JP2010142719A - 液滴吐出ヘッドのクリーニング方法及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドに対するダメージを与えることなくノズルの開口端に付着した固化物を良好に除去することができ、且つインク消費量を抑えた、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液が液滴として吐出されるノズルを有する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５のクリーニング時において、ノズルに対して光を照射する光照射機構１３と、を備える液滴吐出装置ＩＪである。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法及び液滴吐出装置に関するものである。

従来から液滴吐出装置は、画像を形成するプリンタやデバイス製造用の成膜装置として幅広い分野で用いられている。一般に、液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出ヘッドは、液状体の貯留部、貯留部に通じるノズルが形成されたノズルプレート、液状体を加圧してノズルから液滴を押し出すピエゾ素子等を備えている。

液滴吐出装置は、膜の形成材料を含んだ微小なインク滴を所望の位置に配置することが可能である。これにより、微細な膜パターンを形成することができ、フォトリソグラフィ法を用いる場合よりもパターニングが容易になる。また、膜の形成材料のムダを少なくできるので、製造コストを低くすることができる。このような液滴吐出ヘッドにおいては、噴射特性を維持或いは回復させる手段として定期クリーニング（例えば、吸引処理又はワイピング処理）が行われている。

ところで、基板上に液滴を吐出する場合、液滴吐出ヘッドのノズルプレートには必ずミストが付着してしまう。特に、複数の基板に対して連続的に液滴を吐出する場合、ノズルプレートにミストが長時間付着した状態とされるため、ノズルの開口端に固化物が付着してしまう。すると、固化物の付着によってノズル径が狭まりノズルから吐出されるインク滴の量が減少したり、ノズルの開口形状が歪むことでインク滴の飛び散りや飛行曲がりによってインク滴が所望の位置に着弾しないといった問題が生じてしまう。しかしながら、上記定期クリーニングでは、ノズルの開口端に付着した固化物を良好に除去することができなかった。

そこで、このようなノズル内に残存する固化物を除去するクリーニング方法として、超音波振動を用いた技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。この超音波振動を用いたクリーニング方法は上記定期クリーニングとは別個に実行されるものである。
特開２００３−１４５７８２号公報

しかしながら、上述のような超音波振動を用いた場合でも、ノズルの開口端に付着した固化物を完全に除去することはできなかった。また、超音波振動によるクリーニングは、定期クリーニングとは別個に実行されることから多量のインクが消費されてしまうという問題もある。さらに、このような超音波振動は液滴吐出ヘッドに対して少なからずダメージを及ぼすため、ヘッドの寿命を縮めてしまうおそれもある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ヘッドに対するダメージを与えることなくノズルの開口端に付着した固化物を良好に除去することができ、且つインク消費量を抑えた、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法及び液滴吐出装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、機能液が液滴として吐出されるノズルを有する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記ノズルに対して光を照射する光照射工程を含むことを特徴とする。

本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を採用すれば、ノズルに照射された光が、浮遊ミストによってノズルの開口端に付着する固化物を脱落させ易くすることができる。よって、光照射工程の後、例えばノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作を行うことで、ノズルから機能液とともに固化物を排出することができる。したがって、所定量の液滴をノズルから精度良く吐出可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを得ることができる。また、従来行われていた超音波振動等の特別な処理を用いる必要がなくなるので、クリーニング時に消費される機能液の量を抑えることができる。

また、上記液滴吐出ヘッドのクリーニング方法においては、前記光照射工程において、紫外線を照射するのが好ましい。
このように紫外線を照射することで、ノズルにおける吐出側開口の近傍に付着している固化物を容易に脱落させ易くすることができる。

また、上記液滴吐出ヘッドのクリーニング方法においては、前記光照射工程の後、吸引動作により前記ノズルから前記機能液を排出させる吸引処理を行う吸引処理工程を備えるのが好ましい。
この構成によれば、光照射工程によってノズル内から脱落し易くなった固化物に対し、吸引処理を用いることで機能液とともにノズル内から確実に排出することができる。

本発明の液滴吐出装置は、機能液が液滴として吐出されるノズルを有する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドのクリーニング時において、前記ノズルに対して光を照射する光照射機構と、を備えることを特徴とする。

本発明の液滴吐出装置によれば、光照射機構によってノズルに照射された光は、特に浮遊ミストによってノズルの開口端に異物として付着する固化物を脱落させ易くすることができる。よって、光照射後に続けて、例えばノズルから機能液を強制的に排出させる吸引動作を行うことで、ノズル内から機能液とともに異物を排出することができる。したがって、所定量の液滴をノズルから精度良く吐出できる信頼性の高い液滴吐出装置を提供できる。また、従来行われていた超音波振動等の特別な処理を用いる必要がなくなるので、クリーニング時に消費される機能液の量を抑えることができる。

また、上記液滴吐出装置においては、前記光照射機構は、紫外線を照射するのが好ましい。
このように紫外線を照射することで、ノズルにおける吐出側開口の近傍に付着している樹脂を容易に脱落させ易くすることができる。

また、上記液滴吐出装置においては、前記液滴吐出ヘッドに当接して前記ノズルから吸引動作により前記機能液を排出させるメンテナンス機構を備え、前記光照射機構は、前記メンテナンス機構が配置される第１の待機位置と、前記液滴吐出ヘッドが通常吐出動作を行う第２の待機位置との間における前記液滴吐出ヘッドの移動経路の途中に配置されているのが好ましい。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドが第１の待機位置から第２の待機位置に移動する際、ノズルに対する光照射処理と、光照射処理によってノズル内から脱落し易くなった固化物に対する吸引処理と、を確実に行うことができる。よって、光照射機構を固定状態で用いることができ、光照射機構を駆動するための機構が不要となって装置構成を単純化できる。

以下、本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を見やすくするために、構造の寸法や縮尺を実際の構造と適宜異ならせて図示する。

図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により液状体を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、膜材料等の固形分を含有しており、乾燥させると固形分が残留するものである。すなわち、ここでいう液状体は、固形分を分散媒（溶媒）に分散（溶解）させた分散液（溶液）等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルタ材料や、ＵＶインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。また、本実施形態における液状体は、樹脂成分を含有し、且つ光硬化剤を含まないものから構成されている。

本実施形態では、前記のような液状体を膜材料に用いる液滴吐出装置として、カラーフィルタ基板（吐出対象物）の所定領域上にカラーフィルタ材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置を説明する。なお、以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図１におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。

図１に示されるように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御装置１１、メンテナンス機構１２、及び光照射機構１３を備えている。

装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルタ基板Ｐを、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。

キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルタ材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。

キャリッジ移動装置６は、例えば装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。

チューブ７は、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０とキャリッジ４（液滴吐出ヘッド５）とを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。第１タンク８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク１０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。

制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動によるカラーフィルタ基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルタ基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。

メンテナンス機構１２は、キャリッジ４に保持された液滴吐出ヘッド５に対する種々のメンテナンスを行うためのものである。メンテナンス機構１２は、液滴吐出ヘッド５におけるホームポジション（第１の待機位置）に配設されている。このホームポジションは、非吐出動作時又は保管時等、液滴吐出装置ＩＪが吐出動作休止状態にあるときにキャリッジ４が配置される領域である。ここで、液滴吐出ヘッド５からカラーフィルタ基板Ｐ上に液滴を吐出する際のキャリッジ４の位置を吐出ポジション（第２の待機位置）と呼ぶ。

具体的にメンテナンス機構１２は、液滴吐出ヘッド５に当接するキャッピング部、フラッシング部、及びワイピング部を含んでいる。キャッピング部は吸引手段としての吸引ポンプを備えており、これによりノズル内から強制的にカラーフィルタ材料を排出させる吸引処理を行うものである。また、フラッシング部は、メニスカスを整えるべく、ノズルから液滴を吐出した廃液を回収するためのものである。また、ワイピング部は、キャッピング部による吸引処理後にノズルプレートに付着した液滴を払拭するワイピング処理を行うものである。なお、メンテナンス機構１２は、制御装置１１からの制御信号により駆動されるようになっている。

光照射機構１３は紫外線を照射する光源を有するものである。光照射機構１３は、例えば１７５ｎｍ、２５４ｎｍ、３６５ｎｍの波長の紫外線を照射可能となっている。また、光照射機構１３は紫外線を種々の角度成分に照射可能となっている。これにより、ノズル内に対して種々の方向から紫外線を良好に照射可能となっている。

また、光照射機構１３は、上述の吐出ポジションとホームポジションとの間に設定される液滴吐出ヘッド５の移動経路の途中に配置されている。なお、光照射機構１３は、制御装置１１からの制御信号により駆動されるようになっている。

このように本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド５を吐出ポジションからホームポジションに移動させる途中でノズルＮ（図２参照）に対して光照射を行うことができるようにしている。これにより、後述するように光照射によってノズルＮ内から脱落し易くなった固化物に対し、吸引処理を行うという構成を実現することができる。

図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。

図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮを備えている。複数のノズルＮによってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ４内に配置する液滴吐出ヘッド５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ（液室）２４とを備えている。ノズルプレート２１は、例えばＳＵＳから構成されるものである。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。

リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルタ材料（液状体）が充填されるようになっている。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２からカラーフィルタ材料が導入されるようになっている。

図２（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。したがって、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮからカラーフィルタ基板Ｐに向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。

続いて、液滴吐出装置ＩＪの動作について説明する。
図３は、液滴吐出ヘッド５を用いてカラーフィルタ基板Ｐ上にカラーフィルタを形成する方法の説明図である。図３（ａ）は、液状体の吐出対象物であるカラーフィルタ基板Ｐの概略平面図である。図３（ｂ）は、カラーフィルタ基板Ｐの部分拡大平面図である。

図３（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルタ基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルタ基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図３（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルタ層（着色層）ＣＦが形成される。

本実施形態では、図３（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、液滴吐出ヘッド５をカラーフィルタ基板Ｐ上に配置する。そして、カラーフィルタ基板Ｐを液滴吐出ヘッド５に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから着色材料を含む液状体（カラーフィルタ材料）を吐出させ、カラーフィルタ基板Ｐ上の各画素ＰＸにカラーフィルタ層ＣＦを形成する。

液滴吐出ヘッド５の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド５を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド５を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルタ層ＣＦを形成する。

なお、図３（ｂ）において液滴吐出ヘッド５が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド５を斜めに傾ける必要はない。

カラーフィルタ層ＣＦは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図３（ｂ）に示す液状体の吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ材料を吐出する液滴吐出ヘッド５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。
そして、これらの液滴吐出ヘッド５を順次に用いて１つのカラーフィルタ基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルタ層ＣＦの配列を形成する。

ところで、液滴吐出法によりカラーフィルタ層ＣＦを形成する際、ノズルプレート２１に付着した浮遊ミストによって図４に示されるようにノズルＮの開口端Ｎ１に固化物Ｘ１が発生する。すると、この固化物Ｘ１によってノズル径が狭まってしまい、ノズルＮから吐出される液滴量が減少したり、ノズルＮにおける開口形状が歪んでしまうことで液滴の飛び散りや飛行曲がりによる着弾位置異常が生じる可能性がある。このような固化物Ｘ１は、カラーフィルタ材料に含まれる樹脂成分によって構成される。なお、カラーフィルタ層ＣＦの形成時には、キャビティ２４等の内壁面にも異物Ｘ２が付着している。

これに対し、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド５のクリーニング方法では、上記光照射機構１３を用いてノズルＮに対して光を照射する光照射工程を行う。本実施形態では、液滴吐出ヘッド５のキャビティ２４内にカラーフィルタ材料が充填された状態で光照射を行うものとする。
まず、光照射工程を行う場合、キャリッジ４を吐出ポジションからホームポジション側に向かって移動させ、キャリッジ４と光照射機構１３とを対向させる。

具体的に本実施形態では、図５に示すように、光照射機構１３から液滴吐出ヘッド５のノズルＮに対して紫外線ＵＶを照射する。このとき、ノズルＮの内部には紫外線ＵＶが照射される。よって、ノズルＮの開口端Ｎ１に付着している固化物Ｘ１は、紫外線ＵＶにより脆くなり、ノズルＮ内から脱落し易くなる。

このとき、紫外線ＵＶが照射されることでノズルＮ内のカラーフィルタ材料の一部が変質する可能性がある。しかしながら、本実施形態では、後に行われる吸引動作によってノズルＮ内のカラーフィルタ材料が排出されてしまうため、製造されるカラーフィルタに影響が及ぶことが防止される。

続いて、液滴吐出装置ＩＪは、キャリッジ４をホームポジションに配設されているメンテナンス機構１２に対向する位置まで移動させる。そして、メンテナンス機構１２のキャッピング部１２ａを用いることでノズルＮから強制的にカラーフィルタ材料を排出させる吸引処理を行う。

このとき、上述の光照射機構１３による光照射工程によりノズルＮの開口端Ｎ１に付着している固化物Ｘ１が脱落し易くなっているので、固化物Ｘ１はカラーフィルタ材料とともにノズルＮから排出される。また、キャビティ２４の内壁面に付着している異物Ｘ２についても同様にノズルＮから排出される。よって、ノズルＮの開口端Ｎ１に付着している固化物Ｘ１を確実に除去することができる。なお、キャビティ２４の内壁面に付着している異物Ｘ２が多少残る場合もあるが、異物Ｘ２は固化物Ｘ１と異なりノズルＮにおけるインクの吐出性能に影響を与えることが無いため問題は無い。
したがって、本実施形態に係る方法によるクリーニング後の液滴吐出ヘッド５は、所定量の液滴をノズルＮから精度良く吐出することのできる信頼性の高いものとなる。

このように本実施形態においては、ノズルＮの開口端Ｎ１に生成される固化物Ｘ１を良好に除去できるので、固化物Ｘ１に起因する液滴の飛び散りや飛行曲がりによる着弾位置異常等の問題が生じることが無い。また、ノズルＮの開口端Ｎ１に付着する固化物を除去するために従来行われていた超音波振動等の特別な処理を用いる必要がなくなるので、クリーニング時に消費されるカラーフィルタ材料の量を抑えることができる。したがって、カラーフィルタ材料の消費量を抑えつつ、ノズルＮの開口端Ｎ１に付着している固化物Ｘ１を良好に除去することができる。このように超音波振動が液滴吐出ヘッド５に付与されることがなくなるので、振動による液滴吐出ヘッド５へのダメージが低減して、結果的に液滴吐出ヘッド５の寿命を延ばすことができる。

また、液滴吐出装置ＩＪは、吐出ポジションからホームポジションにキャリッジ４を移動させる途中でノズルＮに対して光照射処理を行った後、ホームポジションにて光照射処理によってノズルＮ内から脱落し易くなった固化物Ｘ１に対する吸引処理を順次行うことができる。よって、液滴吐出装置ＩＪ内に光照射機構１３を固定状態とできるので、光照射機構１３を移動するための機構が不要となって装置構成を単純化できる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では、光照射機構１３による光照射工程の後、メンテナンス機構１２のキャッピング部による吸引処理を行うことで固化物Ｘ１をノズルＮ内から除去する場合を例に挙げたが、固化物Ｘ１は上述のように光照射工程によってノズルＮ内から脱落し易くなっているため、フラッシング処理を行うことで固化物Ｘ１をノズルＮ内から除去するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、光照射機構１３が紫外線を照射する場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ノズル内に付着している樹脂に対し、ノズル内壁から容易に脱落可能とする程度のエネルギを付与できる光であれば紫外線以外の高いに限定されることはない。

また、上記実施形態では、液滴吐出ヘッド５のキャビティ２４内にカラーフィルタ材料が充填された状態で光照射を行う場合について説明したが、キャビティ２４内からカラーフィルタ材料を排出した状態（例えば、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０の交換作業時）で光照射を行うようにしてもよい。

液滴吐出装置の概略構成図である。 （ａ）〜（ｃ）は液滴吐出ヘッドの概略構成図である。 カラーフィルタを形成する方法の説明図である。 ノズル内に付着する固化物を示す図である。 本実施形態に係るクリーニング方法を説明するための図である。

符号の説明

ＩＪ…液滴吐出装置、Ｎ…ノズル、５…液滴吐出ヘッド、１２…メンテナンス機構、１３…光照射機構

Claims (6)

1. 機能液が液滴として吐出されるノズルを有する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、
   前記ノズルに対して光を照射する光照射工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
2. 前記光照射工程において、紫外線を照射することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
3. 前記光照射工程の後、吸引動作により前記ノズルから前記機能液を排出させる吸引処理を行う吸引処理工程を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
4. 機能液が液滴として吐出されるノズルを有する液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドのクリーニング時において、前記ノズルに対して光を照射する光照射機構と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
5. 前記光照射機構は、紫外線を照射することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記液滴吐出ヘッドに当接して前記ノズルから吸引動作により前記機能液を排出させるメンテナンス機構を備え、
   前記光照射機構は、前記メンテナンス機構が配置される第１の待機位置と、前記液滴吐出ヘッドが通常吐出動作を行う第２の待機位置との間における前記液滴吐出ヘッドの移動経路の途中に配置されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の液滴吐出装置。

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