novec的情况下，由于Galden或Novec是挥发性比Fluorinert高的溶剂，所以能够缩短溶剂挥发时间。

另外，液态的疏液材料中包含的挥发性溶剂(将疏液成分溶解的溶剂)作为第1挥发性溶剂发挥功能，上述氟系的挥发性溶剂(将非疏液成分溶解的溶剂)作为第2挥发性溶剂发挥功能。可以使第1挥发性溶剂和第2挥发性溶剂都为氟系溶剂，但这些第1挥发性溶剂和第2挥发性溶剂是种类相互不同的溶剂，第2挥发性溶剂是挥发性比第1挥发性溶剂高的溶剂。此外，第1挥发性溶剂是与石英反应的溶剂，第2挥发性溶剂是不与石英反应的溶剂。

在通过上述溶剂进行清洗的情况下，将溶解非疏液成分的氟系的挥发性溶剂向模板W上供给。由此，在模板W上的疏液层53中包含的非疏液成分被氟系的挥发性溶剂溶解而被从疏液层53除去。因而，抑制了在疏液层53中混合存在疏液成分和非疏液成分，疏液层53的疏液性变高，所以能够使模板W的疏液性能提高。

此外，将上述溶剂向模板W的凸部52的端面中央供给。由此，产生从模板W的凸部52的端面中央朝向其外周的溶剂的流动。因此，能够抑制溶入到氟系的挥发性溶剂中的非疏液成分向凸部52上的凹凸图案52a侧返回，所以能够抑制因非疏液成分对于该凹凸图案52a的附着造成的模板W的异常的发生。如果非疏液成分附着到凸部52上的凹凸图案52a上则成为异物。如果这样的异物附着的模板W的凹凸图案52a被推压到被转印物上，则模板W侧的凹凸图案52a破损，所以发生模板W的异常。进而，如果用具有这样破损的凹凸图案52a的模板W或非疏液成分附着的状态的模板W继续进行转印，则使被转印物的图案产生缺陷，发生图案异常。

进而，由于发生从模板W的凸部52的端面中央朝向其外周的溶剂的流动，所以能够抑制在凹凸图案52a或主面51a上通过溶剂的倒流或漩涡等而发生溶剂沉积的沉淀。由此，能够抑制因该沉淀带来的模板W的异常的发生。详细地讲，能够抑制通过沉淀中包含的非疏液成分附着到凸部52上的凹凸图案52a上而作为异物残留到图案52a上的情况，能够抑制上述的模板异常或图案异常的发生。

此外，清洗部30首先不使模板W旋转，而将溶剂开始向模板W的主面51a的中央供给后、即溶剂的供给开始后，使模板W旋转。如果溶剂在模板W的旋转中被供给，则有液体在模板W上弹起的情况。因此，通过如上述那样在溶剂的供给开始后使模板W旋转，能够抑制模板W上的液体弹起，所以能够抑制因该液体弹起带来的模板W的异常的发生。

在通过上述溶剂进行清洗后，清洗部30代替第1供给头31而使第2供给头32对置于模板W的主面51a的中央、即凸部52的端面中央，从第2供给头32将纯水向模板W的凸部52的端面中央供给规定时间(例如300秒)，将模板W的表面清洗。此时，模板W保持从通过上述溶剂的清洗起旋转的状态，第2供给头32在沿着模板W的表面的方向上摆动。通过这样的清洗，将模板W的表面上的微粒除去，将模板W的表面清洁。然后，在清洗液供给停止的状态下，使模板W的转速上升到规定量(例如700rpm)，在规定时间(例如180秒)中使模板W干燥。在干燥后，将模板W向下个工序输送。另外，也可以在纯水的供给前将臭氧水(20ppm)供给规定时间(例如60秒)。

(压印工序)

如图8所示，在压印工序中，将形成有上述疏液层53的模板W的凸部52上的凹凸图案52a朝向被处理物(例如半导体基板)61上的液态的被转印物(例如光硬化性树脂)62，向被处理物61上的液态的被转印物62推压。此时，虽然液态的被转印物62从凸部52的端面与被处理物61之间溢出，但由于在凸部52的侧面上形成有疏液层53，所以溢出的液态的被转印物62被疏液层53弹开。即，由于疏液层53具有将液态的被转印物62弹开的功能，所以抑制了液态的被转印物62附着到凸部52的侧面上，抑制了沿着凸部52的侧面隆起。

接着，在凸部52上的凹凸图案52a被推压在液态的被转印物62上的状态下，从与形成有凹凸图案52a的面相反侧的面将紫外线等的光向液态的被转印物62照射。如果通过该光照射而液态的被转印物62硬化，则将模板W从硬化的被转印物62离开。这样，凸部52上的凹凸图案52a被转印到被转印物62上。通常，将这样的压印工序遍及被处理物61的整面反复进行，将图案转印反复进行，但其压印次数没有被特别限定。

另外，作为被转印物62，并不限于液态的光硬化性树脂，例如也可以使用液态的热硬化性树脂。在此情况下，例如通过加热器或光源等的加热部将液态的被转印物62加热而使其硬化。

(依存于清洗用溶剂的种类的疏液层的疏液性的判定结果)

图9是依存于清洗用溶剂的种类的疏液层的疏液性的判定结果。

如图9所示，使用各种溶剂(界面活性剂、酸类溶剂、碱类溶剂、有机溶剂及氟系溶剂)，按照溶剂的种类进行测试，求出了依存于各种类的疏液层的疏液性的判定结果(良否)。

在求出该判定结果的测试中，按照溶剂的种类，以相同的测试次序求出判定结果。作为测试次序，首先，将液态的疏液材料在测试基板(例如裸硅片)上涂敷规定量(例如0.05ml)。将被涂敷了液态的疏液材料的测试基板放置规定时间(例如1小时)，在该测试基板上形成疏液层。将形成了疏液层的测试基板以规定时间(例如30分)浸渍到一种溶剂中。然后，将形成有疏液层的测试基板从溶剂拉起，水洗规定时间(例如5分)，通过N₂等气体喷吹而干燥。

接着，向形成在测试基板上的疏液层滴下抗蚀剂(被转印物62的一例)，测量抗蚀剂相对于疏液层的接触角。在该接触角例如是65度以上的情况下，将在测试中使用的溶剂判定为合格(OK)。该溶剂是能够去除非疏液成分的残渣的溶剂。另一方面，在接触角例如比65度小的情况下，将在测试中使用的溶剂判定为不合格(NG)。该溶剂是不能将非疏液成分的残渣充分地去除的溶剂。另外，如果疏液层的接触角是65度以上，则可以认为模板W的疏液层充分地具有将液态的被转印物弹开的功能。这样，能求出图9所示那样的依存于清洗用溶剂的种类的疏液层的疏液性的判定结果(良否)。

如图9所示，确认了界面活性剂、酸类溶剂、碱类溶剂及有机溶剂是不合格(NG)，仅氟系溶剂为合格(OK)。因而，通过在上述清洗中使用氟系溶剂，能够将非疏液成分的残渣去除。由此，抗蚀剂相对于疏液层的接触角变大，所以能够使模板W的疏液性能提高。另外，作为氟系的挥发性溶剂，例如有Fluorinert或Galden、Novec等。

如以上说明，根据实施方式，通过避开模板W的凸部52上的凹凸图案52a而在凸部52的侧面上涂敷液态的疏液材料11a，能够避开凹凸图案52a而将疏液层53形成在凸部52的侧面的至少一部分上。因此，在压印工序中，由于从模板W的凸部52与被处理物61之间溢出的液态的被转印物62被疏液层53弹开，所以能够抑制液态的被转印物62附着到凸部52的侧面上。由此，能够得到能够抑制硬化的被转印物62的一部分的隆起而抑制图案异常的发生的模板W。进而，能够得到能够抑制模板W的破损及异物的咬入等而抑制图案异常及模板异常的发生的模板W。

另外，由于液态的疏液材料11a是包含疏液成分和非疏液成分的溶液，所以有在形成于凸部52的侧面上的疏液层53中混合存在疏液成分及非疏液成分的情况。在此情况下，疏液层53的疏液性变低，即液态的被转印物62相对于疏液层53的接触角变小，所以模板W的疏液性能下降。所以，当如上述那样进行通过溶剂的清洗时，向模板W上供给将液态的疏液材料11a中包含的非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。由此，模板W上的疏液层53中包含的非疏液成分被氟系的挥发性溶剂溶解，被从疏液层53除去。因而，抑制了在疏液层53中混合存在疏液成分和非疏液成分，疏液层53的疏液性变高，即液态的被转印物62相对于疏液层53的接触角变大，所以能够使模板W的疏液性能提高。

此外，通过使用向模板W涂敷液态的疏液材料11a的供给头11，能够容易地避开凸部52上的凹凸图案52a而在凸部52的侧面上形成疏液层53。进而，根据凸部52的平面形状，还能够避开凸部52上的凹凸图案52a而在凸部52的侧面上涂敷液态的疏液材料11a，能够可靠地在凸部52的侧面上形成疏液层53。

此外，在压印工序中，在凸部52的侧面上附着有被转印物62的情况下，为了将该被转印物62去除，通常将模板W用药液清洗。但是，根据上述实施方式，由于抑制了被转印物62附着到凸部52的侧面上，所以在压印工序后不需要从凸部52的侧面将被转印物62除去的清洗工序。由此，能够削减压印工序后的对于模板W的清洗工序，能够防止因清洗液造成的模板W的图案损耗或图案倒塌等的损伤。结果，能够抑制模板异常的发生。

另外，避开凹凸图案52a以免在凹凸图案52a上形成疏液层53、至少在凸部52的侧面上形成疏液层53是重要的。这是为了避免凹凸图案52a对于液态的被转印物62的转印不良(印错)。即，凹凸图案52a是纳米尺寸的尺寸宽度的微细的图案，如果在凹凸图案52a上即便稍稍形成疏液层53，相应于发生疏液层53的厚度的量，也不能维持凹凸图案52a的尺寸宽度的精度，在转印时发生图案异常。

这里，在上述涂敷工序(涂层工序)中的液的连续排出中，供给头11的高度位置及排出量、移动速度等的供给条件设定为，使得从供给头11朝向涂敷区域R1排出的液态的疏液材料不在主面51a上弹起而附着到凸部52上的凹凸图案52a上，例如从供给头11朝向涂敷区域R1排出的液态的疏液材料不在主面51a上弹起。但是，即使如上述那样设定液态的疏液材料的供给条件，如果在供给头11与涂敷区域R1内的位置对置的状态下开始液态的疏液材料的排出或停止液态的疏液材料的排出，则此时也有液态的疏液材料在主面51a上弹起而附着到凸部52上的凹凸图案52a上的情况。作为其原因，作为一例，可以举出由于在供给头11的液供给开始时或液供给停止时有液的吐输出或排出量的变动，所以液排出或液停止不稳定。

所以，如上述那样供给头11在与比涂敷区域R1靠外侧的排出开始位置A2对置的状态下开始液态的疏液材料的排出，或者在与比涂敷区域R1靠外侧的排出停止位置A3对置的状态下停止液态的疏液材料的排出。由此，排出开始位置A2或排出停止位置A3与凹凸图案52a的距离离开，能够防止液态的疏液材料在主面51a上弹起而附着到凸部52上的凹凸图案52a上，所以能够可靠地抑制图案异常的发生。进而，为了更可靠地抑制液态的疏液材料在主面51a上弹起而附着到凸部52上的凹凸图案52a上，优选的是将排出开始位置A2及排出停止位置A3设为工作台13上的模板W的主面51a外的位置、即比主面51a的外周缘靠外侧的位置。在此情况下，由于液态的疏液材料不会碰到主面51a上而弹起，所以能够可靠地抑制液态的疏液材料在主面51a上弹起而附着到凸部52上的凹凸图案52a上。

此外，在供给头11从排出开始位置A2到排出停止位置A3之间，可以控制供给头11，以使得从供给头11排出的疏液材料的排出量变化。例如，在供给头11从排出开始位置A2到排出停止位置A3之间，在供给头11的轨跡重叠的位置A4，疏液材料被二重地涂敷，在该位置A4处有疏液材料的厚度变大的趋向。如果疏液材料的厚度成为不均匀，则有可能发生凝聚物，所以优选的是使疏液材料的排出量在供给头11的轨跡处成为均匀。由此，可以调整排出量，以使得在轨跡重叠的位置A4处供给头11的排出量变少。例如，可以控制供给头11，以使得疏液材料的排出量在轨跡重叠的位置A4和轨跡上的其他位置成为相同程度。

(其他实施方式)

在上述实施方式中，作为一例，将疏液层53形成在凸部52的侧面的整面及与该侧面相连的主面51a的一部分上，但并不限于此。例如，只要避开凸部52上的凹凸图案52a而至少在凸部52的侧面上形成疏液层53就可以，也可以除了凸部52的侧面以外，还在凸部52的端面的一部分或主面51a中的凸部52以外的整面上形成疏液层53。进而，除了凸部52的侧面以外，还可以在凸部52的端面的一部分及主面51a上的凸部52以外的整面上形成疏液层53。此外，只要在凸部52的侧面上的与被转印物62接触的部分上形成疏液层53就可以，也可以仅在凸部52的侧面的一部分上形成疏液层53。

此外，在上述实施方式中，作为一例，使疏液层53为单层，但作为疏液层53并不限于单层，也可以将多个层层叠而使用。进而，凸部52的侧面(侧壁)既可以相对于主面51a垂直，也可以倾斜。除此以外，凸部52的侧面既可以是平坦的，也可以具有台阶差。

此外，在上述实施方式中，作为一例，例示了由涂敷部10的供给头11将液态的疏液材料连续地排出的连续排出，但并不限于此，也可以进行将液态的疏液材料断续地排出的断续排出(液态的疏液材料的滴下)。在此情况下，供给头11优选的是沿着涂敷路径A1以规定间隔、即以能够将液态的疏液材料11a涂敷到凸部52的侧面的整面上的间隔反复滴下。

此外，在上述实施方式中，作为一例而预先决定上述涂敷路径A1(供给位置)，但并不限于此，也可以由摄像部14将工作台13上的模板W的凸部52的上表面摄像，基于拍摄出的图像匹配于凸部52的平面尺寸及平面形状而由控制部40调整供给位置。例如，由控制部40基于凸部52的平面尺寸及平面形状来调整供给位置，以使得距凸部52的侧面的距离不断地成为规定距离L1。由此，即使凸部52的平面尺寸或平面形状变化，涂敷位置也距凸部52的侧面被维持为规定距离L1，所以能够在防止被供给到模板W的主面51a上的液态的疏液材料11a扩散而越过凸部52的侧面的同时，可靠地将疏液材料11a涂敷到凸部52的侧面上。

此外，在上述实施方式中，作为一例，作为涂敷部10的供给头11而例示了分配器，但并不限于此，在分配器以外，也可以使用浸入了液态的疏液材料的海绵刷或笔，或者排出液态的疏液材料的喷墨头等。在使用海绵刷或笔等的情况下，在图3所示的状态的模板W以外，也可以将该模板W倒置以使凸部52朝向重力方向的下方，用高度为某种程度较高的各支承部件13a支承，从模板W的下方涂敷液态的疏液材料。或者，也可以将模板W以主面51a倾斜的方式支承，从模板W的斜方向涂敷液态的疏液材料。

此外，在上述实施方式中，作为一例，通过对模板W的主面51a供给液态的疏液材料，结果在凸部52的侧面上涂敷液态的疏液材料，但并不限于此，例如也可以对凸部52的侧面直接涂敷液态的疏液材料。

此外，在上述实施方式中，作为一例，通过水平移动机构或上下移动机构使涂敷部10的供给头11沿XYZ轴移动，但也可以使工作台13移动。在此情况下，可以在工作台13上设置水平移动机构或上下移动机构。即，只要供给头11和工作台13能够相对移动就可以，也可以某一方或两者移动。在此情况下，能够由控制部40控制工作台13和供给头11的相对移动。

此外，在上述实施方式中，作为一例，作为清洗部30而例示了自旋处理装置，但并不限于此，例如也可以使用储存溶剂的槽或储存纯水的槽，在这些槽内的液体中浸渍已涂敷的模板W。

此外，在上述实施方式中，作为一例，作为被处理物61而例示了半导体基板，但并不限于此，也可以是被作为复制品模板使用的石英基板。

以上，说明了本发明的一些实施方式，但这些实施方式是作为例子提示的，不是要限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种各样的形态实施，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种各样的省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围或主旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明和其等价的范围中。

标号说明

1 模板制造装置

11 供给头

13 工作台

15 Y轴移动机构

17A X轴移动机构

17B X轴移动机构

30 清洗部

40 控制部

51 基体

51a 主面

52 凸部

52a 凹凸图案

62 被转印物

W 模板

Claims (10)

1.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，

具备：

工作台，具备有主面的基体和设在上述主面上的凸部，将形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案的模板支承在该凸部的端面上；

供给头，对上述工作台上的上述模板供给将上述液态的被转印物弹开的液态的疏液材料；

移动机构，使上述工作台及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；

控制部，控制上述供给头及上述移动机构，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料；和

清洗部，对涂敷有上述液态的疏液材料的上述模板供给液体；

上述液态的疏液材料包含与上述模板的表面反应的疏液成分、与上述模板的表面反应的非疏液成分、和将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；

上述液体是将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

2.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述控制部控制上述供给头及上述移动机构，以使上述供给头向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液态的疏液材料，向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料。

3.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂是氟系溶剂；

上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。

4.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。

5.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述清洗部具备：

供给头，向涂敷有上述液态的疏液材料的上述模板供给上述液体；和旋转机构，使涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板在水平面内旋转；

上述控制部控制上述供给头及上述旋转机构，以使得上述供给头开始供给上述液体后、上述旋转机构使上述模板旋转。

6.一种压印用的模板制造方法，其特征在于，

具有：

具备有主面的基体和设在上述主面上的凸部、将形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案的模板支承在该凸部的端面上的工序；

避开被支承的上述模板的上述凹凸图案而至少向上述凸部的侧面涂敷将上述液态的被转印物弹开的液态的疏液材料的工序；

向涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板供给液体的工序；

上述液态的疏液材料包含与上述模板的表面反应的疏液成分、与上述模板的表面反应的非疏液成分、和将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；

上述液体是将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

7.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

在涂敷上述液态的疏液材料的工序中，向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液态的疏液材料，向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料。

8.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂是氟系溶剂；

上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。

9.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。

10.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

在供给上述液体的工序中，在向涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板供给上述液体后，使涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板在水平面内旋转。