JPWO2006064792A1 - 塗布装置、有機材料薄膜の形成方法、有機ｅｌパネル製造装置 - Google Patents

Abstract

加熱室や冷却室が不要な塗布装置を提供する。Ｘ軸方向に移動する塗布対象物１４上に、Ｙ軸方向に往復移動可能な吐出器３１とレーザ照射装置３２ａ、３２ｂを配置し、吐出器３１から塗布対象物１４の一部表面に吐出した有機材料にレーザ光を照射し、加熱して乾燥又は重合し、薄膜化する。吐出器３１とレーザ照射装置３２ａ、３２ｂのＹ軸方向の移動と、塗布対象物１４のＸ軸方向の移動とを繰り返し行い、塗布対象物１４の所定領域に有機材料の薄膜を形成する。塗布とレーザ光照射を並行して行えるので、作業効率が高い。また、塗布対象物１４が高温にならないので、冷却工程が不要である。

Description

本発明は有機薄膜を成膜する技術にかかり、特に、インクジェット方式によって成膜する塗布装置に関する。

有機ＥＬパネルに用いられる有機薄膜を形成するために、インクジェットプリンタのような塗布装置を用いる技術が開発されている。

図８の符号１００は従来技術の有機ＥＬパネル製造装置であり、符号Ｏ₁〜Ｏ₄は、インクジェット法によって基板表面に有機薄膜を形成する塗布装置である。ここでは、第１〜第４の塗布装置Ｏ₁〜Ｏ₄内には、それぞれホール輸送層、赤色層、緑色層、青色層を形成するための有機材料が配置されている。

符号Ｔ₁〜Ｔ₅は、基板を搬送する第１〜第５の搬送室であり、各搬送室Ｔ₁〜Ｔ₅の内部には、基板搬送ロボットが配置されている。
符号Ｈ₁〜Ｈ₄は、基板を加熱する第１〜第４の加熱室であり内部に加熱装置が配置されている。符号Ｃ₁〜Ｃ₄は、加熱された基板を冷却する第１〜第４の冷却室であり、内部に冷却装置が配置されている。

この有機ＥＬパネル製造装置１００では、基板搬入室Ｌinに配置された基板は、第１の塗布装置Ｏ₁内に搬入され、ホール輸送層の有機材料がインクジェット法によって塗布される。
次いで、第１の加熱室Ｈ₁内のホットプレート上に配置され、加熱される。この加熱によって溶媒が蒸発し、ホール輸送層が形成される。
次いで、第１の加熱室Ｈ₁から第１の冷却室Ｃ₁内に移動され、冷却された後、第２の塗布装置Ｏ₂内に搬入される。

第２の塗布装置Ｏ₂内では、ホール輸送層上に赤色発色用の有機材料が塗布され、第２の加熱室Ｈ₂内に移動され、加熱され、溶媒が蒸発してホール輸送層上に赤色発光層が形成される。次いで、第２の冷却室Ｃ₂に移動され、冷却された後、第３の塗布装置Ｏ₃内に搬入される。

第３の塗布装置Ｏ₃内では、緑色発色用の有機材料がホール輸送層上に塗布され、第３の加熱室Ｈ₃及び第３の冷却室Ｃ₃に順番に移動され、加熱、冷却され緑色発光層が形成される。

次いで、第４の塗布装置Ｏ₄内に移動され、ホール輸送層上に青色発色用の有機材料が塗布され、第４の加熱室Ｈ₄及び第４の冷却室Ｃ₄に順次移動され、加熱、冷却によって青色発光層が形成される。
最後に、中間室Ｅを通って搬出室Ｌoutより、外部に取り出される。

以上のようにインクジェットプリンタを用いて有機薄膜を成膜する装置は下記文献に記載されているが、下記のような有機ＥＬパネル製造装置は、加熱室と冷却室の両方が必要であり、省スペースに反し、また、コスト高である。
特表２００３−５１５９０９号公報 特表２００４−５３１８５９号公報

本発明は、塗布対象物の全体を加熱しなくても有機材料を昇温させることができる塗布装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明は、塗布対象物上に有機材料を吐出する吐出器と、前記吐出器から前記塗布対象物に吐出され、着弾した前記有機材料にレーザ光を照射するレーザ照射装置とを有する塗布装置である。
また、本発明は、前記レーザ照射装置は、前記塗布対象物表面の一部領域毎に前記レーザ光を照射し、前記塗布対象物表面を部分的に加熱する塗布装置である。
また、本発明は、前記塗布対象物と前記吐出器と、前記塗布対象物と前記レーザ照射装置は第一の方向に相対的に移動可能に構成され、前記塗布対象物と前記吐出器は、前記第一の方向とは略垂直な第二の方向に相対的に往復移動できるように構成された塗布装置である。
また、本発明は、前記レーザ照射装置は前記第二の方向に沿って、前記吐出器の両側に配置され、前記吐出器と一緒に前記第二の方向に相対的に往復移動可能に構成された塗布装置である。
また、本発明は、前記レーザ照射装置は、前記吐出器が前記塗布対象物に対して相対移動する方向の、前記吐出器よりも後方に配置された塗布装置である。
また、本発明は、前記レーザ照射装置は、前記第二の方向に沿って、往復移動可能に構成された塗布装置である。
また、本発明は、前記塗布対象物と前記吐出器と、前記塗布対象物と前記レーザ照射装置は第一の方向に相対的に移動可能に構成され、前記塗布対象物と前記レーザ照射装置は、前記第一の方向とは略垂直な第二の方向に相対的に往復移動できるように構成された塗布装置である。
また、本発明は、前記レーザ照射装置は、前記吐出器が前記塗布対象物に対して相対移動する方向の、前記吐出器よりも後方に配置された塗布装置である。
また、本発明は、上記いずれかの塗布装置を少なくとも三台有し、各塗布装置には、赤色発色用、緑色発色用、青色発色用の有機材料がそれぞれ配置され、前記塗布対象物は大気に曝されないで前記各塗布装置間を移動できるように構成された有機ＥＬパネル製造装置である。
また、本発明は、塗布対象物に吐出され、着弾した有機材料にレーザ光を照射し、前記有機材料の薄膜を形成する有機材料薄膜の形成方法である。
また、本発明は、前記レーザ光を、前記塗布対象物表面の一部領域毎に照射し、前記塗布対象物表面を部分的に加熱する有機材料薄膜の形成方法である。

本発明は上記のように構成されており、塗布対象物と吐出器とは相対的に移動可能に構成されており、その移動方向を第一の方向とすると、塗布対象物とレーザ照射装置も、第一の方向に相対的に移動可能に構成されており、塗布対象物の一部範囲毎に、複数回に分けて有機材料を吐出すると、全部の範囲に対して有機材料が吐出される前に、着弾した有機材料にレーザ光が照射され、昇温されて薄膜が形成される。

塗布対象物と吐出器の相対移動は、塗布対象物が静止して吐出器が移動する場合と、吐出器が静止して塗布対象物が移動する場合と、塗布対象物と吐出器の両方が移動する場合が含まれる。
塗布対象物とレーザ照射装置の相対移動も同じである。

レーザ照射装置は吐出器と同期して、吐出器と一緒に第二の方向に移動することができるし、吐出器とは非同期で第二の方向に移動することができる。

有機材料をレーザ光の照射によって部分的に加熱するので、基板全体を加熱せずに有機材料を直接加熱することができ、基板全体が高温になることはない。従って、冷却装置が不要になる。
特に、塗布対象物の一部領域毎にレーザ光を照射すれば、レーザ光の照射が終了した部分は自然に冷却されるので、基板温度の上昇が少ない。

また、有機材料の塗布とレーザ光の照射を並行して行えば、レーザ光の照射に必要な作業時間が特に短くて済む。

本発明の第一例の塗布装置の動作を説明するための図 本発明の第一例の塗布装置の概略平面図 本発明の第一例の塗布装置の有機材料塗布とレーザ光の照射を説明するための図 本発明の第二例の塗布装置の概略平面図 本発明の第三例の塗布装置の概略平面図 塗布対象物を説明するための図 本発明の有機ＥＬパネル製造装置 従来技術の有機ＥＬパネル製造装置 本発明の第四例の塗布装置の概略平面図 本発明の第五例の塗布装置の概略平面図

符号の説明

１〜３……塗布装置
１０……有機ＥＬパネル製造装置
１４……塗布対象物
３１、４２……吐出器
３２ａ、３２ｂ、４３、４６……レーザ照射装置
３４……有機材料

図１の符号１は、本発明の第一例の塗布装置を示している。
この塗布装置１は、塗布台１２を有している。塗布台１２には、基板搬送機構１３が設けられており、該基板搬送機構１３の動作により、塗布台１２上に乗せられた塗布対象物１４を、塗布台１２の長手方向に沿って、塗布台１２の移動元Ａ側から移動先Ｂに向けて移動できるように構成されている。即ち、塗布対象物１４の移動は、移動元Ａが上流側、移動先Ｂが下流側である。

塗布台１２の上方には、ヘッド移動機構２３が配置されており、ヘッド移動機構２３には、ヘッド１５が移動可能に取りつけられている。該ヘッド移動機構２３の動作により、ヘッド１５は、基板搬送機構１３による塗布対象物１４の移動方向とは略垂直方向に往復移動できるように構成されている。

図２は、塗布装置１の概略平面図であり、塗布対象物１４の移動方向をＸ軸にとると、ヘッド１５は、Ｘ軸とは略垂直なＹ軸に沿って往復移動するように構成されている。Ｘ軸に沿った方向を第一の方向、Ｙ軸に沿った方向を第二の方向とすると、第一、第二の方向は板状の塗布対象物１４の表面と平行な平面内に位置しており、互いに垂直である。

ヘッド１５は、その下部に吐出器３１を有しており、ヘッド１５が往復移動すると、吐出器３１は、塗布対象物１４の上方で、塗布対象物１４とは一定距離だけ離間してＹ軸に沿って往復移動するように構成されている。
この塗布対象物１４では表示領域２１は行列状に配置されており、塗布対象物１４をＸ軸、Ｙ軸に対して位置合わせすると、表示領域２１の並びをＸ軸方向とＹ軸方向に沿わせることができる。

塗布台１２の移動元Ａ又は移動先Ｂの位置から見て、吐出器３１の両側には、第１、第２のレーザ照射装置３２ａ、３２ｂがそれぞれ配置されている。換言すれば、Ｙ軸に沿って、第１のレーザ照射装置３２ａと、吐出器３１と、第２のレーザ照射装置３２ｂとがこの順序で並んでいる(ここではＹ軸の負方向から正方向に向かう向きに並んでいる)。

吐出器３１は、インクジェット方式により、ヘッド１５内に供給される液状の有機材料を、塗布対象物１４表面の一定の領域に、一定量だけ吐出できるように構成されている。

図６は塗布対象物１４を説明するための図面であり、塗布対象物１４の一部表面を示している。この塗布対象物１４は有機ＥＬ表示パネルを製造するための基板であり、その表面は、有機材料が塗布される複数の表示領域２１と、表示領域２１間を分離する分離領域２２とに分けられている。分離領域２２は、表示領域２１の表面よりも高い絶縁材料で構成されている。

図３は、塗布対象物１４への有機材料の塗布を説明するための図面であり、吐出器３１が表示領域２１毎に、一定量の有機材料３４を吐出している状態を示している。
吐出器３１は、塗布対象物１４に対して相対的に移動しながら有機材料を吐出してもよいし、塗布対象物１４と吐出器３１が相対的に静止した状態で吐出してもよい。

吐出器３１は、塗布対象物１４に面する位置に、Ｘ軸に沿った方向にｎ個(１≦ｎ)、Ｙ軸に沿った方向にｍ個(１≦ｍ)のｎ×ｍ個が行列状に並んだ一乃至複数の吐出孔を有している。
吐出器３１と塗布対象物１４とが相対的に静止した状態で一台の吐出器３１の各吐出孔から、各吐出孔の真下に位置する複数の表示領域２１に対して、同時に有機材料３４が個別に吐出される。

有機材料３４が吐出されるときは、吐出器３１と塗布対象物１４とは相対的に静止しており、静止した状態で一台の吐出器３１からＹ軸に沿った一列乃至複数列に列んだ表示領域２１に対して同時に有機材料３４が個別に吐出される。
吐出孔と表示領域２１とが一対一に対応しており、一個の吐出孔から吐出された吐出液が一個の表示領域２１に着弾するとすると、この吐出器３１では、一回の吐出でｎ×ｍ個の表示領域２１に有機材料３４が着弾される。但し、ここではｎ×ｍ個の表示領域２１に対し、沿って、二列置きに吐出されている。

吐出器３１が、一定の範囲に位置する表示領域２１に対して有機材料３４を吐出した後、ヘッド１５が塗布対象物１４に対してＹ軸方向に沿った方向に相対的に所定量だけステップ移動され、未塗布の表示領域２１上で静止され、未塗布の一定範囲の領域に有機材料３４が吐出される

即ち、吐出液の着弾後、ヘッド１５と塗布対象物１４とが相対的にＹ軸の正又は負方向にｍ個分だけ移動され、ヘッド１５は、未塗布の表示領域２１上で静止され、未塗布のｎ×ｍ個の表示領域２１に有機材料３４が吐出される。

塗布対象物１４が塗布台１２に対して静止した状態で、ヘッド１５がＹ軸に沿った方向に移動してもよいし、ヘッド１５が塗布台１２に対して静止した状態で、塗布対象物１４がＹ軸に沿った方向に移動してもよい。両方が移動することで相対移動してもよい。

ヘッド１５は、塗布対象物１４の表示領域２１が配置されたＹ軸方向の範囲よりも同じ(下記第二、第三の実施例の場合)か、又はそれよりも長い範囲(第一の実施例の場合)を移動できるように構成されている。

即ち、ヘッド１５がＹ軸方向に沿って相対移動できる範囲は、塗布対象物１４上で表示領域２１が配置された範囲のＹ軸方向の長さと少なくとも同じ長さの距離、即ち、表示領域２１が配置された範囲のＹ軸方向の長さ(幅)と少なくとも同じ長さの距離であるか、又は、表示領域２１が配置された範囲のＹ軸方向の長さ(幅)よりも長い距離(第一の実施例の場合)を相対移動できるように構成されている。

吐出とＹ軸方向へのステップ移動が繰り返し行われ、Ｙ軸方向に伸びる一列又は複数列に列んだ表示領域２１に全部吐出されると、塗布対象物１４とヘッド１５とは相対的にＸ軸の一方向に塗布された列の幅分だけ移動される。

即ち、吐出器３１のＹ軸方向への移動により、Ｘ軸方向に沿ったｎ個の幅でＹ軸方向に沿って並ぶ全部の表示領域２１に有機材料３４が着弾されると、吐出器３１と塗布対象物１４とが相対的にＸ軸に沿って表示領域２１のｎ個分だけ移動され、未着弾の表示領域２１が吐出器３１のＹ軸方向の移動範囲の下方に送られる。
次いで、吐出器３１がＹ軸方向に沿って反対方向に移動し、ｎ個の幅の表示領域２１に有機材料が着弾される。

吐出器３１が未塗布の表示領域２１上に有機材料を吐出しているときや、吐出器３１がヘッド１５と共にＹ軸に沿った方向に移動しているときは、ヘッド１５の移動方向の移動方向の先頭側のレーザ照射装置３２ｂ又は３２ａの下には、未塗布の表示領域２１が位置しているが、それとは反対で、移動方向の後尾側のレーザ照射装置３２ａ又は３２ｂは、有機材料が塗布された表示領域２１上を移動する。
従って、吐出器３１の移動方向の後尾側に位置するレーザ照射装置３２ａ又は３２ｂからレーザ光を射出すると、そのレーザ光は、表示領域２１上の有機材料に照射され、その有機材料が加熱される。

有機材料は溶媒に溶けて液状になっており加熱によって溶媒は蒸発し、レーザ光が照射された有機材料は乾燥し薄膜化する。図３の符号３５は、乾燥によって形成された有機材料薄膜を示している。

Ｙ軸に沿った一列又は複数列に列んだ表示領域２１への有機材料の塗布とレーザ照射による薄膜化が終了すると、上述したように、塗布対象物１４はＸ軸方向に塗布された列の幅分移動され、吐出器３１の移動範囲の真下位置に未塗布の表示領域２１が配置される。
なお、この実施例及び後述する各実施例において、レーザ光は、ヘッド１５と塗布対象物１４とが相対的に静止した状態で照射する他、相対的な移動中に照射してもよい。

塗布装置１がＲＧＢのうちの一色の有機薄膜を形成する装置であり、表示領域２１のＹ軸方向に伸びる一列がＲＧＢの各一色に対応している場合、塗布対象物１４は、吐出器２１の１回のＹ軸方向の移動により、一列又は又は二列おきの複数列に並んだ表示領域２１に有機材料が塗布される。ここでは、この塗布装置１によって二列おきの複数列に塗布される。

他方、ホール輸送層のように、全部の表示領域２１に同じ有機薄膜を形成する場合には、ｎ×ｍ個の表示領域２１の全部に吐出することができる。

Ｘ軸方向への相対移動の後、吐出器３１からの有機材料の吐出とＹ軸に沿った方向の移動、及びレーザ照射が繰り返し行われ、塗布対象物１４上の成膜すべき表示領域２１上に薄膜が形成される。

なお、吐出器３１がＹ軸に沿って往動するときと復動するときに両方で有機材料を吐出する場合、一乃至複数列の塗布が終了し、塗布対象物１４がＸ軸方向に相対移動すると、吐出器３１の移動方向は逆向きになる。従って、往動方向が復動方向に切り替わるとき、及び復動方向が往動方向に切り替わるときに、レーザ照射装置３２ａ、３２ｂの先頭側と後尾側の位置が変わる。

即ち、往動の時に先頭側にあるレーザ照射装置は、復動の時には後尾側になるから、往動と復動が切り替わる際、レーザ照射に使用されるレーザ照射装置３２ａ、３２ｂも切り替わる。

以上のように、塗布対象物１４とヘッド１５のＸ軸方向又はＹ軸方向の一方向又は往復方向の移動によって所定場所の表示領域２１への有機材料薄膜３５の形成が行われた後、その塗布対象物１４は塗布装置１から取り出され、後工程に送られる。
以上は塗布装置１の動作を説明したが、本発明の塗布装置１は複数台を連結し、有機ＥＬパネル製造装置として使用することができる。

図７の符号１０は、本発明の有機ＥＬパネル製造装置であり、基板搬送ロボットが配置された搬送室Ｔ₁〜Ｔ₅が直列に接続されている。

符号Ｏ₁〜Ｏ₄は、それぞれ、上記塗布装置１、又は下記に記載する塗布装置２〜５のいずれかの塗布装置であり、それぞれ搬送室Ｔ₁〜Ｔ₄に接続されている。各搬送室Ｔ₁〜Ｔ₅と各塗布装置Ｏ₁〜Ｏ₄には高純度窒素循環系が接続されており、所定の水分、酸素濃度で雰囲気管理されている。従って、下記のように基板搬入室Ｌinから有機ＥＬパネル製造装置１０内に搬入された成膜対象物は大気に曝されないで塗布装置Ｏ₁〜Ｏ₄間を移動できるように構成されている。
各塗布装置Ｏ₁〜Ｏ₄内には、それぞれホール輸送層、赤色発光層、緑色発光層、青色発光層を形成するための有機材料が配置されている。

第１の搬送室Ｔ₁には、基板搬入室Ｌinが接続され、基板搬入室Ｌinに配置された塗布対象物１４は、第１の搬送室Ｔ₁を通って、第１の塗布装置Ｏ₁にて、ホール輸送層の有機材料が、隣り合う表示領域２１上に間隔を開けずに吐出され、レーザ光の照射によって乾燥される。

ホール輸送層が形成された塗布対象物１４は、第２〜第４の塗布装置Ｏ₂〜Ｏ₄内に搬入され、赤色発色と緑色発色と青色発色に対応した有機材料薄膜がそれぞれ二列置きに形成され、搬出室Ｌoutから有機ＥＬパネル製造装置１０の外部に取り出される。
図６の符号Ｒ、Ｇ、Ｂは、それぞれ赤色、緑色、青色に発色する有機材料薄膜が形成された表示領域２１の列を示している。

このように、本発明の有機ＥＬパネル製造装置１０では、レーザ光の照射によって塗布された有機材料を乾燥して薄膜化するので、加熱室が不要であり、更に、成膜対象物全体が高温に昇温されるのではないため、冷却室も不要になっている。

なお、上記第一の塗布装置１は、吐出器３１の両側、即ち、Ｙ軸に沿った往復移動方向の先頭側と後尾側の両方にレーザ照射装置３２ａ、３２ｂが配置されていた例であったが、本発明はそれに限定されるものではない。

図４の符号２は、本発明の第二例の塗布装置を示しており、図５の符号３は、本発明の第三例の塗布装置を示している。
第二、第三例の塗布装置２、３では、第一例の塗布装置１と同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。この塗布装置２、３も、基板搬送機構１３により、塗布対象物１４が台１２上を移動できるように構成されている。
先ず、図４を参照して第二例の塗布装置を説明する。同図符号１７は塗布用ヘッドであり、その下部には液状の有機材料を吐出する吐出器４２が設けられている。

吐出器４２の位置よりも、塗布対象物１４の移動方向の移動先Ｂに近い位置には、レーザ用ヘッド１８が配置されている。該レーザ用ヘッド１８の下部には、レーザ照射装置４３が設けられ、塗布対象物１４が移動することで、塗布対象物１４と吐出器４２とは相対的にＸ軸に沿った方向(第一の方向)に移動し、且つ、塗布対象物１４とレーザ照射装置４３とも相対的にＸ軸に沿った方向(第一の方向)に移動するように構成されている。

塗布用ヘッド１７とレーザ用ヘッド１８は、それぞれヘッド移動機構２４、２５に取りつけられており、吐出器４２とレーザ照射装置４３はＸ軸方向に静止した状態で、Ｙ軸に沿った方向(第二の方向)に往復移動するように構成されている。

塗布対象物１４は、基板搬送機構１３によって塗布台１２の移動元Ａ側から移動先Ｂ側に向けてＸ軸に沿って移動するように構成されており、塗布対象物１４が移動すると、吐出器４２とレーザ照射装置４３は、塗布対象物１４の移動先Ｂに近い方の端部から移動元Ａに近い方の端部に向けて相対的に移動するように構成されている。

塗布対象物１４に対するＸ軸方向の相対移動では、吐出器４２が先頭側で、レーザ照射装置４３が後尾側になり、塗布用ヘッド１７によって、一又は複数列に並んだ表示領域２１に有機材料が塗布された後、塗布対象物１４がＸ軸方向に相対移動すると、塗布された領域がレーザ用ヘッド１８の移動範囲の真下に来る。

レーザ用ヘッド１８はＹ軸に沿った方向に移動し、表示領域２１上に着弾された有機材料にレーザ照射装置４３からレーザ光が照射される。レーザ光の照射により、有機材料が加熱され、乾燥すると有機材料薄膜が形成される。
レーザ照射装置４３は複数のレーザ光を照射してもよいし、複数の表示領域２１に順番にレーザ光を照射してもよい。

塗布用ヘッド１７とレーザ用ヘッド１８とは一緒に移動してもよいし、独立に移動してもよい。レーザ用照射装置４３は、Ｙ軸方向の片道移動で未照射の有機材料にレーザ光を照射してもよいし、Ｙ軸方向の他、Ｘ軸方向にも往復移動できるように構成しておくと、Ｘ軸方向とＹ軸方向の移動を組み合わせ、往復又はそれ以上の折り返し移動によって未照射の部分にレーザ光を照射するようにしてもよい。

レーザ照射装置４３は吐出器４２と並行して動作し、吐出器４２が往動、又は復動して有機材料を吐出する間、未照射の有機材料にレーザ光を照射するようにすれば塗布とレーザ光照射とが同時に行われるので、スループットが向上する。

次に、図５を参照し、同図符号３は、本発明の第三例の塗布装置であり、レーザ用ヘッド１９を有している。
該レーザ照射装置１９は、その下部にＹ軸方向に沿って細長いレーザ照射装置４６を有している。このレーザ照射装置４６がレーザ光を照射できるＹ軸方向の範囲は、塗布対象物１４上で表示領域２１が配置されたＹ軸方向の範囲と等しいかそれよりも長くされている。

レーザ照射装置４６は、Ｙ軸方向に静止した状態で、表示領域２１のＸ軸方向のｎ個、Ｙ軸方向の全部にレーザ光を照射可能に構成されており、レーザ照射装置１９は、Ｙ軸方向に沿って移動しなくても、Ｘ軸方向にｎ個ずつステップ移動すれば、塗布対象物１４上の全部の表示領域２１にレーザ光を照射することができる。

これにより、Ｙ軸方向に並んだ表示領域２１のｎ列毎に有機薄膜が形成される。このとき、上述したように分離領域２２にもレーザ光が照射されてもよい。

以上は、レーザ光の照射によって有機材料を加熱し、乾燥する場合について説明したが、加熱によって重合し、有機薄膜を形成する有機材料については、レーザ光の照射による加熱で有機薄膜を形成することができる。光反応によって重合反応を生じさせ、薄膜が形成される有機材料については、レーザ光の照射でも薄膜を形成することができる。

また、本発明はレーザ光を表示領域２１に照射すればよく、分離領域２２にはレーザ光を照射してもよいし、照射しなくてもよい。レーザ光は、一度に複数の表示領域２１に照射する場合の他、一度に一個の表示領域２１に照射する場合も含まれる。

次に、本発明の第四、第五例の塗布装置を説明する。
図９、１０の符号４、５は、それぞれ第四、第五例の塗布装置を示している。上記第三例の塗布装置３では、レーザ照射装置４６が細長く、その長手方向がＹ軸方向に沿って配置されていたが、第四、第五例の塗布装置４、５では、吐出器４７が細長く、その長手方向がＹ軸に沿って配置されている。

この吐出器４７は、印刷ヘッド２０に取りつけられており、塗布台１２の上方位置で、塗布台１２とは間隔を開けて配置されている。
塗布対象物１４の相対移動方向の、吐出器４７よりも下流側には、レーザ照射装置４３又は４６が配置されており、塗布対象物１４が移動元Ａ側から移動先Ｂ側に向けて移動すると、先ず、細長の塗布装置４７と面する位置を通過し、次いで、レーザ照射装置４３又は４６と面する位置を通過するようになっている。

この吐出器４７は、吐出孔がＹ軸方向に沿って、一列又は複数列が配置されており、吐出器４７と塗布対象物１４とが相対的に静止した状態で、塗布対象物１４のＹ軸に沿って並んだ表示領域２１の全部に有機材料を着弾させることができるように構成されている。吐出孔がＸ軸方向にｎ個配置されているとすると、ｎ列に着弾される。

着弾後、ｎ個分だけ塗布対象物１４が相対移動する。第四例の塗布装置４のレーザ照射装置４３は、第二例の塗布装置２と同様に、Ｙ軸方向に往復移動するように構成されており、第五例の塗布装置５のレーザ照射装置４６は、第三例の塗布装置３と同様に、細長でＹ軸方向に沿って配置されている。

従って、第四例の塗布装置４では、Ｙ軸方向に沿って移動して表示領域２１上の有機材料にレーザ光を照射できるし、第五例の塗布装置５では、塗布対象物１４とレーザ照射装置４６とが、Ｙ軸方向に静止した状態でも、Ｘ軸方向に一乃至複数個の幅で、Ｙ軸方向に並ぶ全部の表示領域２１にレーザ光を照射できるように構成されている。
このように、第四、第五例の塗布装置４、５でも、有機薄膜を形成することができる。

以上は、表示領域２１毎に有機材料を着弾させ、互いに分離された複数の有機薄膜を形成していたが、液晶配向膜等、塗布対象物１４の表面を連続的に覆う有機薄膜を形成する用途にも、本発明の塗布装置１〜５を用いることができる。
また、液晶表示装置のスペーサが分散された分散液を吐出し、分散溶媒をレーザ光で蒸発させ、スペーサを塗布対象物表面に配置する用途にも、本発明の塗布装置１〜５を用いることができる。

Claims (11)

1. 塗布対象物上に有機材料を吐出する吐出器と、
   前記吐出器から前記塗布対象物に吐出され、着弾した前記有機材料にレーザ光を照射するレーザ照射装置とを有する塗布装置。
2. 前記レーザ照射装置は、前記塗布対象物表面の一部領域毎に前記レーザ光を照射し、前記塗布対象物表面を部分的に加熱する請求項１記載の塗布装置。
3. 前記塗布対象物と前記吐出器と、前記塗布対象物と前記レーザ照射装置は第一の方向に相対的に移動可能に構成され、前記塗布対象物と前記吐出器は、前記第一の方向とは略垂直な第二の方向に相対的に往復移動できるように構成された請求項１記載の塗布装置。
4. 前記レーザ照射装置は前記第二の方向に沿って、前記吐出器の両側に配置され、前記吐出器と一緒に前記第二の方向に相対的に往復移動可能に構成された請求項３記載の塗布装置。
5. 前記レーザ照射装置は、前記吐出器が前記塗布対象物に対して相対移動する方向の、前記吐出器よりも後方に配置された請求項３記載の塗布装置。
6. 前記レーザ照射装置は、前記第二の方向に沿って、往復移動可能に構成された請求項５記載の塗布装置。
7. 前記塗布対象物と前記吐出器と、前記塗布対象物と前記レーザ照射装置は第一の方向に相対的に移動可能に構成され、前記塗布対象物と前記レーザ照射装置は、前記第一の方向とは略垂直な第二の方向に相対的に往復移動できるように構成された請求項１記載の塗布装置。
8. 前記レーザ照射装置は、前記吐出器が前記塗布対象物に対して相対移動する方向の、前記吐出器よりも後方に配置された請求項７記載の塗布装置。
9. 請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の塗布装置を少なくとも三台有し、各塗布装置には、赤色発色用、緑色発色用、青色発色用の有機材料がそれぞれ配置され、前記塗布対象物は大気に曝されないで前記各塗布装置間を移動できるように構成された有機ＥＬパネル製造装置。
10. 塗布対象物に吐出され、着弾した有機材料にレーザ光を照射し、前記有機材料の薄膜を形成する有機材料薄膜の形成方法。
11. 前記レーザ光を、前記塗布対象物表面の一部領域毎に照射し、前記塗布対象物表面を部分的に加熱する請求項１０記載の有機材料薄膜の形成方法。

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