JP3976769B2 - 液滴塗布装置 - Google Patents
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Description
この液滴吐出ユニットは、液滴を前記基板に吐出することにより該基板の所定の部分に該液滴を塗布する。前記液滴吐出ユニットはそれぞれ独立して移動することができる。そして、前記液滴吐出ユニットを基板の任意の位置に移動させて液滴を吐出させる。
上記補完とは、各液滴吐出ユニット2に対応する前記移動可能領域において、その一部同士が前記ビーム12の横断方向(長手方向)に互いに重なっていることである。これにより、前記基板の前記横断方向の任意の位置において液滴の吐出を可能にする。また、図示のように各移動可能領域は、長手方向に互いにずれた状態で設けられている。
欠損部5Aに液滴を吐出し修復するために、液滴吐出ユニット2はスライド機構20を用いて高速移動させてノズル孔22を欠損部5Aの中心線上に合わせて停止する。なお、液滴吐出ユニット2の移動時間は、実際に移動する時間に加えて、停止した後にスライド機構駆動のよる残留振動が液滴吐出に悪影響を与えないレベルまで低減するまでの静定時間を含んだ時間をも考慮する必要がある。搬送ステージの進行方向側の欠損部5Aの中心線上まで予め移動させた液滴吐出ユニット2は、搬送ステージの等速移動により相対的に矢印D方向に移動し、欠損部5A上にあるノズル孔22から液滴が吐出される。このとき、使用するノズル孔は欠損部5Aの直上にある複数のノズル孔を使用することができるため、1つのノズル孔を使用する場合に比べて搬送ステージの等速移動速度を上げることなり、基板全体の処理速度を向上させることが可能となる。
すなわち、本実施形態では、搬送ステージの往復動作を利用して3つの欠損部5の修復を搬欠損部5A→5C→5Bの順で行っており、本装置の構成上の利点を最大限活用するものである。即ち、図3のように、欠損部5Aに複数のノズル孔22で吐出する際に、実際に吐出を行う紙面右端のノズル孔22が欠損部5A直上から離れるまでは移動させることはできず、少なくとも使用するノズル孔22の両端間距離に相当する領域では、液滴吐出ユニット2を紙面上下方向に移動させて、次の欠損部の修復に向かうことはできない。この不能領域Hは、欠損部からみて搬送ステージ移動方向の逆方向にあり、処理直後の欠損部端から使用するノズル孔22の両端間距離に相当する帯状の領域に加えて、搬送ステージの移動速度と、矢印E方向の移動に要する時間及び移動後の残留振動の静定に要する時間の和、を掛け合わせた領域も含まれる。図3で、欠損部5Bは欠損部5Aに対する不能領域Hに入るため、欠損部5Aの修復の直後に欠損部5Bの処理を行なわず、不能領域に属さない欠損部5Cの修復を行っている。そして、搬送ステージの復路移動に伴って、欠損部5Cの修復後に、その不能領域に属さない欠損部5Bの修復を行っている。
0.8d≦D/n≦1.2d
の範囲にあると、基板の処理時間を短縮することができる。
・ビーム12の側面に液滴吐出ユニットを設けている
・ユニット列数が3本である
・メンテナンス機構部13がビーム12側に移動してメンテナンス動作を行う
実施形態2の装置は、上記の相違点以外について、実施形態1の装置と同一の構成を有する。
・ユニット列数が1本である。
吐出ユニット搭載面側方向に装置端部に向けて移動することにより、基板ステージ上で吐出ユニットを交換する必要がなく、交換作業の自由度も高い。よって、作業の安全性が向上すると共に、交換作業効率が高めることが可能となる。
・基板上に導電性インクを吐出して配線パターンを描画する装置
・基板上に有機EL(Electronic Luminescence)を形成する材料を吐出し、有機EL表示部を製造する装置
・有機EL表示部の欠損部を修復する装置
・大型看板等に画像を印刷する装置、または画像を修復する装置
・その他のインクジェット技術を応用した製造装置
にも適用できることは明らかである。
2 液滴吐出ユニット
10 装置基体
11 搬送ステージ
12 ビーム
13 メンテナンス機構部
20 スライド機構
21 吐出素子
50 基板
Claims (11)
- 基板に対向配置され、この基板の第1の方向に沿って複数に区分された領域の各々に対応して設けられた複数個のスライド機構と、
前記複数個のスライド機構の各々に一つずつ搭載され、液滴を前記基板に吐出する液滴吐出ユニットとを備え、
前記複数個のスライド機構の各々において前記液滴吐出ユニットが独立に移動可能であり、
前記複数に区分された領域を互いに隣接し合わない領域同士の組に分け、これら各組に含まれる領域に対応する前記スライド機構を各組毎に前記第1の方向に沿って1列に配置したスライド機構列を構成すると共に、これらの組毎の複数のスライド機構列を前記第1の方向に直交する第2の方向に沿って並設したことを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記複数に区分された領域のうち隣接する領域に対応して設けられたスライド機構は、その端部同士が前記第1の方向に重なるように配置され、これらのスライド機構において前記液滴吐出ユニットの移動可能領域が重複していることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出装置。
- 前記スライド機構列を担持し、前記第2の方向に移動可能に設けられた担持体をさらに備え、
前記担持体は、前記第2の方向の両側部に、隣り合うスライド機構列の各々が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。 - 前記スライド機構列を担持し、前記第2の方向に移動可能に設けられた複数の担持体をさらに備え、
前記複数の担持体の各々は、前記第2の方向の一方の側部にスライド機構列が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。 - 前記液滴吐出ユニットは、液滴材料を吐出する複数の液滴吐出口を有し、前記複数の液滴吐出口は前記第2の方向に配列されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の液滴吐出装置。
- 前記複数の液滴吐出口は、前記第2の方向に対して傾斜して配列されていることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の液滴吐出装置と、この装置を前記基板に対して前記第2の方向に相対移動させる移動手段とを備え、前記液滴吐出ユニットを前記基板の任意の位置に相対移動して前記基板上に液滴を塗布するようにしたことを特徴とする液滴塗布装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を前記基板に対して前記第2の方向に相対移動させる移動手段とを備え、前記液滴吐出ユニットを前記基板の修復対象とされた欠損部に相対移動して、この欠損部に前記液滴吐出ユニットにより液滴を吐出することにより該欠損部を修復することを特徴とする修復装置。
- 前記移動手段は、前記液滴吐出装置を前記基板に対して前記第2の方向に相対的に往復移動させることを特徴とする請求項8記載の修復装置。
- 請求項7記載の液滴塗布装置を用い、前記基板はカラーフィルタ基板であり、前記液滴吐出ユニットはカラー液滴を吐出するユニットであり、前記カラーフィルタ基板に対してカラーの液滴を吐出し、カラーフィルタ基板を製造することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
- 前記基板が欠損部を有するカラーフィルタ基板であり、前記液滴吐出ユニットがカラー液滴を吐出するユニットである請求項8又は請求項9記載の修復装置を用い、前記カラーフィルタ基板の欠損部に対してカラーの液滴を吐出することにより該欠損部を修復し、カラーフィルタ基板を製造することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
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