TWI400828B - Coating apparatus, a method of forming a thin film of an organic material, organic electroluminescent panel manufacturing apparatus - Google Patents

Description

塗佈裝置、有機材料薄膜之形成方法、有機電激發光面板製造裝置

本發明是有關成膜有機薄膜的技術，特別是有關藉由噴墨方式所成膜的塗佈裝置。

為了形成應用於有機EL面板的有機薄膜，開發出採用像是噴墨印表機之塗佈裝置的技術。

第8圖之符號100乃為習知技術的有機EL面板製造裝置，符號O₁ ~O₄ ，乃為利用噴墨法在基板表面形成有機薄膜的塗佈裝置。在此，於第1~第4塗佈裝置O₁ ~O₄ 內，分別配置著為了形成電洞輸送層、紅色層、綠色層、藍色層的有機材料。

符號T₁ ~T₅ ，乃為用來搬送基板的第1~第5搬送室，在各搬送室T₁ ~T₅ 的內部，乃配置著基板搬送機械手臂。

符號H₁ ~H₄ ，乃為用來加熱基板的第1~第4加熱室，在內部配置著加熱裝置。符號C₁ ~C₄ ，乃為用來冷卻被加熱的基板之第1~第4冷卻室，在內部配置著冷卻裝置。

在該有機EL面板製造裝置100，被配置在基板搬入室Lin的基板，會被搬送到第1塗佈裝置O₁ 內，利用噴墨法來塗佈電洞輸送層的有機材料。

接著，被配置在第1加熱室H₁ 內的加熱板上，被加熱 。經由該加熱讓溶媒蒸發，形成電洞輸送層。

接著，從第1加熱室H₁ 被移動到第1冷卻室C₁ 內，冷卻後，搬入到第2塗佈裝置O₂ 內。

在第2塗佈裝置O₂ 內，乃在電洞輸送層上塗佈著紅色發色用的有機材料，並移動到第2加熱室H₂ 內，被加熱，讓溶煤蒸發，在電洞輸送層上形成紅色發光層。接著，移動到第2冷卻室C₂ 內，冷卻後，搬入到第3塗佈裝置O₃ 內。

在第3塗佈裝置O₃ 內，乃在電洞輸送層上塗佈著綠色發色用的有機材料，並按順序移動到第3加熱室H₃ 及第3冷卻室C₃ ，加熱、冷卻形成綠色發光層。

接著，移動到第4塗佈裝置O₄ 內，在電洞輸送層上塗佈著藍色發色用的有機材料，並按順序移動到第4加熱室H₄ 及第4冷卻室C₄ ，經由加熱、冷卻形成藍色發光層。

最後，通過中間室E，自搬出室Lout，取出到外部。

如上，採用噴墨印表機而成膜有機薄膜的裝置乃記載於下述文獻中，但如下所述的有機EL面板製造裝置，需要有加熱室和冷卻室之兩者，違反省空間，還有成本高。

[專利文獻1]日本特表2003-515909號公報

[專利文獻2]日本特表2004-531859號公報

本發明乃在於提供一種即使不加熱塗佈對象物整體， 仍會使有機材料昇溫的塗佈裝置。

為了解決上述課題，本發明，乃為具有：將有機材料吐出在塗佈對象物上的吐出器；和對從前述吐出器被吐出到前述塗佈對象物，著落的前述有機材料照射雷射光的雷射照射裝置之塗佈裝置。

又，本發明，乃為前述雷射照射裝置，對前述塗佈對象物表面的每個部分區域照射前述雷射光，部份性加熱前述塗佈對象物表面的塗佈裝置。

又，本發明，乃為構成前述塗佈對象物與前述吐出器，以及前述塗佈對象物與前述雷射照射裝置，可相對性地在第一方向移動，且前述塗佈對象物與前述吐出器，乃構成可相對性地在與前述第一方向略垂直的第二方向往復移動的塗佈裝置。

又，本發明，乃為前述雷射照射裝置沿著前述第二方向，配置在前述吐出器的兩側，且構成能與前述吐出器一起相對性地在前述第二方向往復移動的塗佈裝置。

又，本發明，乃為前述雷射照射裝置，被配置在前述吐出器對前述塗佈對象物進行相對移動的方向之比前述吐出器更後方的塗佈裝置。

又，本發明，乃為構成前述雷射照射裝置，可沿著前述第二方向，往復移動的塗佈裝置。

又，本發明，乃為構成前述塗佈對象物與前述吐出器 ，以及前述塗佈對象物與前述雷射照射裝置可相對性地在第一方向移動，且前述塗佈對象物與前述雷射照射裝置，乃構成可相對性地在與前述第一方向略垂直的第二方向往復移動的塗佈裝置。

又，本發明，乃為前述雷射照射裝置，被配置在前述吐出器對前述塗佈對象物進行相對移動的方向之比前述吐出器更後方的塗佈裝置。

又，本發明，乃為構成至少具有三台上述任一種塗佈裝置，且在各塗佈裝置，分別配置著紅色發色用、綠色發色用、藍色發色用的有機材料，前述塗佈對象物不用曝露在大氣中，可以在前述各塗佈裝置間移動的有機EL面板製造裝置。

又，本發明，乃為對被吐出到塗佈對象物，著落的有機材料照射雷射光，形成前述有機材料之薄膜的有機材料薄膜之形成方法。

又，本發明，乃為將前述雷射光，照射到前述塗佈對象物表面的每個部分區域，部份性加熱前述塗佈對象物表面的有機材料薄膜之形成方法。

本發明乃如上述所構成，構成塗佈對象物與吐出器能相對性地移動，若以該移動方向做為第一方向，塗佈對象物與雷射照射裝置，也會構成可在第一方向相對性地移動，在每個塗佈對象物的部分範圍，分複數次吐出有機材料的話，在對全部的範圍吐出有機材料之前，對著彈的有機材料照射雷射光，昇溫形成薄膜。

塗佈對象物與吐出器的相對移動，乃包括：塗佈對象物靜止而吐出器進行移動的情形，或是吐出器靜止而塗佈對象物進行移動的情形，以及塗佈對象物與吐出器之兩者均進行移動的情形。

塗佈對象物與雷射照射裝置的相對移動亦相同。

雷射照射裝置與吐出器同步，能與吐出器一起在第二方向移動，也能與吐出器不同步在第二方向移動。

又，因藉由將有機材料照射雷射光而部份性加熱，故可以不加熱整個基板而直接加熱有機材料，整個基板就不會升成高溫。因而，不需要冷卻裝置。

特別是，如果對塗佈對象物的每個部分區域照射雷射光，因結束雷射光照射的部分會自然冷卻，故減少基板溫度的上昇。

又，如果並行進行有機材料的塗佈與雷射光的照射，照射雷射光所需要的作業時間變得特別短。

[用以實施發明的最佳形態]

第1圖的符號1，乃表示本發明之第一例的塗佈裝置。

該塗佈裝置1，乃設有塗佈台12。在塗佈台12，乃設有基板搬送機構13，構成能藉由該基板搬送機構13的動作，讓放置在塗佈台12上的塗佈對象物14，沿著塗佈台12的 長邊方向，從塗佈台12的移動源點A側向著移動目的地B移動。即，塗佈對象物14的移動，乃移動源點A為上流側、移動目的地B為下流側。

在塗佈台12的上方，乃配置著塗佈頭移動機構23，在塗佈頭移動機構23，乃可移動地安裝著塗佈頭15。藉由該塗佈頭移動機構23的動作，塗佈頭15就會構成可藉由基板搬送機構13在略與塗佈對象物14之移動方向垂直的方向進行往復移動。

第2圖，乃為塗佈裝置1的概略平面圖，若以塗佈對象物14的移動方向為X軸，就會構成塗佈頭15沿著略與X軸垂直的Y軸進行往復移動。若以沿著X軸的方向為第一方向、沿著Y軸的方向為第二方向，第一、第二方向就為位在與板狀塗佈對象物14之表面平行的平面內，互相垂直。

塗佈頭15，乃在其下部設有吐出器31，若塗佈頭15進行往復移動，吐出器31，乃構成在塗佈對象物14的上方，與塗佈對象物14僅隔開一定距離，沿著Y軸進行往復移動。

在該塗佈對象物14，顯示區域21乃行列狀配置，若讓塗佈對象物14針對X軸、Y軸進行定位，沿著X軸方向與Y軸方向排列顯示區域21。

從塗佈台12的移動源點A或是移動目的地B的位置觀看，在吐出器31的兩側，分別配置著第1、第2雷射照射裝置32a、32b。換言之就是，沿著Y軸，按第1雷射照射 裝置32a、吐出器31以及第2雷射照射裝置32b的這個順序排列(在此是由Y軸的負方向，向著正方向的方向排列)。

吐出器31，乃構成藉由噴墨方式讓供給到塗佈頭15內的液狀有機材料，僅一定量吐出到塗佈對象物14表面的一定區域。

第6圖，乃為說明塗佈對象物14的圖面，表示塗佈對象物14的部分表面。該塗佈對象物14乃為用以製造有機EL顯示面板的基板，其表面，乃分為：塗佈著有機材料的複數個顯示區域21、和將顯示區域21間分離的分離區域22。分離區域22，乃利用比顯示區域21之表面還高的絕緣材料所構成。

第3圖，乃為說明對塗佈對象物14塗佈有機材料的圖面，表示吐出器31在每個顯示區域21，吐出一定量的有機材料34的狀態。

吐出器31，可在一邊對塗佈對象物14進行相對性地移動、一邊吐出有機材料，或是在塗佈對象物14與吐出器31為相對性地靜止的狀態下進行吐出。

吐出器31，乃在面對於塗佈對象物14的位置，沿著X軸的方向具有n個(1≦n)、沿著Y軸的方向具有m個(1≦m)之n×m個行列狀排列的一至複數個的吐出孔。

在吐出器31與塗佈對象物14為相對性地靜止的狀態下，從一台吐出器31的各吐出孔，對著位在各吐出孔之正下方的複數個顯示區域21，同時個別地吐出有機材料34。

當有機材料34被吐出時，吐出器31與塗佈對象物14為 相對性地靜止，在靜止的狀態下，從一台吐出器31，針對沿著Y軸之一列乃至複數列排列的顯示區域21，同時個別地吐出有機材料34。

吐出孔與顯示區域21為一對一對應的情形，若從一個吐出孔被吐出的吐出液著落於一個顯示區域21，該吐出器31，則以一次吐出使有機材料著落於n×m個的顯示區域21。但，在此針對n×m個的顯示區域21，順著每隔二列被吐出。

吐出器31，對位於一定範圍的顯示區域21吐出有機材料34之後，塗佈頭15會對塗佈對象物14，僅以特定量相對性步進移動在沿著Y軸方向的方向，在未塗佈的顯示區域21上靜止，對未塗佈之一定範圍的區域吐出有機材料34。

即，吐出液著落後，塗佈頭15與塗佈對象14會相對性地在Y軸的正或是負方向僅移動m個份，塗佈頭15在未塗佈的顯示區域21上靜止，對未塗佈之n×m個的顯示區域21吐出有機材料34。

在塗佈對象物14對塗佈台12為靜止的狀態下，塗佈頭15即使沿著Y軸的方向移動亦可，或是在塗佈頭15對塗佈台12靜止的狀態下，塗佈對象物14即使沿著Y軸的方向移動亦可。即使藉由兩者進行移動，而呈相對移動亦可。

塗佈頭15，乃構成能在與配置著塗佈對象物14之顯示區域21的Y軸方向之範圍相同(下記第二、第三實施例的情形)，或是比此長的範圍(第一實施例的情形)移動。

即，塗佈頭15能沿著Y軸方向進行相對移動的範圍，乃構成在至少與在塗佈對象物14上配置著顯示區域21之範圍的Y軸方向之長度相同長度的距離，即，至少與配置著顯示區域21之範圍的Y軸方向之長度(寬度)相同長度的距離，或是比配置著顯示區域21之範圍的Y軸方向之長度(寬度)還長的距離(第一實施例的情形)進行相對移動。

即，重覆進行與吐出與朝Y軸方向步進移動，若全部吐出到延伸於Y軸方向的排列成一列或是複數列的顯示區域21，塗佈對象物14與塗佈頭15則相對性地僅移動塗佈於X軸之一方向的列之寬度份。

即，藉由往吐出器31之Y軸方向的移動，若有機材料34以沿著X軸方向的n個寬度被著落於沿著Y軸方向所排列的全部顯示區域21，吐出器31與塗佈對象物14則相對性地沿著X軸僅移動顯示區域21之n個份，未著落的顯示區域21會被送到吐出器31之Y軸方向的移動範圍之下方。

接著，吐出器31沿著Y軸方向於相反方向移動，有機材料著落於n個寬度的顯示區域21。

當吐出器31對未塗佈的顯示區域21上吐出有機材料時，或是當吐出器31在與塗佈頭15一同沿著Y軸的方向移動時，讓未塗佈的顯示區域21，位在塗佈頭15之移動方向的先頭側之雷射照射裝置32b或32a之下，但與此相反的，移動方向之後尾側的雷射照射裝置32a或32b，會在塗 佈著有機材料的顯示區域21上移動。

因而，若從位在吐出器31之移動方向的後尾側之雷射照射裝置32a或32b射出雷射光，該雷射光，會照射到顯示區域21上的有機材料，該有機材料會被加熱。

有機材料會溶於溶媒中成為液狀，經由加熱讓溶媒蒸發，照射雷射光的有機材料會乾燥成薄膜化。第3圖的符號35，乃表示經由乾燥形成的有機材料薄膜。

對沿著Y軸的一列或是複數列排列的顯示區域21塗佈有機材料與利用雷射照射的薄膜化結束的話，如上所述，塗佈對象物14會被移動塗佈於X軸方向的列寬份，在吐出器31之移動範圍的正下方位置，配置著未塗佈的顯示區域21。

再者，有關該實施例及後述的各實施例，雷射光除了在塗佈頭15與塗佈對象物14為相對性地靜止的狀態下，進行照射外，也可在相對性的移動中進行照射。

塗佈裝置1為用來形成RGB中之單色的有機薄膜之裝置，於顯示區域21之Y軸方向延伸的一列，對應於RGB之各單色的情形下，塗佈對象物14，乃藉由吐出器31之1回的Y軸方向的移動，於每隔一列或是二列的複數列排列的顯示區域21塗佈著有機材料。在此，乃藉由該塗佈裝置1，以每隔二列的塗佈複數列。

另一方面，如電洞輸送層，在全部的顯示區域21形成相同有機薄膜的情形下，可吐出到n×m個顯示區域21的全部。

往X軸方向的相對移動後，重覆進行來自吐出器31之有機材料的吐出和沿著Y軸之方向的移動、以及雷射照射，在塗佈對象物14上之可成膜的顯示區域21上，形成薄膜。

再者，當吐出器31沿著Y軸進行往動時和復動時，在兩方吐出有機材料的情形下，完成一列乃至複數列的塗佈，且塗佈對象物14於X軸方向進行相對移動的話，吐出器31的移動方向即成逆向。因而，當往動方向切換為復動方向時，以及當復動方向切換為往動方向時，雷射照射裝置32a、32b的先頭側與後尾側的位置會改變。

即，在往動時，處於先頭側的雷射照射裝置，會在復動時成為後尾側，故在往動與復動切換之際，雷射照射所使用的雷射照射裝置32a、32b也會切換。

如上，藉由塗佈對象物14與塗佈頭15的X軸方向或是Y軸方向的其中一方向或是往復方向的移動，對特定場所的顯示區域21進行有機材料薄膜35的形成之後，該塗佈對象物14會從塗佈裝置1被取出，送到後面工程。

以上雖是說明塗佈裝置1的動作，但本發明之塗佈裝置1乃連結著複數台，可當做有機EL面板製造裝置使用。

第7圖的符號10，乃為本發明之有機EL面板製造裝置，配置有基板搬送機械手臂的搬送室T₁ ~T₅ 被直列地連接。

符號O₁ ~O₄ ，乃分別為上述塗佈裝置1，或是下述所 記載的塗佈裝置2~5之任一塗佈裝置，且分別連接於搬送室T₁ ~T₄ 。在各搬送室T₁ ~T₅ 與各塗佈裝置O₁ ~O₄ ，乃連接著高純度氮循環系統，以特定的水份、氧濃度進行氣氛管理。因而，如下所述，以從基板搬入室Lin被搬入到有機EL面板製造裝置10內的成膜對象物，不會曝露在大氣中，可在塗佈裝置O₁ ~O₄ 間移動的方式被構成。

於各塗佈裝置O₁ ~O₄ 內，分別配置著為了形成電洞輸送層、紅色層、綠色層、藍色層的有機材料。

於第1搬送室T₁ ，乃連接著基板搬入室Lin，被配置在基板搬入室Lin的塗佈對象物14，會通過第1搬送室T₁ ，利用第1塗佈裝置O₁ ，讓電洞輸送層的有機材料，不隔著間隔地吐出到相鄰的顯示區域21上，利用雷射光的照射被乾燥。

形成著電洞輸送層的塗佈對象物14，被搬入到第2~第4塗佈裝置O₂ ~O₄ 內，對應於紅色發色、綠色發色和藍色發色的有機材料薄膜，會分別每二列地被形成，從搬出室Lout被取出到有機EL面板製造裝置10的外部。

第6圖的符號R、G、B，乃表示分別形成紅色、綠色、藍色發色之有機材料薄膜的顯示區域21的列。

像這樣，在本發明之有機EL面板製造裝置10，利用雷射光的照射來乾燥被塗佈的有機材料進行薄膜化，不需要加熱室，進而，成膜對象物全體不會昇溫至高温的緣故，也不需要冷卻室。

再者，上述第1塗佈裝置1，雖為在吐出器31的兩側， 即，沿著Y軸的往復移動方向之先頭側與後尾側的兩方，配置有雷射照射裝置32a、32b的例子，但本發明並不限於此。

第4圖的符號2，乃表示本發明之第二例的塗佈裝置，第5圖的符號3，乃表示本發明之第三例的塗佈裝置。

在第二、第三例的塗佈裝置2、3，乃在與第一例之塗佈裝置1相同的構件，附上相同的符號，省略說明。該塗佈裝置2、3，也以利用基板搬送機構13，讓塗佈對象物14能在塗佈台12上移動的方式被構成。

首先，參照第4圖說明第二例的塗佈裝置。同圖符號17乃為塗佈用塗佈頭，在其下部，乃設有吐出液狀有機材料的吐出器42。

在比吐出器42的位置更接近塗佈對象物14之移動方向的移動目的地B的位置，配置著雷射用頭18。在該雷射用頭18的下部，乃設有雷射照射裝置43，構成塗佈對象物14進行移動，塗佈對象物14與吐出器42，會相對性地在沿著X軸的方向(第一方向)移動，且塗佈對象物14與雷射照射裝置43，也會相對性地在沿著X軸的方向(第一方向)移動。

塗佈用塗佈頭17與雷射用頭18，乃分別安裝在頭移動機構24、25，吐出器42與雷射照射裝置43，乃在靜止於X軸方向的狀態下，在沿著Y軸的方向(第二方向)進行往復移動地被構成。

塗佈對象物14，乃藉由基板搬送機構13從塗佈台12的 移動源點A側向著移動目的地B側沿著X軸進行移動地被構成，一旦塗佈對象物14進行移動，吐出器42與雷射照射裝置43，會從接近塗佈對象物14之移動目的地B這方的端部向著接近移動源點A這方的端部相對性進行移動地被構成。

在針對塗佈對象物14的X軸方向之相對移動，乃吐出器42為先頭側，雷射照射裝置43為後尾側，藉由塗佈用塗佈頭17，在一列或複數列排列的顯示區域21塗佈上有機材料之後，塗佈對象物14在X軸方向進行相對移動的話，被塗佈的區域會來到雷射用頭18之移動範圍的正下方。

雷射用頭18在沿著Y軸的方向進行移動，對著著彈於顯示區域21上的有機材料，從雷射照射裝置43照射出雷射光。藉由雷射光的照射，有機材料被加熱乾燥的話，會形成有機材料薄膜。

雷射照射裝置43，可照射出複數個雷射光，也可依序對複數個顯示區域21照射出雷射光。

塗佈用塗佈頭17與雷射用頭18，可一起移動，也可獨立移動。雷射用照射裝置43，可在Y軸方向的單程移動，對未照射的有機材料照射雷射光，除了Y軸方向外，也可在X軸方向進行往復移動地被構成，組合X軸方向與Y軸方向的移動，藉由往復或是這以上的折返移動，對未照射的部分照射雷射光地形成亦可。

雷射照射裝置43，乃與吐出器42並行進行動作，吐出器42會進行往動或是復動，吐出有機材料的期間，若對未 照射的有機材料照射雷射光，因塗佈與雷射光照射會同時進行，故提升處理量。

接著，參照第5圖，同圖符號3，乃為本發明之第三例的塗佈裝置，具有雷射用頭19。

該雷射照射裝置19，乃在其下部沿著Y軸方向具有細長的雷射照射裝置46。該雷射照射裝置46可照射雷射光的Y軸方向的範圍，乃為等於在塗佈對象物14上配置有顯示區域21的Y軸方向的範圍或比這還長。

雷射照射裝置46，乃在靜止於Y軸方向的狀態下，在顯示區域21的X軸方向之n個、Y軸方向的全部，可照射雷射光地被構成，就算雷射照射裝置19不沿著Y軸方向進行移動，仍可在X軸方向每n個進行階式移動的話，就能對塗佈對象物14上之全部的顯示區域21照射雷射光。

藉此，在排列於Y軸方向的顯示區域21的每n列形成有機薄膜。此時，如上所述，也可在分離區域22照射雷射光。

以上，雖是藉由雷射光的照射來加熱有機材料，形成乾燥的時候所做的說明，但有關藉由加熱進行重合，形成有機薄膜的有機材料，則可利用雷射光之照射的加熱形成有機薄膜。有關藉由光反應而產生重合反應，形成薄膜的有機材料，也可利用雷射光的照射形成薄膜。

又，本發明只要是可將雷射光照射到顯示區域21，就可對分離區域22照射雷射光，或者也可不照射。雷射光， 除了一次照射到複數個顯示區域21的情形外，也包括一次照射到一個顯示區域21的情形。

其次，說明本發明之第四、第五例的塗佈裝置。

第9、10圖的符號4、5，乃分別表示第四、第五例的塗佈裝置。在上述第三例之塗佈裝置3中，雖然雷.射照射裝置46為細長的，其長邊方向沿著Y軸方向被配置，但在第四、第五例的塗佈裝置4、5中，吐出器47為細長的，其長邊方向是沿著Y軸被配置。

該吐出器47，乃安裝於印刷頭20，在塗佈台12的上方位置，與塗佈台12隔著間隔而配置。

在塗佈對象物14的相對移動方向之比吐出器47還下流側，配置著雷射照射裝置43或是46，一旦塗佈對象物14從移動源點A側向著移動目的地B側進行移動，會先通過與細長之塗佈裝置47面對面的位置，接著會通過與雷射照射裝置43或是46面對面的位置。

該吐出器47，乃沿著Y軸方向配置一列或複數列吐出孔，在吐出器47與塗佈對象物14為相對性靜止的狀態下，有機材料能著落於沿著塗佈對象物14之Y軸排列的顯示區域211之全部地被構成。如果吐出孔被n個配置在X軸方向，就會著彈於n列。

著落後，只有n個份的塗佈對象物14會進行相對移動。第四例的塗佈裝置4之雷射照射裝置43，乃與第二例的塗佈裝置2相同，在Y軸方向進行往復移動地被構成，第五例的塗佈裝置5的雷射照射裝置46，乃與第三例的塗佈 裝置3相同，為細長而沿著Y軸方向被配置。

因而，在第四例的塗佈裝置4中，構成可以沿著Y軸方向移動而對著顯示區域21上的有機材料照射雷射光，且在第五例的塗佈裝置5中，構成即使是在塗佈對象物14與雷射照射裝置46為靜止於Y軸方向的狀態下，都能在X軸方向以一乃至複數個的寬度，於Y軸方向排列的全部顯示區域21照射雷射光。

像這樣，連第四、第五例的塗佈裝置4、5，都能形成有機薄膜。

以上，雖於每個顯示區域21著落有機材料，形成互相分離的複數個有機薄膜，但對形成連續覆蓋液晶配向膜等、塗佈對象物14之表面的有機薄膜之用途，也可使用本發明的塗佈裝置1~5。

又，吐出分散液晶顯示裝置之間隔件的分散液，使分散溶媒利用雷射光而蒸發，在將間隔件配置在塗佈對象物表面的用途上，也可使用本發明的塗佈裝置1~5。

1~3‧‧‧塗佈裝置

10‧‧‧有機EL面板製造裝置

14‧‧‧塗佈對象物

31、42‧‧‧吐出器

32a、32b、43、46‧‧‧雷射照射裝置

34‧‧‧有機材料

[第1圖]說明本發明之第一例的塗佈裝置之動作圖。

[第2圖]本發明之第一例的塗佈裝置的概略平面圖。

[第3圖]說明本發明之第一例的塗佈裝置之有機材料塗佈與照射雷射光的圖。

[第4圖]本發明之第二例的塗佈裝置的概略平面圖。

[第5圖]本發明之第三例的塗佈裝置的概略平面圖。

[第6圖]說明塗佈對象物的圖。

[第7圖]本發明之有機EL面板製造裝置。

[第8圖]習知技術之有機EL面板製造裝置。

[第9圖]本發明之第四例的塗佈裝置的概略平面圖。

[第10圖]本發明之第五例的塗佈裝置的概略平面圖。

1‧‧‧塗佈裝置

12‧‧‧塗佈台

13‧‧‧基板搬送機構

14‧‧‧塗佈對象物

15‧‧‧塗佈頭

23‧‧‧塗佈頭移動機構

31‧‧‧吐出器

32a、32b‧‧‧雷射照射裝置

A‧‧‧移動源點

B‧‧‧移動目的地

Claims (6)

1. 一種塗佈裝置，具有：配置塗佈對象物之塗佈台；對前述塗佈台上之前述塗佈對象物上吐出有機材料的吐出器；和對從前述吐出器被吐出到前述塗佈對象物，著落的前述有機材料照射雷射光的雷射照射裝置，該塗佈裝置之特徵為：前述塗佈對象物和前述吐出器係被設成在前述塗佈台，與前述塗佈台之表面平行而可以在沿著前述塗佈台之縱長方向的第一方向作相對性移動，前述雷射照射裝置係被設成在前述塗佈台上與前述吐出器獨立，而可以對前述塗佈對象物，沿著前述第一方向作相對性往復移動，前述塗佈對象物和前述吐出器係被設成在前述塗佈台上與前述塗佈台之前述表面平行，可以沿著垂直於前述第一方向的第二方向作相對性往復移動，前述雷射照射裝置係被設成沿著前述第二方向，而可以對前述塗佈對象物，與前述吐出器獨立地作相對性往復移動，前述吐出器往動或復動而吐出前述有機材料之期間，未照射之著落的前述有機材料被照射前述雷射光。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的塗佈裝置，其中，前述雷射照射裝置，係對前述塗佈對象物表面的每個 部分區域照射前述雷射光，部份性加熱前述塗佈對象物表面。
3. 如申請專利範圍第1項所記載的塗佈裝置，其中，前述雷射照射裝置係於前述吐出器作往復移動之時，各配置在前後。
4. 一種有機EL面板製造裝置，被構成：至少具有三台申請專利範圍第1至3項之任一項所記載的塗佈裝置，且在各塗佈裝置，分別配置著紅色發色用、綠色發色用、藍色發色用的有機材料，前述塗佈對象物不用曝露在大氣中，可以在前述各塗佈裝置間移動。
5. 一種有機材料薄膜之形成方法，從雷射照射裝置對從吐出器被吐出到塗佈對象物，著落的有機材料照射雷射光，形成前述有機材料之薄膜，該有機材料薄膜之形成方法之特徵為：使吐出器一面對前述塗佈對象物，在前述塗佈台上，與前述塗佈台之表面平行而朝沿著前述塗佈台之縱長方向的第一方向作相對性移動，和對前述塗佈對象物，在前述塗佈台上，與前述塗佈台之前述表面平行，而作沿著垂直於前述第一方向之第二方向的相對性往復移動，一面吐出前述有機材料，使前述雷射照射裝置在前述塗佈台上與前述吐出器獨立，而對前述塗佈對象物，作沿著前述第一方向的相對性移動，和沿著前述第二方向的往復移動，在前述吐出器往動或復動而吐出前述有機材料之期間 ，從前述雷射照射裝置對未照射之著落的前述有機材料照射前述雷射光。
6. 如申請專利範圍第5項所記載的有機材料薄膜之形成方法，其中，對前述塗佈對象物表面的每個部分區域照射前述雷射光，部份性加熱前述塗佈對象物表面。